KR20220117174A

KR20220117174A - Pipe protecting apparatus and exhaust system for harmful gas having the same

Info

Publication number: KR20220117174A
Application number: KR1020220037467A
Authority: KR
Inventors: 권창구; 김현신
Original assignee: (주)씨에스피
Priority date: 2021-02-16
Filing date: 2022-03-25
Publication date: 2022-08-23
Also published as: KR102382384B1; KR102498660B1; KR20230007267A

Abstract

The present invention relates to a pipe protection device used in a gas use process such as semiconductor, display, and LED fields, and a harmful gas exhaust system having the same. In particular, the present invention relates to the pipe protection device and the harmful gas exhaust system having the same capable of effectively preventing particles or gas powder from precipitating and accumulating on an inner wall of the pipe of the harmful gas exhaust system. The pipe protection device includes a supply pipe; a first chamber; a second chamber; a moving part; a first gap; and a second gap.

Description

Pipe protecting apparatus and exhaust system for harmful gas having the same

본 발명은 반도체, 디스플레이, LED 분야 등 가스(gas) 사용 공정에서 사용되는 배관 보호 장치 및 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a pipe protection device used in a gas-using process such as a semiconductor, a display, an LED field, and a harmful gas exhaust system having the same.

유해 가스 배기 시스템은, 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조/가공 공정에서 공정챔버에서 발생되는 유해 가스를 펌프를 통해 배기한 후, 스크러버를 통해 유해 가스를 정화하는 과정을 수행하게 된다.The harmful gas exhaust system exhausts the harmful gas generated in the process chamber in the manufacturing/processing process of semiconductor, display, LED, etc. through a pump, and then performs a process of purifying the harmful gas through a scrubber.

이러한 유해 가스 배기 시스템으로는 한국등록특허 제10-0511463호(이하, '특허문헌 1'이라 한다) 및 한국등록특허 제10-2177129호(이하, '특허문헌 2'라 한다)에 기재된 곳이 공지되어 있다.As such a harmful gas exhaust system, the places described in Korean Patent No. 10-0511463 (hereinafter referred to as 'Patent Document 1') and Korean Patent No. 10-2177129 (hereinafter referred to as 'Patent Document 2') are is known.

유해 가스 배기 시스템은, 공정챔버, 펌프 및 스크러버가 배관으로 연결되어 있어, 유해 가스 배기 시스템을 통한 유해 가스의 정화를 장시간 수행함에 따라, 배관 내벽에 유해 가스의 파티클(particle), 가스 파우더(가스의 부산물로 인해 발생되는 gas powder) 등이 쌓여, 펌프 및 스크러버를 연결하는 배관이 막히거나, 침전물로 인해 부식이 발생하고, 그 결과 배관에 리크가 발생하는 문제점이 있었다.In the harmful gas exhaust system, the process chamber, the pump, and the scrubber are connected by a pipe, and as the purification of the harmful gas through the harmful gas exhaust system is performed for a long time, particles of the noxious gas, gas powder (gas (gas powder) generated as a by-product of

종래에는, 위와 같은 배관 내벽의 막힘 및 배관 파손을 해결하기 위해, 배관을 높은 온도로 유지시켜 파티클 또는 가스 파우더가 침전되어 쌓이는 것을 방지하고자 하였다.Conventionally, in order to solve the above-mentioned clogging of the inner wall of the pipe and damage to the pipe, the pipe is maintained at a high temperature to prevent particles or gas powder from being precipitated and accumulated.

특허문헌 1에서는, 배관의 외부에 배관을 보온시키는 히트-자켓(HEAT-JACKET)을 설치하거나, 배관에 핫질소(HOT N₂)를 공급함으로써, 배관 내부의 온도를 높은 온도로 유지시켰으며, 특허문헌 2에서는 반응챔버에서 배출되는 가스의 폐열에 의해 폐가스원에서 공급된 폐가스를 직접적으로 예열하는 이젝터를 통해, 배관 내부의 온도를 높은 온도로 유지시켰다.In Patent Document 1, by installing a heat-jacket (HEAT-JACKET) to keep the pipe warm on the outside of the pipe, or supplying hot nitrogen (HOT N ₂ ) to the pipe, the temperature inside the pipe was maintained at a high temperature, In Patent Document 2, the temperature inside the pipe was maintained at a high temperature through an ejector that directly preheats the waste gas supplied from the waste gas source by the waste heat of the gas discharged from the reaction chamber.

그러나, 유해 가스 배기 시스템의 배관의 길이가 길어지고, 배관에 굴절부가 구비됨에 따라, 위와 같은 히터 및 핫 질소만으로는 배관 내부에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 충분히 방지할 수 없다.However, as the length of the pipe of the harmful gas exhaust system is increased and the pipe is provided with a refraction part, it is not possible to sufficiently prevent particles or gas powder from being deposited in the pipe only with the heater and hot nitrogen as described above.

한국등록특허 제10-0511463호Korean Patent Registration No. 10-0511463 한국등록특허 제10-2177129호Korean Patent No. 10-2177129

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 유해 가스 배기 시스템의 배관 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되어 배관이 막히거나 부식에 의해 리크가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 배관 보호 장치와 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problem, and a pipe protection device that can effectively prevent particles or gas powder from being deposited on the inner wall of a pipe of a hazardous gas exhaust system to block the pipe or prevent leakage due to corrosion; An object of the present invention is to provide a harmful gas exhaust system having the same.

본 발명의 일 특징에 따른 유해 가스 배기 시스템은, 펌프와 스크러버를 연결하는 배관; 및 상기 배관에 구비되는 배관 보호 장치;를 포함하고, 상기 배관 보호 장치는, 압축 가스가 공급되는 공급관; 상기 공급관에 연통된 제1챔버; 상기 제1챔버의 내측에 위치하도록 그 외측이 상기 제1챔버와 연통되는 제2챔버; 상기 제2챔버의 내측에 위치하도록 상기 제2챔버와 연통되며, 그 상류부가 상기 배관의 상류 배관에 연통되고, 그 하류부가 상기 배관의 하류 배관에 연통되는 유동부; 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측을 따라 원형 형상으로 형성되어 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측과 상기 제2챔버의 하류측 방향 외측을 연통시키는 제1틈새; 및 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측을 따라 원형 형상으로 형성되어 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측과 상기 유동부를 연통시키는 제2틈새;를 포함하고, 상기 공급관에서 공급된 압축 가스는, 상기 제1챔버를 따라 유동하면서 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측에 형성된 상기 제1틈새를 통해 상기 제2챔버의 하류측 방향에서 상류측 방향으로 유동되어 상기 제2챔버로 주입되고, 상기 제1틈새를 통해 상기 제2챔버로 주입된 압축 가스는 상기 제2챔버를 따라 유동하면서 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측에 형성된 상기 제2틈새를 통해 상기 유동부 내부로 유동되어 상기 유동부로 주입되고, 상기 유동부 내부로 주입된 압축 가스는 상기 배관 내벽에 에어 장벽층을 형성하여 상기 배관 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 상기 배관 내벽에 침전되지 못하도록 하는 것을 특징으로 한다.A hazardous gas exhaust system according to one aspect of the present invention includes: a pipe connecting a pump and a scrubber; and a pipe protection device provided in the pipe, wherein the pipe protection device includes: a supply pipe to which compressed gas is supplied; a first chamber communicating with the supply pipe; a second chamber having an outer side communicating with the first chamber so as to be located inside the first chamber; a flow part communicating with the second chamber so as to be located inside the second chamber, an upstream part communicating with an upstream pipe of the pipe, and a downstream part communicating with a downstream pipe of the pipe; a first gap formed in a circular shape along an inner side of the first chamber in a downstream direction to communicate an inner side of the first chamber in a downstream direction and an outer side of the second chamber in a downstream direction; and a second gap formed in a circular shape along the upstream inner side of the second chamber to communicate the upstream inner side of the second chamber with the flow part; wherein the compressed gas supplied from the supply pipe includes: While flowing along the first chamber, it flows from the downstream direction of the second chamber to the upstream direction through the first gap formed inside the downstream direction of the first chamber, and is injected into the second chamber, and the first The compressed gas injected into the second chamber through the gap flows along the second chamber, flows into the flow part through the second gap formed inside the upstream side of the second chamber, and is injected into the flow part, , The compressed gas injected into the flow part forms an air barrier layer on the inner wall of the pipe to prevent particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe from precipitating on the inner wall of the pipe.

또한, 상기 상류부의 내벽에는, 상기 상류부에서 상기 하류부 방향으로 갈수록 상기 상류부의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 상류 경사부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, an upstream inclined portion inclined inwardly is provided on the inner wall of the upstream portion so that the diameter of the upstream portion becomes smaller from the upstream portion toward the downstream portion.

또한, 상기 하류부의 내벽에는, 상기 상류부에서 상기 하류부 방향으로 갈수록 상기 하류부의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 제1하류 경사부와, 상기 제1하류 경사부에서부터 상기 상류부에서 상기 하류부 방향으로 갈수록 상기 하류부의 직경이 더 커지도록 외측 방향으로 경사진 제2하류 경사부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, on the inner wall of the downstream portion, a first downstream inclined portion inclined inwardly such that the diameter of the downstream portion becomes smaller from the upstream portion toward the downstream portion in the direction of the downstream portion, and the downstream portion from the first downstream inclined portion to the upstream portion It is characterized in that a second downstream inclined portion inclined outwardly is provided such that the diameter of the downstream portion becomes larger in the direction.

또한, 상기 배관 보호 장치의 하류 측에 위치하도록 상기 배관에 구비되며, 상류측에서 하류측으로 갈수록 내부 직경이 작아지는 제1경사 구간과, 상기 제1경사 구간에서부터 하류측으로 갈수록 그 내부 직경이 커지는 제2경사 구간을 갖는 기류 연장부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a first inclined section that is provided in the pipe so as to be located on the downstream side of the pipe protection device, the inner diameter decreases from the upstream side to the downstream side, and the inner diameter increases from the first inclined section to the downstream side. It is characterized in that it further comprises; an airflow extension having a two-slope section.

본 발명의 일 특징에 따른 배관 보호 장치는, 배관에 설치되는 배관 보호 장치에 있어서, 상기 배관 보호 장치는, 압축 가스가 공급되는 공급관; 상기 공급관에 연통된 제1챔버; 상기 제1챔버의 내측에 위치하도록 그 외측이 상기 제1챔버와 연통되는 제2챔버; 상기 제2챔버의 내측에 위치하도록 상기 제2챔버와 연통된 유동부; 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측을 따라 원형 형상으로 형성되어 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측과 상기 제2챔버의 하류측 방향 외측을 연통시키는 제1틈새; 및 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측을 따라 원형 형상으로 형성되어 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측과 상기 유동부를 연통시키는 제2틈새;를 포함하고, 상기 공급관에서 공급된 압축 가스는, 상기 제1챔버를 따라 유동하면서 상기 제1챔버의 하류측 방향 내측에 형성된 상기 제1틈새를 통해 상기 제2챔버의 하류측 방향에서 상류측 방향으로 유동되어 상기 제2챔버로 주입되고, 상기 제1틈새를 통해 상기 제2챔버로 주입된 압축 가스는 상기 제2챔버를 따라 유동하면서 상기 제2챔버의 상류측 방향 내측에 형성된 상기 제2틈새를 통해 상기 유동부 내부로 유동되어 상기 유동부로 주입되고, 상기 유동부 내부로 주입된 압축 가스는 상기 배관 내벽에 에어 장벽층을 형성하는 것을 특징으로 한다.A pipe protection device according to one aspect of the present invention is a pipe protection device installed on a pipe, wherein the pipe protection device includes: a supply pipe to which compressed gas is supplied; a first chamber communicating with the supply pipe; a second chamber having an outer side communicating with the first chamber so as to be located inside the first chamber; a flow part communicating with the second chamber so as to be located inside the second chamber; a first gap formed in a circular shape along an inner side of the first chamber in a downstream direction to communicate an inner side of the first chamber in a downstream direction and an outer side of the second chamber in a downstream direction; and a second gap formed in a circular shape along the upstream inner side of the second chamber to communicate the upstream inner side of the second chamber with the flow part; wherein the compressed gas supplied from the supply pipe includes: While flowing along the first chamber, it flows from the downstream direction of the second chamber to the upstream direction through the first gap formed inside the downstream direction of the first chamber, and is injected into the second chamber, and the first The compressed gas injected into the second chamber through the gap flows along the second chamber, flows into the flow part through the second gap formed inside the upstream side of the second chamber, and is injected into the flow part, , the compressed gas injected into the flow part is characterized in that it forms an air barrier layer on the inner wall of the pipe.

