KR20140084482A - 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치 - Google Patents

전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20140084482A
KR20140084482A KR1020120153672A KR20120153672A KR20140084482A KR 20140084482 A KR20140084482 A KR 20140084482A KR 1020120153672 A KR1020120153672 A KR 1020120153672A KR 20120153672 A KR20120153672 A KR 20120153672A KR 20140084482 A KR20140084482 A KR 20140084482A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
power semiconductor
phase
relay switch
emitter
switching
Prior art date
Application number
KR1020120153672A
Other languages
English (en)
Inventor
서상훈
김승환
함석진
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020120153672A priority Critical patent/KR20140084482A/ko
Priority to US13/845,042 priority patent/US9279861B2/en
Priority to JP2013266246A priority patent/JP2014128031A/ja
Publication of KR20140084482A publication Critical patent/KR20140084482A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/40—Testing power supplies
    • G01R31/42—AC power supplies
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치에 관한 것으로, 상기 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치는, 복수의 상(phase)에 대응되는 복수의 전력반도체 소자로 구성되어 해당 전력반도체 소자의 스위칭 동작을 테스트 받는 전력반도체 모듈; 상기 전력반도체 모듈에 전원을 공급하는 전원부; 상기 전력반도체 모듈과 상기 전원부 사이를 릴레이 제어신호에 따라 연결하거나 차단하는 복수의 릴레이 스위치 소자로 구성된 릴레이 스위칭부; 및 상기 복수의 전력반도체 소자 중 하나 이상의 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 또는 동시에 테스트하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 제어부를 포함하며, 복수의 릴레이 스위치 소자의 제어를 통해 복수의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 각각 테스트하는 것은 물론 동시에 테스트함으로써 사용자의 편의를 향상시키고, 테스트 시간도 감축할 수 있다.

Description

전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치{Apparatus for testing switching of Power Semiconductor Module}
본 발명은 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치에 관한 것이다.
최근 전력반도체, 특히 IGBT(insulated gate bipolar mode transistor) 및 IPM(Intelligent power module) 등의 전력반도체 모듈에서 스위치 소자의 고장이 핵심 이슈(issue)가 되고 있다.
이러한 전력반도체 모듈용 스위치 소자는 온/오프 반복동작에 의해 발열 및 냉각이 발생하게 되는데, 이에 따라 열팽창계수 CTE(Coefficient of Thermal Expansion) 불일치에 의해 발생된 열 응력으로 인해 제품에 박리나 크랙(crack) 등과 같은 고장이 발생하게 된다.
상기 전력반도체 모듈의 내구성을 결정하는 변수는 본딩 와이어 재질, 본딩 공정, 다이 재질, 기판재질, 솔더 종류, 솔더 형상, 베이스 플레이트(base plate) 재질 등 있으며, 이들은 열저항과 밀접한 관계가 있으므로 재료선정 및 공정확립이 까다롭다.
고온이나 저온 동작에서의 전력반도체 모듈의 신뢰성은 제조기술의 발달로 비교적 안정적이다. 특히, 사용범위가 확대되고 있는 가전, 전기차 분야에서의 주요 동작특성은 온/오프 동작을 반복한다는 점인데, 소모전력량이 크고 개별부품이 큰 편이기 때문에 기존 저전력반도체 모듈에 비해 온도변화가 중요 요소로 부각되고 있다.
하기의 선행기술문헌에 기재된 특허문헌은 고속 전력용 반도체 소자의 스위칭 테스트 장치로서, 단일의 고속 전력용 반도체 소자의 스위칭을 테스트하는 장치 가 개시된다.
종래의 전력반도체 모듈용 스위치 소자는 단일의 스위치 소자만을 테스트할 수 있다. 이에 따라, 복수의 전력반도체 모듈용 스위치 소자가 사용될 때 이들을 각각 테스트하려면 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
따라서, 간단한 회로의 구성으로 복수의 전력반도체 모듈용 스위치 소자를 테스트할 수 있는 신규의 테스트 장치가 요구된다.
대한민국 특허등록번호 제10-0227267호
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 릴레이 스위치 소자의 제어를 통해 복수의 전력반도체 모듈용 스위치 소자를 각각 테스트하는 것은 물론 다양한 조합의 상기 복수의 전력반도체 모듈용 스위치 소자를 동시에 테스트하는 것이 가능한 전력반도체의 스위칭 테스트 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른, 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치는, 복수의 상(phase)에 대응되는 복수의 전력반도체 소자로 구성되어 해당 전력반도체 소자의 스위칭 동작을 테스트 받는 전력반도체 모듈; 상기 전력반도체 모듈에 전원을 공급하는 전원부; 상기 전력반도체 모듈과 상기 전원부 사이를 릴레이 제어신호에 따라 연결하거나 차단하는 복수의 릴레이 스위치 소자로 구성된 릴레이 스위칭부; 및 상기 복수의 전력반도체 소자 중 하나 이상의 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 또는 동시에 테스트하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 전력반도체 모듈은, 각 상에 대응되어 상기 릴레이 제어신호에 따라 상기 전원이 공급되거나 차단되도록 상기 전원부에 각각 병렬로 연결된 복수의 전력반도체 회로; 및 상기 복수의 전력반도체 회로의 온/오프 동작을 위해 게이트 제어신호에 따라 입력되는 게이트 신호를 제어하는 게이트 구동 전원을 포함한다.
