KR20150033418A - Evaporation source and apparatus for deposition including the same - Google Patents

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KR20150033418A
KR20150033418A KR20130113414A KR20130113414A KR20150033418A KR 20150033418 A KR20150033418 A KR 20150033418A KR 20130113414 A KR20130113414 A KR 20130113414A KR 20130113414 A KR20130113414 A KR 20130113414A KR 20150033418 A KR20150033418 A KR 20150033418A
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임건묵
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Abstract

The present invention relates to an evaporation source comprising: an evaporation box having a hollow portion which accommodates evaporation materials therein and generating evaporated particles in the hollow portion by heating the evaporation materials; a pressure tube positioned in the hollow portion, whereof one end is located on top of the evaporation materials in order for the evaporated particles to be introduced; a diffusion unit coupled to the other end of the pressure tube in the transverse direction to be interconnected to the pressure tube, diffusing the introduced evaporated particles; and a nozzle unit interconnected to the diffusion unit and from which the evaporated particles are sprayed. The present invention can extend filling cycles of the evaporation materials by filling the evaporation source with large quantities of the evaporation materials.

Description

증발원 및 이를 포함하는 증착장치{Evaporation source and apparatus for deposition including the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an evaporation source and an evaporation source including the evaporation source,

본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 증발원에 증발물질을 대량으로 충전하여 증발물질의 충전주기를 연장시키는 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an evaporation source and a deposition apparatus including the evaporation source. More particularly, the present invention relates to an evaporation source and a deposition apparatus including the evaporation source, wherein the evaporation source is filled with a large amount of evaporation material to extend the filling cycle of the evaporation material.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. In particular, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열 증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. In the vacuum thermal deposition method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Evaporation.

그러나, 종래 기술에는 기판에 대한 증착과정에서 증발원의 증발물질이 소진된 경우, 증발물질을 재충전하기 위해 진공챔버의 진공 분위기를 해제하고 증발원에 증발물질을 충전한 후 다시 진공챔버의 내부를 진공상태로 만들어 증착공정을 진행하였다. 이에 따라 증발물질을 증발원에 충전하기 위해 증착공정이 멈추게 되어 공정 택타임이 증가하는 문제점이 있다.However, in the prior art, when the evaporation material of the evaporation source is exhausted in the process of vapor deposition on the substrate, the vacuum atmosphere of the vacuum chamber is released to recharge the evaporation material, the evaporation material is filled in the evaporation source, And the deposition process was carried out. Accordingly, there is a problem that the deposition process is stopped to fill the evaporation source with the evaporation material, thereby increasing the process time.

또한, 기판이 대형화되고 있는 실정에서 기판의 증착을 위하여 더 많은 양의 증발물질이 소요되고 있으므로, 증발물질 충전은 종전보다 자주 이루어질 수 밖에 없는 상황이다.
In addition, since the substrate is getting larger, a larger amount of evaporation material is required for evaporation of the substrate. Therefore, the evaporation material must be charged more frequently than before.

대한민국 공개특허공보 제10-2006-0121502호(2006.11.29 공개)Korean Patent Publication No. 10-2006-0121502 (published on November 29, 2006)

본 발명은 증발원에 증발물질을 대량으로 충전하여 증발물질의 충전주기를 연장시키는 증발원 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하는 것이다.
Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention provides an evaporation source for evaporating a large amount of evaporation material in an evaporation source to prolong a filling cycle of the evaporation material, and a deposition apparatus including the evaporation source.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증발물질이 수용되는 중공부를 구비하며, 상기 증발물질을 가열하여 상기 중공부에 증발입자를 생성하는 증발박스; 상기 중공부에 위치하며 상기 증발입자가 유입되도록 일단이 상기 증발물질의 상부에 위치하는 압력관; 상기 압력관과 연통되도록 상기 압력관의 타단에 횡방향으로 결합되며, 유입된 상기 증발입자를 확산시키는 확산부; 및 상기 확산부와 연통되며 상기 증발입자가 분출되는 노즐부를 포함하는, 증발원이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an evaporation apparatus, comprising: an evaporation box having a hollow portion in which an evaporation material is contained, and heating the evaporation material to generate evaporation particles in the hollow portion; A pressure tube positioned at the hollow portion and having one end positioned above the evaporation material so that the evaporation particles are introduced; A diffusion part that is laterally coupled to the other end of the pressure pipe to communicate with the pressure pipe and diffuses the introduced evaporated particles; And a nozzle portion communicating with the diffusion portion and from which the evaporation particles are ejected.

