KR20130129731A - Slicing device for ingot - Google Patents

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KR20130129731A
KR20130129731A KR1020120053808A KR20120053808A KR20130129731A KR 20130129731 A KR20130129731 A KR 20130129731A KR 1020120053808 A KR1020120053808 A KR 1020120053808A KR 20120053808 A KR20120053808 A KR 20120053808A KR 20130129731 A KR20130129731 A KR 20130129731A
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Abstract

The present invention relates to a device for cutting an ingot and, more specifically, comprising: multiple wires which are arranged at regular intervals; more than two rollers for rotating the multiple wires toward one direction or the other direction in order to cut the ingot; a driving unit for rotating the rollers toward one direction or the other direction; a lifting unit which is equipped in the upper part of the arranged multiple wires, for fixating the ingot, which is a target for cutting, and for moving the ingot up and down; a cutting fluid feeding unit for spraying a cutting fluid toward the multiple wires, which are rotated in order to cut the ingot, since a plurality of first cutting nozzles and second cutting nozzles are arranged toward a direction of being crossed with the arranged multiple wires, while a plurality of the first cutting nozzles are equipped in one side and a plurality of the second cutting nozzles are equipped in the other side based on the lifting unit; and a cleaning fluid feeding unit for spraying a cleaning fluid toward the multiple wires, which are rotated after a plurality of first cleaning nozzles and second cleaning nozzles are arranged toward a direction of being crossed with the arranged multiple wires, and cut the ingot, while a plurality of the first cleaning nozzles are equipped in one side and a plurality of the second cleaning nozzles are equipped in the other side based on the lifting unit.

Description

잉곳 절단장치{Slicing device for Ingot}Ingot cutting device {Slicing device for Ingot}

본 발명은 잉곳 절단에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉곳을 절단하기 위해 회전되는 다수의 와이어에 절삭유와 세척유를 분사함에 따라 회전되는 와이어와 잉곳에 충격이 가해지는 것을 최소화 및 방지하여 절단면을 평평하게 형성할 수 있어 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 잉곳 절단장치에 관한 것이다.
The present invention relates to ingot cutting, and more particularly, to flatten the cutting surface by minimizing and preventing the impact of the rotating wire and the ingot from spraying cutting oil and washing oil onto a plurality of wires rotated to cut the ingot. The present invention relates to an ingot cutting device capable of forming the wafer so as to improve the quality of the wafer.

일반적으로, 태양전지모듈에 구성되는 웨이퍼는 실리콘 잉곳(ingot)을 박판으로 절단하여 얻게 된다.In general, a wafer formed in a solar cell module is obtained by cutting a silicon ingot into a thin plate.

이를 위한 잉곳 절단장치는 등록특허 제10-1056939호에서 개진된 바와 같다.Ingot cutting device for this is as described in the Patent No. 10-1056939.

이러한 잉곳 절단장치를 살펴보면, 지지 기능을 하는 격자형의 프레임이 구성되고, 프레임의 상방에 지지되어 잉곳을 하방으로 하강시키는 이송부가 구성된다.Looking at such an ingot cutting device, a lattice-shaped frame having a supporting function is configured, and a conveying unit configured to be supported above the frame to lower the ingot downward.

또한 이송부의 하방에 위치하도록 프레임의 바닥면에 고정되어 잉곳을 여러 장의 웨이퍼로 절단시키는 절삭부로 구성되며, 이송부는 잉곳이 지지되는 지지판과 지지판의 상면에 연결되어 지지판을 상하 이송시키도록 프레임에 지지되는 구동부가 구성된다.In addition, the cutting part is fixed to the bottom of the frame so as to be located below the conveying part to cut the ingot into a plurality of wafers, the conveying part is connected to the upper surface of the support plate and the support plate on which the ingot is supported to support the frame to transport the support plate up and down The driving part is comprised.

절삭부는 이송부 하부에 양측으로 이격되도록 프레임 바닥면에 수직으로 고정된 측판과 측판에 지지되어 회전하도록 구성되는 롤러와 롤러에 여러 가닥으로 감긴 와이어와, 측판 중 한쪽 측판의 외측면에 고정되어 롤러를 회전시키는 모터가 구성된다.The cutting part is fixed to the outer side of one side of the side plate, and the wire wound by several strands on the roller and the roller which are supported and rotated on the side plate fixed to the bottom of the frame and vertically fixed to the bottom of the frame so as to be spaced apart from both sides under the conveying part. A rotating motor is configured.

롤러는 상부에 평행하게 2개가 구성되고, 하부에 1개 또는 2개의 롤러가 구성되며, 롤러는 둘레에 홈이 형성되어 와이어가 삽입되어 안내되도록 구성된다.Two rollers are configured in parallel to the upper portion, one or two rollers are formed in the lower portion, and the rollers are configured such that grooves are formed around the wires so that wires are inserted and guided.

이 잉곳 절단장치(1)를 간략하게 도시하면, 도 1에서 도시한 바와 같이,상부에 두 개의 롤러(3)에 의해 와이어(2)가 회전되는 상태에서 이송부(4)에 의해 잉곳(20)이 하강함에 따라 잉곳(20)이 절단된다.Briefly showing this ingot cutting device 1, as shown in Fig. 1, the ingot 20 by the conveying part 4 in the state in which the wire 2 is rotated by the two rollers 3 on the top. As this descends, the ingot 20 is cut | disconnected.

이때, 절삭유(6)를 공급하는 공급부(5)가 구비되어 와이어(2) 외면으로 공급함에 따라 잉곳(20)을 용이하게 절단할 수 있도록 한다.At this time, the supply unit 5 for supplying the cutting oil 6 is provided so that the ingot 20 can be easily cut by supplying to the outer surface of the wire 2.

그러나 이 절삭유(6)를 공급하는 공급부(5)의 토출구(5a)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 직사각형의 긴 슬롯 형상으로 형성된다.However, the discharge port 5a of the supply part 5 which supplies this cutting oil 6 is formed in rectangular elongate slot shape as shown in FIG.

이러한 긴 슬롯 형상의 토출구(5a) 전체를 통해 절삭유(6)가 토출되기 위해선 일정 압력 이상으로 절삭유(6)가 공급되어 토출되어야 하며, 이러한 높은 압력으로 토출되는 절삭유(6)에 의해 와이어(2)에 충격이 가해져 진동이 발생된다.In order for the cutting oil 6 to be discharged through the entire long slot-shaped discharge port 5a, the cutting oil 6 must be supplied and discharged at a predetermined pressure or more, and the wire 2 is discharged by the cutting oil 6 discharged at such a high pressure. ) Is shocked and vibration is generated.

