KR20140038593A - 기판처리장치의 셔틀 및 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 셔틀에 안착시킨 상태에서 안착된 기판을 이송하면 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 셔틀 및 기판처리장치에 관한 것이다.
본 발명은 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 기판이 안착되는 기판안착부를 가지며 안착된 기판을 선형이동시키는 셔틀을 포함하며, 상기 기판안착부에 안착된 기판에 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크를 밀착시킨 후 상기 셔틀을 이동시키면서 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 셔틀로서, 상기 마스크가 기판에 밀착된 상태에서 상기 기판안착부에 대한 슬립을 방지하기 위한 슬립방지부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀을 개시한다.

Description

기판처리장치의 셔틀 및 기판처리장치 {Shuttle for substrate processing apparatus, and substrate processing apparatus}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 셔틀에 안착시킨 상태에서 안착된 기판을 이송하면 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 셔틀 및 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치란 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버를 구비하여, 기판표면을 식각하거나 증착하는 등 기판처리를 수행하는 장치를 말한다.
여기서 상기 기판처리장치에 의하여 처리되는 기판은 반도체용 웨이퍼, LCD패널용 유리기판, OLDE패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 있다.
그리고 종래의 기판처리장치 중 공정챔버 내에 선형이동이 가능하도록 설치되며 기판이 안착되는 셔틀을 구비하여, 셔틀에 기판을 안착시킨 후 셔틀의 이동에 의하여 기판처리를 수행하는 장치가 있다.
그런데 셔틀을 구비한 종래의 기판처리장치는 기판이 고정된 상태에서 기판처리를 수행하는 기판처리장치와는 달리 셔틀에 안착되어 기판이 이송되면서 진동, 관성 등에 의하여 마스크 및/또는 기판이 셔틀에 대하여 슬립, 즉 미끄러져 기판에 손상이 있거나 균일한 기판처리가 불가능한 문제점이 있다.
특히 셔틀을 구비한 종래의 기판처리장치에 있어서, 패턴화된 기판처리의 수행을 위하여 기판 상에 마스크를 위치시킨 경우 마스크 및/또는 기판의 슬립이 있는 경우 기판표면의 손상의 원인으로 작용하거나, 기판 및 마스크의 얼라인 상태에도 영향을 미쳐 균일한 기판처리가 불가능한 문제점이 있다.
더 나아가 상기와 같은 문제점을 가지는 종래의 기판처리장치는 셔틀이 고속으로 이동하는 경우 진동, 관성 등의 영향으로 기판/마스크의 슬립현상이 극대화되는바 셔틀의 이동속도에 제한을 받아 궁극적으로 기판처리속도를 향상시키는데 한계가 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 셔틀의 기판안착부에 안착되는 마스크의 슬립을 방지하기 위한 슬립방지수단을 구비하여 마스크의 슬립에 따른 기판손상을 방지함과 아울러 기판처리시 셔틀의 이동속도를 높일 수 있어 기판처리속도를 향상, 즉 생산성을 현저히 높일 수 있는 기판처리장치의 셔틀 및 기판처리장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 기판이 안착되는 기판안착부를 가지며 안착된 기판을 선형이동시키는 셔틀을 포함하며, 상기 기판안착부에 안착된 기판에 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크를 밀착시킨 후 상기 셔틀을 이동시키면서 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 셔틀로서, 상기 마스크가 기판에 밀착된 상태에서 상기 기판안착부에 대한 슬립을 방지하기 위한 슬립방지부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀을 개시한다.
상기 슬립방지부는, 상기 셔틀에 설치되어 상기 마스크에 대하여 자력을 가하여 상기 기판안착부에 대한 슬립을 방지하는 자력발생부를 포함할 수 있다.
상기 자력발생부는, 전자석 또는 영구자석으로 구성될 수 있다.
상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 상면 또는 저면에 형성된 요홈부에 설치될 수 있다.
상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 내부에 설치될 수 있다.
상기 기판안착부는, 상기 마스크를 자력에 의하여 기판에 밀착시키는 마스크홀더가 설치되며, 상기 자력발생부는, 상기 마스크의 가장자리에 대응되는 위치에서 상기 마스크홀더에 설치될 수 있다.
