KR20140070976A - 진공유리 패널의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공유리 패널의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 진공유리 패널의 제조 방법의 한 예는 제1 밀폐부와 상기 제1 밀폐부에 접착된 제1 금속판을 구비한 제1 유리패널과 제2 밀폐부와 상기 제2 밀폐부와 접착된 제2 금속판을 구비한 제2 유리 패널 중 하나 위에 적어도 하나의 간격재를 위치시키는 단계, 상기 적어도 하나의 간격재 위에 제1 및 제2 유리 패널 중 나머지 하나의 유리 패널을 위치시켜 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판을 서로 마주보게 위치시키는 단계, 그리고 대기 중에서 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나에 열을 가하여, 상기 제1 금속판과 제2 금속판을 접합시키는 제3 밀폐부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 금속판과 제2 금속판 중 적어도 하나는 상기 제1 강화 유리 패널 및 상기 제2 강화 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 외부로 돌출되어 있고, 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 접착 단계는 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나의 금속판에서 상기 제1 강화 유리 패널과 상기 제2 강화 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 돌출된 부분에만 열을 가한다. 따라서, 이미 강화 처리된 제1 및 제2 강화 유리 패널을 제1 및 제2 금속판을 이용하여 접합할 때, 제1 및 제2 강화 유리 패널에 열처리 공정이 행해지지 않으므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널의 강화 특성은 나빠지지 않는다.

Description

진공유리 패널의 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM GLASS PANEL}
본 발명은 진공유리 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
진공유리 패널(vacuum glass panel)은 두 개의 판 유리를 글라스 프릿(glass frit) 등으로 이루어진 밀봉재로 부착한 후, 두 판 유리 사이를 진공 상태로 만들어 형성된다. 이러한 진공유리 패널은 약 20년 내지 30년 동안 진공 상태가 유지되어야 한다.
이를 위해, 두 개의 판 유리 사이를 진공 상태로 만들 때, 두 판 유리 사이에 위치한 가스뿐만 아니라 판 유리 면에 흡착된 가스를 가능한 한 많이 그리고 빨리 제거하여 두 판 유리 사이의 진공값을 약 10-6 torr 내지 10-5 torr와 같은 고진공 상태로 유지시켜야 진공유리 패널의 단열 수명이 오래 지속된다.
하지만, 이러한 진공유리 패널을 건물에 설치할 경우, 건물 내부와 외부 간의 온도 차이가 발생하여, 두 개의 판 유리에 각각 인가되는 온도가 다르게 된다.
따라서, 이러한 온도 차이로 인해, 두 개의 판 유리 중 실내에 접하고 있는 판 유리와 실외에 접하고 있는 판 유리 간의 신장력 차이로 인해, 진공 유리의 휨(bending) 현상이 발생하여 진공 유리의 패널의 형상이 변형되고 유리의 균열이나 깨짐 현상이 발생하게 된다. 이러한 현상은 두 판 유리간이 온도 차이가 증가할수록 그리고 판 유리의 크기가 증가할수록 심각해진다.
또한, 진공유리 패널의 내구성을 위하여, 진공유리 패널에 사용되는 두 개의 판 유리는 열 강화 유리가 사용될 수 있다.
이처럼, 두 개의 강화 유리를 이용하여 진공 유리 패널을 제작할 때, 두 개의 강화 유리를 밀봉하기 위해 두 강화 유리 중 하나의 가장자리에 밀봉재를 형성한다. 그런 다음 밀봉재를 녹여 다른 하나의 강화 유리를 밀봉재에 부착한다.
하지만, 이때 밀봉재를 녹이기 위한 열처리가 진행될 때, 서로 밀봉되는 두 개의 강화 유리 모두를 가열 챔버(chamber) 내에 위치시킨 후 열처리를 행한다. 따라서, 이미 강화 처리된 강화 유리에 열이 인가되므로, 강화 유리의 강화 특성이 감소하는 문제점이 발생한다.
미국 공개번호 US2008/0245011 A1(공개일: 2008년 10월 9일)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 진공 유리 패널의 안정성과수명을 증대시키기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 강화 유리의 강화 특성을 감소시키지 않고 진공유리 패널을 제조하기 위한 것이다.
본 발명의 한 특징에 따른 진공유리 패널의 제조 방법은 제1 밀폐부와 상기 제1 밀폐부에 접착된 제1 금속판을 구비한 제1 유리패널과 제2 밀폐부와 상기 제2 밀폐부와 접착된 제2 금속판을 구비한 제2 유리 패널 중 하나 위에 적어도 하나의 간격재를 위치시키는 단계, 상기 적어도 하나의 간격재 위에 제1 및 제2 유리 패널 중 나머지 하나의 유리 패널을 위치시켜 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판을 서로 마주보게 위치시키는 단계, 그리고 대기 중에서 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나에 열을 가하여, 상기 제1 금속판과 제2 금속판을 접합시키는 제3 밀폐부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나는 상기 제1 유리 패널 및 상기 제2 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 외부로 돌출되어 있고 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 접착 단계는 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나의 금속판에서 상기 제1 유리 패널과 상기 제2 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 돌출된 부분에만 열을 가한다.
상기 제1 및 제2 금속판의 폭은 각각 상기 제1 및 제2 유리 패널에 각각 형성된 밀봉재의 폭의 적어도 일부와 중첩될 수 있다.
상기 제1 및 제2 금속판의 폭은 상기 제1 및 제2 유리 패널에 각각 도포된 밀봉재의 폭보다 큰 것이 좋다.
상기 제1 및 제2 금속판은 각각 철(Fe)과 니켈(Ni)의 합금으로 이루어질 수 있다.
상기 제1 및 제2 금속판 각각의 총 함량 중에서, 상기 철은 52중량%을 함유하고 상기 니켈은 48중량%을 함유할 수 있다.
상기 제1 금속판 및 상기 제2 금속판 접착 단계는 레이저빔(laser beam)을 이용하여 상기 대기 중에서 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판을 접합시킬 수 있다.
상기 특징에 따른 진공유리 패널의 제조 방법은 제1 일반 유리 패널 위에 밀봉재를 형성하는 단계, 상기 밀봉재 위에 제1 금속판을 위치시키는 단계, 상기 밀봉재와 상기 제1 금속판을 구비한 상기 제1 일반 유리 패널 전체를 열처리하여 상기 밀봉재와 상기 제1 금속판을 접착시켜, 상기 제1 밀폐부 및 상기 제1 밀폐부와 접착된 상기 제1 금속판을 구비한 상기 제1 유리 패널을 형성하는 단계, 제2 일반 유리 패널 위에 밀봉재를 형성하는 단계, 상기 제2 일반 유리 패널 위에 형성된 상기 밀봉재 위에 제2 금속판을 위치시키는 단계, 그리고 상기 밀봉재와 상기 제2 금속판을 구비한 상기 제2 일반 유리 패널 전체를 열처리하여 상기 밀봉재와 상기 제2 금속판을 접착시켜, 상기 제2 밀폐부 및 상기 제2 밀폐부와 접착된 상기 제2 금속판을 구비한 제2 유리 패널을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 연화점 이상에서 행해질 수 있다. 이 경우, 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 650℃ 내지 720℃에서 행해질 수 있다.
또는 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 550℃ 내지 650℃ 또는 430℃ 내지 500℃에서 행해질 수 있다.
상기 특징에 따른 진공유리 패널의 제조 방법은 열처리된 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나를 300℃ 내지500℃로 가열된 질산칼륨액 속에 담궈 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나를 강화 처리하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 430℃ 내지 500℃에서 행해지는 것이 바람직하다.
상기 특징에 따른 진공유리 패널의 제조 방법은 상기 제1 일반 유리 패널과 상기 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나의 가장자리에 홈을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 홈에 상기 제1 일반 유리 패널과 상기 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나에 위치한 밀봉재 그리고 상기 제1 및 제2 금속판 중 적어도 하나가위치하는 것이 좋다.
