KR20140097000A

KR20140097000A - Holder for scribing wheel, holder unit and scribing apparatus

Info

Publication number: KR20140097000A
Application number: KR1020140003149A
Authority: KR
Inventors: 토모키 나카가키
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2013-01-29
Filing date: 2014-01-10
Publication date: 2014-08-06
Also published as: JP2014144889A; CN103963177A; KR102165055B1; JP6013211B2; TWI576321B; TW201429901A; CN103963177B

Abstract

Provided are a holder for a scribing wheel and a scribing apparatus which suppresses irregular rotation of a pin by improving the rotating properties of the pin supporting free rotation of the scribing wheel. A holder comprises a body with pin holes (34a, 34b) supporting a cylindrical pin (50) supporting the free rotation of the scribing wheel, and the pin holes (34a, 34b) comprises a diamond member (60) arranged on the location in which the side of the pin (50) is contacted.

Description

HOLDER FOR SCRIBING WHEEL, HOLDER UNIT AND SCRIBING APPARATUS BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지(holding)하는 스크라이빙 휠용 홀더, 홀더 유닛 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holder, a holder unit, and a scribe device for a scribing wheel for rotatably holding a scribing wheel for forming a scribing line on a brittle material substrate such as a glass substrate .

취성 재료 기판을 분단(dividing)하는 스크라이브 장치로서, 스크라이빙 휠의 핀 홀에 핀을 삽입하여, 이 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 구성의 것이 있다. There is a scribing apparatus for dividing a brittle material substrate by inserting a pin into a pin hole of a scribing wheel to support the scribing wheel in a freely rotatable manner.

특허문헌 1에는, 핀을 삽입하는 핀 홀이 홀더의 하부에 형성되어 있고, 스크라이빙 휠이 이 핀을 끼워 회전 가능하게 설치되어 있는 스크라이빙 장치가 개시되어 있다. 일반적으로, 핀 홀을 형성하는 스크라이브 홀더의 재료로서는 초경합금이나 탄소 공구강이 이용되고 있다. Patent Document 1 discloses a scribing device in which a pin hole for inserting a pin is formed in a lower portion of a holder, and a scribing wheel is rotatably fitted through the pin. Generally, cemented carbide and carbon tool steel are used as the material of the scribe holder for forming the pinhole.

일본공개특허공보 2012-10471호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-10471

그러나, 스크라이빙 휠의 핀 홀에 삽입되어, 이 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 핀은, 스크라이빙시, 스크라이빙 휠의 회전에 수반하여 회전하거나, 혹은 회전하지 않거나, 불규칙한 거동을 취한다. 이러한 불규칙한 핀의 회전은, 핀과 핀 홀과의 사이의 마찰의 영향 등에 의한 것이다. 이와 같이 핀이 불규칙하게 회전하면, 절단하는 대상으로의 스크라이빙 휠의 걸림성이 저하되거나, 절단하는 대상에 소위 칩핑(chipping) 등이 발생하거나 하여, 절단 품질이 저하된다.However, the pin which is inserted into the pin hole of the scribing wheel and rotatably supports the scribing wheel rotates, does not rotate, or irregularly moves upon scribing, as the scribing wheel rotates Lt; / RTI > Such irregular rotation of the pin is caused by friction between the pin and the pin hole. If the pins are irregularly rotated, the engaging ability of the scribing wheel to the object to be cut is reduced, or chipping or the like occurs in the object to be cut, and the cutting quality is lowered.

본 발명은, 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 핀의 회전성을 개선함으로써, 이 핀의 불규칙한 회전을 억제한 스크라이빙 휠용 홀더 및 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a holder for a scraping wheel and a scraping device which can suppress the irregular rotation of the pin by improving the rotatability of the pin that rotatably supports the scraping wheel.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠용 홀더는, 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 원기둥 형상의 핀을 지지하는 핀구멍이 형성되고, 상기 핀구멍은, 상기 핀의 측면과 접촉하는 위치에 다이아몬드부가 형성되어 있다. In order to achieve the above object, a holder for a scribing wheel according to an embodiment of the present invention is characterized in that a pin hole for supporting a cylindrical pin which rotatably supports the scribing wheel is formed, And a diamond portion is formed at a position in contact with the side surface of the pin.

이와 같이, 마찰 계수가 낮은 다이아몬드부를 핀의 측면과 접촉하는 위치에 형성해 둠으로써, 이 핀의 회전성이 향상되어, 핀의 불규칙한 회전이 억제된 스크라이빙 휠용 홀더를 제공할 수 있다. Thus, by forming the diamond portion having a low coefficient of friction at a position in contact with the side surface of the fin, the rotatability of the pin is improved, and the holder for the scribing wheel in which irregular rotation of the pin is suppressed can be provided.

본 발명의 다른 실시 형태에 따른 홀더 유닛은, 피(被)절단물을 절단하는 스크라이빙 휠과, 상기 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 원기둥 형상의 핀과, 상기 핀을 지지하는 핀구멍이 형성된 홀더를 갖고, 상기 핀구멍은, 상기 핀의 측면과 접촉하는 위치에 다이아몬드부가 형성되어 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a holder unit comprising: a scribing wheel that cuts a piece to be cut; a cylindrical pin that rotatably supports the scribing wheel; Wherein the pin hole has a diamond portion formed at a position in contact with the side surface of the pin.

이와 같이, 마찰 계수가 낮은 다이아몬드부를 핀의 측면과 접촉하는 위치에 형성해 둠으로써, 이 핀의 회전성이 향상되어, 핀의 불규칙한 회전이 억제된 홀더 유닛을 제공할 수 있다. Thus, by forming the diamond portion having a low coefficient of friction at a position in contact with the side surface of the pin, the rotatability of the pin is improved, and the holder unit in which irregular rotation of the pin is suppressed can be provided.

본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스크라이빙 장치는, 피절단물을 절단하는 스크라이빙 휠과, 상기 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지하는 원기둥 형상의 핀과, 상기 핀을 지지하는 핀구멍이 형성된 홀더를 갖고, 상기 핀구멍은, 상기 핀의 측면과 접촉하는 위치에 다이아몬드부가 형성되어 있는 홀더 유닛을 구비한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus comprising: a scribing wheel that cuts a material to be cut; a cylindrical pin that rotatably supports the scribing wheel; And the pin hole has a holder unit in which a diamond portion is formed at a position in contact with the side surface of the pin.

이와 같이, 마찰 계수가 낮은 다이아몬드부를 핀의 측면과 접촉하는 위치에 형성해 둠으로써, 이 핀의 회전성이 향상되어, 핀의 불규칙한 회전이 억제된 스크라이빙 장치를 제공할 수 있다. Thus, by forming the diamond portion having a low coefficient of friction at a position in contact with the side surface of the fin, the rotational property of the pin is improved, and the scribing device in which irregular rotation of the pin is suppressed can be provided.

