KR20130137526A - Exposure apparatus and exposure method - Google Patents

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KR20130137526A
KR20130137526A KR1020130046331A KR20130046331A KR20130137526A KR 20130137526 A KR20130137526 A KR 20130137526A KR 1020130046331 A KR1020130046331 A KR 1020130046331A KR 20130046331 A KR20130046331 A KR 20130046331A KR 20130137526 A KR20130137526 A KR 20130137526A
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KR
South Korea
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exposure
polarization
mask
unit
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KR1020130046331A
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타츠야 사토
카즈히로 우라
코지 이마요시
료스케 야스이
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가부시키가이샤 아리사와 세이사쿠쇼
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Abstract

In exposed areas, since a returned film is heated slowly, a temperature difference between the top and bottom of the film occurs, thereby, wrinkles are formed in the film and light is not emitted at a desired angle to the surface of the film. The exposure apparatus includes a return unit which returns a rectangular film, an exposure unit which exposes the film returned by the return unit using a mask, and a cooling unit which cools the film exposed by the exposure unit by air cooling or liquid cooling. [Reference numerals] (AA) Up;(BB) Down stream;(CC) Up stream;(DD) Down

Description

노광 장치 및 노광 방법{Exposure Apparatus and Exposure Method}Exposure Apparatus and Exposure Method

본 발명은, 노광 장치 및 노광 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an exposure apparatus and an exposure method.

필름을 반송하면서, 노광하여, 배향막을 배향시키는 기술이 알려져 있다.
The technique which exposes and orients an orientation film, conveying a film is known.

미국 특허 출원 공개 제2011/0217638호 명세서US Patent Application Publication No. 2011/0217638

그러나, 노광용의 광이 조사되는 노광 영역에 있어서, 반송되는 필름은 서서히 가열되므로, 필름의 상류측과 하류측에서 온도차가 발생한다. 이에 의해, 필름에 주름이 형성되어, 소망한 각도로 필름 표면에 노광용의 광이 조사되지 않는다고 하는 과제가 있다.
However, in the exposure area | region to which light for exposure is irradiated, since the conveyed film is heated gradually, a temperature difference arises in the upstream and downstream of a film. Thereby, the wrinkles are formed in a film, and there exists a subject that the light for exposure is not irradiated to the film surface at a desired angle.

본 발명의 제1 태양에 있어서는, 장척형의 필름을 반송하는 반송부와, 상기 반송부에 의해 반송되는 상기 필름을, 마스크를 개입시켜 노광하는 노광부와, 상기 노광부에 의해 노광되는 상기 필름을 냉각하는 냉각부를 구비하는 노광 장치를 제공한다.
In the 1st aspect of this invention, the conveyance part which conveys a elongate film, the exposure part which exposes the said film conveyed by the said conveyance part through a mask, and the said film exposed by the said exposure part The exposure apparatus provided with the cooling part which cools this is provided.

본 발명의 제2 태양에 있어서는, 장척형의 필름을 반송하는 반송 단계와, 상기 반송 단계에 의해 반송되는 상기 필름을, 마스크를 개입시켜 노광하는 노광 단계와, 상기 노광 단계에 의해 노광되는 상기 필름을 냉각하는 냉각 단계를 구비하는 노광 방법을 제공한다.
In the 2nd aspect of this invention, the conveyance step which conveys a elongate film, the exposure step which exposes the said film conveyed by the said conveyance step through a mask, and the said film exposed by the said exposure step. It provides an exposure method having a cooling step of cooling.

또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것은 아니다. 또한, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
In addition, the summary of the said invention does not enumerate all of the required features of this invention. In addition, subcombinations of these groups of features may also be invented.

도 1은 본 실시 형태에 의해 제조되는 광학 필름(100)의 전체 평면도이다.
도 2는 도 1의 II-II선에 따른 종단면도이다.
도 3은 광학 필름(100)이 설치된 입체 화상 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 본 실시 형태에 의한 노광 장치(10)의 전체 구성도이다.
도 5는 노광부(18)의 전체 사시도이다.
도 6은 마스크(38)의 저면도이다.
도 7은 도 6의 VII-VII선에 따른 마스크(38)의 종단면도이다.
도 8은 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 9는 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 10은 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 11은 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 12는 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 13은 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 14는 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다.
도 15는 필름 냉각에 의한 배향각의 영향을 조사한 실험 결과의 표이다.
도 16은 필름(90)의 주름과 배향각의 편차를 조사한 실험 결과의 그래프이다.1 is an overall plan view of an optical film 100 manufactured by the present embodiment.
FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
3 is an exploded perspective view of the stereoscopic image display device provided with the optical film 100.
4 is an overall configuration diagram of the exposure apparatus 10 according to the present embodiment.
5 is an overall perspective view of the exposure unit 18.
6 is a bottom view of the mask 38.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the mask 38 along line VII-VII in FIG. 6.
8 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
9 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
10 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
11 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
12 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
13 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
14 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposed portion 18 in which a part is changed.
It is a table | surface of the experiment result which investigated the influence of the orientation angle by film cooling.
FIG. 16 is a graph showing experimental results of investigating deviations of wrinkles and orientation angles of the film 90.

이하, 발명의 실시의 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허청구범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 실시 형태에서 설명되는 특징의 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the embodiments of the invention, but the following embodiments are not intended to limit the scope of the invention. In addition, not all combinations of the features described in the embodiments are essential to the solving means of the invention.

도 1은 본 실시 형태에 의해 제조되는 광학 필름(100)의 전체 평면도이다. 광학 필름(100)은, 본 실시 형태에 의한 광학 필름의 제조 방법에 따라 제조된다. 광학 필름(100)은, 입체 화상 표시 장치의 화상 생성부의 화상의 출력측에 설치되어, 우안용 화상 및 좌안용 화상을 출력한다.
1 is an overall plan view of an optical film 100 manufactured by the present embodiment. The optical film 100 is manufactured according to the manufacturing method of the optical film by this embodiment. The optical film 100 is provided in the output side of the image of the image generation part of a stereoscopic image display apparatus, and outputs the image for a right eye and an image for a left eye.

광학 필름(100)은, 한 변이 수 cm 내지 수 m의 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 도 1에 나타난 바와 같이, 광학 필름(100)은, 수지 기재(102)와, 제1 편광 변조부(104)와, 제2 편광 변조부(106)를 갖는다.
The optical film 100 is formed in the rectangular shape of one side several cm-several m. As shown in FIG. 1, the optical film 100 includes a resin substrate 102, a first polarization modulating unit 104, and a second polarization modulating unit 106.

수지 기재(102)는, 후술하는 수지제의 장척형의 필름이 일정한 길이로 절단되어 형성된다. 수지 기재(102)는, 광을 투과한다. 수지 기재(102)의 두께의 일례는, 50μm 내지 100μm이다. 수지 기재(102)는, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)를 지지한다. 수지 기재(102)는, 시클로올레핀계의 필름에 의해 구성할 수 있다. 시클로올레핀계 필름으로서, 열팽창률이 70×10-6/℃인 시클로올레핀 폴리머(COP), 보다 바람직하게는, 시클로올레핀 폴리머의 공중합체인 시클로올레핀 코폴리머(COC)를 사용할 수 있다. COP 필름으로서, 일본 제온사 제품인 제오노아 필름(ZF14)을 들 수 있다. 또한, 수지 기재(102)는, 열팽창률이 54×10-6/℃인 토리아세틸셀룰로스(TAC)를 포함하는 재료에 의해 구성해도 된다. TAC 필름은, 후지 사진 필름사 제품인 후지택 T80SZ 및 TD80UL 등을 예로 들 수 있다. 또한, 시클로올레핀계 필름을 사용하는 경우는, 취약성의 관점에서 고인성(高靭性) 타입의 필름을 사용하는 것이 바람직하다.
The resin base material 102 is formed by cutting a long elongated film made of resin, which will be described later, into a constant length. The resin base material 102 transmits light. An example of the thickness of the resin base material 102 is 50 micrometers-100 micrometers. The resin substrate 102 supports the first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106. The resin base material 102 can be comprised with the cycloolefin type film. As a cycloolefin type film, the cycloolefin polymer (COP) whose thermal expansion coefficient is 70x10 <-6> / degreeC, More preferably, the cycloolefin copolymer (COC) which is a copolymer of a cycloolefin polymer can be used. As a COP film, the zeanoa film (ZF14) by the Japanese Zeon company is mentioned. In addition, you may comprise the resin base material 102 with the material containing tori acetyl cellulose (TAC) whose thermal expansion coefficient is 54x10 <-6> / degreeC. Examples of the TAC film include Fuji-Tac T80SZ, TD80UL, and the like, manufactured by Fuji Photo Film. In addition, when using a cycloolefin type film, it is preferable to use the high toughness type film from a viewpoint of fragility.

제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 평면으로 볼 때에 있어서, 같은 형상으로 형성되어 있다. 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 수지 기재(102)의 긴 변 방향을 따라 연장되는 직사각형 형상이다. 여기서 말하는 수지 기재(102)의 긴 변 방향은, 입체 화상 표시에 편입된 광학 필름(100)에 있어서는, 수평 방향이 된다. 따라서, 수지 기재(102)의 짧은 변 방향은, 입체 화상 표시에 편입된 광학 필름(100)에 있어서는, 연직 방향이 된다. 제1 편광 변조부(104)와 제2 편광 변조부(106)는, 서로 한 변을 접촉시킨 상태로, 연직 방향을 따라 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 편광 변조부(104)와 제2 편광 변조부(106)는, 수평 방향을 따라 교대로 배치해도 된다.
The first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 are formed in the same shape in plan view. The first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106 are rectangular shapes extending along the long side direction of the resin substrate 102. In the optical film 100 incorporated in the three-dimensional image display, the long side direction of the resin substrate 102 referred to here becomes the horizontal direction. Therefore, the short side direction of the resin base material 102 becomes a perpendicular direction in the optical film 100 incorporated in the stereoscopic image display. The first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 are alternately arranged along the vertical direction in a state where one side is in contact with each other. The first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 may be alternately arranged along the horizontal direction.

제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 투과하는 편광의 편광 상태를 변조시킨다. 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 예를 들면, 1/4 파장판의 위상차 기능을 갖는다. 또한, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 1/2 파장판의 위상차 기능을 가져도 된다. 제1 편광 변조부(104)는, 예를 들면, 도 1의 제1 편광 변조부(104)의 오른쪽 단에 기재된 화살표(110)와 평행한 방향으로 배향된 광학축을 갖는다. 이에 의해, 제1 편광 변조부(104)는, 예를 들면, 화살표(110)로부터 45° 회전한 편광 방향을 갖는 직선 편광이 입력되면, 그 편광을 근처의 화살표(112)로 나타내는 오른쪽으로 회전하는 편광 방향을 갖는 원편광으로 변조 하여 출력한다. 제2 편광 변조부(106)는, 예를 들면, 도 1의 제2 편광 변조부(106)의 오른쪽 단에 기재된 화살표(114)와 평행한 방향으로 배향된 광학축으로, 제1 편광 변조부(104)의 광학축과 직교하는 광학축을 갖는다. 이에 의해, 제2 편광 변조부(106)는, 예를 들면, 화살표(110)로부터 45° 회전한 편광 방향을 갖는 직선 편광이 입력된면, 그 편광을 근처의 화살표(116)로 나타내는 왼쪽으로 회전하는 편광 방향을 갖는 원편광으로 변조하여 출력한다. 또한, 광학축의 일례는, 진상축 또는 지상축이다. 여기서, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)의 광학축의 배향각의 편차는, ±0.5° 이하, 보다 바람직하게는 ±0.2° 이하이다. 배향각의 편차에 대해서는 후술한다.
The first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 modulate the polarization states of the transmitted polarized light. The first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106 have a phase difference function of, for example, a quarter wave plate. In addition, the first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106 may have a phase difference function of a half wave plate. The first polarization modulator 104 has, for example, an optical axis oriented in a direction parallel to the arrow 110 described at the right end of the first polarization modulator 104 of FIG. 1. As a result, when the linearly polarized light having the polarization direction rotated 45 ° from the arrow 110 is input, for example, the first polarization modulator 104 rotates the polarized light to the right indicated by the adjacent arrow 112. The light is modulated into circularly polarized light having a polarization direction. The second polarization modulator 106 is, for example, an optical axis oriented in a direction parallel to the arrow 114 described at the right end of the second polarization modulator 106 of FIG. 1. It has an optical axis orthogonal to the optical axis of 104. As a result, the second polarization modulator 106 enters, for example, the linearly polarized light having the polarization direction rotated by 45 ° from the arrow 110 to the left, which indicates the polarized light by the adjacent arrow 116. Modulated and outputted circularly polarized light having a rotating polarization direction. In addition, an example of an optical axis is a fast axis or a slow axis. Here, the deviation of the orientation angles of the optical axes of the first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 is ± 0.5 ° or less, more preferably ± 0.2 ° or less. The deviation of the orientation angle will be described later.

이 결과, 같은 편광 방향을 갖는 직선 편광이, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)에 입력해도, 제2 편광 변조부(106)가 출력하는 편광의 편광 방향과, 제1 편광 변조부(104)가 출력하는 편광의 편광 방향은 상이하다. 예를 들면, 제2 편광 변조부(106)가 출력하는 편광의 편광 방향은, 제1 편광 변조부(104)가 출력하는 편광의 편광 방향의 반대 방향으로 회전하는 원편광이다.
As a result, even if linearly polarized light which has the same polarization direction is input to the 1st polarization modulation part 104 and the 2nd polarization modulation part 106, the polarization direction of the polarization which the 2nd polarization modulation part 106 outputs, The polarization direction of the polarization output by the first polarization modulator 104 is different. For example, the polarization direction of the polarization output by the second polarization modulator 106 is circularly polarized light that rotates in the direction opposite to the polarization direction of the polarization output by the first polarization modulator 104.