또한, 상기 공급관은, 상기 유동부의 중심축으로부터 편심되게 배치되는 제1공급관; 및 상기 유동부의 중심축으로부터 편심되게 배치되며, 상기 제1공급관과 대각선 방향으로 반대측에 배치되는 제2공급관;을 포함하고, 상기 제1공급관 및 상기 제2공급관을 통해 상기 제1챔버로 공급된 압축 가스는 상기 제1챔버 내에서 일 방향으로 회전하여 상기 제2챔버로 주입되고, 상기 제2챔버로 주입된 압축 가스는 사익 제2챔버 내에서 일 방향으로 회전하여 상기 유동부로 주입되는 것을 특징으로 한다.In addition, the supply pipe may include: a first supply pipe disposed eccentrically from the central axis of the flow part; and a second supply pipe disposed eccentrically from the central axis of the flow part and disposed on the opposite side in a diagonal direction from the first supply pipe, and is supplied to the first chamber through the first supply pipe and the second supply pipe. Compressed gas is rotated in one direction in the first chamber and injected into the second chamber, and the compressed gas injected into the second chamber is rotated in one direction in the second chamber and injected into the flow part. do it with

또한, 상기 공급관은, 상기 배관 보호 장치의 일측에 구비되는 제1공급관; 및 상기 배관 보호 장치의 중심축을 기준으로 상기 제1공급관과 서로 대칭되게 배치되도록 상기 배관 보호 장치의 타측에 구비되는 제2공급관;을 포함하고, 상기 제1챔버에는, 상기 제1공급관에서 공급된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제1차단벽과, 상기 제2공급관에서 공급된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제2차단벽이 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the supply pipe may include: a first supply pipe provided on one side of the pipe protection device; and a second supply pipe provided on the other side of the pipe protection device to be disposed symmetrically with the first supply pipe with respect to the central axis of the pipe protection device; A first blocking wall for guiding the compressed gas in one direction and a second blocking wall for guiding the compressed gas supplied from the second supply pipe in one direction are provided.

또한, 제1챔버는, 상기 제1, 2차단벽에 의해 상기 제1공급관에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제1-1챔버와, 상기 제2공급관에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제1-2챔버로 상호 구별되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first chamber includes a 1-1 chamber in which the compressed gas supplied from the first supply pipe flows by the first and second blocking walls, and a 1-th chamber in which the compressed gas supplied from the second supply pipe flows. It is characterized in that it is distinguished from each other into two chambers.

또한, 상기 제1-1챔버에는, 상기 제1공급관에서 멀어질수록 상기 유동부의 하류부 방향으로 경사지게 형성되는 제1가이드부가 구비되고, 상기 제1-2챔버에는, 상기 제2공급관에서 멀어질수록 상기 유동부의 하류부 방향으로 경사지게 형성되는 제2가이드부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first guide portion is provided in the 1-1 chamber to be inclined in the downstream direction of the flow portion as the distance from the first supply pipe is increased, and in the first-2 chamber, as the distance from the second supply pipe increases, the first guide portion is provided. It is characterized in that a second guide portion formed to be inclined in the downstream direction of the flow portion is provided.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 배관 보호 장치 및 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the pipe protection device of the present invention as described above and the harmful gas exhaust system having the same, there are the following effects.

배관 보호 장치에 의해 나선 유동하는 에어 장벽층이 형성됨으로써, 배관의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 방지할 수 있으며, 이를 통해, 부식에 의해 리크가 발생하는 등 배관이 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있다.By forming the spiral flow air barrier layer by the pipe protection device, it is possible to prevent particles or gas powder from being deposited on the inner wall of the pipe. can be prevented

압축 가스의 에어 장벽층은 배관 내부를 순간적으로 저압 상태로 만들어, 유동부를 통해 유입되는 공정챔버의 유해 가스 등의 유속을 증폭시킬 수 있으며, 이를 통해, 스크러버로의 유해 가스의 배기가 더욱 신속하게 이루어질 수 있다.The air barrier layer of compressed gas makes the inside of the pipe a momentary low pressure state, and can amplify the flow rate of noxious gas from the process chamber flowing in through the flow part. can be done

기류 연장부를 통해, 배관 보호 장치의 하류측에서 나선 유동의 에어 장벽층을 더욱 연장시킬 수 있다. 따라서, 배관의 파티클 또는 가스 파우더 침전 방지의 효율을 더욱 높일 수 있다.The airflow extension makes it possible to further extend the spiral flow air barrier layer downstream of the piping protection device. Therefore, it is possible to further increase the efficiency of preventing particle or gas powder precipitation in the pipe.

도 1은 본 발명의 유해 가스 배기 시스템을 도시한 도.
도 2는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치의 사시도.
도 3은 도 2의 분리 사시도.
도 4는 도 3의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도.
도 5는 도 2의 평면 단면도.
도 6은 본 발명의 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치의 사시도.
도 8은 도 7의 평면 단면도.
도 9는 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 7의 C-C'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.
도 10은 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 7의 D-D'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.
도 11은 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 기류 연장부의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.1 is a view showing a harmful gas exhaust system of the present invention.
2 is a perspective view of a pipe protection device according to the first embodiment provided in the harmful gas exhaust system of FIG. 1 .
Figure 3 is an exploded perspective view of Figure 2;
Fig. 4 is a side cross-sectional view taken along line B-B' of Fig. 3;
FIG. 5 is a plan cross-sectional view of FIG. 2 ;
6 is a side sectional view taken along line A-A' of FIG. 2 in a harmful gas exhaust system having a pipe protection device according to the first embodiment of the present invention, which flows inside the first and second pipes; A diagram showing the flow of fluid.
7 is a perspective view of a pipe protection device according to a second embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a plan cross-sectional view of Fig. 7;
9 is a side sectional view taken along the line C-C' of FIG. 7 in a harmful gas exhaust system having a pipe protection device according to a second embodiment of the present invention, which flows inside the first and second pipes; A diagram showing the flow of fluid.
10 is a side sectional view taken along line D-D' of FIG. 7 in a harmful gas exhaust system having a pipe protection device according to a second embodiment of the present invention, which flows inside the first and second pipes; A diagram showing the flow of fluid.
11 is a view illustrating a flow of a fluid flowing inside an airflow extension provided in the harmful gas exhaust system of FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in different forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural, unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements mentioned. or addition is not excluded.

또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. In addition, since it is according to a preferred embodiment, reference signs provided in the order of description are not necessarily limited to the order.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시 도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.Further, the embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional and/or plan views, which are ideal exemplary views of the present invention. In the drawings, thicknesses of films and regions are exaggerated for effective description of technical content. Accordingly, the form of the exemplary figure may be modified due to manufacturing technology and/or tolerance. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown, but also include changes in the form generated according to the manufacturing process. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have a schematic nature, and the shapes of the illustrated regions in the drawings are intended to illustrate specific shapes of regions of the device and not to limit the scope of the invention.

다양한 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 실시 예가 다르더라도 편의상 동일한 명칭 및 동일한 참조번호를 부여하기로 한다. 또한, 이미 다른 실시 예에서 설명된 구성 및 작동에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.In describing various embodiments, components performing the same function will be given the same names and the same reference numerals for convenience even if the embodiments are different. In addition, configurations and operations already described in other embodiments will be omitted for convenience.

본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)Toxic gas exhaust system (10) of the present invention

이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)에 대해 설명한다.Hereinafter, a harmful gas exhaust system 10 of the present invention will be described with reference to FIG. 1 .

도 1은 본 발명의 유해 가스 배기 시스템을 도시한 도이다.1 is a view showing a harmful gas exhaust system of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)은, 공정챔버(100);와, 공정챔버(100) 내부의 유해 가스를 배기하는 펌프(200);와, 펌프(200)에 연결되어 유해 가스를 정화하는 스크러버(300);와, 펌프(200)와 스크러버(300)를 연결하는 배관(310);과, 배관(310)에 구비되는 배관 보호 장치(500);를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 1 , the harmful gas exhaust system 10 of the present invention includes a process chamber 100 ; and a pump 200 for exhausting harmful gas inside the process chamber 100 ; and the pump 200 ) connected to the scrubber 300 for purifying harmful gases; and a pipe 310 connecting the pump 200 and the scrubber 300; and a pipe protection device 500 provided in the pipe 310; may be included.

공정챔버(100)는 증착장비, 에칭장비, EFEM 등 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조 공정이 수행되거나, 반도체, 디스플레이, LED 등이 이송되는 챔버를 통칭한다.The process chamber 100 collectively refers to a chamber in which manufacturing processes such as semiconductors, displays, LEDs, such as deposition equipment, etching equipment, and EFEM are performed, or in which semiconductors, displays, LEDs, and the like are transferred.

이러한 공정챔버(100)의 내부에는 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조 공정시 필요한 반응 가스 등에 의해 유해 가스가 발생하게 된다.Noxious gas is generated in the process chamber 100 by a reaction gas required during a manufacturing process of a semiconductor, a display, an LED, and the like.

펌프(200)는 배기 배관(310)에 의해 공정챔버(100)와 연결되며, 흡입력을 발생시켜 공정챔버(100) 내부의 가스를 배기하여 공정챔버(100) 내부를 진공상태로 만들어 주며, 이 때, 공정챔버(100) 내부의 유해 가스도 함께 배기된다.The pump 200 is connected to the process chamber 100 by an exhaust pipe 310, and generates a suction force to exhaust the gas inside the process chamber 100 to make the inside of the process chamber 100 in a vacuum state, At this time, the harmful gas inside the process chamber 100 is also exhausted.

스크러버(300)는 펌프(200)와 연결되며, 펌프(200)를 통해 배기된 공정챔버(100)의 유해 가스를 정화시키는 기능을 한다.The scrubber 300 is connected to the pump 200 , and functions to purify the harmful gas of the process chamber 100 exhausted through the pump 200 .

배관(310)은 펌프(200)와 스크러버(300)를 연결하는 기능을 한다.The pipe 310 functions to connect the pump 200 and the scrubber 300 .

배관(310)은 상류 배관(311)과 하류 배관(312)을 포함하여 구성될 수 있다.The pipe 310 may include an upstream pipe 311 and a downstream pipe 312 .

배관(310)을 유동하는 유체, 즉, 유해 가스 및 압축 가스는 상류 배관(311)에서 하류 배관(312) 방향으로 유동하게 된다.The fluid flowing through the pipe 310 , that is, harmful gas and compressed gas, flows from the upstream pipe 311 to the downstream pipe 312 .

배관 보호 장치(500, 500')는 배관(310)에 구비된다.The pipe protection devices 500 and 500 ′ are provided in the pipe 310 .

배관 보호 장치(500, 500')는 배관(310)의 상류 배관(311)과 하류 배관(312) 사이에 개재된다.The pipe protection devices 500 and 500 ′ are interposed between the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 of the pipe 310 .

상류 배관(311)은 배관 보호 장치(500, 500')의 유동부(550)의 상류부(551)에 연결되고, 하류 배관(312)은 배관 보호 장치(500, 500')의 유동부(550)의 하류부(552)에 연결된다. The upstream pipe 311 is connected to the upstream part 551 of the flow part 550 of the pipe protection devices 500 and 500', and the downstream pipe 312 is the flow part ( connected to the downstream portion 552 of 550 .

따라서, 펌프(200)에 의해 배기된 공정챔버(100) 내부의 유해 가스는 유동부(550)의 상류부(551)에서 하류부(552) 방향, 즉, 상류 배관(311)에서 하류 배관(312) 방향으로 유동하게 된다.Accordingly, the noxious gas inside the process chamber 100 exhausted by the pump 200 flows from the upstream part 551 to the downstream part 552 of the flow part 550 , that is, from the upstream pipe 311 to the downstream pipe 312 . ) in the direction of flow.

배관 보호 장치(500, 500')는, 배관(310)의 내벽에 에어 장벽층(L)을 형성하여 배관(310) 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310) 내벽에 침전되지 못하도록 하는 기능을 한다.The pipe protection devices 500 and 500 ′ form an air barrier layer L on the inner wall of the pipe 310 so that particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe 310 are on the inner wall of the pipe 310 . It functions to prevent precipitation.

또한, 배관 보호 장치(500, 500')는 압축 가스를 통해 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성함으로써, 통해 배관 보호 장치(500)의 내부 및 하류 배관(312)의 내부에 유해 가스의 파티클 또는 가스 파우더가 쌓이는 것을 방지하는 것이다.In addition, the pipe protection devices 500 and 500 ′ form an air barrier layer L that spirally flows through the compressed gas, so that the inside of the pipe protection device 500 and the downstream pipe 312 through the inside of the harmful gas This is to prevent the build-up of particles or gas powder.

