KR20150012552A - Light emitting device - Google Patents

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KR20150012552A KR1020130088199A KR20130088199A KR20150012552A KR 20150012552 A KR20150012552 A KR 20150012552A KR 1020130088199 A KR1020130088199 A KR 1020130088199A KR 20130088199 A KR20130088199 A KR 20130088199A KR 20150012552 A KR20150012552 A KR 20150012552A
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Abstract

A light emitting device according to an embodiment includes a substrate, a first conductivity type semiconductor layer on the substrate, an active layer on the first conductivity type semiconductor layer, and a second conductivity type semiconductor layer on the active layer. The first conductivity type semiconductor layer includes a first layer which has an upper side with recessed first curvature parts, a second layer on the first layer, and a third layer arranged on the second layer. The first layer is doped with an impurity. The second layer is an undoped layer which is not doped with an impurity. The third layer may include InAlGaN.

Description

발광소자{Light emitting device}[0001]

실시예는 발광소자에 관한 것이다.An embodiment relates to a light emitting element.

발광소자(Light Emitting Device, LED)는 화합물 반도체의 특성을 이용해 전기 신호를 적외선, 가시광선 또는 빛의 형태로 변환시키는 소자로, 가정용 가전제품, 리모콘, 전광판, 표시기, 각종 자동화 기기 등에 사용되고, 점차 LED의 사용 영역이 넓어지고 있는 추세이다.A light emitting device (LED) is an element that converts an electric signal into an infrared ray, a visible light or a light by utilizing the characteristics of a compound semiconductor. It is used in household electric appliances, remote controllers, display boards, The use area of LED is becoming wider.

보통, 소형화된 발광소자는 PCB(Printed Circuit Board) 기판에 직접 장착하기 위해서 표면실장소자(Surface Mount Device)형으로 만들어지고 있고, 이에 따라 표시소자로 사용되고 있는 발광소자도 표면실장소자 형으로 개발되고 있다. 이러한 표면실장소자는 기존의 단순한 점등 램프를 대체할 수 있으며, 다양한 칼라를 내는 점등표시기용, 문자표시기 및 영상표시기 등으로 사용될 수 있다.In general, a light emitting device that is miniaturized is made of a surface mount device for mounting directly on a PCB (Printed Circuit Board) substrate, and thus a light emitting device used as a display device is also developed as a surface mount device type have. Such a surface mount device can replace a conventional simple lighting lamp, and can be used as a lighting indicator for displaying various colors, a character indicator, an image indicator, and the like.

한편, 발광소자는 기판과 반도체층 사이의 큰 격자 불일치로 인하여 반도체층에 많은 전위(Dislocation) 등의 결정결함이 형성될 수 있으며, 이러한 결정결함은 발광소자의 누설전류를 증가시키고, 외부 정전기가 인가될 경우 발광소자의 활성층이 강한 필드에 의해서 파괴될 수 있다. 따라서, 발광 소자를 조명장치 등에 활용하기 위해서는 일정 수준 이상의 정전기 방전(Electrostatic Discharge, ESD)에 대한 내성이 요구된다.On the other hand, due to a large lattice mismatch between the substrate and the semiconductor layer, crystal defects such as dislocation may be formed in the semiconductor layer. Such crystal defects increase the leakage current of the light emitting device, The active layer of the light emitting device can be destroyed by a strong field. Therefore, in order to utilize the light emitting device in a lighting device or the like, resistance to electrostatic discharge (ESD) of a certain level or more is required.

정전기 방전에 대한 내성을 가지고, 발광효율이 향상된 발광소자를 제공함에 있다.And a light emitting element having resistance to electrostatic discharge and having improved luminous efficiency.

실시예에 따른 발광소자는, 기판, 상기 기판상의 제1 도전성 반도체층, 상기 제1 도전성 반도체층상의 활성층, 및 상기 활성층 상의 제2 도전성 반도체층을 포함하고, 상기 제1 도전성 반도체층은, 상면에 오목한 복수의 제1만입부를 포함하는 제1층, 상기 제1층 상에 배치되는 제2층 및 상기 제2층 상에 배치되는 제3층을 포함하며, 상기 제1층은 불순물이 도핑되고, 상기 제2층은 불순물이 도핑되지 않은 언도프층이고, 상기 제3층은 InAlGaN을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a substrate, a first conductive semiconductor layer on the substrate, an active layer on the first conductive semiconductor layer, and a second conductive semiconductor layer on the active layer, A second layer disposed on the first layer, and a third layer disposed on the second layer, wherein the first layer is doped with impurities , The second layer is an undoped layer not doped with an impurity, and the third layer may include InAlGaN.

실시예는, 전위(Dislocation)에 의한 누설전류를 감소시키며, 정전기 방전에 대한 내성을 향상시킬 수 있다.The embodiment reduces the leakage current due to dislocation and can improve resistance to electrostatic discharge.

또한, 제3층이 InAlGaN을 포함하여서, 전위 상에 형성되는 제3만입부의 크기를 자유롭게 조절하면서도, 제3층과 활성층 사이에 발생하는 응력(Strain)을 완화하는 이점이 있다.In addition, the third layer includes InAlGaN, which has the advantage of alleviating the stress generated between the third layer and the active layer while freely adjusting the size of the third indentation formed on the potential.

또한 제3만입부의 크기를 쉽게 조절할 수 있으므로, 제1 내지 제3만입부로 생성되지 못한 전위가 활성층 및 제2반도체층에 전달되는 것을 방지하여, 발광소자의 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In addition, since the size of the third indentation can be easily controlled, it is possible to prevent the dislocations generated by the first through third indentations from being transmitted to the active layer and the second semiconductor layer, thereby improving the quality of the light emitting device.

또한, 제3만입부의 크기를 조절하여서, 활성층의 상면에 제3만입부의 형상에 의해 형성되는 오목부의 크기를 줄일 수 있어서, 발광면적을 확대하고 발광효율을 증가시키는 효과를 가진다.
Further, the size of the third indented portion can be adjusted to reduce the size of the concave portion formed by the shape of the third indented portion on the upper surface of the active layer, thereby increasing the light emitting area and increasing the luminous efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광소자를 도시한 평면도,
도 2a은 도 1의 A-A 선을 따른 단면을 도시한 단면도,
도 2b는 도 2a의 B-B 선을 따른 단면을 도시한 단면도,
도 2c는 도 2a의 C-C 선을 따른 단면을 도시한 단면도,
도 3은 도 2a의 D 영역을 확대한 확대 단면도,
도 4은 실시예에 따른 제1층 상에 제1만입부를 설명하기 위한 참고도,
도 5은 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 나타낸 사시도이고,
도 6는 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 7는 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 표시장치의 분해 사시도,
도 8은 도 7의 표시장치의 단면도,
도 9은 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 조명 장치의 분해 사시도이다.
1 is a plan view showing a light emitting device according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1,
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2A,
FIG. 2C is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 2A,
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the area D of FIG. 2A,
4 is a reference view for explaining a first indentation on a first layer according to an embodiment,
5 is a perspective view illustrating a light emitting device package including the light emitting device according to the embodiment,
6 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package including the light emitting device according to the embodiment.
7 is an exploded perspective view of a display device including a light emitting device according to an embodiment,
8 is a cross-sectional view of the display device of Fig. 7,
9 is an exploded perspective view of a lighting device including a light emitting device according to an embodiment.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.The terms spatially relative, "below", "beneath", "lower", "above", "upper" May be used to readily describe a device or a relationship of components to other devices or components. Spatially relative terms should be understood to include, in addition to the orientation shown in the drawings, terms that include different orientations of the device during use or operation. For example, when inverting an element shown in the figures, an element described as "below" or "beneath" of another element may be placed "above" another element. Thus, the exemplary term "below" can include both downward and upward directions. The elements can also be oriented in different directions, so that spatially relative terms can be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기와 면적은 실제크기나 면적을 전적으로 반영하는 것은 아니다. The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size and area of each component do not entirely reflect actual size or area.

또한, 실시예에서 발광소자의 구조를 설명하는 과정에서 언급하는 각도와 방향은 도면에 기재된 것을 기준으로 한다. 명세서에서 발광소자를 이루는 구조에 대한 설명에서, 각도에 대한 기준점과 위치관계를 명확히 언급하지 않은 경우, 관련 도면을 참조하도록 한다.Further, the angle and direction mentioned in the description of the structure of the light emitting device in the embodiment are based on those shown in the drawings. In the description of the structure of the light emitting device in the specification, reference points and positional relationship with respect to angles are not explicitly referred to, refer to the related drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광소자를 도시한 평면도, 도 2a은 도 1의 A-A 선을 따른 단면을 도시한 단면도, 도 2b는 도 2a의 B-B 선을 따른 단면을 도시한 단면도, 도 2c는 도 2a의 C-C 선을 따른 단면을 도시한 단면도, 도 3은 도 2a의 D 영역을 확대한 확대 단면도, 도 4은 실시예에 따른 제1층 상에 제1만입부를 설명하기 위한 참고도이다.FIG. 1 is a plan view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, FIG. 2 b is a cross- FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 2A, FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the D region in FIG. 2A, and FIG. 4 is a cross- .