또한, 상기 복수의 전력반도체 회로는, 제1상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제1 전력반도체 회로; 제2상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제2 전력반도체 회로; 및 제3상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제3 전력반도체 회로를 포함한다.
또한, 상기 제1 전력반도체 회로는, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제1상 상위 다이오드; 및 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제1상 하위 다이오드를 더 포함한다.
또한, 상기 제2 전력반도체 회로는, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제2상 상위 다이오드; 및 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제2상 하위 다이오드를 더 포함한다.
또한, 상기 제3 전력반도체 회로는, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제3상 상위 다이오드; 및 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제3상 하위 다이오드를 더 포함한다.
또한, 상기 릴레이 스위칭부는, 상기 제1 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제1 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제1상 릴레이 스위치 회로; 상기 제2 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제2 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제2상 릴레이 스위치 회로; 및 상기 제3 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제3 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제3상 릴레이 스위치 회로를 포함한다.
또한, 상기 제1상 릴레이 스위치 회로는, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제1상 제1 릴레이 스위치 소자; 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제2 릴레이 스위치 소자; 및 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함한다.
또한, 상기 제2상 릴레이 스위치 회로는, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제2상 제1 릴레이 스위치 소자; 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제2 릴레이 스위치 소자; 및 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함한다.
또한, 상기 제3상 릴레이 스위치 회로는, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제3상 제1 릴레이 스위치 소자; 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제2 릴레이 스위치 소자; 및 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 상위 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 테스트하는 경우 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 하위 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 테스트하는 경우 해당 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제2 스위치 소자 에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 동일한 상의 상위 및 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 상이한 상의 상위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 상이한 상의 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 어느 한 상의 상위 전력반도체 소자와 상기 상위 전력반도체 소자와 상이한 상의 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제2 릴레이스위치 소자와 해당 하위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 상기 해당 상위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자와 상기 해당 하위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 상위 전력반도체 소자 3개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 하위 전력반도체 소자 3개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
또한, 상기 제어부는, 상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 6개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 복수의 릴레이 스위치 소자의 제어를 통해 복수의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 각각 테스트하는 것은 물론 동시에 테스트함으로써 사용자의 편의를 향상시킴은 물론 테스트 시간을 감축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 전력반도체의 스위칭 테스트 장치의 회로도이다.
도 2의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 1개의 전력반도체 소자의 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
도 3의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 2개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
도 4의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 3개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 6개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "제1", "제2", "일면", "타면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 전력반도체의 스위칭 테스트 장치의 회로도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 전력반도체의 스위칭 테스트 장치는 전력반도체 모듈(10), 릴레이 스위칭부(20), 전원부(30), 측정부(40), 저장부(50) 및 제어부(60)를 포함하여 구성된다.
상기 전력반도체 모듈(10)은 적어도 하나 이상의 전력반도체 소자들로 이루어지며, 본 발명에서는 소정 장치(예, 모터)(미도시)의 구동을 위해 N개의 상(phase)(예, U, V, W)에 대응되는 N개의 전력반도체 회로(11, 12, 13)로 구성된다.
상기 N개의 전력반도체 회로(11, 12, 13)는 상기 소정 장치에 설계된 N개의 상에 대응되어 게이트 제어신호에 따라 온/오프되는 상위 전력반도체 소자(Q1, Q3, Q5)와 하위 전력반도체 소자(Q2, Q4, Q8)로 이루어진 N쌍의 전력반도체 소자들을 포함하여 구성된다.
구체적으로, 제1상(U)의 전력반도체 회로(이하, 제1 전력반도체 회로(11))는 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)와, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)와, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)가 오프될 때 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제1상 상위 전류)를 환류시키는 제1상 상위 다이오드(D1)와, 그리고 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)가 오프될 때 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제1상 하위 전류)를 환류시키는 제1상 하위 다이오드(D2)로 구성된다.
그리고, 제2상(V)의 전력반도체 회로(이하, 제2 전력반도체 회로(12))는 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)와, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)와, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)가 오프될 때 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제2상 상위 전류)를 환류시키는 제2상 상위 다이오드(D3)와, 그리고 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)가 오프될 때 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제2상 하위 전류)를 환류시키는 제2상 하위 다이오드(D4)로 구성된다.
마찬가지로, 제3상(W)의 전력반도체 회로(이하, 제3 전력반도체 회로(13))는 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)와, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)와, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)가 오프될 때 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제3상 상위 전류) 를 환류시키는 제3상 상위 다이오드(D5)와, 그리고 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)가 오프될 때 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)의 콜렉터-이미터 전류(이하, 제3상 하위 전류)를 환류시키는 제3상 하위 다이오드(D6)로 구성된다.