이하, 유해 가스 배기 시스템(10)에 구비되는 배관 보호 장치(500, 500')의 제1실시 예 및 제2실시 예에 대해 설명한다.Hereinafter, the first and second embodiments of the pipe protection devices 500 and 500 ′ provided in the harmful gas exhaust system 10 will be described.

제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)Pipe protection device 500 according to the first embodiment

이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 유해 가스 배기 시스템(10)에 구비되는 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 2 to 6 , the pipe protection device 500 according to the first embodiment provided in the harmful gas exhaust system 10 will be described in detail.

도 2는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 분리 사시도이고, 도 4는 도 3의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도이고, 도 5는 도 2의 평면 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이다.FIG. 2 is a perspective view of a pipe protection device according to the first embodiment provided in the harmful gas exhaust system of FIG. 1 , FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG. 2 , and FIG. 4 is shown along the line B-B' in FIG. One side cross-sectional view, FIG. 5 is a plan cross-sectional view of FIG. 2, and FIG. 6 is a view taken along line A-A' in FIG. It is a view showing the flow of the fluid flowing inside the first and second pipes through one side cross-sectional view.

도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)는, 그 중앙에 관통되게 형성된 유동부(550)가 구비된 바디(510);와, 압축 가스가 공급되는 공급관(520);과, 공급관(520)에 연통된 챔버;와, 챔버의 내측에 배치되며, 챔버와 연통된 유동부(550);를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in Figures 2 to 6, the pipe protection device 500 according to the first embodiment of the present invention, a body 510 provided with a flow portion 550 formed to penetrate the center thereof; and, compression A supply pipe 520 to which gas is supplied; and a chamber communicating with the supply pipe 520; and a flow part 550 disposed inside the chamber and communicating with the chamber; may be configured to include.

바디(510)에는 유동부(550)가 구비된다.The body 510 is provided with a flow part 550 .

유동부(550)는 바디(510)의 중앙에서 상하로 관통되게 형성된다.The flow part 550 is formed to penetrate vertically from the center of the body 510 .

유동부(550)는 유입 유체 및 압축 가스가 유동되는 통로 기능을 한다. The flow part 550 functions as a passage through which the inflow fluid and the compressed gas flow.

본 발명에서는, 유동부(550)는 유해 가스 및 고압의 압축 가스가 유동되는 통로 기능을 한다.In the present invention, the flow unit 550 functions as a passage through which harmful gas and high-pressure compressed gas flow.

유동부(550)의 양단은 상류부(551)와 하류부(552)로 이루어진다.Both ends of the flow part 550 are formed of an upstream part 551 and a downstream part 552 .

유동부(550)로 유입된 유입 유체, 즉, 유해 가스는 상류부(551)에서 하류부(552) 방향으로 유동하게 된다.The inflow fluid introduced into the flow part 550 , that is, the harmful gas flows from the upstream part 551 to the downstream part 552 .

유동부(550)의 상류부(551)는 후술할 유해 가스 배기 시스템(10)의 상류 배관(311)과 연결되고, 하류부(552)는 하류 배관(312)과 연결됨으로써, 배관 보호 장치(500)는 상류 배관(311) 및 하류 배관(312)을 연결하도록, 상류 배관(311) 및 하류 배관(312) 사이에 개재된다.The upstream part 551 of the flow part 550 is connected to the upstream pipe 311 of the harmful gas exhaust system 10 to be described later, and the downstream part 552 is connected to the downstream pipe 312 , so that the pipe protection device 500 ) is interposed between the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 so as to connect the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 .

위와 같은 구성에 의해, 상류 배관(311)을 통해 유입된 유입 유체, 즉, 유해 가스는 유동부(550)의 내부를 거쳐 다시 하류 배관(312)으로 유동되어 배관 보호 장치(500)의 외부로 배출될 수 있다.With the above configuration, the inflow fluid introduced through the upstream pipe 311, that is, the harmful gas, flows back to the downstream pipe 312 through the inside of the flow part 550 to the outside of the pipe protection device 500. can be emitted.

유동부(550)의 상류부(551) 내벽에는 유동부(550)의 상류부(551)에서 하류부(552) 방향으로 갈수록 상류부(551)의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 상류 경사부(553)가 구비된다.On the inner wall of the upstream part 551 of the flow part 550 , an upstream slope inclined inwardly so that the diameter of the upstream part 551 becomes smaller as it goes from the upstream part 551 to the downstream part 552 direction of the flow part 550 . A portion 553 is provided.

유동부(550)의 하류부(552)의 내벽에는 하류 경사부(554)가 구비된다.A downstream inclined portion 554 is provided on the inner wall of the downstream portion 552 of the flow portion 550 .

하류 경사부(554)는, 제2틈새(541)에서부터 유동부(550)의 상류부(551)에서 하류부(552)의 방향으로 갈수록 하류부(552)의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 제1하류 경사부(554);와, 제1하류 경사부(554)에서부터 상류부(551)에서 하류부(552) 방향으로 갈수록 유동부(550)의 직경이 더 커지도록 외측 방향으로 경사진 제2하류 경사부(554);를 포함하여 구성될 수 있다.The downstream inclined portion 554 is inclined inwardly so that the diameter of the downstream portion 552 becomes smaller from the second gap 541 to the downstream portion 552 from the upstream portion 551 of the flow portion 550 . The first downstream inclined portion 554; and the first downstream inclined portion 554 inclined outwardly so that the diameter of the flow portion 550 increases from the upstream portion 551 to the downstream portion 552 direction. 2 downstream inclined portion 554; may be configured to include.

위와 같은, 상류 경사부(553) 및 하류 경사부(554)의 형상으로 인해, 유동부(550) 내벽의 에어 장벽층 형성 및/또는 나선 기류 형성이 더욱 극대화될 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.Due to the shape of the upstream inclined portion 553 and the downstream inclined portion 554 as described above, the formation of an air barrier layer and/or the formation of a spiral airflow on the inner wall of the flow portion 550 can be further maximized, a detailed description thereof is given below. will be described later.

바디(510)는, 제1바디(511)와 제2바디(512)의 상하 결합으로 이루어질 수 있다.The body 510 may be formed by vertical coupling of the first body 511 and the second body 512 .

제1바디(511)의 중앙에는 상하로 관통된 제1중공(513)이 형성된다.A first hollow 513 penetrating up and down is formed in the center of the first body 511 .

제2바디(512)의 중앙에는 상하로 관통된 제2중공(515)이 형성된다.A second hollow 515 penetrating up and down is formed in the center of the second body 512 .

제1바디(511)와 제2바디(512)가 결합되면, 제1중공(513)과 제2중공(515)은 유동부(550)를 이루게 된다. 이 경우, 제1중공(513)은 유동부(550)의 상류부(551)를 이루고, 제2중공(515)은 유동부(550)의 하류부(552)를 이룬다.When the first body 511 and the second body 512 are combined, the first hollow 513 and the second hollow 515 form the flow part 550 . In this case, the first hollow 513 forms an upstream portion 551 of the flow portion 550 , and the second hollow 515 forms a downstream portion 552 of the flow portion 550 .

공급관(520)은 제1챔버(530)에 연통되도록 바디(510)에 구비되어, 압축 가스가 공급되는 통로 기능을 한다.The supply pipe 520 is provided in the body 510 to communicate with the first chamber 530 , and functions as a passage through which the compressed gas is supplied.

공급관(520)은, 배관 보호 장치(500), 즉, 유동부(550)의 중심축으로부터 편심되게 배치되고, 배관 보호 장치(500)의 일측에 구비되는 제1공급관(521);과, 배관 보호 장치(500), 즉, 유동부(550)의 중심축으로부터 편심되게 배치되며, 제1공급관(521)과 대각선 방향으로 반대측에 배치되도록 배관 보호 장치(500)의 타측에 구비되는 제2공급관(522);을 포함하여 구성될 수 있다.The supply pipe 520 is disposed eccentrically from the central axis of the pipe protection device 500 , that is, the flow part 550 , and a first supply pipe 521 provided on one side of the pipe protection device 500 ; and a pipe. The second supply pipe is disposed eccentrically from the central axis of the protection device 500 , that is, the flow part 550 , and is provided on the other side of the pipe protection device 500 to be disposed on the opposite side in the diagonal direction to the first supply pipe 521 . (522); may be configured to include.

하나의 예로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1공급관(521)은 제1바디(511)의 전방 좌측에 구비되고, 제2공급관(522)은 제1공급관(521)과 대각선 방향으로 반대측에 위치하도록 제1바디(511)의 후방 우측측에 구비될 수 있다.As an example, as shown in FIG. 4 , the first supply pipe 521 is provided on the front left side of the first body 511 , and the second supply pipe 522 is diagonally from the first supply pipe 521 . It may be provided on the rear right side of the first body 511 so as to be located on the opposite side.

위와 같이, 제1공급관(521)과 제2공급관(522)이 배관 보호 장치(500)의 중심축을 기준으로 편심되게 배치됨에 따라, 챔버 내에서 압축 가스가 일 방향으로 유동할 수 있다.As described above, as the first supply pipe 521 and the second supply pipe 522 are eccentrically disposed with respect to the central axis of the pipe protection device 500 , the compressed gas may flow in one direction in the chamber.

챔버는 공급관(520)과 연통되어, 내부에 압축 가스가 유동되는 통로 기능을 한다.The chamber is in communication with the supply pipe 520, and functions as a passage through which the compressed gas flows therein.

챔버는, 제1공급관(521) 및 제2공급관(522)에 연통되는 제1챔버(530);와, 제1챔버(530)의 내측과 유동부(550)의 외측 사이에 위치하며, 그 외측이 제1챔버(530)와 연통되고, 그 내측이 유동부(550)와 연통되는 제2챔버(540);를 포함하여 구성될 수 있다.The chamber is located between the first chamber 530 communicating with the first supply pipe 521 and the second supply pipe 522; and the inside of the first chamber 530 and the outside of the flow part 550, the The outer side communicates with the first chamber 530 , and the inner side communicates with the flow part 550 , the second chamber 540 ; may be configured to include.

제1챔버(530)는 제1바디(511)의 내부에 링 형상을 갖도록 원형으로 형성된다.The first chamber 530 is formed in a circular shape to have a ring shape inside the first body 511 .

제1공급관(521)은 제1챔버(530)의 전방 좌측의 외측에서 제1챔버(530)와 연통되고, 제2공급관(522)은 제2챔버(540)의 후방 우측의 외측에서 제1챔버(530)와 연통된다.The first supply pipe 521 communicates with the first chamber 530 on the outside of the front left side of the first chamber 530 , and the second supply pipe 522 connects the first supply pipe 522 on the outside of the rear right side of the second chamber 540 . It communicates with the chamber 530 .

제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)의 내측에는 제1틈새(531)가 형성된다.A first gap 531 is formed inside the first chamber 530 in the downstream direction (ie, in the downstream portion 552 direction of the flow portion 550 ).

제1틈새(531)는 제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)의 내측을 따라, 원형 형상으로 형성된다.The first gap 531 is formed in a circular shape along the inner side of the downstream direction of the first chamber 530 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550 ).

제1틈새(531)는 제1챔버(530)와 제2챔버(540)를 연통시키는 기능을 한다.The first gap 531 functions to communicate the first chamber 530 and the second chamber 540 .

제2챔버(540)는 제1틈새(531)에 의해 제1챔버(530)와 연통되도록 바디(510)에서, 제1챔버(530)의 내측에 위치한다.The second chamber 540 is located inside the first chamber 530 in the body 510 so as to communicate with the first chamber 530 through the first gap 531 .

제2챔버(540)는, 제1바디(511)와 제2바디(512)가 결합 시, 제1바디(511)의 제1중공(513)의 내측면의 일부와, 제2바디(512)의 상부 외주면에 형성된 홈부(517)로 이루어진다.The second chamber 540 includes a portion of the inner surface of the first hollow 513 of the first body 511 and the second body 512 when the first body 511 and the second body 512 are coupled. ) consists of a groove portion 517 formed on the upper outer peripheral surface.

제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 외측은 제1틈새(531)에 의해 제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측과 연통된다.The downstream direction of the second chamber 540 (that is, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550) is outside the downstream direction of the first chamber 530 (ie, the flow portion 531 ) by the first gap 531 . (550) in the downstream portion 552 direction) communicates with the inner side.

제2챔버(540)의 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)의 외측에는 제2틈새(541)가 형성된다.A second gap 541 is formed outside the second chamber 540 in the upstream direction (ie, in the upstream portion 551 direction of the flow portion 550 ).

