KR20140021025A - 회전하는 시료 테이블을 구비하는 항온 장치 - Google Patents

Abstract

건열 멸균 작업시의 고온 분위기나, 과산화수소 가스 등의 산화성이 강한 멸균 가스 분위기 중에 설치되어도 장시간에 걸쳐서 안정된 동작을 할 수 있는 자동 반송 기구를 구비한 항온 장치를 제공한다. 배양실 내에 있어서 시료를 적재하여 회전 동작하는 시료 테이블(10)의 구동부를 배양실 외부에 배치하고, 구동부로부터의 구동력을 자기 결합에 의해 전달시킨다. 또한, 시료 테이블(10)이 구비하는 베이스 플레이트(13)의 상하에 립(24)이 형성된 링 형상 밀봉 패킹(22)을 배치하고, 베이스 플레이트(13)의 립(24)이 접촉하는 부분에는 전체 둘레에 걸쳐서 밀봉 플레이트(23)를 배치함으로써, 고온 분위기 및 산화성이 강한 고 내 분위기로부터 베어링(17)이나 구동 부분을 격리하여 고온이나 멸균 가스에 의한 고장을 방지한다.

Description

회전하는 시료 테이블을 구비하는 항온 장치{CONSTANT-TEMPERATURE DEVICE PROVIDED WITH ROTATING SPECIMEN TABLE}

본 발명은 적어도 온도를 일정하게 유지하고, 시험의 대상이 되는 검체를 넣은 용기를 자동으로 반입·반출할 수 있는 항온 장치에 관한 것이다.

미생물이나 세포 등의 배양이나 시험에 사용되는 검체를 보관하는 장치로서 항온 장치가 널리 이용되고 있다. 항온 장치는 배양이나 시험의 대상이 되는 다수의 시료를 수납하는 항온실에 온도나 습도, 이산화탄소 농도 등의 환경 조건을 유지하는 수단을 구비한 것이며, 특히 배양을 행할 경우에는 항온실 내는 온도 약 37℃이며 습도 90% 이상이라는 고습도 환경이 유지되고 있다. 또한, 배양이나 시험은 장시간 계속해서 행해지므로 그 과정에 있어서는 정기적으로 각 시료의 상태를 검사·분석하고, 필요하면 노폐물이 혼입된 배지를 새것으로 교환할 필요가 있다.

그래서, 기억 수단이나 연산 수단 및 반송 수단을 구비하고 자동화된 항온 장치가 현재까지 다수 고안되어 있다. 이것들은 시료가 들어간 용기의 출납, 검사·분석 공정으로의 수수(受授), 시료의 상태 관리 등을 자동으로 행하는 기능을 구비한 것이며, 이들 장치에 의해 장기간에 걸친 배양·시험을 효율적으로 행하는 것이 가능해졌다.

또한, 이러한 항온 장치는 공기 중의 잡균, 이전 행한 배양 또는 시험에서 사용한 세포나 미생물이 항온실 내에 잔류하고 있으면, 다음에 배양 또는 시험을 할 때에 목적의 세포나 미생물에 악영향을 미치므로 항온실 내에 대하여 배양 또는 시험의 개시 전에 잡균을 제거하는 멸균이라고 불리는 작업이 필요해진다. 종래의 자동 반송 기능을 가진 항온 장치에서는 자외선을 조사하는 멸균 방법이나, 약액으로 닦아내는 멸균 방법이 채용되고 있었다. 그러나, 최근에는 항온실 내에 모터나 전자 부품을 배치하지 않는 연구를 실시한 자동 반송 기능을 가진 항온 장치가 등장하여 항온실 내를 130℃ 이상의 고온 환경으로 유지해서 잡균을 사멸시키는 건열 멸균이라고 불리는 멸균 방법을 이용할 수 있게 되었다.

WO2010/001873호 공보

이 특허문헌 1에 개시된 자동 반송 기능을 가진 항온 장치(1)는 배양 또는 시험을 행하는 시료를 수용한 용기를 수납하는 시료 선반을 복수 적재한 시료 테이블을 항온실의 내부에 착탈 가능하게 배치하고 있고, 이 시료 테이블에 부착된 복수의 종동 마그넷과 항온실 외부의 종동 마그넷에 대응하는 위치에 배치된 복수의 구동 마그넷을 자기 결합함으로써, 구동원으로부터 구동 마그넷에 부여된 구동력에 의해 회전자계를 발생시키고, 이것에 자기 결합하는 종동 마그넷에 전달하는 방법을 채용하고 있다. 이 시료 테이블의 하면에는 볼 캐스터나 차륜이 일정 간격으로 부착되어 있고, 이 볼 캐스터나 차륜에 지지되어서 시료 테이블은 원하는 위치까지의 회전 이동이 가능하게 되어 있다. 또한, 항온실의 외부에는 시료를 수용한 용기를 반입·반출하기 위한 승강 수단을 갖는 반송 로봇이 구비되어 있고, 이 반송 로봇이 액세스 가능한 위치까지 시료 테이블을 회전 동작시켜서 원하는 시료 선반의 원하는 선반단에 반송 로봇을 액세스할 수 있는 구조로 되어 있다.

상기 구조로 함으로써 항온실 내부에는 모터나 전기 부품과 같은 고온 및/또는 다습의 환경에 약한 부품을 배치할 일이 없어지므로 항온실 내를 고온으로 유지하는 건열 멸균을 행하는 것이 가능해지고, 또한 항온실 내를 습도 90퍼센트 이상의 환경으로 유지하는 배양 환경이라도 고장이 없는 안정된 동작이 가능하게 되어 있다.

그러나, 최근 건열 멸균 대신에 가열하여 기화시킴으로써 얻어진 과산화수소 증기를 항온실 내에 충만시켜서 살균을 행하는 과산화수소 멸균이라고 불리는 멸균 방법이 많이 채용되기 시작하고 있다. 이것은 배양고 내에 과산화수소 증기를 충만시켜서 과산화수소의 살균력에 의해 잡균을 사멸시키는 멸균 방법이며, 건열 멸균법에서는 항온실 내의 가열 개시로부터 배양 가능한 실내 온도로 되돌아올 때까지 수 시간을 필요로 했던 멸균 시간이, 과산화수소 멸균에서는 약 1시간 정도의 단기간으로 종료할 수 있어 배양 종료로부터 다음 배양 개시까지의 휴지 시간을 비약적으로 단축시키는 멸균 방법이다.

