KR20150040235A - Surface-treated rolled copper foil, laminate, printed wiring board, electronic device, and method of manufacturing printed wiring board - Google Patents

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KR20150040235A
KR20150040235A KR20140133425A KR20140133425A KR20150040235A KR 20150040235 A KR20150040235 A KR 20150040235A KR 20140133425 A KR20140133425 A KR 20140133425A KR 20140133425 A KR20140133425 A KR 20140133425A KR 20150040235 A KR20150040235 A KR 20150040235A
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아츠시 미키
히데타 아라이
고스케 아라이
가이치로 나카무로
가즈타카 아오시마
가즈키 간무리
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제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a surface-treated rolled copper foil that attaches well to resin with excellent etching capacity and flexibility and a superior transparency of resin after the cooper foil is removed by etching. The surface-treated rolled copper foil has the surface of at least one side and/or the surface of both sides that satisfies 2.5 <= I{110}/I{112} <= 6.0, and the surface treatment is done on the surface of at least one side and/or the surface on both sides. Also, in the surface-treated rolled copper foil and a copper clad laminate made by laminating a polyimide with the below ΔB (PI) before attaching to the copper foil of 50 or higher and 65 or lower, the chrominance (ΔE*ab) based on JIS Z 8730 on the surface beyond the polyimide becomes 50 or higher. The Sv defined by the below Formula (1) of the surface-treated rolled copper foil becomes 3.0 or higher when, after it is bound to both sides of polyimide resin substrate from the surface side where surface treatment is done, the rolled copper foil on both sides is removed by etching, a printed matter is placed at the bottom of the polyimide substrate, and a photo is taken by a CCD camera beyond the polyimide substrate. Formula (1): Sv = (ΔB × 0.1)/(t1 - t2).

Description

표면 처리 압연 동박, 적층판, 프린트 배선판, 전자 기기 및 프린트 배선판의 제조 방법{SURFACE-TREATED ROLLED COPPER FOIL, LAMINATE, PRINTED WIRING BOARD, ELECTRONIC DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING PRINTED WIRING BOARD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a surface-treated rolled copper foil, a surface-treated rolled copper foil, a laminated board, a printed wiring board, an electronic apparatus and a manufacturing method of a printed wiring board.

본 발명은, 표면 처리 압연 동박, 적층판, 프린트 배선판, 전자 기기 및 프린트 배선판의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a surface-treated rolled copper foil, a laminated board, a printed wiring board, an electronic apparatus and a method for producing a printed wiring board.

FPC (플렉시블 프린트 기판) 로는 동박과 수지층을 적층하여 이루어지는 동박 복합체가 사용되고, 이 동박에는, 회로를 형성할 때의 에칭성, 및 FPC 의 사용을 고려한 굴곡성이 요구되고 있다.As the FPC (Flexible Printed Substrate), a copper foil composite formed by laminating a copper foil and a resin layer is used, and this copper foil is required to have etching property in forming a circuit and flexibility in consideration of the use of an FPC.

그런데, FPC 는 동박이 재결정된 상태로 사용되는 것이 일반적이다. 동박을 압연 가공하면 결정이 회전하여 압연 집합 조직이 형성되고, 순동의 압연 집합 조직은 Copper 방위라 불리는 {112} <111> 이 주방위가 된다고 알려져 있다. 그리고, 압연 동박을 압연 후에 어닐링하거나, 최종 제품으로 가공될 때까지의 공정, 요컨대 FPC 가 될 때까지의 공정에서 열이 가해지면 재결정된다. 이 압연 동박이 된 후의 재결정 조직을 이하에서는 간단히 「재결정 조직」이라고 칭하고, 열이 가해지기 전의 압연 조직을 간단히 「압연 조직」이라고 칭한다. 또한, 재결정 조직은 압연 조직에 의해 크게 좌우되어, 압연 조직을 제어함으로써 재결정 조직도 제어할 수 있다.The FPC is generally used in a state in which the copper foil is recrystallized. It is known that when the copper foil is rolled, the crystal rotates to form the rolled aggregate structure, and the rolling aggregate structure of the pure copper becomes the {112} < 111 > Then, the rolled copper foil is annealed after rolling or recrystallized when heat is applied in the process until the final product is processed, in other words, until the FPC is obtained. The recrystallized structure after being rolled copper foil is referred to simply as &quot; recrystallized structure &quot; hereinafter, and the rolled structure before heat is applied is simply referred to as &quot; rolled structure &quot;. Further, the recrystallized structure is largely influenced by the rolled structure, and the recrystallized structure can be controlled by controlling the rolled structure.

이와 같은 점에서, 압연 동박의 재결정 후에 {001} <100> 의 Cube 방위를 발달시켜 굴곡성을 향상시키는 기술이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 2).In this respect, a technique has been proposed in which the orientation of the {001} < 100 > Cube after the recrystallization of the rolled copper foil is developed to improve the bendability (for example, Patent Documents 1 and 2).

또, 스마트폰이나 태블릿 PC 와 같은 소형 전자 기기의 고기능화에 따라 신호 전송 속도의 고속화가 진행되어, FPC 에 있어서도 임피던스 정합이 중요한 요소가 되었다. 신호 용량의 증가에 대한 임피던스 정합의 방책으로서, FPC 의 베이스가 되는 수지 절연층 (예를 들어, 폴리이미드) 의 후층화 (厚層化) 가 진행되고 있다. 또 배선의 고밀도화 요구에 따라 FPC 의 다층화가 한층 더 진행되고 있다. 한편, FPC 는 액정 기재에 대한 접합이나 IC 칩의 탑재 등의 가공이 실시되지만, 이 때의 위치 맞춤은 동박과 수지 절연층의 적층판에 있어서의 동박을 에칭한 후에 남는 수지 절연층을 투과하여 시인되는 위치 결정 패턴을 통하여 실시되기 때문에, 수지 절연층의 시인성이 중요해진다.In addition, as the miniaturization of electronic devices such as smart phones and tablet PCs is becoming more sophisticated, signal transmission speeds have been increasing, and impedance matching has become an important factor in FPCs. As a measure for impedance matching with an increase in the signal capacity, a post-layering (thickening) of a resin insulating layer (for example, polyimide) as a base of the FPC is progressing. In accordance with the demand for higher density of wirings, the FPC has been further layered. On the other hand, the FPC is subjected to processing such as bonding to a liquid crystal substrate or mounting of an IC chip. In this case, alignment is performed by passing the resin insulating layer remaining after etching the copper foil on the laminate of the copper foil and the resin insulating layer, The visibility of the resin insulating layer becomes important.

이와 같은 기술로서, 예를 들어 특허문헌 3 에는 폴리이미드 필름과 저조도 (低粗度) 동박이 적층되어 이루어지고, 동박 에칭 후의 필름의 파장 600 ㎚ 에서의 광 투과율이 40 % 이상, 흐림값 (HAZE) 이 30 % 이하이고, 접착 강도가 500 N/m 이상인 구리 피복 적층판에 관련된 발명이 개시되어 있다.As such a technique, for example, in Patent Document 3, a polyimide film and a low-roughness copper foil are laminated, and the light transmittance at a wavelength of 600 nm of the film after the copper foil etching is 40% or more, ) Is 30% or less, and the adhesive strength is 500 N / m or more.

또, 특허문헌 4 에는, 전해 동박에 의한 도체층이 적층된 절연층을 갖고, 당해 도체층을 에칭하여 회로를 형성했을 때의 에칭 영역에 있어서의 절연층의 광 투과성이 50 % 이상인 칩 온 필름 (COF) 용 플렉시블 프린트 배선판에 있어서, 상기 전해 동박은 절연층에 접착되는 접착면에 니켈-아연 합금에 의한 방청 처리층을 구비하고, 그 접착면의 표면 조도 (Rz) 는 0.05 ∼ 1.5 ㎛ 임과 함께 입사각 60°에 있어서의 경면 광택도가 250 이상인 것을 특징으로 하는 COF 용 플렉시블 프린트 배선판에 관련된 발명이 개시되어 있다.Patent Document 4 discloses a chip on film having an insulating layer in which a conductor layer is laminated by an electrolytic copper foil and having a light transmittance of an insulating layer in an etching region when a circuit is formed by etching the conductor layer, (COF), wherein the electrolytic copper foil is provided with a rust-preventive treatment layer made of a nickel-zinc alloy on a bonding surface to be bonded to an insulating layer, and a surface roughness Rz of the bonding surface is 0.05 to 1.5 탆 And a mirror polish degree at an incident angle of 60 DEG of not less than 250. The present invention relates to a flexible printed wiring board for COF.

또, 특허문헌 5 에는 인쇄 회로용 동박의 처리 방법에 있어서, 동박의 표면에 구리-코발트-니켈 합금 도금에 의한 조화 (粗化) 처리 후, 코발트-니켈 합금 도금층을 형성하고, 또한 아연-니켈 합금 도금층을 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄 회로용 동박의 처리 방법에 관련된 발명이 개시되어 있다. Patent Document 5 discloses a method of treating a copper foil for a printed circuit, which comprises the steps of forming a cobalt-nickel alloy plating layer on the surface of a copper foil after roughening by copper-cobalt-nickel alloy plating, An alloy plating layer is formed on the surface of the copper foil.

일본 특허공보 제3856616호Japanese Patent Publication No. 3856616 일본 특허공보 제4716520호Japanese Patent Publication No. 4716520 일본 공개특허공보 2004-98659호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-98659 WO2003/096776WO2003 / 096776 일본 특허공보 제2849059호Japanese Patent Publication No. 2849059

그러나, 특허문헌 1, 2 와 같이 동박의 Cube 방위를 발달시키는 경우, 그 정도가 지나치게 크면 에칭성이 저하된다는 문제가 있다. 이것은, Cube 집합 조직이 발달했다고 해도 단결정이 아니라, Cube 방위가 큰 결정립 안에 다른 방위가 작은 결정립이 존재하는 혼입 상태로 되어 있어, 각 방위의 입자에서 에칭 속도가 변화하기 때문이라고 생각된다. 특히, 회로의 L/S (라인/스페이스) 폭이 좁아질수록 (파인 피치일수록) 에칭성이 문제가 된다. 또, Cube 방위가 지나치게 발달하면 동박이 지나치게 유연해져 핸들링성이 열등한 경우가 있다.However, in the case of developing the Cube orientation of the copper foil as in Patent Documents 1 and 2, if the degree is too large, there is a problem that the etching property is lowered. This is considered to be because, even if the Cube set texture is developed, not the single crystal but the mixed crystal where the other crystal is present in the crystal grain having a large Cube orientation is present, and the etching rate varies in each orientation grain. In particular, as the L / S (line / space) width of the circuit becomes narrower (the finer the pitch), the etching property becomes a problem. In addition, if the orientation of the cube is excessively developed, the copper foil becomes excessively flexible, and the handling property may be inferior.

또한, Cube 방위의 발달도를 조정하기 위하여 최종 압연에서 재결정 후에 압연 조직을 제어하는 방법이 있지만, Cube 방위가 발달하지 않았거나, 지나치게 발달하거나 하여 Cube 방위의 발달도의 조정을 충분히 실시할 수 없다는 문제가 있다.In addition, there is a method to control the rolling structure after recrystallization in the final rolling to adjust the development degree of the Cube bearing. However, there is a possibility that the Cube bearing is not developed or excessively developed and the development degree of the Cube bearing can not be sufficiently adjusted there is a problem.

또, 특허문헌 3 에 있어서, 흑화 처리 또는 도금 처리 후의 유기 처리제에 의해 접착성이 개량 처리되어 얻어지는 저조도 동박은, 구리 피복 적층판에 굴곡성이 요구되는 용도에서는, 피로에 의해 단선되는 경우가 있어, 수지 투시성이 열등한 경우가 있다.Further, in Patent Document 3, the low-illuminance copper foil obtained by an improved treatment of the adhesiveness by an organic treatment after the blackening treatment or the plating treatment may be broken due to fatigue in applications where the copper-clad laminate is required to have flexibility, Sometimes the transparency is inferior.

또, 특허문헌 4 에서는, 조화 처리가 되어 있지 않아, COF 용 플렉시블 프린트 배선판 이외의 용도에 있어서는 동박과 수지의 밀착 강도가 낮아 불충분하다.In Patent Document 4, the roughening treatment is not carried out, and the adhesion strength between the copper foil and the resin is low in applications other than the COF flexible printed wiring board, which is insufficient.

또한, 특허문헌 5 에 기재된 처리 방법에서는, 동박에 대한 Cu-Co-Ni 에 의한 미세 처리는 가능하였지만, 당해 동박을 수지와 접착시켜 에칭으로 제거한 후의 수지에 대하여 우수한 투명성을 실현하지 못하고 있다.Further, in the treatment method described in Patent Document 5, the copper foil can be finely treated with Cu-Co-Ni, but excellent transparency can not be realized with respect to the resin after the copper foil is bonded to the resin and removed by etching.

따라서, 본 발명은 상기 여러 가지 문제를 감안하여, 에칭성과 굴곡성이 모두 우수하고, 수지와 양호하게 접착되며, 또한 동박을 에칭으로 제거한 후의 수지의 투명성이 우수한 표면 처리 압연 동박을 제공하는 것을 과제로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a surface-treated rolled copper foil excellent in both etching and bending properties, good adhesion to a resin, and excellent transparency of a resin after removal of the copper foil by etching do.

본 발명자들은, 압연 조직에 있어서의 압연면에서 {112} 면이 존재하는 비율보다 {110} 면이 존재하는 비율이 많을수록 동박의 압연 집합 조직이 발달되어 있고, 재결정 어닐링시에 Cube 방위가 발달하는 것을 알아냈다. 이로써, 굴곡성을 향상시키지만 에칭성을 저하시키는 Cube 방위의 발달도를 적절히 조정하기 위하여, 동박의 압연면에서 {112} 면과 {110} 면이 발달하는 비율을 제어하여, 압연 동박의 에칭성과 굴곡성을 함께 향상시키는 데에 성공하였다. 또한, 표면 처리에 의해 표면의 색차가 소정 범위로 제어된 압연 동박을, 당해 처리면측으로부터 첩합 (貼合) 하여 제거한 폴리이미드 기판에 대해, 마크를 붙인 인쇄물을 아래에 놓고, 당해 인쇄물을 폴리이미드 기판 너머에서 CCD 카메라로 촬영한 당해 마크 부분의 화상으로부터 얻어지는 관찰 지점-명도 그래프에 있어서 그려지는 마크 단부 (端部) 부근의 명도 곡선의 기울기에 착안하여, 당해 명도 곡선의 기울기를 제어하는 것이, 기판 수지 필름의 종류나 기판 수지 필름의 두께의 영향을 받지 않고, 동박을 에칭 제거한 후의 수지 투명성에 영향을 미치는 것을 알아냈다.The inventors of the present invention have found that as the ratio of {110} planes to the {112} planes existing on the rolling surface in the rolled structure increases, the rolled aggregate structure of the copper foil develops and the Cube orientation develops during the recrystallization annealing I found out. Thus, in order to appropriately adjust the degree of development of the cube orientation which improves the bendability but deteriorates the etching property, the ratio of development of the {112} plane and the {110} plane on the rolled surface of the copper foil is controlled, In the same way. Further, a printed copper foil whose surface chromaticity is controlled to a predetermined range by surface treatment is placed on a polyimide substrate from which the printed copper foil has been bonded (adhered) from the treated surface side, and a printed material to which the mark is affixed is placed under the polyimide It is preferable to control the inclination of the lightness curve by focusing on the slope of the lightness curve near the mark end portion drawn in the observation point-lightness graph obtained from the image of the mark portion photographed by the CCD camera over the substrate, It has been found that the resin transparency after the removal of the copper foil is affected by the kind of the substrate resin film and the thickness of the substrate resin film.

이상의 지견을 기초로 하여 완성된 본 발명은 일 측면에 있어서, 일방의 동박 표면 및/또는 양방의 동박 표면이 표면 처리면 (S) 이고, 상기 표면 처리면 (S) 의 일방 혹은 양방, 또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 표면에 있어서의 {112} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I{112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I{110} 으로 했을 때, In one aspect of the present invention, which is completed on the basis of the above findings, the surface of the one copper foil and / or the copper foil on both sides is the surface treatment surface (S), and one or both of the surface treatment surface When the calculated X-ray diffraction intensity from the {112} plane and the calculated X-ray diffraction intensity from the {110} plane of the surface other than the surface-treated surface S are I {110} ,

2.5 ≤ I{110}/I{112} ≤ 6.0 2.5? I {110} / I {112}? 6.0

을 만족시키고,Lt; / RTI &gt;

표면 처리 압연 동박과, 동박에 부착하기 전의 하기 ΔB(PI) 가 50 이상 65 이하인 폴리이미드를 상기 표면 처리 압연 동박의 상기 표면 처리면 (S) 측으로부터 적층하여 구성한 구리 피복 적층판에 있어서의, 상기 폴리이미드 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 가 50 이상이 되는 표면 처리 압연 동박이고, Treated copper foil and a polyimide having a? B (PI) of not less than 50 and not more than 65 before being adhered to the copper foil are laminated from the surface-treated surface (S) side of the surface-treated rolled copper foil, A surface-treated rolled copper foil having a color difference (? E * ab) based on JIS Z 8730 on the surface of polyimide exceeding 50,

상기 표면 처리 압연 동박을 표면 처리면 (S) 측으로부터 폴리이미드 수지 기판의 양면에 첩합한 후, 에칭으로 상기 양면의 압연 동박을 제거하고, The surface-treated, rolled copper foil is applied to both surfaces of the polyimide resin substrate from the surface-treated surface (S) side, and then the rolled copper foil on both sides is removed by etching,

라인상의 마크를 인쇄한 인쇄물을 노출된 상기 폴리이미드 기판 아래에 깔고, 상기 인쇄물을 상기 폴리이미드 기판 너머에서 CCD 카메라로 촬영했을 때, When a printed matter on which a mark on a line is printed is laid under the exposed polyimide substrate and the printed matter is photographed with a CCD camera beyond the polyimide substrate,

상기 촬영에 의해 얻어진 화상에 대해, 관찰된 상기 라인상의 마크가 신장되는 방향과 수직인 방향을 따라 관찰 지점마다의 명도를 측정하여 제작한 관찰 지점-명도 그래프에 있어서, In an observation point-brightness graph produced by measuring the brightness of each observation point along a direction perpendicular to the direction in which the mark on the line is observed, with respect to the image obtained by the photographing,

상기 마크의 단부에서부터 상기 마크가 그려져 있지 않은 부분에 걸쳐 생기는 명도 곡선의 톱 평균값 (Bt) 과 보텀 평균값 (Bb) 의 차를 ΔB (ΔB = Bt - Bb) 라고 하고, 관찰 지점-명도 그래프에 있어서 명도 곡선과 Bt 의 교점 중 상기 라인 상의 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t1 로 하고, 명도 곡선과 Bt 의 교점으로부터 Bt 를 기준으로 0.1×ΔB 까지의 깊이 범위에 있어서, 명도 곡선과 0.1×ΔB 의 교점 중 상기 라인상의 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t2 로 했을 때에, 하기 (1) 식으로 정의되는 Sv 가 3.0 이상이 되는 표면 처리 압연 동박이다.The difference between the top average value Bt and the bottom average value Bb of the brightness curve occurring from the end of the mark to the portion where the mark is not drawn is defined as? B (? B = Bt - Bb) A value indicating the position of an intersection closest to the mark on the line among the intersections of the brightness curve and Bt is t1 and the brightness curve is 0.1 And a value indicating a position of an intersection point closest to the mark on the line among the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections.

Sv = (ΔB × 0.1)/(t1 - t2) (1)Sv = (DELTA Bx0.1) / (t1 - t2) (1)

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 일 실시형태에 있어서, 상기 일방의 동박 표면이 표면 처리면 (S) 이고, 또한 타방의 동박 표면에 표면 처리가 되어 있다.In the surface-treated rolled copper foil of the present invention, the surface of the one copper foil is the surface-treated surface (S), and the surface of the other copper foil is surface-treated.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 다른 일 실시형태에 있어서, 상기 압연 동박이 99.9 질량% 이상의 구리로 형성되어 있다.In another embodiment of the surface treated rolled copper foil of the present invention, the rolled copper foil is formed of at least 99.9% by mass of copper.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유하고, 잔부 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어진다.In the surface treated rolled copper foil of the present invention, the total amount of one or more selected from the group consisting of Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr and Au is 10 to 300 mass ppm And the balance Cu and inevitable impurities.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 상기 압연 동박이 산소를 2 ∼ 50 질량ppm 함유한다.In another embodiment of the surface treated rolled copper foil of the present invention, the rolled copper foil contains 2 to 50 mass ppm of oxygen.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 200 ℃ 에서 30 분간의 가열 후에 적어도 일방의 표면에 있어서 I{112}/I{100} ≤ 1.0 을 만족시킨다.In the surface treated rolled copper foil of the present invention, I {112} / I {100}? 1.0 is satisfied on at least one surface after heating at 200 占 폚 for 30 minutes in another embodiment.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 350 ℃ 에서 1 초간의 가열 후에 상기 압연 동박의 압연면의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I{200} 으로 하고, 순동 분말 시료의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I0{200} 으로 했을 때, In the surface treated rolled copper foil of the present invention, the X-ray diffraction intensity at the {200} plane of the rolled copper foil of the rolled copper foil is I {200} after heating at 350 DEG C for 1 second, When the X-ray diffraction intensity of the {200} plane of the sample is I 0 {200}

5.0 ≤ I{200}/I0{200} ≤ 27.0 을 만족시킨다.5.0? I {200} / I 0 {200}? 27.0.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 두께가 4 ∼ 100 ㎛ 이다.The surface-treated rolled copper foil of the present invention has a thickness of 4 to 100 mu m in another embodiment.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 가 0.35 ㎛ 이상이다.In the surface-treated rolled copper foil of the present invention, it is preferable that the surface-treated rolled copper foil of the present invention further comprises a copper foil having a surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / The 10-point average roughness (Rz) of TD is 0.35 탆 or more.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 가 0.05 ㎛ 이상이다.In the surface-treated rolled copper foil of the present invention, it is preferable that the surface-treated rolled copper foil of the present invention further comprises a copper foil having a surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / The arithmetic average roughness (Ra) of TD is 0.05 탆 or more.