이러한 와이어(2)의 진동은 잉곳(20)을 절단함에 있어서, 그 절단면이 평평하지 못해 절단된 웨이퍼의 면이 평평하지 못한 불량이 발생 됨은 물론, 이 불량을 해소하기 위해 별도의 보정작업이 이루어져 시간과 비용이 발생되는 문제점이 있다.When the vibration of the wire 2 is to cut the ingot 20, the cut surface is not flat, so that the surface of the cut wafer is not flat, as well as a separate correction operation is made to solve this defect. There is a problem that takes time and money.

또한 공급부(5)에서 토출되는 절삭유(6)는 잉곳(20) 절단을 위해 공급됨과 동시에 와이어(2)를 세척하는 것으로, 이물질에 의한 불량발생을 감소시키기 위해 절삭유(6) 공급량과 공급 압력을 높임에 따라 와이어(2)와 잉곳(20)에 가해지는 충격이 증가되어 오히려 이러한 충격에 의한 불량이 더 발생되는 문제점이 있다.In addition, the cutting oil 6 discharged from the supply part 5 is supplied for cutting the ingot 20 and at the same time washing the wire 2, and in order to reduce the occurrence of defects caused by foreign substances, the cutting oil 6 supply amount and supply pressure are reduced. As the height is increased, the impact applied to the wire 2 and the ingot 20 is increased, and there is a problem in that defects caused by such impact are further generated.

이에 와이어의 윤활과 세척력을 향상시킴은 물론, 공급 시, 와이어에 가해지는 충격을 최소화시킬 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있다.
Therefore, there is an urgent need to develop a technology that can improve the lubrication and cleaning power of the wire, as well as minimize the impact on the wire when supplied.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 잉곳 절단을 위한 와이어에 진동을 최소화 또는 방지하며 절삭유를 분사시키는 절삭유공급부와 잉곳을 절단한 와이어를 진동을 최소화 및 방지하며 세척유를 분사할 수 있는 세척유공급부를 구비하여 잉곳을 평평하게 절단할 수 있어 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있고, 비용을 절감시킬 수 있는 잉곳 절단장치를 제공하는 것이 목적이다.
Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, to minimize or prevent vibration in the wire for cutting the ingot, and to minimize and prevent the vibration of the cutting oil supply unit and the ingot cutting wire for injecting cutting oil and washing oil It is an object to provide an ingot cutting device having a washing oil supply unit capable of spraying to cut the ingot flat to improve the quality of the wafer, and to reduce the cost.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 일정 간격으로 배치된 다수의 와이어, 잉곳의 절단을 위해 상기 다수의 와이어를 일방향 또는 타방향으로 회전시키기 위한 최소 두 개 이상의 롤러, 상기 롤러를 일방향 또는 타방향으로 회전시키는 구동부, 상기 배치된 다수의 와이어 상측에 구비되어 절단하기 위한 잉곳을 고정시켜 상하 이동시키는 승강부, 상기 승강부를 기준으로, 일측에 다수의 제1절삭노즐을 갖는 제1절삭유공급관과 타측에 다수의 제2절삭노즐을 갖는 제2절삭유공급관이 형성되되, 상기 다수의 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은 배치된 다수의 와이어와 교차되는 방향으로 제1절삭유공급관과 제2절삭유공급관에 배치되어 상기 잉곳의 절단을 위해 회전되는 다수의 와이어에 절삭유를 분사하는 절삭유공급부, 및 상기 승강부를 기준으로, 일측에 다수의 제1세척노즐을 갖는 제1세척유공급관과 타측에 다수의 제2세척노즐을 갖는 제2세척유공급관이 구비되되, 상기 다수의 제1세척노즐과 제2세척노즐은 배치된 다수의 와이어와 교차되는 방향으로 제1세척유공급관과 제2세척유공급관에 배치되어 상기 잉곳을 절단 후, 회전되는 다수의 와이어에 세척유를 분사하는 세척유공급부를 포함하여 이루어진다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for cutting a plurality of wires and ingots arranged at regular intervals, the method comprising: at least two rollers for rotating the plurality of wires in one direction or another direction; A first cutting oil supply pipe provided on one side of the plurality of wires and having a plurality of first cutting nozzles on one side with respect to the elevation portion, A plurality of first cutting nozzles and a plurality of second cutting nozzles are disposed in a first cutting oil supply pipe and a second cutting oil supply pipe in a direction intersecting with the plurality of wires arranged in a second cutting oil supply pipe having a plurality of second cutting nozzles A cutting oil supply part for spraying a cutting oil onto a plurality of wires rotated for cutting the ingot; A first washing oil supply pipe having a number of first washing nozzles and a second washing oil supply pipe having a plurality of second washing nozzles on the other side, wherein the plurality of first washing nozzles and the second washing nozzles are arranged It is disposed in the first washing oil supply pipe and the second washing oil supply pipe in the direction intersecting the wire and cut the ingot, and comprises a washing oil supply unit for spraying the washing oil to a plurality of rotating wires.

바람직하게, 상기 절삭유공급부는 상기 잉곳을 절단하기 위해 잉곳을 향해 일방향으로 회전되는 와이어의 상측에 위치된 상기 제1절삭노즐 또는 제2절삭노즐 중 어느 하나에 의해 절삭유가 분사되고, 상기 세척유공급부는 상기 승강부를 기준으로 상기 절삭유를 분사하는 제1절삭노즐과 제2절삭노즐 중 어느 하나의 반대측에 위치된 상기 제1세척노즐 또는 제2세척노즐 중 어느 하나에 의해 세척유가 분사되어 잉곳을 절단한 와이어를 세척하며, 상기 와이어가 타방향으로 회전될 경우, 상기 제1절삭노즐 또는 제2절삭노즐 중 다른 하나에 의해 절삭유가 분사되고, 상기 제1세척노즐 또는 제2세척노즐 중 다른 하나에 의해 세척유가 분사된다.Preferably, the cutting oil supply unit is the cutting oil is injected by any one of the first cutting nozzle or the second cutting nozzle located above the wire rotated in one direction toward the ingot to cut the ingot, the cleaning oil supply The cutting unit injects the washing oil by any one of the first washing nozzle or the second washing nozzle located on the opposite side of the first cutting nozzle and the second cutting nozzle to inject the cutting oil based on the lifting unit. When one wire is washed and the wire is rotated in the other direction, cutting oil is injected by the other of the first cutting nozzle or the second cutting nozzle, and the cutting oil is sprayed on the other of the first washing nozzle or the second washing nozzle. Washing oil is injected.