상기 제1 및 제2 유리 패널은 강화 유리 패널, 비강화 유리 패널 또는 반강화 유리 패널일 수 있다.
상기 제1 및 제2 유리 패널 중 하나는 흡인구와 게터를 구비한 홈을 구비할 수 있다.
상기 특징에 따른 진공유리 패널의 제조 방법은 진공 기구를 상기 흡인구에 밀착시켜 상기 흡인구의 주위를 밀폐시키는 단계, 상기 진공 기구를 동작시켜 상기 제1 유리 패널과 상기 제2 유리 패널 사이에 위치하는 기체를 상기 흡인구를 통해 외부로 배출시키는 단계, 상기 게터에 열을 가하여 상기 게터를 반복적으로 활성화시키는 단계, 그리고 상기 흡인구를 덮는 밀폐부를 상기 흡인구 위에 위치시켜 상기 흡인구를 막는 단계를 더 포함할 수 있다.
이러한 특징에 따르면, 제1 및 제2 유리 패널에 각각 위치하는 제1 및 제2 금속판에 의해, 제1 및 제2 유리 패널간의 온도 차이로 인해 발생하는 휨 현상에 의한 깨짐 현상이 방지되어, 진공 유리 패널의 내구성이 향상되고, 이로 인해, 진공 유리 패널의 안정성과 수명이 증가한다.
이미 강화 처리된 제1 및 제2 강화 유리 패널을 제1 및 제2 금속판을 이용하여 접합할 때, 제1 및 제2 강화 유리 패널에 열처리 공정이 행해지지 않으므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널의 강화 특성은 나빠지지 않는다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 진공유리 패널을 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 3a 내지 도 3i는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1 일반 유리 패널 위에 밀봉재가 형성된 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1 일반 유리 패널 위에 형성된 밀봉재 위에 제1 금속판이 위치한 상태를 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공유리 패널의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공유리 패널에 제1 또는 제2 유리 패널의 단면도를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널의 제조 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1 및 도 2를 참고로 하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널은 제1 강화 유리 패널(tempered glass panel)(예를 들어, 제1 유리 패널)(110), 제1 강화 유리 패널(110) 하부에서 제1 강화 유리 패널(110)과 마주보고 있고 제1 강화 유리 패널(110)과 정해진 간격으로 이격되어 있는 제2 강화 유리 패널(예를 들어, 제2 유리 패널)(120), 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 가장자리 부분 위에 각각 위치하여 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)을 밀봉하는 제1 및 제2 밀폐부(131, 132), 제1 및 제2 밀폐부(131, 132) 위에 각각 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2), 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)에 의해 형성된 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간에 위치하는 복수의 간격재(2), 제2 강화 유리 패널(120)의 일부분에 위치한 흡인구(121), 그리고 흡인구(121)를 막는 덮개부(140)를 구비한다.
이때, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)은 제3 밀폐부(133)에 의해 서로 접해있다.
제3 밀폐부(133)가 형성된 위쪽의 강화 유리 패널(110 및 120 중 적어도 하나)의 표면에는 오목부가 형성된다.
제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 각각은 고열에 의한 특수 열처리로 기계적 강도를 향상시킨 강화 처리된 판 형상의 강화 유리(tempered glass)로 이루어져 있다.
한 예로서, 제1 및 제2 강화 유리의 압축 응력의 크기는 표면 응력(surface stress)의 경우 70MPa 내지 200MPa이고, 에지 응력(edge stress)의 경우 약 70MPa일 수 있다.
제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 두께는 서로 동일하거나 다를 수 있다.
한 예로서, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 각각의 두께는 약 2.5㎜ 내지 약 10㎜일 수 있다.
본 예에서, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 각각은 사각형 형상을 갖고 있지만 이에 한정되지 않고 원형 또는 타원형과 같은 다른 형상을 가질 수 있다.
이때, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)의 크기는 서로 동일하거나 서로 다를 수 있다. 본 예의 경우, 제2 강화 유리 패널(120)의 크기, 즉, 가로와 세로의 크기 각각은 제1 강화 유리 패널(110)의 가로와 세로 각각 크기보다 크다.
제2 강화 유리 패널(120)은 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면(또는 제1 면)에서부터 외부면(또는 제2 면) 쪽으로 움푹 들어가 있는 적어도 하나의 홈(123)을 갖고 있다. 본 예에서, 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면은 제1 강화 유리 패널(110)과 인접한 면이고, 제2 강화 유리 패널(120)의 외부면은 외부와 접하고 있는 면으로서 제2 강화 유리 패널(110)의 내부면의 반대편에 위치한 면이다.
이로 인해, 제2 강화 유리 패널(120)의 외부면은 위치에 무관하게 동일한 높이를 갖고 있지만, 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면은 서로 다른 두 개의 높이를 가진다. 즉, 본 예에서, 적어도 하나의 홈(123)이 형성된 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면의 부분이 적어도 하나의 홈(123)이 형성되지 않는 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면의 부분의 높이보다 낮다.
제2 강화 유리 패널(120)의 내부면에 형성된 적어도 하나의 홈(123)의 단면 형상은 사각형과 같은 다각형, 원형 또는 타원형과 같은 다양한 형상을 가질 수 있다.
이러한 적어도 하나의 홈(123) 내에는 적어도 하나의 게터(getter)(4)가 위치한다. 따라서, 제2 강화 유리 패널(120)에 형성된 적어도 하나의 홈(123)과 이 홈(123)과 마주보고 있는 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면의 부분에 의해 형성된 공간을 게터방이라 한다.
적어도 하나의 게터(4)는 가스를 흡착하는 성질이 큰 금속으로 이루어져 있고, 예를 들어, 철(Fe)-바나듐(V)-티타늄(Ti) 합금, 마그네슘(Mg), 바륨(Ba), 또는 바륨 합금 등으로 이루어질 수 있다. 따라서, 게터(4)에 열을 가해 게터(4)의 상태를 활성화시킬 경우, 게터(4)는 주변에 존재하는 기체를 흡수하여, 주변의 진공도를 증가시킨다.
본 예에서, 게터(4)는 원기둥 형상을 가질 수 있다.
본 예에서, 적어도 하나의 홈(123)의 최소 단면 직경[이하, '홈(123)의 직경이라 함](d1)은 게터(4)의 최대 직경(d2)보다 크고, 홈(123)이 형성된 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면에서부터 제2 강화 유리 패널(120)에 인접한 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면까지의 간격[이하, '홈(123)에서 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격' 또는 '게터방의 높이'라 함](h1)은 게터(4)의 두께(h2)보다 크거나 같다.
본 실시예에서, 제2 강화 유리 패널(120)의 경우와 동일하게, 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면은 제2 강화 유리 패널(110)의 내부면과 인접한 면이고, 제1 강화 유리 패널(110)의 외부면은 외부와 접하고 있는 면으로서 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면의 반대편에 위치한 면이다.
또한, 게터(4)의 두께(h2)는 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(I1), 예를 들어, 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면과 홈(123)이 형성되지 않은 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면 사이의 간격(I1)보다 클 수 있다. 이럴 경우, 적어도 하나의 홈(123)에 의해 형성된 게터방에 위치한 게터(4)가 홈(123)의 외부로 빠져 나와 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(I1) 사이에서 이동하는 것이 방지된다. 따라서 게터(4)에 의해 진공유리 패널의 미관과 투명도가 손상되는 것이 방지된다.
적어도 하나의 홈(123)에 위치하는 게터(4)의 개수는 적어도 하나의 홈(123)의 직경(d1)에 따라 정해진다.