도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 개략도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치가 갖는 홀더 조인트의 정면도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 사시도이다.
도 4는 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 측면도이다.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 정면도이다.
도 6은 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이빙 휠의 측면도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 측면도이다.
도 8은 제2 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 정면도이다.
도 9는 제3 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 측면도이다.
도 10은 제3 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 일부 확대 정면도이다. 1 is a schematic view of a scribing apparatus according to the first embodiment.
2 is a front view of a holder joint of the scribing apparatus according to the first embodiment.
3 is a perspective view of the holder unit according to the first embodiment.
4 is a partially enlarged side view of the holder unit in the first embodiment.
5 is a partially enlarged front view of the holder unit in the first embodiment.
6 is a side view of the scraping wheel in the first embodiment.
7 is a partially enlarged side view of the holder unit in the second embodiment.
8 is a partially enlarged front view of the holder unit in the second embodiment.
9 is a partially enlarged side view of the holder unit in the third embodiment.
10 is a partially enlarged front view of the holder unit according to the third embodiment.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 이용하여 설명한다. 단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 일 예를 나타내는 것이며, 본 발명을 이 실시 형태에 특정하는 것을 의도하는 것은 아니다. 본 발명은, 특허 청구의 범위에 포함되는 그 외의 실시 형태의 것에도 적응할 수 있는 것이다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted, however, that the embodiments described below are merely examples for embodying the technical idea of the present invention, and are not intended to specify the present invention in this embodiment. The present invention can be adapted to other embodiments included in the claims.

[제1 실시 형태][First Embodiment]

실시 형태에 따른 스크라이브 장치(10)의 개략도를 도 1에 나타낸다. 스크라이브 장치(10)는, 이동대(11)를 구비하고 있다. 그리고, 이 이동대(11)는, 볼 나사(13)와 나사 결합되어 있고, 모터(14)의 구동에 의해 이 볼 나사(13)가 회전함으로써, 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라 y축 방향으로 이동할 수 있게 되어 있다. A schematic diagram of a scribe apparatus 10 according to an embodiment is shown in Fig. The scribing apparatus 10 is provided with a movable table 11. [ The movable table 11 is screwed to the ball screw 13 and the ball screw 13 is rotated by the drive of the motor 14 to rotate the pair of guide rails 12a and 12b So that it can move in the y-axis direction.

이동대(11)의 상면에는, 모터(15)가 설치되어 있다. 이 모터(15)는, 상부에 위치하는 테이블(16)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하기 위한 것이다. 피(被)절단물로서의 취성 재료 기판(17)은, 이 테이블(16) 상에 올려놓여지고, 도시하지 않는 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 또한, 스크라이브의 대상이 되는 취성 재료 기판(17)으로서는, 유리 기판, 저온 소성 세라믹스나 고온 소성 세라믹스로 이루어지는 세라믹 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판, 석영 기판 등이다. 또한, 취성 재료 기판(17)은, 기판의 표면 또는 내부에 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시키거나 한 것이라도 좋다. 또한, 취성 재료 기판(17)은, 그의 표면에 취성 재료에 해당하지 않는 박막 등이 부착되어 있어도 상관없다. On the upper surface of the movable base 11, a motor 15 is provided. The motor 15 is for rotating the table 16 located on the upper side in the xy plane and positioning the table 16 at a predetermined angle. The brittle material substrate 17 as a workpiece to be cut is placed on the table 16 and supported by vacuum suction means or the like (not shown). As the brittle material substrate 17 to be scribed, a glass substrate, a ceramic substrate made of low temperature fired ceramics or high temperature fired ceramics, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, a quartz substrate, or the like is used. The brittle material substrate 17 may be formed by adhering a thin film or a semiconductor material on the surface or inside of the substrate. The brittle material substrate 17 may have a thin film or the like not corresponding to a brittle material adhered to the surface thereof.

스크라이브 장치(10)는, 취성 재료 기판(17)의 상방에, 취성 재료 기판(17)의 표면에 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18)를 구비하고 있다. 그리고, 스크라이브 장치(10)에는, 이동대(11)와 그 상부의 테이블(16)을 걸치도록, x축 방향을 따라 브리지(19)가, 지주(支柱; 20a, 20b)에 의해 걸쳐지도록 설치되어 있다.The scribing apparatus 10 is provided with two CCD cameras 18 for picking up an alignment mark formed on the surface of the brittle material substrate 17 above the brittle material substrate 17. The scribe device 10 is provided with a bridge 19 extending along the x-axis direction so as to extend across the movable table 11 and the table 16 thereabove by supporting columns 20a and 20b .

이 브리지(19)에는, 가이드(22)가 부착되어 있고, 스크라이브 헤드(21)가 가이드(22)를 따라 x축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 스크라이브 헤드(21)에는, 홀더 조인트(23)를 통하여, 홀더(30)가 부착되어 있다. A guide 22 is attached to the bridge 19 and a scribe head 21 is provided along the guide 22 so as to be movable along the x-axis direction. A holder 30 is attached to the scribe head 21 through a holder joint 23.

도 2는, 홀더(30)가 부착된 홀더 조인트(23)의 정면도이다. 도 3은, 홀더(30)의 사시도이다. 도 4는, 도 2의 A방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 측면의 일부를 확대한 도면이다. 도 5는, 도 4의 B방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 정면의 일부를 확대한 도면이다. 2 is a front view of the holder joint 23 to which the holder 30 is attached. Fig. 3 is a perspective view of the holder 30. Fig. 4 is an enlarged view of a part of the side surface of the holder 30 observed from the direction A in Fig. Fig. 5 is an enlarged view of a part of the front surface of the holder 30 observed from the direction B in Fig.

홀더 조인트(23)는 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(23a)와, 조인트부(23b)를 구비하고 있다. 스크라이브 헤드(21)에 홀더 조인트(23)가 장착된 상태에서, 이 회전축부(23a)에는, 홀더 조인트(23)를 회전 운동이 자유롭게 지지하기 위한 2개의 베어링(24a, 24b)이, 원통형의 스페이서(24c)를 개재하여 부착되어 있다. 또한, 도 2에는, 홀더 조인트(23)의 정면도가 나타남과 함께, 회전축부(23a)에 부착된 베어링(24a, 24b)과 스페이서(24c)의 단면도가 아울러 나타나 있다. The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape and includes a rotary shaft portion 23a and a joint portion 23b. Two bearings 24a and 24b for rotatably supporting the holder joint 23 are rotatably supported on the rotary shaft portion 23a in a state in which the holder joint 23 is mounted on the scribe head 21, And is attached via a spacer 24c. 2 also shows a front view of the holder joint 23 and a sectional view of the bearings 24a and 24b and the spacer 24c attached to the rotary shaft portion 23a.