또한, 상기 전력반도체 모듈(10)은 N쌍의 상위 및 하위 전력반도체 소자들()의 온/오프 동작을 제어하기 위해 해당 전력반도체 소자의 게이트에 하이 신호(H) 및 로우 신호(L)를 인가하는 게이트 구동 전원(14)을 더 포함할 수 있다.
상기 릴레이 스위칭부(20)는 상기 제어부(60)로부터 입력된 제어신호에 따라 온/오프하는 것으로, 본 발명에서는 각 상에 3개의 릴레이 스위치 소자를 설치하여 총 9개의 릴레이 스위치 소자(S1~S9)가 사용되었다.
이러한 상기 릴레이 스위칭부(20)는 상기 제1 전력반도체 회로(11)에 전원을 인가하기 위해 상기 제1 전력반도체 회로(11)와 상기 전원부(30)를 다양한 경로로 연결하는 다수의 제1상 릴레이 스위치(S1~S3)와, 상기 제2 전력반도체 회로(12)에 전원을 인가하기 위해 상기 제2 전력반도체 회로(12)와 상기 전원부(30)를 다양한 경로로 연결하는 다수의 제2상 릴레이 스위치(S4~S6)와, 그리고 상기 제3 전력반도체 회로(13)에 전원을 인가하기 위해 상기 제3 전력반도체 회로(13)와 상기 전원부(30)를 다양한 경로로 연결하는 다수의 제3상 릴레이 스위치(S7~S9)를 포함하여 구성된다.
구체적으로, 상기 다수의 제1상 릴레이 스위치(S1~S3)는 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제1상 제1 릴레이 스위치 소자(S1), 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제2 릴레이 스위치 소자(S2), 및 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제3 릴레이 스위치 소자(S3)로 구성된다.
상기 다수의 제2상 릴레이 스위치(S4~S6)는 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제2상 제1 릴레이 스위치 소자(S4), 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제2 릴레이 스위치 소자(S5), 및 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제3 릴레이 스위치 소자(S6)로 구성된다.
또한, 상기 다수의 제3상 릴레이 스위치(S7~S9)는 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제3상 제1 릴레이 스위치 소자(S7), 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제2 릴레이 스위치 소자(S7), 및 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)의 이미터와 상기 전원부(30)의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제3 릴레이 스위치 소자(S9)로 구성된다.
상기 전원부(30)는 N상으로 구성된 전력반도체 모듈(10)에 전압을 공급하는 것으로, 적어도 하나 이상의 전원(31, 32, 33)으로 구성된다.
예를 들어, 상기 전원부(30)가 3상의 전력반도체 모듈(10)에 전원을 공급하는 경우, 전원이 하나라면 상기 제1, 제2 및 제3 전력반도체 회로(11, 12, 13)는 각각 하나의 전원(예컨대, 31)에 병렬로 연결되고, 전원이 두 개인 경우 상기 제1 내지 제3 전력반도체 회로(11, 12, 13) 중 두 개의 전력반도체 회로(예컨대, 11,12)는 하나의 전원(예컨대, 31)에 나머지 전력반도체 회로(예컨대, 13)는 나머지 전원(예컨대, 32)에 연결되며, 전원이 세 개인 경우 상기 제1 내지 제3 전력반도체 회로(11, 12, 13)에 대응되도록 세 개의 전원(예컨대, 31, 32, 33)에 각각 병렬로 연결될 수 있다.
이러한 상기 전원부(30)는 다수의 전원을 사용할 경우 상기 전력반도체 모듈(10)의 온/오프 동작의 장시간 테스트 시 발생할 수 있는 전원의 열화를 감소시켜 전원 고장시 또 다른 전원으로 교체함으로써 전원 고장으로 인한 테스트 중단을 방지할 수 있다.
상기 측정부(40)는 하기에 상세히 후술될 제어부(60)의 제어에 의해 상기 릴레이 스위칭부(20)의 온/오프에 따라 해당 전력반도체 소자의 온도, 전류 및 전압을 측정한다.
이때, 상기 측정부(40)를 통해 측정된 해당 전력반도체 소자의 온도, 전류 및 전압과 저장부(50)에 미리 설정되어 저장된 해당 전력반도체 소자의 온도, 전류 및 전압의 설정값과 비교하여 해당 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 테스트할 수 있다.
즉, 상기 측정부(40)를 통해 측정된 값이 상기 저장부(50)에 미리 저장된 설정값의 허용 오차 범위 내에 존재할 때 해당 전력반도체 소자의 온/오프 특성은 양호한 것으로 판단할 수 있다. 이와 반대로, 상기 측정부(40)를 통해 측정된 값이 상기 설정값의 허용 오차 범위를 벗어날 경우 해당 전력반도체 소자의 온/오프 특성은 불량한 것으로 판단할 수 있다. 이러한 측정부(40)를 통해 측정된 결과는 하기의 도 2 내지 5에 도시하였다.
상기 제어부(60)는 상기 전력반도체 모듈(10)의 스위칭 테스트 장치를 전반적으로 제어하는 것으로, 특히 하나 이상의 전력반도체 소자(Q1, Q2, Q3, Q4, Q5, Q6)의 온/오프 동작을 각각 또는 동시에 테스트하도록 제어한다.