그러나, 종래의 자동 반송 기능을 가진 항온 장치에서는 상기 과산화수소 멸균을 행하는 것은 어렵다. 왜냐하면, 과산화수소는 강한 부식성을 갖기 때문에 고(庫) 내에 배치된 철이나 알루미늄과 같은 구조물을 부식시켜버리기 때문이다. 특히, 가동 부재에 대해서는 부식 예방을 위한 표면 처리를 실시하고 있어도 장시간의 동작에 의해 그 처리 표면이 깎여서 노출된 금속면이 부식되어버리는 것이다. 또한, 항온실 내에 배치되어 있는 전동체로서 복수 개소에서 시료 테이블을 지지하고 있는 볼 캐스터나, 내열 수지제의 차륜을 회전 가능하게 지지하는 베어링과 같은 금속제 부품에는 마찰이나 마모를 막기 위한 윤활제가 사용되고 있다. 이 윤활제에 포함되는 미량의 수분이나, 고습도 환경으로부터 윤활제 내부에 침투한 수분이 잡균의 온상이 되어버린다. 과산화수소의 가스는 이들 윤활제 내부의 수분 중에 존재하는 잡균에 대해서는 충분하게 멸균할 수 없다. 멸균 후에 배양고 내에 잡균이 잔류하고 있으면, 다음 배양시에 잡균이 시료를 오염시켜버려서 양호한 배양 결과를 얻는 것은 불가능하게 되어버린다. 그리고, 부식되는 개소나 잡균의 잔류가 예측되는 개소는 시료 테이블을 지지하는 전동체가 복수 개소에 분산되어 있기 때문에 각각의 베어링에 존재하게 된다.

그래서, 과산화수소의 부식 작용에 내성이 있고, 잡균의 온상이 되는 윤활제가 고 내 분위기에 폭로되지 않는 구조의 자동 반송 기능을 가진 항온 장치가 강하게 요구되고 있다.

본 발명은 상기 문제점에 착안하여 이것을 유효하게 해결하도록 창출된 것으로서, 강한 부식성 약제가 사용되는 항온 장치의 폐공간 내에 회전자계의 연직축 방향의 회전 중심에 일치한 위치에 회전 샤프트의 중심을 갖는 베어링을 설치해서 1개소에 집약하고, 또한 이것을 항온 장치로부터 착탈 가능하게 하고 있다.

즉, 상기 문제점을 해결하기 위해서 본 발명의 항온 장치는 주위가 벽으로 둘러싸인 폐공간을 내부에 갖고, 상기 폐공간을 둘러싸는 벽으로 이루어지는 항온실과, 상기 벽 중 저부 부분의 바닥면 하측으로부터, 연직축 방향의 회전 중심을 갖는 회전자계를 상기 폐공간에 상기 바닥면을 통해서 부여하는 회전자계 발생 수단과, 상기 항온실의 폐공간 내에 착탈 가능하게 배치된 베이스 플레이트를 갖고, 상기 베이스 플레이트는 상기 연직축 방향의 회전 중심에 일치한 위치에 회전 샤프트의 중심을 갖는 베어링을 구비하고, 상기 베어링의 상측의 상기 회전 샤프트에는 시료를 수용한 용기를 수납하는 시료 선반을 탑재하는 시료 플레이트가 연결되고, 상기 베어링의 하측의 상기 회전 샤프트에는 복수의 종동 마그넷을 구비한 마그넷 플레이트가 연결되고, 상기 종동 마그넷은 상기 항온실의 벽면을 투과한 회전자계와 자기 결합하여 상기 회전자계에 따라서 상기 회전 샤프트를 회전시키는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 구성에 의해, 항온실 내에 있어서 베이스 플레이트에 베어링을 통해서 회전 가능하게 지지된 시료 플레이트가 항온실 바닥의 하방에 배치된 회전자계에 추종하여 자기 결합한 종동 마그넷이 회전함으로써 시료 플레이트를 회전시키는 것이 가능해진다. 회전자계를 발생시키는 장치를 항온실 밖에 배치하는 것이 가능해져서 항온실 내가 과산화수소 분위기로 충만되어도 산화 작용에 의해 부식될 일은 없어진다. 여기에서, 베어링은 스테인리스 등의 금속제, 또는 세라믹이나 수지제의 내액시얼 하중 베어링을 사용할 수 있다. 특히, 윤활제를 사용할 필요가 없는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)이나 PEEK(폴리에테르에테르케톤), PPS(폴리페닐렌설파이드) 등의 수지제 베어링이나, 지르코니아나 탄화규소, 질화규소 등으로 제조되는 세라믹 베어링을 사용하는 것이 바람직하다.

또한, 바람직하게는 상기 베어링을 외기로부터 격리하도록 베이스 플레이트와 상기 시료 플레이트 및/또는 회전 샤프트 사이에, 및 상기 베이스 플레이트와 상기 종동 마그넷을 고정하는 플레이트 또는 상기 회전 샤프트 사이에 립을 갖는 링 형상 밀봉 패킹을 구비한다.

상기 구성에 의해, 베어링이 배치되는 환경은 시료 플레이트, 마그넷 플레이트, 베이스 플레이트, 회전 샤프트, 및 시료 플레이트와 마그넷 플레이트의 각각에 부착된 링 형상의 밀봉 패킹이 베이스 플레이트에 전체 둘레에 걸쳐서 접촉하고 있으므로, 항온실 내부의 고습도 분위기나 과산화수소 가스 분위기로부터 차단되게 되므로 윤활제가 필요한 소재로 이루어지는 베어링을 사용하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 링 형상 밀봉 패킹과 상기 시료 플레이트 및/또는 상기 회전 샤프트와 상기 베어링 사이의 공간에, 또한 상기 베이스 플레이트와 상기 종동 마그넷을 고정하는 플레이트 및/또는 상기 회전 샤프트 사이의 공간에 기체를 도입해도 좋다.

상기 구성에 의해, 베이스 플레이트와 회전 샤프트와 링 형상 밀봉 패킹이 이루는 공간에 청정 공기 등의 기체를 도입해서 양압을 유지함으로써 수증기나 과산화수소 등의 부식성 가스가 누설되지 않으므로, 내액시얼 하중 베어링은 방식(防食)되어 항온실 내에서의 시료 테이블의 장시간에 걸친 회전 동작이 가능해진다. 이 공간에 기체를 도입함에 있어서, 베이스 플레이트에 이 공간으로 통하는 구멍을 형성하여 이 구멍에 결합한 튜브를 설치한다. 또한, 별도의 구멍을 베이스 플레이트에 형성하여 배기구로 하고, 튜브에 의해 항온실 외부로 배기하는 것이 바람직하다. 상기 기체로서는 0.1㎛ 이하의 필터로 여과한 청정 공기, 건조 공기, 탄산 가스, 질소 등을 사용할 수 있다.

