KR20150007432A - 보호 필름 필링 장치 - Google Patents

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Abstract

보호 필름 필링 장치는 스테이지 및 롤러 유닛을 포함한다. 스테이지는 보호 필름이 부착된 기판을 진공으로 흡착하는 제 1 흡착판, 및 상기 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 포함한다. 롤러 유닛은 상기 스테이지의 상부에서 수평 방향을 따라 이동하여 상기 기판으로부터 상기 보호 필름을 필링한다. 따라서, 기판이 보호 필름과 함께 롤러에 의해 들어 올려지는 것이 방지된다.

Description

보호 필름 필링 장치{APPARATUS FOR PEELING A PROTECTING FILM FROM A SUBSTRATE}
본 발명은 보호 필름 필링 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인쇄회로기판으로부터 보호 필름을 필링하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board : PCB)은 연성(flexible) 기판, 경성(rigid) 기판 등을 포함한다. 연성 인쇄회로기판은 매우 얇은 두께를 가지면서 연성을 갖고 있으므로, 보호 필름으로 연성 인쇄회로기판을 보호한다.
연성 인쇄회로기판을 전자 부품을 실장하거나 또는 연성 인쇄회로기판의 전기적 특성을 테스트하기 위해서는 보호 필름을 연성 인쇄회로기판으로부터 제거하는 공정이 요구된다. 관련 기술에 따르면, 연성 인쇄회로기판을 스테이지에 진공으로 흡착시킨 상태에서 롤러가 보호 필름을 필링하게 된다.
그러나, 연성 인쇄회로기판을 진공으로 흡착하는 다공성 스테이지의 흡착력이 약해서, 보호 필름 뿐만 아니라 연성 인쇄회로기판도 같이 스테이지로부터 들어 올려지는 문제가 있다.
또한, 하나의 롤러를 이용해서 보호 필름을 필링하는 관계로, 보호 필름을 정확하게 필링하지 못하는 문제도 있다.
아울러, 롤러의 이동 방향이 연성 인쇄회로기판의 대각선 방향인 관계로, 연성 인쇄회로기판이 미세하게 틸트되면, 롤러가 보호 필름을 정확하게 필링하지 못하게 된다.
특히, 롤러는 완충 구조를 갖고 있지 않기 때문에, 롤러와 접촉하는 연성 인쇄회로기판이 손상되는 문제도 있다.
본 발명은 기판의 손상을 방지하면서 보호 필름을 정확하게 필링할 수 있는 장치를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 보호 필름 필링 장치는 스테이지 및 롤러 유닛을 포함한다. 스테이지는 보호 필름이 부착된 기판을 진공으로 흡착하는 제 1 흡착판, 및 상기 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 포함한다. 롤러 유닛은 상기 스테이지의 상부에서 수평 방향을 따라 이동하여 상기 기판으로부터 상기 보호 필름을 필링한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제 2 흡착판은 상기 롤러 유닛이 상기 보호 필름에 최초로 접촉하는 상기 제 1 흡착판의 측면에 배치될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제 2 흡착판은 금속을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 롤러 유닛은 상기 보호 필름과 접촉하여 상기 기판로부터 상기 보호 필름을 필링하는 롤러, 및 상기 롤러를 상기 수평 방향으로 이동시키는 롤러 엑튜에이터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 롤러는 적어도 2개로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 롤러의 수평 이동 방향은 상기 제 1 흡착판가 상기 제 2 흡착판 사이의 경계선과 직교를 이룰 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 롤러는 상기 엑튜에이터에 롤러 축을 매개로 연결되고, 상기 롤러 축에 스프링이 설치될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 필링 장치는 상기 롤러 유닛에 의해 필링된 상기 보호 필름을 픽업하는 픽업(pickup) 유닛을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 픽업 유닛은 상기 보호 필름을 픽업하는 한 쌍의 픽업 부재, 및 상기 픽업 부재를 회전시키는 픽업 엑튜에이터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 회전 엑튜에티터의 양측면에 착탈 가능하게 연결될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 보호 필름이 상기 픽업 부재에 접착되는 것을 방지하는 볼 플런저를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 보호 필름 필링 장치는 스테이지, 롤러 유닛 및 픽업 유닛을 포함한다. 스테이지는 보호 필름이 부착된 기판을 진공으로 흡착한다. 롤러 유닛은 상기 보호 필름과 접촉하여 상기 기판로부터 상기 보호 필름을 필링하는 적어도 2개의 롤러, 상기 롤러를 상기 수평 방향으로 이동시키는 롤러 엑튜에이터, 상기 롤러 엑튜에이터와 상기 롤러를 연결하는 롤러 축, 및 상기 롤러 축에 설치된 스프링을 포함한다. 픽업 유닛은 상기 롤러 유닛에 의해 필링된 상기 보호 필름을 픽업한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 스테이지는 상기 기판을 진공으로 흡착하는 제 1 흡착판, 및 상기 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 픽업 유닛은 상기 보호 필름을 픽업하는 한 쌍의 픽업 부재, 및 상기 픽업 부재를 회전시키는 픽업 엑튜에이터를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 픽업 엑튜에이터의 양측면에 착탈 가능하게 연결될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 보호 필름이 상기 픽업 부재에 접착되는 것을 방지하는 볼 플런저를 가질 수 있다.
