KR20140072606A - Light emittng device - Google Patents

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KR20140072606A KR1020120140311A KR20120140311A KR20140072606A KR 20140072606 A KR20140072606 A KR 20140072606A KR 1020120140311 A KR1020120140311 A KR 1020120140311A KR 20120140311 A KR20120140311 A KR 20120140311A KR 20140072606 A KR20140072606 A KR 20140072606A
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    • H01L33/32Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen

Abstract

According to an embodiment of the present invention, a light emitting device includes: a first conductive semiconductor layer; an active layer arranged on the first conductive semiconductor layer; and a second conductive semiconductor layer which is arranged on the active layer and includes an electron blocking layer. The electron blocking layer includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer.

Description

발광소자{LIGHT EMITTNG DEVICE}[0001] LIGHT EMITTING DEVICE [0002]

실시예는 발광소자에 관한 것이다.An embodiment relates to a light emitting element.

GaN, AlGaN 등의 3-5 족 화합물 반도체는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점으로 인해 광 전자 공학 분야(optoelectronics)와 전자 소자를 위해 등에 널리 사용된다. GaN, and AlGaN are widely used for optoelectronics and electronic devices due to their advantages such as wide and easy bandgap energy.

특히, 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Ligit Emitting Diode)나 레이저 다이오드와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다.Particularly, a light emitting device such as a light emitting diode (Ligit Emitting Diode) or a laser diode using a semiconductor material of a 3-5 group or a 2-6 group compound semiconductor has been widely used in various fields such as red, green, blue and ultraviolet It can realize various colors, and it can realize efficient white light by using fluorescent material or color combination. It has low power consumption, semi-permanent lifetime, fast response speed, safety, and environment compared to conventional light sources such as fluorescent lamps and incandescent lamps Affinity.

따라서, 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등에까지 응용이 확대되고 있다.Therefore, a transmission module of the optical communication means, a light emitting diode backlight replacing a cold cathode fluorescent lamp (CCFL) constituting a backlight of an LCD (Liquid Crystal Display) display device, a white light emitting element capable of replacing a fluorescent lamp or an incandescent lamp Diode lighting, automotive headlights, and traffic lights.

도 1은 종래의 발광소자를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a conventional light emitting device.

종래의 발광소자(100)는 사파이어 등으로 이루어진 기판(110) 위에 버퍼층(115)과 발광 구조물이 배치되고, 발광 구조물은 제1 도전형 반도체층(120)과 활성층(130) 및 제2 도전형 반도체층(140)을 포함하고, 제1 도전형 반도체층(120)과 제2 도전형 반도체층(140) 상에 각각 제1 전극(170)과 제2 전극(180)이 배치된다.A conventional light emitting device 100 includes a buffer layer 115 and a light emitting structure disposed on a substrate 110 made of sapphire or the like and the light emitting structure includes a first conductive semiconductor layer 120 and an active layer 130, The first electrode 170 and the second electrode 180 are disposed on the first conductivity type semiconductor layer 120 and the second conductivity type semiconductor layer 140, respectively.

발광소자(100)는 제1 도전형 반도체층(120)을 통해서 주입되는 전자와 제2 도전형 반도체층(140)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(130)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출한다. 활성층(130)에서 방출되는 빛은 활성층(130)을 이루는 물질의 조성에 따라 다를 수 있으며, 청색광이나 자외선(UV) 또는 심자외선(Deep UV) 등일 수 있다.Electrons injected through the first conductivity type semiconductor layer 120 and holes injected through the second conductivity type semiconductor layer 140 meet with each other to form an energy band unique to the active layer 130 And emits light having energy determined by the light intensity. The light emitted from the active layer 130 may be different depending on the composition of the active layer 130 and may be blue light, ultraviolet (UV) light or deep ultraviolet (UV) light.

도 2는 도 1의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이다.2 is a detailed view illustrating the structure of the light emitting structure of FIG.

제2 도전형 반도체층(140)은 p-InAlGaN층(142)과 p-AlGaN층(144) 및 p-GaN층(146)을 포함하여 이루어질 수 있는데, p-AlGaN층(144)은 전자 차단층으로 작용할 수 있다.The second conductive semiconductor layer 140 may include a p-InAlGaN layer 142, a p-AlGaN layer 144 and a p-GaN layer 146. The p- Lt; / RTI >

그러나, 알루미늄의 본딩 에너지(bonding energy)로 인하여 도펀트인 마그네슘(Mg) 등이 정공으로 만들어지기 힘들다. 즉, 전자 차단 효과를 상승시키려면 알루미늄이 전자 차단층에 포함될 수 있는데, 이때 마그네슘의 도핑이 용이하지 않아 정공 주입효과가 감소할 수 있으며, 정공 주입의 감소는 활성층에서의 발광 효율의 감소로 이어질 수 있다. 또한, 마그네슘의 주입량을 증가시키면 도전형 반도체층의 품질 저하를 유발할 수 있다.However, due to the bonding energy of aluminum, it is difficult for the dopant such as magnesium (Mg) to be made into holes. That is, in order to increase the electron blocking effect, aluminum may be included in the electron blocking layer. In this case, the doping of magnesium is not easy, so that the hole injection effect may be decreased and the decrease of the hole injection may lead to a decrease in the luminous efficiency in the active layer . In addition, if the amount of magnesium to be implanted is increased, the quality of the conductive type semiconductor layer may be deteriorated.

실시예는 발광소자의 전자 차단층의 전자 차단효과와 정공 주입 효과를 상승시키면서도 품질 저하를 방지하여 발광소자의 광효율을 향상시키고자 한다.The embodiment attempts to improve the luminous efficiency of the light emitting device by preventing deterioration in quality while increasing the electron blocking effect and the hole injection effect of the electron blocking layer of the light emitting device.

실시예는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및 상기 활성층 상에 배치되고, 전자 차단층을 포함하는 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층을 포함하는 발광소자를 제공한다.The embodiment includes a first conductivity type semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive type semiconductor layer disposed on the active layer and including an electron blocking layer, wherein the electron blocking layer includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer.

다른 실시예는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및 상기 활성층 상에 배치되고, 전자 차단층을 포함하는 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 InGaN층을 포함하는 발광소자를 제공한다.Another embodiment includes a first conductive semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive type semiconductor layer disposed on the active layer and including an electron blocking layer, wherein the electron blocking layer includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an InGaN layer.

전자 차단층은 1회 내지 50회 교번하여 배치될 수 있다.The electron blocking layer may be arranged alternately 1 to 50 times.

AlGaN층은 제2 도전형일 수 있다.The AlGaN layer may be of the second conductivity type.

AlGaN층은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께를 가질 수 있다.The AlGaN layer may have a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers.

언도프드 GaN층 및/또는 InGaN층은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께를 가질 수 있다.The undoped GaN layer and / or the InGaN layer may have a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers.

발광소자는 제2 도전형 반도체층 내에 배치되고, 상기 활성층과 상기 전자 차단층의 사이에 배치되는 InAlGaN층을 더 포함할 수 있다.The light emitting device may further include an InAlGaN layer disposed in the second conductivity type semiconductor layer and disposed between the active layer and the electron blocking layer.

InAlGaN층은 제2 도전형일 수 있다.The InAlGaN layer may be of the second conductivity type.

전자 차단층 내에서 상기 AlGaN층이 상기 활성층과 가장 가까이 배치되고, 상기 언도프드 GaN층이 상기 활성층과 가장 멀리 배치될 수 있있으며, 상기 InGaN층이 상기 활성층과 가장 멀리 배치될 수 있다.The AlGaN layer may be disposed closest to the active layer in the electron blocking layer, the undoped GaN layer may be disposed the farthest from the active layer, and the InGaN layer may be disposed farthest from the active layer.

