KR20130125631A - Device for inspecting liquid crystal dispensing state, and liquid crystal dispenser having the device - Google Patents

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윤선필
서용규
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Abstract

The present invention relates to a device for inspecting the dispensing state of a liquid crystal and a liquid crystal dispenser including the same, capable of inspecting the dispensing state of the liquid crystal on a substrate on which the liquid crystal is dispensed. The present invention provides the device for inspecting the dispensing state of the liquid crystal which includes: a main body which includes an optical window; a light source which is formed on the main body and includes a first polarizing plate on an optical output terminal; and an inspecting camera which includes a second polarizing plate to which light reflected from the substrate is inputted after the light which is polarized by the first polarizing plate is emitted to the substrate, and the liquid crystal dispenser including the same. [Reference numerals] (36) Control unit;(AA) Direction of moving

Description

액정 적하 상태 검사 장치, 및 이를 구비한 액정 디스펜서 {Device for Inspecting Liquid Crystal Dispensing State, and Liquid Crystal Dispenser having the Device}Liquid crystal drop state inspection apparatus, and a liquid crystal dispenser having the same {Device for Inspecting Liquid Crystal Dispensing State, and Liquid Crystal Dispenser having the Device}

본 발명은 액정 적하 상태 검사 장치, 및 이를 구비한 액정 디스펜서에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 액정이 적하된 기판의 액정 적하 상태를 검사하는 액정 적하 상태 검사 장치, 및 이를 구비한 액정 디스펜서에 대한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal drop state inspection apparatus, and a liquid crystal dispenser having the same. More specifically, the present invention relates to a liquid crystal drop state inspection apparatus for inspecting a liquid crystal drop state of a substrate on which liquid crystal is dropped, and a liquid crystal dispenser having the same.

액정 표시 장치(LCD : Liquid Crystal Display)는 액정의 광 변조 특성을 이용한 디스플레이 장치이다. 일반적으로 액정 표시 장치는 컬러 필터층이 구비된 기판과 구동 소자들이 배열된 기판 사이에 액정층을 구비하여 양 기판을 접합시킴으로써 형성된다. Liquid crystal display (LCD) is a display device using the light modulation characteristics of the liquid crystal. In general, a liquid crystal display device is formed by bonding a substrate with a liquid crystal layer between a substrate having a color filter layer and a substrate having driving elements arranged thereon.

액정 디스펜서는 액정 표시 장치를 제조하는 공정에서 기판에 액정을 디스펜싱하는 장치이다. 액정 디스펜서는 액정을 방울 형태 또는 미세한 입자 형태로 기판에 디스펜싱한다. 최근에는 액정을 미세한 입자로 디스펜싱하기 위하여 잉크젯 방식으로 액정을 디스펜싱하는 액정 디스펜서도 개발되고 있다. The liquid crystal dispenser is a device for dispensing liquid crystal onto a substrate in a process of manufacturing a liquid crystal display device. The liquid crystal dispenser dispenses liquid crystal onto the substrate in the form of droplets or fine particles. Recently, a liquid crystal dispenser for dispensing a liquid crystal by an inkjet method in order to dispense the liquid crystal into fine particles has also been developed.

액정 디스펜서에 의해 기판에 디스펜싱되는 액정의 양은 정해진 오차 범위내에서 가능한 한 정밀하게 제어되어야 한다. 액정을 토출하는 디스펜싱 노즐 또는 잉크젯 노즐이 막히거나 제어 오류 등의 이유로 액정이 정확히 디스펜싱되지 않는 경우에는 기판에 적하되는 액정량에 허용치 이상의 오차를 발생시킬 수 있다. 따라서, 액정 디스펜싱 과정에서 액정 토출이 정상적으로 이루어지지 않은 경우 또는 정해진 액정 디스펜싱 패턴에 따라 액정 디스펜싱이 이루어지지 않은 경우와 같이 액정이 정확하게 디스펜싱되지 않은 상황을 검출할 필요가 있다. The amount of liquid crystal dispensed to the substrate by the liquid crystal dispenser should be controlled as precisely as possible within a defined error range. If the dispensing nozzle or inkjet nozzle for discharging the liquid crystal is clogged or the liquid crystal is not dispensed correctly due to a control error or the like, an error more than the allowable value may be generated in the amount of liquid crystal dropped onto the substrate. Therefore, it is necessary to detect a situation in which the liquid crystal is not dispensed correctly, such as when the liquid crystal is not discharged normally in the liquid crystal dispensing process or when the liquid crystal dispensing is not performed according to the predetermined liquid crystal dispensing pattern.

