KR20150038999A - 인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치는, 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치로서, 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.

Description

인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법{INTERFACE CONTROLLING DEVICE AND METHOD FOR MONITORING DRIVING VOLTAGE THEREBY}
본 발명은 인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법에 관한 것이다.
에칭 장비나 세정 장비와 같이 기판을 처리하는 설비는 기판 처리 공정에 관한 각종 데이터를 수집하는 센서들을 구비한다. 예를 들어, 설비에 마련된 도어의 개폐 여부를 검출하는 도어 센서나, 약액의 누출을 여부를 감지하는 누출 감지 센서나, 플라즈마 소스로 인가되는 RF 전원의 전압, 전류, 위상을 감지하는 RF 신호 센서 등이 구비될 수 있다. 이와 같은 다양한 센서들로부터 수집된 데이터는 제어부로 전송되고, 상기 제어부는 센서가 수집한 데이터를 기반으로 기판 처리 설비의 동작을 제어할 수 있다.
설비에 구비된 센서들과의 데이터 입출력 및 전원 공급과 같은 인터페이스를 제어하기 위해 인터페이스 제어 보드(interface control board, ICB)가 사용된다. 예를 들어, 미쯔비시 사에서 제조한 CC-Link 제품은 센서와의 입출력을 담당하는 입출력 유닛, 반송 모터를 제어하는 회로 등이 마련되어 있어 기판 처리 설비의 인터페이스를 제어하기 위해 사용될 수 있다.
하지만, 기존의 ICB를 사용하는 경우, 전원 전압 강하 또는 과다 부하 발생으로 인해 ICB를 통해 센서로 공급되는 구동 전압이 감소하게 되면, ICB는 이를 감지하지 못한 채 센서와의 입출력 동작이 중단되어 설비가 제대로 동작하지 못하게 되는 사고가 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예는 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인해 설비가 오동작하거나 동작 중단되는 경우를 방지하기 위한 인터페이스 제어 장치, 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법, 그리고 기판 처리 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예는 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인한 알람과 센서와의 입출력 인터페이스 오류로 인한 알람을 구별하여 작업자에게 알람의 원인을 명확하게 알릴 수 있는 인터페이스 제어 장치, 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법, 그리고 기판 처리 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치는, 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치로서, 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.
상기 전압 검출부는: 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다.
상기 전압 검출부는: 상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고, 상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하며, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 좁을 수 있다.
상기 구동 전압은 상기 인터페이스 제어 장치를 통해 상기 센서로 공급될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법은, 인터페이스 제어 장치를 통해 센서로 인가되는 구동 전압을 검출하는 단계; 및 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 알람 신호를 생성하는 단계는: 상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계; 및 상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함하며, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비는, 기판을 처리하는 공정 수행 시, 상기 공정에 대한 데이터를 수집하는 센서; 및 상기 센서와의 인터페이스를 제어하는 인터페이스 제어 보드를 포함하며, 상기 인터페이스 제어 보드는: 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인해 설비가 오동작하거나 동작 중단되는 상황을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 센서와의 입출력 인터페이스 오류로 인한 알람과 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인한 알람을 구분함으로써 작업자에게 알람의 원인을 정확하게 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 센서의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 센서의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.
이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판을 처리하는 설비, 예컨대 에칭 장비 또는 세정 장비는 설비의 각 부분에 센서(200)가 설치될 수 있다. 상기 센서(200)는 설비에서 수행되는 기판 처리 공정에 관한 각종 물리량을 검출하여 전기적인 신호로 출력할 수 있다. 예를 들어, 누출 감지 센서는 기판 처리 공정에 사용되는 약액의 누출 여부를 감지하고, 약액이 누출되면 신호를 출력하여 알람을 생성시킬 수 있다.
상기 센서(200)는 인터페이스 제어 장치(100)에 연결되어 데이터를 주고받을 수 있으며, 센서(200)의 동작을 위해 필요한 구동 전압 역시 상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 공급될 수 있다.
상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 센서(200)로부터 수신된 데이터는 제어부(300)로 전달될 수 있다. 상기 제어부(300)는 센서(200)가 수집한 데이터를 기반으로 설비의 각 부분을 모니터링하고, 정해진 프로세스에 따라 기판 처리 공정이 수행되도록 설비의 동작을 제어할 수 있다. 상기 센서(200)가 수집한 데이터는 메모리와 같은 저장부에 저장될 수도 있으며, 상기 제어부(300)는 저장부에 저장된 프로그램을 불러와 실행시킴으로써 레시피에 따라 공정을 수행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치(100)를 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 입력부(110), 출력부(120) 및 전압 검출부(130)를 포함할 수 있다.
상기 입력부(110)는 센서(200)가 감지한 감지 데이터를 입력받을 수 있다. 상기 센서(200)는 감지한 물리량을 전기적인 신호로 변환하여 출력하고, 상기 센서(200)로부터 출력된 감지 데이터는 상기 입력부(110)를 통해 인터페이스 제어 장치(100)로 입력된다.
