KR20140099392A - Circuit pattern making method for display electrode, and display electrode having circuit pattern made by the method - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for forming electrode patterns for a display electrode, and a display electrode having electrode patterns formed thereby. The method comprises: a step (S1) of laminating a dry film (7) on an insulation film (5); a step (S2) of performing an exposure process on the insulation film (5) on which the dry film (7) is laminated; a step (S3) of forming dry film patterns (13) on the insulation film (5) by performing a development process after the exposure process; a step (S4) of filling and drying a nano silver paste (15) between the dry film patterns (13); a step (S5) of forming electrode patterns (19) made up of the nano silver paste (15) on the insulation film (5) by peeling the dry film patterns (13) after drying the nano silver paste (15); and a step (S6) of transferring the electrode patterns (19) formed on the insulation film (5) to a display substrate (21). According to the present invention, it is possible to realize fine electrode patterns by applying a screen printing or a low temperature dry method, thereby increasing the productivity of the display substrate.

Description

디스플레이전극용 전극패턴 형성방법 및 이에 의해 형성된 전극패턴을 구비하는 디스플레이전극{Circuit pattern making method for display electrode, and display electrode having circuit pattern made by the method}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming an electrode pattern for a display electrode and a display electrode having an electrode pattern formed therefrom,

본 발명은 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법 및 이에 의해 형성된 전극패턴을 구비하는 디스플레이전극에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세 전극패턴을 갖는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법 및 이에 의해 형성된 전극패턴을 구비하는 디스플레이전극에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming an electrode pattern for a display electrode and a display electrode having an electrode pattern formed by the method. More particularly, the present invention relates to a method of forming an electrode pattern for a display electrode having a fine electrode pattern, And a display electrode.

투명전극은 통상 80% 이상의 고투명도와 면저항 500Ω/sqm 이하의 전기전도도를 가지는 전자부품으로 LCD 전면 전극, OLED 전극 등의 디스플레이, 터치스크린, 태양전지, 광전자 소자 등 전자분야에 광범위하게 사용된다. Transparent electrodes are widely used in electronic fields such as LCD front electrodes, displays such as OLED electrodes, touch screens, solar cells, optoelectronic devices, and the like, which are electronic components having a transparency of at least 80% and a sheet resistance of 500? / Sqm or less.

투명전극에 가장 많이 사용되는 것은 산화인듐주석(ITO, Indium Tin Oxide) 필름이다. The most commonly used transparent electrode is indium tin oxide (ITO) film.

산화인듐주석 필름은 투과율이 좋아서 빛을 잘 투과시키는 동시에 전기전도성이 우수하고 에칭이 잘된다. 따라서, 투명한 글라스나 플라스틱 기판 위에 산화인듐주석을 박막형태로 증착시키고 에칭 공정을 통해 전극패턴을 형성한다. 그러나, 산화인듐주석 필름은 휨에 약하여 유연성에 한계가 있고 인듐 자체가 희소금속으로 자원 고갈의 우려가 있다.The indium tin oxide film has a good transmittance, allowing light to penetrate well, excellent electrical conductivity, and good etching. Accordingly, indium tin oxide is deposited on a transparent glass or plastic substrate in the form of a thin film, and an electrode pattern is formed through an etching process. However, the indium tin oxide film is weak in warp, so there is a limitation in flexibility, and there is a concern that indium itself is depleted in rare metals.

또한, 투명전극은 미세 전극패턴의 구현이 중요한데, 산화인듐주석의 에칭 공정을 통해 투명한 글라스나 플라스틱 기판 위에 전극패턴을 형성하는 것은 미세 전극패턴 구현에 한계가 있다.In addition, it is important to realize a fine electrode pattern in a transparent electrode. However, forming an electrode pattern on a transparent glass or plastic substrate through an etching process of indium tin oxide is limited in the implementation of a fine electrode pattern.