그리고 상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은, 상기 롤러에 각각 절삭유를 분사하도록 구비되며, 각 롤러에 권취되어 회전되는 다수의 와이어에 절삭유를 분사한다.The first cutting nozzle and the second cutting nozzle are provided to inject cutting oil into the rollers, respectively, and spray cutting oil to a plurality of wires wound and rotated on the rollers.

또한, 상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은, 해당 롤러의 회전축 방향으로 절삭유를 분사하도록 구비되며, 상기 와이어가 권취되어 접촉된 각 롤러 부위 범위 내에 절삭유를 분사한다.In addition, the first cutting nozzle and the second cutting nozzle are provided to spray cutting oil in the direction of the rotation axis of the roller, and the cutting oil is sprayed within the range of each roller portion in which the wire is wound and contacted.

그리고 상기 제1세척노즐과 제2세척노즐은, 상기 각 롤러와 승강부 사이에 위치되어 와이어에 세척유를 분사하도록 구비된다.The first washing nozzle and the second washing nozzle are disposed between the rollers and the lifting unit to spray washing oil onto the wire.

또한, 상기 제1세척노즐과 제2세척노즐은, 상기 승강부를 향하도록 하향 경사지게 구비되어 와이어에 세척유를 분사한다.In addition, the first washing nozzle and the second washing nozzle are inclined downward so as to face the lifting unit, and spray washing oil to the wire.

그리고 상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐, 제1세척노즐 및 제2세척노즐은, 장공형태의 분사구가 형성되되, 상기 분사구는 단면적이 분사방향으로 갈수록 점차적으로 증가되도록 형성되고, 장공의 가장 긴 지름을 지나는 연장선이 해당 노즐의 배치방향에 평행한 연장선과 일정 각도를 갖도록 형성되어 절삭유 또는 세척유가 분사되며, 상기 와이어의 이동방향에서 보았을 때, 분사되는 절삭유 또는 세척유는 인접한 다른 절삭유 또는 세척유와 일부 중첩되도록 분사된다.In addition, the first cutting nozzle and the second cutting nozzle, the first washing nozzle and the second washing nozzle are formed in the injection hole of the long hole shape, the injection hole is formed so that the cross-sectional area gradually increases in the injection direction, the most of the long hole The extension line passing through the long diameter is formed to have an angle with the extension line parallel to the direction in which the nozzle is disposed so that the cutting oil or the washing oil is injected, and when viewed from the moving direction of the wire, the cutting oil or the washing oil is injected into another adjacent cutting oil or washing. Sprayed to overlap some of the oil.

또한, 상기 절삭유공급부와 세척유공급부는, 공급되는 절삭유 또는 세척유의 압력과 분사각도, 상기 와이어와의 이격거리를 조절하는 조절부가 더 구비되어 상기 와이어가 배치된 평면상의 분사영역으로 균일한 량이 분사되도록 조절된다.The cutting oil supply unit and the washing oil supply unit may further include an adjusting unit for adjusting the pressure and the spray angle of the cutting oil or the washing oil to be supplied and the separation distance from the wire. To be adjusted.

그리고 상기 절삭유공급부와 세척유공급부는 인접한 다른 노즐과의 간격이 35 ~ 65mm이고, 상기 조절부에 의해 조절되는 각 노즐의 분사각도는 100 ~ 130°이며, 상기 절삭유공급부 또는 세척유공급부와 배치된 상기 다수의 와이어와의 거리는 15 ~ 80mm이다.The cutting oil supply unit and the washing oil supply unit are 35 to 65 mm apart from other adjacent nozzles, and the spray angle of each nozzle controlled by the adjusting unit is 100 to 130 °, and is disposed with the cutting oil supply unit or the washing oil supply unit. The distance from the plurality of wires is 15-80 mm.

또한, 상기 절삭유와 세척유는, 광유계오일과 수계오일(PAG계 및 PEG계) 중 선택된 어느 하나이다.In addition, the cutting oil and the washing oil is any one selected from mineral oil-based oil and water-based oil (PAG-based and PEG-based).

그리고 상기 와이어는 표면이 다이아몬드 코팅된다.
The wire is diamond coated on its surface.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 잉곳 절단장치에 의하면, 잉곳 절단을 위한 와이어에 절삭유를 분사하되, 진동을 최소화 및 방지하여 웨이퍼 절단면을 평평하게 절단할 수 있어 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있고, 잉곳을 절단한 와이어를 정밀하게 세척할 수 있어 종래 이물질에 의해 발생될 수 있는 불량을 최소화 또는 방지할 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
As described above, according to the ingot cutting apparatus according to the present invention, the cutting oil is sprayed on the wire for cutting the ingot, the vibration can be minimized and prevented to cut the wafer cut surface flat to improve the quality of the wafer, It is a very useful and effective invention that can precisely clean the wire cut the ingot can minimize or prevent the defect that can be caused by the conventional foreign matter.

도 1은 종래 잉곳 절단장치를 도시한 도면이고,
도 2는 종래 절삭유공급부를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 잉곳 절단장치를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 정면도를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 작동상태를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 작동상태의 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부를 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부의 분사상태를 도시한 도면이며,
도 9는 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부의 분사량 조절상태를 도시한 도면이다.1 is a view showing a conventional ingot cutting device,
2 is a view showing a conventional cutting oil supply unit,
3 is a view showing an ingot cutting device according to the present invention,
Figure 4 is a view showing a front view of the ingot cutting device according to the present invention,
5 is a view showing an operating state of the ingot cutting device according to the present invention,
Figure 6 is a view showing another embodiment of the operating state of the ingot cutting device according to the present invention,
7 is a view showing a cutting oil supply unit and a washing oil supply unit according to the present invention,
8 is a view illustrating a spraying state of the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit according to the present invention;
9 is a view showing the injection amount adjustment state of the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.It should be noted that the present invention is not limited to the scope of the present invention but is only illustrative and various modifications are possible within the scope of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 잉곳 절단장치를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 정면도를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 잉곳 절단장치의 작동상태의 다른 실시 예를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부의 분사상태를 도시한 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 절삭유공급부와 세척유공급부의 분사량 조절상태를 도시한 도면이다.Figure 3 is a view showing the ingot cutting device according to the invention, Figure 4 is a view showing a front view of the ingot cutting device according to the present invention, Figure 5 shows the operating state of the ingot cutting device according to the present invention. Figure 6 is a view showing another embodiment of the operating state of the ingot cutting device according to the present invention, Figure 7 is a view showing the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit according to the present invention, Figure 8 is the present invention FIG. 9 is a view illustrating an injection state of the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit according to the present invention, and FIG. 9 is a view illustrating an injection amount adjustment state of the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit according to the present invention.

