KR20140089725A - 열확산 시트 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 열확산 시트의 점착층의 고분자 매트릭스 내에 분산된 금속, 탄소계, 세라믹 등의 소재로 이루어진 이방성 필러를 시트의 두께방향으로 배향시킴으로써 열발생부의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 발생한 열을 효율적으로 확산시킬 수 있는 열확산 시트 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상기한 본 발명의 열확산 시트는 PET 필름, 이 필름의 지지체인 그래파이트 시트층, 이를 발열체에 점착할 수 있는 점착층 및 상기 점착층을 보호할 수 있는 이형필름으로 이루어진 열확산 시트로서, 상기 점착층은 자성체가 부분적으로 도핑된 필러가 고분자 매트릭스 내에 두께방향으로 배향되어 있는 구조로 되고, 상기 필러는 탄소나노튜브에 마그네틱 잉크로 부분적으로 도핑되어 있는 구조로 되어 있음을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 열확산 시트는 점착층의 고분자 매트릭스 내에 분산된 금속, 탄소계, 세라믹 등의 소재로 이루어진 이방성 필러를 시트의 두께방향으로 배향시킴으로써, 이방성 필러에 의한 채널을 통해 발열부품의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 기기의 내부에서 발생한 열을 효율적으로 확산시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있어, 본 발명에 따른 열확산 시트에 의해 전자기기 상에 실장된 부품 및 소자에서 발생되는 열을 효과적으로 전도하고 확산시킴으로써, 부품 및 소자의 수명을 향상시킬 수 있고, 소비자가 모바일 기기와 같은 휴대용 전자기기에 직접 접촉함으로써 느낄 수 있는 발열에 대한 거부감을 해소할 수 있는 효과를 거둘 수 있다.

Description

열확산 시트 및 그 제조방법{Thermal diffusion sheet and the manufacturing method thereof}

본 발명은 열확산 시트 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 열확산 시트를 제조함에 있어서 점착층의 고분자 매트릭스 내에 분산된 금속, 탄소계, 세라믹 등의 소재로 이루어진 이방성 필러를 시트의 두께방향으로 배향시킴으로써 열발생부의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 발생한 열을 효율적으로 확산시킬 수 있는 열확산 시트 및 그 제조방법에 관한 것이다.

최근 전자 제품의 소형화, 박형화, 고기능화, 고성능화와 함께 필수적으로 발생된 열을 한정된 좁은 공간 내에서 효율적으로 확산시키는 방법이 제공되어야 하는데, 이와 같은 열확산 방법으로는 일반적으로 열전도성 시트, 열전도성 테이프, 열전도성 그리스(Grease), 열전도성 접착제 또는 열전도성 상변화 재료 등의 방열부재를 설계하게 되며, 이러한 경우에 있어서 열전도성을 향상시키는 목적으로, 매트릭스 재료 중에 열전도성의 무기입자 필러를 배합한 여러 가지 열전도성 복합재료 조성물 및 그 성형 가공품이 제안되고 있다. 그 중에 열전도성의 무기 입자 필러로서 사용되는 물질은 그래파이트, 탄소나노튜브, 그래핀과 같은 카본계 소재, 은 및 구리 등의 전기 전도성을 가지는 금속 물질과, 알루미나, 실리카, 질화알루미늄 및 질화붕소 등의 전기 절연성의 물질로 대별된다. 그러나, 단순히 무기입자 필러를 고분자 수지로 이루어진 매트릭스 내에 분산시키는 것만으로는 전자부품 및 소자에서 발생되는 열을 충분히 방출시키는데 한계가 있다는 문제가 있다.

