KR20150014301A - 고온 압입 피로 시험 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고온 압입 피로 시험 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 의하면, 압입 피로 시험 모듈에서 압전방식 액추에이터를 이용하여 압입자에 압입 하중을 인가하고, 시편에 고온 환경을 부과하는 챔버를 구비하여서, 고온에서 시편의 반복 압입 거동을 간편하게 측정할 수 있는 효과가 있다.

Description

고온 압입 피로 시험 장치{Apparatus for high temperature indentation fatigue test}
본 발명은 고온 압입 피로 시험 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고온 환경에서 시편의 압입 피로 시험을 수행할 수 있는 고온 압입 피로 시험 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 전자 부품, 화학설비, 가스 배관 등 현대사회에 쓰이고 있는 대부분의 재료 혹은 구성품들은 상온상태뿐만 아니라 고온상태에도 노출되어 있다.
최근 재료의 물성변화를 설계단계부터 고려한 고신뢰성 설비를 갖추기 위한 노력이 진행되고 있기 때문에 온도에 따른 재료의 물성변화에 대한 관심이 지속적으로 증가되고 있다.
이러한 재료의 물성 측정을 위한 표준 시험 방법으로 인장시험법과 압입시험법이 있는데, 인장시험법의 경우에는 시편을 가공하는 것이 압입시험법에 비해 복잡하고 국부적인 영역의 물성평가가 어려우며 실시간으로 물성평가를 할 수 없다는 한계를 가지고 있기 때문에, 재료에 압입자를 침투시키면서 압입 하중과 변위를 정밀하게 측정하여 재료의 물성을 평가하는 압입시험법이 재료 물성 평가에 자주 이용되고 있다.
한편, 기존의 고온에서 재료의 기계적 물성을 정량적으로 평가하는 방법으로 고온 인장 시험 및 크리프 시험, 고온 경도 시험 등이 존재한다. 그러나 고온 인장 시험 및 크리프 시험은 실험 방법상 파괴적인 시험이며 실행 조건(시편 크기 및 장비 설정)이 복잡하여 시간과 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
그리고 고온 경도 시험법의 경우 측정물성의 정보가 단편적이며 시험 비용이 높다는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 배경에서 안출된 것으로, 고온 환경에서 시편의 압입 피로 시험을 수행할 수 있는 고온 압입 피로 시험 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 시편에 압입 하중을 가하는 압입자가 하부에 연결되는 압전방식 액추에이터를 포함하는 압입 피로 시험 모듈; 및 압입 피로 시험시 내부가 진공상태로 유지되는 외부하우징과, 상기 외부하우징의 내측에 구비되며 상기 시편에 열을 가하는 가열부가 구비된 내부하우징과, 상기 시편을 지지하는 시편거치부를 포함하며, 상기 압전방식 액추에이터가 상기 외부하우징과 내부하우징을 관통하며 지지되는 챔버;를 포함하는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 외부하우징에 냉매유입부와 냉매유출부가 구비되고, 상기 내부하우징에 상기 냉매유입부 및 냉매유출부와 연결되는 냉매이동부가 구비되어서, 상기 냉매유입부를 통해 유입된 냉매가 냉매이동부를 통해 냉매유출부로 유출되면서 상기 내부하우징이 냉각되는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 외부하우징 내부의 진공 압력을 측정하도록, 상기 외부하우징에 구비되는 압력측정센서를 더 포함하는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 시편의 압입 피로 시험 과정을 육안으로 확인할 수 있도록, 상기 외부하우징에 시험확인창이 더 구비되어 있는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 내부하우징의 가열부로부터 방사되는 빛을 차단할 수 있도록, 상기 내부하우징의 시편투입구 전방에 빛차단판이 더 구비되는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 빛차단판의 상기 시편투입구 전방에 놓이는 위치를 조절할 수 있도록, 상기 외부하우징을 관통하여 상기 빛차단판과 연결되는 조절핸들이 더 구비되는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 압입 피로 시험 모듈은, 내부에 구비된 피에조세라믹의 분극현상에 의해 생성된 압입 하중을 상기 압입자에 인가하며, 상기 피에조세라믹의 이동 변위를 측정하여 전압신호로 변환하는 센서부가 구비된 상기 압전방식 액추에이터; 상기 압전방식 액추에이터에 연결되며, 상기 압입 하중을 측정하여 