KR20150052573A - 디지털 온도계를 구비한 인터페이스 제어 보드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치에 관한 것으로, 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부, 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부 및 장치 내부의 온도를 검출하는 온도 검출부를 포함하는 인터페이스 제어 장치에 관한 것이다.

Description

디지털 온도계를 구비한 인터페이스 제어 보드{INTERFACE CONTROL BOARD WITH DIGITAL THERMOMETER}

본 발명은 디지털 온도계를 구비한 인터페이스 제어 보드에 관한 것이다.

에칭 장비나 세정 장비와 같이 기판을 처리하는 설비는 기판 처리 공정에 관한 각종 데이터를 수집하는 센서들을 구비한다. 예를 들어, 설비에 마련된 도어의 개폐 여부를 검출하는 도어 센서나, 약액의 누출 여부를 감지하는 누출 감지 센서나, 플라즈마 소스로 인가되는 RF 전원의 전압, 전류, 위상을 감지하는 RF 신호 센서 등이 구비될 수 있다. 이와 같은 다양한 센서들로부터 수집된 데이터는 제어부로 전송되고, 상기 제어부는 센서가 수집한 데이터를 기반으로 기판 처리 설비의 동작을 제어할 수 있다.

설비에 구비된 센서들과의 데이터 입출력 및 전원 공급과 같은 인터페이스를 제어하기 위해 인터페이스 제어 보드(Interface Control Board, ICB)가 사용된다. 예를 들어, 미쯔비시 사에서 제조한 CC-Link 제품은 센서와의 입출력을 담당하는 입출력 유닛, 반송 모터를 제어하는 회로 등이 마련되어 있어 기판 처리 설비의 인터페이스를 제어하기 위해 사용될 수 있다.

하지만, 기존의 ICB는 온도계가 구비하지 않고 모듈 박스(Module Box)에 별도의 온도계를 설치하여 사용되어 왔다.

본 발명의 목적은 인터페이스 제어 보드 내의 온도를 감지하여 사용자에게 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 인터페이스 제어 보드 내의 온도를 기 설정된 범위 내에서 유지하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치는 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부, 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부 및 상기 장치 내부의 온도를 검출하는 온도 검출부를 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 온도 검출부는 상기 검출된 온도를 디스플레이하는 디스플레이부 및 상기 장치 내부의 온도가 기 설정된 온도 범위를 유지하도록 제어하는 온도 조절부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 인터페이스 제어 보드 내의 온도를 감지하여 사용자에게 제공할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 인터페이스 제어 보드 내의 온도를 기 설정된 범위 내에서 유지할 수 있다.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 온도 검출부를 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 모듈 박스 내부의 온도롤 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 모듈 박스 내부의 온도를 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.

본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.

한편, 본 명세서 전체에서 사용되는 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미할 수 있다. 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등이 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 더 분리될 수 있다.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판을 처리하는 설비, 예컨대 에칭 장비 또는 세정 장비는 설비의 각 부분에 센서(200)가 설치될 수 있다. 상기 센서(200)는 설비에서 수행되는 기판 처리 공정에 관한 각종 물리량을 검출하여 전기적인 신호로 출력할 수 있다. 예를 들어, 누출 감지 센서는 기판 처리 공정에 사용되는 약액의 누출 여부를 감지하고, 약액이 누출되면 신호를 출력하여 알람을 생성시킬 수 있다.

상기 센서(200)는 인터페이스 제어 장치(100)에 연결되어 데이터를 주고받을 수 있으며, 센서(200)의 동작을 위해 필요한 구동 전압 역시 상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 공급될 수 있다.

상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 센서(200)로부터 수신된 데이터는 제어부(300)로 전달될 수 있다. 상기 제어부(300)는 센서(200)가 수집한 데이터를 기반으로 설비의 각 부분을 모니터링하고, 정해진 프로세스에 따라 기판 처리 공정이 수행되도록 설비의 동작을 제어할 수 있다. 상기 센서(200)가 수집한 데이터는 메모리와 같은 저장부에 저장될 수도 있으며, 상기 제어부(300)는 저장부에 저장된 프로그램을 불러와 실행시킴으로써 레시피에 따라 공정을 수행할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치(100)를 예시적으로 나타내는 블록도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 입력부(110), 출력부(120) 및 온도 검출부(130)를 포함할 수 있다.

상기 입력부(110)는 센서(200)가 감지한 감지 데이터를 입력받을 수 있다. 상기 센서(200)는 감지한 물리량을 전기적인 신호로 변환하여 출력하고, 상기 센서(200)로부터 출력된 감지 데이터는 상기 입력부(110)를 통해 인터페이스 제어 장치(100)로 입력된다.

상기 출력부(120)는 센서(200)를 제어하기 위한 제어 데이터를 출력할 수 있다. 상기 센서(200)를 초기화하거나 센서(200)의 동작을 제어하기 위한 제어 데이터는 상기 출력부(120)를 통해 센서(200)로 전달될 수 있다.

상기 인터페이스 제어 장치(100)가 상기 센서(200)와 주고받는 데이터는 필드 버스(field bus)를 통해 송수신될 수 있다.

상기 온도 검출부(130)는 인터페이스 제어 장치(100)가 설치된 모듈 박스(Module Box, 미도시) 내부의 온도를 측정할 수 있다. 상기 온도 검출부(130)에 대해서는 도 3을 참조하여 보다 상세히 설명할 것이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 온도 검출부(130)를 예시적으로 나타내는 블록도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 온도 검출부(130)는 디스플레이부(132), 디지털 온도계(134) 및 온도 조절부(136)를 포함할 수 있다.