이러한 상기 제어부(60)는 해당 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 테스트하기 위해 해당 전력반도체 소자에 전원을 공급하도록 상기 전력반도체 모듈(10)과 상기 전원부(30) 사이를 다양한 경로로 연결하는 릴레이 스위칭부(20)의 온/오프를 제어한다.
예를 들어, 상기 제어부(60)는 해당 릴레이 스위치 소자를 온(on)시키는 제1 스위칭 제어신호나 해당 릴레이 스위치 소자를 오프(off)시키는 제2 스위칭 제어신호를 생성하여 상기 릴레이 스위칭부(20)에 제공할 수 있다.
또한, 상기 제어부(60)는 해당 전력반도체 소자가 온/오프 동작을 위해 해당 전력반도체 소자의 게이트에 '하이 신호(H)'나 '로우 신호(L)'를 인가하도록 상기 게이트 구동 전원(14)을 제어한다.
이러한 상기 제어부(60)는 상기 6개의 전력반도체 소자들(Q1, Q2, Q3, Q4, Q5, Q6)을 각각(1개씩) 테스트하거나, 2개, 3개 또는 6개를 동시에 테스트할 수도 있다.
이하에서, 상기 제어부(60)의 제어에 의해 본 발명에 따른 전력반도체 모듈에 사용된 다수의 전력반도체 소자의 갯수에 따른 스위칭 테스트를 더욱 상세히 설명하기로 한다.
1개의 전력반도체 소자의 테스트
상기 제어부(60)가 1개의 전력반도체 소자만을 테스트하고자 하는 경우 다음과 같이 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어할 수 있다.
예를 들어, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)를 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)에만 상기 전원부(30)를 연결하기 위해 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제1상 제2 릴레이 스위치 소자(S2)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1, S3~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
마찬가지로, 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)를 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)에만 상기 전원부(30)를 연결하기 위해 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제1상 제1 릴레이 스위치 소자(S1) 및 상기 제1상 제3 릴레이 스위치 소자(S3)에는 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S2, S4~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
이와 같은 방식으로 상기 제어부(60)는 상기 제2상의 상위 및 하위 전력반도체 소자(Q3, Q4) 및 상기 제3상의 상위 및 하위 전력반도체 소자(Q5, Q6) 각각의 온/오프 동작을 테스트하기 위해 해당 릴레이 스위치 소자들에 상기 제1 스위칭 제어신호 및 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
구분 상
(phase)		 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S9
Q1 UH off on off off off off off off off
Q2 VH off off off off on off off off off
Q3 WH off off off off off off off on off
Q4 UL on off on off off off off off off
Q5 VL off off off on off on off off off
Q6 WL off off off off off off on off on
2개의 전력반도체 소자를 동시 테스트
상기 제어부(60)가 2개의 전력반도체 소자를 동시에 테스트하고자 하는 경우 다음과 같이 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어할 수 있다.
2개의 전력반도체 소자를 동시 테스트하는 경우에는 다음과 같이 두 가지 방식으로 테스트할 수 있는데, 서로 직렬로 연결된 동일한 상(phase)의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍의 온/오프 동작을 동시에 테스트(제1 방식)하거나, 서로 병렬로 연결된 상이한 상(phase)의 2개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트(제2 방식)할 수 있다.
먼저, 제1 방식은 서로 직렬로 연결된 동일한 상의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q1-Q2, Q3-Q4, 또는 Q5-Q6)를 동시에 테스트하는 것으로, 예를 들어, 상기 제1상의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q1-Q2)을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1 전력반도체 회로(11)만 상기 전원부(30)에 병렬로 연결하기 위해 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제1상 제3 릴레이 스위치 소자(S3)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1~S2, S4~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
또한, 상기 제2상의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q3-Q4)을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제2 전력반도체 회로(12)만 상기 전원부(30)에 병렬로 연결하기 위해 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제2상 하위 전력반도체 소자(Q4)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제2상 제3 릴레이 스위치 소자(S6)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1~S5 및 S7~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
마찬가지로, 상기 제3상의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q5-Q6)을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제3 전력반도체 회로(13)만 상기 전원부(30)에 병렬로 연결하기 위해 상기 제3상 상위 전력반도체 소자(Q5)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제3상 하위 전력반도체 소자(Q6)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제3상 제3 릴레이 스위치 소자(S9)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1~S8)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
한편, 제2 방식은 서로 병렬로 연결된 상이한 상(phase)의 2개의 전력반도체 소자를 동시에 테스트하는 것으로, 예를 들어, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)와 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 온/오프 동작을 동시에 테스트하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)와 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)만 상기 전원부(30)에 각각 병렬로 연결하기 위해 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1) 및 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 각각의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1) 및 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 각각의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제1상 제2 릴레이 스위치 소자(S2)와 상기 제2상 제2 릴레이 스위치 소자(S5)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1, S3~S4, S6~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
상술한 바와 같은 방법으로, 서로 직렬로 연결된 동일한 상(phase)의 한 쌍의 전력반도체 소자 또는 서로 병렬로 연결된 상이한 상(phase)의 2개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트하기 위해 해당 릴레이 스위치 소자들의 온/오프 동작을 [표 2]에 정리하였다.
