KR20140021627A - Copper foil, copper-clad laminate, flexible circuit board, and manufacturing method for copper-clad laminate - Google Patents
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Abstract
가요성 회로기판에 있어서 배선을 형성한 경우에도, 곡률반경이 작은 반복 굴곡을 수반하는 가혹한 사용 조건하에서 우수한 내구성을 나타내는 동박, 동장 적층판, 가요성 회로기판 및 동장 적층판의 제조방법을 제공한다. Mn을 0.001질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 불가피 불순물과 잔부 Cu를 가진 동박이거나, 혹은Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소를 0.005질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 잔부 동이 99.6질량% 이상 99.999질량% 이하인 동박으로서, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 상기 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 동박이며, 이를 이용한 동장 적층판 및 가요성 회로기판 및 동장 적층판의 제조방법이다. Provided are a method for producing a copper foil, a copper clad laminate, a flexible circuit board, and a copper clad laminate, which exhibit excellent durability under severe use conditions involving repeated bending with a small curvature radius even when wiring is formed in a flexible circuit board. It is a copper foil containing 0.001 mass% or more and 0.4 mass% or less and having inevitable impurities and residual Cu, or Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and A copper foil containing 0.005% by mass or more and 0.4% by mass or less of at least one element selected from the group consisting of Y and having a residual copper of 99.6% by mass or more and 99.999% by mass or less, wherein the basic crystal axis of the copper unit lattice <100> is the thickness of the copper foil A copper foil having a preferred orientation area within 15 ° of an orientation difference of 60% or more for each of two orthogonal axes in either direction and in the thin surface, and using copper clad laminates, flexible circuit boards, and copper clad laminates using the same. It is a manufacturing method of.
Description
본 발명은 굴곡 피로에 대해 내구성이 높은 동박, 이를 이용한 동장 적층판 및 가요성 회로기판 및 동장 적층판의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 굴곡에 대해 내구성을 구비하면서 굴곡성이 우수한 가요성 회로기판을 얻을 수 있는 동박, 이를 이용한 동장 적층판 및 가요성 회로기판 및 동장 적층판의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a copper foil having high durability against bending fatigue, a copper clad laminate and a flexible circuit board using the same, and a method for manufacturing a copper clad laminate, and in particular, to obtain a flexible circuit board having excellent flexibility while being durable against bending. The present invention relates to a copper foil, a copper clad laminate, and a flexible circuit board and a copper clad laminate.
수지층과 금속박으로 이루어지는 배선을 가지고 형성되는 가요성 회로기판(플렉시블 프린트 기판)은 절곡해서 사용하는 것이 가능하기 때문에 하드디스크 내의 가동부, 휴대전화의 힌지부나 슬라이드 접동(摺動)부, 프린터의 헤드부, 광 픽업부, 노트북의 가동부 등을 비롯해서 각종 전자·전기기기에서 폭넓게 사용되고 있다. 그리고, 최근에는 특히 이 기기들의 소형화, 박형화, 고기능화 등에 따라 한정된 공간에 가요성 회로기판을 작게 접어서 수납하거나 전자기기 등의 다양한 움직임에 대응한 굴곡성이 요구되고 있다. 그 때문에, 굴곡부에 있어서의 곡률반경이 보다 작아지는 절곡이나, 절곡이 빈번하게 반복되는 동작에도 대응할 수 있도록 가요성 회로기판의 보다 나은 강도 등의 기계적 특성의 향상이 필요로 되고 있다.Flexible circuit boards (flexible printed circuit boards) formed with wirings made of a resin layer and metal foil can be bent and used, so that movable parts in a hard disk, hinge parts of mobile phones, slide sliding parts, and printer heads can be used. It is widely used in various electronic and electrical equipment, including the parts, optical pickups, and movable parts of notebook computers. In recent years, in particular, as the size of these devices has been reduced, thinning, and high functionality, flexibility of folding flexible circuit boards in a limited space or accommodating various movements of electronic devices and the like has been required. Therefore, there is a need for improvement of mechanical properties such as better strength of the flexible circuit board so that the bending radius of the bent portion becomes smaller and the bending cycle is frequently repeated.
일반적으로, 절곡의 반복이나 곡률반경이 작은 굴곡에 대해 강도가 떨어지는 등으로 불량 요인이 되는 것은 수지층보다 오히려 배선 쪽이며, 이들을 견디지 못하게 되면 배선의 일부에 갈라짐이나 파단이 생겨 회로기판으로서 이용할 수 없게 된다. 그래서, 예를 들어 힌지부에 있어서의 배선에 대한 굽힘 응력을 작게 하기 위해 회동축(回動軸;turning axis)에 대해 비스듬하게 배선된 가요성 회로기판(특허문헌 1 참조)이나, 힌지부의 회동방향으로 1감음(one turn) 이상 나선시킨 나선부를 형성하고, 이 감음수를 많게 함으로써 개폐 동작에 의한 나선부의 직경의 변화를 작게 하여 손상을 적게 하는 방법(특허문헌 2 참조) 등이 제안되어 있다. 그러나, 이러한 방법들에서는 모두 가요성 회로기판의 설계가 제약되게 된다.In general, it is the wiring side rather than the resin layer that causes defects such as the repetition of bending and the curvature of the small curvature radius, and the failure is not possible, and if it cannot endure, part of the wiring may be cracked or broken to be used as a circuit board. There will be no. Therefore, for example, in order to reduce the bending stress on the wiring in the hinge portion, the flexible circuit board (see Patent Document 1) or the hinge portion is rotated obliquely with respect to the turning axis. A method of forming a helix portion spiraled by at least one turn in the direction and increasing this number of turns to reduce the change in the diameter of the helix portion by the opening and closing operation so as to reduce damage (see Patent Document 2) or the like has been proposed. . However, in all these methods, the design of the flexible circuit board is limited.
한편으로는, 압연 동박의 압연면의 X선 회절(동박의 두께방향의 X선 회절)로 구한 (200)면의 강도(I)가, 미세분말 동의 X선 회절로 구한 (200)면의 강도(I0)에 대해 I/I0>20일 경우에 굴곡성이 우수하다는 것이 보고되어 있다(특허문헌 3 및 4 참조). 즉, 동의 재결정 집합조직인 입방체 방위가 발달할수록 동박의 굴곡성이 향상되기 때문에, 입방체 집합조직의 발달도를 상기 파라미터(I/I0)로 규정한 가요성 회로기판의 배선재료로서 알맞은 동박이 알려져 있다. 또, Fe, Ni, Al, Ag 등의 원소를 동에 고용(固溶)되는 범위의 농도로 함유하고, 소정의 조건으로 소둔(annealing)하여 재결정화해서 얻은 압연 동합금박이 미끄러짐면을 따른 전단 변형을 용이하게 해서 굴곡성이 우수하다는 것이 보고되어 있다(특허문헌 5 참조). On the other hand, the intensity (I) of the (200) plane obtained by X-ray diffraction (X-ray diffraction in the thickness direction of the copper foil) of the rolled surface of the rolled copper foil is the intensity of the (200) plane obtained by X-ray diffraction of fine powder It is reported that when I / I 0 > 20 with respect to (I 0 ), flexibility is excellent (refer
또, 고(高)굴곡 특성이 요구되는 가요성 회로기판에는 산소나 은 등의 불순물을 함유시킨 동박이 사용되는 경우가 있는데, 순도로 치면 99%∼99.9질량% 정도의 동박이다. 본 발명에서는 특별히 언급하지 않는 한 순도는 질량 농도로 표기한다. 또, 시험 레벨에서는 케이블의 도체로서 널리 사용되고 있는 순도 99.5% 정도의 터프 피치 동(tough pitch copper)이나 산화물을 포함하지 않는 무산소 동이 사용되고 있는 예가 있다(특허문헌 3, 4 참조). 터프 피치 동의 불순물은 수백ppm의 산소(대부분은 산화동으로서 포함) 외에 은, 철, 유황, 인 등이 포함된다. 무산소 동은 보통 순도 99.96∼99.995% 정도까지의 동으로서, 10ppm 이하까지 대폭 산소를 줄인 동이다. 상술한 특허문헌 3, 4에서는 무산소 동으로 제조한 동박의 굴곡 피로 특성이 터프 피치 동박보다 우수하며, 산화동의 함유 유무에 따른 것으로 보고되어 있다. 또한, 이들 동의 순도를 더 높일 경우에는 은, 인, 유황 등의 불순물을 제거할 필요가 있다. Moreover, although the copper foil containing the impurity, such as oxygen and silver, may be used for the flexible circuit board which requires high bending characteristic, it is 99%-99.9 mass% copper foil by purity. In the present invention, purity is expressed by mass concentration unless otherwise specified. In the test level, there is an example in which tough pitch copper of about 99.5% purity and oxygen-free copper containing no oxide are widely used as conductors of cables (see
이러한 상황하에 본 발명자들은 가요성 회로기판의 설계에 제약이 생기지 않고, 절곡의 반복이나 곡률반경이 작은 굴곡에 대해서도 내구성을 구비한 가요성 회로기판을 얻기 위해 예의 검토한 결과, 합금성분을 첨가해도 고도로 배향되는 동합금박을 이용함으로써, 굴곡 내구성이나 굴곡성이 우수한 가요성 회로기판이 얻어지는 것을 발견하고 본 발명을 완성하였다. Under these circumstances, the present inventors have made no restrictions on the design of the flexible circuit board, and have studied diligently to obtain a flexible circuit board with durability against bending repetition and bending with a small curvature radius. By using a highly oriented copper alloy foil, the inventors have found that a flexible circuit board having excellent bending durability and flexibility can be obtained and completed the present invention.
따라서, 본 발명의 목적은 내구성이 우수하여, 예를 들면 가요성 회로기판에 있어서 배선을 형성했을 때, 휴대전화나 소형 전자기기 등의 힌지부 또는 슬라이드 접동부 등 곡률반경이 작은 반복 굴곡을 수반하는 가혹한 사용 조건에 대해서도 내구성을 나타내고, 굴곡 내구성이 우수한 동합금박(이하, 단순히 '동박'이라고 하는 경우도 있다)을 제공하는 것에 있다. Therefore, the object of the present invention is excellent in durability, and when the wiring is formed in a flexible circuit board, for example, repeated bending of a small radius of curvature such as a hinge part or a slide sliding part of a mobile phone or a small electronic device is accompanied. The present invention also provides durability against severe use conditions, and provides a copper alloy foil (hereinafter sometimes referred to simply as "copper foil") having excellent bending durability.
또, 본 발명의 다른 목적은, 상기 동박을 이용하여 내구성 등이 우수한 가요성 회로기판을 얻을 수 있는 동장 적층판 및 그 가요성 회로기판을 제공하는 것에 있다. Another object of the present invention is to provide a copper clad laminate and a flexible circuit board capable of obtaining a flexible circuit board having excellent durability and the like using the copper foil.
본 발명의 또 다른 목적은, 내구성 등이 우수한 가요성 회로기판을 얻는데 알맞은 동장 적층판의 제조방법을 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a method for producing a copper clad laminate suitable for obtaining a flexible circuit board having excellent durability and the like.
본 발명은 상기 종래기술의 문제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 이하의 구성을 포함하는 것을 요지로 한다. As a result of earnestly examining in order to solve the problem of the said prior art, it is the summary of this invention including the following structures.
(1) Mn을 0.001질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 불가피 불순물과 잔부 Cu를 가진 동박으로서, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 상기 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 것을 특징으로 하는 동박. (1) A copper foil containing 0.001% by mass or more and 0.4% by mass or less, and having an unavoidable impurity and residual Cu, in which the basic crystal axis of the copper unit lattice is in the thickness direction of the copper foil and in either direction A copper foil, characterized in that, for two orthogonal axes, a preferred orientation region within an orientation difference of 15 ° each occupies 60% or more in area ratio.
(2) Mn을 0.001질량% 이상 0.1질량% 이하 함유함과 함께, 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 2질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 동박.(2) It contains 0.001 mass% or more and 0.1 mass% or less, and contains at least any one of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less of Ti, or 0.005 mass% or more and 2 mass% or less of Al. Copper foil as described in (1).
(3) Mn을 0.06질량% 이하 함유하는 (1) 또는 (2)에 기재된 동박.(3) Copper foil as described in (1) or (2) containing 0.06 mass% or less of Mn.
(4) Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소를 0.005질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 잔부 동이 99.6질량% 이상 99.999질량% 이하인 동박이며, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 것을 특징으로 하는 동박. (4) 0.005% by mass or more and 0.4% by mass or less of at least one element selected from the group consisting of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y The balance copper is 99.6 mass% or more and 99.999 mass% or less, and the basic crystal axis of the copper unit lattice <100> is within 15 degrees of azimuth difference with respect to two orthogonal axes of either direction which exist in the thickness direction and thin surface of copper foil, respectively. Copper foil characterized by the preferential orientation area | region of occupies 60% or more by area ratio.
(5) 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 0.395질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 것을 특징으로 하는 (4)에 기재된 동박.(5) Copper foil as described in (4) containing at least any one of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less Ti or 0.005 mass% or more and 0.395 mass% or less Al.
(6) 산소의 함유량이 0.1질량% 미만인 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 동박.(6) Copper foil as described in any one of (1)-(5) whose content of oxygen is less than 0.1 mass%.
(7) (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 동박으로 이루어지는 동박층과 이에 적층된 수지층을 가지는 것을 특징으로 하는 동장 적층판.(7) The copper clad laminated board which has a copper foil layer which consists of copper foil in any one of (1)-(6), and the resin layer laminated | stacked on it.
(8) 동박층의 두께가 5㎛ 이상 18㎛ 이하이고, 수지층의 두께가 5㎛ 이상 75㎛ 이하인 (7)에 기재된 동장 적층판. (8) The copper clad laminated board as described in (7) whose thickness of a copper foil layer is 5 micrometers or more and 18 micrometers or less, and the thickness of a resin layer is 5 micrometers or more and 75 micrometers or less.
(9) 수지층이 폴리이미드로 이루어지는 (7) 또는 (8)에 기재된 동장 적층판.(9) The copper clad laminated board as described in (7) or (8) in which a resin layer consists of polyimide.
(10) (7) 내지 (9) 중 어느 하나에 기재된 동장 적층판의 동박층을 에칭해서 소정의 배선을 형성하고, 상기 배선의 적어도 한 개소에 굴곡부를 형성해서 사용하는 것을 특징으로 하는 가요성 회로기판.(10) A flexible circuit characterized by etching a copper foil layer of the copper clad laminate according to any one of (7) to (9) to form a predetermined wiring, and forming a bent portion in at least one of the wirings. Board.
(11) 접동(摺動) 굴곡, 절곡 굴곡, 힌지 굴곡 및 슬라이드 굴곡으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나의 반복 동작을 수반하는 굴곡부가 형성되도록 사용되는 (10)에 기재된 가요성 회로기판.(11) The flexible circuit board according to (10), which is used to form a bend with one or more repetitive motions selected from the group consisting of sliding bend, bend bend, hinge bend and slide bend.
(12) (10) 또는 (11)에 기재된 가요성 회로기판을 탑재한 전자기기. (12) An electronic device carrying the flexible circuit board according to (10) or (11).
(13) 동박층과 수지층을 가진 동장 적층판의 제조방법으로서, Mn을 0.001질량% 이상 0.1질량% 이하 함유하고, 불가피 불순물과 잔부 Cu를 조성에 가진 냉간압연 동박의 표면에 대해, 폴리아미드산 용액을 도포해서 가열 처리하거나 또는 폴리이미드 필름를 포개서 열압착함으로써 냉간압연 동박 상에 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성함과 함께 냉간압연 동박을 재결정화하여, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 상기 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역을 면적률로 60% 이상 차지하는 동박층으로 하는 것을 특징으로 하는 동장 적층판의 제조방법.(13) A method for producing a copper clad laminate having a copper foil layer and a resin layer, wherein the polyamic acid is contained on the surface of a cold-rolled copper foil containing Mn of 0.001% by mass or more and 0.1% by mass or less and having unavoidable impurities and residual Cu in its composition. The solution is applied by heat treatment or by superimposing a polyimide film to form a resin layer made of polyimide on the cold rolled copper foil, and recrystallizing the cold rolled copper foil. A method for producing a copper clad laminate, characterized in that the copper foil layer occupies 60% or more of the preferred orientation region within an orientation difference of 15 ° with respect to two orthogonal axes in one direction existing in the thickness direction and the thin surface of the copper foil, respectively. .
(14) 냉간압연 동박이 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 2질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 더 함유하는 (13)에 기재된 동장 적층판의 제조방법. (14) The method for producing a copper clad laminate according to (13), wherein the cold rolled copper foil further contains at least either of 0.005% by mass or more and 0.2% by mass or less of Ti or 0.005% by mass or more and 2% by mass or less of Al.
(15) 냉간압연 동박이 0.06질량% 이하의 Mn을 함유하는 (13) 또는 (14)에 기재된 동장 적층판의 제조방법.(15) The manufacturing method of the copper clad laminated board as described in (13) or (14) in which a cold rolled copper foil contains Mn of 0.06 mass% or less.
(16) 동박층과 수지층을 가진 동장 적층판의 제조방법이며, Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소를 0.005질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 잔부 동이 99.6질량% 이상 99.999질량% 이하인 냉간압연 동박의 표면에 대해, 폴리아미드산 용액을 도포해서 가열 처리하거나 또는 폴리이미드 필름를 포개서 열압착함으로써 냉간압연 동박 상에 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성함과 함께 냉간압연 동박을 재결정화하여, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 상기 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역을 면적률로 60% 이상 차지하는 동박층으로 하는 것을 특징으로 하는 동장 적층판의 제조방법.(16) A method for producing a copper clad laminate having a copper foil layer and a resin layer, wherein at least one selected from the group consisting of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y A polyamic acid solution is applied to a surface of a cold-rolled copper foil containing 0.005% by mass or more and 0.4% by mass or less and having a residual copper of 99.6% by mass or more and 99.999% by mass or less, or a polyimide film is overlaid and heated. By crimping, a resin layer made of polyimide is formed on the cold rolled copper foil, and the cold rolled copper foil is recrystallized, so that the basic crystal axis of the copper unit lattice is in the thickness direction of the copper foil and in any direction in the thin surface. A method for manufacturing a copper clad laminate, characterized in that the copper foil layer occupies 60% or more of the preferred orientation region within an orientation difference of 15 ° with respect to two orthogonal axes, respectively.
(17) 냉간압연 동박이 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 0.395질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 (16)에 기재된 동장 적층판의 제조방법. (17) The manufacturing method of the copper clad laminated board as described in (16) in which cold-rolled copper foil contains at least either 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less of Ti, or 0.005 mass% or more and 0.395 mass% or less of Al.
(18) 도포한 폴리아미드산 용액을 가열 처리해서 수지층을 형성하는 온도가 280℃ 이상 400℃ 이하인 (13) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 동장 적층판의 제조방법.(18) The manufacturing method of the copper clad laminated board in any one of (13)-(17) whose temperature which heat-processes the apply | coated polyamic-acid solution and forms a resin layer is 280 degreeC or more and 400 degrees C or less.
(19) 폴리이미드 필름을 열압착해서 수지층을 형성하는 온도가 280℃ 이상 400℃ 이하인 (13) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 동장 적층판의 제조방법.(19) The manufacturing method of the copper clad laminated board in any one of (13)-(17) whose temperature which thermocompresses a polyimide film and forms a resin layer is 280 degreeC or more and 400 degrees C or less.
본 발명의 동박에 의하면, 가요성 회로기판을 굴곡시켰을 때의 굴곡부에 있어서 배선을 형성했다고 해도, 금속 피로가 생기기 어렵고 응력 및 뒤틀림에 대해 우수한 내구성을 가진다. 그 때문에 가요성 회로기판의 설계에 제약이 생기지 않으며, 절곡의 반복이나 곡률반경이 작은 굴곡에 대해서도 견딜 수 있는 강도를 구비하여 굴곡성이 우수한 가요성 회로기판을 얻을 수 있고, 박형 휴대전화, 박형 디스플레이, 하드디스크, 프린터, DVD 장치 등을 비롯해서 내구성이 높은 전자기기가 실현 가능하게 된다. According to the copper foil of this invention, even if wiring is formed in the bending part at the time of bending a flexible circuit board, metal fatigue hardly arises and it is excellent in stress and a distortion. As a result, the design of the flexible circuit board is not constrained, and the flexible circuit board having excellent flexibility can be obtained by providing the strength that can withstand bending repetition or bending with a small radius of curvature. , Hard disks, printers, DVD devices and the like, and highly durable electronic devices can be realized.
도 1은 가요성 회로기판의 동박층으로 이루어지는 배선과 굴곡부의 능선의 관계를 나타내는 평면 모식도이다.
도 2는 가요성 회로기판을 굴곡시킨 상태를 나타내는 단면 설명도이다.
도 3은 MIT 굴곡시험장치의 설명도이다.
도 4(a)는 IPC 굴곡시험장치의 설명도이고, 도 4(b)는 IPC 굴곡시험에 이용한 시험용 가요성 회로기판의 X-X' 단면도이다.
도 5는 편면(片面) 동장 적층판의 사시 설명도이다. 1 is a schematic plan view showing a relationship between a wiring made of a copper foil layer of a flexible circuit board and a ridge line of a bent portion.
2 is a cross-sectional explanatory view showing a state where a flexible circuit board is bent.
3 is an explanatory diagram of an MIT bending test apparatus.
4 (a) is an explanatory view of the IPC bending test apparatus, and FIG. 4 (b) is a sectional view taken along the line XX 'of the test flexible circuit board used in the IPC bending test.
5 is a perspective explanatory diagram of a single-sided copper clad laminate.