전기신호로 변환하는 로드셀; 및 상기 압입 하중에 대한 상기 전기신호와 상기 이동 변위에 대한 전압신호를 전송받아 처리하며, 상기 피에조세라믹에 인가되는 전압을 제어하는 컨트롤러부;를 포함하는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 압입자는, 연결지그를 매개로 상기 압전방식 액추에이터의 하부에 연결되는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 로드셀은, 결합지그를 매개로 상기 압전방식 액추에이터의 상부에 결합되는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 결합지그는, 상부에 상기 로드셀의 하부에 돌출형성된 돌출단부가 삽입되어 결합되는 결합홈이 형성되어 있고, 하부에 상기 압전방식 액추에이터의 상부에 형성된 삽입홈에 삽입되는 돌출결합부가 형성되어 있는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 컨트롤러부는, 상기 센서부로부터 전송되는 상기 전압신호를 모니터링하는 모니터링부; 상기 센서부로부터 전송되는 상기 전압신호를 처리하여 변위데이터로 변환하는 서보컨트롤러부; 및 상기 피에조세라믹에 전압을 인가하는 전력공급제어부를 더 포함하는 고온 압입 피로 시험 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 압입 피로 시험 모듈에서 압전방식 액추에이터를 이용하여 압입자에 압입 하중을 인가하고, 시편에 고온 환경을 부과하는 챔버를 구비하여서, 고온에서 시편의 반복 압입 거동을 간편하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 고온 압입 피로 시험 장치의 정면도이다.
도 2는 도 1의 고온 압입 피로 시험 장치의 평면도이다.
도 3은 도 1의 고온 압입 피로 시험 장치의 측면도이다.
도 4는 도 1의 압입 피로 시험 모듈의 일실시예를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4의 압입 피로 시험 모듈의 분해 사시도이다.
도 6은 도 1의 압입 피로 시험 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 압입 피로 시험 모듈의 분해 사시도이다.
도 8은 도 4의 압입 피로 시험 모듈의 블럭도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 고온 압입 피로 시험 장치의 정면도이다. 도 2는 도 1의 고온 압입 피로 시험 장치의 평면도이다. 도 3은 도 1의 고온 압입 피로 시험 장치의 측면도이다. 도 4는 도 1의 압입 피로 시험 모듈의 일실시예를 나타낸 사시도이다. 도 5는 도 4의 압입 피로 시험 모듈의 분해 사시도이다. 도 6은 도 1의 압입 피로 시험 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. 도 7은 도 6의 압입 피로 시험 모듈의 분해 사시도이다. 도 8은 도 4의 압입 피로 시험 모듈의 블럭도이다.
이들 도면들에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 고온 압입 피로 시험 장치(100)는, 시편(101)에 압입 하중을 가하는 압입자(103)가 하부에 연결되는 압전방식 액추에이터(105)를 포함하는 압입 피로 시험 모듈(107); 및 압입 피로 시험시 내부가 진공상태로 유지되는 외부하우징(109)과, 외부하우징(109)의 내측에 구비되며 시편(101)에 열을 가하는 가열부(111)가 구비된 내부하우징(113)과, 시편(101)을 지지하는 시편거치부(115)를 포함하며, 압전방식 액추에이터(105)가 외부하우징(109)과 내부하우징(113)을 관통하며 지지되는 챔버(117);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
압입 피로 시험 모듈(107)은 시편(101)에 압입 하중을 가하는 압입자(103)가 하부에 연결되는 압전방식 액추에이터(105)를 포함하는데, 압입 피로 시험 모듈(107)은 압입 피로 특성 평가 시스템에 적용되는 압입 시험기에 장착되는 장치이다.
이러한 압입 피로 시험 모듈(107)의 일실시예를 좀 더 구체적으로 설명하면, 압입 피로 시험 모듈(107)은 내부에 구비된 피에조세라믹(833)의 분극현상에 의해 생성된 압입 하중을 압입자(103)에 인가하며, 피에조세마믹(833)의 이동 변위를 측정하여 전압신호로 변환하는 센서부(831)가 구비된 압전방식 액추에이터(105); 압전방식 액추에이터(105)에 연결되며, 압입 하중을 측정하여 전기신호로 변환하는 로드셀(131); 및 압입 하중에 대한 전기신호와 이동 변위에 대한 전압신호를 전송받아 처리하며, 피에조세라믹(833)에 인가되는 전압을 제어하는 컨트롤러부(401);를 포함하여 구성된다.
