KR20140055226A - Evaporation source and evaporation apparatus having the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 증발 소스 및 그를 구비하는 평판표시소자의 증발 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 크루시블(crucible) 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)됨에 따라 야기될 수 있는 히터 고장 문제, 크루시블 소손 문제, 크루시블 주변의 오염 문제 등을 효율적으로 해소할 수 있는 증발 소스 및 그를 구비하는 평판표시소자의 증발 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an evaporation source and a vaporization device for a flat panel display element having the evaporation source, and more particularly, to a vaporization device for vaporizing a vapor of a molten metal evaporation material in a crucible by overflowing into an upper opening of the crucible To a evaporation source capable of effectively solving a problem of heater failure, a problem of burning of the crucible, a problem of contamination around the crucible, and the like, and an evaporation apparatus of the flat panel display device having the evaporation source.
정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.As a result of the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, a flat panel display is attracting attention as a display device.
이러한 평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Such flat panel display devices include liquid crystal display devices, plasma display panels, and organic light emitting diodes.
이 중에서 유기전계발광소자, 예컨대 OLED는 빠른 응답속도, 기존의 LCD보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.Among these organic electroluminescent devices, for example, OLEDs have very good advantages such as high response speed, lower power consumption than conventional LCD, light weight, no need for a separate backlight device, And has been attracting attention as a next generation display device.
이러한 유기전계발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다.Such an organic electroluminescent device is a principle in which an anode film, an organic thin film, and a cathode film are sequentially formed on a substrate, and a voltage is applied between the anode and the cathode to form a proper energy difference in the organic thin film and emit light by itself.
다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.In other words, the injected electrons and holes are recombined, and the excitation energy generated is generated by light. At this time, since the wavelength of light generated according to the amount of the dopant of the organic material can be controlled, full color can be realized.
도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.1 is a structural view of an organic electroluminescent device.
이 도면에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 정공 방지층(hole blocking layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.As shown in this figure, an organic electroluminescent device includes an anode, a hole injection layer, a hole transfer layer, an emitting layer, a hole blocking layer, an electron injection layer, a cathode, and the like are stacked in this order.
이러한 구조에서 애노드로는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용된다. 그리고 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 정공 방지층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성된다. 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 있다. 캐소드로는 LiF-Al 금속막이 사용된다. 그리고 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.In this structure, ITO (Indium Tin Oxide), which has small surface resistance and good transparency, is mainly used as the anode. The organic thin film is composed of a multilayer of a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, a hole blocking layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in order to increase the luminous efficiency. Organic materials used as the light emitting layer include Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, and TCTA. As the cathode, a LiF-Al metal film is used. And since the organic thin film is very weak to moisture and oxygen in the air, a sealing film for sealing is formed at the top to increase the lifetime of the device.
도 1에 도시된 유기전계발광소자를 다시 간략하게 정리하면, 유기전계발광소자는 애노드, 캐소드, 그리고 애노드와 캐소드 사이에 개재된 발광층을 포함하며, 구동 시 정공은 애노드로부터 발광층 내로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층 내로 주입된다. 발광층 내로 주입된 정공과 전자는 발광층에서 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.1, the organic electroluminescent device includes an anode, a cathode, and a light emitting layer interposed between the anode and the cathode. When the organic electroluminescent device is driven, holes are injected into the light emitting layer from the anode, Is injected into the light emitting layer from the cathode. The holes and electrons injected into the light emitting layer are combined in the light emitting layer to generate excitons, and the excitons emit light while transitioning from the excited state to the ground state.
이러한 유기전계발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계발광소자로 구분될 수 있는데, 풀 칼라 유기전계발광소자는 빛의 삼원색인 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 별로 패터닝된 발광층을 구비함으로써 풀 칼라를 구현한다.Such an organic electroluminescent device can be classified into a monochromatic or full color organic electroluminescent device according to the color to be realized. The full-color organic electroluminescent device includes red (R), green (G) and And a light emitting layer patterned for each blue (B) color is provided to realize a full color.
도 1에 도시된 유기전계발광소자를 만들기 위해, 즉 발광층(유기물) 및 전극층(무기물)을 증착하기 위해 증발 공정(evaporation process)이 요구된다.An evaporation process is required to form the organic electroluminescent device shown in FIG. 1, that is, to deposit the light emitting layer (organic material) and the electrode layer (inorganic material).
증발 공정은, 증발 물질(원료 물질 혹은 증착 물질이라고도 함)을 증발 소스(evaporation source)에 채우는 피딩 공정(feeding process)과, 증발 소스로부터 제공되는 증발 물질을 평판표시소자의 기판 상에 증착하는 증착 공정(deposition process)으로 크게 나뉠 수 있으며, 평판표시소자의 증발 장치(evaporation apparatus)를 통해 진행된다.The evaporation process includes a feeding process for filling an evaporation source (also referred to as a raw material or a deposition material) into an evaporation source, a vapor deposition process for depositing evaporation material provided from the evaporation source on a substrate of the flat panel display device And can be largely divided into a deposition process and an evaporation apparatus of a flat panel display device.