본 발명에 따르면, 스테이지가 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 더 포함하고 있으므로, 기판이 보호 필름과 함께 롤러에 의해 들어 올려지는 것이 방지된다. 또한, 한 쌍의 롤러들이 기판의 측면과 평행한 방향을 따라 이동하여 보호 필름을 필링하게 되므로, 보호 필름을 정확하게 필링할 수가 있다. 아울러, 롤러가 스프링으로 탄력 지지되므로, 기판이 롤러에 의해 손상되는 것도 억제될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 보호 필름 필링 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 필링 장치의 스테이지를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1의 필링 장치의 픽업 유닛을 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 4 내지 도 8은 도 1의 필링 장치가 기판으로부터 보호 필름을 필링하는 동작을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예들에 의해 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.
본 명세서에 있어서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이고, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접촉되어"있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접촉되어 있을 수도 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접촉되어"있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 예시적인 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지는 않는다.
제1, 제2, 제3. 제4 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2, 제3 또는 제4 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2, 제3 또는 제4 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 보호 필름 필링 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 필링 장치의 스테이지를 확대해서 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 1의 필링 장치의 픽업 유닛을 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 보호 필름 필링 장치(100)는 스테이지(110), 롤러 유닛(120) 및 픽업 유닛(130)을 포함한다.
스테이지(110)는 보호 필름(F)이 부착된 기판(S)을 지지한다. 스테이지(110)는 기판(S)을 진공으로 흡착한다. 본 실시예에서, 스테이지(110)는 제 1 흡착판(112)과 제 2 흡착판(114)을 포함한다.
제 1 흡착판(112)은 다공성 플레이트를 포함한다. 본 실시예에서, 제 1 흡착판(112)은 기판(S)을 제 1 흡착력으로 고정하는 재질을 포함한다. 제 1 흡착판(112)은 진공이 제공되는 진공홀들을 갖는다.
제 2 흡착판(114)은 제 1 흡착판(112)의 측면에 배치된다. 제 2 흡착판(114)은 제 1 흡착판(112)의 상부면과 실질적으로 동일 평면 상에 위치하는 상부면을 갖는다. 따라서, 제 1 흡착판(112)과 제 2 흡착판(114)은 동일 평면 상에 위치하는 상부면들을 갖는다.
본 실시예에서, 제 2 흡착판(114)은 기판(S)을 제 2 흡착력으로 고정하는 재질을 포함한다. 제 2 흡착력은 제 1 흡착력보다 높다. 따라서, 제 1 흡착판(112)의 상부면에 위치한 기판(S) 부분에는 제 1 흡착력이 인가되고, 제 2 흡착판(114)의 상부면에 위치한 기판(S) 부분에는 제 1 흡착력보다 높은 제 2 흡착력이 인가된다. 따라서, 제 2 흡착판(114)의 상부면에 위치한 기판(S) 부분이 제 1 흡착판(112)의 상부면에 위치한 기판(S) 부분보다 상대적으로 강하게 흡착된다. 기판(S)으로 제 1 흡착력보다 높은 제 2 흡착력을 인가할 수 있는 제 2 흡착판(114)의 재질로는 금속을 들 수 있다.
