KR20140091076A - 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서 - Google Patents

Abstract

[과제] 저반사이면서 두께가 얇고, 또한 협 프레임화한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.
[해결 수단] 본 발명은, 커버 유리(2)와 상기 커버 유리(2)의 이면에 접합시킨 정전 용량 방식의 필름 센서 부재(3)를 포함하는 정전 용량 방식 터치 센서로서, 상기 커버 유리(2)와 상기 필름 센서 부재(3)의 사이에 편광판(20)을 더 포함하고, 또한 상기 필름 센서 부재(3)가 λ/4 위상차 필름(6)을 포함하는 투명한 기체 시트, 상기 기체 시트의 양면에 각각 중앙 윈도우부의 전극 패턴 및 외측 프레임부의 세선 라우팅 회로 패턴(11)을 가지도록 형성된 투명 도전막(9) 및 상기 투명 도전막(9)의 상기 세선 라우팅 회로 패턴(11) 상에 각각 적층된 차광성 도전막(12)을 포함하는 것이다,

Description

광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서{CAPACITATIVE TYPE TOUCH SENSOR WITH OPTICAL FUNCTION}

본 발명은, 전자 기기의 액정 표시부에 장착되는 커버 유리의 이면에 필름 센서 부재가 접합된 정전 용량 방식 터치 센서로서, 특히 원편광 또는 위상차 부여의 광학 기능을 구비한 것에 관한 것이다.

종래, 전자 기기 표시 창의 커버 유리의 이면에 필름 센서 부재가 접합된 정전 용량 방식 터치 센서는, 공기층을 통하여 LCD(Liquid Crystal monitor)나 OLED(Organic Light Emitting Diode) 등의 디스플레이 상면에 배치된다. 이 때, 공기층과 필름 센서 부재의 계면, 공기층과 디스플레이의 계면에서 외광이 반사됨으로써, 디스플레이 표시의 컨트라스트를 떨어뜨리는 문제점이 있었다.

이 반사 문제는, 커버 유리와 필름 센서 부재와의 사이에 편광판을 추가함으로써 반사를 50%억제할 수 있다. 상기 편광판을 추가한 터치 센서를 LCD 상에 배치한 경우에도, 상기 터치 센서의 편광판의 흡수축을 LCD에 정렬하여 하면, LCD의 휘도를 내리지 않아도 된다.

또, 커버 유리와 필름 센서 부재와의 사이에 커버 유리 측으로부터 편광판, λ/4 위상차 필름을 순차적으로 추가, 즉 원편광 필터를 추가하도록 터치 센서를 구성하면, 편광판만을 추가하는 것보다 반사를 더욱 억제할 수 있다.

그러나, 상기와 같이 편광판, λ/4 위상차 필름으로 이루어지는 원편광 필터를 추가하는 원편광 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서는, 원편광 필터만큼 두께가 두껍게 되어, 그 결과 상기 터치 센서를 내장한 제품 전체의 두께가 증가하는 새로운 문제가 있다. 그래서, 최근에는 특허 문헌 1의 단락 0071에 나타낸 바와 같이, 상면에 ITO 등의 제1 도전성 층이 구비된 제1 도전성 필름, 상기 제1 도전성 층 상에 접착되고 또한 상면에 ITO 등의 제2 도전성 층이 구비된 제2 도전성 필름을 구비한 2층 방식의 구조로 이루어지는 필름 센서 부재 및 상기 필름 센서 부재의 상면에 접착된 편광판 및 커버 유리를 구비한 정전 용량 방식 터치 센서로서, 제2 도전성 필름의 기재로서 λ/4 위상차 필름을 사용한 것도 제안되어 있다. 이 특허 문헌 1에 기재된 터치 센서는, λ/4 위상차 필름을 필름 센서 부재 상이 아닌 필름 센서 부재의 도전성 층용 기재로서 겸용하므로, 박형의 원편광 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서를 제공할 수 있다.

또, 종래, 편광 선글라스 넘어로 액정화면을 관찰한 경우에 LCD 측의 편광판 각도 의존에 의한 착색 및 투과율 감소가 생겨, 그 대책으로서 편광 선글라스와 LCD와의 사이에 λ/4 위상차 필름을 배치하는 것이 예로부터 특허 문헌 2등에 개시되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본공개특허 제 2011－81810호 공보

[특허 문헌 2] 일본공개특허 평 03－174512호 공보

정전 용량 방식 터치 센서의 시장에 있어서는, 상기 박형화와 함께, 새로운 협 프레임 화(화면 표시 가능한 중앙 윈도우부의 사이즈는 가능한 한 크게, 상기 윈도우부를 에워싸는 외측 프레임부의 사이즈를 작게 하는 것)가 요구되고 있다. 그러나, 일반적으로 터치 센서의 필름 센서 부재는, 외측 프레임부에 형성되는 라우팅(routing) 회로가 은 페이스트를 사용한 스크린 인쇄에 의한 것이므로, 협 프레임 화의 추구에 한계가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하는 것에 있고, 목적으로 하는 광학 기능을 발휘하면서, 내장하는 제품의 두께가 얇고, 그리고 또한 협 프레임화한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제1 태양에 의하면, 커버 유리 및 상기 커버 유리의 이면에 접합된 정전 용량 방식의 필름 센서 부재를 구비한 정전 용량 방식 터치 센서로서, 상기 필름 센서 부재는, λ/4 위상차 필름을 포함하는 투명한 기체(基體) 시트, 상기 기체 시트의 양면에 각각, 중앙 윈도우부의 전극 패턴 및 외측 프레임부의 세선(細線) 라우팅(routing) 회로 패턴을 가지도록 형성된 투명 도전막, 및 상기 투명 도전막의 상기 세선 라우팅 회로 패턴 상에 각각 적층된 차광성 도전막을 포함하는, 원 편광 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제2 태양에 의하면, 상기 커버 유리와 상기 필름 센서 부재 사이에 편광판을 포함하는, 제1 태양의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제3 태양에 의하면, 상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/4 위상차 필름 단층인, 제1 태양 또는 제2 태양의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제4 태양에 의하면, 상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/4 위상차 필름과 광학 등방성 필름을 접착한 적층체인, 제1 태양 또는 제2 태양의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제5 태양에 의하면, 상기 필름 센서 부재와 상기 편광판과의 사이에 λ/2 위상차 필름을 포함하는, 제2 태양의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제6 태양에 의하면, 상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/2 위상차 필름과 λ/4 위상차 필름을 접착한 적층체이고, 상기 적층체의 λ/2 위상차 필름이 상기 편광판 측에 배치되어 있는, 제2 태양의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 제7 태양에 의하면, 상기 필름 센서 부재는, 상기 투명 도전막, 상기 차광성 도전막이 형성된 상기 기체 시트의 표면 주위 에지부에 형성된, 컬러 레지스트 재료의 노광 현상물로 이루어지는 프레임형 차광층을 포함하는, 제1~제6 태양의 어느 하나의 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서를 제공한다.