상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 저면에서 상하이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며, 상기 자력발생부는 상기 프레임에 대하여 자력을 가할 수 있다.
상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며, 상기 기판안착부는, 기판이 안착되는 직사각형의 기판안착면이 형성되고, 상기 마스크의 프레임이 삽입되도록 상기 기판안착면의 가장자리를 따라서 형성된 프레임삽입부가 형성되며, 상기 자력발생부는 상기 프레임삽입부를 따라서 복수개로 설치될 수 있다.
상기 셔틀의 선형이동방향을 기준으로 상기 기판안착부의 전방 및 후방 가장자리 부근에서 균일한 공정분위기를 형성하기 위하여, 상기 기판안착부의 전방 및 후방 중 적어도 어느 하나에 결합되는 윙부를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명은 또한 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 기판이 안착되는 기판안착부를 가지며 안착된 기판을 선형이동시키는 셔틀로서, 상기 셔틀과; 상기 공정챔버에 설치되어 상기 셔틀에 의하여 이송되는 기판의 이송경로의 상부에 위치되어 기판처리를 위한 가스를 분사하는 가스분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.
상기 기판처리장치는 상기 공정챔버 내에 설치되어 상기 셔틀의 선형이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라서 상기 셔틀을 선형이동시키기 위한 선형구동부를 포함할 수 있다.
상기 마스크를 상기 기판안착부에 대하여 승강시키는 마스크승강구동부가 상기 공정챔버 및 상기 셔틀 중 적어도 어느 하나에 설치될 수 있다.
상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며, 상기 자력발생부는 상기 프레임에 대하여 자력을 가할 수 있다.
상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며, 상기 기판안착부는, 기판이 안착되는 직사각형의 기판안착면이 형성되고, 상기 마스크의 프레임이 삽입되도록 상기 기판안착면의 가장자리를 따라서 형성된 프레임삽입부가 형성되며, 상기 자력발생부는 상기 프레임삽입부를 따라서 복수개로 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 셔틀의 기판안착부에 안착되는 마스크의 슬립을 방지하기 위한 슬립방지수단을 구비하여 마스크의 슬립에 따른 기판손상을 방지함과 아울러 기판처리시 셔틀의 이동속도를 높일 수 있어 기판처리속도를 향상, 즉 생산성을 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리장치는 자력에 의하여 기판에 밀착되는 마스크를 기판안착부에 고정시킴으로써 셔틀의 이동에도 불구하고 마스크의 슬립을 방지하여 마스크의 슬립에 따른 기판손상을 방지함과 아울러 기판처리시 셔틀의 이동속도를 높일 수 있어 기판처리속도를 향상, 즉 생산성을 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
특히 기판안착부 등에 영구자석 또는 전자석을 설치하여 마스크를 기판안착부에 고정시킴으로써 그 구조가 간단하며, 기판처리에 대한 영향을 최소화하여 기판처리에 대한 최적의 환경을 제공할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 측단면도이다.
도 2는 도 1의 기판처리장치를 보여주는 평단면도이다.
도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ 방향의 셔틀의 단면을 보여주는 일부단면도이다.
도 4는 도 1의 기판처리장치 중 셔틀의 기판안착부를 보여주는 평면도이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 1의 기판처리장치 중 변형된 슬립방지부를 가지는 예들을 도시한 일부단면도이다.
이하 본 발명에 따른 셔틀 및 기판처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 밀폐된 내부공간(S)을 형성하는 공정챔버(100)와, 공정챔버(100)에 설치되어 기판(10)이 안착되는 기판안착부(210)를 가지며 안착된 기판(10)을 선형이동하는 셔틀(100)을 포함하며, 기판안착부(210)에 안착된 기판(10)에 마스크(20)를 밀착시킨 후 셔틀(100)을 이동시키면서 기판처리를 수행한다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리장치는 식각공정, 증착공정 등 기판처리공정을 수행하며, 특히 ALD공정, 더 구체적으로 OLED기판에 대한 봉지공정을 수행할 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 기판처리장치의 기판처리대상은 반도체용 웨이퍼, LCD패널용 유리기판, OLDE패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등 기판처리가 필요한 기판이면 어떠한 기판도 가능하다.