발광소자는 제2 도전형 반도체층 내에 배치된 제2 도전형 GaN층을 더 포함하고, 상기 제2 도전형 GaN층은 상기 전자 차단층에 대하여 상기 활성층과 반대 방향에 배치될 수 있다.The light emitting device may further include a second conductive type GaN layer disposed in the second conductive type semiconductor layer, and the second conductive type GaN layer may be disposed in a direction opposite to the active layer with respect to the electron blocking layer.

전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층이 적어도 2회 교번하여 배치되고, 상기 제2 도전형 GaN층과 접촉하는 영역에서 MgN층이 배치될 수 있다.The electron blocking layer may be arranged such that the AlGaN layer, the MgN layer, and the undoped GaN layer are alternately disposed at least twice, and the MgN layer may be disposed in the region in contact with the second conductivity type GaN layer.

전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 InGaN층이 적어도 2회 교번하여 배치되고, 상기 제2 도전형 GaN층과 접촉하는 영역에서 MgN층이 배치될 수 있다.The electron blocking layer may be arranged such that the AlGaN layer, the MgN layer, and the InGaN layer are alternately disposed at least twice, and the MgN layer may be disposed in a region in contact with the second conductive GaN layer.

본 실시예에 따른 발광소자는 전자 차단층인 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층으로 이루어져서, 전자 차단효과와 정공 주입 효과를 상승시키면서도 품질이 우수하고 전류 스프레딩을 상승시켜서 발광소자의 광효율을 우수하다.The light emitting device according to the present embodiment includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer as electron blocking layers, which improves the electron blocking effect and the hole injecting effect while improving the current spreading and improving the light efficiency of the light emitting device great.

도 1은 종래의 발광소자를 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이고,
도 3은 발광소자의 일실시예의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이고,
도 4a 및 도 4b는 도 3의 전자 차단층의 일실시예들의 구성을 나타낸 도면이고,
도 5a 내지 도 5g는 발광소자의 일실시예의 제조 공정을 나타낸 도면이고,
도 6은 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이고,
도 7은 발광소자의 또 다른 실시예의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이고,
도 8a 및 도 8b는 도 7의 전자 차단층의 일실시예들의 구성을 나타낸 도면이고,
도 9는 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 10은 발광소자가 배치된 조명장치의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 11은 발광소자가 배치된 영상표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.
1 is a view showing a conventional light emitting device,
FIG. 2 is a detailed view of the structure of the light emitting structure of FIG. 1,
3 is a detailed view showing a structure of a light emitting structure of a light emitting device according to an embodiment,
FIGS. 4A and 4B are views showing the configuration of one embodiment of the electron blocking layer of FIG. 3,
5A to 5G are views showing a manufacturing process of an embodiment of a light emitting device,
6 is a view showing another embodiment of the light emitting device,
7 is a detailed view of the structure of a light emitting structure of another embodiment of the light emitting device,
8A and 8B are diagrams showing configurations of one embodiment of the electron blocking layer of FIG. 7,
9 is a view showing an embodiment of a light emitting device package in which a light emitting device is disposed,
10 is a view showing an embodiment of a lighting device in which a light emitting element is disposed,
11 is a view showing an embodiment of a video display device in which a light emitting device is arranged.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other objects, features and advantages of the present invention will be more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG.

본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case of being described as being formed "on or under" of each element, the upper (upper) or lower (lower) or under are all such that two elements are in direct contact with each other or one or more other elements are indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.

도 3은 발광소자의 일실시예의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이고, 도 4a 및 도 4b는 도 3의 전자 차단층의 일실시예들의 구성을 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a detailed view illustrating the structure of a light emitting structure of one embodiment of the light emitting device, and FIGS. 4A and 4B are views showing the structure of one embodiment of the electron blocking layer of FIG.

본 실시예에 따른 발광소자의 발광 구조물은 제1 도전형 반도체층(220)과 활성층(230)과 제2 도전형 반도체층(240)을 포함하여 이루어질 수 있다.The light emitting structure of the light emitting device according to the present embodiment may include a first conductive semiconductor layer 220, an active layer 230, and a second conductive semiconductor layer 240.

제1 도전형 반도체층(220)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(220)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductive semiconductor layer 220 may be formed of a semiconductor compound. Group 3-Group 5, Group 2-Group 6, and the like, and the first conductive type dopant may be doped. When the first conductive semiconductor layer 220 is an n-type semiconductor layer, the first conductive dopant may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant.

제1 도전형 반도체층(220)은 InxAlyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(220)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 220 includes a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga (1-xy) N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? can do. The first conductive semiconductor layer 220 may be formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP.

활성층(230)은 제1 도전형 반도체층(220)을 통해서 주입되는 전자와 제2 도전형 반도체층(240)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(230)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다.The active layer 230 is formed on the active layer 230 by electrons injected through the first conductive semiconductor layer 220 and holes injected through the second conductive semiconductor layer 240 by energy bands unique to the active layer 230 And is a layer that emits light having energy to be determined.

활성층(230)은 이중 접합 구조(Double Hetero Junction Structure), 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(230)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 230 may be formed of a material selected from the group consisting of a double heterojunction structure, a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW) structure, a quantum-wire structure, or a quantum dot structure Or at least one of them may be formed. For example, the active layer 230 may be formed with a multiple quantum well structure by injecting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto.

활성층(230)의 우물층/장벽층은 예를 들어, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, InAlGaN/InAlGaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 230 may be formed of any one of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, InAlGaN / InAlGaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP But it is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap lower than the band gap of the barrier layer.

활성층(230)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(230)의 장벽층이나 밴드갭보다 더 넓은 밴드갭을 가지는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be formed on and / or below the active layer 230. The conductive cladding layer may be formed of a semiconductor having a band gap wider than the barrier layer or band gap of the active layer 230. For example, the conductive clad layer may include GaN, AlGaN, InAlGaN, superlattice structure, or the like. Further, the conductive clad layer may be doped with n-type or p-type.

활성층(230) 위에는 제2 도전형 반도체층이 배치된다. 제2 도전형 반도체층은 활성층(230) 방향으로부터 p-InAlGaN층(242)과 전자 차단층(244) 및 p-GaN층(246)을 포함하여 이루어질 수 있다. 그리고, 전자 차단층(244)은 AlGaN/MgN/언도프드 GaN(u-GaN)을 포함할 수 있다.A second conductive type semiconductor layer is disposed on the active layer 230. The second conductivity type semiconductor layer may include a p-InAlGaN layer 242, an electron blocking layer 244 and a p-GaN layer 246 from the active layer 230 direction. The electron blocking layer 244 may include AlGaN / MgN / undoped GaN (u-GaN).

도 4a에 도시된 실시예에서, 전자 차단층(Electron Blocking Layer)은 AlGaN층(244a)/MgN층(244b)/언도프드 GaN층(u-GaN, 244c)이 복수 회 배치되는데, 적어도 1회부터 최대 50회까지 배치될 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4A, an electron blocking layer is formed by arranging AlGaN layer 244a / MgN layer 244b / undoped GaN layer (u-GaN) 244c a plurality of times, Up to 50 times.

여기서, AlGaN층(244a)은 제조 공정에서 도펀트를 공급하지 않아도 MgN층(244b)으로부터 일부가 공급되는 등의 이유로 p-type으로 도핑될 수 있고, 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께(t1)를 가질 수 있다. MgN층(244b)은 박막으로 형성되어 두께(t2)의 측정이 어려우며, 언도프드 GaN층(244c)은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께(t3)를 가질 수 있다.Here, the AlGaN layer 244a may be doped p-type for reasons such as being partially supplied from the MgN layer 244b without dopant supply in the manufacturing process, and the thickness t 1 ). MgN layer (244b) is formed into a thin film is difficult to measure the thickness (t 2), an undoped GaN layer (244c) may have a thickness (t 3) of 1 nanometer to 50 nanometers.