본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서는, 필름 센서 부재가, λ/4 위상차 필름을 포함하는 투명한 기체(基體) 시트를 구비함으로써, 편광 선글라스 넘어로 관찰했을 때에도, LCD 측의 편광판 각도에 의한 착색 및 투과율 감소의 문제점이 없다. 또, 경사로부터 보았을 때의 간섭 모양(프린지)도 방지할 수 있다.

본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서는, 커버 유리와 필름 센서 부재와의 사이에 편광판을 구비하고, 또한 상기 필름 센서 부재가, λ/4 위상차 필름을 포함하는 투명한 기체 시트를 구비하여, 상기 편광판과 상기 λ/4 위상차 필름으로 원편광 필터를 구성하므로, 공기층과 필름 센서 부재의 계면, 공기층과 디스플레이의 계면에서 반사한 외광을 차단할 수 있어 디스플레이 표시의 컨트라스트를 떨어뜨리는 문제점이 없다.

또, λ/4 위상차 필름을 필름 센서 부재 상에서가 아닌 필름 센서 부재의 도전성 층용 기재로 겸용하므로, 박형화가 가능하다.

또한, 상기 필름 센서 부재가, λ/4 위상차 필름을 포함하는 투명한 기체 시트와 상기 기체 시트의 양면에 각각, 중앙 윈도우부의 전극 패턴 및 외측 프레임부의 세선 라우팅 회로 패턴을 가지도록 형성된 투명 도전막 및 상기 투명 도전막의 상기 세선 라우팅 회로 패턴 상에 각각 적층된 차광성 도전막을 구비하므로, 포토리소 공정에서 얻어진 에칭 레지스트를 사용한 상기 투명 도전막 및 상기 차광성 도전막의 에칭에 의한 패턴화가 가능하다. 따라서, 세선 라우팅 회로의 선폭 및 피치를 좁은 협 프레임화한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 일실시예를 나타낸 분해 단면도이다.
도 2는 정전 용량 방식의 필름 센서 부재의 전극 패턴 및 세선 라우팅 회로 패턴의 일례를 설명하는 도면이다.
도 3a는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3b는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3c는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3d는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3e는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3f는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3g는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3h는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3i는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3j는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3k는 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3l은 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 3m은 도 1 에 나타낸 필름 센서 부재를 제조하는 공정을 나타낸 단면도이다.
도 4는 필름 센서 부재의 중앙 윈도우부에 형성된 전극 패턴의 형상 및 배치 태양의 일례를 설명하는 평면도이다.
도 5는 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 다른 실시예를 나타낸 분해 단면도이다.
도 6은 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 다른 실시예를 나타낸 분해 단면도이다.
도 7은 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 다른 실시예를 나타낸 분해 단면도이다.
도 8은 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 다른 실시예를 나타낸 분해 단면도이다.
도 9은 본 발명에 관한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 다른 실시예를 나타낸 분해 단면도이다.

이하, 도면을 참조하면서 발명에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 일 실시예를 나타낸 분해 단면도이며, 도 2는 정전 용량 방식의 필름 센서 부재의 전극 패턴 및 세선 라우팅 회로 패턴의 일례를 설명하는 도면이다. 도면 중, 1은 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서, 2는 커버 유리, 3은 필름 센서 부재, 4는 유리 기판, 5는 프레임형 가식층, 6은 λ/4 위상차 필름, 7은 중앙 윈도우부, 8은 외측 프레임부, 9는 투명 도전막, 10은 전극 패턴, 11은 세선 라우팅 회로 패턴, 12는 차광성 도전막, 13은 단자부, 14는 방청(녹 방지) 기능층, 15는 프레임형 차광층, 20은 편광판을 각각 나타낸다. 그리고, 도면 중의 각각의 분해 단면도에 있어서는, 부재끼리를 접착하는 접착제층은 생략하여 도시하였다.

도 1에 나타낸 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서(1)는, 투명한 유리 기판(4)의 이면 주위 에지부에 스크린 인쇄막으로 이루어지는 프레임형 가식층(5)이 형성된 전자 기기 표시 창의 커버 유리(2) 및 커버 유리(2)의 이면에 접합시켜 정전 용량 방식의 필름 센서 부재(3)를 구비한 정전 용량 방식 터치 센서로서, 또한 커버 유리(2)와 필름 센서 부재(3)의 사이에 편광판(20)을 구비한 원편광 기능을 가진다.

전자 기기 표시 창의 커버 유리(2)는, 도시하지 않은 전자 기기의 디스플레이 장치 상에 배치되어 이것을 보호하기 위한 것이다.

커버 유리(2)의 유리 기판(4)은, 예를 들면, 무색 투명한 소다 라임 규산염 유리, 알루미노 규산염 유리, 리튬 알루미노 규산염 유리, 석영 유리, 무알칼리 유리, 그 외의 각종 유리로 이루어지는 투명 유리판 등을 사용할 수 있다. 이와 같은 유리 기판(4)의 판두께는 0.3~0.7 mm인 것이 바람직하고, 0.4~0.55 mm인 것이 보다 바람직하다. 유리 기판(4)의 판두께가 이 범위이면, 얻어지는 본 발명의 커버 유리(2)의 강도, 판두께 및 중량의 밸런스가 우수하므로 바람직하다. 또, 유리 기판(4)는, 특히 평면형일 필요는 없고, 곡면 형태의 유리 기판을 사용해도 된다. 또한, 반사에 의한 유리 면에의 고스트 이미지의 대책으로서 반사 방지 막이 설치되어 있어도 된다. 또한, 면 마모성을 향상시키기 위해 하드 코팅 막이 설치되어도 된다.