구분 상
(phase)		 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S9
제1방식
(동일한 상)		 UH-UL off off on off off off off off off
VH-VL off off off off off on off off off
WH-WL off off off off off off off off on




제2방식
(상이한
상)		 UH-VH off on off off on off off off off
UH-WH off on off off off off off on off
UH-VL off on off on off off off off off
UH-WL off on off off off off on off off
UL-VH on off on off on off off off off
UL-WH on off on off off off off on off
UL-VL on off on on off on off off off
UL-WL on off on off off off on off on
VH-WH off off off off on off off on off
VH-WL off off off off on off on off on
VL-WH off off off on off on off on off
VL-WL off off off on off on on off on
3개의 전력반도체 소자의 동시 테스트
상기 제어부(60)가 3개의 전력반도체 소자를 동시에 테스트하고자 하는 경우 다음과 같이 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어할 수 있다.
3개의 전력반도체 소자를 동시 테스트하는 경우에는 다음과 같이 두 가지 방식으로 테스트할 수 있는데, 서로 병렬로 연결된 상이한 상의 3개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트(제1 방식)하거나, 서로 직렬로 연결된 동일한 상의 한 쌍의 전력반도체 소자, 및 상기 한 쌍의 전력반도체 소자와 병렬로 연결된 상이한 상의 1개의 전력반도체 소자로 이루어진 3개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트(제2 방식)할 수 있다.
먼저, 제1 방식은 서로 병렬로 연결된 상이한 상의 3개의 전력반도체 소자를 동시에 테스트하는 것으로, 예를 들어, 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 상위 전력반도체 소자들(Q1, Q3, Q5)의 온/오프 동작을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 상위 전력반도체 소자들(Q1, Q3, Q5)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 상위 전력반도체 소자들(Q1, Q3, Q5)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되어 서로 병렬로 연결되도록 상기 제1상 제2 릴레이 스위치 소자(S2), 상기 제2상 제2 릴레이 스위치 소자(S5) 및 상기 제3상 제2 릴레이 스위치 소자(S8)에만 스위치 온되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1, S3~S4, S6~S7, S9)에는 스위치 오프되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
마찬가지로, 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 하위 전력반도체 소자들(Q2, Q4, Q8)의 온/오프 동작을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 하위 전력반도체 소자들(Q2, Q4, Q8)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 하위 전력반도체 소자들(Q2, Q4, Q8)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되어 서로 병렬로 연결되도록 상기 제1상 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자(S1, S3), 상기 제2상 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자(S4, S6) 및 상기 제3상 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자(S7, S9)에만 스위치 온되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S2, S5, S8)에는 스위치 오프되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
한편, 제2 방식은 서로 직렬로 연결된 동일한 상의 한 쌍의 전력반도체 소자, 및 상기 한 쌍의 전력반도체 소자와 병렬로 연결된 상이한 상의 1개의 전력반도체 소자로 이루어진 3개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트하는 것으로, 예를 들어, 상기 제1상의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q1, Q2), 및 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)를 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 서로 직렬로 연결된 제1상 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍(Q1, Q2)이 상기 전원부(30)에 병렬로 연결되도록 상기 제1상 상위 전력반도체 소자(Q1)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상 하위 전력반도체 소자(Q2)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되고, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)도 상기 전원부(30)에 병렬로 연결되도록 상기 제2상 상위 전력반도체 소자(Q3)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되도록 상기 제1상 제3 릴레이 스위치 소자(S3), 상기 제2상 제2 릴레이 스위치 소자(S5)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1~S2, S4, S6~S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
상술한 바와 같은 방법으로, 3개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트하기 위한 해당 릴레이 스위치 소자들의 온/오프 동작을 [표 3]에 정리하였다.
구분 상
(phase)		 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S9
제1
방식		 UH-VH-WH offonon on offon offon on off off on off
UL-VL-WL on off on on off on on off on
제2
방식		 UH-UL-VH off off on off on off off off off
UH-UL-VL off off on on off on off off off
UH-UL-WH off off on off off off off on off
UH-UL-WL off off on off off off on off on
VH-VL-UH off on off off off on off off off
VH-VL-UL on off on off off on off off off
VH-VL-WH off on off off off on off off off
VH-VL-WL off off off off off on on off on
WH-WL-UH off on off off off off off off on
WH-WL-UL on off on off off off off off on
WH-WL-VH off off off off on off off off on
WH-WL-VL off off off on off on off off on
6개의 전력반도체 소자의 동시 테스트
상기 제어부(60)가 6개의 전력반도체 소자를 동시에 테스트하고자 하는 경우 다음과 같이 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어할 수 있다.
6개의 전력반도체 소자를 동시 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 서로 직렬로 연결된 동일한 상(phase)의 상위 및 하위 전력반도체 소자쌍으로 이루어진 3쌍의 전력반도체 소자(Q1-Q2, Q3-Q4, Q5-Q6)가 상기 전원부(30)에 한꺼번에 병렬로 연결되도록 하여 상기 3쌍의 전력반도체 소자(Q1-Q2, Q3-Q4, Q5-Q6)의 온/오프 동작을 동시에 테스트할 수 있다.