상기 확산부는, 상기 압력관의 타단에 횡방향으로 결합되는 확산관을 포함하고, 상기 노즐부는, 상기 확산관의 길이 방향으로 형성되며 상기 증발박스를 관통하는 복수의 노즐구를 포함할 수 있다. The diffusion unit may include a diffusion tube that is laterally coupled to the other end of the pressure tube, and the nozzle unit may include a plurality of nozzle holes formed in the longitudinal direction of the diffusion tube and passing through the evaporation box.

상기 증발박스는, 상기 증발물질이 수용되는 하부박스와; 상기 하부박스를 커버하는 상부박스를 포함할 수 있다. The evaporation box includes: a lower box in which the evaporation material is accommodated; And an upper box covering the lower box.

상기 증발박스는, 상기 하부박스의 외벽에서 상기 증발물질을 가열하는 가열부를 더 포함할 수 있다. The evaporation box may further include a heating unit for heating the evaporation material on an outer wall of the lower box.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 박막을 형성하기 위한 장치로서, 상기 기판이 내부에 안착되는 진공챔버와; 상기 기판에 대항하도록 상기 진공챔버 내부에 배치되는 증발원을 포함하는 증착장치가 제공된다.
According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for forming a thin film on a substrate, comprising: a vacuum chamber in which the substrate is seated; And an evaporation source disposed inside the vacuum chamber to oppose the substrate.

본 발명의 실시예에 따르면, 증발원에 증발물질을 대량으로 충전하여 증발물질의 충전주기를 연장시킬 수 있다.
According to the embodiment of the present invention, the evaporation source can be filled with a large amount of evaporation material to extend the charging period of the evaporation material.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 포함하는 증착장치를 설명하기 위한 단면도
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 사시도. 1 is a perspective view for explaining a configuration of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
2 is a sectional view for explaining the configuration of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating a deposition apparatus including an evaporation source according to an embodiment of the present invention
4 is a perspective view for explaining a configuration of an evaporation source according to another embodiment of the present invention;

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 증발원의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of an evaporation source according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Referring to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, It will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 포함하는 증착장치를 설명하기 위한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view for explaining a configuration of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view for explaining a configuration of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a perspective view illustrating a structure of an evaporation source according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view illustrating a structure of an evaporation source according to another embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에는 증발물질(10), 중공부(12), 증발입자(14), 증발박스(16), 압력관(18), 확산부(20), 노즐부(22), 하부박스(24), 상부박스(26), 가열부(28), 진공챔버(30), 안착부(32), 기판(34)이 도시되어 있다. 1 to 4 show the evaporation material 10, the hollow portion 12, the evaporation particles 14, the evaporation box 16, the pressure pipe 18, the diffusion portion 20, the nozzle portion 22, 24, an upper box 26, a heating section 28, a vacuum chamber 30, a seating section 32, and a substrate 34 are shown.

본 실시예에 따른 증발원은, 내부에 증발물질(10)이 수용되는 중공부(12)를 구비하며, 상기 증발물질(10)을 가열하여 상기 중공부(12)에 증발입자(14)를 생성하는 증발박스(16); 상기 중공부(12)에 위치하며 상기 증발입자(14)가 유입되도록 일단이 상기 증발물질(10)이 상부에 위치하는 압력관(18); 상기 압력관(18)과 연통되도록 상기 압력관(18)의 타단에 횡방향으로 결합되며, 유입된 상기 증발입자(14)를 확산시키는 확산부(20); 및 상기 확산부(20)와 연통되며 상기 증발입자(14)가 분출되는 노즐부(22)을 포함하여, 증발원에 증발물질(10)을 대량으로 충전하여 증발물질(10)의 충전주기를 연장시킬 수 있다.The evaporation source according to the present embodiment includes a hollow portion 12 in which a vapor material 10 is accommodated and generates evaporation particles 14 in the hollow portion 12 by heating the vapor material 10 An evaporation box 16; A pressure tube (18) located at the hollow part (12) and one end of which is located above the evaporation material (10) so that the evaporation particles (14) are introduced; A diffusion part 20 transversely coupled to the other end of the pressure pipe 18 to communicate with the pressure pipe 18 and diffusing the introduced evaporation particles 14; And a nozzle part (22) communicating with the diffusion part (20) and through which the evaporation particles (14) are ejected, wherein a large amount of the evaporation material (10) is filled in the evaporation source to extend the filling cycle of the evaporation material .