원기둥형의 조인트부(23b)에는, 하단측(下端側)에 원형의 개구(25)를 구비한 내부 공간(26)이 형성되어 있다. 이 내부 공간(26)의 상부에 마그넷(27)이 매설(埋設)되어 있다. 조인트부(23b)에는, 홀더(30)와 스크라이빙 휠(40)과 핀(50)을 구비하는 홀더 유닛이 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 구체적으로는, 홀더 유닛의 홀더(30)가 조인트부(23b)의 마그넷(27)에 의해 착탈이 자유롭게, 내부 공간(26)에 삽입되도록 하여 부착되어 있다. In the cylindrical joint portion 23b, an inner space 26 having a circular opening 25 is formed at the lower end side (lower end side). A magnet 27 is buried in the upper portion of the inner space 26. A holder unit including a holder 30, a scribing wheel 40 and a pin 50 is detachably mounted on the joint portion 23b. More specifically, the holder 30 of the holder unit is attached to the inner space 26 by insertion and removal with the magnet 27 of the joint portion 23b.

이 홀더(30)는, 도 3에 나타내는 바와 같이 대략 원기둥형의 본체를 갖고, 이 홀더(30)의 상부에는, 위치 결정용의 부착부(31)가 형성되어 있다. 이 부착부(31)는, 홀더(30)의 상부를 절결(cut-away)하여 형성되어 있으며, 경사부(31a)와 평탄부(31b)를 구비하고 있다. As shown in Fig. 3, the holder 30 has a substantially cylindrical main body. On the upper portion of the holder 30, a positioning attachment portion 31 is formed. The attaching portion 31 is formed by cutting off the upper portion of the holder 30 and has an inclined portion 31a and a flat portion 31b.

그리고, 홀더(30)의 부착부(31)측을, 개구(25)를 통하여 내부 공간(26)으로 삽입한다. 그때, 홀더(30)의 상단측이 마그넷(27)에 의해 끌어당겨지고, 부착부(31)의 경사부(31a)가 내부 공간(26)을 지나는 평행 핀(28)과 접촉함으로써, 홀더 조인트(23)에 대한 홀더(30)의 위치 결정과 고정이 행해진다. 또한, 홀더 조인트(23)로부터 홀더(30)를 떼어낼 때에는, 홀더(30)를 하방으로 당김으로써, 용이하게 떼어낼 수 있다. The side of the attachment portion 31 of the holder 30 is inserted into the inner space 26 through the opening 25. The upper end side of the holder 30 is pulled by the magnet 27 and the inclined portion 31a of the attachment portion 31 comes into contact with the parallel pin 28 passing through the inner space 26, The positioning and fixing of the holder 30 with respect to the holder 23 is performed. Further, when the holder 30 is removed from the holder joint 23, the holder 30 can be easily removed by pulling it downward.

홀더(30)의 하부에는, 홀더(30)를 절결하여 형성된 지지 홈(32)이 형성되어 있다. 그리고, 지지 홈(32)을 형성하기 위해 절결한 홀더(30)의 하부에, 지지 홈(32)을 사이에 끼워 지지부(33a, 33b)가 위치하고 있다. 그리고, 이 지지 홈(32)에는, 스크라이빙 휠(40)이 회전이 자유롭게 배치되어 있다. At a lower portion of the holder 30, a support groove 32 formed by cutting off the holder 30 is formed. The support portions 33a and 33b are disposed at the lower portion of the holder 30 cut to form the support groove 32 with the support groove 32 interposed therebetween. In this support groove 32, a scribing wheel 40 is rotatably disposed.

또한, 지지부(33a, 33b)에는, 스크라이빙 휠(40)을 회전이 자유롭게 지지하기 위한 핀(50)을 지지하는 핀구멍(34a, 34b)이 각각 형성되어 있다. 홀더(30)의 지지부(33a, 33b)나 핀구멍(34a, 34b)은, 예를 들면 초경합금이나 탄소 공구강 등에 의해 구성된다. 또한, 핀구멍(34a)은, 내부에 단부(段部)를 갖고 있고, 지지 홈(32)측(도 4에 있어서 좌측)의 개구의 공경(孔徑)이, 다른 한쪽측(도 4에 있어서 우측)의 개구의 공경보다도 크게 되어 있다. The supporting portions 33a and 33b are formed with pin holes 34a and 34b for supporting the pin 50 for rotatably supporting the scribing wheel 40. [ The support portions 33a and 33b and the pin holes 34a and 34b of the holder 30 are made of, for example, a hard metal or a carbon tool steel. The pin hole 34a has an inside step portion and the hole diameter of the opening on the side of the support groove 32 (the left side in Fig. 4) Is larger than the pore size of the opening of the right side.

도 4에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(40)의 관통구멍(42)에 핀(50)을 관통시킴과 함께, 핀구멍(34a, 34b)에 핀(50)의 양단을 설치함으로써, 스크라이빙 휠(40)은 홀더(30)에 대하여 회전이 자유롭게 부착되게 된다. The pin 50 is passed through the through hole 42 of the scribing wheel 40 and both ends of the pin 50 are provided in the pin holes 34a and 34b as shown in Fig. The crybaby wheel 40 is rotatably attached to the holder 30.

핀(50)은 원기둥 형상의 부재로서, 일단이 첨두(尖頭) 형상으로 되어 있다. 그리고, 핀(50)을, 첨두 형상측으로부터 핀구멍(34b)으로 삽입하고, 관통구멍(42)을 관통하여, 첨두 형상 부분이 핀구멍(34a)의 단부와 접하도록 함으로써, 스크라이빙 휠(40)이 지지된다. 핀(50)은, 핀구멍(34a, 34b)에 의해 회전이 자유롭게 지지된다. The pin 50 is a cylindrical member and has one end in the form of a peak. The pin 50 is inserted from the peak side into the pin hole 34b and penetrates through the through hole 42 so that the peak portion is in contact with the end of the pin hole 34a, (40) is supported. The pin 50 is rotatably supported by the pin holes 34a and 34b.

지지부(33a, 33b)에는, 핀구멍(34a, 34b) 각각의 상방(핀구멍(34a, 34b)에 대하여, 테이블(16)과 반대측)에 삽입부(35a, 35b)가 형성되어 있다. 삽입부(35a, 35b)는 각각 원통 형상의 공간으로서, 이들은 하방(테이블(16)측)의 일부가 핀구멍(34a, 34b) 각각과 일체가 되도록 개구되어 있다. 삽입부(35a, 35b) 각각의 지지홈(32)측(도4에 있어서 내측)의 내부에는 단부(段部)가 형성되어 있고, 지지홈(32)측의 개구의 공경이, 다른 한쪽측(도 4에 있어서 외측)의 개구의 공경보다도 작게되어 있다. 또한, 삽입부(35a, 35b)의 공경은 후술하는 다이아몬드 부재(60)보다도 근소하게 작게 되어 있다. The support portions 33a and 33b are provided with insertion portions 35a and 35b on the upper side of each of the pin holes 34a and 34b (on the side opposite to the table 16 with respect to the pin holes 34a and 34b). Each of the insertion portions 35a and 35b is a cylindrical space and a portion of the downward portion (the side of the table 16) is opened to be integral with each of the pin holes 34a and 34b. An end portion of each of the insertion portions 35a and 35b is formed in the support groove 32 side (inside in FIG. 4) (Outside in Fig. 4). The pores of the insertion portions 35a and 35b are slightly smaller than the diamonds 60 described later.