본 예에서, 적어도 하나의 홈(123)의 직경(d1)은 적어도 하나의 홈(123)이 형성된 제2 강화 유리 패널(120)의 두께(T1)보다 클 수 있다. 이럴 경우, 제2 강화 유리 패널(120)을 강화 유리로 제조하기 위해 약 550℃ 내지 720℃의 고온으로 열처리한 후 압축 공기 등을 이용하여 급냉시켜 제2 강화 유리 패널(120)을 강화 처리할 때 발생하는 열충격에 적어도 하나의 홈(123)에 의해 제2 강화 유리 패널(120)에 손상되는 것이 방지된다.
본 실시예에서, 한 예로서, 홈(123)에서 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(h1)은 약 2㎜ 내지 약 8㎜이고, 홈(123)의 직경(d1)은 약 5㎜ 내지 8㎜일 수 있다.
제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(h1)이 약 2㎜ 이상일 경우, 좀더 용이하게 게터(4)가 게터방에 위치하고, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(h1)이 약 8㎜ 이하일 경우, 대기압에 의해 게터방이 형성된 부분이 파손되는 것이 방지된다.
홈(123)의 직경(d1)이 약 5㎜ 이상일 경우, 게터(4)가 좀더 용이하게 홈(123) 내에 위치하고, 홈(123)의 직경(d1)이 약 8㎜ 이하일 경우, 게터방의 크기가 불필요하게 증가하는 것이 방지되어 진공유리 패널의 미관과 투명도가 손상되는 것이 방지된다.
또한, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(I1)은 약 0.1㎜ 내지 0.5㎜일 수 있고, 게터(4)의 직경(d2)과 두께(h2)는 각각 1㎜ 내지 3㎜일 수 있다.
제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(I1)이 약 0.5㎜ 이하일 때, 진공유리 패널의 두께가 불필요하게 증가하는 것이 방지된다.
이와 같이, 적어도 하나의 게터(4)가 위치하는 적어도 하나의 홈(123)은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)으로 에워싸여져 형성된 밀폐 공간 내에 위치하고, 밀폐 공간에서 가장 자리 부분에 위치할 수 있다.
본 예와 달리, 홈(123)에 의해 형성된 게티방의 개수는 복수 개일 수 있고, 이 경우, 제2 강화 유리 패널(120)에 형성되는 홈(123)의 개수 역시 복수 개이다. 홈(123)이 복수 개일 경우, 복수의 홈(123)은 밀폐 공간 내에 서로 이격되게 위치한다. 이때, 복수의 홈(123)은 밀폐 공간의 가장 자리부에 서로 이격되게 위치할 수 있다.
제1 및 제2 밀폐부(131, 132)는, 도 2에 도시한 것처럼, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이에 위치하며, 제1 밀폐부(131)는 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면의 가장자리 부분을 고리 형상으로 에워싸고 있고, 제2 밀폐부(132) 역시 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면의 가장자리 부분을 고리 형상으로 에워싸고 있다.
제1 및 제2 밀폐부(131, 132) 각각의 폭(d3)은 약 5㎜ 내지 10㎜일 수 있고, 위치에 무관하게 동일한 폭을 가질 수 있다.
이러한 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)는 글라스 프릿(glass frit) 등으로 이루어질 수 있다.
제1 및 제2 금속판(M1, M2)은 각각 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 가장자리 부분을 에워싸고 있는 제1 및 제2 밀폐부(131, 132) 위에서 대응되는 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)를 따라 위치한다. 따라서, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각의 일부는 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 접해있다.
이로 인해, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 역시 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 각각의 내부면의 가장자리 부분을 고리 형상으로 에워싸고 있다.
이때, 제1 및 제2 밀폐부(131, 132) 각각의 폭(d3)의 적어도 일부는 대응되는 제1 및 제2 금속판(M1, M2)의 폭(w1)과 접하고 있다.
도 1 및 도 2에 도시한 것처럼, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각 외부 측면, 즉 외부와 인접한 측면은 제1 강화 유리 패널(110)의 측면보다 외부로 돌출되어 있고, 제2 강화 유리 패널(120)의 측면보다 내부로 들어가 있다. 하지만, 이와는 달리, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각의 외부 측면은 제2 강화 유리 패널(120)의 측면과 동일선 상에 위치할 수 있다.
또한, 본 예와는 달리, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 모두의 외부 측면은 제 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 각 외부 측면보다 외부로 돌출될 수 있다.
따라서, 제1 밀폐부(131) 및 제2 밀폐부(132) 중 적어도 하나의 외부 측면과 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 중 적어도 하나의 측면 사이에도 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 중 적어도 하나가 위치하므로, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)가 위치하는 부분뿐만 아니라 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)가 위치하지 않는 부분에도 위치한다.
도 2에 도시한 것처럼, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)의 내부 측면은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)의 각 내부 측면보다 내부로 돌출되어 있다. 이로 인해, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각은 제1 및 제 밀폐부(131, 132)에 좀더 안정적으로 접해있다. 여기서, 금속판(M1, M2)과 밀폐부(131, 132)의 내부 측면은 각각 외부 측면의 반대편에 위치하는 측면을 지칭한다.
본 예에서, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)은 서로 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
한 예로서, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각은 철(Fe)과 니켈(Ni)의 합금으로 이루어질 수 있고, 이때, 철(Fe)은 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각의 총 함량 중 52중량%일 수 있고 니켈(Ni)은 총 함량 중 48중량%일 수 있다. 또한, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각의 두께는 0.01㎜ 내지 0.1㎜일 수 있다.
각 금속판(M1, M2)의 두께가 0.01㎜ 이상일 경우, 천공 발생 없이 좀더 용이하게 용접이 이루어지고, 각 금속판(M1, M2)의 두께가 0.1㎜ 이하일 경우, 두 금속판(M1, M2)간의 접촉이 좀더 신속하게 이루어지며 진공 유리 패널의 두께가 증가하는 것이 방지된다.
이러한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)은 그 하부에 각각 위치한 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 접해 있고, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 또한 서로 접해 있다. 이때, 서로 접해 있는 제1 금속판(M1)의 적어도 일부와 제2 금속판(M2)의 적어도 일부는 일체로 형성된다.
따라서, 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)으로 에워싸여져 있고 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)가 위치하지 않은 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)로 밀폐된 공간으로 형성되고, 본 명세서에서 이 밀폐 공간을 내부 공간이라 한다.
따라서, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 가장 자리 부분은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)으로 채워져 있어 외부와 차단되므로, 외부 공기는 흡인구(121)를 통하지 않고서는 내부 공간으로 유입되지 못한다.
적어도 하나의 홈(123)은 밀폐부(131, 132)와 금속판(M1, M2)으로 에워싸여진 내부 공간에 위치한다.
고리 형상을 갖는 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 각각은 일체로 이루어질 수 있거나 복수의 금속판(metal sheet)을 용접 등을 통해 연결하여 형성될 수 있다.
복수의 간격재(2)는 내부 공간 내에 일정한 간격으로 위치하여 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면과 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면에 접하고 있다. 이로 인해, 복수의 간격재(2)는 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)을 지지하며 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)의 간격(I1)이 위치에 무관하게 일정하게 유지되도록 한다. 여기에서, 간격(I1)은 홈(123)이 형성되지 않은 제2 강화 유리 패널(120)의 내부면과 제1 강화 유리 패널(110)의 내부면 사이의 수직 거리를 의미한다.
이러한 복수의 간격재(2) 각각은 약 5t/㎠ 이상의 압축 강도를 갖는 재료로 이루어질 수 있고, 한 예로서, 스테인레스 강(stainless steel)으로 이루어질 수 있다.
각 간격재(2)의 압축 강도가 약 5t/㎠ 이상일 경우, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)에 작용하는 대기압 등으로 인해 간격재(2)가 손상되거나 파손되는 것이 방지된다. 따라서, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)의 사이의 간격(I1)이 안정적으로 유지되어 진공유리 패널의 단열 성능이 감소하는 것이 방지된다.
이로 인해, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 간격(I1)은 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이에서 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120)을 지지하고 있는 복수의 간격재(2)의 두께에 의해 결정될 수 있다.