본 발명의 표면 처리 압연 동박은 또 다른 일 실시형태에 있어서, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 가 0.08 ㎛ 이상이다.In the surface-treated rolled copper foil of the present invention, it is preferable that the surface-treated rolled copper foil of the present invention further comprises a copper foil having a surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / Square root mean square height (Rq) of TD is 0.08 탆 or more.

본 발명은 또 다른 일 측면에 있어서, 본 발명의 표면 처리 압연 동박과 수지 기판을 적층하여 제조한 적층판이다.In another aspect, the present invention is a laminated board produced by laminating a surface treated rolled copper foil of the present invention and a resin substrate.

본 발명은 또 다른 일 측면에 있어서, 본 발명의 표면 처리 압연 동박을 사용한 프린트 배선판이다.In another aspect, the present invention is a printed wiring board using the surface treated rolled copper foil of the present invention.

본 발명은 또 다른 일 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판을 사용한 전자 기기이다.In another aspect, the present invention is an electronic apparatus using the printed wiring board of the present invention.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판을 2 개 이상 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected by connecting two or more printed wiring boards of the present invention.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 본 발명의 프린트 배선판 또는 본 발명의 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시키는 공정을 포함하는, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board comprising at least one printed wiring board of the present invention, and a step of connecting a printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the other one of the present invention, Thereby manufacturing two or more connected printed wiring boards.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판이 적어도 1 개 접속된 프린트 배선판을 1 개 이상 사용한 전자 기기이다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic device using at least one printed wiring board to which at least one printed wiring board of the present invention is connected.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판과, 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는 프린트 배선판을 제조하는 방법이다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a printed wiring board including at least a printed wiring board manufactured by the method of the present invention and a step of connecting the components.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 본 발명의 프린트 배선판 또는 본 발명의 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시켜 프린트 배선판 A 를 제조하는 공정, 및 According to still another aspect of the present invention, there is provided a process for producing a printed wiring board A by connecting at least one printed wiring board of the present invention and another printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention, And

상기 프린트 배선판 A 와 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법이다.A step of connecting the printed wiring board A to the component, and a step of connecting the printed wiring board A to the component.

본 발명은 또 다른 측면에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판,According to another aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board,

본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판, 및A printed wiring board manufactured by the method of the present invention, and

본 발명의 프린트 배선판 혹은 본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판의 어느 것에도 해당하지 않는 프린트 배선판으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 프린트 배선판과,One or more printed wiring boards selected from the group consisting of a printed wiring board according to the present invention or a printed wiring board manufactured according to the method of the present invention,

본 발명의 방법으로 제조된 프린트 배선판을 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법이다. A printed wiring board manufactured by the method of the present invention is connected to a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected.

본 발명에 의하면, 에칭성과 굴곡성이 모두 우수하고, 수지와 양호하게 접착되며, 또한 동박을 에칭으로 제거한 후의 수지의 투명성이 우수한 표면 처리 압연 동박을 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a surface treated rolled copper foil which is excellent in both etching and bending properties, is well adhered to a resin, and has excellent transparency of the resin after the copper foil is removed by etching.

도 1 은 동박의 압연면에 {112} 면을 늘리기 위한, 최종 재결정 어닐링에서 동박에 가해지는 장력과 동박 내의 첨가 원소의 양의 관계를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는 각각 실시예 5, 비교예 1 의 에칭면의 광학 현미경 이미지를 나타내는 도면이다.
도 3 은 기준 화상과 에칭성 평가의 대응을 나타내는 도면이다.
도 4 는 마크폭 약 0.3 ㎜ 로 했을 때의 Bt 및 Bb 를 정의하는 모식도이다.
도 5 는 마크폭 약 1.3 ㎜ 로 했을 때의 Bt 및 Bb 를 정의하는 모식도이다.
도 6 은 t1 및 t2 및 Sv 를 정의하는 모식도이다.
도 7 은 명도 곡선의 기울기 평가시의, 촬영 장치의 구성 및 명도 곡선의 기울기 측정 방법을 나타내는 모식도이다.
도 8 은 실시예에서 사용한 협잡물의 외관 사진이다.
도 9 는 실시예에서 사용한 협잡물의 외관 사진이다.
도 10 은 실시예에서 사용한 협잡물의 외관 사진이다.
Fig. 1 is a diagram schematically showing the relationship between the tensile force applied to the copper foil in the final recrystallization annealing and the amount of the added element in the copper foil for increasing the {112} plane on the rolled surface of the copper foil.
2 is an optical microscope image of the etched surface of Example 5 and Comparative Example 1, respectively.
3 is a diagram showing the correspondence between the reference image and the etching property evaluation.
4 is a schematic view for defining Bt and Bb when the mark width is about 0.3 mm.
5 is a schematic view for defining Bt and Bb when the mark width is set to about 1.3 mm.
6 is a schematic diagram defining t1 and t2 and Sv.
7 is a schematic diagram showing a configuration of a photographing apparatus and a method of measuring a tilt of a lightness curve at the time of evaluating the tilt of the lightness curve.
8 is a photograph of the appearance of the impurities used in the examples.
Fig. 9 is a photograph of the appearance of the impurities used in the embodiment. Fig.
10 is a photograph of the appearance of the impurities used in the examples.

<압연 동박의 조성><Composition of rolled copper foil>

본 발명의 표면 처리 압연 동박은, 당해 압연 동박이 99.9 질량% 이상의 구리로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 조성으로는, JIS-H 3510 (C1011) 또는 JIS-H 3100 (C1020) 에 규격된 무산소구리, 또는 JIS-H 3100 (C1100) 에 규격된 터프 피치 구리를 들 수 있다. 또, 표면 처리 압연 동박의 산소 함유량을 2 ∼ 50 질량ppm 으로 하는 것이 바람직하다. 표면 처리 압연 동박 내의 산소 함유량이 2 ∼ 50 질량ppm 으로 적은 경우, 압연 동박 내에 아산화구리가 거의 존재하지 않는다. 그 때문에, 압연 동박을 굴곡시켰을 때, 아산화구리가 원인이 되는 변형의 축적이 거의 없기 때문에, 크랙이 잘 생기지 않고, 굴곡성이 향상된다. 또한, 구리에 함유되는 산소 함유량의 상한은 특별히 한정은 되지 않지만, 일반적으로는 500 질량ppm 이하, 더욱 일반적으로는 320 질량ppm 이하이다.The surface-treated rolled copper foil of the present invention is preferably formed of copper in an amount of 99.9 mass% or more. Examples of such a composition include oxygen-free copper specified in JIS-H 3510 (C1011) or JIS-H 3100 (C1020), or tough pitch copper specified in JIS-H 3100 (C1100). The oxygen content of the surface-treated rolled copper foil is preferably 2 to 50 mass ppm. When the oxygen content in the surface treated rolled copper foil is as small as 2 to 50 mass ppm, there is almost no copper oxide in the rolled copper foil. Therefore, when the rolled copper foil is bent, there is almost no accumulation of deformation caused by the copper oxide, so that cracks are not easily generated and the flexibility is improved. The upper limit of the oxygen content in the copper is not particularly limited, but is generally not more than 500 mass ppm, more usually not more than 320 mass ppm.

또한, 표면 처리 압연 동박은 Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유하고, 잔부 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어지는 구성이어도 된다. 이들 Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr, Au 의 원소를 첨가하면, 압연 동박의 표면 (이하, 「압연면」이라고도 부른다. 또한, 표면 처리가 되어 있는 경우에는 표면 처리 후의 표면을 의미한다.) 에 {110} 면이 많아지는 경향이 있으므로, 후술하는 I{110}/I{112} 의 값을 조정하기 쉬워진다. 상기 원소의 합계량이 10 질량ppm 미만이면 압연면에 {110} 면을 발달시키는 효과가 적고, 300 질량ppm 을 초과하면 도전율이 저하됨과 함께 재결정 온도가 상승하여, 최종 압연 후의 어닐링에 있어서 동박의 표면 산화를 억제하면서 재결정시키는 것이 곤란해지는 경우가 있다.The surface treated rolled copper foil contains 10 to 300 mass ppm in total of one or more selected from the group consisting of Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr and Au in total, and the remainder Cu and inevitable impurities . When the elements of Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr and Au are added, the surface of the rolled copper foil (hereinafter also referred to as "rolled surface" , The {110} plane tends to increase in the direction of the surface of the substrate, so that the value of I {110} / I {112} described later can be easily adjusted. If the total amount of the elements is less than 10 mass ppm, the effect of developing the {110} plane on the rolled surface is small, and if it exceeds 300 mass ppm, the conductivity is lowered and the recrystallization temperature rises, It may be difficult to recrystallize while inhibiting oxidation.

<두께><Thickness>

동박의 두께는 4 ∼ 100 ㎛ 인 것이 바람직하고, 4 ∼ 70 ㎛ 인 것이 바람직하며, 5 ∼ 70 ㎛ 인 것이 더욱 바람직하다. 두께가 4 ㎛ 미만이면 동박의 핸들링성이 열등한 경우가 있고, 두께가 100 ㎛ 를 초과하면 동박의 굴곡성이 열등한 경우가 있다.The thickness of the copper foil is preferably 4 to 100 占 퐉, more preferably 4 to 70 占 퐉, and still more preferably 5 to 70 占 퐉. If the thickness is less than 4 mu m, the handling property of the copper foil may be inferior. When the thickness exceeds 100 mu m, the copper foil may have inferior flexibility.

<압연 동박 표면의 {112} 면 및 {110} 면><Surface {112} and {110} of the surface of the rolled copper foil>

{200}, {220}, {111} 면의 X 선 회절 강도로부터 산출된 동박 압연면에 있어서의 각 면의 존재 강도를 산출 X 선 회절 강도라고 정의한다. 그리고, 본 발명의 표면 처리 압연 동박은 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 I{112} 라고 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I{110} 이라고 했을 때, 표면 처리면 (S) 의 일방 혹은 양방, 또는 표면 처리면 (S) 이 아닌 표면에 있어서 2.5 ≤ I{110}/I{112} ≤ 6.0 을 만족시킨다. 보다 바람직한 범위는 4.0 ≤ I{110}/I{112} ≤ 5.6 이다.The presence intensity of each surface on the rolled copper foil surface calculated from the X-ray diffraction intensity of the {200}, {220}, and {111} planes is defined as the calculated X-ray diffraction intensity. When the calculated X-ray diffraction intensity of the {112} plane is I {112} and the calculated X-ray diffraction intensity from the {110} plane is I {110}, the surface- I {110} / I {112}? 6.0 on one or both sides of the surface S, or on the surface other than the surface-treated surface S. A more preferable range is 4.0? I {110} / I {112}? 5.6.

압연 조직에 있어서의 압연면에서 {112} 면이 존재하는 비율보다 {110} 면이 존재하는 비율이 많을수록 동박의 압연 집합 조직이 발달되어 있고, 재결정 어닐링시에 Cube 방위가 발달한다. 이것에 의해, 굴곡성을 향상시키지만 에칭성을 저하시키는 Cube 방위의 발달도를 적절히 조정하여, 동박의 압연면에 {112} 면과 {110} 면이 발달하는 비율을 제어하여, 압연 동박의 에칭성과 굴곡성을 함께 향상 시킬 수 있다. 즉, I{110}/I{112} 가 2.5 미만이면 압연 동박의 굴곡성이 열화되고, I{110}/I{112} 가 6.0 을 초과하면 압연 동박의 에칭성이 열화된다.The larger the ratio of the {110} plane than the {112} planes on the rolling surface in the rolled structure, the more the rolling aggregate structure of the copper foil is developed and the Cube orientation develops during the recrystallization annealing. As a result, the degree of development of the Cube orientation which improves the bendability but deteriorates the etching property is appropriately adjusted to control the rate at which the {112} plane and the {110} plane are developed on the rolled surface of the copper foil, The flexibility can be improved together. That is, when I {110} / I {112} is less than 2.5, the bending property of the rolled copper foil is deteriorated, and when I {110} / I {112} exceeds 6.0, the etched property of the rolled copper foil is deteriorated.

또, 본 발명의 표면 처리 동박은 일방의 동박 표면이 표면 처리면 (S) 이고, 또한 타방의 동박 표면에 표면 처리가 되어 있어도 된다.In the surface-treated copper foil of the present invention, the surface of the one copper foil may be the surface-treated surface S and the surface of the other copper foil may be surface-treated.

X 선 회절은 그 파장이 길기 때문에 동박의 {200}, {220}, {111} 면의 회절 강도는 측정할 수 있지만, {422} 면 (요컨대, {112} 면) 의 회절 피크가 얻어지지 않는다. 그래서, 정극점 (正極點) 측정법에 의한 {200}, {220}, {111} 의 X 선 회절 결과로부터 결정 방위의 기하학적 관계를 이용하여 {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 구한다. {110} 면의 회절 강도는 {220} 면의 회절 강도와 동일하게 하여 직접 측정할 수도 있지만, 본 발명에서는 {200}, {220}, {111} 면의 회절 강도로부터 산출한 산출 X 선 회절 강도를 적용한다.Since the X-ray diffraction has a long wavelength, the diffraction intensity of the {200}, {220}, and {111} planes of the copper foil can be measured but diffraction peaks of {422} planes Do not. Therefore, the calculated X-ray diffraction of the {110} plane and the {112} plane is obtained by using the geometrical relationship of the crystal orientation from the X-ray diffraction results of {200}, {220}, and {111} Find the strength. The diffraction intensity of the {110} plane can be measured directly in the same manner as the diffraction intensity of the {220} plane. In the present invention, the calculated X-ray diffraction intensity calculated from the diffraction intensity of {200}, {220} Strength is applied.

구체적으로는, {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도의 값을 다음과 같이 하여 얻는다.Specifically, the values of the calculated X-ray diffraction intensity of the {110} and {112} planes are obtained as follows.

먼저, 동박의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도 측정을 실시한다. 정극점도 측정법은, 시료를 세팅하는 고니오미터에 2 축 (α, β) 의 회전 기구가 장착되어 있으며, 이들 각도를 변경하면서 X 선 회절을 측정하는 방법이다. 그리고, X 선 회절 정극점 측정 결과 (동박의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도) 로부터 기하학적 관계를 이용하여 {110} 면 및 {112} 면의 집합도를 계산으로 구할 수 있다. 이 계산은 시판되는 소프트웨어 (예를 들어, Standard ODF (주식회사 노름 공학 제조) 를 이용하여 역극점 표현으로 변환하여 실시할 수 있다.First, the positive electrode viscosity measurement is performed on the {200}, {220}, and {111} faces of the copper foil. In the positive electrode viscosity measurement method, a two-axis (?,?) Rotation mechanism is attached to a goniometer for setting a sample, and X-ray diffraction is measured while changing these angles. Then, the degree of aggregation of the {110} plane and the {112} plane is calculated by using the geometrical relationship from the X-ray diffraction positive point measurement result (the positive electrode viscosity of {200}, {220}, and {111} . This calculation can be carried out by converting to an inverse polynomial representation using commercially available software (for example, Standard ODF (manufactured by NORMS Engineering Co., Ltd.).

{110} 면 및 {112} 면의 집합도는, 먼저 {200}, {220}, {111} 면의 정극점 측정을 실시하고, 다음으로 동일하게 하여 순동 분말 표준 시료의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점 측정을 실시한다. 그리고, {200}, {220}, {111} 면의 집합도를 각각 순동 분말 표준 시료의 {200}, {220}, {111} 면의 집합도로 규격화한다. 그리고, 이와 같이 규격화한 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도로부터 상기 소프트웨어에 의해 역극점으로 변환하여 {110} 면 및 {112} 면의 집합도 (산출 X 선 회절 강도) 를 계산한다.The aggregation diagrams of the {110} and {112} planes are obtained by first measuring the positive electrode points of the {200}, {220}, and {111} planes, 220}, and the {111} plane of the film is measured. Then, the aggregates of {200}, {220}, and {111} planes are normalized to a set of {200}, {220}, and {111} planes of the pure powdered standard sample, respectively. Then, by converting the positive electrode viscosity of the thus-standardized {200}, {220}, and {111} planes to the inverse poles by the software, the degree of aggregation (calculated X-ray diffraction intensity) of {110} .

본 발명의 압연 동박은 통상적으로 열간 압연 및 면삭 후, 냉간 압연과 어닐링을 수회 (통상적으로, 2 회 정도) 반복하고, 이어서 최종 재결정 어닐링한 후, 최종 냉간 압연하여 제조한다. 여기서, 「최종 재결정 어닐링」이란, 최종 냉간 압연 전의 어닐링 중 마지막의 것을 말한다. 또, 최종 재결정 어닐링 후의 재결정 조직을 상기 서술한 「재결정 조직」(압연 동박이 된 후의 재결정 조직) 과 구별하기 위하여 「중간 재결정 조직」이라고 칭한다. 먼저, 중간 재결정 조직을 간단하게 조정하는 방법으로는 어닐링 온도를 변경하는 것을 들 수 있다. 그러나, 단순히 최종 재결정 어닐링 온도를 높게 했을 경우, 랜덤인 방위의 재결정립이 성장하고, 재결정립이 혼립 (결정립 직경의 크기 분포의 폭이 커진다) 이 되면 최종 압연 후의 줄무늬 등의 표면 결함의 원인이 되어 바람직하지 않으므로, I{110}/I{112} 의 값을 적절히 제어하는 것이 어렵다.The rolled copper foil of the present invention is usually produced by repeating several times (usually about twice) of cold rolling and annealing after hot rolling and after machining, followed by final recrystallization annealing, followed by final cold rolling. Here, the term &quot; final recrystallization annealing &quot; refers to the last annealing before final cold rolling. The recrystallized structure after the final recrystallization annealing is referred to as &quot; intermediate recrystallized structure &quot; in order to distinguish it from the above-mentioned &quot; recrystallized structure &quot; (recrystallized structure after being rolled copper foil). First, a simple method of adjusting the intermediate recrystallized structure is to change the annealing temperature. However, when the final recrystallization annealing temperature is simply increased, recrystallized grains having a random orientation are grown, and when recrystallized grains become coarse grains (width of grain size distribution of grains becomes large), the cause of surface defects such as streaks after final rolling And therefore it is difficult to appropriately control the value of I {110} / I {112}.

한편, 최종 재결정 어닐링에서 동박에 가해지는 장력을 높게 하면, 이 장력이 구동력이 되어 중간 재결정 조직에 있어서의 결정립 직경이 커져, 압연면에 {112} 면을 많이 존재시킬 수 있다. 단 장력이 지나치게 높아지면 최종 압연 후의 압연면에 {110} 면이 감소하므로, I{110}/I{112} 의 값이 상기 범위 내가 되도록 장력의 범위를 조정하면 된다. 또, 장력의 값은 최종 재결정 어닐링 온도, 및 상기 서술한 첨가 원소의 양에 의해서도 변화하므로, 이들에 따라 장력의 값을 조정하면 된다. 또한, 장력이란 최종 재결정 어닐링을 실시하는 분위기 중에 구리 스트립을 장입 (裝入) 시켰을 때의, 최종 재결정 어닐링 분위기의 입측과 출측의 각 롤간의 장력이다. 장력의 적절한 값 (절대값) 은 어닐링 온도와 구리 스트립의 성분에 따라 변화하는 점에서, 장력을 어닐링 온도에 있어서의 재료의 내력으로 나눈 무차원의 값을 관리하는 것이 바람직하다. 또한, 종래는 반송 롤의 열화 방지 등의 목적을 위하여, 연속 어닐링로에 있어서의 장력의 값은 통상적으로 0.1 ∼ 0.15 의 범위에서 설정된다.On the other hand, if the tensile force applied to the copper foil in the final recrystallization annealing is increased, the tensile force becomes a driving force, and the crystal grain diameter in the intermediate recrystallized structure becomes large, and the {112} If the tensile strength becomes too high, the {110} plane decreases on the rolled surface after the final rolling, so that the range of the tension may be adjusted so that the value of I {110} / I {112} is within the above range. Further, the value of the tensile force also varies depending on the temperature of the final recrystallization annealing and the amount of the above-described additive element, so that the value of the tensile force can be adjusted according to them. The term "tensile force" refers to the tensile force between the rolls at the entrance side and the exit side of the final recrystallization annealing atmosphere when the copper strip is charged into the atmosphere for performing the final recrystallization annealing. It is desirable to manage a non-dimensional value of the tension divided by the proof stress of the material at the annealing temperature, in that an appropriate value (absolute value) of the tension varies depending on the annealing temperature and the composition of the copper strip. In addition, conventionally, for the purpose of preventing deterioration of the conveying roll, etc., the value of the tension in the continuous annealing furnace is usually set in the range of 0.1 to 0.15.

도 1 은, 동박의 압연면에 {112} 면을 늘리기 위한, 최종 재결정 어닐링에서 동박에 가해지는 장력을 조정하는 일례를 나타낸다. 상기 서술한 바와 같이, 장력을 높게 하면 압연면에 {112} 면이 많아지지만, 첨가 원소 (상기 서술한 Ag 등) 의 양이 증가하면 압연면에 {110} 면이 많아지므로, 보다 높은 장력을 가하지 않으면 압연면에 {112} 면의 비율이 많아지지 않는다. 따라서, 도 1 의 2 개의 선으로 둘러싸이는 영역이 바람직한 범위가 된다.Fig. 1 shows an example of adjusting the tension applied to the copper foil in the final recrystallization annealing for increasing the {112} plane on the rolled surface of the copper foil. As described above, when the tension is increased, {112} planes are increased in the rolled surface, but when the amount of the added element (Ag or the like) is increased, the {110} The ratio of the {112} plane on the rolled surface is not increased. Therefore, the area enclosed by the two lines in Fig. 1 is a preferable range.

압연 동박을 200 ℃ 에서 30 분간 가열한 후에, 적어도 일방의 표면에 있어서 I{112}/I{100} ≤ 1.0 을 만족시키면 바람직하다. 200 ℃ 에서 30 분간의 가열은, 이른바 캐스트법으로 FPC 를 제조할 때의 동박의 가열 조건을 모의한 것이다. 그리고, 이 가열로 동박이 완전히 재결정되어 미재결정 영역이 잔존하지 않는 상태이면 I{112}/I{100} ≤ 1.0 이 된다. I{112}/I{100} > 1.0 인 경우, 미재결정이 잔존하고, FPC 의 굴곡성이 열등한 경우가 있다.It is preferable that the rolled copper foil is heated at 200 占 폚 for 30 minutes and then at least one surface satisfies I {112} / I {100}? 1.0. Heating at 200 占 폚 for 30 minutes simulates the heating conditions of the copper foil when the FPC is produced by the so-called casting method. If the heating-induced copper foil is completely recrystallized and the non-recrystallized region does not remain, I {112} / I {100}? 1.0 is obtained. In the case of I {112} / I {100} &gt; 1.0, the non-recrystallization remains and the bending property of the FPC may be inferior.