도 4a에서 AlGaN층(244a)이 활성층 방향으로 배치되고 언도프드 GaN층(244c)이 활성층과 가장 멀리 배치될 수 있다. 그리고, 전자 차단층 내에 배치된 AlGaN층(244a)/MgN층(244b)/언도프드 GaN층(244c)의 조합을 각각 제1 전자 차단층(2441) 내지 제n 전자 차단층(244n)이라 할 수 있다.In Fig. 4A, the AlGaN layer 244a may be disposed in the active layer direction and the undoped GaN layer 244c may be disposed the farthest from the active layer. The combination of the AlGaN layer 244a / MgN layer 244b / undoped GaN layer 244c disposed in the electron blocking layer is referred to as a first electron blocking layer 244 1 to an nth electron blocking layer 244 n , .

도 4a의 전자 차단층 구조를 가지는 제2 도전형 반도체층은, 제n 전자 차단층(244n)과 접촉하며 배치된 제2 도전형 GaN층을 포함할 수 있는데, 제2 도전형 GaN층은 전자 차단층에 대하여 상기 활성층과 반대 방향에 배치될 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer having the electron blocking layer structure of FIG. 4A may include a second conductivity type GaN layer disposed in contact with the n-th electron blocking layer 244 n , And may be disposed in the direction opposite to the active layer with respect to the electron blocking layer.

도 4b에 도시된 전자 차단층의 구조는 도 4a에 도시된 구조와 유사하나, 마지막에 배치된 제n 전자 차단층(244n)은 AlGaN층(244a)과 MgN층(244b) 만으로 이루어져 있다. 즉, 제1 전자 차단층(2441) 내지 제n-1 전자 차단층(244n-1)으로 이루어져 있으나, 마지막에 배치된 제n 전자 차단층(244n)의 조성 내지 구성이 상이하다. 따라서, 상술한 p-GaN층(246)과 접촉하는 영역에는 MgN(244b)이 배치될 수 있고, 도 4a에 도시된 실시예에 비하여 p-GaN층이 p-type으로 도핑이 더 잘 될 수 있다. 반면, 도 4a에 도시된 실시예는 본 실시예보다 전류 스프레딩(current spreading)이 더 잘 되나 저항이 더 커서 동작 전압이 증가할 수 있다.The structure of the electron blocking layer shown in FIG. 4B is similar to the structure shown in FIG. 4A, except that the last n-th electron blocking layer 244n consists of only the AlGaN layer 244a and the MgN layer 244b. That is, the first electron blocking layer 244 1 to the ( n-1 ) th electron blocking layer 244 n-1 are different from each other in the composition and configuration of the last n-th electron blocking layer 244 n . Therefore, the MgN layer 244b may be disposed in the region contacting the p-GaN layer 246 described above, and the p-GaN layer may be doped more p-type than in the embodiment shown in FIG. 4A have. On the other hand, the embodiment shown in FIG. 4A can perform the current spreading better than the present embodiment, but the resistance is larger and the operating voltage can be increased.

p-GaN층(246)은 반도체 화합물로 형성될 수 있으며, 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, p-type 도펀트가 도핑될 수 있다. 또한, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있는데 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The p-GaN layer 246 may be formed of a semiconductor compound, and may be formed of a compound semiconductor such as Group 3-Group 5, Group 2-Group 6, or the like, and may be doped with a p-type dopant. Further, it may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1) Zn, Ca, Sr, Ba, and the like.

전자 차단층(244)은 활성층 방향으로부터 주입되는 전자를 차단하고, p-GaN층(246)으로부터 정공의 주입을 용이하게 할 수 있어야 한다. AlGaN층(244a)은 종래의 p-AlGaN보다 품질은 우수하나 도펀트를 포함하지 않아서 정공 주입 효과가 떨어질 수 있으므로, MgN층(244b)을 추가하여 정공 주입 효과를 향상시킬 수 있다. 그리고, MgN층(244b)은 정공의 주입 효과는 향상시킬 수 있으나, 발광 구조물의 전면적에 전류를 흐르게 하기 위하여 언도프드 GaN층(244c)을 배치할 수 있으며, 언도프드 GaN층(244c)은 전류 스프레딩과 결정 품질을 향상시킬 수 있다.The electron blocking layer 244 should block electrons injected from the active layer direction and facilitate the injection of holes from the p-GaN layer 246. The AlGaN layer 244a has a higher quality than that of the conventional p-AlGaN but does not contain a dopant, so that the hole injection effect may be lowered, so that the MgN layer 244b may be added to improve the hole injection effect. The undoped GaN layer 244c may be disposed on the entire surface of the light emitting structure and the undoped GaN layer 244c may be formed on the MgO layer 244c so that the current Spreading and crystal quality can be improved.

도 5a 내지 도 5g는 발광소자의 일실시예의 제조 공정을 나타낸 도면이다.5A to 5G are views showing a manufacturing process of an embodiment of a light emitting device.

먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이 기판(210) 위에 버퍼층(215)과 제1 도전형 반도체층(220) 및 활성층(230)을 성장시킨다.First, as shown in FIG. 5A, a buffer layer 215, a first conductive semiconductor layer 220, and an active layer 230 are grown on a substrate 210.

기판(210)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질이나 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있으며, 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있고, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함할 수 있다. 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiO2, SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.The substrate 210 may be formed of a material suitable for semiconductor material growth or a carrier wafer, may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may include a conductive substrate or an insulating substrate. For example, at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiO 2 , SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge and Ga 2 O 3 can be used.

버파층(215)은 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, AlN 외에 AlAs, GaN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The buffer layer 215 may be formed of at least one of AlAs, GaN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, and AlInN in addition to a Group III-V compound semiconductor such as AlN.

사파이어 등으로 기판(210)을 형성하고, 기판(210) 상에 GaN이나 AlGaN 등을 포함하는 발광구조물이 배치될 때, GaN이나 AlGaN과 사파이어 사이의 격자 부정합(lattice mismatch)이 매우 크고 이들 사이에 열 팽창 계수 차이도 매우 크기 때문에, 결정성을 악화시키는 전위(dislocation), 멜트 백(melt-back), 크랙(crack), 피트(pit), 표면 모폴로지(surface morphology) 불량 등이 발생할 수 있으므로, 버퍼층(215)으로 AlN 등을 사용할 수 있다.When a substrate 210 is formed of sapphire or the like and a light emitting structure including GaN or AlGaN is disposed on the substrate 210, the lattice mismatch between GaN and AlGaN and sapphire is very large, A dislocation, a melt-back, a crack, a pit, and a defective surface morphology, which deteriorate the crystallinity, may occur because the difference in thermal expansion coefficient is very large, As the buffer layer 215, AlN or the like can be used.

도시되지는 않았으나, 버퍼층(220)과 발광구조물의 사이에는 언도프드 GaN층이나 AlGaN층이 배치되어, 발광구조물 내로 상술한 전위 등이 전달되는 것을 방지할 수 있다.Although not shown, an undoped GaN layer or an AlGaN layer may be disposed between the buffer layer 220 and the light emitting structure to prevent the potentials and the like from being transmitted into the light emitting structure.

발광 구조물은 제1 도전형 반도체층(220)과 활성층(230) 및 제2 도전형 반도체층을 포함하여 이루어진다.The light emitting structure includes a first conductive semiconductor layer 220, an active layer 230, and a second conductive semiconductor layer.

제1 도전형 반도체층(220)은, 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 n형 도펀트가 도핑된 AlGaN층 등을 형성할 수 있다. 또한, 제1 도전형 반도체층(220)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 220 may be formed using an AlGaN layer doped with an n-type dopant by using a chemical vapor deposition (CVD) method, molecular beam epitaxy (MBE), sputtering or vapor phase epitaxy (HVPE) Can be formed. The first conductive semiconductor layer 220 may be formed by depositing a silane gas containing an n-type impurity such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ) (SiH 4 ) may be implanted.

활성층(230)은, 예를 들어 상기 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 230 may be formed by implanting trimethylgallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto.

그리고, 도 5b 내지 도 5f에 도시된 바와 같이 활성층(230) 위에 제2 도전형 반도체층을 성장시킨다.Then, a second conductivity type semiconductor layer is grown on the active layer 230 as shown in FIGS. 5B to 5F.

