KR20150002251A - 플렉서블 표시장치의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 플렉서블(flexible) 표시장치의 제조방법은 플렉서블 폴리이미드(polyimide) 기판의 공정진행을 위해 글라스 기판을 이용하는 경우에 있어, 폴리이미드 기판이 부착된 글라스 기판의 반대편에 폴리이미드 기판과 동일하거나 유사한 열팽창계수(coefficient of thermal expansion)를 가진 보상층을 형성하여 공정진행 중에 발생하는 글라스 기판의 휨을 상쇄시킴으로써 공정을 원활하게 진행하기 위한 것으로, 글라스 기판의 배면에 보상층을 형성하는 단계; 상기 보상층이 형성된 글라스 기판에 열처리를 진행하는 단계; 상기 열처리가 진행된 글라스 기판의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판을 형성하는 단계; 상기 폴리이미드 기판 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 및 상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 상기 글라스 기판을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 보상층은 상기 폴리이미드 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성하여 상기 TFT공정 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄하는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉서블 표시장치의 제조방법{METHOD OF FABRICATING FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플렉서블 기판을 이용한 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.
상기 표시장치는 자체가 빛을 내는 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT), 전계발광소자(Electro Luminescence; EL), 발광소자(Light Emitting Diode; LED), 진공형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device; OLED), 전계방출표시장치(Field Emission Display; FED), 플라즈마표시장치패널(Plasma Display Panel; PDP) 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.
한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블(flexible) 표시장치가 표시장치 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다. 현재는 플렉서블 표시장치 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막 트랜지스터 액정표시장치나 유기발광표시장치가 주류를 이루게 될 것이다.
이하, 도면을 참조하여 플렉서블 표시장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진이다.
플렉서블 표시장치는 두루말이 표시장치로 불리는데, 도면에 도시된 바와 같이 플라스틱과 같이 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 표시장치의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 액정표시장치 및 유기발광표시장치가 유망하다.
액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 기존의 브라운관에 비해 시인성(是認性)이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
유기발광표시장치는 소자 자체가 스스로 빛을 내기 때문에 어두운 곳이나 외부 빛이 들어올 때도 시인성이 좋으며, 모바일(mobile) 표시장치의 성능을 판가름하는 중요한 기준인 응답속도가 현존하는 표시장치 가운데 빠르기 때문에 완벽한 동영상을 구현할 수 있다. 또한, 유기발광표시장치는 초박형 디자인이 가능해 휴대폰 등 각종 모바일 기기를 슬림(slim)화할 수 있다.
이러한 플렉서블 표시장치 구현을 위해서는 기판의 유연성 확보가 필요하며, 현재 이러한 기판 유연성 확보를 위해서 기존의 글라스(glass) 기판 대신 폴리이미드(polyimide)와 같은 플라스틱의 플렉서블 기판을 사용하게 된다.
상기 폴리이미드 기판은 플렉서블하기 때문에 보조기판으로 글라스 기판을 사용하여 상기 글라스 기판 위에 폴리이미드를 코팅하여 TFT공정을 진행하게 되며, TFT공정이 완료되면 상기 폴리이미드 기판으로부터 글라스 기판을 분리하게 된다.
이때, TFT공정 중에 가해지는 열에 의해 폴리이미드 기판이 휘어지게 되며, 이러한 폴리이미드 기판의 휨에 의해 글라스 기판이 휘어지게 된다.
도 2는 폴리이미드 기판의 휨에 의한 글라스 기판의 휘어짐을 예시적으로 보여주는 도면이다.
상기 도 2를 참조하면, 폴리이미드 기판(11)의 높은 열팽창계수(Coefficient of Thermal Expansion; CTE)(~ 35ppm/℃)로 인해 폴리이미드 기판(11)이 장력(tensile)방향으로 휘어지게 되며, 이러한 폴리이미드 기판(11)의 휨에 의해 글라스 기판(1)이 같은 방향으로 휘어지게 된다.
이와 같이 글라스 기판의 휘어짐으로 인해 글라스 기판의 로딩과 언로딩 과정에서 글라스 기판에 크랙(crack)이 발생하게 된다. 이에 따라 공정 택 타임(tack time)의 증가와 장비 이상을 야기할 가능성이 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 플렉서블 폴리이미드 기판의 공정진행을 위해 글라스 기판을 이용하는 경우에 있어, TFT공정 중에 글라스 기판의 휘어짐을 방지하도록 한 플렉서블 표시장치의 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.