도 1 내지 도 4를 참조하면, 실시예에 따른 발광소자(100)는, 기판(110), 기판(110) 상의 제1 도전성 반도체층(120), 제1 도전성 반도체층(120) 상의 활성층(130), 활성층(130) 상의 제2 도전성 반도체층(140)을 포함할 수 있고, 제1 도전성 반도체층(120)은 제1층(121), 제2층(123) 및 제3층(125)을 포함할 수 있다.1 to 4, a light emitting device 100 according to an embodiment includes a substrate 110, a first conductive semiconductor layer 120 on the substrate 110, an active layer (not shown) on the first conductive semiconductor layer 120, The first conductive semiconductor layer 120 may include a first layer 121, a second layer 123, and a third layer 125. The first conductive semiconductor layer 120 may be formed on the active layer 130, ).

또한, 제3층(125)과 활성층(130) 사이에 배치되는 스트레인 완화층(135)을 더 포함할 수 있다.Further, it may further include a strain relief layer 135 disposed between the third layer 125 and the active layer 130.

기판(110)은 광 투과적 성질을 가지는 재질, 예를 들어 사파이어(Al2O3), GaN, ZnO, AlO 중 어느 하나를 포함하여 형성될 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 또한, 기판(110)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질, 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있다. 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함하여 예를 들어, 사파이어(Al2O3) 기판에 비해 열전도성이 큰 SiC 기판 또는 Si, GaAs, GaP, InP, Ga2O3 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. The substrate 110 may be formed of any material having optical transparency, for example, sapphire (Al 2 O 3 ), GaN, ZnO, or AlO, but is not limited thereto. In addition, the substrate 110 may be formed of a carrier wafer, a material suitable for semiconductor material growth. A SiC substrate having a higher thermal conductivity than a sapphire (Al 2 O 3 ) substrate or an SiC substrate including Si, GaAs, GaP, InP, Ga 2 O 3 can be used.

도시하지는 않았으나, 기판(110) 상에는 기판(110)과 제1 도전성 반도체층(120) 간의 격자 부정합을 완화하는 버퍼층(미도시)이 위치할 수 있다. 버퍼층(미도시)은 기판(110)상에 단결정으로 성장할 수 있으며, 단결정으로 성장한 버퍼층(미도시)은 버퍼층(미도시)상에 성장하는 제1 도전성 반도체층(120)의 결정성을 향상시킬 수 있다. Although not shown, a buffer layer (not shown) may be formed on the substrate 110 to mitigate lattice mismatch between the substrate 110 and the first conductive semiconductor layer 120. The buffer layer (not shown) may be grown as a single crystal on the substrate 110 and the buffer layer (not shown) grown by a single crystal may improve the crystallinity of the first conductive semiconductor layer 120 grown on the buffer layer .

버퍼층(미도시)은 InxAlyGa(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 가지는 반도체 재료, 예를 들어 GaN, InN, AlN, AlInN, InGaN, AlGaN, 및 InAlGaN 과 같은 재질 중에서 선택될 수 있다.The buffer layer (not shown) may be a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga (1-xy ) N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + InN, AlN, AlInN, InGaN, AlGaN, and InAlGaN.

제1 도전성 반도체층(120)은 반도체 화합물로 형성될 수 있으며 제1 도전성 도펀트가 도핑될 수 있다. 예를 들어, 제1 도전성 반도체층(120)은 n형 반도체층으로 구현되어, 활성층(140)에 전자를 제공할 수 있다. 제1 도전성 반도체층(120)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN 등에서 선택될 수 있으며, Si, Ge, Sn, Se, Te 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 120 may be formed of a semiconductor compound and may be doped with a first conductive dopant. For example, the first conductive semiconductor layer 120 may be formed of an n-type semiconductor layer to provide electrons to the active layer 140. The first conductive semiconductor layer 120 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1) , AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN and the like, and n-type dopants such as Si, Ge, Sn, Se and Te can be doped.

한편, 제1 도전성 반도체층(120)은 제1층(121), 제2층(123) 및 제3층(125)을 포함할 수 있으며, 제1층(121)의 상면에는 아래 방향으로 오목한 제1만입부(122)를 포함할 수 있다.The first conductive semiconductor layer 120 may include a first layer 121, a second layer 123 and a third layer 125. The first layer 121 may have a concave And may include a first indentation 122.

제1층(121)은 n형 도펀트가 도핑된 층일 수 있으며, 제1층(121)의 성장 시 온도 조절에 의해 제1만입부(122)가 형성되도록 할 수 있다. The first layer 121 may be a layer doped with an n-type dopant, and the first indent 122 may be formed by temperature control during growth of the first layer 121.

예를 들어, 제1층(121)을 온도 550~940℃, 압력 100~500torr로 하여 성장시키면, 제1층(121)의 상면에 제1만입부(122)가 형성되도록 할 수 있다.For example, when the first layer 121 is grown at a temperature of 550 to 940 ° C. and a pressure of 100 to 500 torr, the first indented portion 122 may be formed on the upper surface of the first layer 121.

제1층(121)의 성장 초기에는 1000℃ 이상의 고온에서 성장시키며, 성장의 마지막 단계에서, 성장 온도를 550~940℃로 낮추게 되면, 제1만입부(122)가 형성되게 된다. 또한, 제1층(121)의 성장 초기에는 1000℃ 이상의 고온에서 성장시키고, Ga 소스(TGMA 등), N 소스(NH3 등) 및 H2 등을 공급하다가, 성장의 마지막 단계에서, 성장 온도를 550~940℃로 낮추고, Ga 소스와 N 소스를 중단하거나 줄임으로써 제1만입부(122)가 형성되게 된다.The first layer 121 is grown at a high temperature of 1000 ° C or higher at the initial stage of growth, and when the growth temperature is lowered to 550 to 940 ° C at the final stage of growth, a first indent 122 is formed. At the initial stage of the growth of the first layer 121, the GaN source (TGMA or the like), the N source (NH3 or the like), H 2 or the like are supplied and the growth temperature The first indentation 122 is formed by lowering the temperature to 550 to 940 ° C and stopping or reducing the Ga source and the N source.

한편, 제1 도전성 반도체층(120)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 성장하므로, 제1만입부(122)는 도 4에서 도시하는 바와 같이, 단면이 제1층(121)의 성장면(0,0,0,1)과 이어진 두 개의 경사면인 제1 경사면(1,-1,0,2)과 제2 경사면(-1,1,0,2)에 의해 "V" 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1만입부(122)를 평면에서 보면 육각형의 모양을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 제1만입부(122)는 쐐기 또는 육각뿔 (헥사고날(hexagonal))의 형상을 가질 수 있다. 제1만입부(122)의 형상은 이에 한정하지 않으며 예를 들어 단면 및 평면에서 본 형상은 반원형, 원형, 다각형 등으로 형성할 수 있다.Meanwhile, since the first conductive semiconductor layer 120 is grown from a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1) The first depressed portion 122 is formed by a first inclined plane 1, a second inclined plane 1, a second inclined plane 2, 1, 0, 2) and the second inclined plane (-1, 1, 0, 2). Further, the first indenting portion 122 may have a hexagonal shape when viewed from a plane. That is, the first indented portion 122 may have the shape of a wedge or a hexagonal horn (hexagonal). The shape of the first depressed portion 122 is not limited to this. For example, the shape of the first depressed portion 122 may be semicircular, circular, polygonal, or the like.

일반적으로, 질화물 반도체층 및 그의 합성물들은 육방정계 결정구조(특히, hexagonal wurzite structure)에서 가장 안정적이다. 반도체 성장공정에서, 온도의 변화 또는 챔버 내의 소스의 변화되면, 질화물 반도체층의 안정적인 구조를 가지지 않고 결함이 생성되게 되는데, 이 결함은 확률적으로 전위(190)가 형성된 부분에 형성되게 되어 제1만입부(122)를 형성한다. 제1만입부(122)의 형상은 질화물 반도체층의 육방정계 결정구조로 인해 육각뿔 (헥사고날(hexagonal))의 형상을 가지는 것이 일반적이며 이 외에도 성장 조건등의 조절을 통해 다양한 형태의 형상을 가질 수도 있다.In general, the nitride semiconductor layer and its composites are most stable in a hexagonal crystal structure (especially a hexagonal wurzite structure). In the semiconductor growth process, when the temperature is changed or the source in the chamber is changed, a defect is generated without having a stable structure of the nitride semiconductor layer. This defect is stably formed at the portion where the potential 190 is formed, Thereby forming an indentation 122. The shape of the first indenting portion 122 is generally hexagonal (hexagonal) because of the hexagonal crystal structure of the nitride semiconductor layer. In addition to this, the shape of various indentations .