도 2는 도 1의 II-II선에 따른 종단면도이다. 도 2에 나타난 바와 같이, 각 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 배향막(120)과, 액정막(122)을 갖는다.
FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1. As shown in FIG. 2, each of the first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 includes an alignment film 120 and a liquid crystal film 122.

배향막(120)은, 수지 기재(102)의 면 상에 형성되어 있다. 배향막(120)은, 공지의 광 배향성 화합물을 적용할 수 있다. 광 배향성 화합물은, 자외선 등의 직선 편광이 조사되면, 그 직선 편광의 편광 방향으로 분자가 규칙적으로 배향되는 재료이다. 또한, 광 배향성 화합물은, 자기의 위에 형성된 액정막(122)의 분자를 자기의 배향을 따라 정렬시키는 기능을 갖는다. 광 배향성 화합물의 예로서 광 분해형, 광 이양화형(光二量化型), 광 이성화형(光異性化型) 등의 화합물을 들 수 있다. 배향막(120)은, 복수의 제1 배향 영역(124)과 복수의 제2 배향 영역(126)을 갖는다. 복수의 제1 배향 영역(124)과 복수의 제2 배향 영역(126)은, 배열 방향을 따라 교대로 배열되어 있다. 여기서 말하는 배열 방향은, 연직 방향과 평행하다. 제1 배향 영역(124)과 인접하는 모든 제2 배향 영역(126)은, 서로 접하고 있다. 제1 배향 영역(124)은, 제1 편광 변조부(104)의 일부를 구성한다. 제1 배향 영역(124)은, 제1 편광 변조부(104)의 광학축에 대응한 방향으로 배향하고 있다. 제2 배향 영역(126)은, 제2 편광 변조부(106)의 일부를 구성한다. 제2 배향 영역(126)은, 제1 배향 영역(124)의 배향 방향과 직교하는 방향으로, 제2 편광 변조부(106)의 광학축에 대응한 방향으로 배향하고 있다.
The alignment film 120 is formed on the surface of the resin substrate 102. The alignment film 120 may be a known photoalignable compound. The photoalignable compound is a material in which molecules are regularly aligned in the polarization direction of the linearly polarized light when linearly polarized light such as ultraviolet rays is irradiated. In addition, the photoalignable compound has a function of aligning molecules of the liquid crystal film 122 formed on the pores along the orientation of the pores. As an example of a photo-alignment compound, compounds, such as a photolysis type | mold, a photodimerization type, and a photoisomerization type, are mentioned. The alignment film 120 has a plurality of first alignment regions 124 and a plurality of second alignment regions 126. The plurality of first alignment regions 124 and the plurality of second alignment regions 126 are alternately arranged along the arrangement direction. The array direction here is parallel to the vertical direction. All of the second alignment regions 126 adjacent to the first alignment region 124 are in contact with each other. The first alignment region 124 constitutes a part of the first polarization modulator 104. The first alignment region 124 is oriented in a direction corresponding to the optical axis of the first polarization modulator 104. The second alignment region 126 constitutes a part of the second polarization modulator 106. The second alignment region 126 is oriented in a direction orthogonal to the alignment direction of the first alignment region 124 in a direction corresponding to the optical axis of the second polarization modulator 106.

액정막(122)은, 배향막(120) 상에 형성된다. 액정막(122)은, 자외선 또는 가열 등에 의해 경화 가능한 액정 폴리머에 의해 구성할 수 있다. 액정막(122)은, 제1 액정 영역(128)과 제2 액정 영역(130)을 갖는다. 제1 액정 영역(128)은, 제1 편광 변조부(104)의 일부를 구성한다. 제1 액정 영역(128)은, 제1 배향 영역(124) 상에 형성된다. 제1 액정 영역(128)의 분자는, 제1 배향 영역(124)의 배향을 따라 배향된다. 제2 액정 영역(130)은, 제2 편광 변조부(106)의 일부를 구성한다. 제2 액정 영역(130)은, 제2 배향 영역(126) 상에 형성된다. 제2 액정 영역(130)의 분자는, 제2 배향 영역(126)의 배향을 따라 배향된다.
The liquid crystal film 122 is formed on the alignment film 120. The liquid crystal film 122 can be made of a liquid crystal polymer that can be cured by ultraviolet rays or heating. The liquid crystal film 122 has a first liquid crystal region 128 and a second liquid crystal region 130. The first liquid crystal region 128 constitutes a part of the first polarization modulator 104. The first liquid crystal region 128 is formed on the first alignment region 124. Molecules of the first liquid crystal region 128 are aligned along the alignment of the first alignment region 124. The second liquid crystal region 130 constitutes a part of the second polarization modulator 106. The second liquid crystal region 130 is formed on the second alignment region 126. The molecules of the second liquid crystal region 130 are aligned along the alignment of the second alignment region 126.

도 3은 광학 필름(100)이 설치된 입체 화상 표시 장치의 분해 사시도이다. 도 3의 화살표로 나타난 바와 같이, 유저(user)가 위치하는 방향으로, 화상을 출력하는 방향을 입체 화상 표시 장치의 전방으로 한다. 도 3에 나타난 바와 같이, 입체 화상 표시 장치(150)는, 광원(152)과, 화상 출력부(154)와, 광학 필름(100)과, 광학 기능막(158)을 구비하고 있다.
3 is an exploded perspective view of the stereoscopic image display device provided with the optical film 100. As indicated by the arrow in Fig. 3, the direction in which the image is output in the direction in which the user is located is in front of the stereoscopic image display apparatus. As shown in FIG. 3, the stereoscopic image display device 150 includes a light source 152, an image output unit 154, an optical film 100, and an optical function film 158.

광원(152)은, 면 내에서 실질적으로 균일한 강도로, 백색의 무편광을 조사한다. 광원(152)은, 유저로부터 보아, 입체 화상 표시 장치(150)의 최후방에 배치된다. 광원(152)에는, 확산판과 냉음극관(CCFL：Cold Cathode Fluorescent Lamp)을 조합한 광원, 또는, 프리즘 렌즈와 발광 다이오드(LED：Light Emitting Diode)를 조합한 광원, 유기 EL(Electro-Luminescence)을 포함하는 면광원 등을 적용할 수 있다.
The light source 152 irradiates white unpolarized light with substantially uniform intensity in surface. The light source 152 is disposed in the rearmost portion of the stereoscopic image display device 150 as viewed from the user. The light source 152 includes a light source combining a diffuser plate and a cold cathode tube (CCFL), or a light source combining a prism lens and a light emitting diode (LED) and an organic electroluminescent (EL) light. A surface light source or the like may be applied.

화상 출력부(154)는, 광원(152)의 전방에 배치되어 있다. 화상 출력부(154)는, 광원(152)으로부터의 광에 의해, 화상을 출력한다. 화상 출력부(154)는, 편광판(164)과, 유지 기판(166)과, 화상 생성부(168)와, 유지 기판(170)과, 편광판(174)을 구비한다.
The image output unit 154 is disposed in front of the light source 152. The image output unit 154 outputs an image by the light from the light source 152. The image output unit 154 includes a polarizing plate 164, a holding substrate 166, an image generating unit 168, a holding substrate 170, and a polarizing plate 174.

편광판(164)은, 광원(152)과 유지 기판(166)의 사이에 배치된다. 편광판(164)을 구성하는 재료의 일례는, PVA(폴리비닐 알코올)를 포함하는 수지이다. 편광판(164)은, 수평 방향으로부터 45° 경사진 투과축과, 투과축과 직교하는 흡수축을 갖는다. 이에 의해, 광원(152)으로부터 출력되어, 편광판(164)에 입사한 무편광 가운데, 진동 방향이 편광판(164)의 투과축과 평행한 성분은 투과하고, 흡수축과 평행한 성분은 흡수되어 차단된다. 이 때문에 편광판(164)으로부터 출력되는 광은, 편광판(164)의 투과축을 편광 방향으로 하는 직선 편광이 된다.
The polarizing plate 164 is disposed between the light source 152 and the holding substrate 166. One example of the material constituting the polarizing plate 164 is resin containing PVA (polyvinyl alcohol). The polarizing plate 164 has a transmission axis inclined at 45 ° from the horizontal direction and an absorption axis perpendicular to the transmission axis. Thereby, among the unpolarized light which is output from the light source 152, and incident on the polarizing plate 164, the component whose vibration direction is parallel to the transmission axis of the polarizing plate 164 is transmitted, and the component parallel to the absorption axis is absorbed and interrupted | blocked. do. For this reason, the light output from the polarizing plate 164 becomes linearly polarized light which makes the transmission axis of the polarizing plate 164 a polarization direction.

유지 기판(166)은, 편광판(164)과 화상 생성부(168)의 사이에 배치되어 있다. 유지 기판(166)은, 투명한 유리판을 적용할 수 있다. 또한, 유지 기판(166)은, 유리판 이외에 투명한 수지와 유리 클로스를 포함하는 투명한 복합 재료를 이용한 투명 복합 시트를 적용할 수 있다. 이에 의해, 입체 화상 표시 장치(150)의 경량화 또는 유연성을 달성할 수 있다. 유지 기판(166)의 후면은, 접착제를 개입시켜, 편광판(164)을 유지한다.
The holding substrate 166 is disposed between the polarizing plate 164 and the image generating unit 168. As the holding substrate 166, a transparent glass plate can be applied. In addition, the holding substrate 166 can apply the transparent composite sheet using the transparent composite material containing transparent resin and glass cloth other than a glass plate. Thereby, the weight reduction or flexibility of the stereoscopic image display device 150 can be achieved. The rear surface of the holding substrate 166 holds the polarizing plate 164 through the adhesive.

화상 생성부(168)는, 유지 기판(166)과 유지 기판(170)의 사이에 배치되어 유지된다. 화상 생성부(168)는, 화상을 생성하는 복수의 화소(픽셀)를 갖는다. 복수의 화소는, 연직 방향 및 수평 방향으로 일정한 피치로 이차원으로 배열되어 있다. 화소는 화상을 취급할 때의 단위를 말하고, 색조 및 계조의 색정보를 출력한다. 각 화소는, 3개의 부화소(서브 픽셀)를 갖는다. 각 부화소는, 액정부와, 액정부의 전후면에 형성된 투명 전극을 갖는다. 투명 전극은 액정부에 전압을 인가한다. 전압이 인가된 부화소의 액정부는 직선 편광의 편광 방향을 90° 회전시킨다. 각 화소에 포함되는 3개의 부화소는, 각각 적색의 컬러 필터, 녹색의 컬러 필터 및 청색의 컬러 필터를 갖는다. 부화소의 투명 전극의 전압 인가를 제어하는 것에 의해, 부화소로부터 출력되는 적색, 녹색, 청색의 광을 강하게 하거나 또는 약하게 하여, 화상을 형성한다.
The image generating unit 168 is disposed and held between the holding substrate 166 and the holding substrate 170. The image generating unit 168 has a plurality of pixels (pixels) for generating an image. The plurality of pixels are arranged two-dimensionally at a constant pitch in the vertical direction and the horizontal direction. A pixel refers to a unit when handling an image and outputs color information of hue and gradation. Each pixel has three subpixels (subpixels). Each subpixel has a liquid crystal unit and a transparent electrode formed on the front and rear surfaces of the liquid crystal unit. The transparent electrode applies a voltage to the liquid crystal part. The liquid crystal part of the subpixel to which the voltage is applied rotates the polarization direction of linearly polarized light by 90 degrees. The three subpixels included in each pixel each have a red color filter, a green color filter, and a blue color filter. By controlling the voltage application of the transparent electrodes of the subpixels, the red, green, and blue light output from the subpixels are strengthened or weakened to form an image.

화상 생성부(168)는, 도 3에 「R」및 「L」로 나타난 바와 같이, 우안용의 화상을 생성하는 우안용 화상 생성부(178)와, 좌안용의 화상을 생성하는 좌안용 화상 생성부(180)를 갖는다. 우안용 화상 생성부(178) 및 좌안용 화상 생성부(180)는, 수평 방향으로 연장되는 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 우안용 화상 생성부(178) 및 좌안용 화상 생성부(180)는, 연직 방향을 따라 교대로 배치되어 있다.
The image generating unit 168 includes a right eye image generating unit 178 for generating an image for the right eye and a left eye image for generating an image for the left eye, as shown by "R" and "L" in FIG. 3. It has a generation unit 180. The right eye image generation unit 178 and the left eye image generation unit 180 are formed in a rectangular shape extending in the horizontal direction. The right eye image generation unit 178 and the left eye image generation unit 180 are alternately arranged along the vertical direction.

유지 기판(170)은, 화상 생성부(168)와 편광판(174)의 사이에 배치되어 있다. 유지 기판(166) 및 유지 기판(170)은, 화상 생성부(168)를 사이에 끼운다. 유지 기판(170)은, 유지 기판(166)과 같은 재료에 의해 구성되어 있다. 유지 기판(170)의 전면은, 접착제를 개입시켜, 편광판(174)을 유지한다.
The holding substrate 170 is disposed between the image generating unit 168 and the polarizing plate 174. The holding substrate 166 and the holding substrate 170 sandwich the image generating unit 168 therebetween. The holding substrate 170 is made of the same material as the holding substrate 166. The front surface of the holding substrate 170 holds the polarizing plate 174 through the adhesive.