도면에서 도시한 바와 같이, 잉곳 절단장치(10)는 와이어(100)와 롤러(200), 구동부(300), 승강부(400), 절삭유공급부(500) 및 세척유공급부(600)로 구성된다.As shown in the drawing, the ingot cutting device 10 is composed of a wire 100, a roller 200, a driving unit 300, a lifting unit 400, a cutting oil supply unit 500 and washing oil supply unit 600. .

먼저, 와이어(100)는 다수 개 구비되어 일정 간격으로 배치되고, 롤러(200)는 다수의 와이어(100)를 일방향 또는 타방향으로 회전시키기 위해 최소 두 개 이상 구비된다.First, a plurality of wires 100 are provided and arranged at regular intervals, and at least two rollers 200 are provided to rotate the plurality of wires 100 in one direction or the other direction.

이러한 롤러(200)는 다수의 와이어(100)를 수평으로 이동시킬 수 있도록 최소 두 개가 동일 수평선상에 위치되어 다수의 와이어(100)를 수평 이동시키게 된다.At least two rollers 200 are positioned on the same horizontal line to horizontally move the plurality of wires 100 to move the plurality of wires 100 horizontally.

그리고 구동부(300)는 롤러(200)를 일방향 또는 타방향으로 회전시키는 것으로, 다수의 와이어(100)를 수평으로 이동시키기 위한 최소 두 개의 롤러(200)를 직접 회전시키거나 이 두 개의 롤러(200) 하측에 별도로 구비되어 다수의 와이어(100)를 반복 회전시키게 된다.In addition, the driving unit 300 rotates the roller 200 in one direction or the other direction, and directly rotates at least two rollers 200 for horizontally moving the plurality of wires 100 or the two rollers 200. It is provided separately at the bottom to repeatedly rotate the plurality of wires (100).

승강부(400)는 배치된 다수의 와이어(100) 상측에 구비되어 절단하기 위한 잉곳(20)을 고정시켜 상하 이동시키는 것으로, 롤러(200)에 의해 회전되는 다수의 와이어(20)를 향해 잉곳(20)을 하측으로 이동시켜 잉곳(20)을 일정한 두께로 절단하게 된다.Lifting unit 400 is provided above the plurality of wires 100 arranged to move the up and down by fixing the ingot 20 for cutting, the ingot toward the plurality of wires 20 rotated by the roller 200 The ingot 20 is cut to a predetermined thickness by moving the lower portion 20.

또한 절삭유공급부(500)는 잉곳(20) 절단을 위해 회전되는 다수의 와이어(100)에 절삭유(30)를 분사하는 것으로, 제1절삭유공급관(510)과 제2절삭유공급관(520)으로 구성된다.In addition, the cutting oil supply unit 500 is to spray the cutting oil 30 to the plurality of wires 100 rotated for cutting the ingot 20, it is composed of the first cutting oil supply pipe 510 and the second cutting oil supply pipe 520. .

제1절삭유공급관(510)과 제2절삭유공급관(520)은 승강부(400)를 기준으로, 양측에 각각 위치되며, 제1절삭유공급관(510)은 승강부(400)의 일측에 구비되는 다수의 제1절삭노즐(512)이 형성된다.The first cutting oil supply pipe 510 and the second cutting oil supply pipe 520 are located on both sides of the lifting unit 400, respectively, and the first cutting oil supply pipe 510 is provided on one side of the lifting unit 400. The first cutting nozzle 512 is formed.

그리고 제2절삭유공급관(520)은 승강부(400)의 타측에 구비되는 다수의 제2절삭노즐(522)이 형성된다.The second cutting oil supply pipe 520 is provided with a plurality of second cutting nozzles 522 provided on the other side of the lifting unit 400.

여기서, 제1절삭유공급관(510)과 제2절삭유공급관(520)에 형성된 다수의 제1절삭노즐(512)과 다수의 제2절삭노즐(522)은 배치된 다수의 와이어(100)와 교차되는 방향으로 배치되어 잉곳(20)의 절단을 위해 회전되는 다수의 와이어(100)에 절삭유(30)를 분사하게 된다.Here, the plurality of first cutting nozzles 512 and the plurality of second cutting nozzles 522 formed in the first cutting oil supply pipe 510 and the second cutting oil supply pipe 520 intersect with the plurality of wires 100 arranged therein. The cutting oil 30 is sprayed to the plurality of wires 100 arranged in the direction and rotated for cutting the ingot 20.

그리고 세척유공급부(600)는 잉곳(20)을 절단한 와이어(100)를 세척하도록 세척유(40)를 분사하는 것으로, 제1세척유공급관(610)과 제2세척유공급관(620)으로 구성된다.And the washing oil supply unit 600 by spraying the washing oil 40 to wash the wire 100 cut the ingot 20, the first washing oil supply pipe 610 and the second washing oil supply pipe 620 It is composed.

제1세척유공급관(610)과 제2세척유공급관(620)은 승강부(400)를 기준으로, 양측에 각각 구비되며, 제1세척유공급관(610)은 승강부(400)의 일측에 구비되는 다수의 제1세척노즐(612)이 형성된다.The first washing oil supply pipe 610 and the second washing oil supply pipe 620 are provided on both sides of the lifting unit 400, respectively, and the first washing oil supply pipe 610 is located at one side of the lifting unit 400. A plurality of first washing nozzles 612 are formed.

또한 제2세척유공급관(620)은 승강부(400)의 타측에 구비되는 다수의 제2세척노즐(622)이 형성된다.In addition, the second washing oil supply pipe 620 has a plurality of second washing nozzles 622 provided on the other side of the lifting unit 400.