커버 유리(2)의 프레임형 가식층(5)는, 폴리비닐 계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리아크릴계 수지, 폴리우레탄계 수지, 폴리비닐아세탈계 수지, 폴리에스테르우레탄계 수지, 또는, 알키드 수지 등의 수지를 바인더로 하고, 적절한 색의 안료 또는 염료를 착색제로서 함유하는 착색 잉크를 사용하면 된다.

편광판(21)은, 이하 설명하는 편광 필름에 필요에 따라 한쪽 면 또는 양면에 보호층을 적층한 것이다. 편광 필름으로서는, 예를 들면 (i) 폴리비닐알코올계 필름, 부분 포르말화 폴리비닐알코올계 필름, 에틸렌-아세트산 비닐 공중합체계 감화(비누화) 필름, 셀룰로오스계 필름과 같은 친수성 고분자 필름에 옥소 및 또는 2색성 유기 염료를 흡착 배향하게 하여 이루어지는 옥소 및 또는 2색성 유기 염료계 편광 필름, (ii) 폴리비닐알코올계 필름을 탈수 처리하여 폴리엔을 형성하여 배향하게 하여 이루어지는 폴리엔계 편광 필름, (iii) 폴리엔 염화 비닐 필름을 탈염산 처리하여 폴리엔을 형성하여 배향하게 하여 이루어지는 폴리엔계 편광 필름 등을 들 수 있다. 이것들은 통상 10~80㎛의 두께를 가지는 것이 사용된다. 보호층은, 예를 들면, TAC(Triacetate Cellulose) 막 등으로 형성 가능하다.

본 발명의 필름 센서 부재(3)은, λ/4 위상차 필름(6) 단층으로 이루어지는 투명한 기체(基體) 시트, 기체 시트의 양면에 각각, 중앙 윈도우부(7)의 전극 패턴(10) 및 외측 프레임부(8)의 세선 라우팅 회로 패턴(11)을 가지도록 형성된 투명 도전막(9), 투명 도전막(9)의 세선 라우팅 회로 패턴(11) 상에 각각, 세선 라우팅 회로 패턴(11)와 동일 폭으로 적층된 차광성 도전막(12), 투명 도전막(9) 및 차광성 도전막(12)이 형성된 기체 시트의 양면에 각각, 단자부(13) 이외의 외측 프레임부(8)를 덮도록 적층된 방청 기능층(14) 및 투명 도전막(9), 차광성 도전막(12)및 방청 기능층(14)이 형성된 기체 시트의 표면 주위 에지부에 형성된, 컬러 레지스트 재료의 노광 현상물로 이루어지는 프레임형 차광층(15)을 구비하고, 이 제2 프레임형 차광층(15)의 내측 에지가 커버 유리(2)의 프레임형 가식층(5)의 내측 에지 보다도 중앙측에 위치하여 있는 것이다.

여기서 필름 센서 부재(3)의 중앙 윈도우부(7)에 형성되는 전극 패턴(10)에 대하여 일례를 설명한다. 상기 전극 패턴(10)은 표면 및 배면에 의해 패턴이 상이하다. 예를 들면, 자기 정전 용량(Self Capacitance) 방식의 필름 센서 부재의 경우, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기체 시트(λ/4 위상차 필름(6))의 이면에는, 평면에서 볼 때 다이아몬드형 형상을 가지는 다이아몬드형 전극(46) 및 이 다이아몬드형 전극(46)의 복수를 도면 중 세로 방향(Y 방향)으로 관통하는 접속 배선(469)을 구비하고 있다. 복수의 다이아몬드형 전극(46)과 접속 배선(469)은 서로 전기적으로 접속되어 있다. 또, 이와 같은 접속 배선(469) 및 거기에 관통된 복수의 다이아몬드형 전극(46)을 한 조(組)로 하여, 상기 한 조가 도면 중 가로 방향(X 방향)에 반복 배열된다. 한편, 이와 같이 하여, 기체 시트(λ/4 위상차 필름(6))의 표면에는, 복수의 다이아몬드형 전극(47)과 이들을 관통하는 접속 배선(479)을 구비하고 있다. 단, 이 경우, 접속 배선(479)의 연장 방향은, 접속 배선(469)의 그것과는 상이하며, 도면 중 가로 방향(X 방향)이다. 또, 그에 따라, 접속 배선(479) 및 거기에 관통된 복수의 다이아몬드형 전극(47)으로 이루어지는 한 조가 반복 배열되는 방향은 도면 중 세로 방향(Y 방향)이다. 그리고, 도 4로부터 명백한 바와 같이, 다이아몬드형 전극(46)은, 복수의 접속 배선(479) 사이의 간극을 메우도록 배치되는 한편, 다이아몬드형 전극(47)은, 복수의 접속 배선(469) 사이의 간극을 메우도록 배치된다. 도 4에서는 또한, 다이아몬드형 전극(46)과 다이아몬드형 전극(47)과의 배치 관계는 상보적이다. 즉, 다이아몬드형 전극(46)을 매트릭스형으로 배열하는 경우에 생기는 다이아몬드형 형상의 간극을 메우도록, 복수의 다이아몬드형 전극(47)은 배열되어 있는 것이다.

이와 같이 X 방향 전극 및 Y 방향 전극이 평면에서 볼 때 해 격자를 형성하도록 배치되어 있으므로, 이 격자 상의 어느 하나의 위치에 사용자의 손가락 등이 커버 유리(2)를 통하여 접하면(예를 들면, 파선 동그라미 FR의 위치), 상기 손가락 등과 그것이 접하는 X 방향 전극과의 사이에 컨덴서가 형성되고, 또, 상기 손가락 등과 그것이 접하는 Y 방향 전극과의 사이에 컨덴서가 형성된다. 이 컨덴서의 형성에 의해, 상기의 X 방향 전극 및 Y 방향 전극의 정전 용량은 증대한다. 외부 회로의 위치 검출부는, 이와 같은 경우에 있어서 생기는 정전 용량의 변화량, 또는 또한 최대의 정전 용량 를 가지는 X 방향 전극 및 Y 방향 전극을 검출하고, 중앙 윈도우부(7) 내의 어디에 접촉된 것인지를, 특정값인 X 좌표값 및 Y 좌표값의 조(組)로서 취득하는 것이 가능해진다.