이하, 본 발명에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
본 발명의 동박은 반복 하중(부하)이나 뒤틀림에 대해 피로 파단이 생기기 어려운 것이며, 이러한 동박을 실현하기 위해 2종류의 합금조성을 채용함으로써 각각 금속 피로가 생기기 어렵고, 응력 및 뒤틀림에 대해 우수한 내구성을 가지고 동장 적층판이나 가요성 회로기판을 알맞게 얻는 것에 성공했다. 제1 합금조성을 가지는 동박은, 조성으로서 Mn을 0.001질량% 이상 0.4질량% 이하 함유함과 함께, 불가피 불순물과 잔부 Cu를 가진 것이면서 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 조직을 가지는 것을 특징으로 한다 (이하, '제1 발명에 관한 동박'이라고 하는 경우가 있다). 또, 제2 합금조성을 가지는 동박은 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종 이상의 원소를 0.005질량% 이상 0.4질량% 이하 함유하고, 잔부 동이 99.6질량% 이상 99.999질량% 이하의 것이면서 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15°이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 조직을 가지는 것을 특징으로 한다 (이하, '제2 발명에 관한 동박'이라고 하는 경우가 있다). The copper foil of the present invention is less likely to cause fatigue fracture due to cyclic load (load) or torsion, and by adopting two kinds of alloy compositions to realize such copper foil, it is difficult to produce metal fatigue, and has excellent durability against stress and torsion. Successfully obtained copper clad laminates and flexible circuit boards. The copper foil having the first alloy composition contains Mn in an amount of 0.001% by mass or more and 0.4% by mass or less, and has inevitable impurities and residual Cu, while the basic crystal axis of the copper unit lattice <100> has a thickness direction and thin surface of the copper foil. It is characterized by having a structure in which a preferred orientation region within an orientation difference of 15 ° each occupies 60% or more in area ratio with respect to two orthogonal axes in any one direction existing in the following (hereinafter, 'copper foil according to the first invention' I may say). In addition, the copper foil having the second alloy composition is 0.005% by mass of at least one or more elements selected from the group consisting of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Y. About two orthogonal axes in any one direction which contains 0.4 mass% or less, and the residual copper is 99.6 mass% or more and 99.999 mass% or less, and the basic crystal axis of a copper unit grid exists in thickness direction and thin surface of copper foil. Each of the orientation areas having an orientation difference of 15 degrees or less has a structure occupying 60% or more in area ratio, respectively (hereinafter referred to as "copper foil according to the second invention").
먼저, 제1 및 제2 발명에 관한 동박의 재료 조직상의 규정에 대해 설명한다. First, the rule on the material structure of the copper foil which concerns on 1st and 2nd invention is demonstrated.
일반적으로, 재료 조직은 재료의 피로 특성에 영향을 준다. 조직이 미세할 경우, 강도나 파단 신장은 향상하지만, 한편으로 결정입계는 전위의 집적면이 된다. 또, 결정 입자의 방위에 따른 결정 입자마다의 이방성에 의한 변형시의 미시적인 응력 집중은 피로 특성을 악화시킨다. 본 발명에서는 특히 가요성 회로기판의 배선을 형성해서 곡률반경 2㎜ 이하의 굴곡부를 가지는 뒤틀림 값 1%을 넘는 고뒤틀림 영역에서도 우수한 피로 특성을 가지는 동박을 제공하는 점에서, 동박에 결정입계가 없는 편이 좋고, 고도로 배향해서 동의 3개의 기본 결정축이 갖추어져 있는 것이 바람직하다. 3개의 기본 결정축 <100>은 서로 직교하고 있기 때문에, 이 중 2개의 축이 정해지면 모든 축이 정해진다. 즉, 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15° 이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상, 바람직하게는 80% 이상을 차지할 필요가 있다. 특히, 곡률반경이 0.8㎜ 이하가 되는 굴곡부가 형성되는 혹독한 굴곡 용도로는 95% 이상을 차지하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 98% 이상을 차지하도록 하는 것이 좋다. In general, the material organization affects the fatigue properties of the material. When the structure is fine, the strength and the elongation at break are improved, but the grain boundary becomes the dislocation accumulation surface. In addition, micro stress concentration at the time of deformation | transformation by the anisotropy for every crystal grain according to the orientation of a crystal grain worsens a fatigue characteristic. In particular, the present invention provides a copper foil having excellent fatigue characteristics even in a high warp region of more than 1% of a warpage value having a curvature radius of 2 mm or less by forming a wiring of a flexible circuit board, and thus has no grain boundary in the copper foil. It is preferable that it is good, and it is highly oriented and the three basic crystal axes of copper are provided. Since the three basic crystal axes <100> are orthogonal to each other, when two of these axes are determined, all axes are determined. In other words, the preferred orientation region within the direction difference of 15 ° for the two orthogonal axes in which the basic crystal axis <100> of the copper unit lattice exists in the thickness direction of the copper foil and in the thin surface is 60% or more, preferably in the area ratio. More than 80%. In particular, it is preferable to occupy 95% or more, and more preferably 98% or more for the severe bending use in which the bending part to which curvature radius becomes 0.8 mm or less is formed.
우선 배향의 중심에 있는 결정 방위를 집합조직의 주방위라고 부르기 때문에, 본 발명에 관한 제1 및 제2 동박은 모두 동박의 두께방향이 <100>의 주방위를 가짐과 함께 동박의 박면 내가 <100>의 주방위를 가진다고 할 수 있다. 즉, 이들 본 발명의 동박은 박의 두께방향으로 <100> 방위를 가지며, 또, 박면 내에는 그에 직교하는 <100> 방위를 주방위로 하는 고도로 배향한 입방체 방위라고 불리는 집합조직을 띠고 있을 필요가 있다. 입방체 방위의 집적도는 높은 편이 좋고, 이 집합조직이 발달함으로써 본 발명에 있어서의 동박은 모두 바람직하게는 박면 내의 결정입경은 800㎛ 이상인 것이 좋으며, 그것이 박의 두께방향으로 관통하고 있는 조직을 가지는 편이 바람직하다. 이하, 특별히 언급이 없는 한, 그들의 설명 내용은 제1 및 제2 발명에 관한 동박에 대해 공통된다. First, since the crystal orientation at the center of the orientation is called the kitchen table of the aggregate structure, both the first and second copper foils of the present invention have a kitchen table of <100> in the thickness direction of the copper foil, and the thin surface of the copper foil < It can be said that it has a kitchen table of 100>. That is, these copper foils of the present invention have a <100> orientation in the thickness direction of the foil, and need to have an aggregate structure called a highly oriented cube orientation having a <100> orientation orthogonal thereto in the foil surface. have. The higher the degree of integration of the cubic orientation, the better the development of the aggregate structure, and the copper foil in the present invention preferably has a grain size of 800 µm or more in the thin surface, and it has a structure that penetrates in the thickness direction of the foil. desirable. Hereinafter, unless otherwise indicated, their description is common about the copper foil which concerns on 1st and 2nd invention.
제1 및 제2 발명에 관한 동박은, 각각 압연박 또는 전해박 중 어느 것이어도 되지만, 높은 배향성을 얻는 상에서 바람직하게는 압연박인 것이 좋다. 동의 경우, 압연 조건과 열처리 조건을 궁리하여, 구체적으로는 큰 냉간 가공률(최종 압화율 90% 이상)로 압연 가공을 실시하고, 가공 경화에 의해 뒤틀림을 축적한 후, 열을 가함으로써 재결정시키는 것이 바람직하다. 압연 가공한 동의 재결정 조직의 하나가 박의 두께방향으로 <100>, 압연방향으로 <100> 방위가 갖추어지는 입방체 집합조직이다. Although the copper foil which concerns on 1st and 2nd invention may be either rolled foil or electrolytic foil, respectively, It is preferable that it is rolled foil preferably in the phase which obtains high orientation. In the case of copper, rolling conditions and heat treatment conditions are devised, specifically, rolling processing is carried out at a large cold work rate (final compaction rate of 90% or more), and after distortion is accumulated by work hardening, recrystallization is performed by applying heat. It is preferable. One of the copper recrystallized structures of the rolling process is a cube aggregate structure having a <100> orientation in the thickness direction of the foil and a <100> orientation in the rolling direction.
집합조직의 우선 배향의 우선도, 즉 배향도 또는 집적도를 나타내는 지표가 몇 가지 있는데, 전자선 회절로 얻어지는 국소적인 3차원 방위 데이터의 통계 데이터를 이용한 객관적인 데이터에 기초한 지표를 이용할 수 있다. 그래서, 집합조직을 3차원적인 집적도로 규정하기 위해, 집합조직의 주방위에 대해 15°이내에 들어가는 우선 배향영역의 면적률을 이용하여 특정할 수 있다. There are several indices indicating the priority of the preferential orientation of the texture, that is, the degree of orientation or the degree of integration. An indicator based on objective data using statistical data of local three-dimensional orientation data obtained by electron beam diffraction can be used. Thus, in order to define the aggregated structure in three-dimensional density, it can be specified using the area ratio of the preferential alignment region falling within 15 ° with respect to the kitchen position of the aggregated structure.
즉, 동박의 소정 면이 어떠한 결정 방위를 가지는가에 대해서는 예를 들면 EBSD(Electron Back Scattering Diffraction)법, ECP(Electron Channeling Pattern)법 등의 전자선 회절법이나 마이크로 라우에법(micro-Laue method) 등의 X선 회절법 등으로 확인할 수 있다. 그 중에서도 EBSD법은 측정 대상인 시료 표면에 수속(收束) 전자빔을 조사했을 때에 발생하는 각각의 결정면으로부터 회절되는 의키쿠치선(pseudo-Kikuchi line)이라고 불리는 회절상으로부터 결정을 해석하고, 방위 데이터와 측정점의 위치 정보로부터 측정 대상의 결정 방위 분포를 측정하는 방법이며, X선 회절법보다 미크로한 영역의 집합조직의 결정 방위를 해석할 수 있다. 예를 들면 각각의 미소영역에서 그 결정 방위를 특정하고 그들을 서로 연결시켜 매핑할 수 있으며, 각 매핑점 간의 면방위의 기울기각(방위차)이 일정값 이하인 것을 같은 색으로 칠해서, 거의 동일한 면방위를 가지는 영역(결정 입자)의 분포를 드러나게 함으로써 방위 매핑상을 얻을 수 있다. 또, 특정 면방위에 대해 소정 각도 이내의 방위를 가지는 방위면을 포함해서 그 방위라고 규정하고, 각 면방위의 존재비율을 면적률로 추출할 수도 있다. EBSD법에서는 어느 특정 방위로부터 특정 각도 이내에 있는 영역의 면적률을 내기 때문에, 본 발명에서는 가요성 회로기판에 있어서의 배선을 형성하는 것을 고려하면, 배선이 굴곡되는 부분의 영역보다 큰 영역에서, 면적률을 내기 위해 충분한 점수가 되도록 자잘하게 전자선을 주사하여 그 평균적인 정보를 얻는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 일반적으로 가요성 회로기판에 형성되는 배선회로의 크기를 고려하여, 0.005㎟ 정도의 영역을 선택해서 평균적인 면적률을 내기 위해 1000점 이상 측정하면 된다. In other words, the crystal orientation of the predetermined surface of the copper foil is, for example, electron beam diffraction method such as EBSD (Electron Back Scattering Diffraction) method, ECP (Electron Channeling Pattern) method, micro-Laue method, etc. Can be confirmed by X-ray diffraction. In particular, the EBSD method analyzes crystals from diffraction images called pseudo-Kikuchi lines diffracted from the respective crystal planes generated when irradiating converging electron beams on the sample surface to be measured, and azimuth data and measurement points are analyzed. It is a method of measuring the crystal orientation distribution of a measurement object from the positional information of, and it is possible to analyze the crystal orientation of the aggregated structure in a region finer than the X-ray diffraction method. For example, in each micro-area, the orientations of the crystals can be identified and mapped to each other, and the inclination angles (direction differences) of the plane orientations between the mapping points are painted with the same color, and the surface orientations are almost the same. The orientation mapping image can be obtained by revealing the distribution of the region (crystal grains) having. It is also possible to define an orientation surface including an orientation surface having an orientation within a predetermined angle with respect to a specific surface orientation, and to define the orientation as an area ratio. Since the EBSD method yields an area ratio of a region within a certain angle from a specific orientation, in the present invention, considering the formation of wiring in the flexible circuit board, the area is larger than the region of the portion where the wiring is bent. It is desirable to scan the electron beams with a small enough score to obtain the rate and obtain the average information. In the present invention, generally, in consideration of the size of the wiring circuit formed on the flexible circuit board, a region of about 0.005
<제1 발명에 관한 동박> <Copper foil which concerns on 1st invention>
다음으로, 제1 발명에 관한 동박에 대해 합금성분의 규정에 대해 기술한다. Next, the provision of an alloy component is described about the copper foil which concerns on 1st invention.
일반적으로 합금 원소는, 고용 강화에 따라 금속의 강도를 향상시킨다. 그러나, 한편으로 면심입방 구조를 가지는 동에 대한 대부분의 합금 원소는, 적층결함 에너지를 저하시키고, 전위를 확장하기 쉽게 한다. 그 때문에, 변형시에 전위가 교차 슬립(cross-slip)을 일으키기 어렵고, 국소적으로 전위의 집적이 일어나기 쉬워진다. 그 결과, 반복 변형시의 피로 특성을 감소시키는 작용도 가진다. 그 중에서 Mn은 다른 합금에 비교해서 동의 적층결함 에너지를 감소시키는 효과가 작다고 생각된다. 동일한 조직을 가질 경우에 있어서, Mn을 규정량 함유한 동과 함유하지 않는 동으로 비교한 경우, Mn을 함유한 동에서는 박면 내의 한 방향으로 인장 응력을 가했을 때의 파단 신장을 증대시키는 효과가 있으며, 즉 합금성분을 첨가해도 고도로 배향하면서 그 파단 신장이 큰 면심 입방정계의 결정 구조를 가지는 동합금박을 실현할 수 있고, 박면 내의 한 방향으로 반복 인장 응력 또는 뒤틀림을 가했을 때의 피로 특성을 향상시키는 것을 알 수 있었다. In general, alloying elements improve the strength of the metal by solid solution strengthening. However, on the one hand, most of the alloying elements for copper having a face-centered cubic structure lower the stacking defect energy and make it easier to expand the potential. Therefore, dislocations hardly cause cross slip during deformation, and localization of dislocations is likely to occur locally. As a result, it also has an effect of reducing the fatigue characteristics at the time of repeated deformation. Among them, Mn is considered to have a smaller effect of reducing the copper lamination defect energy compared with other alloys. In the case of having the same structure, when Mn is contained in a copper containing no amount of Mn, copper containing Mn has an effect of increasing the elongation at break when tensile stress is applied in one direction in the thin surface. That is, even if an alloy component is added, copper alloy foil having a crystal structure of a face-centered cubic system having a high elongation at break while having a high orientation can be realized, and improving fatigue characteristics when repeated tensile stress or distortion is applied in one direction in the thin surface. Could know.
그래서, 본 발명자 등이 동박에 있어서의 Mn의 함유량에 대해 검토한 결과, Mn의 함유량은 0.001질량% 이상에서 그 효과를 발현하는데, 특히 0.005질량% 이상 함유했을 때 효과가 커지는 것을 찾아냈다. 또, 이하의 이유에 의해 그 상한값은 0.4질량%로 규정한다. Then, as a result of this inventor's examination about content of Mn in copper foil, when content of Mn expresses the effect in 0.001 mass% or more, it found that especially when it contains 0.005 mass% or more, the effect becomes large. In addition, the upper limit is prescribed | regulated as 0.4 mass% for the following reasons.
상술한 바와 같이, 제1 발명에 관한 동박은 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15°이내의 우선 배향영역이 면적률로 60% 이상을 차지하는 조직을 가진다. 이러한 조직을 얻기 위한 유력한 수단으로서, 압연에 의해 가공한 동박을 열처리함으로써 박의 두께방향과 압연방향으로 <100> 방위가 고도로 배향한 재결정 집합조직을 형성시키는 방법을 채용할 수 있다. 그때, 합금 원소의 농도를 늘려 가면, 재결정 온도는 상승한다. 그 정도는 성분종에 따라 다르다. 또, 성분종이나 농도에 따라서는 재결정은 일어나지만, <100> 재결정 조직, 입방체 집합조직을 형성하지 않게 된다. As described above, the copper foil according to the first aspect of the present invention has a preferred orientation within 15 ° of azimuth difference with respect to two orthogonal axes in one direction in which the basic crystal axis of the copper unit lattice <100> exists in the thickness direction of the copper foil and in the foil surface, respectively. The area has an organization that accounts for more than 60% of the area. As a powerful means for obtaining such a structure, a method of forming a recrystallized texture structure in which the <100> orientation is highly oriented in the thickness direction and the rolling direction of the foil can be employed by heat-treating the copper foil processed by rolling. At that time, if the concentration of the alloying element is increased, the recrystallization temperature increases. The extent depends on the species. In addition, recrystallization occurs depending on the component species and concentration, but no recrystallization structure or cube aggregate structure is formed.
Mn은 제1 발명에 관한 동박으로 규정하는 범위 내의 첨가량인 경우, 입방체 집합조직이 얻어지지만, 함유량이 커짐에 따라 재결정 온도가 상승하며, 0.4질량%를 넘는 양으로 함유한 경우, 예를 들면 500℃의 열처리를 실시해도 강한 입방체 방위의 형성이 곤란해진다. 이 500℃ 이상의 열처리는 간단한 분위기 제어에서는 산화가 일어나기 쉬워져서, 산소 농도를 매우 작게 해서 열처리를 실시할 필요가 있으며, 롤투롤과 같은 연속적인 열처리를 실시할 경우, 대규모 설비가 필요하게 되어 제조 비용이 커진다. 그 때문에, 제1 발명에 관한 동박에서는 Mn의 함유량의 상한값은 500℃, 1시간의 열처리에서 본 발명에서 말하는 규정의 집합조직이 얻어지지 않게 되는 상한의 함유량으로 규정했다. When Mn is the addition amount within the range prescribed | regulated with the copper foil which concerns on 1st invention, a cubic aggregate structure is obtained, but when content increases, recrystallization temperature rises and it contains in quantity exceeding 0.4 mass%, for example, 500 Even if it heat-processes in degreeC, formation of a strong cube orientation becomes difficult. This heat treatment at 500 ° C. or more easily oxidizes under simple atmosphere control, and requires a very small oxygen concentration to perform heat treatment. When continuous heat treatment such as roll-to-roll is performed, a large-scale facility is required. Will grow. Therefore, in the copper foil which concerns on 1st invention, the upper limit of content of Mn was prescribed | regulated as content of the upper limit in which the aggregate structure of the prescription | regulation referred to in this invention cannot be obtained by heat processing of 500 degreeC and 1 hour.
또한 본 발명은, 가요성 회로기판용 동박의 제공을 주된 목적으로 하고 있다. 따라서, 가요성 회로기판의 제조공정 시의 열이력을 이용해서 동박을 재결정시킬 수도 있으며, 이렇게 함으로써 비용 면에서 유리하다. 물론, 미리 가공 경화한 동박을 열처리하여 재결정 집합조직을 형성시킨 후, 가요성 회로기판을 형성시켜도 되지만, 가공 경화한 동박에 수지층을 형성하는 편이 핸들링 면에서도 용이하다. 가요성 회로기판의 제조방법은 캐스트법, 열프레스법, 라미네이트법 등 여러 가지 것이 있는데, 이 중 캐스트법에 의해 폴리아미드산 용액을 도포하고, 가열 처리해서 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성할 경우, 그 온도는 높아도 400℃이다. 또, 폴리이미드 필름을 포개서 열압착해서 동박 위에 수지층을 형성할 경우, 그 열압착의 온도는 일반적으로 300∼400℃ 정도이다. 그래서, 이들의 가열 처리나 열압착에 있어서의 온도로 재결정을 완료하는 것이 바람직하기 때문에, 냉간압연 동박의 조성에 있어서의 Mn 농도는 0.1질량%를 초과하지 않는 것이 보다 바람직하다. 또한, 연속적으로 이를 제조하고자 했을 때에는 열처리 시간은 짧아지기 때문에, 공업적인 가요성 회로기판용 동박의 Mn 농도는 0.06질량% 이하인 것이 핸들링 면에서, 또 동박과 폴리이미드의 적층공정 전의 동박의 소둔 공정을 생략할 수 있는 점에서 보다 바람직하다. Moreover, this invention makes the main objective to provide the copper foil for flexible circuit boards. Therefore, the copper foil can also be recrystallized by using the thermal history during the manufacturing process of the flexible circuit board, which is advantageous in terms of cost. Of course, after forming the recrystallized texture by heat-processing the previously hardened copper foil and forming a recrystallized texture, forming a resin layer in the hardened copper foil is also easier in handling. There are various methods of manufacturing a flexible circuit board, such as a cast method, a hot press method, a laminate method, etc. Among them, a polyamic acid solution is applied by a cast method and heat treated to form a resin layer made of polyimide. Even if the temperature is high, it is 400 degreeC. Moreover, when superimposing a polyimide film and thermocompressing and forming a resin layer on copper foil, the temperature of the thermocompression bonding is generally about 300-400 degreeC. Therefore, since it is preferable to complete recrystallization at the temperature in these heat processing or thermocompression bonding, it is more preferable that Mn concentration in the composition of cold rolled copper foil does not exceed 0.1 mass%. In addition, since the heat treatment time becomes short when it is going to manufacture this continuously, the Mn density | concentration of industrial copper foil for flexible circuit boards is 0.06 mass% or less in terms of handling, and the annealing process of copper foil before the lamination process of copper foil and polyimide. It is more preferable at the point which can omit.