즉, 상기 3쌍의 전력반도체 소자(Q1-Q2, Q3-Q4, Q5-Q6)의 온/오프 동작을 동시에 테스트하고자 하는 경우, 상기 제어부(60)는 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 상위 전력반도체 소자들(Q1, Q3, Q5)의 콜렉터가 상기 전원부(30)의 상위 단자에 연결되고 상기 제1상, 제2상 및 제3상의 하위 전력반도체 소자들(Q1, Q3, Q5)의 이미터가 상기 전원부(30)의 하위 단자에 연결되어 3쌍의 전력반도체 소자(Q1-Q2, Q3-Q4, Q5-Q6)가 상기 전원부(30)에 모두 병렬로 연결되도록 상기 제1상 제3 릴레이 스위치 소자(S3), 상기 제2상 제3 릴레이 스위치 소자(S6) 및 상기 제3상 제3 릴레이 스위치 소자(S9)에만 스위치 온 되도록 제어하는 상기 제1 스위칭 제어신호를 공급하고, 나머지 릴레이 스위치 소자들(S1, S3~S4, S6~S7, S9)에는 스위치 오프 되도록 제어하는 상기 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부(20)를 제어한다.
상술한 바와 같은 방법으로, 6개의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 동시에 테스트하기 위해 해당 릴레이 스위치 소자들의 온/오프 동작을 [표 4]에 정리하였다.
구분 상
(phase)		 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S9
Q1-Q2 -Q3-Q4 -Q5-Q6 UH-UL-
VH-VL-
WH-WL		 off off on off off on off off on
도 2의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 1개의 전력반도체 소자의 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이고, 도 3의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 2개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이며, 도 4의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 3개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이고, 도 5의 (a) 내지 (c)는 도 1에 도시된 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치로부터 6개의 전력반도체 소자의 동시 스위칭 테스트에 따른 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
구체적으로, 도 2의 (a)는 하나의 전력반도체 소자의 온/오프 테스트 시 해당 전력반도체 소자의 시간에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프이고, 도 2의 (b) 및 (c)는 하나의 전력반도체 소자의 온/오프 테스트 시 해당 전력반도체 소자의 시간에 따른 컬렉터-이미터 간 전류(Ice) 및 전압(Vce) 변화를 나타내는 그래프들이다
도 3의 (a)는 2의 전력반도체 소자들의 온/오프 동시 테스트 시 해당 전력반도체 소자들의 시간에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프이며, 도 3의 (b) 및 (c)는 상기 2개의 전력반도체 소자들의 온/오프에 따른 해당 전력반도체 소자의 컬렉터-이미터 간 전류(Ice) 및 전압(Vce) 변화를 나타내는 그래프들이다.
도 4의 (a)는 3개의 전력반도체 소자들의 온/오프 동시 테스트 시 해당 전력반도체 소자들의 시간에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프이며, 도 4의 (b) 및 (c)는 상기 3개의 전력반도체 소자들의 온/오프에 따른 해당 전력반도체 소자의 컬렉터-이미터 간 전류(Ice) 및 전압(Vce) 변화를 나태는 그래프들이다.
도 5의 (a)는 6개의 전력반도체 소자들의 온/오프 동시 테스트 시 해당 전력 반도체 소자들의 시간에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프이며, 도 5의 (b) 및 (c)는 상기 6개의 전력반도체 소자들의 온/오프에 따른 해당 전력반도체 소자의 컬렉터-이미터 간 전류(Ice) 및 전압(Vce) 변화를 나타내는 그래프이다.
먼저, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 해당 전력반도체 소자가 온될 때 온도가 점점 올라갔다가 해당 전력반도체 소자가 오프 될 때 온도가 서서히 내려간다.
또한, 도 2의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 해당 전력반도체 소자가 온 될 때 해당 전력반도체 소자의 컬렉터-이미터 간 전류(Ice)는 약 5A이며, 컬렉터-이미터 간 전압(Vce)은 약 1.5V이며, 해당 전력반도체 소자가 오프 될 때 해당 전력반도체 소자의 컬렉터-이미터간 전류(Ice) 및 전압(Vce)은 모두 제로(0)임을 알 수 있다. 이로부터 해당 전력반도체 소자가 스위치로서 제대로 동작하는 것을 알 수 있다.
마찬가지로, 2개, 3개 및 6개의 전력반도체 소자를 동시에 테스하는 경우에도 도 3의 (a) 내지 도 5의 (c)로부터 해당 전력반도체 소자가 스위치로서 제대로 동작하는 것을 알 수 있다.