제2틈새(541)는 제2챔버(540)의 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향) 내측을 따라, 원형 형상으로 형성된다.The second gap 541 is formed in a circular shape along the inside of the second chamber 540 in the upstream direction (ie, in the upstream portion 551 direction of the flow portion 550 ).

제2틈새(541)는 제2챔버(540)와 유동부(550)를 연통시키는 기능을 한다.The second gap 541 functions to communicate the second chamber 540 and the flow part 550 .

전술한 구성을 갖는 배관 보호 장치(500)는, 제1, 2공급관(521, 522)을 통해 제1, 2챔버(530, 540)로 공급된 압축 가스는 제1, 2챔버(530, 540) 내에서 일 방향으로 회전하면서 유동부(550)로 주입되고, 유동부(550)로 주입된 압축 가스는 유동부(550)의 하류부(552) 내벽 및 배관 보호 장치(500)에 연결된 배관(310) 내벽에 에어 장벽층(L)을 형성하며 하류부(552) 방향으로 유동하게 된다.In the pipe protection device 500 having the above configuration, the compressed gas supplied to the first and second chambers 530 and 540 through the first and second supply pipes 521 and 522 is the first and second chambers 530 and 540 . ) while rotating in one direction in the flow section 550, the compressed gas injected into the flow section 550 is connected to the inner wall of the downstream section 552 of the flow section 550 and the pipe protection device 500 ( 310) The air barrier layer (L) is formed on the inner wall and flows in the direction of the downstream part (552).

또한, 전술한 구성을 갖는 배관 보호 장치(500)는, 제1, 2공급관(521, 522)을 통해 제1, 2챔버(530, 540)로 공급된 압축 가스는 제1, 2챔버(530, 540) 내에서 일 방향으로 회전하면서 유동부(550)로 주입되고, 유동부(550)로 주입된 압축 가스는 유동부(550)의 하류부(552) 내벽 및 배관 보호 장치(500)에 연결된 배관(310) 내벽에서 하류부(552) 방향으로 나선을 그리며 유동하게 된다.In addition, in the pipe protection device 500 having the above configuration, the compressed gas supplied to the first and second chambers 530 and 540 through the first and second supply pipes 521 and 522 is the first and second chambers 530 . , 540 is injected into the flow part 550 while rotating in one direction, and the compressed gas injected into the flow part 550 is connected to the inner wall of the downstream part 552 of the flow part 550 and the pipe protection device 500 . The pipe 310 flows in a spiral from the inner wall to the downstream part 552 .

이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500) 내부의 유체의 흐름에 대해 보다 자세하게 설명한다.Hereinafter, the flow of the fluid inside the pipe protection device 500 according to the first embodiment of the present invention having the above-described configuration will be described in more detail.

이하의 설명에서 언급되는 압축 가스는, 외부 공급부를 통해 고압으로 공급관(520)에 공급되는 것으로서, 외부 공급부에서 공급관(520)으로 유동되어 배관 보호 장치(500)의 내부로 공급되는 고압의 압축 가스이다.The compressed gas referred to in the following description is supplied to the supply pipe 520 at high pressure through an external supply, and flows from the external supply to the supply pipe 520 and is a high-pressure compressed gas supplied to the inside of the pipe protection device 500 . to be.

이하의 설명에서 언급되는 유입 유체, 즉, 유해 가스는, 공정챔버(100)에서 펌프(200)에 의해 배기되어 상류 배관(311)을 통해, 유동부(550)로 유입되는 공정챔버(100) 내부의 유해 가스이다.The inflow fluid mentioned in the following description, that is, noxious gas, is exhausted from the process chamber 100 by the pump 200 and introduced into the flow unit 550 through the upstream pipe 311. The process chamber 100 It is a toxic gas inside.

이러한 유해 가스는 상류 배관(311)을 통해 유동부(550) 내부를 따라 유동 된 후, 하류 배관(312)으로 배출되어 스크러버(300)로 유동한다.After flowing along the inside of the flow part 550 through the upstream pipe 311 , the harmful gas is discharged to the downstream pipe 312 and flows to the scrubber 300 .

먼저, 고압의 압축 가스가 외부 공급부를 통해 제1공급관(521) 및 제2공급관(522)으로 공급되면, 압축 가스는 링 형상의 제1챔버(530)를 따라 일 방향으로 유동하게 된다.First, when high-pressure compressed gas is supplied to the first supply pipe 521 and the second supply pipe 522 through the external supply unit, the compressed gas flows in one direction along the ring-shaped first chamber 530 .

이 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1공급관(521)으로 공급된 압축 가스는 제1챔버(530) 내부에서 시계 방향으로 유동하며, 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된다. 제2공급관(522)으로 공급된 압축 가스 또한, 제1챔버(530) 내부에서 시계 방향으로 유동하며, 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된다.In this case, as shown in FIG. 4 , the compressed gas supplied to the first supply pipe 521 flows in a clockwise direction inside the first chamber 530 , and through the first gap 531 , the second chamber ( 540). The compressed gas supplied to the second supply pipe 522 also flows in a clockwise direction inside the first chamber 530 and is injected into the second chamber 540 through the first gap 531 .

위와 같이, 압축 가스는 제1챔버(530)를 따라 시계 방향으로 유동함과 동시에, 제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)의 내측에 형성된 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된다.As described above, the compressed gas flows in the clockwise direction along the first chamber 530 and at the same time, in the downstream direction of the first chamber 530 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550). Through the formed first gap 531 , it flows in the downstream direction of the second chamber 540 (ie, the downstream part 552 direction of the flow part 550 ).

제2챔버(540) 내부로 주입된 압축 가스는 제1챔버(530)와 마찬가지로 시계 방향으로 유동하면서, 제2틈새(541)를 통해, 유입부(500)로 주입된다.The compressed gas injected into the second chamber 540 flows in a clockwise direction like the first chamber 530 , and is injected into the inlet 500 through the second gap 541 .

유동부(550) 내부로 유동된 압축 가스는, 제1하류 경사부(554)를 따라, 유동부(550)의 내측 방향으로 유동된 후, 제2하류 경사부(554)를 따라 유동부(550)의 외측 방향으로 빠르게 유동하게 된다.The compressed gas flowing into the flow part 550 flows in the inner direction of the flow part 550 along the first downstream inclined part 554 and then along the second downstream inclined part 554 to the flow part ( 550) is rapidly flowing in the outward direction.

위와 같이, 압축 가스가 유동부(550)의 내벽을 따라 유동됨에 따라, 유동부(550)의 하류부(552) 내벽에 에어 장벽층(L)이 형성된다.As described above, as the compressed gas flows along the inner wall of the flow unit 550 , the air barrier layer L is formed on the inner wall of the downstream portion 552 of the flow unit 550 .

또한, 압축 가스는 제1, 2챔버(530, 540)에서 시계 방향으로 회전되던 회전력이 그대로 유동부(550)로 유지되어, 유동부(550)의 하류부(552) 내벽에서 하류부(552) 방향으로 나선을 그리며 유동하게 된다.In addition, the compressed gas maintains the rotational force, which was rotated clockwise in the first and second chambers 530 and 540 in the flow part 550 as it is, from the inner wall of the downstream part 552 of the flow part 550 to the downstream part 552 direction. to flow in a spiral.

위와 같이, 고압의 압축 가스는 제1, 2공급관(521, 522) 및 제1, 2챔버(530, 540)를 거쳐 유동부(550)로 주입되며, 이 경우, 압축 가스는 유동부(550) 내에서 매우 빠른 유속으로 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성하게 된다.As described above, the high-pressure compressed gas is injected into the flow part 550 through the first and second supply pipes 521 and 522 and the first and second chambers 530 and 540, and in this case, the compressed gas is supplied to the flow part 550 ) to form an air barrier layer (L) that spirally flows at a very high flow rate within.

이러한 에어 장벽층(L)은 유동부(550)의 하류부(552) 즉, 하류 배관(312)측으로 유동하게 된다.The air barrier layer L flows toward the downstream portion 552 of the flow portion 550 , that is, the downstream pipe 312 .

압축 가스가 에어 장벽층(L)을 형성하여 매우 빠른 유속으로 제2하류 경사부(554)를 따라 유동함에 따라, 유동부(550)의 중앙영역은 순간적으로 저압 상태가 되고, 이로 인해, 상류 배관(311)을 통해 유동부(550)의 상류부(551)로 유입된 유해 가스는, 압축 가스와 함께 유동부(550)의 하류부(552) 측에서 유속이 가속되게 되며, 이를 통해, 매우 빠른 속도로 하류 배관(312)으로 유동하게 된다.As the compressed gas forms the air barrier layer L and flows along the second downstream inclined portion 554 at a very high flow rate, the central region of the flow portion 550 momentarily becomes a low pressure state, and due to this, the upstream The noxious gas introduced into the upstream part 551 of the flow part 550 through the pipe 311 accelerates the flow rate at the downstream part 552 side of the flow part 550 together with the compressed gas. It flows into the downstream pipe 312 at a high speed.

또한, 상류 경사부(553)로 인해, 유동부(550)의 상류부(551) 구간에서 많은 양의 유해 가스가 유동부(550)의 내부로 유입될 수 있음과 동시에, 상류 경사부(553)가 저압 상태가 된 유동부(550)의 중앙영역으로, 유해 가스를 가이드하게 된다. 따라서, 상류 경사부(553)를 통해 유동부(550) 내부로 유입된 유해 가스는 압축 가스와 함께 더욱 빠르게 유속이 가속되어 하류 배관(312)으로 유동하게 된다.In addition, due to the upstream slope 553 , a large amount of harmful gas may be introduced into the inside of the flow unit 550 in the section of the upstream portion 551 of the flow unit 550 , and at the same time, the upstream slope 553 may be introduced into the flow unit 550 . ) to the central region of the flow unit 550 in the low pressure state, to guide the harmful gas. Accordingly, the noxious gas introduced into the flow part 550 through the upstream inclined part 553 is accelerated in flow rate together with the compressed gas to flow into the downstream pipe 312 .

하류 배관(312)으로 유동된 유해 가스 및 압축 가스는 스크러버(300)로 유동하여 정화된다.Noxious gas and compressed gas flowing to the downstream pipe 312 flow to the scrubber 300 to be purified.

이하, 도 6을 참조하여, 압축 가스를 통해 유해 가스의 속도를 증폭하는 과정에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a process of amplifying the velocity of the harmful gas through the compressed gas will be described in more detail with reference to FIG. 6 .

전술한 바와 같이, 제1공급관(521) 및 제2공급관(522)을 통해, 제1챔버(530) 내부로 공급된 압축 가스는 제1챔버(530) 내부에서 일 방향(시계 방향)으로 유동하면서, 제1틈새(531)를 통해 제2챔버(540)로 유동하게 된다.As described above, the compressed gas supplied into the first chamber 530 through the first supply pipe 521 and the second supply pipe 522 flows in one direction (clockwise) inside the first chamber 530 . while flowing into the second chamber 540 through the first gap 531 .

도 5에 도시된 바와 같이, 제1틈새(531)로 유동되는 압축 가스는 제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된 후, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 압축 가스는 제1챔버(530)의 내측면과, 제2챔버(540)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 압축 가스의 속도가 1차로 증폭된다.As shown in FIG. 5 , the compressed gas flowing through the first gap 531 flows in the downstream direction of the first chamber 530 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550 ). It flows from the downstream direction of the second chamber 540 (ie, the downstream part 552 direction of the flow part 550) to the upstream direction (ie, the upstream part 551 direction of the flow part 550). In this process, the compressed gas flows along the inner surface of the first chamber 530 and the outer surface of the second chamber 540 , so that the flow is guided and the velocity of the compressed gas is primarily amplified.

1차로 증폭된 압축 가스는 제2챔버(540)의 내부로 유동하면서, 제2틈새(541)를 통해 제2챔버(540)로 유동하게 된다.The firstly amplified compressed gas flows into the second chamber 540 and flows into the second chamber 540 through the second gap 541 .

도 5에 도시된 바와 같이, 제2틈새(541)로 유동되는 압축 가스는 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)으로 유동된 후, 유동부(550)로 유동하게 된다. 이 과정에서, 압축 가스는 제2챔버(540)의 내측면과, 유동부(550)의 제1하류 경사부(554)를 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 압축 가스의 속도가 2차로 증폭된다.As shown in FIG. 5 , the compressed gas flowing into the second gap 541 flows in the downstream direction of the second chamber 540 (that is, in the downstream portion 552 direction of the flow portion 550) in the upstream direction ( That is, after flowing in the upstream part 551 direction of the flow part 550 ), it flows into the flow part 550 . In this process, the compressed gas flows along the inner surface of the second chamber 540 and the first downstream inclined portion 554 of the flow portion 550, so that the flow is guided so that the velocity of the compressed gas is secondarily amplified

이처럼, 제1, 2공급관(521, 522)을 통해 제1챔버(530)로 공급된 압축 가스는, 제1챔버(530)에서 제2챔버(540)로 유동할 때 그 속도가 1차 증폭되고, 제2챔버(540)에서 유동부(550)로 유동할 때, 그 속도가 2차 증폭되게 된다.As such, when the compressed gas supplied to the first chamber 530 through the first and second supply pipes 521 and 522 flows from the first chamber 530 to the second chamber 540, its velocity is first amplified. and, when it flows from the second chamber 540 to the flow unit 550, its speed is secondarily amplified.