한편, 동의 전기 저항값은 실온에서 약 1.7×10-8Ωm이다. 가요성 회로기판에 사용할 경우, 배선을 형성하는 동박은 신호나 전력의 전달에 사용되기 때문에 전기 저항은 낮은 편이 바람직하다. Mn 농도가 0.1질량%를 초과하여 첨가되면 실온의 전기 저항이 2.0×10-8Ωm을 초과하고, IACS가 85%을 하회하기 때문에, 이 점에서도 Mn 농도는 0.1질량%를 초과하지 않는 것이 보다 바람직하다. 또, Mn 농도가 0.06질량% 이하이면 전기 저항값이 떠 떨어져서 1.9×10-8Ωm 이하가 되기 때문에 더 바람직하다. On the other hand, the electrical resistance value of copper is about 1.7x10 <-8> m at room temperature. When used for a flexible circuit board, the copper foil forming the wiring is preferably used for the transmission of signals or power, and therefore, the electrical resistance is preferably lower. If the Mn concentration is added in excess of 0.1% by mass, the electrical resistance at room temperature exceeds 2.0 × 10 −8 mm and the IACS is less than 85%. In this respect, the Mn concentration does not exceed 0.1% by mass. desirable. Moreover, since Mn density | concentration is 0.06 mass% or less, since an electric resistance value floats and becomes 1.9 * 10 <-8> mV or less, it is more preferable.
또, 상기와 같이 Mn의 함유량을 0.1질량% 이하로 억제할 경우에 대해, 제1 발명에 관한 동박에서는 0.001질량% 이상, 0.1질량% 이하의 Mn을 함유함과 함께 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 2질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하고, 불가피 불순물과 잔부 Cu를 가지도록 해도 된다. 이러한 조성의 동박으로 함으로써 파단 신장을 더 향상시키고, 피로 특성을 향상시킬 수 있다. 상기 범위에서 Ti 또는 Al을 첨가함으로써, 특히 0.001질량% 이상 0.005질량% 이하의 소량의 Mn 첨가량으로도 내구성에 관해서 큰 효과를 얻을 수 있다. Moreover, about the case where the content of Mn is suppressed to 0.1 mass% or less as mentioned above, in the copper foil which concerns on 1st invention, while 0.001 mass% or more and 0.1 mass% or less contain Mn, 0.005 mass% or more and 0.2 mass% At least one of the following Ti or 0.005 mass% or more and 2 mass% or less Al may be contained, and you may have an unavoidable impurity and remainder Cu. By using copper foil of such a composition, break elongation can be improved further and a fatigue characteristic can be improved. By adding Ti or Al in the said range, especially the small amount of Mn addition amount of 0.001 mass% or more and 0.005 mass% or less can obtain a big effect regarding durability.
여기에서, Ti 함유량의 상한은 Mn과 동일하게 재결정 온도로 규정된다. Ti는 Mn보다도 재결정 온도를 높이는 작용이 커서, 500℃, 1시간의 열처리에서 본 발명에서 말하는 규정의 집합조직이 얻어지지 않게 되는 값으로서, 구체적으로 Ti 함유량의 상한값은 0.2질량%이다. 또, 바람직하게는 400℃ 이하에서 재결정을 완료하는 것이 바람직하며, 그 경우의 Ti의 함유량의 상한은 0.05질량%인 것이 바람직하다. Here, the upper limit of Ti content is prescribed | regulated by recrystallization temperature similarly to Mn. Ti has a function of increasing the recrystallization temperature more than Mn, so that the aggregate structure of the regulation as described in the present invention cannot be obtained by heat treatment at 500 ° C. for 1 hour. Specifically, the upper limit of Ti content is 0.2% by mass. Moreover, it is preferable to complete recrystallization preferably at 400 degrees C or less, and it is preferable that the upper limit of content of Ti in that case is 0.05 mass%.
한편 Al은 동의 재결정 온도를 상승시키는 효과는 작아서, 동에 대한 Al의 최대 고용한도인 9질량%까지 원리적으로는 첨가 가능하지만, 통상의 주조 응고에서는 2질량%를 초과하여 첨가하면 CuAl 화합물상을 형성하기 쉬워진다. 이 화합물상이 형성된 경우, 뒤틀림을 가했을 때에 동박 내의 CuAl 화합물 근방에 응력이 집중하고, 피로 특성은 현저하게 저하한다. On the other hand, Al has a small effect of raising the copper recrystallization temperature, and can be added in principle up to 9 mass%, which is the maximum solid solubility limit of Al to copper. However, when Al is added in excess of 2 mass%, the CuAl compound phase It becomes easy to form. When this compound phase is formed, when a distortion is applied, a stress concentrates in the vicinity of the CuAl compound in copper foil, and a fatigue characteristic falls remarkably.
제1 발명에 관한 동박에는 Mn, Ti 및 Al 이외에 불가피 불순물을 포함하는데, 특히 원료 동 중의 불순물 원소로서 함유되는 은, 철, 니켈은 본 발명에서 밝힌 효과에 영향을 주지 않는다. 단, 산소에 대해서는 산화동으로서 산소를 많이 함유하고 있을 경우, 동박에 응력을 걸었을 때 산화동에 응력 집중을 일으키기 때문에, 산소의 함유량은 최대 0.1질량%를 초과하지 않을 필요가 있으며, 바람직하게는 일반적인 터프 피치 동에서 함유되는 레벨인 0.05질량% 이하, 더 바람직하게는 무산소 동의 산소 불순물 농도 레벨인 0.001질량% 이하인 것이 바람직하다. The copper foil according to the first invention contains inevitable impurities in addition to Mn, Ti, and Al. In particular, silver, iron, and nickel contained as impurity elements in the raw copper do not affect the effects disclosed in the present invention. However, when oxygen contains a large amount of oxygen as copper oxide, stress concentration occurs on copper oxide when stress is applied to the copper foil. Therefore, the oxygen content should not exceed 0.1 mass% at most, and preferably It is preferable that it is 0.05 mass% or less which is the level contained in tough pitch copper, More preferably, it is 0.001 mass% or less which is the oxygen impurity concentration level of an oxygen free copper.
<제2 발명에 관한 동박> <Copper foil which concerns on 2nd invention>
또, 제2 발명에 관한 동박의 합금성분의 규정에 대해 기술한다. Moreover, the prescription | regulation of the alloy component of the copper foil which concerns on 2nd invention is described.
동박이 고도로 배향되기 위해, 바람직하게는 냉간압연에 의해 뒤틀림을 축적하고 가열해서 재결정시킴으로써, 재결정 집합조직인 입방체 방위를 형성시키는 것이 좋다. 상술한 바와 같이, 합금 원소는 재결정 후의 입방체 방위의 형성을 저해하는 경우가 있는데, 그 중에서 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y는 입방체 방위의 형성을 촉진한다. 동일한 열처리 조건으로 가열한 경우에 있어서 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y에 대해서는 이들을 규정량 함유한 동과 함유하지 않는 동으로 비교하면, 상기 합금 원소를 함유한 경우에는 동의 입방체 방위의 집적도는 커진다고 생각된다. 또, 합금 원소는 고용 강화에 의해 강도를 향상시킨다. 그러나, 한편으로 면심입방 구조를 가지는 동에 대한 대부분의 합금 원소는 적층결함 에너지를 저하시키고, 전위를 확장하기 쉽게 한다. 그 때문에, 변형시에 전위가 교차 슬립을 일으키기 어렵고, 국소적으로 전위의 집적이 일어나기 쉬워진다. 그 결과, 반복 변형시의 피로 특성을 감소시키는 작용도 가진다. 그 중에서도 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y는 다른 합금에 비교해서 동의 적층결함 에너지를 감소시키는 효과가 작고, 반복 변형시의 피로 특성을 감소시키는 작용도 작은 것을 찾아냈다. In order for copper foil to be highly oriented, it is preferable to form a cube orientation which is a recrystallized texture by accumulating distortion by cold rolling, heating and recrystallization. As described above, the alloying element may inhibit the formation of the cube orientation after recrystallization, among which Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Y Promotes the formation of a cube bearing. In the case of heating under the same heat treatment conditions, Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y may be In comparison, when the alloying element is contained, it is considered that the degree of integration of the copper cube orientation is increased. Moreover, an alloying element improves strength by solid solution strengthening. However, on the one hand, most alloying elements for copper having a face centered cubic structure lower the stacking defect energy and make it easier to expand the dislocation. As a result, dislocations are less likely to cause cross slip during deformation, and accumulation of dislocations is likely to occur locally. As a result, it also has an effect of reducing the fatigue characteristics at the time of repeated deformation. Among them, Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Y have a smaller effect of reducing copper stacking defect energy than other alloys, It also found a small effect on reducing fatigue properties.
Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 합금 원소의 함유량은 미량의 첨가량으로 그 효과를 발현하지만, 특히 0.005질량% 이상 함유했을 때 효과가 커진다. 또 이들의 원소는 총량으로 0.4질량%를 초과하여 첨가하면, 입방체 방위의 집적도는 반대로 작아진다. 또, 이들의 원소가 동에 고용되지 않을 경우에는 동박에 뒤틀림을 가하면 석출 상(相)의 근방에 응력 집중이 생기고, 이것이 파괴 기점이 되기 때문에, 상기 합금 원소의 최대 고용한도가 0.4질량%보다 작을 경우에는 그것을 초과하지 않는 것이 바람직하다.The content of one or more alloying elements selected from the group consisting of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y expresses the effect with a small amount of addition. Especially when it contains 0.005 mass% or more, an effect becomes large. Moreover, when these elements are added exceeding 0.4 mass% in total amount, the integration degree of a cube orientation will become small on the contrary. In the case where these elements are not dissolved in copper, twisting the copper foil causes stress concentrations in the vicinity of the precipitated phase, and this causes a breakdown point, so that the maximum solid solution limit of the alloying element is more than 0.4% by mass. If it is small, it is preferable not to exceed it.
제2 발명에 관한 동박에서 규정하는 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y는 화학적 성질이 비슷하며, 모두 동박의 <100> 배향도를 향상시키는 작용이 있다. 따라서, 이들의 원소는 2종류 이상의 원소를 혼합시켜서 함유되어 있어도 된다. 이 중 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y는 희토류 원소이며, 각각의 원소를 분류하는데 비용이 들어서 고가인 것이 많다. 이들의 원소를 정련해서 분리하기 전인 금속은 미시메탈(misch metal)이라고 불리며, Ce, La, Pr, Nd를 주성분으로 하는 혼합체로, 비교적 저렴하다. 미시메탈에 많이 함유하는 금속은 모두 같은 작용을 발휘하기 때문에, 미시메탈로서 첨가됨으로써 비용 삭감에 유효하다. Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Y defined in the copper foil according to the second invention are similar in chemical properties, and all have a <100> orientation. There is an action to improve. Therefore, these elements may be contained in mixture of 2 or more types of elements. Among them, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Y are rare earth elements, and many of them are expensive and expensive to classify each element. The metal before refining and separating these elements is called misch metal, and is a mixture containing Ce, La, Pr, and Nd as a main component, and is relatively inexpensive. Since all the metals contained in the micrometal have the same effect, it is effective for cost reduction by adding as a micrometal.
제1 발명에 관한 동박에 있어서도 설명했지만, 본 발명은 가요성 회로기판용 동박의 제공을 주된 목적으로 하고 있다. 따라서, 동장 적층판 또는 가요성 회로기판의 제조공정 시의 열이력을 이용해서 동박을 재결정시킬 수도 있어, 비용 면에서 유리하다. 물론, 미리 가공 경화한 동박을 열처리하여 재결정 집합조직을 형성시킨 후 동장 적층판을 얻도록 해도 되지만, 가공 경화한 동박에 수지층을 형성하는 편이 핸들링 면에서도 용이하다. 동장 적층판의 제조방법은 캐스트법, 열프레스법, 라미네이트법 등 여러 가지 것이 있는데, 수지층을 형성시키는 온도는 높아도 400℃ 정도이며, 이 온도로 제2 발명에 관한 동박의 재결정을 완료하는 것이 바람직하다. Although it demonstrated also in the copper foil which concerns on 1st invention, this invention aims at providing the copper foil for flexible circuit boards. Therefore, the copper foil can be recrystallized using the thermal history during the manufacturing process of the copper clad laminate or the flexible circuit board, which is advantageous in terms of cost. Of course, you may make it obtain the copper clad laminated board after heat-processing the previously hardened copper foil to form a recrystallized texture, but it is also easy to form a resin layer in the workpiece hardened copper foil from a handling surface. There are various methods of manufacturing a copper clad laminate, such as a cast method, a hot press method, and a lamination method. Although the temperature at which the resin layer is formed is high, it is about 400 ° C, and it is preferable to complete the recrystallization of the copper foil according to the second invention at this temperature. Do.
제2 발명에 관한 동박에 대해, 상기 이외의 원소는 불가피 불순물로서 포함해도 된다. 특히 Al, Ti, Ag, Fe, Ni, Mn, Hf, Ta, B 또는 V는, 제2 발명에 관한 동박에서 규정하는 동박의 순도 이내(동의 함유량)이면 본 발명의 효과는 유지된다. 이들의 원소 중에서도 Al과 Ti는 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 1종 이상의 원소로 조합시킴으로써, 상세하게는 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 0.395질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유함으로써. 같은 조건으로 동박을 재결정화했을 때의 <100> 배향도를 향상시키는 작용이 있다. 또한, 불가피 불순물 중에서 Mg은 제2 발명에 관한 동박에서 규정하는 원소군과 화학적 성질은 비슷하지만, <100> 배향도를 저하시키기 때문에 그 함유량은 0.001질량% 이하인 것이 바람직하다. About the copper foil which concerns on 2nd invention, the element of that excepting the above may be included as an unavoidable impurity. In particular, if Al, Ti, Ag, Fe, Ni, Mn, Hf, Ta, B or V is within the purity (copper content) of the copper foil specified by the copper foil according to the second invention, the effect of the present invention is maintained. Among these elements, Al and Ti are combined by one or more elements selected from the group consisting of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y, in detail. By containing at least either of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less Ti or 0.005 mass% or more and 0.395 mass% or less Al. It has the effect | action which improves the <100> orientation degree when recrystallizing copper foil on the same conditions. In addition, although Mg is similar in chemical properties to the element group prescribed | regulated by the copper foil which concerns on 2nd invention among inevitable impurities, since it reduces <100> orientation degree, it is preferable that the content is 0.001 mass% or less.
또, 불가피 불순물 중에서, 산소에 대해서는 산화동으로서 산소를 많이 함유하고 있을 경우, 동박에 응력을 걸었을 때 산화동에 응력 집중을 일으키기 때문에, 산소의 함유량은 최대 0.1질량%를 초과하지 않을 필요가 있으며, 바람직하게는 일반적인 터프 피치 동으로 함유되는 레벨인 0.05질량%, 더 바람직하게는 무산소 동의 산소 불순물 농도 레벨인 0.001질량% 이하인 것이 바람직하다. 또, 유황에 대해서도 동과 친화성이 높고, 불순물로서 받아들이기 쉽지만, 동을 취화시키는 작용이 있기 때문에 함유량은 작은 편이 바람직하다. 제2 발명에 관한 동박에서 규정되는 원소인 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Y와 필요에 따라서 첨가되는 Al 및 Ti는 각각 산소나 유황과의 친화성이 높고, 동을 용해해서 합금화시킬 때에 내굴곡 피로 특성에 유해한 산소나 유황과 화합물을 형성해서 산소나 유황을 재료 밖으로 내놓는 부차적인 효과도 있다. 그 때문에, 상기와 같은 첨가하는 합금 원소는 동의 원료 중의 산소나 유황의 함유량에 따라 화합물로서 제거되는 분량을 고려해서 넉넉하게 첨가하는 것이 바람직하다. In addition, among the unavoidable impurities, when oxygen contains a large amount of oxygen as copper oxide, stress concentration occurs on copper oxide when stress is applied to the copper foil, so the content of oxygen does not need to exceed 0.1 mass% at the maximum. Preferably it is 0.05 mass% which is the level contained with general tough pitch copper, More preferably, it is preferable that it is 0.001 mass% or less which is the oxygen impurity concentration level of an oxygen free copper. In addition, sulfur has a high affinity with copper and is easy to accept as an impurity. However, the smaller the content, the better the copper content. Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Y which are the elements defined in the copper foil which concerns on 2nd invention, and Al and Ti added as needed are oxygen, respectively. In addition, it has a high affinity with sulfur and has a secondary effect of forming oxygen and sulfur and compounds that are harmful to bending fatigue characteristics when dissolving and alloying copper to release oxygen or sulfur out of the material. Therefore, it is preferable to add the alloying element added as mentioned above in consideration of the quantity removed as a compound according to content of oxygen and sulfur in a copper raw material.
상술한 바와 같이, 제2 발명에 관한 동박에서의 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Y, Al 및 Ti의 함유량은 캐스트법, 열프레스법, 라미네이트법 등에 의해 수지층을 형성해서 동장 적층판을 제조하는 열처리 온도로, 동박이 충분한 <100> 우선 배향영역을 얻을 수 있는 조건으로 규정하는데, 동박에 가해지는 열이력이 같을 경우, 상기의 원소에 의한 <100> 입방체 방위의 집적도를 향상시키는 효과를 얻을 수 있다. As described above, the content of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Y, Al and Ti in the copper foil according to the second invention is determined by the cast method, The heat treatment temperature for forming a copper-clad laminate by forming a resin layer by a hot press method, a lamination method, or the like is defined as a condition that a preferred <100> alignment region with sufficient copper foil can be obtained, and when the heat history applied to the copper foil is the same, The effect of improving the degree of integration of the <100> cube orientation by the above elements can be obtained.
<동장 적층판, 가요성 회로기판> Copper Clad Laminates, Flexible Circuit Boards
상술한 제1 발명에 관한 동박 또는 제2 발명에 관한 동박을 이용해서, 본 발명에서는 어느 하나의 동박으로 이루어지는 동박층에 수지층을 적층해서 동장 적층판으로 하고, 이 동장 적층판의 동박층을 에칭해서 소정의 배선을 형성함으로써 굴곡 내구성이나 굴곡성이 우수한 가요성 회로기판을 얻을 수 있다. 이 가요성 회로기판의 배선의 적어도 한 개소에 굴곡부를 형성해서 사용하는데 알맞으며, 특히 굴곡부의 곡률반경이 2㎜ 이하인 고뒤틀림 영역에 있어서도 우수한 피로 특성을 가진다. 이 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 동박이 제1 또는 제2 발명에서 규정된 조직과 성분값을 가지도록 하고, 더하여, 하기에 나타내는 구성인 것이 바람직하다. 또한, 이하의 내용은 제1 및 제2 발명에 관한 동박에 공통되며, 어느 한쪽의 동박을 이용한 경우를 본 발명에 관한 동장 적층판 및 가요성 회로기판이라고 한다. By using the copper foil which concerns on 1st invention mentioned above, or the copper foil which concerns on 2nd invention, in this invention, a resin layer is laminated | stacked on the copper foil layer which consists of either copper foil, and it is set as a copper clad laminated board, and the copper foil layer of this copper clad laminated board is etched, By forming the predetermined wiring, a flexible circuit board having excellent bending durability and flexibility can be obtained. It is suitable to form and use a bent portion at least at one place of the wiring of the flexible circuit board, and particularly has excellent fatigue characteristics even in a high torsion region where the radius of curvature of the bent portion is 2 mm or less. In order to achieve this object, in this invention, it is preferable that copper foil has a structure and component value prescribed | regulated by the 1st or 2nd invention, and it is preferable that it is a structure shown below. In addition, the following content is common to the copper foil which concerns on 1st and 2nd invention, and the case where either copper foil is used is called the copper clad laminated board and flexible circuit board which concern on this invention.
즉, 본 발명에서 특히 고굴곡성을 요구할 경우에는, 가요성 회로기판의 배선을 형성하는 동박은 두께 5∼18㎛의 압연 동박을 사용하는 것이 좋고, 바람직하게는 두께 9∼12㎛의 압연 동박을 사용하는 것이 좋다. 압연 동박이 18㎛보다 두꺼워지면, 곡률반경이 2㎜ 이하인 고뒤틀림 영역에서 우수한 피로 특성을 가지는 가요성 회로기판을 얻는 것이 어려워진다. 또, 두께가 5㎛보다 얇아지면, 동박과 수지층을 적층시키는 데 있어서의 핸들링이 곤란하여, 균질한 동장 적층판을 형성하는 것이 곤란하다. 또한, 상술한 바와 같이, 동박층을 압연 동박으로 형성할 경우, 그 압연 동박은 미리 열처리되어서 동의 단위격자의 기본 결정축 <100>이 상기 동박의 두께방향과 박면 내에 존재하는 어느 한 방향의 2개의 직교축에 대해 각각 방위차 15°이내의 우선 배향영역을 면적률로 60% 이상 차지하도록 재결정화된 것을 이용해도 되고, 혹은 상기 두께 범위에서 냉간압연된 것이 캐스트법이나 라미네이트법 등에 의한 수지층 형성의 열이력에 의해 재결정화되도록 해도 된다. That is, in the present invention, when particularly high flexibility is required, the copper foil for forming the wiring of the flexible circuit board is preferably a rolled copper foil having a thickness of 5 to 18 µm, preferably a rolled copper foil having a thickness of 9 to 12 µm. It is good to use. When the rolled copper foil is thicker than 18 µm, it becomes difficult to obtain a flexible circuit board having excellent fatigue characteristics in a high warping region having a radius of curvature of 2 mm or less. Moreover, when thickness becomes thinner than 5 micrometers, handling in laminating | stacking copper foil and a resin layer is difficult, and it is difficult to form a homogeneous copper clad laminated board. As described above, when the copper foil layer is formed of a rolled copper foil, the rolled copper foil is heat-treated in advance so that the basic crystal axes of the copper unit lattice are in two directions in the thickness direction of the copper foil and in the thin surface. Recrystallized so as to occupy 60% or more of the preferred orientation area within 15 degrees of the orientation difference with respect to the orthogonal axis, respectively, or cold-rolled in the above thickness range to form a resin layer by a cast method, a laminate method, or the like. The crystallization may be performed by the thermal history of.