압연 동박을 350 ℃ 에서 1 초간의 가열 후에 있어서, 압연 동박의 압연면의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I{200} 으로 하고, 순동 분말 시료의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I0{200} 으로 했을 때, 5.0 ≤ I{200}/I0{200} ≤ 27.0 을 만족시키는 것이 바람직하다. 재결정 후에 {001} <100> 방위 (Cube 방위) 가 발달하면 우수한 굴곡성이 얻어지므로, I{200}/I0{200} 이 높을수록 바람직하다. 5.0 > I{200}/I0{200} 이면 굴곡성이 저하되는 경우가 있다. 특히, 13.0 ≤ I{200}/I0{200} ≤ 27.0 이면 보다 바람직하다. 또한, 다른 특성과의 밸런스에서 I{200}/I0{200} > 27.0 을 실현하는 것은 공업적으로는 곤란하므로 상한을 27.0 으로 했다.After the rolled copper foil was heated at 350 占 폚 for 1 second, the X-ray diffraction intensity at the {200} plane of the rolled copper foil was taken as I {200} and the X-ray diffraction intensity at the {200} I 0 {200}? 27.0 when I 0 {200} is satisfied. When {001} &lt; 100 &gt; orientation (cube orientation) develops after recrystallization, excellent bendability is obtained, so that the higher I {200} / I 0 {200} is preferable. 5.0 &gt; I {200} / I 0 {200}, the flexibility may be lowered. In particular, if the 13.0 ≤ I {200} / I 0 {200} ≤ 27.0 is more preferable. In addition, since it is industrially difficult to realize I {200} / I 0 {200}> 27.0 in balance with other characteristics, the upper limit is set to 27.0.

<표면 처리 압연 동박><Surface treated rolled copper foil>

본 발명에 있어서 사용하는 동박은 수지 기판에 적층시켜 적층판을 제작하고, 에칭에 의해 회로를 형성함으로써 사용되는 동박에 유용하다.The copper foil used in the present invention is useful for a copper foil to be used by forming a laminate by laminating it on a resin substrate and forming a circuit by etching.

통상적으로, 동박의, 수지 기판과 접착되는 면, 즉 표면 처리측의 표면에는 적층 후 동박의 박리 강도를 향상시키는 것을 목적으로 하여, 탈지 후의 동박의 표면에 혹상의 전착을 실시하는 조화 처리가 실시되어도 된다. 본 발명에 있어서는, 이 조화 처리는 합금 도금, 특히 구리-코발트-니켈 합금 도금이나 구리-니켈-인 합금 도금 등의 구리를 함유하는 합금 도금에 의해 실시할 수 있다. 또, 본 발명에 있어서 조화 처리는 바람직하게는 구리 합금 도금에 의해 실시할 수 있다. 구리 합금 도금욕으로는 예를 들어 구리와 구리 이외의 원소를 1 종 이상 함유하는 도금욕, 보다 바람직하게는 구리와 코발트, 니켈, 비소, 텅스텐, 크롬, 아연, 인, 망간 및 몰리브덴으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 1 종 이상을 함유하는 도금욕을 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 본 발명에 있어서는 당해 조화 처리가 표면 처리면 (S) 을 형성하기 위한 표면 처리의 일례이고, 당해 조화 처리를 종래의 조화 처리보다 전류 밀도를 높게 하여, 조화 처리 시간을 단축시킨다. 조화 전의 전처리로서 통상적인 구리 도금 등이 실시되는 경우가 있고, 조화 후의 마무리 처리로서 전착물의 탈락을 방지하기 위하여 통상적인 구리 도금 등이 실시되는 경우도 있다.Conventionally, in order to improve the peel strength of the copper foil after lamination, the surface of the copper foil to be adhered to the resin substrate, that is, the surface of the surface treatment side, is subjected to a roughening treatment for electrodepositing the surface of the copper foil after degreasing . In the present invention, this roughening treatment can be carried out by alloy plating, particularly copper-containing alloy plating such as copper-cobalt-nickel alloy plating or copper-nickel-phosphorus alloy plating. In the present invention, the roughening treatment can be preferably carried out by copper alloy plating. The copper alloy plating bath includes, for example, a plating bath containing at least one element other than copper and copper, more preferably a group consisting of copper and cobalt, nickel, arsenic, tungsten, chromium, zinc, phosphorus, manganese and molybdenum Is preferably used as the plating bath. In the present invention, the coarsening treatment is an example of a surface treatment for forming the surface treatment surface S, and the coarsening treatment is made to have a higher current density than the conventional coarsening treatment, thereby shortening the coarsening treatment time. Conventional copper plating or the like may be applied as a pretreatment before conditioning, and in order to prevent electrodeposition from coming off as a post-conditioning finishing treatment, conventional copper plating may be performed.

본 발명에 있어서 사용하는 동박은, 조화 처리를 실시한 후, 또는 조화 처리를 생략하고, 내열 도금층이나 방청 도금층을 표면에 형성하고 있어도 된다.The copper foil to be used in the present invention may be formed with a heat-resistant plating layer or a rust-preventive plating layer on the surface after the roughening treatment or the roughening treatment is omitted.

표면 처리면 (S) 을 형성하는 조화 처리로서의 구리-코발트-니켈 합금 도금은, 전해 도금에 의해 부착량이 15 ∼ 40 ㎎/dm2 인 구리-100 ∼ 3000 ㎍/dm2 인 코발트-100 ∼ 1500 ㎍/dm2 인 니켈인 3 원계 합금층을 형성하도록 실시할 수 있다. Co 부착량이 100 ㎍/dm2 미만에서는 내열성이 악화되어, 에칭성이 나빠지는 경우가 있다. Co 부착량이 3000 ㎍/dm2 를 초과하면, 자성의 영향을 고려해야 하는 경우에는 바람직하지 않고, 에칭 얼룩이 생기고, 또 내산성 및 내약품성이 악화되는 경우가 있다. Ni 부착량이 100 ㎍/dm2 미만이면 내열성이 나빠지는 경우가 있다. 한편, Ni 부착량이 1500 ㎍/dm2 를 초과하면, 에칭 잔류물이 많아지는 경우가 있다. 바람직한 Co 부착량은 1000 ∼ 2500 ㎍/dm2 이고, 바람직한 니켈 부착량은 500 ∼ 1200 ㎍/dm2 이다. 여기서, 에칭 얼룩이란, 염화구리로 에칭했을 경우에 Co 가 용해되지 않고 남는 것을 의미하고, 그리고 에칭 잔류물이란 염화암모늄으로 알칼리 에칭했을 경우에 Ni 가 용해되지 않고 남는 것을 의미하는 것이다.Cobalt-copper as a roughening treatment to form a surface-treated surface (S) is a nickel alloy plating, electrolytic plating coating weight by 15 ~ 40 ㎎ / dm 2 of copper -100 to 3000 ㎍ / dm 2 of cobalt -100 to 1500 Mu] g / dm &lt; 2 &gt;. When the Co deposition amount is less than 100 / / dm 2 , the heat resistance is deteriorated and the etching property is sometimes deteriorated. When Co coating weight exceeds 3000 ㎍ / dm 2, if you take into account the influence of the magnetic, the undesirable, uneven etching occurs, there is also when the acid resistance and chemical resistance are deteriorated. If the Ni coating weight is 100 ㎍ / dm 2 under a case, heat resistance is poor. On the other hand, if the Ni deposition amount exceeds 1500 / / dm 2 , the etching residue may increase. Co preferred coating weight is 1000 ~ 2500 ㎍ / dm 2, a preferred nickel coating weight is 500 ~ 1200 ㎍ / dm 2. Here, the term "etching unevenness" means that Co remains unmelted when etching with copper chloride, and that the etching residue means that Ni remains unmelted when subjected to alkali etching with ammonium chloride.

이와 같은 3 원계 구리-코발트-니켈 합금 도금을 형성하기 위한 도금욕 및 도금 조건은 다음과 같다 : The plating bath and plating conditions for forming such a ternary copper-cobalt-nickel alloy plating are as follows:

·도금욕 조성 : Cu 10 ∼ 20 g/ℓ, Co 1 ∼ 10 g/ℓ, Ni 1 ∼ 10 g/ℓPlating bath composition: Cu 10 to 20 g / l, Co 1 to 10 g / l, Ni 1 to 10 g / l

·pH : 1 ∼ 4PH: 1 to 4

·온도 : 30 ∼ 50 ℃· Temperature: 30 ~ 50 ℃

·전류 밀도 (Dk) : 30 ∼ 45 A/dm2 Current density (D k ): 30 to 45 A / dm 2

·도금 시간 : 0.2 ∼ 1.5 초 · Plating time: 0.2 ~ 1.5 seconds

또한, 본 발명에 사용되는 디스미어 처리, 전해, 표면 처리 또는 도금 등에 사용되는 처리액의 잔부는 특별히 명기하지 않는 한 물이다.The balance of the treatment liquid used for the desmear treatment, electrolytic treatment, surface treatment or plating used in the present invention is water unless otherwise specified.

표면 처리면 (S) 을 형성하기 위해서는, 조화 처리를 생략하고, 내열 도금층이나 방청 도금층을 표면에 형성해도 되고, 이와 같은 처리로서 하기 조건의 Ni-W 합금 등의 Ni 합금 도금욕, 보다 바람직하게는 Ni 와, Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn 및 Cu 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 원소를 함유하는 합금 도금욕, 더욱더 바람직하게는 Ni 와, Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn 및 Cu 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 원소로 이루어지는 합금 도금욕에 의한 도금 처리를 사용할 수 있다. 즉, 표면 처리면 (S) 은 조화 처리를 생략하는 경우에는 Ni 합금 도금층을 가져도 되고, Ni 와 Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn 및 Cu 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 원소를 함유하는 합금 도금층을 갖는 것이 바람직하고, Ni 와, Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn 및 Cu 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 원소로 이루어지는 합금 도금층을 갖는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 조화 처리를 생략하고, 내열 도금층이나 방청 도금층을 표면에 형성하는 처리는 전류 밀도를 낮게 하고, 또한 도금 시간을 길게 할 필요가 있다.In order to form the surface-treated surface S, a heat-resistant plating layer or a rust-preventive plating layer may be formed on the surface by omitting the roughening treatment. As such treatment, a Ni alloy plating bath such as Ni- Is an alloy plating bath containing Ni and at least one element selected from the group consisting of Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn and Cu, , Mo, In, Sn, and Cu can be used as the plating bath. In other words, the surface-treated surface S may have a Ni alloy plating layer when omitting the roughening treatment, or may include at least one selected from the group consisting of Ni and Zn, W, P, Co, Mo, In, Sn and Cu It is more preferable to have an alloy plating layer containing at least one element selected from the group consisting of Ni, W, P, Co, Mo, In, Sn and Cu . In addition, it is necessary to lower the current density and increase the plating time in the process of forming the heat resistant plating layer and the anti-corrosive plating layer on the surface by omitting the roughening treatment.

·도금욕 조성 : Ni 10 ∼ 30 g/ℓ, W 5 ∼ 50 ㎎/ℓPlating bath composition: Ni 10 to 30 g / l, W 5 to 50 mg / l

·pH : 3 ∼ 5PH: 3-5

·욕온 : 40 ∼ 50 ℃· Bath temperature: 40 ~ 50 ℃

·전류 밀도 (Dk) : 0.5 ∼ 3 A/dm2 Current density (D k ): 0.5 to 3 A / dm 2

·도금 시간 : 10 ∼ 30 초 · Plating time: 10 ~ 30 seconds

또 Ni 도금욕에 의한 도금 처리를 사용할 수 있다. 또한, 조화 처리를 생략하고, 내열 도금층이나 방청 도금층을 표면에 형성하는 처리는 전류 밀도를 낮게 하고, 또한 도금 시간을 길게 할 필요가 있다.Further, a plating treatment using a Ni plating bath can be used. In addition, it is necessary to lower the current density and increase the plating time in the process of forming the heat resistant plating layer and the anti-corrosive plating layer on the surface by omitting the roughening treatment.

·도금욕 조성 : Ni 10 ∼ 40 g/ℓ· Plating bath composition: Ni 10 ~ 40 g / ℓ

·pH : 1 ∼ 4PH: 1 to 4

·욕온 : 35 ∼ 50 ℃· Bath temperature: 35 ~ 50 ℃

·전류 밀도 (Dk) : 0.2 ∼ 3 A/dm2 Current density (D k ): 0.2 to 3 A / dm 2

·도금 시간 : 5 ∼ 20 초· Plating time: 5 ~ 20 seconds

또, 조화 처리 후, 조화면 상에 부착량이 200 ∼ 3000 ㎍/dm2 인 코발트 -100 ∼ 700 ㎍/dm2 인 니켈의 코발트-니켈 합금 도금층을 형성할 수 있다. 이 처리는 넓은 의미로 일종의 방청 처리라고 볼 수 있다. 이 코발트-니켈 합금 도금층은, 동박과 기판의 접착 강도를 실질적으로 저하시키지 않을 정도로 실시할 필요가 있다. 코발트 부착량이 200 ㎍/dm2 미만에서는 내열 박리 강도가 저하되어, 내산화성 및 내약품성이 악화되는 경우가 있다. 또, 다른 하나의 이유로서, 코발트량이 적으면 처리 표면이 불그스름하게 되어 버리므로 바람직하지 않다. 코발트 부착량이 3000 ㎍/dm2 를 초과하면, 자성의 영향을 고려해야 하는 경우에는 바람직하지 않고, 에칭 얼룩이 생기는 경우가 있으며, 또 내산성 및 내약품성이 악화되는 경우가 있다. 바람직한 코발트 부착량은 500 ∼ 2500 ㎍/dm2 이다. 한편, 니켈 부착량이 100 ㎍/dm2 미만에서는 내열 박리 강도가 저하되어 내산화성 및 내약품성이 악화되는 경우가 있다. 니켈이 1300 ㎍/dm2 를 초과하면 알칼리 에칭성이 나빠진다. 바람직한 니켈 부착량은 200 ∼ 1200 ㎍/dm2 이다.Further, after the roughening treatment, the adhesion amount of the cobalt is 200 ~ 3000 ㎍ / dm 2 of cobalt -100 ~ 700 ㎍ / dm 2 of nickel on the roughened surface - it is possible to form a nickel alloy plating layer. This treatment can be regarded as a kind of rust treatment in a broad sense. This cobalt-nickel alloy plating layer needs to be carried out to such an extent that the bonding strength between the copper foil and the substrate is not substantially lowered. In the cobalt coating weight is less than 200 ㎍ / dm 2 is heat-resistant peel strength is decreased, there is a case where the oxidation resistance and chemical resistance are deteriorated. In addition, as another reason, if the amount of cobalt is small, the treated surface becomes reddish, which is not preferable. When the amount of cobalt adhering exceeds 3000 占 퐂 / dm 2 , it is not preferable when the influence of magnetic property should be considered, etching unevenness may occur, and acid resistance and chemical resistance may be deteriorated. The preferred cobalt deposition amount is 500 to 2500 [mu] g / dm &lt; 2 & gt ;. On the other hand, in the Ni coating weight is less than 100 ㎍ / dm 2 is heat-resistant peel strength is reduced, there is a case where the oxidation resistance and chemical resistance deteriorates. When the nickel exceeds 1300 / / dm 2 , the alkali etching property deteriorates. The preferred nickel coating weight is 200 ~ 1200 ㎍ / dm 2.

또, 코발트-니켈 합금 도금의 조건은 다음과 같다 :The conditions of the cobalt-nickel alloy plating are as follows:

·도금욕 조성 : Co 1 ∼ 20 g/ℓ, Ni 1 ∼ 20 g/ℓPlating bath composition: Co 1 to 20 g / l, Ni 1 to 20 g / l

·pH : 1.5 ∼ 3.5PH: 1.5 to 3.5

·온도 : 30 ∼ 80 ℃· Temperature: 30 ~ 80 ℃

·전류 밀도 (Dk) : 1.0 ∼ 20.0 A/dm2 Current density (D k ): 1.0 to 20.0 A / dm 2

·도금 시간 : 0.5 ∼ 4 초· Plating time: 0.5 to 4 seconds

본 발명에 따르면, 코발트-니켈 합금 도금 상에 추가로 부착량이 30 ∼ 250 ㎍/dm2 인 아연 도금층이 형성된다. 아연 부착량이 30 ㎍/dm2 미만에서는 내열 열화율 개선 효과가 없어지는 경우가 있다. 한편, 아연 부착량이 250 ㎍/dm2 를 초과하면 내염산 열화율이 극단적으로 나빠지는 경우가 있다. 바람직하게는, 아연 부착량은 30 ∼ 240 ㎍/dm2 이고, 보다 바람직하게는 80 ∼ 220 ㎍/dm2 이다.According to the invention, the cobalt-adhesion amount, in addition to the nickel alloy plating 30-2 250 ㎍ / dm 2 zinc plated layer is formed. When the zinc adhesion amount is less than 30 占 퐂 / dm 2 , the effect of improving the thermal deterioration rate may be lost. On the other hand, there is a case the coating weight of zinc when it is more than 250 ㎍ / dm 2 in hydrochloric acid degradation rate is extremely deteriorated by. Preferably, the zinc coating weight is 30 ~ 240 ㎍ / dm 2, and more preferably 80 ~ 220 ㎍ / dm 2.

상기 아연 도금의 조건은 다음과 같다 : The conditions of the zinc plating are as follows:

·도금욕 조성 : Zn 100 ∼ 300 g/ℓ· Plating bath composition: Zn 100 ~ 300 g / ℓ

·pH : 3 ∼ 4PH: 3 to 4

·온도 : 50 ∼ 60 ℃· Temperature: 50 ~ 60 ℃

·전류 밀도 (Dk) : 0.1 ∼ 0.5 A/dm2 Current density (D k ): 0.1 to 0.5 A / dm 2

·도금 시간 : 1 ∼ 3 초· Plating time: 1 ~ 3 seconds

또한, 아연 도금층 대신에 아연-니켈 합금 도금 등의 아연 합금 도금층을 형성해도 되고, 또한 최표면에는 크로메이트 처리나 실란 커플링제의 도포 등에 의해 방청층을 형성해도 된다.Alternatively, a zinc alloy plating layer such as a zinc-nickel alloy plating layer may be formed instead of the zinc plating layer, or a rust-preventive layer may be formed on the outermost surface by chromate treatment, application of a silane coupling agent or the like.

통상적으로, 동박 표면에 조화 처리가 실시되는 경우에는 황산구리 수용액에 있어서의 탄도금이 종래 기술이지만, 도금욕 내에 동 이외의 금속을 포함한 구리-코발트-니켈 합금 도금이나 구리-니켈-인 합금 도금 등의 합금 도금에 의해, 당해 동박과, 동박에 부착 전의 ΔB(PI) 가 50 이상 65 이하인 폴리이미드를 적층하여 구성한 구리 피복 적층판에 있어서의, 폴리이미드 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 가 50 이상이 되는 표면 처리를 실시할 수 있다.Conventionally, when the roughening treatment is applied to the surface of the copper foil, the copper foil in the aqueous solution of copper sulfate is the prior art, but copper-cobalt-nickel alloy plating or copper-nickel-phosphorus alloy plating (PI) of not less than 50 and not more than 65 before adhering to the copper foil by means of alloy plating of a color difference (JIS Z 8730) based on JIS Z 8730 on the surface of the polyimide over the copper clad laminate ? E * ab) is 50 or more.

[표면 색차 (ΔE*ab)][Surface color difference (? E * ab)]

본 발명의 표면 처리 압연 동박은, 동박에 부착 전의 하기 ΔB(PI) 가 50 이상 65 이하인 폴리이미드에 표면 처리 압연 동박의 표면 처리면 (S) 측으로부터 적층하여 구성한 구리 피복 적층판에 있어서의, 상기 폴리이미드 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 가 50 이상으로 제어되어 있다. 이와 같은 구성에 의해 배면과의 콘트라스트가 선명해져, 당해 동박을 폴리이미드 기판 너머에서 관찰했을 때의 시인성이 높아진다. 이 결과, 당해 동박을 회로 형성에 사용한 경우 등에 있어서, 당해 폴리이미드 기판을 투과하여 시인되는 위치 결정 패턴을 통하여 실시하는 IC 칩 탑재시의 위치 맞춤 등이 용이해진다. 당해 색차 (ΔE*ab) 가 50 미만이면, 배면과의 콘트라스트가 선명해지지 않을 가능성이 생긴다. 당해 색차 (ΔE*ab) 는 보다 바람직하게는 53 이상, 55 이상, 보다 바람직하게는 60 이상이다. 색차 (ΔE*ab) 의 상한은 특별히 한정할 필요는 없지만, 예를 들어 90 이하, 88 이하, 혹은 87 이하, 혹은 85 이하, 혹은 75 이하, 혹은 70 이하이다.The surface-treated, rolled copper foil of the present invention is a copper foil laminate obtained by laminating a polyimide having a? B (PI) of 50 or more and 65 or less before adhering to a copper foil from the surface- The color difference (DELTA E * ab) based on JIS Z 8730 of the surface beyond the polyimide is controlled to 50 or more. With this structure, the contrast with the back surface becomes clear, and the visibility when the copper foil is observed over the polyimide substrate is enhanced. As a result, in the case of using the copper foil for circuit formation or the like, it becomes easy to align the IC chip when mounting the IC chip through a positioning pattern which is visible through the polyimide substrate. If the color difference (DELTA E * ab) is less than 50, there is a possibility that the contrast with the back surface may not become clear. The color difference (? E * ab) is more preferably 53 or more, 55 or more, and more preferably 60 or more. The upper limit of the color difference (ΔE * ab) is not particularly limited, but is, for example, 90 or less, 88 or less, or 87 or less, or 85 or less, or 75 or less, or 70 or less.

