KR20140019965A - 열처리장치용 공정가스배출부재 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 열처리장치용 공정가스 배출부재는 열처리장치 내에서 열처리 대상에 공정가스를 배출하기 위한 공정가스 배출부재로서, 판상으로 형성되되 공정가스 유입포트가 형성된 베이스부재와, 판상으로 형성되어 상기 베이스부재를 대면하여 배치되되 일면에 공정가스유로가 형성되며, 타면에 제 1 공정가스배출개구가 형성되는 유로형성부재와, 판상으로 형성되어 상기 유로형성부재를 대면하여 배치되되, 상기 제 1 공정가스배출개구로부터의 공정가스를 배출하기 위한 배출부재를 포함하며, 상기 공정가스유로는 상기 유로형성부재의 수평방향 중간부분으로부터 양측으로 형성되되, 공정가스를 수평방향으로 유동시키기 위한 진행부와 상기 진행부의 단부에서 공정가스를 양측으로 분할하여 진행시키기 위한 분할부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 전체 유리기판의 면적에 대해 고루 공정가스를 공급할 수 있다.
또한, 공정가스의 유동 시 유로 내의 유동저항을 최소화할 수 있다.

Description

열처리장치용 공정가스배출부재{PROCESS GAS EJECTING MEMBER FOR HEAT TREATMENT APPARATUS}

본 발명은 열처리장치용 공정가스배출부재에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 유리기판에 대한 열처리장치 내에서 유리기판의 전체 면적에 대해 균일하게 공정가스를 공급할 수 있도록 구성되는 열처리장치용 공정가스배출부재에 관한 발명이다.

일반적으로 열처리장치는, 고속열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Chemical Vap. or Deposition)등의 열처리를 위한 장비이다.

유리기판의 열처리 공정 중 하나인 어닐링 공정은 유리기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화시키는 공정이다.

상기 열처리 공정을 위한 장치는, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 유리기판을 향해 복사열을 조사하는 다수의 히터를 포함한다.

이러한 열처리장치는 유리기판의 승온 및 감온이 되도록 짧은 시간에 넓은 온도범위에서 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하며, 유리기판의 각 부분에서의 고른 가열과 정밀한 온도제어가 매우 중요한 문제가 된다.

상기와 같은 유리기판의 승온 및 감온과 정밀한 온도제어에 앞서 필수적으로 선행되어야 하는 것은 바로 유리기판의 전체 면적에 대해 공정가스를 고루 공급할 수 있는 공정가스공급부재의 설계이다.

본 발명의 목적은, 전체 유리기판의 면적에 대해 고루 공정가스를 공급할 수 있도록 구성되는 열처리장치용 공정가스공급부재를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 공정가스의 유동 시 유로 내의 유동저항을 최소화할 수 있도록 구성되는 열처리장치용 공정가스공급부재를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 열처리장치용 공정가스 배출부재는 열처리장치 내에서 열처리 대상에 공정가스를 배출하기 위한 공정가스 배출부재로서, 판상으로 형성되되 공정가스 유입포트가 형성된 베이스부재와, 판상으로 형성되어 상기 베이스부재를 대면하여 배치되되 일면에 공정가스유로가 형성되며, 타면에 제 1 공정가스배출개구가 형성되는 유로형성부재와, 판상으로 형성되어 상기 유로형성부재를 대면하여 배치되되, 상기 제 1 공정가스배출개구로부터의 공정가스를 배출하기 위한 배출부재를 포함하며, 상기 공정가스유로는 상기 유로형성부재의 수평방향 중간부분으로부터 양측으로 형성되되, 공정가스를 수평방향으로 유동시키기 위한 진행부와 상기 진행부의 단부에서 공정가스를 양측으로 분할하여 진행시키기 위한 분할부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 분할부는 공정가스를 우측과 좌측의 수평방향으로 분할하여 유동시키도록 구성된다.

여기서, 상기 공정가스유로는 상기 유로형성부재에서 수직방향 상부와 하부에 한쌍으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 한쌍으로 형성되는 공정가스유로는 유로형성부재의 수직방향 상부와 하부로부터 시작하여 상기 유로형성부재의 중간부분을 향하여 복수 개의 상기 진행부와 분할부를 포함하여 형성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 유로형성부재의 수직방향 상부와 하부로부터 유로형성부재의 중간부분을 향할수록 상기 진행부의 폭이 점차 감소한다.

또한, 상기 유로형성부재의 중간부분에 배치되는 최종적인 진행부의 양단에는 공정가스의 배출을 위한 유로배출개구가 형성될 수 있다.

여기서, 상기 유로배출개구는 상기 유로형성부재의 중간부분을 따라 일렬로 형성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 베이스부재와 유로형성부재 사이에는 실링부재가 배치된다.

본 발명에 의해, 전체 유리기판의 면적에 대해 고루 공정가스를 공급할 수 있다.