또한, 링 형상 밀봉 패킹의 소재는 불소 고무, 아세트산 비닐에틸렌 수지, 수소화 니트릴 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 아크릴 고무 등 내산화성 유연 고분자인 것이 바람직하다. 그 중에서도 링 형상 밀봉 패킹의 소재를 불소 고무로 했을 경우, 과산화수소 가스 등의 멸균 가스에 의한 멸균 이외에 항온실 내부를 130℃ 이상의 환경으로 유지하는 건열 멸균을 행할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 베이스 플레이트는 상기 링 형상 밀봉 패킹의 립이 접촉하는 위치에, 립의 접촉하는 표면이 평활하게 처리된 밀봉 플레이트를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 밀봉 플레이트를 구비함으로써 상기 립이 접촉하는 부분과 접촉하지 않는 부분을 다른 부품으로 하는 것이 가능해지고, 베이스 플레이트의 제조 비용을 낮출 수 있다. 또한, 밀봉 플레이트의 소재는 마찰 저항이 적은 폴리테트라플루오로에틸렌과 같은 불소계 수지나 실리콘 수지로 하는 것이 바람직하다. 또한, 밀봉 플레이트의 소재를 금속으로 할 경우, 마찰 저항이 적은 불소에 의한 표면 코팅 처리를 실시하는 것이 바람직하다.

또한, 시료 플레이트는 상기 항온실 바닥면과 접촉하는 부분에 수지제의 패드를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 시료 플레이트는 상기 항온실 바닥면에 브래킷을 통해서 나사 고정하면 항온실 바닥면을 상처 입힐 일이 없어지고, 또한 나사를 분리함으로써 시료 테이블을 항온실 바닥면으로부터 간단하게 분리할 수 있다. 이에 따라, 멸균 후의 닦아내기 작업을 간단하게 행할 수 있는 것이 된다.

또한, 상기 수지제의 패드는 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤 수지, 실리콘 수지, 폴리테트라플루오로에틸렌 등의 부재를 사용하지만, 그 중에서도 내열성이 있고 마찰 저항이 적은 폴리테트라플루오로에틸렌과 같은 불소계 수지나 실리콘 수지로 하는 것이 바람직하다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면, 항온실의 벽에 둘러싸인 폐공간 내에 베어링을 갖는 베이스 플레이트를 착탈 가능하게 배치함으로써 항온실 내로부터 베어링과 베이스 플레이트 양쪽을 분리할 수 있다. 자기 결합의 자기 갭이 되는 바닥면은 그 표면에 회전을 전달하기 위한 구조물을 갖지 않기 때문에, 베이스 플레이트를 분리할 때에는 멸균 후의 닦아내기 작업을 간단하게 행할 수 있다. 한편, 베어링은 회전자계의 회전 중심에 있고, 시료 테이블의 하중을 집중적으로 지지하기 때문에 시료 선반을 적재한 시료 플레이트의 회전은 스무스해진다. 또한, 베어링은 1개소에 집중되어 있고, 분산되어 있지 않기 때문에 부식성의 약제로부터 밀봉하는 구조를 용이화할 수 있다.

밀봉하는 구조로서는 링 형상 밀봉 패킹을 사용하는 것이 바람직하다. 링 형상 밀봉 패킹을 구비함으로써 내구성을 향상시킬 수 있고, 또한 내액시얼 하중 베어링 부분에 청정 공기를 도입함으로써 내구성을 현저하게 향상시켜서 과산화수소로 대표되는 산화성이 강한 멸균 가스에 의한 멸균 처리를 행한 후라도 시료 테이블은 안정된 동작을 행할 수 있게 된다. 또한, 멸균에 과산화수소를 이용할 수 있기 때문에 건열 멸균이나 다른 멸균 방법에 비해서 배양을 정지하고 있는 시간을 단축할 수 있어, 본 발명을 자동 인큐베이터 등에 적용할 경우에도 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래의 자동 반송 기능을 가진 항온 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 종래의 자동 반송 기능을 가진 항온 장치의 시료 테이블 주변을 나타낸 단면도이다.
도 3은 제 1 실시예의 시료 테이블을 나타낸 분해도이다.
도 4는 제 1 실시예의 시료 테이블을 항온 장치에 배치했을 때의 단면도이다.
도 5는 제 2 실시예의 시료 테이블에 있어서의 밀봉 패킹 주변을 나타낸 단면도이다.
도 6은 시료 테이블이 구비하는 자재식 캐스터의 단면도이다.
도 7은 시료 테이블을 나타낸 도면이다.

이하에, 본 발명의 실시형태를 도면에 따라서 설명한다. 도 3은 본 실시예의 시료 테이블(10)을 구성하는 주요한 부재를 나타낸 분해도이며, 도 4는 각 부재가 장착된 상태의 단면도이다. 항온실(5)은 그 내부에 주위가 벽으로 둘러싸인 폐공간을 갖고, 이 폐공간을 둘러싸는 벽 중 저부 부분의 벽이 바닥면(5a)으로 되어 있다. 본 발명의 시료 테이블(10)은 베이스 부재인 베이스 플레이트(13)가 고정 브래킷(14)에 의해, 항온실(5)의 바닥면(5a)에 4개소에서 고정되어 있다. 또한, 상방으로부터의 하중을 받아내기 위해서 베이스 플레이트(13)는 지지 블록(15)에 의해 4개소에서 지지되고, 지지 블록(15)과 베이스 플레이트(13)는 육각 볼트로 고정되어 있다. 지지 블록(15)의 바닥면(5a)에 접촉하는 부분에는 수지제의 패드(16)가 부착되어 있다. 또한, 본 발명의 시료 테이블(10)의 각 부재를 체결 고정하는 나사는 십자 구멍이 있는 볼트나 육각 구멍이 있는 볼트와 같은 정부(頂部)에 오목부를 갖는 것보다, 오목부가 없는 육각 볼트를 사용하는 것이 바람직하다. 이것은 과산화수소 가스가 시료 테이블(10)의 구석까지 빈틈없이 미치도록 하기 위함과, 멸균 후의 닦아내기 작업을 용이하게 하기 위해서이다. 또한, 패드(16)에 사용되는 소재는 과산화수소에 대하여 내성이 있는 것이 바람직하고, 또한 내열성이 높은 것이면 건열 멸균에도 견딜 수 있으므로 보다 바람직하다.