본 실시예에서, 롤러 유닛(120)이 기판(S)으로부터 보호 필름(F)을 필링하는 동작 중에, 롤러 유닛(120)이 보호 필름(F)에 최초로 접촉하는 시점에서 보호 필름(F)이 기판(S)으로부터 용이하게 필링되지 않는다. 따라서, 제 2 흡착판(114)은 롤러 유닛(120)이 기판(S) 상의 보호 필름(F)에 최초로 접촉하는 위치에 배치되어, 롤러 유닛(120)과 보호 필름(F)의 최초 접촉 시점에서 기판(S)을 강하게 흡착한다. 따라서, 기판(S)이 보호 필름(F)과 함께 들어 올려지는 현상이 억제될 수 있다. 도 1에서, 롤러 유닛(120)이 좌측으로부터 우측으로 이동하면서 보호 필름(F)을 필링하게 되므로, 제 2 흡착판(114)은 제 1 흡착판(112)의 좌측면에 배치된다.
롤러 유닛(120)은 스테이지(110)의 상부에 배치된다. 롤러 유닛(120)은 스테이지(110)의 상부에서 수평 방향을 따라 이동하면서 보호 필름(F)을 기판(S)으로부터 필링한다.
본 실시예에서, 롤러 유닛(120)은 롤러 엑튜에이터(122), 적어도 2개의 롤러(124), 롤러 축(126) 및 스프링(128)을 포함한다. 롤러(124)들은 롤러 엑튜에이터(122)에 롤러 축(126)을 매개로 연결된다. 스프링(128)은 롤러 축(126)에 설치된다.
본 실시예에서, 롤러 엑튜에이터(122)는 롤러(124)들을 기판(S)을 향해서 하강시킨 후 롤러(124)들을 수평 방향을 따라 회전 이동시킨다. 롤러(124)들의 수평 이동 방향은 제 1 흡착판(112)과 제 2 흡착판(114)의 경계선과 실질적으로 직교를 이룬다. 즉, 롤러(124)들은 기판(S)의 대각선 방향이 아닌 측면과 평행한 방향을 따라 회전 이동한다. 그러므로, 기판(S)이 스테이지(110) 상에서 미세하게 틸트된 경우에도, 롤러(124)들이 보호 필름(F)을 정확하게 필링할 수가 있다.
또한, 본 실시예에서, 롤러(124)는 한 쌍으로 이루어질 수 있다. 특히, 각 롤러(124)는 별도의 롤러 축(126)을 매개로 롤러 엑튜에이터(122)에 개별적으로 연결된다. 따라서, 한 쌍의 롤러(124)는 독립적으로 동작한다. 긴 길이를 갖는 단일 롤러가 미세하게 기울어져서 보호 필름(F)에 균일하게 접촉하지 않을 경우, 보호 필름(F)이 기판(S)으로부터 용이하게 필링되지 않을 수 있다. 반면에, 한 쌍의 롤러(124)는 단일 롤러보다 상대적으로 짧은 길이를 가지면서 독립적으로 동작하므로, 한 쌍의 롤러(124)와 보호 필름(F) 간의 균일한 접촉이 보장될 수 있다. 결과적으로, 단일 롤러보다는 적어도 2개의 롤러(124)들에 의해서 보호 필름(F)을 보다 용이하게 필링할 수 있다.
본 실시예에서, 각 롤러(124)는 스프링(128)에 의해 탄력 지지된다. 따라서, 롤러(124)는 보호 필름(F)에 부드럽게 접촉할 수가 있게 되어, 기판(S)의 손상이 억제될 수 있다. 또한, 스프링(128)은 한 쌍의 롤러(124)의 상하 변위를 허용하므로, 한 쌍의 롤러(124)와 보호 필름(F) 간의 균일한 접촉이 보장될 수 있다.
픽업 유닛(130)은 롤러(124)들에 의해 필링된 보호 필름(F)을 픽업하여 폐기함에 투하한다. 본 실시예에서, 픽업 유닛(130)은 픽업 엑튜에이터(132), 픽업 부재(134), 센서(136) 및 볼 플런저(138)를 포함한다.