도 5b에서, 활성층(230) 위에 InAlGaN층(242)을 성장시키는데, 제2 도전형 즉 p형 도펀트를 첨가하여 p형으로 성장시킬 수 있다.In FIG. 5B, the InAlGaN layer 242 is grown on the active layer 230, and the second conductivity type, that is, the p-type dopant may be added to grow the p-type.

그리고, 도 5c 내지 도 5e에 도시된 바와 같이, AlGaN층(244a)과 MgN층(244b) 및 언도프드 GaN층(244c)를 차례로 성장시켜서 전자 차단층을 형성시킬 수 있다.5C to 5E, the AlGaN layer 244a, the MgN layer 244b, and the undoped GaN layer 244c may be successively grown to form the electron blocking layer.

도 5c에서 AlGaN층(244a)은 TMAL과 TMGa 및 NH3를 공급하여 성장시키고, 도 5d에서 MgN층(244b)은 Cp2Mg와 NH3를 공급하여 성장시킬 수 있는데, 마그네슘(Mg)의 공급량은 종래에 도펀트로 도핑하던 마그네슘의 1배 내지 4배를 공급할 수 있다. 도 5d에서 마그네슘은 Cp2Mg와 NH3를 5초 내지 60초 공급하는데, 너무 짧은 시간 동안 공급하면 도핑이 제대로 되지 않고 너무 오랜 시간 동안 공급하면 결정의 품질이 저하될 수 있다.In FIG. 5C, the AlGaN layer 244a is grown by supplying TMAL, TMGa, and NH 3 , and the MgN layer 244b is grown by supplying Cp 2 Mg and NH 3 in FIG. 5D. The amount of magnesium (Mg) Can supply 1 to 4 times the amount of magnesium that was conventionally doped with a dopant. In FIG. 5D, magnesium is supplied for 5 seconds to 60 seconds with Cp 2 Mg and NH 3 , and if supplied for too short time, doping is not performed properly, and if supplied for too long, crystal quality may be deteriorated.

도 5e에서 TMGa와 NH3를 공급하여 언도프드 GaN층(244c)을 성장시킬 수 있다. 도 5c 내지 도 5e의 공정은 차례로 1회 내지 50회 반복되어, 전자 차단층 내에서 AlGaN층(244a)과 MgN층(244b) 및 언도프드 GaN층(244c)이 1회 내지 50회 반복하여 배치될 수 있다.In FIG. 5E, the undoped GaN layer 244c can be grown by supplying TMGa and NH 3 . The processes of Figs. 5C to 5E are repeated one to fifty times in sequence, so that the AlGaN layer 244a, the MgN layer 244b and the undoped GaN layer 244c are repeatedly disposed one to fifty times in the electron blocking layer .

또한, 도 4b에서 설명한 실시예와 같이, 전자 차단층 내에 AlGaN층(244a)과 MgN층(244b) 및 언도프드 GaN층(244c)이 복수 회 교번하여 배치되되, 제2 도전형 GaN층(246)과 접촉하는 영역에는 MgN층(244b)이 배치될 수 있다. 즉, 전자 차단층 중에서 활성층(230)과 가장 멀리 배치된 영역에는 AlGaN층(244a)과 MgN층(244b)이 배치되고, 언도프드 GaN층(244c)의 성장을 생략시킬 수 있다.4B, the AlGaN layer 244a, the MgN layer 244b, and the undoped GaN layer 244c are alternately arranged in the electron blocking layer a plurality of times, and the second conductivity type GaN layer 246 The MgN layer 244b may be disposed. That is, in the electron blocking layer, the AlGaN layer 244a and the MgN layer 244b are disposed in the region farthest from the active layer 230, and the growth of the undoped GaN layer 244c can be omitted.

AlGaN층(244a)은 제2 도전형 도펀트 즉 p-형 도펀트로 도핑할 수 있고, 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께로 성장시킬 수 있으며, 언도프드 GaN층(244c)은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께로 성장시킬 수 있다.The AlGaN layer 244a may be doped with a second conductive dopant or p-type dopant and may be grown to a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers and the undoped GaN layer 244c may have a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers Lt; RTI ID = 0.0 > nanometers. ≪ / RTI >

그리고, 도 5f에 도시된 바와 같이 제2 도전형 GaN층(246)을 성장시킬 수 있는데, 성장된 제2 도전형 GaN층(246)은 전자 차단층에 대하여 활성층(230)과 반대 방향에 배치될 수 있다.The second conductive GaN layer 246 may be grown as shown in FIG. 5F. The grown second conductive GaN layer 246 may be disposed in a direction opposite to the active layer 230 with respect to the electron blocking layer. .

그리고, 도 5g에 도시된 바와 같이 발광 구조물의 일측면은 제2 도전형 GaN층(246)으로부터 전자 차단층(244), 활성층(230), 그리고 제1 도전형 반도체층(220)의 일부까지 식각되어 제1 도전형 반도체층(220)의 일부가 노출될 수 있다. 이러한 메사 식각 구조는 절연성 물질로 기판(210)을 사용하는 경우에 유용할 수 있다.5G, a side surface of the light emitting structure may include a part of the electron blocking layer 244, the active layer 230, and a part of the first conductivity type semiconductor layer 220 from the second conductive type GaN layer 246 A part of the first conductivity type semiconductor layer 220 may be exposed. Such a mesa etch structure may be useful when using the substrate 210 as an insulating material.

노출된 제1 도전형 반도체층(220)의 표면에는 제1 전극(270)이 배치되고, 제2 도전형 GaN층(246)의 표면에는 제2 전극(280)이 배치될 수 있다. 제1 전극(270) 및 제2 전극(280) 중 적어도 하나는 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.The first electrode 270 may be disposed on a surface of the exposed first conductive semiconductor layer 220 and the second electrode 280 may be disposed on a surface of the second conductive GaN layer 246. At least one of the first electrode 270 and the second electrode 280 may include at least one of aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu) And may be formed as a single layer or a multi-layer structure.

도 5g에 상술한 전자 차단층을 포함하는 수평형 발광소자가 도시되어 있고, 도 6에는 발광소자의 다른 실시예로서 상술한 전자 차단층을 포함하는 수직형 발광소자가 도시되어 있다.FIG. 5G shows a horizontal light emitting device including the electron blocking layer, and FIG. 6 shows a vertical light emitting device including the above-described electron blocking layer as another embodiment of the light emitting device.

도 6에 도시된 발광소자에서 발광 구조물을 이루는 제1 도전형 반도체층(220)과 활성층(230), 및 제2 도전형 반도체층 내의 p-InAlGaN층(242)과 전자 차단층(244) 및 p-GaN층(246)의 조성, 그리고, 전자 차단층(244) 내의 AlGaN층(244a)/MgN층(244b)/언도프드 GaN층(u-GaN, 244c)의 조성 및 제1 전극(270)의 조성은 도 5g 등에 도시된 실시예와 동일하다.In the light emitting device shown in FIG. 6, the first conductive semiconductor layer 220 and the active layer 230 that constitute the light emitting structure, the p-InAlGaN layer 242 and the electron blocking layer 244 in the second conductive semiconductor layer, the composition of the p-GaN layer 246 and the composition of the AlGaN layer 244a / MgN layer 244b / undoped GaN layer (u-GaN) 244c in the electron blocking layer 244 and the composition of the first electrode 270 ) Is the same as the embodiment shown in Fig. 5G and the like.

발광 구조물의 하부, 구체적으로 p-GaN층(246)의 하부에는 오믹층(282)과 반사층(284)과 접합층(286) 및 도전성 지지기판(288)이 배치되어 제2 전극으로 작용할 수 있다.The ohmic layer 282, the reflective layer 284, the bonding layer 286, and the conductive supporting substrate 288 are disposed at the bottom of the light emitting structure, specifically, below the p-GaN layer 246, .