여기서, 제1세척유공급관(610)과 제2세척유공급관(620)에 형성된 다수의 제1세척유공급관(610)과 다수의 제2세척노즐(622)은 배치된 다수의 와이어(100)와 교차되는 방향으로 배치되어 잉곳(20)의 절단을 위해 회전되는 다수의 와이어(100)에 세척유(40)를 분사하게 된다.Here, the plurality of first washing oil supply pipes 610 and the plurality of second washing nozzles 622 formed in the first washing oil supply pipe 610 and the second washing oil supply pipe 620 are arranged in a plurality of wires 100. The washing oil 40 is sprayed on a plurality of wires 100 which are disposed in a direction intersecting with and rotated for cutting the ingot 20.

여기서, 분사는 스프레이방식을 뜻한다.
Here, the spray means the spray method.

이와 같은, 잉곳 절단장치(10)의 작동상태를 살펴보면, 도 5 내지 도 6에서 도시한 바와 같이, 승강부(400)에 잉곡(20)이 본딩된 상태에서, 구동부(300)에 의해 다수의 롤러(200)가 일방향 또는 타방향으로 회전됨에 따라 다수의 와이어(100)가 회전된다.As described above, the operation state of the ingot cutting device 10, as shown in FIGS. 5 to 6, in the state in which the ingot 20 is bonded to the lifting unit 400, the plurality of driving units 300 by the driving unit 300. As the roller 200 is rotated in one direction or the other direction, a plurality of wires 100 are rotated.

이때, 절삭유공급부(500)는 잉곳(20)을 절단하기 위해 잉곳(20)을 향해 일방향으로 회전되는 와이어(100)의 상측에 위치된 제1절삭유공급관(510)의 제1절삭노즐(512) 또는 제2절삭유공급관(520)의 제2절삭노즐(522) 중 어느 하나에 의해 절삭유(30)가 분사된다.At this time, the cutting oil supply unit 500 is the first cutting nozzle 512 of the first cutting oil supply pipe 510 located on the upper side of the wire 100 rotated in one direction toward the ingot 20 to cut the ingot 20 Alternatively, the cutting oil 30 is injected by any one of the second cutting nozzles 522 of the second cutting oil supply pipe 520.

그리고 세척유공급부(600)는 승강부(400)를 기준으로 절삭유(30)를 분사하는 제1절삭유공급관(510)과 제2절삭유공급관(520) 중 어느 하나의 반대측에 위치된 제1세척유공급관(610) 또는 제2세척유공급관(620)의 해당 노즐에 의해 세척유(40)가 분사되어 잉곳(20)을 절단한 와이어(100)를 세척하게 된다.The washing oil supply unit 600 may include a first washing oil positioned on an opposite side of any one of the first cutting oil supply pipe 510 and the second cutting oil supply pipe 520 that spray the cutting oil 30 based on the lifting unit 400. The washing oil 40 is sprayed by the corresponding nozzle of the supply pipe 610 or the second washing oil supply pipe 620 to clean the wire 100 cut through the ingot 20.

이러한 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)의 작동 일 실시 예는, 도 5에서 도시한 바와 같이, 승강부(400)를 기준으로, 좌측에 제1절삭유공급관(510)의 제1절삭노즐(512)과 제1세척유공급관(610)의 제1세척노즐(612)이 위치되고, 우측에 제2절삭유공급관(520)의 제2절삭노즐(522)과 제2세척유공급관(620)의 제2세척노즐(622)이 위치된다.One embodiment of the operation of the cutting oil supply unit 500 and the washing oil supply unit 600, as shown in Figure 5, based on the lifting unit 400, the first cutting of the first cutting oil supply pipe 510 on the left side The nozzle 512 and the first washing nozzle 612 of the first washing oil supply pipe 610 are positioned, and the second cutting nozzle 522 and the second washing oil supply pipe 620 of the second cutting oil supply pipe 520 are located on the right side. A second washing nozzle 622 is positioned.

다수의 와이어(100)는 구동부(300)에 의해 시계 방향으로 회전될 경우, 다수의 제1절삭노즐(512)에서 와이어(100)를 향해 절삭유(30)가 분사되고, 제2세척노즐(622)에서 와이어(100)를 향해 세척유(40)가 분사된다.When the plurality of wires 100 are rotated in the clockwise direction by the driving unit 300, the cutting oil 30 is injected from the plurality of first cutting nozzles 512 toward the wires 100 and the second washing nozzle 622. ), The washing oil 40 is sprayed toward the wire 100.

반대로, 도 6에서 도시한 바와 같이, 다수의 와이어(100)는 구동부(300)에 의해 반시계 방향으로 회전될 경우, 다수의 제2절삭노즐(522)에서 와이어(100)를 향해 절삭유(30)가 분사되고, 제1세척노즐(612)에서 와이어(100)를 향해 세척유(40)가 분사된다.On the contrary, as shown in FIG. 6, when the plurality of wires 100 are rotated in the counterclockwise direction by the driving unit 300, the cutting oil 30 toward the wires 100 in the plurality of second cutting nozzles 522. ) Is sprayed, and the washing oil 40 is sprayed from the first washing nozzle 612 toward the wire 100.

이에 따라, 잉곳(20) 절단을 위한 와이어(100)에 절삭유(30)를 분사하여 잉곳(20)을 용이하게 절단시키고, 절단된 잉곳(20) 조각이 뭍은 와이어(100)를 세척유(40)에 의해 용이하게 제거할 수 있어 잉곳(20)의 절단면을 평평하게 형성할 수 있어 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.
Accordingly, the cutting oil 30 is sprayed on the wire 100 for cutting the ingot 20 to easily cut the ingot 20, and the wire 100 in which the cut pieces of the ingot 20 are thinned is washed with oil ( 40 can be easily removed, so that the cut surface of the ingot 20 can be formed flat so that the quality of the wafer can be improved.

여기서, 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522)은 각 롤러(200)에 각각 절삭유(30)를 분사하도록 구비되며, 각 롤러(200)에 권취되어 회전되는 다수의 와이어(100)에 절삭유(30)를 분사한다.Here, the first cutting nozzle 512 and the second cutting nozzle 522 are provided to spray the cutting oil 30 to each roller 200, respectively, a plurality of wires 100 wound around the roller 200 and rotated Spray the cutting oil 30).

이에, 절삭유(30)가 해당 롤러(200)의 외주면에 분사되어 층을 형성하고, 형성된 절삭유층을 와이어(100)가 통과되어 와이어(100) 외주를 따라 절삭유(30)가 도포된다.Thus, the cutting oil 30 is sprayed on the outer circumferential surface of the roller 200 to form a layer, and the cutting oil 30 is applied along the outer circumference of the wire 100 through the formed cutting oil layer.