편광판(174)은, 유지 기판(170)과 광학 필름(100)의 사이에 배치되어 있다. 편광판(174)은, 유지 기판(170)에서의 화상 생성부(168)가 유지되는 측의 반대 측에 접착제에 의해 접착되어 있다. 편광판(174)은, PVA(폴리비닐 알코올)를 포함하는 수지에 의해 구성되어 있다. 편광판(174)의 두께는, 얇은 것이 바람직하다. 편광판(174)의 두께는, 예를 들면, 100μm 내지 200μm이다. 편광판(174)은, 투과축과, 투과축과 직교하는 흡수축을 갖는다. 편광판(174)의 투과축은, 편광판(164)의 투과축과 직교한다. 이에 의해, 화상 생성부(168)에 의해 편광 방향이, 90° 회전된 직선 편광은, 편광판(174)을 투과하여 화상광이 되어 화상을 형성한다. 한편, 화상 생성부(168)에 의해 편광 방향이 회전되지 않은 직선 편광은, 편광판(174)에 의해 차폐된다. 이에 의해, 화상 출력부(154)는, 편광판(174)의 투과축과 평행한 편광 방향의 편광으로 이루어지는 화상광을 출력한다.
The polarizing plate 174 is disposed between the holding substrate 170 and the optical film 100. The polarizing plate 174 is bonded by an adhesive to the side opposite to the side where the image generating unit 168 in the holding substrate 170 is held. The polarizing plate 174 is comprised by resin containing PVA (polyvinyl alcohol). It is preferable that the thickness of the polarizing plate 174 is thin. The thickness of the polarizing plate 174 is 100 micrometers-200 micrometers, for example. The polarizing plate 174 has a transmission axis and an absorption axis orthogonal to the transmission axis. The transmission axis of the polarizing plate 174 is perpendicular to the transmission axis of the polarizing plate 164. As a result, the linearly polarized light in which the polarization direction is rotated by 90 ° by the image generating unit 168 passes through the polarizing plate 174 to become image light to form an image. On the other hand, linearly polarized light in which the polarization direction is not rotated by the image generating unit 168 is shielded by the polarizing plate 174. Thereby, the image output part 154 outputs image light which consists of polarization of the polarization direction parallel to the transmission axis of the polarizing plate 174.

광학 필름(100)은, 접착제에 의해 화상 출력부(154)의 편광판(174)의 전방에 접착되어 있다. 광학 필름(100)의 두께는, 광학 필름(100)의 치수 변화를 억제하기 위해, 얇은 것이 바람직하다. 예를 들면, 광학 필름(100)의 두께는, 50μm 내지 200μm인 것이 바람직하다.
The optical film 100 is adhere | attached in front of the polarizing plate 174 of the image output part 154 with an adhesive agent. The thickness of the optical film 100 is preferably thin in order to suppress the dimensional change of the optical film 100. For example, it is preferable that the thickness of the optical film 100 is 50 micrometers-200 micrometers.

광학 필름(100)의 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 수지 기재(102)의 후면 상에 배치되어 있다. 제1 편광 변조부(104)는, 화상 생성부(168)의 우안용 화상 생성부(178)와 실질적으로 동일한 형상이다. 제1 편광 변조부(104)는, 우안용 화상 생성부(178)의 전방에 배치되어 있다. 이에 의해, 제1 편광 변조부(104)에는, 우안용 화상 생성부(178)로부터 출력되어, 편광판(174)을 투과한 직선 편광으로 이루어지는 우안용의 화상광이 입사한다. 제1 편광 변조부(104)는, 입사한 우안용의 화상광을 오른쪽으로 회전하는 원편광으로 변조하여 출력한다. 제2 편광 변조부(106)는, 화상 생성부(168)의 좌안용 화상 생성부(180)와 실질적으로 동일한 형상이다. 제2 편광 변조부(106)는, 좌안용 화상 생성부(180)의 전방에 배치되어 있다. 이에 의해, 제2 편광 변조부(106)에는, 좌안용 화상 생성부(180)로부터 출력되어, 편광판(174)을 투과한 직선 편광으로 이루어지는 좌안용의 화상광이 입사한다. 제2 편광 변조부(106)는, 입사한 좌안용의 화상광을 왼쪽으로 회전하는 원편광으로 변조하여 출력한다. 따라서, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)는, 우안용 화상 및 좌안용 화상을 구성하는 동일한 편광 방향의 직선 편광을, 편광 방향이 서로 다른 원편광으로 변환하여 출력한다.
The first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106 of the optical film 100 are disposed on the rear surface of the resin substrate 102. The first polarization modulating unit 104 is substantially the same shape as the right eye image generating unit 178 of the image generating unit 168. The first polarization modulator 104 is disposed in front of the right eye image generator 178. As a result, image light for the right eye made of linearly polarized light output from the right eye image generation unit 178 and transmitted through the polarizing plate 174 is incident on the first polarization modulator 104. The first polarization modulator 104 modulates the incident image light for the right eye into circularly polarized light rotating to the right and outputs it. The second polarization modulator 106 is substantially the same shape as the left eye image generator 180 of the image generator 168. The second polarization modulator 106 is disposed in front of the left eye image generation unit 180. As a result, image light for the left eye made of linearly polarized light that is output from the left eye image generation unit 180 and transmitted through the polarizing plate 174 is incident on the second polarization modulator 106. The second polarization modulator 106 modulates the incident left eye image light into circularly polarized light rotating to the left and outputs it. Accordingly, the first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 convert the linearly polarized light in the same polarization direction constituting the right eye image and the left eye image into circularly polarized light with different polarization directions. do.

광학 기능막(158)은, 광학 필름(100)의 전면에 배치되어 있다. 광학 기능막(158)의 일례는, 외부의 조명 등으로부터 출력된 광의 반사를 저감 또는 억제하는 반사 저감막 또는 반사 방지막이다. 이에 의해, 광학 기능막(158)은, 외부의 광의 혼입이 적은 화상을 유저에게 제공한다. 광학 기능막(158)의 다른 예는, 눈부심을 억제하는 눈부심 방지막, 표면의 손상을 방지하는 하드 코팅막 등이다. 또한, 광학 기능막(158)은 생략해도 된다.
The optical function film 158 is disposed on the entire surface of the optical film 100. An example of the optical function film 158 is a reflection reduction film or an antireflection film that reduces or suppresses the reflection of light output from external illumination or the like. Thereby, the optical function film 158 provides an image with little mixing of external light to a user. Another example of the optical function film 158 is an anti-glare film that suppresses glare, a hard coating film that prevents damage to the surface, and the like. In addition, the optical function film 158 may be omitted.

유저가 입체 화상을 보는 경우에 사용하는 편광 안경(190)은, 우안용 변조부(192)와 좌안용 변조부(194)를 갖는다. 우안용 변조부(192)는, 오른쪽으로 회전하는 원편광 만을 투과한다. 좌안용 변조부(194)는, 왼쪽으로 회전하는 원편광 만을 투과한다. 이에 의해, 유저의 우안은, 제1 편광 변조부(104)로부터 출력된 우안용의 화상만을 시인하고, 유저의 좌안은, 제2 편광 변조부(106)로부터 출력된 좌안용의 화상만을 시인한다. 이 결과, 유저는, 입체 화상을 볼 수 있다.
The polarizing glasses 190 used when a user views a stereoscopic image have a right eye modulator 192 and a left eye modulator 194. The right eye modulator 192 transmits only circularly polarized light rotating to the right. The left eye modulator 194 transmits only circularly polarized light rotating to the left. Thereby, the right eye of a user visually recognizes only the image for the right eye output from the 1st polarization modulation part 104, and the left eye of the user visually recognizes only the image for the left eye output from the 2nd polarization modulation part 106. FIG. . As a result, the user can see the stereoscopic image.

도 4는 본 실시 형태에 의한 노광 장치(10)의 전체 구성도이다. 도 5는, 노광부(18)의 전체 사시도이다. 도 4에 화살표로 나타내는 상하를 노광 장치(10)의 상하 방향으로 한다. 또한, 상류 및 하류는, 반송 방향에 있어서의 상류 및 하류로 한다. 또한, 반송 방향은, 장척형의 필름(90)의 길이 방향과 동일 방향이고, 배열 방향 및 폭 방향과 직교한다.
4 is an overall configuration diagram of the exposure apparatus 10 according to the present embodiment. 5 is an overall perspective view of the exposure unit 18. The vertical direction shown by the arrow in FIG. 4 is made into the up-down direction of the exposure apparatus 10. FIG. In addition, upstream and downstream shall be upstream and downstream in a conveyance direction. In addition, a conveyance direction is the same direction as the longitudinal direction of the elongate film 90, and orthogonal to an arrangement direction and the width direction.

도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 송출 롤(12), 배향막 도포부(14), 배향막 건조부(16), 노광부(18), 액정막 도포부(20), 액정막 배향부(22), 액정막 경화부(24), 세퍼레이트 필름 공급부(26), 권취 롤(28) 및 유지 롤(48)을 구비한다.
As shown in FIG. 4 and FIG. 5, the exposure apparatus 10 includes a delivery roll 12, an alignment film coating unit 14, an alignment film drying unit 16, an exposure unit 18, and a liquid crystal film coating unit 20. , Liquid crystal film alignment unit 22, liquid crystal film curing unit 24, separate film supply unit 26, winding roll 28, and holding roll 48.

송출 롤(12)은, 필름(90)의 반송 경로의 가장 상류 측에 배치되어 있다. 송출 롤(12)의 외주에는, 공급용의 필름(90)이 감겨있다. 송출 롤(12)은, 회전 가능하게 지지되어 있다. 이에 의해, 송출 롤(12)은, 필름(90)을 송출 가능하게 유지할 수 있다. 송출 롤(12)은, 모터 등의 구동기구에 의해 회전 가능하게 구성 해도 되고, 권취 롤(28)의 회전에 수반하여, 종동(從動) 가능하게 구성해도 된다. 또는, 반송 경로의 도중에 필름(90)을 구동시키는 기구를 설치해도 된다.
The delivery roll 12 is arrange | positioned at the most upstream side of the conveyance path | route of the film 90. FIG. The film 90 for supply is wound around the outer periphery of the delivery roll 12. The delivery roll 12 is rotatably supported. Thereby, the delivery roll 12 can hold | maintain the film 90 so that delivery is possible. The delivery roll 12 may be configured to be rotatable by a drive mechanism such as a motor, or may be configured to be driven along with the rotation of the winding roll 28. Or you may provide the mechanism which drives the film 90 in the middle of a conveyance path | route.

배향막 도포부(14)는, 송출 롤(12)의 하류측으로, 노광부(18)의 상류 측에 배치되어 있다. 배향막 도포부(14)는, 반송되는 필름(90)의 반송 경로의 상방에 배치되어 있다. 배향막 도포부(14)는, 필름(90)의 상면에, 노광 재료의 일례인 액상의 배향막(120)을 공급하여 도포한다.
The alignment film application part 14 is arrange | positioned in the upstream of the exposure part 18 to the downstream side of the delivery roll 12. As shown in FIG. The alignment film application part 14 is arrange | positioned above the conveyance path | route of the film 90 conveyed. The alignment film application part 14 supplies and apply | coats the liquid alignment film 120 which is an example of an exposure material to the upper surface of the film 90.

배향막 건조부(16)는, 배향막 도포부(14)의 하류측에 배치되어 있다. 배향막 건조부(16)는, 가열, 광 조사, 또는 송풍 등에 의해, 내부를 통과하는 필름(90)상에 도포된 배향막(120)을 건조시킨다.
The alignment film dry portion 16 is disposed downstream of the alignment film application portion 14. The alignment film drying unit 16 dries the alignment film 120 coated on the film 90 passing through the inside by heating, light irradiation, or blowing.

노광부(18)는, 반송되는 필름(90)을, 마스크(38)를 개입시켜, 노광한다. 노광부(18)는, 배향막 건조부(16)의 하류측에 배치되어 있다. 노광부(18)는, 편광 광원(34)과, 마스크(38)를 유지하는 마스크 유지부(40)와, 한 쌍의 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)을 갖는다. 노광부(18)는, 편광 광원(34)으로부터 출력된 편광을, 마스크(38)를 개입시켜, 필름(90) 상에 도포된 배향막(120)에 조사한다. 이에 의해, 노광부(18)는, 배향막(120)을 배향시켜, 패턴을 형성한다. 편광 광원(34)으로부터 출력되는 편광의 일례는, 280nm 내지 340nm 파장의 자외선이다.
The exposure part 18 exposes the film 90 to be conveyed through the mask 38. The exposure part 18 is arrange | positioned downstream of the alignment film dry part 16. FIG. The exposure part 18 has the polarization light source 34, the mask holding part 40 which hold | maintains the mask 38, and a pair of upstream tension roll 44 and downstream tension roll 46. As shown in FIG. The exposure part 18 irradiates the alignment film 120 apply | coated on the film 90 through the polarization output from the polarization light source 34 through the mask 38. As shown in FIG. Thereby, the exposure part 18 orientates the orientation film 120, and forms a pattern. An example of the polarization output from the polarization light source 34 is ultraviolet rays of 280 nm to 340 nm wavelength.