제2 강화 유리 패널(120)에 형성된 흡인구(121)는 제2 강화 유리 패널(120)을 관통하여 형성된 구멍이다.
본 예에서, 흡인구(121)는 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 내부 공간에 형성된 기체를 외부로 배출시키기 위한 통로이므로, 흡인구(121)는 밀폐부(131, 132)로 에워싸여진 내부 공간의 한 부분에 위치하여 내부 공간과 연결되어 있다.
이로 인해, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체는 흡인구(121)를 통해 외부로 배출되어 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간은 진공 상태가 된다.
본 예에서, 내부 공간의 압력은 대략 1×10-6 torr일 수 있다.
덮개부(140)는 제2 강화 유리 패널(120)에 형성된 흡인구(121)를 막아 외부로부터 공기가 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간으로 유입되는 것을 방지한다.
이러한 덮개부(140)는, 도 1 및 도 2에 도시한 것처럼, 흡인구(121)를 막는 덮개(141)와 덮개(141)를 흡인구(121)에 부착시키는 접착제(142)를 구비한다.
이때, 덮개(141)는 유리나 금속으로 이루어진 판 형상으로서, 흡인구(121)의 최대 직경보다 큰 직경을 갖고 있다. 이로 인해, 흡인구(121)는 덮개(141)에 의해 완전히 덮어진다.
접착제(142)는 한 예로서, 인듐(In)일 수 있다.
이때, 접착제(142)는 도 2에 도시한 것처럼 흡인구(121) 전체를 채우고 있지만, 추가로 흡인구(121) 위에 위치한 내부 공간의 적어도 일부까지 채울 수 있다.
본 예에서, 흡인구(121)는 제2 강화 유리 패널(120)에 위치하지만, 이와는 달리, 제1 강화 유리 패널(110)에 위치할 수 있다. 이 경우, 흡인구(121)는 제1 강화 유리 패널(110)의 일부를 관통하여 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간과 연결된다. 이럴 경우에도, 흡인구(121)를 막기 위해 흡인구(121) 위에 덮개부(140)가 위치하여 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간을 진공 상태로 유지한다.
또한, 적어도 하나의 홈(123)은 제2 강화 유리 패널(120)에 형성되지만, 이와는 달리 제1 강화 유리 패널(110)에 형성될 수 있다. 이 경우, 적어도 하나의 홈(123)의 형성 위치를 제외하면 제2 강화 유리 패널(120)에 형성된 경우와 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
다른 예에서, 게터방을 형성하는 적어도 하나의 홈(123)은 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 모두에 형성될 수 있다.
이때, 제1 강화 유리 패널(110)에 형성된 홈(123)과 제2 강화 유리 패널(120)에 형성된 홈은 서로 마주보는 위치에 형성되어, 제1 강화 유리 패널(110)의 홈(123)과 제2 강화 유리 패널(120)의 홈에 의해 형성된 공간이 게터방이 된다.
따라서, 게터방은 서로 다른 강화 유리 패널(110, 120)에 서로 마주보게 형성된 한 쌍의 홈에 의해 형성된다.
이미 설명한 것처럼, 게터방은 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 사이의 내부 공간 내에 형성되므로, 제2 강화 유리 패널(120)에 형성되는 홈 역시 내부 공간에 위치한다.
이러한 본 예에 따르면, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)에 각각 연결된 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 존재하므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이에 온도 차이가 발생하여 열 팽창 정도가 서로 상이하더라고, 금속판(M1, M2)에 유연성(flexibility)에 의해 상이한 열 팽창 차이가 흡수된다.
따라서, 서로 다른 크기의 신장력으로 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 각각 수축되거나 팽창되더라도 밀폐부(131, 132)와 금속판(M1, M2)을 통해 서로 연결된 반대편의 다른 유리 패널(110, 120)에 영향을 미치지 않게 된다.
이로 인해, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 사이에 온도 차이가 발생하여 열 팽창 정도가 서로 상이하더라고, 온도에 의한 수축과 팽창이 용이하게 이루어지는 금속판(M1, M2)에 의해 상이한 열 팽창 차이가 흡수되어 서로 다른 크기의 신장력으로 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 각각 수축되거나 팽창되더라도 반대편에 위치한 다른 유리 패널(110, 120)에 영향을 미치지 않게 된다.
따라서, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 간의 온도 차이로 인한 진공 유리 패널의 휨 현상이 방지되어 진공 유리 패널이 변형되거나 파손되는 문제가 방지된다.
다음, 도 3a 내지 도 3i를 참고로 하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 진공유리 패널의 제조 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도 3a에 도시한 것처럼, 강화 처리되지 않은 제1 일반 유리 패널(111)의 가장자리 부분 위에, 도 4와 같이, 가장자리 부분을 따라 고리 형상의 밀봉재(130)를 형성한다.
다음, 도 3b에 도시한 것처럼, 밀봉재(130) 위에 제1 금속판(M1)을 위치시킨다.
제1 금속판(M1)은, 도 5와 같이, 밀봉재(130) 위에서 밀봉재(130)를 따라 가면서 위치한다.
이때, 제1 금속판(M1)의 폭(w1)은 밀봉재(130)의 폭(d3)의 적어도 일부와 중첩되게 위치하며, 또한 제1 금속판(M1)외 외부 측면은 제1 일반 유리 패널(111)의 끝단, 즉 외부 측면을 넘어서 외부로 도출되어 있다. 또한, 제1 금속판(M1)의 내부 측면 역시 밀봉재(130)를 넘어서 내부쪽으로 돌출되어 있어 있지만, 이에 한정되지 않는다.
따라서, 제1 금속판(M1)의 폭(w1)은 밀봉재(130)의 폭(d3)보다 크다.
본 예에서, 제1 금속판(M1)은 철(Fe)-니켈(Ni)의 합금으로 이루질 수 있고, 제1 금속판(M1)의 폭(w1)은 약 0.5㎝ 내지 2㎝일 수 있으며, 두께는 약 0.01㎜ 내지 0.1㎜일 수 있다.
그런 다음, 도 3c와 같이, 제1 일반 유리 패널(111)의 가장자리 부분을 에워싸게 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)이 위치한 제1 일반 유리 패널(111) 전체를 열처리한 후 급냉 처리하여 제1 일반 유리 패널(111)을 강화 처리된 강화 유리 패널로 만들어 제1 강화 유리 패널(110)을 형성한다(도 3d).
열처리 공정이 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)이 위치한 부분에만 행해지지 않고 제1 일반 유리 패널(111) 전체에 행해지므로, 온도 차이로 인해 제1 일반 유리 패널(111)이 뒤틀림 현상이나 제1 일반 유리 패널(111)이 파손되는 문제를 방지한다.
제1 일반 유리 패널(111)을 제1 강화 유리 패널(110)로 제조하기 위한 열 처리 시, 제1 일반 유리 패널(111) 위에 위치하고 있는 밀봉재(130)가 녹게 되고, 따라서 밀봉재(130) 위에 위치한 제1 금속판(M1)은 녹아있는 밀봉재(130)와 접착되어 냉각 처리가 완료되면 제1 금속판(M1)은 밀봉재(130)와의 접착 상태를 유지한다. 이로 인해 제1 강화 유리 패널(110) 위에 제1 금속판(M1)과 접착된 제1 밀폐부(131)가 형성된다(도 3d).
따라서, 강화 처리를 위한 열처리 온도는 밀봉재(130)의 녹는점보다 높고 제1 금속판(M1)의 녹는점보다는 낮을 수 있다.
강화 처리를 위한 열처리 온도는 일반 유리의 연화점(softening point) 이상일 수 있고, 한 예로서, 약 650℃ 이상일 수 있다. 본 예의 경우, 제1 및 제2 일반 유리패널(111)을 열강화 처리하기 위한 온도는 650℃ 내지 720℃일 수 있다.