베이스 플레이트(13)의 중앙부에는 2종류의 다른 직경을 갖는 원형의 구멍이 동심축 형상으로 형성되어 있다. 그 구멍은 베이스 플레이트(13)의 하측에 형성된 구멍 쪽이 직경은 작고, 상측 쪽이 직경은 큰 것으로 되어 있다. 이 상측의 구멍은 링 형상의 베어링(17)의 외륜을 밀착 상태로 끼워넣을 수 있는 직경을 갖고, 베어링(17)은 상측의 구멍 저부에 접촉해서 상측의 구멍 깊이 위치에서 상하 방향으로 지지되어 있다. 베어링(17)의 내륜에는 원기둥 형상의 회전 샤프트(18)가 상방으로부터 밀착 상태로 끼워넣어져 있다. 회전 샤프트(18)는 상방에 베어링(17)의 내륜 직경보다 큰 플랜지부를 갖고, 이 플랜지부가 베어링(17)의 내륜의 상변에 접촉해서 상하 방향으로 지지되게 되어 있다. 상기 구성에 의해, 회전 샤프트(18)는 베어링(17)을 통해서 회전 가능하게 베이스 플레이트(13)에 지지되게 된다.

회전 샤프트(18)의 상면에는 원형의 시료 플레이트(19)가 회전 샤프트(18)에 대하여 동심축 형상으로 볼트 고정되어 있다. 시료 플레이트(19)의 시료 선반(3)이 적재되는 면에는 시료 선반(3)의 위치 결정을 하기 위한 핀(20)이 시료 선반(3)의 저부에 대응하는 위치에 고정되어 있다. 또한, 회전 샤프트(18)의 저면에는 종동 마그넷(6)을 원 형상으로 배치한 마그넷 플레이트(21)가 회전 샤프트(18)에 대하여 동심축 형상으로 하방으로부터 볼트 고정되어 있고, 시료 플레이트(19)와 회전 샤프트(18) 및 마그넷 플레이트(21)는 베이스 플레이트(13)에 대하여 일체적으로 회전 가능하게 지지되게 된다. 구동원(8)은 구동 마그넷(7)에 구동력을 부여하면 바닥면(5a)의 하측으로부터 바닥면(5a)를 투과해서 회전자계가 항온실(5) 내에 이른다. 이 회전자계의 회전 중심은 회전 샤프트(18)의 회전 중심에 일치하고 있다. 구동 마그넷(7)과 종동 마그넷(6) 사이의 자기 갭 공간에 바닥면(5a)이 양자에 물리적으로 접촉하지 않도록 배치된다.

이 구조에 의해, 마그넷 플레이트(21)에 배치된 종동 마그넷(6)과, 항온실(5)의 외부이며 종동 마그넷(6)에 대응하는 위치에 배치된 복수의 구동 마그넷(7)이 자기 결합하게 되고, 구동원(8)으로부터 구동 마그넷(7)에 부여된 구동력을 종동 마그넷(6)에 전달하고, 나아가서는 시료 플레이트(19)를 회전 동작시키는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 베이스 플레이트(13)나 고정 브래킷(14), 지지 블록(15), 시료 플레이트(19), 마그넷 플레이트(21)와 같은 과산화수소 가스 분위기에 노출되는 부재에는 과산화수소에 의한 산화를 방지하기 위해서 염화비닐이나 폴리케톤와 같은 수지, 또는 스테인리스나, 표면에 산화 방지 처리를 실시한 알루미늄, 철과 같은 금속을 사용할 수 있다. 또한, 과산화수소에 의한 산화 작용 이외에도 항온 장치(1)가 배양 운전 중, 항온실(5) 내부는 통상 습도 90% 이상, 고 내 온도 37℃의 환경으로 유지되므로 각 부재의 방청 처리는 매우 중요한 것이 된다.

본 실시예에서 사용되는 베어링(17)은 시료 플레이트(19), 회전 샤프트(18), 마그넷 플레이트(21)와 같은 구조물, 및 시료 플레이트(19) 상에 배치되는 복수의 시료 선반(3), 시료 선반(3)에 수용되는 복수의 용기(2)와 같은 부재 전체의 하중을 지지하는 강도가 필요하고, 또한 상기 부재의 하중에 추가해서 구동 마그넷(7)과 종동 마그넷(6)의 자기에 의한 흡착력도 지지하면서 원활하게 회전할 만큼의 강도를 필요로 한다.

베어링(17)은 외륜과 내륜과, 그 사이에 배치된 전동체와, 그 전동체를 유지하는 유지기로 구성되고, 축을 원활하게 회전시키기 위해서 널리 사용되고 있고, 일반적으로는 스테인리스나 철과 같은 금속제의 것이 많이 사용되고 있다. 또한, 원활하게 회전시킬 목적으로 전동체의 주위에 윤활제로서 그리스(grease)가 도포, 충전되는 경우가 많다. 이러한 베어링은 과산화수소 가스 분위기 중에 노출되면, 과산화수소 가스의 산화 작용에 의해 금속이 녹슬어서 사용할 수 없게 되어버린다. 또한, 내부에 그리스가 도포, 충전되어 있을 경우 그리스에 포함되는 미량의 수분이나, 고 내의 고습도 환경으로부터 그리스 내부에 침투한 수분이 잡균의 온상이 되어버린다. 이 그리스 내의 수분 중에 존재하는 잡균은 과산화수소 가스에 의한 살균으로도 사멸시킬 수는 없다. 또한, 베어링(17) 내부를 밀봉 부재에 의해 외부와 격리시킨 것도 존재하지만, 밀봉 성능이 충분하지는 않다. 또한, 배양 중의 습도 90% 이상의 분위기에 장시간 노출되어 있는 것만으로 베어링(17)이 녹을 발생시켜버리는 경우도 있다. 그래서, 본 발명의 시료 테이블(10)에서는 윤활제를 필요로 하지 않는 베어링(17)을 사용한다. 특히, 내하중이나 과산화수소에 대한 내성을 고려하여 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)나 PEEK(폴리에테르에테르케톤), PPS(폴리페닐렌설파이드) 등의 수지제 베어링이나, 지르코니아나 탄화규소, 질화규소 등으로 제조되는 세라믹 베어링을 사용하는 것이 바람직하다.