한편, 증발 소스의 크루시블(crucible)은 일종의 컵(cup) 모양의 도가니로서 알루미늄(Al)과 같은 고체 금속 증발 물질이 채워진다(feeding).Meanwhile, the crucible of the evaporation source is a cup-shaped crucible and is filled with a solid metal evaporation material such as aluminum (Al).
크루시블 내에 채워진 고체 금속 증발 물질은 증착 공정 시 크루시블의 주변에 위치되는 히터(heater)에 의해 가열되어 용융 확산되면서 기판으로 증착될 수 있다.The solid metal evaporation material filled in the crucible may be deposited onto the substrate while being heated and melted and diffused by a heater located in the periphery of the crucible during the deposition process.
이때, 히터에 의해 가열되면서 크루시블 내에서 액상으로 변화된 용융 금속 증발 물질은 히터의 동작에 의해 계속해서 확산되면서 크루시블의 상부 개구를 통해 크루시블의 외부로 오버 플로(overflow)될 수 있다.At this time, the molten metal evaporated material changed into the liquid state in the crucible while being heated by the heater is continuously diffused by the operation of the heater and may overflow to the outside of the crucible through the upper opening of the crucible have.
만약, 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블의 상부 개구로 오버 플로되면 크루시블 주변에 배치되는 히터에 묻게 되어 쇼트(short) 불량 등의 히터 고장을 유발시킬 수 있다.If the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible, the heater is buried in the vicinity of the crucible, which may cause a heater failure such as a short failure.
이는 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블의 상부 개구로 오버 플로되는 것을 감지하여 히터의 동작을 오프(off)시키는 감지수단이 제대로 갖춰져 있지 않기 때문인데, 히터의 고장뿐만 아니라 이로 인해 고가의 크루시블이 소손될 수도 있고, 크루시블 주변이 오염될 수도 있다는 점을 감안할 때, 이러한 점을 보완할 수 있는 기술 개발이 시급한 실정이다.This is because the sensing means for detecting the overflow of the molten metal evaporation material in the crucible to the upper opening of the crucible and turning off the operation of the heater is not properly equipped. In addition to the failure of the heater, It is urgent to develop a technology that can compensate for this, considering that the crucibles of the crucible may be burned and the surroundings of the crucible may be contaminated.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)됨에 따라 야기될 수 있는 히터 고장 문제, 크루시블 소손 문제, 크루시블 주변의 오염 문제 등을 효율적으로 해소할 수 있는 증발 소스 및 그를 구비하는 평판표시소자의 증발 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is therefore an object of the present invention to provide a method and a device for preventing a malfunction of a heater, which can be caused by overflow of a molten metal evaporation material in a crucible to an upper opening of the crucible, And an evaporation device for a flat panel display device having the evaporation source.
본 발명의 일 측면에 따르면, 평판표시소자의 금속 박막으로 증착되는 고체 금속 증발 물질이 내부에 충전되며, 상부가 개구(open)되고 절연 재료로 제작되는 크루시블(crucible); 상기 크루시블의 주변에 배치되며, 상기 고체 금속 증발 물질이 용융 금속 증발 물질로 상변화되도록 상기 크루시블을 가열하는 히터(heater); 상기 크루시블에 연결되며, 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)되는 것을 감지하는 오버 플로 감지부; 및 상기 오버 플로 감지부의 신호에 기초하여 상기 히터의 동작이 온/오프(on/off)되도록 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 소스가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat display device comprising: a crucible which is filled with a solid metal evaporation material deposited on a metal thin film of a flat panel display device, has an open top and is made of an insulating material; A heater disposed around the crucible for heating the crucible so that the solid metal evaporation material is phase-changed to a molten metal evaporation material; An overflow sensing part connected to the crucible and sensing that the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible; And a controller for controlling the operation of the heater to be on / off based on the signal of the overflow sensing unit.
상기 컨트롤러는 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로된 때, 상기 히터의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤할 수 있다.The controller may control the operation of the heater to be off when the molten metal evaporation material in the crucible overflows into the upper opening of the crucible.
상기 오버 플로 감지부는, 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)에 마련되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 감지 도선을 포함할 수 있다.The overflow sensing unit may include at least one sensing wire provided in a lip portion formed in an upper opening of the crucible to sense an overflow of molten metal evaporation material.
상기 적어도 하나의 감지 도선은 상기 립부에서 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되되 상기 용융 금속 증발 물질이 접촉될 때 쇼트 서킷(short circuit) 정보를 발생시키도록 한 쌍으로 마련되고 상기 립부에서 동심적으로 배치될 수 있으며, 상기 감지 도선의 재질은 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 흑연(graphite) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.Wherein the at least one sense wire is disposed in a pair so as to generate short circuit information when the molten metal evaporation material is brought into contact with the molten metal evaporation material so as not to be energized in the lip portion and concentrically arranged in the lip portion And the material of the sensing wire may include any one of tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo), and graphite.