또한 상기 마스크(20)는 기판(10)의 지지, 기판(10)의 기판처리면에 소정 패턴의 기판처리 등을 위하여 기판(10)에 밀착되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 마스크(20)는 도 3에 도시된 바와 같이, 직사각형의 프레임(22)과, 프레임(22)에 결합되며 기판(10)의 표면에 밀착되는 마스크시트(21)를 포함할 수 있다.
상기 프레임(22)은 마스크(20)가 충분한 강성을 가지도록 판상의 구조, 단면이 직사각형인 직사각형관 등 다양한 구성이 가능하며, 후술하는 슬립방지부와의 구성을 고려하여 자력에 반응하는 SUS재질, 인바(Invar)재질 등을 가질 수 있다.
상기 마스크시트(21)는 프레임(22)에 용접 등에 의하여 결합되며 하나 이상의 개구부가 형성되어 기판(10)의 기판처리면에 밀착되는 구성으로서 후술하는 자력에 의하여 마스크(20)를 기판(10)에 밀착시키는 마스크홀더(190)에 인력이 작용할 수 있도록 자력에 반응하는 SUS재질, 인바(Invar)재질 등을 가질 수 있다.
한편 상기 마스크시트(21)에 형성되는 하나 이상의 개구부는 기판처리면에 처리될 기판처리의 종류에 따라서 하나의 개구, 복수의 개구 등 다양한 패턴으로 형성될 수 있다.
상기 공정챔버(100)는 기판처리의 수행을 위한 처리공간(S)이 형성되며 기판처리에 따라서 다양한 구조가 가능하며, 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 서로 착탈가능하게 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 챔버본체(120) 및 상부리드(110)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 상기 공정챔버(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 지지프레임에 의하여 지지되어 설치될 수 있다.
상기 챔버본체(120)에는 반송로봇(미도시) 등에 의하여 반송되어 기판(10)이 도입되거나 배출될 수 있도록 하나 이상의 게이트(101)가 형성될 수 있으며, 처리공간(S) 내의 배기 및 압력제어를 위하여 배기시스템과 연결될 수 있다.
그리고 상기 챔버본체(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 지지프레임(180)에 의하여 지지될 수 있으며, 그 하측에 기판(10)의 도입 및 배출시 기판을 지지하기 위한 리프트핀을 포함하는 기판리프팅시스템(420), 기판(10) 및 마스크(20)의 얼라인을 위한 얼라인시스템(410), 마스크(20)을 상하로 이동시키기 위한 마스크승하강시스템(430) 등이 설치될 수 있다.
또한 상기 챔버본체(120)는 마스크(20) 및 기판안착면(211) 사이에 외부로부터 기판(10)이 도입되거나, 기판안착면(211)에 안착된 기판(10)이 외부로 반출될 때, 마스크(20)를 상측으로 이동시킬 필요가 있는바, 마스크(20)를 기판안착부(210)에 대하여 승강시키기 위한 마스크승강구동부(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 마스크승강구동부는 셔틀(200)이 외부와 기판(10)을 교환하기 위한 위치에 왔을 때 마스크(20)를 상측으로 상승시키고, 마스크(20) 및 기판안착면(211) 사이에 기판(10)이 도입되고 기판안착면(211)에 기판(10)이 안착된 후 마스크(20)를 하강시켜 기판(10)에 밀착시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다. 여기서 상기 기판안착부(210)에는 마스크승강구동부의 일부인 마스크지지부(미도시)가 기판안착부(210)를 관통하여 상하로 이동될 수 있도록 복수의 관통공(219)들이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 마스크승강구동부는 셔틀에 설치되는 등, 공정챔버(100) 및 셔틀(200) 중 적어도 어느 하나에 설치되는 등 다양하게 설치될 수 있음은 물론이다.
한편 상기 공정챔버(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 셔틀(200)에 의하여 이송되는 기판(10)의 이송경로의 상부에 위치되어 기판처리를 위한 가스를 분사하는 가스분사부(140)가 설치될 수 있다.