편광 광원(34)은, 필름(90)의 반송 경로의 상방에 배치되어 있다. 편광 광원(34)은, 제1 편광 출력부(50)와 제2 편광 출력부(52)를 갖는다. 제1 편광 출력부(50) 및 제2 편광 출력부(52)는, 상류측 장력 롤(44)과 하류측 장력 롤(46)의 사이에 배치되어 있다. 제2 편광 출력부(52)는, 제1 편광 출력부(50)의 하류측에 배치되어 있다. 제1 편광 출력부(50)는, 제1 편광을 하류측 또는 하방으로 출력한다. 제1 편광은, 제1 배향 영역(124)의 배향에 대응한 편광 방향을 갖는다. 제1 편광은, 상하 방향으로부터 45° 상류 측으로 경사져서, 필름(90)에 입사한다. 제2 편광 출력부(52)는, 제2 편광을 상류측 또는 하방으로 출력한다. 제2 편광은, 제2 배향 영역(126)의 배향에 대응한 편광 방향을 갖는다. 제2 편광은, 상하 방향으로부터 45° 하류측에 경사져서, 필름(90)에 입사한다. 이에 의해, 제1 편광 및 제2 편광은, 필름(90), 주변 설비 등에 의해 반사된 경우에도, 필름(90)에 도포된 배향막(120)으로 돌아오는 확률이 낮아진다. 이 결과, 반사된 제1 편광 및 제2 편광이, 필름(90) 상의 예정하지 않는 곳에 조사되어, 배향이 흐트러지는 것을 억제할 수 있다. 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되는 제1 편광의 조도와, 제2 편광 출력부(52)로부터 출력되는 제2 편광의 조도는 동일하다. 여기서 말하는 조도란, 출력되는 편광의 단위 면적 당의 에너지를 말하고, 단위는, mW/cm2이다. 출력되는 편광이 자외선인 경우, 조도는 UV 조도가 된다. 제1 편광 및 제2 편광의 조도의 일례는, 78mW/cm2이다. 또한, 노광의 방법은 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 편광 광원(34)의 제1 편광 및 제2 편광을 상하 방향을 따라 조사해도 된다. 여기서 말하는 상하 방향은, 도 4의 화살표로 나타내는 상하 방향이다. 또한, 이 경우, 제1 편광 및 제2 편광은, 필름(90)에 대해서 비스듬하게 입사하는 경우도 있다. 또한, 편광 광원(34)의 제1 편광 및 제2 편광을 필름(90)에 대해서 수직에 조사해도 된다.
The polarization light source 34 is arrange | positioned above the conveyance path | route of the film 90. The polarization light source 34 has a 1st polarization output part 50 and a 2nd polarization output part 52. The first polarization output section 50 and the second polarization output section 52 are disposed between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. The second polarization output section 52 is disposed downstream of the first polarization output section 50. The 1st polarization output part 50 outputs 1st polarization downstream or downstream. The first polarized light has a polarization direction corresponding to the orientation of the first alignment region 124. The first polarized light is inclined to the upstream side by 45 ° from the vertical direction and enters the film 90. The second polarization output unit 52 outputs the second polarization upwards or downwards. The second polarized light has a polarization direction corresponding to the orientation of the second alignment region 126. The second polarized light is inclined 45 ° downstream from the vertical direction and enters the film 90. Thereby, even if the 1st polarization and the 2nd polarization are reflected by the film 90, peripheral facilities, etc., the probability of returning to the orientation film 120 apply | coated to the film 90 becomes low. As a result, the reflected 1st polarization and 2nd polarization are irradiated to the place where it does not intend on the film 90, and it can suppress that an orientation is disturbed. The illuminance of the first polarization output from the first polarization output unit 50 and the illuminance of the second polarization output from the second polarization output unit 52 are the same. The illuminance here means energy per unit area of the polarized light output, and a unit is mW / cm <2> . When the polarized light output is ultraviolet rays, the illuminance becomes UV illuminance. An example of the illuminance of the first polarization and the second polarization is 78 mW / cm 2 . In addition, you may change the method of exposure suitably. For example, you may irradiate the 1st polarization and the 2nd polarization of the polarization light source 34 along an up-down direction. The up-down direction here is an up-down direction shown by the arrow of FIG. In addition, in this case, the first polarization and the second polarization may be obliquely incident on the film 90. In addition, you may irradiate the 1st polarization and the 2nd polarization of the polarization light source 34 with respect to the film 90 perpendicularly.

제2 편광 출력부(52)가 출력하는 제2 편광의 편광 방향은, 제1 편광 출력부(50)가 출력하는 제1 편광의 편광 방향과 직교한다. 또한, 제2 편광 출력부(52)가 출력하는 제2 편광의 편광 방향과, 제1 편광 출력부(50)가 출력하는 제1 편광의 편광 방향은, 임의의 각도로 교차시켜도 된다. 제1 편광 출력부(50)와 제2 편광 출력부(52)의 사이에는, 마스크(38)까지 연직 방향으로 연장되는 차광벽을 설치하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 차광벽이, 서로의 편광을 차광한다. 이 경우, 차광벽은, 제1 편광 및 제2 편광의 반사를 억제하기 위해 흑색이 바람직하다.
The polarization direction of the second polarization output by the second polarization output unit 52 is orthogonal to the polarization direction of the first polarization output by the first polarization output unit 50. The polarization direction of the second polarization output by the second polarization output unit 52 and the polarization direction of the first polarization output by the first polarization output unit 50 may be crossed at an arbitrary angle. Between the 1st polarization output part 50 and the 2nd polarization output part 52, it is preferable to provide the light shielding wall extended to a mask 38 in a perpendicular direction. As a result, the light shielding wall shields the polarized light from each other. In this case, black is preferable for the light shielding wall in order to suppress reflection of a 1st polarization and a 2nd polarization.

마스크 유지부(40)는, 마스크(38)를 유지한다. 마스크 유지부(40)는, 필름(90)에 대해서, 반송 방향과 직교하는 폭 방향으로 상대 이동 가능하게 유지되어 있다. 이에 의해, 마스크(38)는, 모터 또는 액추에이터 등에 의해 마스크 유지부(40)와 함께 이동되어, 폭 방향의 위치가 조정된다.
The mask holding part 40 holds the mask 38. The mask holding part 40 is hold | maintained so that relative movement is possible with respect to the film 90 in the width direction orthogonal to a conveyance direction. Thereby, the mask 38 is moved with the mask holding | maintenance part 40 by a motor, an actuator, etc., and the position of the width direction is adjusted.

마스크(38)는, 마스크 유지부(40)에 의해 유지되어, 편광 광원(34)과 필름(90)의 사이에 배치된다. 일례로서 마스크(38)는, 필름(90)의 수 백μm 상방에 배치된다.
The mask 38 is hold | maintained by the mask holding part 40, and is arrange | positioned between the polarization light source 34 and the film 90. As an example, the mask 38 is disposed several hundred μm above the film 90.

상류측 장력 롤(44)은, 배향막 건조부(16)의 하류측으로, 유지 롤(48), 편광 광원(34) 및 마스크(38)의 상류 측에 배치되어 있다. 상류측 장력 롤(44)은, 필름(90)의 반송 경로의 상방에 배치되어 있다. 상류측 장력 롤(44)은, 하방을 반송되는 필름(90)에 맞추어 회전한다. 상류측 장력 롤(44)은, 반송 중의 필름(90)을 하방으로 가압한다.
The upstream tension roll 44 is disposed on the upstream side of the holding roll 48, the polarization light source 34, and the mask 38 on the downstream side of the alignment film drying unit 16. The upstream tension roll 44 is arrange | positioned above the conveyance path | route of the film 90. FIG. The upstream tension roll 44 rotates below in accordance with the film 90 conveyed. The upstream tension roll 44 presses the film 90 under conveyance downward.

하류측 장력 롤(46)은, 액정막 도포부(20)의 상류측으로, 유지 롤(48), 편광 광원(34) 및 마스크(38)의 하류측에 배치되어 있다. 하류측 장력 롤(46)은, 필름(90)의 반송 경로의 상방에 배치되어 있다. 하류측 장력 롤(46)은, 하방을 반송되는 필름(90)에 맞추어 회전한다. 또한, 하류측 장력 롤(46)은, 반송 중의 필름(90)을 하방으로 가압한다.
The downstream tension roll 46 is disposed upstream of the liquid crystal film application portion 20 and disposed downstream of the holding roll 48, the polarization light source 34, and the mask 38. The downstream tension roll 46 is disposed above the conveyance path of the film 90. The downstream tension roll 46 rotates downward in accordance with the film 90 to be conveyed. In addition, the downstream tension roll 46 presses the film 90 under conveyance downward.

상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)은, 회전 가능하게 지지된다. 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)은, 구동 모터 등에 의해 자전 가능하게 구성해도 되고, 권취 롤(28) 등의 구동력에 의해 종동 가능하게 구성해도 된다.
The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are rotatably supported. The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 may be configured to be rotatable by a drive motor or the like, or may be configured to be driven by a driving force such as the winding roll 28.

액정막 도포부(20)는, 노광부(18)의 하류측에 배치되어 있다. 액정막 도포부(20)는, 필름(90)의 반송 경로의 상방에 배치되어 있다. 액정막 도포부(20)는, 필름(90)에 형성된 배향막(120) 상에 액정막(122)을 공급하여, 도포한다.
The liquid crystal film coating part 20 is disposed downstream of the exposure part 18. The liquid crystal film application part 20 is arrange | positioned above the conveyance path | route of the film 90. FIG. The liquid crystal film application part 20 supplies and apply | coats the liquid crystal film 122 on the alignment film 120 formed in the film 90.

액정막 배향부(22)는, 액정막 도포부(20)의 하류측에 배치되어 있다. 액정막 배향부(22)는, 가열, 광조사, 또는 송풍 등에 의해, 내부를 통과하는 배향막(120) 상에 형성된 액정막(122)을, 배향막(120)의 배향 방향을 따라 배향시키면서, 건조시킨다.
The liquid crystal film alignment portion 22 is disposed downstream of the liquid crystal film coating portion 20. The liquid crystal film alignment unit 22 is dried while aligning the liquid crystal film 122 formed on the alignment film 120 passing through the inside by heating, light irradiation, or blowing, along the alignment direction of the alignment film 120. Let's do it.

액정막 경화부(24)는, 액정막 배향부(22)의 하류측에 배치되어 있다. 액정막 경화부(24)는, 자외선을 조사하는 것으로써, 액정막(122)을 경화시킨다. 이에 의해, 배향막(120)의 배향을 따라 배향된 액정막(122)의 분자의 배향이 고정된다.
The liquid crystal film curing unit 24 is disposed downstream of the liquid crystal film alignment unit 22. The liquid crystal film hardening part 24 hardens the liquid crystal film 122 by irradiating an ultraviolet-ray. Thereby, the orientation of the molecules of the liquid crystal film 122 oriented along the alignment of the alignment film 120 is fixed.

세퍼레이트 필름 공급부(26)는, 액정막 경화부(24)와 권취 롤(28)의 사이에 배치되어 있다. 세퍼레이트 필름 공급부(26)는, 필름(90)의 액정막(122) 상에 세퍼레이트 필름(92)을 공급하여, 맞춰 붙인다. 세퍼레이트 필름(92)은, 권취된 필름(90) 간의 이탈을 용이하게 한다. 또한, 세퍼레이트 필름 공급부(26)는, 생략 해도 된다.
The separator film supply part 26 is arrange | positioned between the liquid crystal film hardening part 24 and the winding roll 28. As shown in FIG. The separate film supply part 26 supplies the separate film 92 on the liquid crystal film 122 of the film 90, and sticks it together. The separate film 92 facilitates the separation between the wound films 90. In addition, the separate film supply part 26 may be abbreviate | omitted.

권취 롤(28)은, 반송부의 일례이다. 권취 롤(28)은, 액정막 경화부(24)의 하류측으로, 반송 경로의 가장 하류측에 배치되어 있다. 권취 롤(28)은, 회전 구동 가능하게 지지되어 있다. 권취 롤(28)은, 배향막(120) 및 액정막(122)이 형성되어 패터닝된 필름(90)을 권취한다. 이에 의해, 권취 롤(28)은, 장척형의 필름(90)을 반송 방향으로 반송한다.
The winding roll 28 is an example of a conveyance part. The winding roll 28 is arrange | positioned downstream of the liquid-crystal film hardening part 24 at the most downstream side of a conveyance path | route. The winding roll 28 is supported so that rotation drive is possible. The winding roll 28 winds up the film 90 in which the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 were formed and patterned. Thereby, the winding roll 28 conveys the elongate film 90 in a conveyance direction.

유지 롤(48)은, 냉각부의 유지부의 일례이다. 유지 롤(48)은, 편광 광원(34)과 대향하는 위치에 배치되어 있다. 유지 롤(48)은, 필름(90)의 반송 경로를 사이에 두어, 편광 광원(34)과 반대 측에 배치되어 있다. 유지 롤(48)은, 필름(90)의 반송 경로의 하방에 배치되어 있다. 유지 롤(48)은, 상류측 장력 롤(44)과 하류측 장력 롤(46) 사이의 상방에 배치되어 있다. 이에 의해, 유지 롤(48)의 상면은, 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)에 의해 하방으로 가압되는 노광 영역의 필름(90)을 유지하므로, 필름(90)에 발생하는 주름이 억제된다. 여기서 말하는 필름(90)의 주름은, 대체로 반송 방향으로 연장되는, 폭 방향으로 물결치는 형상이다. 노광 영역이란, 편광 광원(34)으로부터의 편광이 조사되어, 노광부(18)에 의해 노광되는 필름(90) 상의 영역이다.
The holding roll 48 is an example of the holding part of a cooling part. The holding roll 48 is arrange | positioned in the position which opposes the polarizing light source 34. As shown in FIG. The holding roll 48 is arrange | positioned on the opposite side to the polarizing light source 34 across the conveyance path of the film 90. The holding roll 48 is arrange | positioned under the conveyance path of the film 90. The holding roll 48 is disposed above the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. Thereby, since the upper surface of the holding roll 48 hold | maintains the film 90 of the exposure area | region pressed downward by the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46, it generate | occur | produces in the film 90 Wrinkles to be suppressed. The wrinkle of the film 90 here is a wave shape in the width direction extended generally in a conveyance direction. An exposure area is an area | region on the film 90 which the polarization from the polarization light source 34 is irradiated, and is exposed by the exposure part 18. FIG.