이와 같은 제1만입부(122)는 전위(190)가 형성된 부분에 선택적으로 발생하게 되며, 제1만입부(122)는 꼭지점 부분의 저항(R2)이 제1층(121)의 성장면(0,0,0,1)의 저항(R1)보다 크므로, 전위(190)가 발생한 부위의 저항을 높일 수 있다. 따라서, 정전기가 인가될 때 전위(190)를 통해 집중되는 전류를 차단하고, 전위(190)에 의한 누설전류를 감소시켜, 발광소자(100)의 ESD (Electrostatic Discharge) 내성이 향상될 수 있다. 이때, 전류는 저항이 낮고 결정성이 우수한 제1층(121)의 성장면(0,0,0,1)을 통해 이동할 수 있다.The first depressed portion 122 is selectively formed in a portion where the potential 190 is formed and the first depressed portion 122 is formed such that the resistance R 2 of the apex portion is the growth surface of the first layer 121 ( 0 , 0 , 0 , 1 ), the resistance at the site where the potential 190 is generated can be increased. Therefore, when the static electricity is applied, the current concentrated through the potential 190 is cut off, and the leakage current due to the potential 190 is reduced, so that the electrostatic discharge (ESD) immunity of the light emitting device 100 can be improved. At this time, the current can move through the growth plane (0, 0, 0, 1) of the first layer 121 having a low resistance and excellent crystallinity.

제1층(121)의 상면에 형성되는 제1만입부(122)는 제1층(121) 내부에 형성된 전위(190) 상에 수직적으로 중첩되게 위치될 수 있다. 또한, 제1만입부(122)의 꼭지점과 전위(190)의 일단이 접촉될 수 있다. 여기서, "수직적으로 중첩된다" 의 의미는 도 2를 기준으로 위아래방향을 따라 중첩되는 것을 의미할 수 있다.The first indentation 122 formed on the top surface of the first layer 121 may be vertically overlapped on the potential 190 formed in the first layer 121. Further, one end of the potential 190 may be in contact with the vertex of the first indentation 122. Here, the meaning of "vertically overlapped" may mean overlapping along the up and down directions with reference to Fig.

제1만입부(122)는 제1층(121)의 상면에 복수 개가 불규칙적으로 배치될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
The first indentation 122 may be irregularly arranged on the upper surface of the first layer 121, but the present invention is not limited thereto.

제2층(123)은 제1층(121) 상에 적층될 수 있다. 제2층(123)은 불순물의 도핑이 이루어지지 않은 언도프(undoped)층일 수 있다. 제2층(123)은 제1만입부(122)와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제2만입부(124)를 포함할 수 있다.The second layer 123 may be deposited on the first layer 121. The second layer 123 may be an undoped layer that is not doped with impurities. The second layer 123 may include a second indent 124 formed at a position vertically overlapping the first indent 122.

제2만입부(124)는 제1만입부(122) 상에 제1만입부(122)와 대응되는 형상을 가지고 형성될 수 있다. 제2만입부(124)는 제2층(123)이 적층되는 과정에서 제1만입부(122)의 형상에 의해 형성될 수 있다.The second indented portion 124 may be formed on the first indented portion 122 to have a shape corresponding to the first indented portion 122. The second indented portion 124 may be formed by the shape of the first indented portion 122 in the process of stacking the second layer 123.

예를 들면, 제2만입부(124)는 도 3에서 도시하는 바와 같이, 단면이 "V" 형상을 가질 수 있고, 이를 평면에서 보면 육각형의 모양을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 제2만입부(124)는 쐐기 또는 육각뿔의 형상을 가질 수 있다. 제2만입부(124)의 형상은 이에 한정하지 않으며 예를 들어 단면 및 평면에서 본 형상은 반원형, 원형, 다각형 등으로 형성할 수 있다.For example, as shown in Fig. 3, the second indented portion 124 may have a cross-sectional shape of "V" and may have a hexagonal shape in plan view. That is, the second indentation 124 may have the shape of a wedge or hexagonal horn. The shape of the second indent portion 124 is not limited to this, and for example, a shape in cross section and plan view can be formed in a semicircular shape, a circular shape, a polygonal shape, or the like.

한편, 제2만입부(124)의 크기는 제1만입부(122)의 크기 보다 클 수 있다. 여기서, 제1만입부(122) 및 제2만입부(124)의 크기는 폭, 깊이, 체적 등을 의미할 것이다.The size of the second indenting portion 124 may be larger than that of the first indenting portion 122. Here, the sizes of the first indent portion 122 and the second indent portion 124 may mean width, depth, volume, and the like.

예를 들면, 제1만입부(122) 상에 형성되는 제2만입부(124)의 깊이는 제1만입부(122)의 깊이 보다 클 수 있다. 또한, 제1만입부(122) 상에 형성되는 제2만입부(124)의 폭(L2)은 제1만입부(122)의 폭(L1) 보다 클 수 있다.
For example, the depth of the second indentation 124 formed on the first indentation 122 may be greater than the depth of the first indent 122. The width L2 of the second indented portion 124 formed on the first indented portion 122 may be larger than the width L1 of the first indented portion 122. [

제3층(125)은 제2층(123) 상에 적층된다. 제3층(125)은 제2만입부(124)와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제3만입부(126)를 포함할 수 있다.The third layer 125 is deposited on the second layer 123. The third layer 125 may include a third indentation 126 formed at a position vertically overlapping the second indentation 124.

제3층(125)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)으로 형성할 수 있다. 예를 들어, 제3층(125)는 InAlGaN을 포함하여 900℃ 이상의 온도에서 형성될 수 있다. 제3층(125)에 포함된 InAlGaN의 In, Al의 도핑 농도 조절 및 제3층(125)의 두께를 통해 제3만입부(126)의 크기 조절이 가능하다.The third layer 125 may be formed of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1). For example, the third layer 125 may be formed at a temperature of 900 캜 or higher, including InAlGaN. It is possible to control the size of the third indent portion 126 through the control of the doping concentration of In and Al of the InAlGaN included in the third layer 125 and the thickness of the third layer 125. [

제3층(125)의 Al(알루미늄)은 격자 크기가 작아서 제1만입부(122) 상에 형성된 제2만입부(124)를 메울 수 있다. 따라서, Al(알루미늄은)의 함량과 제3층(125)의 두께의 조절로 인해 제3만입부(126)의 크기를 조절할 수 있다.Al (aluminum) of the third layer 125 may fill the second indented portion 124 formed on the first indented portion 122 because of a small lattice size. Accordingly, the size of the third indented portion 126 can be adjusted by adjusting the content of Al (aluminum silver) and the thickness of the third layer 125. [

제3층(125)에 도핑되는 Al(알루미늄)의 도핑농도는 6% 내지 10%로 형성할 수 있다. 제3층(125)의 Al(알루미늄)의 도핑농도가 6% 보다 작은 경우, 제2만입부(124)를 메우는 효과가 적고, 제3층(125)의 Al(알루미늄)도핑농도가 10% 보다 많은 경우, 인장 응력(tensile stress)이 커지게 되어서 발광소자의 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있다. The doping concentration of Al (aluminum) doped in the third layer 125 may be 6% to 10%. When the doping concentration of Al (aluminum) in the third layer 125 is less than 6%, the effect of filling the second indenting portion 124 is small and the Al (aluminum) doping concentration of the third layer 125 is less than 10% The tensile stress is increased, and the quality of the light emitting device may be deteriorated.

제3층(125)의 In(인듐)은 제3층(125)과 활성층(130) 사이의 격자상수 차이로 발생하는 응력(Strain)을 완화할 수 있다.In (Indium) of the third layer 125 can relax stress caused by a difference in lattice constant between the third layer 125 and the active layer 130.

제3층(125)에 도핑되는 In(인듐)의 도핑농도는 2% 내지 5%로 형성할 수 있다. 제3층(125)의 In(인듐) 도핑농도가 2% 보다 작은 경우, 응력(Strain) 완화 효과가 적고, 제3층(125)의 In(인듐) 도핑농도가 5% 보다 많은 경우, 표면의 질이 저하되고, 스파이럴(spiral)이 형성되는 문제가 있다. The doping concentration of In (indium) doped in the third layer 125 may be 2% to 5%. When the In (indium) doping concentration of the third layer 125 is less than 2%, the stress relaxation effect is small and when the In (indium) doping concentration of the third layer 125 is more than 5% There is a problem that the quality of the magnetic recording medium is deteriorated and a spiral is formed.

따라서, 제3층(125)을 InAlGaN을 포함하여 형성할 경우, In(인듐)과 Al(알루미늄)의 도핑농도 조절을 통해 전위(190) 상에 형성되는 제3만입부(126)의 크기를 자유롭게 조절하면서도, 활성층(130) 사이에 발생하는 응력(Strain)을 완화하는 이점이 있다. 제3층(125)는 InAlGaN 대신에 AlGaN을 포함하여 형성할 수도 있으나 이에 한정하지 않는다.Therefore, when the third layer 125 is formed to include InAlGaN, the size of the third indentation 126 formed on the potential 190 through the adjustment of the doping concentration of In (indium) and Al (aluminum) There is an advantage that the stress generated between the active layers 130 is relaxed while being freely adjusted. The third layer 125 may include AlGaN instead of InAlGaN, but is not limited thereto.