본 발명에서의 동장 적층판의 수지층에 대해서는, 수지층을 형성하는 수지의 종류는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 액정 폴리머, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르에테르케톤 등을 예시할 수 있다. 그 중에서도, 회로기판으로 한 경우에 양호한 가요성을 나타내면서 내열성도 우수한 점에서 폴리이미드나 액정 폴리머가 알맞다. Although the kind of resin which forms a resin layer is not specifically limited about the resin layer of the copper clad laminated board in this invention, For example, polyimide, polyamide, polyester, a liquid crystal polymer, polyphenylene sulfide, polyether ether ketone Etc. can be illustrated. Among them, polyimides and liquid crystal polymers are preferable in that they exhibit good flexibility and excellent heat resistance when the circuit board is used.
수지층의 두께는 동장 적층판의 용도, 형상 등에 따라 적절히 설정할 수 있는데, 가요성의 관점에서 5∼75㎛의 범위인 것이 바람직하고, 9∼50㎛의 범위가 보다 바람직하며, 10∼30㎛의 범위가 가장 바람직하다. 수지층의 두께가 5㎛에 미치지 않으면 절연 신뢰성이 저하될 우려가 있고, 반대로 75㎛를 초과하면 가요성 회로기판으로서 소형기기 등에 탑재할 경우에 회로기판 전체의 두께가 너무 두꺼워질 우려가 있으며, 굴곡성의 저하도 생각할 수 있다. Although the thickness of a resin layer can be suitably set according to the use, shape, etc. of a copper clad laminated board, it is preferable that it is the range of 5-75 micrometers from a viewpoint of flexibility, The range of 9-50 micrometers is more preferable, The range of 10-30 micrometers Most preferred. If the thickness of the resin layer is less than 5 μm, the insulation reliability may be deteriorated. On the contrary, if the thickness of the resin layer is more than 75 μm, the thickness of the entire circuit board may be too thick when mounted on a small device or the like as a flexible circuit board. The fall of flexibility is also conceivable.
또, 가요성 회로기판으로서 소형기기 등에 탑재할 경우의 대부분은, 동박층으로 형성된 배선 상에 하기에 나타내는 바와 같은 커버재를 형성하는 경우도 있다. 그 경우에는, 배선에 걸리는 응력의 밸런스를 고려하여 커버재와 수지층의 구성을 설계하는 것이 좋다. 본 발명자들의 지견에 의하면, 예를 들면 수지층을 형성하는 폴리이미드 수지가 25℃에서의 인장 탄성률 4∼6GPa임과 함께 두께가 14∼17㎛ 범위라고 한다면, 사용하는 커버재는 두께 8∼17㎛의 열경화성 수지로 이루어지는 접착층과 두께 7∼13㎛의 폴리이미드층의 2층을 가지며, 접착층과 폴리이미드층 전체의 인장 탄성률이 2∼4GPa가 되는 구성이 바람직하다. 또, 수지층을 형성하는 폴리이미드가 25℃에서의 인장 탄성률 6∼8GPa임과 함께 두께가 12∼15㎛의 범위라고 한다면, 사용하는 커버재는 두께 8∼17㎛의 열경화성 수지로 이루어지는 접착층과 두께 7∼13㎛의 폴리이미드층의 2층을 가지며, 접착층과 폴리이미드층 전체의 인장 탄성률이 2∼4GPa가 되는 구성이 바람직하다.In addition, in the case where it is mounted in a small apparatus etc. as a flexible circuit board, the cover material as shown below may be formed on the wiring formed from the copper foil layer in some cases. In that case, it is good to design the structure of a cover material and a resin layer in consideration of the balance of the stress applied to wiring. According to the findings of the present inventors, for example, if the polyimide resin forming the resin layer has a tensile modulus of 4 to 6 GPa at 25 ° C and a thickness of 14 to 17 µm, the cover member to be used has a thickness of 8 to 17 µm. It is preferable to have two layers of an adhesive layer made of a thermosetting resin and a polyimide layer having a thickness of 7 to 13 µm, and the tensile modulus of the adhesive layer and the entire polyimide layer to be 2 to 4 GPa. If the polyimide forming the resin layer has a tensile modulus of 6 to 8 GPa at 25 ° C and a thickness of 12 to 15 µm, the cover member to be used has an adhesive layer and a thickness composed of a thermosetting resin having a thickness of 8 to 17 µm. It is preferable that it has two layers of the polyimide layer of 7-13 micrometers, and that the tensile elasticity modulus of an adhesive layer and the whole polyimide layer becomes 2-4GPa.
수지층과 동박층을 적층시키는 수단에 대해서는, 예를 들면 수지층이 폴리이미드로 이루어질 경우, 폴리이미드 필름에 열가소성 폴리이미드를 도포 또는 개재시켜서 동박을 열라미네이트하도록 해도 된다(이른바 라미네이트법). 라미네이트법에서 이용되는 폴리이미드 필름으로는 예를 들면 "캅톤(Kapton)"(토레·듀퐁 가부시키가이샤), "아피칼(Apical)"(가부시키가이샤 카네카), "유필렉스(UPILEX)"(우베코산 가부시키가이샤) 등을 예시할 수 있다. 폴리이미드 필름과 동박을 가열 압착할 때에는 열가소성을 나타내는 열가소성 폴리이미드 수지를 개재시키는 것이 좋다. 이러한 라미네이트법에 의해 폴리이미드 필름을 열압착하여 수지층을 형성할 때, 그 열 압착의 온도는 280℃ 이상 400℃ 이하인 것이 좋고, 바람직하게는 300℃ 이상 400℃ 이하인 것이 좋다. As for the means for laminating the resin layer and the copper foil layer, for example, when the resin layer is made of polyimide, the copper foil may be thermally laminated by applying or interposing a thermoplastic polyimide to the polyimide film (so-called lamination method). Examples of the polyimide film used in the laminating method include "Kapton" (Torre Dupont Co., Ltd.), "Apical" (Kaneka Co., Ltd.) and "UPILEX". (Ubekosan Co., Ltd.) etc. can be illustrated. When heat-pressing a polyimide film and copper foil, it is good to interpose the thermoplastic polyimide resin which shows thermoplasticity. When forming a resin layer by thermocompression-bonding a polyimide film by such a lamination method, it is preferable that the temperature of the thermocompression bonding is 280 degreeC or more and 400 degrees C or less, Preferably it is 300 degreeC or more and 400 degrees C or less.
한편, 수지층의 두께나 절곡 특성 등을 제어하기 쉬운 관점에서, 동박에 폴리이미드 전구체 용액(폴리아미드산 용액이라고도 한다)을 도포한 후, 건조·경화시켜 적층체를 형성하는 것도 가능하다(이른바 캐스트법). 이러한 캐스트법에 있어서, 폴리이미드 전구체 용액을 이미드화해서 수지층을 형성하기 위한 가열 처리의 온도는 280℃ 이상 400℃ 이하인 것이 좋고, 바람직하게는 300℃ 이상 400℃ 이하인 것이 좋다. On the other hand, it is also possible to apply a polyimide precursor solution (also called a polyamic acid solution) to copper foil, and to dry and harden | cure it, and to form a laminated body from a viewpoint which is easy to control the thickness, bending characteristics, etc. of a resin layer. Cast method). In such a casting method, the temperature of the heat treatment for imidating the polyimide precursor solution to form a resin layer is preferably 280 ° C or more and 400 ° C or less, preferably 300 ° C or more and 400 ° C or less.
수지층은 복수의 수지를 적층시켜 형성해도 되고, 예를 들면 선팽창계수 등이 다른 2종류 이상의 폴리이미드를 적층시키도록 해도 되는데, 그 때에는 내열성이나 굴곡성을 담보하는 관점에서 에폭시 수지 등을 접착제로서 사용하지 않고 수지층 전부가 실질적으로 폴리이미드로 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 단독의 폴리이미드로 이루어지는 경우 및 복수의 폴리이미드로 이루어지는 경우를 포함해서, 수지층의 인장 탄성률은 4∼10GPa가 되도록 하는 것이 좋고, 바람직하게는 5∼8GPa가 되도록 하는 것이 좋다. The resin layer may be formed by laminating a plurality of resins, and for example, two or more types of polyimides having different linear expansion coefficients or the like may be laminated. In this case, an epoxy resin or the like is used as an adhesive from the viewpoint of ensuring heat resistance and flexibility. It is preferable that the entire resin layer is substantially formed of polyimide. Including the case which consists of a single polyimide, and the case which consists of a some polyimide, it is good to set the tensile elasticity modulus of 4-10 GPa, Preferably it is 5-8 GPa.
본 발명의 동장 적층판에서는 수지층의 선팽창계수가 10∼30ppm/℃의 범위가 되도록 하는 것이 바람직하다. 수지층이 복수의 수지로 이루어질 경우에는 수지층 전체의 선팽창계수가 이 범위가 되도록 하면 된다. 이러한 조건을 만족시키기 위해서는 예를 들면 선팽창계수가 25ppm/℃ 이하, 바람직하게는 5∼20ppm/℃의 저(低)선팽창성 폴리이미드(저열 팽창성 폴리이미드)층과, 선팽창계수가 26ppm/℃ 이상, 바람직하게는 30∼80ppm/℃의 고(高)선팽창성 폴리이미드(고열 팽창성 폴리이미드)층으로 이루어지는 수지층으로서, 이들의 두께비를 조정함으로써 10∼30ppm/℃인 것으로 할 수 있다. 바람직한 저선팽창성 폴리이미드층과 고선팽창성 폴리이미드층의 두께의 비는 70:30∼95:5의 범위이다. 또, 저선팽창성 폴리이미드층은 수지층의 주된 수지층이 되고, 고선팽창성 폴리이미드층은 동박과 접하도록 마련하는 것이 바람직하다. 또한, 선팽창계수는 이미드화 반응이 충분히 종료된 폴리이미드를 시료로 하여, 서모메커니컬 애널라이저(TMA;thromomechanical analyzer)를 이용하여 250℃로 승온한 후, 10℃/분의 속도로 냉각하고, 240∼100℃의 범위에서의 평균 선팽창계수로부터 구할 수 있다. In the copper clad laminated board of this invention, it is preferable to make the linear expansion coefficient of a resin layer become the range of 10-30 ppm / degreeC. What is necessary is just to make the linear expansion coefficient of the whole resin layer into this range, when a resin layer consists of several resin. In order to satisfy these conditions, for example, a low linear expansion polyimide (low thermal expansion polyimide) layer having a linear expansion coefficient of 25 ppm / 占 폚 or lower, preferably 5-20 ppm / 占 폚, and a linear expansion coefficient of 26 ppm / 占 폚 or higher. Preferably, it is a resin layer which consists of a 30-80 ppm / degree high linearly expandable polyimide (high thermally expansible polyimide) layer, and it can be set to 10-30 ppm / degreeC by adjusting these thickness ratios. The ratio of the thickness of a preferable low linear expansion polyimide layer and a high linear expansion polyimide layer is 70: 30-95: 5. Moreover, it is preferable to provide so that a low linearly expandable polyimide layer may become a main resin layer of a resin layer, and a high linearly expandable polyimide layer may contact copper foil. In addition, the coefficient of linear expansion was obtained by using a polyimide in which the imidation reaction was sufficiently completed, as a sample, and after heating up to 250 ° C. using a thermomechanical analyzer (TMA), cooling at a rate of 10 ° C./min, and 240 to 240 ° C. It can obtain | require from the average linear expansion coefficient in the range of 100 degreeC.
또, 본 발명에서의 동장 적층판으로 얻어지는 가요성 회로기판은, 수지층과 동박층으로 형성된 배선을 구비하고, 어느 곳인가에 굴곡부를 가지고 사용되는 것이다. 즉, 하드디스크 내의 가동부, 휴대전화의 힌지부나 슬라이드 접동부, 프린터의 헤드부, 광 픽업부, 노트북의 가동부 등을 비롯해서 각종 전자·전기기기 등에서 폭넓게 사용되며, 회로기판 자체가 절곡되거나 비틀어 구부러지거나 혹은 탑재된 기기의 동작에 따라 변형되거나 하여, 어느 곳인가에 굴곡부가 형성되는 것이다. 특히, 본 발명의 가요성 회로기판은 굴곡 내구성이 우수한 굴곡부 구조를 가지기 때문에, 접동 굴곡, 절곡 굴곡(이음매 벤딩 포함), 힌지 굴곡, 슬라이드 굴곡 등의 반복 동작을 수반하여 빈번하게 절곡되는 경우나, 혹은 탑재되는 기기의 소형화에 대응하기 위해 곡률반경이 절곡 거동으로 0.38∼2.0㎜이고, 접동 굴곡으로 1.25∼2.0㎜이며, 힌지 굴곡으로 3.0∼5.0㎜이고, 슬라이드 굴곡으로 0.3∼2.0㎜인 혹독한 사용 조건인 경우에 알맞으며, 0.3∼1㎜의 좁은 갭에서 굴곡 성능의 요구가 혹독한 슬라이드 용도, 그 중에서도 곡률반경이 0.8㎜ 이하가 되는 굴곡부가 형성되는 혹독한 굴곡 용도에 있어서 특히 효과를 발휘한다.Moreover, the flexible circuit board obtained by the copper clad laminated board in this invention is equipped with the wiring formed from the resin layer and the copper foil layer, and is used with a bent part anywhere. That is, it is widely used in various electronic and electrical devices, including the movable part in the hard disk, the hinge part or slide sliding part of the mobile phone, the head part of the printer, the optical pickup part, the movable part of the notebook, and the like, and the circuit board itself is bent or twisted, Or it is deformed according to the operation | movement of the mounted apparatus, and the bending part is formed in any one place. In particular, since the flexible circuit board of the present invention has a bent structure having excellent bending durability, it is frequently bent with repeated operations such as sliding bending, bending bending (including joint bending), hinge bending, slide bending, or the like. Or in order to cope with the miniaturization of the equipment to be mounted, the curvature radius is 0.38 to 2.0 mm in bending behavior, 1.25 to 2.0 mm in sliding bending, 3.0 to 5.0 mm in hinge bending, and 0.3 to 2.0 mm in slide bending. It is suitable in the case of a condition, and it is especially effective in the slide application which requires severe bending | flexion performance in a narrow gap of 0.3-1 mm, especially the severe bending use | formation in which the bending part which curvature radius becomes 0.8 mm or less is formed.
배선의 폭, 형상, 패턴 등에 대해서는 특별히 제한은 없고, 가요성 회로기판의 용도, 탑재되는 전자기기 등에 따라 적절히 설계하면 된다. 도 1은 예를 들면 휴대전화의 힌지부 등에 사용되는 가요성 회로기판을 나타내며, 수지층(1)과 동박으로 형성한 배선(2)과 커넥터 단자(3)를 가지는 예이다. 도 1의 가요성 회로기판을 능선(L)이 생기도록 U자형으로 굴곡시킨 경우의 모식도를 도 2에 나타낸다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 가요성 회로기판을 U자 형상으로 굴곡시키면, 그 외측(곡률반경을 가진 내접원이 형성되는 쪽과는 반대쪽)에 능선(L)이 형성된다. 도 1(a), 도 1(b) 및 도 2에서 나타나는 이 능선(L)은, 동(銅) 배선(2)을 형성하는 동박의 우선 배향영역의 [100] 축 방향에 대해 α˚의 각도를 가진다. 여기서, 도 1(a)는 양단의 커넥터 단자(3)의 도중, 능선(L) 부근에서 배선이 비스듬하게 형성된 예인데, 도 1(b)와 같이 커넥터 단자(3) 사이를 최단 거리로 배선하는 것도 가능하다. 또한, 폴더식 휴대전화 등과 같이 굴곡부에서의 능선(L)의 위치가 고정되는 경우 외에, 슬라이드식 휴대전화 등과 같이 굴곡부에서의 능선(L)이 이동하는 슬라이드 접동 굴곡(도 1(b)에 기재한 굵은선 화살표 방향)이어도 된다. 또한, 본 발명에서의 가요성 회로기판은 수지층의 적어도 편면에 동박으로 이루어지는 배선을 구비하는데, 필요에 따라 수지층의 양면에 동박을 구비하도록 해도 된다. There is no restriction | limiting in particular about the width | variety, a shape, a pattern, etc. of wiring, What is necessary is just to design suitably according to the use of a flexible circuit board, the electronic device mounted, etc. Fig. 1 shows a flexible circuit board for use in a hinge part of a cellular phone, for example, and is an example having a
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 가요성 회로기판 내의 동박으로 형성한 배선(2)은 어느 방향을 향하고 있어도 상관없다. α°은 어떠한 각도도 취할 수 있다. 즉, 본 발명의 가요성 회로기판에 있어서, 동(銅) 배선 내의 우선 배향영역의 1개의 <100> 축은 동박의 두께방향이며, 수지층(1)과 수직이지만, 이 이외의 2개의 <100> 축은 동(銅) 배선면 내의 어느 방향을 향하고 있어도 된다. 또, 도 1에 나타낸 가요성 회로기판에 대해 능선(L)을 형성하도록 U자 형상으로 굴곡시켜서 피로 시험을 실시한 경우, 도 1 중의 [100] 축과 굴곡시의 주응력이 일치하는 도 1(c) 및 도 1(d)가 가장 혹독한 방향이다. 이는 다음 이유에 따른다.As shown in FIG. 1, the
가요성 회로기판에 대해 능선(L)을 형성하도록 U자 형상으로 굴곡시킨 경우, 가요성 회로기판의 구성에 따르지만 동(銅) 회로에 걸리는 주 응력은 능선(L)이 동(銅) 배선을 자르는 단면 수직인 인장 또는 압축 응력이다. 굴곡부에서의 능선으로부터 두께방향으로 잘랐을 때의 배선의 단면 방위를 (100)으로 하면, 굴곡시켰을 때 8개의 미끄러짐면의 슈미드 인자(Schmid's factor)가 등가가 되어 8개의 슬립계(slip system)가 동시에 작용하여, 국소적으로 전위가 축적되기 쉬워진다. 도 1(a)나 (b)에 나타내는 바와 같이, [100] 축과 능선(L)의 각도를 90˚ 이외의 각도로 한 경우, 동박의 미끄러짐면인 8개의 {111} 중에서도 슈미드 인자가 가장 큰 주(主)미끄러짐면이 4면이 되기 때문에, 전단 슬립이 양호해지고 국소적인 가공 경화가 일어나기 어려워진다. When bent in a U shape to form a ridge line L with respect to the flexible circuit board, the main stress applied to the copper circuit depends on the configuration of the flexible circuit board. The cut is a tensile or compressive stress that is perpendicular to the cross section. If the cross-sectional orientation of the wiring when cut in the thickness direction from the ridge at the bend is set to (100), the Schmid's factor of eight slip surfaces becomes equivalent when curved, and eight slip systems At the same time, dislocations tend to accumulate locally. As shown to Fig.1 (a) and (b), when the angle of [100] axis | shaft and ridgeline L is made into an angle other than 90 degrees, the Schmid factor is also among the eight {111} which is the sliding surface of copper foil. Since the largest main sliding surface becomes four sides, the shear slip becomes good and local work hardening hardly occurs.
종래 이용되고 있는 공지의 압연 동박에서는, 동박의 길이방향이 압연방향에 상당하고, 도 1(c)나 (d)에 나타내는 바와 같이, 그 주방위 <100>을 따라 회로를 형성하는 것이 보통이다. 그리고, 종래의 동박을 이용해서 이러한 방향으로 회로를 형성하면 내구성에 문제가 생기는바, 본 발명에서는 이러한 경우라도 반복 굴곡에 대해 파단되기 어렵다. 물론, 도 1(a)이나 (b)과 같이 동박 배선을 형성한 경우, 더 굴곡 피로 특성이 높은 가요성 회로기판이 된다. In the known rolled copper foil conventionally used, the longitudinal direction of the copper foil corresponds to the rolling direction, and as shown in Figs. 1 (c) and (d), it is common to form a circuit along the kitchen table. . And when a circuit is formed in such a direction using the conventional copper foil, a problem arises in durability, and even in this case, it is hard to fracture | rupture with respect to repeated bending. Of course, when copper foil wiring is formed as shown to Fig.1 (a) and (b), it becomes a flexible circuit board with a higher bending fatigue characteristic.
이상 설명해 온 바와 같이, 본 발명의 동박은 고도로 배향되어 있음과 함께 규정의 합금 성분을 함유함으로써, 금속 피로가 생기기 어렵고, 응력 및 뒤틀림에 대해 우수한 내구성을 가진다. 또, 이러한 동박을 이용하여 동장 적층판을 형성하고, 공지의 방법에 의해 그 동박을 에칭하여 배선을 형성함으로써 얻어진 가요성 회로기판은, 절곡의 반복이나 곡률반경이 작은 굴곡에 대해서도 견딜 수 있는 강도를 구비하여 굴곡성이 우수하기 때문에, 굴곡부에 있어서의 배선의 형상 등을 고려하는 등의 가요성 회로기판의 설계에 제약이 생기는 일도 없다. As described above, the copper foil of the present invention is highly oriented and contains a prescribed alloy component, which hardly causes metal fatigue, and has excellent durability against stress and distortion. Moreover, the flexible circuit board obtained by forming a copper clad laminated board using such copper foil, etching the copper foil by a well-known method, and forming a wiring has the strength which can endure the repetition of bending and the bending with small curvature radius. In addition, since it is excellent in bendability, the design of a flexible circuit board, such as taking into account the shape of the wiring in the bent portion, does not occur.