지금까지 상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치에 따르면, 다수의 릴레이 스위치 소자의 제어를 통해 복수의 전력반도체 소자의 온/오프 동작을 각각 테스트하는 것은 물론 동시에 테스트함으로써 사용자의 편의를 향상시킬 수 있으며 이에 따라 테스트 시간 또한 감축할 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
10 : 전력반도체 모듈 20 : 릴레이 스위칭부
30 : 전원부 40 : 측정부
50 : 저장부 60 : 제어부
Q1~Q6 : 전력반도체 소자 S1~S9 : 릴레이 스위치 소자

Claims (19)

  1. 복수의 상(phase)에 대응되는 복수의 전력반도체 소자로 구성되어 해당 전력반도체 소자의 스위칭 동작을 테스트 받는 전력반도체 모듈;
    상기 전력반도체 모듈에 전원을 공급하는 전원부;
    상기 전력반도체 모듈과 상기 전원부 사이를 릴레이 제어신호에 따라 연결하거나 차단하는 복수의 릴레이 스위치 소자로 구성된 릴레이 스위칭부; 및
    상기 복수의 전력반도체 소자 중 하나 이상의 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 또는 동시에 테스트하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 제어부를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전력반도체 모듈은,
    각 상에 대응되어 상기 릴레이 제어신호에 따라 상기 전원이 공급되거나 차단되도록 상기 전원부에 각각 병렬로 연결된 복수의 전력반도체 회로; 및
    상기 복수의 전력반도체 회로의 온/오프 동작을 위해 게이트 제어신호에 따라 입력되는 게이트 신호를 제어하는 게이트 구동 전원을 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 전력반도체 회로는,
    제1상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제1상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제1 전력반도체 회로;
    제2상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제2상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제2 전력반도체 회로; 및
    제3상에 대응되고, 상기 전원부의 상위 단자에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 상위 전력반도체 소자와, 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 콜렉터를 가지며 상기 전원부의 하위 단자에 연결된 이미터를 가지는 제3상 하위 전력반도체 소자로 구성된 제3 전력반도체 회로를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 제1 전력반도체 회로는,
    상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제1상 상위 다이오드; 및
    상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제1상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제1상 하위 다이오드를 더 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제2 전력반도체 회로는,
    상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제2상 상위 다이오드; 및
    상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제2상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제2상 하위 다이오드를 더 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 제3 전력반도체 회로는,
    상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 상위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제3상 상위 다이오드; 및
    상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 이미터에 연결된 애노드와 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터에 연결된 캐소드를 가지며 상기 제3상 하위 전력반도체 소자가 오프될 때 상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 콜렉터-이미터 전류를 환류시키는 제3상 하위 다이오드를 더 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 릴레이 스위칭부는,
    상기 제1 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제1 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제1상 릴레이 스위치 회로;
    상기 제2 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제2 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제2상 릴레이 스위치 회로; 및
    상기 제3 전력반도체 회로에 전원을 공급하도록 상기 제3 전력반도체 회로와 상기 전원부를 연결하거나 차단하는 제3상 릴레이 스위치 회로를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1상 릴레이 스위치 회로는,
    상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제1상 제1 릴레이 스위치 소자;
    상기 제1상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제2 릴레이 스위치 소자; 및
    상기 제1상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제1상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2상 릴레이 스위치 회로는,
    상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제2상 제1 릴레이 스위치 소자;
    상기 제2상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제2 릴레이 스위치 소자; 및
    상기 제2상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제2상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제3상 릴레이 스위치 회로는,
    상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 콜렉터 사이에 병렬 연결된 제3상 제1 릴레이 스위치 소자;
    상기 제3상 상위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제2 릴레이 스위치 소자; 및
    상기 제3상 하위 전력반도체 소자의 이미터와 상기 전원부의 하위 단자 사이에 직렬 연결된 제3상 제3 릴레이 스위치 소자를 포함하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 상위 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 테스트하는 경우 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 하위 전력반도체 소자의 온/오프 특성을 각각 테스트하는 경우 해당 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제2 스위치 소자 에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  13. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 동일한 상의 상위 및 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 각각 공급하고, 해당 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 상이한 상의 상위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  15. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 상이한 상의 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 해당 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  16. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 어느 한 상의 상위 전력반도체 소자와 상기 상위 전력반도체 소자와 상이한 상의 하위 전력반도체 소자 2개를 동시에 테스트 하는 경우, 해당 상위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제2 릴레이스위치 소자와 해당 하위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 상기 해당 상위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자와 상기 해당 하위 전력반도체 소자에 대응되는 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프 되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  17. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 상위 전력반도체 소자 3개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제2 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  18. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 중 각 상의 하위 전력반도체 소자 3개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제1 및 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 제어하는 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
  19. 청구항 10에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 상위 및 하위 전력반도체 소자 6개를 동시 테스트 하는 경우, 각 상의 제3 릴레이 스위치 소자에만 스위치 온 되도록 제어하는 제1 스위칭 제어신호를 동시에 공급하고, 각 상의 제1 및 제2 릴레이 스위치 소자에는 스위치 오프되도록 제어하는 제2 스위칭 제어신호를 공급하도록 상기 릴레이 스위칭부를 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치.