유지 롤(48)은, 중공의 원통 형상으로 형성되어 있다. 유지 롤(48)의 내부에는, 냉각용의 액체가 흐르는 유로(54)가 형성되어 있다. 액체의 일례는, 물이다. 유지 롤(48)은, 유로(54)에 공급되는 액체에 의해, 마스크(38)의 복사열 등에 의해 온도가 상승하는 노광 영역의 필름(90)에 접하면서 냉각된다. 또한, 유지 롤(48)은, 노광 영역에서의 필름(90)의 온도 상승이 2℃ 이하가 되도록, 필름(90)을 냉각하는 것이 바람직하다. 유지 롤(48)의 표면은, 편광 광원(34)으로부터의 광의 반사를 억제하기 위해서, 흑색으로 도포되어 있는 것이 바람직하다. 유지 롤(48)은, 회동 가능하게 지지되어 있다. 이에 의해, 유지 롤(48)은, 필름(90)의 반송과 함께 회동한다.
The holding roll 48 is formed in the hollow cylindrical shape. Inside the holding roll 48, a flow passage 54 through which the liquid for cooling flows is formed. One example of a liquid is water. The holding roll 48 is cooled while contacting the film 90 in the exposure region where the temperature rises due to the radiant heat or the like of the mask 38 by the liquid supplied to the flow passage 54. In addition, it is preferable that the holding roll 48 cools the film 90 so that the temperature rise of the film 90 in an exposure area may be 2 degrees C or less. In order to suppress the reflection of the light from the polarization light source 34, it is preferable that the surface of the holding roll 48 is apply | coated in black. The holding roll 48 is supported so that rotation is possible. Thereby, the holding roll 48 rotates with conveyance of the film 90.

도 6은 마스크(38)의 저면도이다. 도 7은 도 6의 VII-VII선에 따른 마스크(38)의 종단면도이다. 도 6 및 도 7에 나타난 바와 같이, 마스크(38)는, 마스크 기재(56)와, 마스크 기재(56)의 하면에 형성된 차광층(58)을 갖는다.
6 is a bottom view of the mask 38. FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the mask 38 along line VII-VII in FIG. 6. As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the mask 38 includes a mask substrate 56 and a light shielding layer 58 formed on the lower surface of the mask substrate 56.

마스크 기재(56)는, 직사각형의 판형상으로 형성되어 있다. 마스크 기재(56)는, 열팽창 계수가 5.6×10-7/℃인 석영 유리로 이루어진다. 마스크 기재(56)를, 열팽창 계수가 85×10-7/℃인 소다 라임 유리에 의해 구성해도 된다. 마스크 기재(56)의 반송 방향의 길이는, 약 200mm이다. 마스크 기재(56)의 폭 방향의 길이는, 필름(90)의 폭에 맞추어 적절히 설정된다.
The mask base material 56 is formed in rectangular plate shape. The mask base material 56 consists of quartz glass whose thermal expansion coefficient is 5.6x10 <-7> / degreeC. You may comprise the mask base material 56 with the soda lime glass whose thermal expansion coefficient is 85x10 <-7> / degreeC. The length of the conveyance direction of the mask base material 56 is about 200 mm. The length of the width direction of the mask base material 56 is suitably set according to the width of the film 90.

차광층(58)은, 마스크 기재(56)의 하면에 형성되어 있다. 차광층(58)은, 크롬 등의 광을 차폐할 수 있는 재료로 이루어진다. 차광층(58)에는, 제1 투과 영역(62)으로서 기능하는 복수의 개구와, 제2 투과 영역(64)으로서 기능하는 복수의 개구가 형성되어 있다. 제1 투과 영역(62)은, 반송 방향에 있어서, 제2 투과 영역(64)과 다른 위치에 형성되어 있다.
The light shielding layer 58 is formed in the lower surface of the mask base material 56. The light shielding layer 58 is made of a material capable of shielding light such as chromium. In the light shielding layer 58, a plurality of openings that function as the first transmission region 62 and a plurality of openings that function as the second transmission region 64 are formed. The first transmission region 62 is formed at a position different from the second transmission region 64 in the conveying direction.

또한, 제1 투과 영역(62)은, 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 있어서, 제2 투과 영역(64)과 다른 위치에 형성되어 있다. 제1 투과 영역(62)은, 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되는 제1 편광의 출력 방향으로 배치되어 있다. 제2 투과 영역(64)은, 제2 편광 출력부(52)로부터 출력되는 제2 편광의 출력 방향으로 배치되어 있다.
In addition, the 1st transmission area | region 62 is formed in the position different from the 2nd transmission area | region 64 in the width direction orthogonal to a conveyance direction. The first transmission region 62 is disposed in the output direction of the first polarization output from the first polarization output section 50. The second transmission region 64 is arranged in the output direction of the second polarization output from the second polarization output unit 52.

이에 의해, 제1 투과 영역(62)은 제1 편광을 투과하고, 제2 투과 영역(64)은 제2 편광을 투과한다. 제1 투과 영역(62) 및 제2 투과 영역(64) 이외의 영역에 도달한 편광은, 차광층(58)에 의해 차폐된다. 이에 의해, 필름(90)의 배향막(120)이, 제1 편광 및 제2 편광에 의해, 제1 투과 영역(62) 및 제2 투과 영역(64)을 중첩한 패턴으로 노광된다.
As a result, the first transmission region 62 transmits the first polarized light, and the second transmission region 64 transmits the second polarized light. The polarized light which has reached regions other than the first transmission region 62 and the second transmission region 64 is shielded by the light shielding layer 58. Thereby, the alignment film 120 of the film 90 is exposed by the pattern which superimposed the 1st transmission area | region 62 and the 2nd transmission area | region 64 by 1st polarization and 2nd polarization.

제1 투과 영역(62) 및 제2 투과 영역(64)의 폭 방향의 길이의 일례는 0.2mm이다. 인접하는 제1 투과 영역(62) 사이 및 인접하는 제2 투과 영역(64) 사이의 폭 방향의 간격의 일례는 0.2mm이다. 제1 투과 영역(62) 및 제2 투과 영역(64)의 반송 방향의 길이의 일례는 약 30mm이다. 반송 방향에서의 제1 투과 영역(62)과 제2 투과 영역(64)의 간격의 일례는 약 30mm이다. 또한, 제1 투과 영역(62) 및 제2 투과 영역(64)의 각 수치는, 적절히 변경해도 된다.
An example of the length in the width direction of the first transmission region 62 and the second transmission region 64 is 0.2 mm. An example of the width direction space | interval between the adjoining 1st transmission area | regions 62 and between the adjoining 2nd transmission area | regions 64 is 0.2 mm. An example of the length of the conveyance direction of the 1st permeation | transmission area | region 62 and the 2nd permeation | transmission area | region 64 is about 30 mm. An example of the space | interval of the 1st permeation | transmission area | region 62 and the 2nd permeation | transmission area | region 64 in a conveyance direction is about 30 mm. In addition, you may change suitably the numerical value of the 1st permeation | transmission area | region 62 and the 2nd permeation | transmission area | region 64.

다음으로, 광학 필름(100)의 제조 방법에 대해 설명한다. 우선, 송출 롤(12)에 감겨진 장척형의 필름(90)을 준비한다. 여기서, 필름(90)의 전체 길이의 일례는 약 1000m이다. 필름(90)의 폭의 일례는 약 500mm이다. 이후, 필름(90)의 일단을 권취 롤(28)에 고정한다. 이 상태로, 필름(90)은, 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)의 하면을 통과하게 되는 동시에, 유지 롤(48)의 상면을 통과하게 되는 상태로 배치되어 있다. 또한, 유지 롤(48)의 유로(54)에는, 냉각된 액체가 공급된다.
Next, the manufacturing method of the optical film 100 is demonstrated. First, the long film 90 wound by the delivery roll 12 is prepared. Here, an example of the full length of the film 90 is about 1000 m. One example of the width of the film 90 is about 500 mm. Thereafter, one end of the film 90 is fixed to the winding roll 28. In this state, the film 90 passes through the lower surfaces of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 and is arranged in a state of passing through the upper surface of the retaining roll 48. In addition, the cooled liquid is supplied to the flow path 54 of the holding roll 48.

다음으로, 권취 롤(28)의 회전 구동이 개시된다. 이 결과, 필름(90)이 송출 롤(12)로부터 송출되어, 필름(90)이, 반송 방향을 따라 반송되는 반송 단계가 된다. 필름(90)의 반송 속도의 일례는, 2m/분 내지 10m/분이다.
Next, rotational drive of the winding roll 28 is started. As a result, the film 90 is sent out from the delivery roll 12, and it becomes a conveyance step in which the film 90 is conveyed along a conveyance direction. An example of the conveyance speed of the film 90 is 2 m / min-10 m / min.

송출된 필름(90)은, 배향막 도포부(14)의 하방을 통과한다. 이에 의해, 필름(90)의 상면에는, 배향막 도포부(14)에 의해, 폭 방향의 실질적으로 전역에 걸쳐서 배향막(120)이 도포된다. 배향막(120)의 도포는, 필름(90)의 반송 중, 연속하여 실행된다. 따라서, 필름(90)의 상면에는, 양단의 일부를 제외하고, 반송 방향에서의 전체 길이에 걸쳐서 연속하여 배향막(120)이 도포된다.
The sent out film 90 passes below the alignment film application part 14. Thereby, the alignment film 120 is apply | coated to the upper surface of the film 90 over the substantially whole area of the width direction by the orientation film application part 14. Application | coating of the oriented film 120 is performed continuously during the conveyance of the film 90. Therefore, the orientation film 120 is apply | coated continuously to the upper surface of the film 90 over the full length in a conveyance direction except a part of both ends.

배향막(120)이 도포된 필름(90)은, 반송되어, 배향막 건조부(16)의 내부를 통과한다. 이에 의해, 필름(90)의 상면에 도포된 배향막(120)이 건조된다. 이후, 필름(90)은, 상류측 장력 롤(44)의 하면을 통과한다.
The film 90 to which the alignment film 120 is applied is conveyed and passes through the inside of the alignment film drying unit 16. As a result, the alignment film 120 coated on the upper surface of the film 90 is dried. Thereafter, the film 90 passes through the lower surface of the upstream tension roll 44.

배향막(120)이 도포된 영역의 필름(90)이 제1 투과 영역(62)의 하방을 통과함에 따라 제1 배향 단계가 된다. 제1 배향 단계에서는, 필름(90)의 반송이 계속된 상태에서, 제1 투과 영역(62)의 하방을 통과하는 영역의 배향막(120)이, 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되어 마스크(38)의 제1 투과 영역(62)을 투과한 제1 편광에 의해, 노광된다. 여기서, 필름(90)은, 권취 롤(28)에 의해 연속하여 일정한 속도로 반송이 계속되면서, 노광된다. 따라서, 제1 투과 영역(62)의 하방을 통과하는 배향막(120)은, 반송 방향을 따라, 연속하여, 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되는 제1 편광에 의해 노광된다. 이에 의해, 제1 투과 영역(62)의 하방을 통과한 영역의 배향막(120)은, 제1 투과 영역(62)과 같은 폭이며 반송 방향으로 연장되는 띠 형상으로 노광된다. 또한, 해당 영역의 배향막(120)은, 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되는 제1 편광에 의해 노광되므로, 해당 영역의 배향막(120)은, 노광되는 제1 편광에 대응하여 배향된다. 이에 의해, 복수의 제1 배향 영역(124)이, 배향막(120)에 형성된다.
As the film 90 in the region where the alignment layer 120 is applied passes under the first transmission region 62, the first alignment step is performed. In the first alignment step, in the state where the conveyance of the film 90 is continued, the alignment film 120 in the region passing below the first transmission region 62 is output from the first polarization output unit 50 to mask It exposes by the 1st polarization which permeate | transmitted the 1st transmission area | region 62 of (38). Here, the film 90 is exposed while conveying is continued by the winding roll 28 at a constant speed continuously. Therefore, the alignment film 120 which passes below the 1st transmission area | region 62 is exposed by the 1st polarization output from the 1st polarization output part 50 continuously along a conveyance direction. Thereby, the alignment film 120 of the area | region which passed below the 1st transmission area | region 62 is exposed by the strip | belt shape which is the same width as the 1st transmission area | region 62, and extends in a conveyance direction. In addition, since the alignment film 120 of this area | region is exposed by the 1st polarization output from the 1st polarization output part 50, the alignment film 120 of this area | region is oriented corresponding to the 1st polarized light exposed. As a result, a plurality of first alignment regions 124 are formed in the alignment layer 120.

이후, 배향막(120)이 도포된 영역의 필름(90)은 반송되어, 제2 투과 영역(64)의 하방을 통과하는 것에 의해 제2 배향 단계가 된다. 제2 배향 단계에서는, 반송 단계가 계속된 상태로, 제2 편광이, 제2 투과 영역(64)을 개입시켜, 배향막(120)에 조사되어, 복수의 제2 배향 영역(126)이 형성된다. 상세하게는, 제2 편광 출력부(52)로부터 출력되어 마스크(38)의 제2 투과 영역(64)을 투과한 제2 편광이, 제2 투과 영역(64)의 하방을 통과하는 영역에 형성된 필름(90)의 배향막(120)에 조사된다. 필름(90)의 반송은 계속된으므로, 해당 영역의 배향막(120)도 제2 투과 영역(64)과 같은 폭의 반송 방향으로 연장되는 띠 형상으로 제2 편광이 조사된다.
Then, the film 90 of the area | region to which the alignment film 120 was apply | coated is conveyed, and it passes through the 2nd permeation | transmission area | region 64, and it becomes a 2nd orientation step. In the second alignment step, the second polarized light is irradiated to the alignment film 120 through the second transmission region 64 in a state where the conveyance step is continued, so that a plurality of second alignment regions 126 are formed. . Specifically, the second polarized light that is output from the second polarized light output unit 52 and transmitted through the second transparent region 64 of the mask 38 is formed in a region passing below the second transparent region 64. The alignment film 120 of the film 90 is irradiated. Since the conveyance of the film 90 was continued, 2nd polarized light is irradiated to the strip | belt shape extended also in the conveyance direction of the same width | variety as the 2nd transmission region 64 of the orientation film 120 of this area | region.