이처럼, 제1 일반 유리 패널(111)을 강화 처리할 때, 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)의 접착 동작도 함께 이루어진다.
따라서, 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)을 접착시키기 위한 별도의 열처리 동작이 불필요하고, 이로 인해, 이미 강화 처리가 완료되어 강화 유리 패널로 제조된 제1 강화 유리 패널(110)에 열이 가해지지 않아, 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)을 서로 접착하기 위한 열로 인한 제1 강화 유리 패널(110)의 강화 특성이 약화되는 문제가 발생하지 않는다.
본 예에서, 제1 일반 유리 패널(111)을 강화 처리하고 또한 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)을 접착시키기 위한 열처리 공정 시, 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1) 간의 접착 성능을 향상시키고 원하는 형태로 밀봉재(130)와 제1 금속판(M1)의 접착이 이루어지도록, 제1 금속판(M1)과 제1 일반 유리 패널(111) 사이를 압착 고정하는 집게와 같은 복수의 고정 장치(150)가 설치된다. 하지만, 이러한 고정 장치(150)는 생략될 수 있다.
따라서, 이러한 도 3a 내지 도 3c의 공정을 통해, 가장자리 부분에 제1 밀폐부(131) 그리고 이 밀폐부(131)와 접착된 제1 금속판(M1)이 위치한 제1 강화 유리 패널(110)이 제조되면, 제2 일반 유리 패널(1211)에 도 3a 내지 도 3c의 공정을 실시하여, 가장자리 부분에 제2 밀폐부(132)와 이 제2 밀폐부(132)와 접착된 제2 금속판(M2)이 위치한 제2 강화 유리 패널(120)을 제조한다.
즉, 이를 위해, 먼저 도 3e에 도시한 것처럼, 제2 일반 유리 패널(1211)에 레이저빔(laser beam) 등을 이용한 드릴 공정(drilling process)을 실시하여, 게터방을 위한 적어도 하나의 홈(123)과 흡인구(121)를 형성한다.
이때, 적어도 하나의 홈(123)과 흡인구(121)는 도 3e에 도시한 것처럼 밀봉재(130)와 제2 금속판(M2)이 위치하기 전에 행해지지만, 이와는 달리, 밀봉재(130)와 제2 금속판(M2) 중 적어도 하나가 위치한 후에도 형성될 수 있다.
이처럼, 도 3a 내지 도 3c의 공정을 실시하여, 가장자리 부분에 제2 밀폐부(132)와 이 제2 밀폐부(132)와 접착된 제2 금속판(M2)이 위치한 제2 강화 유리 패널(120)을 제조한다(도 3f).
본 예에서, 제1 강화 유리 패널(110)의 가로 및 세로 각각의 크기가 제2 강화 유리 패널(120)의 가로 및 세로 각각의 크기보다 작고, 이때, 제2 금속판(M2)은 제2 강화 유리 패널(120)의 단부에서 외부로 돌출되지 않고 제2 강화 유리 패널(120) 내에 존재한다. 하지만, 대안적인 예에서, 제2 금속판(M2)은 제2 강화 유리 패널(120)의 단부에서 외부로 돌출될 수 있다.
본 예에서, 제1 강화 유리 패널(110)을 제조한 후, 제2 강화 유리 패널(120)을 제조하였지만 이에 한정되지 않는다.
밀폐부(131, 132)와 금속판(M1, M2)이 각각 위치한 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 제조가 완료되면, 도 3g에 도시한 것처럼, 제1 강화 유리 패널(110)과 제2 강화 유리 패널(120) 중 하나 위에 복수의 간격재(2)를 위치시킨 후, 복수의 간격재(2)) 위에 나머지 하나의 강화 유리 패널(110 또는 120)을 위치시킨다. 따라서, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)에 각각 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 반대편에서 서로 마주보게 위치한다.
도 3g의 경우, 서로 마주보게 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)은 접해 있지만, 이에 한정되지 않고 소정 가격만큼 서로 이격되게 위치할 수 있다.
그런 다음, 도 3h에 도시한 것처럼, 제1 강화 유리 패널(110)의 측면에서 외부로 도출되어 있는 제1 금속판(M1) 부분에 레이저빔을 조사하여, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)에 열을 가해 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 녹여 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 용접하여 서로 다른 강화 유리 패널(110, 120)에 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접합시킴에 따라, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)은 서로 접합된다. 이때, 레이저빔이 조사된 부분에 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)의 부분에 제3 밀폐부(133)가 위치하고, 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 중 적어도 하나에서 레이저빔이 조사된 부분의 면은 오목한 표면을 갖게 된다.
이때 레이저빔 조사 동작은 대기 중에서 행해진다. 따라서, 진공 상태가 대기 중에서 레이저빔 조사가 행해지므로, 원하는 부분에만 레이저빔의 조사 동작이 좀더 용이하게 행해지고 또한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접합시키기 위한 레이저빔 조사를 위해 별도의 진공 챔버 등이 불필요하므로 제조 비용이 크게 절감된다.
간격재(2)를 사이에 두고 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)이 서로 마주보게 위치할 경우, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 소정 간격으로 이격될 때, 지그(jig) 등과 같은 별도의 장비를 이용하여 이격되어 있는 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 서로 접합시킨 후, 레이저 빔을 이용하여 용접을 실시한다. 따라서, 레이저 빔 조사가 대기 중에서 행해질 경우, 챔버에서 이루어지는 경우보다 지그 등의 장비 사용이 좀더 용이한다. 이로 인해, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 크기 등에 따른 지그 설치 위치나 사용이 좀더 간편해진다. 이때, 용접에 의해 서로 접해 있는 제1 금속판(M1)의 적어도 일부와 제2 금속판(M2)의 적어도 일부는 일체로 형성된다.
본 예에서, 레이저빔은 제1 강화 유리 패널(110)의 외부로 돌출된 제1 금속판(M1)의 부분에만 조사되고, 제2 금속판(M2) 하부에 위치한 제2 강화 유리 패널(120)에는 조사되지 않는다. 이로 인해, 제1 강화 유리 패널(110)뿐만 아니라 제2 강화 유리 패널(120)에도 레이저빔이 조사되는 부분이 발생되지 않는다.
이로 인해, 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)으로 에워싸여진 공간이 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이에 형성되며, 이 공간은 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)에 의해 밀폐된 공간, 즉 내부 공간을 형성한다.
이때, 레이저빔은 스팟(spot) 형태의 레이저빔을 조사하는 레이저 장치를 이용해 조사한다.
본 예와 달리, 제1 금속판(M1)뿐만 아니라 제2 금속판(M2)도 제2 강화 유리패널(120)의 단부로부터 외부로 돌출되어 있을 경우, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 중 적어도 하나로부터 돌출되어 있는 제1 및 제2 금속판(M1, M2) 중 적어도 한쪽에 레이저빔을 조사할 수도 있다.
따라서, 스팟 형태의 레이저 빔을 이용하여 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접합시키므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)에 열이 직접 인가되지 않아 레이저 접합을 위한 열처리 공정 시 발생한 열로 인해 강화 유리 패널(110, 120)의 강화 특성이 감소하는 문제가 발생하지 않는다.
본 예에서, 레이저빔의 조사 영역은 스팟 형태를 갖고 있고, 바로 이전에 조사된 레이저빔 조사 영역과 일부 중첩되게 조사된다.
이때, 레이저빔을 이용하여 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)을 접합시키기 전에, 제2 강화 유리 패널(110)에 형성된 홈(123) 내에 게터(4)를 위치시키고 또한 복수의 간격재(2)를 위치시킨 후, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 이용한 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 접합 공정이 행해진다.
복수의 간격재(2)에 의해 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)은 미리 정해진 간격(I1)만큼 이격되어 서로 일체화된다.