상기 오버 플로 감지부는, 상기 용융 금속 증발 물질의 오버 플로되는 경로와는 다른 위치에서 상기 크루시블에 연결되어 온도차에 의해 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 써머커플(thermocouple)을 포함할 수 있다.The overflow sensing unit may include at least one thermocouple connected to the crucible at a position different from an overflow path of the molten metal evaporation material and sensing overflow of the molten metal evaporation material by a temperature difference .
상기 써머커플은 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)의 하면에 다수 개 결합될 수 있다.A plurality of thermocouples may be coupled to a lower surface of a lip portion formed in an upper opening of the crucible.
상기 크루시블은 내부 크루시블과 외부 크루시블의 듀얼 크루시블(dual crucible)일 수 있으며, 상기 써머커플은 상기 외부 크루시블의 최하단부 외측에 결합될 수 있다.The crucible may be dual crucible of an inner crucible and an outer crucible, and the thermocouple may be coupled to the outermost end of the outer crucible.
상기 금속 증발 물질은 알루미늄(Al) 또는 셀레늄(Se)을 포함할 수 있으며, 상기 평판표시소자는 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes)용 기판일 수 있다.The metal evaporation material may include aluminum (Al) or selenium (Se), and the flat panel display device may be a substrate for organic light emitting diodes.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 내부에서 평판표시소자에 의한 증발 공정(evaporation process)이 진행되는 진공 챔버(chamber); 및 상기 진공 챔버 내에 마련되는 증발 소스(evaporation source)를 포함하며, 상기 증발 소스는, 상기 평판표시소자의 금속 박막으로 증착되는 고체 금속 증발 물질이 내부에 충전되며, 상기 평판표시소자를 향해 상부가 개구(open)되고 절연 재료로 제작되는 크루시블(crucible); 상기 크루시블의 주변에 배치되며, 상기 고체 금속 증발 물질이 용융 금속 증발 물질로 상변화되도록 상기 크루시블을 가열하는 히터(heater); 상기 크루시블에 연결되며, 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)되는 것을 감지하는 오버 플로 감지부; 및 상기 오버 플로 감지부의 신호에 기초하여 상기 히터의 동작이 온/오프(on/off)되도록 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a plasma display apparatus comprising: a vacuum chamber in which an evaporation process by a flat panel display device proceeds; And an evaporation source provided in the vacuum chamber, wherein the evaporation source is filled with a solid metal evaporation material deposited as a metal thin film of the flat display device, A crucible that is open and made of an insulating material; A heater disposed around the crucible for heating the crucible so that the solid metal evaporation material is phase-changed to a molten metal evaporation material; An overflow sensing part connected to the crucible and sensing that the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible; And a controller for controlling the operation of the heater to be on / off based on the signal of the overflow sensing unit.
상기 컨트롤러는 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로된 때, 상기 히터의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤할 수 있다.The controller may control the operation of the heater to be off when the molten metal evaporation material in the crucible overflows into the upper opening of the crucible.
상기 오버 플로 감지부는, 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)에 마련되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 감지 도선을 포함할 수 있다.The overflow sensing unit may include at least one sensing wire provided in a lip portion formed in an upper opening of the crucible to sense an overflow of molten metal evaporation material.
상기 적어도 하나의 감지 도선은 상기 립부에서 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되되 상기 용융 금속 증발 물질이 접촉될 때 쇼트 서킷(short circuit) 정보를 발생시키도록 한 쌍으로 마련되고 상기 립부에서 동심적으로 배치될 수 있으며, 상기 감지 도선의 재질은 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 흑연(graphite) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.Wherein the at least one sense wire is disposed in a pair so as to generate short circuit information when the molten metal evaporation material is brought into contact with the molten metal evaporation material so as not to be energized in the lip portion and concentrically arranged in the lip portion And the material of the sensing wire may include any one of tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo), and graphite.
상기 오버 플로 감지부는, 상기 용융 금속 증발 물질의 오버 플로되는 경로와는 다른 위치에서 상기 크루시블에 연결되어 온도차에 의해 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 써머커플(thermocouple)을 포함할 수 있다.The overflow sensing unit may include at least one thermocouple connected to the crucible at a position different from an overflow path of the molten metal evaporation material and sensing overflow of the molten metal evaporation material by a temperature difference .
상기 써머커플은 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)의 하면에 다수 개 결합될 수 있다.A plurality of thermocouples may be coupled to a lower surface of a lip portion formed in an upper opening of the crucible.
상기 크루시블은 내부 크루시블과 외부 크루시블의 듀얼 크루시블(dual crucible)일 수 있으며, 상기 써머커플은 상기 외부 크루시블의 최하단부 외측에 결합될 수 있다.The crucible may be dual crucible of an inner crucible and an outer crucible, and the thermocouple may be coupled to the outermost end of the outer crucible.
상기 금속 증발 물질은 알루미늄(Al) 또는 셀레늄(Se)을 포함할 수 있으며, 상기 평판표시소자는 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes)용 기판일 수 있다.The metal evaporation material may include aluminum (Al) or selenium (Se), and the flat panel display device may be a substrate for organic light emitting diodes.