여기서, 제2 투과 영역(64)은, 폭 방향에 있어서, 제1 투과 영역(62)과 상이한 위치에 형성되어 있다. 이에 의해, 제2 편광이, 제1 투과 영역(62)에 의해 조사된 영역과 상이한 영역의 배향막(120)에 조사된다. 이에 의해, 제1 편광에 의해 배향된 제1 배향 영역(124)과 인접하는 제1 배향 영역(124)의 사이에, 제2 편광이 조사되어, 폭 영역에 있어서, 배향막(120)의 모든 영역이 배향된다.
Here, the second transmission region 64 is formed at a position different from the first transmission region 62 in the width direction. As a result, the second polarized light is irradiated onto the alignment film 120 in a region different from the region irradiated by the first transmission region 62. Thereby, 2nd polarization is irradiated between the 1st orientation area | region 124 oriented by 1st polarization and the adjoining 1st orientation area | region 124, and the width area WHEREIN: All the areas of the alignment film 120 Is oriented.

여기서, 제2 편광 출력부(52)로부터 출력되는 제2 편광의 편광 방향은, 제1 편광 출력부(50)로부터 출력되는 제1 편광의 편광 방향과 직교한다. 이에 의해, 제1 편광에 의해 배향되는 영역의 배향 방향과, 제2 편광에 의해 배향되는 영역의 배향 방향은, 서로 직교한다. 이 결과, 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)에 대응하는 상이한 배향을 포함하는 2개의 영역이 교대로 배열된 패턴이 배향막(120)에 형성된다.
Here, the polarization direction of the second polarization output from the second polarization output unit 52 is orthogonal to the polarization direction of the first polarization output from the first polarization output unit 50. Thereby, the orientation direction of the area | region oriented by 1st polarization and the orientation direction of the area | region oriented by 2nd polarization are orthogonal to each other. As a result, a pattern in which two regions including different orientations corresponding to the first polarization modulator 104 and the second polarization modulator 106 are alternately arranged is formed in the alignment film 120.

여기서, 노광 영역의 필름(90)은, 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)에 의해, 하방으로 가압된 상태로, 유지 롤(48)에 의해 유지되어 있다. 이에 의해, 필름(90)에는, 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)의 사이에, 반송 방향의 장력이 유지 롤(48)로부터 부여되므로, 필름(90)의 주름이 저감된다.
Here, the film 90 of an exposure area | region is hold | maintained by the holding roll 48 in the state pressed downward by the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. As shown in FIG. Thereby, since tension in the conveyance direction is imparted from the holding roll 48 to the film 90 between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46, the wrinkles of the film 90 are reduced. do.

또한, 필름(90)은, 유지 롤(48)의 유로(54)를 흐르는 액체에 의해 냉각된다. 이에 의해, 필름(90)이, 편광 광원(34)으로부터의 편광에 의해 가열된 마스크(38)의 복사열 등에 의해 가열되어도, 노광 영역의 상류측과 하류측에 있어서 필름(90)의 온도차가 발생하기 어렵다. 이 결과, 온도차에 의한 열팽창 차이에 기인하는 필름(90)의 주름을 더욱 저감할 수 있다. 따라서, 주름이 거의 발생하지 않은 필름(90)의 배향막(120)이 노광되어, 소망한 각도로 편광이 조사되므로, 그 결과, 배향각의 편차가 저감된다.
In addition, the film 90 is cooled by the liquid which flows through the flow path 54 of the holding roll 48. Thereby, even if the film 90 is heated by the radiant heat etc. of the mask 38 heated by the polarization from the polarization light source 34, the temperature difference of the film 90 generate | occur | produces in the upstream and downstream of an exposure area | region. Difficult to do As a result, the wrinkles of the film 90 caused by the difference in thermal expansion due to the temperature difference can be further reduced. Therefore, since the alignment film 120 of the film 90 in which wrinkles hardly occurred is exposed and polarized light is irradiated at a desired angle, the deviation of the orientation angle is reduced as a result.

이후, 배향막(120)이 노광된 필름(90)은, 하류측 장력 롤(46)의 하방을 통과하여, 액정막 도포부(20)의 하방에 도달한다. 이에 의해, 액정막(122)이, 배향막(120)의 상면에 도포된다. 액정막(122)은 반송 중의 필름(90)의 배향막(120)의 상면에 연속하여 도포되므로, 액정막(122)은 필름(90)의 반송 방향의 전체 길이에 걸쳐서, 도포되게 된다. 이후, 액정막(122)이 도포된 필름(90)은, 반송되어, 액정막 배향부(22)를 통과한다. 이에 의해, 액정막(122)이 액정막 배향부(22)에 의해 가열되어, 액정막(122)의 분자가, 하면에 형성된 배향막(120)의 배향을 따라 배향되면서, 건조된다.
Thereafter, the film 90 to which the alignment film 120 is exposed passes through the downstream tension roll 46 and reaches below the liquid crystal film coating part 20. As a result, the liquid crystal film 122 is applied to the upper surface of the alignment film 120. Since the liquid crystal film 122 is apply | coated continuously to the upper surface of the oriented film 120 of the film 90 in conveyance, the liquid crystal film 122 is apply | coated over the full length of the conveyance direction of the film 90. Thereafter, the film 90 to which the liquid crystal film 122 is applied is conveyed and passes through the liquid crystal film alignment portion 22. As a result, the liquid crystal film 122 is heated by the liquid crystal film alignment unit 22, and the molecules of the liquid crystal film 122 are dried while being aligned along the alignment of the alignment film 120 formed on the lower surface thereof.

다음으로, 도포된 액정막(122)이 배향된 필름(90)은, 액정막 경화부(24)를 통과한다. 이에 의해, 자외선이 액정막(122)에 조사되어, 액정막(122)이 배향된 상태로 경화한다. 이 결과, 제1 배향 영역(124) 및 제2 배향 영역(126)의 각각에 대응하여, 액정막(122)의 분자가 배향되어, 제1 액정 영역(128) 및 제2 액정 영역(130)이 형성된다. 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 배향막(120) 및 액정막(122)에 의해 형성되는 제1 편광 변조부(104) 및 제2 편광 변조부(106)가, 필름(90)의 폭 방향으로 교대로 형성된다. 다음으로, 액정막(122)의 상면에 세퍼레이트 필름(92)이 상면에 공급되어 붙여 합쳐진다. 그리고, 세퍼레이트 필름(92)이 상면에 붙여진 필름(90)이, 권취 롤(28)에 의해 권취된다.
Next, the film 90 in which the coated liquid crystal film 122 is aligned passes through the liquid crystal film curing unit 24. Thereby, ultraviolet-ray is irradiated to the liquid crystal film 122, and it hardens | cures in the state which the liquid crystal film 122 was oriented. As a result, the molecules of the liquid crystal film 122 are aligned corresponding to each of the first alignment region 124 and the second alignment region 126, so that the first liquid crystal region 128 and the second liquid crystal region 130 are aligned. Is formed. 1 and 2, the first polarization modulating unit 104 and the second polarization modulating unit 106 formed by the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 have a width direction of the film 90. Are formed alternately. Next, the separator film 92 is supplied to the upper surface of the liquid crystal film 122 and pasted together. And the film 90 in which the separate film 92 was affixed on the upper surface is wound up by the winding roll 28. As shown in FIG.

이후, 송출 롤(12)에 감겨진 필름(90)의 공급이 종료할 때까지, 권취 롤(28)에 의해 필름(90)이 반송되면서, 필름(90)의 노광이 계속된다. 그리고, 송출 롤(12)에 감겨진 필름(90)이 모두 공급되면, 광학 필름(100)의 제조 공정이 종료된다. 또한, 종료된 필름(90)의 후단에, 다음의 새로운 필름(90)의 전단을 연결하여, 연속하여 필름(90)을 노광해도 된다. 마지막으로, 필름(90)은, 규정의 길이로 절단되어, 도 1 및 도 2에 나타내는 광학 필름(100)이 되어 완성된다.
Subsequently, exposure of the film 90 is continued while the film 90 is conveyed by the winding roll 28 until the supply of the film 90 wound on the delivery roll 12 is completed. And when all the film 90 wound by the delivery roll 12 is supplied, the manufacturing process of the optical film 100 will be complete | finished. In addition, you may connect the front end of the next new film 90 to the rear end of the finished film 90, and may expose the film 90 continuously. Finally, the film 90 is cut | disconnected by the defined length, and it becomes the optical film 100 shown in FIG. 1 and FIG. 2, and is completed.

상술한 바와 같이, 노광 장치(10)에서는, 반송되는 필름(90)의 노광 영역을 유지 롤(48)에 의해 냉각하면서 노광하므로, 노광 중의 필름(90)에 온도차가 발생하기 어렵다. 이에 의해, 노광 장치(10)는, 온도차에 기인하는 필름(90)의 주름을 억제할 수 있으므로, 주름에 의한 배향막(120) 및 액정막(122)의 배향각의 편차를 억제할 수 있다.
As described above, in the exposure apparatus 10, the exposure area of the film 90 to be conveyed is exposed while being cooled by the holding roll 48, so that a temperature difference is unlikely to occur in the film 90 under exposure. Thereby, since the exposure apparatus 10 can suppress the wrinkles of the film 90 resulting from a temperature difference, it can suppress the dispersion | variation of the orientation angle of the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 by wrinkles.

노광 장치(10)에서는, 유지 롤(48)이, 노광 영역에서 접하여, 필름(90)에 장력을 부여하고 있다. 이에 의해, 유지 롤(48)은, 해당 장력에 의해, 필름(90)의 주름 발생을 더욱 억제할 수 있다.
In the exposure apparatus 10, the holding roll 48 is in contact with the exposure area to apply tension to the film 90. Thereby, the holding roll 48 can further suppress the generation | occurrence | production of the wrinkle of the film 90 by the said tension | tensile_strength.

다음으로, 상술한 노광 장치(10)의 일부를 변경한 실시 형태에 대해 설명한다. 도 8 내지 도 14는, 일부를 변경한 노광부(18)의 근방의 개략 확대도이다. 도 10 내지 도 14에 있어서, 유지 롤(48)은, 냉각 기능을 갖고 있지만, 단순한 롤러로서 기능시켜도 된다.
Next, embodiment which changed one part of the above-mentioned exposure apparatus 10 is described. 8-14 is a schematic enlarged view of the vicinity of the exposure part 18 which changed one part. 10-14, although the holding roll 48 has a cooling function, you may function as a simple roller.

도 8에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)을 갖는다. 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)은, 냉각부의 유지부의 일례이다. 상류측 종동 롤(248)은, 마스크(38)보다도 상류 측에 배치되어 있다. 하류측 종동 롤(249)은, 마스크(38)보다도 하류측에 배치되어 있다. 따라서, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)은, 노광 영역과 상이한 영역에서 필름(90)과 접하여 유지된다. 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)은, 같은 높이로 배치되어 있다. 이에 의해, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)은, 필름(90)을 마스크(38)와 평행하게 유지한다.
As shown in FIG. 8, the exposure apparatus 10 has an upstream driven roll 248 and a downstream driven roll 249. The upstream side follower roll 248 and the downstream side follower roll 249 are an example of the holding part of a cooling part. The upstream side driven roll 248 is arrange | positioned rather than the mask 38 upstream. The downstream driven roll 249 is disposed downstream of the mask 38. Thus, the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 are held in contact with the film 90 in an area different from the exposure area. The upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 are arrange | positioned at the same height. As a result, the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 hold the film 90 in parallel with the mask 38.

상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)의 내부에는, 유로(250, 251)가 형성되어 있다. 필름(90)의 반송 중에 있어서, 유로(250, 251)에는, 물 등의 냉각용의 액체가 공급된다. 이에 의해, 필름(90)은, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)을 흐르는 액체에 의해 냉각된다.
Flow paths 250 and 251 are formed inside the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249. During conveyance of the film 90, cooling liquids such as water are supplied to the flow paths 250 and 251. Thereby, the film 90 is cooled by the liquid which flows through the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249. FIG.

노광 장치(10)에서는, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)에 의해, 노광 중의 노광 영역의 필름(90)의 직전 및 직후가 냉각되므로, 필름(90)의 주름을 억제하여, 배향각의 편차를 억제할 수 있다. 또한, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)이, 노광 영역과 상이한 영역에 배치된으므로, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)에 의해 반사된 편광에 의해, 배향막(120)이 노광되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 노광 장치(10)는, 배향각의 편차를 더욱 억제할 수 있다.
In the exposure apparatus 10, since the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 cool immediately before and immediately after the film 90 of the exposure area | region in exposure, the wrinkle of the film 90 is suppressed. In addition, the deviation of the orientation angle can be suppressed. Moreover, since the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 are arrange | positioned in the area | region different from an exposure area | region, it is based on the polarization reflected by the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249. This can suppress that the alignment film 120 is exposed. Thereby, the exposure apparatus 10 can further suppress the deviation of an orientation angle.

또한, 노광 장치(10)에서는, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)의 양쪽 모두에 냉각 기능을 갖게 했지만, 어느 한쪽에 냉각 기능을 갖게 해도 된다. 또한, 상류측 종동 롤(248) 및 하류측 종동 롤(249)의 양쪽 모두에 냉각 기능을 갖게하여, 적절히 스위칭하여 사용해도 된다.
In addition, in the exposure apparatus 10, although both the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249 had a cooling function, you may have a cooling function in either. In addition, you may provide a cooling function to both the upstream driven roll 248 and the downstream driven roll 249, and may switch suitably and use it.