상기 디스플레이부(132)는 디지털 온도계(134)가 감지한 모듈 박스 내부의 온도를 사용자가 상시 감시할 수 있도록 사용자에게 제공할 수 있다.

상기 디지털 온도계(134)는 모듈 박스 내부의 온도를 측정하여, 상기 디스플레이부(132)와 상기 온도 조절부(136)에 제공할 수 있다.

상기 온도 조절부(136)는 상기 디지털 온도계(134)로부터 제공된 모듈 박스 내부의 온도가, 기 설정된 온도 허용 범위를 벗어나지 않도록 모듈 박스 내부의 온도를 조절할 수 있다. 온도 조절부(136)의 온도 조절에도 불구하고, 모듈 박스 내부의 온도가 기 설정된 온도 허용 범위를 벗어나는 경우에는 사용자에게 알람을 제공할 수 있다.

여기서, 상기 온도 조절부(136)가 생성하여 출력하는 알람 신호는 상기 센서(200)의 이상을 알리는 신호, 입력부(110) 또는 출력부(120)의 이상을 알리는 신호, 센서(200)의 감지 결과에 따른 신호와 구별될 수 있다.

예를 들어, 상기 온도 검출부(130)가 모듈 박스 내부의 온도를 허용치와 비교하여 출력하는 알람 신호는, 상기 인터페이스 제어 장치(100)와 센서(200)를 연결하는 케이블의 단선, 센서(200) 자체의 고장, 센서(200)의 접촉 불량이나, 센서(200)가 감지하여 출력한 감지 데이터가 허용치를 벗어나 발생하는 알람 신호와 구별될 수 있다. 그 결과, 작업자는 해당 알람이 모듈 박스의 내부 온도 이상으로부터 기인함을 쉽게 파악할 수 있으며, 그에 따라 모듈 박스 내부 온도를 정상화하기 위한 조치를 신속하게 수행할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 모듈 박스 내부의 온도롤 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 온도 검출부(130)는 모듈 박스 내부의 온도가 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 모듈 박스 내부 온도의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다.

예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 모듈 박스 내부의 온도가 기 설정된 허용치를 초과하는 경우, 상기 온도 검출부(130)는 모듈 박스 내부 온도의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하여 출력할 수 있다. 상기 생성된 알람 신호는 출력 장치, 예컨대 모니터나 스피커 등으로 전송되어 작업자에게 모듈 박스 내부 온도 이상에 따른 알람 메시지를 제공할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 허용치는 인터페이스 제어 장치(100)가 구동가능한 허용 온도의 최고치보다 낮고, 최저치보다 높게 설정되어, 상기 인터페이스 제어 장치(100)의 오동작이 발생하기 전에 알람 신호를 제공할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 모듈 박스 내부의 온도를 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 온도 검출부(130)는 복수의 서로 다른 허용치를 기준으로 모듈 박스 내부의 온도를 모니터링함으로써, 내부 온도의 변화에 따라 복수의 알람 신호를 제공할 수 있다.

예를 들어, 상기 온도 검출부(130)는 내부 온도가 기 설정된 제 1 허용치보다 큰 경우, 내부 온도의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고, 내부 온도가 기 설정된 제 2 허용치보다 큰 경우, 내부 온도의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성할 수 있다.

이와 같이, 알람 신호 생성의 기준이 되는 허용 범위는 둘 이상으로 설정되어, 내부 온도의 변화에 따라 작업자에게 단계적으로 알람을 제공할 수 있다.

전술한 실시예에서, 상기 온도 검출부(130)는 내부 온도가 증가하는 경우 알람 신호를 생성하였으나, 실시예에 따라 내부 온도가 허용치보다 감소하는 경우에도 알람 신호를 제공할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.

이하에서 설명되는 온도 모니터링 방법은 전술한 인터페이스 제어 장치(100), 보다 구체적으로 온도 검출부(130)에 의해 수행될 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 온도 모니터링 방법은, 모듈 박스 내부의 온도를 검출하는 단계(S10), 모듈 박스 내부의 온도가 허용 범위 내인지 확인하는 단계(S20) 및 모듈 박스 내부의 온도를 조절하는 단계(S30), 조절된 모듈 박스 내부의 온도가 허용 범위 내인지 확인하는 단계(S40) 및 모듈 박스 내부의 온도가 허용 범위를 벗어나는 경우 알람 신호를 생성하는 단계(S30)를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 허용 범위는 인터페이스 제어 장치(100)가 정상적으로 작동할 수 있는 온도 범위로 설정될 수 있으나 이에 제한되지 않고, 실시예에 따라 인터페이스 제어 장치(100)의 구동 온도 범위보다 더 좁게 설정될 수도 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 알람 신호를 생성하는 단계(S30)는, 내부 온도가 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 내부 온도의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계, 및 내부 온도가 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 내부 온도의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁을 수 있다.

상기 알람 신호는 모니터, 스피커 등의 출력 장치로 전송되어, 작업자에게 모듈 박스의 내부 온도 이상을 알리는 알람 메시지를 제공할 수 있다.

이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.

100: 인터페이스 제어 장치
110: 입력부
120: 출력부
130: 온도 검출부
132: 디스플레이부
134: 디지털 온도계
136: 온도 조절부
200: 센서
300: 제어부

Claims (2)

1. 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치에 있어서,
   상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부;
   상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및
   상기 장치 내부의 온도를 검출하는 온도 검출부;
   를 포함하는 인터페이스 제어 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 온도 검출부는
   상기 검출된 온도를 디스플레이하는 디스플레이부; 및
   상기 장치 내부의 온도가 기 설정된 온도 범위를 유지하도록 제어하는 온도 조절부;
   를 포함하는 인터페이스 제어 장치.

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