KR101861635B1 - Light emitting device amd light emitting device package including the same - Google Patents
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Abstract
실시예는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치되고 표면에 요철이 형성된 언도프드(undoped) 반도체층; 및 상기 언도프드 반도체층 상에 배치되고, 표면에 요철이 형성된 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광소자를 제공한다.The embodiment includes a first conductivity type semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; An undoped semiconductor layer disposed on the active layer and having irregularities formed on the surface thereof; And a second conductive type semiconductor layer disposed on the undoped semiconductor layer and having concave and convex portions formed on the surface thereof.
Description
실시예는 발광소자 및 이를 포함하는 발광소자 패키지를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device and a light emitting device package including the same.
반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Ligit Emitting Diode)나 레이저 다이오드와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다.BACKGROUND ART Light emitting devices such as a light emitting diode (LD) or a laser diode using semiconductor materials of Group 3-5 or 2-6 group semiconductors are widely used for various colors such as red, green, blue, and ultraviolet And it is possible to realize white light rays with high efficiency by using fluorescent materials or colors, and it is possible to realize low energy consumption, semi-permanent life time, quick response speed, safety and environment friendliness compared to conventional light sources such as fluorescent lamps and incandescent lamps .
따라서, 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등에까지 응용이 확대되고 있다.Therefore, a transmission module of the optical communication means, a light emitting diode backlight replacing a cold cathode fluorescent lamp (CCFL) constituting a backlight of an LCD (Liquid Crystal Display) display device, a white light emitting element capable of replacing a fluorescent lamp or an incandescent lamp Diode lighting, automotive headlights, and traffic lights.
발광소자는 제1 도전형 반도체층을 통해서 주입되는 전자와 제2 도전형 반도체층을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출한다. 발광소자 패키지에는 발광소자에서 방출된 빛에 의하여 형광체가 여기되어 활성층에서 방출된 빛보다 장파장 영역의 빛을 방출할 수 있다.In the light emitting device, electrons injected through the first conductive type semiconductor layer and holes injected through the second conductive type semiconductor layer meet each other to emit light having energy determined by a specific energy band of the material forming the active layer (light emitting layer) do. In the light emitting device package, the phosphor is excited by the light emitted from the light emitting device to emit light in a longer wavelength range than the light emitted from the active layer.
활성층에서 방출된 빛은 제2 도전형 반도체층을 통하여 발광 구조물의 외부로 방출될 수 있다. 이때, 발광 구조물과 외부와의 굴절률 차이에 의하여 일부 빛이 전반사되거나, 외부로 방출되는 빛의 경로가 균일하지 않을 수 있다.Light emitted from the active layer can be emitted to the outside of the light emitting structure through the second conductivity type semiconductor layer. At this time, some light may be totally reflected due to a difference in refractive index between the light emitting structure and the outside, or the path of light emitted to the outside may not be uniform.
즉, 활성층에서 발생한 빛이 외부로 빠져 나갈 때, 질화물계 반도체 물질인 발광 구조물과 외부와의 굴절율 차이에 의해 전반사 조건이 발생하게 되어 전반사의 임계각 이상의 각도로 입사된 광은 외부로 빠져나기지 못하고 반사되어 다시 소자 내부로 들어오게 되어 소모됨으로써 광추출 효율이 저하되는 문제점이 있다.That is, when light generated in the active layer exits to the outside, a total reflection condition occurs due to a difference in refractive index between the light emitting structure, which is a nitride semiconductor material, and the outside, so that light incident at an angle greater than a critical angle of total reflection can not escape to the outside The light is reflected back to the inside of the device and consumed, thereby deteriorating the light extraction efficiency.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 발광 구조물, 특히 제2 도전형 반도체층의 표면에 요철을 형성하는 시도가 있다. 그러나, 발광 구조물의 표면에 선택적 식각 등의 방법으로 요철을 형성하면, 질화물 반도체인 발광 구조물의 품질이 저하될 수 있다. 그리고, 성장 온도를 높이면 질화물 반도체의 불규칙한 성장으로 표면에 불규칙한 요철이 형성될 수 있으나, 고온 성장에서 활성층을 포함한 발광 구조물이 특히 저하될 수 있다. 또한, 추가적인 식각 공정을 수행함으로써 제조 공정이 복잡해지고 제조 시간이 오래 걸린다는 단점이 있다. In order to solve such a problem, there is an attempt to form irregularities on the surface of the light emitting structure, particularly the second conductivity type semiconductor layer. However, if unevenness is formed on the surface of the light emitting structure by a method such as selective etching, the quality of the light emitting structure which is a nitride semiconductor may be deteriorated. Irregular irregularities may be formed on the surface due to irregular growth of the nitride semiconductor if the growth temperature is increased, but the light emitting structure including the active layer may be particularly deteriorated at high temperature growth. In addition, the additional etching process complicates the manufacturing process and takes a long time to manufacture.