따라서, 해당업계에서는 방열부재의 두께 방향으로 고열전도성을 부여하기 위해 여러 가지 방법을 제안하였는데, 예를 들어, 열전도 시트의 두께 방향에 고열전도성을 부여하기 위한 시도로써, 일본국 특허공개공보 제2000-195998호에는 탄소섬유를 실리콘고무의 두께 방향에 배향하게 하는 것으로, 시트의 두께 방향에 고열전도성의 이방성 열전도율을 가지는 시트의 제조방법을 제안하고 있다. 이와 같은 방법으로 시트를 제조하면, 통상의 제법으로 얻어지는 시트보다도 두께 방향에 고열전도성을 가지는 시트를 얻을 수 있으나, 탄소섬유를 두께 방향에 고밀도로 충진할 경우, 시트의 표면 경도가 상승하기 때문에, 발열부품과 방열 부재와의 밀착성이 저하되고, 열저항이 증대하는 단점이 있다. 또한, 일본국 특허등록 제3345986호 공보에서는 고분자 필름을 2400℃ 이상의 고온의 열처리로 얻어지는 그래파이트 필름의 적층을 통해 형성될 수 있는 그래파이트 블록을 그래파이트 면과 수직인 방향으로 얇게 절단함으로써, 두께 방향으로 고열전도성을 가지는 그래파이트 시트를 얻을 수 있는 방법을 제안하고 있다. 하지만, 이와 같은 방법으로 얻어지는 물질은 시트형태보다는 오히려 플레이트라고 할 정도로 고경도의 방열부재로서, 발열체와 방열부재와의 계면에서의 열저항을 효과적으로 감소시키기는 어렵다는 문제점이 있다. 또한, 일본국 특허공개공보 제2002-080617호에서는, 질화붕소 분말이 충전된 고분자 조성물로 이루어지는 열전도성 시트로서, 질화붕소 분말이 일정 방향으로 자장 배향한 열전도성 시트를 개시하고 있으며, 일본국 특허공개공보 제2002-026202호에서는 열가소성의 수지로 이루어지는 바인더 수지와 무기 충진재의 입자와의 혼합물로부터 성형한 1차 시트를 적층하고, 그 얻어진 적층체를 적층면에 대해서 수직인 방향으로 슬라이싱하는 것에 의해서 얻어지는 열전도성 시트를 개시하고 있다. 그러나, 상술한 바와 같은 특정의 무기입자 필러를 고분자 매트릭스 내에 랜덤하게 분산시킨 성형체나, 무기입자 필러를 일정방향으로 배향시킨 성형체라 하더라도 열전도성이 아직 불충분하다는 문제점이 여전히 있다.

더욱이, 열확산 시트를 발열부품에 부착하기 위해 형성된 점착층에 있어서 두께방향의 열전도 능력의 부족으로 전체 열확산 시트의 열전도율의 효율을 하락시키는 경향이 있다.

본 발명자 등은 상기의 문제점에 착안하여 전자 기기 상에 실장된 전자부품 및 소자로부터 발생되는 열을 효과적으로 전도하고 확산시키기 위한 열확산 시트 및 이의 제조 방법에 대해 예의 연구하여 본 발명을 완성하게 되었다.

특허문헌 1: 일본국 특허공개공보 제2000-195998호 특허문헌 2: 일본국 특허등록 제3345986호 특허문헌 3: 일본국 특허공개공보 제2002-080617호 특허문헌 4: 일본국 특허공개공보 제2002-026202호

따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술에 있어서의 기술적 문제점을 감안하여 된 것으로, 본 발명의 주목적은 열발생부의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 발생한 열을 효율적으로 확산시킬 수 있는 열확산 시트를 제공하기 위한 것이다. 더욱 구체적으로는, 본 발명은 소형화, 박형화, 고기능화, 고성능화와 함께, 전자부품 및 소자를 포함하는 협소한 공간에서 기판의 표면을 따라 열을 확산시키기 위해 그래파이트, 금속 또는 세라믹으로 만들어진 열확산 시트를 사용함으로써, 발생된 열을 한정된 좁은 공간 내에서 효율적으로 확산시키는 방법으로서, 열확산 시트를 발열부품에 부착하기 위해 형성된 점착층에 있어서 두께방향의 열전도 능력의 부족으로 전체 열확산 시트의 열전도율의 효율을 하락시키는 경향을 월등하게 개선하여 전자 기기상에 실장된 전자부품 및 소자로부터 발생되는 열을 효과적으로 전도하고 확산시킬 수 있는 열확산 시트를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기한 우수한 특성을 가지는 열확산 시트의 보다 용이한 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 또한 상기한 명확한 목적 이외에 본 명세서의 전반적인 기술로부터 이 분야의 통상인에 의해 용이하게 도출될 수 있는 다른 목적을 달성함을 그 목적으로 할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열확산 시트는:

