KR20140103427A - 대면적 증착 공정용 기판 이송 장치 - Google Patents

대면적 증착 공정용 기판 이송 장치 Download PDF

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Abstract

챔버, 상기 챔버 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 상기 챔버 내에 구비되며, 상기 기판 지지대와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일 및 상기 기판 지지대와 연동되어, 상기 기판 지지대를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기를 포함하는 기판 이송 장치를 제공한다.

Description

대면적 증착 공정용 기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS FOR LARGE AREA DEPOSITION SYSTEM}
본 발명은 증착 공정에서 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 대면적 디스플레이 증착 공정에서 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 다양한 요구에 따른 평판 디스플레이 장치에 관한 연구가 점차 증가하고 있다. 이러한 평판 디스플레이 장치로는 PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 및 OLED(Organic Light Emitting display) 등이 있으며, 특히, OLED의 경우 경량, 박형 및 저전력 등의 장점으로 차세대 디스플레이 장치로써 각광받고 있다.
이러한 평판 디스플레이를 제작하기 위한 공정으로는 기판(substrate)에 도전체 및 유기물 등의 박막을 증착하기 위한 증착 공정, 상기 증착된 박막을 소정의 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정 및 이물질 등을 제거하기 위한 세정 공정 등이 있다. 상기 공정들은 각각 별도의 공정 챔버 내에서 이루어지는데, 이러한 공정 챔버내에는 기판을 이송하기 위한 기판 이송 장치가 구비될 수 있다.
한편, 종래 공정 챔버 내에 구비되는 기판 이송 장치는 기판을 이송하기 위한 타이밍 체인(timing chain), 상기 타이밍 체인을 구동하기 위한 구동 기어 및 구동 모터 등으로 구성될 수 있다.
그런데, 종래 기판 이송 장치의 경우 내부 구동부 간의 마찰로 인한 파티클(particle) 발생할 가능성이 크다. 예를 들면, 상기 타이밍 체인과 구동 기어 사이의 마찰로 인한 파티클 및 상기 구동 기어와 구동 모터 사이의 마찰로 인한 파티클 등이 발생할 수 있다.
한편, 기판 이송 과정에서 발생할 수 있는 파티클(particle)은 증착 공정 시 상기 평판 디스플레이 장치의 암점(dead pixel) 불량을 유발할 수 있다는 점에서, 상기 평판 디스플레이의 품질 저하 및 생산 비용 증가와 같은 문제를 일으킬 수 있다. 이러한 문제는 상기 평판 디스플레이의 크기가 점차 대면적화 되어감에 따라 더욱 큰 문제로 부각되고 있다.
이에 본 발명에서는 증착 공정에서 기판 이송 시 발생할 수 있는 파티클을 줄여 증착시 발생할 수 있는 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 한다.
챔버, 상기 챔버 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 상기 챔버 내에 구비되며, 상기 기판 지지대와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일 및 상기 기판 지지대와 연동되어, 상기 기판 지지대를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기를 포함하는 기판 이송 장치를 제공한다.
상기 선형 전동기는 상기 기판 지지대에 구비되는 제 1 자기 모듈 및 상기 제 1 자기 모듈과 이격되어 상기 챔버에 고정되는 제 2 자기 모듈을 포함할 수 있다.
상기 제 1 자기 모듈 및 제 2 자기 모듈 중 적어도 하나는 자기 코일 모듈로 구비될 수 있다.
상기 자기 코일 모듈은 복수개의 자기 코일(magnetic coil)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 자기 모듈은 영구 자석 모듈이고, 상기 제 2 자기 모듈은 자기 코일 모듈로 구비될 수 있다.
상기 기판 지지대의 측면부에는 상기 가이드 레일과 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 롤러가 구비될 수 있다.
상기 가이드 롤러는 상기 가이드 레일을 기준으로 상부와 하부 모두에 구비될 수 있다.
상기 가이드 롤러는 상기 가이드 레일을 기준으로 상부 및 하부 중 어느 하나에 구비될 수 있다.