기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 글라스 기판의 배면에 보상층을 형성하는 단계; 상기 보상층이 형성된 글라스 기판에 열처리를 진행하는 단계; 상기 열처리가 진행된 글라스 기판의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판을 형성하는 단계; 상기 폴리이미드 기판 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 및 상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 상기 글라스 기판을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 보상층은 상기 폴리이미드 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성하여 상기 TFT공정 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 다른 제조방법은 글라스 기판의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판을 형성하는 단계; 상기 폴리이미드가 코팅된 글라스 기판의 배면에 보상층을 형성하는 단계; 상기 보상층이 형성된 글라스 기판에 열처리를 진행하는 단계; 상기 폴리이미드 기판 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 및 상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 상기 글라스 기판을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 보상층은 상기 폴리이미드 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성하여 상기 TFT공정 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄할 수 있다.
이때, 상기 보상층은 폴리이미드 또는 실리콘산화막이나 실리콘질화막으로 형성할 수 있다.
이때, 상기 열처리는 상기 폴리이미드 기판에 진행되는 TFT공정 중의 증착온도 내에서 진행할 수 있다.
이때, 상기 열처리는 상기 TFT공정의 증착온도 중 최고의 온도에서 진행할 수 있다.
상기 글라스 기판이 제거된 상기 폴리이미드 기판 배면에 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름을 부착하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판 상부에 점착제를 이용하여 편광판을 부착하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 제거된 글라스 기판과 상기 글라스 기판 배면에 형성된 보상층은 또 다른 플렉서블 표시장치의 제조에 재사용(recycle)할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 플렉서블 폴리이미드 기판의 공정진행을 위해 글라스 기판을 이용하는 경우에 있어, 폴리이미드 기판이 부착된 글라스 기판의 반대편에 폴리이미드 기판과 동일하거나 유사한 열팽창계수를 가진 보상층을 형성하여 공정진행 중에 발생하는 글라스 기판의 휨을 상쇄시킴으로써 글라스 기판의 변형을 방지할 수 있게 된다. 이에 따라 택 타임이 단축되는 동시에 수율이 향상되는 효과를 제공한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진.
도 2는 폴리이미드 기판의 휨에 의한 글라스 기판의 휘어짐을 예시적으로 보여주는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도.
도 4는 상기 도 3에 도시된 표시패널을 예를 들어 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.
도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장될 수 있다.
소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않는 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below, beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 따라서 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도이다.
그리고, 도 4는 상기 도 3에 도시된 표시패널을 예를 들어 나타내는 단면도로써, 표시패널로 유기발광표시장치를 예를 들어 나타내고 있다.
상기 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치는 영상을 출력하는 표시패널(110)을 포함하며, 상기 표시패널(110)의 상부에는 편광판(120)이 점착제(130)를 이용하여 부착되어 있는 있다.
여기서, 상기 표시패널(110)의 상부와 하부는 특정 위치를 한정하는 것은 아니며, 따라서 상기 표시패널(110)의 하부에 상기 편광판(120)이 점착제(130)를 이용하여 부착될 수 있다.
그리고, 상기 편광판(120)의 상부 표면에는 하드 코팅(hard coating)의 보호필름(140)이 추가로 부착될 수 있다.
이때, 상기 표시패널(110)은 액정표시장치나 유기발광표시장치 중 하나로 구성될 수 있다. 다만, 본 발명의 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 표시패널(110)을 유기발광표시장치로 구성하는 경우에는, 상기 도 4를 참조하면, 폴리이미드(polyimide)와 같은 플라스틱으로 이루어진 기판(111) 상에 TFT공정을 통해 투명 산화물로 이루어진 양극(112)이 형성되며, 상기 양극(112) 위에는 순차적으로 정공수송층(hole transport layer)(113), 발광층(emission layer)(114), 전자수송층(electron transport layer)(115), 전자주입층(electron injection layer)(116) 및 음극(117)이 적층되어 있다.