또한, 제3만입부(126)의 크기를 조절하여서, 제1 내지 제3만입부(126)로 생성되지 못한 전위(190)가 활성층(130) 및 제2반도체층(150)에 전달되는 것을 방지하여, 발광소자의 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.The size of the third recessed portion 126 may be adjusted so that the dislocations 190 generated by the first through third recessed portions 126 are transferred to the active layer 130 and the second semiconductor layer 150 And the quality of the light emitting device can be improved.

또한, 제3만입부(126)의 크기를 조절하여서, 활성층(130)의 상면에 제3만입부(126)의 형상에 의해 형성되는 제5만입부(131)의 크기를 줄일 수 있어서, 발광면적을 확대하고 발광효율을 증가시키는 효과를 가진다.The size of the third indented portion 126 can be adjusted to reduce the size of the fifth indented portion 131 formed by the shape of the third indented portion 126 on the top surface of the active layer 130, Thereby increasing the area and increasing the luminous efficiency.

제3만입부(126)의 크기는 제3층(125)의 두께에 의해서도 결정될 수 있다. 예를 들어, 제3층(125)의 두께는 2nm 내지 20nm의 범위로 형성할 수 있다. 제3층(125)의 두께를 2nm보다 얇게 형성할 경우, 제3만입부(126)의 크기가 커질 수 있고 이로 인해 전류 확산 효과가 줄어들어 발광 효율이 떨어지는 문제점이 생길 수 있다. 제3층(125)의 두께가 20nm보다 두껍게 형성할 경우, 제2만입부(124)를 완전히 메우게 되는 문제가 발생할 수 있다.The size of the third indentation 126 may also be determined by the thickness of the third layer 125. For example, the thickness of the third layer 125 may be in the range of 2 nm to 20 nm. If the thickness of the third layer 125 is less than 2 nm, the size of the third indentation 126 may be increased, and the current diffusion effect may be reduced, thereby decreasing the luminous efficiency. If the thickness of the third layer 125 is thicker than 20 nm, the second indentation 124 may be completely filled.

제3만입부(126)는 제2만입부(124) 상에 제2만입부(124)와 대응되는 형상을 가지고 형성될 수 있다. 제3만입부(126)는 제3층(125)이 적층되는 과정에서 제2만입부(124)의 형상에 의해 형성될 수 있다.The third indented portion 126 may be formed on the second indented portion 124 to have a shape corresponding to the second indented portion 124. The third indented portion 126 may be formed by the shape of the second indented portion 124 in the process of stacking the third layer 125.

예를 들면, 제3만입부(126)는 도 3에서 도시하는 바와 같이, 단면이 "V" 형상을 가질 수 있고, 이를 평면에서 보면 육각형의 모양을 가지며 형성될 수 있다. 즉, 제3만입부(126)는 쐐기 또는 육각뿔의 형상을 가질 수 있다. 제3만입부(126)의 형상은 이에 한정하지 않으며, 예를 들어 단면 및 평면에서 본 형상은 반원형, 원형, 다각형 등으로 형성할 수 있다.For example, as shown in Fig. 3, the third indentation 126 may have a cross section of a "V" shape, and may have a hexagonal shape when seen in plan view. That is, the third indentation 126 may have the shape of a wedge or a hexagonal horn. The shape of the third indent portion 126 is not limited to this, and for example, the shape seen from a cross section and a plane can be formed into a semicircular shape, a circular shape, a polygonal shape, or the like.

한편, 제3만입부(126)의 크기는 제2만입부(124)의 크기 보다 클 수 있다. 즉, 제2만입부(124)의 크기는 제3만입부(126)의 크기 보다 작을 수 있다.On the other hand, the size of the third indenting portion 126 may be larger than that of the second indenting portion 124. That is, the size of the second indent portion 124 may be smaller than that of the third indent portion 126.

예를 들면, 제2만입부(124) 상에 형성되는 제3만입부(126)의 폭(L3)은 제2만입부(124)의 폭(L2)보다 클 수 있다.The width L3 of the third indented portion 126 formed on the second indented portion 124 may be larger than the width L2 of the second indented portion 124. [

여기서, 제1 및 제3만입부(126)의 크기는 만입부의 폭, 깊이 또는 부피를 포함하는 개념이다.Here, the sizes of the first and third indentations 126 are concepts including the width, depth, or volume of the indentation.

스트레인 완화층(135)은 제3층(125)과 활성층(130) 사이에 배치된다.The strain relief layer 135 is disposed between the third layer 125 and the active layer 130.

예를 들면, 스트레인 완화층(135)은 InyAlxGa(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)/GaN 등으로 형성된 다층 구조를 가질 수 있다.For example, the strain relieving layer 135 may be a multilayer structure formed of In y Al x Ga (1-xy) N (0 x 1, 0 y 1, 0 x + y 1) Lt; / RTI >

상기 스트레인 완화층(135)은 제1 도전형 반도체층(121)과 활성층(130) 사이의 격자 불일치에 기이한 응력을 효과적으로 완화시킬 수 있다.The stress relieving layer 135 can effectively relax stresses due to lattice mismatch between the first conductive semiconductor layer 121 and the active layer 130.

또한, 스트레인 완화층(135)은 제1 Inx1GaN 및 제2 Inx2GaN 등의 조성을 갖는 적어도 5주기로 반복 적층됨에 따라, 더 많은 전자가 활성층(130)의 낮은 에너지 준위로 모이게 되며, 결과적으로 전자와 정공의 재결합 확률 이 증가되어 발광효율이 향상될 수 있다.Further, since the strain relaxation layer 135 is repeatedly laminated in at least five cycles having the composition of the first In x1 GaN and the second In x2 GaN, more electrons are collected at the low energy level of the active layer 130, The probability of recombination of electrons and holes increases and the luminous efficiency can be improved.

스트레인 완화층(135)은 제3만입부(126)와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제4만입부(128)를 포함할 수 있다.The strain relief layer 135 may include a fourth indented portion 128 formed at a position vertically overlapping the third indented portion 126.

예를 들면, 제4만입부(128)는 제3만입부(126)와 수직적으로 중첩되는 위치에 제3만입부(126)와 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 제4만입부(128)의 크기(폭, 깊이, 부피)는 제3만입부(126)의 크기 보다 작게 형성될 수 있다. 제4만입부(128)의 폭(L4)은 제3만입부(126)의 폭(L3)보다 작을 수 있다.
For example, the fourth indented portion 128 may be formed in a shape corresponding to the third indented portion 126 at a position vertically overlapping the third indented portion 126. In addition, the size (width, depth, volume) of the fourth indentation 128 may be smaller than the size of the third indentation 126. The width L4 of the fourth indent portion 128 may be smaller than the width L3 of the third indent portion 126. [

스트레인 완화층(135)의 두께는 20nm 내지 30nm의 범위로 형성할 수 있다. 스트레인 완화층(135)의 두께를 20nm보다 얇게 형성할 경우, 제4만입부(128)의 크기가 커질 수 있어서 활성층(130)에 형성되는 제5만입부(131)의 크기를 줄일 수 없으며, 이로 인해 전류 확산 효과가 줄어들어 발광 효율이 떨어지는 문제점이 생길 수 있다. 스트레인 완화층(135)의 두께가 30nm보다 두껍게 형성할 경우, 제3만입부(126)를 완전히 메우게 되는 문제가 발생할 수 있다.The thickness of the strain relief layer 135 may be in the range of 20 nm to 30 nm. When the thickness of the strain relief layer 135 is less than 20 nm, the size of the fourth indentation 128 can be increased, so that the size of the fifth indentation 131 formed in the active layer 130 can not be reduced, As a result, the current diffusion effect may be reduced and the luminous efficiency may be deteriorated. If the thickness of the strain relief layer 135 is thicker than 30 nm, the third indented portion 126 may be completely filled.

스트레인 완화층(135) 상에 활성층(130)이 배치된다.The active layer 130 is disposed on the strain relief layer 135.

활성층(130)은 전자와 정공이 재결합되는 영역으로, 전자와 정공이 재결합함에 따라 낮은 에너지 준위로 천이하며, 그에 상응하는 파장을 가지는 빛을 생성할 수 있다.The active layer 130 is a region where electrons and holes are recombined. As the electrons and the holes are recombined, the active layer 130 transits to a low energy level and can generate light having a wavelength corresponding thereto.

활성층(130)은 3족-5족 원소의 화합물 반도체 재료를 이용하여 단일 또는 다중 양자 우물 구조, 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 등으로 형성될 수 있다.The active layer 130 may be formed of a single or multiple quantum well structure, a quantum-wire structure, a quantum dot structure, or the like using a compound semiconductor material of Group 3-V group elements.

활성층(130)이 양자우물구조로 형성된 경우 예컨대, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 우물층과 InaAlbGa1-a-bN (0≤a≤1, 0≤b≤1, 0≤a+b≤1)의 조성식을 갖는 장벽층을 갖는 단일 또는 양자우물구조를 가질 수 있다. 우물층은 장벽층의 밴드 갭보다 작은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.When the active layer 130 has a quantum well structure, for example, a well layer having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1) And a barrier layer having a composition formula of In a Al b Ga 1-ab N (0? A? 1, 0? B? 1, 0? A + b? 1). The well layer may be formed of a material having a band gap smaller than the band gap of the barrier layer.