실시예는 광추출 효율이 뛰어나면서도, 발광 구조물의 품질이 저하되지 않는 발광소자를 제공하고자 한다.The embodiment attempts to provide a light emitting device which is excellent in light extraction efficiency and in which the quality of the light emitting structure is not deteriorated.
실시예는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치되고 표면에 요철이 형성된 언도프드(undoped) 반도체층; 및 상기 언도프드 반도체층 상에 배치되고, 표면에 요철이 형성된 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광소자를 제공한다.The embodiment includes a first conductivity type semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; An undoped semiconductor layer disposed on the active layer and having irregularities formed on the surface thereof; And a second conductive type semiconductor layer disposed on the undoped semiconductor layer and having concave and convex portions formed on the surface thereof.
제2 도전형 반도체층 표면의 요철은 상기 언도프드 반도체층 표면의 요철과 패턴이 동일할 수 있다.The unevenness of the surface of the second conductivity type semiconductor layer may be the same as the unevenness and the pattern of the surface of the undoped semiconductor layer.
제2 도전형 반도체층 표면의 요철의 높이는 상기 언도프드 반도체층 표면의 요철의 높이보다 작을 수 있다.The height of the unevenness of the surface of the second conductivity type semiconductor layer may be smaller than the height of the unevenness of the surface of the undoped semiconductor layer.
언도프드 반도체층의 두께는 2.5 내지 5 나노 미터이고, 상기 언도프드 반도체층 내의 요철의 높이는 0.5 내지 1 마이크로 미터일 수 있다.The thickness of the undoped semiconductor layer is 2.5 to 5 nanometers, and the height of the unevenness in the undoped semiconductor layer may be 0.5 to 1 micrometer.
제2 도전형 반도체층의 두께는 90 내지 110 나노미터이고, 상기 제2 도전형 반도체층 내의 요철의 높이는 0.4 내지 0.8 마이크로 미터일 수 있다.The thickness of the second conductivity type semiconductor layer may be 90 to 110 nanometers, and the height of the concavities and convexities in the second conductivity type semiconductor layer may be 0.4 to 0.8 micrometers.
요철의 형상은 원뿔, 피라미드 및 다각형뿔 중 적어도 하나일 수 있다.The shape of the irregularities may be at least one of a cone, a pyramid and a polygonal horn.
다른 실시예는 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임; 상기 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임에 각각 전기적으로 연결된 상술한 발광소자; 및 상기 발광소자에서 방출된 제1 파장 영역의 빛에 의하여 여기되어 제2 파장 영역의 빛을 방출하는 형광체층을 포함하는 발광소자 패키지를 제공한다.Another embodiment includes a first lead frame and a second lead frame; The above-described light emitting device electrically connected to the first lead frame and the second lead frame, respectively; And a phosphor layer that is excited by light of a first wavelength range emitted from the light emitting device to emit light of a second wavelength range.
실시예에 따르면, 발광소자 내의 발광 구조물 표면의 요철 즉, 제2 도전형 반도체층의 표면의 요철이 언도프드 반도체층의 표면을 따라 자연 성장되어 손상이 적으며, 발광 구조물 표면에서의 광추출 효율이 향상될 수 있다.According to the embodiment, irregularities on the surface of the light emitting structure in the light emitting device, that is, irregularities on the surface of the second conductivity type semiconductor layer are naturally grown along the surface of the undoped semiconductor layer, Can be improved.
도 1은 발광소자의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 'A'를 확대한 도면이고,
도 3은 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이고,
도 4 내지 도 8은 도 1의 발광소자의 제조방법을 나타낸 도면이고,
도 9은 도 1의 발광소자의 작용을 나타낸 도면이고,
도 10은 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이고,
도 11은 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 12는 발광소자 패키지를 포함하는 헤드 램프의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 13은 발광소자 패키지를 포함하는 영상 표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.1 is a view illustrating an embodiment of a light emitting device,
FIG. 2 is an enlarged view of 'A' in FIG. 1,
3 is a view showing another embodiment of the light emitting device,
4 to 8 are views showing a method of manufacturing the light emitting device of FIG. 1,
FIG. 9 is a view showing the operation of the light emitting device of FIG. 1,
10 is a view showing another embodiment of the light emitting device,
11 is a view illustrating an embodiment of a light emitting device package including a light emitting device,
12 is a view showing an embodiment of a headlamp including a light emitting device package,
13 is a view showing an embodiment of a video display device including a light emitting device package.
