KR20150017961A - 기판 판별 장치, 기판 판별 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법 - Google Patents

기판 판별 장치, 기판 판별 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법 Download PDF

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김기택
유정화
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Abstract

베이스 기판과 가요성 기판을 판별할 수 있는 기판 판별 장치, 기판 판별 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법이 제공된다. 기판 판별 장치는 기판과 대향되고 상기 기판의 대향면에 광을 방출하는 발광부, 상기 기판의 대향면에서 반사된 광을 수광하여 광학 정보를 검출하는 수광부, 상기 광학 정보와 기준값을 저장하는 메모리부 및 상기 광학 정보와 상기 기준값을 비교하여 상기 대향면이 기판의 일면 또는 타면인지를 판별하는 제어부를 포함한다.

Description

기판 판별 장치, 기판 판별 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법{APPARATUS AND METHOD FOR DETERMINING SUBSTRATE, AND MANUFACTURING METHOD FOR FLEXIBLE DISPLAY USING THE SAME}
본 발명은 기판 판별 장치, 기판 판별 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 베이스 기판과 가요성 기판을 판별하는 장치, 베이스 기판과 가요성 기판을 판별하는 방법 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 제조방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이에는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 플라스마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display, OLED) 등이 있다. 그러나 기존의 액정 표시 장치, 플라스마 디스플레이 패널, 유기 발광 표시 장치 등은 유리 기판을 사용하기 때문에 유연성이 떨어져 응용과 용도에 한계가 있다.
따라서 최근 유리 기판 대신에 플라스틱, 호일 등과 같이 유연성 있는 재료의 기판을 사용하여 구부러질 수 있게 제조된 플렉서블 표시 장치가 차세대 표시 장치로 활발히 개발되고 있다.
플렉서블 표시 장치는 가요성 기판을 필요로 한다. 그런데, 일반적으로 알려진 가요성 기판은 내열성의 한계 때문에 기존 유리 기판용 패널 제작 공정에 유리 기판 대신 투입되어 적용되기가 쉽지 않은 것으로 알려져 있다. 이에, 유리 기판을 베이스로 하여 패널을 형성한 후, 이후 유리 기판을 제거함으로써, 패널에 가요성을 부여하는 방법들이 연구되고 있다.
그런데, 유기 기판의 제공을 위해서는 상기 유리 기판과 가요성 기판의 결합체가 공정 설비에 정확하게 실장되었는지 확인하는 것이 필요하다. 만약, 공정 설비에 기판 결합체가 반대로 실장되었음에도, 이를 확인하지 않고 공정을 진행할 경우, 제품 불량 및, 공정 설비 오작동이 야기될 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하려는 과제는 베이스 기판과 가요성 기판의 광학 정보를 검출하여 베이스 기판과 가요성 기판을 판별할 수 있는 기판 판별 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하려는 다른 과제는 베이스 기판과 가요성 기판의 광학 정보를 검출하여 베이스 기판과 가요성 기판을 판별할 수 있는 기판 판별 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 공정 중 베이스 기판과 가요성 기판을 판별하여, 불량률을 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있는 플렉서블 표시 장치 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치는 기판과 대향되고 상기 기판의 대향면에 광을 방출하는 발광부, 상기 기판의 대향면에서 반사된 광을 수광하여 광학 정보를 검출하는 수광부, 상기 광학 정보와 기준값을 저장하는 메모리부 및 상기 광학 정보와 상기 기준값을 비교하여 상기 대향면이 기판의 일면 또는 타면인지를 판별하는 제어부를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법은 광학 성질이 상이한 일면과 타면을 포함하는 기판을 준비하는 단계, 상기 기판의 대향면에서 광학 정보를 검출하는 단계 및 상기 광학 정보와 저장된 기준값을 비교하여 상기 광학 정보가 검출된 대향면이 상기 기판의 일면 또는 타면인지를 판별하는 단계를 포함한다.
상기 또 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법은 제1 기판 및 상기 제1 기판에 부착된 제2 기판을 포함하는 기판을 형성하는 단계, 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판 중 어느 하나의 기판의 광학 정보를 검출하는 단계, 상기 광학 정보를 기초로 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 판별 및 비교하는 단계 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 베이스 기판 또는 가요성 기판의 적층 순서를 판별함으로써, 공정 불량 및 공정 설비 오작동을 감소시킬 수 있고, 그에 따라 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치와 기판의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치의 구성과 기판을 함께 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치의 발광부 및 수광부를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치의 발광부 및 수광부를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광부에서 방출된 광의 비율을 나타낸 개략도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수광부에서 수광된 광의 비율을 나타낸 개략도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치의 구성과 기판을 함께 도시한 개략도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 순서도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 기판 준비 단계를 나타낸 개략도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 광학 정보 검출 단계를 나타낸 개략도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 결합체 형성 단계를 나타낸 순서도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판의 단면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 판별 단계를 나타낸 순서도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판의 배치 변경을 나타낸 개략도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 분리 단계를 나타낸 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치와 기판의 개략도이다.
도 1를 참조하면 기판(s)은 다른 재료 및 성질을 가진 두 기판이 부착되어 형성된 적층 기판일 수 있다. 즉, 기판(s)은 제1 기판(s1)과 제1 기판(s1)의 타면 상에 부착된 제2 기판(s2)을 포함할 수 있다. 제1 기판(s1)의 타면과 제2 기판(s2)의 일면은 접착층(미도시) 등을 개재하여 상호 결합될 수 있다.
제1 기판(s1)은 베이스 기판일 수 있고, 제2 기판은 가요성 기판일 수 있다.
제1 기판(s1)은 유리 등과 같은 비가요성 절연 물질로 형성될 수 있다. 제2 기판(s2)은 캡톤(kapton), 폴리에테르술폰 (polyethersulphone, PES), 폴리카보네이트 (polycarbonate, PC), 폴리이미드 (polyimide, PI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트 (polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리아릴레이트(polyacrylate, PAR) 및 섬유 강화 플라스틱(fiber reinforced plastic: FRP) 등의 가요성 물질로 이루어질 수 있다.