상기 기판 지지대는 정전 척(Electro Static Chuck)을 포함할 수 있다.
상기 챔버는 상기 가이드 레일 및 가이드 롤러에서 발생하는 파티클(particle)을 포집하기 위한 포집부를 포함할 수 있다.
상기 기판 이송 장치는 표시장치의 증착 공정에서 기판을 이송하기 위하여 사용될 수 있다.
챔버, 상기 챔버 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 상기 챔버 내에 구비되며, 상기 기판 지지대와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일 및 상기 기판 지지대와 연동되어, 상기 기판 지지대를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기를 포함하며, 상기 기판 지지대의 측면부에는 상기 가이드 레일과 결합하여 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 롤러를 포함하고, 상기 선형 전동기는 상기 기판 지지대에 구비되는 영구 자석 모듈 및 상기 영구 자석 모듈과 이격되어 상기 챔버에 고정된 자기 코일 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치를 제공한다.
증착 공정에 사용되는 기판 이송 장치에서 타이밍 체인, 구동기어 및 구동모터 등과 같은 기구적인 구동원을 사용하지 않고 가이드 레일, 가이드 롤러 및 선형 구동기 등을 적용함으로써, 기판 이송시 발생할 수 있는 파티클을 줄이고 평판 디스플레이 장치의 암점 불량을 최소화 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 선형 전동기의 구동 원리를 설명하기 위한 도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 가이드 레일 및 가이드 롤러의 구조를 나타낸 도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 가이드 레일 및 가이드 롤러의 구조를 나타낸 도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경이 가능하고, 여러 가지 형태로 실시될 수 있는 바, 특정의 실시예만을 도면에 예시하고 본문에는 이를 중심으로 설명한다. 그렇다고 하여 본 발명의 범위가 상기 특정한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 또는 대체물은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에 있어서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접촉되어" 있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접촉되어 있을 수도 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "집적 접촉되어"있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 예시적인 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 명세서에서, "포함하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지는 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙인다. 또한, 도면에 있어서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도면에 개시된 바에 의하여 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이며, 도 2는 도 1에서 Ⅰ-Ⅱ구간의 단면을 나타낸 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치는 챔버(100), 상기 챔버(100) 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대(200), 상기 챔버(100) 내에 구비되며, 상기 기판 지지대(200)와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일(110, 120) 및 상기 기판 지지대(200)와 연동되어, 상기 기판 지지대(200)를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기(300)를 포함할 수 있다.
상기 챔버(100)는 증착 공정 시 기판(substrate)이 외부로부터 오염되지 않도록 기판과 외부를 차단시키는 역할을 한다. 도 1 내지 도 3에는 도시되지 않았지만, 상기 챔버(100)는 챔버 내부에 유입된 공기를 배출하여 챔버(100) 내부를 일정 압력 이하로 유지하기 위한 공기 배출 수단(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 기판(10)에 재료를 증착하기 위한 증착 공정이 이루어지는 챔버일 수 있다. 상기 챔버(100)에서 증착 공정으로 제작할 수 있는 장치로는 평판 디스플레이 장치가 있을 수 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시 장치(LCD) 및 유기발광 표시장치(OLED)등이 있다.
상기 챔버(100) 내부의 양 측면부에는 상기 기판 지지대(200)와 맞물려 상기 기판 지지대(200)를 제 1 방향(M1) 또는 제 2 방향(M2)으로 움직일 수 있도록 안내하기 위한 가이드 레일(110, 120)이 구비될 수 있다. 이하에서 설명의 편의를 위하여, 도 2에 도시된 기판 이송 장치를 기준으로 우측 가이드 레일을 제 1 가이드 레일(110)이라 하고, 좌측 가이드 레일을 제 2 가이드 레일(120)이라 한다.