본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case of being described as being formed "on or under" of each element, the upper (upper) or lower (lower) or under are all such that two elements are in direct contact with each other or one or more other elements are indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.
이하 상기의 목적을 실현할 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention; Fig.
도 1은 발광소자의 일실시예를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 'A'를 확대한 도면이다.FIG. 1 is a view showing an embodiment of a light emitting device, and FIG. 2 is an enlarged view of 'A' in FIG.
도 1의 발광소자(100)는 기판(110)과, 버퍼층(120)과, 발광 구조물과 언도프드(undoped) 반도체층(150)과 제1 전극(180) 및 제2 전극(185)를 포함하여 이루어진다.The
기판(110)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질, 캐리어 웨이퍼로 형성될 수있다. 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함하며, 예컨대 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 및 Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.The
버퍼층(120)은, 기판(110)과 발광 구조물 사이의 재료의 격자 부정합 및 열 팽창 계수의 차이를 완화하기 위한 것이다. 상기 버퍼층(120)의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The
발광 구조물은 제1 도전형 반도체층(132)과 활성층(134) 및 제2 도전형 반도체층(136)를 포함하여 이루어진다. 제1 도전형 반도체층(132)의 일부 영역이 메사 식각되어 있는데, 사파이어 기판과 같이 절연성 기판의 하부에 전극을 형성할 수 없기 때문에, 상술한 식각된 영역에 제1 전극(180)을 배치할 수 있다.The light emitting structure includes a first
제1 도전형 반도체층(132)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(132)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first
제1 도전형 반도체층(132)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first
활성층(134)은 제1 도전형 반도체층(132)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(136)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(134)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다.Electrons injected through the first conductivity-
활성층(134)은 이중 접합 구조(Double Hetero Junction Structure), 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(120)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
활성층(134)의 우물층/장벽층은 예를 들면, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, InAlGaN/InAlGaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the
활성층(134)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(134)의 장벽층이나 밴드갭보다 더 넓은 밴드갭을 가지는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be formed on and / or below the
활성층(134) 위에는 언도프드 반도체층(150)과 제2 도전형 반도체층(136)이 배치되어 있다. 언도프드(undoped) 반도체층(150)은 표면에 요철이 형성되어 있으며, 언도프드 반도체층(150) 표면의 요철에 따라 제2 도전형 반도체층(136)의 표면에도 요철이 형성되어 있다.On the
상술한 언도프드 반도체층(150) 표면의 요철과 제2 도전형 반도체층(136) 표면의 요철은 동일한 패턴으로 형성될 수 있는데, 후술하는 제조방법에 따라 형성되기 때문이다.The irregularities on the surface of the
언도프드 반도체층(150)의 두께(t)는 2.5 내지 5 나노 미터이고, 언도프드 반도체층(150) 내의 요철의 높이(h)는 0.5 내지 1 마이크로 미터일 수 있으며, 요철의 크기(w)는 요철의 높이(h)의 2배일 수 있다. 여기서, 두께(t)는 요철이 형성되지 않은 부분의 언도프드 반도체층(150)의 두께를 의미하고, 요철의 형상은 원뿔, 피라미드 및 다각형뿔일 수 있으며, 요철의 크기(w)는 요철의 단면이 원형이면 지름을 뜻하고 단면이 다각형이면 변의 길이를 뜻한다.The thickness t of the
그리고, 제2 도전형 반도체층(136)의 두께는 90 내지 110 나노미터이고, 제2 도전형 반도체층(136) 내의 요철의 높이는 0.4 내지 0.8 마이크로 미터일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136) 내의 두께도 요철 형상을 제외한 부분의 높이를 의미하며, 제2 도전형 반도체층(136) 내의 요철의 높이는 언도프드 반도체층(150) 내의 요철의 높이의 80% 정도이다.The thickness of the second conductivity
언도프드 반도체층(150)은 예를 들면 InAlGaN, AlGaN 등 질화물 반도체층으로 이루어질 수 있으며, 제1,2 도전형 반도체층(132, 136)과 달리 도펀트가 포함되지 않는다.The
제2 도전형 반도체층(136)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second
제1,2 전극(180, 185)는 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.The first and