압입자(103)는 시편(101)에 압입 하중을 가하게 되는데, 압입자(103)는 일 예로, 피라미드형, 원뿔형, 원기둥형, 사각기둥형, 구형, 비커스형, 누우프형 등 다양한 종류의 압입자로 이뤄질 수 있다.
한편, 이러한 압입자(103)는 연결지그(133)를 매개로 압전방식 액추에이터(105)의 하부에 연결될 수 있는데, 이를 위해 연결지그(133)의 하부에는 압입자(103)의 상단부가 삽입되어 결합되도록 결합홈(미도시)이 형성되어 있으며, 연결지그(133)의 상부에는 돌출체결부(501)가 형성되어 있어서, 연결지그(133)가 압전방식 액추에이터(105)의 하부에 형성된 결합부(403)에 삽입되어 결합될 수 있게 된다.
그리고 연결지그(133)에는, 결합홈(미도시)을 통해 삽입된 압입자(103)의 상단부를 고정할 수 있도록, 고정부재(405)가 결합되는 결합홀(503)이 형성되어 있다.
즉, 고정부재(405)는 결합홀(503)을 통해 연결지그(133)에 결합되어서, 압입자(103)의 상단부를 가압함으로써, 압입자(103)가 연결지그(133)에 결합되어 고정될 수 있게 된다.
이와 같이 고정부재(405)로 압입자(103)를 연결지그(133)에 고정함으로써, 압입자(103)를 교환할 필요가 있는 경우 고정부재(405)를 풀고 압입자(103)를 간편하게 교환할 수 있게 된다.
그리고 압전방식 액추에이터(105)는 압입자(103)가 하부에 연결되고, 내부에 구비된 피에조세라믹(833)의 분극현상에 의해 생성된 압입 하중을 압입자(103)에 인가하게 되는데, 압전방식 액추에이터(105)의 내부에 구비된 피에조세라믹(833)은 적층 구조로 이뤄져서 전압이 가해지면 분극현상이 일어나게 되고, 이 때 발생되는 힘이 압입자(103)에 압입 하중으로 전달되게 된다.
한편, 압전방식 액추에이터(105)에는, 피에조세라믹(833)의 이동 변위를 측정하여 전압신호로 변환하는 센서부(831)가 구비되는데, 센서부(831)에서 측정되어 전압신호로 변환된 피에조세라믹(833)의 이동 변위는 시편(101)을 압입하는 압입자(103)의 압입 깊이에 대응되게 되며, 이러한 전압신호는 컨트롤러부(401)에 전송되게 된다.
이러한 센서부(831)는 일 예로, 스트레인게이지 센서(strain gauge sensor) 또는 정전용량 센서(capacitive sensor)로 제공될 수 있으며, 압전방식 액추에이터(105)에는 센서부어뎁터(135)가 구비되어서, 컨트롤러부(401)와 센서부(831)를 전기적으로 연결하게 된다.
이어서, 로드셀(131)은 압전방식 액추에이터(105)에 연결되는데, 로드셀(131)은 압입 하중을 측정하여 전기신호로 변환하여 컨트롤러부(401)에 전송한다.
이러한 로드셀(131)은 결합지그(137)를 매개로 압전방식 액추에이터(105)의 상부에 결합될 수 있는데, 이를 위해 결합지그(137)의 상부에는 로드셀(131)의 하부에 돌출형성된 돌출단부(505)가 삽입되어 결합되는 결합홈(507)이 형성되어 있으며, 압전방식 액추에이터(105)의 상부에는 결합지그(137)의 하부에 형성된 돌출결합부(509)가 삽입되어 결합될 수 있도록 삽입홈(511)이 형성되어 있다.
한편, 전술한 바와 달리, 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 로드셀(131)은 제1커넥터(601)를 매개로 압전방식 액추에이터(105)의 하부에 결합될 수도 있는데, 이를 위해 제1커넥터(601)는 상부에 압전방식 액추에이터(105)의 하부에 형성된 결합부(403)에 삽입되어 결합되는 돌출지지부(701)가 형성되어 있다.
또한, 로드셀(131)에는 축방향으로 체결홀(703)이 하나 이상 형성되고, 제1커넥터(601)에는 체결홀(703)에 대응되도록 관통홀(603)이 하나 이상 형성되는데, 이러한 체결홀(703)과 관통홀(603)에는 결합부재(605)가 삽입되어 체결되어서, 로드셀(131)과 제1커넥터(601)를 결합하게 된다.