삽입부(35a, 35b) 각각에는, 다이아몬드 부재(60)가 삽입되게 되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 다이아몬드 부재(60)는, 핀(50)보다도 길이가 짧은 것 이외에는 이 핀(50)과 동일하게 구성되어 있다. 구체적으로, 다이아몬드 부재(60)는 핀(50)과 동일한 재질 및 동일한 지름으로 이루어지는 원기둥 형상의 부재로서, 일단이 첨두 형상으로 되어 있다. 삽입부(35a, 35b)의 공경이 다이아몬드 부재(60)보다도 근소하게 작게 되어 있기 때문에, 다이아몬드 부재(60)를 첨두 형상측으로부터 삽입부(35a, 35b) 각각으로 압입(press-fit)에 의해 삽입하여, 첨두 형상 부분이 삽입부(35a, 35b) 내부의 단부와 접하도록 함으로써, 이 다이아몬드 부재(60)가 홀더(30)에 고정된다. 다이아몬드 부재(60)가 홀더(30)에 압입되어 있기 때문에, 다이아몬드 부재(60)는 핀(50)이 회전해도 함께 회전하는 일은 없다. 또한, 다이아몬드는, 철이나 초경합금, 탄소 공구강 등과 비교하여 마찰 계수가 낮은 물질이다. A diamond member 60 is inserted into each of the insertion portions 35a and 35b. In this embodiment, the diamond member 60 is configured in the same manner as the pin 50 except that the diamond member 60 is shorter than the pin 50. Specifically, the diamond member 60 is a cylindrical member having the same material and the same diameter as the fin 50, and has one end in a peak shape. The diameters of the insert portions 35a and 35b are slightly smaller than that of the diamond member 60 so that the diamond member 60 is press-fitted into the insert portions 35a and 35b from the peak side, The diamond member 60 is fixed to the holder 30 by inserting the peaks so that the peak portions are in contact with the ends of the insert portions 35a and 35b. Since the diamond member 60 is pressed into the holder 30, the diamond member 60 does not rotate together with the pin 50 rotating. Diamond is a material with a lower coefficient of friction than iron, cemented carbide, or carbon tool steel.

다이아몬드 부재(60)가 삽입부(35a, 35b) 각각에 삽입됨으로써, 핀(50)과 접촉하는 핀구멍(34a, 34b)의 정부(頂部)에 다이아몬드면이 형성되게 된다. The diamond member 60 is inserted into each of the insertion portions 35a and 35b so that a diamond surface is formed at the top of the pin holes 34a and 34b that are in contact with the pin 50. [

또한, 핀구멍(34a, 34b) 및 삽입부(35a, 35b) 각각의 지지 홈(32)측과는 반대측(도 4에 있어서 외측)의 개구를 덮는 커버를 형성하도록 하고, 이들 핀구멍(34a, 34b) 및 삽입부(35a, 35b)에 핀(50) 및 다이아몬드 부재(60)를 지지하도록 해도 좋다. A cover covering the openings of the pin holes 34a and 34b and the inserting portions 35a and 35b on the side opposite to the side of the support groove 32 may be formed and the pin holes 34a The pins 50 and the diamond members 60 may be supported by the insertion portions 35a and 35b and the insertion portions 35a and 35b.

여기에서, 스크라이브 장치(10)에 의한 스크라이브는, 스크라이빙 휠(40)을 테이블(16) 상의 취성 재료 기판(17)에 접촉시키면서, 이 스크라이빙 휠(40)을 회전시키도록 하여 행해진다. 이때, 핀(50)에는, 취성 재료 기판(17)의 반대측 방향으로 부하가 가해지게 된다. 이 때문에 스크라이브 중에는, 핀구멍(34a, 34b)의 내측 중 테이블(16)에 대하여 반대측(도 4, 5에 있어서 상방)과 원기둥 형상의 핀(50)의 측면이 주로 접촉하게 되어, 이 부분에서의 마찰이 보다 증대되기 쉽다. 핀(50)과 핀구멍(34a, 34b)과의 사이에 발생하는 마찰이 증대되면, 이에 기인하여 핀(50)이 회전하거나 회전하지 않거나 하는 불규칙한 거동을 하기 쉬워진다. Here, the scribing by the scribing apparatus 10 is performed by rotating the scribing wheel 40 while bringing the scribing wheel 40 into contact with the brittle material substrate 17 on the table 16 All. At this time, a load is applied to the pin 50 in the direction opposite to the brittle material substrate 17. Therefore, during scribing, the inner side of the pin holes 34a and 34b on the opposite side to the table 16 (upper side in Figs. 4 and 5) and the side surface of the cylindrical fin 50 are in contact with each other, Is more likely to increase. If the friction generated between the pin 50 and the pin holes 34a and 34b increases, the pin 50 may rotate or not rotate irregularly.

본 실시 형태에 있어서는, 핀구멍(34a, 34b)의 내측 중 테이블(16)에 대하여 반대측에는 다이아몬드 부재(60)가 배치되어 있고, 핀(50)은 스크라이빙 휠(40)의 회전 중에 테이블에 대하여 반대측의 측면에 있어서 이 다이아몬드 부재(60)와 접촉하게 되어 있다. 이 때문에, 핀(50)과 핀구멍(34a, 34b)과의 사이에서의 마찰이 증대되기 어려워져, 이 핀(50)의 회전성이 향상되어 핀(50)의 불규칙한 회전이 억제된다. A diamond member 60 is disposed on the opposite side of the inner side table 16 of the pin holes 34a and 34b and the pin 50 is fixed to the table 16 during rotation of the scribing wheel 40. In this embodiment, The diamond member 60 is in contact with the side surface on the opposite side to the diamond member 60. This makes it difficult to increase the friction between the pin 50 and the pin holes 34a and 34b to improve the rotatability of the pin 50 and to suppress the irregular rotation of the pin 50. [

또한, 본 실시 형태에 있어서, 다이아몬드 부재(60)는 홀더(30)에 대하여 고정되어 있다. 이 때문에, 다이아몬드 부재(60)가 홀더(30)에 대하여 고정되어 있지 않은 경우와 비교하여, 이 다이아몬드 부재(60) 자체의 동작이 규제된다. 다이아몬드 부재(60)가 움직이기 어렵고 진동하기 어려운 점에서, 이 다이아몬드 부재(60)의 동작에 기인한 핀(50)의 진동도 발생하기 어려워져 스크라이빙 휠의 회전이 안정된다. Further, in the present embodiment, the diamond member 60 is fixed to the holder 30. Therefore, as compared with the case where the diamond member 60 is not fixed to the holder 30, the operation of the diamond member 60 itself is restricted. The vibration of the pin 50 due to the operation of the diamond member 60 is less likely to occur and the rotation of the scraping wheel is stabilized because the diamond member 60 is difficult to move and hard to vibrate.