본 실시예에서 제1 도전형 반도체층(132)는 p형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(136)은 n형 반도체층으로 구현할 수 있다. 또한, 제2 도전형 반도체층(136) 위에는 n형 또는 p형을 반도체층을 포함하는 반도체층이 더 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광 구조물은 np, pn, npn, pnp 접합 구조 중 어느 하나를 가질 수 있다.In this embodiment, the first conductivity
실시예에 따른 발광소자(100)는 발광 구조물 표면의 요철 즉, 제2 도전형 반도체층(136)의 표면의 요철이 언도프드 반도체층(150)의 표면을 따라 자연 성장되어 손상이 적으며, 발광 구조물 표면에서의 광추출 효율이 향상될 수 있다.The
도 3은 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이다. 본 실시예에 따른 발광소자(100)는 도 1에 도시된 실시예와 유사하나, 활성층(134)과 언도프드 반도체층(150)의 사이에 전자 차단층(Electron Blocking Layer, 140)이 배치되어 있다. 전자 차단층(140)은 질소를 포함하는 반도체로 형성될 수 있으며, AlGaN을 포함하여 이루어질 수 있으며, 활성층(134)으로부터 언도프드 반도체층(150)과 제2 도전형 반도체층(136) 방향으로 전자가 이동하는 것을 방지할 수 있다. 본 실시예에서 제1 도전형 반도체층(132)은 n형 반도체층이고, 제2 도전형 반도체층(136)은 p형 반도체층일 수 있다. 3 is a view showing another embodiment of the light emitting device. 1, an
도 4 내지 도 8은 도 1의 발광소자의 제조방법을 나타낸 도면이다.4 to 8 are views showing a method of manufacturing the light emitting device of FIG.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(110) 상에 버퍼층(120) 및 제1 도전형 반도체층(132) 및 활성층(134)을 성장시킨다.4, a
제1 도전형 반도체층(132)과 활성층(134) 및 후술하는 제2 도전형 반도체층(136)을 포함하는 발광 구조물(130)은 예를 들어, 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting structure 130 including the first conductivity
기판(110)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질, 캐리어 웨이퍼로 형성될 수있다. 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함할 수 있다. 예컨대 사파이어(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, and Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 기판(110) 위에는 요철 구조가 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 기판(110)에 대해 습식세척을 하여 표면의 불순물을 제거할 수 있다.The
제1 도전형 반도체층(132)과 기판(110) 사이에는 버퍼층(120)을 성장시킬 수 있는데, 재료의 격자 부정합 및 열 팽창 계수의 차이를 완화하기 위한 것이다. 버퍼층(120)의 재료는 도 1에서 설명한 바와 같다.A
제1 도전형 반도체층(132)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 제1 도전형 반도체층(132)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The composition of the first conductivity
활성층(134)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 예를 들어 상기 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The composition of the
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이 활성층(134) 상에 언도프드 반도체층(150)을 성장시킨다. 언도프드 반도체층(150)의 조성은 상술한 바와 같으며, 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법으로 성장될 수 있다. 언도프드 반도체층(150)을 포함하여 발광 구조물은 950℃ 내지 1050℃의 온도에서 성장이 이루어질 수 있다.Then, the
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 언도프드 반도체층(150)의 표면에 요철을 형성한다. 언도프드 반도체층(150)의 표면에 요철을 형성하는 방법으로, 예를 들어 챔버 내에 수소와 질소를 주입하면 수소 및/또는 질소 가스가 언도프드 반도체층(150)의 표면에 부딪히며 식각을 하여 요철을 형성할 수 있다. 다른 방법으로는, 언도프드 반도체층(150)의 표면을 선택적으로 식각하여 요철을 형성할 수도 있으나 이에 한정하지 않는다.As shown in FIG. 6, unevenness is formed on the surface of the
상술한 바와 같이 언도프드 반도체층(150)의 표면에 요철을 형성한 후에, 도 7에 도시된 바와 같이 언도프드 반도체층(150)의 표면에 제2 도전형 반도체층(136)을 성장시킨다. 제2 도전형 반도체층(136)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.After the irregularities are formed on the surface of the
이때, 제2 도전형 반도체층(136)은 언도프드 반도체층(150)의 표면의 요철 형상에 따라, 요철 구조를 이루며 형성된다. 그리고, 공정 챔버 내에서 제2 도전형 반도체층(136)이 성장될 때, 제2 도전형 반도체층(136) 내의 요철의 높이는 언도프드 반도체층(150) 표면의 요철의 높이보다 작을 수 있는데, 이는 제2 도전형 반도체층(136)을 이루는 재료가 언도프드 반도체층(150) 표면의 요철의 함몰부를 먼저 채우며 성장될 수 있기 때문이다.At this time, the second
그리고, 도 8에 도시된 바와 같이 제2 도전형 반도체층(136)으로부터 언도프드 반도체층(150)과 활성층(134), 그리고 제1 도전형 반도체층(132)의 일부까지 메사식각하여 전극이 형성될 공간을 확보한다.8, the
도 8에 도시된 구조에 제1,2 전극을 형성하면 도 1에 도시된 수평형 발광소자가 완성된다.When the first and second electrodes are formed on the structure shown in FIG. 8, the horizontal light emitting device shown in FIG. 1 is completed.
