KR20140055742A - A cassette rotating apparatus within a loadlock chamber - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus for rotating a cassette included inside a load lock chamber, which comprises: a ring-shaped guide groove which is formed on a base plate of a cassette; multiple fixating grooves which are formed in the guide groove at a fixed angle; a central hole which is formed at the center of the guide groove by penetrating the base plate installed inside a load lock chamber; multiple supporting rods which correspond to the fixating grooves installed inside the load lock chamber; a ball plunger which is mounted on the top of the supporting rod; a support which is formed on the center of the multiple supporting rods in order to support the cassette; and a central pin which is formed in the center of the support and is inserted into the central hole in order to prevent the separation of the cassette. For loading a substrate or a mask necessary for an OLED vacuum evaporation process during an evaporation process without breaking the vacuum state, a cassette where multiple substrates or masks are inserted is loaded or unloaded. At the time, the heavy cassette should be withdrawn to the outside at every cassette loading or unloading work because of disagreement between the work direction inside cluster vacuum evaporation equipment and the loading direction of the cassette with substrates and masks into a load lock chamber. However, through the present invention, such inconvenience can be removed and work efficiency can increase by including the apparatus for rotating a cassette inside the load lock chamber.

Description

로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치{A Cassette Rotating Apparatus within a Loadlock Chamber}[0001] The present invention relates to a cassette rotating device provided within a load lock chamber,

본 발명은 카세트 회전 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 증착 공정을 할 때 쓰이는 클러스터 진공증착 장비 내의 로드락 챔버에 로딩되는 카세트의 무게가 무겁기 때문에 작업자의 편의를 위해 카세트가 회전 가능하도록 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치에 관한 것이다. [0001] The present invention relates to a cassette rotating apparatus, and more particularly, to a cassette rotating apparatus in which a cassette loaded in a load lock chamber in a cluster vacuum deposition apparatus used for an OLED deposition process is heavy, And a cassette rotating device provided in the chamber.

OLED 진공증착 공정에 필요한 기판이나 마스크를 진공 상태를 깨지 않고 증착 공정 과정 중에 로딩하기 위해 클러스터 진공증착 장비 내에 포함되어 있는 로드락 챔버에 복수 개의 기판이나 마스크가 투입된 카세트를 로딩한다. 카세트에는 복수 개의 기판이나 마스크가 로딩될 수 있는 슬롯이 구비되어 있고, 작업자가 카세트에 기판이나 마스크를 로딩한 후 클러스터 진공증착 장비 내에서 증착 공정이 이루어지도록 로드락 챔버에 카세트를 장착한다. In order to load the substrate or mask necessary for the OLED vacuum deposition process without breaking the vacuum state during the deposition process, a cassette loaded with a plurality of substrates or masks is loaded in a load lock chamber included in the cluster vacuum deposition equipment. The cassette is provided with a slot into which a plurality of substrates or masks can be loaded and a cassette is mounted on the load lock chamber so that the operator can load the substrate or mask onto the cassette and then perform the deposition process in the cluster vacuum deposition equipment.

도 1은 일반적인 클러스터 진공증착 장비를 나타내는 평면도로서 진공증착 장비 내에서 기판이나 마스크가 로딩 또는 언로딩되는 공정 방향이 도시되어 있는데, 카세트를 기판이나 마스크가 로딩 또는 언로딩될 수 있는 방향으로 로드락 챔버에 장착해야 한다. 다시 말해서, 카세트에 기판이나 마스크를 로딩한 방향과 클러스터 진공증착 장비 내에서 증착 공정이 이루어지도록 방향이 일치하도록 장착해야 한다. 따라서 또 다시 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩하기 위해서는 작업자가 무거운 카세트를 직접 밖으로 꺼내는 작업이 수반된다. Figure 1 is a plan view of a typical cluster vacuum deposition apparatus showing the process direction in which a substrate or mask is loaded or unloaded in a vacuum deposition apparatus in which the cassette is loaded and unloaded in a direction that the substrate or mask can be loaded or unloaded It must be mounted in the chamber. In other words, the cassette must be mounted in such a way that the direction of loading the substrate or mask and the deposition process in the cluster vacuum deposition equipment are aligned. Therefore, in order to load or unload the substrate or mask again, the worker is required to take out the heavy cassette directly.