여기서, 색차 (ΔE*ab) 는 색차계로 측정되고, 흑/백/적/녹/황/청을 가미하고, JIS Z 8730 에 기초하는 L*a*b 표색계를 이용하여 나타내는 종합 지표이며, ΔL : 흑백, Δa : 적록, Δb : 황청으로 하여 하기 식으로 나타낸다 ; Here, the color difference DELTA E * ab is an aggregate index measured by a colorimeter and represented by using an L * a * b colorimetric system based on JIS Z 8730 with black / white / red / green / : Monochrome,? A: redox, and? B: sulfur, represented by the following formula:

Figure pat00001
Figure pat00001

시인성의 효과를 향상시키기 위하여, 표면 처리면 (S) 을 형성하기 위한 표면 처리 전의 동박의 처리측 표면의 접촉식 조도계로 측정한 TD (압연 방향에 수직인 방향 (동박의 폭 방향)) 의 조도 (10 점 평균 조도 (Rz)) 및 광택도를 제어한다. 구체적으로는, 표면 처리 전 동박의 처리측 표면의 접촉식 조도계로 측정한 TD 의 표면 조도 (10 점 평균 조도 (Rz)) 가 0.20 ∼ 0.55 ㎛, 바람직하게는 0.20 ∼ 0.42 ㎛ 이다. 이와 같은 동박으로는, 압연유의 유막 당량을 조정하여 압연을 실시하거나 (고광택 압연), 압연 롤의 표면 조도 (산술 평균 조도 (Ra) (JIS B 0601 1994) 를 조정하여 압연을 실시하거나, 혹은 케미컬 에칭과 같은 화학 연마나 인산 용액 중의 전해 연마에 의해 제작한다. 이와 같이, 처리 전 동박의 처리측 표면의 접촉식 조도계로 측정한 TD 의 표면 조도 (10 점 평균 조도 (Rz)) 와 광택도를 상기 범위로 함으로써, 처리 후 동박의 표면 처리면 (S) 측의 표면 조도 (10 점 평균 조도 (Rz)) 및 표면적을 제어하기 쉽게 할 수 있다.In order to improve the effect of visibility, the roughness of the TD (the direction perpendicular to the rolling direction (the width direction of the copper foil)) measured by the contact type roughness meter on the processing side surface of the copper foil before the surface treatment for forming the surface treatment surface S (10-point average roughness (Rz)) and gloss. Specifically, the surface roughness (10-point average roughness (Rz)) of TD measured by a contact type roughness meter on the surface of the treated side of the copper foil before the surface treatment is 0.20 to 0.55 μm, preferably 0.20 to 0.42 μm. Such a copper foil may be rolled by adjusting the surface roughness (arithmetic mean roughness (Ra) (JIS B 0601 1994) of the rolling roll or rolling by adjusting the oil film equivalent of the rolling oil, (10-point average roughness (Rz)) and gloss of the TD measured by a contact type roughness meter on the surface of the treated side of the copper foil before the treatment are measured by a chemical polishing such as etching or electrolytic polishing in a phosphoric acid solution. By setting the above range, the surface roughness (10-point average roughness (Rz)) and surface area of the surface-treated surface S of the copper foil after the treatment can be easily controlled.

또, 표면 처리면 (S) 을 형성하기 위한 표면 처리 전 동박은, TD 의 60 도 광택도가 300 ∼ 910 % 이고, 500 ∼ 810 % 인 것이 보다 바람직하며, 500 ∼ 710 % 인 것이 보다 바람직하다. 표면 처리 전 동박의 TD 의 60 도 광택도가 300 % 미만이면 300 % 이상인 경우보다 상기 서술한 수지의 투명성이 불량이 될 우려가 있고, 910 % 를 초과하면 제조하는 것이 어려워진다는 문제가 생길 우려가 있다.Further, the copper foil before surface treatment to form the surface-treated surface S preferably has a 60 degree glossiness of TD of 300 to 910%, more preferably 500 to 810%, and further preferably 500 to 710% . If the 60 degree glossiness of the TD of the copper foil before the surface treatment is less than 300%, the transparency of the above-mentioned resin may become worse than that of 300% or more, and if it exceeds 910% have.

또한, 고광택 압연은 이하의 식으로 규정되는 유막 당량을 13000 ∼ 24000 이하로 함으로써 실시할 수 있다.The high gloss rolling can be carried out by setting the oil film equivalent defined by the following formula to 13000 to 24000 or less.

유막 당량 = {(압연유 점도 [cSt]) × (통판 속도 [mpm] + 롤 주속도 [mpm])}/{(롤의 물림각 [rad]) × (재료의 항복 응력 [kg/㎟])}(Yielding stress [kg / mm &lt; 2 &gt;]) of the material = {(rolling oil viscosity [cSt]) x (passing speed [mpm] + roll main speed [mpm])} }

압연유 점도 [cSt] 는 40 ℃ 에서의 동점도이다.The viscosity of the rolling oil [cSt] is the kinematic viscosity at 40 ° C.

유막 당량을 13000 ∼ 24000 으로 하기 위해서는, 저점도의 압연유를 사용하거나, 통판 속도를 느리게 하거나 하는 등, 공지된 방법을 이용하면 된다.In order to make the oil film equivalent to 13000 to 24000, it is possible to use a known method such as using low-viscosity rolling oil or slowing the passing speed.

압연 롤의 표면 조도는 예를 들어, 산술 평균 조도 (Ra) (JIS B 0601 1994) 로 0.01 ∼ 0.25 ㎛ 로 할 수 있다. 압연 롤의 산술 평균 조도 (Ra) 의 값이 큰 경우, 표면 처리면 (S) 을 형성하기 위한 표면 처리 전 동박 표면의 TD 의 조도 (Rz) 가 커지고, 표면 처리 전 동박 표면의 TD 의 60 도 광택도가 낮아지는 경향이 있다. 또, 압연 롤의 산술 평균 조도 (Ra) 의 값이 작은 경우, 표면 처리 전 동박 표면의 TD 의 조도 (Rz) 가 작아지고, 표면 처리 전 동박 표면의 TD 의 60 도 광택도가 높아지는 경향이 있다.The surface roughness of the rolled roll can be, for example, from 0.01 to 0.25 탆 in terms of arithmetic mean roughness (Ra) (JIS B 0601 1994). When the value of the arithmetic mean roughness Ra of the rolling roll is large, the roughness Rz of the TD of the surface of the copper foil before the surface treatment to form the surface S becomes large, The gloss tends to be lowered. When the value of the arithmetic average roughness Ra of the rolling roll is small, the roughness Rz of the TD on the surface of the copper foil before the surface treatment tends to be small and the 60 degree glossiness of the TD on the surface of the copper foil before the surface treatment tends to be high .

화학 연마는 황산-과산화수소-수계 또는 암모니아-과산화수소-수계 등의 에칭액으로, 통상보다 농도를 낮게 하여 장시간에 걸쳐 실시한다.The chemical polishing is carried out over a long period of time by lowering the concentration by an etching solution such as sulfuric acid-hydrogen peroxide-aqueous or ammonia-hydrogen peroxide-aqueous system.

[명도 곡선][Brightness Curve]

본 발명의 표면 처리 압연 동박은, 표면 처리면 (S) 측으로부터 당해 표면 처리 동박을 폴리이미드 수지 기판의 양면에 첩합한 후, 에칭으로 양면의 동박을 제거하고, 라인상의 마크를 인쇄한 인쇄물을 노출된 상기 폴리이미드 기판 아래에 깔고, 인쇄물을 상기 폴리이미드 기판 너머에서 CCD 카메라로 촬영했을 때, 촬영에 의해 얻어진 화상에 대해 관찰된 라인상의 마크가 신장되는 방향과 수직인 방향을 따라 관찰 지점마다의 명도를 측정하여 제작한 관찰 지점-명도 그래프에 있어서, 마크의 단부에서부터 마크가 그려져 있지 않은 부분에 걸쳐 생기는 명도 곡선의 톱 평균값 (Bt) 과 보텀 평균값 (Bb) 의 차를 ΔB (ΔB = Bt - Bb) 로 하고, 관찰 지점-명도 그래프에 있어서 명도 곡선과 Bt 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t1 로 하고, 명도 곡선과 Bt 의 교점으로부터 Bt 를 기준으로 0.1×ΔB 까지의 깊이 범위에 있어서, 명도 곡선과 0.1×ΔB 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t2 로 했을 때에, 상기 (1) 식으로 정의되는 Sv 가 3.0 이상이 된다.The surface treated rolled copper foil of the present invention is characterized in that the surface treated copper foil is adhered to both surfaces of a polyimide resin substrate from the side of the surface treatment surface (S), then the copper foils on both sides are removed by etching, When the printed material is laid under the exposed polyimide substrate and the printed matter is photographed by the CCD camera over the polyimide substrate, the mark on the line observed with respect to the image obtained by the photographing is observed along the direction perpendicular to the extending direction of the mark The difference between the top average value Bt and the bottom average value Bb of the brightness curve that occurs from the end portion of the mark to the portion where the mark is not drawn in the observation point-brightness graph produced by measuring the brightness of the mark is? B (? B = Bt - Bb), and a value indicating the position of an intersection closest to the mark on the line among the intersections of the brightness curve and Bt in the observation point-brightness graph t1 and a value indicating the position of an intersection nearest to the mark on the line among the intersection of the brightness curve and 0.1 x? B in the depth range from the intersection of the brightness curve and Bt to 0.1 x? B with respect to Bt as t2 , The Sv defined by the above formula (1) becomes 3.0 or more.

여기서, 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」, 「명도 곡선의 보텀 평균값 (Bb)」, 및 후술하는 「t1」, 「t2」, 「Sv」에 대해 도면을 이용하여 설명한다.Here, the top average value Bt of the luminosity curve, the bottom average value Bb of the luminosity curve, and t1, t2, and Sv described later will be described with reference to the drawings.

도 4 의 (a) 및 (b) 에, 마크의 폭을 약 0.3 ㎜ 로 한 경우의 Bt 및 Bb 를 정의하는 모식도를 나타낸다. 마크의 폭을 약 0.3 ㎜ 로 한 경우, 도 4 의 (a) 에 나타내는 바와 같이 V 형의 명도 곡선이 되는 경우와, 도 4 의 (b) 에 나타내는 바와 같이 저부를 갖는 명도 곡선이 되는 경우가 있다. 어떠한 경우도 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」은, 마크 양측의 단부 위치로부터 50 ㎛ 떨어진 위치로부터 30 ㎛ 간격으로 5 개 지점 (양측에서 합계 10 개 지점) 측정했을 때의 명도의 평균값을 나타낸다. 한편, 「명도 곡선의 보텀 평균값 (Bb)」은, 명도 곡선이 도 4 의 (a) 에 나타내는 바와 같이 V 형이 되는 경우에는 이 V 자의 골 (谷) 의 선단부에 있어서의 명도의 최저값을 나타내고, 도 4 의 (b) 의 저부를 갖는 경우에는 약 0.3 ㎜ 의 중심부의 값을 나타낸다.Figs. 4 (a) and 4 (b) are schematic views for defining Bt and Bb when the width of the mark is about 0.3 mm. When the width of the mark is about 0.3 mm, there is a case where the lightness curve is a V-type lightness curve as shown in Fig. 4A and a lightness curve having a bottom as shown in Fig. 4B have. In any case, the "top average value (Bt) of the brightness curve" represents an average value of brightness measured at five points (10 points on both sides) at intervals of 30 μm from a position spaced by 50 μm from the end positions on both sides of the mark . On the other hand, the "bottom average value Bb of brightness curve" indicates the minimum brightness value at the tip of the V-shaped valley when the brightness curve becomes V-shape as shown in FIG. 4 (a) , And the bottom portion of Fig. 4 (b), the value of the central portion of about 0.3 mm is shown.

또한, 마크의 폭은 1.3 ㎜, 0.2 ㎜, 0.16 ㎜, 0.1 ㎜ 정도로 해도 된다. 또한, 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」은 마크 양측의 단부 위치로부터 100 ㎛ 떨어진 위치, 300 ㎛ 떨어진 위치, 혹은 500 ㎛ 떨어진 위치로부터 각각 30 ㎛ 간격으로 5 개 지점 (양측에서 합계 10 개 지점) 측정했을 때의 명도의 평균값으로 해도 된다. 도 5 의 (a) : 「명도 곡선이 V 형인 경우」, 및 도 5 의 (b) : 「명도 곡선에 저부가 있는 경우」에 각각 마크의 폭을 약 1.3 ㎜ 로 한 경우의 Bt 및 Bb 를 정의하는 모식도를 나타낸다. 도 5 의 (a) 및 (b) 에서는, 마크 양측의 단부 위치로부터 500 ㎛ 떨어진 위치로부터 각각 30 ㎛ 간격으로 5 개 지점 (양측에서 합계 10 개 지점) 측정했을 때의 명도의 평균값을 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」으로 한다.The width of the mark may be about 1.3 mm, 0.2 mm, 0.16 mm, and 0.1 mm. The top average value (Bt) of the lightness curve was obtained by dividing a total of 10 points from both ends by a distance of 100 占 퐉 from the end positions of both sides of the mark, 300 占 퐉 apart or 500 占 퐉 apart at intervals of 30 占 퐉 ) May be an average value of brightness when measured. Bt and Bb in the case where the width of the mark is approximately 1.3 mm are defined in Fig. 5 (a): "when the brightness curve is V-shaped" and Fig. 5 Fig. 5A and 5B, an average value of brightness when measured at five points (10 points on both sides in total) at a distance of 500 mu m from the end position on both sides of the mark at intervals of 30 mu m is defined as &quot; (Bt) &quot;

도 6 에, t1 및 t2 및 Sv 를 정의하는 모식도를 나타낸다. 「t1 (픽셀 × 0.1)」은 명도 곡선과 Bt 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점을 나타낸다. 「t2 (픽셀 × 0.1)」는 명도 곡선과 Bt 의 교점으로부터 Bt 를 기준으로 0.1×ΔB 까지의 깊이 범위에 있어서, 명도 곡선과 0.1×ΔB 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점을 나타낸다. 이 때, t1 및 t2 를 연결하는 선으로 나타내는 명도 곡선의 기울기에 대해서는, y 축 방향으로 0.1×ΔB, x 축 방향으로 (t1 - t2) 로 계산되는 Sv (계조/픽셀 × 0.1) 로 정의된다. 또한, 가로축의 1 픽셀은 10 ㎛ 길이에 상당한다. 또, Sv 는 마크의 양측을 측정하고, 작은 값을 채용한다. 또한, 명도 곡선의 형상이 불안정하여 상기 「명도 곡선과 Bt 의 교점」이 복수 존재하는 경우에는 가장 마크에 가까운 교점을 채용한다.Fig. 6 shows a schematic diagram defining t1 and t2 and Sv. &Quot; t1 (pixel x 0.1) &quot; indicates an intersection closest to the line mark among intersections of the brightness curve and Bt. "T2 (pixel x 0.1)" represents an intersection closest to the line-shaped mark among the intersections of the brightness curve and 0.1 × ΔB in the depth range of 0.1 × ΔB with respect to Bt from the intersection of the brightness curve and Bt. At this time, the slope of the brightness curve represented by the line connecting t1 and t2 is defined as Sv (grayscale / pixel x 0.1) calculated by 0.1 x? B in the y axis direction and (t1 - t2) in the x axis direction . Further, one pixel on the horizontal axis corresponds to a length of 10 mu m. Sv measures both sides of the mark and employs a small value. Further, when the shape of the brightness curve is unstable and a plurality of "intersection points of the brightness curve and Bt" exist, an intersection nearest to the mark is adopted.

CCD 카메라로 촬영한 상기 화상에 있어서, 마크가 붙어 있지 않은 부분에서는 높은 명도가 되지만, 마크 단부에 도달하자마자 명도가 저하된다. 폴리이미드 기판의 시인성이 양호하면, 이와 같은 명도의 저하 상태가 명확하게 관찰된다. 한편, 폴리이미드 기판의 시인성이 불량이면, 명도가 마크 단부 부근에서 단번에 「고」에서부터 「저」로 갑자기 내려가지 않고, 저하의 상태가 완만해져 명도의 저하 상태가 불명확해져 버린다.In the image photographed by the CCD camera, a high brightness is obtained in a portion not marked, but the brightness is reduced as soon as it reaches the end of the mark. When the visibility of the polyimide substrate is good, such a state of decrease in brightness is clearly observed. On the other hand, if the visibility of the polyimide substrate is poor, the brightness does not suddenly drop from "high" to "low" at once in the vicinity of the mark end, and the state of degradation becomes gentle and the state of decrease in brightness becomes unclear.

본 발명은 이와 같은 지견에 기초하여, 본 발명의 표면 처리 압연 동박을 첩합하여 제거한 폴리이미드 기판에 대해, 마크를 붙인 인쇄물을 아래에 놓고, 폴리이미드 기판 너머에서 CCD 카메라로 촬영한 상기 마크 부분의 화상으로부터 얻어지는 관찰 지점-명도 그래프에 있어서 그려지는 마크 단부 부근의 명도 곡선의 기울기를 제어하고 있다. 보다 상세하게는, 명도 곡선의 톱 평균값 (Bt) 과 보텀 평균값 (Bb) 의 차를 ΔB (ΔB = Bt - Bb) 로 하고, 관찰 지점-명도 그래프에 있어서, 명도 곡선과 Bt 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t1 로 하고, 명도 곡선과 Bt 의 교점으로부터 Bt 를 기준으로 0.1×ΔB 까지의 깊이 범위에 있어서, 명도 곡선과 0.1×ΔB 의 교점 중 상기 라인상 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t2 로 했을 때에, 상기 (1) 식으로 정의되는 Sv 가 3.0 이상이 된다. 이와 같은 구성에 의하면, 기판 수지의 종류나 두께의 영향을 받지 않고, CCD 카메라에 의한 폴리이미드 너머의 마크의 식별력이 향상된다. 이 때문에, 시인성이 우수한 폴리이미드 기판을 제작할 수 있고, 전자 기판 제조 공정 등에서 폴리이미드 기판에 소정의 처리를 실시하는 경우의 마킹에 의한 위치 결정 정밀도가 향상되고, 이것에 의해 수율이 향상되는 등의 효과가 얻어진다. Sv 는 바람직하게는 3.5 이상, 바람직하게는 4.0 이상이다. Sv 의 상한은 특별히 한정할 필요는 없지만, 예를 들어 15 이하, 10 이하이다. 이와 같은 구성에 의하면, 마크와 마크가 아닌 부분의 경계가 보다 명확해져, 위치 결정 정밀도가 향상되어, 마크 화상 인식에 의한 오차가 적어져, 보다 정확하게 위치 맞춤이 가능해진다.On the basis of this finding, the present invention is based on such a finding that, with respect to the polyimide substrate on which the surface-treated rolled copper foil of the present invention is removed by coalescence, the printed material with the mark is placed under the polyimide substrate, The inclination of the brightness curve near the mark end portion drawn in the observation point-brightness graph obtained from the image is controlled. More specifically, assuming that the difference between the top average value Bt of the brightness curve and the bottom average value Bb is DELTA B (DELTA B = Bt - Bb), in the observation point- A value indicating the position of the intersection closest to the image mark is t1 and a value indicating the position of the intersection of the brightness curve and 0.1 x? B from the intersection of the brightness curve and Bt to the depth of 0.1 x? And the value indicating the position of the intersection closest to the center of gravity is t2, the Sv defined by the above formula (1) becomes 3.0 or more. According to this structure, the discrimination power of the mark beyond the polyimide by the CCD camera can be improved without being influenced by the type and thickness of the substrate resin. Therefore, it is possible to manufacture a polyimide substrate having excellent visibility, and it is possible to improve positioning accuracy by marking when a predetermined process is performed on a polyimide substrate in an electronic substrate manufacturing process or the like, thereby improving the yield Effect is obtained. Sv is preferably not less than 3.5, preferably not less than 4.0. The upper limit of Sv is not particularly limited, but is, for example, 15 or less and 10 or less. According to such a configuration, the boundary between the mark and the non-mark portion becomes more clear, the positioning accuracy is improved, the error caused by the mark image recognition is reduced, and more precise alignment is possible.

그 때문에, 본 발명의 실시형태에 관련된 동박을 프린트 배선판에 사용한 경우, 1 개의 프린트 배선판과 다른 1 개의 프린트 배선판을 접속시킬 때에 접속 불량이 저감되어, 수율이 향상된다고 생각된다.Therefore, when the copper foil according to the embodiment of the present invention is used for a printed wiring board, it is considered that the connection defect is reduced and yield is improved when one printed wiring board is connected to another printed wiring board.

입자 형성시 등의 표면 처리시의 전류 밀도와 도금 시간을 제어함으로써, 표면 처리 후의 동박의 표면 처리면 (S) 의 입자의 형태나 형성 밀도, 표면의 요철 상태 등의 표면 상태가 정해져, 상기 Sv, 표면 조도 (Rz), 폴리이미드 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab), 및 광택도를 제어할 수 있다.By controlling the current density and the plating time at the time of surface treatment such as formation of particles, the surface state of the surface treated surface S of the surface-treated copper foil, such as the shape and density of the particles and the surface irregularities of the surface, , Surface roughness (Rz), color difference (? E * ab) based on JIS Z 8730 of the surface beyond the polyimide, and glossiness can be controlled.

본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 가 0.35 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은 표면 처리되어 있는 것이 보다 바람직하다. 이와 같은 구성에 의해, 동박과 보호 필름 사이의 접촉 면적을 보다 늘림으로써, 수지 기판과의 적층 공정시의 동박에 보호 필름이 첩부 (貼付) 되어 버린다는 문제를 보다 양호하게 억제할 수 있다. 본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 가 0.40 ㎛ 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.50 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하며, 0.60 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하고, 0.80 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 의 상한은 특별히 한정할 필요는 없지만, 전형적으로는 4.0 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 3.0 ㎛ 이하이며, 보다 전형적으로는 2.5 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 2.0 ㎛ 이하이다.The surface-treated copper foil of the present invention is characterized in that the ten-point average roughness (Rz) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / ) Is 0.35 탆 or more. The surface of the copper foil other than the surface-treated surface S of the surface-treated copper foil of the present invention is more preferably surface-treated. With this configuration, it is possible to further suppress the problem that the protective film is stuck to the copper foil in the lamination step with the resin substrate by further increasing the contact area between the copper foil and the protective film. The surface-treated copper foil of the present invention is characterized in that the ten-point average roughness (Rz) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / More preferably 0.40 mu m or more, still more preferably 0.50 mu m or more, still more preferably 0.60 mu m or more, and still more preferably 0.80 mu m or more. Further, the 10-point average roughness (TD) of the surface treated surface S of the surface-treated copper foil of the present invention and / or TD measured by a laser microscope having a laser beam wavelength of 405 nm on the surface of the copper surface other than the surface- Rz) is not particularly limited, but is typically 4.0 μm or less, more typically 3.0 μm or less, more typically 2.5 μm or less, and more typically 2.0 μm or less.