본 발명과 관련된 선행기술로는 국내등록특허 제1996-0012270호(1996.09.18) "투명 도전기판 제조방법"이 있다.As a prior art related to the present invention, there is a method of manufacturing a transparent conductive substrate in Korean Patent No. 1996-0012270 (Sep. 18, 1996).

본 발명의 목적은 디스플레이 기판에 적용되어 투명전극을 대체할 수 있도록 형상 정밀도가 우수하고 미세 전극패턴을 갖는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법 및 이에 의해 형성된 전극패턴을 구비하는 디스플레이전극을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of forming an electrode pattern for a display electrode having excellent shape accuracy and a fine electrode pattern applied to a display substrate so as to replace a transparent electrode, and a display electrode having the electrode pattern formed thereby.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 절연필름에 드라이 필름을 적층하는 단계와, 상기 드라이 필름이 적층된 절연필름에 노광 공정을 수행하는 단계와, 상기 노광 공정 수행 후, 현상 공정을 수행하여 상기 절연필름에 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계와, 상기 드라이 필름 패턴 사이에 나노 실버 페이스트를 채우고 건조하는 단계와, 상기 나노 실버 페이스트의 건조 후, 상기 드라이 필름 패턴을 박리하여 상기 절연필름에 나노 실버 페이스트로 이루어진 전극패턴을 형성하는 단계, 및 상기 절연필름에 형성한 상기 전극패턴을 디스플레이 기판에 전사하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, including: laminating a dry film on an insulating film; performing an exposure process on the insulating film on which the dry film is laminated; A step of forming a dry film pattern on the insulating film by performing a developing process after the nano silver paste is dried, a step of filling and drying a nano silver paste between the dry film pattern and drying, Forming an electrode pattern made of a nanosilver paste on the insulating film, and transferring the electrode pattern formed on the insulating film to a display substrate.

상기 건조는 120~150℃의 온도 범위에서 15~30분간 수행한다.The drying is carried out at a temperature ranging from 120 to 150 ° C for 15 to 30 minutes.

상기 나노 실버 페이스트는 스크린 프린팅 방법으로 인쇄하여 상기 드라이 필름 패턴 사이를 채운다.The nano silver paste is printed by a screen printing method to fill the spaces between the dry film patterns.

상기 절연필름에 드라이 필름을 적층하는 단계는, 롤로 압착하는 라미네이션 공정을 통해 상기 절연필름에 상기 드라이필름을 적층한다.In the step of laminating the dry film on the insulating film, the dry film is laminated on the insulating film through a lamination process in which a roll is pressed.

상기 절연필름은 일면에 점착층이 형성되어 있는 PI 필름, PEN 필름, PET 필름, PC 필름, PSS 필름 중 어느 하나이다.The insulating film is any one of a PI film, a PEN film, a PET film, a PC film, and a PSS film having a pressure-sensitive adhesive layer formed on one side thereof.

상기 전극패턴의 선폭은 10~15㎛ 이하이다.The line width of the electrode pattern is 10 to 15 mu m or less.

본 발명은 절연필름에 형성한 드라이 필름 패턴 사이에 나노 실버 페이스트를 스크린 프린팅하여 채우고 낮은 온도에서 건조하여 전극패턴을 형성하므로 절연필름의 신축 등 손상이 발생하지 않고 전극패턴의 형상 정밀도가 우수하여 선폭이 15㎛ 이하인 미세 전극 패턴의 구현이 가능하다. In the present invention, since nano silver paste is screen printed and filled between dry film patterns formed on an insulating film and dried at a low temperature to form an electrode pattern, damage such as elongation and contraction of an insulating film does not occur and the shape precision of the electrode pattern is excellent, It is possible to realize a fine electrode pattern having a size of 15 mu m or less.