PET 필름, 이 필름의 지지체인 그래파이트 시트층, 이를 발열체에 점착할 수 있는 점착층 및 상기 점착층을 보호할 수 있는 이형필름으로 이루어진 열확산 시트로서, 상기 점착층은 자성체가 부분적으로 도핑된 필러가 고분자 매트릭스 내에 두께방향으로 배향되어 있는 구조로 되고, 상기 필러는 탄소나노튜브에 마그네틱 잉크로 부분적으로 도핑되어 있는 구조로 되어 있음을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러는 그래핀을 포함하는 것임을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러는 알루미나, 질화알루미늄 또는 질화붕소에서 선택된 하나 또는 그 이상을 포함하는 것임을 특징으로 한다.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열확산 시트의 제조방법은:

PET 필름, 이 필름의 지지체인 그래파이트 시트층, 이를 발열체에 점착할 수 있는 점착층 및 상기 점착층을 보호할 수 있는 이형필름으로 이루어진 열확산 시트의 제조방법에 있어서,

상기 제조방법은 직경이 수십 nm인 탄소나노튜브에 함침공정과 UV경화 공정을 통해 마그네틱 잉크를 부분적으로 도핑하여 얻어진 자성체 탄소나노튜브 필러를 점착제에 분산시켜 혼합액으로 제조하고, 이 혼합액을 최상부 PET 필름 이면에 위치에 있는 그래파이트 시트층에 균일하게 도포한 후, 이형필름을 합지하고, 자기장이 형성된 장치를 거치면서 동시에 UV경화를 실시하여 제조함을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 구성에 따르면, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러의 배향은 자기장 또는 전기장의 인가에 의해 수행되는 것임을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 열확산 시트는 점착층의 고분자 매트릭스 내에 분산된 금속, 탄소계, 세라믹 등의 소재로 이루어진 이방성 필러를 시트의 두께방향으로 배향시킴으로써, 이방성 필러에 의한 채널을 통해 발열부품의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 기기의 내부에서 발생한 열을 효율적으로 확산시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있어, 본 발명에 따른 열확산 시트에 의해 전자기기 상에 실장된 부품 및 소자에서 발생되는 열을 효과적으로 전도하고 확산시킴으로써, 부품 및 소자의 수명을 향상시킬 수 있고, 소비자가 모바일 기기와 같은 휴대용 전자기기에 직접 접촉함으로써 느낄 수 있는 발열에 대한 거부감을 해소할 수 있는 효과를 거둘 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 열확산 시트의 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 열확산 시트의 점착층 내에 자성체가 표면에 부분적으로 도핑된 무기입자 필러가 수직으로 배향된 모식도를 도시한다.

이하, 본 발명을 첨부도면을 참고로 바람직한 실시형태에 의해 더욱 자세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 열확산 시트의 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 열확산 시트의 점착층 내에 자성체가 표면에 부분적으로 도핑된 무기입자 필러가 수직으로 배향된 모식도를 도시한다.

도 1에 도시된 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 열확산 시트는 전자 기기의 회로기판 등에 실장된 반도체 소자 및 전자부품에서 발생되는 열을 방출하는 것으로, 발열부품 계면에 사용되어 진다.