본 실시예에서, 픽업 부재(134)는 픽업 엑튜에이터(132)의 양측면에 회전 가능하게 연결된 한 쌍으로 이루어진다. 또한, 한 쌍의 픽업 부재(134)는 픽업 엑튜에이터(132)의 양측면에 착탈 가능하게 연결된다.
센서(136)는 픽업 엑튜에이터(132)에 부착된다. 센서(136)는 보호 필름(F)을 감지하여 픽업 엑튜에이터(132)의 동작을 제어한다.
볼 플런저(138)는 픽업 부재(134)의 하단에 배치된다. 볼 플런저(138)는 에어 제공에 의해 하강하여 픽업 부재(134)의 하단에 부착된 보호 필름(F)을 분리시켜서 폐기함에 투하되도록 한다.
도 4 내지 도 8은 도 1의 필링 장치가 기판으로부터 보호 필름을 필링하는 동작을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 4를 참조하면, 보호 필름(F)이 부착된 기판(S)이 스테이지(110)의 상부면에 안치된다. 기판(S)은 제 1 흡착판(112)과 제 2 흡착판(114)의 상부면들에 안치된다. 제 2 흡착판(114)이 제 1 흡착판(112)보다 상대적으로 강하게 기판(S)을 지지하므로, 제 2 흡착판(114) 상에 위치한 기판(S) 부분이 제 1 흡착판(112) 상에 위치한 기판(S) 부분보다 상대적으로 견고하게 고정된다.
도 5를 참조하면, 롤러 엑튜에이터(122)가 한 쌍의 롤러(124)를 스테이지(110)를 향해서 하강시킨다. 한 쌍의 롤러(124)는 제 2 흡착판(114) 상에 위치한 기판(S) 부분과 접촉하게 된다.
롤러 엑튜에이터(122)는 한 쌍의 롤러(124)를 수평 방향을 따라 회전 이동시킨다. 따라서, 보호 필름(F)의 좌측 부분이 기판(S)으로부터 필링된다. 여기서, 전술한 바와 같이, 제 2 흡착판(114) 상에 위치한 기판(S) 부분이 제 1 흡착판(112) 상에 위치한 기판(S) 부분보다 상대적으로 견고하게 고정되어 있으므로, 기판(S)은 제 2 흡착판(114)에 흡착된 상태로 유지될 수 있다. 즉, 기판(S)이 보호 필름(F)과 함께 들어 올려지는 현상이 방지된다.
도 6을 참조하면, 롤러 엑튜에이터(122)가 한 쌍의 롤러(124)를 스테이지(110)의 우측면까지 회전 이동시킨다. 보호 필름(F) 전체가 롤러(124)들에 권취되어 기판(S)으로부터 필링된다.
본 실시예에서, 상기된 필링 동작 중에, 스프링(128)으로 탄력 지지된 롤러(124)들은 보호 필름(F)에 부드럽게 접촉할 수가 있게 되어, 기판(S)의 손상이 억제될 수 있다. 또한, 스프링(128)은 한 쌍의 롤러(124)의 상하 변위를 허용하므로, 한 쌍의 롤러(124)와 보호 필름(F) 간의 균일한 접촉이 보장될 수 있다.
또한, 롤러(124)들은 기판(S)의 대각선 방향이 아닌 측면과 평행한 방향을 따라 회전 이동하므로, 기판(S)이 스테이지(110) 상에서 미세하게 틸트된 경우에도, 롤러(124)들이 보호 필름(F)을 정확하게 필링할 수가 있다.
아울러, 독립적으로 작동하는 한 쌍의 롤러(124)는 보호 필름(F)에 균일하게 접촉할 수가 있게 되어, 보호 필름(F)을 보다 용이하게 필링할 수 있다.
도 7을 참조하면, 보호 필름(F)이 기판(S)으로부터 완전히 필링되어 롤러(124)의 외주면에 권취되면, 픽업 엑튜에이터(132)가 한 쌍의 픽업 부재(134)를 회전시킨다. 회전하는 픽업 부재(134)가 보호 필름(F)을 픽업하게 된다.
도 8을 참조하면, 픽업 유닛(130)이 폐기함 상부로 이동한다. 에어가 볼 플런저(138)로 공급되면, 볼 플런저(138)는 하강하게 된다. 따라서, 픽업 부재(134)의 하단에 접착되어 있는 보호 필름(F)이 픽업 부재(134)로부터 분리되어 폐기함으로 투하된다.