미세 전극 패턴의 구현이 가능하면 투명전극을 사용하지 않고도 투명한 전극과 동일한 효과를 가지므로 투명전극을 대체하여 디스플레이 기판에 적용이 가능하다.If a microelectrode pattern can be realized, the same effects as those of a transparent electrode can be achieved without using a transparent electrode, so that it can be applied to a display substrate instead of a transparent electrode.

또한, 본 발명은 플랙시블한 절연필름에 회로패턴을 형성하고 이를 다시 플랙시블한 디스플레이 기판에 전사하여 전극을 형성하므로 전사시 롤 대 롤 작업이 가능하여 디스플레이 기판의 대량 생산이 가능하다. In addition, the present invention forms a circuit pattern on a flexible insulating film and transfers it to a flexible display substrate to form an electrode, so that it is possible to perform a roll-to-roll operation during transfer, thereby enabling mass production of a display substrate.

따라서, 본 발명은 디스플레이 기판의 불량을 최소화하면서도 생산성을 높일 수 있는 효과를 기대할 수 있다.Therefore, it is expected that the present invention can improve the productivity while minimizing the defects of the display substrate.

도 1은 본 발명에 의한 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법을 보인 과정도.
도 2는 본 발명에 의한 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법을 보인 구성도.1 is a process diagram showing a method of forming an electrode pattern for a display electrode according to the present invention.
2 is a view showing a method of forming an electrode pattern for a display electrode according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 절연필름(5)에 드라이 필름(7)을 적층하는 단계(S1)와, 드라이 필름(7)이 적층된 절연필름(5)에 노광 공정을 수행하는 단계(S2)와, 노광 공정 수행 후, 현상 공정을 수행하여 절연필름(5)에 드라이 필름 패턴(13)을 형성하는 단계(S3)와, 드라이 필름 패턴(13) 사이에 나노 실버 페이스트(15)를 채우고 건조하는 단계(S4)와, 나노 실버 페이스트(15)의 건조 후, 드라이 필름 패턴(13)을 박리하여 절연필름(5)에 나노 실버 페이스트(15)로 이루어진 전극패턴(19)을 형성하는 단계(S5)와, 절연필름(5)에 형성한 전극패턴(19)을 디스플레이 기판(21)에 전사하는 단계(S6)를 포함한다.1 and 2, a method for forming an electrode pattern for a display electrode according to the present invention includes the steps of: (S1) laminating a dry film 7 on an insulating film 5; (S3) of forming a dry film pattern (13) on the insulating film (5) by performing a step (S2) of performing an exposure process on the insulating film (5) A step S4 of filling and drying the nano silver paste 15 between the film patterns 13 and drying the nano silver paste 15 and peeling the dry film pattern 13 to form the nano silver paste 15 on the insulating film 5, A step S5 of forming an electrode pattern 19 made of a paste 15 and a step S6 of transferring the electrode pattern 19 formed on the insulating film 5 to the display substrate 21. [

전극패턴의 선폭은 10~15㎛ 이하이다. 선폭이 15㎛ 이하인 미세 전극 패턴의 구현이 가능하면, 투명전극을 사용하지 않고도 투명한 전극과 동일한 효과를 가지므로 투명전극을 대체하여 디스플레이 기판에 적용이 가능하다.The line width of the electrode pattern is 10 to 15 mu m or less. If a microelectrode pattern having a line width of 15 μm or less can be realized, it can be applied to a display substrate instead of a transparent electrode because it has the same effect as a transparent electrode without using a transparent electrode.

절연필름(5)에 드라이 필름을 적층하는 단계(S1)는, 롤(Roll)(1) 투 롤(roll)(3)을 이용한 라미네이션 공정을 이용한다.A step (S1) of laminating a dry film on the insulating film (5) uses a lamination process using a roll (1) roll (3).