종래의 기술로써 공개특허 10-2011-0003241호에는 로드락 챔버의 카세트 승강장치에 실린더 구동에 의해 소정의 높이를 승강하는 엘리베이터가 있으나, 카세트에서 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩할 때 카세트를 회전하는 장치가 없어 무게가 무거운 카세트를 작업자가 회전시키게 되므로 작업하는데 불편함이 있어 본 발명을 제안하게 되었다.In the prior art, the cassette lifting device of the load lock chamber has an elevator which lifts the cassette up to a predetermined height by driving the cylinder. However, when the cassette is rotated or unloaded from the cassette, And the cassette having a heavy weight is rotated by the operator.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 카세트가 회전 가능하도록 하여 로드락 챔버에서 카세트를 꺼내지 않고도 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 하여 작업자의 작업효율을 높일 수 있는 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for loading and unloading a substrate or a mask onto or from a cassette without removing the cassette from the load lock chamber, And it is an object of the present invention to provide a cassette rotating device provided in a load lock chamber.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치는 카세트의 베이스 플레이트에 링형상으로 형성되는 가이드 홈과, 상기 가이드 홈에 일정한 각도로 형성되어 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 고정 홈과, 상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 가이드 홈의 중앙에 형성되는 중앙홀과, 상기 고정 홈에 대응되도록 로드락 챔버 내부 하면에 설치되는 복수의 지지대와, 상기 지지대 상단에 장착되는 볼 플런저와, 복수의 상기 지지대의 중앙에 형성되어 카세트를 지지해 주는 받침부와, 상기 받침부 중앙에 형성되어 상기 카세트가 이탈되지 않도록 상기 중앙홀에 끼워지는 중앙핀을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, a cassette rotary device provided in a load lock chamber according to the present invention comprises a guide groove formed in a ring shape on a base plate of a cassette, a stopper formed at a predetermined angle in the guide groove, A center hole formed at a center of the guide groove through the base plate; a plurality of supports mounted on a bottom surface of the load lock chamber so as to correspond to the fixing grooves; And a center pin formed at the center of the support portion and fitted in the center hole to prevent the cassette from being detached from the support portion. .

본 발명에서는 복수의 상기 지지대 하부에 설치되는 링형상의 고정부가 더 포함될 수 있다.The present invention may further include a ring-shaped fixing portion provided below the plurality of supports.

또한, 상기 고정부는 고정장치에 의해 로드락 챔버 내부에 고정될 수 있다. Further, the fixing portion can be fixed to the inside of the load lock chamber by the fixing device.

그리고, 상기 볼 플런저는 상기 지지대의 상단에서 돌출되어 회전하는 볼과,The ball plunger includes a ball protruding from the upper end of the supporter and rotating,

상기 지지대 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성될 수 있다. And a spring inserted into the support to apply an elastic force to the ball.

아울러, 상기 받침부는 상기 카세트가 장착되었을 때 상기 볼 플런저가 상기 가이드 홈에 닿을 수 있는 높이로 형성될 수 있다.In addition, the receiving portion may be formed at a height that allows the ball plunger to contact the guide groove when the cassette is mounted.

본 발명에서 상기 중앙핀은 원기둥 형태로 상기 카세트의 중앙홀에 끼움결합하여 상기 카세트가 이탈되지 않도록 할 수 있다.In the present invention, the center pin may be inserted into a center hole of the cassette in a cylindrical shape to prevent the cassette from being detached.

또한, 상기 고정 홈은 90°의 각도로 4개가 형성되고 상기 지지대도 90°의 각도로 4개가 형성될 수 있다.Further, the fixing grooves may be formed at an angle of 90 ° with four, and the supporting bars may be formed at an angle of 90 °.

그리고, 상기 베이스 플레이트는 SUS 재질로 형성될 수 있다.The base plate may be made of SUS material.

또한, 상기 볼은 SUS 재질로 형성될 수 있다.In addition, the ball may be formed of SUS material.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 클러스터 진공증착 장비 내에 포함되어 있는 로드락 챔버에 카세트 이탈방지를 위한 중앙 핀과 회전 가능하도록 볼 플런저(ball plunger)를 구비하여 로드락 챔버에 카세트가 장착된 상태에서 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩한 뒤 클러스터 진공증착 장비에서 증착 공정이 이루어지도록 카세트를 회전시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩할 때 무거운 카세트를 밖으로 꺼내는 번거로운 작업을 하지 않아도 되므로 작업의 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the load lock chamber included in the cluster vacuum vapor deposition apparatus is provided with a center pin for preventing cassette detachment and a ball plunger rotatably so that the cassette is mounted on the load lock chamber It is possible to rotate the cassette so that the deposition process is performed in the cluster vacuum deposition apparatus after loading or unloading the substrate or the mask. In addition, when loading or unloading a substrate or a mask, it is unnecessary to take out a heavy cassette out of the cassette, thereby improving the efficiency of the operation.