본 발명에 따르면, 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)됨에 따라 야기될 수 있는 히터 고장 문제, 크루시블 소손 문제, 크루시블 주변의 오염 문제 등을 효율적으로 해소할 수 있다.In accordance with the present invention, there is a problem of heater failure, which can be caused by the overflow of the molten metal evaporation material in the crucible to the upper opening of the crucible, the crucible burnout problem, the contamination around the crucible, etc. Can be efficiently eliminated.
도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판표시소자의 증발 장치의 개략적인 구조도이다.
도 3은 도 2에 적용될 수 있는 증발 소스의 개략적인 구조도이다.
도 4는 크루시블의 확대 사시도이다.
도 5는 도 4의 A 영역에 대한 확대도이다.
도 6은 증발 소스에 대한 제어블록도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발 소스의 개략적인 구조도이다.
도 8은 도 7에 도시된 크루시블의 확대 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발 소스에서 크루시블의 분해 사시도이다.
도 10은 도 9의 결합도이다.1 is a structural view of an organic electroluminescent device.
2 is a schematic structural view of a vaporizing apparatus for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
3 is a schematic structural view of an evaporation source which can be applied to Fig.
4 is an enlarged perspective view of the crucible.
5 is an enlarged view of region A in Fig.
6 is a control block diagram for an evaporation source.
7 is a schematic structural view of an evaporation source according to a second embodiment of the present invention.
8 is an enlarged perspective view of the crucible shown in Fig.
9 is an exploded perspective view of a crucible in an evaporation source according to a second embodiment of the present invention.
Fig. 10 is a combined view of Fig. 9. Fig.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.
도면 대비 설명에 앞서, 평판표시소자는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하나 이하에서는 평판표시소자를 유기전계발광소자(OLED)용 기판이라 하여 설명한다.Prior to describing the drawings, the flat panel display device includes a liquid crystal display, a plasma display panel, an organic light emitting diode, etc. Hereinafter, a flat panel display device is referred to as an organic electric field And a substrate for a light emitting device (OLED).
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판표시소자의 증발 장치의 개략적인 구조도이다.2 is a schematic structural view of a vaporizing apparatus for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
이 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 평판표시소자의 증발 장치는 내부에서 기판에 의한 증발 공정(evaporation process)이 진행되는 진공 챔버(100, chamber)와, 진공 챔버(100) 내에 마련되는 증발 소스(110, evaporation source)를 포함한다.Referring to this figure, the evaporation apparatus for a flat panel display device according to the present embodiment includes a
진공 챔버(100)는 기판에 대한 증발 공정이 진행되는 장소를 이룬다. 앞서 기술한 것처럼 증발 공정은, 고체 금속 증발 물질을 증발 소스(110)에 채우는 피딩 공정(feeding process)과, 증발 소스(110)로부터 제공되는 증발 물질을 기판 상에 증착하는 증착 공정(deposition process)으로 크게 나뉠 수 있는데 이와 같은 공정들이 진공 챔버(100)를 통해 진행된다.The
참고로, 본 실시예의 경우, 기판이 수평으로 배치된 후에 증발 소스(110)에서 상방으로 향하는 증발 물질에 의해 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 수평식 상향 증착 방식을 제시하고 있다.For reference, in the present embodiment, a horizontal upward deposition method is proposed in which a deposition process is performed on a substrate by an evaporation material directed upward from the
진공 챔버(100)의 내부는 기판에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다. 이를 위해, 진공 챔버(100)의 일측에는 진공 챔버(100)의 내부를 진공 분위기로 유지하기 위한 수단으로서 진공 펌프(101)가 연결된다. 진공 펌프(101)는 소위, 터보 펌프일 수 있다.The interior of the
진공 펌프(101)에는 진공 펌프(101)의 진공압 발생을 보조하기 위한 진공압 보조 유닛(102)이 연결되어 사용될 수 있다. 진공압 보조 유닛(102)이 사용되는 경우에는 진공 펌프(101)와 직결로 연결되어 진공 펌프(101)의 진공 정도를 조절하는데 도움을 줄 수 있다.The
증발 소스(110)에는 진공 조절 펌프(103)가 연결되어 증발 소스(110)가 적어도 10-5 torr 이하의 진공도를 유지할 수 있도록 하며, 그래야만 증발 물질이 증기의 형태로 분사되면서 기판 상으로 증착될 수 있다.A
진공 조절 펌프(103)는 터보 펌프일 수 있으며, 진공 조절 펌프(103)의 후방에는 필터부재(104)가 진공 조절 펌프(103)와 연결되어 진공 챔버(100)내에서 증착되지 않은 물질이 외부로 배출될 때 필터링할 수 있다.The
진공 챔버(100)의 측벽에는 개구(105)가 형성된다. 개구(105)에는 메인티넌스 도어(106)가 개폐 가능하게 배치되어 진공 챔버(100) 내의 유지보수를 위한 통로로 활용된다.An
이하, 증발 소스(110)에 대해 도 3 내지 도 6을 참조하여 자세히 알아본다.Hereinafter, the
도 3은 도 2에 적용될 수 있는 증발 소스의 개략적인 구조도이며, 도 4는 크루시블의 확대 사시도이고, 도 5는 도 4의 A 영역에 대한 확대도이며, 도 6은 증발 소스에 대한 제어블록도이다.4 is an enlarged perspective view of the crucible, FIG. 5 is an enlarged view of the area A of FIG. 4, and FIG. 6 is a cross- Block diagram.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 증발 소스(110)는, 크루시블(120, crucible), 히터(130, heater), 오버 플로 감지부(140), 그리고 컨트롤러(150)를 포함한다.Referring to these drawings, the
크루시블(120)은 기판 상으로 증착되는 증발 물질이 내부에 충전되는 일종의 컵(cup) 모양의 도가니이다.The
본 실시예에서 사용되는 증발 물질은 예컨대, 증발 공정이 진행되기 전에 멜팅(melting)이 선행되는 금속 증발 물질일 수 있다.The evaporation material used in this embodiment may be, for example, a metal evaporation material followed by melting before the evaporation process proceeds.
