KR20140061591A - Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it - Google Patents

Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it Download PDF

Info

Publication number
KR20140061591A
KR20140061591A KR1020120127696A KR20120127696A KR20140061591A KR 20140061591 A KR20140061591 A KR 20140061591A KR 1020120127696 A KR1020120127696 A KR 1020120127696A KR 20120127696 A KR20120127696 A KR 20120127696A KR 20140061591 A KR20140061591 A KR 20140061591A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
contact
flat plate
vacuum pad
contact type
conveying device
Prior art date
Application number
KR1020120127696A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101434877B1 (en
Inventor
김영태
김은준
임영태
구자익
신동혁
공우행
Original Assignee
김은준
금오공과대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김은준, 금오공과대학교 산학협력단 filed Critical 김은준
Priority to KR1020120127696A priority Critical patent/KR101434877B1/en
Publication of KR20140061591A publication Critical patent/KR20140061591A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101434877B1 publication Critical patent/KR101434877B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B25J15/0683—Details of suction cup structure, e.g. grooves or ridges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

The present invention relates to a noncontact type flat plate transfer device. The noncontact type flat plate transfer device of the present invention includes a flat plate and a plurality of noncontact type vacuum pads. The flat plate includes a contact prevention unit in the center and a contact permitting unit permitting contact on the outer edge of the contact prevention unit. The noncontact type vacuum pads are installed at a position corresponding to the contact prevention unit in a surface facing the flat plate. The noncontact type flat plate transfer device picks up and transfers the flat plate by using the noncontact type vacuum pad. An inner part of the noncontact type flat plate located on the contact prevention unit of the flat plate is formed on one side on a plane, and an outer part located on the contact permitting unit is formed on the other side.

Description

진공패드와 이를 이용한 비접촉식 평판 이송 장치{VACUUM PAD AND NONCONTACT FEED APPARATUS USING IT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum pad and a non-

본 발명은 진공패드를 이용하여 비접촉 상태로 물품을 이송할 수 있도록 된 비접촉식 평판 이송장치에 관한 것으로, 진공패드를 이용하여 평판을 들어올리거나 이 상태로 이동함에 있어서 미끄러짐을 방지하되, 특히 접촉이 허용되는 평판의 외곽 구역이 점차 좁아지는 추세에 맞추어 흡착패드를 사용하지 아니하면서 평판의 측박향 구속을 가능하게 한, 진공패드와 이를 이용한 비접촉식 평판 이송 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a non-contact type flat plate conveying apparatus capable of conveying an article in a non-contact state by using a vacuum pad, and more particularly to a non-contact type flat plate conveying apparatus which prevents slippage in lifting or moving a flat plate by using a vacuum pad, To a vacuum pad and a non-contact type plate feeder using the vacuum pad, which enables the sidewall restraint of a flat plate without using an adsorption pad in accordance with the tendency of the outer plate area of the flat plate becoming narrower.

진공 이송시스템이란 압축공기로 작용하여 진공패드 내에 부압을 발생시키고, 그 발생된 부압으로 물품을 파지하여 정해진 장소로 이송하는 시스템을 말한다. The vacuum transfer system refers to a system that acts as compressed air to generate a negative pressure in a vacuum pad, grips the product with the generated negative pressure, and transfers it to a predetermined location.

이 시스템에는 접촉식 진공패드가 일반적이지만, 이는 미세한 스크레치나 변형 등에 민감한 전자 제품의 패널 등의 이송에는 적합하지가 않다. In this system, a contact type vacuum pad is generally used, but this is not suitable for transportation of a panel or the like of an electronic product sensitive to fine scratches or deformation.

이에 비접촉식 진공패드가 필요하게 되는 것이며, 최근 그 수요가 급격하게 증가되는 추세이다.Therefore, a non-contact type vacuum pad is required, and the demand is rapidly increasing recently.

도 1은 통상적인 방식의 비접촉식 진공패드를 예시한다. 두 도면에서, 진공패드는 중앙에 압축공기 공급홀(2)이 형성된 본체(1)와, 상기 공급홀(2)의 하측에서 삽입되는 에어 가이드(3)를 포함하여 이루어진다. Figure 1 illustrates a non-contact vacuum pad in a conventional manner. In both figures, the vacuum pad comprises a main body 1 having a compressed air supply hole 2 formed at its center, and an air guide 3 inserted at the lower side of the supply hole 2.

상기 공급홀(2)의 상측에서 공급된 고속의 압축공기는 가이드(3)에 의하여 본체(1)의 측방향으로 유도되고, 본체(1)의 저면 가장자리를 지나 외부로 배출된다. The high-speed compressed air supplied from the upper side of the supply hole 2 is guided in the lateral direction of the main body 1 by the guide 3 and is discharged to the outside through the bottom edge of the main body 1.

이때 베르누이(Bernoulli) 효과로 알려져 있는 바, 진공패드와 물품(P) 사이의 배기공간(S)이 본체(1)의 저면 가장자리에서 압축공기에 합류하여 배출되면서 진공이 형성되는 동시에 대기와의 압력차에 의한 부압이 발생한다.At this time, it is known as a Bernoulli effect that the exhaust space S between the vacuum pad and the article P joins the compressed air at the bottom edge of the main body 1 and is discharged to form a vacuum, Negative pressure is generated by the car.

