KR20140000392A - 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로 배기관 연결부재는 반도체 제조용 가열로의 배기관에 연결되는 가열로배기관연결부와, 상기 가열로배기관연결부와 대면하는 외부배기관연결부와, 상기 가열로배기관연결부와 외부배기관연결부 사이에 배치되며 탄력성 재질로 구성되는 연결부완충부와, 상기 외부배기관연결부에 결합되는 배기관연결커플링부를 포함한다.
본 발명에 의해, 반도체 제조용 가열로의 배기관에 가해지는 충격력을 완화할 수 있다.
또한, 배기관 연결부재의 파손 시 용이하게 교체할 수 있다.
본 발명에 의해, 반도체 제조용 가열로의 배기관에 가해지는 충격력을 완화할 수 있다.
또한, 배기관 연결부재의 파손 시 용이하게 교체할 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 취성이 높은 반도체 제조용 가열로의 배기관과 외부관의 연결부위에 완충부가 배치되도록 구성되는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재에 관한 발명이다.
최근 컴퓨터와 같은 정보 매체의 급속한 보급에 따라 반도체 소자 역시 비약적으로 발전하고 있다.
이러한 반도체 소자의 고집적화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.
일반적으로 반도체 제조용 가열로는 반도체 제조 공정에 있어 확산공정, 화학기상증착(LPCVD)공정과 같은 열공정에 이용되는 장치로서, 이와 같은 공정들은 가열로에 조성되는 온도 의존도가 매우 높은 공정들이다.
예를 들어, 확산공정에 있어 표면 농도를 저하시키고 접합 깊이(Junction Depth)를 깊게 하기 위해서는, 표면의 불순물을 제거하고 일정 고온에서 가열공정이 진행되어야 하는 바, 상기 확산공정에 있어 온도제어는 매우 중요한 문제이다.
또한, 상기 화학기상증착 공정에 있어서의 온도제어 역시 막의 형성과 그 품질을 결정하는 중요한 요인이 된다.
상기와 같은 열공정을 수행하기 위해서는 가열로가 이용되며, 가열로는 배치 형태에 따라 수직형과 수평형이 있다.
통상적으로 가열로의 구성은 가열로의 외벽을 구성하는 히터블럭과 본 히터블럭의 내부에 배치되는 공정튜브를 포함하며, 웨이퍼를 적재한 보트가 상기 공정튜브 내에 배치된다.
상기 공정튜브에는 공정을 수행하기 위한 반응가스가 공급되는 가스 공급관과 반응 후의 가스가 배출되는 가스 배기관이 설치되며, 상기 히터블럭에는 다수의 온도 감지센서(Spike T/C)가 설치된다.
상기 온도감지센서는 히터의 가열온도를 측정하여 공정 상 요구되는 소정 온도로 가열되고 있는지의 여부를 판단할 수 있도록 한다.
통상, 상기 가스 배기관은 고온에도 견딜 수 있어야 하는 재질 상의 요구로 취성이 강한 쿼츠 재질로 구성된다.
그런데, 쿼츠 재질로 형성되는 배기관은 재료의 특성 및 가공의 어려움으로 인해 고가이며, 또한 외부로부터의 충격력 작용 시 용이하게 파손되는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 제조용 가열로의 배기관에 가해지는 충격력을 완화하여 파손을 방지할 수 있도록 구성되는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 배기관 연결부재의 파손 시 용이하게 교체가능하도록 구성되는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로 배기관 연결부재는 반도체 제조용 가열로의 배기관에 연결되는 가열로배기관연결부와, 상기 가열로배기관연결부와 대면하는 외부배기관연결부와, 상기 가열로배기관연결부와 외부배기관연결부 사이에 배치되며 탄력성 재질로 구성되는 연결부완충부와, 상기 외부배기관연결부에 결합되는 배기관연결커플링부를 포함한다.
바람직하게는, 상기 가열로배기관연결부에는 가열로배기관실링부가 포함된다.