기판(s)은 다른 재료 및 성질을 가진 두 기판(s1, s2)이 상호 적층되어 형성되므로, 기판(s)의 일면(f1)과 타면(f2)은 광학 성질이 상이할 수 있다. 여기서, 기판(s)의 일면은 제1 기판(s1)의 일면으로 구성되고, 기판(s)의 타면은 제2 기판(s2)의 타면(f2)으로 이루어질 수 있다. 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2) 간 광학 성질의 차이를 이용하면, 기판(s)의 일측, 예컨대 기판(s)의 하부에 위치하는 면이 제1 기판(s1)의 면인지 제2 기판(s2)의 면인지 판별될 수 있다. 따라서, 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)의 적층 위치 및 적층 순서가 확인될 수 있다.
기판 판별 장치(10)는 기판(s)과 이격되어 배치될 수 있다. 기판(s)의 일면(f1) 또는 타면(f2)중 어느 하나는 기판 판별 장치(10)와 대향되도록 배치될 수 있다. 도면에서는 기판 판별 장치(10)와 대향되는 기판(s)의 대향면(o)이 제1 기판(s1)의 일면으로 이루어진 기판(s)의 일면(f1)인 경우를 예시하지만, 이와 달리 대향면(o)이 제2 기판(s2)의 타면으로 이루어진 기판(s)의 타면(f2)일 수도 있다.
기판 판별 장치(10)는 대향면(o)으로부터 광학 정보(OI)를 얻을 수 있다. 기판 판별 장치(10)는 광학 정보(OI)를 기초로 하여 대향면(o)이 일면(f1)인지 또는 타면(f2)인지를 판별할 수 있고, 이에 따라 대향하는 기판이 제1 기판(s1)인지 아니면 제2 기판(s2)인지 여부를 판별할 수 있다.
기판 판별 장치(10)는 기판(s1)의 대향면(o)과 일정 간격(h)만큼 이격되어 배치될 수 있다. 상기 간격(h)은 5 mm 내지 50 mm 일 수 있다. 도 1은 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2)의 광학 정보(OI)를 하나의 기판 판별 장치(10)가 검출하는 것을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치는 복수의 기판 판별 장치가 기판(S)의 광학 정보(OI)를 검출할 수 있다.
이하, 도 2를 참조하여 기판 판별 장치(10)의 구성에 대해서 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치의 구성과 기판을 함께 도시한 개략도이다.
기판 판별 장치(10)는 발광부(110), 수광부(120), 메모리부(130) 및 제어부(140)를 포함할 수 있다. 발광부(110)는 제어부(140)로부터 입력된 광방출 신호(EL)에 따라 기판(s)의 대향면(o)을 향해 광을 방출할 수 있다. 상기 방출된 광의 일부는 기판(s)의 대향면(o)에 흡수될 수 있고, 또한 상기 방출된 광의 다른 일부는 기판(s)의 대향면(o)에서 반사될 수 있다. 대향면(o)은 기판(s)의 배치 방향에 따라 도 2에 도시된 바와 같이 기판(s)의 일면(f1)일 수 있고, 도 2에 도시된 바와 달리 기판(s)의 타면(f2)일 수 있다. 상술한 것처럼, 기판의 일면(f1)과 타면(f2)는 광학적 성질이 상이하기 때문에 대향면(o)이 일면(f1) 또는 타면(f2)인지에 따라서 반사된 광의 주파수, 위상, 파장 및 광량이 달라질 수 있다.
수광부(120)는 대향면(o)에서 반사된 광을 수광할 수 있다. 수광부(120)는 수광된 광을 분석하여 전기적 신호인 광학 정보(OI)로 변환할 수 있다. 광학 정보(OI)는 대향면(o)에서 반사된 광의 주파수, 위상, 파장 및 광량에 대응하여 변환된 수치일 수 있다. 따라서 대향면(o)이 일면(f1)인 경우와 타면(f2)인 경우 반사된 광학 정보(OI)의 값은 다를 수 있다. 수광부(120)는 광학 정보(OI)를 메모리부(130)로 전송할 수 있다. 발광부(110) 및 수광부(120)는 광섬유 케이블을 포함하는 광섬유 센서로 이루어질 수 있다. 더욱 구체적인 설명을 위해 도 3이 참조된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 장치의 발광부 및 수광부를 나타낸 개략도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 발광부(110) 및 수광부(120)는 광섬유 케이블(113, 123)을 더 포함할 수 있다.
발광부(110)는 발광 소자(111), 발광 렌즈(112) 및 발광 케이블(113)을 포함할 수 있다. 발광 소자(111)는 자체 발광을 할 수 있는 소자일 수 있고, 예를 들어 발광 다이오드(Light Emitting Diode)일 수 있다. 발광 소자(111)에서 방출된 광은 380 nm 내지 750 nm의 파장을 가지는 가시광선 또는 750 nm 이상의 파장을 가지는 적외선일 수 있다. 발광 소자(111)는 제어부(140)로부터 입력된 광방출 신호(EL)에 따라 광을 방출할 수 있다.
발광 케이블(113)의 일단은 발광 소자(111)와 연결되고 타단은 발광 렌즈(112)와 연결될 수 있다. 따라서 발광 케이블(113)은 발광 소자(111)에서 방출된 광을 발광 렌즈(112)로 전송할 수 있다. 발광 케이블(113)은 굴절률 큰 물질층과 굴절률이 작은 물질층이 적층된 구조를 가져, 발광 소자(111)에서 방출된 광이 발광 케이블(113)내에서 전반사되어 진행할 수 있다. 상기 전반사에 의한 광의 전송은 전송과정에서 광의 손실을 최소화할 수 있고, 그에 따라 발광 소자(111)와 발광 렌즈(112)의 거리가 멀더라도 효율적인 광의 전송을 할 수 있다. 또한 발광 케이블(113)은 유연한 성질을 가질 수 있으며, 그로부터 장소에 제한되지 않고 기판 판별 장치(10)를 배치할 수 있다.