이미 설명한 것처럼, 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 흡인구(121)와 홈(123)을 에워싸는 위치에 위치하므로, 흡인구(121)는 내부 공간과 연결되어 있고, 적어도 하나에 형성된 홈(123)에 의해 적어도 하나의 게터(4)가 위치한 적어도 하나의 게터방이 형성된다.
다음, 도 3i에 도시한 것처럼, 오링(O ring)(51), 배기구(52), 배기구(53) 내에 위치한 거치대(53) 및 배기 펌프(도시하지 않음) 등을 구비한 진공 기구(50)를 흡인구(121)에 밀착시켜 흡인구(121)의 주위를 오링(51)으로 밀폐시킨다.
진공 기구(50)의 거치대(53)는 상하 방향으로 이동하며 내부에 열선과 같은 가열 장치(도시하지 않음)가 내장되어 있다.
다음, 흡인구(121)의 주위가 오링(51)으로 밀폐된 상태에서 배기 펌프를 작동시켜 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체를 흡인구(121)를 통해 배기구(52)를 거쳐 공정 챔버의 외부로 배출시킨다. 이로 인해, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110,120) 사이의 내부 공간의 진공도는 증가한다.
그런 다음, 유도 가열 방식이나 레이저빔 등을 이용하여 게터방에 위치한 적어도 하나의 게터(4)에 설정 시간(예, 30초 내지 1분) 동안 열을 가해 약 500℃ 내지 700℃의 온도로 게터(4)를 가열하여 게터(4)를 활성화시킨다. 이로 인해, 게터(4)는 기체를 흡수할 수 있는 활성화 상태가 된다.
이때, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 내부 표면에 부착된 가스가 배출되는 탈가스를 가속화시키는 가스 배출 공정을 위하여 약 150℃ 내지 250℃의 공정 챔버에 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)을 위치시켜, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 내부 표면에 부착된 기체를 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간으로 탈가스시킨다.
이로 인해, 진공 기구(50)의 동작에 의해 제1 및 제2 강화 유리 패널(110,120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체뿐만 아니라 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 내부 표면에 존재했던 기체도 외부로 배출된다.
이때, 게터방에 존재하는 게터(4)가 상태가 활성화 상태이므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110,120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체는 게터(4)에 의해서 흡수된다.
따라서, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110,120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체는 진공 기구(50)뿐만 아니라 게터(4)에 의해서도 감소되므로, 진공 기구(50)뿐만 아니라 게터(4)를 이용할 경우, 진공 기구(50)만을 이용할 때보다 제1 및 제2 강화 유리 패널(110,120) 사이의 내부 공간의 진공도는 더욱 빠르게 증가한다.
이때, 본 예에서 가스 배출 공정 시 공정 온도는 약 150℃ 내지 250℃이지만, 이러한 공정 온도는 흡인구(121)의 주위를 밀폐시키는 오링(51)의 녹는 온도와 강화 특성이 감소하게 되는 온도, 즉, 강화 풀림 온도에 따라 정해진다.
즉, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 표면에 존재하는 기체의 탈가스화를 위해서는 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 온도를 증가시키는 것이 유리하지만, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 온도를 증가시킬 경우, 오링(51)의 녹는점보다 높은 온도까지 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 온도를 증가시킬 경우, 제2 강화 유리 패널(120)과 접촉하는 오링(51)이 녹는다.
이로 인해, 오링(51)에 의한 밀폐 효과가 감소하여 외부 공기가 오링(51)을 통해 흡인구(121) 내로 유입되는 문제가 발생한다. 또한 온도를 필요 이상으로 증가시킬 경우 강화 풀림 현상이 짧은 시간 내에도 일어날 수 있다.
따라서, 강화 풀림이 발생하지 않고 오링(51)의 밀폐 효과를 최적의 상태로 유지하면서 진공 기구(50)와 게터(4)를 이용한 고진공화 공정을 실시하기 위해, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 탈가스화를 용이하게 하기 위한 가스 배출 시 공정 온도는 오링(51)의 녹는점보다 낮은 온도일 수 있고, 한 예로서, 약 150℃ 내지 250℃일 수 있다.
이와 같이, 게터(3)와 진공 기구(50)를 이용하여 게터(4)를 활성화시킨 후 원하는 온도에서 진공 기구(50)를 이용한 진공화 동작은 게터(4)의 활성화 상태가 유지되는 동안 지속된다.
복수 번의 게터 활성화 과정을 이용한 가스 배기 공정을 통해 원하는 진공도(예, 약 1×10-6 torr)까지 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간의 압력을 낮춰 진공도를 증가시킨다.
복수의 홈(123)을 형성하여 복수의 게터방을 형성할 경우, 복수의 게터방을 정해진 시간 동안 순차적으로 활성화시키게 되고, 이로 인해, 진공 기구(50)를 이용하여 배기 공정 중에 복수의 게터방 중 적어도 하나에 존재하는 게터(4)는 활성화 상태를 유지하게 된다.
또한, 하나의 게터방에 두 개 이상인 복수 개의 게터(4)가 존재할 경우에도 복수 개의 게터(4)를 정해진 시간 동안 순차적으로 활성화시켜, 동일한 게터방에 위치하는 복수의 게터(4) 중 적어도 하나는 활성화 상태를 유지하게 된다. 이로 인해, 배기 공정 기간 내내 게터(4)의 활성화 상태는 끊임없이 유지되므로, 게터(4)에 의해 배기 효율을 향상된다.
다음, 진공 기구(50)의 거치대(53)에 내장된 가열 장치를 동작시켜 덮개(141) 위에 놓여진 인듐(In)과 같은 접착제(142)를 녹인다.
그런 다음, 거치대(53)를 흡인구(121) 쪽으로 이동시켜 덮개(141)를 흡인구(121)쪽으로 밀착시킨 후 냉각시켜 접착제(142)와 덮개(141)로 이루어진 덮개부(140)를 이용해 흡인구(121)를 완전히 밀봉해 진공유리 패널을 완성한다(도 1 및 도 2 참조).
본 예에서, 접착제(142)는 가능하면 낮은 녹는점을 갖는 재료로 이루어지며, 한 예로서, 인듐(In)이 사용되지만 다른 재료가 사용될 수 있다.
즉, 접착제(142)의 부착 공정은 제1 및 제2 진공 유리 패널(110, 120) 사이의 진공화 공정이 완료된 후 이루어지므로, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 진공도와 강화 특성에 악영향을 미치지 않아야 된다.
일반적으로 압력은 온도에 비례하므로, 흡인구(121)를 막기 위한 접착제(142)의 녹는점이 높을 경우 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간의 압력은 접착제(142)를 녹이기 위해 가해지는 열에 의해 증가하게 되고, 이로 인해, 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 진공도는 감소한다.
따라서, 본 예의 경우, 접착제(142)는 녹이기 위한 열에 의해 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 진공도 및 강화 특성이 감소하는 것을 방지하게 위해, 구리(Cu) 등과 같은 접착제보다 상대적으로 낮은 약 156도의 녹는점을 갖는 인듐(In)을 사용한다.
본 예에 따른 진공유리 패널을 제조할 때, 진공 기구(50)를 이용하여 흡인구(121)를 통해 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120) 사이의 내부 공간에 존재하는 기체를 배출하고, 게터(4)를 반복 활성화시키고, 덮개부(140)를 흡인구(121)에 부착하는 공정은 동일한 공정 챔버에서 행해질 수 있고, 이 공정 챔버는 진공 상태이거나 대기 상태일 수 있다.
이미 설명한 것처럼, 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 강화 처리할 때, 밀봉재(130)와 그 위에 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)의 접합 동작이 함께 행해지므로, 밀봉재(130)와 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접합하기 위한 별도의 공정이 필요하지 않다. 따라서, 진공유리 패널의 제조 공정이 간단해져 제조 시간이 단축된다.