증발박스(16)는 내부에 증발물질(10)이 수용되는 중공부(12)를 구비하며, 증발물질(10)을 가열하여 중공부(12)에 증발입자(14)를 생성한다.The evaporation box 16 has a hollow portion 12 in which the evaporation material 10 is accommodated and generates the evaporation particles 14 in the hollow portion 12 by heating the evaporation material 10.

증발박스(16)의 중공부(12)에는 고형의 증발물질(10)이 충전되며, 증발박스(16)의 외면을 열선 등의 가열부로 가열하면 중공부(12)의 증발물질(10)이 증발되면서 생성된 증발입자(14)가 중공부(12)의 내부를 메우게 된다. 증발입자(14)의 증발이 지속됨에 따라 중공부(12) 내의 증발입자(14)의 압력이 증가하게 된다. The solid evaporating material 10 is filled in the hollow portion 12 of the evaporation box 16 and the evaporation material 10 of the hollow portion 12 is heated by heating the outer surface of the evaporation box 16 with the heating portion, The evaporated particles 14 generated by evaporation fill the inside of the hollow portion 12. [ As the evaporation particles 14 continue to evaporate, the pressure of the evaporation particles 14 in the hollow portion 12 increases.

압력관(18)은 중공부(12)에 위치하며 증발입자(14)가 유입되도록 일단이 증발물질(10)의 상부에 위치한다. 압력관(18)의 일단은 증발입자(14)가 압력차에 의해 유입되도록 증발물질(10)의 상부에 위치한다. 압력관(18)의 일단의 단면 크기는 증발박스(16)의 횡단면에 비해 작게 형성되며, 이에 따라 중공부(12)와 압력관(18) 내부의 압력차에 의해 중공부(12)의 증발입자(14)가 속도를 가지고 압력관(18)으로 유입된다.The pressure tube 18 is located in the hollow portion 12 and has one end positioned above the evaporation material 10 to allow the evaporation particles 14 to flow therein. One end of the pressure tube 18 is located at the top of the evaporation material 10 so that the evaporation particles 14 are introduced by the pressure difference. The sectional size of one end of the pressure pipe 18 is formed to be smaller than the cross section of the evaporation box 16 so that the evaporation particles of the hollow portion 12 14 are flowed into the pressure pipe 18 at a speed.

증발물질(10)을 가열하여 지속적으로 생성되는 증발입자(14)는 중공부(12)의 내부의 압력을 높이게 되고, 이러한 압력에 의해 압력관(18)으로 유입되는 증발입자(14)는 좁은 압력관(18)을 통과하면서 속도가 증가하게 된다. The evaporation particles 14 continuously heated by heating the evaporation material 10 increase the pressure inside the hollow portion 12 and the evaporation particles 14 flowing into the pressure pipe 18 by this pressure are heated by the narrow pressure tube The speed is increased while passing through the valve 18.

압력관(18)은, 길이 방향으로 관통부가 형성된 튜브 형태로서, 중공부(12)에서 유입되는 증발입자(14)는 압력관(18)을 통해 확산부(20)로 안내된다.The pressure tube 18 is in the form of a tube having a penetration portion in the longitudinal direction and the evaporation particles 14 flowing in the hollow portion 12 are guided to the diffusion portion 20 through the pressure tube 18.

압력관(18)의 단면적은 요구되는 증착속도를 고려하여 제작될 수 있다. The cross-sectional area of the pressure tube 18 can be made considering the required deposition rate.