도 9에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 유지면부(348)를 갖는다. 유지면부(348)는, 냉각부의 유지부의 일례이다. 유지면부(348)는, 편광 광원(34)과 대향하는 영역에 배치되어 있다. 유지면부(348)는, 편광이 조사되는 노광 영역의 필름(90)과 접하여 유지된다.
As shown in FIG. 9, the exposure apparatus 10 has a holding surface portion 348. The holding surface part 348 is an example of the holding part of a cooling part. The holding surface part 348 is arrange | positioned in the area | region which opposes the polarization light source 34. As shown in FIG. The holding surface part 348 is held in contact with the film 90 of the exposure area to which polarized light is irradiated.

유지면부(348)는, 한 쌍의 종동 롤(350, 352), 무단 벨트(354) 및 유로(356)를 갖는다. 한 쌍의 종동 롤(350, 352)은, 노광 영역을 사이에 두어, 상류측과 하류측에 배치되어 있다. 무단 벨트(354)는, 종동 롤(350)과 종동 롤(352)에 걸쳐서 감겨 있다. 무단 벨트(354)의 상면은, 마스크(38)와 평행하게 되도록 유지되어 있다. 이에 의해, 무단 벨트(354)는, 필름(90)을 마스크(38)와 평행하게 유지한다. 이와 같이 무단 벨트(354)는, 필름(90)과 면접촉하므로, 필름(90)의 주름을 더욱 억제함과 동시에, 필름(90)에 전사되는 패턴의 일그러짐을 저감할 수 있다. 유로(356)에는, 냉각용의 액체가 공급된다. 유로(356)의 상면은, 필름(90)의 반송 경로와 평행한 평면 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 유로(356)는, 무단 벨트(354)를 개입시켜, 필름(90)과 면접촉하므로, 필름(90)의 냉각 효율을 향상시킬 수 있다.
The holding surface portion 348 has a pair of driven rolls 350 and 352, an endless belt 354, and a flow path 356. The pair of driven rolls 350 and 352 is disposed at an upstream side and a downstream side with an exposure area interposed therebetween. The endless belt 354 is wound over the driven roll 350 and the driven roll 352. The upper surface of the endless belt 354 is held in parallel with the mask 38. As a result, the endless belt 354 holds the film 90 in parallel with the mask 38. Thus, since the endless belt 354 is in surface contact with the film 90, the wrinkle of the film 90 can be further suppressed, and the distortion of the pattern transferred to the film 90 can be reduced. The liquid for cooling is supplied to the flow path 356. The upper surface of the flow path 356 is formed in the plane shape parallel to the conveyance path of the film 90. Thereby, since the flow path 356 makes surface contact with the film 90 through the endless belt 354, the cooling efficiency of the film 90 can be improved.

도 10에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 선단이 호스 형상인 한 쌍의 필름 송풍부(448, 449)를 갖는다. 일방의 필름 송풍부(448)는, 반송 방향에 있어서, 유지 롤(48)의 중심을 사이에 두어, 타방의 필름 송풍부(449)의 반대측에 배치되어 있다. 필름 송풍부(448)는, 노광 영역 중 상류측의 부분의 필름(90)으로 냉각된 기체를 송풍하여, 해당 영역의 필름(90)을 공기 냉각한다. 필름 송풍부(449)는, 노광 영역 중 하류측의 부분의 필름(90)으로 냉각된 기체를 송풍하여, 해당 영역의 필름(90)을 공기 냉각한다. 필름 송풍부(448, 449)는, 노광 영역의 전체에서 필름(90)을 직접 냉각하므로, 냉각 효율을 향상시킬 수 있다.
As shown in FIG. 10, the exposure apparatus 10 has a pair of film blowing parts 448 and 449 whose tip is hose shape. One film blowing part 448 is arrange | positioned on the opposite side to the other film blowing part 449 across the center of the holding roll 48 in a conveyance direction. The film blowing part 448 blows the gas cooled by the film 90 of the upstream part of an exposure area | region, and air-cools the film 90 of this area | region. The film blowing part 449 blows the gas cooled by the film 90 of the downstream part of an exposure area | region, and air-cools the film 90 of the said area | region. Since the film blowing parts 448 and 449 directly cool the film 90 in the whole exposure area, the cooling efficiency can be improved.

도 11에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 한 쌍의 필름 송풍부(448, 449)를 갖는다. 필름 송풍부(448, 449)는, 노광 영역과 인접하는 영역에 배치되어 있다. 필름 송풍부(448)는, 노광 영역보다 상류측으로, 상류측 장력 롤(44)보다도 노광 영역 측에 배치되어 있다. 필름 송풍부(449)는, 노광 영역보다도 하류측으로, 하류측 장력 롤(46)보다도 노광 영역 측에 배치되어 있다. 필름 송풍부(448, 449)는, 노광 영역과 인접하는 영역의 필름(90)으로 냉각된 기체를 송풍하여 냉각하므로, 송풍에 의한 마스크(38)와 필름(90)의 사이의 대기의 혼란을 억제할 수 있다. 인접하는 영역의 일례는, 노광 영역의 외측으로, 노광 영역에 가장 근접하는 롤, 즉, 상류측 장력 롤(44) 및 하류측 장력 롤(46)보다도 노광 영역측의 영역이다. 이에 의해, 필름 송풍부(448, 449)는, 편광의 특성을 어지럽히는 일 없이, 필름(90)을 냉각할 수 있다.
As shown in FIG. 11, the exposure apparatus 10 has a pair of film blowing portions 448 and 449. The film blowing parts 448 and 449 are arrange | positioned in the area | region adjacent to an exposure area. The film blowing part 448 is arrange | positioned more upstream than an exposure area | region, and is arrange | positioned rather than the upstream tension roll 44 at the exposure area side. The film blowing part 449 is arrange | positioned downstream from an exposure area | region, and is arrange | positioned at the exposure area side rather than the downstream tension roll 46. FIG. Since the film blowing parts 448 and 449 blow and cool the gas cooled by the film 90 of the area | region adjacent to an exposure area | region, it is possible to eliminate the confusion of the atmosphere between the mask 38 and the film 90 by blowing. It can be suppressed. An example of the adjacent area | region is the area | region of the exposure area side rather than the roll which is nearest to an exposure area | region, ie, the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 outside an exposure area | region. Thereby, the film blowing parts 448 and 449 can cool the film 90, without disturbing the characteristic of polarization.

도 12에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 한 쌍의 마스크 냉각부(548, 549)를 갖는다. 일방의 마스크 냉각부(548)는, 반송 방향에 있어서, 마스크(38)를 사이에 두고, 타방의 마스크 냉각부(549)의 반대측에 배치되어 있다. 마스크 냉각부(548)는, 마스크(38)의 상류 부분으로 송풍한다. 마스크 냉각부(549)는, 마스크(38)의 하류 부분으로 송풍한다. 이에 의해, 마스크 냉각부(548, 549)는, 마스크(38)를 공기 냉각한다. 마스크(38)가 냉각되므로, 노광시의 마스크(38)의 열에 의한 필름(90)의 가열을 억제할 수 있다. 이에 의해, 필름(90)을 냉각할 수 있으므로, 필름(90)의 주름을 억제할 수 있다. 또한, 마스크(38)는, 노광 전에 비해, 4℃ 이상, 바람직하게는 1℃ 이상 승온하지 않도록 냉각하는 것이 바람직하다. 또한, 마스크(38)는, 상정되는 사용 환경에서의 사용이 바람직하고, 사용 환경의 일례는, 약 23℃±1℃인 온도, 55% 내지 65%의 습도에서 사용되는 것이 바람직하다.
As shown in FIG. 12, the exposure apparatus 10 includes a pair of mask cooling units 548 and 549. One mask cooling part 548 is arrange | positioned on the opposite side to the other mask cooling part 549 in the conveyance direction with the mask 38 interposed. The mask cooling unit 548 blows the air upstream of the mask 38. The mask cooling unit 549 blows to the downstream portion of the mask 38. As a result, the mask cooling units 548 and 549 air cool the mask 38. Since the mask 38 is cooled, heating of the film 90 by the heat of the mask 38 at the time of exposure can be suppressed. Thereby, since the film 90 can be cooled, the wrinkle of the film 90 can be suppressed. In addition, it is preferable to cool the mask 38 so that it may not raise temperature 4 degreeC or more, Preferably it is 1 degreeC or more compared with before exposure. In addition, the mask 38 is preferably used in an assumed use environment, and an example of the use environment is preferably used at a temperature of about 23 ° C ± 1 ° C and a humidity of 55% to 65%.

도 13에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 유지 냉각부의 일례인 한 쌍의 유지 공기 냉각부(648, 649)를 갖는다. 유지 공기 냉각부(648)는, 상류측의 마스크 유지부(40)로 송풍한다. 유지 공기 냉각부(649)는, 하류측의 마스크 유지부(40)로 송풍한다. 이에 의해, 마스크 유지부(40)가, 유지 공기 냉각부(648, 649)에 의해 공기 냉각된다. 이 결과, 마스크(38)가 냉각되므로, 노광시의 마스크(38)의 열에 의한 필름(90)의 가열을 억제할 수 있고, 필름(90)을 냉각하여, 필름(90)의 주름을 억제할 수 있다.
As shown in FIG. 13, the exposure apparatus 10 has a pair of holding air cooling parts 648 and 649 which are an example of holding cooling parts. The holding air cooling part 648 blows to the mask holding part 40 of an upstream. The holding air cooling part 649 blows to the mask holding part 40 of the downstream side. Thereby, the mask holding | maintenance part 40 is air-cooled by the holding air cooling part 648,649. As a result, since the mask 38 is cooled, heating of the film 90 by the heat of the mask 38 at the time of exposure can be suppressed, the film 90 is cooled, and wrinkles of the film 90 can be suppressed. Can be.

도 14에 나타난 바와 같이, 노광 장치(10)는, 유지 냉각부의 일례인 한 쌍의 유지 액체 냉각부(748, 749)를 갖는다. 유지 액체 냉각부(748, 749)는, 마스크 유지부(40)의 내부에 형성된 유로이다. 유지 액체 냉각부(748, 749)에는, 물 등의 액체가 공급된다. 이에 의해, 마스크 유지부(40)가, 유지 액체 냉각부(748, 749)에 공급된 액체에 의해 냉각된다. 이 결과, 마스크(38)가 냉각되므로, 노광시의 마스크(38)의 열에 의한 필름(90)의 가열을 억제하여, 필름(90)을 냉각할 수 있으므로, 필름(90)의 주름을 억제할 수 있다.
As shown in FIG. 14, the exposure apparatus 10 has a pair of holding liquid cooling parts 748 and 749 which are an example of holding cooling parts. The holding liquid cooling parts 748 and 749 are flow paths formed inside the mask holding part 40. Liquid, such as water, is supplied to the maintenance liquid cooling parts 748 and 749. Thereby, the mask holding part 40 is cooled by the liquid supplied to the holding liquid cooling parts 748 and 749. As a result, since the mask 38 is cooled, heating of the film 90 by the heat of the mask 38 at the time of exposure can be suppressed, and the film 90 can be cooled, and the wrinkle of the film 90 can be suppressed. Can be.

필름(90)의 냉각 방법은, 상술한 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 권취 롤(28)의 회전 속도를 올려, 필름(90)의 반송 속도를 올리는 것에 의해, 필름(90)을 냉각해도 된다. 또한, 필름(90)의 반송 속도의 상한은, 배향 가능한 정도로 배향막(120)에 편광을 조사할 수 있는 것을 고려하여 결정된다. 따라서, 반송 속도의 상한은, 배향막(120)을 배향시키기 위해 필요한 에너지의 하한값, 조사되는 편광의 조도에 근거하여 결정할 수 있다. 예를 들면, 배향막(120)을 배향시키기 위해 필요한 에너지의 하한값이 15mJ/cm2 인 경우이며, 반송 방향에서 제1 투과 영역(62)과 제2 투과 영역(64)의 길이가 각각 30mm인 경우이며, 편광의 조도가 100 mW/cm2인 경우, 반송 속도의 상한은, 12 m/분이다.
The cooling method of the film 90 is not limited to the above-mentioned embodiment. For example, the film 90 may be cooled by raising the rotational speed of the winding roll 28 and raising the conveyance speed of the film 90. In addition, the upper limit of the conveyance speed of the film 90 is decided in consideration of being able to irradiate the polarizing film to the oriented film 120 to the extent which can be oriented. Therefore, the upper limit of a conveyance speed can be determined based on the lower limit of the energy required in order to orientate the oriented film 120, and the illuminance of the polarized light to be irradiated. For example, the lower limit of energy required to orient the alignment layer 120 is 15 mJ / cm 2 , and the lengths of the first transmission region 62 and the second transmission region 64 in the conveyance direction are each 30 mm. When the illuminance of polarization is 100 mW / cm 2, the upper limit of the conveyance speed is 12 m / min.

다음으로, 상술한 실시 형태의 효과를 증명하기 위한 실험에 대해 설명한다. 도 15는, 필름 냉각에 의한 배향각의 영향을 조사한 실험 결과의 표이다. 도 15에 나타내는 배향각의 편차는, Oji 계측 기기(주) 제품인 KOBRA-CCD에 의해 측정한 배향각으로부터 산출했다. 또한, 배향각의 편차는, 설정치를 0°로 하여, 거기서부터의 편차이다. 본 실험에서는, 상술한 실시 형태의 노광 장치(10)에 의해 제조된 실시예 1 내지 실시예 4와, 실시예 1 내지 실시예 4와 비교하는 비교예 1, 비교예 2의 시료를 작성했다. 반송되는 필름의 폭은, COP 및 TAC 모두 350mm로 했다.
Next, the experiment for demonstrating the effect of embodiment mentioned above is demonstrated. It is a table | surface of the experiment result which investigated the influence of the orientation angle by film cooling. The deviation of the orientation angle shown in FIG. 15 was computed from the orientation angle measured by KOBRA-CCD which is a product of Oji Measurement Instruments. In addition, the deviation of an orientation angle is set to 0 degree, and is a deviation from there. In this experiment, the sample of the comparative example 1 and the comparative example 2 compared with Example 1-Example 4 and Example 1-Example 4 manufactured by the exposure apparatus 10 of above-mentioned embodiment were created. The width of the film to be conveyed was 350 mm for both COP and TAC.