이 발생한 부압에 의하여 물품(P)이 진공패드에 근접되고 파지되는 것이다.The product P is held close to and held by the vacuum pad.

다만, 이 경우에도 진공패드와 물품(P) 간에는 압축공기의 배출압력에 의하여 형성되는 간격(d)이 유지된다. However, also in this case, the interval d formed by the discharge pressure of the compressed air is maintained between the vacuum pad and the article P.

이러한 의미에서 이 진공패드를 "비접촉식" 진공패드라고 말하는 것이다.In this sense, this vacuum pad is called a "non-contact" vacuum pad.

상기한 진공패드가, 접촉식 진공패드에 비하여, 정밀한 표면을 요구하는 물품을 취급하는데 유리한 것은 물론이다.It is needless to say that the above-described vacuum pad is advantageous for handling an article requiring a precise surface in comparison with a contact type vacuum pad.

그런데, 이처럼 비접촉식 진공패드를 사용함에 있어 접촉이 이루어지지 않음에 따라 다수 개의 진공패드를 정밀하게 조절하지 못하게 되는 경우 측방향에서의 미끄러짐을 구속할 수 없게 되어 평판을 평행하게 유지하지 못하고, 또 평판이 일측으로 기울어지거나 미끄러지는 현상이 발생할 수 있게 된다.However, when the non-contact type vacuum pad is used, when the plurality of vacuum pads can not be precisely adjusted due to the non-contact, the slip in the lateral direction can not be restrained and the flat plate can not be maintained parallel, It is possible to cause a phenomenon of skewing or slipping to this side.

이에 따라 평판을 제어할 수 있는 기술이 필요한데, "평판 이송물 정렬픽업 이송장치"(한국 공개특허공보 제10-2011-0125062호, 특허문헌1)에는 평판 상부에 별도의 가이드부재를 설치하여 평판이 상승할 때 평판에 유체를 분사하여 수평을 유지하도록 하였다.Accordingly, a technique capable of controlling the flat plate is required. In the "flat plate conveying arrangement transfer picking-up device" (Korean Unexamined Patent Application Publication No. 10-2011-0125062, Patent Document 1), a separate guide member is provided on the flat plate, The liquid was sprayed on the flat plate to keep it horizontal.

그러나, 이처럼 평판에 별도의 유체를 분사하는 방식은 평판의 크기에 따라 가이드부재를 별도로 설계해야 하므로 평판 사이즈에 따라 설비가 새로 구축되어야 하는 문제점이 있었다.However, since the guide member is separately designed according to the size of the flat plate, there is a problem in that a new facility is required according to the flat plate size.

또다른 방식으로, 통상적으로 평판의 테두리 즉, 외곽측에는 접촉이 허용되는 부분이 형성되는데, 이 부분을 활용하여 여기에 흡착패드를 설치하여 평판을 구속하는 기술이 사용되기도 하였다.In another method, a portion of the flat plate, that is, a portion where contact is allowed is formed on the outer side of the flat plate, and a technique of restricting the flat plate by using the portion is provided.

그런데, 최근 TV나 스마트폰의 추세를 살펴보면 화면과 테두리 사이의 간격이 줄어들고 두께가 얇아지는 추세로, 평판의 제조 과정에서 접촉이 허용되는 영역이 10mm 이하로 줄어들고 있다.However, in recent trends of TVs and smart phones, the gap between the screen and the frame has decreased and the thickness has been thinned, and the area where the contact is allowed in the manufacturing process of the flat plate is being reduced to less than 10 mm.

반면, 흡착패드의 설치에 필요로 하는 영역은 직경이 10mm 이상을 요구하는 바, 이러한 흡착패드로는 접촉이 허용되는 영역이 작은 평판의 구속에 사용할 수 없게 된다.
On the other hand, the area required for the installation of the adsorption pad requires a diameter of 10 mm or more, and the adsorption pad can not be used for constraining a flat plate with a small contact area.

KR 10-2011-0125062 (2011.11.18)KR 10-2011-0125062 (11/18/2011)

본 발명의 비접촉식 평판 이송 장치는 상기와 같은 종래 기술에서 발생하는 문제점을 해소하기 위한 것으로, 평판의 가장자리 측에 흡착패드를 설치하지 아니하고, 평판의 중앙 부위에 설치되는 것과 동일한 진공패드를 설치하되, 외곽측의 진공패드 즉, 외부진공패드에는 접촉허용부에 대응하는 부분에 평판과 접촉하는 접촉부재를 설치하여, 접촉패드가 평판과 접촉하면서 평판의 이송 과정에서 측방향 구속이 이루어져 평판의 미끄러짐을 구속할 수 있게 하려는 것으로, 이에 따라 접촉허용부의 간격이 10mm 이하인 평판의 미끄러짐을 용이하게 구속하려는 것이다.The non-contact type flat plate conveying apparatus of the present invention is for solving the above-mentioned problem in the related art. The vacuum plate is provided with the same vacuum pad as that provided at the central portion of the flat plate, The outer vacuum pad, that is, the external vacuum pad, is provided with a contact member which contacts the flat plate at a portion corresponding to the contact allowance, so that the contact pad comes into contact with the flat plate and is laterally restrained during the conveyance of the flat plate. Thereby easily restraining the slip of the flat plate having the interval of the contact allowance of 10 mm or less.