확산부(20)는 압력관(18)과 연통되도록 압력관(18)의 타단에 횡방향으로 결합되며, 유입된 증발입자(14)를 확산시킨다. 증발박스(16)에서 생성된 증발입자(14)가 압력관(18)을 통해 확산부(20)로 유입되고, 확산부(20)로 유입된 증발입자(14)는 다시 확산부(20) 내부로 확산된다. 기판(34)이 대형화됨에 따라 넓은 면적에 걸쳐 증착의 균일도를 높이기 위해 증발입자(14)가 확산부(20)에서 확산되면서 노즐부(22)를 통해 기판으로 분출된다.The diffusion part 20 is laterally coupled to the other end of the pressure pipe 18 so as to communicate with the pressure pipe 18, and diffuses the introduced evaporated particles 14. The evaporation particles 14 generated in the evaporation box 16 flow into the diffusion portion 20 through the pressure pipe 18 and the evaporation particles 14 introduced into the diffusion portion 20 are again introduced into the diffusion portion 20 . As the substrate 34 becomes larger, the evaporation particles 14 are diffused in the diffusion portion 20 and ejected to the substrate through the nozzle portion 22 in order to increase the uniformity of the deposition over a large area.

노즐부(22)는 확산부(20)와 연통되며 증발입자(14)를 기판을 향해 분출시킨다. 확산부(20)에서 확산된 증발입자(14)가 노즐부(22)에 분출되어 기판(34)에 증착된다.The nozzle portion 22 communicates with the diffusion portion 20 and ejects the evaporation particles 14 toward the substrate. The evaporated particles 14 diffused in the diffusion portion 20 are sprayed onto the nozzle portion 22 and deposited on the substrate 34.

노즐부(22)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 노즐구가 확산부(20)의 길이 방향으로 이격되어 형성된 형태이거나, 확산부(20)의 길이 방향으로 형성된 긴 슬릿 형태일 수 있다. 본 실시예에서는 노즐부(22)로서 확산부(20)의 길이 방향을 따라 다수의 노즐구가 형성된 형태를 제시한다. As shown in FIG. 1, the nozzle unit 22 may be formed as a plurality of nozzle orifices spaced apart from each other in the longitudinal direction of the diffusion unit 20, or may be formed as a long slit formed in the longitudinal direction of the diffusion unit 20 have. In this embodiment, a plurality of nozzle holes are formed along the longitudinal direction of the diffusion part 20 as the nozzle part 22.

본 실시예에 따른 증발박스(16)는 도 1에 도시된 바와 같이, 직육면체 형상으로 제작될 수 있다. 증발박스(16)의 내부에는 대량의 증발물질(10)의 충전이 가능하여 증발물질(10)의 충전주기를 연장시킬 수 있다. The evaporation box 16 according to the present embodiment can be formed in a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. A large amount of the evaporation material 10 can be filled in the evaporation box 16 and the filling cycle of the evaporation material 10 can be extended.

종래 기술에 따른 증발원의 경우, 증발원에 대량의 증발물질을 충전하는 경우 증발물질의 내부까지 열의 전달이 불균형하게 되고 이에 따라 증착의 균일도 떨어지는 문제가 있었다.In the case of the evaporation source according to the prior art, when the evaporation source is filled with a large amount of evaporation material, heat transfer to the inside of the evaporation material becomes unbalanced, and the uniformity of the evaporation becomes uneven.

그러나, 본 실시예에 따른 증발원의 경우, 증발박스(16)의 중공부(12)와 압력관(18)의 압력차에 의해 증발입자(14)가 속도를 가지고 압력관(18)과 확산부(20)를 통과하기 때문에 증발물질(10)의 충전량에 의한 영향을 덜 받기 때문에 대량으로 증발물질(10)이 충전되더라도 균일한 증착을 수행할 수 있다. However, in the case of the evaporation source according to the present embodiment, the pressure difference between the hollow portion 12 of the evaporation box 16 and the pressure pipe 18 causes the evaporation particles 14 to have a velocity, ), It is less influenced by the charged amount of the evaporation material 10, so even if the evaporation material 10 is filled in a large amount, the uniform deposition can be performed.