발광 렌즈(112)는 예컨대, 오목 렌즈가 적용될 수 있다. 발광 렌즈(112)는 전송된 광을 변환하여 제1 방향(D1)으로 평행한 광을 방출할 수 있다. 발광 렌즈(112)를 통해 방출된 광의 일부는 대향면(o)에서 흡수될 수 있고, 방출광의 다른 일부는 대향면(o)에서 반사되어 제1 방향(D1)의 반대 방향으로 수광부(120)로 진행될 수 있다. 발광부(110)는 발광 렌즈(112)와 발광 케이블(113)사이에 배치되는 발광 화이버(미도시)를 더 포함할 수 있다. 발광 화이버(미도시)는 발광 효율을 높이기 위해 전송된 광을 균일화할 수 있다.
또한, 발광부(110)와 수광부(120)의 사이에 배치되어 방출되는 광과 수광되는 광의 간섭을 방지하는 차광막(미도시)을 더 포함할 수 있다.
수광부(120)는 수광 소자(121), 수광 렌즈(122) 및 수광 케이블(123)을 포함할 수 있다. 수광 렌즈(122)는 수광되는 광을 모아서 수광 케이블(123)로 전송할 수 있다. 수광 렌즈(122)로는 오목 렌즈가 적용될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 수광 케이블(123)은 발광 케이블(113)에서와 같이 전반사를 통해서 광을 수광 소자(121)로 전송할 수 있다. 수광 소자(121)는 수광된 광의 성질, 파장 및 광량 등을 분석하여 전기적 신호인 광학 정보(OI)로 변환할 수 있고, 광학 정보(OI)를 메모리부(130)에 전송할 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 메모리부(130)는 RAM(Random Access Memory) 및 ROM(Read Only Memory)을 포함할 수 있다. 메모리부(130)의 RAM은 수광부(120)에서 전송된 광학 정보(OI)를 임시 저장할 수 있다. 또한, RAM은 산술 연산 또는 로직 연산에 필요한 작업 영역 및 인식 조건 테이블(reading condition table) 영역을 제공할 수 있다. 메모리부(130)의 ROM은 여러 유형의 동작 프로세스 프로그램 또는 기판 판별 프로그램을 저장할 수 있다. 상기 기판 판별 프로그램은 일면(f1)과 타면(f2)을 구분하는 기준값(SV)을 포함할 수 있다. 기준값(SV)는 기판(s)의 일면(f1)과 타면(f2)에 대해 누적된 광학 정보(OI) 측정값을 토대로 산출된 것일 수 있다.
제어부(140)는 연산 관련 작업, 기판 판별 장치(10)의 전체적인 제어 및 기판 판별 작업을 수행할 수 있다. 제어부(140)는 대향면(s)의 광학 정보(OI)와 기준값(SV)을 비교하여, 대향면(s)의 광학 정보(OI)가 기판(s)의 일면(f1) 또는 타면(f2)인지를 판별할 수 있다. 예를 들어, 제어부(140)는 기준값(SV)보다 미만인 값의 광학 정보(OI)를 가지는 대향면(o)을 일면(f1)으로 판별할 수 있고, 기준값(SV) 이상인 광학 정보(OI)를 가지는 대향면(o)을 타면(f2)으로 판별할 수 있다. 대향면(o)이 기판(s)의 일면(f1)인지 또는 타면(f2)인지를 판별하면, 기판 판별 장치(10)와 대향하는 기판이 제1 기판(s1)인지 또는 제2 기판(s2)를 판별할 수 있다. 따라서, 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)의 적층 위치 및 순서가 확인될 수 있다. 제어부(140)는 기판의 판별 결과를 사용자에게 제공할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치의 발광부 및 수광부를 나타낸 개략도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치의 발광부(210)는 삼원색(RGB) 발광 소자(211R, 211G, 211B), 발광 렌즈(212) 및 발광 미러(213)을 포함할 수 있다. 발광 소자들(211)은 빛의 삼원색인 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)을 각각 자체 발광하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode)를 포함할 수 있다. 적색 발광 소자(211R)은 예컨대, GaAs(갈륨비소)의 PN접합을 이용하여 생성될 수 있고, 녹색 발광 소자(211G)는 예컨대, GaP(갈륨인)에 불순물로 Zn, O를 첨가하여 생성될 수 있고, 청색 발광 소자(211B)는 예컨대, GaN(질화갈륨)의 에피텍셜(epitaxial)한 성장으로 생성될 수 있다. 각각의 발광 다이오드는 발광부(210)내에서 다른 위치에 배치될 수 있다. 도 4에 도시된 발광 다이오드의 배치는 하나의 예시일뿐 이에 한정되는 것은 아니다. 청색 발광 소자(211B)는 제1 방향(D1)으로 제1 방출 미러(213a)를 향해 청색광을 방출할 수 있고, 녹색 발광 소자(211G)는 제1 방출 미러(213a)를 향해 제2 방향(D2)로 녹색광을 방출할 수 있다. 제1 방출 미러(213a)는 상기 청색광과 상기 녹색광을 혼합시키지 않고 각각 구분하여 제2 방출 미러(213b)를 향해 D1방향으로 진행시킬 수 있다. 적색 발광 소자(211R)은 제2 방출 미러(213b)를 향해 적색광을 방출할 수 있다. 제2 방출 미러(213b)는 상기 청색광, 녹색광 및 적색광을 서로 혼합하거나 산란시키지 않고 발광 렌즈(212)을 향해 제1 방향(D1)으로 진행시킬 수 있다. 발광 렌즈(212)는 예컨대, 오목 렌즈가 적용될 수 있다. 발광 렌즈(212)는 전송된 청색광, 녹색광 및 적색광을 변환하여 평행한 광으로 방출할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광부에서 방출된 광의 비율을 나타낸 개략도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수광부에서 수광된 광의 비율을 나타낸 개략도이다.
도 5를 참조하면, 발광부(210)에서 방출된 광은 기판(s)를 향해 제1 방향(D1)으로 진행할 수 있고, 상기 방출된 광은 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)을 포함할 수 있다. 또한 상기 방출된 광은 동일한 광량의 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)을 포함할 수 있고, 그에 따라 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)의 비율은 동일할 수 있다.