이와 같이, 홀더(30)는, 스크라이빙 휠(40)의 관통구멍(42)에 삽입되어 이 스크라이빙 휠(40)을 회전이 자유롭게 지지하는 핀(50)을 지지하는 핀구멍(34a, 34b)이 형성된 본체를 갖고, 이 핀구멍(34a, 34b)은, 핀(50)과 접촉하는 위치에 다이아몬드부가 형성되게 되어 있다. As described above, the holder 30 is inserted into the through hole 42 of the scribing wheel 40 to form a pin hole 34a for supporting the pin 50 that rotatably supports the scribing wheel 40 The pin holes 34a and 34b are formed with diamond portions at positions where they contact the pins 50. [

또한, 스크라이브 장치(10)는, 홀더(30)를 취성 재료 기판(17)의 하방에 배치하고, 이 취성 재료 기판(17)을 하방으로부터 스크라이빙하는 구성으로 해도 좋다. 이 경우, 다이아몬드 부재(60)는, 핀구멍(34a, 34b)의 하방에 배치된다. The scribe device 10 may be configured such that the holder 30 is disposed below the brittle material substrate 17 and the brittle material substrate 17 is scribed from below. In this case, the diamond member 60 is disposed below the pin holes 34a and 34b.

다음으로, 스크라이빙 휠(40)의 상세에 대해서 설명을 행한다. 도 6은, 홀더(30)의 선단에 부착되어 있는 스크라이빙 휠(40)의 측면도이다. Next, the details of the scribing wheel 40 will be described. Fig. 6 is a side view of the scribing wheel 40 attached to the tip of the holder 30. Fig.

이 스크라이빙 휠(40)은, 주로, 원판 형상의 기재(基材; 41)와, 기재(41)의 대략 중심에 형성된 핀(50)을 관통시키기 위한 관통구멍(42)과, 기재(41)의 원주부(圓周部)의 양단을 깎아 형성되어 있는 날부(43)를 구비하고 있다. This scribing wheel 40 mainly includes a base material 41 having a disk shape and a through hole 42 for passing through a pin 50 formed in the center of the base material 41, And a blade portion 43 formed by cutting off both ends of a circumferential portion of the blade 41.

기재(41)는, 초경합금, 스테인리스, 세라믹스, 소결 다이아몬드(Poly Crystalline Diamond, 이하, 「PCD」라고 함) 등, 경질인 것으로 이루어지는 원판 형상의 부재이다. 특히, 경도도 비교적 높은 초경합금 또는 PCD가 바람직하다. 본 실시 형태에 있어서는, 스크라이빙 휠(40)의 기재로서 초경합금을 이용하고 있다. 또한, 초경합금은, 탄화 텅스텐(텅스텐·카바이트)과 결합재(바인더)인 코발트(Co)를 혼합하여 소결한 것을 이용했다. 용도에 따라서 탄화 티탄(TiC)이나 탄화 탄탈(TaC) 등을 첨가하도록 해도 좋다. 또한, 관통구멍(42)은, 기재(41)의 대략 중심을 원형으로 깎아 형성되어 있다. The base material 41 is a disc-like member made of a hard material such as a cemented carbide, stainless steel, ceramics, and sintered diamond (hereinafter referred to as "PCD"). Particularly, a cemented carbide or PCD having a comparatively high hardness is preferable. In the present embodiment, a cemented carbide is used as the base material of the scribing wheel 40. As the cemented carbide, tungsten carbide (tungsten carbide) and cobalt (Co) as a binder (binder) were mixed and sintered. Titanium carbide (TiC), tantalum carbide (TaC), or the like may be added depending on the application. The through hole 42 is formed by cutting a substantially center of the substrate 41 into a circular shape.

날부(43)는, 원판 형상의 기재(41)의 원주부의 양단을 깎아 형성된 능선(44)과, 능선(44)의 양측의 경사면(45)을 구비하고 있다. The blade portion 43 has a ridge line 44 formed by cutting both ends of the circumferential portion of the disk-like base material 41 and sloped surfaces 45 on both sides of the ridge line 44.

다음으로, 스크라이빙 휠(40)의 치수에 대해서 설명한다. 스크라이빙 휠(40)의 외경은, 1.0∼10.0㎜, 바람직하게는 1.0∼5.0㎜의 범위이다. 스크라이빙 휠(40)의 외경이 1.0㎜보다 작은 경우에는, 스크라이빙 휠(40)의 취급성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 스크라이빙 휠(40)의 외경이 10.0㎜보다 큰 경우에는, 스크라이브시의 수직 크랙이 취성 재료 기판(17)에 대하여 깊게 형성되지 않는 경우가 있다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서, 스크라이빙 휠(40) 외경은 2.5㎜로 되어 있다. Next, the dimensions of the scribing wheel 40 will be described. The outer diameter of the scribing wheel 40 is in the range of 1.0 to 10.0 mm, preferably 1.0 to 5.0 mm. When the outer diameter of the scribing wheel 40 is smaller than 1.0 mm, the handling property of the scribing wheel 40 may be lowered. On the other hand, when the outer diameter of the scribing wheel 40 is larger than 10.0 mm, the vertical crack at the time of scribing may not be formed deeply with respect to the brittle material substrate 17. In this embodiment, the outer diameter of the scribing wheel 40 is 2.5 mm.

또한, 스크라이빙 휠(40)의 두께는, 0.4∼1.2㎜, 바람직하게는 0.4∼1.1㎜의 범위이다. 스크라이빙 휠(40)의 두께가 0.4㎜보다 작은 경우에는, 가공성 및 취급성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 스크라이빙 휠(40)의 두께가 1.2㎜보다 큰 경우에는, 스크라이빙 휠(40)의 재료 및 제조를 위한 비용이 높아진다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서는, 두께가 0.65㎜인 스크라이빙 휠(40)을 이용하고 있다. 또한, 스크라이빙 휠(40)의 두께에 대하여, 홀더(30)의 지지 홈(32)의 폭(지지부(33a)와 지지부(33b)와의 거리)은, 근소하게 커지고 있어, 예를 들면 스크라이빙 휠(40)의 두께가 0.65㎜인 경우, 지지 홈(32)의 폭은 대략 0.67㎜로 되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 스크라이빙 휠(40)의 관통구멍(42)의 공경은, 0.8㎜로 되어 있다. The thickness of the scribing wheel 40 is in the range of 0.4 to 1.2 mm, preferably 0.4 to 1.1 mm. When the thickness of the scribing wheel 40 is smaller than 0.4 mm, the workability and handleability may be deteriorated. On the other hand, when the thickness of the scribing wheel 40 is larger than 1.2 mm, the cost for the material and manufacturing of the scribing wheel 40 is increased. In this embodiment, a scribing wheel 40 having a thickness of 0.65 mm is used. The width of the support groove 32 of the holder 30 (the distance between the support portion 33a and the support portion 33b) is slightly larger than the thickness of the scribing wheel 40, When the thickness of the crybaby wheel 40 is 0.65 mm, the width of the support groove 32 is approximately 0.67 mm. In the present embodiment, the diameter of the through hole 42 of the scribing wheel 40 is 0.8 mm.