제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 이용하여 강화 처리된 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)을 접합할 경우, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)에만 열이 직접 가해지므로, 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접촉시킬 때 인가되는 열로 인해 제1 및 제2 강화 유리 패널(110, 120)의 강화 특성이 감소하지 않는다.
위에 기술한 예에 따르면, 도 1 및 도 2에 도시한 진공 유리 패널은 강화 유리 패널(110, 120)로 이루어져 있지만, 이와는 달리, 강화 처리가 되지 않은 비강화 유리인 일반 유리나 반강화 유리[즉, 배강도 유리(heat strengthened glass)]로 이루어질 수 있다.
이 경우, 진공 유리 패널을 구성하는 서로 마주보고 있는 두 개의 판 유리, 즉, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 강화 유리가 아니라 일반 유리 또는 반강화 유리라는 것을 제외하면, 진공유리 패널은 도 1 및 도 2에 도시한 구조와 동일한 구조를 갖는다.
따라서, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 사이에 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 존재하므로, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 사이에 온도 차이가 발생하더라도 금속판(M1, M2)에 의해 상이한 열 팽창 차이가 흡수되어 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)의 온도 차이로 인한 진공 유리 패널의 휨 현상이 방지되어 진공 유리 패널이 변경되거나 파손되는 문제가 방지된다.
이처럼, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 일반 유리 또는 반강화 유리로 이루어지는 진공 유리 패널을 제조하는 방법은 이미 도 3a 내지 도 3h를 참고로 하여 설명한 것과 동일하다.
한 예로서, 반강화 유리의 압축 응력의 크기는 표면 응력의 경우 24MPa 이상 70MPa 미만이고, 에지 응력의 경우 약 35MPa일 수 있다.
다만, 본 예의 경우, 도 3a 내지 도 3h의 경우와 달리, 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 완전 강화 처리할 필요가 없으므로, 도 3c에 도시한 열처리 공정은 일반 유리 패널(111)에 부착된 밀폐부(131)와 그 위에 위치한 금속판(M1)을 밀폐부(131)에 부착하는 동작만 행해지면 된다.
따라서, 본 예의 경우, 도 3c에서의 열처리 온도는 이미 도 3c를 참고로 설명한 열처리 온도보다 낮게 된다.
즉, 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 강화 처리하기 위한 온도는 이미 설명한 것처럼, 약 650℃ 내지 720℃이지만, 일반 유리나 반강화 유리로 이루어진 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)의 경우 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)의 열처리 온도는 연화점 미만의 온도일 수 있다.
예를 들어, 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 반강화 처리하기 위해서는, 연화점 이하의 온도인 약 550℃ 이상 650℃ 미만에서 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 열 처리한 후 찬공기를 약하게 인가하여 냉각시킨다.
제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 일반 유리로 처리하기 위해서는, 약 4300℃ 이상 500℃ 미만에서 제1 및 제2 일반 유리 패널(111, 1211)을 열처리한 후 서서히 냉각시킨다.
따라서, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 강화 유리가 아닌 일반 유리나 반강화 유리로 이루어진 진공 유리 패널을 제조하는 방법에 대해서는 생략한다.
다음, 도 6 내지 도 8을 참고로 하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 유리 패널을 설명한다.
도 6 및 도 7에 도시한 것처럼, 본 발명의 실시예에 따른 진공 유리 패널은 도 1 및 2에 도시한 진공 유리 패널(110, 120)과 비교할 때, 제1 유리 패널(110)과 제2 유리 패널(120)중 하나[(예, 제2 유리 패널(120)]에서 밀폐부(예, 132)가 위치하는 부분의 두께(T21)와 그렇지 않은 부분의 두께(T1)는 서로 상이하다.
따라서, 도 8에 도시한 것처럼, 제2 유리 패널(120)의 가장 자리 부분에 홈(190)이 형성되어 있고, 이 홈(190)은 제2 밀폐부(132)처럼 제2 유리패널(120) 각각의 가장 자리를 에워싸게 위치한다.
즉, 제2 밀폐부(132)가 위치하는 부분의 유리를 내부면에서부터 정해진 두께(T31)와 폭(W21)만큼 제거하여, 제거 공정이 행해지지 않은 유리 나머지 부분과 단차가 발생하도록 한다. 이때, 홈(190)은 외부와 접해 있는 각 제2 유리 패널(120)의 끝단에서부터 안쪽으로 정해진 크기(W21)만큼 형성된다.
이로 인해, 한 부분의 두께(T21)가 그렇지 않은 부분의 두께(T1)보다 작게 된다.
이때, 홈(190)이 형성된 부분에 제2 밀폐부(132)가 위치하고, 제2 밀폐부(132) 위에 제2 금속판(M2)이 위치하므로, 제2 밀폐부(132)와 제2 금속판(M2)의 안전적인 접합을 위해 홈(190)의 폭(W21)은 제2 밀폐부(132)의 폭과 동일하거나 큰 것이 좋다. 한 예로서, 폭(W21)은 약 10㎜일 수 있다.
홈(190)의 두께(T21)는 제2 밀폐부(132)와 제2 금속판(M2)이 위치할 때, 간격재(2)를 통해 반대편에 정해진 간격(I1)만큼 이격되어 있는 제1 유리 패널(110)에 위치한 금속판(M1)과 접하거나 소정 간격만큼 이격되어 있는 정도의 크기를 갖는다.
예를 들어, 제2 밀폐부(132)의 두께는 약 0.1㎜ 내지 0.15㎜일 수 있고, 제2 금속판(M2)의 두께는 약 0.01㎜ 내지 0.1㎜일 수 있으며, 이때. 홈(190)의 두께(T21)는 0.11㎜ 내지 0.25㎜일 수 있고, 이때, 밀폐부(132), 금속판(M2) 홈(190)의 두께(T21)는 변경 가능하다.
이처럼, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 중 하나인 유리 패널(120)에 홈(190)을 형성한 후 그 속에 밀폐부(132)를 형성시킬 경우, 홈(190)없이 바로 유리 패널(110, 120) 위에 바로 밀폐부(131, 132)와 금속판(M1, M2)을 위치하는 경우보다 서로 이격되어 있는 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 간의 간격(I1)이 감소한다.
따라서 간격재(2)의 높이가 밀폐부(131 또는 132)와 금속판(M1 또 M2)으로 인해 증가되지 않는다.
일반적으로 간격재(2)의 높이가 증가할수록 유리 패널(110, 120) 사이의 원하는 위치에 위치시키기 곤란한 문제가 발생하고, 또한, 간격재(2)의 길이가 길어질수록 안정적으로 간격재(2) 위에 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)을 위치시켜야 하므로, 간격재(2)의 직경(또는 단면적)이 증가해야 한다. 이때, 간격재(2)의 단면적이 증가할수록 간격재(2)를 통해 손실되는 열의 양이 증가하므로, 진공 유리 패널의 보온 효과는 감소한다.
하지만, 본 실시예의 경우, 이러한 문제가 발생하지 않고 진공 유리 패널의 제조가 좀더 용이해지고 불량율이 낮아지며 간격재의 길이와 단면적이 감소하므로 간격재를 통해 손실되는 열의 양이 줄어들어 진공 유리 패널의 단열 효과는 감소하지 않는다. 도 6의 경우, 제1 유리 패널(110)과 제2 유리 패널(120)의 가로 및 세로 크기가 동일한 경우를 도시한 도면이고, 도 7의 경우, 제1 유리 패널(110)과 제2 유리 패널(120)의 가로 및 세로 크기 중 적어도 하나가 상이한 경우를 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7에 도시한 진공 유리 패널의 제조는 이미 도 3a 내지 도 3i에 도시한 공정을 통해 행해진다.
다만, 도 3a에서 밀봉재(130)를 해당 유리 패널(111, 1211) 위에 위치시키기 전에 이미 설명한 것처럼, 해당 위치에 홈(190)을 형성하는 공정이 추가되고, 홈(190)에 밀봉재(130)와 금속판(M1 또는 M2)이 위치한 후 그 이후의 공정은 도 3b 내지 도 3i에 도시한 공정과 동일하다.