예를 들어 다중 양자 우물 구조의 활성층(130)은 InGaN과 GaN이 반복적으로 적층되어 형성될 수 있고, AlGaN과 GaN이 반복적으로 적층되어 형성될 수도 있다. 여기서, 활성층(130)을 이루는 물질의 종류에 따라 전자 및 홀이 결합하여 발생하는 발광 파장이 변화되기 때문에 목표로 하는 파장에 따라 활성층(130)에 포함되는 반도체 재료를 조절할 수 있다..For example, the active layer 130 having a multiple quantum well structure may be formed by repeatedly laminating InGaN and GaN, and may be formed by repeatedly stacking AlGaN and GaN. Here, depending on the type of the material of the active layer 130, the emission wavelength generated by the combination of electrons and holes is changed, so that the semiconductor material included in the active layer 130 can be controlled according to a target wavelength.

또한, 활성층(130)의 상면에는 제4만입부(128)에 대응되는 위치에 제4만입부(128)의 형상에 의해 형성되는 제5만입부(131)가 형성될 수 있다. A fifth indented portion 131 may be formed on the upper surface of the active layer 130 at a position corresponding to the fourth indented portion 128 and formed by the shape of the fourth indented portion 128.

제5만입부(131)는 활성층(130)의 상면에 위치된다. 제5만입부(131)는 제4만입부(128)와 수직적으로 중첩되는 위치에 선택적으로 형성될 수 있다. The fifth depressed portion 131 is located on the upper surface of the active layer 130. The fifth depressed portion 131 may be selectively formed at a position vertically overlapping the fourth depressed portion 128.

제5만입부(131)는 제4만입부(128)의 형상에 의해 활성층(130)이 적층되면서 형성될 수 있다.The fifth depressed portion 131 may be formed by stacking the active layer 130 according to the shape of the fourth depressed portion 128.

제5만입부(131)의 형상은 제4만입부(128)에 대응한 형상을 가질 수 있다.The fifth indentation 131 may have a shape corresponding to the fourth indentation 128.

제5만입부(131)의 크기는 제4만입부(128)의 크기 보다 작을 수 있다.The size of the fifth depressed portion 131 may be smaller than that of the fourth depressed portion 128.

예를 들면, 제5만입부(131)의 폭(L5)은 제4만입부(128)의 폭(L4) 보다 작을 수 있다.For example, the width L5 of the fifth depressed portion 131 may be smaller than the width L4 of the fourth depressed portion 128.

따라서, 제3층(125) 또는 스트레인 완화층(135)의 두께와 조성을 조정하여서, 활성층(130)의 상면에 형성되는 제5만입부(131)의 크기를 줄일 수 있다. 활성층(130)의 상면에 형성되는 제5만입부(131)의 크기를 줄어 들게 되면, 활성층(130)에서 비발광 영역이 줄어 줄어 들게 되므로, 발광소자의 발광효율을 크게 감소시키지 않으면서, 전위를 효과적으로 차단할 수 있는 효과를 가진다.Therefore, the thickness and the composition of the third layer 125 or the strain relief layer 135 may be adjusted to reduce the size of the fifth indentation 131 formed on the upper surface of the active layer 130. The size of the fifth recessed portion 131 formed on the upper surface of the active layer 130 is reduced so that the non-emitting region is reduced in the active layer 130. Thus, Can be effectively blocked.

활성층(130)의 두께는 20nm 내지 40nm의 범위로 형성할 수 있다. 활성층(130)의 두께를 20nm보다 얇게 형성할 경우, 발광영역이 줄어들게 되는 문제가 발생할 수 있다. 활성층(130)의 두께가 40nm보다 두껍게 형성할 경우, 제4만입부(128)를 완전히 메우게 되는 문제가 발생할 수 있다.The thickness of the active layer 130 may be in the range of 20 nm to 40 nm. If the thickness of the active layer 130 is less than 20 nm, the emission region may be reduced. If the thickness of the active layer 130 is thicker than 40 nm, the fourth indentation 128 may be completely buried.

활성층(130)상에는 제2 도전성 반도체층(140)이 형성될 수 있다. 제2 도전성 반도체층(140)은 반도체 화합물로 형성될 수 있으며 제2 도전성 도펀트가 도핑될 수 있다. 예를 들어, 제2 도전성 반도체층(140)은 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트를 도핑하여 p형 반도체층으로 구현될 수 있으며, 활성층(130)에 정공을 주입할 수 있다. 제2 도전성 반도체층(140)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN 등에서 선택된 반도체 재료로 형성될 수 있다.A second conductive semiconductor layer 140 may be formed on the active layer 130. The second conductive semiconductor layer 140 may be formed of a semiconductor compound and may be doped with a second conductive dopant. For example, the second conductive semiconductor layer 140 may be formed of a p-type semiconductor layer doped with a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, or Ba, have. The second conductive semiconductor layer 140 is a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1) , AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN and the like.

제2 도전성 반도체층(140)은 활성층(130)상에 형성되어 활성층(130)상에 형성되어 있는 제5만입부(131)를 메우며 형성될 수 있다..The second conductive semiconductor layer 140 may be formed on the active layer 130 to fill the fifth recessed portion 131 formed on the active layer 130.

제2 도전성 반도체층(140)이 제5만입부(131)를 메우게 되어, 활성층(130)까지 형성되는 제1 내지 제5만입부로 인해 전위를 효과적으로 차단할 수 있으며 이로 인해 발광소자의 품질이 향상될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 140 covers the fifth recessed portion 131 to effectively block the electric potential due to the first through fifth recessed portions formed up to the active layer 130. As a result, .

한편, 활성층(130)과 제2 도전성 반도체층(140) 사이에 중간층(미도시)이 형성될 수 있으며, 중간층은 고 전류 인가 시 제1 도전성 반도체층(120)으로부터 활성층(130)으로 주입되는 전자가 활성층(130)에서 재결합되지 않고, 제2 도전성 반도체층(140)으로 흐르는 현상을 방지하는 전자 차단층(Electron blocking layer)일 수 있다. 중간층은 활성층(130)보다 상대적으로 큰 밴드갭을 가짐으로써, 제1 도전성 반도체층(120)으로부터 주입된 전자가 활성층(130)에서 재결합되지 않고 제2 도전성 반도체층(140)으로 주입되는 현상을 방지할 수 있다. 이에 따라 활성층(130)에서 전자와 정공의 재결합 확률을 높이고 누설전류를 방지할 수 있다.An intermediate layer (not shown) may be formed between the active layer 130 and the second conductive semiconductor layer 140. The intermediate layer may be injected from the first conductive semiconductor layer 120 into the active layer 130 when a high current is applied An electron blocking layer may be used to prevent the electrons from being recombined in the active layer 130 and flowing to the second conductive semiconductor layer 140. The intermediate layer has a band gap relatively larger than that of the active layer 130 so that electrons injected from the first conductive semiconductor layer 120 are injected into the second conductive semiconductor layer 140 without being recombined in the active layer 130 . Accordingly, the probability of recombination of electrons and holes in the active layer 130 can be increased and the leakage current can be prevented.

한편, 상술한 중간층은 활성층(130)에 포함된 장벽층의 밴드갭 보다 큰 밴드갭을 가질 수 있으며, 예를 들어 p 형 AlGaN 과 같은 Al 을 포함한 반도체층으로 형성될 수 있고, 이에 한정하지 아니한다.Meanwhile, the above-described intermediate layer may have a bandgap larger than the bandgap of the barrier layer included in the active layer 130, and may be formed of a semiconductor layer containing Al, such as p-type AlGaN, but is not limited thereto .

상술한 제1 도전성 반도체층(120), 활성층(130) 및 제2 도전성 반도체층(140)은 예를 들어, 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first conductive semiconductor layer 120, the active layer 130 and the second conductive semiconductor layer 140 may be formed using a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) method, a chemical vapor deposition (CVD) method, (PECVD), molecular beam epitaxy (MBE), and hydride vapor phase epitaxy (HVPE), which can be used to form And is not limited thereto.

또한, 제2 도전성 반도체층(140) 상에는 n형 또는 p형 반도체층을 포함하는 제3 도전성 반도체층(미도시)이 형성될 수도 있으며 이에 따라, 발광소자(100)는 np, pn, npn, pnp 접합 구조 중 적어도 어느 하나를 가질 수 있다. A third conductive semiconductor layer (not shown) including an n-type or p-type semiconductor layer may be formed on the second conductive semiconductor layer 140. The light emitting element 100 may include np, pn, npn, and a pnp junction structure.