상기 구성을 가지는 필름 센서 부재(3)을 얻는 방법을, 이하 상세하게 설명한다.

<투명 도전막(9)의 패턴화>

먼저, λ/4 위상차 필름(6) 단층으로 이루어지는 기체 시트의 표리 양면에 각각, 투명 도전막(9, 9), 차광성 도전막(12, 12), 제1 포토레지스트층(16, 16)을 순차적으로 전체면 형성하여 도전성 시트를 얻은(도 3a 참조) 후, 앞뒤 각각 원하는 패턴의 마스크(17)를 탑재하고, 노광(도 3b 참조)·현상해 제1 포토레지스트층(16)을 패턴화한다. 그리고, 도 3b에 나타낸 마스크(17)의 위치는, 제1 포토레지스트층(16)이 네가티브형(노광 되면 현상액에 대해서 용해성이 저하되고, 현상 후에 노광 부분이 남음)인 경우를 나타내고 있다. 포지티브형(노광 되면 현상액에 대해서 용해성이 증대하고, 노광 부분이 제거됨)의 경우에는 마스크로 차광하는 부분이 반대로 된다.

λ/4의 위상차를 부여하는 필름을 얻는 제법으로서는, 예를 들면, 광 탄성 상수가 70×10^-12Pa-¹ 이하인 고분자로 이루어지는 필름을 한축 연신(延伸)하는(또는 순차 또는 동시에 두축 연신하는) 것에 의해 고분자 필름 자체에 λ/4의 위상차를 발현시키는 방법이나, 광 탄성 상수가 70×10^-12Pa-¹ 이하인 고분자 필름 상에 λ/4의 위상차를 발현시키는 화합물의 층(예를 들면 고분자 액정으로 이루어지는 층)을 설치하는 방법을 들 수 있다.

여기서, λ/4의 위상차를 부여하는 것은, 이상적으로는 가시광 영역의 모든 파장에 대해서 λ/4의 위상차를 부여하는 의미이다. 그러나 파장 550 nm 에 있어서의 위상차가 λ/4이면 다른 파장에서의 위상차가 다소 λ/4로부터 어긋나 있어도 실용상 문제 없다. 파장 550 nm 에 있어서의 지체 현상(retardation)(△nd)은 125~150 nm인 것이 바람직하고, 131~145 nm인 것이 보다 바람직하다.

투명 도전막(9)은, 인듐 주석 산화물, 아연 산화물 등의 금속 산화물 등으로 이루어지는 층을 들 수 있고, 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, 도금법 등으로 형성하면 된다. 또, 투명 도전막(9)은, 두께는 수십~수백 nm정도로 형성되고, 염화 제2 철 등의 용액에서는 차광성 도전막(12)와 함께 용이하게 에칭되지만, 산성 분위기 하에서의 과산화 수소수 등 차광성 도전막(12)의 에칭액에서는 용이하게 에칭되지 않는 것이 필요하다. 그리고, 80%이상의 광선 투과율, 수mΩ~수백Ω의 표면 저항값을 나타내는 것이 바람직하다.

차광성 도전막(12)은, 도전율이 높고 또한 차광성의 양호한 단일의 금속막이나 이들 합금 또는 화합물 등으로 이루어지는 층을 들 수 있고, 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, 도금법 등으로 형성하면 된다. 또, 차광성 도전막(12)은, 투명 도전막(9)에서는 에칭되지 않지만 차광성 도전막(12) 자체는 에칭되는 에천트가 존재하는 것도 필요하다. 그 바람직한 금속의 예로서는, 알루미늄, 니켈, 동, 은, 주석 등을 들 수 있다. 특히 동박(銅箔)으로 이루어지는 두께 20~1000 nm의 금속막은, 도전성, 차광성 이 우수하고, 투명 도전막은 에칭되지 않는 산성 분위기 하에서도 과산화 수소수로 용이하게 에칭할 수 있기 때문에 매우 바람직하다. 보다 바람직하게는, 두께 30 nm 이상이다. 보다 바람직하게는, 100~500 nm으로 하면 된다. 100 nm 이상의 두께로 설정함으로써 높은 도전성의 차광성 도전막(12)을 얻을 수 있고, 500 nm 이하로 함으로써 취급하기 쉽고 가공성이 우수한 차광성 도전막(12)을 얻을 수 있기 때문이다.

제1 포토레지스트층(16)은, 고압 수은등, 초고압 수은등, 레이저 광선 또는 메탈 할라이드 램프 등으로 노광하고 알칼리 용액 등으로 현상이 가능한 두께 10~20 ㎛의 아크릴계 포토레지스트 재료 등으로 구성한다. 제1 포토레지스트층(16)의 형성 방법은, 그라비아, 스크린, 오프셋 등의 범용의 인쇄법 외에, 각종 코터에 의한 방법, 도장, 디핑 등의 방법, 드라이 필름 레지스트법 등의 각종 방법에 의해 전체면 형성한 후, 노광·현상하여 패터닝하면 되지만, 그 중에서도 드라이 필름 레지스트 법이 보다 바람직하다.

드라이 필름 레지스트 법에 사용하는 드라이 필름 레지스트(DFR)는, 상기 각각의 포토레지스트층이 되는 감광층이 베이스 필름과 커버 필름에 의해 샌드위치 되어 있는 필름이다. 상기 인쇄법, 코팅법, 도장법 등은, 한쪽 면 코팅뿐이 하지 못하고 효율이 나쁜 등의 문제가 있는데 비해, 드라이 필름 레지스트법은 커버 필름을 박리한 후에 감광층을 가열 롤로 접착하는 방법이므로, 생산성이 높고 다양한 요구에 대응 가능하므로 주류가 되어 있다. 그리고, 노광은, 통상 베이스 필름의 위로부터 마스크를 배치하여 행하고(미도시), 베이스 필름을 박리한 후에 현상을 행한다. 드라이 필름 레지스트의 베이스 필름으로서는, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등으로 이루어지는 것을 사용할 수 있다. 또, 드라이 필름 레지스트의 커버 필름으로서는, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 것을 사용할 수 있다.

본 발명에 있어서는, 노광때, 차광성 도전막(12)이 반대측의 면의 노광광 선(32)을 차단하므로, 동시에 다른 마스크 패턴으로 노광하여도 반대측의 제1 포토레지스트층(16)의 패턴에 영향을 미치지 않는다. 따라서, 양면 동시에 노광하는 것이 가능하므로, 제1 포토레지스트층(16)의 표리의 위치를 맞추기 쉽게 1회의 공정으로 양면 패턴화할 수 있어 생산성도 향상된다.

그리고, 앞 마스크 및 뒤 마스크의 얼라인먼트는, 양면 노광 장치의 공지의 마스크 얼라인먼트 방법을 사용할 수 있다. 예를 들면, 앞 마스크 및 뒤 마스크에 각각 마스크용 얼라인먼트 마크를 형성하고, 카메라 등 광학적으로 읽어들이는 센서가 한쌍의 마스크용 얼라인먼트 마크 끼리의 중첩 상태를 판독함으로써 앞 마스크 및 뒤 마스크의 상대적인 위치 정보를 얻는다. 그리고, 얻어진 위치 정보에 기초하여, 마스크 위치 조정 기구가 한쌍의 마스크용 얼라인먼트 마크끼리가 중심을 맞추어 중합(重合)되도록 앞 마스크 및 뒤 마스크를 상대적으로 이동시킴으로써, 앞 마스크 및 뒤 마스크의 얼라인먼트를 행하는 방법 등이다.

다음에, 염화 제2 철 등의 에칭액으로 투명 도전막(9, 9) 및 차광성 도전막(12, 12)을 동시에 에칭하고, 패턴화된 제1 포토레지스트층(16, 16)이 적층되어 있지 않은 부분의 투명 도전막(9, 9) 및 차광성 도전막(12, 12)을 제거함으로써, 기체 시트 양면의 중앙 윈도우부(7)에 각각, 투명 도전막(9, 9) 및 차광성 도전막(12, 12)이 위치 어긋남 없이 적층된 전극 패턴(10)을 형성하는 동시에, 기체 시트 양면의 외측 프레임부(8)에 각각, 투명 도전막(9, 9) 및 차광성 도전막(12, 12)이 위치 어긋남 없이 적층된 세선 라우팅 회로 패턴(11)을 형성한다(도 3c 참조).

포토 리소 공정에서 정밀하게 패턴화된 제1 포토레지스트층(16, 16)을 사용하여 투명 도전막(9, 9) 및 차광성 도전막(12, 12)을 에칭하므로, 세선 라우팅 회로의 선폭 및 피치를 좁게 할 수 있다. 예를 들면, 선폭이 1 mm 이하의 세선 라우팅 회로를 형성할 수 있다.

<불필요한 차광성 도전막(12)의 제거>

다음에, 레지스트 박리액으로 제1 포토레지스트층(16, 16)을 박리하고, 차광성 도전막(12, 12)을 노출시킨 후, 양면에 제2 포토레지스트층(18, 18)을 전체면 형성한다(도 3d 참조). 그 후, 마스크(19, 19)를 탑재하고, 노광(도 3e 참조)·현상하여 제2 포토레지스트층(18)을 패턴화한다(도 3f 참조). 그리고, 도 3e에 나타낸 마스크(19)의 위치는, 제2 포토레지스트층(18)이 네가티브형(노광 되면 현상액에 대해서 용해성이 저하되고, 현상 후에 노광 부분이 남음)인 경우를 나타내고 있다. 또, 제2 포토레지스트층(18)의 재료 및 형성 방법은, 제1 포토레지스트층(16)와 마찬가지의 재료 및 형성 방법으로 할 수 있다.

이어서, 산성화한 과산화 수소 등의 특수 에칭액으로 에칭하여, 패턴화된 제2 포토레지스트층(18, 18)이 적층되어 있지 않은 부분의 차광성 도전막(12, 12)만을 제거함으로써, 기체 시트 양면의 중앙 윈도우부(7) 및 외측 프레임부(8) 내의 단자부(25)에 있어서 각각, 투명 도전막(9, 9)를 노출시킨다(도 3g 및 도 2 참조).

또, 투명 도전막(9)이 아몰퍼스의 재료이면, 상기 에칭 전에 열처리 등의 방법에 의해 결정화해 두는 것이 바람직하다. 결정화에 의해 에칭 내성이 향상되고, 보다 선택적으로 차광성 금속막(12)만을 에칭하기 쉽기 때문이다.

<방청 기능층 (14)의 형성>

이어서, 레지스트 박리액으로 제2 포토레지스트층(18, 18)을 박리하고, 세선 라우팅 회로 패턴(11) 상에 세선 라우팅 회로 패턴(11)과 동일 폭으로 적층된 차광성 도전막(12, 12)를 노출시킨 후, 방청성을 가지는 제3 포토레지스트층(28, 28)을 전체면 형성한다(도 3h 참조). 그 후, 마스크(29, 29)를 탑재하고, 노광(도 3i 참조)·현상하여 제3 포토레지스트층(28, 28)을 패턴화하고, 이것을 방청 기능층 (14, 14)으로 한다(도 3j 참조). 그리고, 도 3(i) 에 나타낸 마스크(29)의 위치는, 제3 포토레지스트층(28)이 네가티브형(노광 되면 현상액에 대해서 용해성이 저하되고, 현상 후에 노광 부분이 남음)인 경우를 나타내고 있다.

방청성을 가지는 제3 포토레지스트층(28)은, 제1 포토레지스트층(16)과 마찬가지의 포토레지스트 재료 중 방청제가 첨가된 것을 사용하거나, 또는 전술한 포토레지스트 재료로 방청성이 우수한 것을 사용하면 된다. 또, 제3 포토레지스트층(28)의 형성 방법은, 제1 포토레지스트층(16)과 마찬가지의 형성 방법으로 할 수 있다. 방청제로서는, 이미 방청제로서 공지되어 사용되는 재료가 사용되고, 구체예로서는, 예를 들면 이미다졸, 트리아졸, 벤조트리아졸, 벤조이미다졸, 벤조티아졸, 피라졸 등을 사용하면 된다. 또, 이들의 할로겐, 알킬, 페닐 치환체 등의 단환 또는 다환식의 아졸류, 아닐린 등의 방향족 아민류, 알킬 아민 등의 지방족 아민, 이들의 염 등을 예로 들 수 있으며, 또한, 특히 본 기재된 재료로 제한할 필요는 없다.

이와 같이 방청 기능층(14)이 형성되므로, 외부로부터의 부식성 액이 침입해도, 또는 고온 고습 등의 환경 시험하에 있어서도 라우팅 회로에 부식이 진행되지 않고, 전기 특성을 유지할 수 있다.

<프레임형 차광층(15)의 형성>

마지막으로, 컬러 레지스트 재료로 이루어지는 제4 포토레지스트층(30)을 표면에만 전체면 형성한다(도 3k 참조). 그 후, 마스크(31, 31)를 탑재하고, 노광(도 3l 참조)·현상하여 제4 포토레지스트층(30)을 패턴화하고, 이것을 프레임형 차광층(15)으로 한다(도 3m 참조). 그리고, 도 3l 에 나타낸 마스크(31)의 위치는, 제4 포토레지스트층(30)이 네가티브형(노광 되면 현상액에 대해서 용해성이 저하되고, 현상 후에 노광 부분이 남음)인 경우를 나타내고 있다.

프레임형 차광층(15)은, 도 3k~도 3m에 나타낸 바와 같은 포토 프로세스에 의해 형성되므로, 내측 에지의 직선성이 매우 양호하다. 이 프레임형 차광층(15)의 내측 에지가 스크린 인쇄에 의해 형성된 커버 유리(2)의 프레임형 가식층(5)의 내측 에지 보다도 중앙측에 위치하여 있는 바와 같이 구성함으로써, 커버 유리(2)를 통해 보는 표시 화면의 윤곽이 샤프하게 보이는 효과가 얻어진다. 그리고, 프레임형 차광층(15)의 내측 에지 사이 치수와 프레임형 가식층(5)의 내측 에지 사이 치수와의 차는 0.1 mm~0.3 mm로 하는 것이 바람직하다. 0.1 mm 미만이면 프레임형 가식층(5)의 인쇄 오차나 접합 오차에 의해 프레임형 차광층(15)이 노출되지 않는 변(邊)이 발생할 가능성이 있고, 0.3 mm를 넘으면 협 프레임화가 어려워진다.

제4 포토레지스트층(30)에 사용하는 컬러 레지스트 재료는, 액정 표시향 컬러 필터를 구성하는 RGB 및 블랙 매트릭스 등의 레지스트와 마찬가지의 것이 적응 가능하다. 또, 제4 포토레지스트층(30)의 형성 방법은, 제1 포토레지스트층(16)과 마찬가지의 형성 방법으로 할 수 있다.

그런데, 본 발명에 있어서 부재끼리의 접착에 사용하는 도시하지 않은 접착제층은, 광학적으로 투명한 접착제(optically clear adhesive: OCA) 층인 것이 바람직하다.

이상, 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체 시트는, 도시한 바와 같은 λ/4 위상차 필름(6) 단층으로 구성하는 것에 한정되지 않고, λ/4 위상차 필름(6)과 광학 등방성 필름(21)을 접착한 적층체를 기체 시트로 하여도 된다(도 5 참조). 그리고, 기체 시트를 λ/4 위상차 필름(6) 단층으로 구성한 것이 접착층의 층수를 적게 할 수 있기 때문에 광 누출의 가능성을 낮게 할 수 있다.

광학 등방성 필름(21)으로서는, 예를 들면 지체 현상 값이 30 nm 이하의 폴리 카보네이트계 수지, 폴리 설폰, 폴리에테르 설폰, 폴리아릴 설폰 등의 폴리 설폰계 수지, 폴리 올레핀계 수지, 셀룰로오스 트리아세테이트 등의 아세테이트계 수지, 폴리 아릴레이트계 수지 등의 필름으로, 두께가 10~200 ㎛인 것을 들 수 있다.

λ/4 위상차 필름(6)과 광학 등방성 필름(21)의 적층 수단으로서는 접착제층을 통한 드라이 라미네이트 등을 들 수 있다. λ／4 위상차 필름(6)과 광학 등방성 필름(21)의 적층은, λ/4 위상차 필름(6) 및 광학 등방성 필름(21) 상에의 투명 도전막(9)의 형성 후, 차광성 도전막(12)의 적층 후 또는 제1 포토레지스트층(16)의 적층 후의 어느 타이밍에서 행해도 된다.

또, 본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서(1)은, 전술한λ/4 위상차 필름(6) 단층을 기체 시트로 하는 필름 센서 부재(3)와 상기 편광판(20)의 사이에, λ/2 위상차 필름(22)을 구비하도록 해도 된다(도 6 참조). 이 경우, 적층체 전체로서 광대역성이 뛰어난 λ/4의 위상차를 부여하므로 바람직하다.

λ/2의 위상차를 부여하는 필름을 얻는 제법으로서는, 예를 들면, 광 탄성 상수가 70×10^-12Pa-¹ 이하인 고분자로 이루어지는 필름을 한 축 연신하는(또는 순차 또는 동시에 두 축 연신하는) 것에 의해, 고분자 필름 자체에 λ/2의 위상차를 발현시키는 방법이나, 광 탄성 상수가 70×10^-12Pa-¹ 이하인 고분자 필름 상에 λ/2의 위상차를 발현시키는 화합물의 층(예를 들면 고분자 액정으로 이루어지는 층)을 설치하는 방법을 들 수 있다.

또, 본 발명 8광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서(1)은, 전술한 λ/4 위상차 필름(6)과 광학 등방성 필름(21)을 접착한 적층체를 기체 시트로 하는 필름 센서 부재(3)와 상기 편광판(20)의 사이에, λ/2 위상차 필름(22)을 구비하도록 해도 된다(도 7 참조).

또, 본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서(1)는, 상기 필름 센서 부재(3)의 상기 기체 시트가, λ/2 위상차 필름(22)과 λ/4 위상차 필름(6)을 접착한 적층체이며, 상기 적층체의 λ/2 위상차 필름(22)이 상기 편광판(20) 측에 배치되어 있도록 해도 된다(도 8 참조).

λ/2 위상차 필름(22)과 λ/4 위상차 필름(6)의 적층 수단으로서는 접착제층을 통한 드라이 라미네이트 등을 들 수 있다. λ/2 위상차 필름(22)과 λ/4 위상차 필름(6)의 적층은, λ/2 위상차 필름(22) 및 λ/4 위상차 필름(6) 상에의 투명 도전막(9)의 형성 후, 차광성 도전막(12)의 적층 후 또는 제1 포토레지스트층(16)의 적층 후의 어느 타이밍에서 행해도 된다.

또, 본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서(1)는, 방청 기능층(14)을 생략해도 되며, 프레임형 차광층(15)을 생략해도 된다.

또, 본 발명의 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서는, 방청 기능층이 컬러 레지스트 재료의 노광 현상물로 이루어지는 구성으로서, 이것을 프레임형 차광층(15)으로 겸용해도 된다.

또, 도 2 및 도 4에는 자기 정전 용량(Self Capacitance) 방식의 필름 센서 부재의 전극 패턴이 나타나 있지만, 이에 한정되지 않고, 상호 정전 용량(Mutual Capacitance) 방식의 전극을 형성해도 된다.

이상 커버 유리(2)와 필름 센서 부재(3)과의 사이에 편광판(20)을 구비한 원편광 기능을 목적으로 하는 터치 센서에 대하여 설명하였으나, 도 9에 나타낸 바와 같이, 편광판(20)을 구비하지 않은 위상차 부여 기능(구체적으로는 프린지 대책이나 편광 선글라스 대응) 만을 목적으로 하는 터치 센서이어도 된다. 그리고, 프린지 대책이나 편광 선글라스 대응을 목적으로 하여 부여하는 위상차는, 바람직하게는 80~120 nm이지만, 최적은 100 nm이다. 또, 전극 패턴의 형성 정밀도, 즉 치수 안정성을 고려하면, 위상차 필름에는 프리 어닐을 행하고, 140℃×90℃에서의 가열 수축율이 0.1%이하의 것이 바람직하다. 그 외에, 이 경우의 각각의 구성 요소 및 그 형성 방법은, 편광판(20)의 존재 이외에는 공통이므로 설명을 생략한다.

《실시예 1》

두께 200 ㎛의 λ/4 위상차 필름을 기체 시트로 하고, 그 양면에 투명 도전막으로 인듐 주석 산화물로 이루어지는 스퍼터링법으로 200 nm의 두께로 형성하고, 그 위에 차광성 도전막으로 동막을 스퍼터링법으로 500 nm의 두께로 형성하여 도전성 필름을 준비하다. 이어서, 탄산소다 1%액으로 현상이 가능한 네가티브 타입의 아크릴계 감광층을 구비한 드라이 필름 레지스트를 사용하고, 두께 10 nm의 제1 포토레지스트층을 상기 도전성 필름의 양면에 각각 전체면 형성하고, 표면측에는 X 방향의 전극 패턴을 가지는 마스크를 탑재하고, 이면측에는 Y 방향의 전극 패턴을 가지는 마스크를 탑재하여, 메탈 할라이드 램프에 의해 표리 양면 동시에 노광하고, 탄산소다 1%액에 담그어 현상하였다.

이어서, 염화 제2 철의 에칭액으로 상기 패턴화된 제1 포토레지스트층이 적층되어 있지 않은 부분의 인듐 주석 산화물 막 및 동막을 동시에 에칭 제거하고, λ/4 위상차 필름으로 이루어지는 기체 시트의 중앙 윈도우부 표면에는 X 방향의 전극 패턴, 그 이면측에는 Y 방향의 전극 패턴이 노출되어 형성되고, 그 중앙 윈도우부를 에워싸는 외측 프레임부에는 평균 선폭 20 ㎛의 세선 라우팅 패턴이 표리 양면에 노출되어 형성되어 있다.

다음에, 제1 포토레지스트층의 박리 후, 탄산소다 1%액으로 현상이 가능하며 네가티브 타입의 아크릴계 감광층을 구비한 드라이 필름 레지스트를 사용하여, 두께 10 nm의 제2 포토레지스트층을 양면에 각각 전체면 형성하고, 그 위에 표면측 및 이면측의 단자부를 제외하고 외측 프레임부에 마스크를 탑재하여, 메탈 할라이드 램프에 의해 표리 양면 동시에 노광하고, 탄산소다 1%액에 담그어 현상하였다.

이어서, 산성 분위기 하에서의 과산화 수소수에 담그면, 노출되어 있던 중앙 윈도우부의 노출되어 있던 동막이 에칭 제거되고, 그 아래에 형성되어 있던 인듐 주석 산화물막 만이 남았다.

다음에, 제2 포토레지스트층의 박리 후, 탄산소다 1%액으로 현상이 가능한 방청제로 벤지미다졸을 첨가하여 이루어지는 네가티브 타입의 아크릴계 감광층을 구비한 드라이 필름 레지스트를 사용하고, 두께 10 nm의 제3 포토레지스트층을 양면에 각각 전체면 형성하고, 그 위에 단자부를 제외하는 외측 프레임부에 마스크를 탑재하여, 메탈 할라이드 램프에 의해 표리 양면 동시에 노광하고, 탄산소다 1%액에 담그어 현상하고, 잔존한 제3 포토레지스 방청 기능층으로 하였다.