본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 가 0.05 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은 표면 처리되어 있는 것이 보다 바람직하다. 이와 같은 구성에 의해, 동박과 보호 필름 사이의 접촉 면적을 보다 늘림으로써, 수지 기판과의 적층 공정시의 동박에 보호 필름이 첩부되어 버린다는 문제를 보다 양호하게 억제할 수 있다. 본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 가 0.08 ㎛ 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.10 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하며, 0.20 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하고, 0.30 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 의 상한은 특별히 한정할 필요는 없지만, 전형적으로는 0.80 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 0.65 ㎛ 이하이며, 보다 전형적으로는 0.50 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 0.40 ㎛ 이하이다.The surface-treated copper foil of the present invention has an arithmetic average roughness (Ra) of TD measured by a laser microscope having a wavelength of laser light of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface (S) Is preferably 0.05 m or more. The surface of the copper foil other than the surface-treated surface S of the surface-treated copper foil of the present invention is more preferably surface-treated. With this configuration, it is possible to further suppress the problem that the protective film is attached to the copper foil in the lamination step with the resin substrate by further increasing the contact area between the copper foil and the protective film. The surface-treated copper foil of the present invention has an arithmetic average roughness (Ra) of TD measured by a laser microscope having a wavelength of laser light of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface (S) More preferably 0.08 mu m or more, still more preferably 0.10 mu m or more, still more preferably 0.20 mu m or more, still more preferably 0.30 mu m or more. The arithmetic average roughness (Ra) of the TD measured by a laser microscope with a wavelength of 405 nm of the laser light of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / or the surface-treated surface S of the surface- ) Is not particularly limited, but is typically 0.80 mu m or less, more typically 0.65 mu m or less, more typically 0.50 mu m or less, and more typically 0.40 mu m or less.

본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 가 0.08 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은 표면 처리되어 있는 것이 보다 바람직하다. 이와 같은 구성에 의해, 동박과 보호 필름 사이의 접촉 면적을 보다 늘림으로써, 수지 기판과의 적층 공정시의 동박에 보호 필름이 첩부되어 버린다는 문제를 보다 양호하게 억제할 수 있다. 본 발명의 표면 처리 동박은, 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 가 0.10 ㎛ 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.15 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하며, 0.20 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하고, 0.30 ㎛ 이상인 것이 더욱더 바람직하다. 또한, 본 발명의 표면 처리 동박의 상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 의 상한은 특별히 한정을 할 필요는 없지만, 전형적으로는 0.80 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 0.60 ㎛ 이하이며, 보다 전형적으로는 0.50 ㎛ 이하이고, 보다 전형적으로는 0.40 ㎛ 이하이다.The surface-treated copper foil of the present invention is characterized in that the square root mean square height (Rq) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / ) Is preferably 0.08 mu m or more. The surface of the copper foil other than the surface-treated surface S of the surface-treated copper foil of the present invention is more preferably surface-treated. With this configuration, it is possible to further suppress the problem that the protective film is attached to the copper foil in the lamination step with the resin substrate by further increasing the contact area between the copper foil and the protective film. The surface-treated copper foil of the present invention is characterized in that the square root mean square height (Rq) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface of the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S and / ) Is more preferably 0.10 占 퐉 or more, more preferably 0.15 占 퐉 or more, still more preferably 0.20 占 퐉 or more, and still more preferably 0.30 占 퐉 or more. The square root mean square root height of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface-treated surface S of the surface-treated copper foil of the present invention and / or the surface of the copper foil other than the surface- Rq) is not particularly limited, but is typically 0.80 mu m or less, more typically 0.60 mu m or less, more typically 0.50 mu m or less, and more typically 0.40 mu m or less.

상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은, 표면 처리로서 도금 (정상 도금, 조화 도금이 아닌 도금) 에 의해 내열층 또는 방청층을 형성하는 처리가 실시되어도 된다. 또, 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은 표면 처리로서 조화 처리가 실시되어도 된다.The surface of the copper foil other than the surface-treated surface S may be subjected to a treatment for forming a heat-resistant layer or rust-preventive layer by plating (normal plating, plating instead of plating) as a surface treatment. The surface of the copper foil other than the surface-treated surface S may be roughened as a surface treatment.

조화 처리에 대해서는, 예를 들어 황산구리와 황산 수용액을 포함하는 도금액을 이용하여 조화 처리를 실시해도 되고, 또 황산구리와 황산 수용액으로 이루어지는 도금액을 이용하여 조화 처리를 실시해도 된다. 구리-코발트-니켈 합금 도금이나 구리-니켈-인 합금 도금, 니켈-아연 합금 도금 등의 합금 도금이어도 된다. 또, 바람직하게는 구리 합금 도금에 의해 실시할 수 있다. 구리 합금 도금욕으로는 예를 들어 구리와 구리 이외의 원소를 1 종 이상 포함하는 도금욕, 보다 바람직하게는 구리와 코발트, 니켈, 비소, 텅스텐, 크롬, 아연, 인, 망간 및 몰리브덴으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 1 종 이상을 포함하는 도금욕을 사용하는 것이 바람직하다.For the roughening treatment, for example, a roughening treatment may be performed using a plating solution containing copper sulfate and an aqueous sulfuric acid solution, or the roughening treatment may be performed using a plating solution comprising an aqueous solution of copper sulfate and an aqueous solution of sulfuric acid. It may be an alloy plating such as a copper-cobalt-nickel alloy plating, a copper-nickel-phosphorus alloy plating or a nickel-zinc alloy plating. It is also preferable to conduct the plating by copper alloy plating. The copper alloy plating bath includes, for example, a plating bath containing at least one element other than copper and copper, more preferably a group consisting of copper and cobalt, nickel, arsenic, tungsten, chromium, zinc, phosphorus, manganese and molybdenum Is used as the plating bath.

또, 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면에 대해 상기 조화 처리 이외의 조화 처리를 사용해도 되고, 조화 처리가 아닌 경우에도 상기 도금 처리 이외의 표면 처리를 사용해도 된다.The roughening treatment other than the roughening treatment may be used for the surface of the copper foil other than the surface treatment surface S, or the surface treatment other than the plating treatment may be used even when the roughening treatment is not performed.

또, 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면은 표면에 요철을 형성하기 위한 표면 처리가 실시되어도 된다.The surface of the copper foil other than the surface treated surface S may be subjected to a surface treatment for forming irregularities on the surface.

표면에 요철을 형성하기 위한 표면 처리로는, 전해 연마에 의한 표면 처리를 실시해도 된다. 예를 들어, 황산구리와 황산 수용액으로 이루어지는 용액 중에서 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면을 전해 연마함으로써, 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면에 요철을 형성시킬 수 있다. 일반적으로 전해 연마는 평활화를 목적으로 하지만, 본 발명의 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 표면 처리에서는 전해 연마에 의해 요철을 형성하므로 통상과는 반대의 생각이다. 전해 연마에 의해 요철을 형성하는 방법은 공지된 기술로 실시해도 된다. 상기 요철을 형성하기 위한 전해 연마의 공지된 기술의 예로는 일본 공개특허공보 2005-240132, 일본 공개특허공보 2010-059547, 일본 공개특허공보 2010-047842 에 기재된 방법을 들 수 있다. 전해 연마로 요철을 형성시키는 처리의 구체적인 조건으로는, 예를 들어 As the surface treatment for forming the irregularities on the surface, surface treatment by electrolytic polishing may be performed. For example, irregularities can be formed on the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S by electrolytically polishing the surface of the copper foil other than the surface-treated surface S in a solution composed of copper sulfate and an aqueous solution of sulfuric acid. Generally, electrolytic polishing is aimed at smoothing, but in the surface treatment of the surface of the copper foil other than the surface treatment surface S of the present invention, irregularities are formed by electrolytic polishing, which is contrary to the usual practice. The method of forming the irregularities by electrolytic polishing may be carried out by a known technique. Examples of known techniques of electrolytic polishing for forming the irregularities include the methods described in JP-A-2005-240132, JP-A-2010-059547, and JP-A-2010-047842. Specific conditions for the process of forming the concavities and convexities by electrolytic polishing include, for example,

·처리 용액 : Cu : 5 ∼ 40 g/ℓ, H2SO4 : 50 ∼ 150 g/ℓ, 온도 : 30 ∼ 70 ℃Treatment solution: Cu: 5 to 40 g / l, H 2 SO 4 : 50 to 150 g / l, Temperature: 30 to 70 ° C

·전해 연마 전류 : 10 ∼ 50 A/dm2 Electrolytic polishing current: 10 to 50 A / dm 2

·전해 연마 시간 : 5 ∼ 20 초 Electrolytic polishing time: 5 to 20 seconds

등을 들 수 있고, 보다 구체적으로는 예를 들어,Etc. More specifically, for example,

·처리 용액 : Cu : 20 g/ℓ, H2SO4 : 100 g/ℓ, 온도 : 50 ℃Treatment solution: Cu: 20 g / l, H 2 SO 4 : 100 g / l, temperature: 50 ° C

·전해 연마 전류 : 15 A/dm2 Electrolytic polishing current: 15 A / dm 2

·전해 연마 시간 : 15 초 Electrolytic polishing time: 15 seconds

등을 들 수 있다.And the like.

표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면에 요철을 형성시키기 위한 표면 처리로는, 예를 들어 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면을 기계 연마함으로써 요철을 형성해도 된다. 기계 연마는 공지된 기술로 실시해도 된다.As the surface treatment for forming the irregularities on the surface of the copper foil other than the surface treatment surface S, for example, the surface of the copper foil other than the surface treatment surface S may be mechanically polished to form irregularities. The mechanical polishing may be performed by a known technique.

또한, 본 발명의 표면 처리 동박에 있어서의 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 표면 처리 후에, 내열층이나 방청층이나 내후성층을 형성해도 된다. 내열층이나 방청층 및 내후성층은 상기 기재나 실험예에 기재된 방법이어도 되지만, 공지된 기술의 방법이어도 된다.Further, after the surface treatment of the surface of the copper foil other than the surface treatment surface S of the surface-treated copper foil of the present invention, a heat-resistant layer, rust-preventive layer or weather-resistant layer may be formed. The heat-resistant layer, the rust-preventive layer, and the weather-resistant layer may be the methods described in the above description of the base material or the experimental example, but may be a known technique.

본 발명의 표면 처리 압연 동박을 표면 처리면 (S) 측으로부터 수지 기판에 첩합하여 적층판을 제조할 수 있다. 수지 기판은 프린트 배선판 등에 적용할 수 있는 특성을 갖는 것이면 특별히 제한을 받지 않지만, 예를 들어 리지드 PWB 용으로 종이 기재 페놀 수지, 종이 기재 에폭시 수지, 합성 섬유포 기재 에폭시 수지, 유리포·종이 복합 기재 에폭시 수지, 유리포·유리 부직포 복합 기재 에폭시 수지 및 유리포 기재 에폭시 수지 등을 사용하고, FPC 용으로 폴리에스테르 필름이나 폴리이미드 필름, 액정 폴리머 (LCP) 필름, 테플론 (등록상표) 필름 등을 사용할 수 있다.Treated copper foil of the present invention can be bonded to a resin substrate from the surface-treated surface (S) side to produce a laminated board. The resin substrate is not particularly limited as long as it has properties that can be applied to a printed wiring board and the like. For example, for a rigid PWB, a paper base phenol resin, a paper base epoxy resin, a synthetic fiber base epoxy resin, A polyester film, a polyimide film, a liquid crystal polymer (LCP) film, a Teflon (registered trademark) film, or the like can be used for an FPC using a resin, glass / glass nonwoven composite substrate epoxy resin, have.

첩합의 방법은, 리지드 PWB 용의 경우 유리포 등의 기재에 수지를 함침시켜, 수지를 반경화 상태까지 경화시킨 프리프레그를 준비한다. 동박을 피복층의 반대측의 면으로부터 프리프레그에 겹쳐서 가열 가압시킴으로써 실시할 수 있다. FPC 의 경우, 폴리이미드 필름 등의 기재에 접착제를 개재하여, 또는 접착제를 사용하지 않고 고온 고압하에서 동박에 적층 접착하거나, 또는 폴리이미드 전구체를 도포·건조·경화 등을 실시함으로써 적층판을 제조할 수 있다.In the case of a rigid PWB, prepregs prepared by impregnating a base material such as a glass foil with a resin and hardening the resin to a semi-hardened state are prepared. The copper foil is superimposed on the prepreg from the opposite surface side of the coating layer and is heated and pressed. In the case of FPC, a laminated board can be produced by laminating a laminate to a base material such as a polyimide film with an adhesive or without using an adhesive under high temperature and high pressure, or by applying a polyimide precursor, drying and curing have.

폴리이미드 기재 수지의 두께는 특별히 제한을 받는 것은 아니지만, 일반적으로 25 ㎛ 나 50 ㎛ 를 들 수 있다.The thickness of the polyimide base resin is not particularly limited, but it is generally 25 占 퐉 or 50 占 퐉.

본 발명의 적층판은 각종 프린트 배선판 (PWB) 에 사용 가능하고, 특별히 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어 도체 패턴의 층수의 관점에서는 편면 PWB, 양면 PWB, 다층 PWB (3 층 이상) 에 적용 가능하고, 절연 기판 재료의 종류의 관점에서는 리지드 PWB, 플렉시블 PWB (FPC), 리지드·플렉스 PWB 에 적용 가능하다.The laminate of the present invention can be applied to various printed wiring boards (PWB), and is not particularly limited. For example, it is applicable to single-sided PWB, double-sided PWB, multilayer PWB (three or more layers) The present invention is applicable to Rigid PWB, Flexible PWB (FPC) and Rigid Flex PWB from the viewpoint of kinds of insulating substrate materials.

(적층판 및 그것을 사용한 프린트 배선판의 위치 결정 방법)(Method of positioning a laminated board and a printed wiring board using the same)

본 발명의 표면 처리 압연 동박과 수지 기판의 적층판의 위치 결정을 하는 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 표면 처리 압연 동박과 수지 기판의 적층판을 준비한다. 본 발명의 표면 처리 압연 동박과 수지 기판의 적층판의 구체예로는, 본체 기판과 부속의 회로 기판과, 그들을 전기적으로 접속시키기 위해서 사용되는, 폴리이미드 등의 수지 기판의 적어도 일방의 표면에 구리 배선이 형성된 플렉시블 프린트 기판으로 구성되는 전자 기기에 있어서, 플렉시블 프린트 기판을 정확하게 위치 결정하고 당해 본체 기판 및 부속의 회로 기판의 배선 단부에 압착시켜 제작되는 적층판을 들 수 있다. 즉, 이 경우라면 적층판은 플렉시블 프린트 기판 및 본체 기판의 배선 단부가 압착에 의해 첩합된 적층판, 혹은 플렉시블 프린트 기판 및 회로 기판의 배선 단부가 압착에 의해 첩합된 적층판이 된다. 적층판은 당해 구리 배선의 일부나 별도 재료로 형성한 마크를 갖고 있다. 마크의 위치에 대해서는, 당해 적층판을 구성하는 수지 기판 너머에서 CCD 카메라 등의 촬영 수단으로 촬영 가능한 위치이면 특별히 한정되지 않는다.A method of positioning the surface-treated rolled copper foil of the present invention and the laminated board of the resin substrate will be described. First, a laminate of a surface-treated rolled copper foil and a resin substrate is prepared. Specific examples of the laminate of the surface-treated rolled copper foil and the resin substrate of the present invention include a laminate of a copper substrate and at least one resin substrate such as polyimide, In which the flexible printed board is precisely positioned and pressed onto the end of the circuit board of the main board and the circuit board to which the flexible printed board is attached. That is, in this case, the laminated board is a laminated board in which the wiring end portions of the flexible printed board and the main board are bonded by compression bonding, or a laminated board in which the wiring end portions of the flexible printed board and the circuit board are bonded by press bonding. The laminated board has a mark formed of a part of the copper wiring or a separate material. The position of the mark is not particularly limited as far as it can be photographed by a photographing means such as a CCD camera or the like beyond the resin substrate constituting the laminated plate.

이와 같이 준비된 적층판에 있어서, 상기 서술한 마크를 수지 기판 너머에서 촬영 수단으로 촬영하면, 상기 마크의 위치를 양호하게 검출할 수 있다. 그리고, 이와 같이 하여 상기 마크의 위치를 검출하고, 상기 검출된 마크의 위치에 기초하여 표면 처리 압연 동박과 수지 기판의 적층판의 위치 결정을 양호하게 실시할 수 있다. 또, 적층판으로서 프린트 배선판을 사용한 경우도 동일하게, 이와 같은 위치 결정 방법에 의해 촬영 수단이 마크의 위치를 양호하게 검출하여, 프린트 배선판의 위치 결정을 보다 정확하게 실시할 수 있다.In the thus prepared laminate, when the mark described above is photographed by the photographing means over the resin substrate, the position of the mark can be detected satisfactorily. Then, the position of the mark is detected in this way, and the positioning of the laminate of the surface treated rolled copper foil and the resin substrate can be favorably performed based on the detected position of the mark. Also in the case where a printed wiring board is used as the laminated board, the position of the mark is well detected by the photographing means by such a positioning method, and the positioning of the printed wiring board can be performed more accurately.

그 때문에, 1 개의 프린트 배선판과 다른 1 개의 프린트 배선판을 접속시킬 때에 접속 불량이 저감되어 수율이 향상된다고 생각된다. 또한, 1 개의 프린트 배선판과 다른 1 개의 프린트 배선판을 접속시키는 방법으로는 납땜이나 이방성 도전 필름 (Anisotropic Conductive Film, ACF) 을 개재시킨 접속, 이방성 도전 페이스트 (Anisotropic Conductive Paste, ACP) 를 개재시킨 접속 또는 도전성을 갖는 접착제를 개재시킨 접속 등 공지된 접속 방법을 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 있어서, 「프린트 배선판」에는 부품이 장착된 프린트 배선판 및 프린트 회로판 및 프린트 기판도 포함되는 것으로 한다. 또, 본 발명의 프린트 배선판을 2 개 이상 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조할 수 있고, 또 본 발명의 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 본 발명의 프린트 배선판 또는 본 발명의 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시킬 수 있고, 이와 같은 프린트 배선판을 이용하여 전자 기기를 제조할 수도 있다. 또, 본 발명의 프린트 배선판의 제조 방법은, 본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판과 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함해도 된다. 또, 본 발명의 프린트 배선판의 제조 방법은, 본 발명의 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 본 발명의 프린트 배선판 또는 본 발명의 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시켜 프린트 배선판 A 를 제조하는 공정, 및 상기 프린트 배선판 A 와 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함해도 된다. 또, 본 발명의 프린트 배선판의 제조 방법은, 본 발명의 프린트 배선판, 본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판, 및 본 발명의 프린트 배선판 혹은 본 발명의 방법으로 제작된 프린트 배선판의 어느 것에도 해당하지 않는 프린트 배선판으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 프린트 배선판과, 본 발명의 방법으로 제조된 프린트 배선판을 접속시켜 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법이어도 된다. 또한, 본 발명에 있어서, 「구리 회로」에는 구리 배선도 포함되는 것으로 한다.Therefore, it is considered that when one printed wiring board is connected to another printed wiring board, defective connection is reduced and the yield is improved. As a method for connecting one printed wiring board to another printed wiring board, a method of connecting via anisotropic conductive film (ACF), anisotropic conductive paste (ACP) A known connection method such as connection through an adhesive having conductivity can be used. In the present invention, the &quot; printed wiring board &quot; includes a printed wiring board on which components are mounted, a printed circuit board, and a printed board. It is also possible to manufacture a printed wiring board to which two or more printed wiring boards are connected by connecting two or more printed wiring boards according to the present invention and also to at least one printed wiring board of the present invention and another printed wiring board of the present invention A printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention can be connected, and an electronic apparatus can be manufactured by using such a printed wiring board. The method for manufacturing a printed wiring board of the present invention may include at least a step of connecting a printed wiring board manufactured by the method of the present invention to a component. The method for manufacturing a printed wiring board of the present invention is a method for manufacturing a printed wiring board A by connecting at least one printed wiring board of the present invention and another printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention And a step of connecting the printed wiring board A to the component. The method for producing a printed wiring board of the present invention is not limited to any of the printed wiring board of the present invention, the printed wiring board produced by the method of the present invention, and the printed wiring board of the present invention or the printed wiring board manufactured by the method of the present invention A printed wiring board selected from the group consisting of non-printed wiring boards, and a printed wiring board produced by the method of the present invention may be connected to each other to manufacture a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected. In the present invention, the "copper circuit" is also assumed to include a copper wiring.

또한, 본 발명의 실시형태에 관련된 위치 결정 방법은 적층판 (동박과 수지 기판의 적층판이나 프린트 배선판을 포함한다) 을 이동시키는 공정을 포함하고 있어도 된다. 이동 공정에 있어서는 예를 들어 벨트 컨베이어나 체인 컨베이어 등의 컨베이어에 의해 이동시켜도 되고, 아암 기구를 구비한 이동 장치에 의해 이동시켜도 되고, 기체를 이용하여 적층판을 부유시킴으로써 이동시키는 이동 장치나 이동 수단에 의해 이동시켜도 되고, 대략 원통형 등의 것을 회전시켜 적층판을 이동시키는 이동 장치나 이동 수단 (롤러나 베어링 등을 포함한다), 유압을 동력원으로 한 이동 장치나 이동 수단, 공기압을 동력원으로 한 이동 장치나 이동 수단, 모터를 동력원으로 한 이동 장치나 이동 수단, 갠트리 이동형 리니어 가이드 스테이지, 갠트리 이동형 에어 가이드 스테이지, 스택형 리니어 가이드 스테이지, 리니어 모터 구동 스테이지 등의 스테이지를 갖는 이동 장치나 이동 수단 등에 의해 이동시켜도 된다. 또, 공지된 이동 수단에 의한 이동 공정을 실시해도 된다.Further, the positioning method according to the embodiment of the present invention may include a step of moving the laminate (including a laminate of a copper foil and a resin substrate or a printed wiring board). In the transferring process, for example, it may be moved by a conveyor such as a belt conveyor or a chain conveyor, or may be moved by a moving device having an arm mechanism, or may be moved by a moving device or a moving device (Including rollers, bearings, and the like) for moving the laminate by rotating a substantially cylindrical or the like, a moving device or a moving device using hydraulic pressure as a power source, a moving device using air pressure as a power source, A moving device or a moving device having a stage such as a moving device or a moving device using a motor as a power source, a linear guide stage for moving a gantry, a gantry moving air guide stage, a stacked linear guide stage, a linear motor driving stage, do. Also, a moving process by a known moving means may be carried out.