상기 구조를 기반으로 유기전계발광장치는 양극(112)에서 주입되는 정공과 음극(117)에서 주입되는 전자가 각각의 수송을 위한 수송층(113, 115)을 경유하여 발광층(114)에서 결합한 후 낮은 에너지 준위로 이동하면서 상기 발광층(114)에서의 에너지 차에 해당하는 파장의 빛을 생성하게 된다.
이때, 백색광의 발광을 위하여 상기 발광층(114)은 더욱 구체적으로 적색발광층(114a), 녹색발광층(114b) 및 청색발광층(114c)으로 이루어질 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 구성되는 표시패널(110)의 상부에는 전술한 바와 같이, 편광판(120)이 점착제(130)를 이용하여 부착되어 있으며, 상기 편광판(120)은 외광반사를 막아주기 위해 원편광의 편광판으로 이루어지게 된다.
이때, 상기 기판(111)으로 폴리이미드 재질을 사용하는 경우 상기 기판(111) 배면에는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름(back film)이 부착될 수 있다.
이에 비해 표시패널(110)을 액정표시장치로 구성하는 경우에는 상기 표시패널(110)의 상부에는, 예를 들어 수평방향의 광흡수축을 가지는 상부 편광판을 배치한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 표시패널(110) 하부에는 백라이트 유닛이 배치되고, 상기 표시패널(110)과 백라이트 유닛 사이에 하부 편광판이 배치되게 된다.
그리고, 상기 표시패널(110)을 액정표시장치로 구성하는 경우에 상기 표시패널(110)은 2장의 기판들과 이들 사이에 형성된 액정층으로 구성될 수 있다.
이때, 하부 기판에는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다. 상기 박막 트랜지스터 어레이에는 R, G 및 B 데이터전압이 공급되는 다수의 데이터라인들, 상기 데이터라인들에 교차하여 게이트펄스가 공급되는 다수의 게이트라인들, 상기 데이터라인들과 게이트라인들의 교차부들에 형성되는 다수의 박막 트랜지스터들, 액정 셀들에 데이터전압을 충전시키기 위한 다수의 화소전극 및 상기 화소전극에 접속되어 액정 셀의 전압을 유지시키기 위한 스토리지 커패시터 등을 포함한다. 상부 기판에는 컬러필터 어레이가 형성되며, 상기 컬러필터 어레이에는 블랙매트릭스와 컬러필터 등을 포함한다.
이렇게 구성된 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치에 있어, 상기 편광판(120)은 제 1 지지체(122a)와 제 2 지지체(122b) 및 상기 제 1 지지체(122a)와 제 2 지지체(122b) 사이에 위치한 편광소자(121)를 포함한다.
상기 제 1 지지체(122a)와 제 2 지지체(122b)는 위상지연(retardation)이 없는 일반적인 보호필름(protection film)으로 이루어질 수 있으며, 예를 들어 트리아세틸셀룰로오스(Tri-acetyl cellulose; TAC) 필름으로 이루어질 수 있다.
상기 편광소자(121)는 자연광이나 편광으로부터 임의의 편광으로 변환될 수 있는 필름을 말한다. 상기 편광소자(121)로는 입사되는 빛을 직교(orthogonal)하는 2개의 편광 성분으로 나누었을 때, 그 중 일방의 편광 성분을 통과시키는 기능을 갖고, 타방의 편광 성분을 흡수, 반사 및 산란시키는 기능으로부터 선택되는 적어도 1개 이상의 기능을 갖는 것이 사용될 수 있다.
그리고, 상기 편광소자(121)에 사용되는 광학 필름으로는 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 요오드 또는 2색성 염료를 함유하는 폴리비닐 알코올(polyvinyl alcohol; PVA)계 수지를 주성분으로 하는 고분자 필름의 연신 필름, 2색성 물질과 액정성 화합물을 함유하는 액정성 조성물을 일정 방향으로 배향시킨 O형 편광소자 및 리오트로픽(lyotropic) 액정을 일정 방향으로 배향시킨 E형 편광소자 등을 들 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치는 전술한 바와 같이, 폴리이미드 기판이 플렉서블하기 때문에 보조기판으로 글라스 기판을 사용하여 상기 글라스 기판 위에 폴리이미드를 코팅하여 전술한 TFT공정을 진행하게 된다.