일측에서 접촉부재에 의해 접촉한 채 타측의 진공패드에 의해 부압이 발생하는 과정에서 평판의 특성에 따라 평판이 휘어짐이 발생하고 이에 따라 진공패드의 외곽에서 부분적으로 평판과 접촉이 발생할 수 있는데, 접촉방지부에 대응하는 부분에는 진공패드에 평판을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부가 형성됨으로써 저촉방지부에 진공패드의 접촉이 발생하지 않게 하려는 것이다.
In the process of generating negative pressure by the vacuum pad on the other side while being in contact with the contact member on one side, the plate is warped according to the characteristics of the plate, so that it may partially contact the plate on the outer side of the vacuum pad. The auxiliary nozzle portion for spraying air toward the flat plate is formed in the portion corresponding to the preventing portion so that the contact of the vacuum pad with the non-contacting portion is prevented.

본 발명의 비접촉식 평판 이송 장치는 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 중앙부에 접촉방지부가 형성되어 있고, 접촉방지부의 외곽에 접촉이 허용되는 접촉허용부가 형성되어 있는 이송 대상이 되는 평판과, 상기 평판과 마주하는 면에 상기 접촉방지부에 대응되는 위치에 다수의 비접촉 방식의 진공패드가 배치되어 있으며, 비접촉 방식의 진공패드를 이용하여 상기 평판을 픽업 및 이송시키는 비접촉식 평판 이송 장치에 있어서, 비접촉 방식으로 이루어져 있되, 평면상에서 일측은 상기 평판의 접촉방지부 상에 위치하는 내측부가 형성되어 있고, 타측은 상기 평판의 접촉허용부 상에 위치하는 외측부가 형성되어 있되, 상기 외측부에는 상기 평판의 접촉허용부에 접촉하는 접촉부재가 형성되어 있는 외부진공패드가, 평면상에서 접촉방지부와 접촉허용부의 경계를 따라 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the non-contact type flat plate conveying apparatus of the present invention comprises a flat plate as a conveying target, provided with a contact preventing portion at a central portion thereof and provided with a contact- And a plurality of non-contact type vacuum pads are disposed at positions corresponding to the contact prevention portions on a surface facing the contactless type flat plate, and the non-contact type flat plate type transfer device for picking up and transporting the flat plate using a non- And the other side is formed with an outer side portion positioned on the contact allowing portion of the flat plate, and the outer side portion is provided with a contact allowance An external vacuum pad on which a contact member for contacting the contact portion is formed, It characterized in that the number provided along the tip portion allows the boundary.

이때, 상기 진공패드는 저부 둘레에 평판을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In this case, the vacuum pad is formed with an auxiliary nozzle portion around the bottom portion for spraying air toward the flat plate.

또, 상기 외부진공패드는 내측부의 저부 둘레에 평판을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Further, the external vacuum pad is characterized in that an auxiliary nozzle portion for spraying air toward the flat plate is formed around the bottom of the inside portion.

이때, 보조노즐부에는 저항체가 설치됨을 특징으로 한다.At this time, the auxiliary nozzle unit is provided with a resistor.

또한, 상기 접촉부재는 저부에 다수 개의 마찰돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Further, the contact member is characterized in that a plurality of friction protrusions are formed at the bottom.

또, 상기 보조노즐부는 진공패드의 저부 둘레에 서로 이격된 채 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.A plurality of auxiliary nozzle portions are provided around the bottom of the vacuum pad so as to be spaced apart from each other.

또한, 상기 보조노즐부는 외부진공패드 내측부의 저부 둘레에 서로 이격된 채 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the auxiliary nozzle unit is installed around the bottom of the inner part of the outer vacuum pad so as to be spaced apart from each other.

또, 상기 접촉부재는 신축성을 갖는 재질로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.Further, the contact member is characterized by being made of a material having stretchability.

아울러, 본 발명의 진공패드는, 일측에 공기 공급홀이 형성되어 있는 본체와, 상기 공급홀의 하측에 설치되어 있는 가이드를 포함하여 이루어져 있고, 평판 위에 설치되어 공기가 가이드에 의해 본체의 측방향으로 유도되어 본체의 저면 가장자리를 지나 외부로 배출됨에 따라 평판과 가이드 하부에 부압이 발생하도록 된 진공패드에 있어서, 상기 진공패드의 가장자리 일측에 평판과 접촉하는 접촉부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
In addition, the vacuum pad of the present invention includes a main body having an air supply hole formed on one side thereof and a guide provided below the supply hole, and air is guided by the guide in the lateral direction of the main body And a negative pressure is generated in the lower part of the flat plate and the guide as it is discharged to the outside through the bottom edge of the main body, and a contact member is provided at one side of the edge of the vacuum pad to contact the flat plate.

본 발명에 의해, 평판의 가장자리 측에 흡착패드를 설치하지 아니하고, 평판의 중앙 부위에 설치되는 것과 동일한 진공패드를 설치하되, 외곽측의 진공패드 즉, 외부진공패드에는 접촉허용부에 대응하는 부분에 평판과 접촉하는 접촉부재를 설치하여, 접촉패드가 평판과 접촉하면서 평판의 이송 과정에서 측방향 구속이 이루어져 평판의 미끄러짐을 구속할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to provide a vacuum pad which is the same as that provided on the central portion of the flat plate without providing the suction pad on the edge side of the flat plate, A contact member for contacting the flat plate is provided so that the contact pad is brought into contact with the flat plate and laterally restrained in the process of transporting the flat plate so that the sliding of the flat plate can be restrained.

또, 이에 따라 접촉허용부의 간격이 10mm 이하인 평판의 미끄러짐을 용이하게 구속할 수 있게 된다.In this way, it is possible to easily restrain the slip of the flat plate having the interval of the contact permitting portion of 10 mm or less.

또한, 일측에서 접촉부재에 의해 접촉한 채 타측의 진공패드에 의해 부압이 발생하는 과정에서 평판의 특성에 따라 평판이 휘어짐이 발생하고 이에 따라 진공패드의 외곽에서 부분적으로 평판과 접촉이 발생할 수 있는데, 접촉방지부에 대응하는 부분에는 진공패드에 평판을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부가 형성됨으로써 저촉방지부에 진공패드의 접촉이 발생하지 않게 된다.
Also, in the process of generating negative pressure by the vacuum pad on the other side while being in contact with the contact member on one side, the plate may be warped according to the characteristics of the plate, and thus the plate may partially come in contact with the outer surface of the vacuum pad And a portion corresponding to the contact preventing portion is provided with an auxiliary nozzle portion for spraying air toward the flat plate on the vacuum pad, so that the contact of the vacuum pad with the non-contact portion is prevented.

도 1은 통상적인 방식의 비접촉식 진공패드의 실시예를 나타낸 단면도.
도 2는 통상적인 비접촉식 평판 이송 장치의 실시예를 나타낸 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 비접촉식 평판 이송 장치의 일 실시예를 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명에서 보조노즐부가 구비된 예를 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 외부진공패드의 설치 상태를 나타낸 평면 개략도.
도 6은 본 발명에서 접촉부재에 마찰돌기가 형성된 예를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명에서 외부진공패드의 실시예를 나타낸 사시도.1 is a sectional view showing an embodiment of a non-contact type vacuum pad in a conventional manner.
2 is an exploded perspective view showing an embodiment of a conventional non-contact type flat plate conveying apparatus.
3 is a cross-sectional view showing an embodiment of the non-contact type flat plate conveying apparatus of the present invention.
4 is a sectional view showing an example in which the auxiliary nozzle unit is provided in the present invention.
5 is a schematic plan view showing an external vacuum pad according to an embodiment of the present invention.
6 is a sectional view showing an example in which a friction member is formed on a contact member in the present invention.
7 is a perspective view showing an embodiment of an external vacuum pad in the present invention.

이하, 첨부된 도면을 통해 본 발명의 비접촉식 평판 이송 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a non-contact type flat plate conveying apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에서 이송 대상이 되는 평판(10)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 중앙부에 접촉이 금지되는 접촉방지부(11)가 형성되어 있고, 접촉방지부(11)의 외곽에 접촉이 허용되는 접촉허용부(12)가 형성되어 있다.As shown in Fig. 2, the flat plate 10 to be fed in the present invention is provided with a contact preventive portion 11 for preventing contact with the central portion, A contact-permitting portion 12 is formed.

접촉방지부(11)는 TV나 스마트폰과 같은 경우 외부로 노출되는 화면의 영역이 되며, 접촉하용부는 그 외곽에 있어 케이스에 고정되는 부분이 된다.The contact preventive portion 11 is an area of a screen exposed to the outside in the case of a TV or a smart phone, and the contact usable portion is a portion fixed to the case in its outer periphery.

본 발명의 비접촉식 평판 이송 장치는 도 2 및 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 평면상에서 상기 평판(10)과 마주하는 면에 접촉방지부(11)에 대응되는 위치에 다수의 비접촉 방식의 진공패드(20)가 배치되어 있다.2 and 3, a plurality of non-contact type vacuum pads (not shown) are provided at positions corresponding to the contact preventing portions 11 on a plane facing the flat plate 10 on a plane 20 are disposed.

이러한 진공패드(20)는 통상적인 비접촉식 진공패드로 앞서 설명한 바와 같이 중앙에 압축공기가 공급되는 홀이 형성되어 있는 본체와, 상기 홀의 하측으로 설치되어 공기를 외곽으로 가이드하는 가이드가 포함되어 이루어진다.The vacuum pad 20 is a conventional non-contact type vacuum pad. As described above, the vacuum pad 20 includes a body formed with a hole through which compressed air is supplied to the center, and a guide installed below the hole to guide the air to the outside.

이에 따라 홀을 통해 유입된 고속의 압축공기가 가이드에 의해 본체의 측방향으로 유도되고, 본체의 저면 가장자리를 지나 외부로 배출되며, 이때 베르누이(Bernoulli) 효과로 진공패드(20)와 물품 사이는 가장자리측에서 압축공기에 의해 본체 중앙의 공기가 합류하면서 배출되어 진공이 형성되는 동시에 대기와의 압력차에 의한 부압이 발생한다.Accordingly, the high-speed compressed air introduced through the holes is guided in the lateral direction of the main body by the guide, and is discharged to the outside through the bottom edge of the main body. At this time, due to the Bernoulli effect, The air at the center of the main body is discharged while being compressed by the compressed air at the edge side to form a vacuum and a negative pressure due to a pressure difference with the atmosphere is generated.

이 발생한 부압에 의하여 물품이 진공패드(20)에 근접되고 파지되는 것이다.The vacuum pad 20 is held in the vicinity of the article.

이때, 진공패드(20)의 저부측은 곡선으로 설계되어 코안다 효과를 갖도록 설계될 수 있다.At this time, the bottom side of the vacuum pad 20 may be designed to have a curved line and be designed to have a Coanda effect.

여기까지는 통상적인 비접촉식 평판 이송 장치의 구성이라 할 수 있으므로, 상술한 설명에 의해 제한되는 것은 아니라 할 것이다.Up to this point, the configuration of a conventional non-contact type flat plate conveying device is not limited by the above description.

본 발명의 특징적인 부분은 평면상에서 평판(10)의 외곽측을 따라 다수의 외부진공패드(30)가 설치되는 것이다.A feature of the present invention is that a plurality of external vacuum pads 30 are installed along the outer side of the flat plate 10 in a plane.

외부진공패드(30)는 앞서 설명한 진공패드(20)와 같이 본체(32), 공급홀(33) 및 가이드(34)를 구비한 구성으로 이루어지며, 전체적인 구성은 비접촉 방식으로 이루어지게 된다.The external vacuum pad 30 has a structure including the main body 32, the supply hole 33 and the guide 34 like the above-described vacuum pad 20, and the overall structure is made in a non-contact manner.

보다 구체적으로, 일측에 공기 공급홀(33)이 형성되어 있는 본체(32)와, 상기 공급홀(33)의 하측에 설치되어 있는 가이드(34)를 포함하여 이루어져 있고, 평판(10) 위에 설치되어 공기가 가이드(34)에 의해 본체(32)의 측방향으로 유도되어 본체(32)의 저면 가장자리를 지나 외부로 배출됨에 따라 평판(10)과 가이드(34) 하부에 부압이 발생하도록 되어 있다.More specifically, it includes a main body 32 having an air supply hole 33 formed on one side thereof, and a guide 34 provided below the supply hole 33. The main body 32 is installed on the flat plate 10 The air is guided in the lateral direction of the main body 32 by the guide 34 and is discharged to the outside through the bottom edge of the main body 32 so that a negative pressure is generated in the lower portion of the flat plate 10 and the guide 34 .

다만, 외부진공패드(30)는 상술한 진공패드(20)와 달리 진공패드(20)의 가장자리 일측에 평판(10)과 접촉하는 접촉부재(31)가 설치되어 있게 되며, 이 접촉부재(31)가 설치되는 지점이 평판(10)의 접촉허용부(12)가 된다는 점이다.Unlike the vacuum pad 20 described above, the external vacuum pad 30 is provided with a contact member 31 contacting the flat plate 10 at one side of the edge of the vacuum pad 20, Is provided at the contact portion 12 of the flat plate 10. [0064] As shown in Fig.

보다 구체적으로 외부진공패드(30)는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 평면상에서 일측은 상기 평판(10)의 접촉방지부(11) 상에 위치하는 내측부(30a)가 형성되어 있고, 타측은 상기 평판(10)의 접촉허용부(12) 상에 위치하는 외측부(30b)가 형성되어 있다.More specifically, as shown in FIG. 5, the external vacuum pad 30 is formed with an inner side portion 30a on one side of the flat plate 10 and on the contact prevention portion 11 of the flat plate 10, An outer side portion 30b positioned on the contact allowing portion 12 of the flat plate 10 is formed.

아울러, 상기 외측부에는 상기 평판(10)의 접촉허용부(12)에 접촉하는 접촉부재(31)가 형성되어 있는 것이다.In addition, the outer side portion is provided with a contact member 31 which is in contact with the contact allowing portion 12 of the flat plate 10.

더불어, 이러한 외부진공패드(30)가 평면상에서 접촉방지부(11)와 접촉허용부(12)의 경계를 따라 다수 설치되어 있다.In addition, a plurality of such external vacuum pads 30 are provided along the boundary of the contact preventing portion 11 and the contact allowing portion 12 on a plane.

접촉부재(31)는 다양한 재질로 형성될 수 있으나, 평판(10)의 스크레치를 방지하기 위해 실리콘 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.The contact member 31 may be formed of various materials, but it is preferable that the contact member 31 is made of a silicon material to prevent the flat plate 10 from being scratched.

또는 신축성을 갖는 고무 등의 재질로 형성될 수도 있다.Or rubber having elasticity or the like.

이러한 접촉부재(31)는 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 저부에 다수 개의 마찰돌기(31a)가 형성되어 있어 마찰력을 증가시키도록 할 수도 있는데, 이 경우 평판(10)의 스크레치를 방지하기 위해 실리콘 재질이나 고무 등의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.6, a plurality of friction protrusions 31a are formed at the bottom of the contact member 31 to increase the frictional force. In this case, in order to prevent the flat plate 10 from being scratched, It is preferably made of a material or rubber.

이러한 접촉부재(31)는 외측부의 길이를 따라 하나의 부재로 이루어질 수도 있으나, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 외측부의 길이 방향을 따라 다수 개가 서로 이격된 채 설치되도록 함이 바람직하다.The contact member 31 may be formed of one member along the length of the outer side portion, but it is preferable that a plurality of the contact members 31 are arranged apart from each other along the longitudinal direction of the outer side portion as shown in FIG.

이는, 외부진공패드(30)의 작동시 공기 공급홀(33)을 통해 가이드(34)를 따라 이동하는 공기의 흐름에 덜 영향을 주게 되기 때문이다.This is because the operation of the external vacuum pad 30 less influences the flow of air moving along the guide 34 through the air supply hole 33.

한편, 상기와 같은 구성에 있어서 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 외부진공패드(30)의 경우 내측부(30a)의 저부 둘레에 평판(10)을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부(40)가 형성될 수 있다.4, in the case of the external vacuum pad 30, an auxiliary nozzle unit 40 for spraying air toward the flat plate 10 is formed around the bottom of the inside portion 30a .

또, 동일한 방식으로 진공패드(20)의 경우에도 저부 둘레에 평판(10)을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부(40)가 형성될 수 있다.Also, in the case of the vacuum pad 20 in the same manner, an auxiliary nozzle unit 40 for spraying air toward the flat plate 10 around the bottom can be formed.

이처럼 평판(10)을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부(40)를 형성하는 것은, 최근 디스플레이 패널이나 각종 기판의 두께가 얇아지고 그 성질이 점차 휘어지는 변형이 증가하는 추세에서 상기와 같이 접촉부재(31)를 평판(10) 외곽측 외부진공패드(30)에 설치한 상태에서 외부진공패드(30) 및 진공패드(20)를 통해 평판(10)을 끌어당길 경우 평판(10) 외곽은 접촉부재(31)에 의해 접촉된 상태를 유지하면서 중앙 영역이 상부로 휘어지는 현상이 발생할 수 있고, 이에 따라 접촉이 금지된 접촉방지부(11)에서 진공패드(20)와의 접촉이 발생할 수 있기 때문에 이를 방지하기 위한 것이다.The formation of the auxiliary nozzle unit 40 for spraying the air toward the flat plate 10 has the following disadvantages. That is, in recent trends, the thickness of the display panel or various substrates is becoming thinner, When the flat plate 10 is pulled out through the external vacuum pad 30 and the vacuum pad 20 in a state where the flat plate 10 is attached to the external vacuum pad 30 on the outside of the flat plate 10, The central region may be bent upward while maintaining the contact state by the contact preventing portion 31. This may cause contact with the vacuum pad 20 in the contact preventing portion 11 in which contact is prohibited, .

즉, 평판(10)이 휘어지려 하는 힘을 많이 받는 지점의 진공패드(20)나 외부진공패드(30)의 내측부(30a)에 대응되는 지점에 저부 둘레에 평판(10)을 향해 공기를 분사함으로써 평판(10)과의 접촉을 방지하게 되는 것이다.That is, air is blown toward the flat plate 10 around the bottom portion at a position corresponding to the vacuum pad 20 at the point where the flat plate 10 is subjected to a large force to bend or the inside portion 30a of the external vacuum pad 30 Thereby preventing contact with the flat plate 10.

이러한 보조노즐부(40)는 진공패드(20)의 저부 둘레 및 외부진공패드(30) 내측부(30a)의 저부 둘레에 각각 길이 방향을 따라 일체로 하나로 설치될 수도 있으나, 이 경우 유체의 흐름 특히 공기 공급홀(33)을 통해 유입되어 가이드(34)에 의해 가이드되어 배출되는 유체의 흐름이 원할해지지 않을 수 있기 때문에, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 각각 진공패드(20)의 저부 둘레 및 외부진공패드(30) 내측부(30a)의 저부 둘레에 서로 이격된 채 여러 개로 나뉘어 설치됨이 바람직하다.The auxiliary nozzle unit 40 may be integrally formed around the bottom of the vacuum pad 20 and the bottom of the inner side 30a of the outer vacuum pad 30, The flow of the fluid introduced through the air supply hole 33 and guided and discharged by the guide 34 may not be smooth. Therefore, as shown in FIG. 5, the flow rate of the fluid around the bottom and the outside of the vacuum pad 20 It is preferable that the vacuum pad 30 is divided into several portions spaced apart from each other around the bottom of the inner side portion 30a.