이러한 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522)은 해당 롤러(200)의 회전축 방향으로 절삭유(30)를 분사하도록 구비되며, 와이어(100)가 권취되어 접촉된 각 롤러(200) 부위 범위 내에 절삭유(30)를 분사한다.The first cutting nozzle 512 and the second cutting nozzle 522 are provided to spray the cutting oil 30 in the direction of the rotation axis of the roller 200, the wire 100 is wound around each roller 200 The cutting oil 30 is sprayed within the region range.

일 실시 예로, 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522)은 해당 롤러(200)의 회전축을 상측 수직으로 지나가는 수직선상을 기준(0°)으로, 와이어(100)가 권취되는 외주방향을 따라 135°의 범위 내에서 절삭유(30)를 분사하며, 경우에 따라 그 범위는 변경됨이 당연하다.
In one embodiment, the first cutting nozzle 512 and the second cutting nozzle 522 is the outer periphery around which the wire 100 is wound based on a vertical line passing through the rotation axis of the roller 200 vertically upward (0 °). The cutting oil 30 is sprayed within a range of 135 ° along the direction, and the range is naturally changed in some cases.

그리고 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)은 각 롤러(200)와 승강부(400) 사이에 위치되어 와이어(100)에 세척유(40)를 분사하도록 구비되며, 이 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)에 의해 잉곳(20)을 절단한 와이어(100)를 용이하게 세척하여 다음 절단작업을 대비할 수 있다.The first washing nozzle 612 and the second washing nozzle 622 are disposed between the rollers 200 and the lifting unit 400 to spray the washing oil 40 onto the wire 100. The first cutting nozzle 612 and the second washing nozzle 622 can easily wash the wire 100 cut the ingot 20 to prepare for the next cutting operation.

이러한 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)은 세척유(40)를 분사하되, 승강부(400)를 향하도록 하향 경사진 방향으로 세척유(40)를 분사하도록 구비되어 다가오는 와이어(100)에 뭍은 잉곳(20)의 절단된 조각을 분리시킬 수 있는 것이다.
The first washing nozzle 612 and the second washing nozzle 622 is to spray the washing oil 40, it is provided to spray the washing oil 40 in a downwardly inclined direction toward the lifting unit 400 coming It is possible to separate the cut pieces of the ingot 20 in the wire 100.

그리고 도 7 내지 도 8에서 도시한 바와 같이, 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522), 제1세척노즐(612) 및 제2세척노즐(622)은 장공형태의 확장된 분사구(500a, 600a)가 형성된다.7 to 8, the first cutting nozzle 512, the second cutting nozzle 522, the first washing nozzle 612, and the second washing nozzle 622 are extended nozzles in the form of long holes. 500a and 600a are formed.

이러한 분사구(500a, 600a)는 단면적이 분사방향으로 갈수록 점차적으로 증가되도록 형성되어 절삭유(30) 또는 세척유(40)가 일정 각도로 확산되도록 분사된다.The injection holes 500a and 600a are formed such that the cross-sectional area is gradually increased in the spraying direction so that the cutting oil 30 or the washing oil 40 is sprayed to diffuse at a predetermined angle.

그리고 분사구(500a, 600a)의 가장 긴 지름을 지나는 연장선이 해당 노즐의 배치방향에 평행한 연장선과 일정 각도를 갖도록 형성되어 절삭유(30) 또는 세척유(40)가 분사된다.In addition, the extension line passing through the longest diameters of the injection holes 500a and 600a is formed to have a predetermined angle with the extension line parallel to the arrangement direction of the nozzle so that the cutting oil 30 or the washing oil 40 is injected.

이에 따라, 와이어(100)의 이동방향에서 보았을 때, 분사되는 절삭유(30) 또는 세척유(40)는 인접한 다른 절삭유(30) 또는 세척유(40)와 일부 중첩되도록 분사된다.Accordingly, when viewed in the moving direction of the wire 100, the cutting oil 30 or the washing oil 40 to be sprayed is partially overlapped with another adjacent cutting oil 30 or the washing oil 40.

이는, 도 8 내지 도 9에서 도시한 바와 같으며, 절삭유(30)와 세척유(40)를 분사하는 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)의 각 노즐이 각각의 와이어(200)에 대응되도록 개수가 설치되지 않으므로, 빈 곳이 없는 분사영역을 형성하여 모든 와이어(100)에 분사되도록 함이 바람직하다.8 to 9, the nozzles of the cutting oil supply unit 500 and the washing oil supply unit 600 spraying the cutting oil 30 and the washing oil 40 are connected to the respective wires 200. Since the number is not installed so as to correspond, it is preferable to form a spraying region with no empty space to be sprayed on all the wires 100.

이를 위해 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)는 공급되는 절삭유(30) 또는 세척유(40)의 압력과 분사각도, 와이어(100)와의 이격거리를 조절하는 조절부(700)가 더 구비된다.To this end, the cutting oil supplying part 500 and the washing oil supplying part 600 further include an adjusting part 700 for controlling the pressure and the spray angle of the cutting oil 30 or the washing oil 40, and the separation distance from the wire 100. It is provided.

이러한 조절부(700)는 와이어(100)가 배치된 평면상의 분사영역으로 균일한 량이 분사시킬 수 있도록 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)에 공급되는 절삭유 또는 세척유의 압력을 조절하고, 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)의 위치 및 분사각도를 조절하게 된다.The adjusting unit 700 adjusts the pressure of the cutting oil or the washing oil supplied to the cutting oil supply unit 500 and the washing oil supply unit 600 so that a uniform amount can be injected into the spray area on the plane where the wire 100 is disposed. The position and injection angle of the cutting oil supply unit 500 and the washing oil supply unit 600 are adjusted.

이에 따른 일 실시 예로, 절삭유공급부(500)와 세척유공급부(600)는 인접한 다른 노즐과의 간격이 35 ~ 65mm로 형성된다.Accordingly, in one embodiment, the cutting oil supply unit 500 and the washing oil supply unit 600 are formed to have an interval of 35 to 65 mm from another adjacent nozzle.

다시 말해, 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522) 및 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)은 인접한 다른 노즐과의 간격이 35 ~ 65mm로, 일 예로, 40 ~ 60mm의 간격으로 설치되어 절삭유 또는 세척류를 분사함이 바람직하다.In other words, the first cutting nozzle 512, the second cutting nozzle 522, and the first washing nozzle 612 and the second washing nozzle 622 are 35 to 65 mm apart from other adjacent nozzles. It is preferable to spray the cutting oil or the washing flow at intervals of 40 to 60 mm.