절연필름(5)과 드라이 필름(7) 사이에 점착필름을 삽입하고 가열 가압 롤로 점착필름을 녹여 절연필름(5)에 드라이 필름(7)을 적층하거나, 절연필름(5)에 점착제를 도포하고 건조시킨 후 점착상태에서 가압 롤로 드라이 필름(7)을 절연필름(5)에 적층할 수 있다.An adhesive film is inserted between the insulating film 5 and the dry film 7 and the adhesive film is melted with a hot pressing roll to laminate the dry film 7 on the insulating film 5 or an adhesive agent is applied to the insulating film 5 After drying, the dry film 7 can be laminated on the insulating film 5 with a pressure roll in an adhered state.

또는, 절연필름(5)에 점착제를 도포하고 건조시킨 후, 절연필름(5)과 드라이 필름(7)을 밀착시키면서 가열 가압 롤 사이를 통과시켜 절연필름(5)에 드라이 필름(7)을 적층할 수 있다.Alternatively, after the pressure sensitive adhesive is applied to the insulating film 5 and dried, the dry film 7 is laminated on the insulating film 5 by passing the insulating film 5 and the dry film 7 while passing them between the heating and pressing rolls can do.

절연필름(5)은 플랙시블(flexible)한 소재를 사용한다. 예를 들어, 절연필름은 일면에 점착제를 도포하여 점착층(5a)이 형성되어 있는 PI 필름, PEN 필름, PET 필름, PC 필름, PSS 필름 중 선택된 하나를 사용할 수 있다. The insulating film 5 uses a flexible material. For example, the insulating film may be a selected one of a PI film, a PEN film, a PET film, a PC film, and a PSS film having an adhesive layer 5a formed on one side thereof.

점착층은 아래에서 설명될 접착층에 비해서는 부착력이 약하다.The adhesive layer is weaker in adhesion than the adhesive layer described below.

드라이 필름(7)은 미세 전극패턴을 구현하기 위해 사용한다. 드라이 필름(7)을 사용하는 경우, 감광물질을 도포하는 경우에 비해 미세 전극패턴 구현이 용이하다.The dry film 7 is used to realize a fine electrode pattern. When the dry film 7 is used, the patterning of the fine electrode is easier than in the case of applying the photosensitive material.

드라이 필름(7)이 적층된 절연필름(5)에 노광 공정을 수행하는 단계(S2)는, 필요한 회로가 될 부분의 패턴 이미지 재현을 위한 것이다. Step S2 of performing an exposure process on the insulating film 5 on which the dry film 7 is laminated is for reproducing a pattern image of a portion to be a necessary circuit.

드라이 필름(7)의 상부에 패턴 형성을 위한 마스크(9)를 배치하고, 노광기를 이용하여 자외선(11)을 조사하면 자외선(11)을 받은 부분에 경화반응이 일어난다. 노광은 케미컬 램프, 메탈 할로겐 등의 광원이 사용될 수 있다. When a mask 9 for pattern formation is disposed on the top of the dry film 7 and an ultraviolet ray 11 is irradiated using an exposure machine, a curing reaction occurs in a portion receiving the ultraviolet ray 11. As the exposure, a light source such as a chemical lamp or a metal halide may be used.

노광 공정 수행 후, 현상 공정을 수행하여 절연필름(5)에 드라이 필름 패턴(13)을 형성하는 단계(S3)는, 드라이 필름(7)의 경화되지 않은 부분을 현상액으로 용해, 제거시키고 드라이 필름(7)의 경화된 부분을 남게 하여 절연필름(5)에 기본회로인 드라이 필름 패턴(13)을 형성하는 것이다.The step (S3) of forming the dry film pattern 13 on the insulating film 5 by performing the developing process after the exposure process is carried out by dissolving and removing the uncured portion of the dry film 7 as a developing solution, The dry film pattern 13, which is a basic circuit, is formed on the insulating film 5 by leaving the cured portion of the insulating film 7 thereon.