상기 출력부(120)는 센서(200)를 제어하기 위한 제어 데이터를 출력할 수 있다. 상기 센서(200)를 초기화하거나 센서(200)의 동작을 제어하기 위한 제어 데이터는 상기 출력부(120)를 통해 센서(200)로 전달될 수 있다.
상기 인터페이스 제어 장치(100)가 상기 센서(200)와 주고받는 데이터는 필드 버스(field bus)를 통해 송수신될 수 있다.
상기 전압 검출부(130)는 센서(200)를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출할 수 있다.
상기 인터페이스 제어 장치(100)는 데이터의 입출력 뿐만 아니라, 외부로부터 전원을 공급받아 센서(200)로 구동 전압을 제공할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 센서(200)는 19 내지 26 V의 구동 전압을 공급받아 동작할 수 있으며, 이 때 상기 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 19 V보다 낮아지면 센서는 제 기능을 수행할 수 없게 된다. 또한, 상기 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 26 V보다 높아지면 센서에 과도한 전압이 인가되어 센서의 고장을 유발할 위험이 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 센서(200)로 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부(130)를 포함하여 센서(200)의 구동 전압을 모니터링함으로써, 구동 전압의 이상을 사전에 검출하고 작업자에게 알람을 제공할 수 있다.
여기서, 상기 전압 검출부(130)가 생성하여 출력하는 알람 신호는 상기 센서(200)의 이상을 알리는 신호, 입력부(110) 또는 출력부(120)의 이상을 알리는 신호, 센서(200)의 감지 결과에 따른 신호와 구별될 수 있다.
예를 들어, 상기 전압 검출부(130)가 구동 전압을 허용치와 비교하여 출력하는 알람 신호는, 상기 인터페이스 제어 장치(100)와 센서(200)를 연결하는 케이블의 단선, 센서(200) 자체의 고장, 센서(200)의 접촉 불량이나, 센서(200)가 감지하여 출력한 감지 데이터가 허용치를 벗어나 발생하는 알람 신호와 구별될 수 있다. 그 결과, 작업자는 해당 알람이 전원 이상 또는 과다 부하 등으로 인해 발생된 공급 전압의 이상으로부터 기인함을 쉽게 파악할 수 있으며, 그에 따라 공급 전압을 정상화하기 위한 조치를 신속하게 수행할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 기준 전압을 생성하는 기준 전압 생성부, 및 구동 전압을 상기 기준 전압과 비교하여 구동 전압이 기준 전압보다 작아지면 신호를 출력하는 비교부를 포함할 수 있으나, 상기 전압 검출부(130)의 구성은 이에 제한되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 센서(200)의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다.
예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 기 설정된 허용치, 예컨대 센서(200)의 최소 구동 전압인 19 V 미만으로 감소하는 경우, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하여 출력할 수 있다. 상기 생성된 알람 신호는 출력 장치, 예컨대 모니터나 스피커 등으로 전송되어 작업자에게 구동 전압 이상에 따른 알람 메시지를 제공할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 허용치는 센서(200)의 최소 구동 전압보다 더 높게 설정되어, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 센서(200)의 오동작이 발생하기 전에 알람 신호를 제공할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 센서(200)의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 복수의 서로 다른 허용치를 기준으로 센서(200)의 구동 전압을 모니터링함으로써, 구동 전압의 변화에 따라 복수의 알람 신호를 제공할 수 있다.
예를 들어, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용치(예컨대, 22 V)보다 작은 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고, 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용치(예컨대, 20 V)보다 작은 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성할 수 있다.
이와 같이, 알람 신호 생성의 기준이 되는 허용 범위는 둘 이상으로 설정되어, 구동 전압의 변화에 따라 작업자에게 단계적으로 알람을 제공할 수 있다.
전술한 실시예에서, 상기 전압 검출부(130)는 센서(200)의 구동 전압이 강하하는 경우 알람 신호를 생성하였으나, 실시예에 따라 구동 전압이 상승하여 센서(200)의 최대 구동 전압을 초과하는 경우에도 알람 신호를 제공할 수 있다.
예를 들어, 센서(200)의 최대 구동 전압이 26 V인 경우, 상기 전압 검출부(130)는 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 25 V보다 커지면, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다. 이 실시예에서도 허용치를 복수 개 설정하여 구동 전압의 상승에 따른 알람 신호를 복수 회 제공할 수도 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.
이하에서 설명되는 구동 전압 모니터링 방법은 전술한 인터페이스 제어 장치(100), 보다 구체적으로 전압 검출부(130)에 의해 수행될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동 전압 모니터링 방법(400)은, 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 센서(200)로 인가되는 구동 전압을 검출하는 단계(S410), 및 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 단계(S420)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 허용 범위는 센서(200)의 구동 전압 범위로 설정될 수 있으나 이에 제한되지 않고, 실시예에 따라 센서의 구동 전압 범위보다 더 좁게 설정될 수도 있다. 예를 들어, 상기 허용 범위는 센서(200)의 최소 구동 전압 내지 최대 구동 전압(예컨대, 19 내지 26 V) 또는 그보다 좁은 범위로 설정될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 알람 신호를 생성하는 단계(S420)는, 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계, 및 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁을 수 있다. 예를 들어, 제 1 허용 범위는 22 내지 25 V로 설정되고, 제 2 허용 범위는 20 내지 25.5 V로 설정될 수 있다.
상기 알람 신호는 모니터, 스피커 등의 출력 장치로 전송되어, 작업자에게 센서의 공급 전압 이상을 알리는 알람 메시지를 제공할 수 있다.
이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.
100: 인터페이스 제어 장치
110: 입력부
120: 출력부
130: 전압 검출부
200: 센서
300: 제어부