종래 기술에 따른 증착장치의 경우, 일회 충전할 수 있는 증발물질의 양이 많지 않아, 기판에 대한 증착과정에서 증발물질이 소진되는 주기가 짧은 문제점이 있다. 따라서 본 실시예에 따른 증발원은, 증발박스(16)를 이용함으로써 증발물질(10)을 대량으로 충전하여 충전주기를 연장시킬 수 있다. 증발박스(16)의 크기는 제작목적, 기판(34)의 크기에 따라 다양하게 제작될 수 있다.In the case of the deposition apparatus according to the prior art, there is a problem in that the amount of the evaporation material that can be charged once is not so large, and the period of time in which the evaporation material is exhausted during the deposition process on the substrate is short. Therefore, the evaporation source according to the present embodiment can extend the filling period by filling the evaporation material 10 in a large amount by using the evaporation box 16. [ The size of the evaporation box 16 may be varied according to the purpose of the production and the size of the substrate 34.

이하에서는 본 실시예에 따른 증발원의 각 구성을 자세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, each configuration of the evaporation source according to the present embodiment will be described in detail.

증발박스(16)는, 증발물질(10)이 수용되는 하부박스(24)와, 하부박스(24)를 커버하는 상부박스(26)로 구성된다. 하부박스(24)의 상단 및 상부박스(26)의 하단은 각각 개방되어 있고, 하부박스(24)에 상부박스(26)를 결합함에 따라 내부에 중공부(12)가 형성된다. The evaporation box 16 is composed of a lower box 24 in which the evaporation material 10 is accommodated and an upper box 26 covering the lower box 24. The upper end of the lower box 24 and the lower end of the upper box 26 are respectively opened and the hollow portion 12 is formed in the lower box 24 by coupling the upper box 26 thereto.

하부박스(24)에는 증발물질(10)이 수용되며, 상부박스(26)에는 상술한 압력관(18), 확산부(20) 및 노즐부(22)가 형성되어 있다.The lower box 24 accommodates the evaporation material 10 and the upper box 26 has the pressure tube 18, the diffusion part 20 and the nozzle part 22 described above.

하부박스(24)의 증발물질(10)을 가열하기 위하여 하부박스(24)의 외벽에는 가열부(28)가 설치된다. 가열부(28)에 의해 가열이 이루어지면 증발물질(10)이 증발되면서 증발입자(14)가 생성되고 증발입자(14)는 상부박스(26)의 압력관(18) 및 확산부(20)를 거쳐 노즐부(22)로 분출된다.A heating unit 28 is installed on the outer wall of the lower box 24 to heat the evaporation material 10 of the lower box 24. When the heating is performed by the heating unit 28, the evaporation material 10 is evaporated and the evaporation particles 14 are generated and the evaporation particles 14 are supplied to the pressure tube 18 and the diffusion unit 20 of the upper box 26 And is ejected to the nozzle unit 22.

증발박스(16)에 수납된 증발물질(10)의 잔여량에 따라 가열부(28)의 온도나 면적을 조절하는 것도 가능하다.It is also possible to adjust the temperature or the area of the heating part 28 according to the remaining amount of the evaporation material 10 stored in the evaporation box 16.

노즐부(22)에서의 증발입자(14)의 분출은 상술한 바와 같이 증발박스(16)의 중공부(12)와 압력관의 압력차에 의해 이루어질 수 있으나, 증발입자(14)의 분출을 용이하게 하기 위해 상부박스(26)와 노즐부(22)에 별도의 가열원을 설치하는 것도 가능하다.The ejection of the evaporation particles 14 in the nozzle unit 22 can be performed by the pressure difference between the hollow portion 12 of the evaporation box 16 and the pressure pipe as described above, It is also possible to provide a separate heating source in the upper box 26 and the nozzle unit 22 in order to make it possible.

이로 인해 증발원의 제작이 간편해지고, 나아가 증발물질(10)의 증착이 완료되면, 하부박스(24)를 상부박스(26)와 분리하여 증발물질(10)을 충전할 수 있으므로, 증발물질(10)의 재충전 과정을 용이하게 진행할 수 있다. As a result, the evaporation material 10 can be easily separated from the upper box 26. Thus, the evaporation material 10 can be easily separated from the upper box 26, Can easily proceed with the recharging process.