도 15에 나타난 바와 같이, 1℃ 이상 승온하지 않도록 마스크(38)를 냉각하면서, 노광한 실시예 1 내지 실시예 3의 경우, 폭 방향의 주름을 억제하여, 배향각의 편차를 ±0.1° 이하로 할 수 있었다. 이 효과는, 필름(90)이, COP 또는 TAC에 의존하지 않음을 알 수 있다. 실시예 1 내지 실시예 3을 실장한 입체 화상 표시 장치에서는, 얼룩이 시인되지 않고, 양호한 입체 화상을 얻을 수 있었다. 한편, 마스크(38)를 냉각하지 않는 비교예 1, 2의 경우, 배향각의 편차가, ±0.8° 이상이 되어 극히 큰 것을 알 수 있다. 또한, 실시예 4의 결과가 나타내는 바와 같이, 반송 속도를 올려, 필름(90)을 냉각하는 것에 의해서도, 배향각의 편차를 ±0.2° 이하로 할 수 있음을 알 수 있다.
As shown in FIG. 15, in the case of exposed Examples 1 to 3 while cooling the mask 38 so as not to increase the temperature by 1 ° C or more, wrinkles in the width direction are suppressed, and the deviation of the orientation angle is ± 0.1 ° or less. Could. This effect can be seen that the film 90 does not depend on the COP or TAC. In the three-dimensional image display apparatus which mounted Example 1 thru | or Example 3, unevenness was not recognized, and favorable three-dimensional image was obtained. On the other hand, in the case of the comparative examples 1 and 2 which do not cool the mask 38, it turns out that the deviation of an orientation angle becomes more than +/- 0.8 degrees, and is extremely large. Moreover, as the result of Example 4 shows, it turns out that the dispersion | variation of an orientation angle can also be made into ± 0.2 degrees or less by raising a conveyance speed and cooling the film 90. As shown in FIG.

도 16은, 필름(90)의 주름과 배향각의 편차를 조사한 실험 결과의 그래프이다. 또한, 이 실험에서는, 도 12에 나타내는 마스크 냉각에 의해 필름(90)을 냉각하여 필름(90)의 주름을 없앴다. 도 16에 나타내는 횡축은, 필름(90)의 폭 방향의 위치를 나타낸다.
FIG. 16 is a graph showing the results of experiments in which variations in wrinkles and orientation angles of the film 90 were examined. In addition, in this experiment, the film 90 was cooled by mask cooling shown in FIG. 12, and the wrinkles of the film 90 were removed. The horizontal axis shown in FIG. 16 shows the position of the width direction of the film 90.

도 16에 나타난 바와 같이, 실선으로 나타내는 노광 영역에 주름이 발생하고 있지 않은 필름(90)에서는, 배향각의 편차가, ±0.2° 이하로 억제된음을 알 수 있다. 한편, 점선으로 나타내는 노광 영역에 주름이 발생하고 있는 필름(90)에서는, 배향각의 편차가, ±0.9° 이상으로 되어 있다. 이에 의해, 냉각에 의해 주름을 억제하는 것으로써, 배향각의 편차가, 극히 작아질 수 있음을 알 수 있다.
As shown in FIG. 16, in the film 90 in which wrinkles did not occur in the exposure area shown by the solid line, it turns out that the deviation of an orientation angle is suppressed to ± 0.2 degrees or less. On the other hand, in the film 90 in which the wrinkles generate | occur | produce in the exposure area shown by the dotted line, the deviation of an orientation angle is more than +/- 0.9 degrees. Thereby, it turns out that the deviation of an orientation angle can become extremely small by suppressing wrinkles by cooling.

상술한 실시 형태의 구성의 형상, 배치, 폭 및 길이 등의 수치, 개수, 재료 등은 적절히 변경해도 된다. 또한, 각 실시 형태를 조합해도 된다.
The shape, arrangement, width, and length of the configuration of the above-described embodiment, the number, the material, and the like may be appropriately changed. In addition, you may combine each embodiment.

예를 들면, 상술한 실시 형태에서는, 연속 반송하면서 노광하는 예를 나타냈지만, 필름(90)의 도중에 반송을 일시 정지해도 된다. 이 경우, 필름(90)은, 반송과 정지가 교대로 반복되는 간헐 반송이 된다.
For example, in the above-mentioned embodiment, although the example which exposed while conveying continuously was shown, you may pause conveyance in the middle of the film 90. In this case, the film 90 becomes intermittent conveyance in which conveyance and stop are repeated alternately.

상술의 실시 형태에서는, 마스크(38)의 차광층(58)을 마스크 기재(56)의 하면에 형성하는 예를 나타냈지만, 차광층(58)을 마스크 기재(56)의 상면에 형성해도 된다.
In the above-mentioned embodiment, although the example which forms the light shielding layer 58 of the mask 38 in the lower surface of the mask base material 56 was shown, you may form the light shielding layer 58 in the upper surface of the mask base material 56.

이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태의 기재 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능함은 당업자에게 분명하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있음은, 특허청구범위의 기재로부터 분명하다.
As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the description range of the said embodiment. It is apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above embodiments. It is clear from description of a claim that the form which added such a change or improvement can also be included in the technical scope of this invention.

특허청구범위, 명세서 및 도면에 있어서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에 있어서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「이전에」등으로 명시하고 있지 않고, 또한, 이전 처리의 출력을 후의 처리로 이용하지 않는 한, 임의의 순서로 실현할 수 있음을 유의해야 한다. 특허청구범위, 명세서 및 도면 내의 동작 플로우에 관해서, 편의상 「우선」, 「다음으로」등을 이용하여 설명했다고 하여도, 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.
The order of execution of each process such as an operation, an order, a step, and a step in a device, a system, a program, and a method as shown in the claims, the specification and the drawings is specifically described as "before", "before" And it is to be noted that the present invention can be realized in any order unless the output of the previous process is used as a later process. Although the description of the patent claims, the specification and the operation flow in the drawings using "priority", "next", etc. for the sake of convenience, does not mean that it is necessary to carry out the process in this order.

10 노광 장치
12 송출 롤
14 배향막 도포부
16 배향막 건조부
18 노광부
20 액정막 도포부
22 액정막 배향부
24 액정막 경화부
26 세퍼레이트 필름 공급부
28 권취 롤
34 편광 광원
38 마스크
40 마스크 유지부
44 상류측 장력 롤
46 하류측 장력 롤
48 유지 롤
50 제1 편광 출력부
52 제2 편광 출력부
54 유로
56 마스크 기재
58 차광층
62 제1 투과 영역
64 제2 투과 영역
90 필름
92 세퍼레이트 필름
100 광학 필름
102 수지 기재
104 제1 편광 변조부
106 제2 편광 변조부
110 화살표
112 화살표
114 화살표
116 화살표
120 배향막
122 액정막
124 제1 배향 영역
126 제2 배향 영역
128 제1 액정 영역
130 제2 액정 영역
150 입체 화상 표시 장치
152 광원
154 화상 출력부
158 광학 기능막
164 편광판
166 유지 기판
168 화상 생성부
170 유지 기판
174 편광판
178 우안용 화상 생성부
180 좌안용 화상 생성부
190 편광 안경
192 우안용 변조부
194 좌안용 변조부
248 상류측 종동 롤
249 하류측 종동 롤
250 유로
251 유로
348 유지면부
350 종동 롤
352 종동 롤
354 무단 벨트
356 유로
448 필름 송풍부
449 필름 송풍부
548 마스크 냉각부
549 마스크 냉각부
648 유지 공기 냉각부
649 유지 공기 냉각부
748 유지 액체 냉각부
749 유지 액체 냉각부10 exposure equipment
12 feeding rolls
14 alignment film coating
16 alignment film drying unit
18 Exposure section
20 Liquid Crystal Coating Layer
22 Liquid Crystal Alignment Section
24 Liquid Crystal Curing Part
26 Separator Film Supply
28 winding rolls
34 polarized light source
38 masks
40 mask holder
44 Upstream Tension Roll
46 Downstream Tension Roll
48 retaining roll
50 first polarization output unit
52 second polarization output unit
54 euros
56 Mask Base
58 shading layer
62 First Transmission Area
64 second transmission zone
90 film
92 separate film
100 optical film
102 resin substrate
104 first polarization modulator
106 second polarization modulator
110 arrows
112 arrows
114 arrows
116 arrows
120 alignment layer
122 Liquid Crystal Film
124 first alignment region
126 second alignment region
128 first liquid crystal region
130 second liquid crystal region
150 stereoscopic image display
152 light source
154 image output
158 optical function film
164 polarizer
166 holding substrate
168 Image Generator
170 holding substrate
174 polarizer
178 Right Eye Image Generator
180 left eye image generation unit
190 polarized glasses
192 Right-eye Modulator
194 Left Eye Modulator
248 Upstream Follower Roll
249 downstream driven rolls
250 Euro
251 euro
348 Holding surface part
350 driven rolls
352 driven rolls
354 stepless belt
356 euro
448 film blower
449 film blower
548 Mask Cooling Unit
549 Mask Cooling Section
648 Maintenance Air Cooling Unit
649 Maintenance Air Cooling Unit
748 Maintenance Liquid Cooling Unit
749 Maintenance Liquid Cooling Unit

Claims (14)

장척형의 필름을 반송하는 반송부;
상기 반송부에 의해 반송되는 상기 필름을, 마스크를 개입시켜 노광하는 노광부; 및
상기 노광부에 의해 노광되는 상기 필름을 냉각하는 냉각부
를 갖는
노광 장치.
A conveying unit for conveying a long film;
An exposure part which exposes the said film conveyed by the said conveyance part through a mask; And
Cooling part for cooling the film exposed by the exposure part
Having
Exposure apparatus.
제1항에 있어서,
상기 냉각부는, 상기 필름과 접하여 냉각하는 유지부를 갖는
노광 장치.
The method of claim 1,
The cooling unit has a holding unit for cooling in contact with the film.
Exposure apparatus.
제2항에 있어서,
상기 유지부는, 상기 노광부에 의해 노광되는 노광 영역에 있어서 상기 필름과 접하여 냉각하는
노광 장치.
3. The method of claim 2,
The said holding part cools in contact with the said film in the exposure area | region exposed by the said exposure part.
Exposure apparatus.
제2항에 있어서,
상기 유지부는, 상기 노광부에 의해 노광되는 노광 영역과 상이한 영역 에 있어서 상기 필름과 접하여 냉각하는
노광 장치.
3. The method of claim 2,
The holding part is cooled in contact with the film in an area different from the exposure area exposed by the exposure part.
Exposure apparatus.
제2항에 있어서,
상기 유지부는, 상기 필름의 반송과 함께 회동하는
노광 장치.
3. The method of claim 2,
The said holding part rotates with conveyance of the said film
Exposure apparatus.
제1항에 있어서,
상기 냉각부는, 상기 필름을 공기 냉각하는 필름 송풍부를 갖는
노광 장치.
The method of claim 1,
The said cooling part has a film blower which air-cools the said film
Exposure apparatus.
제6항에 있어서,
상기 필름 송풍부는, 상기 노광부에 의해 노광되는 노광 영역에 있어서 상기 필름을 공기 냉각하는
노광 장치.
The method according to claim 6,
The film blowing unit is configured to air cool the film in an exposure area exposed by the exposure unit.
Exposure apparatus.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 필름 송풍부는, 상기 노광부에 의해 노광되는 노광 영역과 인접하는 영역에 있어서 상기 필름을 공기 냉각하는
노광 장치.
8. The method according to claim 6 or 7,
The film blowing unit is configured to air cool the film in a region adjacent to an exposure region exposed by the exposure unit.
Exposure apparatus.
제1항에 있어서,
상기 냉각부는, 상기 마스크를 냉각하는 마스크 냉각부를 갖는
노광 장치.
The method of claim 1,
The cooling unit has a mask cooling unit for cooling the mask.
Exposure apparatus.
제9항에 있어서,
상기 마스크 냉각부는, 상기 마스크를 공기 냉각하는
노광 장치.
10. The method of claim 9,
The mask cooling unit is configured to air cool the mask.
Exposure apparatus.
제1항에 있어서,
상기 마스크를 유지하는 마스크 유지부를 더 포함하고,
상기 냉각부는, 상기 마스크 유지부를 냉각하는 유지 냉각부를 갖는
노광 장치.
The method of claim 1,
Further comprising a mask holding portion for holding the mask,
The said cooling part has a holding | maintenance cooling part which cools the said mask holding part.
Exposure apparatus.
제11항에 있어서,
상기 유지 냉각부는, 상기 마스크 유지부를 공기 냉각하는
노광 장치.
12. The method of claim 11,
The holding cooling unit cools the mask holding unit.
Exposure apparatus.
제11항 또는 제12항에 있어서,
상기 유지 냉각부는, 상기 마스크 유지부를 액체에 의해 냉각하는
노광 장치.
13. The method according to claim 11 or 12,
The holding cooling unit cools the mask holding unit with a liquid.
Exposure apparatus.
장척형의 필름을 반송하는 반송 단계;
상기 반송 단계에 의해 반송되는 상기 필름을, 마스크를 개입시켜 노광하는 노광 단계; 및
상기 노광 단계에 의해 노광되는 상기 필름을 냉각하는 냉각 단계
를 포함하는
노광 방법.
A conveying step of conveying a long film;
An exposure step of exposing the film conveyed by the conveying step through a mask; And
A cooling step of cooling the film exposed by the exposure step
Containing
Exposure method.
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