2차로 증폭된 압축 가스는 유해 가스와 함께 유동부(550)의 하류부(552) 방향으로 매우 빠른 속도로 유동되어 하류 배관(312)을 통해 스크러버(300)로 유동하게 된다.The secondly amplified compressed gas flows at a very high speed in the direction of the downstream part 552 of the flow part 550 together with the harmful gas to flow to the scrubber 300 through the downstream pipe 312 .

전술한 바와 같이, 매우 빠른 속도로 증폭되는 압축 가스는 유동부(550)의 하류부(552) 및 하류 배관(312)의 내벽에 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성하게 된다.As described above, the compressed gas amplified at a very high speed forms an air barrier layer L that spirally flows on the inner wall of the downstream portion 552 and the downstream pipe 312 of the flow portion 550 .

이처럼 나선 유동하는 에어 장벽층(L)에 의해, 유해 가스가 배관(310)의 내벽에 닿지 못하게 된다.As such, by the air barrier layer L that flows spirally, the harmful gas is prevented from contacting the inner wall of the pipe 310 .

에어 장벽층(L)이 유동부(550)의 내벽 및 배관(310)의 내벽을 따라 나선 기류를 형성하며 유동되므로, 유해 가스는 배관(310)의 내벽에 접하지 않게 되고, 유동부(550)의 내벽 및 배관(310)의 내벽에서 박리되는 에어 장벽층(L)의 일부, 즉, 압축 가스의 일부와 함께 나선 유동을 하며, 하류 배관(312)으로 유동하게 되는 것이다.Since the air barrier layer L flows while forming a spiral air flow along the inner wall of the flow part 550 and the inner wall of the pipe 310 , the harmful gas does not come into contact with the inner wall of the pipe 310 , and the flow part 550 ) and a part of the air barrier layer (L) that is peeled off from the inner wall of the pipe 310 , that is, a part of the compressed gas spirals and flows into the downstream pipe 312 .

따라서, 나선 유동하는 에어 장벽층(L)에 의해 배관(310) 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310) 내벽에 침전하지 못하게 됨으로써, 배관(310)에 파티클 또는 가스 파우더 등 이물질이 쌓이는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. Therefore, the particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe 310 by the spirally flowing air barrier layer (L) do not settle on the inner wall of the pipe 310, so that the particles or gas powder in the pipe 310 are prevented from being deposited. It can effectively prevent foreign matter from accumulating.

이는 종래의 배관의 경우, 배관의 내벽으로 갈수록 배관 내부의 유속이 느려지는 유속 분포를 갖고 있으나, 본 발명의 경우, 배관 보호 장치(500)의 에어 장벽층(L)에 의해 배관(310)의 내벽의 유속이 가장 빠른 유속 분포를 갖게 되므로, 유해 가스의 파티클 또는 가스 파우더가 유동부(550)의 내벽 및 하류 배관(312)의 내벽에 침전되지 못하는 것이다.In the case of a conventional pipe, it has a flow velocity distribution in which the flow velocity inside the pipe becomes slower toward the inner wall of the pipe, but in the present invention, the pipe 310 is blocked by the air barrier layer L of the pipe protection device 500 . Since the flow velocity of the inner wall has the fastest flow velocity distribution, noxious gas particles or gas powder cannot be deposited on the inner wall of the flow unit 550 and the inner wall of the downstream pipe 312 .

또한, 에어 장벽층(L)은 나선 유동, 즉, 나선 기류를 형성함으로써, 배관 보호 장치(500)의 하류측의 배관(310)까지 에어 장벽층(L)이 유지될 수 있으며, 이를 통해, 하류 배관(312)의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, the air barrier layer (L) forms a spiral flow, that is, a spiral air flow, so that the air barrier layer (L) can be maintained up to the pipe 310 on the downstream side of the pipe protection device 500, through which, It is possible to more effectively prevent particles or gas powder from being deposited on the inner wall of the downstream pipe 312 .

위와 같이, 배관(310)의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것이 방지됨에 따라, 파티클 또는 가스 파우더의 침전에 의해 배관(310)의 내부 직경이 좁아져 잦은 청소 및 유지 보수의 필요성이 생략되고, 심하게는 배관(310)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.As described above, as particles or gas powder are prevented from being deposited on the inner wall of the pipe 310, the inner diameter of the pipe 310 is narrowed by the precipitation of particles or gas powder, so the need for frequent cleaning and maintenance is omitted and , seriously, it is possible to prevent the pipe 310 from being damaged.

나아가, 종래에는 배관 내부의 파티클 또는 가스 파우더의 침전에 의해 배관에 부식이 발생하고, 그 결과 배관에 리크가 발생하였으나, 본 발명에서는 배관(310) 내부의 침전을 방지시킴으로써, 종래의 배관의 리크의 문제점이 해결될 수 있다.Furthermore, in the prior art, corrosion occurs in the pipe due to the precipitation of particles or gas powder inside the pipe, and as a result, the pipe has a leak. problem can be solved.

또한, 배관 보호 장치(500)는, 제1, 2공급관(521, 522)에서 제1챔버(530)로 공급된 압축 가스가 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된 후, 제2틈새(541)를 통해, 유동부(550)로 주입된다. 이처럼, 압축 가스가 제2챔버(540)를 거쳐 유동부(550)로 주입됨에 따라, 제1, 2공급관(521, 522) 각각의 거리와 상관없이 비교적 균일한 압력으로 압축 가스가 유동부(550)로 주입될 수 있다.In addition, in the pipe protection device 500 , the compressed gas supplied from the first and second supply pipes 521 and 522 to the first chamber 530 is injected into the second chamber 540 through the first gap 531 . After being formed, it is injected into the flow part 550 through the second gap 541 . As such, as the compressed gas is injected into the flow part 550 through the second chamber 540, the compressed gas flows into the flow part ( 550) can be injected.

상세하게 설명하면, 다음과 같다.In detail, as follows.

압축 가스가 제1챔버(530)를 따라 유동함과 동시에 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된 후, 다시 제2챔버(540)를 따라 유동함과 동시에 제2틈새(541)를 통해, 유동부(550)로 주입된다. After the compressed gas flows along the first chamber 530 and is injected into the second chamber 540 through the first gap 531 , it flows again along the second chamber 540 and at the same time as the second It is injected into the flow part 550 through the gap 541 .

제1틈새(531) 및 제2틈새(541)의 높이는 제1챔버(530) 및 제2챔버(540)의 높이에 비해 상대적으로 매우 작은 높이를 갖으므로, 제1챔버(530) 및 제2챔버(540)로 유동되는 압축 가스는 상대적으로 적은 유량으로 각각 제1틈새(531) 및 제2틈새(541)를 통해 제2챔버(540) 및 유동부(550)로 주입된다.Since the heights of the first gap 531 and the second gap 541 are relatively small compared to the heights of the first chamber 530 and the second chamber 540 , the first chamber 530 and the second gap 541 . The compressed gas flowing into the chamber 540 is injected into the second chamber 540 and the flow part 550 through the first gap 531 and the second gap 541, respectively, at a relatively small flow rate.

따라서, 제1틈새(531)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된 압축 가스는 제2챔버(540) 내부에서 제2챔버(540) 내부를 어느 정도 채운 뒤에, 유동부(550)로 주입되게 되며, 이 과정에서, 제2챔버(540) 내부의 압력이 높아져, 균일한 유동압을 형성하게 된다. Accordingly, the compressed gas injected into the second chamber 540 through the first gap 531 fills the inside of the second chamber 540 to some extent from the inside of the second chamber 540 , and then flows into the flow part 550 . is injected, and in this process, the pressure inside the second chamber 540 is increased to form a uniform flow pressure.

또한, 제1챔버(530)에서 제2챔버(540)로 압축 가스가 주입시, 하부에서 상부 방향으로 주입되고, 제2챔버(540)에서 유동부(550)로 압축 가스가 주입시, 상부에서 하부 방향으로 주입되므로, 위와 같이 제2챔버(540) 내부에 유체가 차오르는 것이 더욱 효과적으로 달성되어, 제2챔버(540) 내부에 높은 압력의 균일한 유동압이 형성된다.In addition, when the compressed gas is injected from the first chamber 530 to the second chamber 540 , it is injected from the bottom to the top, and when the compressed gas is injected from the second chamber 540 into the flow part 550 , the top Since it is injected in the downward direction, it is more effectively achieved that the fluid fills the inside of the second chamber 540 as above, so that a high pressure uniform flow pressure is formed inside the second chamber 540 .

위와 같이, 제2챔버(540) 내부에서 높은 압력의 균일한 유동압이 형성됨으로써, 제2틈새(541)를 따라 주입되는 압축 가스의 유속 증폭이 더욱 크게 발생될 수 있는 것이다.As described above, as a high-pressure uniform flow pressure is formed inside the second chamber 540 , the flow velocity amplification of the compressed gas injected along the second gap 541 may be further increased.

또한, 비교적 균일한 유동압을 갖는 제2챔버(540) 내부의 압축 가스가 유동부(550)로 주입되므로, 유동부(550) 내에서 난류가 발생되지 않아, 더욱 높은 유속이 보장될 수 있다.In addition, since the compressed gas inside the second chamber 540 having a relatively uniform flow pressure is injected into the flow part 550 , turbulence does not occur in the flow part 550 , and a higher flow rate can be guaranteed. .

전술한 배관 보호 장치(500)의 공급관(520), 즉, 제1, 2공급관(521, 522)을 통해 공급되는 압축 가스는 고압으로 압축된 핫 질소(N₂)인 것이 바람직하다.The compressed gas supplied through the supply pipe 520 of the above-described pipe protection device 500 , that is, the first and second supply pipes 521 and 522 , is preferably hot nitrogen (N ₂ ) compressed at a high pressure.

이는, 질소(N₂)가 유해 가스와 혼합되지 않아, 유해 가스의 배기 및 정화에 적합하고, 가열된 핫 질소(N₂)로 인해, 유해 가스의 온도를 상승시켜 주므로, 유해 가스에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310)에 침전되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있기 때문이다.This is because nitrogen (N ₂ ) does not mix with harmful gas, so it is suitable for exhaust and purification of harmful gas, and due to heated hot nitrogen (N ₂ ), it increases the temperature of harmful gas, so that the harmful gas contains This is because it is possible to more effectively prevent particles or gas powder from being deposited on the pipe 310 .

제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')Pipe protection device 500' according to the second embodiment

이하, 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')에 대해 설명한다.Hereinafter, a pipe protection device 500' according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치의 사시도이고, 도 8은 도 7의 평면 단면도이고, 도 9는 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 7의 C-C'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이고, 도 10은 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치를 구비한 유해 가스 배기 시스템에서, 도 7의 D-D'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 제1, 2배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이다.7 is a perspective view of a pipe protection device according to a second embodiment of the present invention, FIG. 8 is a plan cross-sectional view of FIG. 7, and FIG. 9 is a harmful gas exhaust having a pipe protection device according to a second embodiment of the present invention. In the system, it is a view showing the flow of the fluid flowing in the first and second pipes through the side cross-sectional view taken along the line C-C' of FIG. 7, and FIG. 10 is a pipe according to a second embodiment of the present invention. It is a view showing the flow of the fluid flowing inside the first and second pipes through a side cross-sectional view taken along the line D-D' of FIG. 7 in a harmful gas exhaust system having a protection device.