노광 공정 후, 현상 공정을 수행하면 드라이 필름(7)의 경화되지 않은 부분(노광시에 자외선을 받지 않은 부분)이 현상액에 의해 용해 제거된다. 드라이 필름(7)의 경화되지 않은 부분이 현상액에 의해 용해 제거되면, 절연필름(5)에 경화부인 드라이 필름 패턴(13)이 형성된다. When the development process is performed after the exposure process, the unhardened portion (the portion not exposed to ultraviolet light during exposure) of the dry film 7 is dissolved and removed by the developer. When the unhardened portion of the dry film 7 is dissolved and removed by the developer, the dry film pattern 13, which is a cured portion, is formed on the insulating film 5.

현상액은 염화구리(CuCl2)가 사용될 수 있다. 바람직하게는, 현상액은 염화구리 2% 수용액이 사용될 수 있다. 현상 후에는 현상액 제거를 위한 수세 과정이 수행된다. Copper chloride (CuCl 2 ) may be used as the developer. Preferably, a 2% aqueous solution of copper chloride can be used as the developer. After the development, a washing process for removing the developer is performed.

수세는 30℃ 이하의 물을 사용한다. 물의 온도가 30℃를 초과하면 드라이 필름 패턴(13)의 박리 원인이 된다. 수세 과정 후에는 건조 과정이 수행될 수 있다.Water is used at 30 ° C or less. If the temperature of the water exceeds 30 캜, the dry film pattern 13 may be peeled off. After the wash process, the drying process can be performed.

드라이 필름 패턴(13) 사이에 나노 실버 페이스트(15)를 채우고 건조하는 단계(S4)는, 스크린 프린팅 방식으로 드라이 필름 패턴(13) 사이에 나노 실버 페이스트(15)를 채운다. Step S4 of filling and drying the nano silver paste 15 between the dry film patterns 13 fills the nano silver paste 15 between the dry film patterns 13 by a screen printing method.

스크린 프린팅 방식은 스퍼터링 방식과 달리 고온 소결 공정이 요구되지 않으므로 고온 치수 안정성 문제가 발생하지 않고 제조공정 및 제조 비용을 절감할 수 있으며, 미세 전극패턴 형성에 용이하다.Since the screen printing method does not require a high-temperature sintering process unlike the sputtering method, the manufacturing process and manufacturing cost can be reduced without problems of high-temperature dimensional stability, and it is easy to form a fine electrode pattern.

또한, 스크린 프린팅 방식은 대면적 인쇄가 가능하고 공정이 간단하다.Also, the screen printing method is capable of large area printing and the process is simple.

나노 실버 페이스트(15)는 입경 1㎛이하인 은 나노 분말을 포함하는 저융점 바인더이다. 나노 실버 페이스트(15)는 은 나노 분말 외에도 은 나노 입자의 균일 분산을 위한 분산제 및 소포제, 탈포제 등을 더 포함할 수 있다.The nano silver paste 15 is a low melting point binder containing silver nano powder having a particle size of 1 탆 or less. In addition to the silver nanopowder, the nanoparticle paste 15 may further include a dispersing agent for uniform dispersion of the silver nanoparticles, a defoaming agent, a defoaming agent, and the like.

나노 실버 페이스트(15)를 스크린 프린팅하여 드라이 필름 패턴(13) 사이에 채운 후에는 나노 실버 페이스트(15)를 건조하는 과정이 수행된다. After the nano silver paste 15 is screen printed and filled between the dry film patterns 13, the process of drying the nano silver paste 15 is performed.

나노 실버 페이스트는 저온 소결 공정에 의해 건조 가능하다.The nano silver paste can be dried by a low temperature sintering process.

건조는 열풍을 이용할 수도 있으나, 형상 정밀도를 높이기 위해 근적외선을 방사하여 수행한다. Drying may be carried out by radiating near-infrared rays to enhance the shape accuracy, though hot air may be used.

근적외선 방사에 의한 나노 실버 페이스트(15)의 건조는 균일하고 빠른 건조로 인해 전극패턴의 형상 정밀도를 높이고 표면 상태를 우수하게 한다.The drying of the nanosilver paste (15) by the near-infrared radiation improves the shape precision of the electrode pattern and improves the surface condition due to uniform and quick drying.