도 6을 참조하면, 기판(s)에서 반사된 광은 수광부(220)를 향해 제1 방향(D1)의 반대 방향으로 진행할 수 있고, 반사된 광은 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)을 포함할 수 있다. 다만, 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)의 각 파장에 따라 기판(s)에서 흡수되는 광량이 서로 상이할 수 있고, 그에 따라 반사된 광량은 도 6에 예시된 바와 같이 파장별로 상이해질 수 있다. 더 나아가, 기판(s)은 광학 성질이 다른 일면(f1)과 타면(f2)을 포함하므로, 일면(f1)에서 반사된 광과 타면(f2)에서 반사된 광은 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)의 비율이 서로 다를 수 있다. 따라서 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)의 비율의 차이는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치(20)에서 일면(f1)과 타면(f2)을 판별할 수 있는 광학 정보(OI)로 활용될 수 있다.
수광부(220)는 삼원색(RGB) 수광 소자(221) 및 수광 렌즈(222)를 포함할 수 있다. 수광 렌즈(222)는 수광되는 광을 모아서 수광 소자(221)로 전송할 수 있다. 삼원색(RGB) 수광 소자(221)는 수광된 광을 분석하여 전기적 신호인 광학 정보(OI)로 변환할 수 있다. 광학 정보(OI)는 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue)의 비율에 관한 것일 수 있고 이를 반영하여 수치화한 데이터일 수 있다. 수광량의 차이뿐만 아니라 삼원색(RGB)의 비율을 반영한 광학 정보(OI)는 일면(f1)과 타면(f2)을 더욱 명확하게 구분할 수 있다. 삼원색(RGB) 수광 소자(221)는 광학 정보(OI)를 메모리부(230)에 전송할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치의 구성과 기판을 함께 도시한 개략도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 판별 장치(30)는 기판(s)를 고정하는 고정 부재(350) 및 기판(s)를 인식하는 기판 인식부(360)를 더 포함할 수 있다.
고정 부재(350)는 제1 고정 부재(350a) 및 제2 고정 부재(350b)를 포함할 수 있다. 제1 고정 부재(350a) 및 제2 고정 부재(350b)는 판별 대상인 기판(s)의 일단과 타단을 각각 고정하여, 기판 판별 장치(30)와 기판(s)의 일정한 거리(h)를 유지하도록 할 수 있다. 상기 간격(h)은 기판 판별 장치(30)가 기판(s)에 대한 광의 방출과 반사된 광의 수광이 가장 효율적인 거리일 수 있다. 일정 거리(h)는 5 mm 내지 50 mm 일 수 있다. 즉, 고정 부재(350)는 판별 작업 조건을 고정화하고, 효율적인 광학 정보(OI)의 검출을 제공할 수 있다. 고정 부재(350)는 기판 판별 장치(30)와 일체일 수 있고 또는 플렉서블 표시 장치 설비 공정에 형성된 고정 부재일 수 있다. 고정 부재(350)에 기판(s)이 고정되었을 때, 고정 부재(350)는 기판(s)의 고정 여부를 제어부(340)에 전달할 수 있다.
기판 인식부(360)는 판별 대상인 기판(s)가 공정 설비에 실장되었는지 여부를 인식할 수 있다. 기판 인식부(360)는 감지 센서일 수 있다. 즉, 기판 인식부(360)는 실장된 기판(s)에 의해 반사되는 광을 인지하여 기판(s)의 실장 여부를 인식할 수 있다. 기판(s)이 인식되었을 때, 기판 인식부(360)는 알람등(361)을 점등하여 인식 여부를 사용자에게 알람(alarm)할 수 있다. 또한 기판 인식부(360)는 기판(s)가 인식되었을 때 인식 여부를 제어부(340)에게 전달할 수 있다.
제어부(340)는 고정 부재(350)의 기판 고정 신호 및 기판 인식부(360)의 기판 인식 신호를 수신한 뒤, 상기 신호들에 대응하여 발광부(310)에 광을 방출하라는 광방출 신호(EL)를 전달할 수 있다. 고정 부재(350) 및 기판 인식부(360)는 기판(s)이 실장이 완료된 후 기판(s)을 판별하도록 순차적이고 일정한 공정을 제공하여 기판 판별 장치(30)의 판별 작업의 효율과 정확성을 높일 수 있다.
그 밖의 기판 판별 장치(30)의 구성에 대한 설명은 동일한 명칭을 갖는 도 1 내지 도 3에서 설명한 기판 판별 장치(10)의 구성에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로, 생략하도록 한다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법에 대해서 설명하도록 한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 순서도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법은 광학 성질이 상이한 일면과 타면을 포함하는 기판을 준비하는 단계(S110), 상기 기판의 대향면에서 광학 정보를 검출하는 단계(S120) 및 상기 대향면이 상기 기판의 일면 또는 타면이지를 판별하는 단계(S130)를 포함한다.
먼저, 기판을 준비한다(S110). 상기 단계의 더욱 상세한 설명을 위해 도 9가 참조된다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 기판 준비 단계를 나타낸 개략도이다.
다른 재료 및 성질을 가진 두 기판이 부착되어 형성된 적층 기판일 수 있다. 즉, 기판(s)은 제1 기판(s1)과 제1 기판(s1)의 타면 상에 부착된 제2 기판(s2)를 포함할 수 있다. 제1 기판(s1)은 제2 기판(s2)이 공정 중에 뒤틀리지 않도록 고정하는 역할을 할 수 있다. 즉, 제1 기판(s1)은 유리 등의 절연 물질을 포함하는 비가요성 기판일 수 있고, 제2 기판(s2)은 가요성 기판일 수 있다.
기판(s)은 다른 재료 및 성질을 가진 두 기판(s1, s2)이 상호 적층되어 형성되므로, 기판(s)의 일면(f1)과 타면(f2)은 광학 성질이 상이할 수 있다. 여기서, 기판(s)의 일면은 제1 기판(s1)의 일면으로 구성되고, 기판(s)의 타면은 제2 기판(s2)의 타면(f2)으로 이루어질 수 있다. 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2) 간 광학 성질의 차이를 이용하면, 기판(s)의 일측, 예컨대 기판(s)의 하부에 위치하는 면이 제1 기판(s1)의 면인지 제2 기판(s2)의 면인지 판별될 수 있다.
