KR20140096633A - 측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치 - Google Patents

측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치 Download PDF

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Abstract

측정용 정반은 플랫(flat)한 표면을 가지는 판부, 상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 제1 방향으로 연장된 제1 그루브, 및 상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 그루브를 포함한다.

Description

측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치{WARPAGE MEASUREMENT SURFACE PLATE AND WARPAGE MEASUREMENT APPARATUS}
본 발명은 측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스 등의 피측정체의 뒤틀림 정도를 측정할 때 이용되는 측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치에 관한 것이다.
표시 장치는 이미지를 표시하는 장치로서, 유기 발광 표시 장치 및 액정 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 기판으로서 글라스 등의 평판을 포함한다.
평판을 표시 장치의 기판으로 이용하기 전에 평판의 뒤틀림(warpage)을 측정하였는데, 평판의 뒤틀림을 측정하는 공정은 평판을 플랫(flat)한 표면을 가지는 측정용 정반에 안착시킨 후 평판의 뒤틀림을 측정하는 레이저 또는 CCD 등의 측정 수단을 포함하는 측정부를 이용해 수행하였다.
최근, 표시 장치가 대면적화 및 두께 슬림(slim)화 됨에 따라 표시 장치의 기판으로서 이용되는 평판도 대면적화 및 두께 슬림화되었다.
그런데, 평판이 대면적화 및 두께 슬림화됨에 따라, 평판을 측정용 정반에 안착시키거나 측정용 정반으로부터 이격시킬 때, 측정용 정반 상에 위치하는 원치 않는 파티클(particle)이 위치하거나 또는 측정용 정반과 평판 사이에서 발생되는 계면 응력 및 정전기로 인해, 측정용 정반과 평판 사이에 간섭이 발생되어 평판의 뒤틀림을 측정하는 공정 시간이 증가되는 동시에, 간섭에 의해 평판이 파손되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 피측정체인 평판의 뒤틀림 측정 시간을 단축하는 동시에, 평판의 파손을 억제하는 측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 플랫(flat)한 표면을 가지는 판부, 상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 제1 방향으로 연장된 제1 그루브, 및 상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 그루브를 포함하는 측정용 정반을 제공한다.
상기 제1 그루브는 복수개이고, 상기 복수개의 제1 그루브 각각은 상기 제2 방향으로 상호 이격되어 배치되며, 상기 제2 그루브는 복수개이고, 상기 복수개의 제2 그루브 각각은 상기 제1 방향으로 상호 이격되어 배치될 수 있다.
상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각은 상기 판부의 테두리까지 연장될 수 있다.
상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각은 'V' 형태의 종단면을 가질 수 있다.
상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각의 상기 종단면은 상기 판부의 상기 표면으로부터 둔각(obtuse angle)을 가지고 연장될 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 뒤틀림(warpage)을 측정하기 위한 피측정체가 안착되는 상기 측정용 정반, 및 상기 측정용 정반 상에 배치되며 상기 피측정체의 뒤틀림을 측정하는 측정부를 포함하는 뒤틀림 측정 장치를 제공한다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 피측정체인 평판의 뒤틀림 측정 시간을 단축하는 동시에, 평판의 파손을 억제하는 측정용 정반 및 뒤틀림 측정 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 측정용 정반의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 구성의 크기를 과장되게 나타내었다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치를 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 또는 플라즈마 표시 장치 등의 평판 표시 장치에 포함되는 글라스 등의 평판일 수 있는 피측정체의 뒤틀림 정도를 측정하는 장치이며, 피측정체가 안착되는 측정용 정반(100) 및 측정부(200)를 포함한다.