실시예Example
이하, 실시예 및 비교예에 기초하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 이하는 본 발명의 예를 나타내는 것으로서, 본 발명은 이들에 의해 조금도 한정되는 것이 아니다. 본 실시예에서는 여러 합금 원소를 가지는 동박을 제작하고, 그를 이용해서 얻은 시험용 편면 동장 적층판으로부터 동박 조직을 해석함과 함께, 시험용 편면 동장 적층판으로 시험용 가요성 회로기판을 제작하여 굴곡 피로 특성을 측정했다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated further more concretely based on an Example and a comparative example. The following shows examples of the present invention, and the present invention is not limited by these at all. In the present Example, copper foils having various alloying elements were fabricated, copper foil structure was analyzed from the test single-sided copper clad laminate obtained using the same, and a test flexible circuit board was manufactured from the test single-sided copper clad laminate to measure flexural fatigue characteristics. .
[실시예 1] Example 1
본 실시예에서는 Mn을 합금 원소로 하는 동박을 제작하고, 그를 이용한 시험용 편면 동장 적층판으로부터 파단 신장을 측정함과 함께, 그 시험용 편면 동장 적층판으로 시험용 가요성 회로기판을 제작하여 굴곡 피로 특성을 측정했다. In the present Example, copper foil containing Mn as an alloying element was produced, the elongation at break was measured from the test single-sided copper clad laminate using the same, and the test flexible circuit board was manufactured from the test single-sided copper clad laminate to measure the bending fatigue characteristics. .
본 실시예에서 사용한 시료번호 1∼16에 관한 동박은, 다음과 같이 해서 제조했다. 순도 99.99%, 산소 함유량 0.0008%의 무산소 동과 표 1에 나타낸 바와 같이 소정의 양으로 칭량한 순도 99.9%의 Mn을 흑연 도가니 속에서 아르곤 분위기 중에서 용해시켜 교반하고, 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다. 이어, 폭방향으로 두께 10㎜가 되도록 폭내기 압연을 실시하여 최대 600℃로 열간압연을 실시하고, 2㎜의 두께까지 길이방향으로 같은 조건으로 열간압연을 더 실시했다. 그 후, 두께 9㎛가 될 때까지 냉간압연을 실시했다. 그동안 두께 0.5㎜인 곳에서 슬릿 가공에 의해 양단을 절단해서 폭을 60㎜로 맞췄다. 따라서 얻어진 동박은 폭 60㎜, 두께 9㎛이었다. The copper foil which concerns on sample numbers 1-16 used in the present Example was manufactured as follows. Oxygen-free copper having a purity of 99.99% and an oxygen content of 0.0008% and Mn having a purity of 99.9% weighed in a predetermined amount as shown in Table 1 are dissolved in an argon atmosphere in a graphite crucible and stirred, and a width of 50 mm and a length of 100 mm, An ingot was produced by pouring into a rectangular graphite mold having a thickness of 15 mm. Next, width rolling was performed to make thickness 10mm in the width direction, and hot rolling was performed at the maximum 600 degreeC, and further hot rolling was performed to the thickness of 2 mm on the same conditions in the longitudinal direction. Then, cold rolling was performed until it became 9 micrometers in thickness. In the meantime, both ends were cut by the slit process in the place where thickness was 0.5 mm, and the width was adjusted to 60 mm. Therefore, the obtained copper foil was 60 mm in width and 9 micrometers in thickness.
그 후, 일부의 동박은 진공로에서 500℃, 1시간의 재결정 열처리를 실시했다. 얻어진 동박의 양단 및 중앙부의 Mn의 농도를 화학 분석한 결과, 재결정 열처리를 실시한 동박에 대해서도 실시하지 않은 동박에 대해서도 경우에 따른 농도 편차가 거의 없는 것을 확인했다. Thereafter, some copper foil was subjected to recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour in a vacuum furnace. When the density | concentration of Mn of the both ends of the obtained copper foil and the center part was chemically analyzed, it confirmed that there was almost no density variation on the case also about the copper foil which was not performed even about the copper foil which performed the recrystallization heat treatment.
또, 실시예 1에 관한 시험용 가요성 회로기판의 수지층을 구성하는 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산 용액은 다음 방법으로 2종류 합성했다. Moreover, the polyamic-acid solution which is a precursor of the polyimide which comprises the resin layer of the test flexible circuit board which concerns on Example 1 was synthesize | combined two types by the following method.
(합성예 1) (Synthesis Example 1)
열전대 및 교반기를 구비함과 함께 질소 도입이 가능한 반응 용기에 N,N-디메틸아세트아미드를 넣었다. 이 반응 용기에 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)을 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 다음으로, 피로멜리트산 이무수물(PMDA)을 첨가하였다. 모노머의 투입 총량이 15질량%가 되도록 투입하였다. 그 후, 3시간 교반을 계속하여 폴리아미드산 a의 수지 용액을 얻었다. 이 폴리아미드산 a의 수지 용액의 용액 점도는 3,000cps이었다. N, N-dimethylacetamide was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) was dissolved in the reaction vessel while stirring in the vessel. Next, pyromellitic dianhydride (PMDA) was added. It injected | threw-in so that the total amount of monomer may be 15 mass%. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to obtain a resin solution of polyamic acid a. The solution viscosity of this resin solution of polyamic acid a was 3,000 cps.
(합성예 2) (Synthesis Example 2)
열전대 및 교반기를 구비함과 함께 질소 도입이 가능한 반응 용기에 N,N-디메틸아세트아미드를 넣었다. 이 반응 용기에 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB)을 투입하였다. 다음으로, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산 이무수물(BPDA) 및 피로멜리트산 이무수물(PMDA)을 첨가하였다. 모노머의 투입 총량이 15질량%이고, 각 산무수물의 몰 비율(BPDA:PMDA)이 20:80이 되도록 투입하였다. 그 후, 3시간 교반을 계속하여 폴리아미드산 b의 수지 용액을 얻었다. 이 폴리아미드산 b의 수지 용액의 용액 점도는 20,000cps이었다. N, N-dimethylacetamide was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 2,2'-dimethyl-4,4'- diaminobiphenyl (m-TB) was put into this reaction container. Next, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) were added. The total amount of monomers was 15% by mass, and the molar ratio (BPDA: PMDA) of each acid anhydride was added at 20:80. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to obtain a resin solution of polyamic acid b. The solution viscosity of this resin solution of polyamic acid b was 20,000 cps.
다음으로, 동박과 폴리이미드의 복합체인 동장 적층판의 형성 방법을 설명한다. Next, the formation method of the copper clad laminated board which is a composite of copper foil and a polyimide is demonstrated.
상기에서 준비한 시료번호 1∼16에 관한 동박의 표면에 상기에서 준비한 폴리아미드산 용액 a를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 그 위에 폴리아미드산 b를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 9㎛의 저열 팽창성 폴리이미드를 형성), 또 그 위에 폴리아미드산 a를 도포하여 건조시켜서(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 최고 온도를 400℃로 하여 360∼400℃의 온도 범위에서의 적산 시간이 5분이 되는 가열 조건에 의한 가열 처리를 거쳐 3층 구조의 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성하였다. The polyamic acid solution a prepared as described above was applied to the surface of the copper foil according to Sample Nos. 1 to 16 prepared above, and dried (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm was formed). Apply and dry (after curing to form a low thermally expandable polyimide having a thickness of 9 μm) and apply polyamic acid a thereon to dry (after curing, form a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm), The resin layer which consists of polyimide of three-layered structure was formed through the heat processing by the heating condition whose temperature is set to 400 degreeC, and the integration time in the 360-400 degreeC temperature range becomes 5 minutes.
이어, 동박의 압연방향(MD 방향)을 따라 길이 250㎜, 압연방향에 대해 직교하는 방향(TD 방향)으로 폭 40㎜의 직사각형 사이즈가 되도록 잘라내어, 두께 13㎛의 수지층(폴리이미드)(1)과 두께 9㎛의 동박층(2)을 가진 시험용 편면 동장 적층판을 얻었다(도 5). 그때의 수지층 전체의 인장 탄성률은 7.5GPa이었다. Subsequently, it cuts out so that it may become rectangular size of width 40mm in length 250mm and the direction orthogonal to a rolling direction (TD direction) along the rolling direction (MD direction) of copper foil, and the resin layer (polyimide) of 13 micrometers in thickness (1 ) And a single-sided copper clad laminate for testing having a
상기에서 얻어진 시험용 편면 동장 적층판 내의 동박(동박층)에 대해 파단 신장과 조직 해석을 실시했다.Break elongation and structure analysis were performed about the copper foil (copper foil layer) in the single-sided copper clad laminated board for a test obtained above.
동박의 파단 신장은, 시험용 편면 동장 적층판의 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 화학적으로 제거하여 얻은 동박의 압연방향으로 길이 150㎜, 박면 내에서 이 압연방향과 직교하는 방향으로 폭 10㎜로 잘라낸 시료를 사용해서, 길이방향으로 표점간 거리 100㎜, 인장속도 10㎜/min로 측정하여 얻었다. 측정에는 동박의 종류마다 각각 시료를 7개 준비하여, 파단 신장의 평균값을 구했다.The breaking elongation of copper foil cut | disconnected the sample cut out to width 10mm in the direction orthogonal to this rolling direction in length 150mm in the rolling direction of copper foil obtained by chemically removing the resin layer which consists of polyimide of the single-sided copper clad laminated board for a test. It used and measured by the distance of 100 mm and the tensile speed of 10 mm / min in the longitudinal direction. For the measurement, seven samples were prepared for each type of copper foil, and the average value of the elongation at break was determined.
동박의 조직은, 각각의 동박의 압연면에 대해 콜로이달 실리카를 사용하여 기계적, 화학적 연마를 실시한 후, EBSD 장치로 방위 해석을 실시하여 얻었다. 사용한 장치는 히타치세이사쿠쇼 제품인 FE-SEM(S-4100), TSL사 제품인 EBSD 장치 및 소프트웨어(OIM Analysis 5.2)이다. 측정영역은 약 800㎛×1600㎛의 영역이고, 측정시 가속전압 20kV, 측정 스텝 간격 4㎛로 하였다. 즉, 측정점수는 80000점이 된다. 본 발명의 입방체 집합조직의 집적도, 즉 <100> 우선 배향영역의 평가는, 박의 두께방향 및 박의 압연방향의 쌍방에 대해 <100>이 15°이내에 들어 있는 측정점 전체의 측정점에 대한 비율로 나타낼 수 있다. 측정수는 각 품종 개체가 다른 5개의 시료에 대해 실시하고, 백분율의 소수점 이하를 사사오입하였다. 또, 얻어진 데이터를 이용하여, 이웃하는 결정 입자의 방위차가 15° 이상인 것을 결정입계로 해서 결정입경을 평가했다. The structure of the copper foil was obtained by performing azimuth analysis with an EBSD apparatus after mechanically and chemically polishing the colloidal silica on the rolled surface of each copper foil. The apparatus used was FE-SEM (S-4100) manufactured by Hitachi Seisakusho, and EBSD device and software (OIM Analysis 5.2) manufactured by TSL. The measurement area was an area of about 800 mu m x 1600 mu m, and the acceleration voltage was 20 kV and the measurement step interval was 4 mu m. That is, the measurement score is 80000 points. The degree of integration of the cube texture of the present invention, i.e., the <100> preferred orientation region, is a ratio with respect to the measuring point of the whole measuring point where <100> is within 15 ° for both the thickness direction of the foil and the rolling direction of the foil. Can be represented. The number of measurements was carried out on five different samples of each cultivar individual, and rounded off to the nearest decimal point. Moreover, the crystal grain diameter was evaluated using the obtained data as a crystal grain boundary that the orientation difference of adjacent crystal grains is 15 degrees or more.
다음으로, 상기에서 얻어진 시험용 편면 동장 적층판의 동박층 측에 소정의 마스크를 씌우고, 염화철/염화동계 용액을 이용하여 에칭을 실시하고, 선폭(l)이 150㎛인 직선형상의 배선의 배선방향이 압연방향으로 평행이 되도록 하면서, 스페이스폭(s)이 250㎛가 되도록 배선 패턴을 형성하였다. 그리고, 후술하는 내굴곡 시험용 샘플을 겸하도록 JIS 6471에 준하여 회로기판의 배선방향(H)을 따라 길이방향으로 150㎜, 배선방향(H)에 직교하는 방향으로 폭 40㎜를 가진 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 에칭에 의한 회로 형성의 전후에 동박의 조직에 변화가 없는 것을 확인했다. Next, a predetermined mask was put on the copper foil layer side of the single-sided copper clad laminate for test obtained above, and etching was performed using an iron chloride / copper chloride solution, and the wiring direction of the linear wiring having a line width l of 150 µm was rolled. The wiring pattern was formed so that space width s might be 250 micrometers, making it parallel to a direction. And a flexible test circuit having a width of 150 mm in the longitudinal direction along the wiring direction (H) of the circuit board and a width of 40 mm in the direction orthogonal to the wiring direction (H) in accordance with JIS 6471 to serve as a sample for bending test described later. A substrate was obtained. It was confirmed that there was no change in the structure of the copper foil before and after the circuit formation by etching.
상기에서 얻어진 시험용 가요성 회로기판을 이용해서, JIS C5016에 준하여 MIT 굴곡시험을 실시했다. 시험의 모식도를 도 3에 나타낸다. 장치는 토요세이키세이사쿠쇼 제품(STROGRAPH-R1)을 사용하여, 시험용 가요성 회로기판의 길이방향의 일단을 굴곡시험장치의 닙 지그(nip jig)에 고정하고, 타단을 추로 고정하여 닙부(nip portion)를 중심으로 진동속도 150회/분의 조건으로 좌우 교대로 135±5도씩 회전시키면서 곡률반경 0.8㎜가 되도록 굴곡시켜, 회로기판의 배선의 도통(導通)이 차단될 때까지의 횟수를 굴곡 횟수로서 구하였다. Using the test flexible circuit board obtained above, the MIT bending test was done according to JIS C5016. The schematic diagram of a test is shown in FIG. The device is a product of TOYO Seiki Seisakusho (STROGRAPH-R1), and one end in the longitudinal direction of the test flexible circuit board is fixed to the nip jig of the bending test apparatus, and the other end is fixed by weight to the nip part ( The nip portion is bent to a radius of curvature of 0.8 mm while being rotated 135 ± 5 degrees alternately left and right under the condition of the vibration speed of 150 times / min, and the number of times until the conduction of the wiring of the circuit board is interrupted. It calculated | required as the number of bending.
이 시험 조건에 있어서, 굴곡부에 형성되는 능선이 시험용 가요성 회로기판의 배선의 배선방향(H)에 대해 직교하도록 굴곡을 받기 때문에, 동(銅) 회로에 인가되는 주응력, 주뒤틀림은 압연방향으로 평행한 인장 응력, 인장 뒤틀림이 된다. 굴곡시험 후에 동박의 두께방향으로부터 회로를 관찰하면 굴곡부의 능선 부근에서 압연방향과 거의 수직으로 크랙이 가서 파선된 것이 확인되었다. Under this test condition, since the ridge lines formed in the bent portion are bent so as to be perpendicular to the wiring direction H of the wiring of the test flexible circuit board, the main stress and major distortion applied to the copper circuit are in the rolling direction. Parallel tensile stress, tensile distortion. When the circuit was observed from the thickness direction of the copper foil after the bending test, it was confirmed that the crack was broken in the vicinity of the ridge line of the bent portion almost perpendicular to the rolling direction.
이상으로 기술한 시험에 의해 얻어진 동박 중의 Mn량, 동박의 파단 신장, <100> 우선 배향 면적률 및 굴곡 수명을 표 1에 나타낸다. 굴곡 수명은, 동박의 종류마다 각각 5개 준비한 시험용 가요성 회로기판의 결과의 평균이다.Table 1 shows the amount of Mn in the copper foil obtained by the test described above, the elongation at break of the copper foil, the <100> preferred orientation area ratio, and the bending life. Flexural life is an average of the result of the test flexible circuit board which prepared five pieces for each kind of copper foil.
표 1로부터, 피로 수명이 2000회를 넘는 높은 내굴곡 특성이 얻어지는 것은 Mn 농도가 0.001질량% 이상, 0.4질량% 이하이면서 <100> 우선 배향영역의 면적률이 60% 이상일 때인 것을 알 수 있었다. Mn 농도가 0.02질량% 이하인 농도에서는 500℃, 1시간의 재결정 열처리의 유무에 관계없이 매우 높은 집적도를 가지는 입방체 집합조직이 얻어졌다. 이 범위에서는 집적도에 유의(有意)한 차이는 인정되지 않고, Mn 농도가 커짐에 따라 피로 수명은 길어지며, 특히 0.005질량% 이상에서 양호한 내굴곡 특성이 얻어졌다. 이는 Mn을 첨가함으로써, 굴곡시의 주응력 방향인 배선의 길이방향, 즉 압연방향의 파단 신장이 커지기 때문이다. Mn 농도가 0.001질량% 이상인 시료에서는 입방체 방위를 가지는 결정 입자가 동박면 내에서 800㎛ 이상의 크기로 발달하고 있어, 박의 두께방향으로는 관통하고 있는 것을 알 수 있었다. From Table 1, it can be seen that the high bending resistance property of more than 2000 fatigue lifes is obtained when the Mn concentration is 0.001% by mass or more and 0.4% by mass or less and the area ratio of the <100> preferred alignment region is 60% or more. At concentrations of 0.02 mass% or less, a cube aggregate having a very high degree of integration was obtained regardless of the presence or absence of recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour. In this range, no significant difference was observed in the degree of integration, and as the Mn concentration increased, the fatigue life increased, and particularly good bending resistance was obtained at 0.005% by mass or more. This is because the addition of Mn increases the elongation at break in the longitudinal direction of the wiring, that is, the rolling direction, which is the main stress direction during bending. In the sample having a Mn concentration of 0.001% by mass or more, crystal grains having a cube orientation developed to a size of 800 µm or more in the copper foil surface, and it was found that they penetrated in the thickness direction of the foil.
Mn 농도가 0.1질량%인 시료번호 11과 12의 시료를 비교하면, 시료번호 11인 시료의 내굴곡 특성이 비교적 높은데 대해, 시료번호 12인 시료의 파단에 이르기까지의 회수는 작았다. 이는 시료번호 11인 시료의 동박은 500℃, 1시간의 재결정 열처리가 실시되고 있음으로써 재결정이 진행되어 <100> 우선 배향영역의 면적률이 비교적 컸던 것에 따른다. 또, Mn 농도가 0.42질량% 이상인 시료에서는 가요성 회로기판을 형성하기 전에 재결정 열처리를 실시했음에도 불구하고, <100> 우선 배향영역의 면적률이 60% 이하가 되었고, 파단에 이르기까지의 굴곡 회수도 크게 저하했다. 이는 Mn의 과잉 첨가에 의해 재결정 온도가 높아졌기 때문이다. Comparing the samples of Sample Nos. 11 and 12 having an Mn concentration of 0.1% by mass, the bending resistance of the Sample No. 11 was relatively high, but the number of samples until the fracture of the Sample No. 12 was small. This is because the copper foil of the sample of Sample No. 11 was subjected to recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour, so that recrystallization proceeded and the area ratio of the <100> first alignment region was relatively large. In the sample having a Mn concentration of 0.42% by mass or more, even though recrystallization heat treatment was performed before forming the flexible circuit board, the area ratio of the <100> first alignment region became 60% or less, and the number of bendings until breakage was obtained. Also greatly degraded. This is because the recrystallization temperature was increased by the excessive addition of Mn.
본 실시예에 있어서의 폴리이미드의 형성 시간은 5분이며, 이것은 롤투롤의 연속 생산을 모의한 시험이다. 미리 500℃, 1시간의 재결정 열처리가 실시되지 않은 시료를 비교하면, Mn 농도가 0.005질량% 이상, 0.06질량% 이하일 때에 굴곡 수명이 커졌다. 즉, 이 농도 범위의 동박은 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 구비한 폴리이미드계 가요성 회로기판을 얻을 때에 이용하는 동박으로서, 특히 알맞다. The formation time of the polyimide in this Example is 5 minutes, and this is a test simulating the continuous production of roll-to-roll. Comparing the sample which was not subjected to recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour in advance, the bending life was increased when the Mn concentration was 0.005% by mass or more and 0.06% by mass or less. That is, the copper foil of this density | concentration range is especially suitable as copper foil used when obtaining the polyimide-type flexible circuit board provided with the resin layer which consists of polyimides.
[실시예 2] [Example 2]
본 실시예에서는 Mn, Ti 및 Al을 합금 원소로 하는 동박을 제작하고, 그를 이용한 시험용 편면 동장 적층판으로부터 파단 신장을 측정함과 함께 그 시험용 편면 동장 적층판으로 시험용 가요성 회로기판을 제작하여 굴곡 피로 특성을 측정했다. In this embodiment, a copper foil containing Mn, Ti, and Al as an alloying element is produced, and the elongation at break is measured from the test single-sided copper clad laminate using the same, and a test flexible circuit board is manufactured from the test single-sided copper clad laminate to flexure fatigue characteristics. Was measured.