오믹층(282)은 약 200 옹스트롱의 두께일 수 있다. 오믹층(282)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The ohmic layer 282 may be about 200 Angstroms thick. The ohmic layer 282 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), indium gallium tin oxide ), AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), IZON (IZO nitride), AGZO (Al- Ga ZnO), IGZO , NiO, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Au, and Hf, and is not limited to such a material.

반사층(284)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 니켈(Ni), 백금(Pt), 로듐(Rh), 혹은 Al이나 Ag이나 Pt나 Rh를 포함하는 합금을 포함하는 금속층으로 이루어질 수 있다. 상술한 반도체 소자가 발광소자일 때, 알루미늄이나 은 등은 활성층(230)에서 발생된 빛을 효과적으로 반사하여 반도체 소자의 광추출 효율을 크게 개선할 수 있다.The reflective layer 284 may comprise a metal layer comprising aluminum (Al), silver (Ag), nickel (Ni), platinum (Pt), rhodium (Rh), or an alloy comprising Al, Ag, Pt or Rh . When the above-described semiconductor device is a light-emitting device, aluminum, silver, or the like can effectively reflect light generated in the active layer 230, thereby greatly improving the light extraction efficiency of the semiconductor device.

도전성 지지기판(metal support, 288)은 전기 전도도가 우수한 금속을 사용할 수 있고, 반도체 소자 작동시 발생하는 열을 충분히 발산시킬 수 있어야 하므로 열전도도가 높은 금속을 사용할 수 있다.Since the metal support 288 can use a metal having a high electrical conductivity and sufficiently dissipate heat generated during operation of the semiconductor device, a metal having high thermal conductivity can be used.

도전성 지지기판(288)은 금속 또는 반도체 물질등으로 형성될 수 있다. 또한 전기전도성과 열 전도성이 높은 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 실리콘(Si), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 또한, 금(Au), 구리합금(Cu Alloy), 니켈(Ni), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, SiGe, Ga2O3 등) 등을 선택적으로 포함할 수 있다.The conductive support substrate 288 may be formed of a metal or a semiconductor material or the like. And may be formed of a material having high electrical conductivity and high thermal conductivity. For example, a material selected from the group consisting of molybdenum (Mo), silicon (Si), tungsten (W), copper (Cu) and aluminum (Al) (Cu-W), a carrier wafer (e.g., GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, SiGe, Ga 2 O 3, etc.) And the like.

상기 도전성 지지기판(288)은 전체 질화물 반도체에 휨을 가져오지 않으면서, 스크라이빙(scribing) 공정 및 브레이킹(breaking) 공정을 통하여 별개의 칩으로 잘 분리시키기 위한 정도의 기계적 강도를 가질 수 있다.The conductive support substrate 288 may have a mechanical strength enough to separate the entire nitride semiconductor into separate chips through a scribing process and a breaking process without causing warpage of the entire nitride semiconductor.

접합층(286)은 반사층(264)과 도전성 지지기판(288)을 결합하는데, 금(Au), 주석(Sn), 인듐(In), 알루미늄(Al), 실리콘(Si), 은(Ag), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 형성할 수 있다.The bonding layer 286 bonds the reflective layer 264 and the conductive support substrate 288 and may be formed of one of gold (Au), tin (Sn), indium (In), aluminum (Al), silicon (Si) , Nickel (Ni), and copper (Cu), or an alloy thereof.

제1 도전형 반도체층(220)의 표면은 도시된 바와 같이 패터닝되어 광추출 효과를 향상시킬 수 있되, 제1 전극(270)이 배치되는 부분은 플랫(flat)할 수 있으며, 발광 구조물(220)의 둘레에는 패시베이션층(290)이 형성될 수 있는데, 패시베이션층(290)은 절연물질로 이루어질 수 있으며, 절연물질은 비전도성인 산화물이나 질화물로 이루어질 수 있다. 일 예로서, 상기 패시베이션층(290)은 실리콘 산화물(SiO2)층, 산화 질화물층, 산화 알루미늄층으로 이루어질 수 있다.The surface of the first conductive semiconductor layer 220 may be patterned to improve the light extracting effect. The portion where the first electrode 270 is disposed may be flat, and the light emitting structure 220 The passivation layer 290 may be formed of an insulating material and the insulating material may be made of a non-conductive oxide or nitride. As an example, the passivation layer 290 may be formed of a silicon oxide (SiO 2 ) layer, an oxynitride layer, or an aluminum oxide layer.

도 7은 발광소자의 다른 실시예의 발광 구조물의 구성을 상세히 나타낸 도면이고, 도 8a 및 도 8b는 도 7의 전자 차단층의 일실시예들의 구성을 나타낸 도면이다.7 is a detailed view of the structure of a light emitting structure of another embodiment of the light emitting device, and FIGS. 8A and 8B are views showing the structure of one embodiment of the electron blocking layer of FIG.

본 실시예에 따른 발광소자는 7의 발광소자는 도 3의 발광소자와 유사하나, 언도프드 GaN층(244c) 대신에 InGaN층(245c)이 배치되는 점에서 상이하다. 전자 차단층(245)은 AlGaN층(245a)/MgN층(245b)/InGaN층(245c)이 복수 회 배치되는데, 적어도 1회부터 최대 50회까지 배치될 수 있다.The light emitting device according to the present embodiment differs in that the light emitting device 7 is similar to the light emitting device of FIG. 3 except that the InGaN layer 245c is disposed instead of the undoped GaN layer 244c. The electron blocking layer 245 may be disposed from the AlGaN layer 245a / the MgN layer 245b / the InGaN layer 245c a plurality of times.

여기서, AlGaN층(245a)은 제조 공정에서 도펀트를 공급하지 않아도 MgN층(245b)으로부터 일부가 공급되는 등의 이유로 p-type으로 도핑될 수 있고, 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께(t1)를 가질 수 있다. MgN층(245b)은 박막으로 형성되어 두께(t2)의 측정이 어려우며, InGaN층(245c)은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께(t3)를 가질 수 있다.Here, the AlGaN layer 245a may be doped p-type for reasons such as a part being supplied from the MgN layer 245b without supplying a dopant in the manufacturing process, and the thickness t 1 ). The MgN layer 245b is formed as a thin film to make it difficult to measure the thickness t 2 and the InGaN layer 245c may have a thickness t 3 of 1 nm to 50 nm.

도 8a에서 AlGaN층(245a)이 활성층 방향으로 배치되고 InGaN층(245c)이 활성층과 가장 멀리 배치될 수 있다. 그리고, 전자 차단층 내에 배치된 AlGaN층(245a)/MgN층(245b)/InGaN층(245c)의 조합을 각각 제1 전자 차단층(2451) 내지 제n 전자 차단층(245n)이라 할 수 있다.In Fig. 8A, the AlGaN layer 245a may be disposed in the active layer direction and the InGaN layer 245c may be disposed the farthest from the active layer. The combination of the AlGaN layer 245a / MgN layer 245b / InGaN layer 245c disposed in the electron blocking layer is referred to as a first electron blocking layer 245 1 to an nth electron blocking layer 245 n .

도 8a의 전자 차단층 구조를 가지는 제2 도전형 반도체층은, 제n 전자 차단층(245n)과 접촉하며 배치된 제2 도전형 GaN층을 포함할 수 있는데, 제2 도전형 GaN층은 전자 차단층에 대하여 상기 활성층과 반대 방향에 배치될 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer having the electron blocking layer structure of FIG. 8A may include a second conductivity type GaN layer disposed in contact with the n-th electron blocking layer 245 n , And may be disposed in the direction opposite to the active layer with respect to the electron blocking layer.