상기 가이드 레일(110, 120)은 V형, H형, R형, 플랫(flat)형 가이드 레일 중 어느 하나가 사용될 수 있으며, 상기 제 1 가이드 레일(110) 및 제 2 가이드 레일(120)은 서로 다른 종류의 가이드 레일로 형성될 수 있다.
도 2에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치에서는 상기 제 1 가이드 레일(110)로서 V형 가이드 레일이 구비되고, 상기 제 2 가이드 레일(120)로 플랫형 가이드 레일이 구비될 수 있다.
상기 챔버(100) 내부에는 이송되는 기판을 지지하기 위한 기판 지지대(200)가 구비될 수 있다. 상기 기판 지지대(200)의 크기는 상기 기판 지지대(200)에 놓여지는 기판의 크기에 따라 적절한 값을 가질 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 기판 지지대(200)의 크기는 대면적 평판 디스플레이에 사용되는 기판을 지지할 수 있을 정도의 크기를 가질 수 있다.
상기 기판 지지대(200)는 상기 기판(10)을 고정하기 위해서 정전 척(Electro Static Chuck)(230)을 사용할 수 있다. 상기 정전 척은 정전기의 힘을 사용하여 기판과 같이 두께가 얇고 면적이 큰 대상물을 흡착할 수 있는 장치이다. 상기 기판 지지대(200)는 상기 정전 척을 이용하여 상기 기판(10)을 상기 기판 지지대(200)에 흡착 고정시킬 수 있다.
상기 도 2에는 도시되지 않았지만, 상기 기판 이송 장치는 상기 정전 척(230)으로 전원을 인가하기 위한 전원부(미도시) 및 상기 전원부를 제어할 수 있는 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 기판 지지대(200)의 양 측면부에는 상기 가이드 레일(110, 120)과 결합하여 상기 기판 지지대(200)를 상기 제 1 방향(M1) 및 제 2 방향(M2)으로 움직일 수 있도록 안내하기 위한 복수개의 가이드 롤러(210, 220)가 구비될 수 있다. 상기 가이드 롤러(210, 220)는 상기 가이드 레일(110, 120)를 기준으로 상부 가이드 롤러와 하부 가이드 롤러와 같이 한쌍으로 구비될 수 있다.
도 3에서는 상기 기판 지지대(200)의 측면부에 각각 9쌍의 가이드 롤러(210, 220)가 구비된 것으로 도시되었으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 상기 가이드 롤러(210, 220)의 개수는 기판 지지대(200)의 크기에 따라 적절한 값을 가질 수 있다.
상기 기판 이송 장치는 상기 기판 지지대(200)와 연동되어, 상기 기판 지지대(200)를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기(300)를 포함할 수 있다.
상기 선형 전동기(300)는 상기 기판 지지대(200) 하부면의 일측부에 배치되는 제 1 자기 모듈(310) 및 상기 제 1 자기 모듈(310)과 이격된 하부에 배치되며, 상기 챔버(100)에 구비된 지지암(130)에 의해 고정되는 제 2 자기 모듈(320)을 포함할 수 있다. 상기 지지암(130)에는 상기 제 2 자기 모듈(320)에 전원을 공급하기 위한 전원 공급부(330)가 구비될 수 있다.
상기 제 1 자기 모듈(310) 및 제 2 자기 모듈(320) 중 적어도 하나는 자기 코일 모듈로 구성될 수 있으며, 상기 자기 코일 모듈은 복수개의 자기 코일(magnetic coil)을 포함할 수 있다.
상기 자기 코일은 자성체 코어 및 상기 자성체 코어를 감은 코일을 포함하며, 상기 코일에 전류가 흐르는 동안 자석과 같은 성질을 나타내게 된다. 또한, 상기 코일에 흐르는 전류의 방향을 바꿔 자석의 극성을 바꿀 수도 있다.
상기 선형 전동기(300)는 상기 제 1 자기 모듈(310) 및 제 2 자기 모듈(320) 사이의 전자력에 의해 직선 방향의 추력(推力)을 발생시킬 수 있다. 이와 같은 추력은 상기 기판 지지대(200)를 제 1 방향(M1) 또는 제 2 방향(M2)으로 이동시킬 수 있는 구동력을 제공한다.