도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')는, 그 중앙에 관통되게 형성된 유동부(550)가 구비된 바디(510);와, 압축 가스가 공급되는 공급관(520);과, 공급관(520)에 연통되는 제1챔버(530);와, 제1챔버(530)의 내측과 유동부(550)의 외측 사이에 위치하며, 7 to 10, the pipe protection device 500' according to the second embodiment of the present invention includes a body 510 provided with a flow part 550 formed to pass through the center thereof; And, A supply pipe 520 to which compressed gas is supplied; and a first chamber 530 communicating with the supply pipe 520; and located between the inside of the first chamber 530 and the outside of the flow part 550,

그 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 외측이 제1챔버(530)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측과 연통되고, 그 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향) 내측이 유동부(550)의 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향) 외측과 연통되는 제2챔버(540);와, 제2챔버(540)의 내측에 배치되며, 제2챔버(540)와 연통된 유동부(550);를 포함하고, 제1챔버(530)에는 제1차단벽(537) 및 제2차단벽(539)이 구비되는 것을 특징으로 한다.The downstream direction (that is, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550) outside is in communication with the inside in the downstream direction of the first chamber 530 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550) , the upstream direction (ie, the upstream part 551 direction of the flow part 550) inside the flow part 550 in the upstream direction (ie, the upstream part 551 direction of the flow part 550) outside and a second chamber 540 communicating with; and a flow part 550 disposed inside the second chamber 540 and communicating with the second chamber 540; It is characterized in that the first blocking wall 537 and the second blocking wall 539 are provided.

위와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')는 전술한 본 발명의 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)와 비교하여, 제1챔버(530)의 형상에 차이가 있을 뿐 나머지 구성요소는 동일하다. 따라서, 이하의 설명에서는 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)와의 차이점을 중점적으로 설명하며, 중복되는 설명은 생략한다.As described above, the pipe protection device 500 ′ according to the second embodiment of the present invention has a shape of the first chamber 530 compared to the pipe protection device 500 according to the first embodiment of the present invention described above. There are differences, but the rest of the components are the same. Therefore, in the following description, differences from the pipe protection device 500 according to the first embodiment will be mainly described, and overlapping descriptions will be omitted.

공급관(520)은, 제1챔버(530)에 연통되도록 바디(510)에 구비되어, 압축 가스가 공급되는 통로 기능을 한다.The supply pipe 520 is provided in the body 510 to communicate with the first chamber 530 , and functions as a passage through which the compressed gas is supplied.

공급관(520)은, 배관 보호 장치(500')의 일측에 구비되는 제1공급관(521);과, 배관 보호 장치(500')의 중심축을 기준으로 제1공급관(521)과 서로 대칭되게 배치되도록 배관 보호 장치(500')의 타측(또는 반대측)에 구비되는 제2공급관(522);을 포함하여 구성될 수 있다.The supply pipe 520 is a first supply pipe 521 provided on one side of the pipe protection device 500'; and the first supply pipe 521 and the first supply pipe 521 are arranged symmetrically with respect to the central axis of the pipe protection device 500'. A second supply pipe 522 provided on the other side (or the opposite side) of the pipe protection device 500 ′ so as to be possible; may be configured to include.

하나의 예로써, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제1공급관(521)은 제1바디(511)의 전방측에 구비되고, 제2공급관(522)은 제1공급관(521)과 대칭되도록 제1바디(511)의 후방측에 구비될 수 있다.As an example, as shown in FIGS. 7 and 8 , the first supply pipe 521 is provided on the front side of the first body 511 , and the second supply pipe 522 includes the first supply pipe 521 and It may be provided on the rear side of the first body 511 so as to be symmetrical.

위와 같이, 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')는 제1실시 예에 따른 배관 보호 장치(500)와 달리, 제1, 2공급관(521, 522)이 편심 배치되지 않고, 배관 보호 장치(500')의 중심축과 일치하도록 상호 대칭되게 배치된다.As described above, in the pipe protection device 500 ′ according to the second embodiment, unlike the pipe protection device 500 according to the first embodiment, the first and second supply pipes 521 and 522 are not eccentrically arranged, and the pipe protection device 500 ' They are arranged symmetrically to each other to coincide with the central axis of the device 500'.

제1챔버(530)에는, 제1공급관(521)에서 공급된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제1차단벽(537)과, 제2공급관(522)에서 공급된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제2차단벽(539)이 구비된다.In the first chamber 530 , a first blocking wall 537 , which guides the compressed gas supplied from the first supply pipe 521 in one direction, and the compressed gas supplied from the second supply pipe 522 are guided in one direction. A second blocking wall 539 is provided.

제1차단벽(537)과 제2차단벽(539)은 배관 보호 장치(500')의 중심축을 기준으로 서로 대각선 방향으로 반대측에 배치될 수 있다.The first blocking wall 537 and the second blocking wall 539 may be disposed on opposite sides in a diagonal direction with respect to the central axis of the pipe protection device 500 ′.

하나의 예로써, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1차단벽(537)은 배관 보호 장치(500')의 중심축을 기준으로 전방 우측에 배치되고, 제2차단벽(539)은 배관 보호 장치(500')의 중심축을 기준으로 후방 좌측에 배치될 수 있다.As an example, as shown in FIG. 8 , the first blocking wall 537 is disposed on the front right side with respect to the central axis of the pipe protection device 500 ′, and the second blocking wall 539 is the pipe protection device It may be disposed on the rear left side with respect to the central axis of (500').

제1챔버(530)는, 제1, 2차단벽(537, 539)에 의해 제1공급관(521)에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제1-1챔버(530a)와, 제2공급관(522)에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제1-2챔버(530b)로 상호 구별될 수 있다.The first chamber 530 includes a first-first chamber 530a in which the compressed gas supplied from the first supply pipe 521 flows by the first and second blocking walls 537 and 539 and the second supply pipe 522 . ) may be distinguished from each other into the first and second chambers 530b in which the supplied compressed gas flows.

제1-1챔버(530a)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측에는 제1-1틈새(531a)가 형성된다.A 1-1 gap 531a is formed in the downstream direction of the 1-1 chamber 530a (that is, the downstream part 552 direction of the flow part 550).

제1-1틈새(531a)는 제1-1챔버(530a)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측을 따라, 형성된다.The 1-1 gap 531a is formed along the inner side in the downstream direction of the 1-1 chamber 530a (ie, the downstream part 552 direction of the flow part 550).

제1-1틈새(531a)는 제1-1챔버(530a)와 제2챔버(540)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-1 gap 531a functions to connect the 1-1 chamber 530a and the second chamber 540 to each other.

제1-2챔버(530b)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측에는 제1-2틈새(531b)가 형성된다.A first-second gap 531b is formed inside the first-second chamber 530b in the downstream direction (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550).

제1-2틈새(531b)는 제1-2챔버(530b)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측을 따라, 형성된다.The first-second gap 531b is formed along the inner side in the downstream direction of the first-second chamber 530b (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550).

제1-2틈새(531b)는 제1-2챔버(530b)와 제2챔버(540)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-2 gap 531b functions to connect the 1-2 chamber 530b and the second chamber 540 to each other.

제1-1챔버(530a)와 제1-2챔버(530b)에서 유동하는 압축 가스의 방향은 동일하다. The direction of the compressed gas flowing in the first-first chamber 530a and the first-second chamber 530b is the same.

하나의 예로써, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(530a) 및 제1-2챔버(530b)에서 유동하는 압축 가스는 모두 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동된다.As an example, as shown in FIG. 8 , the compressed gas flowing in the first-first chamber 530a and the first-second chamber 530b flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500') 내부의 유체의 흐름에 대해 설명한다.Hereinafter, the flow of the fluid inside the pipe protection device 500' according to the second embodiment of the present invention having the above-described configuration will be described.

고압의 압축 가스가 외부 공급부를 통해 제1공급관(521)으로 공급되면, 제1공급관(521)으로 공급된 압축 가스는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(530a) 내부에서 제1차단벽(537)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure compressed gas is supplied to the first supply pipe 521 through the external supply unit, the compressed gas supplied to the first supply pipe 521 is discharged from the inside of the 1-1 chamber 530a as shown in FIG. 8 . It is blocked by the first blocking wall 537 and cannot flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

압축 가스는 제1-1챔버(530a)를 따라 유동함과 동시에, 제1-1챔버(530a) 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측에 형성된 제1-1틈새(531a)를 통해, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된다.The compressed gas flows along the first-first chamber 530a and at the same time, the first-first-one formed inside the first-first chamber 530a in the downstream direction (that is, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550). Through the first gap 531a, it flows in the downstream direction of the second chamber 540 (ie, in the direction of the downstream part 552 of the flow part 550).

이렇게 제2챔버(540)로 유동된 압축 가스는, 제1-1챔버(530a) 내에서의 유동 방향과 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(540)를 따라 유동하게 된다.The compressed gas flowing into the second chamber 540 in this way flows along the ring-shaped second chamber 540 in the same clockwise direction as the flow direction in the 1-1 chamber 530a.

고압의 압축 가스가 외부 공급부를 통해 제2공급관(522)으로 공급되면, 제2공급관(522)으로 공급된 압축 가스는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-2챔버(530b) 내부에서 제2차단벽(539)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure compressed gas is supplied to the second supply pipe 522 through the external supply unit, the compressed gas supplied to the second supply pipe 522 is produced inside the 1-2 chamber 530b as shown in FIG. 8 . It is blocked by the second blocking wall 539 and cannot flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

압축 가스는 제1-2챔버(530b)를 따라 유동함과 동시에, 제1-2챔버(530b) 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향) 내측에 형성된 제1-2틈새(531b)를 통해, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된다.The compressed gas flows along the first-second chamber 530b and at the same time, the first-second chamber formed inside the first-second chamber 530b in the downstream direction (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550). Through the second gap 531b, it flows in the downstream direction of the second chamber 540 (ie, in the direction of the downstream part 552 of the flow part 550).

이렇게 제2챔버(540)로 유동된 압축 가스는, 제1-2챔버(530b) 내에서의 유동 방향과 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(540)를 따라 유동하게 된다.The compressed gas flowing into the second chamber 540 in this way flows along the ring-shaped second chamber 540 in the same clockwise direction as the flow direction in the first and second chambers 530b.

압축 가스는 제2챔버(540)를 따라 유동함과 동시에, 제2챔버(540)의 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향) 내측에 형성된 제2틈새(410)를 통해, 유동부(550) 내부로 유동된다.While the compressed gas flows along the second chamber 540 , the second gap 410 is formed inside the second chamber 540 in the upstream direction (ie, in the upstream portion 551 direction of the flow portion 550 ). ) through, the flow unit 550 flows into the interior.

유동부(550) 내부로 유동된 압축 가스는, 제1하류 경사부(521)를 따라, 유동부의 내측 방향으로 유동된 후, 제2하류 경사부(522)를 따라 유동부의 외측 방향으로 빠르게 유동하게 된다.The compressed gas flowing into the flow part 550 flows in the inside direction of the flow part along the first downstream inclined part 521 and then rapidly flows outwardly along the second downstream inclined part 522 of the flow part. will do

또한, 압축 가스는 제1-1챔버(530a), 제1-2챔버(530b) 및 제2챔버(540)에서 시계 방향으로 회전되던 회전력이 그대로 유동부(550)로 유지되어, 유동부(550)의 하류부(552) 내벽에서 하류부(552) 방향으로 나선을 그리며 유동하게 된다.In addition, in the compressed gas, the rotational force rotated clockwise in the 1-1 chamber 530a, 1-2 chamber 530b, and second chamber 540 is maintained in the flow part 550 as it is, and the flow part ( From the inner wall of the downstream portion 552 of the 550, it flows in a spiral in the direction of the downstream portion 552 .

위와 같이, 고압의 압축 가스는 제1, 2공급관(521, 522), 제1-1챔버(530a), 제1-2챔버(530b) 및 제2챔버(540)를 거쳐 유동부(550)로 주입되며, 이 경우, 압축 가스는 유동부(550) 내에서 매우 빠른 유속으로 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성하게 된다.As described above, the high-pressure compressed gas passes through the first and second supply pipes 521 and 522 , the 1-1 chamber 530a , the 1-2 chamber 530b and the second chamber 540 through the flow part 550 . is injected, and in this case, the compressed gas forms an air barrier layer L that spirally flows at a very high flow rate in the flow portion 550 .

압축 가스가 에어 장벽층(L)을 형성하여 매우 빠른 유속으로 제2하류 경사부(554)를 따라 유동함에 따라, 유동부(550)의 중앙영역은 순간적으로 저압 상태가 되고, 이로 인해, 상류 배관(311)을 통해 유동부(550)의 상류부(551)로 유입된 유해 가스는, 압축 가스와 함께 유동부(550)의 하류부(552) 측에서 유속이 가속되게 되며, 이를 통해, 매우 빠른 속도로 하류 배관(312)으로 유동하게 된다.As the compressed gas forms the air barrier layer L and flows along the second downstream inclined portion 554 at a very high flow rate, the central region of the flow portion 550 momentarily becomes a low pressure state, and thus, the upstream The noxious gas introduced into the upstream part 551 of the flow part 550 through the pipe 311 accelerates the flow rate at the downstream part 552 side of the flow part 550 together with the compressed gas. It flows into the downstream pipe 312 at a high speed.