상술한 바와 같은 본 실시예들에 따르면, 스테이지가 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 더 포함하고 있으므로, 기판이 보호 필름과 함께 롤러에 의해 들어 올려지는 것이 방지된다. 또한, 한 쌍의 롤러들이 기판의 측면과 평행한 방향을 따라 이동하여 보호 필름을 필링하게 되므로, 보호 필름을 정확하게 필링할 수가 있다. 아울러, 롤러가 스프링으로 탄력 지지되므로, 기판이 롤러에 의해 손상되는 것도 억제될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 스테이지 112 ; 제 1 흡착판
114 ; 제 2 흡착판 120 ; 롤러 유닛
122 ; 롤러 엑튜에이터 124 ; 롤러
126 ; 롤러 축 128 ; 스프링
130 ; 픽업 유닛 132 ; 픽업 엑튜에이터
134 ; 픽업 부재 136 ; 센서
138 ; 볼 플런저

Claims (16)

  1. 보호 필름이 부착된 기판을 진공으로 흡착하는 제 1 흡착판, 및 상기 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 포함하는 스테이지; 및
    상기 스테이지의 상부에서 수평 방향을 따라 이동하여 상기 기판으로부터 상기 보호 필름을 필링(peeling)하는 롤러 유닛을 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 흡착판은 상기 롤러 유닛이 상기 보호 필름에 최초로 접촉하는 상기 제 1 흡착판의 측면에 배치된 보호 필름 필링 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 흡착판은 금속을 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 롤러 유닛은
    상기 보호 필름과 접촉하여 상기 기판으로부터 상기 보호 필름을 필링하는 롤러; 및
    상기 롤러를 상기 수평 방향으로 이동시키는 롤러 엑튜에이터를 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 롤러는 적어도 2개로 이루어진 보호 필름 필링 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 롤러의 수평 이동 방향은 상기 제 1 흡착판가 상기 제 2 흡착판 사이의 경계선과 직교를 이루는 보호 필름 필링 장치.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 롤러는 상기 엑튜에이터에 롤러 축을 매개로 연결되고, 상기 롤러 축에 스프링이 설치된 보호 필름 필링 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 롤러 유닛에 의해 필링된 상기 보호 필름을 픽업하는 픽업(pickup) 유닛을 더 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 픽업 유닛은
    상기 보호 필름을 픽업하는 한 쌍의 픽업 부재; 및
    상기 픽업 부재를 회전시키는 픽업 엑튜에이터를 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 회전 엑튜에티터의 양측면에 착탈 가능하게 연결된 보호 필름 필링 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 보호 필름이 상기 픽업 부재에 접착되는 것을 방지하는 볼 플런저를 갖는 보호 필름 필링 장치.
  12. 보호 필름이 부착된 기판을 진공으로 흡착하는 스테이지;
    상기 보호 필름과 접촉하여 상기 기판으로부터 상기 보호 필름을 필링하는 적어도 2개의 롤러, 상기 롤러를 상기 수평 방향으로 이동시키는 롤러 엑튜에이터, 상기 롤러 엑튜에이터와 상기 롤러를 연결하는 롤러 축, 및 상기 롤러 축에 설치된 스프링을 포함하는 롤러 유닛; 및
    상기 롤러 유닛에 의해 필링된 상기 보호 필름을 픽업하는 픽업(pickup) 유닛을 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 스테이지는
    상기 기판을 진공으로 흡착하는 제 1 흡착판; 및
    상기 제 1 흡착판보다 강한 흡착력을 갖는 제 2 흡착판을 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  14. 제 12 항에 있어서, 상기 픽업 유닛은
    상기 보호 필름을 픽업하는 한 쌍의 픽업 부재; 및
    상기 픽업 부재를 회전시키는 픽업 엑튜에이터를 포함하는 보호 필름 필링 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 회전 엑튜에티터의 양측면에 착탈 가능하게 연결된 보호 필름 필링 장치.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 한 쌍의 픽업 부재는 상기 보호 필름이 상기 픽업 부재에 접착되는 것을 방지하는 볼 플런저를 갖는 보호 필름 필링 장치.
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