근적외선은 근적외선 램프를 이용하여 방사하며, 근적외선을 방사하기 위한 광원으로는 텅스텐 램프, 중적외선 램프, 글로바, 원적외선 램프, 고압수은 램프 중 선택된 하나 이상이 사용될 수 있다. 여기서, 글로바는 탄화규소를 소결한 막대로서 전류를 흐르게 하여 1000℃ 정도에서 사용하는 적외선 광원이다. The near-infrared ray is emitted using a near-infrared lamp. As the light source for emitting the near-infrared ray, one or more selected from a tungsten lamp, a mid infrared ray lamp, a globe, a far infrared ray lamp, and a high pressure mercury lamp may be used. Here, Globar is an infrared light source which is used at a temperature of about 1000 占 폚 by flowing electric current as a rod sintered with silicon carbide.

근적외선은 120~150℃의 온도로 15~30분간 방사한다. 이는 열풍을 이용하여 건조하는 방법에 비해 약 30℃ 낮은 온도에서 동일한 저항 특성을 구현한다. 이에 따라 동일 건조 조건이라면 근적외선의 온도를 낮추어 절연필름에 영향을 주지 않고 스크린 프린팅된 전극패턴만을 건조하여 경화함으로써 절연필름의 신축 또는 손상을 방지할 수 있다.Near infrared rays are radiated at a temperature of 120 to 150 ° C for 15 to 30 minutes. This achieves the same resistance characteristic at about 30 ° C lower than the drying method using hot air. Accordingly, in the same drying condition, the temperature of the near infrared rays is lowered to dry only the screen-printed electrode pattern without affecting the insulating film, and thereby the insulating film can be prevented from being elongated or damaged.

절연필름(5)에 형성된 전극패턴(19)에 근적외선을 방사하여 건조시키는 단계에서, 흡인수단을 더 추가하여, 근적외선 램프에 의한 열이 나노 실버 페이스트(15)에 도달하지 않도록 할 수 있다. It is possible to prevent the heat due to the near infrared ray lamp from reaching the nano silver paste 15 by further adding a suction means in the step of radiating and drying the near infrared ray to the electrode pattern 19 formed on the insulating film 5. [

흡인수단은 근적외선 램프에서 방사되는 미세한 열을 흡인하여 절연필름(5)의 신축 또는 손상을 방지한다. 흡인수단은 예를 들어, 모터에 연동하여 작동되는 흡인팬일 수 있다.The suction means sucks the minute heat radiated from the near-infrared lamp to prevent elongation or damage of the insulating film (5). The suction means may be, for example, a suction fan operated in conjunction with a motor.

나노 실버 페이스트(15)를 사용하여 스크린 프린팅(17)법으로 전극패턴(19)을 형성하고 가열온도 120~150℃ 온도 범위에서 나노 실버 페이스트(15)를 건조하면 절연필름(5)의 손상이 방지되고 생산성을 높일 수 있다.If the electrode pattern 19 is formed by the screen printing 17 using the nano silver paste 15 and the nano silver paste 15 is dried at the heating temperature of 120 to 150 ° C, And productivity can be improved.

나노 실버 페이스트(15)의 건조가 완료되면, 드라이 필름 패턴(13)을 박리하여 절연필름(5)에 나노 실버 페이스트(15)로 이루어진 전극패턴(19)을 형성한다.When the drying of the nano silver paste 15 is completed, the dry film pattern 13 is peeled off to form an electrode pattern 19 made of the nano silver paste 15 on the insulating film 5.