그리고 조절부(700)에 의해 조절되는 각 노즐의 분사각도는 100 ~ 130°이며, 절삭유공급부(500) 또는 세척유공급부(600)와 배치된 다수의 와이어(100)와의 거리는 15 ~ 80mm이다.And the spray angle of each nozzle adjusted by the adjusting unit 700 is 100 ~ 130 °, the distance between the cutting oil supply unit 500 or the washing oil supply unit 600 and the plurality of wires 100 is 15 ~ 80mm.

다시 말해, 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522) 및 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)의 분사각도는 100 ~ 130°이며, 일 실시 예로, 110 ~ 120°로 분사함이 바람직하다.In other words, the injection angles of the first cutting nozzle 512, the second cutting nozzle 522, the first washing nozzle 612, and the second washing nozzle 622 are 100 to 130 °. Spraying at 120 ° is preferred.

또한 제1절삭노즐(512)과 제2절삭노즐(522) 및 제1세척노즐(612)과 제2세척노즐(622)은 배치된 다수의 와이어(100)와 15 ~ 80mm로 이격되는 것으로, 일 실시 예로, 20 ~ 75mm 이격되도록 위치되어 해당 노즐과 인접한 노즐에서 분사되는 절삭유 또는 세척유의 겹치는 부분을 조절함이 바람직하다.In addition, the first cutting nozzle 512 and the second cutting nozzle 522 and the first washing nozzle 612 and the second washing nozzle 622 are spaced apart from the plurality of wires 100 arranged 15 to 80mm, In one embodiment, it is preferable to adjust the overlapping portion of the cutting oil or the washing oil which is positioned so as to be spaced apart 20 ~ 75mm and sprayed from the nozzle adjacent to the nozzle.

여기서, 절삭유(30)와 세척유(40)는 광유계오일과 수계오일(PAG계 및 PEG계) 중 선택된 어느 하나 이상으로 사용된다.Here, the cutting oil 30 and the washing oil 40 are used as one or more selected from mineral oil-based oils and water-based oils (PAG-based and PEG-based).

이러한 절삭유(30)와 세척유(40)는 각각 다른 오일을 사용하거나 동일한 오일을 사용할 수 있다.The cutting oil 30 and the washing oil 40 may use different oils or the same oil, respectively.

그리고 와이어(100)는 표면이 다이아몬드 코팅됨에 따라, 잉곳(20)을 용이하게 절단시킬 수 있다.
And as the wire 100 is diamond coated on the surface, it is possible to easily cut the ingot 20.

10 : 잉곳 절단장치 20 : 잉곳
30 : 절삭유 40 : 세척유
100 : 와이어 200 : 롤러
300 : 구동부 400 : 승강부
500 : 절삭유공급부 510 : 제1절삭유공급관
512 : 제1절삭노즐 520 : 제2절삭유공급관
520 : 제2절삭노즐 600 : 세척유공급부
610 : 제1세척유공급관 612 : 제1세척노즐
620 : 제2세척유공급관 622 : 제2세척노즐
700 : 조절부10: ingot cutting device 20: ingot
30: cutting oil 40: washing oil
100: wire 200: roller
300: driving unit 400: lifting unit
500: cutting oil supply unit 510: first cutting oil supply pipe
512: first cutting nozzle 520: second cutting oil supply pipe
520: second cutting nozzle 600: washing oil supply unit
610: first washing oil supply pipe 612: first washing nozzle
620: second washing oil supply pipe 622: second washing nozzle
700: control unit

Claims (11)