상기한 바와 같이, 최근 전자 제품의 소형화, 박형화, 고기능화, 고성능화와 함께, 전자부품 및 소자를 포함하는 기판을 설치하기 위한 공간은 더욱 협소해 지는 경향이 있고 따라서, 기판의 표면을 따라 열을 확산시키기 위해 그래파이트, 금속 또는 세라믹으로 만들어진 열확산 시트를 사용함으로써, 발생된 열을 한정된 좁은 공간 내에서 효율적으로 확산시키는 방법이 많이 사용되고 있지만, 열확산 시트를 발열부품에 부착하기 위해 형성된 점착층에 있어서 두께방향의 열전도 능력의 부족으로 전체 열확산 시트의 열전도율의 효율을 하락시키는 경향이 있었는데, 본 발명자 등은 이러한 종래의 문제점에 착안하여 전자 기기상에 실장된 전자부품 및 소자로부터 발생되는 열을 효과적으로 전도하고 확산시킬 수 있는 열확산 시트의 구조를 안출하여 본 발명을 제공하게 되었다.

상기한 본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단으로, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 본 발명의 열확산 시트를 구성하는 점착층(3)에는 그 안에 투입되는 필러(5)를 두께방향으로 배향시킴으로써, 전자 부품 및 소자에서 발생되는 열을 점착층(3)을 통하여 상부에 위치하고 있는 그래파이트 시트층(2) 등의 방열부재로 최대한 전달할 수 있는 적층구조의 열확산 시트로 구성되어 진다. 그래파이트 시트층(2)는 면 방향으로 열전도율이 우수한 방열부재로 탄소나노튜브 또는 그래핀으로 이루어진 시트로 대체될 수 있으며, 면 방향으로 열전도율이 우수한 재료이면 특정 소재에 국한하지 않는다. 그러나, 가격적인 측면에서 유리한 그래파이트 시트를 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 열확산 시트에서 점착층에 투입되는 필러는 탄소나노튜브에 마그네틱 잉크로 부분적으로 도핑되어 있는 구조로 되어 있다. 마그네틱 잉크로 도핑 가능한 소재로 그래핀과 같은 탄소계 소재, 또는 알루미나, 질화알루미늄 또는 질화붕소와 같은 금속 또는 세라믹 등을 사용할 수 있으나, 공정상 도핑의 용이함을 위해 탄소나노튜브를 사용하는 것이 가장 바람직하다. 탄소나노튜브의 열전도율은 특별히 한정되지는 않으나, 탄소 섬유의 길이 방향에서의 열전도율은 바람직하게는 400W/m·K 이상, 더욱 바람직하게는 800 W/m·K 이상, 특히 바람직하게는 1,000 W/m·K 이상이 좋다.

본 발명에 따른 필러(5)의 탄소나노튜브에 마그네틱 잉크를 부분적으로 도핑하는 공정을 거쳐 자성체 필러(5)를 제조하는 방법은 다음과 같다.

먼저, 직경이 수십 nm 수준의 탄소나노튜브를 UV 마그네틱 잉크가 채워진 용기에 투입하는 함침 공정을 통해 수 nm에서 수십 nm 두께로 도핑을 실시한다. 상기 UV 마그네틱 잉크는 통상의 시장에서 확보할 수 있는 잉크이면 충분하다. 또한, 탄소나노튜브 직경은 10nm에서 15nm 수준의 제품이 가장 적합하다. 도핑두께는 박막일수록 좋을 수 있으나, 너무 얇게 도핑되면 자기장이 인가되었을 때, 필러의 배향 정도가 감소할 수 있으므로, 바람직하게는 5nm 이하가 바람직하다. 도핑된 탄소나노튜브를 연속적으로 UV경화기로 경화시킴으로써, 탄소나노튜브 표면에 자성체를 고착시킨다. 이때, 탄소나노튜브 표면에는 통상적으로 표면장력이 높은 UV 마그네틱 잉크에 의해 탄소나노튜브 표면에 자성체가 부분적으로 고착화된다. 상기와 같은 공정을 통해 탄소나노튜브 표면에 부분적으로 자성체가 도핑된 필러를 완성할 수 있다. 상기 자성체 필러의 길이는 수 ㎛ 수준이 바람직하나, 가장 바람직하게는 1㎛에서 10㎛ 수준의 제품이 가장 적합하다.