도 9은 도 1의 발광소자의 작용을 나타낸 도면이다. 발광소자(100)는 언도프드 반도체층(150)의 표면에 요철이 형성되고, 제2 도전형 반도체층(136)도 언도프드 반도체층(150) 표면의 요철에 따라 동일한 패턴으로 마루와 골을 이루며 요철이 형성되고 있다. 따라서, 활성층(134)에서 방출되는 빛 중 언도프드 반도체층(150) 방향으로 진행하는 빛은, 언도프드 반도체층(150)과 제2 도전형 반도체층(136)의 경계면에서 굴절되고, 제2 도전형 반도체층(136)으로부터 발광소자(100)의 외부로 진행할 때 재굴절되어 발광소자(100) 전체의 광추출 효율이 향상될 수 있다. 그리고, 제2 도전형 반도체층(136) 표면의 요철은 언도프드 반도체층(150)의 형상에 따라 자연스럽게 패터닝되어 그 품질의 저하가 발생하지 않는다.9 is a view showing the operation of the light emitting device of FIG. The
도 10은 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 수직형 발광소자를 도시하고 있다.10 is a view showing another embodiment of the light emitting device, which shows a vertical light emitting device.
실시예에 따른 발광소자(200)는 도전성 지지기판(275) 상에 접합층(270)과 반사층(265)과 오믹층(260)과 발광 구조물(230)과 언도프드 반도체층(250)을 포함하여 이루어진다.The
도전성 지지기판(275)은 제2 전극의 역할을 할 수 있으므로 전기 전도도가 우수한 금속을 사용할 수 있고, 발광 소자 작동시 발생하는 열을 충분히 발산시킬 수 있어야 하므로 열전도도가 높은 금속을 사용할 수 있다.Since the conductive supporting
도전성 지지기판(275)은 몰리브덴(Mo), 실리콘(Si), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 또한, 금(Au), 구리합금(Cu Alloy), 니켈(Ni), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, SiGe, Ga2O3 등) 등을 선택적으로 포함할 수 있다.The
또한, 상기 도전성 지지기판(275)은 전체 질화물 반도체에 휨을 가져오지 않으면서, 스크라이빙(scribing) 공정 및 브레이킹(breaking) 공정을 통하여 별개의 칩으로 잘 분리시키기 위한 정도의 기계적 강도를 가질 수 있다.In addition, the conductive supporting
접합층(270)은 반사층(265)과 도전성 지지기판(275)을 결합하며, 반사층(265)이 결합층(adhesion layer)의 기능을 수행할 수도 있다. 접합층은(270) 금(Au), 주석(Sn), 인듐(In), 알루미늄(Al), 실리콘(Si), 은(Ag), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 형성할 수 있다.The
반사층(265)은 약 2500 옹스르통의 두께일 수 있다. 반사층(265)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 니켈(Ni), 백금(Pt), 로듐(Rh), 혹은 Al이나 Ag이나 Pt나 Rh를 포함하는 합금을 포함하는 금속층으로 이루어질 수 있다. 알루미늄이나 은 등은 활성층(234)에서 발생된 빛을 효과적으로 반사하여 발광소자의 광추출 효율을 크게 개선할 수 있다.The
발광 구조물(230), 특히 상기 제2 도전형 반도체층(236)은 불순물 도핑 농도가 낮아 접촉 저항이 높으며 그로 인해 오믹 특성이 좋지 못할 수 있으므로, 이러한 오믹 특성을 개선하기 위해 오믹층(260)으로 투명 전극 등을 형성할 수 있다.The ohmic characteristics of the
오믹층(260)은 제2 도전형 반도체층(236) 표면의 요철 형상 위에 배치될 수있으며, 약 200 옹스트롱의 두께일 수 있다. 오믹층(260)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The
발광 구조물(230)과 언도프드 반도체층(250)의 구성은 도 1 등에서 설명한 것과 같다. 다만, 본 실시예에서는 제1 도전형 반도체층(232)의 표면에도 요철이 형성되어 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.The structures of the
그리고, 언도프드 반도체층(250)의 표면의 요철과 그에 따라 형성된 제2 도전형 반도체층(236) 표면의 요철에 의하여, 발광소자(200)의 하부로 진행하는 빛의 광추출 각도가 넓어질 수 있고, 따라서 반사층(265)에서 반사되는 빛의 광추출 각도 역시 증가할 수 있다.The unevenness of the surface of the
제1 도전형 반도체층(232)의 상부에는 제1 전극(280)이 배치되고 있고, 발광 구조물(230)의 측면에는 패시베이션층(passivation layer, 290)이 형성될 수 있다. 패시베이션층(290)은 절연물질로 이루어질 수 있으며, 상기 절연물질은 비전도성인 산화물이나 질화물로 이루어질 수 있으며, 일 예로서 실리콘 산화물(SiO2)층, 산화 질화물층, 산화 알루미늄층으로 이루어질 수 있다.A
도 11은 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.11 is a view showing an embodiment of a light emitting device package including a light emitting device.