또한 공정처리에 따른 전원이 인가를 위하여 상기 공정챔버(100)는 접지되거나 RF전원이 인가되는 등 다양한 전원이 인가될 수도 있다.
또한 상기 기판리프팅시스템 및 가스분사부(140)의 위치와 관련하여, 본 발명에 따른 기판처리장치는 셔틀(200)에 의하여 기판(10)이 이송되면서 기판처리가 이루어짐을 고려하여, 기판리프팅시스템은 기판(10)이 도입되거나 배출되는 위치 즉, 게이트(101) 부근에 설치되며, 가스분사부(140)는 셔틀(200)의 이동에 연동하여 기판(10) 전체에 걸쳐 골고루 기판처리가 이루어질 수 있도록 셔틀(200)의 이동경로를 기준으로 그 중앙에 배치될 수 있다.
한편 상기 공정챔버(100)는 셔틀(200)의 선형이동을 위하여, 공정챔버(100) 내에 설치된 한 쌍의 가이드레일(130)과; 가이드레일(130)을 따라서 선형이동되는 셔틀(200)과; 가이드레일(130)을 따라서 셔틀(200)을 선형이동시키기 위한 선형구동부(150)를 포함한다.
상기 가이드레일(130)은 후술하는 선형구동부(150)의 선형구동에 의하여 셔틀(200)의 선형이동을 가이드하는 구성으로서, 셔틀(200)의 이동을 가이드할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
즉, 상기 가이드레일(130)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 셔틀(200)의 선형이동방향, 즉 종방향(X축 방향)으로 배치된 레일(132)과 공정챔버(100) 내에 설치되어 레일(132)을 지지하도록 설치된 레일지지부(131)를 포함할 수 있다. 여기서 상기 가이드레일(130)은 레일(132) 및 레일지지부(131)가 일체로 형성될 수 있음은 물론이다.
도 3에서 도면부호 133은 가이드레일(130) 및 이동블록(250)의 접촉에 의하여 발생되는 파티클을 기판안착부(210) 쪽으로 전달되는 것을 방지하기 위한 실드부재를 가리킨다.
상기 선형구동부(150)는 셔틀(200)의 선형이동을 구동할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 선형구동부(150)는 도 2에 도시된 바와 같이, 공정챔버(100)에 설치된 구동원(151) 및 셔틀(200)과 결합되어 구동원(151)의 구동에 의하여 셔틀(200)을 종방향(X축 방향)으로 이동시키는 선형이동부(152)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 선형구동부(150)는 스크류잭, 유압실린더 등 그 구동방식에 따라서 다양한 방식이 가능하며, 파티클에 민감한 공정이 수행됨을 고려하여 파티클의 발생이 가장 적은 자기를 이용한 선형구동장치가 사용됨이 바람직하다.
상기 셔틀(200)은 공정챔버(100) 내에 설치되어 안착된 기판(10)을 선형이동하는 구성으로서, 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 안착되는 기판안착면(211)을 가지는 기판안착부(210)와; 기판안착부(210)의 저면에 탈착가능하게 결합되고, 서로 탈착가능하게 결합된 복수의 프레임부재들을 포함하는 프레임부(220)를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판안착부(210)는 기판안착면(211)을 구비하여, 반송로봇(미도시)과 같은 기판이송장치에 의하여 공정챔버(100) 내에 도입된 기판(10)이 안착되는 구성으로서 기판(10)이 안착될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
여기서 상기 기판안착면(211)은 기판(10)의 형상에 대응되는 형상, 예를 들면 직사각형 형상을 가지며, 기판처리면과 반대면인 기판(10)을 지지하기 위한 구성으로서 기판처리를 위하여 기판(10)을 가열하거나 냉각하는 등 기판(10)에 대한 열전달이 용이하도록 형성됨이 바람직하다.
상기 기판안착부(210)의 재질은 공정에 따라서 공정에 영향을 주지 않는 재질의 사용이 바람직하며, 예로서, 알루미늄, 알루미늄 합금 등의 재질이 사용될 수 있으며, 통상 처리되는 기판의 형상이 직사각형임을 고려하여 직사각형의 형상을 가지는 것이 바람직하다.