도 1은 일반적인 클러스터 진공증착 장비를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 카세트 회전 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 카세트의 저면과 로드락 챔버 내의 회전 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 카세트의 저면도이다.
도 5는 본 발명의 로드락 챔버에 카세트가 장착된 단면도이다.1 is a plan view of a typical cluster vacuum deposition apparatus.
2 is a perspective view showing a configuration of a cassette rotating device of the present invention.
3 is a perspective view showing the bottom of the cassette of the present invention and the rotating device in the load lock chamber.
4 is a bottom view of the cassette of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view of a cassette mounted on a load lock chamber of the present invention.

이하, 본 발명의 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a cassette rotating device provided in a load lock chamber of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 카세트 회전 장치의 구성을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 카세트의 저면과 로드락 챔버 내의 회전 장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 카세트의 저면도이다.Fig. 2 is a perspective view showing a configuration of the cassette rotating apparatus of the present invention, Fig. 3 is a perspective view showing a bottom surface of the cassette of the present invention and a rotating apparatus in the load lock chamber, and Fig. 4 is a bottom view of the cassette of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치는 클러스터 진공증착 전후에 유리 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 때, 로드락 챔버(10)에서 상기 카세트(20)를 밖으로 꺼내지 않고 상기 카세트(20)를 회전시켜 유리 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 수 있는 장치로 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에 설치되는 중앙핀(110), 볼 플런저(120), 지지대(130), 고정부(140), 받침부(150)와, 상기 카세트의 베이스 플레이트(200)에 형성되는 중앙홀(210), 고정홈(220), 가이드홈(230)을 포함한다.Referring to FIG. 3, the cassette rotating apparatus provided in the load lock chamber according to the embodiment of the present invention is configured such that when loading or unloading a glass substrate or a mask onto or from a cassette before or after cluster vacuum deposition, A center pin (110) installed on the inner surface (100) of the load lock chamber is a device capable of loading or unloading a glass substrate or a mask onto a cassette by rotating the cassette (20) without taking out the cassette (20) A ball plunger 120, a support 130, a fixing part 140, a support 150, a center hole 210 formed in the base plate 200 of the cassette, a fixing groove 220, (230).

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에는 복수 개의 상기 지지대(130)가 형성되는데 상기 복수의 지지대(130) 하부에는 링형상의 상기 고정부(140)가 설치되며, 상기 고정부(140)는 고정장치에 의해 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에 고정된다. 또한, 상기 지지대(130) 상단에는 상기 볼 플런저(120)가 설치되는데 상기 볼 플런저(120)는 상기 지지대(130)의 상단에 돌출되어 회전하는 볼과, 상기 지지대(130) 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성된다. 이 때, 상기 스프링의 탄성력으로 상기 볼이 튀어나가지 않도록 상기 지지대(130)의 상단에 직경이 상기 볼의 직경보다 작은 링형상의 띠가 구비된다.3, a plurality of the supports 130 are formed on the inner surface 100 of the load lock chamber. The plurality of the supports 130 are provided with the ring-shaped fixing portions 140 below the support rods 130 , And the fixing portion 140 is fixed to the inner bottom surface 100 of the load lock chamber by a fixing device. The ball plunger 120 is mounted on an upper end of the supporter 130. The ball plunger 120 includes a ball protruding from an upper end of the supporter 130 and inserted into the supporter 130, And a spring for applying an elastic force to the ball. At this time, a ring-shaped band having a diameter smaller than the diameter of the ball is provided at the upper end of the support base 130 so that the ball does not protrude due to the elastic force of the spring.