또한, 공정가스의 유동 시 유로 내의 유동저항을 최소화할 수 있다.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 유리기판의 열처리장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 열처리장치의 도어부재 및 본 발명에 따른 공정가스배출부재의 사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 공정가스배출부재의 분해사시도이며,
도 4 는 상기 공정가스배출부재에 포함되는 유로형성부재의 사시도이며,
도 5 는 상기 유로형성부재의 이면사시도이며,
도 6 은 상기 공정가스배출부재의 사시도이며,
도 7 은 상기 공정가스배출부재의 단면사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1 은 유리기판의 열처리장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 열처리장치의 도어부재 및 본 발명에 따른 공정가스배출부재의 사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 공정가스배출부재의 분해사시도이며, 도 4 는 상기 공정가스배출부재에 포함되는 유로형성부재의 사시도이며, 도 5 는 상기 유로형성부재의 이면사시도이며, 도 6 은 상기 공정가스배출부재의 사시도이며, 도 7 은 상기 공정가스배출부재의 단면사시도이다.

도 1 내지 7 을 참조하면, 본 발명에 따른 열처리장치(200)용 공정가스 배출부재(100)는 열처리장치(200) 내에서 열처리 대상에 공정가스를 배출하기 위한 공정가스 배출부재(100)로서, 판상으로 형성되되 공정가스 유입포트(12)가 형성된 베이스부재(10)와, 판상으로 형성되어 상기 베이스부재(10)를 대면하여 배치되되 일면에 공정가스유로(22)가 형성되며, 타면에 제 1 공정가스배출개구(26)가 형성되는 유로형성부재(20)와, 판상으로 형성되어 상기 유로형성부재(20)를 대면하여 배치되되, 상기 제 1 공정가스배출개구(26)로부터의 공정가스를 배출하기 위한 배출부재(30)를 포함하며, 상기 공정가스유로(22)는 상기 유로형성부재(20)의 수평방향 중간으로부터 양측으로 형성되되, 공정가스를 수평방향으로 유동시키기 위한 진행부(24)와 상기 진행부(24)의 단부에서 공정가스를 양측으로 분할하여 진행시키기 위한 분할부(28)를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 열처리장치(200)는 내부에 유리기판을 지지하기 위한 지지부재(220)와 그 위에 배치되는 유리기판(미도시)을 수용하며, 내부에 수용된 유리기판을 가열하면서 각종의 공정가스를 공급하도록 구성된다.

본 발명에 따른 열처리장치용 공정가스배출부재(100)는 상기 열처리장치(200)의 개폐부재(210)에 설치되어, 상기 지지부재(220) 위에 배치되는 유리기판으로 공정가스를 공급하도록 구성된다.

상기 베이스부재(10)는 본 발명의 열처리장치용 공정가스배출부재(100)의 베이스가 되는 부분으로서, 상기 베이스부재(10)의 이면에는 외부로부터 공급되는 공정가스를 상기 공정가스유로(22)부분으로 이송시키기 위한 공정가스 유입포트(12)가 형성된다.

상기 유로형성부재(20)에서 상기 베이스부재(10)를 대면하는 면에는 공정가스의 이송을 위한 공정가스유로(22)가 형성된다.

상기 공정가스유로(22)는 상기 유로형성부재(20)의 수평방향 중간부분으로부터 양측으로 형성되되, 공정가스를 수평방향으로 유동시키기 위한 진행부(24-1, 24-2, 24-3, 24-4, 24-5)와 상기 진행부(24-1, 24-2, 24-3, 24-4, 24-5)의 단부에서 공정가스를 양측으로 분할하여 진행시키기 위한 분할부(28)를 포함하여 형성된다.

여기서, 상기 수평방향 "중간부분"이라 함은 상기 유로형성부재(20)의 정확히 중앙을 의미하는 것이 아니라, 상기 유로형성부재(20)의 중간 부근에서 수평방향으로 양쪽을 향해 상기 진행부(24-2, 24-3, 24-4, 24-5)가 형성됨을 의미한다.

따라서, 상기 공정가스 유입포트(12)로 유입된 공정가스는 상기 유로형성부재의 도입부(21)로 도입되어 상하방향으로 분기되는 분기부(25)를 통해 상기 유로형성부재(20)의 상하방향으로 분기 진행된다.

이후, 첫번째 진행부(24-1)를 통해 상기 유로형성부재(20)의 중간부분으로 공정가스가 진행되도록 하고, 상기 중간부분에 형성된 첫번째 분할부(28-1)에서 양측으로 나뉘어 두번째 진행부(24-2)로 진행된다.

상기 두번째 진행부(24-2)를 따라 진행된 공정가스는 이후 두번째 분할부(28-2)에서 양측으로 나뉘어 세번째 진행부(24-3)으로 진행된다.

즉, 상기 공정가스유로(22)는 진행부(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)의 단부에 형성되는 분할부(28-1, 28-2, 28-3, 28-4)에서 수평방향 양측으로 새로운 진행부(24)가 형성되도록 하고, 마지막 최종적인 진행부(24-5)의 양단부에는 유로배출개구(26)가 형성되도록 구성되었다.