또한, 날부(43)의 날끝각은, 통상 둔각으로, 90∼160°, 바람직하게는 90∼140°의 범위이다. 또한, 날끝각의 구체적 각도는, 절단하는 취성 재료 기판(17)의 재질이나 두께 등에 따라서 적절하게 설정된다. The blade edge angle of the blade portion 43 is normally 90 to 160 deg., Preferably 90 to 140 deg., At an obtuse angle. The specific angle of the nose angle is appropriately set in accordance with the material and thickness of the brittle material substrate 17 to be cut.

다음으로, 핀(50) 및 다이아몬드 부재(60)의 상세에 대해서 설명한다. 핀(50)의 재료로서는, 스크라이빙 휠(40)의 기재(41)와 동일하게, 초경합금, 스테인리스, 세라믹스, PCD 등, 경질인 것이 이용된다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서는, 핀(50) 및 다이아몬드 부재(60) 각각의 재료로서 PCD가 이용되고 있다. Next, details of the fin 50 and the diamond member 60 will be described. The pin 50 is made of hard material such as cemented carbide, stainless steel, ceramics, or PCD, similar to the base material 41 of the scribing wheel 40. In the present embodiment, PCD is used as the material of each of the fin 50 and the diamond member 60. [

여기에서, 핀(50) 및 다이아몬드 부재(60) 각각의 재료인 PCD의 제조 방법에 대해서 서술한다. 또한, 상기와 같이 스크라이빙 휠(40)의 재료로서도 PCD를 이용하는 것이 가능하고, 이 경우도 동일한 제조 방법이 된다. Here, a manufacturing method of the PCD which is the material of each of the fin 50 and the diamond member 60 will be described. As described above, PCD can also be used as the material of the scribing wheel 40, and the same manufacturing method can be used in this case as well.

PCD는, 주로 다이아몬드 입자와, 잔부의 첨가제 및 결합재로 이루어지는 결합상(結合相)으로 만들어져 있다. 이 다이아몬드 입자의 평균 입자경은 1.5㎛ 이하의 것이 이용되고 있다. 그리고, PCD 중에 있어서의 다이아몬드의 함유량은 75.0∼95.0vol％의 범위이다. The PCD is mainly composed of a diamond phase and a bonding phase composed of an additive and a binder. The average particle diameter of the diamond particles is 1.5 占 퐉 or less. The content of diamond in the PCD ranges from 75.0 to 95.0 vol%.

첨가제로서는, 예를 들면, 텅스텐, 티탄, 니오브, 탄탈로부터 선택되는 적어도 1종 이상의 원소의 초미립자 탄화물이 적합하게 사용된다. PCD에 있어서의 초미립자 탄화물의 함유량은 0.3∼10.0vol％의 범위이며, 이 초미립자 탄화물은 1.0∼4.0vol％의 탄화 티탄과, 잔부의 탄화 텅스텐을 포함한다. As the additive, ultrafine carbide carbide of at least one element selected from among tungsten, titanium, niobium and tantalum is suitably used. The content of ultrafine carbide in the PCD is in the range of 0.3 to 10.0 vol%, and the ultrafine carbide contains 1.0 to 4.0 vol% of titanium carbide and the remainder of tungsten carbide.

결합재로서는, 통상, 철족 원소가 적합하게 사용된다. 철족 원소로서는, 예를 들면 코발트, 니켈, 철 등을 들 수 있고, 이 중에서도 코발트가 적합하다. 또한, PCD 중에 있어서의 결합재의 함유량은 바람직하게는 다이아몬드 및 초미립자 탄화물의 잔부로서, 더욱 바람직하게는 3.0∼20.5vol％의 범위이다. As the binder, an iron family element is suitably used. As the iron family element, for example, cobalt, nickel, iron and the like can be given, and among them, cobalt is suitable. The content of the binder in the PCD is preferably in the range of 3.0 to 20.5 vol%, more preferably as the remainder of the diamond and ultrafine carbide.

그리고, 우선, 전술한 다이아몬드 입자, 첨가제, 결합재를 혼합하고, 다이아몬드가 열역학적으로 안정이 되는 고온 및 초고압하에 있어서, 이들 혼합물을 소결시킨다. 이에 따라 PCD가 제조된다. 이 소결시에 있어서, 초고압 발생 장치의 금형 내의 압력은 5.0∼8.0㎬의 범위이며, 금형 내의 온도는 1500∼1900℃의 범위이다. First, the above-mentioned diamond particles, additives and binders are mixed, and these mixtures are sintered at a high temperature and an ultra-high pressure at which diamond is thermodynamically stable. Thus, a PCD is manufactured. In this sintering, the pressure in the mold of the ultra-high pressure generator is in the range of 5.0 to 8.0 kPa, and the temperature in the mold is in the range of 1500 to 1900 ° C.

이와 같이 하여 제조된 PCD로부터, 소망하는 길이의 원기둥이 절취된다. 그리고, 이 원기둥의 일단을 첨두 형상으로 깎음으로써 핀(50)이 제조된다. 또한, 핀(50)에 이용되는 원기둥과 비교하여 짧게 절취하고, 이 원기둥의 일단을 첨두 형상으로 깎음으로써 다이아몬드 부재(60)가 제조된다. 또한, 스크라이빙 휠(40)을 PCD에 의해 제조하는 경우이면, 제조된 PCD로부터 소망하는 반경이 되는 원판이 절취된다. 그리고, 이 원판의 주연부에 있어서, 양면측 각각을 깎음으로써 2개의 경사면(45)이 형성되어, 날부(43)를 갖는 스크라이빙 휠(40)이 제조된다. A cylinder of a desired length is cut out from the PCD thus produced. Then, the fin 50 is manufactured by cutting one end of the cylinder into a peak shape. In addition, the diamond member 60 is manufactured by shortly cutting a cylindrical member used in the fin 50, and cutting one end of the cylindrical member into a peak shape. Further, if the scribing wheel 40 is manufactured by a PCD, a disk having a desired radius is cut out from the manufactured PCD. Two sloped surfaces 45 are formed by cutting off both sides of the periphery of the disk to produce a scribing wheel 40 having a blade 43.