상기 기판안착부(210)는 기판(10)의 안착, 마스크(20)의 구조 등에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크(20)의 프레임(22)이 삽입되도록 기판안착면(211)의 가장자리를 따라서 형성된 프레임삽입부(213)가 형성됨이 바람직하다.
상기 기판안착부(210)의 저면 쪽에는 자력에 의하여 마스크(20), 특히 마스크시트(21)를 기판(10)에 밀착시키는 마스크홀더(190)가 설치될 수 있다.
또한 상기 기판안착부(210)의 저면 쪽에는 기판(10)을 가열하기 위한 히터(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 프레임부(220)는 기판안착부(210)의 저면에 탈착가능하게 결합되고, 서로 탈착가능하게 결합된 복수의 프레임부재들을 포함하여 셔틀(200)을 경량화 및 유지보수시 교체가 원활하게 하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 프레임부(220)를 구성하는 복수의 프레임부재들은 그 재질이 기판안착부(210)에 비하여 강도가 높지만 열변형이 작은, 즉 열팽창률이 작은 재질, 예를 들면 FRP(fiber reinforced plastic)재질의 사용이 바람직하다. 그리고 FRP로는 유리강화섬유(GFRP), 탄소강화섬유(CFRP) 등이 있다.
한편 상기 셔틀(200)의 선형이동방향(X축 방향)을 기준으로 기판안착부(210)의 전방 및 후방 가장자리 부근에서 균일한 공정분위기를 형성하기 위하여, 상기 셔틀(200)은 종방향(X축 방향)을 기준으로 기판안착부(210)의 전방 및 후방 중 적어도 어느 하나에 결합되어 기판안착면(211) 상에 안착된 기판(10), 또는 마스크(20)가 설치된 경우 마스크(20)의 상면과 동일한 평면을 형성하는 윙부(240)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 윙부(240)는 가스흐름의 왜곡 등으로 인하여 기판안착부(210)의 가장자리 부근에서 기판처리가 불균하게 이루어질 수 있는바 이를 보완하기 위한 구성으로서 기판안착부(210)의 가장자리 부근에서 균일한 공정분위기를 형성하기 위하여 기판안착면(211) 상에 안착된 기판(10), 또는 마스크(20)가 설치된 경우 마스크(20)의 상면과 동일한 평면을 형성하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 윙부(240)는 프레임부(220)에 지지되어 탈착가능하게 설치되는 플레이트 형상을 가질 수 있으며, 그 재질은 기판안착부(210)와 동일한 재질, 즉 알루미늄 또는 알루미늄합금 재질을 가지는 것이 바람직하다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 셔틀(200)은 기판처리를 위하여 공정챔버(100) 내에서 선형이동하는데, 셔틀(200)이 선형이동하는 경우 기판안착부(211)에 안착된 기판(10) 및 마스크(20)는 관성에 의하여 셔틀(200)의 이동방향으로 미끄럼, 즉 슬립이 발생될 수 있으며, 기판(10) 및/또는 마스크(20)의 미끄럼에 의하여 기판(10)에 대한 마스크(20)의 정렬이 흐트러져 기판처리의 오작동으로 작용하건, 기판(10)에 밀착된 마스크(20)가 기판처리면에 손상을 가하여 기판(10)을 손상시키는 문제점이 있다.
따라서 상기 셔틀(200)은 마스크(20)가 기판안착면(211)에 안착된 기판(10)에 밀착된 상태에서 기판안착부(210)에 대한 슬립을 방지하기 위한 슬립방지부를 더 포함한다.
상기 슬립방지부는 기판안착부(210)에 대한 마스크(20)의 슬립을 방지하기 위한 구성으로서, 셔틀(200)에 설치되어 마스크(20)를 기판안착부(210)로 클램핑하는 클램핑장치(미도시)로 구성될 수 있다.
그러나 기계적 구성인 클램핑장치는 기계적 작동을 요하므로 그 구조가 복잡하며, 처리공간(S)으로 노출됨에 따라서 기판처리에 영향을 미치는 문제점이 있다.