이와 같은 금속 증발 물질은 알루미늄(Al) 또는 셀레늄(Se)을 포함할 수 있는데, 본 실시예에서는 알루미늄(Al)을 적용하고 있다.The metal evaporation material may include aluminum (Al) or selenium (Se). In this embodiment, aluminum (Al) is used.
특히, 본 실시예의 경우에는 고체 금속 증발 물질을 크루시블(120) 내에 투입시킨 후, 크루시블(120)을 가열하여 용융 금속 증발 물질 또는 그 증기를 만들어 기판 상으로 증착시키고 있다.In particular, in the case of this embodiment, the solid metal evaporation material is introduced into the
이러한 크루시블(120)은 상부가 개구(open)되고 절연 재료로 제작된다. 크루시블(120)은 아래로 갈수록 좁아지는 형태로 제작될 수 있는데, 상부 개구 영역에는 립부(121, lip portion)가 형성된다. 립부(121)는 넓은 표면적을 갖는 일종의 플랜지이다.This
히터(130)는 크루시블(120)의 주변에 배치되며, 크루시블(120) 내에 투입되는 고체 금속 증발 물질이 용융 금속 증발 물질로 상변화되도록 크루시블(120)을 가열하는 역할을 한다.The
한편, 앞서도 기술한 바와 같이, 증착 공정 시 히터(130)에 의해 가열되면서 크루시블(120) 내에서 액상으로 변화된 용융 금속 증발 물질이 히터(130)의 동작에 의해 계속해서 확산되면서 크루시블(120)의 상부 개구를 통해 립부(121)를 경유하여 크루시블(120)의 외부로 오버 플로(overflow)될 수 있는데, 이러한 현상이 발생되면 크루시블(120) 주변에 배치되는 히터(130)에 용융 금속 증발 물질이 묻게 되어 쇼트(short) 불량 등의 히터(130) 고장을 유발시킬 수 있다.Meanwhile, as described above, the molten metal evaporated material changed into liquid in the
이러한 현상을 예방하기 위해, 오버 플로 감지부(140)와 컨트롤러(150)가 마련된다.In order to prevent such a phenomenon, an
오버 플로 감지부(140)는 크루시블(120)에 마련되며, 크루시블(120) 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블(120)의 상부 개구로 오버 플로(overflow)되는 것을 감지하는 역할을 한다.The
본 실시예에서 오버 플로 감지부(140)는 크루시블(120)의 상부 개구에 형성되는 립부(121에 마련되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 감지 도선(141,142)으로 마련된다.The
이때, 감지 도선(141,142)은 립부(121)에서 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되되 용융 금속 증발 물질이 접촉될 때 쇼트 서킷(short circuit) 정보를 발생시키도록 한 쌍(음극과 양극)으로 마련되고 립부(121)에서 동심적으로 배치된다.The
즉 한 쌍의 감지 도선(141,142)이 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되기 때문에 이곳으로 용융 금속 증발 물질이 흐르지 않으면 전기 회로적으로 오픈 서킷(open circuit) 상태를 유지한다. 하지만, 한 쌍의 감지 도선(141,142)으로 용융 금속 증발 물질이 흐르게 되면 한 쌍의 감지 도선(141,142)이 서로 통전되면서 쇼트 서킷(short circuit) 상태가 되어 이의 정보가 컨트롤러(150)로 전송된다.That is, since the pair of sensing
특히, 이와 같은 감지 도선(141,142)이 용융 금속 증발 물질이 흐르는 경로인 크루시블(120)의 상부 개구의 립부(121)에 마련됨으로써 용융 금속 증발 물질의 오버 플로 상태를 좀 더 정확하게 감지해낼 수 있는 이점이 있다.In particular, since the
본 실시예에서 감지 도선(141,142)은 재질은 고온의 크루시블(120)에서 변형이 되지 않는 재질인 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 흑연(graphite) 중에서 선택될 수 있다.In this embodiment, the
감지 도선(141,142)은 박막 증착 후 패터닝(patterning)하는 방식에 의해 크루시블(120)의 립부(121)에 마련될 수도 있고, 섀도 마스크(shadow mask) 기법에 의해 크루시블(120)의 립부(121)에 마련될 수도 있으며, 잉크젯 프린팅(ink-jet printing) 방식에 의해 크루시블(120)의 립부(121)에 마련될 수도 있다. 특히, 본 실시예의 경우, 감지 도선(141,142)이 비교적 넓고 평평한 영역인 크루시블(120)의 립부(121)에 마련됨에 따라 감지 도선(141,142)을 마련하기가 용이한 이점도 있다.The
그리고 본 실시예의 경우, 한 쌍의 감지 도선(141,142)이 마련되고 있지만 감지 도선(141,142)은 여러 쌍으로 형성되어 그 위치에서 용융 금속 증발 물질의 오버 플로 상황을 감지해내도록 할 수도 있을 것인데, 이러한 사항은 모두 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.In this embodiment, a pair of sensing