기판을 준비하는 단계(S110)에서 기판(s)은 고정 부재(350)에 의해 고정될 수 있다. 제1 고정 부재(350a)는 기판(s)의 일단과 제2 고정 부재(350b)는 기판(s)의 말단과 각각 결합하여 기판(s)이 움직이지 않도록 고정할 수 있으며, 기판(s)이 기판 판별 장치(30)와 일정 간격(h)를 유지하도록 할 수 있다. 또한 고정 부재(350)는 기판(s)이 고정되었을 때 고정 여부 신호를 제어부(340)에 전달할 수 있다.
기판을 준비하는 단계(S110)에서 기판 인식부(360)는 기판(s)를 인식할 수 있다. 기판 인식부(360)는 판별 대상인 기판(s)이 공정 설비에 실장되었는지 여부를 인식할 수 있다. 기판 인식부(360)는 감지 센서로서 기판(s)이 인식되었다면, 알람등(361)을 점등하여 이를 사용자에게 알릴 수 있고, 기판(s)의 인식 여부 신호를 제어부(340)에 전달할 수 있다.
이어서, 기판의 대향면에서 광학 정보를 검출한다(S120). 도 10을 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 판별 방법의 광학 정보 검출 단계를 나타낸 개략도이다.
고정부(350)의 고정 여부 신호 및 기판 인식부(360)의 기판 인식 신호를 수신받은 제어부(340)는 발광부(310)에 발광 신호(EL)을 전달할 수 있다. 발광부(310)는 발광 신호(EL)에 대응하여 기판(s)의 대향면(o)으로 광을 방출할 수 있다. 방출된 광이 향하는 대향면(o)은 제1 기판(s1)의 일면(f1) 또는 제2 기판(s2)의 타면(f2)일 수 있다. 상기 방출된 광의 일부는 대향면(o)에 흡수될 수 있고, 또한 상기 방출된 광의 다른 일부는 대향면(o)에서 반사되어 수광부(320)에서 수광될 수 있다. 수광부(320)는 수광된 광을 광학 정보(OI)로 변경하여 메모리부(330)로 전송할 수 있다. 발광부(310) 및 수광부(320)는 광섬유 케이블을 포함하는 광섬유 센서일 수 있다. 이 경우 광학 정보(OI)는 대향면(o)에서 반사된 광의 주파수, 위상, 파장 및 광량에 대응하여 변환한 수치일 수 있다. 또한 본 발명의 다른 실시예에서 발광부(310)는 삼원색(RGB) 발광 소자를 포함할 수 있고 수광부(320)는 삼원색(RGB) 수광 소자를 포함할 수 있다. 이 경우 광학 정보(OI)는 반사된 광의 성질, 파장 및 광량뿐만 아니라 적색광(Red), 녹색광(Green), 청색광(Blue) 각각의 비율을 반영하여 수치화한 데이터일 수 있다. 광학 정보(OI)는 대향면(o)이 일면(f1)인지 또는 타면(f2)인지에 따라 달라 질 수 있으며, 광학 정보(OI)의 차이에 의해 대향면(o)이 일면(f1)인지 또는 타면(f2)인지를 판별할 수 있다.
이어서, 대향면을 판별한다(S130). 제어부(340)는 메모리부(330)에 저장된 대향면(o)의 광학 정보(OI)와 기준값(SV)를 비교하여, 광학 정보(OI)가 일면(f1)인지 또는 타면(f2)의 광학 정보(OI)인지 판별할 수 있다.
예를 들어, 제어부(140)는 기준값(SV)보다 미만인 값의 광학 정보(OI)를 가지는 대향면(o)을 일면(f1)으로 판별할 수 있고, 기준값(SV) 이상인 광학 정보(OI)를 가지는 대향면(o)을 타면(f2)으로 판별할 수 있다. 대향면(o)이 기판(s)의 일면(f1)인지 또는 타면(f2)인지를 판별하면, 기판 판별 장치(10)와 대향하는 기판이 제1 기판(s1)인지 또는 제2 기판(s2)를 판별할 수 있다. 따라서, 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)의 적층 위치 및 순서가 확인될 수 있다. 제어부(140)는 기판의 판별 결과를 사용자에게 제공할 수 있다.
이하, 상기 기판 판별 방법을 이용한 플렉서블 표시 장치 제조 방법에 대해 설명하도록 한다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 11을 참조하면, 플렉서블 표시 장치 제조 장법은 제1 기판 및 상기 제1 기판에 부착된 제2 기판을 포함하는 기판을 형성하는 단계(S210), 기판 판별 장치와 대향되는 기판의 광학 정보를 검출하는 단계(S220), 상기 대향 기판을 판별 및 비교하는 단계(S230) 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 분리하는 단계(S240)를 포함한다.
먼저, 기판을 형성한다(S210). 도 12 및 도 13을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 형성 단계를 나타낸 순서도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판의 단면도이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 기판 형성 단계(S210)는 제1 기판과 제2 기판을 접착하는 접착 단계(S211) 및 상기 제2 기판 상에 발광 소자층을 형성하는 단계(S212)를 포함할 수 있다.
제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)을 접착한다(S211). 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)을 접착하여 기판(s)를 형성할 수 있다. 제1 기판(s1)은 비가요성 기판일 수 있고, 제2 기판(s2)는 가요성 기판일 수 있다. 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)에 대한 설명은 상술한 것과 동일하므로 생략하도록 한다. 기판(s)은 제1 기판(s1) 및 제2 기판(s2) 사이에 개재된 접착층(ad)을 더 포함할 수 있다. 접착층(ad)은 제1 기판(s1)에 제2 기판(s2)을 고정할 수 있다. 접착층(ad)은 광투과성 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 접착층(ad)은 특정 파장의 레이저를 통과시키는 투과도를 가지고, 유리 전이 온도가 220℃ 이상인 내열성을 가질 수 있다. 예를 들어, 접착층(ad)은 실리콘, 폴리실리콘, 아크릴 계열 등의 고분자 접착제를 포함할 수 있다. 접착층(ad)은 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2) 상에 프린팅(printing) 방식, 슬릿 코팅(slit coating) 방식, 스핀 코팅(spin coating) 방식, 디핑(dipping) 방식 등으로 형성될 수 있다. 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)의 특징과 재료는 앞서 설명한 것과 동일하므로 생략하도록 한다.