KR1020120153672A 2012-12-26 2012-12-26 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치 KR20140084482A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153672A KR20140084482A (ko) 2012-12-26 2012-12-26 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치
US13/845,042 US9279861B2 (en) 2012-12-26 2013-03-17 Apparatus for testing switching of power semiconductor module
JP2013266246A JP2014128031A (ja) 2012-12-26 2013-12-25 電力半導体モジュールのスイッチングテスト装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153672A KR20140084482A (ko) 2012-12-26 2012-12-26 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20140084482A true KR20140084482A (ko) 2014-07-07

Family

ID=50973932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120153672A KR20140084482A (ko) 2012-12-26 2012-12-26 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9279861B2 (ko)
JP (1) JP2014128031A (ko)
KR (1) KR20140084482A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180089044A (ko) 2017-01-31 2018-08-08 괴산홍삼 영농조합법인 건강 기능성이 향상된 흑임자 홍삼정 및 그 제조방법

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102955136A (zh) * 2011-08-18 2013-03-06 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 冗余电源辅助检测电路及方法
JP6520743B2 (ja) * 2016-02-02 2019-05-29 三菱電機株式会社 パワーモジュールの通電試験装置
CN107425575B (zh) * 2017-08-31 2024-02-09 西安特来电智能充电科技有限公司 一种电动汽车充电的智能功率分配系统
CN108051724B (zh) * 2018-01-09 2024-10-08 深圳市振华微电子有限公司 功率模块间歇工作寿命试验系统及方法
CN108387831B (zh) * 2018-06-04 2024-01-26 华北电力大学 一种3000a半导体器件的功率循环试验系统
CN108802590B (zh) * 2018-06-22 2019-09-03 华北电力大学 一种半导体器件的功率循环测试方法及测试系统
CN108646163B (zh) * 2018-06-22 2019-08-06 华北电力大学 一种半导体器件的功率循环测试系统
CN114089214B (zh) * 2021-12-07 2023-05-05 广东电网有限责任公司 一种交叉箝位功率模块测试电路、测试仪和测试方法
CN115101114A (zh) * 2022-06-10 2022-09-23 深圳市金泰克半导体有限公司 一种lpddr测试装置
CN117741384B (zh) * 2023-12-21 2024-07-26 中节能风力发电股份有限公司 一种全自动igbt衰退特性交互检测方法及系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100227267B1 (ko) 1997-02-03 1999-11-01 김덕중 고속 전력용 반도체 소자의 스위칭 테스트 장치
US6927988B2 (en) * 2002-05-28 2005-08-09 Ballard Power Systems Corporation Method and apparatus for measuring fault diagnostics on insulated gate bipolar transistor converter circuits
KR20090070773A (ko) * 2007-12-27 2009-07-01 주식회사 동부하이텍 반도체 칩 테스트 장치
JP5413349B2 (ja) * 2010-09-30 2014-02-12 富士電機株式会社 半導体試験装置および半導体試験回路の接続装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180089044A (ko) 2017-01-31 2018-08-08 괴산홍삼 영농조합법인 건강 기능성이 향상된 흑임자 홍삼정 및 그 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
US9279861B2 (en) 2016-03-08
US20140176180A1 (en) 2014-06-26
JP2014128031A (ja) 2014-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20140084482A (ko) 전력반도체 모듈의 스위칭 테스트 장치
JP5413349B2 (ja) 半導体試験装置および半導体試験回路の接続装置
CN102893525B (zh) 对电压驱动型元件进行驱动的驱动装置
Eicher et al. 4.5 kV press pack IGBT designed for ruggedness and reliability
US20200186140A1 (en) Control circuit and power conversion device
CN108141127B (zh) 功率半导体元件的驱动电路、电力变换组件以及电力变换装置
CN107064767B (zh) 栅极电阻、电容连续可调的igbt测试电路
US11303203B2 (en) Semiconductor device
JP2017158407A (ja) 電力変換システムの電流制御装置
CN109842274A (zh) 电力变换系统
CN101960593B (zh) 包括金属绝缘体转变装置的高电流控制电路、以及包括该高电流控制电路的系统
US12021510B2 (en) DC output solid state contactor assembly
KR20150003019A (ko) 반도체 소자의 온오프 시험 장치 및 그 방법
US7358753B2 (en) Probing apparatus, probing circuit board and probing system for high-voltage matrix probing
CN113539870A (zh) 测试晶圆上一开关元器件的电气特性的方法
US20200312729A1 (en) Manufacturing method of semiconductor module
CN215415735U (zh) 晶圆上一开关元器件的电气特性测试装置
US10097177B2 (en) Switch device, control method of the same, and control method of transfer switch system using the same
US7449801B2 (en) Semiconductor circuit arrangement for controlling a high voltage or a current of high current intensity
US10707860B1 (en) Semiconductor device capable of reducing a temperature difference among semiconductor chips
Raab et al. Full-SiC integrated power module based on planar packaging technology for high efficiency power converters in aircraft applications
US20130293002A1 (en) Device comprising an electronic component with high switching speed
JP2007288046A (ja) 電力用半導体モジュール
CN217181115U (zh) 一种反偏测试电路和测试装置
US9435849B2 (en) Method for testing semiconductor dies and a test apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid