KR20140057862A - A side storage have a enclosed type door equipment and a fume remove equipment - Google Patents

A side storage have a enclosed type door equipment and a fume remove equipment Download PDF

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KR20140057862A KR1020120124147A KR20120124147A KR20140057862A KR 20140057862 A KR20140057862 A KR 20140057862A KR 1020120124147 A KR1020120124147 A KR 1020120124147A KR 20120124147 A KR20120124147 A KR 20120124147A KR 20140057862 A KR20140057862 A KR 20140057862A
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Abstract

The present invention relates to a side storage having an enclosed door device and a fume removing device. The purpose of the present invention is to efficiently remove harmful gas such as fume existing in a wafer in a completely enclosed space, to maximize fume removing efficiency by forming a processing chamber to be isolated from the outside, and to fundamentally block the inflow of outside fume. One or more side storages are included inside an EFEM. The side storage comprises: an enclosed door device which is placed on one side front surface, and opens or closes a processing chamber where a cassette having multiple wafers is inserted; and a fume removing device which is placed in the lower part of the processing chamber. Therefore, the side storage can efficiently remove harmful gas such as fume existing in a wafer in a completely enclosed space, can maximize fume removing efficiency by forming a processing chamber to be isolated from the outside, and can fundamentally block the inflow of outside fume.

Description

밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지{A SIDE STORAGE HAVE A ENCLOSED TYPE DOOR EQUIPMENT AND A FUME REMOVE EQUIPMENT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a side storage device having a closed door device and a fume removing device,

본 발명은 사이드 스토레이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 EFEM(Equipment Front End Module) 내부에 존재하는 흄등의 유해가스 침투를 방지하면서 웨이퍼의 정화작업을 시행할 수 있도록 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a side storage device, and more particularly, to a side storage device which is equipped with a closed door device and a fume removing device to perform a cleaning operation of a wafer while preventing the infiltration of noxious gases such as fumes existing in an Equipment Front End Module (EFEM) The present invention relates to a side storage device equipped with

일반적으로, 웨이퍼 제조공정은 도 1에 도시한 바와 같이 좌측의 반도체 공정장비(BS)에서 이온화주입, 박막증착, 식각, 평탄화공정등의 작업이 완료된 웨이퍼(WF)를 EFEM(MD) 내부의 로보트(RT)에 의해 각 로드포트(LP)에 구비된 카세트(미도시)에 적층한다.Generally, as shown in FIG. 1, a wafer WF is subjected to ionization, thin film deposition, etching, planarization, and the like in a semiconductor processing equipment (BS) on the left side, (Not shown) provided in each load port LP by the load RT.

그런 다음, 이 카세트(CT)를 도 2에 도시한 바와 같은, 사이드 스토레이지(SS)의 공정실(ST)로 이송하여 본 출원인에 의해 2011년 02월 07일 특허출원번호 제 0010653호로 출원된 바 있는 흄 제거장치(미도시)에 의해 상기한 반도체 공정장비(BS)에서 공정 진행중 발생한 흄(Fume)등의 유해가스를 제거한다.Then, the cassette CT is transferred to the processing room ST of the side storage SS as shown in Fig. 2, and is transferred to the processing room ST by the applicant of the present invention, The fume removing device (not shown) removes harmful gases such as fumes generated during the process in the above-mentioned semiconductor processing equipment (BS).

이와 같이, 1차적으로 공정이 완료된 다수 적층된 웨이퍼(WF)는 다른 공정을 위해 우측에 구비된 EFEM(Eqiupment Front End Module)(MD)으로 이송하기 전에 웨이퍼 스토레이지(Wafer Storage)(WS)에 대기한다.As described above, the plurality of stacked wafers WF that have been primarily processed are transferred to the wafer storage WS before being transferred to the EFEM (Equpment Front End Module) Wait.

그러나, 상기한 사이드 스토레이지(SS)는 웨이퍼(WF) 상에 잔존하는 흄(Fume) 및 기타 유해가스를 제거하는데 있어서, 상기한 공정실(ST)이 전면적으로 오픈된 구조이기 때문에, 흄등의 유해가스 제거 효율이 저하되는 문제가 있었다.However, since the above-mentioned process chamber ST is completely opened to remove fumes and other harmful gases remaining on the wafer WF, There has been a problem that the harmful gas removal efficiency is lowered.

또한, 상기한 바와 같이, 흄(Fume) 및 기타 유해가스가 완전히 제거되지 않고, 웨이퍼(WF)의 표면에 부착된 상태로 공정을 진행하게 되면, 기타 다른 반도체 제조 장비의 오염 및 에칭 패턴(Etching Pattern)의 불량 등으로 이어져 결국 제품의 신뢰성이 저하되는 문제가 있었다.Further, as described above, if the fume and other harmful gases are not completely removed and the process is performed while being attached to the surface of the wafer WF, contamination and etching patterns of other semiconductor manufacturing equipment Pattern), and the like, leading to the problem that the reliability of the product is deteriorated.

또한, 공정실(ST)이 오픈되어 있는 구조이므로, 외부의 흄(Fume)까지 공정실(ST) 내부로 유입됨에 따라 추가 오염을 유발하는 문제가 있었다.Further, since the process chamber ST is opened, foreign fumes are introduced into the process chamber ST, causing additional contamination.

본 발명은 상술한 바와 같은, 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 흄(Fume) 등의 유해가스를 완전히 밀폐된 공간에서 제거할 수 있도록 함으로서, 웨이퍼 상에 잔존하는 흄(Fume) 제거 효율을 높이도록 하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for removing harmful gas such as fumes from a completely enclosed space, (Fume) removal efficiency.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기한 공정실을 외부로 부터 차단된 독립공간으로 형성하여 흄 제거 효율을 극대화함과 동시에 외부에 있는 흄의 유입을 원천적으로 차단하는데 있다.Another object of the present invention is to maximize the efficiency of the fume removal by at the same time to prevent the inflow of fumes from the outside, by forming the process chamber as an independent space isolated from the outside.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 별도의 전원 없이도 보다 효율높은 흄 제거장치를 널리 공급하도록 하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a fume removal apparatus with a more efficient operation without a separate power source.

이러한 목적으로 이루어진 본 발명은;The present invention made for this purpose comprises:

EFEM 내부에 적어도 하나 이상 구비되는 사이드 스토레이지에 관한 것으로,The present invention relates to a side storage structure provided in at least one of the inside of an EFEM,

상기 사이드 스토레이지는, The side storage device

일측 전면에 구비되어, 다수의 웨이퍼가 구비된 카세트가 투입되는 공정실을 개폐하는 밀폐형 도어장치와;A closed door device provided on one side of the door and opening / closing a process chamber into which a cassette having a plurality of wafers is inserted;

상기 공정실 하측에 구비된 흄 제거장치를 포함한다.
And a fume removing device disposed under the process chamber.

또한, 상기 밀폐형 도어장치는,Further, in the closed door device,

상기 사이드 스토레이지의 일측 수직방향으로 구비되는 도어프레임과;A door frame provided at one side of the side surface of the side surface of the side panel;

상기 도어 프레임의 내측에서 상, 하 수직방향으로 이동하는 슬라이드 도어와;A slide door vertically moving upward and downward from the inside of the door frame;

상기 슬라이드 도어를 상, 하 수직방향으로 이동시키는 슬라이드 장치로 이루어진다.
And a slide device for moving the slide door vertically and downward.

또한, 상기 도어프레임은,Further, in the door frame,

상기 흄 제거장치의 일측에 면접 장착되며, 상, 하 좌, 우 4변에 직각방향으로 구비되는 플랜지와, 상기 플랜지중 좌, 우 수직방향 대칭형으로 구비되는 슬라이드 레일과, 상기 슬라이드 레일의 직각방향 상, 하 수직 방향으로 형성된 제 1, 2개구부로 이루어지는 제 1프레임과.A flange provided on one side of the fume removing device and provided in a direction perpendicular to the upper, lower, left, and right sides of the fume removing device, a slide rail provided symmetrically with respect to the left and right sides of the flange, A first frame including first and second openings formed in a vertical direction and a vertical direction;

상기 제 1프레임의 대칭방향으로 결합하도록 상, 하 좌, 우 4변에 직각방향으로 구비되는 플랜지와, 상기 제 1개구부와 동일규격으로 제 3개구부가 형성된 제 2프레임으로 이루어진다.
A flange provided in a direction perpendicular to the four sides of the upper, lower, left, and right sides so as to engage in a symmetrical direction of the first frame, and a second frame having a third opening with the same standard as the first opening.

또한, 상기 제 1프레임은,Further, in the first frame,

상기 사이드 스토레이지와 볼트 체결이 용이하도록 테두리부에 다수 형성된 제 1볼트홀을 더 포함한다.
And further includes a first bolt hole formed at a rim portion to facilitate bolt tightening with the side strap.

또한, 상기 제 2프레임은,Further, in the second frame,

상기 제 1프레임의 플랜지와 결합이 용이하도록 상, 하 수직방향으로 다수 형성된 제 2볼트홀을 더 포함한다.And a plurality of second bolt holes formed vertically and vertically so as to facilitate engagement with the flange of the first frame.

또한, 상기 슬라이드 도어는,In addition,

상기 도어프레임의 좌, 우 양측 수직방향으로 구비된 슬라이드 레일과 결합할 수 있도록 양측에 대칭형으로 슬라이드 홈이 구비되고, 하측 중심에 구비된 장착돌기로 이루어진다.
A slide groove is provided on both sides of the door frame so as to engage with the slide rails provided on the left and right sides of the door frame, and a mounting protrusion provided at the lower center of the slide groove.

또한, 상기 슬라이드 장치는,In addition, the above-

상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 면접하는 장착 플레이트와, 상기 장착 플레이트에 양단이 결합되며, 나란히 구비되는 슬라이드 레일과, 상기 슬라이드 레일을 따라 길이방향으로 이동하는 실린더블럭으로 이루어진 로드리스 실린더로 이루어진다.
A support bracket provided on both sides of the second opening portion and horizontally on both sides of the second opening portion; a mounting plate to be fitted to the support bracket; a slide rail having both ends thereof coupled to the mounting plate; And a rodless cylinder consisting of a cylinder block moving in the direction of the cylinder.

또한, 상기 슬라이드 장치는,In addition, the above-

상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 제 1, 2지지브라켓과, 상기 제 2지지브라켓의 상측에 길이방향으로 구비되며, 전, 후 방향으로 와이어 풀리를 갖춘 승강실린더와, 상기 제 1지지브라켓의 하측에 구비된 가이드롤러와 일단은 상기 승강실린더 후방에 장착되며, 타단은 상기 와이어풀리에 도르레식으로 다수 회 감기며, 상기 가이드롤러를 거쳐 상기 슬라이드 도어의 장착돌기에 장착되는 와이어 로프로 이루어진다.
A lifting cylinder provided in a longitudinal direction on the upper side of the second support bracket and having wire pulleys in forward and backward directions; One end of the guide roller is installed on the lower side of the first support bracket, and the other end of the guide roller is wound on the wire pulley by a plurality of turns. The guide roller is mounted on the mounting protrusion of the slide door through the guide roller Wire rope.

또한, 상기 슬라이드 장치는,In addition, the above-

상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 지지브라켓과,A support bracket disposed horizontally on both sides of the second opening,

상기 지지브라켓에 양단이 회전가능하도록 결합된 스크류와, 상기 스크류에 나사결합되며 상기 슬라이드 도어 하측의 장착돌기에 장착되는 너트와, 상기 스크류의 하단과 커플링에 의해 축결합된 감속기로 이루어진다.
A nut coupled to the support bracket so as to be rotatable at both ends thereof, a nut screwed to the screw and mounted on the mounting protrusion on the lower side of the slide door, and a speed reducer axially coupled to the lower end of the screw by coupling.

또한, 상기 흄 제거장치는,In addition,

상기 공정실 하측에 구비된 흡기호퍼와;An intake hopper provided at a lower side of the processing chamber;

원반형으로 형성되며, 상기 흡기호퍼 하측에 구비되어 상기 공정실 내부의 공기를 유입할 수 있도록 그 중심에 유입구가 형성된 제 1본체와;A first body formed in a disk shape and provided at an upper portion of the intake hopper and having an inlet at the center thereof so as to allow air in the processing chamber to flow;

상기 제 1본체의 하부 외측이 삽입되도록 원형 요홈으로 형성된 안착부와, 상기 안착부의 단면상 내측에 원형 요홈으로 형성된 순환부와, 상기 순환부의 직각방향으로 형성된 에어 공급구와, 상기 제 1본체의 하측과 소정거리 이격되도록 단면상 상단이 상기 안착부의 상면보다 낮은 위치에 형성되며, 상기 순환부의 단면상 내측에 원형으로 형성된 에어 유출부와, 상기 에어 유출부를 통해 유출된 에어가 확산되도록 단면상 내경이 확경되는 확산부로 이루어진 제 2본체로 이루어진다.
An air supply port formed in a direction perpendicular to the circulation unit, and an air supply port formed in a lower portion of the first body, An air outflow section formed at a position lower than the upper surface of the seat section so as to be spaced apart from the upper surface of the seat section by a predetermined distance and formed in a circular shape on the inner side of a section of the circulation section and a diffusion section whose inner diameter is enlarged in cross section to diffuse the air flowing through the air outflow section As shown in Fig.

또한, 상기 제 1본체의 유입구는,In addition, the inlet of the first main body may be formed,

일측에서 타측으로 갈수록 점진적으로 내경이 확경되는 유도 경사부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
And an induction slope part having an inner diameter gradually increased gradually from one side to the other side.

또한, 상기 제 2본체의 순환부는, In addition, the circulation unit of the second main body may include:

상기 에어 공급구로 공급되는 공기 유체의 저항을 최소화하고, 상기 에어 유출부를 통해 신속한 배출이 이루어질 수 있도록 단면상 저부에 형성된 와류 형성부를 더 포함한다.And a vortex forming portion formed at a bottom portion in a cross section so as to minimize the resistance of the air fluid supplied to the air supply port and allow quick discharge through the air outlet portion.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 흄(Fume) 등의 유해가스를 완전히 밀폐된 공간에서 제거할 수 있도록 함으로서, 웨이퍼 상에 잔존하는 흄(Fume) 제거 효율을 높이도록 하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, harmful gases such as fumes can be removed from a completely enclosed space, thereby improving fume removal efficiency remaining on the wafer.

또한, 웨이퍼가 다수 적층된 카세트가 구비되는 공정실을 외부로 부터 완전히 차단된 독립공간으로 형성하여 흄 제거 효율을 극대화함과 동시에 외부에 있는 흄의 유입을 원천적으로 차단하는 효과가 있다.In addition, the process chamber including the cassettes in which a plurality of wafers are stacked is formed as an independent space completely blocked from the outside, thereby maximizing the fume removal efficiency and at the same time, blocking the inflow of fumes from the outside.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 별도의 전원 없이도 흄등의 유해가스의 제거효율을 높인 흄 제거장치를 널리 공급하도록 하는 효과가 있다.It is another object of the present invention to provide a fume removing apparatus which is capable of removing a harmful gas such as a fume without requiring a separate power source.

도 1은 종래의 사이드 스토레이지가 구비된 웨이퍼 제조공정의 각 장비를 평면상에서 바라본 도면이고,
도 2는 종래의 사이드 스토레이지를 보인 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치의 구성을 갖춘 사이드 스토레이지를 보인 분해사시도이고,
도 4는 도 2 “A”방향에서 바라본 도면으로서, 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치를 보인 도면이고,
도 5는 도 3 “B”방향에서 바라본 도면으로서, 본 발명에 따른 흄 제거장치를 보인 도면이고,
도 6의 가) 내지 다)는 본 발명에 따른 사이드 스토레이지의 작용을 순차적으로 보인 도면이고,
도 7은 본 발명에 따른 밀폐형 도어의 다른 실시예를 보인 도면이고,
도 8과 도 9는 본 발명에 따른 밀폐형 도어의 또 다른 실시예를 보인 도면들이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a plan view of a conventional apparatus for manufacturing a wafer having a side storage structure,
2 is a perspective view showing a conventional side storage,
3 is an exploded perspective view showing a side storage device having a configuration of a closed door device and a fume removing device according to the present invention,
Fig. 4 is a view of the closed door device according to the present invention as viewed from the direction of Fig. 2 " A &
FIG. 5 is a view showing the fume removing apparatus according to the present invention, as viewed from the direction of FIG. 3 "B"
6A to 6D of FIG. 6 are views sequentially showing the action of the side storage according to the present invention,
7 is a view showing another embodiment of the closed door according to the present invention,
8 and 9 are views showing still another embodiment of a closed door according to the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 사이드 스토레이지(1)는 밀폐형 도어장치(10)와 흄 제거장치(50)를 포함한다.(이하, 설명 편의상 사이드 스토레이지의 부호를 종래와 달리 붙여 설명한다)3 to 5, the side stowage 1 according to the present invention includes a closed door device 10 and a fume removing device 50. (For convenience of description, Differently explained)

밀폐형 도어장치(이하, “도어장치”라 칭한다)(10)는 사이드 스토레이지(1)의 일측 전면에 구비되는 것으로서, 도어 프레임(100)과 슬라이드 도어(200)와 슬라이드 장치(300)로 대별된다.The door device 100 includes a sliding door 200 and a sliding device 300. The door device 100 includes a sliding door 200 and a sliding device 300. The door device 100 is a sliding door device, do.

도어 프레임(100)은 상기 사이드 스토레이지(1)의 일측에 수직방향으로 구비되는 것으로서, 제 1, 2프레임(110)(130)으로 이루어진다.The door frame 100 is vertically provided on one side of the side straighs 1 and comprises first and second frames 110 and 130.

도시한 바를 참조하면, 제 1프레임(110)은 상, 하, 좌, 우 4변 직각방향으로 플랜지(111)가 구비되고, 이 플랜지(111)중 좌, 우 양측 수직방향으로 구비되는 플랜지(111)의 내측 길이방향 대칭형으로 슬라이드 레일(113)이 구비된다.The first frame 110 is provided with flanges 111 in the directions of the four sides of the upper, lower, left, and right sides, and a flange 111 provided on the left and right sides of the flange 111 111 are provided with slide rails 113 in a symmetrical shape in the longitudinal direction.

한편, 제 1프레임(110)의 상, 하 수직방향으로 제 1, 2개구부(115)(117)가 마련되어 있다.On the other hand, the first and second openings 115 and 117 are provided in the vertical direction of the first frame 110.

제 1개구부(115)는 후술하는 슬라이드 도어(200)에 의해 개폐되도록 형성되는 것이고, 제 2개구부(117)는 후술하는 슬라이드 장치(300)의 원활한 작용을 위해 형성되는 것이다.The first opening 115 is formed to be opened and closed by a slide door 200 described later and the second opening 117 is formed for smooth operation of a slide device 300 described later.

이와 같은, 제 1프레임(110)은, 사이드 스토레이지(1)의 일면에 볼트 체결이 용이하도록 테두리부에 다수의 제 1볼트홀(119)이 형성된다.In the first frame 110, a plurality of first bolt holes 119 are formed in the rim portion of the first frame 110 so that bolt fastening is facilitated on one side of the side portion of the side surface of the side portion of the first frame 110.

이 제 1볼트홀(119)과 후술하는 제 2프레임(130)의 제 2볼트홀(135)에는 와셔붙이머리 드릴피스를 이용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use a washer head drill piece for the first bolt hole 119 and the second bolt hole 135 of the second frame 130 to be described later.

상기한 와셔붙이머리 드릴피스(일명, 드릴피스)는 나사 단부에 드릴이 일체로 형성된 것으로, 별도의 드릴없이도 상기한 나사 단부의 드릴이 구멍을 형성하며 체결되는 것이다.The above-mentioned washer-type hair-drill piece (aka, a drill piece) is formed by integrally forming a drill on the end of the screw, and the drill of the screw end described above is tightened without a separate drill.

제 2프레임(130)은, 상기한 제 1프레임(110)의 대칭방향으로 결합하도록 상, 하, 좌, 우 4변 직각방향으로 플랜지(131)가 구비되는데, 이 제 2프레임(130)은 제 1프레임(110)의 플랜지(111)의 외측에 플랜지(131)가 구비될 수 있도록 다소 큰 규격으로 형성한다.The second frame 130 is provided with a flange 131 in a direction perpendicular to the four sides of the upper, lower, left, and right sides so as to be coupled in the direction of symmetry of the first frame 110, A flange 131 is formed on the outer side of the flange 111 of the first frame 110 to have a somewhat larger standard.

또한, 제 2프레임(130)은 상기한 제 1프레임(110)의 제 1개구부(115)와 동일규격으로 제 3개구부(133)가 형성되는데, 이 제 1, 3개구부(115)(133)는 후술하는 작용에서 후술하는 슬라이드 도어(200)에 의해 개폐되는 것이다.The second frame 130 has a third opening 133 of the same size as the first opening 115 of the first frame 110. The first and third openings 115 and 133, Is opened / closed by the slide door 200 described later in the operation to be described later.

도시하지 않았으나, 상기한 제 1, 3개구부(115)(133)에는 후술하는 슬라이드 도어(200)와의 밀폐를 위해 패킹(Packing)을 구비하는 것이 바람직하다. Although not shown, the first and third openings 115 and 133 are preferably provided with a packing for sealing with the slide door 200 described later.

또한, 상기한 플랜지(133)의 상, 하 수직방향으로는 등간격으로 다수의 ㅈ제 2볼트(135)이 형성되어 상기한 와셔붙이머리 드릴피스에 의해 제 1프레임(110)의 플랜지(111)과 결합이 용이하도록 하였다. In addition, a plurality of bolts 135 are formed at equal intervals in the vertical direction of the flange 133, and the flange 111 of the first frame 110 is fixed by the washer- .

이와 같은, 도어프레임(100)의 내측에 슬라이드 도어(200)가 구비된다.The slide door 200 is provided inside the door frame 100.

슬라이드 도어(200)는, 상기한 제 1프레임(110) 플랜지(111)의 좌, 우 양측 수직방향으로 구비된 슬라이드 레일(113)과 결합할 수 있도록 양측에 대칭형으로 슬라이드 홈(210)이 구비되어 있다.The slide door 200 is provided with slide grooves 210 symmetrically on both sides so as to engage with the slide rails 113 provided in the vertical direction on both left and right sides of the flange 111 of the first frame 110 .

이 슬라이드 홈(210)에는 상기한 슬라이드 레일(113)과의 원활한 윤활을 위해 그리스(Grease)를 도포하는 것이 바람직하다.It is preferable to apply grease to the slide groove 210 to smoothly lubricate the slide rail 113.

이 슬라이드 도어(200)의 하측에 장착돌기(230)가 구비되는데, 이 장착돌기(230)는 슬라이드 도어(200)의 상, 하 슬라이딩이 용이하도록 후술하는 슬라이드 장치(300)와의 결합이 용이하도록 구비되는 것이다.A mounting protrusion 230 is provided on the lower side of the slide door 200. The mounting protrusion 230 facilitates easy sliding of the slide door 200 with the slide device 300 Respectively.

또한, 상기 슬라이드 장치(300)는, 지지브라켓(310)과 로드리스 실린더(330)로 이루어진다.The slide device 300 includes a support bracket 310 and a rodless cylinder 330.

지지브라켓(310)은, 상기한 제 2개구부(117) 상, 하 양측에 대칭형으로 구비된다. The support bracket 310 is provided symmetrically on the lower and upper sides of the second opening 117.

이 지지브라켓(310) 사이에 로드리스 실린더(330)가 구비되는데, 이 로드리스 실린더(330)는 장착 플레이트(331)와 슬라이드 레일(333)과 실린더 블럭(335)로 이루어진다.A rodless cylinder 330 is provided between the support brackets 310. The rodless cylinder 330 includes a mounting plate 331, a slide rail 333, and a cylinder block 335.

장착 플레이트(331)는, 상기한 지지브라켓(310)에 면접하며 도시하지 않은 볼트에 의해 지지브라켓(310)과 결합되어 유동이 방지된다.The mounting plate 331 is engaged with the support bracket 310 by a bolt (not shown) and is prevented from flowing.

이와 같이, 상, 하 방향으로 구비된 장착 플레이트(331)에 양단이 결합된 적어도 하나 이상의 슬라이드 레일(333)이 나란히 구비되며, 이 슬라이드 레일(333)을 따라 슬라이딩하며 수직방향으로 이동하도록 실린더 블럭(335)이 구비된다.In this manner, at least one slide rail 333 having both ends thereof coupled to the mounting plate 331 provided in the upward and downward directions is provided side by side, and the cylinder block 331 slides along the slide rail 333 and moves in the vertical direction, (335).

이 실린더 블럭(335)에는 도시하지는 않았으나, 스위치용 자석이 구비되어 이 자석의 자성(磁性)에 의해 상, 하 방향으로 이동하는 것이다.Although not shown in the figure, the cylinder block 335 is provided with a switch magnet and moves upward and downward by the magnetism of the magnet.

한편, 흄 제거장치(50)는, 흡기호퍼(51)와 제 1본체(500)와 제 2본체(600)로 대별된다.Meanwhile, the fume removing apparatus 50 is roughly divided into an intake hopper 51, a first main body 500, and a second main body 600.

흡기호퍼(51)는 상기 공정실 하측에 구비될 수 있도록 사각 형상으로 이루어지며, 그 하측은 후술하는 제 1본체(500)와 결합될 수 있도록 원형으로 형성되어 있다.The intake hopper 51 is formed in a rectangular shape so as to be disposed below the process chamber, and the lower side thereof is formed in a circular shape so as to be coupled to the first body 500 described later.

이 흡기호퍼(51)의 하측에 제 1본체(500)가 구비된다.The first body 500 is provided below the intake hopper 51.

제 1본체(500)는, 원반형으로 형성되며, 외부의 공기를 유입할 수 있도록 그 중심에 유입구(510)가 형성된다.The first body 500 is formed in a disk shape, and an inlet 510 is formed at the center of the first body 500 so that external air can be introduced.

이 유입구(510)는 도시한 방향을 기준하여 하측에서 상측으로 갈수록 점진적으로 내경이 확경되는 유도 경사부(511)가 형성되어 있다.The inlet 510 is formed with an induction slope part 511 whose inner diameter gradually increases gradually from the lower side to the upper side with reference to the illustrated direction.

이와 같은 유도 경사부(511)는 최대한 많은 양의 외부 공기를 유입할 수 있도록 가능하면 큰 각도로 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the induction slant part 511 is formed at a large angle as much as possible so as to allow as much external air as possible.

상기한 제 1본체(500)는 제 2본체(600)와 결합되는데, 이 제 2본체(600)는 안착부(610)와 순환부(630)와 에어 공급구(650)와 에어 유출부(670)와 확산부(690)로 이루어진다.The first main body 500 is coupled to the second main body 600. The second main body 600 includes a seating portion 610, a circulation portion 630, an air supply port 650, 670 and a spreader 690.

안착부(610)는 상기한 제 1본체(500)의 하부 외측이 삽입되도록 원형 요홈으로 형성된다.The seating portion 610 is formed as a circular groove so that the lower outer side of the first body 500 is inserted.

순환부(630)는 상기한 안착부(610)의 단면상 내측에 원형 요홈으로 형성되며, 도시한 방향을 기준하여 요홈의 저부에 단면상 반원형의 와류 형성부(631)가 형성되어 있다.The circulation part 630 is formed as a circular groove on the inner side of the cross section of the seating part 610 and has a semicircular vortex forming part 631 formed on the bottom part of the groove with reference to the illustrated direction.

이 와류 형성부(631)는 후술하는 에어 공급구(650)로 공급되는 공기 유체의 저항을 최소화하고, 이 공기 유체가 에어 유출부(670)를 통해 신속한 배출이 이루어질 수 있도록 와류를 형성시킨다.The vortex forming portion 631 minimizes the resistance of the air fluid supplied to the air supply port 650 to be described later and forms a vortex so that the air fluid can be quickly discharged through the air outlet portion 670.

에어 공급구(650)는 상기한 순환부(630)의 직각방향으로 한 개소만 형성되는데, 도시하지 않은 배관자재인 니플(Nipple)을 결합하여 공기 압축기(Air Compressor)의 압축공기가 공급된다.The air supply port 650 is formed at only one position in the direction perpendicular to the circulation unit 630. Nipple as a piping material, not shown, is coupled to supply compressed air from an air compressor.

에어 공급구(650)는 상기한 순환부(630)에서 에어의 순환이 원활하게 이루어지므로 한 개소에만 설치되어도 무방하다.The air supply port 650 may be installed at only one place because air circulates smoothly in the circulation unit 630.

한편, 에어 유출부(670)는, 상기한 제 1본체(500)의 하측과 소정거리 이격되도록 단면상 상단이 안착부(610)의 상면보다 낮은 위치에 형성되며, 단면상 상단은 라운드형으로 와류 촉진부(671)가 형성되어 있다.On the other hand, the air outflow portion 670 is formed at a position lower than the upper surface of the seat portion 610 so as to be spaced apart from the lower side of the first body 500 by a predetermined distance, A portion 671 is formed.

이 와류 촉진부(671) 역시, 상기한 에어 공급구(650)로 공급된 압축공기가 순환부(630)에서 형성된 와류를 촉진하고 공기 유체의 저항을 최소화할 수 있도록 단면상 라운드형으로 형성되어 있다.The vortex accelerating part 671 is also formed in a round shape in cross section so that the compressed air supplied to the air supply port 650 can promote eddy current formed in the circulating part 630 and minimize resistance of the air fluid .

이와 같이, 에어 유출부(670)를 통해 유출된 에어는 확산부(690)를 통해 더욱 증폭된다.Thus, the air flowing out through the air outflow portion 670 is further amplified through the diffusion portion 690.

확산부(690)는 도시한 방향 기준하여 하측으로 갈 수록 내경이 점진적으로 확경됨에 따라, 에어의 배기 폭이 증폭되며, 이 증폭된 에어는 본 발명에 따른 배기장치(10)의 확산부(690) 뿐 아니라 그 주변, 다시 말해서 사각형의 모서리 구석부위에 떠 도는 공기(도 5의 “W”표시참조)도 흡수하여 배기시키는 것이다.The diffusion width of the air is amplified as the inner diameter of the diffusion portion 690 gradually increases toward the lower side with reference to the illustrated direction and the amplified air flows into the diffusion portion 690 of the exhaust system 10 according to the present invention (See the " W " mark in FIG. 5) floating around the corners of the square, that is, the periphery of the square.

계속해서 도 5와 도 6의 가) 내지 다)를 참조로 하여 본 발명에 따른 사이드 스토레이지(1)의 밀폐형 도어장치(10)와 흄 제거장치(50)의 작용, 효과를 설명한다.The operation and effects of the closed door device 10 and the fume removal device 50 of the side storage device 1 according to the present invention will be described with reference to Figs. 5 and 6A to 6D.

우선, 가)에 도시한 바를 참조하면, 사이드 스토레이지(1)의 공정실(ST)에 다수의 웨이퍼(WF)가 구비된 카세트(CT)를 투입한다.First, referring to Fig. 1 (a), a cassette CT equipped with a plurality of wafers WF is charged into a processing chamber ST of the side storage 1.

이 때, 카세트(CT)가 투입되는 일측의 슬라이드 도어(200)는 하측에서 대기하고 있는 상태로서, 상기한 카세트(CT)의 투입이 용이한 상태가 된다.At this time, the slide door 200 on one side to which the cassette CT is inserted is in a standby state on the lower side, and the insertion of the cassette CT is easy.

이와 같이, 카세트(CT)의 투입이 완료되면, 나)에 도시한 바와 같이, 로드리스 실린더(330)의 실린더 블록(335)이 자성에 의해 슬라이드 레일(333)을 따라 상측으로 이동하고, 이 실린더 블록(335)과 결합되어 있는 장착돌기(230)와 일체로 형성된 슬라이드 도어(200)가 상측으로 이동하며 닫히는 것이다.When the insertion of the cassette CT is completed as described above, the cylinder block 335 of the rodless cylinder 330 is moved upward by the magnetic force along the slide rail 333 as shown in (b) The slide door 200 integrally formed with the mounting protrusion 230 coupled with the cylinder block 335 is moved upward and closed.

이와 같이, 본 발명에 따른 도어장치(10)에 의해 사이드 스토레이지(1)의 공정실(ST)이 외부와 차폐된 상태가 되면, 본 발명에 따른 흄 제거장치(50)에 의해 흄 제거작업이 이루어진다.As described above, when the process chamber ST of the side storage device 1 is shielded from the outside by the door device 10 according to the present invention, the fume removal operation .

도 5와 도 6의 나)를 참조하면, 본 발명에 따른 흄 제거장치(50)는 상기한 슬라이드 도어(200)가 닫힘으로서 상기한 공정실(ST)이 밀폐된 상태가 되면, 도시하지 않은 콘트롤러의 신호에 따라, 흄 제거장치(50)에 공기압축기(Air Compressor)(미도시)로부터 에어가 공급된다.Referring to FIGS. 5 and 6, when the process chamber ST is closed by closing the slide door 200, the fume removing device 50 according to the present invention is not shown, Air is supplied from an air compressor (not shown) to the fume removing device 50 in accordance with the signal from the controller.

이 에어는 본 발명에 따른 흄 제거장치(50)의 에어 공급구(650)를 통해 공급되며, 평면상에서 바라볼 때, 환형으로 이루어진 순환부(630)를 순환하며, 이 순환부(630) 저부에 마련된 와류 형성부(631)에서 와류가 형성된다.The air is supplied through the air supply port 650 of the fume removal apparatus 50 according to the present invention and circulates through the circulation unit 630 formed in an annular shape when viewed in plan, A vortex is formed in the vortex forming part 631 provided in the vortex generating part 631. [

이와 같이, 와류가 형성된 에어유체는 제 1본체(500)의 저부와 소정거리 이격되어 있는 에어 유출부(670)를 통해 빠른 속도로 배출된다.Thus, the air fluid having the vortex is discharged at a high speed through the air outlet 670, which is spaced apart from the bottom of the first body 500 by a predetermined distance.

이 에어 유출부(670) 역시 상기한 와류 형성부(631)에 의해 와류가 형성된 에어의 저항이 최소화하도록 상단이 라운드 형상으로 이루어져 와류가 촉진된다.The air outflow portion 670 also has a round top shape to minimize the resistance of the air formed by the vortex forming portion 631, thereby facilitating vortex flow.

이와 같이, 형성된 와류에 의해 더욱 속도가 빨라진 공기 유체는 저항없이 확산부(690)를 통해 확산되며 배출된다.In this way, the air fluid that is further accelerated by the formed vortex is diffused and discharged through the diffusion portion 690 without resistance.

즉, 일정속도로 유입된 에어는 상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 흄 제거장치(50)의 순환부(630)와 에어 유출부(670), 확산부(670)등의 작용에 의해 와류가 형성되며 더욱 빠른 속도로 확산되며 배출된다.That is, as described above, the air introduced at a constant speed is vortexed by the action of the circulation unit 630, the air outflow unit 670, the diffusion unit 670, and the like of the fume removal apparatus 50 according to the present invention, And is diffused and discharged at a faster rate.

이에 따라, 본 발명에 따른 배기장치(10)의 확산부(290)를 통해 확산되며 빠르게 배출되는 에어는 주변에 떠 도는 공기도 흡수하며 배기된다.Accordingly, the air quickly diffused through the diffusion part 290 of the exhaust device 10 according to the present invention absorbs the air floating around, and is exhausted.

이와 같이, 웨이퍼(WF)에 잔존하는 흄가스의 제거가 완료되면, 도 6의 다)에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 도어장치(10)가 개방되며 후속공정의 진행이 용이하도록 이동한다.When the removal of the fume gas remaining on the wafer WF is completed as described above, the door device 10 according to the present invention is opened and moved to facilitate the progress of the subsequent process, as shown in Fig. 6B) .

이와 같이, 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치(10)와 흄 제거장치(50)에 의해 사이드 스토레이지(1)는 외부와 차폐된 상태로 공정실(ST) 내부에서 흄 제거작업이 이루어짐으로서, 흄 제거작업의 효율이 향상되었다.As described above, the fume removing operation is performed inside the process chamber ST in a state where the side storage device 1 is shielded from the outside by the closed door device 10 and the fume removing device 50 according to the present invention, The efficiency of the removal operation is improved.

나아가, 외부와는 차폐된 상태로 흄 제거작업이 이루어짐으로서, 외부에 있는 흄의 유입을 원천적으로 차단하였다.Further, since the fume removing operation is performed in a state of being shielded from the outside, the inflow of fumes from the outside is originally blocked.

더 나아가, 본 발명에 따른 흄 제거장치(50)는 별도의 전원없이도 에어의 배기가 가능함으로서, 유지보수 비용이 절감된다.Furthermore, the fume removal apparatus 50 according to the present invention can exhaust air without a separate power source, thereby reducing the maintenance cost.

더 나아가, 전원에 의해 작동하는 장치가 아니기 때문에 고장 없이 거의 반영구적으로 사용할 수 있으며, 상술한 바와 같은, 순환부(630)와 에어 유출부(670), 확산부(690)등에 의해 주변에 떠도는 공기까지도 흡수함으로서, 사각지대가 형성되지 않고, 배기효율을 향상시켰다. Further, since it is not a device operated by a power source, it can be used almost semi-permanently without any trouble, and can be used semi-permanently by the circulation part 630, the air outflow part 670, the diffusion part 690, So that a dead zone is not formed and the exhaust efficiency is improved.

상기한 흄 제거장치(50)는 사이드 스토레이지(1)에 적용된 실시예에 한정하여 설명하였지만, 사이드 스토레이지 이외에 웨이퍼 스토레이지(Wafer Storage)에 적용하여도 본 발명에 따른 소기의 목적을 달성할 수 있음은 물론이다.Although the fume removing apparatus 50 has been described in the embodiment applied to the side storage 1, it is also possible to apply the present invention to the wafer storage in addition to the side storage, Of course.

도 7에 도시한 것은 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치(10)의 구성중 슬라이드 장치(300)의 다른 실시예를 보인 것이다.(이하, 일 실시예와 동일한 구성인 도어프레임(100)과 슬라이드 도어(200)에 대해서는 설명을 생략하고, 각 구성의 부호는 달리 붙여 설명한다) 7 shows another embodiment of the slide device 300 in the structure of the closed door device 10 according to the present invention. (Hereinafter, the door frame 100, which is the same as the one embodiment, (200) will not be described, and the description of each component will be made differently)

도시한 바와 같이, 슬라이드 장치(300)는, 제 2개구부(117) 상, 하 양측 수평방향으로 제 1, 2지지브라켓(310)(320)이 구비된다.As shown in the drawing, the slide apparatus 300 is provided with first and second support brackets 310 and 320 in the horizontal direction on the lower and both sides of the second opening 117.

제 1지지브라켓(310)은 상기 제 2지지브라켓(320)의 상측에 대칭형으로 구비되며, 그 하측에 가이드롤러(343)가 구비된다.The first support bracket 310 is provided symmetrically on the upper side of the second support bracket 320 and a guide roller 343 is provided on the lower side thereof.

제 2지지브라켓(320)의 상측에는 승강실린더(341)가 구비되는데, 이 승강실린더(341)의 전, 후 방향으로는 와이어 풀리(342)가 구비되어 있다.An elevating cylinder 341 is provided on the upper side of the second supporting bracket 320 and a wire pulley 342 is provided in the front and rear directions of the elevating cylinder 341.

와이어로프(345)는 일단이 상기한 승강실린더(341)의 후방에 장착되며, 타단은 승강실린더(341) 전, 후방에 구비된 와이어풀리(342)에 도르레식으로 다수 회 감기며, 상기한 가이드롤러(343)를 거쳐 상기 슬라이드 도어(200)의 장착돌기(230)에 장착되어 있다.One end of the wire rope 345 is mounted on the rear side of the lifting cylinder 341 and the other end is wound many times on the wire pulley 342 provided before and after the lifting cylinder 341, And is attached to the mounting protrusion 230 of the slide door 200 through the guide roller 343. [

상기한 와이어풀리(342)는 도시한 바와 같이, 와이어로프(345)가 감기는 골(342a)이 복렬로 형성되고, 와이어 로프(345)가 반복적으로 권취되기 때문에 복합도르레의 원리로서, 상기 승강실린더(341)의 짧은 행정거리(Stroke)에 비해, 슬라이드 도어(200)의 상, 하 이동거리는 증가한다.As shown in the figure, the wire pulley 342 is formed in a double row in which the wire rope 345 is wound, and the wire rope 345 is repeatedly wound. Therefore, as a principle of the composite pulley, The moving distance of the slide door 200 is increased as compared with the short stroke distance (stroke) of the cylinder 341. [

도 8에 도시한 것은 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치(10)의 또 다른 실시예로서, 제 2개구부(117) 상, 하 양측에 지지브라켓(310)을 구비하고, 이 지지브라켓(310)에 양단이 회전가능하도록 스크류(351)를 결합하고, 이 스크류(351)에는 너트(353)를 나사결합한다.8 shows another embodiment of the closed door device 10 according to the present invention. The supporting bracket 310 is provided on both sides of the second opening 117, The screw 351 is coupled so that both ends are rotatable, and the nut 353 is screwed to the screw 351.

또한, 스크류(351)의 하단은 커플링(355)에 의해 감속기(350)의 출력축(350a)과 축결합된다.The lower end of the screw 351 is axially coupled to the output shaft 350a of the speed reducer 350 by a coupling 355. [

따라서, 이 감속기(350)의 회전에 따라 스크류(351)가 회전하고, 이 스크류(351)와 나사결합된 너트(353)가 상, 하 방향으로 이동함에 따라 슬라이드 도어(200)도 상, 하 이동한다.Accordingly, as the screw 351 rotates in accordance with the rotation of the speed reducer 350 and the nut 353 screwed with the screw 351 moves upward and downward, the slide door 200 also moves upward and downward Move.

한편, 본 발명에 따른 밀폐형 도어장치(10)는 상기한 감속기(350) 대신에 너트승강형 상방향식 스크류 잭(Screw Jack)(370)을 이용해도 본 발명에 따른 소기의 목적을 달성할 수 있음은 물론이다. Meanwhile, the closed door device 10 according to the present invention can also achieve the desired object according to the present invention by using a screw-up type screw jack 370 in place of the speed reducer 350, Of course it is.

본 발명은 상술한 특정 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자 라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변형실시는 본 발명의 청구범위 기재 범위 내에 있게 된다.It is to be understood that the present invention is not limited to the specific exemplary embodiments described above and that various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. And such modified embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

1 : 사이드 스토레이지 10 : 밀폐형 도어장치
100 : 도어 프레임 200 : 슬라이드 도어
300 : 슬라이드 장치
50 : 흄 제거장치
500 : 제 1본체 510 : 유입구
600 : 제 2본체 610 : 안착부
630 : 순환부 650 : 에어 공급구
670 : 에어 유출부 690 : 확산부1: Side storage 10: Closed door device
100: door frame 200: slide door
300: slide device
50: Fume removing device
500: first body 510: inlet
600: second body 610: seat part
630: circulation part 650: air supply port
670: air outflow portion 690: diffusion portion

Claims (12)

EFEM 내부에 적어도 하나 이상 구비되는 사이드 스토레이지에 있어서,
상기 사이드 스토레이지는,
일측 전면에 구비되어, 다수의 웨이퍼가 구비된 카세트가 투입되는 공정실을 개폐하는 밀폐형 도어장치와;
상기 공정실 하측에 구비된 흄 제거장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.In at least one side storage structure provided in the EFEM,
The side storage device
A closed door device provided on one side of the door and opening / closing a process chamber into which a cassette having a plurality of wafers is inserted;
And a fume-removing device provided at a lower side of the process chamber. 제 1항에 있어서,
상기 밀폐형 도어장치는,
상기 흄 제거장치의 일측에 수직방향으로 구비되는 도어프레임과;
상기 도어 프레임의 내측에서 상, 하 수직방향으로 이동하는 슬라이드 도어와;
상기 슬라이드 도어를 상, 하 수직방향으로 이동시키는 슬라이드 장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.The method according to claim 1,
In the closed door device,
A door frame vertically installed on one side of the fume removing device;
A slide door vertically moving upward and downward from the inside of the door frame;
And a slide device for moving the slide door in a vertical direction and a vertical direction. 제 2항에 있어서,
상기 도어프레임은,
상기 흄 제거장치의 일측에 면접 장착되며, 상, 하 좌, 우 4변에 직각방향으로 구비되는 플랜지와, 상기 플랜지중 좌, 우 수직방향 대칭형으로 구비되는 슬라이드 레일과, 상기 슬라이드 레일의 직각방향 상, 하 수직 방향으로 형성된 제 1, 2개구부로 이루어지는 제 1프레임과.
상기 제 1프레임의 대칭방향으로 결합하도록 상, 하 좌, 우 4변에 직각방향으로 구비되는 플랜지와, 상기 제 1개구부와 동일규격으로 제 3개구부가 형성된 제 2프레임으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.3. The method of claim 2,
The door frame includes:
A flange provided on one side of the fume removing device and provided in a direction perpendicular to the upper, lower, left, and right sides of the fume removing device, a slide rail provided symmetrically with respect to the left and right sides of the flange, A first frame including first and second openings formed in a vertical direction and a vertical direction;
And a second frame having a third opening with the same size as the first opening, the flange being provided in a direction perpendicular to the four sides of the upper, lower, left, and right sides so as to be engaged in the symmetrical direction of the first frame. Side storage with door and fume removal. 제 3항에 있어서,
상기 제 1프레임은,
상기 흄 제거장치와 볼트 체결이 용이하도록 테두리부에 다수 형성된 제 1볼트홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.The method of claim 3,
Wherein the first frame comprises:
Further comprising a first bolt hole formed in a rim portion to facilitate bolt tightening with the fume removing device. 제 3항에 있어서,
상기 제 2프레임은,
상기 제 1프레임의 플랜지와 결합이 용이하도록 플랜지의 상, 하 수직방향으로 다수 형성된 제 2볼트홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.The method of claim 3,
Wherein the second frame comprises:
Further comprising a second bolt hole formed in the vertical direction of the flange so as to facilitate engagement with the flange of the first frame. 제 2항에 있어서,
상기 슬라이드 도어는,
상기 도어프레임의 좌, 우 양측 수직방향으로 구비된 슬라이드 레일과 결합할 수 있도록 양측에 대칭형으로 슬라이드 홈이 구비되고, 하측 중심에 구비된 장착돌기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.3. The method of claim 2,
The slide door includes:
And a mounting protrusion provided at a lower center of the door frame and having a slide groove symmetrically formed on both sides so as to be able to engage with the slide rail provided in the vertical direction on both left and right sides of the door frame. Side storage. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 슬라이드 장치는,
상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 면접하는 장착 플레이트와, 상기 장착 플레이트에 양단이 결합되며, 나란히 구비되는 슬라이드 레일과, 상기 슬라이드 레일을 따라 길이방향으로 이동하는 실린더블럭을 갖춘 로드리스 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.4. The method according to claim 2 or 3,
The slide device includes:
A supporting bracket provided on both sides of the second opening portion and horizontally on both sides of the second opening portion, a mounting plate to be fitted to the supporting bracket, a slide rail having both ends connected to the mounting plate, And a rodless cylinder having a cylinder block moving in the direction of the cylinder block. 제 7항에 있어서,
상기 슬라이드 장치는,
상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 제 1, 2지지브라켓과, 상기 제 2지지브라켓의 상측에 길이방향으로 구비되며, 전, 후 방향으로 와이어 풀리를 갖춘 승강실린더와, 상기 제 1지지브라켓의 하측에 구비된 가이드롤러와 일단은 상기 승강실린더 후방에 장착되며, 타단은 상기 와이어풀리에 도르레식으로 다수 회 감기며, 상기 가이드롤러를 거쳐 상기 슬라이드 도어의 장착돌기에 장착되는 와이어 로프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.8. The method of claim 7,
The slide device includes:
A lifting cylinder provided in a longitudinal direction on the upper side of the second support bracket and having wire pulleys in forward and backward directions; One end of the guide roller is installed on the lower side of the first support bracket, and the other end of the guide roller is wound on the wire pulley by a plurality of turns. The guide roller is mounted on the mounting protrusion of the slide door through the guide roller Characterized in that it is made of a wire rope, and the side storage device is provided with a closed door device and a fume removing device. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 슬라이드 장치는,
상기 제 2개구부 상, 하 양측에 수평방향으로 구비된 지지브라켓과,
상기 지지브라켓에 양단이 회전가능하도록 결합된 스크류와, 상기 스크류에 나사결합되며 상기 슬라이드 도어 하측의 장착돌기 에 장착되는 너트와, 상기 스크류의 하단과 커플링에 의해 축결합된 감속기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.4. The method according to claim 2 or 3,
The slide device includes:
A support bracket disposed horizontally on both sides of the second opening,
A nut coupled to the supporting bracket so as to be rotatable at both ends thereof, a nut screwed to the screw and mounted on the mounting protrusion on the lower side of the slide door, and a speed reducer axially coupled to the lower end of the screw by coupling. With side-by-side door and fume removal. 제 1항에 있어서,
상기 흄 제거장치는,
상기 공정실 하측에 구비된 흡기호퍼와;
원반형으로 형성되며, 상기 흡기호퍼 하측에 구비되어 상기 공정실 내부의 공기를 유입할 수 있도록 그 중심에 유입구가 형성된 제 1본체와;
상기 제 1본체의 하부 외측이 삽입되도록 원형 요홈으로 형성된 안착부와, 상기 안착부의 단면상 내측에 원형 요홈으로 형성된 순환부와, 상기 순환부의 직각방향으로 형성된 에어 공급구와, 상기 제 1본체의 하측과 소정거리 이격되도록 단면상 상단이 상기 안착부의 상면보다 낮은 위치에 형성되며, 상기 순환부의 단면상 내측에 원형으로 형성된 에어 유출부와, 상기 에어 유출부를 통해 유출된 에어가 확산되도록 단면상 내경이 확경되는 확산부로 이루어진 제 2본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.The method according to claim 1,
The fume removal device comprises:
An intake hopper provided at a lower side of the processing chamber;
A first body formed in a disk shape and provided at an upper portion of the intake hopper and having an inlet at the center thereof so as to allow air in the processing chamber to flow;
An air supply port formed in a direction perpendicular to the circulation unit, and an air supply port formed in a lower portion of the first body, An air outflow section formed at a position lower than the upper surface of the seat section so as to be spaced apart from the upper surface of the seat section by a predetermined distance and formed in a circular shape on the inner side of a section of the circulation section and a diffusion section whose inner diameter is enlarged in cross section to diffuse the air flowing through the air outflow section And a second body made of a synthetic resin material. 제 10항에 있어서,
상기 유입구는,
일측에서 타측으로 갈수록 점진적으로 내경이 확경되는 유도 경사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.11. The method of claim 10,
The inlet
Further comprising an induction slope part having an inner diameter gradually increased gradually from one side to the other side. 제 10항에 있어서,
상기 순환부는,
상기 에어 공급구로 공급되는 공기 유체의 저항을 최소화하고, 상기 에어 유출부를 통해 신속한 배출이 이루어질 수 있도록 단면상 저부에 형성된 와류 형성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지.
11. The method of claim 10,
The circulation unit includes:
Further comprising a vortex forming portion formed at a bottom portion of a cross section so as to minimize the resistance of the air fluid supplied to the air supply port and allow quick discharge through the air outlet portion, Lazy.
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