이하, 도 9 및 도 10을 참조하여, 압축 가스를 통해 유해 가스의 속도를 증폭하는 과정에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a process of amplifying the velocity of the harmful gas through the compressed gas will be described in more detail with reference to FIGS. 9 and 10 .

전술한 바와 같이, 제1공급관(521) 및 제2공급관(522) 각각을 통해, 제1-1챔버(530a) 및 제1-2챔버(530b) 내부 각각으로 공급된 압축 가스는 제1-1챔버(530a) 및 제1-2챔버(530b) 내부 각각에서 유동하면서, 제1-1틈새(531a) 및 제1-2틈새(531b) 각각을 통해 제2챔버(540)로 유동하게 된다.As described above, the compressed gas supplied to the inside of the 1-1 chamber (530a) and the 1-2th chamber (530b) through each of the first supply pipe 521 and the second supply pipe 522 is the first- While flowing in each of the first chamber 530a and the first-second chamber 530b, it flows into the second chamber 540 through the first-first gap 531a and the first-second gap 531b, respectively. .

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제1-1틈새(531a)로 유동되는 압축 가스는 제1-1챔버(530a)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된 후, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 압축 가스는 제1-1챔버(530a)의 내측면과, 제2챔버(540)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 압축 가스의 속도가 1차로 증폭된다.As shown in FIGS. 9 and 10 , the compressed gas flowing through the 1-1 gap 531a flows in the downstream direction of the 1-1 chamber 530a (ie, the downstream part 552 of the flow part 550 ). direction), in the downstream direction of the second chamber 540 (that is, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550) in the upstream direction (ie, the upstream portion 551 of the flow portion 550). direction) will flow. In this process, the compressed gas flows along the inner surface of the first-first chamber 530a and the outer surface of the second chamber 540, so that the flow is guided and the velocity of the compressed gas is primarily amplified.

제1-2틈새(531b)로 유동되는 압축 가스는 제1-2챔버(530b)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)으로 유동된 후, 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 압축 가스는 제1-2챔버(530b)의 내측면과, 제2챔버(540)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 압축 가스의 속도가 1차로 증폭된다.After the compressed gas flowing into the 1-2 gap 531b flows in the downstream direction of the 1-2 chamber 530b (ie, the downstream part 552 direction of the flow part 550), the second chamber ( It flows from the downstream direction of 540 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow part 550) to the upstream direction (ie, the upstream portion 551 direction of the flow part 550). In this process, the compressed gas flows along the inner surface of the first and second chambers 530b and the outer surface of the second chamber 540, so that the flow is guided and the velocity of the compressed gas is primarily amplified.

위와 같이, 1차로 증폭된 압축 가스들은 제2챔버(540)의 내부로 유동하면서, 제2틈새(410)를 통해 제2챔버(540)로 유동하게 된다.As described above, the firstly amplified compressed gases flow into the second chamber 540 while flowing into the second chamber 540 through the second gap 410 .

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제2틈새(410)로 유동되는 압축 가스는 제2챔버(540)의 하류측 방향(즉, 유동부(550)의 하류부(552) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(550)의 상류부(551) 방향)으로 유동된 후, 유동부(550)로 유동하게 된다. 이 과정에서, 압축 가스는 제2챔버(540)의 내측면과, 유동부(550)의 제1하류 경사부(521)를 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 압축 가스의 속도가 2차로 증폭된다.9 and 10 , the compressed gas flowing into the second gap 410 is upstream in the downstream direction of the second chamber 540 (ie, the downstream portion 552 direction of the flow portion 550 ). After flowing in the lateral direction (ie, in the direction of the upstream part 551 of the flow part 550 ), it flows into the flow part 550 . In this process, the compressed gas flows along the inner surface of the second chamber 540 and the first downstream inclined portion 521 of the flow portion 550, so that the flow is guided so that the velocity of the compressed gas is secondarily amplified

이처럼, 공급관(520), 즉, 제1, 2공급관(521, 522)을 통해 제1챔버(300)로 공급된 압축 가스는, 제1챔버(300)에서 제2챔버(540)로 유동할 때 그 속도가 1차 증폭되고, 제2챔버(540)에서 유동부(550)로 유동할 때, 그 속도가 2차 증폭되게 된다.As such, the compressed gas supplied to the first chamber 300 through the supply pipe 520 , that is, the first and second supply pipes 521 and 522 , flows from the first chamber 300 to the second chamber 540 . When the speed is amplified first, when it flows from the second chamber 540 to the flow unit 550, the speed is amplified secondarily.

에어 장벽층(L)이 유동부(550)의 내벽 및 배관(310)의 내벽을 따라 나선 기류를 형성하며 유동되므로, 유해 가스는 배관(310)의 내벽에 접하지 않게 되고, 유동부(550)의 내벽 및 배관(310)의 내벽에서 박리되는 에어 장벽층(L)의 일부, 즉, 압축 가스의 일부와 함께 나선 유동을 하며, 하류 배관(312)으로 유동하게 되는 것이다.Since the air barrier layer L flows while forming a spiral air flow along the inner wall of the flow part 550 and the inner wall of the pipe 310 , the harmful gas does not come into contact with the inner wall of the pipe 310 , and the flow part 550 ) and a part of the air barrier layer (L) that is peeled off from the inner wall of the pipe 310 , that is, a part of the compressed gas flows in a spiral, and flows to the downstream pipe 312 .

전술한 구성을 갖는 본 발명의 제2실시 예에 따른 배관 보호 장치(500')는 제1, 2차단벽(537, 539)을 통해, 제1실시 예처럼 제1, 2공급관(521, 522)을 편심으로 배치하지 않더라도, 제1-1챔버(530a) 및 제1-2챔버(530b) 내부에서 압축 가스의 흐름을 일 방향으로 동일하게 유동시킬 수 있다.The pipe protection device 500 ′ according to the second embodiment of the present invention having the above-described configuration includes the first and second supply pipes 521 and 522 through the first and second blocking walls 537 and 539, as in the first embodiment. ), the flow of the compressed gas in the first-first chamber 530a and the first-second chamber 530b may be uniformly flowed in one direction even if the arrangement is not eccentric.

제1-1챔버(530a), 제1-2챔버(530b) 및 제2챔버(540)에서 일 방향으로 압축 가스의 흐름이 발생함에 따라, 제1-1챔버(530a), 제1-2챔버(530b) 및 제2챔버(540) 내부의 난류 발생이 최소화되어 유동부(550)로 주입되는 압축 가스의 높은 압력이 보장될 수 있다.As the compressed gas flows in one direction in the 1-1 chamber 530a, the 1-2 chamber 530b, and the second chamber 540, the 1-1 chamber 530a, the 1-2 th chamber The occurrence of turbulence inside the chamber 530b and the second chamber 540 is minimized, so that a high pressure of the compressed gas injected into the flow part 550 can be ensured.

제2챔버(540)에는, 제1-1챔버(530a)에서 제1-1틈새(531a)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제3차단벽(미도시)과, 제1-2챔버(530b)에서 제1-2틈새(531b)를 통해, 제2챔버(540)로 주입된 압축 가스를 일 방향으로 유도시키는 제4차단벽(미도시)이 구비될 수 있다.In the second chamber 540, through the 1-1 gap 531a from the 1-1 chamber 530a, a third blocking wall ( (not shown) and a fourth blocking wall (not shown) for guiding the compressed gas injected into the second chamber 540 in one direction through the 1-2 gaps 531b in the 1-2 chambers 530b This may be provided.

이 경우, 제2챔버는, 제3, 4차단벽에 의해 제1-1챔버(530a)에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제2-1챔버(미도시)와, 제1-2챔버(530b)에서 공급된 압축 가스가 유동하는 제2-2챔버로 상호 구별될 수 있다.In this case, the second chamber includes a 2-1 chamber (not shown) in which the compressed gas supplied from the 1-1 chamber 530a flows by the third and fourth blocking walls, and a 1-2 chamber 530b. ) can be distinguished from each other into a second chamber 2-2 in which the supplied compressed gas flows.

위와 같이, 제2챔버(540)가 제2-1챔버 및 제2-2챔버로 구별됨에 따라, 제2-1챔버 및 제2-2챔버 내부에서 난류 발생이 최소화되어, 유동부(550)를 통해 배출되는 유속의 높은 증폭을 달성할 수 있다.As described above, as the second chamber 540 is divided into the 2-1 chamber and the 2-2 chamber, the generation of turbulence inside the 2-1 chamber and the 2-2 chamber is minimized, and the flow part 550 is A high amplification of the outgoing flow rate can be achieved through

제1-1틈새(531a)는 제1공급관(521)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-1틈새(531a)의 높이가 제1공급관(521)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제1공급관(521)에서 멀어지더라도, 많은 양의 압축 가스가 제1-1틈새(531a)를 통해 제2챔버(540) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-1챔버(530a) 내부 및 제2챔버(540)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The first-first gap 531a may be formed to have a longer height as it moves away from the first supply pipe 521 . As described above, as the height of the 1-1 gap 531a is formed to become longer as it is further away from the first supply pipe 521 , even if it is farther from the first supply pipe 521 , a large amount of compressed gas is released into the first -1 may be injected into the second chamber 540 through the gap 531a. Accordingly, a uniform flow pressure in the first-first chamber 530a and the second chamber 540 may be formed.

제1-2틈새(531b)는 제2공급관(522)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-2틈새(531b)의 높이가 제2공급관(522)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제2공급관(522)에서 멀어지더라도, 많은 양의 압축 가스가 제1-2틈새(531b)를 통해 제2챔버(540) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-2챔버(530b) 내부 및 제2챔버(540)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The first and second gaps 531b may be formed to have a longer height as they move away from the second supply pipe 522 . As described above, as the height of the first and second gaps 531b is formed to become longer as it is further away from the second supply pipe 522 , even if it is farther from the second supply pipe 522 , a large amount of compressed gas is released into the first -2 may be injected into the second chamber 540 through the gap 531b. Accordingly, a uniform flow pressure in the first and second chambers 530b and in the second chamber 540 may be formed.

기류 연장부(600)airflow extension (600)

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)은, 배관 보호 장치(500, 500')의 하류 측에 위치하도록 배관(310)에 구비되며, 상류측에서 하류측으로 갈수록 내부 직경이 작아지는 제1경사 구간(610)과, 제1경사 구간(610)에서부터 하류측으로 갈수록 그 내부 직경이 커지는 제2경사 구간(620)을 갖는 기류 연장부(600);를 더 포함하여 구성될 수 있다.1, the harmful gas exhaust system 10 of the present invention is provided in the pipe 310 so as to be located on the downstream side of the pipe protection devices 500 and 500', The airflow extension portion 600 having a first inclined section 610 having a smaller diameter and a second inclined section 620 whose inner diameter increases from the first inclined section 610 to the downstream side; can be

이하, 도 1 및 도 11을 참조하여, 유해 가스 배기 시스템(10)에 구비되는 기류 연장부(600)에 대해 설명한다.Hereinafter, the airflow extension unit 600 provided in the harmful gas exhaust system 10 will be described with reference to FIGS. 1 and 11 .

도 11은 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 기류 연장부의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이다.11 is a view illustrating a flow of a fluid flowing inside an airflow extension unit provided in the harmful gas exhaust system of FIG. 1 .

도 1 및 도 11에 도시된 바와 같이, 기류 연장부(600)는 배관 보호 장치(500, 500')의 하류 측에 위치하도록 배관(310)에 구비된다.1 and 11, the airflow extension part 600 is provided in the pipe 310 so as to be located on the downstream side of the pipe protection devices 500 and 500'.

기류 연장부(600)는 상류측에서 하류측으로 갈수록 내부 직경이 작아지는 제1경사 구간(610);과, 제1경사 구간(610)에서부터 하류측으로 갈수록 그 내부 직경이 커지는 제2경사 구간(620);과, 제1경사 구간(610)과 제2경사 구간(620) 사이에서, 제1경사 구간(610)과 제2경사 구간(620)을 연결하며, 그 내부 직경의 변화가 없는 연결 구간(630);을 포함하여 구성될 수 있다.The airflow extension part 600 includes a first inclined section 610 whose inner diameter decreases from the upstream side to the downstream side; and a second inclined section 620 whose inner diameter increases from the first inclined section 610 to the downstream side. ); and, between the first slope section 610 and the second slope section 620, the first slope section 610 and the second slope section 620 are connected, and there is no change in the inner diameter of the connection section (630); may be configured to include.