이어서, 제2 기판(s2) 상에 발광 소자층(LE)을 형성한다(S212). 도 13에 도시된 바와 같이, 발광 소자층(LE)은 복수개의 화소(PX) 및 화소(PX)를 보호하는 캡핑층(cap)를 포함할 수 있다. 발광 소자층(LE)의 형성 공정에서 화소(PX)는 캡핑층(cap)보다 먼저 형성될 수 있고, 이후 캡핑층(cap)이 화소(PX) 상에 형성될 수 있다.
화소(PX)는 제2 기판(s2) 상에 형성될 수 있다. 화소(PX)는 박막 트랜지스터(Tr) 및 발광층(Eml)을 포함할 수 있다. 박막 트랜지스터(Tr)는 반도체층(411), 게이트 전극(412), 드레인 전극(413) 및 소스 전극(414)을 포함할 수 있다.
박막 트랜지스터(Tr)는 제2 기판(s2) 상에 반도체층(411), 제1 절연막(441), 게이트 전극(412), 제2 절연막(442), 소스, 드레인 전극(414, 413) 및 제3 절연막(443)이 순차적으로 적층되어 형성될 수 있다. 상기 부품들은 포토마스크를 이용한 포토리소그라피 공정에 의해 형성될 수 있다. 포토리소그라피 공정은 노광장치(미도시)로 노광 후, 현상(developing), 식각(etching), 및 스트립핑(stripping) 또는 에싱(ashing) 등과 같은 일련의 공정을 거쳐 진행될 수 있다.
반도체층(411)은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)일 수 있다. 반도체층(411) 상에 형성되는 제1 절연층(441)은 SiNx, SiO2, SiON, Al2O3, TiO2와 같은 무기물일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 몇몇 실시에에 의하면 제1 절연층(160)은 유기물로 형성될 수도 있다. 게이트 전극(412)은 ITO, IZO, ZnO 및 In2O3과 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 투명 도전성 산화물일 수 있다. 제2 절연층(442)은 제1 절연층(441)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 소스, 드레인 전극(414, 413)은 제2 절연층(442)에 형성된 제1, 제2 콘택홀(C1, C2)을 통해 반도체층(411)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 절연층(443)은 일반 범용고분자(PMMA, PS), phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등과 같은 유기 절연물로 형성될 수 있다.
박막 트랜지스터(Tr)의 소스 전극(414)는 데이터 신호(미도시)와 연결될 수 있고, 드레인 전극(413)은 발광층(Eml)의 제1 전극(431)과 연결될 수 있다. 상기 데이터 반도체층(411)은 제1 콘택홀(C1)을 통해 소스 전극(414)과 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 콘택홀(C2)를 통해 드레인 전극(413)과 전기적으로 연결될 수 있다. 박막 트랜지스터(Tr)의 게이트 전극(412)에 전압이 인가되면, 반도체층(411)은 활성화될 수 있다. 활성화된 반도체층(411)은 소스 전극(414)과 드레인 전극(413)을 전기적으로 연결할 수 있고, 소스 전극(414)의 데이터 신호에 대응하는 전류를 드레인 전극(413)을 통해 제1 전극(431)으로 전달할 수 있다. 즉, 박막 트랜지스터(Tr)는 발광층(Eml)의 제1 전극(431)에 전달되는 데이터 신호를 제어할 수 있다.
발광층(Eml)은 제1 전극(431), 발광물질(432) 및 제2 전극(433)을 포함할 수 있다. 제1 전극(431)은 애노드 전극일 수 있고, 제2 전극(433)은 캐소드 전극일 수 있다.
제1 전극(431)은 제3 절연층(443) 상에 형성될 수 있다. 제1 전극(431)은 제3 콘택홀(C3)를 통해서 드레인 전극(413)과 전기적으로 연결될 수 있고, 드레인 전극(413)으로부터 전류를 전달받을 수 있다. 제1 전극(431)은 일함수가 높은 물질일 수 있다. 예를 들어 제1 전극(431)은 ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전성 물질일 수 있고, 알루미늄 산화물(Al2O3) 또는 아연 산화물(ZnO)와 같은 금속 산화물일 수 있다.
유기층(432)은 제1 전극(431) 상에 형성될 수 있다. 유기층(432)은 정공 주입층(HIL: hole injection layer), 정공 수송층(HTL: hole transport layer), 유기 발광층(EML: emissive layer), 전자 수송층(ETL: electron transport layer), 전자 주입층(EIL: electron injection layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있다. 유기층(432)은 제1 전극(431)으로 전달되는 전류에 대응되는 밝기로 발광할 수 있다. 보다 상세히 설명하면, 유기층(432)에 정공 및 전자가 제공되면, 정공 및 전자가 상호 결합하여 엑시톤이 형성될 수 있다. 엑시톤이 여기 상태로부터 기저 상태로 에너지 준위가 변동될 수 있고, 변동된 에너지 준위에 대응하는 색을 가진 광이 방출될 수 있다. 유기층(432)은 적색, 청색, 녹색 중 하나의 색을 발광할 수 있다. 유기층(432)의 발광 재료는 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N, N-디(나프탈렌-1-일)-N, N'-디페닐-벤지딘 (NPB: N, N'-Di(naphthalene-1-yl)-N, N'-diphenyl-benzidine), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(Alq3: tris-8-hydroxyquinoline aluminum) 등과 같은 유기 물질일 수 있다.
제2 전극(433)은 유기층(432) 상에 형성될 수 있다. 제2 전극(433)은 제1 전극(431)과 함께 전계를 형성하여 유기층(432)이 발광하도록 할 수 있다. 제2 전극(433)은 일함수가 낮은 금속일 수 있고, 예를 들어 Mg, Ag, Al, Au 또는 Cr이 적용될 수 있다.