이에 상기 슬립방지부는 기판처리에 대한 영향을 최소화할 수 있는 구성으로서, 셔틀(200)에 설치되어 마스크(20)에 대하여 자력을 가하여 기판안착부(210)에 대한 슬립을 방지하는 자력발생부(310)를 포함할 수 있다.
상기 자력발생부(310)는 전자석, 영구자석 등 자력을 발생하는 하나 이상의 부재를 사용하여 마스크(20), 특히 프레임(22)을 자력에 의하여 기판안착부(210)에 고정함으로써 셔틀(200)의 이동에도 불구하고 기판안착부(210)에 대한 마스크(20)의 슬립을 방지하게 된다.
한편 상기 자력발생부(310)는 자력에 의하여 마스크(20)를 기판안착부(210)에 고정하기 위한 구성으로서 다양한 구조를 이루어 셔틀(200)에 설치될 수 있다.
상기 자력발생부(310)의 설치예로서, 자력발생부(310)는 도 3 및 도 5a에 도시된 바와 같이, 기판안착부(210)의 상면 또는 저면에 설치될 수 있다. 여기서 상기 기판안착부(210)는 자력발생부(310)의 설치를 위하여 그 상면 또는 저면에 자력발생부(310)이 설치를 위한 요홈부(212)가 형성될 수 있다.
또한 도시되지 않았지만, 상기 자력발생부(310)는 요홈의 형성 후 전자석 또는 영구자석의 설치 후 커버부재 등의 복개를 통하여 기판안착부(210)의 내부에 설치될 수 있다.
또한 상기 자력발생부(310)는 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판안착부(210)의 저면에 설치될 때 자력변화를 위하여 상하이동을 위한 구동부재(320)에 지지되어 상하로 이동하도록 설치될 수도 있다.
상기 구동부재(320)는 기판안착부(210)의 저면 쪽에서 자력발생부(310)를 지지함과 아울러 상하이동시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
특히 상기 구동부재(320)는 마스크(20)가 기판(10)에 밀착된 후 셔틀(200)의 선형이동 전에 자력발생부(310)를 상측으로 이동됨으로써 마스크(20)를 기판안착부(210)에 밀착시키고, 기판(10) 인입시 마스크(20)가 상측으로 이동될 필요가 있는바 마스크(20)에 불필요한 인력이 작용하지 않도록 자력발생부(310)를 하측으로 이동시킬 수 있다.
한편 상기 자력발생부(310)의 또 다른 설치예로서, 도 5c에 도시된 바와 같이, 자력발생부(310)는 마스크(20)의 가장자리에 대응되는 위치에서 마스크홀더(190)에 설치될 수 있다.
이때 상기 자력발생부(310)는 마스크홀더(190)와 별도로 제조된 후 볼트 등에 의하여 결합되거나, 마스크홀더(190)와 일체로 제조되는 등 마스크홀더(190)와 함께 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 자력발생부(310)는 전자석, 영구자석 등 자력이 발생될 수 있는 부재가 앞서 설명한 바와 같이, 다양한 구조를 이루어 설치될 수 있으며, 특히 기판안착부(210)에 대한 마스크(20)의 슬립방지에 충분한 자력이 작용하도록 적절한 수로 부착되거나, 볼팅되는 등 다양한 방식에 의하여 설치될 수 있다.
이때 상기 자력발생부(310)는 도 4에 도시된 바와 같이, 기판안착부(210)에 형성된 프레임삽입부(213)를 따라서 복수개로 설치될 수 있다.
한편 상기 자력발생부(310)는 마스크(20)에 대하여 자력이 작용하는바, 마스크(20)의 상승, 마스크(20) 및 기판(10)의 얼라인시 마스크(20)의 이동을 방해하거나, 마스크(20) 하강시 마스크(20)에 대한 지나친 인력으로 작용하는 문제점이 있을 수 있다.
따라서 상기 자력발생부(210)는 전원의 인가에 따라서 자력발생이 제어되는 전자석으로 구성될 수 있다. 즉, 상기 자력발생부(210)는 마스크(20)의 상승시, 마스크(20) 및 기판(10)의 얼라인시, 및 마스크(20) 하강시 중 적어도 어느 하나의 경우 자력발생부(210)에 대한 전원공급이 차단되도록 제어될 수 있다.