실시예에 따른 발광소자 패키지(300)는 패키지 몸체(310)와, 상기 패키지 몸체(310)에 설치된 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)과, 상기 패키지 몸체(310)에 설치되어 상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)과 전기적으로 연결되는 상술한 발광소자(100)와, 상기 발광소자(100)의 표면 또는 측면을 덮는 몰딩부(350)를 포함한다.The light emitting
상기 패키지 몸체(310)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자(100)의 주위에 경사면이 형성되어 광추출 효율을 높일 수 있다.The
상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(100)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 상기 발광소자(100)에서 발생된 광을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The
상기 발광소자(100)는 수평형 발광소자나 수직형 발광소자일 수 있으며, 상기 패키지 몸체(310) 상에 설치되거나 상기 제1 리드 프레임(321) 또는 제2 리드 프레임(322) 상에 설치될 수 있다. 상기 발광소자(100)는 상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다. 본 실시예에서 발광소자(100)는 제1 리드 프레임(321)과 도전성 접착층(330)으로 연결되고 제2 리드 프레임(322)과 와이어(340) 본딩되고 있다.The
몰딩부(350)는 상기 발광소자(100)를 둘러싸며 보호할 수 있다. 또한, 몰딩부(350)에는 형광체(360)가 포함되어 상기 발광소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The
실시예에 따른 발광소자 패키지(300)는 내부에 배치된 발광소자(100)은 발광 구조물 표면의 요철 즉, 제2 도전형 반도체층의 표면의 요철이 언도프드 반도체층의 표면을 따라 자연 성장되어 손상이 적으며, 발광 구조물 표면에서의 광추출 효율이 향상될 수 있다.In the light emitting
발광소자 패키지(300)는 상술한 실시예들에 따른 발광소자 중 하나 또는 복수 개로 탑재할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting
실시 예에 따른 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 반도체 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다. 이하에서는 상술한 발광소자 패키지가 배치된 조명 시스템의 일실시예로서, 헤드 램프와 백라이트 유닛을 설명한다.A plurality of light emitting device packages according to embodiments may be arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, and the like may be disposed on the light path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. Still another embodiment may be implemented as a display device, an indicating device, a lighting system including the semiconductor light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, for example, the lighting system may include a lamp, a streetlight . Hereinafter, a head lamp and a backlight unit will be described as an embodiment of an illumination system in which the above-described light emitting device package is disposed.
도 12는 발광소자 패키지를 포함하는 헤드 램프의 일실시예를 나타낸 도면이다.12 is a view showing an embodiment of a headlamp including a light emitting device package.
실시예에 따른 헤드 램프(400)는 발광소자 패키지가 배치된 발광소자 모듈(401)에서 방출된 빛이 리플렉터(402)와 쉐이드(403)에서 반사된 후 렌즈(404)를 투과하여 차체 전방을 향할 수 있다.The light emitted from the light emitting
상술한 바와 같이, 상기 발광소자 모듈(401)에 사용되는 발광소자의 내에서 발광 구조물 표면의 요철 즉, 제2 도전형 반도체층의 표면의 요철이 언도프드 반도체층의 표면을 따라 자연 성장되어 손상이 적으며, 발광 구조물 표면에서의 광추출 효율이 향상될 수 있다.As described above, irregularities on the surface of the light emitting structure in the light emitting device used for the light emitting
도 13은 발광소자 패키지를 포함하는 영상 표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.13 is a view showing an embodiment of a video display device including a light emitting device package.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 영상표시장치(500)는 광원 모듈과, 바텀 커버(510) 상의 반사판(520)과, 상기 반사판(520)의 전방에 배치되며 상기 광원모듈에서 방출되는 빛을 영상표시장치 전방으로 가이드하는 도광판(540)과, 상기 도광판(540)의 전방에 배치되는 제1 프리즘시트(550)와 제2 프리즘시트(560)와, 상기 제2 프리즘시트(560)의 전방에 배치되는 패널(570)과 상기 패널(570)의 전반에 배치되는 컬러필터(580)를 포함하여 이루어진다.As shown in the drawing, the
