KR20150001441A - 가요성 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

가요성 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

플라스틱 필름을 기판으로 사용하는 가요성 표시 장치의 제조 방법을 제공한다. 가요성 표시 장치의 제조 방법은, 캐리어 기판 상에 마스크 부재를 이용하여 복수의 플라스틱 필름을 상호 이격 형성하는 단계와, 복수의 플라스틱 필름 각각의 상부에 복수의 화소를 포함하는 표시부를 형성하는 단계와, 복수의 플라스틱 필름 사이로 캐리어 기판을 절단하는 단계와, 캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리시키는 단계를 포함한다.

Description

가요성 표시 장치의 제조 방법 {MANUFACTURING METHOD OF FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 기재는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라스틱 필름을 기판으로 사용하는 가요성 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 유리와 같은 강성(rigid) 기판 대신 플라스틱 필름과 같은 가요성(flexible) 기판을 사용하는 경우 휘어지는 특성을 가질 수 있다. 즉 가요성 유기 발광 표시 장치는 플라스틱 필름과, 플라스틱 필름 위에 형성된 화소 회로 및 유기 발광 다이오드를 포함한다.
가요성 표시 장치의 제조 과정에서 플라스틱 필름은 유리와 같은 단단한 캐리어 기판 상에 위치하고, 플라스틱 필름 위에 화소 회로와 유기 발광 다이오드를 형성한 이후 캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리하는 과정을 거치게 된다. 캐리어 기판은 플라스틱 필름을 지지하여 제조 과정에서 플라스틱 필름이 평탄한 상태를 유지하도록 한다.
캐리어 기판과 플라스틱 필름은 복수의 가요성 표시 장치를 동시에 제조할 수 있도록 원장 기판의 형태로 구비되며, 캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리하기 이전 또는 분리한 이후 절단되어 개별 가요성 표시 장치로 분리된다.
그런데 단단한 캐리어 기판과 유연한 플라스틱 필름을 동시에 절단하는 것은 기술적으로 용이하지 않다. 통상 캐리어 기판은 휠 커팅 방식으로 절단되는데, 플라스틱 필름이 부착된 상태에서는 휠 커팅 방식을 적용하기 어렵다. 또한, 플라스틱 필름에 대해서만 절단 공정을 실시하는 경우 절단 나이프 방식을 적용할 수 있으나, 절단면 부위가 휘어져 제품 불량이 발생할 수 있다.
본 기재는 절단 공정을 용이하게 수행할 수 있으며, 플라스틱 필름의 휘어짐 불량을 방지할 수 있는 가요성 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 기재의 일 실시예에 따른 가요성 표시 장치의 제조 방법은, 캐리어 기판 상에 마스크 부재를 이용하여 복수의 플라스틱 필름을 상호 이격 형성하는 단계와, 복수의 플라스틱 필름 각각의 상부에 복수의 화소를 포함하는 표시부를 형성하는 단계와, 복수의 플라스틱 필름 사이로 캐리어 기판을 절단하는 단계와, 캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리시키는 단계를 포함한다.
복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서, 마스크 부재는 캐리어 기판에 밀착되며, 복수의 개구부를 형성하여 캐리어 기판의 표면 일부를 노출시킬 수 있다. 스핀 코팅, 노즐 프린팅, 잉크젯 프린팅 중 어느 하나의 방법을 적용하여 복수의 개구부에 고분자 물질을 채워 넣을 수 있다.
복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서, 복수의 개구부에 고분자 물질을 채운 후 소프트 베이크(soft bake) 과정을 실시하여 고분자 물질에 포함된 용매를 제거할 수 있다. 소프트 베이크 이후 캐리어 기판으로부터 마스크 부재를 분리시키고, 고분자 물질을 경화(curing)시켜 복수의 플라스틱 필름을 형성할 수 있다.
복수의 플라스틱 필름은 폴리이미드와 폴리카보네이트 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
표시부를 형성하는 단계에서, 복수의 화소 각각은, 박막 트랜지스터와 커패시터를 포함하는 화소 회로와, 화소 전극과 유기 발광층 및 공통 전극을 포함하는 유기 발광 다이오드를 포함할 수 있다.
가요성 표시 장치의 제조 방법은, 표시부를 형성하는 단계 이후, 표시부를 봉지(encapsulation)하는 단계를 더 포함할 수 있다. 표시부를 봉지하는 단계는 표시부 위에 박막 봉지층을 형성하는 것으로 이루어질 수 있다. 박막 봉지층은 유기막과 무기막을 한번 이상 교대로 적층하는 방법으로 형성될 수 있다.
캐리어 기판을 절단하는 단계에서, 복수의 플라스틱 필름 중 일 방향을 따라 이웃한 두 플라스틱 필름 사이의 중앙선으로 캐리어 기판의 절단선이 설정될 수 있다.
캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리시키는 단계는, 캐리어 기판과 플라스틱 필름의 계면에 레이저 빔을 조사하는 것으로 이루어질 수 있다.
본 실시예의 제조 방법에 따르면, 마스크 부재를 이용하여 캐리어 기판 상에 복수의 플라스틱 필름을 용이하게 형성할 수 있고, 복수의 플라스틱 필름 사이로 캐리어 기판만을 절단하여 절단 공정을 용이하게 수행할 수 있다. 플라스틱 필름은 절단면을 가지지 않으며, 플라스틱 필름의 절단에 따른 휘어짐을 사전에 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.
도 2a 내지 도 2c는 도 1에 도시한 제1 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 3a는 도 1에 도시한 제2 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 3b는 도 3a의 확대 단면도이다.
도 4a와 도 4b는 도 1에 도시한 제3 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5a와 도 5b는 도 1에 도시한 제4 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “상에” 또는 “위에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, “~ 상에” 또는 “~ 위에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.
도 1을 참고하면, 가요성 표시 장치의 제조 방법은 캐리어 기판 상에 마스크 부재를 이용하여 서로간 거리를 두고 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 제1 단계(S10)와, 복수의 플라스틱 필름 각각의 상부에 복수의 화소를 포함하는 표시부를 형성하는 제2 단계(S20)와, 복수의 플라스틱 필름 사이로 캐리어 기판을 절단하는 제3 단계(S30)와, 캐리어 기판과 플라스틱 필름을 분리시키는 제4 단계(S40)를 포함한다.
도 2a 내지 도 2c는 도 1에 도시한 제1 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2a를 참고하면, 제1 단계(S10)에서 캐리어 기판(10)이 준비된다. 캐리어 기판(10)은 복수의 가요성 표시 장치를 동시에 제작할 수 있도록 복수의 가요성 표시 장치의 면적을 합한 것보다 큰 면적으로 형성된다.
캐리어 기판(10)은 기계적 강도가 높고 열 변형이 적은 강성 재질로 형성되며, 제4 단계(S40)에서 레이저 빔을 투과시킬 수 있도록 투명해야 한다. 예를 들어, 캐리어 기판(10)은 투명한 유리로 형성될 수 있다. 캐리어 기판(10)은 그 상부에 형성되는 부재들을 지지하여 제조 과정에서 이 부재들이 평탄성을 유지하도록 한다.
캐리어 기판(10) 위에 마스크 부재(20)가 위치한다. 마스크 부재(20)는 복수의 개구부(21)를 형성하여 캐리어 기판(10)의 표면 일부를 노출시키며, 각 개구부(21)의 크기는 하나의 가요성 표시 장치의 크기에 대응한다. 마스크 부재(20)는 캐리어 기판(10)에 밀착되고, 금속 또는 비금속 재료로 형성될 수 있다.
도 2b와 도 2c를 참고하면, 마스크 부재(20)의 개구부(21)에 고분자 물질을 채워 플라스틱 필름(30)을 형성한다. 플라스틱 필름(30)은 스핀 코팅(spin coating) 방식으로 형성되거나, 노즐 프린팅 또는 잉크젯 프린팅과 같은 드롭(drop) 방식 등 다양한 방식으로 형성될 수 있다.
마스크 부재(20)의 개구부(21)에 채워진 고분자 물질은 용매를 포함하므로, 대략 40℃ 내지 50℃의 온도 범위에서 대략 5분 내지 8분간 소프트 베이크(soft bake) 과정을 진행하여 고분자 물질에 포함된 용매를 제거할 수 있다. 이후 캐리어 기판(10)으로부터 마스크 부재(20)를 분리시킨다.
용매를 제거하지 않은 상태에서 마스크 부재(20)를 분리시키면, 캐리어 기판(10)으로부터 마스크 부재(20)가 쉽게 분리되지 않으며, 플라스틱 필름(30)의 형상이 흐트러질 수 있다. 본 실시예에서는 용매를 제거한 이후 마스크 부재(20)를 분리시킴으로써 캐리어 기판(10)으로부터 마스크 부재(20)를 쉽게 분리시킬 수 있으며, 플라스틱 필름(30)의 형상 흐트러짐도 방지할 수 있다.
캐리어 기판(10)에서 마스크 부재(20)를 분리시킨 이후 대략 400℃ 내지 450℃의 온도 범위에서 대략 360분 내지 400분간 고분자 물질을 경화(curing)시켜 플라스틱 필름(30)을 완성한다. 플라스틱 필름(30)은 가요성 표시 장치에서 화소 회로와 유기 발광 다이오드를 포함하는 표시부를 지지하는 기판으로 사용된다.
플라스틱 필름(30)은 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리카보네이트(polycarbonate)를 포함할 수 있다. 폴리이미드는 기계적 강도가 높고, 최대 공정 가능 온도가 대략 450℃로 다른 고분자 재료에 비해 내열성이 우수하다. 따라서 폴리이미드로 형성된 플라스틱 필름(30)은 박막 트랜지스터와 유기 발광 다이오드를 형성하는 과정에서 높은 열이 가해지더라도 기판으로서의 역할을 안정적으로 수행할 수 있다.
이와 같이 제1 단계(S10)에서는 마스크 부재(20)를 이용하여 캐리어 기판(10) 상에 복수의 플라스틱 필름(30)을 동시에 형성한다. 마스크 부재(20)를 이용하는 방법은 캐리어 기판(10)의 전체면에 플라스틱 필름을 형성하고 식각으로 패터닝하는 방법 대비 공정이 용이하고, 공정 비용이 저렴하며, 마스크 부재(20)를 재사용할 수 있는 장점이 있다.
이때 각각의 플라스틱 필름(30)은 하나의 가요성 표시 장치에 대응하며, 복수의 플라스틱 필름(30)은 서로 접하지 않고 서로간 거리를 두고 위치한다. 따라서 다음에 설명하는 제3 단계(S30)에서 캐리어 기판(10)을 절단하여 개별 가요성 표시 장치로 분리할 때, 캐리어 기판(10)에 대해서만 절단 공정을 실시할 수 있다.
도 3a는 도 1에 도시한 제2 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이고, 도 3b는 도 3a의 확대 단면도이다.
도 3a를 참고하면, 각각의 플라스틱 필름(30) 위에 복수의 화소를 포함하는 표시부(40)를 형성한다. 각각의 화소는 화소 회로와, 화소 회로에 의해 발광이 제어되는 유기 발광 다이오드를 포함할 수 있다.
도 3b를 참고하면, 플라스틱 필름(30) 위에 베리어층(31)이 형성된다. 베리어층(31)은 복수의 무기막이 적층된 구조, 예를 들어 SiO2층과 SiNx층이 교대로 반복 적층된 구조로 이루어질 수 있다. 베리어층(31)은 플라스틱 필름(30)보다 낮은 투습율과 낮은 산소 투과율을 가지므로, 플라스틱 필름(30)을 투과한 수분과 산소가 화소 회로와 유기 발광 다이오드(70)로 침투하는 것을 억제한다.
베리어층(31) 위에 버퍼층(32)이 형성된다. 버퍼층(32)은 무기막으로 형성되며, 예를 들어 SiO2, SiNx, SiON, AlO, 및 AlON 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 버퍼층(32)은 화소 회로를 형성하기 위한 평탄면을 제공하고, 화소 회로와 유기 발광 다이오드(70)로 수분과 이물이 침투하는 것을 억제한다.
버퍼층(32) 위에 박막 트랜지스터(50)와 커패시터(60)가 형성된다. 박막 트랜지스터(50)는 반도체층(51)과 게이트 전극(52) 및 소스/드레인 전극(53, 54)을 포함한다. 반도체층(51)은 폴리 실리콘 또는 산화물 반도체로 형성되며, 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역(511)과, 채널 영역(511)의 양 옆으로 불순물이 도핑된 소스 영역(512) 및 드레인 영역(513)을 포함한다. 반도체층(51)이 산화물 반도체로 형성되는 경우 반도체층(51)을 보호하기 위한 별도의 보호층이 추가될 수 있다.
반도체층(51)과 게이트 전극(52) 사이에 게이트 절연막(33)이 위치하고, 게이트 전극(52)과 소스/드레인 전극(53, 54) 사이에 층간 절연막(34)이 위치한다. 게이트 전극(52)은 Al, Mg, Ni, Cr, Mo, W, MoW, 및 Au 등의 금속을 포함하며, 단일층 또는 복수층으로 형성될 수 있다. 도 3b에서는 탑 게이트 구조의 박막 트랜지스터(50)를 예로 들어 도시하였으나, 박막 트랜지스터(50)의 구조는 도시한 예로 한정되지 않는다.
커패시터(60)는 게이트 절연막(33) 상에 형성된 제1 축전판(61)과, 층간 절연막(34) 상에 형성된 제2 축전판(62)을 포함할 수 있다. 제1 축전판(61)은 게이트 전극(52)과 같은 물질로 형성될 수 있고, 제2 축전판(62)은 소스/드레인 전극(53, 54)과 같은 물질로 형성될 수 있다. 제2 축전판(62)은 소스 전극(53)과 연결될 수 있다.
도 3b에 도시한 박막 트랜지스터(50)는 구동 박막 트랜지스터이며, 화소 회로는 스위칭 박막 트랜지스터(도시하지 않음)를 더 포함한다. 스위칭 박막 트랜지스터는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용되고, 구동 박막 트랜지스터는 선택된 화소를 발광시키기 위한 전원을 해당 화소로 인가한다. 여기서, 화소는 이미지 표시를 위한 최소의 발광 단위를 의미하며, 화소 회로는 적어도 두 개의 박막 트랜지스터와 적어도 하나의 커패시터를 포함한다.
소스/드레인 전극(53, 54)과 제2 축전판(62) 위로 평탄화층(35)이 위치한다. 평탄화층(35)은 BCB(benzocyclobutene), 아크릴 수지, 에폭시 수지, 및 페놀 수지와 같은 유기물, 또는 SiNx와 같은 무기물을 포함할 수 있으며, 유기막과 무기막의 복합 형태로 구성될 수도 있다. 평탄화층(35)은 드레인 전극(54)의 일부를 노출시키는 비아 홀을 형성하며, 평탄화층(35) 위에 유기 발광 다이오드(70)가 형성된다.
유기 발광 다이오드(70)는 화소 전극(71)과 유기 발광층(72) 및 공통 전극(73)을 포함한다. 화소 전극(71)은 화소마다 개별로 형성되고, 비아 홀을 통해 박막 트랜지스터(50)의 드레인 전극(54)과 연결된다. 화소 전극(71)은 화소 영역을 구획하는 화소 정의막(36)으로 둘러싸이며, 화소 정의막(36)의 개구부에 의해 노출된 화소 전극(71) 위로 유기 발광층(72)이 형성된다. 공통 전극(73)은 유기 발광층(72)과 화소 정의막(36) 위로 표시 영역 전체에 형성된다.
유기 발광층(72)은 적색 발광층과 녹색 발광층 및 청색 발광층 가운데 어느 하나일 수 있다. 다른 한편으로, 유기 발광층(72)은 백색 발광층이거나, 적색 발광층과 녹색 발광층 및 청색 발광층의 적층막일 수 있다. 후자의 경우 가요성 표시 장치는 색 필터(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.
화소 전극(71)과 공통 전극(73) 중 어느 하나는 정공 주입 전극인 애노드(anode)이고, 다른 하나는 전자 주입 전극인 캐소드(cathode)이다. 애노드로부터 주입된 정공과 캐소드로부터 주입된 전자가 유기 발광층(72)에서 결합하여 여기자(exciton)를 생성하며, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광이 이루어진다.
정공 주입층과 정공 수송층 가운데 적어도 한 층이 애노드와 유기 발광층(72) 사이에 위치할 수 있고, 전자 주입층과 전자 수송층 가운데 적어도 한 층이 캐소드와 유기 발광층(72) 사이에 위치할 수 있다. 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층은 화소별 구분 없이 표시 영역 전체에 형성될 수 있다.
화소 전극(71)과 공통 전극(73) 중 어느 하나는 반사막으로 형성되고, 다른 하나는 반투과막 또는 투명 도전막으로 형성될 수 있다. 유기 발광층(72)에서 방출된 빛은 반사막에서 반사되고, 반투과막 또는 투명 도전막을 투과하여 외부로 방출된다. 반투과막의 경우 유기 발광층(72)에서 방출된 빛의 일부가 반사막으로 재반사되어 공진 구조를 이룬다.
복수의 유기 발광 다이오드(70) 위로 박막 봉지층(37)이 형성될 수 있다. 박막 봉지층(37)은 수분과 산소를 포함하는 외부 환경으로부터 유기 발광 다이오드(70)를 밀봉시켜 수분과 산소에 의한 유기 발광 다이오드(70)의 열화를 억제한다. 박막 봉지층(37)은 복수의 유기막과 복수의 무기막이 하나씩 교대로 적층된 구성으로 이루어질 수 있다.
박막 봉지층(37)의 유기막은 고분자로 형성되며, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 박막 봉지층(37)의 무기막은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 예를 들어, 무기막은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 3a를 참고하면, 박막 봉지층(37)은 캐리어 기판(10)과 접하지 않는다. 즉 박막 봉지층(37)의 폭은 표시부(40)의 폭보다 크나, 플라스틱 필름(30)의 폭을 초과하지 않는다. 따라서 복수의 플라스틱 필름(30)으로 덮이지 않은 캐리어 기판(10)의 일 표면은 박막 봉지층(37) 형성 이후에도 외부로 노출된 상태를 그대로 유지한다.
구체적으로, 플라스틱 필름(30)은 표시부(40)가 위치하는 표시 영역(DA)과, 표시부(40)로부터 배선들이 연장된 패드 영역(PA)으로 구획되는데, 박막 봉지층(37)은 표시 영역(DA)을 덮도록 형성된다. 이때 표시 영역(DA)을 덮는 박막 봉지층(37)의 폭은 플라스틱 필름(30)의 폭을 초과하지 않는다.
다른 한편으로, 박막 봉지층(37) 대신 플라스틱 필름(30)과 같은 소재로 형성된 봉지 필름이 제공될 수도 있다. 봉지 필름은 플라스틱 필름(30)과 마주하는 일면의 가장자리를 따라 위치하는 접착층에 의해 플라스틱 필름(30)에 일체로 접합될 수 있다.
도 4a와 도 4b는 도 1에 도시한 제3 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4a와 도 4b를 참고하면, 캐리어 기판(10) 중 복수의 플라스틱 필름(30) 사이로 절단선(CL1, CL2)이 설정된다. 절단선(CL1, CL2)은 캐리어 기판(10)의 제1 방향과 나란한 제1 절단선(CL1)과, 제2 방향과 나란한 제2 절단선(CL2)으로 구분될 수 있다.
캐리어 기판(10)은 제1 절단선(CL1)을 따라 스틱 모양으로 절단된 이후 제2 절단선(CL2)을 따라 다시 절단된다. 제1 절단선(CL1)과 제2 절단선(CL2)은 플라스틱 필름(30)과 접하지 않도록 이웃한 두 플라스틱 필름(30) 사이의 중앙선으로 설정될 수 있다.
전술한 제2 단계(S20)에서 복수의 플라스틱 필름(30)이 캐리어 기판(10) 상에서 서로간 거리를 두고 형성됨에 따라, 플라스틱 필름(30)으로 덮이지 않은 캐리어 기판(10) 상에 절단선(CL1, CL2)을 설정할 수 있다. 즉 캐리어 기판(10)에 대해서만 절단 공정을 수행할 수 있다. 캐리어 기판(10)은 다이아몬드 휠과 같은 절삭 휠을 이용하여 절단될 수 있다.
도 5a와 도 5b는 도 1에 도시한 제4 단계의 가요성 표시 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5a와 도 5b를 참고하면, 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)을 분리시키기 위해 레이저 빔(LB) 기술이 적용될 수 있다. 레이저 빔(LB)은 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)의 계면에 조사되어 이 계면에 에너지를 가함으로써 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)을 분리시키는 작용을 한다.
레이저 빔(LB)은 예를 들어 100nm 내지 350nm의 파장을 가지는 광 간섭성 레이저일 수 있으며, XeCl 레이저, KrF 레이저, 또는 ArF 레이저 등이 사용될 수 있다. 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)을 분리함으로써 플라스틱 필름(30)을 기판으로 사용하는 가요성 표시 장치(100)가 완성된다.
다른 한편으로, 레이저 이외의 다른 기술을 적용하여 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)을 분리시킬 수 있다. 예를 들어, 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30) 사이에 중간층을 위치시키고, 화학 물질이나 열 등을 이용하여 중간층을 제거함으로써 캐리어 기판(10)과 플라스틱 필름(30)을 분리시킬 수 있다.
본 실시예의 제조 방법에 따르면, 마스크 부재(20)를 이용하여 캐리어 기판(10) 상에 복수의 플라스틱 필름(30)을 용이하게 형성할 수 있고, 복수의 플라스틱 필름(30) 사이로 캐리어 기판(10)만을 절단하여 절단 공정을 용이하게 수행할 수 있다. 따라서 플라스틱 필름(30), 즉 가요성 표시 장치(100)의 기판은 절단면을 가지지 않으며, 플라스틱 필름(30)의 절단에 따른 휘어짐을 사전에 예방할 수 있다.
상기에서는 가요성 표시 장치로서 유기 발광 표시 장치에 대해 설명하였으나, 가요성 표시 장치는 유기 발광 표시 장치로 한정되지 않는다. 예를 들어, 가요성 표시 장치는 액정 표시 장치일 수 있으며, 이 경우 액정 표시 장치는 유기 발광 다이오드 대신 배향막과 액정층 및 칼라 필터층을 구비한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100: 가요성 표시 장치 10: 캐리어 기판
20: 마스크 부재 30: 플라스틱 필름
40: 표시부 50: 박막 트랜지스터
60: 커패시터 70: 유기 발광 다이오드

Claims (12)

  1. 캐리어 기판 상에 마스크 부재를 이용하여 복수의 플라스틱 필름을 상호 이격 형성하는 단계;
    상기 복수의 플라스틱 필름 각각의 상부에 복수의 화소를 포함하는 표시부를 형성하는 단계;
    상기 복수의 플라스틱 필름 사이로 상기 캐리어 기판을 절단하는 단계; 및
    상기 캐리어 기판과 상기 플라스틱 필름을 분리시키는 단계
    를 포함하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서,
    상기 마스크 부재는 상기 캐리어 기판에 밀착되며, 복수의 개구부를 형성하여 상기 캐리어 기판의 표면 일부를 노출시키는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서,
    스핀 코팅, 노즐 프린팅, 잉크젯 프린팅 중 어느 하나의 방법을 적용하여 상기 복수의 개구부에 고분자 물질을 채워 넣는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서,
    상기 복수의 개구부에 고분자 물질을 채운 후 소프트 베이크(soft bake) 과정을 실시하여 고분자 물질에 포함된 용매를 제거하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 단계에서,
    상기 소프트 베이크(soft bake) 이후 상기 캐리어 기판으로부터 상기 마스크 부재를 분리시키고, 고분자 물질을 경화(curing)시켜 상기 복수의 플라스틱 필름을 형성하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 플라스틱 필름은 폴리이미드와 폴리카보네이트 중 어느 하나를 포함하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 표시부를 형성하는 단계에서,
    상기 복수의 화소 각각은,
    박막 트랜지스터와 커패시터를 포함하는 화소 회로; 및
    화소 전극과 유기 발광층 및 공통 전극을 포함하는 유기 발광 다이오드
    를 포함하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 표시부를 형성하는 단계 이후,
    상기 표시부를 봉지(encapsulation)하는 단계를 더 포함하는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 표시부를 봉지하는 단계는,
    상기 표시부 위에 박막 봉지층을 형성하는 것으로 이루어지는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 박막 봉지층은 유기막과 무기막을 한번 이상 교대로 적층하는 방법으로 형성되는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 절단하는 단계에서,
    상기 복수의 플라스틱 필름 중 일 방향을 따라 이웃한 두 플라스틱 필름 사이의 중앙선으로 상기 캐리어 기판의 절단선이 설정되는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 기판과 상기 플라스틱 필름을 분리시키는 단계는,
    상기 캐리어 기판과 상기 플라스틱 필름의 계면에 레이저 빔을 조사하는 것으로 이루어지는 가요성 표시 장치의 제조 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160008002A (ko) * 2014-07-11 2016-01-21 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치의 제조방법
CN109417058A (zh) * 2016-08-18 2019-03-01 富士胶片株式会社 晶片的制造方法及层叠体

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102107456B1 (ko) * 2013-12-10 2020-05-08 삼성디스플레이 주식회사 플렉시블 표시 장치 및 이의 제조 방법
TWI551440B (zh) * 2015-07-17 2016-10-01 群創光電股份有限公司 基板單元、元件基板及顯示裝置的製造方法
CN105044956B (zh) 2015-09-08 2018-01-26 京东方科技集团股份有限公司 显示面板的制备方法、绑定切割装置
CN107111170B (zh) * 2015-12-11 2020-08-28 深圳市柔宇科技有限公司 柔性显示模组的绑定方法
CN108333819B (zh) * 2018-01-31 2021-03-23 武汉华星光电技术有限公司 显示面板及其制造方法
CN109713168B (zh) * 2019-01-02 2022-04-01 南京京东方显示技术有限公司 一种柔性显示器件、显示装置及其制作方法
US11145832B2 (en) 2019-08-26 2021-10-12 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Flexible base substrate, flexible display panel, and method for preparing the same
CN110611042B (zh) * 2019-08-26 2020-10-27 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种柔性衬底基板、柔性显示面板及其制备方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6503421B1 (en) * 2000-11-01 2003-01-07 Corning Incorporated All polymer process compatible optical polymer material
JP3560042B2 (ja) * 2001-03-22 2004-09-02 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション パターニング・マスクおよびパターニング方法
US7223672B2 (en) * 2002-04-24 2007-05-29 E Ink Corporation Processes for forming backplanes for electro-optic displays
KR20060122491A (ko) * 2005-05-27 2006-11-30 삼성전자주식회사 가요성 표시 장치의 제조 방법
TWI341406B (en) * 2007-07-23 2011-05-01 Au Optronics Corp Diaply panel and its application
TWI377880B (en) * 2007-08-20 2012-11-21 Ind Tech Res Inst Fabrication methods for flexible electronic devices
KR100903622B1 (ko) * 2007-11-27 2009-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
KR100994121B1 (ko) * 2009-03-11 2010-11-15 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
KR101822120B1 (ko) * 2010-09-28 2018-01-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101226218B1 (ko) * 2011-03-25 2013-01-28 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 및 그 제조방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160008002A (ko) * 2014-07-11 2016-01-21 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치의 제조방법
CN109417058A (zh) * 2016-08-18 2019-03-01 富士胶片株式会社 晶片的制造方法及层叠体

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