이때 상기 자력발생부(210)에 대한 전원공급은 기판안착부(210)의 저면에 설치된 히터에 대한 전원공급과 함께 이루어지도록 함으로써 자력발생부(210)에 대한 전원공급구조를 간단화할 수 있다.
또한 상기 자력발생부(210)는 기판안착부(210)의 저면에 대하여 상하로 승하강하도록 설치됨으로써 마스크(20)와의 상대거리에 의하여 자력을 제어함으로써 마스크(20)의 상승, 마스크(20) 및 기판(10)의 얼라인시 마스크(20)의 이동을 방해하거나, 마스크(20) 하강시 마스크(20)에 대한 지나친 인력으로 작용하는 문제점을 개선할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
100 : 공정챔버 200 : 셔틀
210 : 기판안착부 310 : 자력발생부

Claims (15)

  1. 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버에 설치되어 기판이 안착되는 기판안착부를 가지며 안착된 기판을 선형이동시키는 셔틀을 포함하며, 상기 기판안착부에 안착된 기판에 하나 이상의 개구부가 형성된 마스크를 밀착시킨 후 상기 셔틀을 이동시키면서 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 셔틀로서,
    상기 마스크가 기판에 밀착된 상태에서 상기 기판안착부에 대한 슬립을 방지하기 위한 슬립방지부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬립방지부는, 상기 셔틀에 설치되어 상기 마스크에 대하여 자력을 가하여 상기 기판안착부에 대한 슬립을 방지하는 자력발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 자력발생부는, 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 상면 또는 저면에 형성된 요홈부에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 내부에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 기판안착부는, 상기 마스크를 자력에 의하여 기판에 밀착시키는 마스크홀더가 설치되며,
    상기 자력발생부는, 상기 마스크의 가장자리에 대응되는 위치에서 상기 마스크홀더에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 자력발생부는, 상기 기판안착부의 저면에서 상하이동이 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  8. 청구항 2 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며,
    상기 자력발생부는 상기 프레임에 대하여 자력을 가하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  9. 청구항 2 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며,
    상기 기판안착부는, 기판이 안착되는 직사각형의 기판안착면이 형성되고, 상기 마스크의 프레임이 삽입되도록 상기 기판안착면의 가장자리를 따라서 형성된 프레임삽입부가 형성되며,
    상기 자력발생부는 상기 프레임삽입부를 따라서 복수개로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  10. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 셔틀의 선형이동방향을 기준으로 상기 기판안착부의 전방 및 후방 가장자리 부근에서 균일한 공정분위기를 형성하기 위하여, 상기 기판안착부의 전방 및 후방 중 적어도 어느 하나에 결합되는 윙부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 셔틀.
  11. 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와;
    상기 공정챔버에 설치되어 기판이 안착되는 기판안착부를 가지며 안착된 기판을 선형이동시키는 셔틀로서, 청구항 제1항 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 따른 셔틀과;
    상기 공정챔버에 설치되어 상기 셔틀에 의하여 이송되는 기판의 이송경로의 상부에 위치되어 기판처리를 위한 가스를 분사하는 가스분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 공정챔버 내에 설치되어 상기 셔틀의 선형이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드레일과;
    상기 가이드레일을 따라서 상기 셔틀을 선형이동시키기 위한 선형구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 마스크를 상기 기판안착부에 대하여 승강시키는 마스크승강구동부가 상기 공정챔버 및 상기 셔틀 중 적어도 어느 하나에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며,
    상기 자력발생부는 상기 프레임에 대하여 자력을 가하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  15. 청구항 11에 있어서,
    상기 마스크는 직사각형의 프레임과, 상기 프레임에 결합되며 기판의 표면에 밀착되는 마스크시트를 포함하며,
    상기 기판안착부는, 기판이 안착되는 직사각형의 기판안착면이 형성되고, 상기 마스크의 프레임이 삽입되도록 상기 기판안착면의 가장자리를 따라서 형성된 프레임삽입부가 형성되며,
    상기 자력발생부는 상기 프레임삽입부를 따라서 복수개로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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