측정용 정반(100) 상에는 측정부(200)가 위치하고 있다.
측정부(200)는 레이저 또는 CCD 등의 뒤틀림 측정 수단을 이용해 측정용 정반(100) 상에 안착된 피측정체의 뒤틀림 정도를 측정한다. 일례로, 측정부(200)는 측정용 정반(100) 상에 배치되어 제1 방향(X) 및 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 이동하여 측정용 정반(100) 상에 안착되는 평판 등의 피측정체의 뒤틀림 정도를 측정할 수 있다.
한편, 측정부(200)의 형태는 해당 기술 분야의 종사자에게 공지된 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 측정용 정반(100)에 안착된 평판 등의 피측정체의 뒤틀림 정도를 측정할 수 있다면 어떤 형태로도 구성될 수 있다.
측정용 정반(100)은 뒤틀림(warpage)을 측정하기 위한 평판 등의 피측정체가 안착되는 부분이며, 판부(110), 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130)를 포함한다.
판부(110)는 플랫(flat)한 표면(111)을 가지고 있으며, 판부(110)의 표면(111)에는 평판 등의 피측정체가 표면(111)에 접촉하여 안착된다. 본 발명의 일 실시예에서 판부(110)는 사각형의 판 형태이나, 다른 실시예에서 판부(110)는 원 형태, 또는 삼각형, 오각형 등의 다각형 형태를 가질 수 있다.
도 2는 도 1의 A 부분을 나타낸 도면이다. 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 그루브(120)는 판부(110)의 표면(111)으로부터 함몰되어 제1 방향(X)으로 연장되어 있다. 제1 그루브(120)는 복수개이며, 복수개의 제1 그루브(120) 각각은 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 상호 이격되어 배치되어 있다. 제1 그루브(120)는 판부(110)의 일 테두리(112)로부터 타 테두리(112)까지 연장되어 있다. 제1 그루브(120)는 'V' 형태의 제1 종단면(121)을 가지고 있다. 제1 그루브(120)를 형성하는 제1 종단면(121)은 판부(110)의 표면(111)으로부터 둔각(obtuse angle)(θ)을 가지고 연장되어 있다. 일례로, 제1 그루브(120)의 저부의 절곡 각도는 90도일 수 있으며, 제1 그루브(120) 각각은 2mm의 너비, 1mm의 함몰 깊이를 가질 수 있으며, 이웃하는 제1 그루브(120) 사이의 거리는 50mm 이하일 수 있다.
제2 그루브(130)는 판부(110)의 표면(111)으로부터 함몰되어 제2 방향(Y)으로 연장되어 있다. 제2 그루브(130)는 복수개이며, 복수개의 제2 그루브(130) 각각은 제2 방향(Y)과 교차하는 제1 방향(X)으로 상호 이격되어 배치되어 있다. 제2 그루브(130)는 판부(110)의 일 테두리(112)로부터 타 테두리(112)까지 연장되어 있다. 제2 그루브(130)는 'V' 형태의 제2 종단면(131)을 가지고 있다. 제2 그루브(130)를 형성하는 제2 종단면(131)은 판부(110)의 표면(111)으로부터 둔각(θ)을 가지고 연장되어 있다. 제2 그루브(130)와 제1 그루브(120)는 교차하며 교차하는 부분은 '十' 형태의 홈으로 형성된다. 일례로, 제2 그루브(130)의 저부의 절곡 각도는 90도일 수 있으며, 제2 그루브(130) 각각은 2mm의 너비, 1mm의 함몰 깊이를 가질 수 있으며, 이웃하는 제2 그루브(130) 사이의 거리는 50mm 이하일 수 있다. 제2 그루브(130)와 제1 그루브(120) 각각이 교차함으로써, 복수의 제2 그루브(130)와 복수의 제1 그루브(120)는 바둑판 형태로 형성되어 있으며, 이로 인해 판부(110)의 표면(111)은 이웃하는 제1 그루브(120) 및 이웃하는 제2 그루브(130) 사이에 배치되어 있다.
도 4는 도 3에 도시된 측정용 정반의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 뒤틀림을 측정하기 위한 피측정체로서, 평판(10)을 일례로 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 평판(10)이 안착되는 측정용 정반(100)이 플랫(flat)한 표면(111)을 가지는 판부(110)를 포함하는 동시에 판부(110)의 표면(111)으로부터 함몰된 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130)를 포함함으로써, 측정용 정반(100)의 표면(111)에 원치 않는 파티클(particle)이 위치하더라도 표면(111)으로부터 파티클을 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130) 중 하나 이상으로 용이하게 이동시켜 측정용 정반(100)의 표면(111)과 평판(10) 사이에 파티클이 위치하는 것을 억제한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 평판(10)이 안착되는 측정용 정반(100)의 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130) 각각이 판부(110)의 테두리(112)까지 