또한, 제1 도전성 반도체층(120) 및 제2 도전성 반도체층(140) 내의 도전형 도펀트의 도핑 농도는 균일 또는 불균일하게 형성될 수 있다. 즉, 복수의 반도체층의 구조는 다양하게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.In addition, the doping concentrations of the conductive dopants in the first conductive semiconductor layer 120 and the second conductive semiconductor layer 140 may be uniform or non-uniform. That is, the structure of the plurality of semiconductor layers may be variously formed, but the structure is not limited thereto.

활성층(130)과 제2 도전성 반도체층(140)은 일부가 제거되어 제1 도전성 반도체층(120)의 일부가 노출되고, 노출된 제1 도전성 반도체층(120) 상에는 제1 전극(160)이 형성될 수 있다.The active layer 130 and the second conductive semiconductor layer 140 are partially removed to expose a part of the first conductive semiconductor layer 120 and the first electrode 160 is formed on the exposed first conductive semiconductor layer 120 .

또한, 제2 도전성 반도체층(140) 상에는 투광성전극층(150)이 형성되며, 투광성전극층(150)상에는 제2 전극(152)이 형성될 수 있다.The light transmitting electrode layer 150 may be formed on the second conductive semiconductor layer 140 and the second electrode 152 may be formed on the light transmitting electrode layer 150.

제1 전극(160) 및 제2 전극(152)은 전도성 물질, 예를 들어 In, Co, Si, Ge, Au, Pd, Pt, Ru, Re, Mg, Zn, Hf, Ta, Rh, Ir, W, Ti, Ag, Cr, Mo, Nb, Al, Ni, Cu, 및 WTi 중에서 선택된 금속 또는 합금을 이용하여 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.The first electrode 160 and the second electrode 152 may be formed of a conductive material such as In, Co, Si, Ge, Au, Pd, Pt, Ru, Re, Mg, Zn, Hf, W, Ti, Ag, Cr, Mo, Nb, Al, Ni, Cu, and WTi.

투광성전극층(150)은 ITO, IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 제2 도전성 반도체층(140)상에 형성됨으로써, 전류군집현상을 방지할 수 있다.
The transparent electrode layer 150 may be formed of ITO, IZO (In-ZnO), GZO (Ga-ZnO), AZO (Al-ZnO), AGZO / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO, and is formed on the second conductive semiconductor layer 140, thereby preventing current clustering.

도 5은 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 나타낸 사시도이고, 도 6는 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 나타낸 단면도이다.FIG. 5 is a perspective view illustrating a light emitting device package including the light emitting device according to the embodiment, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package including the light emitting device according to the embodiment.

도 5 및 도 6를 참조하면, 발광소자 패키지(500)는 캐비티(520)가 형성된 몸체(510), 몸체(510)에 실장되는 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)과, 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)과 전기적으로 연결되는 발광소자(530), 및 발광소자(530)를 덮도록 캐비티(520)에 충진되는 봉지재(미도시)를 포함할 수 있다. 5 and 6, the light emitting device package 500 includes a body 510 having a cavity 520, first and second lead frames 540 and 550 mounted on the body 510, A light emitting device 530 electrically connected to the first and second lead frames 540 and 550 and an encapsulant (not shown) encapsulated in the cavity 520 to cover the light emitting device 530.

몸체(510)는 폴리프탈아미드(PPA:Polyphthalamide)와 같은 수지 재질, 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 알루미늄 나이트라이드(AlN), 액정폴리머(PSG, photo sensitive glass), 폴리아미드9T(PA9T), 신지오택틱폴리스티렌(SPS), 금속 재질, 사파이어(Al2O3), 베릴륨 옥사이드(BeO), 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board) 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 몸체(510)는 사출 성형, 에칭 공정 등에 의해 형성될 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다. The body 510 may be made of a resin material such as polyphthalamide (PPA), silicon (Si), aluminum (Al), aluminum nitride (AlN), liquid crystal polymer (PSG), polyamide 9T (SPS), a metal material, sapphire (Al2O3), beryllium oxide (BeO), and a printed circuit board (PCB). The body 510 may be formed by injection molding, etching, or the like, but is not limited thereto.

몸체(510)의 내면은 경사면이 형성될 수 있다. 이러한 경사면의 각도에 따라 발광소자(530)에서 방출되는 광의 반사각이 달라질 수 있으며, 이에 따라 외부로 방출되는 광의 지향각을 조절할 수 있다. The inner surface of the body 510 may be formed with an inclined surface. The reflection angle of the light emitted from the light emitting device 530 can be changed according to the angle of the inclined surface, and thus the directivity angle of the light emitted to the outside can be controlled.

광의 지향각이 줄어들수록 발광소자(530)에서 외부로 방출되는 광의 집중성은 증가하고, 반대로 광의 지향각이 클수록 발광소자(530)에서 외부로 방출되는 광의 집중성은 감소한다.Concentration of light emitted to the outside from the light emitting device 530 increases as the directivity angle of light decreases. Conversely, as the directivity angle of light increases, the concentration of light emitted from the light emitting device 530 decreases.

한편, 몸체(510)에 형성되는 캐비티(520)를 위에서 바라본 형상은 원형, 사각형, 다각형, 타원형 등의 형상일 수 있으며, 모서리가 곡선인 형상일 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The shape of the cavity 520 formed in the body 510 may be circular, rectangular, polygonal, elliptical, or the like, and may have a curved shape, but the present invention is not limited thereto.

발광소자(530)는 제1 리드 프레임(540) 상에 실장되며, 예를 들어, 적색, 녹색, 청색, 백색 등의 빛을 방출하는 발광소자 또는 자외선을 방출하는 UV(Ultra Violet) 발광소자일 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 또한, 발광소자(530)는 한 개 이상 실장될 수 있다.The light emitting element 530 is mounted on the first lead frame 540 and may be a light emitting element that emits light such as red, green, blue, or white, or a UV (Ultra Violet) However, the present invention is not limited thereto. In addition, one or more light emitting elements 530 may be mounted.

또한, 발광소자(530)는 그 전기 단자들이 모두 상부 면에 형성된 수평형 타입(Horizontal type)이거나, 또는 상, 하부 면에 형성된 수직형 타입(Vertical type), 또는 플립 칩(flip chip) 모두에 적용 가능하다.The light emitting device 530 may be a horizontal type or a vertical type formed on the upper or lower surface of the light emitting device 530 or a flip chip Applicable.

봉지재(미도시)는 발광소자(530)를 덮도록 캐비티(520)에 충진될 수 있다.The encapsulant (not shown) may be filled in the cavity 520 to cover the light emitting device 530.

봉지재(미도시)는 실리콘, 에폭시, 및 기타 수지 재질로 형성될 수 있으며, 캐비티(520) 내에 충진한 후, 이를 자외선 또는 열 경화하는 방식으로 형성될 수 있다.The encapsulant (not shown) may be formed of silicon, epoxy, or other resin material. The encapsulant may be filled in the cavity 520 and ultraviolet or thermally cured.

또한 봉지재(미도시)는 형광체를 포함할 수 있으며, 형광체는 발광소자(530)에서 방출되는 광의 파장에 종류가 선택되어 발광소자 패키지(500)가 백색광을 구현하도록 할 수 있다. In addition, the encapsulant (not shown) may include a phosphor, and the phosphor may be selected to be a wavelength of light emitted from the light emitting device 530 so that the light emitting device package 500 may emit white light.

이러한 형광체는 발광소자(530)에서 방출되는 광의 파장에 따라 청색 발광 형광체, 청록색 발광 형광체, 녹색 발광 형광체, 황녹색 발광 형광체, 황색 발광 형광체, 황적색 발광 형광체, 오렌지색 발광 형광체, 및 적색 발광 형광체중 하나가 적용될 수 있다. The phosphor may be one of a blue light emitting phosphor, a blue light emitting phosphor, a green light emitting phosphor, a sulfur green light emitting phosphor, a yellow light emitting phosphor, a yellow red light emitting phosphor, an orange light emitting phosphor, and a red light emitting phosphor depending on the wavelength of light emitted from the light emitting device 530 Can be applied.

즉, 형광체는 발광소자(530)에서 방출되는 제1 빛을 가지는 광에 의해 여기 되어 제2 빛을 생성할 수 있다. 예를 들어, 발광소자(530)가 청색 발광 다이오드이고 형광체가 황색 형광체인 경우, 황색 형광체는 청색 빛에 의해 여기되어 황색 빛을 방출할 수 있으며, 청색 발광 다이오드에서 발생한 청색 빛 및 청색 빛에 의해 여기 되어 발생한 황색 빛이 혼색됨에 따라 발광소자 패키지(500)는 백색 빛을 제공할 수 있다. That is, the phosphor may be excited by the light having the first light emitted from the light emitting device 530 to generate the second light. For example, when the light emitting element 530 is a blue light emitting diode and the phosphor is a yellow phosphor, the yellow phosphor may be excited by blue light to emit yellow light, and blue light and blue light emitted from the blue light emitting diode As the excited yellow light is mixed, the light emitting device package 500 can provide white light.