이때, TFT공정 중에 가해지는 열(~ 350℃의 증착온도)에 의해 폴리이미드 기판이 휘어지게 되며, 이러한 폴리이미드 기판의 휨에 의해 글라스 기판이 휘어지게 된다.
이를 개선하기 위해 본 발명은 상기 폴리이미드 기판이 부착된 글라스 기판의 반대편에 폴리이미드 기판과 동일하거나 유사한 열팽창계수를 가진 보상층을 형성하여 공정진행 중에 발생하는 글라스 기판의 휨을 상쇄시킴으로써 글라스 기판의 변형을 방지하는 것을 특징으로 한다.
즉, 본 발명은 폴리이미드 기판이 부착된 글라스 기판의 반대편에 폴리이미드 기판과 동일하거나 유사한 휘어짐 정도를 가지는 보상층을 형성하여 공정진행 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄하는 것을 특징으로 하는데, 이를 다음의 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 통해 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차 적으로 나타내는 흐름도로써, 표시패널을 유기발광표시장치로 구성한 경우를 예를 들어 나타내고 있다.
그리고, 도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도이다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 보조기판용 글라스 기판(101)의 배면에 소정의 보상층(109)을 형성한다(S110).
이때, 상기 글라스 기판(101)의 배면은 폴리이미드 기판이 부착되는 글라스 기판(101)의 반대편을 의미한다.
상기 보상층(109)은 폴리이미드 기판과 동일하거나 유사한 크기의 스트레스 값, 즉 열팽창계수를 갖는 물질로 폴리이미드 또는 실리콘산화막이나 실리콘질화막으로 형성할 수 있다.
일 예로, 슬릿 코팅으로 글라스 기판(101) 상면에 폴리이미드를 코팅할 경우 장력에 대한 스트레스는 약 100 ~ 120MPa로 측정되었으며, 이에 이와 유사한 스트레스 값을 가지는 실리콘질화막을 글라스 기판(101)의 배면에 증착하게 되면 상기 폴리이미드의 스트레스 상쇄 효과를 얻을 수 있게 된다. 이때, 다른 공정조건에 따라 변동 가능하지만, 일 예로 약 350℃의 온도에서 약 3500Å의 두께로 실리콘질화막을 증착한 경우 스트레스는 약 96 ~ 108MPa로 측정되었다.
이때, 상기 폴리이미드 위에 버퍼층(buffer layer)을 추가로 형성하는 경우에는 상기 보상층(109)은 상기 폴리이미드와 버퍼층의 열팽창계수와 동일하거나 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성할 수 있다.
이후, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 보상층(109)이 형성된 글라스 기판(101)에 열처리를 진행한다(S120).
이때, 상기 열처리는 폴리이미드 기판에 진행될 TFT공정 중의 증착온도 내에서 진행할 수 있으며, 바람직하게는 증착온도 중 최고의 온도에서 진행할 수 있다.
이후, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 열처리가 진행된 글라스 기판(101)의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판(111)을 형성한다(S130).
그리고, 도 6d 에 도시된 바와 같이, 상기 폴리이미드 기판(111) 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드(118)를 형성한다(S140).
즉, 전술한 바와 같이 상기 폴리이미드 기판(111) 상에 투명 산화물로 이루어진 양극이 형성되며, 상기 양극 위에는 순차적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층 및 음극이 적층될 수 있다.
이때, 상기 유기발광다이오드(118) 상부에는 편광판이 점착제를 이용하여 부착될 수 있으며, 상기 편광판의 상부 표면에는 하드 코팅의 보호필름이 추가로 부착될 수 있다.
이후, 도 6e에 도시된 바와 같이, 상기 유기발광다이오드(118)가 형성된 폴리이미드 기판(111)으로부터 글라스 기판(101)을 제거한다.
이때, 이렇게 제거된 글라스 기판(101)과 글라스 기판(101) 배면에 형성된 보상층(109)은 또 다른 플렉서블 표시장치의 제조에 재사용(recycle)될 수 있다.
이때, 상기 글라스 기판(101)이 제거된 폴리이미드 기판(111) 배면에는 PET의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름이 부착될 수 있다.
한편, 본 발명은 글라스 기판 상면에 폴리이미드를 코팅한 후에 상기 폴리이미드가 코팅된 글라스 기판 배면에 보상층을 형성할 수도 있으며, 이를 다음의 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 통해 상세히 설명한다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도이다.