또한, 본 발명의 실시형태에 관련된 위치 결정 방법은 표면 실장기나 칩 마운터에 사용해도 된다.The positioning method according to the embodiment of the present invention may be used in a surface mount machine or a chip mounter.

또, 본 발명에 있어서 위치 결정되는 표면 처리 압연 동박과 수지 기판의 적층판이 수지판 및 상기 수지판 상에 형성된 회로를 갖는 프린트 배선판이어도 된다. 또, 그 경우 상기 마크가 상기 회로이어도 된다.The laminate of the surface-treated rolled copper foil and the resin substrate positioned in the present invention may be a printed wiring board having a resin plate and a circuit formed on the resin plate. In this case, the mark may be the above circuit.

본 발명에 있어서 「위치 결정」이란 「마크나 물건의 위치를 검출하는 것」을 포함한다. 또, 본 발명에 있어서 「위치 맞춤」이란, 「마크나 물건의 위치를 검출한 후에, 상기 검출한 위치에 기초하여 당해 마크나 물건을 소정의 위치로 이동시키는 것」을 포함한다.In the present invention, &quot; positioning &quot; includes &quot; detecting the position of a mark or an object &quot;. In the present invention, &quot; alignment &quot; includes &quot; moving a mark or an object to a predetermined position based on the detected position after detecting the position of the mark or object &quot;.

또한, 프린트 배선판에 있어서는, 인쇄물의 마크 대신에 프린트 배선판 상의 회로를 마크로 하여, 수지 기판 너머에서 당해 회로를 CCD 카메라로 촬영하여 Sv 의 값을 측정할 수 있다. 또, 구리 피복 적층판에 대해서는, 구리를 에칭에 의해 라인상으로 한 후에, 인쇄물의 마크 대신에 당해 라인상으로 한 구리를 마크로 하여, 수지 기판 너머에서 당해 라인상으로 한 구리를 CCD 카메라로 촬영하여 Sv 의 값을 측정할 수 있다.Further, in the printed wiring board, the circuit on the printed wiring board may be used as a mark instead of the mark of the printed material, and the circuit may be photographed with a CCD camera over the resin substrate to measure the value of Sv. Copper clad laminate was prepared by etching copper to form a line, then, instead of the mark of the printed material, the copper in the form of the line was used as a mark, and copper on the line above the resin substrate was photographed with a CCD camera The value of Sv can be measured.

[실시예][Example]

<압연 동박의 제조><Production of rolled copper foil>

표 1 에 나타내는 조성의 원소를 첨가한 터프 피치 구리 또는 무산소구리를 원료로 하여 두께 100 ㎜ 의 잉곳을 주조하고, 800 ℃ 이상에서 두께 10 ㎜ 까지 열간 압연을 실시하고, 표면의 산화 스케일을 면삭하였다. 그 후, 냉간 압연과 어닐링을 반복하여 0.5 ㎜ 두께의 압연판 코일을 얻었다. 그 마지막 냉간 압연 후에, 이 구리 스트립을 700 ℃ 에서 또한 표 1 에 나타내는 장력하에서 연속 어닐링로에 통판시켜 최종 재결정 어닐링을 실시했다. 또한, 장력의 값은 그 시료의 재결정 어닐링 온도하에서의 내력으로 나누어 규격화했다 ({장력 (N/㎟)/재결정 어닐링 온도하에서의 내력 (N/㎟)}). 또 재결정 어닐링에 있어서의 구리 스트립의 가열 시간은 100 ∼ 200 초로 했다. 마지막으로 최종 냉간 압연으로 표 1 에 기재된 두께로 마무리했다. 최종 냉간 압연에서의 압연 가공도를 86 ∼ 99 % 로 했다.An ingot having a thickness of 100 mm was cast using tough pitch copper or anoxic copper added with an element of the composition shown in Table 1 as a raw material and subjected to hot rolling to a thickness of 10 mm at 800 ° C or higher to finish the oxide scale of the surface . Thereafter, cold rolling and annealing were repeated to obtain a rolled sheet coil having a thickness of 0.5 mm. After the last cold rolling, the copper strips were passed through a continuous annealing furnace at 700 ° C and under the tension shown in Table 1 to carry out the final recrystallization annealing. Further, the value of the tensile force was normalized by dividing it by the proof stress under the recrystallization annealing temperature of the sample ({tensile force (N / mm2) / proof stress (N / mm2) under annealing temperature of recrystallization)}. The heating time of the copper strip in the recrystallization annealing was 100 to 200 seconds. Finally, final cold rolling was performed to the thickness shown in Table 1. The rolling degree in the final cold rolling was set to 86 to 99%.

또한, 표 1 에 표면 처리 전의 동박 제작 공정의 포인트를 기재했다. 「고광택 압연」은, 최종 냉간 압연 (최종 재결정 어닐링 후의 냉간 압연) 을 기재된 유막 당량의 값으로 실시한 것을 의미한다. 실시예 및 비교예로서 각 동박을 준비하고, 일방의 표면에 조화 처리로서 표 2 에 기재된 조건 (도금욕 1 또는 2) 으로 도금 처리를 실시했다. 또, 조화 처리를 실시하지 않는 것도 표 2 에 기재된 조건 (도금욕 3) 으로 준비했다.Table 1 shows the points of the copper foil manufacturing process before the surface treatment. &Quot; High gloss rolling &quot; means that the final cold rolling (cold rolling after final recrystallization annealing) is carried out at the value of the film equivalent described. Each of the copper foils was prepared as an example and a comparative example, and plating treatment was carried out on the surface of one of the surfaces with the condition (plating bath 1 or 2) listed in Table 2 as the coarsening treatment. In addition, it was also prepared under the condition described in Table 2 (plating bath 3) that the roughening treatment was not performed.

또한, 표 1 의 조성란의 「Ag190ppm+OFC」는, JIS-H 3510 (C1011) (실시예 10) 또는 JIS-H 3100 (C1020) (실시예 10 이외) 의 무산소구리 (OFC) 에 190 질량ppm 의 Ag 를 첨가한 것을 의미한다. 또, 「Ag190ppm+TPC」는 JIS-H 3100 (C1100) 의 터프 피치 구리 (TPC) 에 190 질량ppm 의 Ag 를 첨가한 것을 의미한다. 다른 첨가량의 경우도 동일하다.Further, "Ag 190 ppm + OFC" in the composition column of Table 1 was added to oxygen-free copper (OFC) of JIS-H 3510 (C1011) (Example 10) or JIS-H 3100 (C1020) Of Ag added. "Ag190 ppm + TPC" means that 190 mass ppm of Ag was added to tough pitch copper (TPC) of JIS-H 3100 (C1100). The same is true for other addition amounts.

또한, 실시예 1 ∼ 5, 9, 19 ∼ 21, 25 및 26 에서 얻어진 표면 처리 동박에 대해, 타방의 표면에 표 3 에 기재된 표면 처리를 실시한 표면 처리 동박도 제조했다. 여기서, 표 3 의 「실시예 No.-숫자」는 실시예에서 얻어진 표면 처리 동박의 타방의 표면에 표 3 에 기재된 표면 처리를 실시한 것을 의미한다. 예를 들어, 표 3 에 있어서 「실시예 1-1」은 실시예 1 의 타방의 표면에 표 3 에 기재된 표면 처리를 실시한 것이고, 「실시예 2-1」은 실시예 2 의 타방의 표면에 표 3 에 기재된 표면 처리를 실시한 것이다.The surface-treated copper foils obtained in Examples 1 to 5, 9, 19 to 21, 25 and 26 were also subjected to the surface treatment described in Table 3 on the other surface. Here, &quot; Example No.-number &quot; in Table 3 means that the surface of the other surface of the surface-treated copper foil obtained in Examples was subjected to the surface treatment described in Table 3. [ For example, in Table 3, &quot; Example 1-1 &quot; is obtained by subjecting the other surface of Example 1 to the surface treatment described in Table 3, &quot; Example 2-1 & And the surface treatment described in Table 3 was carried out.

<결정 방위>&Lt; Crystal orientation &gt;

최종 냉간 압연 후의 동박의 표면 (압연면) 에 대해 X 선 회절 장치 (RINT-2500 : 리가쿠 전기 제조) 를 이용하여, 각각 {200}, {220}, {111} 면의 정극점 측정 (X 선 반사 평균 강도) 을 실시하였다. 얻어진 측정 결과로부터 Standard ODF (주식회사 노름 공학 제조) 를 이용하여 역극점으로 변환하고, {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 계산하였다.The surface (rolled surface) of the copper foil after the final cold rolling was measured for positive electrode points (X (X)) of {200}, {220}, and {111} faces using an X-ray diffractometer (RINT- Line reflection average strength). The obtained measurement results were converted into an inverse pole position using a standard ODF (manufactured by NORUMON Co., Ltd.), and the calculated X-ray diffraction intensity of {110} plane and {112} plane was calculated.

X 선 회절의 측정 조건은 입사 X 선원 : Cu, 가속 전압 : 30 ㎸, 관 전류 : 100 ㎃, 발산 슬릿 : 0.5 도, 산란 슬릿 : 4 ㎜, 수광 슬릿 : 4 ㎜, 발산 세로 제한 슬릿 : 1.2 ㎜ 로 했다. 또, 동일 조건으로 각 면에 대해 X 선 회절을 실시한 순동 분말의 값 (X 선 반사 평균 강도) 을 이용하여 {200}, {220}, {111} 면의 집합도를 규격화한 후, 역극점으로 변환하였다. 순동 분말은 미분말 구리 (325 mesh) 를 사용하였다.X-ray diffraction measurement conditions were: incident X-ray source: Cu, acceleration voltage: 30 kV, tube current: 100 mA, divergence slit: 0.5 degree, scattering slit: 4 mm, light receiving slit: 4 mm, . The degree of aggregation of the {200}, {220}, and {111} planes was standardized using the value of the pure powder (X-ray reflection average intensity) subjected to X-ray diffraction for each surface under the same conditions, Respectively. Powdered fine copper powder (325 mesh) was used.

<결정 입경>&Lt; Crystal grain size &

최종 재결정 어닐링 직후 (최종 냉간 압연 전) 의 동박의 결정 입경을 JIS-H 0501 의 절단법에 준하여 압연면에 대해 측정하였다.The grain size of the copper foil immediately after the final recrystallization annealing (before the final cold rolling) was measured on the rolled surface according to the JIS-H 0501 cutting method.

<I{200}/I0{200}>&Lt; I {200} / I 0 {200} &gt;

최종 냉간 압연 후의 동박을 각각 200 ℃ 에서 0.5 시간 어닐링 후, 및 350 ℃ 에서 1 초 어닐링 후에, 그 표면에 대해 {200} 면의 X 선 회절 강도 (적분 강도) 를 측정하였다. 그리고, 동일 조건으로 X 선 회절을 실시한 순동 분말의 값 (I0{200} : X 선 반사 평균 강도 (적분 강도), 즉 순동 분말의 {200} 면의 X 선 회절 강도 (적분 강도)) 을 이용하여 규격화했다.After the final cold-rolled copper foil was annealed at 200 DEG C for 0.5 hour and annealed at 350 DEG C for 1 second, the X-ray diffraction intensity (integrated intensity) of the {200} plane was measured on the surface. Then, the value (I 0 {200}: X-ray reflection average intensity (integral intensity), i.e., X-ray diffraction intensity (integral intensity) of the {200} plane of the pure powder) of the pure powder subjected to X- .

X 선 회절의 측정 조건은 입사 X 선원 : Cu, 가속 전압 : 25 ㎸, 관 전류 : 20 ㎃, 발산 슬릿 : 1 도, 산란 슬릿 : 1 도, 수광 슬릿 : 0.3 ㎜, 발산 세로 제한 슬릿 : 10 ㎜, 모노크로 수광 슬릿 0.8 ㎜ 로 하였다. 순동 분말은 미분말 구리 (325 mesh) 를 사용하였다.X-ray diffraction measurement conditions were: incident X-ray source: Cu, acceleration voltage: 25 kV, tube current: 20 mA, divergence slit: 1 degree, scattering slit: 1 degree, light receiving slit: 0.3 mm, , And a monochrome light receiving slit of 0.8 mm. Powdered fine copper powder (325 mesh) was used.

<굴곡성><Flexibility>

먼저, 두께 12.5 ㎛ 의 열경화성 폴리이미드 필름에 열가소성 폴리이미드 접착제를 도공하여 건조시켰다. 다음으로, 이 필름의 양면에 최종 냉간 압연 후의 동박을 각각 적층한 후, 열압착하여 양면 CCL 을 제작하였다. 이 양면 CCL 에 대해 양면의 동박에 에칭에 의해 라인/스페이스의 폭이 각각 100 ㎛/100 ㎛ 의 회로 패턴을 형성한 후, 두께 25 ㎛ 의 커버레이 필름을 피복하여 FPC 로 가공하였다.First, a thermosetting polyimide film having a thickness of 12.5 占 퐉 was coated with a thermoplastic polyimide adhesive and dried. Next, after the final cold-rolled copper foil was laminated on both sides of the film, the film was hot-pressed to produce a double-side CCL. A circuit pattern having a line / space width of 100 占 퐉 / 100 占 퐉 was formed by etching on both surfaces of this double-sided CCL, and then covered with a coverlay film having a thickness of 25 占 퐉 and processed into an FPC.

이 FPC 에 대해, 슬라이드 굴곡 시험을 실시하여 굴곡성을 평가했다. 구체적으로는, 슬라이딩 시험기 (응용 기술 연구소 산업 주식회사 제조, TK-107 형) 를 사용하고, 슬라이드 반경 (r) (㎜) 은 실시예 9 에 대해서는 r = 4 ㎜, 그 이외의 실시예 및 비교예에 대해서는 r = 0.72 ㎜ 로 하고, 어떠한 경우도 슬라이드 속도 120 회/분으로 FPC 를 굴곡시켰다.The FPC was subjected to a slide bending test to evaluate its bending property. Specifically, a sliding tester (type TK-107 manufactured by Applied Technology Research Co., Ltd.) was used, and the slide radius r (mm) was r = 4 mm for Example 9, , R = 0.72 mm, and in any case, the FPC was bent at a slide speed of 120 times / minute.

시험 전에 비해 동박 회로의 전기 저항이 10 % 증가했을 때의 굴곡 횟수가 15 만회 미만을 평가 × 로 하고, 10 만회 ∼ 15 만회 미만인 것을 평가 △ 로 하고, 15 만회 ∼ 30 만회인 것을 평가 ○ 로 하고, 30 만회를 초과한 것을 평가 ◎ 로 하였다. 굴곡성이 ◎ ∼ △ 이면 굴곡성이 양호하다고 할 수 있다.The number of bending times when the electric resistance of the copper foil circuit was increased by 10% was evaluated as less than 150,000 times as compared with that before the test, and the evaluation was evaluated as being 100,000 times to less than 150,000 times. The evaluation was made as 150,000 to 300,000 times , And when it exceeded 300,000 times, it was evaluated as ◎. If the bending property is ⊚ to △, it can be said that the bending property is good.

<에칭성><Etching Properties>

상기한 양면 CCL 을, 교반한 액온 30 ℃ 의 에칭액 (ADEKA 사 제조의 제품명 : 택 CL-8 의 20 질량% 용액) 에 1 분간 침지시켜 에칭하고, 에칭면을 광학 현미경으로 촬영하였다.The above-mentioned both-side CCL was immersed in an etching solution (product name: TAK-CL-8 made by Adeka Co., Ltd., 20% by mass solution) having a solution temperature of 30 캜 for 1 minute and etched, and the etched surface was photographed with an optical microscope.

상기 화상 중 암부 (暗部) 는 에칭이 균일하게 되어 있는 영역을 나타내므로, 에칭성은 촬영한 화상과 기준 화상을 비교하여 평가했다. 도 3 에 기준 화상과 에칭성 평가의 대응을 나타낸다. 암부의 면적률이 높을수록 에칭성이 양호해지고, ◎ 가 가장 에칭성이 양호해진다. 에칭성이 ◎ ∼ △ 이면 에칭성이 양호하다고 할 수 있다.Since the dark portion of the image indicates an area where the etching is uniform, the etched property was evaluated by comparing the photographed image with the reference image. Fig. 3 shows the correspondence between the reference image and the etching property evaluation. The higher the area ratio of the dark portion, the better the etching property, and the &amp; cir &amp; indicates the highest etching property. It can be said that the etching property is good if the etching property is ⊚ to △.

<폴리이미드 너머의 색차 (ΔE*ab)>&Lt; Color difference (? E * ab) beyond polyimide>

표면 처리 압연 동박과, 동박에 부착하기 전의 ΔB(PI) 가 50 이상 65 이하인 폴리이미드 필름 (카네카 제조의 두께 25 ㎛ 또는 50 ㎛) 을 적층하여 구성한 구리 피복 적층판에 있어서의, 폴리이미드 필름 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 를 측정하였다. 색차 (ΔE*ab) 의 측정은 HunterLab 사 제조의 색차계 MiniScan XE Plus 를 사용하고, JIS Z 8730 에 준거하여 실시했다. 또한, 전술한 색차계에서는 백색판의 측정값을 ΔE*ab = 0, 검은 봉투로 덮어 암소에서 측정했을 때의 측정값을 ΔE*ab = 90 으로 하고, 색차를 교정한다. ΔE*ab 는 L*a*b 표색계를 이용하고, ΔL : 흑백, Δa : 적록, Δb : 황청으로 하여, 하기 식에 기초하여 측정하였다. 여기서 색차 (ΔE*ab) 는 백색을 제로, 흑색을 90 으로 정의된다 ;A surface-treated rolled copper foil and a polyimide film having a? B (PI) of 50 or more and 65 or less before adhering to the copper foil (25 mu m or 50 mu m in thickness produced by Kaneka) (? E * ab) based on JIS Z 8730 on the surface of the substrate was measured. The color difference (? E * ab) was measured in accordance with JIS Z 8730 using a color difference system MiniScan XE Plus manufactured by HunterLab. In the above-mentioned color difference meter, the measured value of the white plate is covered with a black envelope of? E * ab = 0, and the measured value at the time of measurement in the dark is? E * ab = 90 to correct the color difference. ? E * ab was measured based on the following formula using L * a * b color system,? L: black and white,? A: red color, and? B: Here, the color difference (DELTA E * ab) is defined as zero for white and 90 for black;

Figure pat00002
Figure pat00002

또한, 구리 회로 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 는, 예를 들어 닛폰 덴쇼쿠 공업 주식회사 제조의 미소면 분광 색차계 (모델 : VSS400 등) 나 스가 시험기 주식회사 제조의 미소면 분광 측색계 (모델 : SC-50μ 등) 등 공지된 측정 장치를 이용하여 측정을 할 수 있다.The color difference (DELTA E * ab) based on JIS Z 8730 on the surface of the copper circuit can be measured by using, for example, a fine-particle spectral colorimeter (model: VSS400, etc.) manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., And a colorimeter (model: SC-50 占 or the like).

<명도 곡선><Brightness Curve>

표면 처리를 실시한 동박을 폴리이미드 필름 (카네카 제조, PIXEO (폴리이미드 타입 : FRS), 구리 피복 적층판용 접착층이 형성된 폴리이미드 필름, 두께 50 ㎛, PMDA (피로멜리트산 무수물) 계 폴리이미드 필름 (PMDA-ODA (4,4'-디아미노디페닐에테르) 계 폴리이미드 필름)) 의 양면에 첩합하고, 동박을 에칭 (염화제이철 수용액) 으로 제거하여 샘플 필름을 제작하였다. 계속해서, 라인상의 흑색 마크를 인쇄한 인쇄물을 샘플 필름의 아래에 깔고, 인쇄물을 샘플 필름 너머에서 CCD 카메라 (8192 화소의 라인 CCD 카메라) 로 촬영하고, 촬영에 의해 얻어진 화상에 대해 관찰된 라인상의 마크가 신장되는 방향과 수직인 방향을 따라 관찰 지점마다의 명도를 측정하여 제작한 관찰 지점-명도 그래프에 있어서, 마크의 단부에서부터 마크가 그려져 있지 않은 부분에 걸쳐 생기는 명도 곡선으로부터 ΔB 및 t1, t2, Sv 를 측정하였다. 이 때 사용한 촬영 장치의 구성 및 명도 곡선의 측정 방법을 나타내는 모식도를 도 7 에 나타낸다. 또한, Sv 는 마크의 양측을 측정하고, 작은 값을 채용한다.The surface-treated copper foil was laminated on a polyimide film (PIXEO (polyimide type: FRS), a polyimide film with an adhesive layer for a copper clad laminate, a polyimide film with a thickness of 50 占 퐉 and a PMDA (pyromellitic anhydride) PMDA-ODA (4,4'-diaminodiphenyl ether) -based polyimide film)), and the copper foil was removed by etching (ferric chloride aqueous solution) to prepare a sample film. Subsequently, printed matter printed with black mark on the line was laid under the sample film, the printed matter was photographed with a CCD camera (line CCD camera of 8192 pixels) beyond the sample film, and the line image In the observation point-brightness graph prepared by measuring the brightness at each observation point along the direction perpendicular to the direction in which the mark extends, ΔB and t1 and t2 are calculated from the brightness curve that occurs from the end of the mark to the portion where the mark is not drawn , And Sv were measured. Fig. 7 shows a configuration of the photographing apparatus used at this time and a schematic diagram showing a method of measuring the lightness curve. Further, Sv measures both sides of the mark and adopts a small value.