상기와 같은 방식으로 공정가스유로(22)를 상기 유로형성부재(20)의 상부와 하부에 대칭적으로 형성하되, 상부와 하부의 상기 첫번째 분할부(28-1)를 상기 유로배출개구(26)의 폭만큼 서로 엇갈리게 배치하면 상기 유로배출개구(26)들은 최종적으로 상기 유로형성부재(20)의 수직방향 중간부분을 따라 연속적으로 형성될 수 있다.

여기서, 상기 유로형성부재(20)의 상부 첫번째 분할부(28-1)로부터 하부로 향할수록 진행부(24-1 내지 24-5)의 폭은 점차 감소한다.

즉, 가장 상부에 배치되는 첫번째 진행부(24-1)의 폭이 가장 넓고, 그 바로 아래의 두번째 진행부(24-2)는 첫번째 진행부(24-1)의 폭보다 좁으며, 그 바로 아래의 세번째 진행부(24-2)는 상기 두번째 진행부(24-2)의 폭보다 좁게 형성된다.

상기와 같은 진행부의 폭은 상기 유로형성부재(20)의 하부에 배치되는 공정가스유로에 대해서도 동일하게 수직방향 중간 부분을 향할 수록 폭이 점차적으로 좁아지도록 형성된다.

상기와 같이 진행부(24-1 내지 24-4)의 단부에서 분할부(28-1 내지 28-4)가 공정가스를 양측으로 분기되도록 하고, 진행부(24-1 내지 24-5)를 따라 진행될 수록 진행부(24-1 내지 24-5)의 폭이 점차적으로 좁아지도록 구성함으로써, 전체 유로형성부재(20)의 수평방향 폭에 대해 균일하게 공정가스가 공급될 수 있다.

즉, 상기와 같이 공정가스유로(22)가 진행부의 끝에서 분할부에 의해 좌우 대칭적으로 분기되고, 상기 유로형성부재(20)의 상부와 하부에 한쌍으로 형성됨으로 인해, 결과적으로 공정가스유로(22)가 상하 및 좌우 대칭적으로 형성됨으로써, 공정가스의 유동 저항이 불균형적으로 형성되지 않으므로, 최종적으로 상기 유로형성부재(20)의 수직방향 중간부분에 형성된 상기 유로배출개구(26)들을 통해 균일한 양의 공정가스가 공급될 수 있다.

따라서, 유리기판의 전체 면적에 대해 고루 공정가스를 공급할 수 있다.

한편, 상기 유로형성부재(20)의 이면에는 세로 방향으로 길게 형성되는 제 1 공정가스배출개구(27)가 형성된다.

따라서, 상기 유로배출개구(26)를 통해 배출되는 공정가스는 상기 제 1 공정가스배출개구(27)로 전달되고, 이후 상기 배출부재(30)에 형성된 제 2 공정가스배출개구(32)를 통해 열처리장치(200) 내부로 공급된다.

여기서, 상기 베이스부재(10)와 유로형성부재(20) 사이에는 실링부재(40)가 배치되어, 상기 제 1 공정가스배출개구(27) 및 제 2 공정가스배출개구(32)로 공정가스가 집중적으로 배출되도록 구성된다.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.

10: 베이스부재 20: 유로형성부재
30: 배출부재 40: 실링부재
100: 공정가스배출부재

Claims (8)

1. 열처리장치 내에서 열처리 대상에 공정가스를 배출하기 위한 공정가스 배출부재로서,
   판상으로 형성되되 공정가스 유입포트가 형성된 베이스부재와;
   판상으로 형성되어 상기 베이스부재를 대면하여 배치되되 일면에 공정가스유로가 형성되며, 타면에 제 1 공정가스배출개구가 형성되는 유로형성부재와;
   판상으로 형성되어 상기 유로형성부재를 대면하여 배치되되, 상기 제 1 공정가스배출개구로부터의 공정가스를 배출하기 위한 배출부재를 포함하며,
   상기 공정가스유로는 상기 유로형성부재의 수평방향 중간부분으로부터 양측으로 형성되되, 공정가스를 수평방향으로 유동시키기 위한 진행부와 상기 진행부의 단부에서 공정가스를 양측으로 분할하여 진행시키기 위한 분할부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 분할부는 공정가스를 우측과 좌측의 수평방향으로 분할하여 유동시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 공정가스유로는 상기 유로형성부재에서 수직방향 상부와 하부에 한쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 한쌍으로 형성되는 공정가스유로는 유로형성부재의 수직방향 상부와 하부로부터 시작하여 상기 유로형성부재의 중간부분을 향하여 형성되는 복수 개의 상기 진행부와 분할부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 유로형성부재의 수직방향 상부와 하부로부터 유로형성부재의 중간부분을 향할수록 상기 진행부의 폭이 점차 감소하는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 유로형성부재의 수직방향 중간부분에 배치되는 최종적인 진행부의 양단에는 공정가스의 배출을 위한 유로배출개구가 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 유로배출개구는 상기 유로형성부재의 중간부분을 따라 일렬로 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 베이스부재와 유로형성부재 사이에는 실링부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 공정가스 배출부재.
   
   
   
   

Images