아울러, 보조노즐부(40)에서 순각적으로 강한 바람이 공급될 경우 평판(10)에 손상을 주거나 급작한 압력의 변화가 발생할 수 있으므로, 보조노즐부(40) 내부에 코일 형상으로 유로를 설계하거나, 스폰지 등과 같은 저항체(50)를 설치할 수 있다.
In addition, when strong wind is supplied from the auxiliary nozzle unit 40, the flat plate 10 may be damaged or sudden pressure changes may occur. Therefore, a coil-like flow path is designed in the auxiliary nozzle unit 40 Or a resistor 50 such as a sponge may be provided.

이상과 같이 구성된 본 발명에서 외부진공패드(30)는 도 7에 도시된 바와 같은 형상을 취할 수 있는데, 도시된 형상으로 한정되는 것은 아니며, 공지된 다양한 진공패드의 형상에 평판(10)에 대응되는 위치에 따라 일측이 꺾인 형태 등 다양한 형태로 형성될 수 있다 할 것이다.
7, the external vacuum pad 30 is not limited to the shape shown in the drawings, but may be formed in various shapes of known vacuum pads corresponding to the flat plate 10 And may be formed in various shapes such as a shape in which one side is bent according to a position where the first side is bent.

10 : 평판 11 : 접촉방지부
12 : 접촉허용부 20 : 진공패드
30 : 외부진공패드 30a : 내측부
30b : 외측부 31 : 접촉부재
31a : 마찰돌기 32 : 본체
33 : 공급홀 34 : 가이드
40 : 보조노즐부10: flat plate 11: contact prevention part
12: contact allowance part 20: vacuum pad
30: external vacuum pad 30a:
30b: outer side portion 31: contact member
31a: Friction projection 32:
33: feed hole 34: guide
40: auxiliary nozzle portion

Claims (11)

중앙부에 접촉방지부(11)가 형성되어 있고, 접촉방지부(11)의 외곽에 접촉이 허용되는 접촉허용부(12)가 형성되어 있는 이송 대상이 되는 평판(10)과, 상기 평판(10)과 마주하는 면에 상기 접촉방지부(11)에 대응되는 위치에 다수의 비접촉 방식의 진공패드(20)가 배치되어 있으며, 비접촉 방식의 진공패드(20)를 이용하여 상기 평판(10)을 픽업 및 이송시키는 비접촉식 평판 이송 장치에 있어서,
비접촉 방식으로 이루어져 있되, 평면상에서 일측은 상기 평판(10)의 접촉방지부(11) 상에 위치하는 내측부(30a)가 형성되어 있고, 타측은 상기 평판(10)의 접촉허용부(12) 상에 위치하는 외측부(30b)가 형성되어 있되, 상기 외측부(30b)에는 상기 평판(10)의 접촉허용부(12)에 접촉하는 접촉부재(31)가 형성되어 있는 외부진공패드(30)가, 평면상에서 접촉방지부(11)와 접촉허용부(12)의 경계를 따라 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
A flat plate 10 which is formed with a contact preventive portion 11 at a central portion thereof and to which a contact permitting portion 12 permitting contact with the outer periphery of the contact preventive portion 11 is formed, A plurality of non-contact type vacuum pads 20 are disposed at positions corresponding to the contact preventing portions 11 on a surface facing the contact surface 11a of the flat plate 10, A non-contact type flat plate conveying apparatus for picking up and conveying,
And the other side is formed on the contact allowance part 12 of the flat plate 10 on the side of the contact preventive part 11 of the flat plate 10, And an external vacuum pad 30 having a contact member 31 contacting the contact allowance portion 12 of the flat plate 10 is formed on the external side portion 30b. Wherein a plurality of the contact-preventing portions (11) and the contact-permitting portions (12)
Non-contact type plate conveying device.
제 1항에 있어서,
상기 진공패드(20)는 저부 둘레에 평판(10)을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부(40)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the vacuum pad (20) is provided with an auxiliary nozzle part (40) for spraying air toward the flat plate (10) around the bottom part.
Non-contact type plate conveying device.
제 1항에 있어서,
상기 외부진공패드(30)는 내측부(30a)의 저부 둘레에 평판(10)을 향해 공기를 분사하는 보조노즐부(40)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the external vacuum pad (30) is formed with an auxiliary nozzle part (40) for spraying air toward the flat plate (10) around the bottom of the inside part (30a)
Non-contact type plate conveying device.
제 3항에 있어서,
상기 보조노즐부(40)에는 저항체(50)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method of claim 3,
Characterized in that the auxiliary nozzle unit (40) is provided with a resistor (50)
Non-contact type plate conveying device.
제 1항에 있어서,
상기 접촉부재(31)는 저부에 다수 개의 마찰돌기(31a)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the contact member (31) has a plurality of friction protrusions (31a) formed at the bottom thereof.
Non-contact type plate conveying device.
제 1항에 있어서,
상기 접촉부재(31)는 외측부(30b)의 길이 방향을 따라 다수 개가 서로 이격된 채 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of the contact members (31) are spaced from each other along the longitudinal direction of the outer side (30b)
Non-contact type plate conveying device.
제 3항에 있어서,
상기 보조노즐부(40)는 외부진공패드(30) 내측부(30a)의 저부 둘레에 서로 이격된 채 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method of claim 3,
Wherein a plurality of auxiliary nozzle portions (40) are provided around the bottom portion of the inner side portion (30a) of the outer vacuum pad (30)
Non-contact type plate conveying device.
제 1항에 있어서,
상기 접촉부재(31)는 신축성을 갖는 재질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 평판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the contact member (31) is made of a stretchable material.
Non-contact type plate conveying device.
일측에 공기 공급홀이 형성되어 있는 본체와, 상기 공급홀의 하측에 설치되어 있는 가이드를 포함하여 이루어져 있고, 평판 위에 설치되어 공기가 가이드에 의해 본체의 측방향으로 유도되어 본체의 저면 가장자리를 지나 외부로 배출됨에 따라 평판과 가이드 하부에 부압이 발생하도록 된 진공패드에 있어서,
상기 진공패드의 가장자리 일측에 평판과 접촉하는 접촉부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
진공패드.
And a guide provided on a lower side of the supply hole. The air is guided in the lateral direction of the main body by the guide, and the air is guided to the outside of the main body through the bottom edge of the main body, And a negative pressure is generated in the lower part of the flat plate and the guide,
Characterized in that a contact member is provided on one side of the edge of the vacuum pad in contact with the flat plate.
Vacuum pad.
제 9항에 있어서,
상기 진공패드는 접촉부재가 비설치된 가장자리에 하향되게 공기를 분사하는 보조노즐부(40)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는,
진공패드.
10. The method of claim 9,
Wherein the vacuum pad is formed with an auxiliary nozzle unit (40) for spraying air downward at an edge where the contact member is not installed.
Vacuum pad.
제 10항에 있어서,
상기 보조노즐부(40)에는 저항체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는,
진공패드.11. The method of claim 10,
Characterized in that the auxiliary nozzle unit (40) is provided with a resistor.
Vacuum pad.
KR1020120127696A 2012-11-12 2012-11-12 Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it KR101434877B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120127696A KR101434877B1 (en) 2012-11-12 2012-11-12 Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120127696A KR101434877B1 (en) 2012-11-12 2012-11-12 Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140061591A true KR20140061591A (en) 2014-05-22
KR101434877B1 KR101434877B1 (en) 2014-09-03