드라이 필름 패턴(13)을 박리하여 절연필름(5)에 나노 실버 페이스트(15)로 이루어진 전극패턴(19)을 형성하는 단계(S5)는, 드라이 필름 패턴(13)을 박리하여 절연필름(5)에 돌출된 전극패턴(19)만 남기는 것이다.The step S5 of forming the electrode pattern 19 made of the nano-silver paste 15 on the insulating film 5 by peeling the dry film pattern 13 peels the dry film pattern 13 to form the insulating film 5 Only the electrode pattern 19 protruding from the electrode pattern 19 is left.

박리는 절연필름(5)의 드라이 필름 패턴(13)을 박리액으로 제거하는 공정이다. 박리액은 1~5%의 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨(KOH)이 사용될 수 있다. 드라이 필름 패턴(13)의 박리 후에는 박리액 제거를 위한 세정, 건조 과정이 수행된다.The peeling is a step of removing the dry film pattern 13 of the insulating film 5 with the peeling liquid. The removing solution may be 1 to 5% of sodium hydroxide (NaOH) or potassium hydroxide (KOH). After the dry film pattern 13 is peeled off, a cleaning and drying process for removing the peeling liquid is performed.

드라이 필름 패턴(13)이 박리액에 의해 제거되면 절연필름(5)에 나노 실버 페이스트(15)로 이루어진 전극패턴이 형성된다. 전극패턴(19)은 선폭이 미세한 미세 전극패턴이다. When the dry film pattern 13 is removed by the peeling liquid, an electrode pattern made of the nano silver paste 15 is formed on the insulating film 5. The electrode pattern 19 is a fine electrode pattern having a fine line width.

절연필름(5)에 형성한 전극패턴(19)을 디스플레이 기판(21)에 전사하는 단계(S6)는, 디스플레이 기판(21)에 접착층(21a)을 부착하고, 접착층(21a)이 있는 디스플레이 기판에 전극패턴(19)이 형성된 절연필름(5)을 일치시키고 압착하여 수행한다.The step S6 of transferring the electrode pattern 19 formed on the insulating film 5 to the display substrate 21 is performed by attaching the adhesive layer 21a to the display substrate 21 and attaching the display substrate 21 with the adhesive layer 21a And the insulating film 5 on which the electrode pattern 19 is formed is pressed and adhered.

절연필름(5)의 전극패턴(19)을 디스플레이 기판(21)에 전사한 후에는, 디스플레이 기판(21)에서 절연필름(5)을 분리한다. 절연필름(5)의 분리시 디스플레이 기판(21)과 전극패턴(19)의 강한 부착력으로 인해 전극패턴(19)과 절연필름(5)이 분리되지 않는 전사 불량이 발생하지는 않는다.After the electrode pattern 19 of the insulating film 5 is transferred to the display substrate 21, the insulating film 5 is detached from the display substrate 21. The separation of the insulating film 5 does not cause a failure in transfer which does not separate the electrode pattern 19 and the insulating film 5 due to strong adhesion between the display substrate 21 and the electrode pattern 19.

절연필름(5)과 전극패턴(19)은 점착층(5a)으로 부착되고 디스플레이 기판(21)과 전극패턴(19)은 접착층(21a)으로 부착되므로, 디스플레이 기판(21)과 전극패턴(19)의 부착력이 절연필름(5)과 전극패턴(19)의 부착력에 비해 높다. 따라서 전사 후, 절연필름(5)과 전극패턴(19)의 분리가 용이하다.The insulating film 5 and the electrode pattern 19 are attached to the adhesive layer 5a and the display substrate 21 and the electrode pattern 19 are attached to the adhesive layer 21a. ) Is higher than that of the insulating film (5) and the electrode pattern (19). Therefore, after the transfer, separation of the insulating film 5 and the electrode pattern 19 is easy.