다이아몬드 부재(60)로서, 핀(50)과 길이가 상이한 것 이외에는 동일하게 구성되어 있는 것을 이용하도록 함으로써, 절취하는 원기둥의 길이를 변경하는 것을 제외하고, 양자에 대해서 동일하게 제조할 수 있다. 이 때문에, 다이아몬드 부재(60)를 제조하는 수고가 생략된다. 지지부(33a, 33b)에 삽입부(35a, 35b)를 형성함으로써 다이아몬드 부재(60)가 배치되게 되어, 핀구멍의 정부(頂部)로의 다이아몬드면의 형성이 보다 용이해진다. The diamond member 60 can be manufactured in the same manner except that the diameters of the cylindrical members to be cut are changed by using the diamond member 60 which is the same as that of the pin 50 except that the length thereof is different. For this reason, labor for manufacturing the diamond member 60 is omitted. The diamond members 60 are disposed by forming the insert portions 35a and 35b in the support portions 33a and 33b so that the formation of the diamond surface on the top of the pin hole can be facilitated.

본 실시 형태에 있어서는, 다이아몬드 부재(60)를 핀(50)의 둘레 방향에 대하여 상방의 1개소에 형성하고, 이들 핀(50)과 다이아몬드 부재(60)가 1개의 선 상에서 접촉하는 구성에 대해서 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 다이아몬드 부재를 핀(50)의 둘레 방향을 따르도록 하여 복수 형성하고, 핀(50)과 복수의 다이아몬드 부재(60)가 복수의 선 상에서 접촉하도록 해도 좋다. The present embodiment is characterized in that the diamond member 60 is formed at one position above the circumferential direction of the pin 50 and the pin 50 and the diamond member 60 are in contact with each other on one line A plurality of diamond members may be formed along the circumferential direction of the fins 50 so that the fins 50 and the plurality of diamond members 60 contact each other on a plurality of lines.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 삽입부(35a, 35b)를 지지부(33a, 33b) 중 어느 것에도 형성하고, 이들 삽입부(35a, 35b) 각각에 다이아몬드 부재(60)를 삽입하는 구성에 대해서 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 다이아몬드 부재(60)를 지지부(33a, 33b) 중 어느 한쪽에만 형성하도록 해도 좋다. In the above embodiment, the configuration in which the insertion portions 35a and 35b are formed in any one of the support portions 33a and 33b and the diamond member 60 is inserted into each of the insertion portions 35a and 35b The present invention is not limited to this, and the diamond member 60 may be formed on only one of the support portions 33a and 33b.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 다이아몬드 부재(60)를 홀더(30)에 고정하는 구성에 대해서 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 다이아몬드 부재(60)를 핀(50)의 회전에 따라 회전하도록 형성해도 좋다. 또한, 다이아몬드 부재(60)를 홀더(30)에 고정하는 구성에 대해서는, 압입 외에, 접착이나 납땜 등에 의해 고정해도 좋다. In the above-described embodiment, the configuration in which the diamond member 60 is fixed to the holder 30 has been described. However, the present invention is not limited thereto, and even if the diamond member 60 is formed to rotate in accordance with the rotation of the pin 50 good. The configuration for fixing the diamond member 60 to the holder 30 may be fixed by adhesion, brazing or the like in addition to press-fitting.

또한, 다이아몬드 부재(60)는, PCD에 의해 구성하는 것에서 바꾸어, 단결정 다이아몬드, 다결정 다이아몬드나 기재의 표면에 다이아몬드를 피복한 것을 이용하도록 해도 좋다. The diamond member 60 may be made of a single crystal diamond, a polycrystalline diamond, or a substrate coated with diamond on the surface thereof, instead of the PCD.

[제2 실시 형태][Second Embodiment]

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해서 설명한다. 제1 실시 형태와 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다. 제1 실시 형태에 있어서는 원기둥 형상의 다이아몬드 부재(60)를 이용하고 있는 것에 대하여, 제2 실시 형태에 있어서는 판 형상의 다이아몬드 부재(80)를 이용하고 있는 점에서 상이하다. Next, a second embodiment of the present invention will be described. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. The first embodiment differs from the first embodiment in that a cylindrical diamond member 60 is used, while the second embodiment uses a diamond member 80 in a plate shape.

도 7은, 도 2의 A방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 측면의 일부를 확대한 도면이다. 도 8은, 도 7의 B방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 정면의 일부를 확대한 도면이다. Fig. 7 is an enlarged view of a part of the side surface of the holder 30 observed from the direction A in Fig. Fig. 8 is an enlarged view of a part of the front surface of the holder 30 observed from the direction B in Fig.

제2 실시 형태의 홀더(30)의 지지부(33a, 33b)에는, 핀구멍(34a, 34b) 각각의 상방(핀구멍(34a, 34b)에 대하여, 테이블(16)과 반대측)에 삽입부(75a, 75b)가 형성되어 있다. 삽입부(75a, 75b)는 각각 직방체 형상의 공간으로, 이들은 하방(테이블(16)측)의 일부로서, 핀구멍(34a, 34b) 각각과 일체가 되도록 개구되어 있다. The supporting portions 33a and 33b of the holder 30 of the second embodiment are provided with insertion portions 34a and 34b on the upper side of the pin holes 34a and 34b (on the opposite side to the table 16 with respect to the pin holes 34a and 34b) 75a, and 75b are formed. Each of the insertion portions 75a and 75b is a rectangular parallelepiped space and is opened as a part of the lower portion (on the table 16 side) and integral with each of the pin holes 34a and 34b.

삽입부(75a, 75b) 각각에는, 다이아몬드 부재(80)가 삽입되게 되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 다이아몬드 부재(80)는 직방체 형상의 부재로서 형성되어 있다. 다이아몬드 부재(80)가 삽입부(75a, 75b) 각각에 삽입됨으로써, 핀(50)과 접촉하는 핀구멍(34a, 34b)의 정부에 다이아몬드 부재(80)의 일부(다이아몬드면)가 형성된다. A diamond member 80 is inserted into each of the insertion portions 75a and 75b. In the present embodiment, the diamond member 80 is formed as a member having a rectangular parallelepiped shape. The diamond member 80 is inserted into each of the insertion portions 75a and 75b so that a part of the diamond member 80 is formed at the corner of the pin holes 34a and 34b that are in contact with the pin 50. [

삽입부(75a, 75b) 및 다이아몬드 부재(80)가 직방체 형상으로 형성되어 있는 경우, 본 구성을 갖지 않는 경우(예를 들면, 다이아몬드 부재(80) 등이 원기둥 형상으로 형성되어 있는 경우)와 비교하여, 보다 용이한 구성으로 이 다이아몬드 부재(80) 자체의 움직임이 규제된다. 다이아몬드 부재(80)가 움직이기 어렵고 진동도 발생하기 어려운 점에서, 이 다이아몬드 부재(80)에 기인한 핀(50)의 진동도 발생하기 어려워져 스크라이빙 휠의 회전이 안정된다. In the case where the insert portions 75a and 75b and the diamond member 80 are formed in a rectangular parallelepiped shape and the case where the insert portions 75a and 75b are not provided (for example, when the diamond member 80 is formed in a columnar shape) So that the movement of the diamond member 80 itself is regulated by a more easily configured structure. The vibration of the pin 50 due to the diamond member 80 is also less likely to occur and the rotation of the scraping wheel is stabilized because the diamond member 80 is difficult to move and vibration is not easily generated.