일정 간격으로 배치된 다수의 와이어;
잉곳의 절단을 위해 상기 다수의 와이어를 일방향 또는 타방향으로 회전시키기 위한 최소 두 개 이상의 롤러;
상기 롤러를 일방향 또는 타방향으로 회전시키는 구동부;
상기 배치된 다수의 와이어 상측에 구비되어 절단하기 위한 잉곳을 고정시켜 상하 이동시키는 승강부;
상기 승강부를 기준으로, 일측에 다수의 제1절삭노즐을 갖는 제1절삭유공급관과 타측에 다수의 제2절삭노즐을 갖는 제2절삭유공급관이 형성되되, 상기 다수의 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은 배치된 다수의 와이어와 교차되는 방향으로 제1절삭유공급관과 제2절삭유공급관에 배치되어 상기 잉곳의 절단을 위해 회전되는 다수의 와이어에 절삭유를 분사하는 절삭유공급부; 및
상기 승강부를 기준으로, 일측에 다수의 제1세척노즐을 갖는 제1세척유공급관과 타측에 다수의 제2세척노즐을 갖는 제2세척유공급관이 구비되되, 상기 다수의 제1세척노즐과 제2세척노즐은 배치된 다수의 와이어와 교차되는 방향으로 제1세척유공급관과 제2세척유공급관에 배치되어 상기 잉곳을 절단 후, 회전되는 다수의 와이어에 세척유를 분사하는 세척유공급부를 포함하여 이루어지는 잉곳 절단장치.
A plurality of wires arranged at regular intervals;
At least two rollers for rotating the plurality of wires in one or the other direction for cutting ingots;
A drive unit for rotating the roller in one direction or the other direction;
An elevating part provided on an upper side of the plurality of wires arranged to fix the ingot for cutting and moving up and down;
The first cutting oil supply pipe having a plurality of first cutting nozzles on one side and the second cutting oil supply pipe having a plurality of second cutting nozzles on the other side thereof are formed on the basis of the lifting unit, wherein the plurality of first cutting nozzles and the second cutting nozzles are formed. The nozzle includes a cutting oil supply unit disposed in the first cutting oil supply pipe and the second cutting oil supply pipe in a direction intersecting with the plurality of wires arranged to spray the cutting oil to the plurality of wires that are rotated to cut the ingot; And
A first washing oil supply pipe having a plurality of first washing nozzles on one side and a second washing oil supply pipe having a plurality of second washing nozzles on the other side thereof are provided on the basis of the lifting unit, wherein the plurality of first washing nozzles and the first washing nozzle are provided. The washing nozzle includes a washing oil supply unit disposed in the first washing oil supply pipe and the second washing oil supply pipe in a direction crossing the plurality of wires arranged to cut the ingot, and spraying the washing oil on the rotating wires. Ingot cutting device.
제1항에 있어서,
상기 절삭유공급부는 상기 잉곳을 절단하기 위해 잉곳을 향해 일방향으로 회전되는 와이어의 상측에 위치된 상기 제1절삭노즐 또는 제2절삭노즐 중 어느 하나에 의해 절삭유가 분사되고,
상기 세척유공급부는 상기 승강부를 기준으로 상기 절삭유를 분사하는 제1절삭노즐과 제2절삭노즐 중 어느 하나의 반대측에 위치된 상기 제1세척노즐 또는 제2세척노즐 중 어느 하나에 의해 세척유가 분사되어 잉곳을 절단한 와이어를 세척하며,
상기 와이어가 타방향으로 회전될 경우, 상기 제1절삭노즐 또는 제2절삭노즐 중 다른 하나에 의해 절삭유가 분사되고, 상기 제1세척노즐 또는 제2세척노즐 중 다른 하나에 의해 세척유가 분사되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 1,
The cutting oil supply part is injected with the cutting oil by any one of the first cutting nozzle or the second cutting nozzle located on the upper side of the wire rotated in one direction toward the ingot to cut the ingot,
The washing oil supply unit sprays the washing oil by any one of the first washing nozzle or the second washing nozzle located on the opposite side of the first cutting nozzle and the second cutting nozzle to inject the cutting oil based on the lifting unit. To clean the ingot cut wire,
When the wire is rotated in the other direction, the cutting oil is injected by the other of the first cutting nozzle or the second cutting nozzle, the cleaning oil is injected by the other of the first washing nozzle or the second washing nozzle. Ingot cutting device characterized in that.
제1항에 있어서, 상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은,
상기 롤러에 각각 절삭유를 분사하도록 구비되며, 각 롤러에 권취되어 회전되는 다수의 와이어에 절삭유를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 1, wherein the first cutting nozzle and the second cutting nozzle,
Ingot cutting apparatus is provided to spray the cutting oil to each of the rollers, injecting the cutting oil to a plurality of wires wound and rotated by each roller.
제3항에 있어서, 상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐은,
해당 롤러의 회전축 방향으로 절삭유를 분사하도록 구비되며, 상기 와이어가 권취되어 접촉된 각 롤러 부위 범위 내에 절삭유를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 3, wherein the first cutting nozzle and the second cutting nozzle,
It is provided to inject the cutting oil in the direction of the rotation axis of the roller, ingot cutting device, characterized in that for injecting the cutting oil in the range of each roller portion wound around the wire.
제1항에 있어서, 상기 제1세척노즐과 제2세척노즐은,
상기 각 롤러와 승강부 사이에 위치되어 와이어에 세척유를 분사하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 1, wherein the first washing nozzle and the second washing nozzle,
Ingot cutting device, characterized in that provided between the roller and the lifting portion is provided to spray the cleaning oil to the wire.
제5항에 있어서, 상기 제1세척노즐과 제2세척노즐은,
상기 승강부의 상하 이동 선상을 향하여 하향 경사지게 세척유를 분사하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 5, wherein the first washing nozzle and the second washing nozzle,
Ingot cutting device, characterized in that it is provided to spray the washing oil inclined downward toward the vertical movement line of the lifting unit.
제1항에 있어서,
상기 제1절삭노즐과 제2절삭노즐, 제1세척노즐 및 제2세척노즐은,
장공형태의 분사구가 형성되되, 상기 분사구는 단면적이 분사방향으로 갈수록 점차적으로 증가되도록 형성되고, 장공의 가장 긴 지름을 지나는 연장선이 해당 노즐의 배치방향에 평행한 연장선과 일정 각도를 갖도록 형성되어 절삭유 또는 세척유가 분사되며,
상기 와이어의 이동방향에서 보았을 때, 분사되는 절삭유 또는 세척유는 인접한 다른 절삭유 또는 세척유와 일부 중첩되도록 분사되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
The method of claim 1,
The first cutting nozzle, the second cutting nozzle, the first washing nozzle and the second washing nozzle,
An injection hole of a long hole shape is formed, and the injection hole is formed such that the cross-sectional area is gradually increased as the injection direction is formed, and the extension line passing through the longest diameter of the long hole is formed to have a predetermined angle with the extension line parallel to the arrangement direction of the nozzle cutting oil. Or washing oil is sprayed,
When viewed from the direction of movement of the wire, the cutting oil or the cleaning oil is sprayed ingot cutting device, characterized in that the injection so as to partially overlap with other adjacent cutting or cleaning oil.
제1항에 있어서, 상기 절삭유공급부와 세척유공급부는,
공급되는 절삭유 또는 세척유의 압력과 분사각도, 상기 와이어와의 이격거리를 조절하는 조절부가 더 구비되어 상기 와이어가 배치된 평면상의 분사영역으로 균일한 량이 분사되도록 조절되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
According to claim 1, wherein the cutting oil supply unit and the washing oil supply unit,
An ingot cutting device, characterized in that the control unit for adjusting the pressure and the injection angle of the cutting oil or washing oil supplied, the separation distance from the wire is further adjusted so that a uniform amount is injected into the spray area on the plane in which the wire is disposed.
제8항에 있어서,
상기 절삭유공급부와 세척유공급부는 인접한 다른 노즐과의 간격이 35 ~ 65mm이고,
상기 조절부에 의해 조절되는 각 노즐의 분사각도는 100 ~ 130°이며, 상기 절삭유공급부 또는 세척유공급부와 배치된 상기 다수의 와이어와의 거리는 15 ~ 80mm인 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
9. The method of claim 8,
The cutting oil supply unit and the washing oil supply unit has a distance of 35 to 65mm from another adjacent nozzle,
The spray angle of each nozzle controlled by the adjusting unit is 100 ~ 130 °, ingot cutting device, characterized in that the distance between the cutting oil supply unit or the washing oil supply unit and the plurality of wires arranged 15 to 80mm.
제1항에 있어서, 상기 절삭유와 세척유는,
광유계오일과 수계오일(PAG계 및 PEG계) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.
2. The washing machine according to claim 1,
Ingot cutting device, characterized in that any one selected from mineral oil-based oil and water-based oil (PAG-based and PEG-based).
제1항에 있어서, 상기 와이어는,
표면이 다이아몬드 코팅되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치.The method of claim 1, wherein the wire,
Ingot cutting device, characterized in that the surface is diamond-coated.
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