도 8b에 도시된 전자 차단층의 구조는 도 8a에 도시된 구조와 유사하나, 마지막에 배치된 제n 전자 차단층(245n)은 AlGaN층(245a)과 MgN층(245b) 만으로 이루어져 있다. 즉, 제1 전자 차단층(2451) 내지 제n-1 전자 차단층(245n-1)으로 이루어져 있으나, 마지막에 배치된 제n 전자 차단층(245n)의 조성 내지 구성이 상이하다. 따라서, 상술한 p-GaN층(246)과 접촉하는 영역에는 MgN(245b)이 배치될 수 있고, 도 8a에 도시된 실시예에 비하여 p-GaN층이 p-type으로 도핑이 더 잘 될 수 있다. 반면, 도 8a에 도시된 실시예는 본 실시예보다 전류 스프레딩(current spreading)이 더 잘 되나 저항이 더 커서 동작 전압이 증가할 수 있다.The structure of the electron blocking layer shown in FIG. 8B is similar to that shown in FIG. 8A, except that the n-th electron blocking layer 245n disposed at the end consists of only the AlGaN layer 245a and the MgN layer 245b. That is, the first electron blocking layer 245 1 to the ( n-1 ) th electron blocking layer 245 n-1 are different from each other in composition and configuration of the last n- th electron blocking layer 245 n . Therefore, the MgN layer 245b may be disposed in the region contacting the p-GaN layer 246 described above, and the p-GaN layer may be doped more p-type than in the embodiment shown in FIG. 8A have. On the other hand, the embodiment shown in FIG. 8A is better in current spreading than the present embodiment, but the resistance is larger, so that the operating voltage can be increased.

전자 차단층(245)은 활성층 방향으로부터 주입되는 전자를 차단하고, p-GaN층(246)으로부터 정공의 주입을 용이하게 할 수 있어야 한다. AlGaN층(245a)은 종래의 p-AlGaN보다 품질은 우수하나 도펀트를 포함하지 않아서 정공 주입 효과가 떨어질 수 있으므로, MgN층(245b)을 추가하여 정공 주입 효과를 향상시킬 수 있다. 그리고, 상술한 실시예에서 언도프드 GaN층(244c)은 결정의 품질을 향상시켜서 전자 차단층(244)의 작용을 강화시킬 수 있고, 본 실시예에서 InGaN층(245c)은 전자 차단층(245)의 저항을 줄여서 발광소자의 동작 전압을 감소시킬 수 있다.도 7 내지 도 8b의 발광소자의 제조방법은 도 5a 내지 도 5g에 도시된 방법과 동일하나, 언도프드 GaN층(244c) 대신 InGaN층(245c)을 형성하는 점에서 상이하다. 즉, AlGaN층(245a)과 MgN층(245b) 및 InGaN층(245c)을 1회 내지 50회 반복하여 성장시켜서 전자 차단층(245)을 형성할 수 있고, InGaN층(245c)은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께로 성장시킬 수 있다.The electron blocking layer 245 should be capable of blocking electrons injected from the active layer direction and facilitating the injection of holes from the p-GaN layer 246. The AlGaN layer 245a has a higher quality than that of the conventional p-AlGaN but does not contain a dopant, which may lower the hole injecting effect, so that the MgN layer 245b can be added to improve the hole injecting effect. In the embodiment described above, the undoped GaN layer 244c can improve the quality of the crystal to enhance the function of the electron blocking layer 244. In this embodiment, the InGaN layer 245c has the electron blocking layer 245 The manufacturing method of the light emitting device of FIGS. 7 to 8B is the same as the method shown in FIGS. 5A to 5G except that the undoped GaN layer 244c is replaced by InGaN Layer 245c. ≪ / RTI > That is, the AlGaN layer 245a, the MgN layer 245b, and the InGaN layer 245c can be grown repeatedly once to 50 times to form the electron blocking layer 245, and the InGaN layer 245c can be grown to a thickness of 1 nm To 50 nanometers in thickness.

상술한 구조의 전자 차단층은 도 6에 도시된 수직형 발광소자에도 적용될 수 있다.The electron blocking layer having the above-described structure can also be applied to the vertical light emitting device shown in Fig.

도 9는 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.9 is a view illustrating an embodiment of a light emitting device package in which a light emitting device is disposed.

실시예에 따른 발광소자 패키지(300)는 플립 칩 타입의 발광소자 패키지로서, 캐비티를 포함하는 몸체(310)와, 상기 몸체(310)에 설치된 제1 리드 프레임(Lead Frame, 321) 및 제2 리드 프레임(322)과, 상기 몸체(310)에 설치되어 상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)과 전기적으로 연결되는 상술한 실시예들에 따른 발광소자(200)와, 상기 캐비티에 형성된 몰딩부(350)를 포함한다.The light emitting device package 300 according to the embodiment is a flip chip type light emitting device package including a body 310 including a cavity and a first lead frame 321 and a second lead frame 322 provided on the body 310, A light emitting device 200 according to the above-described embodiments, which is electrically connected to the first lead frame 321 and the second lead frame 322, installed in the body 310, And a molding part 350 formed in the cavity.

몸체(310)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 몸체(310)가 금속 재질 등 도전성 물질로 이루어지면, 도시되지는 않았으나 상기 몸체(310)의 표면에 절연층이 코팅되어 상기 제1,2 리드 프레임(321, 322) 간의 전기적 단락을 방지할 수 있다.The body 310 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material. When the body 310 is made of a conductive material such as a metal material, an insulating layer is coated on the surface of the body 310 to prevent an electrical short between the first and second lead frames 321 and 322 .

제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(200)에 전류를 공급한다. 또한, 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 발광소자(200)에서 발생된 광을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 발광소자(200)에서 발생된 열을 외부로 배출시킬 수도 있다.The first lead frame 321 and the second lead frame 322 are electrically disconnected from each other and supply current to the light emitting device 200. The first lead frame 321 and the second lead frame 322 may reflect the light generated from the light emitting device 200 to increase the light efficiency, It may be discharged.

발광소자(200)는 볼 형상의 솔더(340)에 의하여 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)에 전기적으로 연결될 수 있으며, 플립 칩 타입이 아닌 다른 방식으로 리드 프레임과 몸체에 고정될 수 있다.The light emitting device 200 may be electrically connected to the first lead frame 321 and the second lead frame 322 by ball solder 340 and may be electrically connected to the lead frame and the body Can be fixed.

상기 몰딩부(350)는 상기 발광소자(200)를 포위하여 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부(350) 상에는 형광체(360)가 몰딩부(350)와 별개의 층으로 컨포멀(Conformal) 코팅되어 있다. 이러한 구조는 형광체(360)가 분포되어, 발광소자(200)로부터 방출되는 빛의 파장을 발광소자 패키지(300)의 빛이 출사되는 전 영역에서 변환시킬 수 있다.The molding part 350 may surround and protect the light emitting device 200. In addition, the phosphor 360 is conformally coated on the molding part 350 as a separate layer from the molding part 350. In this structure, the phosphors 360 are distributed so that the wavelength of the light emitted from the light emitting device 200 can be changed in the entire region where the light of the light emitting device package 300 is emitted.

발광소자(200)에서 방출된 제1 파장 영역의 광이 상기 형광체(360)에 의하여 여기되어 제2 파장 영역의 광으로 변환되고, 상기 제2 파장 영역의 광은 렌즈(미도시)를 통과하면서 광경로가 변경될 수 있다.The light in the first wavelength range emitted from the light emitting device 200 is excited by the phosphor 360 and converted into light in the second wavelength range and light in the second wavelength range passes through the lens (not shown) The light path can be changed.

상술한 발광소자 패키지(300)의 내부에 배치된 발광소자는 전자 차단층인 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층으로 이루어져서, 전자 차단효과와 정공 주입 효과 및 품질이 우수하고, 전류 스프레딩을 상승시켜서 발광소자의 광효율도 우수하다.The light emitting device disposed inside the light emitting device package 300 includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer, which are electron blocking layers, and is excellent in electron blocking effect, hole injection effect and quality, So that the light efficiency of the light emitting device is also excellent.

발광소자 패키지(300)는 상술한 실시예들에 따른 발광소자 중 하나 또는 복수 개로 탑재할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting device package 300 may be mounted on one or a plurality of light emitting devices according to the embodiments described above, but the present invention is not limited thereto.