도 2를 참조하면, 증발박스(16) 내부에 증발물질(10)이 충전되고 가열부(28)에 의해 증발입자(14)가 생성된다. 증발입자(14)는 압력에 의해 압력관(18)으로 유입되어 확산부(20)에서 확산이 일어난 뒤, 노즐부(22)를 통해 기판(34)을 향해 분사되어 증착이 이루어진다. Referring to FIG. 2, the evaporation material 10 is filled in the evaporation box 16 and the evaporation particles 14 are generated by the heating unit 28. The evaporation particles 14 flow into the pressure tube 18 by pressure and diffuse in the diffusion portion 20 and then sprayed toward the substrate 34 through the nozzle portion 22 to be deposited.

도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착장치는, 기판(34)에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 기판(34)이 내부에 안착되는 진공챔버(30)와, 기판(34)에 대항하도록 진공챔버(30) 내부에 배치되는 상술한 증발원을 포함한다.3, a deposition apparatus according to the present embodiment is a deposition apparatus for forming a thin film on a substrate 34. The deposition apparatus includes a vacuum chamber 30 in which a substrate 34 is placed, Described evaporation source disposed inside the vacuum chamber 30 so as to oppose each other.

진공챔버(30)의 내부는 증발입자(14)의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(34)이 진공챔버(30)의 안착부(32)에 안착된다. 기판(34)의 대향하는 위치에는 증발원이 배치되고 증발물질(10)의 가열에 따라 기판(34)에 대한 증발입자(14)의 증착이 이루어진다. The inside of the vacuum chamber 30 is maintained in a vacuum atmosphere for deposition of the evaporation particles 14 and the substrate 34 is seated in the seating portion 32 of the vacuum chamber 30. [ At an opposite position of the substrate 34, an evaporation source is disposed and evaporation particles 14 are deposited on the substrate 34 in accordance with the heating of the evaporation material 10.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 구성을 설명하기 위한 사시도이다. 도 4에는, 증발물질(10), 증발박스(16), 압력관(18), 노즐구(36), 확산관(38)이 도시되어 있다. 4 is a perspective view illustrating a configuration of an evaporation source according to another embodiment of the present invention. In FIG. 4, the evaporation material 10, the evaporation box 16, the pressure pipe 18, the nozzle aperture 36, and the diffusion pipe 38 are shown.

본 실시예에 따른 증발원은, 확산부를 확산관(38)의 형태로 구성한 것이다.In the evaporation source according to the present embodiment, the diffusion portion is formed in the form of a diffusion tube 38.

상기 일 실시예에서는 증발박스의 상부에 횡격벽을 형성하고 횡격벽에 의해 구획되는 상부 공간을 확산부로 이용한 형태이나, 본 실시예에서는 압력관(18)의 타단에 횡방향으로 결합되는 튜브형태의 확산관(38)을 제시한다. 확산관(38)은 증발박스(16)의 중공부(12) 내부에 배치된다.In this embodiment, a transverse bulkhead is formed on the upper part of the evaporation box and an upper space defined by the transverse bulkhead is used as a diffuser. In the present embodiment, however, a tube-shaped diffusion The tube 38 is presented. The diffusion tube 38 is disposed inside the hollow portion 12 of the evaporation box 16.

확산관(38)은, 양단이 막히고 내부에 중공부(12)가 마련된 튜브 형태로서, 압력관(18)과 서로 연통되도록 압력관(18)의 상단에 횡방향으로 결합된다. 서로 결합된 압력관(18)과 확산관(38)은 대략 T형 상을 갖게 된다. 확산관(38)의 상단에는 확산관(38)의 길이 방향으로 연장되어 증발박스(16)를 관통하는 노즐구(36)가 형성된다. The diffusion tube 38 is in the form of a tube having both ends closed and a hollow portion 12 provided therein and is laterally coupled to the upper end of the pressure tube 18 so as to communicate with the pressure tube 18. The pressure tube 18 and the diffusion tube 38 coupled to each other have a substantially T-shaped phase. At the upper end of the diffusion pipe 38, a nozzle hole 36 extending in the longitudinal direction of the diffusion pipe 38 and passing through the evaporation box 16 is formed.