도 4를 참조하면, 상기 카세트의 베이스 플레이트(200)에는 링형상으로 상기 가이드홈(230)이 형성되며, 상기 가이드홈(230)에 일정한 각도로 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 상기 고정홈(220)이 형성된다. 또한, 상기 베이스 플레이트(200)를 관통하여 상기 가이드홈(230)의 중앙에 중앙홀(210)이 형성된다. Referring to FIG. 4, the cassette base plate 200 is formed with a guide groove 230 in a ring shape, and a plurality of the fixing grooves 230, which serve as stoppers at a predetermined angle, (Not shown). A center hole 210 is formed in the center of the guide groove 230 through the base plate 200.

본 발명의 실시예에서 상기 지지대(130)는 90°간격으로 4개가 형성되며, 상기 지지대(130) 상단에 설치되는 상기 볼에 대응되도록 상기 고정홈(220)도 90°간격으로 4개가 형성된다. In the embodiment of the present invention, four support bars 130 are formed at intervals of 90 degrees and four fixing grooves 220 are formed at intervals of 90 degrees so as to correspond to the balls installed at the upper end of the support bar 130 .

또한, 도 2에 도시한 바와 같이 상기 로드락 챔버(10)에 상기 카세트(20)가 장착되면 상기 가이드홈(230)을 따라 상기 볼 플런저(120)의 볼이 회전하면서 상기 카세트(20)는 회전이동하게 되고, 상기 볼 플런저(120)는 상기 고정홈(220)에 대응되도록 설치되어 스토퍼(stopper)기능을 하므로 상기 고정홈(220)에 상기 볼이 맞닿게 되면 회전이동하던 상기 카세트(20)는 고정된다. 이와 같이 상기 로드락 챔버(10)의 회전장치에 장착된 상기 카세트(20)는 360°회전이 가능하나 필요에 따라 90°간격으로 고정시킬 수도 있다.2, when the cassette 20 is mounted on the load lock chamber 10, the ball of the ball plunger 120 rotates along the guide groove 230, And the ball plunger 120 is provided to correspond to the fixing groove 220 and functions as a stopper so that the ball plunger 120 can be rotated by the rotation of the cassette 20 ) Is fixed. As such, the cassette 20 mounted on the rotating device of the load lock chamber 10 can rotate 360 degrees, but may be fixed at intervals of 90 degrees as necessary.

도 5는 본 발명의 로드락 챔버에 카세트가 장착된 단면도인데, 도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 상기 지지대(130)의 중앙에는 원반형태의 상기 받침부(150)가 설치되는데 상기 받침부(150)는 상기 카세트(20)가 장착되었을 때 상기 볼 플런저(120)가 상기 가이드홈(230)에 닿을 수 있는 높이로 형성되어 상기 카세트(20)가 상기 로드락 챔버(10) 내에 로딩되었을 때 상기 카세트(20)를 지지해 준다. 5, a cassette is mounted on a load lock chamber of the present invention. As shown in FIG. 5, a disk-shaped support unit 150 is installed at the center of a plurality of the support units 130, The ball plunger 150 is formed at a height that allows the ball plunger 120 to contact the guide groove 230 when the cassette 20 is loaded so that the cassette 20 is loaded in the load lock chamber 10 The cassette 20 is supported.

아울러, 도 3과 도 5를 참조하면, 상기 카세트(20)가 상기 로드락 챔버(100)에 장착될 때, 상기 받침부(150)의 중앙에 원기둥 형태로 형성된 상기 중앙핀(110)이 상기 카세트(20)가 이탈되지 않도록 상기 베이스 플레이트(200)의 중앙에 형성되는 상기 중앙홀(210)에 끼움결합하게 된다.3 and 5, when the cassette 20 is mounted in the load lock chamber 100, the center pin 110, which is formed in a cylindrical shape at the center of the receiving unit 150, And is inserted into the center hole 210 formed at the center of the base plate 200 so that the cassette 20 is not released.

상기 베이스 플레이트(200)와 상기 볼은 SUS 재질을 사용하여 제작함으로써 상기 베이스 플레이트(200)에 형성된 가이드홈(230)을 따라 상기 볼이 회전하면서 생성되는 베어링 파티클(bearing particle)을 방지한다. The base plate 200 and the balls are manufactured using SUS material to prevent bearing particles generated by the balls rotating along the guide grooves 230 formed in the base plate 200.

본 발명의 실시예에 따르면 상기 볼 플런저(120)의 볼 1개가 3kg의 하중을 견딜 수 있는데, 상기 볼 플런저(120)가 4개가 형성되어 최대 12kg의 하중까지 견디도록 회전장치가 설치된다. 상기 카세트(20)의 무게가 6kg이고, 상기 카세트(20)에 로딩되는 마스크 5장의 무게가 3kg, 유리 기판이 0.5kg으로 총 9.5kg이므로 최소 3개의 볼이 구비되면 회전구동에는 문제가 없다. According to the embodiment of the present invention, one ball of the ball plunger 120 can withstand a load of 3 kg, and a rotating device is installed so that the ball plunger 120 is formed to bear a load of 12 kg at maximum. Since the weight of the cassette 20 is 6 kg, the weight of the five masks loaded in the cassette 20 is 3 kg, and the glass substrate is 0.5 kg, the total weight is 9.5 kg.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation in the embodiment in which said invention is directed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the scope of the appended claims.

10 : 로드락 챔버 20 : 카세트
100 : 로드락 챔버의 내부 하면 110 : 중앙핀
120 : 볼 플런저 130 : 지지대
140 : 고정부 150 : 받침부
200 : 카세트의 베이스 플레이트 210 : 중앙홀
220 : 고정홈 230 : 가이드홈10: Load lock chamber 20: Cassette
100: inner surface of the load lock chamber 110: center pin
120: Ball plunger 130: Support
140: fixing part 150:
200: base plate of cassette 210: center hole
220: fixing groove 230: guide groove

Claims (9)

카세트의 베이스 플레이트에 링형상으로 형성되는 가이드 홈;
상기 가이드 홈에 일정한 각도로 형성되어 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 고정 홈;
상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 가이드 홈의 중앙에 형성되는 중앙홀;
상기 고정 홈에 대응되도록 로드락 챔버 내부 하면에 설치되는 복수의 지지대;
상기 지지대 상단에 장착되는 볼 플런저;
복수의 상기 지지대의 중앙에 형성되어 카세트를 지지해 주는 받침부; 및
상기 받침부 중앙에 형성되어 상기 카세트가 이탈되지 않도록 상기 중앙홀에 끼워지는 중앙핀;
을 포함하는 카세트 회전 장치.A guide groove formed on the base plate of the cassette in a ring shape;
A plurality of fixing grooves formed at predetermined angles in the guide grooves and serving as stoppers;
A center hole passing through the base plate and formed at the center of the guide groove;
A plurality of supports mounted on a bottom surface of the load lock chamber so as to correspond to the fixing grooves;
A ball plunger mounted on the upper end of the support;
A pedestal formed at a center of the plurality of supports to support the cassette; And
A center pin formed at the center of the receiving portion and fitted into the center hole so that the cassette is not released;
. 제1항에 있어서,
복수의 상기 지지대 하부에 설치되는 링형상의 고정부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a ring-shaped fixing portion provided on a lower portion of the plurality of support rods. 제2에 있어서,
상기 고정부는 고정장치에 의해 로드락 챔버 내부에 고정되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.In the second aspect,
Wherein the fixing portion is fixed within the load lock chamber by a fixing device. 제1항에 있어서,
상기 볼 플런저는 상기 지지대의 상단에서 돌출되어 회전하는 볼과,
상기 지지대 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
The ball plunger includes a ball protruding from the upper end of the support,
And a spring inserted into the support and applying an elastic force to the ball. 제1항에 있어서,
상기 받침부는 상기 카세트가 장착되었을 때 상기 볼 플런저가 상기 가이드 홈에 닿을 수 있는 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
Wherein the receiving portion is formed at a height that allows the ball plunger to contact the guide groove when the cassette is mounted. 제1항에 있어서,
상기 중앙핀은 원기둥 형태로 상기 카세트의 중앙홀에 끼움결합하여 상기 카세트가 이탈되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
Wherein the center pin is fitted into a center hole of the cassette in a cylindrical shape to prevent the cassette from being detached. 제1항에 있어서,
상기 고정 홈은 90°의 각도로 4개가 형성되고 상기 지지대도 90°의 각도로 4개가 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
Wherein four fixing grooves are formed at an angle of 90 ° and four supporting grooves are formed at an angle of 90 °. 제1항에 있어서,
상기 베이스 플레이트는 SUS 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.The method according to claim 1,
Wherein the base plate is made of SUS material. 제4항에 있어서,
상기 볼은 SUS 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the ball is made of SUS material.
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