본 실시예에서 사용한 시료번호 17∼38에 관한 동박은, 다음과 같이 해서 제조했다. 순도 99.9%, 산소 함유량 0.015%의 터프 피치 동과 소정의 양으로 칭량한 각각 순도 99.9%의 Mn, Ti 및 Al을 표 2에 나타낸 바와 같이 흑연 도가니 속에서 아르곤 분위기 중에서 용해해서 교반하고, 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다. 그 후, 폭방향으로 두께 10㎜가 되도록 폭 내기 압연을 실시하고, 최대 600℃로 열간압연을 실시하고, 2㎜의 두께까지 길이방향으로 같은 조건으로 열간압연을 더 실시했다. 그 후, 두께 9㎛가 될 때까지 냉간압연을 실시했다. 그동안 두께 0.5㎜인 곳에서 슬릿 가공에 의해 양단을 절단하여 폭을 60㎜로 맞췄다. 따라서 얻어진 동박은 폭 60㎜, 두께 12㎛이었다. The copper foil concerning sample numbers 17-38 used in the present Example was manufactured as follows. Tough pitch copper having a purity of 99.9% and an oxygen content of 0.015% and Mn, Ti, and Al having a purity of 99.9%, respectively, were dissolved and stirred in an argon atmosphere in a graphite crucible as shown in Table 2, and the width was 50. The ingot was produced by pouring into a rectangular graphite mold of mm, a length of 100 mm, and a thickness of 15 mm. Thereafter, width bet rolling was performed to have a thickness of 10 mm in the width direction, hot rolling was performed at a maximum of 600 ° C., and further hot rolling was performed under the same conditions in the length direction to a thickness of 2 mm. Then, cold rolling was performed until it became 9 micrometers in thickness. In the meantime, both ends were cut by the slit process in the place where thickness was 0.5 mm, and the width was adjusted to 60 mm. Therefore, the obtained copper foil was 60 mm in width and 12 micrometers in thickness.
그 후, 일부의 동박은 진공로에서 500℃, 1시간의 재결정 열처리를 실시했다. 얻어진 동박의 양단 및 중앙부의 Mn, Ti, Al의 농도를 화학 분석한 결과, 재결정 열처리를 실시한 동박에 대해서도 실시하지 않은 동박에 대해서도 경우에 따른 농도 편차가 거의 없는 것을 확인했다. Thereafter, some copper foil was subjected to recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour in a vacuum furnace. As a result of chemical analysis of the concentrations of Mn, Ti, and Al at both ends of the obtained copper foil and at the center portion, it was confirmed that there were almost no concentration variations in the case of the copper foil which was not subjected to the recrystallized heat treatment.
다음으로, 실시예 1의 합성예 1 및 합성예 2와 동일한 방법으로 준비한 폴리아미드산 용액을 이용해서, 상기에서 준비한 시료번호 17∼38에 관한 동박의 표면에, 우선 폴리아미드산 용액 a를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 그 위에 폴리아미드산 b를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 8㎛의 저열 팽창성 폴리이미드를 형성), 또 그 위에 폴리아미드산 a를 도포하여 건조시켜서(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 최고 온도를 400℃로 해서 360∼400℃의 온도 범위에서의 적산 시간이 5분이 되는 가열 조건에 의한 가열처리를 거쳐 3층 구조의 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성하였다. Next, using the polyamic-acid solution prepared by the method similar to the synthesis example 1 and the synthesis example 2 of Example 1, first, the polyamic-acid solution a is apply | coated to the surface of the copper foil which concerns on the sample numbers 17-38 prepared above. Dried to form a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 µm, and then coated with polyamic acid b to dry (after curing, a low thermally expandable polyimide having a thickness of 8 µm), and thereon The polyamic acid a is applied and dried (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm is formed), and the heating temperature is 5 minutes at a maximum temperature of 400 ° C. and the integration time in a temperature range of 360 to 400 ° C. is obtained. The resin layer which consists of polyimide of a 3-layered structure was formed through the heat processing by.
이어, 동박의 압연방향을 따라 길이 250㎜, 압연방향에 대해 직교하는 방향으로 폭 40㎜의 직사각형 사이즈가 되도록 잘라내어, 두께 12㎛의 수지층(폴리이미드)과 두께 12㎛의 동박층을 가진 실시예 2에 관한 시험용 편면 동장 적층판을 얻었다. Subsequently, it cuts out so that it may become rectangular size of width 250mm in the direction orthogonal to a 250 mm length and a rolling direction along the rolling direction of copper foil, and has a resin layer (polyimide) of thickness 12 micrometers, and the copper foil layer of thickness 12 micrometers. The single-sided copper clad laminate for testing according to Example 2 was obtained.
상기에서 얻어진 시험용 편면 동장 적층판 내의 동박(동박층)에 대해 실시예 1과 동일하게 하여 파단 신장과 조직 해석을 실시했다. 또, 시험용 편면 동장 적층판의 동박 측에 소정의 마스크를 씌우고, 염화철/염화동계 용액을 이용하여 에칭을 실시하여, 실시예 1과 동일한 배선 패턴을 형성했다. 그리고, 후술하는 내굴곡 시험용 샘플을 겸하도록 JIS 6471에 준하여 회로기판의 배선방향(H)을 따라 길이방향으로 150㎜, 배선방향(H)에 직교하는 방향으로 폭 40㎜를 가진 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 또한, 에칭에 의한 회로 형성의 전후에 동박의 조직에 변화가 없는 것을 확인했다. The elongation at break and the structure analysis were performed similarly to Example 1 about the copper foil (copper foil layer) in the single-sided copper clad laminated board for a test obtained above. Moreover, the predetermined mask was put on the copper foil side of the single-sided copper clad laminated board for a test, and it etched using the iron chloride / copper chloride system solution, and formed the wiring pattern similar to Example 1. And a flexible test circuit having a width of 150 mm in the longitudinal direction along the wiring direction (H) of the circuit board and a width of 40 mm in the direction orthogonal to the wiring direction (H) in accordance with JIS 6471 to serve as a sample for bending test described later. A substrate was obtained. Moreover, it confirmed that there was no change in the structure of copper foil before and after circuit formation by etching.
이어, 상기 수지층(1)과 배선(동박)(2)을 가진 시험용 가요성 회로기판에 대해, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 각각의 배선 패턴측의 면에 에폭시계 접착제를 이용하여 커버재(7)(아리사와세이사쿠쇼 제품 CVK-0515KA: 두께 12.5㎛)를 적층하였다. 접착제로 이루어지는 접착층(6)의 두께는 동박 회로가 없는 부분에서는 15㎛이고, 동박 회로가 존재하는 부분에서는 6㎛이었다. 그리고, 배선방향(H 방향)을 따라 길이방향으로 15㎝, 배선방향으로 직교하는 방향으로 폭 8㎜가 되도록 잘라내어, IPC 시험 샘플로 하기 위한 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. Next, with respect to the test flexible circuit board having the
IPC 시험은 도 4에 그 모식도를 나타낸 바와 같이, 휴대전화 등에 사용되는 굴곡 형태의 하나인 슬라이드 굴곡을 모의한 시험이다. IPC 시험은, 도 4와 같이, 정해진 갭 길이(8)로 굴곡부를 마련하고, 한쪽을 고정부(9)로 고정하고, 반대쪽 슬라이드 가동부(10)를 도면과 같이 반복 왕복 운동시키는 시험이다. 따라서, 왕복 운동시키는 부분의 스트로크량에 따른 영역에서 기판은 반복 굴곡을 받는다. 본 실시예에서는 수지층(폴리이미드)(1)을 외측으로 하고, 갭 길이를 1㎜, 즉 굴곡 반경을 0.5㎜, 스트로크를 38㎜로 해서 반복 슬라이드시켜 시험을 실시했다. 시험 중, 시험용 가요성 회로기판의 회로의 전기 저항을 측정하고, 전기 저항의 증가로 동박 회로의 피로 크랙의 진전 정도를 모니터링하였다. 본 실시예에서는 회로의 전기저항이 초기값의 2배에 달한 스트로크 횟수를 회로 파단 수명으로 하였다. 이 시험 조건에 있어서, 굴곡부에 형성되는 능선이 시험용 가요성 회로기판의 배선(2)의 배선방향에 대해 직교하도록 굴곡을 받기 때문에, 동(銅) 회로에 인가되는 주응력, 주뒤틀림은 압연방향으로 평행한 인장 응력, 인장 뒤틀림이 된다. As shown in the schematic diagram in FIG. 4, the IPC test simulates a slide bend, which is one of the bend forms used in a cellular phone and the like. As shown in FIG. 4, the IPC test is a test in which a bent portion is provided with a
회로 파단 수명 후의 동박에 대해 슬라이드 방향으로 직교하도록 해서 동박을 두께방향으로 자른 단면을 주사형 전자 현미경으로 관찰하면, 정도의 차이는 있지만, 수지층측 및 커버재측의 각각의 동박 표면에는 크랙이 발생하였고, 특히 굴곡부의 외측에 해당하는 수지층측의 동박 표면에는 다수의 크랙이 도입되어 있는 것이 관찰되었다. When the cross section which cut | disconnected the copper foil in the thickness direction by making it orthogonal to the copper foil after circuit break life is observed with a scanning electron microscope, although there exists a difference in a degree, a crack generate | occur | produces in each copper foil surface of a resin layer side and a cover material side. In particular, it was observed that a large number of cracks were introduced into the copper foil surface on the resin layer side corresponding to the outer side of the bent portion.
이상으로 기술한 시험에 의해 얻어진 동박 중의 Mn, Ti, Al량, 동박의 파단 신장, <100> 우선 배향 면적률 및 굴곡 수명에 대해 결과를 표 2에 나타낸다. Table 2 shows the results of the amount of Mn, Ti, Al in the copper foil obtained by the test described above, the elongation at break of the copper foil, the <100> preferred orientation area ratio, and the bending life.
표 2로부터 알 수 있는 바와 같이, IPC 시험에 있어서, 피로 수명이 30000회를 넘는 높은 내굴곡 특성이 얻어지는 것은, Mn 농도가 0.001질량% 이상임과 함께Ti 농도가 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하, 또는 Al 농도가 0.005질량% 이상 2질량% 이하이면서 <100> 우선 배향영역의 면적률이 60% 이상일 때인 것을 알 수 있었다. Ti 농도 혹은 Al 농도가 각각 0.2질량%, 2질량% 이상의 농도에서는 500℃, 1시간의 재결정 열처리에도 불구하고, 매우 높은 집적도를 가지는 입방체 집합조직이 얻어지지 않았다. 이러한 시료의 내굴곡 특성은 낮다. IPC 시험이 끝난 후의 Al의 농도가 2.1질량%인 시료번호 31의 시료의 조직을 관찰하면 Cu와 Al로 구성되는 금속간 화합물이 존재하고, 이 근방에서 크랙이 생겼다. 피로 수명이 저하한 원인은, 통상의 용해에서는 단상(單相)으로 할 수 없으며, 동보다도 단단한 금속간 화합물의 주위에 금속간 화합물이 형성되었기 때문이다. As can be seen from Table 2, in the IPC test, high bending resistance over 30,000 times of fatigue life is obtained, while the Mn concentration is 0.001% by mass or more, and the Ti concentration is 0.005% by mass or more and 0.2% by mass or less, Alternatively, it was found that the Al concentration was 0.005% by mass or more and 2% by mass or less and the area ratio of the <100> preferred alignment region was 60% or more. At concentrations of 0.2% by mass and 2% by mass of Al or more, respectively, a cubic texture having a very high degree of integration was not obtained despite the recrystallization heat treatment at 500 ° C. for 1 hour. The bending resistance of such a sample is low. When the structure of the sample of Sample No. 31 having an Al concentration of 2.1% by mass after the IPC test was observed, an intermetallic compound composed of Cu and Al was present, and cracks were generated in the vicinity. The reason why the fatigue life is lowered is that in normal dissolution, the intermetallic compound is formed around the intermetallic compound that is harder than copper and cannot be formed in a single phase.
Mn에 더해 Ti 또는 Al을 규정량 첨가함으로써, 파단 신장은 증대되었다. 특히, Mn 단독으로 첨가한 경우에 비교하여 낮은 Mn 농도로 큰 효과가 얻어졌다. 또, Mn에 더해 Ti와 Al을 쌍방 첨가했을 때, IPC 굴곡시험에 있어서 피로수명이 크게 개선되었다.By adding a prescribed amount of Ti or Al in addition to Mn, the elongation at break increased. In particular, a large effect was obtained with a low Mn concentration compared with the case where Mn alone was added. In addition, when both Ti and Al were added to Mn, fatigue life was greatly improved in the IPC bending test.
[실시예 3] [Example 3]
본 실시예에서 사용한 동박은, 다음과 같이 해서 제조했다. 원료로는 판 두께 15㎜, 순도 99.99% 이상으로서, 산소 함유량 0.0008%의 무산소 동을 사용했다. 이 원료 동과 소정의 농도가 되도록 칭량한 각 합금 원소를 흑연 도가니 속에서 아르곤 분위기에서 용해하여 교반하고, 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다. 합금 원소 중 이튬, 칼슘 및 이테르븀의 순도는 99.9% 이상이다. 또, 합금 원소로서 미시메탈도 이용했다. 미시메탈의 주된 성분은 La가 25질량%, Ce가 53질량%, Pr이 6질량%, Nd가 15질량%이며, 이들 원소를 합계한 순도는 99질량%로서, 잔부는 다른 희토류 금속 등을 포함하는 다른 불가피 불순물이다. The copper foil used by the present Example was manufactured as follows. As a raw material, oxygen-free copper having an oxygen content of 0.0008% was used as a sheet thickness of 15 mm and a purity of 99.99% or more. The raw material copper and each alloying element weighed to a predetermined concentration were dissolved and stirred in an argon atmosphere in a graphite crucible, and poured into a rectangular graphite mold having a width of 50 mm, a length of 100 mm, and a thickness of 15 mm to prepare an ingot. The purity of lithium, calcium and ytterbium in the alloying elements is at least 99.9%. In addition, micrometals were also used as alloy elements. The main components of the micrometal are 25% by mass of La, 53% by mass of Ce, 6% by mass of Pr, and 15% by mass of Nd, and the sum of these elements is 99% by mass, and the balance is different from other rare earth metals. Other inevitable impurities that contain.
주조된 잉곳은 폭방향으로 두께 10㎜가 되도록 폭 내기 압연을 실시하고, 최대 600℃로 열간압연을 실시하고, 1.5㎜의 두께까지 길이방향으로 같은 조건으로 열간압연을 더 실시했다. 합금 원소를 첨가하지 않는 시료는, 원료 동판을 그대로 주조 잉곳과 같은 크기로 절단한 것을 같은 조건으로 열간압연했다. 그 후, 이들의 열간압연 판을 두께 9㎛가 될 때까지 냉간압연을 실시했다. 그동안 두께 0.5㎜인 곳에서 슬릿 가공에 의해 양단을 절단하고, 폭을 60㎜로 맞췄다. 따라서, 얻어진 동박은 폭 60㎜, 두께 9㎛이었다. 또, 합금 원소를 첨가하지 않고 용해, 주조하고, 같은 공정으로 비교재를 제작했다. 얻어진 동박의 양단 및 중앙부의 합금 원소의 농도를 화학 분석한 결과, 경우에 따른 합금 원소의 농도 편차가 거의 없는 것을 확인했다. 본 실시예에서 이용한 동박(시료번호 39∼70)의 합금 농도를 표 3에 정리해서 나타낸다. 표 3 중에서 동의 함유량은, 분석한 합금 원소와 원료 유래의 불순물량으로부터 하기와 같이 해서 구한 계산값이고, 이론적인 범위이다. The cast ingot was subjected to width-proof rolling to a thickness of 10 mm in the width direction, hot rolling at a maximum of 600 ° C., and further hot rolling to the thickness of 1.5 mm under the same conditions in the longitudinal direction. The sample which does not add an alloying element was hot-rolled on the same conditions that the raw material copper plate was cut | disconnected in the same size as a casting ingot. Thereafter, these hot rolled plates were cold rolled to a thickness of 9 µm. In the meantime, both ends were cut by the slit process at the place of thickness 0.5mm, and the width was adjusted to 60mm. Therefore, the obtained copper foil was 60 mm in width and 9 micrometers in thickness. Moreover, it melt | dissolved and cast, without adding an alloying element, and produced the comparative material in the same process. As a result of the chemical analysis of the density | concentration of the alloying element of the both ends and center part of the obtained copper foil, it confirmed that there was little density | variation variation of the alloying element in some cases. The alloy concentration of the copper foil (sample numbers 39-70) used by the present Example is put together in Table 3, and is shown. In Table 3, copper content is a calculated value calculated | required as follows from the amount of impurities derived from the analyzed alloy element and a raw material, and is a theoretical range.
즉, 표 3에 나타낸 동 함유량의 하한값은 '(원료 순도의 최소값)-(합금 원소 함유량)-(합금 원소 유래의 불순물)'로 구했다. 예를 들면 시료번호 41의 경우는 '99.99-0.0042-0.0042×1/999=99.9858(%)'이고, 시료번호 61의 경우는 '99.99-(0.0026+0.0012+0.0002+0.005)-(0.0026+0.0012+0.0002+0.005)×1/99=99.9854'이다. 한편, 상한값은 '100-(합금 원소 함유량)'으로 구했다. 이 상한값을 산출할 때, 합금 원소 유래의 불순물은 합금화의 과정에서 정련되는 가스 성분으로서 취급하여, 계산식에는 포함시키지 않았다. 예를 들면 시료번호 41의 경우는 '100-0.0042=99.9958(%)'이다. 단, 시료번호 39, 40과 같이 합금 원소를 첨가하지 않는 동박의 경우는 산소 함유량을 빼도록 했다. 또, 소수점 제5자리 이하의 수치가 나올 경우는, 하한값에서는 제5자리를 잘라 버림으로써 산출했다. That is, the minimum of copper content shown in Table 3 was calculated | required as "(minimum value of raw material purity)-(alloy element content)-(impurity derived from alloy element)." For example, sample number 41 is '99 .99-0.0042-0.0042 × 1/999 = 99.9858 (%) ', and sample number 61 is '99 .99- (0.0026 + 0.0012 + 0.0002 + 0.005)-(0.0026 + 0.0012). + 0.0002 + 0.005) × 1/99 = 99.9854 '. In addition, the upper limit was calculated | required by "100- (alloy element content). When calculating this upper limit, the impurity derived from an alloying element was treated as a gas component refine | purified in the process of alloying, and was not included in a calculation formula. For example, in case of sample No. 41, '100-0.0042 = 99.9958 (%)'. However, in the case of copper foil which does not add an alloying element like sample numbers 39 and 40, oxygen content was taken out. Moreover, when the numerical value of 5 decimal places or less came out, it calculated by cutting off 5th digit at the lower limit.
또, 본 실시예의 시험용 가요성 회로기판의 수지층을 구성하는 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산 용액은, 실시예 1에서 기재한 2종류의 합성예에 따라서 얻었다. Moreover, the polyamic-acid solution which is a precursor of the polyimide which comprises the resin layer of the test flexible circuit board of this Example was obtained according to the two types of synthesis examples described in Example 1.
다음으로, 동박과 폴리이미드의 복합체인 동장 적층판의 형성방법을 설명한다.Next, the formation method of the copper clad laminated board which is a composite of copper foil and a polyimide is demonstrated.
상기에서 준비한 동박의 한쪽 표면에 합성예 1에서 얻어진 폴리아미드산 용액 a를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 그 위에 합성예 2에서 얻어진 폴리아미드산 b를 도포하여 건조시키고(경화 후에는 막 두께 9㎛의 저열 팽창성 폴리이미드를 형성), 또 그 위에 폴리아미드산 a를 도포하여 건조시켜서(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 280℃ 또는 350℃의 온도가 적산 시간으로 5분 이상 부하되는 가열 조건을 거쳐 3층 구조의 폴리이미드로 이루어지는 수지층을 형성하였다. 또한, 본 열처리 온도를 폴리이미드 형성 온도로 한다.The polyamic acid solution a obtained in Synthesis Example 1 was applied to one surface of the copper foil prepared above and dried (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm was formed), and the polyamic acid b obtained in Synthesis Example 2 thereon. Was applied and dried (after curing to form a low thermally expandable polyimide having a thickness of 9 µm), and polyamic acid a was applied thereon to dry (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 µm was formed), The resin layer which consists of polyimide of a three-layered structure was formed through the heating conditions by which the temperature of 280 degreeC or 350 degreeC is loaded 5 minutes or more by integration time. In addition, this heat processing temperature is made into the polyimide formation temperature.