또한, 금속제의 베어링을 사용하는 실시예에서는 이하의 밀봉 구조로 함으로써 과산화수소 가스 분위기나 고습도 분위기로부터 베어링(17)을 보호하고 있다. 또한, 도 5에 그 밖의 실시예를 나타낸다. 베이스 플레이트(13)에 공간(25)으로 통하는 구멍(45)을 형성하고, 튜브(46)를 통해서 청정 공기를 이송하여 공간(25) 내를 양압으로 유지하면서 배기구(47), 역지 밸브(48)를 통해서 항온실의 외부로 배출한다. 또한, 본 실시예에 사용되는 베어링(17)에는 베어링(17)의 회전 중심선 방향으로 큰 하중이 걸리기 때문에 깊은 홈 볼 베어링이나 앵귤러 볼 베어링, 크로스 롤러식 베어링과 같은 내액시얼 하중 베어링이 바람직하다. 또한, 베이스 플레이트(13)나 회전 샤프트(18)의 베어링(17)과 접촉하는 부분의 형상을 변경함으로써 회전 중심선 방향의 하중에 대해서 보다 강도가 높은 스러스트 볼 베어링이나 스러스트 롤러 베어링을 사용하는 것도 충분히 가능하다.

베어링(17)을 고 내 분위기로부터 보호하기 위해서, 본 발명의 시료 테이블(10)에는 베어링(17) 상하 방향 2개소에 밀봉 부재가 설치되어 있다. 밀봉 부재는 링 형상의 밀봉 패킹(22)과, 그 밀봉 패킹(22)이 접촉하는 위치에 배치된 밀봉 플레이트(23)로 이루어진다. 링 형상의 밀봉 패킹(22)은 회동하는 부재인 시료 플레이트(19)와 마그넷 플레이트(21)에 각각 형성된 낮은 원기둥 형상의 돌기 부분에 밀착해서 고정되어 있고, 시료 플레이트(19)와 마그넷 플레이트(21)와 함께 일체적으로 회동한다. 또한, 본 실시예에 사용되는 밀봉 패킹(22)은 단면 형상이 대략 사각형인 링 형상의 부재이며, 외주측에는 링 부분으로부터 전체 둘레에 걸쳐서 플랜지 형상으로 돌출된 립(24)이 일체적으로 형성되어 있다. 립(24)은 단면 대략 사각형의 링 형상 본체보다 높이 방향 및 외주 방향으로 돌출되도록 형성되어 있고, 선단으로 감에 따라서 얇아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있다. 이 립(24)의 선단 부분이 전체 둘레에 걸쳐서 밀봉 플레이트(23)에 접촉함으로써 베어링(17)이 배치된 공간을 고온 다습의 고 내 분위기로부터 격리하고 있다.

밀봉 패킹(22)의 소재는 불소 고무, 아크릴 고무나 수소화 니트릴 고무, 실리콘 수지, 아세트산 비닐에틸렌 수지, 에틸렌프로필렌 고무와 같은 내열성이나 내약품성에 뛰어나고, 유연성을 갖는 소재가 바람직하다. 또한, 밀봉 패킹(22)은 립(24)이 전체 둘레에 걸쳐서 베이스 플레이트(13)에 고정된 밀봉 플레이트(23)에 접촉하고, 또한 시료 플레이트(19) 및 마그넷 플레이트(21)와 일체적으로 회전하기 때문에 내마모성이 높고, 마찰 저항이 적은 소재인 불소 고무가 특히 바람직하다.

이어서, 본 실시예에서 사용되는 밀봉 패킹(22)의 립(24)과 접촉하는 밀봉 플레이트(23)에 대하여 설명한다. 밀봉 플레이트(23)는 베이스 플레이트(13) 상의 시료 플레이트(19) 및 마그넷 플레이트(21)에 면하는 면의 2개소에 각각 고정되어 있는 링 형상의 부재이며, 베이스 플레이트(13)와 동심축 형상으로 배치되어 있다. 밀봉 플레이트(23)의 시료 플레이트(19)로의 고정 방법은 볼트 고정이라도 좋고 접착이라도 좋지만, 밀봉 플레이트(23)는 베어링(17)의 외륜을 압박하여 고정하는 역할도 담당하고 있으므로 베어링(17)의 교환 작업을 고려하면 볼트 고정하는 것이 바람직하다. 또한, 밀봉 플레이트(23)와 베이스 플레이트(13)를 간극 없이 고정하는 목적으로 밀봉 플레이트(23)와 베이스 플레이트(13) 사이에 패킹을 끼우면 보다 밀폐성은 향상된다. 마찬가지로, 마그넷 플레이트에 고정한 패킹(22)의 립(24)을 베이스 플레이트 또는 밀봉 플레이트(23)에 접촉시킨다. 또한, 링 형상 밀봉 패킹의 립의 방향은 상기에 한하지 않고, 상하 또는 내외 어느 것이라도 좋다. 즉, 상부 패킹(22)을 베이스 플레이트(13) 상면에 고정해서 그 립(24)을 회전하는 시료 플레이트(19)의 하부 돌기부에 접촉시키고, 하부 패킹(22)을 베이스 플레이트(13) 하면에 고정해서 그 립을 회전하는 마그넷 플레이트(21)의 상부 돌기부에 접촉시켜도 좋다.

밀봉 플레이트(23)의 소재로서는 스테인리스재나 알루미늄재와 같은 각종 금속이나, 또한 마찰 저항이 적은 폴리테트라플루오로에틸렌와 같은 불소계 수지나 실리콘 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 금속 부재를 사용할 경우에는 표면의 산화 방지에 추가하여 밀봉 패킹(22)의 립(24)이 접촉한 채 회전 동작하기 때문에 마찰 저항이 적은 불소에 의한 표면 코팅 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 립(24)이 전체 둘레에 걸쳐서 밀봉 플레이트(23)에 접촉할 수 있도록 립(24)에 접촉하는 면은 평탄한 것이 필요해진다.

도 5는 도 4에 나타낸 본 발명의 시료 테이블(10)의 밀봉 패킹(22) 주변을 확대한 도면이다. 상기 구성에 의해, 도 5에 있어서 공간(25)은 베이스 플레이트(13), 시료 플레이트(19), 마그넷 플레이트(21), 회전 샤프트(18), 밀봉 패킹(22), 밀봉 플레이트(23)와 같은 부재로 밀폐되어 외부로부터 격리된 것으로 되어 있으므로, 항온실(5) 내부를 과산화수소 가스 분위기로 했다고 해도 베어링(17)은 과산화수소 가스의 영향을 받을 일은 없다. 또한, 통상의 배양 환경인 습도 90% 이상의 분위기로부터도 격리되게 된다. 또한, 공간(25)을 비부식성의 분위기로 하기 위해서 베이스 플레이트에 이 공간(25)으로 통하는 구멍(45)을 형성하여 청정 공기나 건조 공기 등의 기체를 이 공간에 도입할 수 있다.