실시 예에 따른 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 반도체 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다. 이하에서는 상술한 발광소자 패키지가 배치된 조명 시스템의 일실시예로서, 헤드 램프와 백라이트 유닛을 설명한다.A plurality of light emitting device packages according to embodiments may be arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, and the like may be disposed on the light path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. Still another embodiment may be implemented as a display device, an indicating device, a lighting system including the semiconductor light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, for example, the lighting system may include a lamp, a streetlight . Hereinafter, a head lamp and a backlight unit will be described as an embodiment of an illumination system in which the above-described light emitting device package is disposed.

도 10은 발광소자 패키지가 배치된 헤드 램프의 일실시예를 나타낸 도면이다.10 is a view showing an embodiment of a headlamp in which a light emitting device package is disposed.

실시예에 따른 헤드 램프(400)는 발광소자 패키지가 배치된 발광소자 모듈(401)에서 방출된 빛이 리플렉터(402)와 쉐이드(403)에서 반사된 후 렌즈(404)를 투과하여 차체 전방을 향할 수 있다.The light emitted from the light emitting device module 401 in which the light emitting device package is disposed is reflected by the reflector 402 and the shade 403 and then transmitted through the lens 404 to the front of the vehicle body You can head.

상술한 바와 같이, 상기 발광소자 모듈(401)에 사용되는 발광소자는 전자 차단층인 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층으로 이루어져서, 전자 차단효과와 정공 주입 효과 및 품질이 우수하고, 제2 도전형 반도체층 내에서 전류 스프레딩을 상승시켜서 발광소자의 광효율도 우수하다.As described above, the light emitting device used in the light emitting device module 401 is composed of an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer, which are electron blocking layers, and is excellent in electron blocking effect and hole injection effect and quality, The current spreading is increased in the conductive type semiconductor layer, and the light efficiency of the light emitting element is also excellent.

도 11은 발광소자가 배치된 영상 표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.11 is a view showing an embodiment of a video display device in which a light emitting device is arranged.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 영상표시장치(500)는 광원 모듈과, 바텀 커버(510) 상의 반사판(520)과, 상기 반사판(520)의 전방에 배치되며 상기 광원모듈에서 방출되는 빛을 영상표시장치 전방으로 가이드하는 도광판(540)과, 상기 도광판(540)의 전방에 배치되는 제1 프리즘시트(550)와 제2 프리즘시트(560)와, 상기 제2 프리즘시트(560)의 전방에 배치되는 패널(570)과 상기 패널(570)의 전반에 배치되는 컬러필터(580)를 포함하여 이루어진다.As shown in the drawing, the image display apparatus 500 according to the present embodiment includes a light source module, a reflection plate 520 on the bottom cover 510, and a reflection plate 520 disposed in front of the reflection plate 520, A first prism sheet 550 and a second prism sheet 560 disposed in front of the light guide plate 540 and a second prism sheet 560 disposed between the first prism sheet 560 and the second prism sheet 560, A panel 570 disposed in front of the panel 570 and a color filter 580 disposed in the front of the panel 570.

광원 모듈은 회로 기판(530) 상의 발광소자 패키지(535)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 회로 기판(530)은 PCB 등이 사용될 수 있고, 발광소자 패키지(535)는 도 8에서 설명한 바와 같다.The light source module comprises a light emitting device package 535 on a circuit board 530. Here, the circuit board 530 may be a PCB or the like, and the light emitting device package 535 is the same as that described with reference to FIG.

바텀 커버(510)는 영상표시장치(500) 내의 구성 요소들을 수납할 수 있다. 반사판(520)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있고, 도광판(540)의 후면이나, 상기 바텀 커버(510)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다.The bottom cover 510 can house the components in the image display apparatus 500. The reflective plate 520 may be formed as a separate component as shown in the drawing, or may be provided on the rear surface of the light guide plate 540 or on the front surface of the bottom cover 510 with a highly reflective material.

반사판(520)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PolyEthylene Terephtalate; PET)를 사용할 수 있다.The reflector 520 can be made of a material having a high reflectance and can be used in an ultra-thin shape, and a polyethylene terephthalate (PET) can be used.

도광판(540)은 발광소자 패키지 모듈에서 방출되는 빛을 산란시켜 그 빛이 액정 표시 장치의 화면 전영역에 걸쳐 균일하게 분포되도록 한다. 따라서, 도광판(530)은 굴절률과 투과율이 좋은 재료로 이루어지는데, 폴리메틸메타크릴레이트(PolyMethylMethAcrylate; PMMA), 폴리카보네이트(PolyCarbonate; PC), 또는 폴리에틸렌(PolyEthylene; PE) 등으로 형성될 수 있다. 또한, 도광판(540)이 생략되면 에어 가이드 방식의 표시장치가 구현될 수 있다.The light guide plate 540 scatters the light emitted from the light emitting device package module so that the light is uniformly distributed over the entire screen area of the LCD. Accordingly, the light guide plate 530 is made of a material having a good refractive index and transmittance. The light guide plate 530 may be formed of poly methylmethacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), or polyethylene (PE). Also, if the light guide plate 540 is omitted, an air guide display device can be realized.

상기 제1 프리즘 시트(550)는 지지필름의 일면에, 투광성이면서 탄성을 갖는 중합체 재료로 형성되는데, 상기 중합체는 복수 개의 입체구조가 반복적으로 형성된 프리즘층을 가질 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 패턴은 도시된 바와 같이 마루와 골이 반복적으로 스트라이프 타입으로 구비될 수 있다.The first prism sheet 550 is formed on one side of the support film with a translucent and elastic polymer material. The polymer may have a prism layer in which a plurality of steric structures are repeatedly formed. As shown in the drawings, the plurality of patterns may be repeatedly provided with a stripe pattern.

상기 제2 프리즘 시트(560)에서 지지필름 일면의 마루와 골의 방향은, 상기 제1 프리즘 시트(550) 내의 지지필름 일면의 마루와 골의 방향과 수직할 수 있다. 이는 광원 모듈과 반사시트로부터 전달된 빛을 상기 패널(570)의 전방향으로 고르게 분산하기 위함이다.In the second prism sheet 560, a direction of a floor and a valley of one side of the supporting film may be perpendicular to a direction of a floor and a valley of one side of the supporting film in the first prism sheet 550. This is for evenly distributing the light transmitted from the light source module and the reflective sheet in all directions of the panel 570.

본 실시예에서 상기 제1 프리즘시트(550)과 제2 프리즘시트(560)가 광학시트를 이루는데, 상기 광학시트는 다른 조합 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이로 이루어지거나 확산시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 또는 하나의 프리즘 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 등으로 이루어질 수 있다.In this embodiment, the first prism sheet 550 and the second prism sheet 560 constitute an optical sheet, which may be made of other combinations, for example, a microlens array or a combination of a diffusion sheet and a microlens array Or a combination of one prism sheet and a microlens array, or the like.

상기 패널(570)은 액정 표시 패널(Liquid crystal display)가 배치될 수 있는데, 액정 표시 패널(560) 외에 광원을 필요로 하는 다른 종류의 디스플레이 장치가 구비될 수 있다.A liquid crystal display (LCD) panel may be disposed on the panel 570. In addition to the liquid crystal display panel 560, other types of display devices requiring a light source may be provided.

상기 패널(570)은, 유리 바디 사이에 액정이 위치하고 빛의 편광성을 이용하기 위해 편광판을 양 유리바디에 올린 상태로 되어있다. 여기서, 액정은 액체와 고체의 중간적인 특성을 가지는데, 액체처럼 유동성을 갖는 유기분자인 액정이 결정처럼 규칙적으로 배열된 상태를 갖는 것으로, 상기 분자 배열이 외부 전계에 의해 변화되는 성질을 이용하여 화상을 표시한다.In the panel 570, a liquid crystal is positioned between glass bodies, and a polarizing plate is placed on both glass bodies to utilize the polarization of light. Here, the liquid crystal has an intermediate property between a liquid and a solid, and liquid crystals, which are organic molecules having fluidity like a liquid, are regularly arranged like crystals. The liquid crystal has a structure in which the molecular arrangement is changed by an external electric field And displays an image.