다음으로, 상기와 같이 제조된 자성체 필러를 점착제에 분산시켜 혼합액을 제조한다. 점착제에 사용되는 고분자 수지는 아크릴 수지, 에폭시 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 불포화 비닐계 수지, 폴리이미드 수지, 페놀수지, 실리콘수지 등의 폭넓은 고분자를 사용할 수 있다. 그 중에서 UV경화에 여러 가지 측면에서 장점이 많은 아크릴계 수지가 적합하다.

상기와 같이 하여 자성체 필러가 혼합된 UV 경화형 수지를 최상부 PET 필름 이면에 위치에 있는 그래파이트 시트층에 균일하게 도포한 후, 이형필름을 합지하고, 자기장이 형성된 장치를 거치면서 동시에 UV경화를 실시하여 열확산 시트를 완성할 수 있다. 이때, 자기장의 자속밀도는 바람직하게는 0.5 내지 20T(Tesla), 더욱 바람직하게는 1 내지 20T, 가장 바람직하게는 2 내지 10T가 적당하다. 상기 자속밀도가 0.5T보다 작을 경우에는 자성체 필러를 충분히 배향될 수가 없어서, 열확산 시트의 열전도율을 바람직한 범위에서 제어하기가 쉽지 않으며, 20T 이상의 자속밀도를 갖는 자장을 구현하기에도 사실상 용이하지가 않기 때문에 바람직하지 않다. 실제적으로는 2 내지 10T 범위의 자속밀도가 유효하다.

상기와 같이 자성체 필러가 혼합된 UV 경화형 수지를 도포하는 방법은 당업계에서 통상적으로 사용할 수 있는 콤마코팅, 슬롯다이 코팅, 실크 스크린 등과 같은 방법으로 점도가 어느 정도 있는 도포액을 코팅할 때 사용되는 일반적인 코팅방법을 사용할 수 있다.

본 발명에 따른 상기 그래파이트 시트층은 지지체인 PET 필름상에 그래파이트 시트가 도포되어 있는 형태의 제품을 적용할 수 있다.

본 발명에 따른 열확산 시트의 각 층의 두께는, 이에 특히 한정되는 것은 아니지만, 상기 PET 필름의 두께는 10 내지 30㎛, 그래파이트 층의 두께는 25 내지 45㎛, 점착층은 10 내지 30㎛, 이형필름은 30 내지 50㎛ 수준으로 하는 것이 바람직하다.

상기와 같은 방법으로 제조된 본 발명의 열확산 시트를 발열부품에 적용할 경우, 점착층의 두께방향 열전도율의 향상을 통해 상부 그래파이트 시트에 최대한 전달된 열을 효과적으로 확산시킬 수 있어, 모바일 기기 및 디스플레이를 포함한 전자 기기의 회로기판 등에 실장된 반도체 소자 및 전자부품 등에서 발생되는 열을 본 발명에 따른 열확산 시트를 통하여 효과적으로 전도하고 확산시킴으로써, 부품 및 소자의 발열로 인한 성능 저하의 방지와 최종제품의 장기 신뢰성을 확보하는데 크게 기여할 수 있게 된다.

이하, 본 발명을 실시예 및 비교예에 의해 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 한정되지 않음은 물론이다.

실시예

직경이 10nm 수준의 탄소나노튜브를 동양잉크㈜ 하이큐어 UV 마그네틱 잉크로 함침법에 의해 5nm 정도의 두께로 도핑한 후, BL램프로 2분 정도 UV경화를 실시한다. 이를 통해, 자성체가 표면에 부분적으로 도핑된 5㎛ 정도 길이의 탄소나노튜브 필러를 완성한다. 일반 아크릴계 점착제에 탄소나노튜브 자성체 필러를 분산시킨 혼합물을 그래파이트 시트의 지지체인 PET 필름 반대 면에 콤마코터 또는 실크 스크린 등으로 30㎛ 정도 도포한 후, 이형필름을 합지하고 자기장 인가 장치를 통과시켜서 열확산 시트를 완성한다. 자기장 인가 장치의 자속밀도는 10T로 설정하였다. 완성된 열확산 시트의 열전도율(W/mK)과 온도하강 효과를 측정한다. 열전도율은 레이저 플래쉬법을 적용하고 있는 독일 네취사 제품인 LFA 457 마이크로플래쉬 측정장비를 이용하여 두께방향 열전도율을 측정하였다. 수직방향 열전도율 측정시 그래파이트 시트의 지지체인 PET 필름을 제거하고 측정하였다. 온도하강 정도는 발열체에 열확산 시트를 부착하고, 비접촉식 온도계로 온도변화 정도를 측정하고, 그 결과를 다음 표 1에 나타냈다.