이어, 동박의 압연방향(MD 방향)을 따라 길이 250㎜, 압연방향에 대해 직교하는 방향(TD 방향)으로 폭 40㎜의 직사각형 사이즈가 되도록 잘라내어, 두께 13㎛의 수지층(폴리이미드)(1)과 두께 9㎛의 동박층(2)을 가진 시험용 편면 동장 적층판을 얻었다(도 5). 그때의 수지층 전체의 인장 탄성률은 7.5GPa이었다. Subsequently, it cuts out so that it may become rectangular size of width 40mm in length 250mm and the direction orthogonal to a rolling direction (TD direction) along the rolling direction (MD direction) of copper foil, and the resin layer (polyimide) of 13 micrometers in thickness (1 ) And a single-sided copper clad laminate for testing having a
상기에서 얻어진 편면 동장 적층판 내의 동박(동박층)에 대해, 실시예 1과 동일하게 하여 조직 해석을 실시했다. 또, 상기에서 얻어진 시험용 편면 동장 적층판의 동박측에 소정의 마스크를 씌우고, 염화철/염화동계 용액을 이용하여 에칭을 실시하여, 실시예 1과 동일한 배선 패턴을 형성했다. 그리고, 내굴곡 시험용 샘플을 겸하도록 JIS 6471에 준하여 회로기판의 배선방향(H)을 따라 길이방향으로 150㎜, 배선방향(H)에 직교하는 방향으로 폭 40㎜를 가진 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 에칭에 의한 회로 형성의 전후에 동박의 조직에 변화가 없는 것을 확인했다. The structure analysis was performed like Example 1 about the copper foil (copper foil layer) in the single-sided copper clad laminated board obtained above. Moreover, the predetermined | prescribed mask was put on the copper foil side of the single-sided copper clad laminated board for a test obtained above, and it etched using the iron chloride / copper chloride type solution, and formed the wiring pattern similar to Example 1. Then, a flexible test board having a width of 150 mm in the longitudinal direction along the wiring direction (H) of the circuit board and a width of 40 mm in the direction orthogonal to the wiring direction (H) was used in accordance with JIS 6471 to serve as a sample for bending test. Got it. It was confirmed that there was no change in the structure of the copper foil before and after the circuit formation by etching.
상기에서 얻어진 시험용 가요성 회로기판을 이용해서, 실시예 1과 동일하게 해서 JIS C5016에 준하여 MIT 굴곡시험을 실시했다. 이 시험 조건에 있어서, 굴곡부에 형성되는 능선이 시험용 가요성 회로기판의 배선의 배선방향(H)에 대해 직교하도록 굴곡을 받기 때문에, 동박 회로에 인가되는 주응력, 주뒤틀림은 압연방향으로 평행한 인장 응력, 인장 뒤틀림이 된다. 굴곡시험 후에 동박의 두께방향으로부터 회로를 관찰하면 굴곡부의 능선 부근에서 압연방향과 거의 수직으로 크랙이 가서 파선된 것이 확인되었다. Using the test flexible circuit board obtained above, the MIT bending test was carried out similarly to Example 1 according to JIS C5016. Under this test condition, since the ridge lines formed in the bent portion are bent so as to be orthogonal to the wiring direction H of the wiring of the test flexible circuit board, the main stress and the main distortion applied to the copper foil circuit are tensilely parallel in the rolling direction. Stress, tensile distortion. When the circuit was observed from the thickness direction of the copper foil after the bending test, it was confirmed that the crack was broken in the vicinity of the ridge line of the bent portion almost perpendicular to the rolling direction.
이상으로 기술한 시험에 의해 얻어진 동박 중의 합금 원소량, <100> 우선 배향 면적률 및 굴곡 수명을 시료번호와 폴리이미드 형성 온도와 함께 표 3에 나타낸다. 굴곡 수명은, 동박의 종류마다 각각 5개 준비한 시험용 가요성 회로기판의 결과의 평균이다. 성분값에서 -로 표기되어 있는 것은, 화학 분석의 측정 한계값 이하인 것을 나타낸다. The amount of alloy elements in the copper foil obtained by the test described above, the <100> preferred orientation area ratio, and the bending life are shown in Table 3 together with the sample number and the polyimide formation temperature. Flexural life is an average of the result of the test flexible circuit board which prepared five pieces for each kind of copper foil. What is represented by-in a component value shows that it is below the measurement limit value of a chemical analysis.
표 3에 나타낸 결과로부터 명확하듯이, 합금 원소를 전연 첨가하지 않고 제작한 동박에 비교하여 Ca, La, Ce, Pr, Nd, Yb 및 Y로 이루어지는 군에서 선택된 1종 이상을 0.005질량% 이상 0.4질량% 이하의 양으로 함유시킴으로써, 같은 열처리 온도로 비교했을 때에 <100> 우선 배향영역의 면적률이 커진 것을 알 수 있고, 피로 수명이 향상되었다. Ca나 Y에 더해 란타노이드속 중에서 금속 반경이 큰 La와 가장 작은 Yb에 있어서도 효과가 얻어졌기 때문에, 화학적 특성이 유사하고, 중간의 금속 반경을 가지는 Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er 및 Tm에 있어서도 같은 효과가 있다고 판단할 수 있다. As is clear from the results shown in Table 3, 0.005 mass% or more is 0.45 mass% or more of 1 or more types chosen from the group which consists of Ca, La, Ce, Pr, Nd, Yb, and Y compared with the copper foil produced without adding an alloying element. By containing it in the mass% or less, it turned out that the area ratio of the <100> preference orientation area | region became large compared with the same heat processing temperature, and the fatigue life improved. In addition to Ca and Y, effects were also obtained for La and the smallest Yb in the lanthanoid genus, so that Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er The same effect can be judged also in Tm.
또, 동박의 <100> 우선 배향영역의 면적률은 시험용 편면 동장 적층판을 형성하는 온도, 즉 본 실시예에서는 폴리이미드 형성 온도로 대폭적으로 다르지만, 280℃, 5분의 열이력에 있어서도, 상기의 합금성분의 범위 내에 있어서는 <100> 우선 배향영역의 면적률이 60% 이상 얻어지고 있으며, 합금 원소를 첨가하지 않고 제작한 동박에 비교하여 <100> 우선 배향영역의 면적률, 피로 수명 모두 상회하는 것을 알 수 있었다. 또한, 시료번호 52∼54에 있어서 Ca를 0.4질량% 첨가한 경우(시료번호 54)에 <100> 우선 배향영역의 면적률이 저하된 것은, 합금 원소의 첨가에 의해 재결정 온도가 높아져서 <100> 재결정 집합조직의 형성이 저해되었기 때문이라고 생각된다.Moreover, although the area ratio of the <100> preferential orientation area | region of copper foil differs significantly with the temperature which forms the single-sided copper clad laminated board for a test, ie, polyimide formation temperature in a present Example, also in the thermal history of 280 degreeC and 5 minutes, Within the range of the alloying component, the area ratio of the <100> preferred alignment region is obtained by 60% or more, and the area ratio of the <100> preferred alignment region and fatigue life are higher than those of the copper foil produced without adding an alloying element. I could see that. In the case where 0.4 mass% of Ca was added in Sample Nos. 52 to 54 (Sample No. 54), the area ratio of the <100> preferred alignment region was lowered, and the recrystallization temperature was increased due to the addition of the alloying element. It is considered that the formation of recrystallized texture was inhibited.
[실시예 4] Example 4
본 실시예에서는 미시메탈, Ti 및 Al을 이용해서 이들을 합금 원소로 하는 동박을 제작하고, 그를 이용해서 얻은 시험용 편면 동장 적층판으로부터 동박 조직을 해석함과 함께, 시험용 편면 동장 적층판으로 시험용 가요성 회로기판을 제작하여, 굴곡 피로 특성을 측정했다. 또한, 본 실시예에서 이용한 미시메탈의 주된 성분은 La가 25질량%, Ce가 54질량%, Pr이 6질량%, Nd가 14질량%이며, 이들 원소의 총합의 순도는 99질량%이다. 그 이외의 성분은, 다른 희토류 금속을 포함하는 다른 불가피 불순물이다. In this embodiment, a copper foil containing alloys of these is prepared by using micrometals, Ti, and Al, and the copper foil structure is analyzed from the test single-sided copper clad laminate obtained by using the same, and the test flexible circuit board is used as a test single-sided copper clad laminate. Was produced and the bending fatigue characteristic was measured. In addition, the main component of the micrometal used in the present Example is 25 mass% of La, 54 mass% of Ce, 6 mass% of Pr, and 14 mass% of Nd, and the purity of the sum total of these elements is 99 mass%. Other components are other unavoidable impurities containing other rare earth metals.
본 실시예에서 사용한 동박은, 다음과 같이 해서 제조했다. 두께 15㎜, 순도 99.9% 이상으로서, 산소 함유량 0.015질량%, 유황 함유량 0.03질량% 및 은 함유량 0.02%의 전기 동판과 소정의 양으로 칭량한 순도 99.9% 이상의 Ti 및 Al 합금 원소 및 상기 구성 원소와 그 순도를 가지는 미시메탈을 소정의 농도가 되도록 칭량해서 흑연 도가니 속에서 아르곤 분위기에서 용해해서 교반하고, 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다.The copper foil used by the present Example was manufactured as follows. Thickness 15mm, purity 99.9% or more, 0.015 mass% of oxygen content, 0.03 mass% of sulfur content, and 0.02% of silver content, Ti and Al alloy element of 99.9% or more of purity and weighed in predetermined quantity, and the said constituent element, The fine metal having the purity was weighed to a predetermined concentration, dissolved and stirred in an argon atmosphere in a graphite crucible, and poured into a rectangular graphite mold having a width of 50 mm, a length of 100 mm, and a thickness of 15 mm to prepare an ingot.
주조된 잉곳은, 폭방향으로 두께 10㎜가 되도록 폭 내기 압연을 실시하고, 최대 600℃로 열간압연을 실시하고, 1㎜의 두께까지 길이방향으로 같은 조건으로 열간압연을 더 실시했다. 그 후, 두께 12㎛가 될 때까지 냉간압연을 실시했다. 그동안 두께 0.5㎜인 곳에서 슬릿 가공에 의해 양단을 절단하고, 폭을 60㎜로 맞췄다. 따라서 얻어진 동박은 폭 60㎜, 12㎛이었다. 또, 합금 원소를 첨가하지 않고 용해, 주조하고, 같은 공정으로 비교재를 제작했다. 또한, 얻어진 동박에 대해 합금성분의 농도를 화학 분석한 결과, 어느 동박에 대해서나 경우에 따른 농도 편차가 거의 없는 것을 확인했다. 본 실시예에서 이용한 동박(시료번호 71∼84)의 합금 농도를 표 4에 정리해서 나타낸다. 표 4 중에서 동의 함유량은, 실시예 3에서 설명한 대로, 분석한 합금 원소와 원료의 불순물량으로부터 구한 계산값이고, 이론적인 범위이다. The cast ingot was subjected to width-proof rolling to have a thickness of 10 mm in the width direction, hot rolling at a maximum of 600 ° C., and further hot rolling under the same conditions in the longitudinal direction to a thickness of 1 mm. Then, cold rolling was performed until it became 12 micrometers in thickness. In the meantime, both ends were cut by the slit process at the place of thickness 0.5mm, and the width was adjusted to 60mm. Therefore, the obtained copper foil was 60 mm in width and 12 micrometers. Moreover, it melt | dissolved and cast, without adding an alloying element, and produced the comparative material in the same process. Moreover, when the density | concentration of the alloying component was chemically analyzed about the obtained copper foil, it confirmed that there was almost no density | concentration variation in case with any copper foil. The alloy concentration of the copper foil (sample numbers 71-84) used by the present Example is put together in Table 4, and is shown. In Table 4, copper content is a calculated value calculated | required from the impurity amount of the alloying element and raw material analyzed as demonstrated in Example 3, and is a theoretical range.
이 중, 동의 함유량의 상한값은 그 이외의 불순물이 가스 성분 등이며, 합금화의 과정에서 가스 혹은 희토류 원소와의 반응에 의해 모두 계(系) 외로 배출한 경우로 산출했다. Among these, the upper limit of the copper content was calculated when the other impurities were gas components and the like, and all were discharged out of the system by reaction with gas or rare earth elements in the course of alloying.
한편, 하한값은 원료 중의 불순물이 모두 합금 내에 잔류한 것으로 해서 산출했다. 즉, 원료 동의 순도의 하한값에서 은을 제외한 합금 원소의 함유량을 빼고, 또한 희토류 원소 중의 La, Ce, Pr, Nd 이외의 1%가 표 4에 나타나는 원소 이외이며, 이들이 모두 잔류한 것으로 하고, 또 마찬가지로 Al과 Ti의 불순물분 0.1%가 잔류한 것으로 해서 뺐다. 또한, 은은 합금 원소로서 첨가한 것이 아니라 주로 원료 동 중 불순물로서 혼입된 것으로, 뺀 값에 대해 가산했다. 예를 들면, 시료번호 72의 하한값은 '99.9-(0.053+0.024+0.0061+0.014+0.0042)-1/99×(0.053+0.024+0.0061+0.014)-1/999×0.0042+0.018=99.8147'이 된다. In addition, the lower limit computed that all the impurities in the raw material remained in the alloy. In other words, 1% of La, Ce, Pr, and Nd in the rare earth elements are other than the elements shown in Table 4 except for the content of the alloying elements except silver from the lower limit of the purity of the raw material copper. Similarly, 0.1% impurity content of Al and Ti remained. In addition, silver was not added as an alloying element but mainly mixed as an impurity in raw material copper, and was added to the value removed. For example, the lower limit of Sample No. 72 is '99 .9- (0.053 + 0.024 + 0.0061 + 0.014 + 0.0042) -1 / 99 × (0.053 + 0.024 + 0.0061 + 0.014) -1 / 999 × 0.0042 + 0.018 = 99.8147 ' do.
다음으로, 실시예 1의 합성예 1과 같은 방법으로 준비한 폴리아미드산 용액 a를 도포해서 건조시키고(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 그 위에 실시예 1의 합성예 2와 같은 방법으로 준비한 폴리아미드산 b를 도포해서 건조시키고(경화 후에는 막 두께 8㎛의 저열 팽창성 폴리이미드를 형성), 또한 그 위에 폴리아미드산 a를 도포해서 건조시켜서(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 최고 온도 320℃의 온도가 적산 시간으로 10분 부가되는 가열 조건을 거쳐 폴리이미드층(수지층)을 형성했다. Next, the polyamic acid solution a prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 of Example 1 was applied and dried (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm was formed), and Synthesis Example 2 of Example 1 thereon. The polyamic acid b prepared in the same manner as described above is applied and dried (after curing to form a low thermally expandable polyimide having a film thickness of 8 µm), and the polyamic acid a is applied thereon to dry (
이어, 동박의 압연방향(MD 방향)을 따라 길이 250㎜, 압연방향에 대해 직교하는 방향(TD 방향)으로 폭 40㎜의 직사각형 사이즈가 되도록 잘라내어, 두께 12㎛의 폴리이미드층(수지층)(1)과 두께 12㎛의 동박층(2)을 가진 실시예 2에 관한 시험용 편면 동장 적층판을 얻었다(도5). 그때의 수지층 전체의 인장 탄성율은 7.5GPa이었다. Subsequently, it cuts out so that it may become rectangular size of width 40mm in the direction (TD direction) orthogonal to length 250mm and a rolling direction along the rolling direction (MD direction) of copper foil, and the polyimide layer (resin layer) of thickness 12micrometer ( The single-sided copper clad laminate for testing according to Example 2 having 1) and a
상기에서 얻어진 편면 동장 적층판 내의 동박(동박층)에 대해, 실시예 1과 동일하게 해서 조직 해석을 실시했다. 또, 시험용 편면 동장 적층판의 동박층측에 소정의 마스크를 씌우고, 염화철/염화동계 용액을 이용해서 에칭을 실시하여, 실시예 1과 동일한 배선 패턴을 형성했다. 그리고, 후술하는 내굴곡 시험용 샘플을 겸하도록 JIS 6471에 준하여 회로기판의 배선방향(H)을 따라 길이방향으로 150㎜, 배선방향(H)에 직교하는 방향으로 폭 40㎜을 가진 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 또한, 에칭에 의한 회로 형성의 전후에 동박의 조직에 변화가 없는 것을 확인했다.The structure analysis was performed like Example 1 about the copper foil (copper foil layer) in the single-sided copper clad laminated board obtained above. Moreover, a predetermined mask was put on the copper foil layer side of the single-sided copper clad laminate for testing, and etching was performed using an iron chloride / copper chloride solution to form the same wiring pattern as in Example 1. And a flexible test circuit having a width of 150 mm in the longitudinal direction along the wiring direction (H) of the circuit board and a width of 40 mm in the direction orthogonal to the wiring direction (H) in accordance with JIS 6471 to serve as a sample for bending test described later. A substrate was obtained. Moreover, it confirmed that there was no change in the structure of copper foil before and after circuit formation by etching.
이어, 상기 수지층(1)과 배선(동박)(2)을 가진 시험용 가요성 회로기판에 대해, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 각각의 배선 패턴측의 면에 에폭시계 접착제를 이용하여 커버재(7)(아리사와세이사쿠쇼 제품 CVK-0515KA: 두께 12.5㎛)를 적층하였다. 접착제로 이루어지는 접착층(6)의 두께는 동박 회로가 없는 부분에서는 15㎛이고, 동박 회로가 존재하는 부분에서는 6㎛이었다. 그리고, 배선방향(H 방향)을 따라 길이방향으로 15㎝, 배선방향으로 직교하는 방향으로 폭 8㎜가 되도록 잘라내어, IPC 시험 샘플로 하기 위한 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 그리고, 실시예 2와 동일하게 해서 IPC 시험을 실시하여, 회로의 전기 저항이 초기값의 2배에 달한 스트로크 횟수를 회로 파단 수명으로 구했다. 또한, 회로 파단 수명 후의 동박에 대해 슬라이드 방향으로 직교하도록 해서 동박을 두께방향으로 자른 단면을 주사형 전자 현미경으로 관찰하면, 실시예 2와 마찬가지로, 정도의 차이는 있지만, 수지층측 및 커버재측의 각각의 동박 표면에는 크랙이 발생하였고, 특히 굴곡부의 외측에 해당하는 수지층측의 동박 표면에는 다수의 크랙이 도입되어 있는 것이 관찰되었다. Next, with respect to the test flexible circuit board having the
이상으로 기술한 시험에 의해 얻어진 동박 중의 합금 성분값, <100> 우선 배향 면적률 및 굴곡 수명을 시료번호, 폴리이미드 형성 온도와 함께 표 4에 나타낸다. 성분값에서 -로 표기되어 있는 것은, 화학 분석의 측정 한계값 이하인 것을 나타낸다. 본 실시예에서 사용한 원료 동은 비교적 순도가 낮기 때문에, 동박 중에는 첨가한 합금 원소 이외에 Ag가 비교적 많이 검출되었다. 또 이 이외의 불가피적 불순물로서는 산소와 유황이 검출되었다. The alloy component value, <100> preferred orientation area ratio, and bending life in copper foil obtained by the test described above are shown in Table 4 with a sample number and polyimide formation temperature. What is represented by-in a component value shows that it is below the measurement limit value of a chemical analysis. Since the raw material copper used by the present Example was comparatively low in purity, relatively many Ag was detected in addition to the alloying element added to copper foil. In addition, oxygen and sulfur were detected as other unavoidable impurities.
표 4에 나타낸 결과로부터 명확하듯이, 메시메탈이나 합금 원소의 첨가에 의해, 이들을 전혀 첨가하지 않은 경우에 비교하여 동박의 <100> 우선 배향영역의 면적률 및 IPC 시험으로 측정한 피로 수명이 높아져 있는 것을 알 수 있다. 또, Ce, La, Pr, Nd의 합금 농도가 거의 같은 시료로 비교했을 때, Al, Ti 또는 그 쌍방을 첨가하면, 본 발명에서 규정하는 범위 내에서 농도가 증가함에 따라 <100> 우선 배향영역의 면적률 및 IPC 시험으로 측정한 피로 수명이 높아져 있는 것을 알 수 있다. Al을 0.41질량% 첨가한 시료번호 76의 시료와 Ti를 0.21질량% 첨가한 시료번호 81의 시료는, 반대로 피로 수명이 저하되었다. 합금 원소의 과잉 첨가에 의해, 재결정 온도가 높아져서 <100> 재결정 집합조직의 형성이 저해되었기 때문이라고 생각된다. As is clear from the results shown in Table 4, the addition of mesh metal or alloying elements increases the area ratio of the <100> preferred orientation region of the copper foil and the fatigue life measured by the IPC test compared to the case where no addition of these is performed. I can see that there is. In addition, when Al, Ti, or both of them were added when the alloy concentrations of Ce, La, Pr, and Nd were almost the same, the <100> preferred alignment region was increased as the concentration increased within the range defined by the present invention. It can be seen that the fatigue life measured by the area ratio and the IPC test is increased. The sample of Sample No. 76 in which 0.41% by mass of Al was added and the Sample No. 81 in which 0.21% by mass of Ti were added, on the contrary, the fatigue life decreased. The excessive addition of the alloying element is thought to be because the recrystallization temperature is high and the formation of the <100> recrystallized texture is inhibited.
[실시예 5] [Example 5]
본 실시예에서는 합금 원소로서 Ce, La, Y, Sm, Ca 및 Al을 이용해서 이들의 동합금박을 제작하고, 그 합금박을 이용해서 얻은 시험용 편면 동장 적층판으로부터 동박 조직의 해석을 실시함과 함께, 시험용 편면 동장 적층판으로 시험용 가요성 회로기판을 제작하여 굴곡 피로 특성을 측정했다. 또한, 본 실시예에서 이용한 합금 원소의 순도는 모두 99.9% 이상이고, 각각 2∼3㎜ 입자상태의 형상을 가진 것이다. In the present Example, these copper alloy foils were produced using Ce, La, Y, Sm, Ca, and Al as alloy elements, and the copper foil structure was analyzed from the test single-sided copper clad laminate obtained by using the alloy foil. The flexural fatigue characteristics were measured by fabricating a test flexible circuit board using a test single-sided copper clad laminate. In addition, the purity of the alloying elements used in the present Example is 99.9% or more, and each has the shape of a 2-3 mm particle state.