이어서, 종동 마그넷(6)을 적재하는 마그넷 플레이트(21)에 대하여 설명한다. 마그넷 플레이트(21)는 원반 형상이며, 항온실 바닥면(5a)에 면하는 측에는 종동 마그넷(6)이 동심원 상에 복수 배치되어 있다. 종동 마그넷(6)의 마그넷 플레이트(21)로의 고정 방법은 접착제나 나사 등에 의한 것이라도 좋고, 마그넷 플레이트(21)의 소재를 철로 해서 종동 마그넷(6)의 자기 흡인력에 의한 고정으로 해도 좋다. 본 실시예에서는 철제의 마그넷 플레이트(21)에, 종동 마그넷(6)에 대응하는 크기의 오목부를 종동 마그넷(6)의 수만큼 동심원 상에 형성하고, 그 오목부에 각 종동 마그넷(6)을 끼워 넣어 자기 흡인력에 의한 고정으로 하고 있다. 이에 따라, 만일 종동 마그넷(6)을 파손한 경우에도 용이하게 교환 부품으로 바꿀 수 있다. 또한, 마그넷 플레이트(21)를 철제로 함으로써 종동 마그넷(6)이 갖는 자력선을 확산시키지 않는 효과가 있다. 또한, 마그넷 플레이트(21)와 종동 마그넷(6)은 산화 방지의 표면 처리로서 과산화수소에 대하여 내성이 있는 니켈 도금을 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 니켈 도금 이외에도 과산화수소에 내성이 있는 수지나 도료로 종동 마그넷(6)을 코팅하거나, 수지로 밀폐하거나 하는 것도 충분히 가능하다.

마그넷 플레이트(21)는 베이스 플레이트(13)에 베어링(17)을 통해서 회전 가능하게 지지된 회전 샤프트(18)의 저면에 종동 마그넷(6)을 배치한 면이 항온실(5)의 바닥면(5a)을 향하도록 부착되어 있다. 여기에서, 종동 마그넷(6)이 항온실(5)의 외부의 종동 마그넷(6)에 대응하는 위치에 배치된 복수의 구동 마그넷(7)과 자기 결합함으로써, 구동원(8)으로부터 구동 마그넷(7)에 부여된 회전력이 종동 마그넷(6)에 전달되어 마그넷 플레이트(21), 회전 샤프트(18), 시료 플레이트(19)가 일체적으로 회전하게 된다.

본 실시예의 시료 테이블(10)은 시료 플레이트(19) 상에 적재된 복수의 시료 선반(3)에 수납된 복수의 용기(2)를 자동으로 반송할 수 있는 자동 반송 기능을 구비한 항온 장치(1)에 설치해서 사용되기 때문에, 목적의 용기(2)에 반송 로봇(12)이 액세스할 수 있도록 회전 방향의 위치를 정확하게 검출할 필요가 있다. 그래서, 본 실시예의 시료 테이블(10)에는 항온 장치(1)에 구비된 회전 위치 검출을 위한 홀 센서(26)가 시료 테이블(10)의 회전 위치를 검출하기 위한 목적물이 되는 마그넷(27)이 브래킷(28)을 통해서 부착되어 있다. 홀 센서(26)는 홀 효과를 이용한 센서이며, 마그넷(27)이 발생하는 자계를 전기 신호로 변환해 출력하는 것이며, 자계를 검출하기 때문에 항온실(5)의 바닥면(5a)과 같은 차폐물을 투과해서 목적물인 마그넷(27)의 자계를 검출할 수 있는 센서이다. 이 홀 센서(26)의 검출한 타이밍과 구동원(8)인 모터의 회전 위치를 기억해 두면 목적의 시료 선반(3)을 반송 로봇(12)이 액세스할 수 있는 위치로 이동시키는 것이 가능해진다.

본 실시예의 시료 테이블(10)은 지지 블록(15) 저면에 부착된 패드(16)가 항온실 바닥면(5a)에 접촉함으로써 항온실(5) 내에 설치되고, 고정 브래킷(14)을 나사 고정함으로써 정확한 위치 결정과 고정이 행해진다. 고정 브래킷(14)을 고정하는 나사(29)는 상술한 바와 같이 잡균의 잔류를 억제할 목적으로 오목부가 없는 육각 볼트나, 널링 나사로 하는 것이 바람직하다. 또한, 항온실(5)의 바닥면(5a)에는 캡 너트(30)를 용접함으로써 항온실(5) 내부의 분위기를 외부로 누설할 일이 없어진다. 또한, 고정하는 나사(29)에 밀봉 구조를 구비한 와셔(31)를 부가함으로써 보다 밀폐성을 높이는 것이 가능해진다.

이어서, 특허문헌 1의 볼 캐스터나, 내열 수지제의 차륜을 회전 가능하게 지지하는 베어링과 같은 금속제 부품의 주위에 대하여, 밀봉 패킹을 적용하여 부식성의 약제에 노출되지 않도록 한 예를, 본 발명의 비교예로서 도 6, 도 7을 참조해서 설명한다. 본 예에 있어서의 시료 테이블(40)에서는 시료 플레이트(19)를 회전시키는 기구로서 시료 플레이트(19)의 저면에 자재식 캐스터(32)를 복수 구비하는 것으로 하고 있다. 도 6A는 이 자재식 캐스터(32)의 구조를 나타내는 단면도이며, 도 6B는 측면도이다. 자재식 캐스터(32)에는 캐스터 본체를 수평면 내에서 선회 가능하게 유지하고 있는 베어링(33)과, 차륜(34)에 삽입되어 차륜(34)을 원활하게 회전시키기 위한 베어링(35)의 2개가 구비되어 있다. 또한, 2개의 베어링(33, 35) 각각을 외부 분위기로부터 보호하기 위해서, 제 2 실시예에서 설명한 것과 마찬가지의 형태인 링 형상의 밀봉 패킹(36, 37)이 구비되어 있다.