그리고, 절연필름(5)에 형성한 전극패턴(19)은 플랙시블한 디스플레이 기판(21)에 전사시 롤(Roll) 대 롤(Roll) 작업이 가능하여 디스플레이 기판(21)에 산화인듐주석을 증착하고 에칭을 통해 전극패턴을 형성하는 기존의 방법에 비해 디스플레이 기판의 대량 생산이 가능하다.The electrode pattern 19 formed on the insulating film 5 can be roll-rolled on the flexible display substrate 21 to transfer indium tin oxide It is possible to mass-produce a display substrate as compared with the conventional method of forming an electrode pattern through deposition and etching.

본 발명의 권리범위는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다. The scope of the present invention is not limited to the embodiments described above, but may be defined by the scope of the claims, and those skilled in the art may make various modifications and alterations within the scope of the claims It is self-evident.

1,3:롤 5:절연필름
7:드라이 필름 9:마스크
11:자외선 13:드라이 필름 패턴
15:나노 실버 페이스트 17:스크린 프린팅
19:전극패턴 21:디스플레이 기판
5a:점착층 21a:접착층1,3: Roll 5: Insulation film
7: Dry film 9: Mask
11: ultraviolet ray 13: dry film pattern
15: Nano silver paste 17: Screen printing
19: electrode pattern 21: display substrate
5a: Adhesive layer 21a: Adhesive layer

Claims (7)

절연필름에 드라이 필름을 적층하는 단계;
상기 드라이 필름이 적층된 절연필름에 노광 공정을 수행하는 단계;
상기 노광 공정 수행 후, 현상 공정을 수행하여 상기 절연필름에 드라이 필름 패턴을 형성하는 단계;
상기 드라이 필름 패턴 사이에 나노 실버 페이스트를 채우고 건조하는 단계;
상기 나노 실버 페이스트의 건조 후, 상기 드라이 필름 패턴을 박리하여 상기 절연필름에 나노 실버 페이스트로 이루어진 전극패턴을 형성하는 단계; 및
상기 절연필름에 형성한 상기 전극패턴을 디스플레이 기판에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.Laminating a dry film on an insulating film;
Performing an exposure process on the insulating film on which the dry film is laminated;
Forming a dry film pattern on the insulating film by performing a developing process after performing the exposure process;
Filling and drying the nanosilver paste between the dry film patterns;
Forming an electrode pattern made of a nanosilver paste on the insulating film by peeling the dry film pattern after drying the nano silver paste; And
And transferring the electrode pattern formed on the insulating film to a display substrate. 청구항 1에 있어서,
상기 건조는 120~150℃의 온도 범위에서 15~30분간 수행하는 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.The method according to claim 1,
Wherein the drying is performed at a temperature ranging from 120 to 150 ° C for 15 to 30 minutes. 청구항 1에 있어서,
상기 나노 실버 페이스트는 스크린 프린팅 방법으로 인쇄하여 상기 드라이 필름 패턴 사이를 채우는 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.The method according to claim 1,
Wherein the nano silver paste is printed by a screen printing method to fill the spaces between the dry film patterns. 청구항 1에 있어서,
상기 절연필름에 드라이 필름을 적층하는 단계는,
롤로 압착하는 라미네이션 공정을 통해 상기 절연필름에 상기 드라이필름을 적층하는 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of laminating the dry film on the insulating film comprises:
Wherein the dry film is laminated on the insulating film through a lamination process in which the electrode is pressed with a roll. 청구항 1에 있어서,
상기 절연필름은 일면에 점착층이 형성되어 있는
PI 필름, PEN 필름, PET 필름, PC 필름, PSS 필름 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.The method according to claim 1,
Wherein the insulating film has an adhesive layer formed on one surface thereof
A PI film, a PEN film, a PET film, a PC film, and a PSS film. 청구항 1에 있어서,
상기 전극패턴의 선폭은 10~15㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 디스플레이전극용 전극패턴 형성방법.The method according to claim 1,
Wherein the line width of the electrode pattern is 10 to 15 mu m or less. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 의해 형성된 전극패턴을 구비하는 디스플레이전극.


A display electrode comprising an electrode pattern formed by any one of claims 1 to 6.


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