또한, 상기 가열로배기관연결부에는 가열로배기관완충부가 포함될 수 있다.
한편, 상기 배기관연결커플링부에는 커플링실링부가 포함될 수 있다.
바람직하게는, 상기 연결부완충부는 금속벨로우즈이다.
또한, 상기 외부배기관연결부에는 "ㄴ" 형상의 연장지지부가 형성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 가열로배기관완충부는 테프론 재질이다.
본 발명에 의해, 반도체 제조용 가열로의 배기관에 가해지는 충격력을 완화하여 파손을 방지할 수 있다.
또한, 배기관 연결부재의 파손 시 용이하게 교체할 수 있다.
첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재를 포함하는 반도체 제조용 가열로의 측단면도이며,
도 2 는 상기 반도체 제조용 가열로의 부분 단면도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재의 단면사시도이다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재를 포함하는 반도체 제조용 가열로의 측단면도이며,
도 2 는 상기 반도체 제조용 가열로의 부분 단면도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재의 단면사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재를 포함하는 반도체 제조용 가열로의 측단면도이며, 도 2 는 상기 반도체 제조용 가열로의 부분 단면도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재의 단면사시도이다.
도 1 내지 3 을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로 배기관 연결부재는 반도체 제조용 가열로의 배기관(130)에 연결되는 가열로배기관연결부(10)와, 상기 가열로배기관연결부(10)와 대면하는 외부배기관연결부(20)와, 상기 가열로배기관연결부(10)와 외부배기관연결부(20) 사이에 배치되며 탄력성 재질로 구성되는 연결부완충부(30)와, 상기 외부배기관연결부(20)에 결합되는 배기관연결커플링부(40)를 포함한다.
통상 반도체 제조용 가열로는 가열로의 외벽을 구성하는 히터블럭(110)을 포함하며, 상기 히터블럭(110)의 내면에는 가열을 위한 히터가 코일 형태로 배치된다.
또한, 상기 히터블럭(110)의 외면에는 상기 가열로의 내부 온도를 감지하기 위한 다수의 온도감지센서 및 상기 히터에 전원 공급을 위한 전원공급부가 설치된다.
상기 히터블럭(110)의 내부에는 웨이퍼에 대한 열공정 수행을 위한 공정튜브(120)가 배치되며, 상기 공정튜브(120) 내에는 웨이퍼를 적재한 보트가 배치된다.
상기 온도감지센서는 가열로 내부의 온도를 측정하여 공정 상 요구되는 소정의 온도로 가열되고 있는지의 여부를 판단한다.
또한, 상기 히터블럭(110)의 일측에는 상기 히터블럭의 내부로 공기 등의 기체를 신속히 공급하기 위한 블로우어(Blower)가 설치된다.
상기 공정튜브(120)의 상부에는 공정튜브 내부의 기체를 외부로 배출하기 위한 배기관(130)이 설치된다.
상기 공정튜브(120) 및 배기관(130)은 고온에서도 견딜 수 있는 석영 재질로 구성된다.
본 발명에 따른 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재는 상기 배기관(130)의 단부와 외부 배기관(미도시)을 연결하기 위한 연결부재에 관한 발명으로서, 상기 배기관(130) 또는 외부 배기관에 충격력이 작용되는 경우에도 이를 흡수하여 상기 배기관(130)의 파손을 방지할 수 있도록 구성된다.
상기 가열로배기관연결부(10)는 상기 배기관(130)의 단부에 볼트와 너트 등을 이용하여 결합되는 부분으로서, 상기 가열로배기관연결부(10)에는 가열로배기관실링부(12) 및 가열로배기관완충부가(14)가 설치된다.
상기 가열로배기관실링부(12)는 환형의 고무 또는 이외의 합성수지재로 구성되어, 상기 가열로배기관연결부(10)와 상기 배기관(130)간의 밀착력을 높여 공정가스가 외부로 누출되는 것을 방지하면서 동시에 상기 가열로배기관연결부(10)에 작용되는 충격력을 어느 정도 흡수할 수 있도록 설치된다.