컨트롤러(150)는 오버 플로 감지부(140)의 신호에 기초하여 히터(130)의 동작이 온/오프(on/off)되도록 컨트롤한다.The controller 150 controls the operation of the
즉 컨트롤러(150)는 크루시블(120) 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블(120)의 상부 개구로 오버 플로된 때, 히터(130)의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤한다.That is, the controller 150 controls the operation of the
이러한 구성을 갖는 본 발명의 증발 소스(110)의 작용에 대해 살펴본다.The operation of the
크루시블(120) 내에 고체 금속 증발 물질이 투입되어 히터(130)에 의해 가열되면서 증착 공정이 진행된다. 이러한 증착 공정 중에 히터(130)의 동작에 의해 계속해서 확산되면서 크루시블(120)의 상부 개구를 통해 립부(121)를 경유하여 크루시블(120)의 외부로 오버 플로될 수 있다.The solid metal evaporation material is injected into the
이처럼 용융 금속 증발 물질이 크루시블(120)의 립부(121)를 경유하여 크루시블(120)의 외부로 오버 플로될 때, 용융 금속 증발 물질은 한 쌍의 감지 도선(141,142)에 접촉될 수 있게 되고, 이 경우, 한 쌍의 감지 도선(141,142)이 서로 통전되면서 쇼트 서킷(short circuit) 상태가 되어 이의 정보가 컨트롤러(150)로 전송된다.When the molten metal evaporation material overflows to the outside of the
그러면 컨트롤러(150)가 히터(130)의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤함으로써 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 저지하게 된다.Then, the controller 150 controls the operation of the
이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 크루시블(120) 내의 용융 금속 증발 물질이 크루시블(120)의 상부 개구로 오버 플로(overflow)됨에 따라 야기될 수 있는 히터(130) 고장 문제, 크루시블(120) 소손 문제, 크루시블(120) 주변의 오염 문제 등을 효율적으로 해소할 수 있게 된다.According to this embodiment having such a structure and operation, the
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발 소스의 개략적인 구조도이고, 도 8은 도 7에 도시된 크루시블의 확대 사시도이다.Fig. 7 is a schematic structural view of an evaporation source according to a second embodiment of the present invention, and Fig. 8 is an enlarged perspective view of the crucible shown in Fig.
본 실시예의 증발 소스(210)에 마련되는 오버 플로 감지부(240)는 써머커플(240, thermocouple)로 적용된다.The
열전대라 불리는 써머커플의 원리에 대해 살펴본다. 도선의 양단의 온도가 서로 다를 경우, 그 도선 안에 전하의 이동이 발생하여 전위차가 생기는 데 이 발생되는 전위차는 도선의 재질에 따라 달라지며, 이를 지벡 효과(Seebeck Effects)라 한다. 그래서 서로 다른 재질의 도선의 접점을 서로 다른 온도에 놓으면 전위차가 발생되게 되고 이 전위차는 온도차의 함수가 되기에 전위차를 측정하면 온도 차이를 알 수 있게 되고 따라서 두 접점 중 한 접점을 아는 온도(기준온도)에 두면 다른 접점 지역의 온도를 알 수 있게 된다.Let's look at the principle of a thermocouple called a thermocouple. When the temperature at both ends of the conductor is different, the electric potential difference caused by the transfer of charges in the conductor is different depending on the material of the conductor. This is called Seebeck Effect. Therefore, when the contacts of different materials are placed at different temperatures, a potential difference is generated. Since this potential difference is a function of temperature difference, the temperature difference can be detected by measuring the potential difference. Therefore, Temperature), it is possible to know the temperature of the other contact area.