본 실시예에서 사용한 동박은, 다음과 같이 해서 제조했다. 원료 동은 지름 5㎜, 길이 약 20㎜의 터프 피치 동으로서, 순도는 99.96%, 산소 함유량 0.029질량%이다. 또, 합금 원소의 용해 전에 투입하는 준비 조성(칭량 조성)은 고정해서 0.01%로 했다. 즉, 하기 표 5에 나타낸 시료번호 89의 시료는 원료 동이 99.8%, Ce가 0.1%, Al이 0.1%이다. The copper foil used by the present Example was manufactured as follows. Raw material copper is tough pitch copper of diameter 5mm and length about 20mm, purity is 99.96% and oxygen content 0.029 mass%. In addition, the preparation composition (weighing composition) to be put before dissolution of the alloying element was fixed to 0.01%. That is, in the sample of Sample No. 89 shown in Table 5 below, the raw material copper was 99.8%, Ce was 0.1%, and Al was 0.1%.
원료 동과 합금 원소의 용해, 주조는 다음 두 가지 방법으로 제조했다. The melting and casting of raw copper and alloying elements were made in two ways.
한 가지는, 미리 원료 동을 압연해서 얻은 동박에 싼 합금 원소를 도가니에 넣고, 진공로 내에서 일단 버큐밍(vacuuming) 한 후 99.99%의 아르곤을 도입하고, 1기압으로 제어한 아르곤 분위기 중에서 1200℃로 용해해서 교반한 후, 그 진공로 내에서 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다. 제작한 잉곳은 순수(純水)에 20%의 염산, 0.1%의 과산화수소수를 첨가한 산세척액 내에서 초음파 세정해서 표면의 스케일을 제거했다. One is an alloy element wrapped in a copper foil obtained by rolling raw copper in advance into a crucible, and once buccumbed in a vacuum furnace, 99.99% of argon is introduced and 1200 ° C in an argon atmosphere controlled at 1 atmosphere. After melt | dissolving and stirring, the ingot was produced by pouring into the rectangular graphite mold of width 50mm, length 100mm, and thickness 15mm in the vacuum furnace. The produced ingot was ultrasonically cleaned in a pickling solution in which 20% hydrochloric acid and 0.1% hydrogen peroxide solution were added to pure water to remove scale from the surface.
두 번째는, 원료 동을 압연한 동박에 싼 합금 원소를 도가니에 넣고, 박스로(box furnace) 내에 99.99%의 아르곤을 도입하면서 1200℃로 용해하고, 도가니를 꺼내고, 대기 중에서 폭 50㎜, 길이 100㎜, 두께 15㎜의 직육면체 흑연 주형에 흘려 넣어서 잉곳을 제작했다. 제작한 잉곳은 순수에 20%의 염산, 0.1%의 과산화수소수를 첨가한 산 세척액 내에서 초음파 세척해서 표면의 스케일을 제거했다. Secondly, an alloying element wrapped in a copper foil rolled with raw copper was placed in a crucible, melted at 1200 ° C while introducing 99.99% of argon into a box furnace, the crucible was taken out, 50 mm in width, and length in air. An ingot was produced by flowing into 100 mm and a 15-mm-thick rectangular graphite mold. The produced ingot was ultrasonically washed in an acid washing solution in which 20% hydrochloric acid and 0.1% hydrogen peroxide solution were added to pure water to remove scale from the surface.
그 후의 잉곳의 가공 방법은, 상기와 같은 주조시의 분위기에 관계없이 모두 같은 조건으로 했다. 잉곳은 폭방향으로 두께 10㎜가 되도록 폭 내기 압연을 실시하고, 최대 600℃로 열간압연을 실시하고, 1㎜의 두께까지 길이방향으로 같은 조건으로 열간압연을 더 실시했다. 그 후, 두께 12㎛가 될 때까지 냉간압연을 실시했다. 그동안 두께 0.5㎜인 곳에서 슬릿 가공에 의해 양단을 절단하고, 폭을 60㎜로 맞췄다. 따라서 얻어진 동박은 폭 60㎜, 12㎛이었다. 또, 합금 원소를 첨가하지 않고 용해, 주조하고, 같은 공정으로 비교재를 제작했다. 또한, 얻어진 동박에 대해 합금성분의 농도를 화학 분석한 결과, 어느 동박에 대해서나 경우에 따른 농도 편차가 거의 없는 것을 확인했다. 본 실시예에서 이용한 동박(시료번호 85∼98)의 합금 농도를 표 5에 정리해서 나타낸다. The processing method of the ingot after that was made into the same conditions irrespective of the atmosphere at the time of casting as mentioned above. The ingot was subjected to width bet rolling so as to have a thickness of 10 mm in the width direction, hot rolling at a maximum of 600 ° C., and further hot rolling under the same conditions in the longitudinal direction to a thickness of 1 mm. Then, cold rolling was performed until it became 12 micrometers in thickness. In the meantime, both ends were cut by the slit process at the place of thickness 0.5mm, and the width was adjusted to 60mm. Therefore, the obtained copper foil was 60 mm in width and 12 micrometers. Moreover, it melt | dissolved and cast, without adding an alloying element, and produced the comparative material in the same process. Moreover, when the density | concentration of the alloying component was chemically analyzed about the obtained copper foil, it confirmed that there was almost no density | concentration variation in case with any copper foil. The alloy concentration of the copper foil (Sample No. 85-98) used by the present Example is put together in Table 5, and is shown.
표 5 중에서 동의 함유량은 분석한 원소와 원료의 불순물량으로부터 구한 계산값이고, 이론적인 범위이다. 동의 함유량의 상한값은 표 중의 합금 원소와 산소와 동만으로 구성되는 것으로 하여 계산한 것이다. 따라서, 예를 들면 시료번호 89의 경우, 상한값은 '100-0.079-0.1-0.0067=99.8143(%)'이다. 한편 하한값은, 원료 동과 원료 동 중에 함유하는 산소를 합계한 99.989% 이외의 0.011%와 합금 원소 중의 불순물 농도 0.01%로 함유하는 원소가 모두 합금 원소와 산소 이외의 성분으로 구성되고, 그것이 모두 동박 중으로 들어온 것으로 해서 상한값에서 빼서 산출했다. 예를 들면 시료번호 89의 경우, 하한값은 '99.8143-0.998×0.011-0.001×0.1-0.001×0.1=99.8031(%)'이다. In Table 5, copper content is a calculated value calculated | required from the amount of impurities of the analyzed element and a raw material, and is a theoretical range. The upper limit of the content of copper is calculated as being composed only of alloy elements, oxygen and copper in the table. Thus, for example, in the case of sample No. 89, the upper limit value is '100-0.079-0.1-0.0067 = 99.8143 (%)'. On the other hand, the lower limit includes all elements other than the alloy element and the oxygen containing 0.011% other than 99.989% of the total amount of oxygen contained in the raw material copper and the raw material copper and 0.01% impurity concentration in the alloying element, all of which are copper foil It computed by subtracting from the upper limit as having entered into the middle. For example, in the case of Sample No. 89, the lower limit is '99 .8143-0.998 × 0.011-0.001 × 0.1-0.001 × 0.1 = 99.8031 (%) '.
합금 원소의 분석값은, 예를 들면 시료번호 89의 결과로 나타내는 바와 같이 0.1%보다 작아져 있지만, 이는 주로 불순물 중에 함유하는 산소나 유황, 또 용해·주조 시에 분위기 중의 산소와 반응해서 산화물 혹은 황화물을 형성하고, 잉곳의 상부나 표층부로 토출되어 산 세척시 스케일로서 계 외로 나온 것이다. 알루미늄에도 다소의 탈산 효과는 인정되었지만, 이번 조건에서는 희토류 원소 쪽이 컸던 것으로 생각된다. The analytical value of the alloying element is smaller than 0.1% as shown, for example, as a result of Sample No. 89, but this is mainly caused by oxygen or sulfur contained in impurities and reaction with oxygen in the atmosphere during dissolution and casting. A sulfide is formed and discharged to the top or surface layer portion of the ingot and out of the system as a scale during acid washing. Although some deoxidation effect was recognized also in aluminum, it is thought that the rare earth element was larger in this condition.
다음으로, 실시예 1의 합성예 1과 같은 방법으로 준비한 폴리아미드산 용액 a를 도포해서 건조시키고(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 그 위에 실시예 1의 합성예 2와 같은 방법으로 준비한 폴리아미드산 b를 도포해서 건조시키고(경화 후에는 막 두께 8㎛의 저열 팽창성 폴리이미드를 형성), 또 그 위에 폴리아미드산 a를 도포해서 건조시켜서(경화 후에는 막 두께 2㎛의 열가소성 폴리이미드를 형성), 최고 온도 360℃의 온도가 적산 시간으로 10분 부가되는 가열 조건을 거쳐 폴리이미드층(수지층)을 형성했다. Next, the polyamic acid solution a prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 of Example 1 was applied and dried (after curing, a thermoplastic polyimide having a thickness of 2 μm was formed), and Synthesis Example 2 of Example 1 thereon. The polyamic acid b prepared in the same manner as described above was applied and dried (after curing to form a low thermally expandable polyimide having a film thickness of 8 µm), and the polyamic acid a was applied thereon to dry (
이어, 동박의 압연방향(MD 방향)을 따라 길이 250㎜, 압연방향에 대해 직교하는 방향(TD 방향)으로 폭 40㎜의 직사각형 사이즈가 되도록 잘라내어, 두께 12㎛의 폴리이미드층(수지층)(1)과 두께 12㎛의 동박층(2)을 가진 실시예 3에 관한 시험용 편면 동장 적층판을 얻었다(도 5). 그때의 수지층 전체의 인장 탄성율은 7.5GPa이었다. Subsequently, it cuts out so that it may become rectangular size of width 40mm in the direction (TD direction) orthogonal to length 250mm and a rolling direction along the rolling direction (MD direction) of copper foil, and the polyimide layer (resin layer) of thickness 12micrometer ( The single-sided copper clad laminate for testing according to Example 3 having 1) and a
상기에서 얻어진 편면 동장 적층판 내의 동박(동박층)에 대해, 실시예 1과 동일하게 해서 조직 해석을 실시했다. 또, 시험용 편면 동장 적층판의 동박층측에 소정의 마스크를 씌우고, 염화철/염화동계 용액을 이용해서 에칭을 실시해서 실시예 1과 동일한 배선 패턴을 형성했다. 그리고, 후술하는 내굴곡 시험용 샘플을 겸하도록 JIS 6471에 준하여 회로기판의 배선방향(H)을 따라 길이방향으로 150㎜, 배선방향(H)에 직교하는 방향으로 폭 40㎜을 가진 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 또한, 에칭에 의한 회로 형성의 전후에 동박의 조직에 변화가 없는 것을 확인했다. The structure analysis was performed like Example 1 about the copper foil (copper foil layer) in the single-sided copper clad laminated board obtained above. Further, a predetermined mask was placed on the copper foil layer side of the single-sided copper clad laminate for testing, and etching was performed using an iron chloride / copper chloride solution to form the same wiring pattern as in Example 1. And a flexible test circuit having a width of 150 mm in the longitudinal direction along the wiring direction (H) of the circuit board and a width of 40 mm in the direction orthogonal to the wiring direction (H) in accordance with JIS 6471 to serve as a sample for bending test described later. A substrate was obtained. Moreover, it confirmed that there was no change in the structure of copper foil before and after circuit formation by etching.
이어, 상기 수지층(1)과 배선(동박)(2)을 가진 시험용 가요성 회로기판에 대해, 실시예 2와 동일하게 해서 IPC 시험 샘플로 하기 위한 시험용 가요성 회로기판을 얻었다. 그리고, 본 실시예에서는 폴리이미드층(수지층)(1)을 외측으로 하고, 갭 길이를 1.5㎜, 즉 굴곡 반경을 0.75㎜, 스트로크를 38㎜로 한 것 외에는 실시예 2와 동일하게 하여 IPC 시험을 실시하여, 회로의 전기 저항이 초기값의 2배에 달한 스트로크 횟수를 회로 파단 수명으로 구했다. 또한, 회로 파단 수명 후의 동박에 대해, 슬라이드 방향으로 직교하도록 해서 동박을 두께방향으로 자른 단면을 주사형 전자 현미경으로 관찰하면, 실시예 2와 마찬가지로, 정도의 차이는 있지만, 수지층측 및 커버재측의 각각의 동박 표면에는 크랙이 발생하였고, 특히 굴곡부의 외측에 해당하는 수지층측의 동박 표면에는 다수의 크랙이 도입되어 있는 것이 관찰되었다. Next, about the test flexible circuit board which has the said
이상으로 기술한 시험에 의해 얻어진 동박 중의 합금 성분값, <100> 우선 배향 면적률, 굴곡 수명을 시료번호, 폴리이미드 형성 온도와 함께 표 5에 나타낸다. 성분값에서 -로 표기되어 있는 것은 미측정인 것을 나타낸다. 시료번호 85의 시료에 나타나는 바와 같이, Ar 기류 중에서 용해 주조한 것은 동박의 산소 농도가 원료 동보다 작아져 있다. 이는, 저산소 농도로 용해·주조한 것에 따른 탈산 효과이다. 또, 시료번호 87, 91, 94, 96의 시료는 Ce, Y, Sm, Ca를 첨가하여 같은 조건으로 용해·주조한 것인데, 이들의 원소의 첨가에 의해 <100> 우선 배향영역의 면적률이 향상하여, 결과적으로 IPC 시험으로 측정한 피로 수명이 높아져 있는 것을 알 수 있다. 또한, 시료번호 94와 시료번호 95의 결과를 비교하면 Sm에 Al을 더 첨가함으로써 IPC 시험으로 측정한 피로 수명이 높아져 있는 것을 알 수 있다. The alloy component value in a copper foil obtained by the test described above, a <100> preferred orientation area ratio, and a bending life are shown in Table 5 with a sample number and polyimide formation temperature. Marking-in the component value indicates unmeasured. As shown in the sample of Sample No. 85, the molten cast in the Ar air stream has a smaller oxygen concentration than the raw copper. This is a deoxidation effect by melt | dissolution and casting at low oxygen concentration. In addition, samples No. 87, 91, 94, and 96 were dissolved and cast under the same conditions by adding Ce, Y, Sm, and Ca. However, by adding these elements, the area ratio of the < 100 > It turns out that the fatigue life measured by the IPC test improves as a result. Comparing the results of the sample number 94 and the sample number 95, it can be seen that the fatigue life measured by the IPC test is increased by adding Al to Sm.
한편, 시료번호 86의 경우에 나타낸 바와 같이, 대기 중에서 주조한 것은 동박의 산소 농도가 원료 동보다 커져 있다. 이에 대해 시료번호 88, 90, 92 및 96의 결과를 보면, Ce, La, Y, Ca를 첨가함으로써 동박 중의 산소 농도가 저하되어 있는 것을 알 수 있다. 이는, 이들의 원소가 탈산 효과를 가지기 때문이다. 이들의 시료에 있어서 IPC 시험으로 측정한 피로 수명이 높아져 있는 것은, 희토류 원소가 <100> 우선 배향영역의 면적률을 향상시키는 직접적 효과와 용해·주조시의 산화 반응에 의한 탈산 효과에 따른 것으로 생각된다. 또, 시료번호 89, 93 및 98의 결과는, 알루미늄이 그 효과를 더 강화하고 있는 것을 나타낸다고 생각된다.On the other hand, as shown in the case of Sample No. 86, in the air casting, the oxygen concentration of the copper foil is larger than that of the raw copper. On the other hand, when looking at the result of sample numbers 88, 90, 92, and 96, it turns out that the oxygen concentration in copper foil is reduced by adding Ce, La, Y, and Ca. This is because these elements have a deoxidation effect. The fatigue life measured by the IPC test in these samples is thought to be due to the direct effect of improving the area ratio of the <100> preferred orientation region of the rare earth element and the deoxidation effect due to the oxidation reaction during dissolution and casting. do. The results of Sample Nos. 89, 93, and 98 are considered to indicate that aluminum further enhances the effect.
(산업상의 이용 가능성) (Industrial availability)
본 발명의 동박은, 가요성 회로기판으로서 각종 전자·전기기기에서 폭넓게 사용할 수 있으며, 회로기판 자체가 절곡되거나 비틀어 구부려지거나 혹은 탑재된 기기의 동작에 따라 변형되거나 하여, 어느 곳인가에 굴곡부를 가지고 사용하는데 적합한다. 특히, 본 발명의 가요성 회로기판은 굴곡 내구성이 우수한 굴곡부 구조를 가지기 때문에, 접동 굴곡, 절곡 굴곡, 힌지 굴곡, 슬라이드 굴곡 등의 반복 동작을 수반하여 빈번하게 절곡되거나 하는 경우나 혹은 탑재되는 기기의 소형화에 대응하기 위해 곡률반경이 매우 작아지는 것이 요구되는 굴곡부를 형성하는 경우에 바람직하다. 그 때문에, 내구성이 요구되는 박형 휴대전화, 박형 디스플레이, 하드 디스크, 프린터, DVD 장치를 비롯해서 각종 전자기기에 알맞게 이용할 수 있다. The copper foil of the present invention can be widely used in various electronic and electrical equipment as a flexible circuit board, and the circuit board itself is bent or twisted or deformed according to the operation of the mounted device, and has a bent portion anywhere. Suitable for use In particular, since the flexible circuit board of the present invention has a bent structure having excellent bending durability, the flexible circuit board is frequently bent with repeated operations such as sliding bending, bending bending, hinge bending, slide bending, or the like. In order to cope with miniaturization, it is preferable in the case of forming a bent portion which requires a very small radius of curvature. Therefore, it can be used suitably for various electronic devices, such as a thin cell phone, a thin display, a hard disk, a printer, and a DVD device which require durability.
1: 수지층
2: 배선(금속박)
3: 커넥터 단자
6: 접착층
7: 커버재
8: 갭 길이
9: 고정부
10: 슬라이드 가동부
21: 단면(P)의 법선방향
L: 능선
P: 굴곡부에 있어서의 능선으로부터 두께방향으로 잘랐을 때의 배선의 단면 1: resin layer
2: wiring (metal foil)
3: connector terminal
6: adhesive layer
7: cover material
8: gap length
9: fixed part
10: slide moving part
21: Normal direction of cross section (P)
L: Ridge
P: cross section of the wiring when cut in the thickness direction from the ridge line at the bent portion
Claims (19)
Mn을 0.001질량% 이상 0.1질량% 이하 함유함과 함께, 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 2질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 것을 특징으로 하는 동박.The method of claim 1,
Copper content characterized by containing at least any one of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less Ti, or 0.005 mass% or more and 2 mass% or less Al, while containing Mn 0.001 mass% or more and 0.1 mass% or less.
Mn을 0.06질량% 이하 함유하는 동박.3. The method according to claim 1 or 2,
Copper foil containing 0.06 mass% or less of Mn.
0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 0.395질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 것을 특징으로 하는 동박.5. The method of claim 4,
At least any one of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less of Ti or 0.005 mass% or more and 0.395 mass% or less of Al is contained.
산소의 함유량이 0.1질량% 미만인 동박.The method according to any one of claims 1 to 5,
Copper foil whose content of oxygen is less than 0.1 mass%.
동박층의 두께가 5㎛ 이상 18㎛ 이하이고, 수지층의 두께가 5㎛ 이상 75㎛ 이하인 동장 적층판. The method of claim 7, wherein
The copper clad laminated board whose thickness of a copper foil layer is 5 micrometers or more and 18 micrometers or less, and the thickness of a resin layer is 5 micrometers or more and 75 micrometers or less.
수지층이 폴리이미드로 이루어지는 동장 적층판. 9. The method according to claim 7 or 8,
The copper clad laminated board in which a resin layer consists of polyimide.
접동(摺動) 굴곡, 절곡 굴곡, 힌지 굴곡 및 슬라이드 굴곡으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나의 반복 동작을 수반하는 굴곡부가 형성되도록 사용되는 가요성 회로기판.The method of claim 10,
A flexible circuit board used to form a bend with one or more repetitive motions selected from the group consisting of sliding bend, bending bend, hinge bend and slide bend.
냉간압연 동박이 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 2질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 더 함유하는 동장 적층판의 제조방법. 14. The method of claim 13,
The manufacturing method of the copper clad laminated board which cold-rolled copper foil further contains at least any one of 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less of Ti, or 0.005 mass% or more and 2 mass% or less of Al.
냉간압연 동박이 0.06질량% 이하의 Mn을 함유하는 동장 적층판의 제조방법.The method according to claim 13 or 14,
The manufacturing method of the copper clad laminated board in which cold rolled copper foil contains Mn of 0.06 mass% or less.
냉간압연 동박이 0.005질량% 이상 0.2질량% 이하의 Ti 또는 0.005질량% 이상 0.395질량% 이하의 Al 중 적어도 어느 한쪽을 함유하는 동장 적층판의 제조방법. 17. The method of claim 16,
The manufacturing method of the copper clad laminated board in which a cold rolled copper foil contains 0.005 mass% or more and 0.2 mass% or less of Ti, or 0.005 mass% or more and 0.395 mass% or less of Al.
도포한 폴리아미드산 용액을 가열 처리해서 수지층을 형성하는 온도가 280℃ 이상 400℃ 이하인 동장 적층판의 제조방법.18. The method according to any one of claims 13 to 17,
The manufacturing method of the copper clad laminated board whose temperature which heat-processes the apply | coated polyamic-acid solution and forms a resin layer is 280 degreeC or more and 400 degrees C or less.
폴리이미드 필름을 열압착해서 수지층을 형성하는 온도가 280℃ 이상 400℃ 이하인 동장 적층판의 제조방법.
18. The method according to any one of claims 13 to 17,
The manufacturing method of the copper clad laminated board whose temperature which thermocompresses a polyimide film and forms a resin layer is 280 degreeC or more and 400 degrees C or less.
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