노즐구(36)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 다수의 노즐구(36)가 확산관(38)의 길이 방향으로 이격되어 형성된 형태이거나, 확산관(38)의 길이 방향으로 형성된 긴 슬릿 형태일 수 있다. 본 실시예에서는 노즐구(36)로서 확산관(38)의 길이 방향을 따라 다수의 노즐구(36)가 형성된 형태를 제시한다. As shown in FIG. 4, the nozzle orifices 36 may be formed in such a manner that a plurality of nozzle orifices 36 are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the diffusion tube 38, Lt; / RTI > In this embodiment, a plurality of nozzle orifices 36 are formed along the longitudinal direction of the diffusion tube 38 as the nozzle orifices 36.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It belongs to the scope of right.

10 : 증발물질 12 : 중공부
14 : 증발입자 16 : 증발박스
18 : 압력관 20 : 확산부
22 : 노즐부 24 : 하부박스
26 : 상부박스 28 : 가열부
30 : 진공챔버 32 : 안착부
34 : 기판 36 : 노즐구
38 : 확산관10: evaporation material 12: hollow part
14: evaporation particles 16: evaporation box
18: pressure tube 20:
22: nozzle unit 24: lower box
26: upper box 28: heating section
30: vacuum chamber 32:
34: substrate 36: nozzle hole
38: diffusion tube

Claims (5)

내부에 증발물질이 수용되는 중공부를 구비하며, 상기 증발물질을 가열하여 상기 중공부에 증발입자를 생성하는 증발박스;
상기 중공부에 위치하며 상기 증발입자가 유입되도록 일단이 상기 증발물질의 상부에 위치하는 압력관;
상기 압력관과 연통되도록 상기 압력관의 타단에 횡방향으로 결합되며, 유입된 상기 증발입자를 확산시키는 확산부; 및
상기 확산부와 연통되며 상기 증발입자가 분출되는 노즐부를 포함하는, 증발원.
An evaporation box having a hollow portion in which an evaporation material is accommodated, and heating the evaporation material to generate evaporation particles in the hollow portion;
A pressure tube positioned at the hollow portion and having one end positioned above the evaporation material so that the evaporation particles are introduced;
A diffusion part that is laterally coupled to the other end of the pressure pipe to communicate with the pressure pipe and diffuses the introduced evaporated particles; And
And a nozzle portion communicating with the diffusion portion and through which the evaporation particles are ejected.
제1항에 있어서,
상기 확산부는, 상기 압력관의 타단에 횡방향으로 결합되는 확산관을 포함하고,
상기 노즐부는, 상기 확산관의 길이 방향으로 형성되며 상기 증발박스를 관통하는 복수의 노즐구를 포함하는, 증발원.
The method according to claim 1,
Wherein the diffusion section includes a diffusion tube which is laterally coupled to the other end of the pressure tube,
Wherein the nozzle portion includes a plurality of nozzle orifices formed in the longitudinal direction of the diffusion tube and passing through the evaporation box.
제1항에 있어서,
상기 증발박스는,
상기 증발물질이 수용되는 하부박스; 및
상기 하부박스를 커버하는 상부박스를 포함하는, 증발원.
The method according to claim 1,
The evaporation box comprises:
A lower box in which the evaporation material is accommodated; And
And an upper box covering the lower box.
제3항에 있어서,
상기 증발박스는,
상기 하부박스의 외벽에서 상기 증발물질을 가열하는 가열부를 더 포함하는, 증발원.
The method of claim 3,
The evaporation box comprises:
Further comprising a heating section for heating the evaporation material on an outer wall of the lower box.
기판에 박막을 형성하기 위한 장치로서,
상기 기판이 내부에 안착되는 진공챔버와;
상기 기판에 대항하도록 상기 진공챔버 내부에 배치되는 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 증발원을 포함하는, 증착장치.
An apparatus for forming a thin film on a substrate,
A vacuum chamber in which the substrate is seated;
And an evaporation source according to any one of claims 1 to 4, disposed inside the vacuum chamber so as to oppose the substrate.
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