이와 유사하게, 발광소자(530)가 녹색 발광 다이오드인 경우는 magenta 형광체 또는 청색과 적색의 형광체를 혼용하는 경우, 발광소자(530)가 적색 발광 다이오드인 경우는 Cyan형광체 또는 청색과 녹색 형광체를 혼용하는 경우를 예로 들 수 있다.Similarly, when the light emitting element 530 is a green light emitting diode, the magenta phosphor or the blue and red phosphors are mixed, and when the light emitting element 530 is a red light emitting diode, the cyan phosphors or the blue and green phosphors are mixed For example.

이러한 형광체는 YAG계, TAG계, 황화물계, 실리케이트계, 알루미네이트계, 질화물계, 카바이드계, 니트리도실리케이트계, 붕산염계, 불화물계, 인산염계 등의 공지된 형광체일 수 있다.Such a fluorescent material may be a known fluorescent material such as a YAG, TAG, sulfide, silicate, aluminate, nitride, carbide, nitridosilicate, borate, fluoride or phosphate.

제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)은 금속 재질, 예를 들어, 티타늄(Ti), 구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au), 크롬(Cr), 탄탈늄(Ta), 백금(Pt), 주석(Sn), 은(Ag), 인(P), 알루미늄(Al), 인듐(In), 팔라듐(Pd), 코발트(Co), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 하프늄(Hf), 루테늄(Ru), 철(Fe) 중에서 하나 이상의 물질 또는 합금을 포함할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)은 단층 또는 다층 구조를 가지도록 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first and second lead frames 540 and 550 may be formed of a metal material such as titanium, copper, nickel, gold, chromium, tantalum, (Pt), tin (Sn), silver (Ag), phosphorus (P), aluminum (Al), indium (In), palladium (Pd), cobalt (Co), silicon (Si), germanium , Hafnium (Hf), ruthenium (Ru), and iron (Fe). Also, the first and second lead frames 540 and 550 may be formed to have a single layer or a multilayer structure, but the present invention is not limited thereto.

제1 제2 리드 프레임(540, 550)은 서로 이격되어 서로 전기적으로 분리된다. 발광소자(530)는 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)상에 실장되며, 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)은 발광소자(530)와 직접 접촉하거나 또는 솔더링 부재(미도시)와 같은 전도성을 갖는 재료를 통해서 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 발광소자(530)는 와이어 본딩(미도시)을 통해 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)과 전기적으로 연결될 수 있으며, 이에 한정하지 아니한다. 따라서 제1 및 제2 리드 프레임(540, 550)에 전원이 연결되면 발광소자(530)에 전원이 인가될 수 있다. 한편, 수개의 리드 프레임(미도시)이 몸체(510)내에 실장되고 각각의 리드 프레임(미도시)이 발광소자(530)와 전기적으로 연결될 수 있으며, 이에 한정하지 아니한다.The first and second lead frames 540 and 550 are separated from each other and electrically separated from each other. The light emitting element 530 is mounted on the first and second lead frames 540 and 550 and the first and second lead frames 540 and 550 are in direct contact with the light emitting element 530, And may be electrically connected through a conductive material such as a conductive material. In addition, the light emitting device 530 may be electrically connected to the first and second lead frames 540 and 550 through wire bonding (not shown), but is not limited thereto. Accordingly, when power is supplied to the first and second lead frames 540 and 550, power may be applied to the light emitting device 530. Meanwhile, a plurality of lead frames (not shown) may be mounted in the body 510 and each lead frame (not shown) may be electrically connected to the light emitting device 530, but is not limited thereto.

실시예에 따른 발광 소자는 조명 시스템에 적용될 수 있다. 상기 조명 시스템은 복수의 발광 소자가 어레이된 구조를 포함하며, 도 7 및 도 8에 도시된 표시 장치, 도 9에 도시된 조명 장치를 포함하고, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device according to the embodiment can be applied to an illumination system. The lighting system includes a structure in which a plurality of light emitting elements are arrayed and includes a display device shown in Figs. 7 and 8, a lighting device shown in Fig. 9, and may include a lighting lamp, a traffic light, a vehicle headlight, have.

도 7는 실시 예에 따른 발광 소자를 갖는 표시 장치의 분해 사시도이다. 7 is an exploded perspective view of a display device having a light emitting device according to an embodiment.

도 7를 참조하면, 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 광원 모듈(1031)와, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 광원 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트유닛(1050)으로 정의될 수 있다.7, a display device 1000 according to an embodiment includes a light guide plate 1041, a light source module 1031 for providing light to the light guide plate 1041, and a reflection member 1022 An optical sheet 1051 on the light guide plate 1041 and a display panel 1061 on the optical sheet 1051 and the light guide plate 1041, the light source module 1031, and the reflection member 1022 And the bottom cover 1011. The bottom cover 1011, the reflective sheet 1022, the light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 may be defined as a light unit 1050 .

상기 도광판(1041)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethylmethacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthalate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphtha late) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1041 serves to diffuse light into a surface light source. The light guide plate 1041 may be made of a transparent material, for example, acrylic resin such as polymethylmethacrylate (PET), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC), and polyethylene naphtha late Resin. ≪ / RTI >

상기 광원 모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light source module 1031 provides light to at least one side of the light guide plate 1041, and ultimately acts as a light source of the display device.

상기 광원 모듈(1031)은 적어도 하나를 포함하며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 광원 모듈(1031)은 기판(1033)과 상기에 개시된 실시 예에 따른 발광 발광 소자(1035)를 포함하며, 상기 발광 소자(1035)는 상기 기판(1033) 상에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. The light source module 1031 includes at least one light source module 1031 and may directly or indirectly provide light from one side of the light guide plate 1041. The light source module 1031 includes a substrate 1033 and a light emitting device 1035 according to the embodiment described above and the light emitting devices 1035 may be arrayed at a predetermined interval on the substrate 1033 .

상기 기판(1033)은 회로패턴(미도시)을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1033)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자(1035)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 상에 탑재될 경우, 상기 기판(1033)은 제거될 수 있다. 여기서, 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다.The substrate 1033 may be a printed circuit board (PCB) including a circuit pattern (not shown). However, the substrate 1033 may include not only a general PCB, but also a metal core PCB (MCPCB), a flexible PCB (FPCB), and the like. When the light emitting element 1035 is mounted on the side surface of the bottom cover 1011 or on the heat radiation plate, the substrate 1033 can be removed. Here, a part of the heat radiating plate may be in contact with the upper surface of the bottom cover 1011.

그리고, 상기 복수의 발광 소자(1035)는 상기 기판(1033) 상에 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자(1035)는 상기 도광판(1041)의 일측 면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The plurality of light emitting devices 1035 may be mounted on the substrate 1033 such that the light emitting surface is spaced apart from the light guiding plate 1041 by a predetermined distance. However, the present invention is not limited thereto. The light emitting device 1035 may directly or indirectly provide light to the light-incident portion, which is one surface of the light guide plate 1041, but the present invention is not limited thereto.

상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 라이트유닛(1050)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1022 may be disposed under the light guide plate 1041. The reflection member 1022 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1041 so as to face upward, thereby improving the brightness of the light unit 1050. The reflective member 1022 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto. The reflective member 1022 may be an upper surface of the bottom cover 1011, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 광원 모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may house the light guide plate 1041, the light source module 1031, the reflective member 1022, and the like. To this end, the bottom cover 1011 may be provided with a housing portion 1012 having a box-like shape with an opened upper surface, but the present invention is not limited thereto. The bottom cover 1011 may be coupled to the top cover, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding. In addition, the bottom cover 1011 may include a metal or a non-metal material having good thermal conductivity, but the present invention is not limited thereto.

상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제 1 및 제 2기판, 그리고 제 1 및 제 2기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 광학 시트(1051)를 통과한 광에 의해 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등에 적용될 수 있다. The display panel 1061 is, for example, an LCD panel, including first and second transparent substrates facing each other, and a liquid crystal layer interposed between the first and second substrates. A polarizing plate may be attached to at least one surface of the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto. The display panel 1061 displays information by light passing through the optical sheet 1051. Such a display device 1000 can be applied to various types of portable terminals, monitors of notebook computers, monitors of laptop computers, televisions, and the like.

상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical sheet 1051 is disposed between the display panel 1061 and the light guide plate 1041 and includes at least one light-transmitting sheet. The optical sheet 1051 may include at least one of a sheet such as a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The diffusion sheet diffuses incident light, and the horizontal and / or vertical prism sheet condenses incident light into a display area. The brightness enhancing sheet improves the brightness by reusing the lost light. A protective sheet may be disposed on the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto.

여기서, 상기 광원 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041), 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Here, the optical path of the light source module 1031 may include the light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 as an optical member, but the invention is not limited thereto.

도 8는 실시 예에 따른 발광 소자를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다. 8 is a view showing a display device having a light emitting device according to an embodiment.

도 8를 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광 소자(1124)가 어레이된 기판(1120), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. 8, the display device 1100 includes a bottom cover 1152, a substrate 1120 on which the above-described light emitting device 1124 is arrayed, an optical member 1154, and a display panel 1155.