또, ΔB 및 t1, t2, Sv 는 도 7 에서 나타내는 바와 같이 하기 촬영 장치로 측정하였다. 또한, 가로축의 1 픽셀은 10 ㎛ 길이에 상당한다. 그리고, 명도 곡선의 기울기 (Sv) 를 구하는 다른 방법으로는, 명도 곡선의 그래프에 있어서의 1 픽셀과 1 계조의 길이의 비율을 3.5 : 6 (명도 곡선의 그래프에 있어서의 1 픽셀의 길이 : 명도 곡선의 그래프에 있어서의 1 계조의 길이 = 3.5 (㎜) : 6 (㎜)) 으로 한 명도 곡선의 그래프에 있어서 t1, t2, Sv 의 값을 산출할 수도 있다.As shown in Fig. 7,? B and t1, t2, and Sv were measured by the following photographing apparatus. Further, one pixel on the horizontal axis corresponds to a length of 10 mu m. As another method of obtaining the slope Sv of the brightness curve, it is preferable that the ratio of the length of one pixel to the length of one grayscale in the graph of the brightness curve is set to 3.5: 6 (the length of one pixel in the brightness curve: The value of t1, t2, and Sv in a graph of a brightness curve can be calculated with the length of one gray level in the curve of the curve = 3.5 (mm): 6 (mm).

또한, 명도 곡선의 측정에 사용하는 폴리이미드 필름은, 동박에 부착하기 전의 ΔB(PI) 의 값이 50 이상 65 이하이면 어떠한 폴리이미드 필름을 사용해도 된다.In the polyimide film used for the measurement of the brightness curve, any polyimide film may be used provided that the value of? B (PI) before adhesion to the copper foil is 50 or more and 65 or less.

상기 「라인상의 흑색 마크를 인쇄한 인쇄물」은, 광택도 43.0 ± 2 의 백색 광택지 상에 JIS P 8208 (1998) (도 1 협잡물 계측 도표의 카피) 및 JIS P 8145 (2011) (부속서 JA (규정) 육안 관찰법 이물질 비교 차트 도 JA. 1-육안 관찰법 이물질 비교 차트의 카피) 모두에 채용되어 있는 도 8 에 나타내는 투명 필름에 각종 선 등이 인쇄된 협잡물 (주식회사 쵸요카이 제조 품명 : 「협잡물 측정 도표-풀 사이즈판」 품번 : JQA160-20151-1 (독립행정법인 국립 인쇄국에서 제조되었다)) 을 얹은 것을 사용하였다.The printed matter on which the black mark on the line is printed has a gloss value of 43.0 ± 2 on a white glossy paper in accordance with JIS P 8208 (1998) (copy of the contamination measurement chart of Figure 1) and JIS P 8145 (2011) ) Observation method Foreign matter comparison chart JA 1-copy of visual inspection method foreign substance comparison chart) The transparent film shown in Fig. 8, which is adopted in all, Full-size version "part number: JQA160-20151-1 (manufactured by National Printing Bureau, independent administrative agency)) was used.

상기 광택지의 광택도는 JIS Z 8741 에 준거한 일본 덴쇼쿠 공업 주식회사 제조의 광택도계 핸디 글로스미터 PG-1 을 사용하여, 입사각 60 도로 측정하였다.The glossiness of the glossy paper was measured at an incident angle of 60 degrees using a gloss meter Handy Gloss Meter PG-1 manufactured by Denso Corporation of Japan according to JIS Z 8741.

촬영 장치는, CCD 카메라, 마크를 붙인 종이 (협잡물을 얹은 백색의 광택지) 를 아래에 놓은 폴리이미드 기판을 놓은 스테이지 (백색), 폴리이미드 기판의 촬영부에 광을 조사하는 조명용 전원, 촬영 대상인 마크가 붙은 종이를 아래에 놓은 평가용 폴리이미드 기판을 스테이지 상에서 반송하는 반송기 (도시 생략) 를 구비하고 있다. 당해 촬영 장치의 주된 사양을 이하에 나타낸다 :The photographing apparatus includes a stage (white) on which a polyimide substrate on which a CCD camera, a mark-affixed paper (glossy paper of white color with a contour over it) is placed, a power source for illuminating the photographing section of the polyimide substrate, And a conveyor (not shown) for conveying a polyimide substrate for evaluation on a stage, on which a paper sheet with an adhesive layer thereon is placed. The main specifications of the photographing apparatus are as follows:

·촬영 장치 : 주식회사 니레코 제조의 시트 검사 장치 Mujiken· Photographing apparatus: sheet inspection apparatus of NIKEO CO., LTD. Mujiken

·CCD 카메라 : 8192 화소 (160 ㎒), 1024 계조 디지털 (10 비트)CCD camera: 8192 pixels (160 MHz), 1024 gradation digital (10 bits)

·조명용 전원 : 고주파 점등 전원 (전원 유닛 × 2)· Lighting power supply: High frequency lighting power supply (power supply unit × 2)

·조명 : 형광등 (30 W, 모델명 : FPL27EX-D, 트윈 형광등) · Lighting: fluorescent lamp (30 W, model name: FPL27EX-D, twin fluorescent lamp)

Sv 측정용 라인은 0.7 ㎟ 의 도 8 의 협잡물에 그려진 화살표로 나타내는 라인을 사용하였다. 당해 라인의 폭은 0.3 ㎜ 이다. 또, 라인 CCD 카메라 시야는 도 8 의 점선의 배치로 했다.The Sv measuring line used was a line indicated by an arrow drawn in the obscuration of Fig. 8 of 0.7 mm &lt; 2 &gt;. The width of the line is 0.3 mm. The line CCD camera field of view was arranged by the dotted line in Fig.

라인 CCD 카메라에 의한 촬영에서는, 풀 스케일 256 계조에서 신호를 확인하고, 측정 대상의 폴리이미드 필름 (폴리이미드 기판) 을 놓지 않은 상태에서, 인쇄물의 흑색 마크가 존재하지 않는 지점 (상기 백색 광택지 상에 상기 투명 필름을 얹고, 투명 필름측으로부터 협잡물에 인쇄되어 있는 마크 이외의 지점을 CCD 카메라로 측정한 경우) 의 피크 계조 신호가 230 ± 5 에 들어가도록 렌즈 조리개를 조정했다. 카메라 스캔 타임 (카메라의 셔터가 열려 있는 시간, 광을 받아들이는 시간) 은 250 μ초 고정으로 하고, 상기 계조 이내에 들어가도록 렌즈 조리개를 조정하였다.In photographing with a line CCD camera, a signal is checked at a full-scale 256 gradation. In a state in which a polyimide film (polyimide substrate) to be measured is not laid, a white mark on the white glossy paper The above-mentioned transparent film was placed on the transparent film side, and a point other than the mark printed on the impure substance was measured with a CCD camera from the side of the transparent film) was adjusted to 230 ± 5. The camera scan time (the time when the camera shutter was opened and the time when the light was received) was fixed at 250 占 sec, and the lens iris was adjusted so as to be within the above-mentioned gradation.

또한, 도 7 에 나타낸 명도에 대해 0 은 「흑」을 의미하고, 명도 255 는 「백」을 의미하고, 「흑」부터 「백」까지의 회색의 정도 (흑백의 농담, 그레이 스케일) 를 256 계조로 분할하여 표시하고 있다.7, "0" means "black", brightness 255 means "white", and the degree of gray from "black" to "white" (grayscale in black and white) is 256 Are displayed in a gradation.

<시인성 (수지 투명성)>&Lt; Visibility (Resin transparency) &gt;

동박을 폴리이미드 필름 (카네카 제조, PIXEO (폴리이미드 타입 : FRS), 구리 피복 적층판용 접착층이 형성된 폴리이미드 필름, 두께 50 ㎛, PMDA (피로멜리트산 무수물) 계 폴리이미드 필름 (PMDA-ODA (4,4'-디아미노디페닐에테르) 계 폴리이미드 필름)) 의 양면에 첩합하고, 동박을 에칭 (염화제이철 수용액) 으로 제거하여 샘플 필름을 제작하였다. 얻어진 수지층의 일면에 인쇄물 (직경 6 ㎝ 의 흑색의 원) 을 첩부하고, 반대면으로부터 수지층 너머에서 인쇄물의 시인성을 판정하였다. 인쇄물의 흑색의 원의 윤곽이 원주의 90 % 이상의 길이에 있어서 선명한 것을 「◎」, 흑색의 원의 윤곽이 원주의 80 % 이상 90 % 미만의 길이에 있어서 선명한 것을 「○」(이상 합격), 흑색의 원의 윤곽이 원주의 0 ∼ 80 % 미만의 길이에 있어서 선명한 것 및 윤곽이 무너진 것을 「×」(불합격) 라고 평가했다.The copper foil was coated with a polyimide film (PIXEO (polyimide type: FRS), a polyimide film having an adhesive layer for a copper clad laminate formed thereon, a polyimide film of PMDA (pyromellitic anhydride) 4,4'-diaminodiphenyl ether) -based polyimide film)), and the copper foil was removed by etching (ferric chloride aqueous solution) to prepare a sample film. A printed matter (a black circle having a diameter of 6 cm) was pasted on one side of the obtained resin layer, and the visibility of the printed matter was judged from the reverse side to the resin layer. A "indicates that the outline of the black circle of the printed matter is at least 90% of the circumference," ⊚ "indicates that the outline of the circle is at least 80% It was evaluated that the outline of the black circle was clear when the length was less than 0 to 80% of the circumference, and that the outline was broken as &quot; x &quot; (rejection).

<수율><Yield>

동박을 폴리이미드 필름 (카네카 제조, PIXEO (폴리이미드 타입 : FRS), 구리 피복 적층판용 접착층이 형성된 폴리이미드 필름, 두께 50 ㎛, PMDA (피로멜리트산 무수물) 계 폴리이미드 필름 (PMDA-ODA (4,4'-디아미노디페닐에테르) 계 폴리이미드 필름)) 의 양면에 첩합하고, 동박을 에칭 (염화제이철 수용액) 하여, L/S 가 30 ㎛/30 ㎛ 의 회로폭인 FPC 를 제작하였다. 그 후, 가로세로 20 ㎛ × 20 ㎛ 의 마크를 폴리이미드 너머에서 CCD 카메라로 검출하는 것을 시도했다. 10 회 중 9 회 이상 검출 가능한 경우에는 「◎」, 7 ∼ 8 회 검출 가능한 경우에는 「○」, 6 회 검출 가능한 경우에는 「△」, 5 회 이하 검출 가능한 경우에는 「×」라고 했다.The copper foil was coated with a polyimide film (PIXEO (polyimide type: FRS), a polyimide film having an adhesive layer for a copper clad laminate formed thereon, a polyimide film of PMDA (pyromellitic anhydride) (4,4'-diaminodiphenyl ether) -based polyimide film)), and the copper foil was etched (ferric chloride aqueous solution) to prepare an FPC having a circuit width of L / S of 30 μm / 30 μm . After that, an attempt was made to detect a mark having a size of 20 mu m x 20 mu m on a polyimide with a CCD camera. Quot ;, &quot;? &Quot;, &quot;? &Quot;, &quot;? &Quot;, and &quot; x &quot;, respectively.

<필 강도 (접착 강도)>&Lt; Peel strength (adhesive strength) &gt;

IPC-TM-650 에 준거하여, 인장 시험기 오토 그래프 100 으로 상태 (常態) 필 강도를 측정하고, 상기 상태 필 강도가 0.7 N/㎜ 이상을 적층 기판 용도에 사용할 수 있는 것으로 하였다. 또한, 필 강도의 측정은 동박 두께를 18 ㎛ 로 하여 측정을 실시했다. 두께가 18 ㎛ 에 미치지 않는 동박에 대해서는 구리 도금을 실시하여 동박 두께를 18 ㎛ 로 했다. 또, 두께가 18 ㎛ 보다 큰 경우에는 에칭을 실시하여 동박 두께를 18 ㎛ 로 했다. 또한, 본 필 강도의 측정에는 카네카 제조의 두께 50 ㎛ 의 폴리이미드 필름 (PIXEO (폴리이미드 타입 FRS) : 구리 피복 적층판용 접착층이 형성된 폴리이미드 필름, PMDA (피로멜리트산 무수물) 계 폴리이미드 필름 (PMDA-ODA (4,4'-디아미노디페닐에테르) 계 폴리이미드 필름)) 과 본 발명의 실시예 및 비교예에 관련된 표면 처리 압연 동박의 표면 처리면을 부착한 샘플을 사용하였다. 또, 측정시에 폴리이미드 필름을 경질 기재 (스테인리스의 판 또는 합성 수지의 판 (필 강도 측정 중에 변형되지 않으면 된다)) 에 양면 테이프로 첩부함으로써 고정하였다.According to IPC-TM-650, state (normal) fill strength was measured with a tensile tester Autograph 100, and the state fill strength was 0.7 N / mm or more so that it could be used for laminated board applications. The peel strength was measured with a copper foil thickness of 18 占 퐉. The copper foil having a thickness of less than 18 占 퐉 was plated with copper to give a copper foil thickness of 18 占 퐉. When the thickness is larger than 18 占 퐉, etching is performed to make the thickness of the copper foil 18 占 퐉. The peel strength was measured using a polyimide film (PIXEO (polyimide type FRS): an adhesive layer for a copper clad laminate formed with a thickness of 50 占 퐉, manufactured by Kaneka, a polyimide film based on PMDA (pyromellitic anhydride) (PMDA-ODA (4,4'-diaminodiphenyl ether) -based polyimide film)) and the surface treated surface of the surface treated rolled copper foil according to the examples and comparative examples of the present invention were used. In the measurement, the polyimide film was fixed by affixing the polyimide film to a hard substrate (a plate of stainless steel or a plate of synthetic resin (which should not be deformed during peel strength measurement)) with a double-sided tape.

또한, 프린트 배선판 또는 구리 피복 적층판에 있어서는, 수지를 녹여 제거함으로써 구리 회로 또는 동박 표면에 대해 전술한 평가 항목을 측정할 수 있다.Further, in the case of a printed wiring board or a copper clad laminate, the aforementioned evaluation items can be measured on the surface of a copper circuit or a copper foil by melting and removing the resin.

<타방의 표면 (표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면) 의 표면 처리 후의 표면 조도의 측정>&Lt; Measurement of surface roughness after surface treatment of the other surface (surface of copper foil other than surface treatment surface S)

각 실시예, 비교예의 타방의 표면에 대해서는 비접촉식의 방법을 이용하여 표면의 조도를 측정하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 레이저 현미경으로 측정한 조도의 값으로 각 실시예, 비교예의 표면 처리 후의 타방의 표면의 상태를 평가한다. 표면의 상태를 보다 상세하게 평가할 수 있기 때문이다.It is preferable to measure the surface roughness of the other surface of each of the Examples and Comparative Examples using a non-contact method. Specifically, the state of the other surface after the surface treatment of each of the examples and the comparative examples is evaluated by the value of the roughness measured by a laser microscope. This is because the state of the surface can be evaluated in more detail.

·표면 조도 (Rz) 의 측정 ; Measurement of surface roughness (Rz);

각 실시예, 비교예의 표면 처리 동박의 타방의 표면 (타방의 표면에 표면 처리를 실시한 경우에는, 표면 처리 후의 타방의 표면) 에 대해, 올림푸스사 제조의 레이저 현미경 LEXT OLS4000 으로, 표면 조도 (10 점 평균 조도) (Rz) 를 JIS B0601 1994 에 준거하여 측정하였다. 대물 렌즈 50 배를 사용하여, 동박 표면의 관찰에 있어서 평가 길이 258 ㎛, 컷오프값 제로의 조건으로, 압연 동박에 대해서는 압연 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로, 또는 전해 동박에 대해서는 전해 동박의 제조 장치에 있어서의 전해 동박의 진행 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로 각각 값을 구했다. 또한, 레이저 현미경에 의한 표면 조도 (Rz) 의 측정 환경 온도는 23 ∼ 25 ℃ 로 했다. Rz 를 임의로 10 지점 측정하고, 그 Rz 의 10 지점의 평균값을 표면 조도 (10 점 평균 조도) (Rz) 의 값으로 했다. 또, 측정에 사용한 레이저 현미경의 레이저 광의 파장은 405 ㎚ 로 했다. 또한, 표면 처리면 (S) 에 대해서도 동일한 측정을 실시했다.The surface roughness (10 points) was measured with a laser microscope LEXT OLS4000 manufactured by Olympus, Inc., on the other surface of the surface treated copper foil of each of the examples and comparative examples (when the other surface was subjected to surface treatment, the other surface after the surface treatment) Average roughness) (Rz) was measured according to JIS B0601 1994. Using an objective lens of 50 times, an evaluation length of 258 占 퐉 in the observation of the surface of the copper foil and a measurement of a direction (TD) perpendicular to the rolling direction for the rolled copper foil on the condition of a cutoff value of zero, And the direction (TD) perpendicular to the traveling direction of the electrolytic copper foil in the production apparatus of the present invention. The measurement environment temperature of the surface roughness (Rz) by the laser microscope was 23 to 25 占 폚. Rz was arbitrarily measured at 10 points, and the average value of 10 points of Rz was taken as the value of surface roughness (10 point average roughness) (Rz). The wavelength of the laser light of the laser microscope used for the measurement was 405 nm. In addition, the same measurement was performed on the surface-treated surface S as well.

·표면의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 의 측정 ;Measuring the root mean square height (Rq) of the surface;

각 실시예, 비교예의 표면 처리 동박의 타방의 표면 (타방의 표면에 표면 처리를 실시한 경우에는 표면 처리 후의 타방의 표면) 에 대해, 올림푸스사 제조의 레이저 현미경 LEXT OLS4000 으로, 동박 표면의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 를 JIS B 0601 2001 에 준거하여 측정하였다. 대물 렌즈 50 배를 사용하여, 동박 표면의 관찰에 있어서 평가 길이 258 ㎛, 컷오프값 제로의 조건으로, 압연 동박에 대해서는 압연 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로, 또는 전해 동박에 대해서는 전해 동박의 제조 장치에 있어서의 전해 동박의 진행 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로 각각 값을 구했다. 또한, 레이저 현미경에 의한 표면의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 의 측정 환경 온도는 23 ∼ 25 ℃ 로 했다. Rq 를 임의로 10 지점 측정하고, 그 Rq 의 10 지점의 평균값을 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 의 값으로 하였다. 또, 측정에 사용한 레이저 현미경의 레이저 광의 파장은 405 ㎚ 로 하였다. 또한, 표면 처리면 (S) 에 대해서도 동일한 측정을 실시하였다.The surface of the other surface of the copper foil of each of the examples and comparative examples (the other surface after the surface treatment when the other surface was subjected to the surface treatment) was measured with a laser microscope LEXT OLS4000 manufactured by Olympus Co., The height (Rq) was measured according to JIS B 0601 2001. Using an objective lens of 50 times, an evaluation length of 258 占 퐉 in the observation of the surface of the copper foil and a measurement of a direction (TD) perpendicular to the rolling direction for the rolled copper foil on the condition of a cutoff value of zero, And the direction (TD) perpendicular to the traveling direction of the electrolytic copper foil in the production apparatus of the present invention. Also, the measurement environment temperature of the root-mean-square root height (Rq) of the surface by the laser microscope was 23 to 25 占 폚. Rq was arbitrarily measured at 10 points, and the average value of 10 points of the Rq was taken as the value of the root-mean-square root height (Rq). The wavelength of the laser light of the laser microscope used for the measurement was 405 nm. In addition, the same measurement was performed on the surface-treated surface S as well.

·표면의 산술 평균 조도 (Ra) 의 측정 :Measurement of arithmetic average roughness (Ra) of the surface:

각 실시예, 비교예의 표면 처리 동박의 타방의 표면 (타방의 표면에 표면 처리를 실시한 경우에는, 표면 처리 후의 타방의 표면) 에 대해, 표면 조도 (Ra) 를 JIS B 0601-1994 에 준거하여, 올림푸스사 제조의 레이저 현미경 LEXT OLS4000 으로 측정하였다. 대물 렌즈 50 배를 사용하여, 동박 표면의 관찰에 있어서 평가 길이 258 ㎛, 컷오프값 제로의 조건으로, 압연 동박에 대해서는 압연 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로, 또 전해 동박에 대해서는 전해 동박의 제조 장치에 있어서의 전해 동박의 진행 방향과 수직인 방향 (TD) 의 측정으로 각각 값을 구했다. 또한, 레이저 현미경에 의한 표면의 산술 평균 조도 (Ra) 의 측정 환경 온도는 23 ∼ 25 ℃ 로 하였다. Ra 를 임의로 10 지점 측정하고, 그 Ra 의 10 지점의 평균값을 산술 평균 조도 (Ra) 의 값으로 하였다. 또, 측정에 사용한 레이저 현미경의 레이저 광의 파장은 405 ㎚ 로 하였다. 또한, 표면 처리면 (S) 에 대해서도 동일한 측정을 실시하였다.The surface roughness (Ra) of the other surface of the surface-treated copper foil of each of the examples and comparative examples (the other surface after the surface treatment when the other surface was subjected to the surface treatment) was measured according to JIS B 0601-1994, Was measured with a laser microscope LEXT OLS4000 manufactured by Olympus Corporation. Using an objective lens of 50 times, an evaluation length of 258 占 퐉 and a cutoff value of zero for observation of the surface of the copper foil were measured by measuring the direction (TD) perpendicular to the rolling direction of the rolled copper foil, And the direction (TD) perpendicular to the traveling direction of the electrolytic copper foil in the production apparatus of the present invention. In addition, the measurement environmental temperature of the arithmetic average roughness (Ra) of the surface by the laser microscope was 23 to 25 占 폚. The Ra was arbitrarily measured at 10 points, and the average value of 10 points of the Ra was taken as the value of the arithmetic average roughness (Ra). The wavelength of the laser light of the laser microscope used for the measurement was 405 nm. In addition, the same measurement was performed on the surface-treated surface S as well.