Family

ID=50890374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120127696A KR101434877B1 (en) 2012-11-12 2012-11-12 Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101434877B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089829A (en) 2020-01-09 2021-07-19 서울과학기술대학교 산학협력단 Non-contact air floating suction device
KR102618502B1 (en) * 2023-07-28 2023-12-28 이태용 Shadow dish non-contact transfer device, and shadow dish transfer method using the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10205519A (en) * 1997-01-17 1998-08-04 Nitto Kohki Co Ltd Suction device
JP2001277173A (en) * 2000-04-03 2001-10-09 Yamaden Kogyo:Kk Sucking device for printed board, and charging machine
JP4299104B2 (en) 2003-11-10 2009-07-22 株式会社ディスコ Wafer transfer mechanism
KR101293288B1 (en) * 2010-04-19 2013-08-09 주식회사 에이엠에이치시스템즈 Acute angle noncontact type vacuum pad

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089829A (en) 2020-01-09 2021-07-19 서울과학기술대학교 산학협력단 Non-contact air floating suction device
KR102618502B1 (en) * 2023-07-28 2023-12-28 이태용 Shadow dish non-contact transfer device, and shadow dish transfer method using the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR101434877B1 (en) 2014-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI643805B (en) Article support device
US20100320786A1 (en) Noncontact type suction gripping device and noncontact type suction gripping frame having the same
JP2021048406A (en) Substrate transfer robot end effector
TW200509378A (en) Thin film integrated circuit device, IC label, container comprising the thin film integrated circuit, manufacturing method of the thin film integrated circuit device, manufacturing method of the container, and management method of product having the cont
JP2018058175A (en) Conveyance device, and conveyance program
KR101434877B1 (en) Vacuum pad and noncontact feed apparatus using it
KR20110019518A (en) Nozzle for holding a substrate and apparatus for transferring a substrate including the same
KR102605684B1 (en) Substrate levitation and transportation device
JP6804900B2 (en) Transport equipment, transport method, and program
KR102515856B1 (en) Chuck table
JP2004345814A (en) Floatation transport device
US20210178599A1 (en) Article conveying system
TWD198931S (en) Part of the holding pad for substrate transportation
TW201420464A (en) Transporting apparatus
KR102156153B1 (en) Picker Apparatus for Transferring Electronic Component
KR101261313B1 (en) Apparatus for aligning and pick up transporting of moving object
JP2001277173A (en) Sucking device for printed board, and charging machine
US9496166B2 (en) Substrate transferring arm and substrate transferring apparatus including the same
US20080050208A1 (en) High speed transporter including horizontal belt
KR20170105197A (en) Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating
JP6576741B2 (en) Substrate conveying conveyor and component mounting apparatus
TWI818152B (en) Transfer devices and overhead trucks
JP2015199162A (en) Non-contact conveyance apparatus
CN110620077B (en) Stage and transport device
KR20190058050A (en) Cleaning device for belt conveyor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170926

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190116

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190625

Year of fee payment: 6