연장됨으로써, 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130) 중 하나 이상으로 이동된 파티클이 블로윙(blowing)을 통해 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130) 중 하나 이상을 통해 판부(110)의 테두리(112) 외측으로 용이하게 쓸려 나갈 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 측정용 정반(100)이 판부(110), 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130)를 포함함으로써, 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130)와 대응되는 평판(10)의 일부분이 측정용 정반(100)과 접촉하지 않기 때문에, 평판(10)을 측정용 정반(100)에 안착시키거나 측정용 정반(100)으로부터 이격시킬 때, 측정용 정반(100)과 평판(10) 사이에서 정전기가 발생되는 것을 억제한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 측정용 정반(100)의 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130) 각각의 제1 종단면(121) 및 제2 종단면(131) 각각이 평판(10)이 접촉하는 판부(110)의 표면(111)으로부터 둔각(θ)을 가지고 절곡 연장되어 있음으로써, 제1 종단면(121) 및 제2 종단면(131) 각각이 판부(110)의 표면으로부터 직각 또는 예각을 가지고 절곡 연장되는 구성 대비 판부(110)의 표면(111)과 평판(10) 사이에서 발생되는 계면 응력이 저하된다.
일례로, 판부(110)의 표면(111)과 제1 종단면(121) 사이인 일 부분(B)이 직각 또는 예각을 가질 경우, 일 부분(B)이 날카롭게 형성되어 일 부분(B)에 의한 간섭에 의해 평판(10)이 파손될 우려가 있으나, 본 발명의 일 실시예에서는 판부(110)의 표면(111)과 제1 종단면(121) 사이인 일 부분(B)이 둔각(θ)을 가짐으로써, 일 부분(B)이 완만하게 절곡 형성되어 일 부분(B)에 의한 간섭에 의해 평판(10)이 파손되는 것이 방지된다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 뒤틀림 측정 장치는 측정용 정반(100)이 판부(110), 제1 그루브(120) 및 제2 그루브(130)를 포함함으로써, 측정용 정반(100)에 안착되는 평판(10)과 측정용 정반(100) 사이에 간섭이 발생되는 것을 억제하기 때문에, 측정부(200)를 이용해 평판(10)의 뒤틀림을 측정하는 공정 시간이 단축하는 동시에, 평판(10)과 측정용 정반(100) 사이에 발생되는 간섭에 의해 평판(10)이 파손되는 것이 억제된다.
즉, 평판(10)이 대면적화 및 두께가 슬림화되더라도, 피측정체인 평판(10)의 뒤틀림 측정 시간을 단축하는 동시에, 평판(10)의 파손을 억제하는 측정용 정반(100) 및 이를 포함하는 뒤틀림 측정 장치가 제공된다. 이는 평판(10)을 이용하는 평판 표시 장치의 제조 효율이 향상되는 요인으로서 작용된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
판부(110), 제1 그루브(120), 제2 그루브(130)

Claims (6)

  1. 플랫(flat)한 표면을 가지는 판부;
    상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 제1 방향으로 연장된 제1 그루브; 및
    상기 판부의 표면으로부터 함몰되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 그루브
    를 포함하는 측정용 정반.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 그루브는 복수개이고, 상기 복수개의 제1 그루브 각각은 상기 제2 방향으로 상호 이격되어 배치되며,
    상기 제2 그루브는 복수개이고, 상기 복수개의 제2 그루브 각각은 상기 제1 방향으로 상호 이격되어 배치되는 측정용 정반.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각은 상기 판부의 테두리까지 연장되는 측정용 정반.
  4. 제1항에서,
    상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각은 'V' 형태의 종단면을 가지는 측정용 정반.
  5. 제4항에서,
    상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 각각의 상기 종단면은 상기 판부의 상기 표면으로부터 둔각(obtuse angle)을 가지고 연장되는 측정용 정반.
  6. 뒤틀림(warpage)을 측정하기 위한 피측정체가 안착되는 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 측정용 정반; 및
    상기 측정용 정반 상에 배치되며, 상기 피측정체의 뒤틀림을 측정하는 측정부
    를 포함하는 뒤틀림 측정 장치.
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