Claims (2)

  1. 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치에 있어서,
    상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부;
    상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및
    상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;
    를 포함하는 인터페이스 제어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전압 검출부는:
    상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 인터페이스 제어 장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960005328B1 (ko) * 1991-11-26 1996-04-23 삼성전자주식회사 무선호출 수신기의 저전압 경보장치 및 방법
KR20070008187A (ko) * 2005-07-13 2007-01-17 주식회사 테스 팬 구동 모니터링 장치 및 그 방법
JP2009517896A (ja) * 2005-11-16 2009-04-30 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ ユニバーサルｒｆワイヤレスセンサインターフェース
KR20110035588A (ko) * 2009-09-30 2011-04-06 제주대학교 산학협력단 동작 특성이 상이한 다수의 환경 센서가 통합제어 가능한 센서 인터페이스 보드 어셈블리

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960005328B1 (ko) * 1991-11-26 1996-04-23 삼성전자주식회사 무선호출 수신기의 저전압 경보장치 및 방법
KR20070008187A (ko) * 2005-07-13 2007-01-17 주식회사 테스 팬 구동 모니터링 장치 및 그 방법
JP2009517896A (ja) * 2005-11-16 2009-04-30 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ ユニバーサルｒｆワイヤレスセンサインターフェース
KR20110035588A (ko) * 2009-09-30 2011-04-06 제주대학교 산학협력단 동작 특성이 상이한 다수의 환경 센서가 통합제어 가능한 센서 인터페이스 보드 어셈블리

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