[제3 실시 형태][Third embodiment]

다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 대해서 설명한다. 제1 실시 형태와 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다. 제1 실시 형태에 있어서는 원기둥 형상의 다이아몬드 부재(60)를 이용하고 있는 것에 대하여, 제3 실시 형태에 있어서는 핀구멍(34a, 34b)에 다이아몬드층(90)이 형성되어 있는 점에서 상이하다. Next, a third embodiment of the present invention will be described. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In the first embodiment, a cylindrical diamond member 60 is used. In the third embodiment, diamond layer 90 is formed in the pin holes 34a and 34b.

도 9는, 도 2의 A방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 측면의 일부를 확대한 도면이다. 도 10은, 도 9의 B방향으로부터 관찰한 홀더(30)의 정면의 일부를 확대한 도면이다. Fig. 9 is an enlarged view of a part of the side surface of the holder 30 observed from the direction A in Fig. 10 is an enlarged view of a part of the front surface of the holder 30 observed from the direction B in Fig.

제3 실시 형태의 홀더(30)의 핀구멍(34a, 34b)의 내부에는, 다이아몬드층(90)이 형성되어 있다. 다이아몬드층(90)은, 핀구멍(34a, 34b)의 내면 전체를, 예를 들면 화학 기상 증착법에 의해 다이아몬드막으로 피복하도록 하여 형성된다. A diamond layer 90 is formed in the pin holes 34a and 34b of the holder 30 of the third embodiment. The diamond layer 90 is formed by covering the entire inner surface of the pin holes 34a and 34b with a diamond film by, for example, chemical vapor deposition.

본 실시 형태에 있어서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(40)의 관통구멍(42)에 핀(50)을 관통시킴과 함께, 핀구멍(34a, 34b) 각각에 형성된 다이아몬드층(90)의 내측에 핀(50)의 양단을 설치함으로써, 스크라이빙 휠(40)이 홀더(30)에 대하여 회전이 자유롭게 부착되게 되어 있다. 9, the pin 50 is passed through the through hole 42 of the scribing wheel 40 and the diamond layer (not shown) formed in each of the pin holes 34a, 34b The scribing wheel 40 is rotatably attached to the holder 30 by providing both ends of the pin 50 on the inner side of the holder 30.

핀구멍(34a, 34b)이 다이아몬드층(90)을 개재하여 핀(50)을 지지하도록 함으로써, 이 핀(50)의 둘레 방향 전체에 마찰 계수가 낮은 다이아몬드가 배치되게 된다. 이 때문에, 본 구성을 갖지 않는 경우와 비교하여, 핀(50)과 핀구멍(34a, 34b)과의 사이에서의 마찰이 보다 증가하기 어려워져, 이 핀(50)이 회전하지 않게 되는 것이 억제된다. The pin holes 34a and 34b support the pin 50 via the diamond layer 90 so that diamond having a low coefficient of friction is disposed in the entire circumferential direction of the pin 50. [ Therefore, as compared with the case of not having this configuration, the friction between the pin 50 and the pin holes 34a, 34b is hardly increased, and the pin 50 is prevented from rotating do.

또한, 이들 실시 형태는 모두 스크라이빙 휠과 일체로서 이용되는 원통형의 홀더를 이용한 것이지만, 이에 한정하지 않고 핀구멍을 갖는 다른 형상의 홀더에도 동일하게 적용 가능하다. In addition, all of these embodiments use a cylindrical holder which is used integrally with a scribing wheel, but the present invention is not limited to this, and can be similarly applied to holders of other shapes having pin holes.

10 : 스크라이브 장치
11 : 이동대
12a : 안내 레일
13 : 볼 나사
14 : 모터
15 : 모터
16 : 테이블
17 : 취성 재료 기판
18 : 카메라
19 : 브리지
20a : 지주
21 : 스크라이브 헤드
22 : 가이드
23 : 홀더 조인트
23a : 회전축부
23b : 조인트부
24 : 홀더
24a : 베어링
24c : 스페이서
25 : 개구
26 : 내부 공간
27 : 마그넷
28 : 평행 핀
30 : 홀더
31 : 부착부
31a : 경사부
31b : 평탄부
32 : 지지 홈
33a : 지지부
33b : 지지부
34a, 34b : 핀구멍
35a, 35b : 삽입부
40 : 스크라이빙 휠
41 : 기재
42 : 관통구멍
43 : 날부
44 : 능선
45 : 경사면
50 : 핀
60 : 다이아몬드 부재
75a, 75b : 삽입부
80 : 다이아몬드 부재
90 : 다이아몬드층10: scribe device
11: Moving Base
12a: guide rail
13: Ball Screw
14: Motor
15: Motor
16: Table
17: brittle material substrate
18: Camera
19: Bridge
20a: Holding
21: Scribe head
22: Guide
23: Holder joint
23a:
23b: joint part
24: Holder
24a: bearing
24c: Spacer
25: aperture
26: Interior space
27: Magnet
28: parallel pin
30: Holder
31:
31a:
31b:
32: Support groove
33a:
33b:
34a, 34b:
35a, 35b:
40: Scraping wheel
41: substrate
42: Through hole
43:
44: ridge
45:
50: pin
60: Diamond member
75a, 75b:
80: Diamond member
90: Diamond layer

Claims

A pin hole for supporting a cylindrical pin which freely rotates the scribing wheel is formed,
Wherein the pin hole has a diamond portion formed at a position in contact with a side surface of the pin.

The method according to claim 1,
An inserting portion opened so as to be integral with the pin hole is formed,
And a diamond member inserted into the insertion portion to form the diamond portion.

3. The method of claim 2,
Wherein the diamond member is fixed to the insertion portion.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And the diamond portion is made of sintered diamond.

A scribing wheel for cutting the cut material,
A cylindrical pin which rotatably supports the scribing wheel,
And a holder for a scribing wheel in which a pin hole for supporting the pin is formed,
Wherein the pin hole has a diamond portion formed at a position in contact with a side surface of the pin.

6. The method of claim 5,
An inserting portion opened so as to be integral with the pin hole is formed,
Further comprising a diamond member inserted into the insertion portion to form the diamond portion,
Wherein the diamond member and the pin are formed in a cylindrical shape having the same material and the same diameter.

The method according to claim 6,
Wherein the diamond member is fixed to the holder for the scribing wheel.

6. The method of claim 5,
Wherein the diamond portion is made of sintered diamond.

A scribe apparatus comprising the holder unit according to any one of claims 5 to 8.