본 실시예에서는 위와 같은 원리를 갖는 써머커플(240)을 오버 플로 감지부(240)로서 적용하여 크루시블(220)의 립부(221)의 하면에 다수 개 배치하고 있다.In this embodiment, a plurality of
용융 금속 증발 물질은 크루시블(220) 내부에서 넘쳐흐르면서 크루시블(220)의 상부인 크루시블(220)의 립부(221)의 상면을 따라 크루시블(220)의 외부로 오버 플로될 수 있는데, 이때 써머커플(240)은 크루시블(220)의 립부(221)의 하면, 즉 용융 금속 증발 물질의 오버 플로되는 경로와는 다른 위치인 크루시블(220)의 립부(221)의 하면에서 크루시블(220)에 연결되어 온도차에 의해 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하게 된다.The molten metal evaporation material overflows inside the
참고로, 용융 금속 증발 물질과 크루시블(220) 간에는 온도 차이가 있을 수 있는데, 이에 따라 용융 금속 증발 물질이 오버 플로될 때, 크루시블(220)에 온도 변화가 생길 수 있다. 이러한 온도차를 써머커플(240)이 감지함으로써 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지해낼 수 있는 것이다.For reference, there may be a temperature difference between the molten metal evaporation material and the
또한 본 실시예의 경우, 써머커플(240)이 크루시블(220)의 립부(221)의 하면에 다수 개 배치됨으로써 정확한 감지가 이루어질 수 있도록 하고 있다.Also, in this embodiment, a plurality of
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발 소스에서 크루시블의 분해 사시도이고, 도 10은 도 9의 결합도이다.FIG. 9 is an exploded perspective view of a crucible in an evaporation source according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a combined view of FIG. 9. FIG.
본 실시예의 경우, 크루시블(321,322)은 외부 크루시블(321)과 내부 크루시블(322)의 듀얼 크루시블(321,322, dual crucible)로 적용되는데, 이 경우, 오버 플로 감지부(340)는 써머커플(340, thermocouple)은 외부 크루시블(321)의 최하단부 외측에 결합되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하고 있다.In this embodiment, the
이는, 용융 금속 증발 물질이 중력의 영향을 받는 것을 고려한 설계일 수 있는데, 이와 같은 구조가 적용되더라도 본 발명의 효과를 제공할 수 있다.This can be a design considering that the molten metal evaporation material is affected by gravity. Even if such a structure is applied, the effect of the present invention can be provided.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.
100 : 진공 챔버 110 : 증발 소스
120 : 크루시블 121 : 립부
130 : 히터 140 : 오버 플로 감지부
141,142 : 감지 도선 150 : 컨트롤러100: vacuum chamber 110: evaporation source
120: Crucible 121: Lip part
130: heater 140: overflow detecting unit
141, 142: sense wire 150: controller
Claims (16)
상기 크루시블의 주변에 배치되며, 상기 고체 금속 증발 물질이 용융 금속 증발 물질로 상변화되도록 상기 크루시블을 가열하는 히터(heater);
상기 크루시블에 연결되며, 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)되는 것을 감지하는 오버 플로 감지부; 및
상기 오버 플로 감지부의 신호에 기초하여 상기 히터의 동작이 온/오프(on/off)되도록 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 소스.A crucible in which solid metal evaporation material deposited as a metal thin film of a flat panel display element is filled in, an upper portion is opened and an insulating material is made;
A heater disposed around the crucible for heating the crucible so that the solid metal evaporation material is phase-changed to a molten metal evaporation material;
An overflow sensing part connected to the crucible and sensing that the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible; And
And a controller for controlling the operation of the heater to be on / off based on a signal of the overflow sensing unit.
상기 컨트롤러는 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로된 때, 상기 히터의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 증발 소스.The method according to claim 1,
Wherein the controller controls the operation of the heater to be off when the molten metal evaporation material in the crucible overflows into the upper opening of the crucible.
상기 오버 플로 감지부는,
상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)에 마련되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 감지 도선을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 소스.The method according to claim 1,
Wherein the overflow sensing unit comprises:
And at least one sensing wire provided on a lip portion formed in the upper opening of the crucible for sensing the overflow of the molten metal evaporation material.
상기 적어도 하나의 감지 도선은 상기 립부에서 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되되 상기 용융 금속 증발 물질이 접촉될 때 쇼트 서킷(short circuit) 정보를 발생시키도록 한 쌍으로 마련되고 상기 립부에서 동심적으로 배치되며,
상기 감지 도선의 재질은 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 흑연(graphite) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 소스.The method of claim 3,
Wherein the at least one sense wire is disposed in a pair so as to generate short circuit information when the molten metal evaporation material is brought into contact with the molten metal evaporation material so as not to be energized in the lip portion and concentrically arranged in the lip portion And,
Wherein the material of the sensing wire comprises any one of tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo), and graphite.
상기 오버 플로 감지부는,
상기 용융 금속 증발 물질의 오버 플로되는 경로와는 다른 위치에서 상기 크루시블에 연결되어 온도차에 의해 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 써머커플(thermocouple)을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 소스.The method according to claim 1,
Wherein the overflow sensing unit comprises:
And at least one thermocouple connected to the crucible at a location different from the overflow path of the molten metal evaporation material and sensing an overflow of the molten metal evaporation material by a temperature difference Evaporation sources.
상기 써머커플은 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)의 하면에 다수 개 결합되는 것을 특징으로 하는 증발 소스.6. The method of claim 5,
Wherein the plurality of thermocouples are coupled to a lower surface of a lip portion formed in an upper opening of the crucible.