이미 설명한 것처럼, 간격재(2) 위에 제1 및 제2 유리 패널(110, 120)이 위치할 때, 서로 반대편에서 마주보게 위치한 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 접해있지 않고 이격되어 있을 때 지그 등을 이용하여 제1 및 제2 금속판(M1, M2)을 접한 후 레이저빔을 조사하여 제3 밀폐부(133)를 형성한다.
따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
본 예의 경우, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 중 하나에만 홈(190)이 위치하지만, 이와는 달리, 제1 및 제2 유리 패널(110, 120) 각각에 홈(190)이 위치하여, 각 홈(190)에 제1 및 제2 밀폐부(131, 132)와 그 위에 각각 제1 및 제2 금속판(M1, M2)이 위치할 수 있다.
위에 기술한 예에서, 강화 처리되지 않은 일반 유리 패널(111, 1211)는 열처리를 이용하여 강화 유리 패널(110, 120)를 제조한다.
하지만, 대안적인 예에서, 열처리 대신 화학적인 방법을 이용하여 일반 유리 패널(111, 1211)을 강화 유리 패널(110, 120)로 제조할 수 있다.
예를 들어, 밀봉재(130)에 금속판(M1 또는 M2)이 접착된 일반 유리 패널(111 또는 1211)은 약 300℃ 내지 500℃의 온도로 가열된 질산 칼륨액 속에 담궈, 일반 유리패널(111 또는 1211)을 강화 처리한다. 이처럼, 질산 칼륨액 속에 일반 유리 패널(111 또는 1211)이 침전되면, 유리 중의 알칼리 이온이 자신의 이온 반경보다 큰 이온 반경은 가진 질산 칼륨액 속에 존재하는 알칼리 이온으로 교환되면서 강화 처리가 행해진다.
본 예의 경우, 위에 기재한 것처럼, 일반 유리 패널(111 또는 1211)에 금속판(M1 또는 M2)를 접착시켜야 하므로, 강화 처리시 또는 반강화 처리 시보다 낮은 온도를 이용하여 밀봉재(130) 위에 금속판(M1 또는 M2)를 접착한 후, 화학적 강화 처리를 실시한다. 이 경우, 금속판(M1, M2) 접착을 위한 열처리 온도는 약 430℃ ~500℃일 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (19)

  1. 제1 밀폐부와 상기 제1 밀폐부에 접착된 제1 금속판을 구비한 제1 유리패널과 제2 밀폐부와 상기 제2 밀폐부와 접착된 제2 금속판을 구비한 제2 유리 패널 중 하나 위에 적어도 하나의 간격재를 위치시키는 단계,
    상기 적어도 하나의 간격재 위에 제1 및 제2 유리 패널 중 나머지 하나의 유리 패널을 위치시켜 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판을 서로 마주보게 위치시키는 단계, 그리고
    대기 중에서 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나에 열을 가하여, 상기 제1 금속판과 제2 금속판을 접합시키는 제3 밀폐부를 형성하는 단계
    를 포함하고,
    상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나는 상기 제1 유리 패널 및 상기 제2 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 외부로 돌출되어 있고
    상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 접착 단계는 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 중 적어도 하나의 금속판에서 상기 제1 유리 패널과 상기 제2 유리 패널 중 적어도 하나의 측면에서 돌출된 부분에만 열을 가하는
    진공유리 패널의 제조 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 금속판의 폭은 각각 상기 제1 및 제2 유리 패널에 각각 형성된 밀봉재의 폭의 적어도 일부와 중첩되는 진공유리 패널의 제조 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 금속판의 폭은 상기 제1 및 제2 유리 패널에 각각 도포된 밀봉재의 폭보다 큰 진공유리 패널의 제조 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 금속판은 각각 철(Fe)과 니켈(Ni)의 합금으로 이루어진 진공유리 패널의 제조 방법.
  5. 제4항에서,
    상기 제1 및 제2 금속판 각각의 총 함량 중에서, 상기 철은 52중량%을 함유하고 상기 니켈은 48중량%을 함유하는 진공유리 패널의 제조 방법.
  6. 제1항에서,
    상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판 접착 단계는 레이저빔(laser beam)을 이용하여 상기 대기 중에서 상기 제1 금속판과 상기 제2 금속판을 접합시키는 진공유리 패널의 제조 방법.
  7. 제1항에서,
    제1 일반 유리 패널 위에 밀봉재를 형성하는 단계,
    상기 밀봉재 위에 제1 금속판을 위치시키는 단계,
    상기 밀봉재와 상기 제1 금속판을 구비한 상기 제1 일반 유리 패널 전체를 열처리하여 상기 밀봉재와 상기 제1 금속판을 접착시켜, 상기 제1 밀폐부 및 상기 제1 밀폐부와 접착된 상기 제1 금속판을 구비한 상기 제1 유리 패널을 형성하는 단계,
    제2 일반 유리 패널 위에 밀봉재를 형성하는 단계,
    상기 제2 일반 유리 패널 위에 형성된 상기 밀봉재 위에 제2 금속판을 위치시키는 단계, 그리고
    상기 밀봉재와 상기 제2 금속판을 구비한 상기 제2 일반 유리 패널 전체를 열처리하여 상기 밀봉재와 상기 제2 금속판을 접착시켜, 상기 제2 밀폐부 및 상기 제2 밀폐부와 접착된 상기 제2 금속판을 구비한 제2 유리 패널을 형성하는 단계
    를 더 포함하는 진공유리 패널의 제조 방법.
  8. 제7항에서,
    상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 연화점 이상에서 행해지는 진공유리 패널의 제조 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 650℃ 내지 720℃에서 행해지는 진공유리 패널의 제조 방법.
  10. 제7항에서,
    상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 550℃ 내지 650℃에서 행해지는 진공유리 패널의 제조 방법.
  11. 제7항에서,
    상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 430℃ 내지 500℃에서 행해지는 진공유리 패널의 제조 방법.
  12. 제7항에서,
    열처리된 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나를 300℃ 내지500℃로 가열된 질산칼륨액 속에 담궈 상기 제1 및 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나를 강화 처리하는 단계를 더 포함하는 진공유리 패널 제조 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 제1 및 제2 일반 유리 패널의 열처리는 430℃ 내지 500℃에서 행해지는 진공유리 패널의 제조 방법.
  14. 제7항에서,
    상기 제1 일반 유리 패널과 상기 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나의 가장자리에 홈을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 홈에 상기 제1 일반 유리 패널과 상기 제2 일반 유리 패널 중 적어도 하나에 위치한 밀봉재 그리고 상기 제1 및 제2 금속판 중 적어도 하나가위치하는 진공유리 패널의 제조 방법.
  15. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 유리 패널은 강화 유리 패널인 진공유리 패널의 제조 방법.
  16. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 유리 패널은 비강화 유리 패널인 진공유리 패널의 제조 방법.
  17. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 유리 패널은 반강화 유리 패널인 진공유리 패널의 제조 방법.
  18. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 유리 패널 중 하나는 흡인구와 게터를 구비한 홈을 구비한 진공 유리 패널의 제조 방법.
  19. 제18항에서,
    진공 기구를 상기 흡인구에 밀착시켜 상기 흡인구의 주위를 밀폐시키는 단계,
    상기 진공 기구를 동작시켜 상기 제1 유리 패널과 상기 제2 유리 패널 사이에 위치하는 기체를 상기 흡인구를 통해 외부로 배출시키는 단계,
    상기 게터에 열을 가하여 상기 게터를 반복적으로 활성화시키는 단계, 그리고
    상기 흡인구를 덮는 밀폐부를 상기 흡인구 위에 위치시켜 상기 흡인구를 막는 단계
    를 포함하는 진공유리 패널의 제조 방법.
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