그리고, 도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도이다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 보조기판용 글라스 기판(201)의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판(211)을 형성한다(S210).
이후, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 폴리이미드가 코팅된 글라스 기판(201)의 배면에 소정의 보상층(209)을 형성한다(S220).
이때, 상기 글라스 기판(201)의 배면은 폴리이미드 기판(211)이 부착된 글라스 기판(201)의 반대편을 의미한다.
상기 보상층(209)은 폴리이미드 기판(201)과 동일하거나 유사한 크기의 스트레스 값, 즉 열팽창계수를 갖는 물질로 폴리이미드 또는 실리콘산화막이나 실리콘질화막으로 형성할 수 있다.
이때, 상기 폴리이미드 위에 버퍼층을 추가로 형성하는 경우에는 상기 보상층(209)은 상기 폴리이미드와 버퍼층의 열팽창계수와 동일하거나 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성할 수 있다.
이후, 도 8c에 도시된 바와 같이, 상기 보상층(209)이 형성된 글라스 기판(201)에 열처리를 진행한다(S230).
이때, 상기 열처리는 폴리이미드 기판(211)에 진행될 TFT공정 중의 증착온도 내에서 진행할 수 있으며, 바람직하게는 증착온도 중 최고의 온도에서 진행할 수 있다.
그리고, 도 8d 에 도시된 바와 같이, 상기 폴리이미드 기판(211) 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드(218)를 형성한다(S240)
즉, 전술한 바와 같이 상기 폴리이미드 기판(211) 상에 투명 산화물로 이루어진 양극이 형성되며, 상기 양극 위에는 순차적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층 및 음극이 적층될 수 있다.
이때, 상기 유기발광다이오드(218) 상부에는 편광판이 점착제를 이용하여 부착될 수 있으며, 상기 편광판의 상부 표면에는 하드 코팅의 보호필름이 추가로 부착될 수 있다.
이후, 도 8e에 도시된 바와 같이, 상기 유기발광다이오드(218)가 형성된 폴리이미드 기판(211)으로부터 글라스 기판(201)을 제거한다.
이때, 상기 글라스 기판(201)이 제거된 폴리이미드 기판(211) 배면에는 PET의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름이 부착될 수 있다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
101,201 : 글라스 기판 109,209 : 보상층
110 : 표시패널 111,211 : 폴리이미드 기판
118,218 : 유기발광다이오드 120 : 편광판

Claims (8)

  1. 글라스 기판의 배면에 보상층을 형성하는 단계;
    상기 보상층이 형성된 글라스 기판에 열처리를 진행하는 단계;
    상기 열처리가 진행된 글라스 기판의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판을 형성하는 단계;
    상기 폴리이미드 기판 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 및
    상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 상기 글라스 기판을 제거하는 단계를 포함하며,
    상기 보상층은 상기 폴리이미드 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성하여 상기 TFT공정 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  2. 글라스 기판의 상면에 폴리이미드를 코팅하여 폴리이미드 기판을 형성하는 단계;
    상기 폴리이미드가 코팅된 글라스 기판의 배면에 보상층을 형성하는 단계;
    상기 보상층이 형성된 글라스 기판에 열처리를 진행하는 단계;
    상기 폴리이미드 기판 위에 TFT공정을 통해 소정의 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 및
    상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 상기 글라스 기판을 제거하는 단계를 포함하며,
    상기 보상층은 상기 폴리이미드 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 물질로 형성하여 상기 TFT공정 중에 발생하는 글라스 기판의 휘어짐을 상쇄하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  3. 제 1 항 및 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보상층은 폴리이미드 또는 실리콘산화막이나 실리콘질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 열처리는 상기 폴리이미드 기판에 진행되는 TFT공정 중의 증착온도 내에서 진행하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 열처리는 상기 TFT공정의 증착온도 중 최고의 온도에서 진행하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 글라스 기판이 제거된 상기 폴리이미드 기판 배면에 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름을 부착하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판 상부에 점착제를 이용하여 편광판을 부착하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 유기발광다이오드가 형성된 폴리이미드 기판으로부터 제거된 글라스 기판과 상기 글라스 기판 배면에 형성된 보상층은 또 다른 플렉서블 표시장치의 제조에 재사용(recycle)되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
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