또한, 상기 가열로배기관완충부(14)는 테프론 재질 등으로 구성되어 상기 가열로배기관연결부(10)와 상기 배기관(130) 단부 사이에 설치됨으로써, 상기 가열로배기관연결부(10)에 가해지는 충격력을 흡수하도록 구성된다.
상기 가열로배기관연결부(10)의 맞은편에는 배기관연결커플링부(40)를 통해 외부 배기관과 연결되는 외부배기관연결부(20)가 구성된다.
상기 외부 배기관(미도시)은 상기 반도체 제조용 가열로 내부의 가스를 외부로 배출하기 위한 배기관으로서, 상기 가열로 내에 설치되는 배기관(130)과는 달리 금속관으로 구성된다.
여기서, 상기 배기관연결커플링부(40)에는 커플링실링부(42)가 배치되어, 상기 외부 배기관과 외부배기관연결부(20) 간의 기밀설을 높임과 함께 상기 외부 배기관으로부터 전해지는 충격력을 어느 정도 흡수하도록 구성된다.
상기 가열로배기관연결부(10)와 외부배기관연결부(20) 사이에는 금속벨로우즈로 구성되는 연결부완충부(30)가 형성된다.
상기와 같이 연결부완충부(30)가 벨로우즈로 구성됨으로써, 외부로부터 전해지는 충격력을 흡수할 수 있을 뿐만 아니라, 외부 배기관 등으로부터 굽힘력이 전달될 경우에도 이러한 굽힘력이 취성이 강한 상기 배기관(130)의 단부에 전달되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 외부배기관연결부(20)에는 "ㄴ" 형상의 연장지지부(42)가 형성되어, 고정용플렌지(50)에 연결되거나 결합될 수 있다.
그리하여, 본 발명에 따른 배기관 연결부재의 자중 및 외부 배기관의 무게를 지지하도록 구성된다.
상기와 같은 본원 발명의 구성에 의해, 외부배기관에 충격력이 작용되거나 굽힘력이 작용되는 경우에도 이러한 힘이 상기 배기관(130)의 단부에 직접 전달되는 것을 방지함으로써, 취성이며 고가인 쿼츠 재질의 상기 배기관(130)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
10: 가열로배기관연결부 20: 외부배기관연결부
30: 연결부완충부 40: 배기관연결커플링부
50: 고정용플렌지
30: 연결부완충부 40: 배기관연결커플링부
50: 고정용플렌지
Claims (7)
- 반도체 제조용 가열로의 배기관에 연결되는 연결부재로서,
반도체 제조용 가열로의 배기관에 연결되는 가열로배기관연결부와;
상기 가열로배기관연결부와 대면하는 외부배기관연결부와;
상기 가열로배기관연결부와 외부배기관연결부 사이에 배치되며 탄력성 재질로 구성되는 연결부완충부와;
상기 외부배기관연결부에 결합되는 배기관연결커플링부를 포함하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 1 항에 있어서,
상기 가열로배기관연결부에는 가열로배기관실링부가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 2 항에 있어서,
상기 가열로배기관연결부에는 가열로배기관완충부가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 3 항에 있어서,
상기 배기관연결커플링부에는 커플링실링부가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 4 항에 있어서,
상기 연결부완충부는 금속벨로우즈인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 5 항에 있어서,
상기 외부배기관연결부에는 "ㄴ" 형상의 연장지지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재. - 제 6 항에 있어서,
상기 가열로배기관완충부는 테프론 재질인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재.
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| KR1020120067222A KR101390379B1 (ko) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 반도체 제조용 가열로의 배기관 연결부재 |
Publications (2)
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| KR20070031675A (ko) * | 2005-09-15 | 2007-03-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 배관연결장치 |
| KR20080023940A (ko) * | 2006-09-12 | 2008-03-17 | 삼성전자주식회사 | 가스배관 및 이를 구비한 반도체 제조설비 |
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| KR101390379B1 (ko) | 2014-04-30 |
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