광원 모듈은 회로 기판(530) 상의 발광소자 패키지(535)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 회로 기판(530)은 PCB 등이 사용될 수 있고, 발광소자 패키지(535)는 도 1에서 설명한 바와 같다.The light source module comprises a light emitting
바텀 커버(510)는 영상표시장치(500) 내의 구성 요소들을 수납할 수 있다. 반사판(520)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있고, 도광판(540)의 후면이나, 상기 바텀 커버(510)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다.The
반사판(520)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PolyEthylene Terephtalate; PET)를 사용할 수 있다.The
도광판(540)은 발광소자 패키지 모듈에서 방출되는 빛을 산란시켜 그 빛이 액정 표시 장치의 화면 전영역에 걸쳐 균일하게 분포되도록 한다. 따라서, 도광판(530)은 굴절률과 투과율이 좋은 재료로 이루어지는데, 폴리메틸메타크릴레이트(PolyMethylMethAcrylate; PMMA), 폴리카보네이트(PolyCarbonate; PC), 또는 폴리에틸렌(PolyEthylene; PE) 등으로 형성될 수 있다. 또한, 도광판(540)이 생략되면 에어 가이드 방식의 표시장치가 구현될 수 있다.The
상기 제1 프리즘 시트(550)는 지지필름의 일면에, 투광성이면서 탄성을 갖는 중합체 재료로 형성되는데, 상기 중합체는 복수 개의 입체구조가 반복적으로 형성된 프리즘층을 가질 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 패턴은 도시된 바와 같이 마루와 골이 반복적으로 스트라이프 타입으로 구비될 수 있다.The
상기 제2 프리즘 시트(560)에서 지지필름 일면의 마루와 골의 방향은, 상기 제1 프리즘 시트(550) 내의 지지필름 일면의 마루와 골의 방향과 수직할 수 있다. 이는 광원 모듈과 반사시트로부터 전달된 빛을 상기 패널(570)의 전방향으로 고르게 분산하기 위함이다.In the
본 실시예에서 상기 제1 프리즘시트(550)과 제2 프리즘시트(560)가 광학시트를 이루는데, 상기 광학시트는 다른 조합 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이로 이루어지거나 확산시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 또는 하나의 프리즘 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 등으로 이루어질 수 있다.In this embodiment, the
상기 패널(570)은 액정 표시 패널(Liquid crystal display)가 배치될 수 있는데, 액정 표시 패널 외에 광원을 필요로 하는 다른 종류의 디스플레이 장치가 구비될 수 있다.The
상기 패널(570)은, 유리 바디 사이에 액정이 위치하고 빛의 편광성을 이용하기 위해 편광판을 양 유리바디에 올린 상태로 되어있다. 여기서, 액정은 액체와 고체의 중간적인 특성을 가지는데, 액체처럼 유동성을 갖는 유기분자인 액정이 결정처럼 규칙적으로 배열된 상태를 갖는 것으로, 상기 분자 배열이 외부 전계에 의해 변화되는 성질을 이용하여 화상을 표시한다.In the
표시장치에 사용되는 액정 표시 패널은, 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식으로서, 각 화소에 공급되는 전압을 조절하는 스위치로서 트랜지스터를 사용한다.A liquid crystal display panel used in a display device is an active matrix type, and a transistor is used as a switch for controlling a voltage supplied to each pixel.
상기 패널(570)의 전면에는 컬러 필터(580)가 구비되어 상기 패널(570)에서 투사된 빛을, 각각의 화소마다 적색과 녹색 및 청색의 빛만을 투과하므로 화상을 표현할 수 있다.A
본 실시예에 따른 영상표시장치에 배치된 발광소자의 내에서 발광 구조물 표면의 요철 즉, 제2 도전형 반도체층의 표면의 요철이 언도프드 반도체층의 표면을 따라 자연 성장되어 손상이 적으며, 발광 구조물 표면에서의 광추출 효율이 향상될 수 있다.The irregularities on the surface of the light emitting structure in the light emitting device disposed in the image display device according to the present embodiment, that is, irregularities on the surface of the second conductivity type semiconductor layer are naturally grown along the surface of the undoped semiconductor layer, The light extraction efficiency on the surface of the light emitting structure can be improved.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.