또한, 제2커넥터(607)는 로드셀(131)과 연결지그(133)를 연결하는데, 제2커넥터(607)는 원기둥 형상으로 제공될 수 있으며, 제2커넥터(607)의 상부에는 로드셀(131)의 하부에 돌출형성된 돌출단부(505)가 삽입되어 결합되는 체결홈(705)이 형성되어 있고, 하부에는 연결지그(133)의 상부에 형성된 돌출체결부(501)가 삽입되어 결합되는 연결홈(미도시)이 형성되어 있다.
이어서, 컨트롤러부(401)는 압입 하중에 대한 전기신호와 이동 변위에 대한 전압신호를 전송받아 처리하며, 피에조세라믹(833)에 인가되는 전압을 제어하는데, 컨트롤러부(401)는 센서부(831)로부터 전송되는 전압신호를 모니터링하는 모니터링부(801); 센서부(831)로부터 전송되는 전압신호를 처리하여 변위데이터로 변환하는 서보컨트롤러부(803); 및 피에조세라믹(833)에 전압을 인가하는 전력공급제어부(805)를 포함하여 이뤄질 수 있다.
모니터링부(801)는 센서부(831)로부터 전송되는 전압신호(이는 피에조세라믹(833)의 이동 변위에 대응되는 전압신호임)를 모니터링하여, 피에조세라믹(833)의 이동 변위를 모니터링하게 된다.
서보컨트롤러부(803)는 센서부(831)로부터 전송되는 전압신호(이는 피에조세라믹(833)의 이동 변위에 대응되는 전압신호임)를 처리하여, 피에조세라믹(833)의 이동 변위 데이터로 변환하며, 이러한 피에조세라믹(833)의 이동 변위 데이터는 결국 압입자(103)의 압입 깊이에 대응되는 데이터가 된다.
전력공급제어부(805)는 압전방식 액추에이터(105)의 내부에 구비된 피에조세라믹(833)에 인가되는 전압을 제어하여서, 압전방식 액추에이터(105)에 의해 압입자(103)로 제공되는 압입 하중을 제어하게 된다.
한편, 압전방식 액추에이터(105)에는 피에조세라믹어뎁터(139)가 구비되어서, 컨트롤러부(401)의 전력공급제어부(805)와 피에조세라믹(833)을 전기적으로 연결하게 된다.
이어서, 시편(101)에 고온 환경을 부과하는 챔버(117)에 대해 설명하면, 챔버(117)는 압입 피로 시험시 내부가 진공상태로 유지되는 외부하우징(109)과, 외부하우징(109)의 내측에 구비되며 시편(101)에 열을 가하는 가열부(111)가 구비된 내부하우징(113)과, 시편(101)을 지지하는 시편거치부(115)를 포함하며, 압전방식 액추에이터(105)가 외부하우징(109)과 내부하우징(113)을 관통하며 지지되게 된다.
외부하우징(109)은 박스 형상으로 형성되는데, 외부하우징(109)은 압입 피로 시험시 내부가 진공상태로 유지되게 된다.
한편, 이처럼 압입 피로 시험시 외부하우징(109)의 내부가 진공상태로 유지되는 것을 확인할 수 있도록, 외부하우징(109)에는 압력측정센서(119)가 구비되어 외부하우징(109) 내부의 진공 압력을 측정할 수 있게 된다.
또한, 외부하우징(109)에는 시편(101)의 압입 피로 시험 과정을 육안으로 확인할 수 있도록 시험확인창(301)이 구비되는데, 이와 같이 외부하우징(109)에 시험확인창(301)이 구비됨으로써, 시험실시자는 챔버(117)의 내부하우징(113) 안에서 수행되는 시편(101)에 대한 고온 압입 피로 시험 과정을 챔버(117) 외부에서 간편하게 확인할 수 있게 된다.
그리고 외부하우징(109)의 상부면에는 냉매유입부(121)와 냉매유출부(123)가 구비되는데, 이러한 냉매유입부(121)와 냉매유출부(123)는 내부하우징(113)에 구비되는 냉매이동부(125)에 연결된다.
즉, 냉매이동부(125)는 일단이 냉매유입부(121)와 연결되고, 타단이 냉매유출부(123)와 연결되어서, 냉매유입부(121)를 통해 인입되는 냉매(일 예로, 물)가 냉매이동부(125)를 통과하면서 내부하우징(113)으로부터 열을 빼앗아 냉매유출부(123)를 통해 외부로 빠져나가면서 내부하우징(113)을 냉각시키게 되는 것이다.
물론, 냉매이동부(125)는 내부하우징(113)을 감싸면서 내부하우징(113)에 구비되어 전도방식으로 내부하우징(113)의 열을 빼앗아 냉각시킬 수도 있고, 내부하우징(113)의 외벽을 이중벽 구조로 형성하고, 냉매이동부(125)의 일단(즉, 냉매유입부(121)와 연결되는 부분)과 냉매이동부(125)의 타단(즉, 냉매유출부(123)와 연결되는 부분)을 내부하우징(113)의 외벽에 형성한 후, 냉매유입부(121)를 통해 인입되는 냉매가 내부하우징(113)의 이중벽 구조 내부를 통과하면서 열을 빼앗은 후, 냉매유출부(123)를 통해 빠져나가도록 하여서, 내부하우징(113)을 냉각시킬 수도 있다.
이어서, 내부하우징(113)은 외부하우징(109)의 내측에 구비되는데, 이러한 내부하우징(113)에는 시편투입구가 개구되어 형성되어 있으며, 내부하우징(113)에는 시편(101)에 열을 가하는 가열부(111)가 구비된다.
이러한 가열부(111)는 일예로, 할로겐램프 등으로 제공될 수 있으며, 가열부(111)에서 발산되는 열은 시편(101)에 직접 공급될 뿐만 아니라 내부하우징(113)의 내벽에 반사되어 시편(101)에 공급된다.
이와 같이 내부하우징(113)에 가열부(111)를 구비함으로써, 고온 압입 피로 시험을 수행하고자 하는 시편(101)에 간편하게 고온 환경을 조성할 수 있게 된다.
그리고 가열부(111)에서 방사되는 빛을 차단할 수 있도록, 내부하우징(113)의 시편투입구 전방에는 빛차단판(201)이 더 구비되는데, 이러한 빛차단판(201)은 일 예로, 스테인리스스틸 재질로 만들어질 수 있다.
또한, 이와 같은 빛차단판(201)이 시편투입구 전방에 놓이는 위치를 조절할 수 있도록, 조절핸들(203)이 외부하우징(109)을 관통하여 빛차단판(201)과 연결되는데, 조절핸들(203)을 회전시킴에 따라 빛차단판(201)이 시편투입구를 개방하거나 폐쇄하게 된다.
이어서, 시편거치부(115)는 외부하우징(109)의 내측에서 시편(101)을 거치하여 지지하는데, 시편거치부(115)의 저면에는, 시편거치부(115)가 일방향 또는 이방향 이상으로 이동될 수 있도록 이동부가 더 구비된다.
이러한 이동부는 일 예로, 가이드레일과 가이드롤러 등으로 구성되어서, 시편거치부(115)가 일방향 또는 이방향 이상으로 슬라이딩 이동될 수 있게 한다.
한편, 이상에서 설명한 챔버(117)의 하부에는, 챔버(117)를 지지하는 거치대(127)가 더 구비되며, 챔버(117)의 외부하우징(109) 상부에는 압입 피로 시험 모듈(107)을 지지하는 지지대(129)가 더 구비된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면, 압입 피로 시험 모듈에서 압전방식 액추에이터를 이용하여 압입자에 압입 하중을 인가하고, 시편에 고온 환경을 부과하는 챔버를 구비하여서, 고온에서 시편의 반복 압입 거동을 간편하게 측정할 수 있는 효과가 있게 된다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.
또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 고온 압입 시험 장치 101 : 시편
103 : 압입자 105 : 압전방식 액추에이터
107 : 압입 피로 시험 모듈 109 : 외부하우징
111 : 가열부 113 : 내부하우징
115 : 시편거치부 117 : 챔버

Claims (1)

  1. 시편에 압입 하중을 가하는 압입자가 하부에 연결되는 압전방식 액추에이터를 포함하는 압입 피로 시험 모듈; 및
    압입 피로 시험시 내부가 진공상태로 유지되는 외부하우징과, 상기 외부하우징의 내측에 구비되며 상기 시편에 열을 가하는 가열부가 구비된 내부하우징과, 상기 시편을 지지하는 시편거치부를 포함하며, 상기 압전방식 액추에이터가 상기 외부하우징과 내부하우징을 관통하며 지지되는 챔버;
    를 포함하는 고온 압입 피로 시험 장치.
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