이어서, 화소(PX) 상에 캡핑층(cap)을 배치될 수 있다. 캡핑층(cap)은 화소(PX)뿐만 아니라 제2 기판(s2)을 완전히 덮을 수 있다. 캡핑층(cap)은 외부의 이물질이 제2 기판(s2) 및 화소(PX)로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 또한 제1 기판(s1)이 분리된 이후, 제2 기판(s2)이 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않도록 제2 기판(s2)을 고정 할 수 있다. 캡핑층(cap)은 폴리에틸렌나프탈레이트 (polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리 카보네이트 (polycarbonate), 폴리에테르술폰(Polyethersulfone) 등의 고분자 물질이나 스테인레스 강(SUS: Stainless Steel)을 포함하는 메탈 호일(Metal foil) 을 포함할 수 있다.
다시 도 11을 참조하면, 이어서 기판 판별 장치(30)와 대향되는 기판의 광학 정보(OI)를 검출한다(S220).
기판 판별 장치(30)는 대향 기판에 광을 방출하고, 상기 대향 기판에서 반사된 광을 수광하여 대향하는 기판의 광학 정보(OI)을 검출할 수 있다. 여기서 상기 대향 기판은 형성된 기판(s)의 공정 설비내의 배치에 따라 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2)일 수 있고, 제2 기판(s2)은 화소(PX) 및 캡핑층(cap)을 포함한 것일 수 있다. 기판 판별 장치(30)가 기판의 광학 정보(OI)를 검출하는 방법은 상술한 광학 정보 검출(S120)과 실질적으로 동일하므로 생략한다.
이어서, 기판 판별 장치(30)의 제어부(340)는 대향 기판이 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2)인지를 판별 및 비교한다(S230). 도 14 및 도 15를 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 판별 및 비교 단계를 나타낸 순서도이고, 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판의 배치 변경을 나타낸 개략도이다.
도 14 및 도 15를 참조하면, 기판 판별 단계(S230)은 광학 특성 정보(OI)를 기준값(SV)와 비교하여 대향 기판을 판별하는 단계(S231), 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교하는 단계(S232) 및 상기 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판이 일치하지 않을 때 기판의 배치를 변경하는 단계(S233)을 포함할 수 있다.
먼저, 기판 판별 장치(30)의 제어부(340)는 대향 기판의 광학 정보(OI)와 기준값(SV)을 비교하여 대향 기판을 판별할 수 있다(S231). 기준값(SV)은 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)을 구분할 수 있는 데이터 값일 수 있다. 제어부(340)은 기준값(SV)보다 미만인 값의 광학 정보(OI)를 가지는 대향 기판을 제1 기판(s1)으로 판별할 수 있고, 기준값(SV) 이상인 광학 정보(OI)를 가지는 대향 기판을 제2 기판(s2)으로 판별할 수 있다.
이어서, 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교한다(S232). 제어부(340)는 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교할 수 있다. 여기서 판별된 대향 기판은 대향 기판을 판별하는 단계(S231)에서 판별된 기판으로 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2)일 수 있다. 또한 여기서 공정 목적 기판은 기판이 공정 설비에 정확히 배치되었는지를 비교하기 위한 전산 상의 데이터로, 제1 기판(s1) 또는 제2 기판(s2)일 수 있다.
제어부(340)는 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교하며, 양자가 일치하는 경우 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)을 분리하는 단계(S240)로 진행할 수 있다. 다만 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판이 불일치하는 경우 제어부(340)는 기판(s)의 배치 변경 신호를 공정 설비에 출력할 수 있다. 또한 제어부(340)는 알람등을 점등하여 사용자에게 기판 배치 변경을 경고할 수 있다. 예를 들어 공정 목적 기판이 제1 기판(s1)인데 판별된 대향 기판이 제2 기판(s2)으로 불일치하다면, 제어부(340)는 공정의 진행을 멈추고 기판의 배치 변경을 알람(alarm)할 수 있다.
기판 배치 경고 신호에 대응하여 기판의 배치를 변경한다(S233). 도 15를 참조하면, 기판 판별 장치(30)와 대향하는 대향 기판은 기판(s)을 뒤집는 배치 변경으로 제2 기판(s2)에서 제1 기판(s1)으로 변경될 수 있다. 즉, 기판(s) 배치의 변경은 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판이 일치하도록 기판(s) 배치를 뒤집는 것일 수 있다. 기판(s)은 공정 설비내 이동 부재(미도시) 및 사용자의 수작업에 의해서 배치가 뒤집어질 수 있다. 기판(s) 배치의 변경으로 기판(s)은 공정 설비 내에 정확히 실장될 수 있다.
플렉서블 표시 장치의 제조 공정 중, 상기와 같이 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)을 판별하고, 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교하여 공정 설비에 기판(s)이 정상적으로 실장되었는지를 확인함으로써 공정 불량 및 공정 설비 오작동을 감소시킬 수 있고, 그에 따라 생산성을 향상시킬 수 있다.
정상적으로 실장된 기판(s)의 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 분리된다(S240). 도 16을 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치 제조 방법의 기판 분리 단계를 나타낸 단면도이다.