이와 같이 상기 선형 전동기(300)는 상기 기판 지지대(200)를 비접촉식으로 이동시킬 수 있기 때문에 상기 기판 지지대(200) 이동 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 현저하게 줄일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제 1 자기 모듈(310)로 영구 자석이 사용될 수 있으며, 상기 제 2 자기 모듈(320)로 자기 코일 모듈이 사용될 수 있다. 또한, 상기 제 1 자기 모듈(310) 및 상기 제 2 자기 모듈(320) 모두 자기 코일 모듈이 사용될 수 있다.
도 2에서 상기 선형 전동기(300)는 상기 기판 지지대(200) 하부에 구비된 것으로 도시되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 선형 전동기(300)는 상기 기판 지지대(200)의 상부에 구비될 수도 있다.
아울러, 상기 챔버(100)에는 기판 이송 시 상기 가이드 레일(110) 및 가이드 롤러(210)에서 발생할 수 있는 파티클(particle) 등을 포집하기 위한 포집부(140)가 구비될 수 있다.
상기 포집부(140)는 정전식 집진 방식을 이용하여 대전된 금속성 파티클을 포집하거나 여과기등과 같은 필터를 사용할 수 있다. 이외에도 일반적으로 사용될 수 있는 파티클 포집 장치는 본 발명의 기판 이송 장치에 사용될 수 있다.
상기 챔버(100)의 저면부에는 상기 기판이 이송되면서 증착 공정이 이루어질 수 있도록 증착용 소스(150)가 구비될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 선형 전동기의 구동 원리를 설명하기 위한 도이다.
도 4를 참조하면, 상기 제 1 자기 모듈(310)은 진행 방향(M1, M2)과 나란하게 배치되는 복수개의 영구 자석(N, S)으로 형성될 수 있으며, 상기 제 2 자기 모듈(320)은 상기 영구 자석 모듈(310)과 대응하여 이격된 하부에 배치되는 복수개의 자기 코일(P, Q, R)로 형성될 수 있다.
상기 영구 자석 N극과 S극 사이에 위치하는 자기 코일(Q)에 (+) 방향으로 피크값의 교류 전류를 인가하고, 상기 자기 코일(Q)과 인접한 자기 코일(P, R)에는 (-) 방향으로 피크값의 교류 전류를 인가하면, 상기 자기 코일(Q)는 N극을 띠고, 상기 자기 코일(P, R)은 S극을 띠게 된다.
이로 인해 N극인 자기 코일(Q)은 영구 자석 N극과 척력(斥力)을 발생시키고, 영구 자석 S극과는 인력(引力)을 발생시킨다. 그 결과, 상기 제 1 자기 모듈(310)은 제 1 방향(M1)으로 이동할 수 있는 추진력을 얻게 된다. 또한, 상기 제 1 자기 모듈(310)이 이동함에 따라 상기 자기 코일(P, Q, R)에는 반대 극성의 교류 전류를 인가하여 상기 제 1 방향(M1)으로 이동이 지속되도록 한다. 이와 같은 원리로 상기 기판 지지대(200)를 상기 제 1 방향(M1) 또는 제 2방향(M2)으로 이동시킬 수 있다.
상기 영구 자석 모듈(310)을 이동시키는 추진력은 상기 자기 코일의 권선 수, 영구 자석의 자력의 크기, 상기 자기 코일에 인가되는 전류의 크기 및 상기 자기 코일의 개수 등으로 조절될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 제 1 가이드 레일(110) 및 제 1 가이드 롤러(210)의 구조를 나타낸 도이며, 도 6은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 기판 이송 장치의 제 1 가이드 레일(110) 및 제 1 가이드 롤러(210)의 구조를 나타낸 도이다.