외륜을 차륜(34)에 고정시킨 베어링(35)은 지지 블록(38a, 38b)에 양단을 고정시킨 샤프트(39)를 내륜에 삽입하고 있다. 또한, 베어링(35)의 좌우에는 내륜보다 외형이 약간 작은 칼라(41)가 샤프트(39)에 삽입되어 있고, 이 칼라(41)와 지지 블록(38a, 38b)이 접촉해서 고정됨으로써 차륜(34)은 원활하게 회전할 수 있는 구조로 되어 있다. 지지 블록(38a, 38b)의 베어링(35)에 대면하는 측에는 낮은 원기둥 형상의 돌기가 형성되어 있고, 이 낮은 원기둥 형상의 돌기 부분에 밀착 상태로 밀봉 패킹(36)이 각각 고정되어 있다. 밀봉 패킹(36)의 립 부분 선단은 전체 둘레에 걸쳐서 차륜(34)에 접촉하고 있고, 이 구성에 의해 베어링(35)이 배치되어 있는 주변은 밀폐된 공간이 형성되어 외부 분위기로부터 격리된 공간으로 되어 있다.

지지 블록(38a, 38b)은 상면이 캐스터 블록(42)에 고정되어 있다. 캐스터 블록(42)은 지지 블록(38a, 38b)을 고정할 수 있는 사각형의 형상을 하고 있고, 상방에는 낮은 원기둥 형상의 돌기가 형성되어 있고, 이 낮은 원기둥 형상의 돌기 부분에 밀착 상태로 밀봉 패킹(37)이 고정되어 있다. 또한, 이 낮은 원기둥 형상의 돌기 부분에는 베어링(33)의 외륜의 직경과 거의 동일한 원형의 오목부가 형성되어 있고, 이 오목부 부분에 베어링(33)이 전체 높이의 절반 정도가 잠기도록 삽입되어 있다. 베어링(33)의 내륜은 베이스 블록(43)의 저면 중앙 부근에 형성된 원기둥 형상의 돌기 부분에 삽입되어 있다. 베이스 블록(43)은 상면을 시료 플레이트(19)에 고정하고 있고, 저면은 중앙 부근에 원기둥 형상의 돌기 부분이 형성되어 있고, 이 돌기 부분은 베어링(33)의 내륜이 밀착 상태로 삽입될 수 있을 정도의 직경을 갖고 있고, 베어링(33)보다 약간 낮은 높이를 갖고 있다. 또한, 이 원기둥 형상의 돌기의 밑둥 부분은 원기둥 형상 돌기의 직경보다 약간 큰 직경의 칼라 형상의 미소한 돌기를 형성하고 있고, 베어링(33)을 삽입했을 경우 이 미소한 돌기에 내륜이 접촉하게 되어 외륜은 자유롭게 회전할 수 있다.

베이스 블록(43)의 베어링(33)보다 외주측에는 베어링(33)을 둘러싸도록 제방이 형성되어 있다. 이 제방 부분에 상술한 밀봉 패킹(37)의 립 부분이 전체 둘레에 걸쳐서 접촉하고 있고, 이 구성에 의해 베어링(33)이 배치되어 있는 주변은 밀폐된 공간이 형성되어 외부 분위기로부터 격리된 공간으로 되어 있다. 상기 설명한 구성에 의해, 차륜(34)은 베어링(35)을 통해서 지지 블록(38a, 38b)에 회전 가능하게 지지되고, 그 지지 블록(38a, 38b)은 캐스터 블록(42)과 함께 일체적으로 베이스 블록(43)에 베어링(33)을 통해서 회전 가능하게 유지되게 되고, 자재식 캐스터(32)와 시료 테이블(40)은 수평면 내의 모든 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 본 실시예의 자재식 캐스터(32)는 차륜(34)의 회전 중심축과 캐스터 블록(42)의 회전 중심축이 오프셋한 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 차륜(34)은 항상 진행 방향을 향한 회전 동작이 가능해지고, 마찰이 적은 원활한 회전 운동을 행할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 베어링(33, 35)을 외부 분위기로부터 보호하는 밀봉 패킹(36, 37)을 구비하는 것으로 하고 있지만, 베어링(33, 35)을 앞의 실시예와 마찬가지로 세라믹제 또는 수지제로 함으로써 밀봉 패킹(36, 37)을 구비하지 않는 것으로 하는 것도 충분히 가능하다.

이어서, 자재식 캐스터(32)를 구비한 시료 플레이트(19)에 대해서, 도 7을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 7A는 본 예의 시료 플레이트(19)를 하방으로부터 본 도면이며, 도 7B는 정면도이다. 본 실시예에서는 자재식 캐스터(32)를 원형의 시료 플레이트(19)의 중심 위치를 중심으로 한 동심원 상에 4개, 등배 위치에 구비한 것으로 되어 있지만, 3개 이상이면 그 수에 한정은 없다. 또한, 모든 자재식 캐스터(32)는 시료 플레이트(19)의 중심 위치로부터 같은 거리에 배치될 필요는 없고, 위치를 어긋나게 해서 배치함으로써 차륜(34)의 궤적을 하나로 하지 않음으로써 항온실 바닥면(5a)의 마찰에 의한 영향을 분산시킬 수 있다.

자재식 캐스터(32)가 배치된 내측에는 종동 마그넷(6)을 고정한 마그넷 플레이트(21)가 고정 블록(44)을 통해서 시료 플레이트(19)에 대하여 동심원 형상으로 부착되어 있다. 고정 블록(44)은 종동 마그넷(6)이 항온실 바닥면(5a)으로부터 수 밀리 정도 이간한 위치가 되는 높이 치수를 갖는 부재이며, 본 실시예에서는 4개 배치되어 있다. 또한, 제 1 실시예와 마찬가지로 회전 위치를 검출하는 홀 센서(26)의 목적물로서의 마그넷(27)을 시료 플레이트(19)에 구비하고 있다.

이 구성에 의해, 본 예의 시료 테이블(40)을 항온실 바닥면(5a)의 소정의 위치에 배치함으로써 종동 마그넷(6)이 항온실(5) 외부의 종동 마그넷(6)에 대응하는 위치에 배치된 복수의 구동 마그넷(7)과 자기 결합하게 되고, 구동원(8)으로부터 구동 마그넷(7)에 부여된 회전력이 종동 마그넷(6)에 전달되어 마그넷 플레이트(21), 및 시료 플레이트(19)가 일체적으로 회전하는 것이 가능해진다. 또한, 도 7A에서는 화살표로 나타낸 방향이 시료 플레이트(19)의 회전 방향이라고 했을 경우, 자재식 캐스터(32)가 구비하는 차륜(34)의 회전축은 자재식 캐스터(32)의 수평면 내에서의 선회축에 대하여 후방에 위치하게 된다. 이렇게 함으로써, 시료 플레이트(19)의 안정된 회전 동작이 가능하게 되어 있다.