100, 200 : 발광소자 120 : 버퍼층
132, 232 : 제1 도전형 반도체층 134, 234 : 활성층
136, 236 : 제2 도전형 반도체층 150, 250 : 언도프드 반도체층
140 : 전자 차단층 180, 185 : 제1,2 전극
260 : 오믹층 265 : 반사층
270 : 접합층 275 : 도전성 지지기판
300 : 발광소자 패키지 310 : 패키지 몸체
321, 322 : 제1,2 리드 프레임 330 : 도전성 접착층
340 : 와이어 350 : 몰딩부
360 : 형광체 400 : 헤드 램프
410 : 발광소자 모듈 420 : 리플렉터
430 : 쉐이드 440 : 렌즈
800 : 표시장치 810 : 바텀 커버
820 : 반사판 830 : 회로 기판 모듈
840 : 도광판 850, 860 : 제1,2 프리즘 시트
870 : 패널 880 : 컬러필터100, 200: light emitting device 120: buffer layer
132, 232: first conductivity type semiconductor layers 134, 234: active layer
136, and 236: a second conductivity
140:
260: ohmic layer 265: reflective layer
270: bonding layer 275: conductive support substrate
300: light emitting device package 310: package body
321, 322: first and second lead frames 330: conductive adhesive layer
340: wire 350: molding part
360: phosphor 400: head lamp
410: light emitting device module 420: reflector
430: Shade 440: Lens
800: Display device 810: Bottom cover
820: reflector 830: circuit board module
840: light guide plate 850, 860: first and second prism sheets
870: Panel 880: Color filter
Claims (7)
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층;
상기 활성층 상에 배치되고 표면에 요철이 형성된 언도프드(undoped) 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층의 식각된 영역 상에 배치되는 제1 전극;
상기 언도프드 반도체층 상에 배치되고, 표면에 요철이 형성된 제2 도전형 반도체층; 및
상기 제2 도전형 반도체층의 일부 표면 상에 배치되는 제2 전극을 포함하며,
상기 언도프드 반도체층의 두께는 2.5 내지 5 나노 미터이고, 상기 언도프드 반도체층 내의 요철의 높이는 0.5 내지 1 마이크로 미터이며,
상기 제2 도전형 반도체층의 두께는 90 내지 110 나노 미터이고, 상기 제2 도전형 반도체층 내의 요철의 높이는 0.4 내지 0.8 마이크로 미터인 발광소자.A first conductivity type semiconductor layer in which a part of the region is etched;
An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
An undoped semiconductor layer disposed on the active layer and having irregularities formed on the surface thereof;
A first electrode disposed on the etched region of the first conductive semiconductor layer;
A second conductivity type semiconductor layer disposed on the undoped semiconductor layer and having recesses and protrusions on the surface thereof; And
And a second electrode disposed on a part of the surface of the second conductivity type semiconductor layer,
The thickness of the undoped semiconductor layer is 2.5 to 5 nanometers, the height of the unevenness in the undoped semiconductor layer is 0.5 to 1 micrometer,
Wherein the thickness of the second conductivity type semiconductor layer is 90 to 110 nanometers, and the height of the concave and the convex in the second conductivity type semiconductor layer is 0.4 to 0.8 micrometers.
상기 제2 도전형 반도체층 표면의 요철은 상기 언도프드 반도체층 표면의 요철과 패턴이 동일한 발광소자.The method according to claim 1,
Wherein the concavities and convexities on the surface of the second conductivity type semiconductor layer are the same as the concavities and convexities on the surface of the undoped semiconductor layer.
상기 요철의 형상은 원뿔, 피라미드 및 다각형뿔 중 적어도 하나를 포함하는 발광소자.The method according to claim 1,
Wherein the shape of the irregularities includes at least one of a cone, a pyramid and a polygonal horn.
상기 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임에 각각 전기적으로 연결된 제1항, 제2항, 제6항 중 어느 한 항의 발광소자; 및
상기 발광소자에서 방출된 제1 파장 영역의 빛에 의하여 여기되어 제2 파장 영역의 빛을 방출하는 형광체층을 포함하는 발광소자 패키지.A first lead frame and a second lead frame;
A light emitting element according to any one of claims 1, 2, and 6 electrically connected to the first lead frame and the second lead frame, respectively; And
And a phosphor layer which is excited by the light of the first wavelength range emitted from the light emitting device and emits light of the second wavelength range.
Priority Applications (1)
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KR1020110122906A KR101861635B1 (en) | 2011-11-23 | 2011-11-23 | Light emitting device amd light emitting device package including the same |
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---|---|---|---|
KR1020110122906A KR101861635B1 (en) | 2011-11-23 | 2011-11-23 | Light emitting device amd light emitting device package including the same |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130057136A KR20130057136A (en) | 2013-05-31 |
KR101861635B1 true KR101861635B1 (en) | 2018-05-28 |
Family
ID=48664945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110122906A KR101861635B1 (en) | 2011-11-23 | 2011-11-23 | Light emitting device amd light emitting device package including the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101861635B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102237136B1 (en) * | 2014-11-04 | 2021-04-07 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device and light system |
-
2011
- 2011-11-23 KR KR1020110122906A patent/KR101861635B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130057136A (en) | 2013-05-31 |
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