도 5를 참조하면, 상기 제 1 가이드 롤러(210)는 상기 제 1 가이드 레일(110)의 형태에 따라 적절한 형태의 가이드 롤러(210)가 사용될 수 있다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제 1 가이드 레일(110)이 V자형 가이드 레일인 경우 상기 제 1 가이드 롤러(210)도 V형 가이드 롤러로 구비될 수 있다.
상기 제 1 가이드 롤러(210)는 상기 제 1 가이드 레일(110)을 기준으로 상부와 하부에 모두 구비될 수 있으며, 본 발명의 다른 일실시예에 따르면 상기 제 1 가이드 롤러(210)는 상기 제 1 가이드 레일(110)의 상부 및 하부 중 어느 하나에 구비될 수도 있다.(도 6 참조)
이와 같이 상기 제 1 가이드 레일(110) 및 상기 제 1 가이드 레일(110)과 결합된 제 1 가이드 롤러(210)를 이용함으로써, 상기 기판 지지대(200)를 원하는 진행 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제 1 가이드 롤러(210)가 이동하면서 발생할 수 있는 미끄러짐(slip)을 최소화할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 타이밍 체인, 구동기어 및 구동모터 등과 같은 기구적인 구동원을 사용하지 않고 가이드 레일, 가이드 롤러 및 선형 구동기 등을 적용함으로써, 기판 이송시 발생할 수 있는 파티클을 줄일 수 있으며, 이에 따라 평판 디스플레이 장치의 암점 불량을 최소화 할 수 있다.
이상에서 설명된 기판 이송 장치는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명의 보호범위는 본 발명 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상 및 기술 범위를 변경하지 않고서 실시할 수 있는 다양한 변형예 및 균등예까지 포함할 수 있다.
100 : 챔버 110 : 제 1 가이드 레일
120 : 제 2 가이드 레일 130 : 지지암(arm)
140 : 포집부 150 : 증착용 소스
200 : 기판 지지대 210 : 제 1 가이드 롤러
220 : 제 2 가이드 롤러 230 : 정전척
300 : 선형 전동기 310 : 제 1 자기 모듈
320 : 제 2 자기 모듈 330 : 전원 공급부

Claims (12)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대;
    상기 챔버 내에 구비되며, 상기 기판 지지대와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일; 및
    상기 기판 지지대와 연동되어, 상기 기판 지지대를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기;를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 선형 전동기는 상기 기판 지지대에 구비되는 제 1 자기 모듈 및 상기 제 1 자기 모듈과 이격되어 상기 챔버에 고정되는 제 2 자기 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 자기 모듈 및 제 2 자기 모듈 중 적어도 하나는 자기 코일 모듈인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 자기 코일 모듈은 복수개의 자기 코일(magnetic coil)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 자기 모듈은 영구 자석 모듈이고, 상기 제 2 자기 모듈은 자기 코일 모듈인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지대의 측면부에는 상기 가이드 레일과 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 롤러가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 레일을 기준으로 상부와 하부 모두에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 레일을 기준으로 상부 및 하부 중 어느 하나에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지대는 정전 척(Electro Static Chuck)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버는 상기 가이드 레일 및 가이드 롤러에서 발생하는 파티클(particle)을 포집하기 위한 포집부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 이송 장치는 표시장치의 증착 공정에서 기판을 이송하기 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 챔버;
    상기 챔버 내에 구비되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대;
    상기 챔버 내에 구비되며, 상기 기판 지지대와 맞물려 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 레일; 및
    상기 기판 지지대와 연동되어, 상기 기판 지지대를 이동시킬 수 있는 구동력을 제공하는 선형 전동기;를 포함하며,
    상기 기판 지지대의 측면부에는 상기 가이드 레일과 결합하여 상기 기판 지지대의 움직임을 안내하기 위한 가이드 롤러를 포함하고,
    상기 선형 전동기는 상기 기판 지지대에 구비되는 영구 자석 모듈 및 상기 영구 자석 모듈과 이격되어 상기 챔버에 고정된 자기 코일 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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