본 예의 시료 테이블(40)에 있어서도 제 1 실시예와 마찬가지로, 시료 테이블(40)을 구성하는 부재는 과산화수소 분위기나 고습도 분위기에 견딜 수 있는 소재를 사용하는 것이 바람직하고, 또한 알루미늄이나 철과 같은 금속을 사용할 경우에는 표면에 상기 분위기에 견딜 수 있는 표면 처리를 실시하는 것이 필요해진다. 또한, 베이스 블록(43)에 대해서는 밀봉 패킹(37)의 립 부분이 접촉한 채 회전 동작하기 때문에, 마찰 저항이 적은 불소에 의한 표면 코팅 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 립 부분이 전체 둘레에 걸쳐서 베이스 블록(43)에 접촉할 수 있도록 립 부분에 접촉하는 면은 평탄한 것이 필요하다.

또한, 밀봉 패킹(36)의 립 부분이 전체 둘레에 걸쳐서 접촉하는 차륜(35)의 소재에 대해서는 시료 테이블(40)의 전체 하중을 지지하고, 또한 항온실 바닥면(5a)에 접촉해서 원주 궤도를 회전 동작하면서 이동하고 있기 때문에, 고강도이며 마찰 저항이 적은 소재일 필요가 있다. 또한, 상술한 바와 같이 과산화수소 분위기나 고습도 분위기에 견딜 수 있을 필요가 있다. 상기 이유로부터, 차륜(35)의 소재는 폴리이미드 수지(PI)나 PEEK재, PPS재와 같은 엔지니어링 플라스틱재가 바람직하다. 또한, 이러한 엔지니어링 플라스틱재는 내열성이 높은 것이 많고, 과산화수소 멸균 이외의 멸균 방법, 예를 들면 건열 멸균과 같은 멸균 방법에도 적용하는 것이 가능해진다.

1 : 항온 장치 2 : 용기
3 : 시료 선반 4 : 시료 테이블(선행 기술)
5 : 항온실 5a : 항온실 바닥면
6 : 종동 마그넷 7 : 구동 마그넷
8 : 구동원 9 : 볼 캐스터
10 : 시료 테이블(제 1 실시예) 11 : 승강 수단
12 : 반송 로봇 13 : 베이스 플레이트
14 : 고정 브래킷 15: 지지 블록
16 : 패드 17 : 베어링
18 : 회전 샤프트 19 : 시료 플레이트
20 : 핀 21 : 마그넷 플레이트
22 : 밀봉 패킹 23 : 밀봉 플레이트
24 : 립 25 : 공간
26 : 홀 센서 27 : 마그넷
28 : 브래킷 29 : 나사
30 : 캡 너트 31 : 밀봉 구조를 구비한 와셔
32 : 자재식 캐스터 33 : 베어링
34 : 차륜 35 : 베어링
36 : 밀봉 패킹 37 : 밀봉 패킹
38a : 지지 블록 38b : 지지 블록
39 : 샤프트 40 : 시료 테이블(제 3 실시예)
41 : 칼라 42 : 캐스터 블록
43 : 베이스 블록 44 : 고정 블록
45 : 청정 공기 도입 구멍 46 : 튜브
47 : 배기 구멍 48 : 역지 밸브

Claims (10)

1. 주위가 벽으로 둘러싸인 폐공간을 내부에 갖고, 상기 폐공간을 둘러싸는 벽으로 이루어지는 항온실과,
   상기 벽 중 저부 부분의 바닥면 하측으로부터, 연직축 방향의 회전 중심을 갖는 회전자계를 상기 폐공간에 상기 바닥면을 통해서 부여하는 회전자계 발생 수단과,
   상기 항온실의 폐공간 내에 착탈 가능하게 배치된 베이스 플레이트를 갖고,
   상기 베이스 플레이트는,
   상기 연직축 방향의 회전 중심에 일치한 위치에 회전 샤프트의 중심을 갖는 베어링을 구비하고,
   상기 베어링의 상측의 상기 회전 샤프트에는 시료를 수용한 용기를 수납하는 시료 선반을 탑재하는 시료 플레이트가 연결되고,
   상기 베어링의 하측의 상기 회전 샤프트에는 복수의 종동 마그넷을 구비한 마그넷 플레이트가 연결되고, 상기 종동 마그넷은 상기 항온실의 벽면을 투과한 회전자계와 자기 결합하여 상기 회전자계에 따라서 상기 회전 샤프트를 회전시키는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 회전자계 발생 수단은 상기 회전 중심으로 회전하는 하우징 유닛과, 상기 하우징 유닛에 상호의 배치 위치가 규정된 상태로 실장된 복수의 구동 마그넷을 갖는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   립을 갖는 링 형상 밀봉 패킹이 상기 베어링의 상하에 각각 구비되고, 상기 베이스 플레이트와 상기 시료 플레이트 사이, 및 종동 마그넷을 마그넷 플레이트와의 사이에 있어서 상기 베어링을 상기 폐공간의 분위기로부터 격리하는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 링 형상 밀봉 패킹의 소재는 불소 고무인 것을 특징으로 하는 항온 장치.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 베이스 플레이트는 상기 링 형상 밀봉 패킹의 상기 립이 접촉하는 위치에, 상기 립이 접촉하는 표면이 평활하게 처리된 밀봉 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
6. 제 3 항에 있어서,
   상기 베이스 플레이트는 상기 항온실 바닥면과 접촉하는 부분에 내열 수지제의 패드를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 베이스 플레이트는 상기 항온실 바닥면에 브래킷을 통해서 나사 고정되는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
8. 제 3 항에 있어서,
   상기 베이스 플레이트에는,
   상기 폐공간의 외부와 상기 링 형상 밀봉 패킹에 의해 격리된 중심축 주위의 공간이 연통 가능한 유로가 형성되고,
   상기 중심축 주위의 공간에는 기체가 상기 폐공간의 외부로부터 도입되는 것을 특징으로 하는 항온 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 중심축 주위의 공간에 도입되는 상기 기체는 청정 공기인 것을 특징으로 하는 항온 장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 중심축 주위의 공간에 도입되는 상기 기체는 질소 가스인 것을 특징으로 하는 항온 장치.

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