상기 기판(1120)과 상기 발광 소자(1124)는 광원 모듈(1160)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 광원 모듈(1160), 광학 부재(1154)는 라이트유닛(1150)으로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기의 광원 모듈(1160)은 기판(1120) 및 상기 기판(1120) 위에 배열된 복수의 발광 소자(1124)를 포함한다.The substrate 1120 and the light emitting device 1124 may be defined as a light source module 1160. The bottom cover 1152, the at least one light source module 1160, and the optical member 1154 may be defined as a light unit 1150. The bottom cover 1152 may include a receiving portion 1153, but the present invention is not limited thereto. The light source module 1160 includes a substrate 1120 and a plurality of light emitting devices 1124 arranged on the substrate 1120.

여기서, 상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(polymethyl methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. Here, the optical member 1154 may include at least one of a lens, a light guide plate, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The light guide plate may be made of a PC material or a polymethyl methacrylate (PMMA) material, and the light guide plate may be removed. The diffusion sheet diffuses incident light, and the horizontal and vertical prism sheets condense incident light into a display area. The brightness enhancing sheet enhances brightness by reusing the lost light.

상기 광학 부재(1154)는 상기 광원 모듈(1160) 위에 배치되며, 상기 광원 모듈(1160)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The optical member 1154 is disposed on the light source module 1160 and performs surface light source, diffusion, and light condensation of light emitted from the light source module 1160.

도 9은 실시 예에 따른 발광소자를 갖는 조명장치의 분해 사시도이다.9 is an exploded perspective view of a lighting device having a light emitting device according to an embodiment.

도 9을 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자를 포함할 수 있다.9, the lighting apparatus according to the embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a heat discharger 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, and a socket 2800 . Further, the illumination device according to the embodiment may further include at least one of the member 2300 and the holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device according to an embodiment of the present invention.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape in which the hollow is hollow and a part is opened. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the heat discharging body 2400. The cover 2100 may have an engaging portion that engages with the heat discharging body 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다. The inner surface of the cover 2100 may be coated with a milky white paint. Milky white paints may contain a diffusing agent to diffuse light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is for sufficiently diffusing and diffusing the light from the light source module 2200 and emitting it to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The cover 2100 may be made of glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance and strength. The cover 2100 may be transparent so that the light source module 2200 is visible from the outside, and may be opaque. The cover 2100 may be formed by blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 발광소자(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one side of the heat discharging body 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the heat discharger 2400. The light source module 2200 may include a light emitting device 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 발광소자(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 발광소자(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on the upper surface of the heat discharging body 2400 and has guide grooves 2310 into which the plurality of light emitting elements 2210 and the connector 2250 are inserted. The guide groove 2310 corresponds to the substrate of the light emitting device 2210 and the connector 2250.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflecting material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects the light reflected by the inner surface of the cover 2100 toward the cover 2100 in the direction toward the light source module 2200. Therefore, the light efficiency of the illumination device according to the embodiment can be improved.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Therefore, electrical contact can be made between the heat discharging body 2400 and the connecting plate 2230. The member 2300 may be formed of an insulating material to prevent an electrical short circuit between the connection plate 2230 and the heat discharging body 2400. The heat discharger 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to dissipate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 구비할 수 있다.The holder 2500 blocks the receiving groove 2719 of the insulating portion 2710 of the inner case 2700. Therefore, the power supply unit 2600 housed in the insulating portion 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 may have a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides the electrical signal to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is housed in the receiving groove 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500.

상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 돌출부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide unit 2630, a base 2650, and a protrusion 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide portion 2630 may be inserted into the holder 2500. A plurality of components may be disposed on one side of the base 2650. The plurality of components include, for example, a DC converter for converting AC power supplied from an external power source into DC power, a driving chip for controlling driving of the light source module 2200, an ESD (ElectroStatic discharge) protective device, and the like, but the present invention is not limited thereto.

상기 돌출부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 돌출부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 돌출부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 돌출부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The protrusion 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The protrusion 2670 is inserted into the connection portion 2750 of the inner case 2700 and receives an external electrical signal. For example, the protrusion 2670 may be equal to or smaller than the width of the connection portion 2750 of the inner case 2700. One end of each of the positive wire and the negative wire is electrically connected to the protrusion 2670 and the other end of the positive wire and the negative wire are electrically connected to the socket 2800.

상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 2700 may include a molding part together with the power supply part 2600. The molding part is a hardened portion of the molding liquid so that the power supply unit 2600 can be fixed inside the inner case 2700.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

Claims (13)

기판;
상기 기판상의 제1 도전성 반도체층;
상기 제1 도전성 반도체층상의 활성층; 및
상기 활성층 상의 제2 도전성 반도체층;을 포함하고,
상기 제1 도전성 반도체층은,
상면에 오목한 복수의 제1만입부를 포함하는 제1층, 상기 제1층 상에 배치되는 제2층 및 상기 제2층 상에 배치되는 제3층을 포함하며,
상기 제1층은 불순물이 도핑되고,
상기 제2층은 불순물이 도핑되지 않은 언도프층이고,
상기 제3층은 InAlGaN을 포함하는 발광소자.
Board;
A first conductive semiconductor layer on the substrate;
An active layer on the first conductive semiconductor layer; And
And a second conductive semiconductor layer on the active layer,
The first conductive semiconductor layer may include a first conductive semiconductor layer,
A second layer disposed on the first layer, and a third layer disposed on the second layer, wherein the first layer includes a plurality of concave depressions on the upper surface,
The first layer is doped with impurities,
The second layer is an undoped layer which is not doped with impurities,
And the third layer comprises InAlGaN.
제1항에 있어서,
상기 제3층은 In의 함량이 2% 내지 5%인 발광소자.
The method according to claim 1,
And the third layer has an In content of 2% to 5%.
제2항에 있어서,
상기 제3층은 Al의 함량이 6% 내지 10%인 발광소자.
3. The method of claim 2,
And the content of Al in the third layer is 6% to 10%.
제3항에 있어서,
상기 제3층의 두께는 2nm 내지 20nm인 발광소자.
The method of claim 3,
And the third layer has a thickness of 2 nm to 20 nm.
제1항에 있어서,
상기 제1만입부는 육각뿔 또는 쐐기 형상인 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first depressed portion has a hexagonal or wedge shape.
제5항에 있어서,
상기 제1만입부는 상기 제1층에 형성된 전위(Dislocation) 상에 수직적으로 중첩되게 배치되는 발광소자.
6. The method of claim 5,
Wherein the first recessed portion is vertically overlapped on a dislocation formed in the first layer.
제6항에 있어서,
상기 제2층은 상기 제1만입부와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제2만입부를 더 포함하고,
상기 제3층은 상기 제2만입부와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제3만입부를 포함하는 발광소자.
The method according to claim 6,
Wherein the second layer further comprises a second indentation formed at a position vertically overlapping the first indentation,
And the third layer includes a third indent formed at a position vertically overlapping the second indentation.
제7항에 있어서,
상기 제3층과 상기 활성층 사이에 배치되는 스트레인 완화층을 더 포함하고,
상기 스트레인 완화층는 상기 제3만입부와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제4만입부를 포함하는 발광소자.
8. The method of claim 7,
And a strain relief layer disposed between the third layer and the active layer,
And the strain relief layer includes a fourth indentation formed at a position vertically overlapping the third indentation.
제8항에 있어서,
상기 활성층은 상기 제4만입부와 수직적으로 중첩되는 위치에 형성되는 제5만입부를 포함하는 발광소자.
9. The method of claim 8,
And the active layer includes a fifth recessed portion formed at a position vertically overlapping the fourth recessed portion.
제9항에 있어서,
상기 제4만입부의 크기는 상기 제3만입부의 크기보다 작은 발광소자.
10. The method of claim 9,
And the size of the fourth indent is smaller than the size of the third indent.
제9항에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층은 상기 제5만입부를 채우며 형성되는 발광소자.
10. The method of claim 9,
And the second conductive semiconductor layer is formed to fill the fifth indented portion.
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지.A light emitting device package comprising the light emitting device according to any one of claims 1 to 11. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 발광소자를 포함하는 조명장치.A lighting device comprising the light-emitting element according to any one of claims 1 to 11.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120011131A (en) * 2010-07-28 2012-02-07 엘지이노텍 주식회사 a light emitting device and a light emitting device package
KR101164026B1 (en) * 2007-07-12 2012-07-18 삼성전자주식회사 Nitride semiconductor light emitting device and fabrication method thereof
KR20120086594A (en) * 2011-01-26 2012-08-03 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device
KR20120136703A (en) * 2011-06-09 2012-12-20 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device and method for fabricating the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101164026B1 (en) * 2007-07-12 2012-07-18 삼성전자주식회사 Nitride semiconductor light emitting device and fabrication method thereof
KR20120011131A (en) * 2010-07-28 2012-02-07 엘지이노텍 주식회사 a light emitting device and a light emitting device package
KR20120086594A (en) * 2011-01-26 2012-08-03 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device
KR20120136703A (en) * 2011-06-09 2012-12-20 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device and method for fabricating the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160123555A (en) 2015-04-16 2016-10-26 박찬용 Octagonal Alphabet Pad

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