다음에, 탄산소다 1%액으로 현상이 가능하며 또한 흑색의 컬러 레지스트 재료로 이루어지는 네가티브 타입의 아크릴계 감광층을 구비한 드라이 필름 레지스트를 사용하고, 두께 5 ㎛의 제4 포토레지스트층을 표면에만 전체면 형성하고, 그 위에 마스크를 탑재하여, 메탈 할라이드 램프에 의해 표면만 노광하고, 탄산소다 1%액에 담그어 현상하고, 잔존한 흑색의 제4 포토레지스트층을 프레임형 차광층으로 하여, 이어서 한개분의 필름 센서 부재를 커팅하였다.

한편, 두께 0.7 mm의 붕규산 유리로 이루어지는 유리 기판의 이면 주위 에지부에, 흑색 잉크를 사용하여 스크린 인쇄에 의해 두께 7 ㎛의 프레임형 가식층을 형성하여 커버 유리를 얻었다.

또, 요오드(iodine)를 편광자로서 함유한 1축 연신 폴리비닐알코올 필름의 양면에 접착제를 통하여 새 아세테이트 필름을 접합하여 두께 150 ㎛의 편광판(20)을 얻었다.

마지막으로, 앞의 필름 센서 부재 및 편광판을, 사이에 편광판을 협지하도록 커버 유리의 이면의 접착제에 의해 접합하여 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서로 한다.

《실시예 2》

두께 200 ㎛의 PC 필름의 한쪽 면에 투명 도전막으로서 인듐 주석 산화물로 이루어지는 스퍼터링법으로 200 nm의 두께로 형성하고, 그 위에 차광성 도전막으로서 동막을 스퍼터링법으로 500 nm의 두께로 형성하고, 제1 도전성 필름을 준비하다. 또, 두께 200 ㎛의 λ/4 위상차 필름의 한쪽 면에 투명 도전막으로서 인듐 주석 산화물로 이루어지는 스퍼터링법으로 200 nm의 두께로 형성하고, 그 위에 차광성 도전막으로서 동막을 스퍼터링법으로 500 nm의 두께로 형성하고, 제2 도전성 필름을 준비한다. 이어서, 제1 및 제2 도전성 필름을 접착제를 사용하여 라미네이트 하고, 기체 시트의 양면에 투명 도전막 및 차광성 도전막을 각각 적층한 적층체를 얻은 것 이외에는, 실시예 1 과 마찬가지이다.

《실시예 3》

필름 센서 부재와 편광판과의 사이에 두께 200 ㎛의 λ/2 위상차 필름을 개재시킨 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지이다.

《실시예 4》

필름 센서 부재와 편광판과의 사이에 두께 200 ㎛의 λ/2 위상차 필름을 개재시킨 것 이외에는, 실시예 2와 마찬가지이다.

《실시예 5》

제1 도전성 필름의 PC 필름에 대신하여, 두께 200 ㎛의 λ/2 위상차 필름을 사용한 것 이외에는, 실시예 2와 마찬가지이다.

《실시예 6》

필름 센서 부재와 커버 유리와의 사이에 편광판을 끼워두지 않는 것 이외에는, 실시예 1 과 마찬가지이다.

어느 실시예의 경우도, 목적으로 하는 광학 기능을 발휘하면서, 내장 제품의 두께가 얇고, 또한 협 프레임화한 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서를 얻을 수 있다.

[산업상 이용 가능성]

본원 발명은 PDA, 핸디 터미널 등 휴대 정보 단말기, 복사기, 팩시밀리 등의 OA 기기, 스마트 폰, 휴대 전화기, 휴대 게임기기, 전자 사전, 카 네비게이션 시스템, 소형 PC, 디지털 카메라, 비디오 카메라, 휴대형 MD(PMD) 등의 전자 기기의 액정 표시부에 장착되는 광학 기능이 부가된 정전 용량 방식 터치 센서의 발명이다.

1 광학 기능이 포함된 정전 용량 방식 터치 센서
2 커버 유리
3 필름 센서 부재
4 유리 기판
5 프레임형 가식층
6 λ/4 위상차 필름
7 중앙 윈도우부
8 외측 프레임부
9 투명 도전막
10 전극 패턴
11 세선 라우팅 회로 패턴
12 차광성 도전막
13 단자부
14 방청 기능층
15 프레임형 차광층
16 제1 포토레지스트층
17 마스크
18 제2 포토레지스트층
19 마스크
20 편광판
21 광학 등방성 필름
22 λ/2 위상차 필름
28 제3 포토레지스트층
29 마스크
30 제4 포토레지스트층
31 마스크
32 노광 광선
46, 47 다이아몬드형 전극
469.479 접속 배선

Claims (7)

1. 커버 유리 및 상기 커버 유리의 이면에 접합된 정전 용량 방식의 필름 센서 부재를 구비한 정전 용량 방식 터치 센서로서,
   상기 필름 센서 부재는,
   λ/4 위상차 필름을 포함하는 투명한 기체(基體) 시트;
   상기 기체 시트의 양면에 각각, 중앙 윈도우부의 전극 패턴 및 외측 프레임부의 세선(細線) 라우팅(routing) 회로 패턴을 가지도록 형성된 투명 도전막; 및
   상기 투명 도전막의 상기 세선 라우팅 회로 패턴 상에 각각 적층된 차광성 도전막
   을 포함하는, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
2. 제1항에 있어서,
   상기 커버 유리와 상기 필름 센서 부재 사이에 편광판을 포함하는, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/4 위상차 필름 단층인, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/4 위상차 필름과 광학 등방성 필름을 접착한 적층체인, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
5. 제2항에 있어서,
   상기 필름 센서 부재와 상기 편광판과의 사이에 λ/2 위상차 필름을 포함하는, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
6. 제2항에 있어서,
   상기 필름 센서 부재의 상기 기체 시트는 λ/2 위상차 필름과 λ/4 위상차 필름을 접착한 적층체이고,
   상기 적층체의 λ/2 위상차 필름이 상기 편광판 측에 배치되어 있는, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 필름 센서 부재는,
   상기 투명 도전막, 상기 차광성 도전막이 형성된 상기 기체 시트의 표면 주위 에지부에 형성된, 컬러 레지스트 재료의 노광 현상물로 이루어지는 프레임형 차광층을 포함하는, 광학 기능 포함 정전 용량 방식 터치 센서.

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