위와 같은 구성을 갖는 기류 연장부(600)는, 배관 보호 장치(500, 500')에서 형성된 나선 유동의 에어 장벽층(L)을 더욱 연장시켜 기류 연장부(600)의 하류측 배관(310)에도 나선 유동의 에어 장벽(L)이 유지된 채, 배관(310) 내부의 유체가 하류측으로 유동되게 한다.The airflow extension part 600 having the above configuration further extends the air barrier layer L of the spiral flow formed in the pipe protection devices 500 and 500' to further extend the downstream pipe 310 of the airflow extension part 600 . Even while the air barrier L of the spiral flow is maintained, the fluid inside the pipe 310 flows to the downstream side.

기류 연장부(600)가 구비되지 않을 경우, 배관 보호 장치(500, 500')를 통해 하류 배관(310)으로 유동된 유체는, 에어 장벽층(L)이 배관(310) 내벽에 나선 유동을 그리며 유동하게 된다. 이러한 나선 유동의 에어 장벽층(L)은 배관(310)의 하류측으로 갈수록 회전력이 약해지게 되어, 배관(310) 중앙의 유체의 유동, 즉, 유해 가스 및 일부의 압축 가스의 유동과 혼합되게 된다. 이러한 혼합으로 인해, 배관(310) 내벽의 에어 장벽층(L)은 배관(310) 내벽으로부터 박리되고, 에어 장벽층(L) 및 배관(310) 중앙의 유체의 나선 유동 또한, 중단되게 된다.When the air flow extension part 600 is not provided, the fluid flowing to the downstream pipe 310 through the pipe protection devices 500 and 500 ′ causes the air barrier layer L to helically flow on the inner wall of the pipe 310 . draw and move. The spiral flow air barrier layer (L) has a weaker rotational force toward the downstream side of the pipe 310, and is mixed with the flow of the fluid in the center of the pipe 310, that is, the flow of harmful gas and some compressed gas. . Due to this mixing, the air barrier layer (L) of the inner wall of the pipe (310) is peeled off from the inner wall of the pipe (310), and the spiral flow of the air barrier layer (L) and the fluid in the center of the pipe (310) is also stopped.

위와 달리, 기류 연장부(600)가 배관 보호 장치(500, 500')의 후단에 구비될 경우, 나선 유동되는 에어 장벽층(L)이 제1경사 구간(610)을 통해 유동될 때, 나선 유동의 회전 반경이 순간적으로 작아지게 되어 압력 변화가 발생하게 됨으로써, 감소된 나선 회전력이 다시 증가하게 된다. Contrary to the above, when the airflow extension part 600 is provided at the rear end of the pipe protection devices 500 and 500 ′, the spirally flowing air barrier layer L flows through the first inclined section 610 . The rotational radius of the flow is momentarily reduced, resulting in a pressure change, so that the reduced helical rotational force increases again.

이 후, 연결 구간(630)을 거쳐 제2경사 구간(620)으로 유동되면, 에어 장벽층(L)과 중앙 유체 유동의 혼합이 방지되고, 증가된 나선 회전력은 유지된 채, 기류 연장부(600)의 하류측으로 유동됨으로써, 기류 연장부(600)의 하류측에 나선 유동의 에어 장벽층(L)이 연장될 수 있는 것이다.After that, when it flows through the connection section 630 to the second inclined section 620, mixing of the air barrier layer (L) and the central fluid flow is prevented, and the increased helical rotational force is maintained while the airflow extension part ( By flowing to the downstream side of the 600 , the air barrier layer L of the spiral flow can be extended to the downstream side of the air flow extension part 600 .

다시 말해, 기류 연장부(600)는, 제1경사 구간(610)을 통해, 나선 유동을 증폭시킴으로써, 에어 장벽층(L)을 연장시키고, 제2경사 구간(620)을 통해, 에어 장벽층(L)과 중앙의 유체 유동의 혼합을 방지시키는 것이다.In other words, the airflow extension 600 extends the air barrier layer L by amplifying the spiral flow through the first inclined section 610 , and through the second inclined section 620 , the air barrier layer (L) and the central fluid flow to prevent mixing.

위와 같은 기류 연장부(600)가 유해 가스 배기 시스템(10)에 구비됨에 따라, 넓은 구간의 배관(310)에 파티클 또는 가스 파우더에 의한 침전이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.As the airflow extension 600 as described above is provided in the harmful gas exhaust system 10 , it is possible to more effectively prevent the occurrence of precipitation by particles or gas powder in the pipe 310 of a wide section.

이러한 기류 연장부(600)는, 에어 장벽층(L)이 소멸되는 구간에 구비되는 것이 바람직하다.The airflow extension 600 is preferably provided in a section where the air barrier layer L disappears.

예컨데, 배관 보호 장치(500, 500')에 의해 형성되는 나선 유동의 에어 장벽층(L)이 배관 보호 장치(500, 500')의 하류측 배관(310)의 1m 지점이라고 한다면, 기류 연장부(600)는 배관 보호 장치(500, 500')의 하류측 1m 지점에 구비되는 것이 바람직하다. 이처럼, 배관 보호 장치(500, 500')의 하류측 1m 지점에 기류 연장부(600)가 구비되면, 기류 연장부(600)의 하류측 약 1m 지점까지 나선 유동의 에어 장벽층(L)이 유지될 수 있다.For example, if the air barrier layer L of the spiral flow formed by the pipe protection devices 500 and 500' is a point 1 m of the pipe 310 on the downstream side of the pipe protection devices 500 and 500', the airflow extension part 600 is preferably provided at a point 1m downstream of the pipe protection devices 500 and 500'. As such, when the airflow extension 600 is provided at a point 1m on the downstream side of the pipe protection devices 500 and 500', the air barrier layer L of the spiral flow up to about 1m on the downstream side of the airflow extension portion 600 is formed. can be maintained

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)은 복수개의 배관 보호 장치(500, 500') 및 복수개의 기류 연장부(600)를 구비할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the harmful gas exhaust system 10 of the present invention may include a plurality of pipe protection devices 500 and 500 ′ and a plurality of airflow extension parts 600 .

특히, 배관(310)이 절곡되는 구간이 있을 경우, 배관 보호 장치(500, 500') 및 기류 연장부(600)가 절곡 구간의 상류측 및 하류측 각각에 구비됨으로써, 공정챔버(100)의 유해 가스 배기의 효율을 높임과 동시에, 전체 배관의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 더욱 효율적으로 방지할 수 있다.In particular, when there is a section in which the pipe 310 is bent, the pipe protection devices 500 and 500 ′ and the airflow extension part 600 are provided on the upstream and downstream sides of the bent section, respectively, so that the process chamber 100 is It is possible to more effectively prevent particles or gas powder from being deposited on the inner wall of the entire pipe while increasing the efficiency of exhausting harmful gas.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

10: 유해 가스 배기 시스템
100: 공정챔버 200: 펌프
210: 배기배관 300: 스크러버
310: 배관 311: 상류 배관
313: 하류 배관
500, 500': 배관 보호 장치 510: 바디
511: 제1바디 512: 제2바디
513: 제1중공 515: 제2중공
517: 홈부 520: 공급관
521: 제1공급관 522: 제2공급관
530: 제1챔버 530a: 제1-1챔버
530b: 제1-2챔버 540: 제2챔버
541: 제2틈새 550: 유동부
551: 상류부 552: 하류부
553: 상류 경사부 554: 하류 경사부
554a: 제1하류 경사부 554b: 제2하류 경사부
600: 기류 연장부 610: 제1경사 구간
620: 제2경사 구간 630: 연결 구간10: Hazardous gas exhaust system
100: process chamber 200: pump
210: exhaust pipe 300: scrubber
310: pipe 311: upstream pipe
313: downstream piping
500, 500': pipe protection device 510: body
511: first body 512: second body
513: first hollow 515: second hollow
517: groove 520: supply pipe
521: first supply pipe 522: second supply pipe
530: first chamber 530a: 1-1 chamber
530b: first 1-2 chamber 540: second chamber
541: second gap 550: flow part
551: upstream part 552: downstream part
553: upstream slope 554: downstream slope
554a: first downstream slope 554b: second downstream slope
600: airflow extension 610: first slope section
620: second slope section 630: connection section

Claims

piping connecting the pump and scrubber; and
Including; a pipe protection device provided in the pipe;
The pipe protection device,
a supply pipe to which compressed gas is supplied;
a first chamber communicating with the supply pipe;
a second chamber having an outer side communicating with the first chamber so as to be located inside the first chamber;
a flow part communicating with the second chamber so as to be located inside the second chamber, an upstream part communicating with an upstream pipe of the pipe, and a downstream part communicating with a downstream pipe of the pipe;
a first gap formed in a circular shape along an inner side of the first chamber in a downstream direction to communicate an inner side of the first chamber in a downstream direction and an outer side of the second chamber in a downstream direction; and
a second gap formed in a circular shape along the upstream inner side of the second chamber to communicate the upstream inner side of the second chamber with the flow part; and
The compressed gas supplied from the supply pipe flows along the first chamber and flows from the downstream direction to the upstream direction of the second chamber through the first gap formed inside the first chamber in the downstream direction. injected into the second chamber,
The compressed gas injected into the second chamber through the first gap flows along the second chamber and flows into the flow part through the second gap formed inside the upstream side of the second chamber. infused with wealth,
The compressed gas injected into the flow part forms an air barrier layer on the inner wall of the pipe to prevent particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe from precipitating on the inner wall of the pipe. system.

According to claim 1,
The harmful gas exhaust system according to claim 1, wherein an upstream inclined portion inclined inwardly is provided on the inner wall of the upstream portion so that the diameter of the upstream portion becomes smaller from the upstream portion toward the downstream portion.

According to claim 1,
On the inner wall of the downstream portion, a first downstream inclined portion inclined inwardly such that the diameter of the downstream portion becomes smaller from the upstream portion toward the downstream portion in the direction of the downstream portion; The harmful gas exhaust system, characterized in that the second downstream inclined portion inclined outwardly so that the diameter of the downstream portion becomes larger.

According to claim 1,
A first slope provided in the pipe so as to be located on the downstream side of the pipe protection device, the inner diameter of which decreases from the upstream side to the downstream side, and a second slope whose inner diameter increases from the first slope to the downstream side. Hazardous gas exhaust system further comprising; an airflow extension having a section.

In the pipe protection device installed in the pipe,
The pipe protection device,
a supply pipe to which compressed gas is supplied;
a first chamber communicating with the supply pipe;
a second chamber having an outer side communicating with the first chamber so as to be located inside the first chamber;
a flow part communicating with the second chamber so as to be located inside the second chamber;
a first gap formed in a circular shape along an inner side of the first chamber in a downstream direction to communicate an inner side of the first chamber in a downstream direction and an outer side of the second chamber in a downstream direction; and
a second gap formed in a circular shape along the upstream inner side of the second chamber to communicate the upstream inner side of the second chamber with the flow part; and
The compressed gas supplied from the supply pipe flows along the first chamber and flows from the downstream direction to the upstream direction of the second chamber through the first gap formed inside the first chamber in the downstream direction. injected into the second chamber,
The compressed gas injected into the second chamber through the first gap flows along the second chamber and flows into the flow part through the second gap formed inside the upstream side of the second chamber. infused with wealth,
The compressed gas injected into the flow part is a pipe protection device, characterized in that to form an air barrier layer on the inner wall of the pipe.

6. The method of claim 5,
The supply pipe is
a first supply pipe disposed eccentrically from the central axis of the flow part; and
a second supply pipe disposed eccentrically from the central axis of the flow part and disposed on the opposite side in a diagonal direction from the first supply pipe; and
The compressed gas supplied to the first chamber through the first supply pipe and the second supply pipe rotates in one direction in the first chamber and is injected into the second chamber, and the compressed gas injected into the second chamber is A pipe protection device, characterized in that it rotates in one direction in the second chamber and is injected into the flow part.

6. The method of claim 5,
The supply pipe is
a first supply pipe provided on one side of the pipe protection device; and
a second supply pipe provided on the other side of the pipe protection device to be disposed symmetrically with the first supply pipe with respect to the central axis of the pipe protection device;
that the first chamber is provided with a first blocking wall for guiding the compressed gas supplied from the first supply pipe in one direction and a second blocking wall for guiding the compressed gas supplied from the second supply pipe in one direction Features a piping protection device.

8. The method of claim 7,
The first chamber includes a 1-1 chamber in which the compressed gas supplied from the first supply pipe flows by the first and second blocking walls, and a 1-2 chamber in which the compressed gas supplied from the second supply pipe flows. Pipe protection device, characterized in that distinguished from each other.

9. The method of claim 8,
A first guide portion is provided in the chamber 1-1, which is inclined toward a downstream portion of the flow portion as the distance from the first supply pipe is increased,
The pipe protection device according to claim 1 , wherein a second guide part inclined toward a downstream part of the flow part is provided in the second chamber, as the distance from the second supply pipe increases.