상기 크루시블은 내부 크루시블과 외부 크루시블의 듀얼 크루시블(dual crucible)이며,
상기 써머커플은 상기 외부 크루시블의 최하단부 외측에 결합되는 것을 특징으로 하는 증발 소스.6. The method of claim 5,
The crucible is a dual crucible of an inner crucible and an outer crucible,
And the thermocouple is coupled to the outermost portion of the outer casing.
상기 금속 증발 물질은 알루미늄(Al) 또는 셀레늄(Se)을 포함하며,
상기 평판표시소자는 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes)용 기판인 것을 특징으로 하는 증발 소스.The method according to claim 1,
Wherein the metal evaporation material comprises aluminum (Al) or selenium (Se)
Wherein the flat panel display device is a substrate for organic light emitting diodes.
상기 진공 챔버 내에 마련되는 증발 소스(evaporation source)를 포함하며,
상기 증발 소스는,
상기 평판표시소자의 금속 박막으로 증착되는 고체 금속 증발 물질이 내부에 충전되며, 상기 평판표시소자를 향해 상부가 개구(open)되고 절연 재료로 제작되는 크루시블(crucible);
상기 크루시블의 주변에 배치되며, 상기 고체 금속 증발 물질이 용융 금속 증발 물질로 상변화되도록 상기 크루시블을 가열하는 히터(heater);
상기 크루시블에 연결되며, 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로(overflow)되는 것을 감지하는 오버 플로 감지부; 및
상기 오버 플로 감지부의 신호에 기초하여 상기 히터의 동작이 온/오프(on/off)되도록 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.A vacuum chamber in which an evaporation process is performed by a flat panel display device; And
And an evaporation source provided in the vacuum chamber,
Wherein the evaporation source comprises:
A crucible in which a solid metal evaporation material deposited as a metal thin film of the flat display device is filled in and an upper portion is opened toward the flat display device and is made of an insulating material;
A heater disposed around the crucible for heating the crucible so that the solid metal evaporation material is phase-changed to a molten metal evaporation material;
An overflow sensing part connected to the crucible and sensing that the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible; And
And a controller for controlling the operation of the heater to be on / off based on the signal of the overflow sensing unit.
상기 컨트롤러는 상기 크루시블 내의 용융 금속 증발 물질이 상기 크루시블의 상부 개구로 오버 플로된 때, 상기 히터의 동작이 오프(off)되도록 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the controller controls the operation of the heater to be turned off when the molten metal evaporation material in the crucible is overflowed to the upper opening of the crucible.
상기 오버 플로 감지부는,
상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)에 마련되어 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 감지 도선을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the overflow sensing unit comprises:
And at least one sensing wire provided on a lip portion formed in the upper opening of the crucible to sense the overflow of the molten metal evaporation material.
상기 적어도 하나의 감지 도선은 상기 립부에서 서로 통전되지 않게 나란하게 배치되되 상기 용융 금속 증발 물질이 접촉될 때 쇼트 서킷(short circuit) 정보를 발생시키도록 한 쌍으로 마련되고 상기 립부에서 동심적으로 배치되며,
상기 감지 도선의 재질은 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 흑연(graphite) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the at least one sense wire is disposed in a pair so as to generate short circuit information when the molten metal evaporation material is brought into contact with the molten metal evaporation material so as not to be energized in the lip portion and concentrically arranged in the lip portion And,
Wherein the material of the sensing wire includes any one of tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo), and graphite.
상기 오버 플로 감지부는,
상기 용융 금속 증발 물질의 오버 플로되는 경로와는 다른 위치에서 상기 크루시블에 연결되어 온도차에 의해 용융 금속 증발 물질의 오버 플로를 감지하는 적어도 하나의 써머커플(thermocouple)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the overflow sensing unit comprises:
And at least one thermocouple connected to the crucible at a location different from the overflow path of the molten metal evaporation material and sensing an overflow of the molten metal evaporation material by a temperature difference Evaporation device for a flat panel display element.
상기 써머커플은 상기 크루시블의 상부 개구에 형성되는 립부(lip portion)의 하면에 다수 개 결합되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.14. The method of claim 13,
Wherein a plurality of the thermocouples are coupled to a lower surface of a lip portion formed in an upper opening of the crucible.
상기 크루시블은 내부 크루시블과 외부 크루시블의 듀얼 크루시블(dual crucible)이며,
상기 써머커플은 상기 외부 크루시블의 최하단부 외측에 결합되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.14. The method of claim 13,
The crucible is a dual crucible of an inner crucible and an outer crucible,
Wherein the thermocouple is coupled to the outside of the lowermost end of the outer crucible.
상기 금속 증발 물질은 알루미늄(Al) 또는 셀레늄(Se)을 포함하며,
상기 평판표시소자는 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes)용 기판인 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 증발 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the metal evaporation material comprises aluminum (Al) or selenium (Se)
Wherein the flat panel display device is a substrate for organic light emitting diodes.
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