<라미네이트 가공에 의한 동박 주름 등의 평가>&Lt; Evaluation of copper foil wrinkles by laminate processing &gt;

두께 25 ㎛ 의 폴리이미드 수지의 양 표면에 각각 실시예, 비교예의 표면 처리 동박을 일방의 표면 (표면 처리면 (S)) 측으로부터 적층하고, 또한 각 표면 처리 동박의 타방의 표면 (표면 처리면 (S) 과는 반대측의 표면) 측에 두께 125 ㎛ 의 보호 필름 (폴리이미드제) 을 적층시킨 상태, 즉 보호 필름/표면 처리 동박/폴리이미드 수지/표면 처리 동박/보호 필름의 5 층으로 한 상태에서, 양방의 보호 필름의 외측으로부터 라미네이트 롤을 이용하여 열과 압력을 가하면서 첩합 가공 (라미네이트 가공) 을 실시하여, 폴리이미드 수지의 양면에 표면 처리 동박을 첩합하였다. 계속해서, 양 표면의 보호 필름을 박리한 후, 표면 처리 동박의 타방의 표면을 육안으로 관찰하여, 주름 또는 줄무늬의 유무를 확인하고, 주름 또는 줄무늬가 전혀 발생하지 않은 때를 ◎, 동박 길이 5 m 당 주름 또는 줄무늬가 1 개 지점만 관찰된 때를 ○, 동박 5 m 당 주름 또는 줄무늬가 2 개 지점 이상 관찰될 때를 × 라고 평가했다.Treated copper foils of Examples and Comparative Examples were laminated on both surfaces of a polyimide resin having a thickness of 25 占 퐉 from one surface (surface-treated surface (S)) side and the other surface of each surface-treated copper foil (Protective film / surface-treated copper foil / polyimide resin / surface-treated copper foil / protective film) having a thickness of 125 mu m laminated on the side of the protective film (Laminate processing) was performed while applying heat and pressure using a laminate roll from the outside of both protective films, and a surface-treated copper foil was bonded to both surfaces of the polyimide resin. Subsequently, the protective film on both surfaces was peeled off, and the other surface of the surface-treated copper foil was observed with naked eyes to confirm whether wrinkles or streaks were present. When no wrinkles or streaks occurred, When the wrinkles or streaks per m were observed at only one point, it was evaluated as?, when the wrinkles or streaks per 5 m of the copper foil were observed at two or more points.

얻어진 결과를 표 1 ∼ 3 에 나타낸다.The obtained results are shown in Tables 1 to 3.

Figure pat00003
Figure pat00003

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

표 1 ∼ 3 으로부터 분명한 바와 같이, 2.5 ≤ I{110}/I{112} ≤ 6.0 을 만족시키는 각 실시예의 경우, 압연 동박의 에칭성과 굴곡성이 모두 우수한 것이 되었다.As apparent from Tables 1 to 3, in each of the examples satisfying 2.5? I {110} / I {112}? 6.0, both the etching property and the bendability of the rolled copper foil were excellent.

또한, 두께, 및 최종 재결정 어닐링 조건이 동일한 실시예 1, 2 를 비교하면, Ag 의 첨가량이 많은 실시예 1 쪽이 (110) 방위가 많아지고, I{110}/I{112} 의 값도 높아지는 것을 알 수 있다. 또, 13.0 > I{200}/I0{200} 인 실시예 20 ∼ 23 의 경우, 다른 실시예에 비하면 굴곡성이 조금 저하되었지만 실용상은 문제없다.In comparison between Examples 1 and 2 in which the thickness and the final recrystallization annealing condition are the same, the (110) orientation increases in Example 1 with a large amount of Ag added, and the value of I {110} / I {112} . In the case of Examples 20 to 23 in which 13.0> I {200} / I 0 {200}, the flexural properties were slightly lower than those of the other Examples, but there was no practical problem.

한편, 동박의 조성이 동일한 실시예 6 에 비해, 최종 재결정 어닐링시의 장력을 낮게 한 비교예 1, 4 의 경우, (112) 방위가 적어지고, I{110}/I{112} 의 값이 6.0 을 초과하여, 에칭성이 열화되었다.On the other hand, in the case of Comparative Examples 1 and 4 in which the tension at the final recrystallization annealing was made lower than that in Example 6 having the same composition of the copper foil, the (112) orientation decreased and the value of I {110} / I {112} Exceeding 6.0, and the etching property was deteriorated.

동박의 조성이 동일한 실시예 5 에 비해 최종 재결정 어닐링시의 장력을 높게 한 비교예 2 의 경우, 및 동박의 조성이 동일한 실시예 7 에 비해 최종 재결정 어닐링시의 장력을 높게 한 비교예 3 의 경우, 모두 (110) 방위가 감소하고, I{110}/I{112} 의 값이 2.5 미만이 되어, 굴곡성이 열화되었다.In the case of Comparative Example 2 in which the tension at the final recrystallization annealing was made higher than that in Example 5 in which the composition of the copper foil was the same and in the case of Comparative Example 3 in which the tension at the final recrystallization annealing was higher than that of Example 7 in which the composition of the copper foil was the same , All the (110) orientations decreased, and the value of I {110} / I {112} was less than 2.5, and the bendability deteriorated.

제조 방법이 동일한 실시예 1, 6 의 경우, 동박의 산소 농도가 낮은 실시예 1 쪽이 굴곡성이 우수하다.In Examples 1 and 6 in which the production method is the same, Example 1 having a low oxygen concentration of the copper foil is excellent in flexibility.

또한, 도 2 의 (a) 및 (b) 는 각각 실시예 5, 비교예 1 의 에칭면의 광학 현미경 이미지이다. 에칭성이 우수한 실시예 5 의 경우, 암부의 비율이 많은 것을 알 수 있다.2 (a) and 2 (b) are optical microscope images of the etching surfaces of Example 5 and Comparative Example 1, respectively. It can be seen that the ratio of the dark portions is large in the case of Example 5 having excellent etching properties.

또, 실시예 1 ∼ 26 은 모두 폴리이미드 너머의 색차 (ΔE*ab) 가 50 이상이고, 또한 Sv 가 3.0 이상이며, 시인성이 양호했다.In all of Examples 1 to 26, the color difference (DELTA E * ab) beyond polyimide was 50 or more, Sv was 3.0 or more, and visibility was good.

비교예 1 ∼ 4 는 폴리이미드 너머의 색차 (ΔE*ab) 가 50 미만, 또는 Sv 가 3.0 미만이며, 시인성이 불량이었다.In Comparative Examples 1 to 4, the color difference (DELTA E * ab) over the polyimide was less than 50, or Sv was less than 3.0, and the visibility was poor.

또, 상기 실시예 1 ∼ 26 에 있어서, 마크의 폭을 0.3 ㎜ 에서 0.16 ㎜ (협잡물의 시트의 면적 0.5 ㎟ 의 0.5 의 기재에 가까운 쪽으로부터 3 번째의 마크 (도 9 의 화살표가 가리키는 마크)) 로 변경하여 동일한 Sv 의 측정을 실시했지만, 모든 Sv 는 마크의 폭을 0.3 ㎜ 로 한 경우와 동일한 값이 되었다.In the first to the twenty-sixth embodiments, the width of the mark is changed from 0.3 mm to 0.16 mm (the third mark (the mark indicated by the arrow in Fig. 9) from the side closer to the base of 0.5 of the sheet area of 0.5 mm2) And the same Sv was measured. However, all Sv values were the same as those obtained when the width of the mark was 0.3 mm.

또, 상기 실시예 1 ∼ 26 에 있어서, 마크의 폭을 0.3 ㎜ 에서 1.3 ㎜ (협잡물의 시트의 면적 3.0 ㎟ 의 3.0 의 기재에 가까운 쪽으로부터 6 번째의 마크 (도 10 의 화살표가 가리키는 마크)) 로 변경하여 동일한 Sv 의 측정을 실시했지만, 모든 Sv 는 마크의 폭을 0.3 ㎜ 로 한 경우와 동일한 값이 되었다.In the first to the twenty-sixth embodiments, the width of the mark was changed from 0.3 mm to 1.3 mm (the sixth mark (the mark indicated by the arrow in Fig. 10) from the side closer to the substrate of 3.0 with the area of the sheet of the impurity 3.0 mm2) And the same Sv was measured. However, all Sv values were the same as those obtained when the width of the mark was 0.3 mm.

또한, 상기 실시예 1 ∼ 26 에 있어서 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」에 대해, 마크 양측의 단부 위치로부터 50 ㎛ 떨어진 위치를 100 ㎛ 떨어진 위치, 300 ㎛ 떨어진 위치, 500 ㎛ 떨어진 위치로 하고, 당해 위치로부터 각각 30 ㎛ 간격으로 5 지점 (양측에서 합계 10 개 지점) 측정했을 때의 명도의 평균값으로 변경하여 동일한 Sv 의 측정을 실시했지만, 모든 Sv 는 마크 양측의 단부 위치로부터 50 ㎛ 떨어진 위치로부터 30 ㎛ 간격으로 5 지점 (양측에서 합계 10 지점) 측정했을 때의 명도의 평균값을 「명도 곡선의 톱 평균값 (Bt)」이라고 한 경우의 Sv 값과 동일한 값이 되었다.In the above Examples 1 to 26, the position of 50 占 퐉 apart from the end position on both sides of the mark was set at a position 100 占 퐉 apart, 300 占 퐉 apart, and 500 占 퐉 apart from the top average value Bt of the lightness curve , And the same Sv was measured by changing to the average value of the lightness measured at five points (10 points on both sides) at intervals of 30 占 퐉 from the position, but all Sv were located at positions spaced 50 占 퐉 from the end positions on both sides of the mark (Bt) of the lightness curve, the average value of the lightness when measured at five points (total of 10 points on both sides) at intervals of 30 占 퐉 was the same value as the Sv value.

또한, 상기 각 실시예, 비교예와 동일한 동박을 이용하여 동일한 조건으로 동박의 양면에 표면 처리를 실시하여 표면 처리 동박을 제조하여 평가한 결과, 양면 모두 상기 각 실시예, 비교예와 동일한 평가 결과가 얻어졌다.The surface-treated copper foil was subjected to surface treatment on the both surfaces of the copper foil under the same conditions using the same copper foils as in each of the examples and the comparative examples. As a result, both surfaces were evaluated in the same manner as in the above- .

동박의 양면에 조화 처리 등의 표면 처리를 실시하는 경우, 양면에 동시에 표면 처리를 실시해도 되고, 일방의 면과, 타방의 면에 각각 따로따로 표면 처리를 실시해도 된다. 또한, 양면에 동시에 표면 처리를 실시하는 경우에는 동박의 양면측에 애노드를 형성한, 표면 처리 장치 (도금 장치) 를 이용하여 표면 처리를 실시하면 된다. 또한, 본 실시예에서는 동시에 양면에 표면 처리를 실시했다.When the surface treatment such as roughening treatment is applied to both surfaces of the copper foil, surface treatment may be performed on both surfaces at the same time, or surface treatment may be separately performed on one surface and the other surface. When both surfaces are subjected to the surface treatment at the same time, the surface treatment may be performed using a surface treatment apparatus (plating apparatus) having an anode formed on both sides of the copper foil. In this embodiment, both surfaces were simultaneously subjected to surface treatment at the same time.

또, 실시예 1 ∼ 26 의 표면 처리가 된 동박 표면 (표면 처리면 (S)) 의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 는 모두 0.35 ㎛ 이상이었다. 또, 실시예 1 ∼ 26 의 표면 처리가 된 동박 표면 (표면 처리면 (S)) 의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 는 모두 0.05 ㎛ 이상이었다. 또, 실시예 1 ∼ 26 의 표면 처리가 된 동박 표면 (표면 처리면 (S)) 의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 는 모두 0.08 ㎛ 이상이었다.
The 10-point average roughness (Rz) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm of the surface-treated copper foil surface (surface-treated surface S) of Examples 1 to 26 was all 0.35 탆 or more . The arithmetic mean roughness (Ra) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm of the surface-treated copper foil surface (surface-treated surface (S)) of Examples 1 to 26 was 0.05 mu m or more. The square root mean square height (Rq) of TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm of the surface-treated copper foil surface (surface-treated surface S) of Examples 1 to 26 was all 0.08 탆 or more .

Claims (24)

일방의 동박 표면 및/또는 양방의 동박 표면이 표면 처리면 (S) 이고, 상기 표면 처리면 (S) 의 일방 혹은 양방, 또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 표면에 있어서의 {112} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I{112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I{110} 으로 했을 때,
2.5 ≤ I{110}/I{112} ≤ 6.0
을 만족시키고,
상기 표면 처리 압연 동박과, 동박에 부착하기 전의 하기 ΔB(PI) 가 50 이상 65 이하인 폴리이미드를, 상기 표면 처리 압연 동박의 상기 표면 처리면 (S) 측으로부터 적층하여 구성한 구리 피복 적층판에 있어서의, 상기 폴리이미드 너머의 표면의 JIS Z 8730 에 기초하는 색차 (ΔE*ab) 가 50 이상이 되는 표면 처리 압연 동박이고,
상기 표면 처리 압연 동박을 표면 처리면 (S) 측으로부터 폴리이미드 수지 기판의 양면에 첩합한 후, 에칭으로 상기 양면의 압연 동박을 제거하고,
라인상의 마크를 인쇄한 인쇄물을 노출된 상기 폴리이미드 기판 아래에 깔고, 상기 인쇄물을 상기 폴리이미드 기판 너머에서 CCD 카메라로 촬영했을 때,
상기 촬영에 의해 얻어진 화상에 대해, 관찰된 상기 라인상의 마크가 신장되는 방향과 수직인 방향을 따라 관찰 지점마다의 명도를 측정하여 제작한 관찰 지점-명도 그래프에 있어서,
상기 마크의 단부에서부터 상기 마크가 그려져 있지 않은 부분에 걸쳐 생기는 명도 곡선의 톱 평균값 (Bt) 과 보텀 평균값 (Bb) 의 차를 ΔB (ΔB = Bt - Bb) 로 하고, 관찰 지점-명도 그래프에 있어서 명도 곡선과 Bt 의 교점 중 상기 라인상의 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t1 로 하고, 명도 곡선과 Bt 의 교점으로부터 Bt 를 기준으로 0.1×ΔB 까지의 깊이 범위에 있어서, 명도 곡선과 0.1×ΔB 의 교점 중 상기 라인상의 마크에 가장 가까운 교점의 위치를 나타내는 값을 t2 로 했을 때에, 하기 (1) 식으로 정의되는 Sv 가 3.0 이상이 되는 표면 처리 압연 동박.
Sv = (ΔB × 0.1)/(t1 - t2) (1)
The surface of the copper foil on one side and / or the surface of the copper foil on both sides is the surface treatment surface S and the surface of the {112} surface (S) on one or both surfaces of the surface treatment surface S, Ray diffraction intensity is I {112}, and the calculated X-ray diffraction intensity from the {110} plane is I {110}
2.5? I {110} / I {112}? 6.0
Lt; / RTI &gt;
Treated copper foil and a polyimide having a? B (PI) of not less than 50 and not more than 65 before being adhered to the copper foil are laminated from the surface-treated surface (S) side of the surface-treated rolled copper foil , A color difference (DELTA E * ab) based on JIS Z 8730 of the surface of the polyimide is 50 or more,
The surface-treated, rolled copper foil is applied to both surfaces of the polyimide resin substrate from the surface-treated surface (S) side, and then the rolled copper foil on both sides is removed by etching,
When a printed matter on which a mark on a line is printed is laid under the exposed polyimide substrate and the printed matter is photographed with a CCD camera beyond the polyimide substrate,
In an observation point-brightness graph produced by measuring the brightness of each observation point along a direction perpendicular to the direction in which the mark on the line is observed, with respect to the image obtained by the photographing,
The difference between the top average value Bt and the bottom average value Bb of the brightness curve occurring from the end of the mark to the portion where the mark is not drawn is defined as? B (? B = Bt - Bb) A value indicating the position of an intersection closest to the mark on the line among the intersections of the brightness curve and Bt is t1 and the brightness curve is 0.1 And a value indicating a position of an intersection point closest to the mark on the line among the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the intersections of the points A,
Sv = (DELTA Bx0.1) / (t1 - t2) (1)
제 1 항에 있어서,
상기 일방의 동박 표면이 표면 처리면 (S) 이고, 또한 타방의 동박 표면에 표면 처리가 되어 있는 표면 처리 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the one surface of the copper foil is a surface-treated surface (S), and the surface of the other copper foil is surface-treated.
제 1 항에 있어서,
상기 압연 동박이 99.9 질량% 이상의 구리로 형성된 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the rolled copper foil is formed of at least 99.9% by mass of copper.
제 1 항에 있어서,
Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유하고, 잔부 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어지는 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the total amount of one or more elements selected from the group consisting of Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr and Au is 10 to 300 mass ppm in total, and the balance Cu and inevitable impurities.
제 1 항에 있어서,
상기 압연 동박이 산소를 2 ∼ 50 질량ppm 함유하는 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the rolled copper foil contains 2 to 50 mass ppm of oxygen.
제 1 항에 있어서,
200 ℃ 에서 30 분간의 가열 후에, 적어도 일방의 표면에 있어서 I{112}/I{100} ≤ 1.0 을 만족시키는 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein I {112} / I {100}? 1.0 is satisfied on at least one surface after heating at 200 占 폚 for 30 minutes.
제 1 항에 있어서,
350 ℃ 에서 1 초간의 가열 후에, 상기 압연 동박의 압연면의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I{200} 으로 하고, 순동 분말 시료의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I0{200} 으로 했을 때,
5.0 ≤ I{200}/I0{200} ≤ 27.0 을 만족시키는 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
The X-ray diffraction intensity at the {200} plane of the rolled copper foil was I {200}, and the X-ray diffraction intensity at the {200} plane of the copper powder sample was I 0 { 200}.
5.0? I {200} / I 0 {200}? 27.0.
제 1 항에 있어서,
두께가 4 ∼ 100 ㎛ 인 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
A surface treated rolled copper foil having a thickness of 4 to 100 탆.
제 1 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 가 0.35 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the surface treated surface S and / or the surface treated surface S, which is not the surface treated surface S, has a 10-point average roughness (Rz) of TD of 0.35 탆 or more as measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm Copper foil.
제 1 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 가 0.05 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface-treated surface (S) and / or the surface of the copper foil other than the surface-treated surface (S) .
제 1 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 가 0.08 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the surface-treated surface (S) and / or the surface-treated surface (S) are surface-treated with a square root mean square height (Rq) of TD of 0.08 탆 or more as measured by a laser microscope having a laser beam wavelength of 405 nm Copper foil.
제 2 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 10 점 평균 조도 (Rz) 가 0.35 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
3. The method of claim 2,
Wherein the surface treated surface S and / or the surface treated surface S, which is not the surface treated surface S, has a 10-point average roughness (Rz) of TD of 0.35 탆 or more as measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm Copper foil.
제 2 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 산술 평균 조도 (Ra) 가 0.05 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
3. The method of claim 2,
Wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the TD measured by a laser microscope with a laser beam wavelength of 405 nm on the surface-treated surface (S) and / or the surface of the copper foil other than the surface-treated surface (S) .
제 2 항에 있어서,
상기 표면 처리면 (S) 및/또는 상기 표면 처리면 (S) 이 아닌 동박 표면의 레이저 광의 파장이 405 ㎚ 인 레이저 현미경으로 측정한 TD 의 제곱 평균 제곱근 높이 (Rq) 가 0.08 ㎛ 이상인 표면 처리 압연 동박.
3. The method of claim 2,
Wherein the surface-treated surface (S) and / or the surface-treated surface (S) are surface-treated with a square root mean square height (Rq) of TD of 0.08 탆 or more as measured by a laser microscope having a laser beam wavelength of 405 nm Copper foil.
제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 기재된 표면 처리 압연 동박과 수지 기판을 적층하여 제조한 적층판. A laminate produced by laminating a surface-treated rolled copper foil according to any one of claims 1 to 14 and a resin substrate. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 기재된 표면 처리 압연 동박을 사용한 프린트 배선판. A printed wiring board using the surface treated rolled copper foil according to any one of claims 1 to 14. 제 16 항에 기재된 프린트 배선판을 사용한 전자 기기. An electronic device using the printed wiring board according to claim 16. 제 16 항에 기재된 프린트 배선판을 2 개 이상 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법. A method for producing a printed wiring board in which two or more printed wiring boards according to claim 16 are connected and two or more printed wiring boards are connected. 제 16 항에 기재된 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 제 16 항에 기재된 프린트 배선판 또는 제 16 항에 기재된 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법. A printed wiring board comprising at least one printed wiring board according to claim 16 and at least one other printed wiring board according to claim 16 or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board according to claim 16, Or more. 제 18 항 또는 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판을 1 개 이상 사용한 전자 기기. An electronic device using at least one printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19. 제 16 항에 기재된 프린트 배선판, 또는 제 18 항 또는 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판과, 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판을 제조하는 방법. A printed wiring board comprising at least a printed wiring board according to claim 16, or a printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19, and a step of connecting components. 제 16 항에 기재된 프린트 배선판을 적어도 1 개와, 다른 1 개의 제 16 항에 기재된 프린트 배선판 또는 제 16 항에 기재된 프린트 배선판에 해당하지 않는 프린트 배선판을 접속시켜 프린트 배선판 A 를 제조하는 공정, 및
상기 프린트 배선판 A 와 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법.
A step of connecting at least one printed wiring board according to claim 16 and another printed wiring board according to claim 16 or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board according to claim 16 to manufacture a printed wiring board A;
And connecting the printed wiring board (A) to the component.
제 16 항에 기재된 프린트 배선판,
제 18 항 혹은 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판, 및
제 16 항에 기재된 프린트 배선판 혹은 제 18 항 혹은 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판의 어느 것에도 해당하지 않는 프린트 배선판으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 프린트 배선판과,
제 16 항에 기재된 프린트 배선판, 또는 제 18 항 또는 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판과, 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판을 제조하는 방법으로 제조된 프린트 배선판을 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법.
A printed wiring board according to claim 16,
A printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19, and
At least one printed wiring board selected from the group consisting of the printed wiring board according to claim 16 or the printed wiring board made according to the method according to claim 18 or 19,
A printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board including at least a printed wiring board according to claim 16 or a printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19 and a process for connecting components is connected , And a printed wiring board to which at least two printed wiring boards are connected.
제 16 항에 기재된 프린트 배선판, 또는 제 18 항 또는 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판과, 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판을 제조하는 방법으로 제조된 프린트 배선판과,
제 16 항에 기재된 프린트 배선판, 또는 제 18 항 또는 제 19 항에 기재된 방법으로 제작된 프린트 배선판과, 부품을 접속시키는 공정을 적어도 포함하는, 프린트 배선판을 제조하는 방법으로 제조된 프린트 배선판을 접속시켜, 프린트 배선판이 2 개 이상 접속된 프린트 배선판을 제조하는 방법.
A printed wiring board manufactured by a method for manufacturing a printed wiring board including at least a printed wiring board according to claim 16 or a printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19 and a step for connecting components,
A printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board including at least a printed wiring board according to claim 16 or a printed wiring board manufactured by the method according to claim 18 or 19 and a process for connecting components is connected , And a printed wiring board to which at least two printed wiring boards are connected.
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