종류	열전도율(W/mK)	온도 하강폭
자성체가 부분적으로 도핑된 탄소나노튜브 필러 함유 열확산시트	4.0	9℃

비교예

자성체가 부분적으로 도핑된 탄소나노튜브 필러를 투입한 것이 아니라, 일반 탄소나노튜브 무기입자 필러를 투입하여 분산시킨 것 이외에는 실시예와 동일한 방법으로 열확산 시트를 제조하였다. 또한, 실시예와 동일한 방법으로 열전도율과 온도 하강폭을 측정하고 그 결과를 다음 표 2에 나타냈다.

종류	열전도율(W/mK)	온도 하강폭
자성체가 미도핑된 일반 탄소나노튜브 필러 함유 열확산시트	1.2	3.8℃

상기 실시예 및 비교예에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 실시예의 열확산 시트에서는 점착층의 고분자 매트릭스 내에 분산된 금속, 탄소계, 세라믹 등의 소재로 이루어진 이방성 필러를 시트의 두께방향으로 배향시킴으로써, 이방성 필러에 의한 채널을 통해 발열부품의 열을 효과적으로 점착층 상부에 위치한 탄소계 또는 금속 박막 시트에 전달하여 발생한 열을 효율적으로 확산시켜, 비교예에 비하여 월등하게 온도를 하강시킴을 알 수 있다.

1 : PET 필름
2 : 그래파이트 시트층
3 : 점착층
4 : 이형필름
5 : 자성체가 부분적으로 도핑된 탄소나노튜브 필러
6 : 탄소나노튜브
7 : 자성체
8 : 고분자 매트릭스

Claims (5)

1. PET 필름, 이 필름의 지지체인 그래파이트 시트층, 이를 발열체에 점착할 수 있는 점착층 및 상기 점착층을 보호할 수 있는 이형필름으로 이루어진 열확산 시트로서, 상기 점착층은 자성체가 부분적으로 도핑된 필러가 고분자 매트릭스 내에 두께방향으로 배향되어 있는 구조로 되고, 상기 필러는 탄소나노튜브에 마그네틱 잉크로 부분적으로 도핑되어 있는 구조로 되어 있음을 특징으로 하는 열확산 시트.
   
2. 제 1항에 있어서, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러는 그래핀을 포함하는 것임을 특징으로 하는 열확산 시트.
   
3. 제 1항에 있어서, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러는 알루미나, 질화알루미늄 또는 질화붕소에서 선택된 하나 또는 그 이상을 포함하는 것임을 특징으로 하는 열확산 시트.
   
4. PET 필름, 이 필름의 지지체인 그래파이트 시트층, 이를 발열체에 점착할 수 있는 점착층 및 상기 점착층을 보호할 수 있는 이형필름으로 이루어진 열확산 시트의 제조방법에 있어서,
   상기 제조방법은 직경이 수십 nm인 탄소나노튜브에 함침공정과 UV경화 공정을 통해 마그네틱 잉크를 부분적으로 도핑하여 얻어진 자성체 탄소나노튜브 필러를 점착제에 분산시켜 혼합액으로 제조하고, 이 혼합액을 최상부 PET 필름 이면에 위치에 있는 그래파이트 시트층에 균일하게 도포한 후, 이형필름을 합지하고, 자기장이 형성된 장치를 거치면서 동시에 UV경화를 실시하여 제조함을 특징으로 하는 열확산 시트의 제조방법.
   
5. 제 4항에 있어서, 상기 자성체가 부분적으로 도핑된 필러의 배향은 자기장 또는 전기장의 인가에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 열확산 시트의 제조방법.

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