도 16을 참조하면, 먼저 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)사이의 접착층(ad)에 레이저(Ls)가 조사될 수 있다. 레이저(Ls)는 파장이 308nm인 엑시머 계열의 레이져일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 레이저(Ls)의 파장 및 세기는 제2 기판(s2)에 배치된 화소(PX) 및 캡핑층(cap)이 손상되지 않도록 조절될 수 있다. 레이저(Ls)는 접착층(ad)의 제1 영역(L1)부터 제2 영역(L2)까지 제3 방향(D3)으로 진행되면서 접착층(ad)을 조사할 수 있다. 레이저(Ls)는 한번 이상 반복적으로 조사될 수 있다. 레이저(Ls)가 조사되는 방향은 제3 방향 또는 제3 방향의 반대 방향일 수 있다. 레이저(Ls)의 조사로 접착층(ad)의 결합력이 저하되거나, 접착층(ad)이 제거될 수 있고, 따라서 제1 기판(s1)과 제2 기판(s2)은 분리될 수 있다. 분리된 제1 기판(s1)은 세척과정을 거쳐 다시 베이스 기판으로 재사용될 수 있다. 제2 기판(s2)은 플렉서블 표시 장치의 패널로 사용될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10, 30: 기판 판별 장치 110, 210, 310: 발광부
120, 220, 320: 수광부 130, 330: 메모리부
140, 340: 제어부
s: 기판 OI: 광학 정보

Claims (20)

  1. 기판과 대향되고 상기 기판의 대향면에 광을 방출하는 발광부;
    상기 기판의 대향면에서 반사된 광을 수광하여 광학 정보를 검출하는 수광부;
    상기 광학 정보와 기준값을 저장하는 메모리부; 및
    상기 광학 정보와 상기 기준값을 비교하여 상기 대향면이 기판의 일면 또는 타면인지를 판별하는 제어부를 포함하는 기판 판별 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 기준값보다 미만인 상기 광학 정보가 검출된 상기 대향면을 상기 기판의 일면으로 판별하는 기판 판별 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 기판은 광학 성질이 상이한 제1 기판과 제1 기판의 타면상에 부착된 제2 기판을 포함하고, 상기 기판의 일면은 상기 제1 기판의 일면이며, 상기 기판의 타면은 상기 제2 기판의 타면인 기판 판별 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 기판은 비가요성 기판이고, 상기 제2 기판은 가요성 기판인 기판 판별 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 발광부 및 상기 수광부는 광섬유 케이블을 더 포함하는 기판 판별 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 발광부는 삼원색(RGB) 발광 소자를 포함하고 상기 수광부는 삼원색(RGB) 수광 소자를 포함하는 기판 판별 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 기판을 고정하는 고정 부재 및 상기 기판을 인식하는 기판 인식부를 더 포함하는 기판 판별 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 기판의 일면에 형성된 특정 패턴의 인식 여부로 상기 기판의 일면 또는 타면을 판별하는 제2 판별 장치를 더 포함하는 기판 판별 장치.
  9. 광학 성질이 상이한 일면과 타면을 포함하는 기판을 준비하는 단계;
    상기 기판의 대향면에서 광학 정보를 검출하는 단계; 및
    상기 광학 정보와 저장된 기준값을 비교하여 상기 광학 정보가 검출된 대향면이 상기 기판의 일면 또는 타면인지를 판별하는 단계를 포함하는 기판 판별 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 기판을 준비하는 단계는 상기 기판을 고정하고 상기 기판을 인식하는 단계를 포함하는 기판 판별 방법.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 광학 정보를 검출하는 단계는 상기 기판의 대향면에 광을 방출하는 단계 및 상기 기판의 대향면에서 반사된 광을 수광하여 상기 광을 광학 정보로 변환하는 단계를 포함하는 기판 판별 방법.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 판별 단계는 상기 기준값보다 미만인 값의 광학 정보가 검출된 대향면을 상기 기판의 일면으로 판별하는 기판 판별 방법.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 기판은 광학 성질이 상이한 제1 기판과 제1 기판 상에 부착된 제2 기판을 포함하고, 상기 기판의 일면은 상기 제1 기판의 일면이며, 상기 기판의 타면은 상기 제2 기판의 일면인 기판 판별 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 기판은 비가요성 기판이고, 상기 제2 기판은 가요성 기판인 기판 판별 장치.
  15. 제1 기판 및 상기 제1 기판에 부착된 제2 기판을 포함하는 기판을 형성하는 단계;
    상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판 중 어느 하나의 기판의 광학 정보를 검출하는 단계;
    상기 광학 정보를 기초로 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 판별 및 비교하는 단계; 및
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 기판은 비가요성 기판이고, 상기 제2 기판은 가요성 기판인 기판 판별 장치.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 기판을 형성하는 단계는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접착하는 단계, 상기 제2 기판 상에 발광 소자층을 형성하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치 제조 방법.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 광학 정보를 검출하는 단계는 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판 중 어느 하나에 광을 방출하는 단계, 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판 중 어느 하나에서 반사된 광을 수광하는 단계 및 상기 광을 광학 정보로 변환하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치 제조 방법.
  19. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 판별하는 단계는 상기 광학 정보를 기준값과 비교하여 대향 기판을 판별하는 단계, 상기 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판을 비교하는 단계 및 상기 판별된 대향 기판과 공정 목적 기판이 일치하지 않을 때 기판의 배치를 변경하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치 제조 방법.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 분리하는 단계는 제1 기판과 상기 제2 기판의 경계면에 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치 제조 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101700087B1 (ko) 2015-08-12 2017-01-26 주식회사 씨티아이월드 분산형 실내 조명 조도 제어 시스템
KR101969882B1 (ko) 2018-03-31 2019-04-17 (주) 가나테크엠 평판 조명등의 센서 내장형 조도 제어 시스템

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4033550B2 (ja) * 1998-05-20 2008-01-16 株式会社キーエンス 光学装置、光電スイッチ、ファイバ型光電スイッチおよび色識別センサ
US20040218133A1 (en) * 2003-04-30 2004-11-04 Park Jong-Wan Flexible electro-optical apparatus and method for manufacturing the same
EP1751789B1 (en) * 2004-04-28 2015-07-22 Iucf-Hyu (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University) Flexible electro-optical apparatus and method for manufacturing the same
JP4789566B2 (ja) * 2005-09-30 2011-10-12 ミライアル株式会社 薄板保持容器及び薄板保持容器用処理装置
KR20080023853A (ko) * 2006-09-12 2008-03-17 삼성전자주식회사 가요성 표시 장치의 제조 장치 및 이의 제조 방법
US7963217B2 (en) * 2007-07-10 2011-06-21 Sharp Kabushiki Kaisha Apparatus and method for producing display panel
KR20100070888A (ko) * 2008-12-18 2010-06-28 삼성전자주식회사 기판 처리 장치
US8199324B2 (en) * 2009-07-29 2012-06-12 X-Rite, Inc. Optical assemblies for a color measurement instrument
KR101211104B1 (ko) * 2010-08-18 2012-12-18 유병소 레이저 가공 방법 및 레이저 가공 장치
JP5639958B2 (ja) * 2011-05-27 2014-12-10 日東電工株式会社 半導体ウエハマウント方法および半導体ウエハマウント装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101700087B1 (ko) 2015-08-12 2017-01-26 주식회사 씨티아이월드 분산형 실내 조명 조도 제어 시스템
KR101969882B1 (ko) 2018-03-31 2019-04-17 (주) 가나테크엠 평판 조명등의 센서 내장형 조도 제어 시스템

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