표시장치에 사용되는 액정 표시 패널은, 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식으로서, 각 화소에 공급되는 전압을 조절하는 스위치로서 트랜지스터를 사용한다.A liquid crystal display panel used in a display device is an active matrix type, and a transistor is used as a switch for controlling a voltage supplied to each pixel.

상기 패널(570)의 전면에는 컬러 필터(580)가 구비되어 상기 패널(570)에서 투사된 빛을, 각각의 화소마다 적색과 녹색 및 청색의 빛만을 투과하므로 화상을 표현할 수 있다.A color filter 580 is provided on the front surface of the panel 570 so that only the red, green, and blue light is transmitted through the panel 570 for each pixel.

본 실시예에 따른 영상표시장치에 배치된 발광소자는 전자 차단층인 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층으로 이루어져서, 전자 차단효과와 정공 주입 효과 및 품질이 우수하고, 제2 도전형 반도체층 내에서 전류 스프레딩을 상승시켜서 발광소자의 광효율도 우수하다.The light emitting device disposed in the image display device according to the present embodiment includes an AlGaN layer, an MgN layer, and an undoped GaN layer, which are electron blocking layers, and is excellent in electron blocking effect, hole injection effect and quality, And the light efficiency of the light emitting device is also excellent.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

100: 발광소자 110: 버퍼층
120: 제1 도전형 반도체층 130: 활성층
140: 제2 도전형 반도체층 142, 242: p-InAlGaN층
144: p-AlGaN층 146, 246: p-GaN층
150: 투명 도전층 170: 제1 전극
180: 제2 전극 244, 245: 전자 차단층
244a, 245a: AlGaN층 244b, 245b: MgN층
244c: 언도프드 GaN층 245c: InGaN층
282: 오믹층
284: 반사층 286: 접합층
288: 도전성 지지기판 290: 패시베이션층
300 : 발광소자 패키지 310 : 몸체
321, 322 : 제1,2 리드 프레임 340 : 솔더
350 : 몰딩부 360 : 형광체층
400 : 헤드 램프 410 : 발광소자 모듈
402 : 리플렉터 403 : 쉐이드
404 : 렌즈 500 : 표시장치
510 : 바텀 커버 520 : 반사판
530 : 회로 기판 모듈 540 : 도광판
550, 560 : 제1,2 프리즘 시트 570 : 패널
580 : 컬러필터
100: light emitting device 110: buffer layer
120: first conductivity type semiconductor layer 130: active layer
140: second conductivity type semiconductor layer 142, 242: p-InAlGaN layer
144: p-AlGaN layer 146, 246: p-GaN layer
150: transparent conductive layer 170: first electrode
180: second electrode 244, 245: electron blocking layer
244a, 245a: AlGaN layer 244b, 245b: MgN layer
244c: undoped GaN layer 245c: InGaN layer
282:
284: reflective layer 286: bonding layer
288: Conductive support substrate 290: Passivation layer
300: light emitting device package 310: body
321, 322: first and second lead frames 340: solder
350: molding part 360: phosphor layer
400: head lamp 410: light emitting element module
402: Reflector 403: Shade
404: Lens 500: Display device
510: bottom cover 520: reflector
530: circuit board module 540: light guide plate
550, 560: first and second prism sheets 570:
580: Color filter

Claims (15)

제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및
상기 활성층 상에 배치되고, 전자 차단층을 포함하는 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층을 포함하는 발광소자.
A first conductive semiconductor layer;
An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And
And a second conductive type semiconductor layer disposed on the active layer and including an electron blocking layer,
Wherein the electron blocking layer comprises an AlGaN layer, a MgN layer, and an undoped GaN layer.
제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및
상기 활성층 상에 배치되고, 전자 차단층을 포함하는 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 InGaN층을 포함하는 발광소자.
A first conductive semiconductor layer;
An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And
And a second conductive type semiconductor layer disposed on the active layer and including an electron blocking layer,
Wherein the electron blocking layer comprises an AlGaN layer, a MgN layer, and an InGaN layer.
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 전자 차단층은 1회 내지 50회 교번하여 배치되는 발광소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the electron blocking layer is disposed alternately one to fifty times.
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 AlGaN층은 제2 도전형인 발광소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the AlGaN layer is a second conductive type.
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 AlGaN층은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께를 가지는 발광소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the AlGaN layer has a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers.
제1 항에 있어서,
상기 언도프드 GaN층은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께를 가지는 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the undoped GaN layer has a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers.
제2 항에 있어서,
상기 InGaN층은 1 나노미터 내지 50 나노미터의 두께를 가지는 발광소자.
3. The method of claim 2,
Wherein the InGaN layer has a thickness of 1 nanometer to 50 nanometers.
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층 내에 배치되고, 상기 활성층과 상기 전자 차단층의 사이에 배치되는 InAlGaN층을 더 포함하는 발광소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
And an InAlGaN layer disposed in the second conductivity type semiconductor layer and disposed between the active layer and the electron blocking layer.
제8 항에 있어서,
상기 InAlGaN층은 제2 도전형인 발광소자.
9. The method of claim 8,
And the InAlGaN layer is a second conductive type.
제1 항에 있어서,
상기 전자 차단층 내에서 상기 AlGaN층이 상기 활성층과 가장 가까이 배치되고, 상기 언도프드 GaN층이 상기 활성층과 가장 멀리 배치되는 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the AlGaN layer is disposed closest to the active layer in the electron blocking layer and the undoped GaN layer is disposed farthest from the active layer.
제2 항에 있어서,
상기 전자 차단층 내에서 상기 AlGaN층이 상기 활성층과 가장 가까이 배치되고, 상기 InGaN층이 상기 활성층과 가장 멀리 배치되는 발광소자.
3. The method of claim 2,
Wherein the AlGaN layer is disposed closest to the active layer in the electron blocking layer and the InGaN layer is disposed farthest from the active layer.
제1 항에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층 내에 배치된 제2 도전형 GaN층을 더 포함하고, 상기 제2 도전형 GaN층은 상기 전자 차단층에 대하여 상기 활성층과 반대 방향에 배치되는 발광소자.
The method according to claim 1,
And a second conductive type GaN layer disposed in the second conductive type semiconductor layer, wherein the second conductive type GaN layer is disposed in a direction opposite to the active layer with respect to the electron blocking layer.
제12 항에 있어서,
상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 언도프드 GaN층이 적어도 2회 교번하여 배치되고, 상기 제2 도전형 GaN층과 접촉하는 영역에서 MgN층이 배치되는 발광소자.
13. The method of claim 12,
Wherein the electron blocking layer is arranged such that the AlGaN layer, the MgN layer, and the undoped GaN layer are alternately arranged at least twice, and the MgN layer is disposed in a region in contact with the second conductive GaN layer.
제2 항에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층 내에 배치된 제2 도전형 GaN층을 더 포함하고, 상기 제2 도전형 GaN층은 상기 전자 차단층에 대하여 상기 활성층과 반대 방향에 배치되는 발광소자.
3. The method of claim 2,
And a second conductive type GaN layer disposed in the second conductive type semiconductor layer, wherein the second conductive type GaN layer is disposed in a direction opposite to the active layer with respect to the electron blocking layer.
제14 항에 있어서,
상기 전자 차단층은 AlGaN층과 MgN층 및 InGaN층이 적어도 2회 교번하여 배치되고, 상기 제2 도전형 GaN층과 접촉하는 영역에서 MgN층이 배치되는 발광소자.
15. The method of claim 14,
Wherein the electron blocking layer is arranged such that the AlGaN layer, the MgN layer, and the InGaN layer are alternately arranged at least twice, and the MgN layer is disposed in a region in contact with the second conductive GaN layer.
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