KR20140145333A - 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터 - Google Patents

착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터 Download PDF

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KR20140145333A
KR20140145333A KR20130067608A KR20130067608A KR20140145333A KR 20140145333 A KR20140145333 A KR 20140145333A KR 20130067608 A KR20130067608 A KR 20130067608A KR 20130067608 A KR20130067608 A KR 20130067608A KR 20140145333 A KR20140145333 A KR 20140145333A
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이헌희
박정효
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

본 발명은 (A)착색제, (B)알칼리 가용성 수지, (C)광중합성 화합물, (D)광중합성 개시제 및 (E)용제를 포함하고, 상기 (A)착색제는 염기성 염료를 1종 이상 포함하고, 상기 (B)알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 각각 0.1 내지 50 몰% 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체 10 내지 99.8 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러 필터에 관한 것이다.
Figure pat00009

Description

착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터 {A colored photosensitive resin composition and color filter comprising the same}
본 발명은 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터에 관한 것이다.
컬러필터는 촬상(撮像)소자, 액정표시장치 등에 널리 이용되는 것으로, 그 응용 범위가 급속히 확대되고 있다. 컬러 액정표시장치나 촬상소자 등에 사용되는 컬러필터는, 통상 블랙 매트릭스가 패턴 형성된 기판상에 적색, 녹색 및 청색의 각 색에 상당하는 착색제를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물을 스핀 코팅에 의해 균일하게 도포한 후, 가열 건조(이하, 예비 소성이라고 하는 경우도 있음)하여 형성된 도막을 노광, 현상하고, 필요에 따라 더 가열 경화(이하, 후 소성이라고 하는 경우도 있음)하는 조작을 색마다 반복하여 각 색의 화소를 형성함으로써 제조되고 있다.
근래에 디스플레이의 대형화가 빠른 속도로 진행되고, 고명암비화가 지속적으로 요구됨에 따라, 종래에 착색 감광성 수지 조성물의 착색방법으로 사용되던 안료 분산법 대신 염료를 사용하거나 염료와 안료를 동시에 사용하는 방법이 채용되고 있다.
그런데, 상기와 같이 염료를 사용하는 컬러 필터용 착색 감광성 수지 조성물 및 염료와 안료를 동시에 사용하는 Hybrid형 컬러 필터용 착색 감광성 수지 조성물은 투과도가 우수한 컬러필터를 제공할 수 있지만, 사용되는 염료의 분산이 잘 이루어지지 않아서 도막상에 이물이 발생하는 경우가 있다.
따라서, 상기와 같은 문제를 해소하여 컬러필터의 도막상의 이물 발생을 저하시키기 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
이와 관련하여, 대한민국 등록특허 10-1040729호에는 페릴렌 단위를 포함하는 수용성 적색염료 화합물, 그 제조방법, 이를 포함한 잉크 조성물 및 컬러필터를 개시하고 있고, 대한민국 등록특허 10-1222552호에는 컬러필터용 고내열성 DPP계 염료 및 그 제조 방법을 개시하고 있다. 그러나, 상기 공지된 기술들은 염료의 용해도를 향상 시키지만 도막 형성 시 석출 문제에 대한 개선은 충분하지 못한 것으로 보인다.
대한민국 등록 특허 10-1040729호 대한민국 등록 특허 10-1222552호
본 발명은 도막상의 이물 발생이 개선되며 잔사 특성이 우수하며, 내화학성이 우수한 착색 감광성 수지 조성물, 이를 이용하는 컬러필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은
(A)착색제, (B)알칼리 가용성 수지, (C)광중합성 화합물, (D)광중합성 개시제 및 (E)용제를 포함하고, 상기 (A)착색제는 염기성 염료를 1종 이상 포함하고,
상기 (B)알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체를 포함하며, 상기 (B)알칼리 가용성 수지를 구성하는 단량체 총 몰수에 대하여 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 각각 0.1 내지 50 몰% 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체 10 내지 99.8 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물을 제공한다.
[화학식 1]
Figure pat00001
[화학식 2]
Figure pat00002
상기 화학식 1 및 화학식 2에서,
R1은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이고,
R2는 탄소수 1 내지 6의 알킬레닐기이고,
Y 는 무기 또는 유기의 양이온이고,
R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이다.
또한, 본 발명은 상기 착색 감광성 수지 조성물로 제조되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터를 제공한다.
본 발명은 종래 기술을 개선하기 위한 것으로서, 도막상의 이물 발생이 개선되며 잔사 특성이 우수하며, 내화학성이 우수한 착색 감광성 수지 조성물, 이를 이용하는 컬러필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1내지 3은 착색 감광성 수지 조성물을 이용한 컬러 필터의 제조 방법에 대한 공정도를 나타낸 것으로,
도 1은 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 컬러층(11)을 기판(10) 상부에 형성시킨 단면도를 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에서 형성된 컬러층(11)을 소정의 패턴으로 광조사 시킨 단면도를 나타낸 것이다.
도 3은 도 2에서 광조사 시킨 후 현상시킨 단면도를 나타낸 것이다.
이하, 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
본 발명은 (A)착색제, (B)알칼리 가용성 수지, (C)광중합성 화합물, (D)광중합성 개시제 및 (E)용제를 포함하고, 상기 (A)착색제는 염기성 염료를 1종 이상 포함하고, 상기 (B)알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체를 포함하며, 상기 (B)알칼리 가용성 수지를 구성하는 단량체 총 몰수에 대하여 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 각각 0.1 내지 50 몰% 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체 10 내지 99.8 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
[화학식 1]
Figure pat00003
[화학식 2]
Figure pat00004
상기 화학식 1 및 화학식 2에서,
R1은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이고,
R2는 탄소수 1 내지 6의 알킬레닐기이고,
Y 는 무기 또는 유기의 양이온이고,
R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이다.
이하, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 각 성분 별로 자세히 설명한다.
(A)착색제
본 발명의 (A)착색제는 색조가 한정되지 않으며, 얻어지는 컬러필터의 용도에 따라서 선정이 가능하다. 상기 착색제는 염료, 안료, 또는 천연 색소 중 하나 이상을 사용할 수 있다.
본 발명에서 사용되는 착색제는 염기성 염료 1종 이상을 반드시 포함하며, 유기 용제에 대한 용해성을 가지는 것이라면 제한 없이 1종 이상의 다른 염료를 추가하여 사용할 수 있다. 바람직하게는 유기 용제에 대한 용해성을 가지면서 알칼리 현상액에 대한 용해성 및 내열성, 내용제성 등의 신뢰성을 확보할 수 있는 염료를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 염료는 컬러 인덱스(The Society of Dyers and Colourists 출판)내에 염료로 분류되어 있는 화합물이나, 염색 노트(색염사)에 기재되어 있는 공지의 염료를 포함한다.
상기 염기성 염료로서는 트리아릴메탄계 염기성 염료, 로다민계 염기성 염료를 포함하는 크산텐계 염기성 염료, 플라빈계 염기성 염료, 오라민계 염기성 염료, 사프라닌계 염기성 염료, 플록신계 염기성 염료, 및 메틸렌블루계 염기성 염료 등을 들 수 있다.
구체적인 트리아릴메탄계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 바이올렛 1(메틸 바이올렛), C. I. 베이식 바이올렛 3(크리스탈 바이올렛), 및 C. I. 베이식 바이올렛 14(Magenta); C. I. 베이식 블루 1(베이식시아닌 6G), C. I. 베이식 블루 5(베이식 시아닌 EX), C. I. 베이식 블루 7(빅토리아 퓨어 블루 BO), 및 C.I. 베이식 블루 26(빅토리아 블루 B conc.); 및 C. I. 베이식 그린 1(브릴리언트 그린 GX) 및 C. I. 베이식그린 4(말라카이트 그린)를 들 수 있다.
또한 로다민계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 레드 1(로다민 6G, 6GCP) 및 C. I. 베이식 레드8(로다민 G); 및 C. I. 베이식 바이올렛 10(로다민 B)을 들 수 있다. 또한 플라빈계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 옐로우 1을 들 수 있다. 또한 오라민계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 옐로우 2 및 C. I. 베이식 옐로우 3을 들 수 있다. 또한 사프라닌계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 레드 2를 들 수 있다. 또한 플록신계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I.베이식 레드 12를 들 수 있다. 또한 메틸렌블루계 염기성 염료로서는, 예를 들면, C. I. 베이식 블루 9(메틸렌블루 FZ, 메틸렌블루 B), C. I. 베이식 블루 25(베이식 블루 GO), 및 C. I. 베이식 블루 24(뉴메틸렌블루 NX)를 들 수 있다.
상기 염기성 염료는 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여, 중량 분율로 1 내지 70 중량%로 포함되고, 바람직하게는 2 내지 10 중량% 포함된다.
염기성 염료가 상기 범위로 포함되는 경우, 투과도가 우수한 컬러필터를 구현 할 수 있는 장점이 있다.
상기 (A)착색제로서 사용될 수 있는 안료로는 컬러 인덱스(The Society of Dyers and Colourists출판)에서 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물이 사용될 수 있으며, 내열성 및 발색성이 우수하다는 점에서 유기 안료를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 사용될 수 있는 바람직한 안료의 구체적인 예로는
C.I. 피그먼트 옐로우 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 63, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128. 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214 등의 황색 안료;
C.I. 피그먼트 오렌지 13, 31, 38, 41, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73 등의 오렌지색 안료;
C.I. 피그먼트 레드 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 264, 265 등의 적색 안료;
C.I. 피그먼트 블루 15, 15:3, 15:4, 15:6, 60 등의 청색 안료;
C.I. 피그먼트 바이올렛 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38 등의 바이올렛색 안료;
C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 58 등의 녹색 안료;
C.I. 피그먼트 브라운 23, 25 등의 브라운색 안료;
C.I. 피그먼트 블랙 1, 7 등의 흑색 안료 등을 들 수 있다.
이 중에서도 C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 블루 15:6 및 C.I. 피그먼트 그린 36 중에서 선택되는 하나 이상의 안료를 포함하는 것이 바람직하다. 상기의 유기 안료 및 무기 안료는 각각 단독으로 사용될 수도 있고, 2 종 이상을 혼합하여 사용될 수도 있다. 예를 들면, 적색 화소를 형성하기 위해서는 C.I. 피그먼트 레드 254 및 C.I. 피그먼트 옐로우 139를 포함하는 것, 녹색 화소를 형성하기 위해서는 C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 옐로우 150 또는 C.I. 피그먼트 옐로우 138를 포함하는 것, 청색 화소를 형성하기 위해서는 C.I. 피그먼트 블루 15:6을 각각 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 (A)착색제는 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있다. 상기 착색제의 함량은 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 10 내지 70 중량%, 바람직하게는 20 내지 60 중량%로 포함될 수 있다. 착색제가 상기 범위로 포함되는 경우, 컬러 필터로 만들어졌을 때 컬러 농도가 충분하고 조성물 중합체가 조성물 중에 필요량으로 포함될 수 있으므로, 기계적 강도가 충분한 패턴을 형성할 수 있는 장점을 갖는다.
상기 안료 중 유기 안료는, 필요에 따라서, 산성기 또는 염기성기가 도입된 안료 유도체 등을 이용한 표면 처리, 중합체 화합물 등에 의한 안료의 표면의 그래프트 처리, 황산 미립화법(refinement) 등에 의한 미립화 처리, 불순물을 제거하기 위한 유기 용매 또는 물 등에 의한 세정 처리 또는 이온성 불순물의 이온 교환법 등에 의한 제거 처리 등을 할 수 있다. 착색제는 입경이 균일한 것이 바람직하다. 착색제가 안료인 경우에는, 안료 분산제를 포함시켜 분산 처리를 수행함으로써, 안료가 용액 중에서 균일하게 분산된 상태의 안료 분산액을 얻을 수 있다.
상기 안료 분산제로서는, 예를 들어, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성, 폴리에스테르계 및 폴리아민계 등의 계면활성제 등을 들 수 있으며, 이들은 각각 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 안료 분산제를 사용하는 경우에는 착색제 1 중량부에 대하여 1 중량부 이하로 사용되며, 바람직하게는 0.05 내지 0.5 중량부로 사용된다. 상기와 같은 함량으로 사용되는 경우에는, 균일한 분산 상태의 안료를 얻을 수 있기 때문에 바람직하다.
본 발명에서 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량이란 착색 감광성 수지 조성물 중 (E)용제를 제외한 나머지 성분의 총 중량을 의미한다.
(B)알칼리 가용성 수지
본 발명의 감광성 수지 조성물에 포함되는 (B)알칼리 가용성 수지는 (A)착색제에 대한 결합제 수지로서 작용한다.
상기 (B)알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체를 포함한다. 또한, 상기 (B)알칼리 가용성 수지를 구성하는 단량체 총 몰수에 대하여, 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 각각 0.1 ~ 50 몰%, 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체를 10 ~ 99.8 몰%로 포함하는 (B)알칼리 가용성 수지다.
[화학식 1]
Figure pat00005
[화학식 2]
Figure pat00006
상기 화학식 1 및 화학식 2에서,
R1은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이고,
R2는 탄소수 1 내지 6의 알킬레닐기이고,
Y 는 무기 또는 유기의 양이온이고,
R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이다.
상기 (B)알칼리 가용성 수지는 예를 들면 상기 화학식 1 및 화학식 2의 화합물과 공중합이 가능한 다른 단량체와의 공중합체를 포함할 수 있다. 상기 화학식 1 및 화학식 2의 화합물과 공중합이 가능한 다른 단량체로서는, 예를 들면 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 인덴 등의 방향족 비닐 화합물;
메틸아크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-프로필아크릴레이트, n-프로필메타크릴레이트, i-프로필아크릴레이트, i-프로필메타크릴레이트, n-부틸아크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, i-부틸아크릴레이트, i-부틸메타크릴레이트, sec-부틸아크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, t-부틸아크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 3-히드록시프로필아크릴레이트, 3-히드록시프로필메타크릴레이트, 2-히드록시부틸아크릴레이트, 2-히드록시부틸메타크릴레이트, 3-히드록시부틸아크릴레이트, 3-히드록시부틸메타크릴레이트, 4-히드록시부틸아크릴레이트, 4-히드록시부틸메타크릴레이트, 알릴아크릴레이트, 알릴메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 페닐메타크릴레이트, 2-메톡시에틸아크릴레이트, 2-메톡시에틸메타크릴레이트, 2-페녹시에틸아크릴레이트, 2-페녹시에틸메타크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜메타크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 이소보르닐메타크릴레이트, 디시클로펜타디에닐아크릴레이트, 디시클로펜타디에틸메타크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필메타크릴레이트, 글리세롤모노아크릴레이트, 글리세롤모노메타크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 에스테르류;
2-아미노에틸아크릴레이트, 2-아미노에틸메타크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸메타크릴레이트, 2-아미노프로필아크릴레이트, 2-아미노프로필메타크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필메타크릴레이트, 3-아미노프로필아크릴레이트, 3-아미노프로필메타크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필메타크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 아미노알킬에스테르류;
글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 글리시딜에스테르류;
아세트산 비닐, 프로피온산 비닐, 부티르산 비닐, 벤조산 비닐 등의 카르복실산 비닐에스테르류;
비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르 등의 불포화 에테르류;
아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴 등의 시안화 비닐 화합물;
아크릴아미드, 메타크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸아크릴아미드, N-2-히드록시에틸메타크릴아미드 등의 불포화 아미드류;
말레이미드, N-페닐말레이미드. N-시클로헥실말레이미드 등의 불포화 이미드류;
1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 지방족 공액 디엔류;
폴리스티렌, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리-n-부틸아크릴레이트, 폴리-n-부틸메타크릴레이트, 폴리실록산의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아크릴로일기 또는 모노메타크릴로일기를 갖는 거대 단량체류, 카르복실기 함유 단량체 등을 들 수 있다.
상기 카르복실기 함유 단량체로서는, 예를 들면 불포화 모노카르복실산이나, 불포화 디카르복실산, 불포화 트리카르복실산 등의 분자 중에 1개 이상의 카르복실기를 갖는 불포화 다가 카르복실산 등의 불포화 카르복실산 등을 들 수 있다. 여기서, 불포화 모노카르복실산으로서는, 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산 등을 들 수 있다. 상기 불포화 디카르복실산으로서는, 예를 들면 말레산, 푸마르산, 이타콘산, 시트라콘산, 메사콘산 등을 들 수 있다. 상기 불포화 다가 카르복실산은 산무수물일 수도 있으며, 구체적으로는 말레산 무수물, 이타콘산 무수물, 시트라콘산 무수물 등을 들 수 있다. 또한, 상기 불포화 다가 카르복실산은 모노(2-메타크릴로일옥시알킬)에스테르일 수도 있으며, 예를 들면 숙신산 모노(2-아크릴로일옥시에틸), 숙신산 모노(2-메타크릴로일옥시에틸), 프탈산모노(2-아크릴로일옥시에틸), 프탈산 모노(2-메타크릴로일옥시에틸) 등을 들 수 있다. 상기 불포화 다가 카르복실산은 그 양말단 디카르복시 중합체의 모노(메타)아크릴레이트일 수도 있으며, 예를들면 ω-카르복시폴리카프로락톤 모노아크릴레이트, ω-카르복시폴리카프로락톤 모노메타크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단량체는 각각 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명의 (B)알칼리 가용성 수지 산가의 범위는 20 내지 200(KOH ㎎/g)이다. 산가가 상기 범위에 있으면, 현상액 중의 용해성이 향상되어, 비-노출부가 쉽게 용해되고 감도가 증가하여, 결과적으로 노출부의 패턴이 현상 시에 남아서 잔막률(film remaining ratio)이 개선된다. 여기서 산가란, 아크릴계중합체 1g을 중화하는데 필요한 수산화칼륨의 양(mg)으로서 측정되는 값이며, 통상적으로 수산화칼륨 수용액을 사용하여 적정함으로써 구할 수 있다. 또한, 테트라히드로퓨란을 용출용매로 하는 겔투과크로마토그래피(GPC)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하, 간단히 '중량 평균 분자량'이라고 한다.)이 3,000 내지 200,000이며, 바람직하게는 5,000 내지 100,000인 (B)알칼리 가용성 수지인 것이 바람직하다. 분자량이 상기 범위에 있으면, 코팅 필름의 경도가 향상되어 잔막률이 높고, 현상액 중의 비-노출부의 용해성이 탁월하고 해상도가 향상되는 경향이 있어 바람직하다.
본 발명의 (B)알칼리 가용성 수지는 단독 또는 2 종 이상을 조합하여 사용될 수 있다.
(B)알칼리 가용성 수지의 함량은 착색 감광성 수지 조성물의 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 10 내지 80 중량%, 바람직하게는 20 내지 70 중량%로 포함된다. (B)알칼리 가용성 수지의 함량이 상기 상술한 범위로 포함되면 패턴이 형성될 수 있고, 해상도 및 잔막률이 향상되어 바람직하다고 할 수 있다.
(C) 광중합성 화합물
상기 (C)광중합성 화합물은 광의 조사에 의해 광중합 개시제로부터 발생하는 활성 라디칼, 산 등에 의해 중합될 수 있는 화합물로서, 관능성기의 개수에 따라 1관능, 2관능, 3관능, 4관능, 5관능, 6관능 중합성 화합물 등을 들 수 있다.
상기 1관능 중합성 화합물의 구체적인 예로는, 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다.
상기 2관능 중합성 화합물의 구체적인 예로는, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 비스페놀A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜디메타아크릴레이트, 헥산디올이디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜디아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 에톡시레이트네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 프로필록시레이트네오펜틸글리콜디아크릴레이트 등을 들 수 있다.
상기 3관능 중합성 화합물의 구체적인 예로는, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 에톡시레이트트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로필록시레이트트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 글리세릴프로필록시레이트트리아크릴레이트, 이소시아누레이트트리아릴레이트 등을 들 수 있다.
상기 4관능 중합성 화합물의 구체적인 예로는, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디메틸올프로판테트라(메틸)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
또한, 상기 5관능 중합성 화합물의 구체적인 예로는 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트를 들 수 있으며, 6관능 (C)광중합성 화합물의 구체적인 예로는 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.
이들 중에서 상기 광중합성 화합물로는 2관능 이상의 다관능 중합성 화합물이 바람직하게 사용될 수 있으며, 특히 5관능 이상의 다관능 중합성 화합물이 바람직하게 사용될 수 있다.
본 발명의 (C)광중합성 화합물은 단독 또는 2 종 이상을 조합하여 사용될 수 있다.
(C)광중합성 화합물은 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 5 내지 50 중량%로 포함되는 것이 바람직하고, 7 내지 45 중량%로 포함되는 것이 더욱 바람직하다. 상기 광중합성 화합물이 상기의 기준으로 상기와 같은 범위로 포함되는 경우, 화소부의 강도나 평활성이 양호해 진다.
(D) 광중합성 개시제
본 발명의 (D)광중합성 개시제로는, 상기 (B)알칼리 가용성 수지 및 상기 (C)광중합성 화합물을 중합시킬 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 중합 특성, 개시 효율, 흡수 파장, 입수성, 가격 등의 관점에서 아세토페논계, 벤조인계, 벤조페논계, 티옥산톤계, 트리아진계, 옥심계, 오늄염계, 니트로벤질토실레이트계 또는 벤조인토실레이트계 중에서 선택되는 적어도 1종의 화합물을 포함하는 것이 바람직하며 광안정제를 병용할 수 있다.
본 발명에 바람직한 아세토페논계 화합물로는, 디에톡시아세토페논, 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸티오페닐)프로판-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등이 있으며, 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸티오페닐)프로판-1-온이 보다 바람직하다. 또한, 복수의 아세토페논계 화합물 및 다른 광중합 개시제를 조합하여 사용할 수도 있다.
아세토페논계 화합물 이외의 광중합 개시제로는 빛을 조사함으로써 활성 라디칼을 발생시키는 활성 라디칼 발생제, 증감제, 산 발생제 등을 들 수 있다. 상기 활성 라디칼 발생제로는 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물, 트리아진계 화합물 또는 옥심계 화합물 등을 들 수 있다.
벤조인계 화합물로는 예를 들면, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등을 들 수 있다.
벤조페논계 화합물로는, 예를 들면 벤조페논, o-벤조일벤조산메틸, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드, 3,3',4,4'-테트라(t-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등을 들 수 있다. 티옥산톤계 화합물로는 예를 들면, 2-이소프로필티옥산톤, 4-이소프로필티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디클로로티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤등을 들 수 있다.
트리아진계 화합물로는 예를 들면 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸퓨란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(퓨란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.
옥심계 화합물로는 예를 들면, 2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 1-(4-메틸술파닐-페닐)-부탄-1,2-부탄-2-옥심-O-아세테이트, 1-(4-메틸술파닐-페닐)-부탄-1-온옥심-O-아세테이트, 히드록시이미노-(4-메틸술파닐-페닐)-초산에틸에스테르-O-아세테이트, 히드록시이미노-(4-메틸술파닐-페닐)-초산에틸에스테르-O-벤조에이트 등을 들 수 있다.
증감제로는 예를 들면, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,2-비스(o-클로르로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난트렌퀴논, 캄포르퀴논, 페닐글리옥실산메틸, 티타노센 화합물 등을 들 수 있다.
산 발생제로는 예를 들면, 4-히드록시페닐디메틸설포늄, p-톨루엔설포네이트, 4-히드록시페닐디메틸설포늄헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐디메틸설포늄, p-톨루엔설포네이트, 4-아세톡시페닐메틸 벤질설포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리페닐설포늄 p-톨루엔설포네이트, 트리페닐설포늄헥사플루오로안티모네이트, 디페닐요오도늄 p-톨루엔설포네이트, 디페닐요오도늄헥사플루오로안티모네이트등의 오늄염류나 니트로벤질토실레이트류, 벤조인토실레이트류 등을 들 수 있다. 또한, 상기 화합물 중에는 활성 라디칼과 산을 동시에 발생시키는 화합물도 있다. 예를 들어, 상기 트리아진계 광중합 개시제는 산 발생제로도 사용될 수 있다.
본 발명의 (D)광중합성 개시제의 함량은 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 0.1 내지 30 중량%, 바람직하게는 0.5 내지 20 중량%로 포함될 수 있다. (D)광중합성 개시제가 상기 범위로 포함되는 경우, 고감도화되어 노출시간이 단축되므로 생산성이 향상되며 높은 해상도를 유지할 수 있다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 (D-1)광중합 개시 보조제를 추가로 포함할 수 있다. (D-1)광중합 개시 보조제는 (D)광중합성 개시제와 조합하여 사용될 수 있고, (D)광중합성 개시제에 의해 중합이 개시된 (C)광중합성 화합물의 중합을 촉진시키기 위하여 사용된다. 상기 (D-1)광중합 개시 보조제로는 아민계 화합물, 알콕시안트라센계 화합물, 티옥산톤계 화합물 등을 들 수 있다.
아민계 화합물로는 예를 들면, 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 벤조산 2-디메틸아미노에틸, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(에틸메틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있으며, 이 중에서도 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하다.
알콕시안트라센계 화합물로는 예를 들면, 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다.
티옥산톤계 화합물로는 예를 들면, 2-이소프로필티옥산톤, 4-이소프로필티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디클로로티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤 등을 들 수 있다. 상기의 (D)광중합성 개시제는 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한, 상기 (D-1)광중합 개시 보조제로는 시판되는 제품이 사용될 수 있으며, 시판되는 광중합 개시 보조제로는 예를 들면, EAB-F(호도가 야가가쿠고교가부시키가이샤 제품) 등이 있다. 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에 대하여, 바람직한 (D)광중합성 개시제 및 (D-1)광중합 개시 보조제의 조합으로는, 디에톡시아세토페논/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸티오페닐)프로판-1-온/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-히드록시-2-메틸-페닐프로판-1-온/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]프로판-1-온/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논의 조합 등을 들 수 있으며, 보다 바람직하게는 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸티오페닐)프로판-1-온/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논의 조합이 있다. 상기와 같이 (D)광중합성 개시제와 (D-1)광중합 개시 보조제가 함께 사용되는 경우, (D-1)광중합 개시 보조제는 (D)광중합성 개시제의 1 몰당 10몰 이하로 사용되는 것이 바람직하며, 0.01 내지 5몰로 사용되는 것이 보다 바람직하다.
(E)용제
상기 (E)용제는 착색 감광성 수지 조성물에 포함되는 다른 성분들을 분산 또는 용해시키는데 효과적인 것이면 그 종류를 특별히 제한하지 않고 사용할 수 있으며, 특히 에테르류, 방향족 탄화수소류, 케톤류, 알콜류, 에스테르류 또는 아미드류 등이 바람직하다.
에테르류로는 예를 들면, 테트라히드로퓨란, 테트라히드로피란, 1,4-디옥산, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 에틸카비톨아세테이트, 부틸카비톨아세테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트, 메톡시펜틸아세테이트, 아니솔, 페네톨 또는 메틸아니솔 등을 들 수있다.
방향족 탄화수소류로는 예를 들면, 벤젠, 톨루엔, 크실렌 또는 메시틸렌 등을 들 수 있다.
케톤류로는 예를 들면, 아세톤, 2-부탄온, 2-헵탄온, 3-헵탄온, 4-헵탄온, 4-메틸-2-펜탄온, 시클로펜탄온 또는 시클로헥산온 등을 들 수 있다.
알콜류로는 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜 또는 글리세린 등을 들 수 있다.
에스테르류로는 예를 들면, 아세트산에틸, 아세트산-n-부틸, 아세트산이소부틸, 포름산아밀, 아세트산이소아밀, 아세트산이소부틸, 프로피온산부틸, 부티르산이소프로필, 부티르산에틸, 부티르산부틸, 알킬에스테르류, 락트산메틸, 락트산에틸, 옥시아세트산메틸, 옥시아세트산에틸, 옥시아세트산부틸, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 3-옥시프로피온산메틸, 3-옥시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 2-옥시프로피온산메틸, 2-옥시프로피온산에틸, 2-옥시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산메틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산에틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산메틸, 2-옥소부탄산에틸, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트 또는 γ-부티로락톤 등을 들 수 있다.
아미드류로는 예를 들면, N,N-디메틸포름아미드 또는 N,N-디메틸아세트아미드 등을 들 수 있다.
기타 (E)용제로는 예를 들면, N-메틸피롤리돈 또는 디메틸설폭시드 등을 들 수 있다. 상기 (E)용제 중에서도 3-에톡시프로피온산에틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 또는 프로필렌글리콜메틸에테르가 바람직하다.
이들 (E)용제는 각각 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물 중의 (E)용제의 함량은 착색 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 중량 분율로 10 내지 90 중량%, 바람직하게는 70 내지 90 중량%이 포함될 수 있다. (E)용제의 함량이 상기 범위이면 도포 시의 평탄성이 양호하고, 컬러 필터를 형성했을 때 색 농도가 충분하여 표시 특성이 양호한 장점을 갖는다.
(F)첨가제
한편, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에는 이 분야에서 통상적으로 사용되는 (F)첨가제가 더 포함될 수 있다. 상기 (F)첨가제로는 소포제, 계면활성제, 열가교제, 접착력 증진제 등을 들 수 있다.
착색 감광성 수지 조성물의 제조 방법
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은, 예를 들면 이하와 같은 방법에 의해 제조할 수 있다. (A)착색제를 미리 (E)용제와 혼합하여 착색 재료의 평균 입경이 0.2㎛ 이하 정도가 될 때까지 비드 밀 등을 이용하여 분산시킨다. 이때, 필요에 따라 안료 분산제가 사용되고, 또한 (B)알칼리 가용성 수지의 일부 또는 전부가 배합되는 경우도 있다. 얻어진 분산액(이하, 밀 베이스라고 하는 경우도 있음)에 (B)알칼리 가용성 수지의 나머지, (C)광중합성 화합물인 다관능성 단량체 및 (D)광중합성 개시제, 필요에 따라 사용되는 그 밖의 성분, 필요에 따라 추가의 (E)용제를 소정의 농도가 되도록 더 첨가하여 원하는 착색 감광성 수지 조성물을 얻는다.
컬러필터
본 발명에 따른 컬러필터를 설명한다. 본 발명은 기판 상부에 착색 감광성 수지 조성물을 도포하고 소정의 패턴으로 노광, 현상하여 형성되는 컬러층을 포함하여 이루어진 컬러필터에 있어서, 상기 착색 감광성 수지 조성물을 사용하는 것을 특징으로 하는 컬러필터를 제공한다. 각 착색 패턴 사이에 격벽이 더 형성될 수도 있으며 블랙 매트릭스가 부가될 수도 있다. 또한, 도시된 컬러필터 상부에 보호막을 더 형성할 수도 있다. 도 1 내지 도 3은 전술한 착색 감광성 수지 조성물을 이용한 컬러필터의 제조방법에 대한 공정도이다.
착색 패턴을 형성시키기 위해서는, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 패턴 처리한다. 구체적으로는 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 컬러층(11)을 기판(10) 상부에 형성시키고(도 1), 상기에서 형성된 컬러층(11)을 소정의 패턴으로 광조사 시킨 후(도 2), 현상시킨다(도 3). 상기 기판(10)은, 제한되지 않으며 컬러필터 자체 기판일 수도 있고, 디스플레이 장치 등에 컬러필터가 위치되는 부위일 수도 있다. 상기 기판은 유리판, 실리콘 웨이퍼 및 PES(Poly Ether Sulfone), PC(Poly Carbonate) 등의 플라스틱 판 등일 수 있다. 즉, 상기 기판은 실리콘(Si), 실리콘 산화물(SiOx) 또는 유리 기판이거나 고분자 기판일 수 있다. 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 층(11)을 기판(10) 상에 형성시키기 위해서는, 예를 들면 용제에 의해 희석된 착색 감광성 수지 조성물을 스핀, 슬릿 후 스핀, 슬릿, 롤, 스프레이, 잉크젯 방식 등의 코팅법에 의해 기판 상에 도포한 후, 용제 등과 같은 휘발성 성분들을 휘발시킨다. 이로써, 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 컬러층(11)을 형성시키는데, 상기 컬러층은 착색 감광성 수지 조성물의 고형 성분들로 이루어져 있고, 휘발성 성분들을 거의 포함하지 않게 된다. 필름면의 두께는 조성물의 점도, 고형분의 농도, 도포 속도 등과 같은 도포 조건에 의하여 결정되며, 본 발명의 조성물을 사용하는 경우에 두께 0.5 내지 5㎛의 컬러층(11)을 얻을 수 있다. 그 후, 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 컬러층(11)을 광에 노출시킨다. 노광시키기 위해서는 예를 들면 상기 컬러층을 포토마스크(20)를 통해 소정패턴으로 광조사 시킨다. 광으로는, 자외선의 g 선(파장: 436nm), h 선, i 선(파장: 365nm) 등을 주로 사용한다. 광선은 포토마스크의 패턴에 따라 통과된다. 상기 포토마스크는 유리판의 표면 상에 소정의 패턴으로 광선을 차폐시키는 차광층을 제공한다. 광선(4)은 차광층에 의해 차폐된다. 이 차광층이 제공되지 않는 유리판(20)의 부분은 광선이 투과하는 투광부이다. 이러한 투광부의 패턴에 따라, 상기 컬러층(11)을 노광시킨다. 광선의 조사량은 사용된 착색 감광성 수지 조성물에 따라 적절히 선택된다. 상기 광선이 조사된 부분은 광선이 조사되지 않은 부분에 비하여 용해도가 훨씬 작아져서 양자의 용해도 차이가 극대화된다. 노광 후에는 현상시킨다. 현상을 위해서는 예를 들면 노광 후의 착색 감광성 수지 조성물 층을 현상제에 침지시킨다. 현상제로서는 알칼리 화합물, 예컨대 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산칼륨, 수산화테트라메틸암모늄 등의 수용액을 사용한다. 현상에 의해, 착색 감광성 수지 조성물 층의 광선에 의해 조사되지 않은 광선 미조사 영역은 제거된다. 이와 반대로, 광선에 의해 조사되는 광선 조사 영역은 잔류하여 착색 패턴을 구성한다. 현상 후에는, 상기 층을 보통 물로 세정하고, 건조시켜 소정의 착색 패턴을 얻는다. 또한, 건조 후에는 가열 처리를 실시할 수도 있다. 가열 처리에 의해 형성된 착색 패턴이 경화되고, 이것의 기계적 강도가 향상된다. 이와 같이 착색 패턴의 기계적 강도가 가열 처리에 의해 향상될 수 있기 때문에, 경화제를 포함하는 착색 감광성 수지 조성물을 사용하는 것이 바람직하다. 가열 온도는 보통 180℃ 이상, 바람직하게는 200 내지 250℃이다.
이하 본 발명을 실시예에 기초하여 더욱 상세하게 설명하지만, 하기에 개시되는 본 발명의 실시 형태는 어디까지 예시로써, 본 발명의 범위는 이들의 실시 형태에 한정되지 않는다. 본 발명의 권리 범위는 청구항에 기재된 범위 외에, 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함한다.
이하의 실시예, 비교예에서 함유량을 나타내는 "%" 및 "부"는 특별히 언급하지 않는 한 질량 기준이다.
<착색 감광성 수지 조성물 제조>
실시예 1.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:79.5 : 0.5, 산가는 75, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,000)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
실시예 2.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:70 : 10, 산가는 77, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,100)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
실시예 3.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:50 : 30, 산가는 76, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,000)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
실시예 4.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:35 : 40, 산가는 74, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 8,900)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
비교예 1.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:25 : 55, 산가는 74, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,100)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
비교예 2.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 비닐톨루엔의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 비닐톨루엔 단위와의 몰비는 20:70 : 10, 산가는 75, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,000)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
비교예 3.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 염기성 염료인 basic violet 10(시그마 알드리치 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메틸메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메틸메타크릴레이트 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:70 : 10, 산가는 3, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 8,900)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
비교예 4.
착색제로 안료인 C.I. 피그먼트 블루 15:6를 2.55 중량% 및 산성 염료인 Acid Red 92(TIC 제품)을 0.45 중량%; 알칼리 가용성 수지로 메타크릴산, 벤질메타크릴레이트 및 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)의 공중합체(메타크릴산 단위와 벤질메타크릴레이트 단위와 3-설포프로필 아크릴레이트 포타시움염 (Sigma Aldrich 제품)와의 몰비는 20:70 : 10, 산가는 74, 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 9,000)를 4.94 중량%; 광중합성 화합물로 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA, 일본화약)를 4.94 중량%; 광중합성 개시제로 Irgacure OXE-01을 0.89 중량%; 광중합 개시 보조제로 2,4-디에틸티옥산톤을 0.3 중량%; 용제로 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 17 중량% 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 67.99 중량% ; 첨가제로 안료분산제(BYK 2000)를 0.64 중량%, 계면활성제로 다우코닝 도레이 실리콘사의 SH8400를 0.15 중량%, 밀착력 증진제로 메타아크릴록시프로필트리메톡시실란을 0.15 중량%를 혼합 및 분산하여 착색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
실험예 1. 컬러필터의 제조
상기 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 4에서 제조된 착색 감광성 수지 조성물을 이용하여 컬러필터를 제조하였다. 상기 각각의 착색 감광성 수지 조성물 용액을 스핀 코팅법으로 유리 기판 위에 도포한 다음, 가열판 위에 놓고 100℃의 온도에서 3분간 유지하여 박막을 형성시켰다. 이어서 상기 박막 위에 1㎛ 내지 50㎛의 라인/스페이스 패턴을 갖는 시험 포토마스크를 올려놓고 시험 포토마스크와의 간격을 100㎛로 하여 자외선을 조사하였다. 이때, 자외선 광원은 g, h, i 선을 모두 함유하는 1kW의 고압 수은등을 사용하여 100mJ/㎠의 조도로 조사하였으며, 특별한 광학 필터는 사용하지 않았다. 상기에서 자외선이 조사된 박막을 pH 10.5의 KOH 수용액 현상 용액에 1분 동안 담구어 현상하였다. 이 박막이 입혀진 유리판을 증류수를 사용하여 세척한 다음, 질소 가스를 불어서 건조하고, 220℃의 가열 오븐에서 1시간 동안 가열하여 컬러필터를 제조하였다. 상기에서 제조된 컬러필터의 필름 두께는 2.4㎛이었다.
실험예 2. 컬러필터의 특성 평가
상기 컬러필터의 코팅도막 표면특성, 현상속도, NMP 내화학성, 잔사를 하기와 같이 측정 및 평가하여 하기 표 1에 나타내었다.
(A) 코팅도막 표면특성: 조성물을 유리에 코팅하고 10분 방치 후 도포막의 표면을 광학 현미경으로 확인하여 이물이 발생하지 않은 경우 '○'으로, 표면이 불투명한 경우 '△'으로, 이물이 발생한 경우는 '×'로 나타내었다.
(B) 현상속도(s): 현상이 되는 경우는 현상시 비노광부가 현상액에 완전히 용해되는데 걸리는 시간을 측정하여 나타내었다. 현상이 되지 않는 경우는 '×'로 나타내었다.
(C)NMP 내화학성: 상기 제조된 컬러필터를 NMP(N-Methyl-2-pyrolidone)용액에 30 min 침지한 후 침지 전후의 색차를 확인하여 △E*ab 의 수치가 3 이하인 경우 '○'으로, △E*ab 의 수치가 3 이상인 경우를 '×'로 나타내었다.
(D) 잔사: 현상후 비노광부 부분에 착색 감광성 수지 조성물의 잔존 유·무를 확인하여 잔존하지 않는 경우 '○'으로, 잔존하는 경우 '×'로 나타내었다.
실시예1 실시예2 실시예3 실시예4 비교예1 비교예2 비교예3 비교예4
코팅도막의 표면특성 × ×
현상속도(s) 16 17 18 18 22 17 × 18
잔사 × × ×
NMP 내화학성 × ×
상기 표 1에 나타난 바와 같이 실시예 1 내지 4의 착색 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 컬러필터는 코팅 도막의 표면 특성이 우수하고 현상속도, NMP 내화학성 및 잔사 잔존 여부에서 우수한 것을 확인 할 수 있었다. 이에 비하여, 비교예 1 내지 4의 착색 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 컬러필터는 코팅 도막의 표면에 이물이 발생하거나 현상이 되지 않거나 현상 후 잔사가 발생하고 NMP 내화학 특성이 좋지 않음을 확인할 수 있었다. 또한 본 발명의 조성물을 포함하나 알칼리 가용성 수지의 단량체의 비율이 바람직한 범위를 벗어나는 비교예 1은 실시예에 비하여 코팅도막의 표면특성과 현상속도가 저하됨을 확인할 수 있었다.
11: 컬러층
10: 기판
20: 포토마스크
30: 광
11R: 형성된 컬러층

Claims (7)

  1. (A)착색제, (B)알칼리 가용성 수지, (C)광중합성 화합물, (D)광중합성 개시제 및 (E)용제를 포함하고, 상기 (A)착색제는 염기성 염료를 1종 이상 포함하고, 상기 (B)알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체를 포함하며, 상기 (B)알칼리 가용성 수지를 구성하는 단량체 총 몰수에 대하여 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체 각각 0.1 내지 50 몰% 및 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 다른 단량체 10 내지 99.8 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
    [화학식 1]
    Figure pat00007

    [화학식 2]
    Figure pat00008

    상기 화학식 1 및 화학식 2에서,
    R1은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이고,
    R2는 탄소수 1 내지 6의 알킬레닐기이고,
    Y 는 무기 또는 유기의 양이온이고,
    R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 알킬기이다.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 단량체와 공중합이 가능한 단량체는 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 인덴, 메틸아크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-프로필아크릴레이트, n-프로필메타크릴레이트, i-프로필아크릴레이트, i-프로필메타크릴레이트, n-부틸아크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, i-부틸아크릴레이트, i-부틸메타크릴레이트, sec-부틸아크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, t-부틸아크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 3-히드록시프로필아크릴레이트, 3-히드록시프로필메타크릴레이트, 2-히드록시부틸아크릴레이트, 2-히드록시부틸메타크릴레이트, 3-히드록시부틸아크릴레이트, 3-히드록시부틸메타크릴레이트, 4-히드록시부틸아크릴레이트, 4-히드록시부틸메타크릴레이트, 알릴아크릴레이트, 알릴메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 페닐메타크릴레이트, 2-메톡시에틸아크릴레이트, 2-메톡시에틸메타크릴레이트, 2-페녹시에틸아크릴레이트, 2-페녹시에틸메타크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜메타크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 이소보르닐메타크릴레이트, 디시클로펜타디에닐아크릴레이트, 디시클로펜타디에틸메타크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필메타크릴레이트, 글리세롤모노아크릴레이트, 글리세롤모노메타크릴레이트, 2-아미노에틸아크릴레이트, 2-아미노에틸메타크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸메타크릴레이트, 2-아미노프로필아크릴레이트, 2-아미노프로필메타크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필메타크릴레이트, 3-아미노프로필아크릴레이트, 3-아미노프로필메타크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필메타크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐, 부티르산 비닐, 벤조산 비닐, 비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸아크릴아미드, N-2-히드록시에틸메타크릴아미드, 말레이미드, N-페닐말레이미드. N-시클로헥실말레이미드, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌, 폴리스티렌, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리-n-부틸아크릴레이트, 폴리-n-부틸메타크릴레이트, 폴리실록산의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아크릴로일기 또는 모노메타크릴로일기를 갖는 거대 단량체류 및 카르복실기 함유 단량체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 (A)착색제에 포함되는 염기성 염료는 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 1 내지 70 중량%로 포함되는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 (B)알칼리 가용성 수지는 산가가 20 내지 200(KOH mg/g)이며, 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량이 3,000 내지 200,000인 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
  5. 청구항 1에 있어서, 착색 감광성 수지 조성물 중 고형분 총 중량에 대하여 중량 분율로 (A)착색제 10 내지 70 중량%, (B)알칼리 가용성 수지 10 내지 80 중량%, (C)광중합성 화합물 5 내지 50 중량% 및 (D)광중합성 개시제 0.1 내지 30 중량%를 포함하며, 착색 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 (E)용제 10 내지 90 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 착색 감광성 수지 조성물에 첨가제로 소포제, 계면 활성제, 열가교제 및 접착력 증진제를 더 포함할 수 있는 것을 특징으로 하는 착색 감광성 수지 조성물.
  7. 청구항 1의 착색 감광성 수지 조성물로 제조되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170084496A (ko) * 2016-01-12 2017-07-20 동우 화인켐 주식회사 자발광 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 색변환층 및 화상표시장치
KR20180056180A (ko) * 2016-11-18 2018-05-28 동우 화인켐 주식회사 적색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터
WO2022182082A1 (ko) * 2021-02-26 2022-09-01 코오롱인더스트리 주식회사 감광성 적층체, 감광성 적층체 제조 방법, 및 회로 기판 제조방법

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