상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 액정이 디스펜싱된 상태에 대한 영상을 취득하는 액정 적하 상태 검사 장치를 제공함을 목적으로 한다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a liquid crystal drop state inspection apparatus for acquiring an image of a state in which a liquid crystal is dispensed.

또한, 본 발명은 상기한 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서를 제공함을 목적으로 한다. Moreover, an object of this invention is to provide the liquid crystal dispenser provided with the said liquid crystal drop state inspection apparatus.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 액정 디스펜서에 구비되는 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서, 광 윈도우를 구비한 메인 바디; 상기 메인 바디에 구비되며 광출력단에 제 1 편광판을 구비한 광원; 및 상기 제 1 편광판에 의해 편광된 광이 기판 측에 조사된 후 상기 기판 측으로부터 반사된 광이 입사되는 제 2 편광판을 구비한 검사 카메라를 포함하는 액정 적하 상태 검사 장치를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention, the liquid crystal drop state inspection apparatus provided in the liquid crystal dispenser, the main body having an optical window; A light source provided in the main body and having a first polarizing plate in an optical output terminal; And an inspection camera having a second polarizing plate on which light polarized by the first polarizing plate is irradiated to the substrate side, and then the light reflected from the substrate side is incident to the liquid crystal dropping state inspection apparatus.

일 실시예에 있어서, 액정 적하 상태 검사 장치는 상기 광원으로부터 출력된 광을 상기 광 윈도우를 통해 기판 측으로 반사하며, 상기 기판 측에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 투과시키는 광소자를 추가로 포함한다.In one embodiment, the liquid crystal drop state inspection apparatus further includes an optical element for reflecting the light output from the light source to the substrate side through the light window, and transmits the light reflected from the substrate side to the inspection camera.

또한, 상기 메인 바디는 액정을 토출하는 액정 디스펜싱 유닛의 이동 방향 후면에 구비될 수 있다. In addition, the main body may be provided on the rear of the moving direction of the liquid crystal dispensing unit for discharging the liquid crystal.

또한, 상기 제 1 편광판과 상기 제 2 편광판의 편광 방향은 동일하거나 상이하도록 배치될 수 있다.
In addition, polarization directions of the first polarizing plate and the second polarizing plate may be disposed to be the same or different.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명은, 액정 디스펜서에 구비되는 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서, 상호 이격되며 기판 측으로 개방된 제 1 광 윈도우와 제 2 광 윈도우를 구비한 메인 바디; 상기 메인 바디에 구비되며 상기 제 1 광 윈도우를 통해 편광된 광을 상기 기판측으로 조사하는 제 1-1 편광판을 구비한 제 1 광원; 상기 메인 바디에 구비되며 상기 제 2 광 윈도우를 통해 편광된 광을 상기 기판측으로 조사하는 제 1-2 편광판을 구비한 제 2 광원; 및 상기 제 1 광원 또는 상기 제 2 광원에 의해 상기 기판 측으로 조사된 광이 상기 기판 측에서 반사된 후 반사된 광이 입사되며, 제 2 편광판을 구비한 검사 카메라를 포함하는 액정 적하 상태 검사 장치를 제공한다. According to another embodiment of the present invention, the present invention provides a liquid crystal drop state inspection apparatus provided in the liquid crystal dispenser, the main body having a first optical window and a second optical window spaced apart from each other and opened to the substrate side; A first light source provided in the main body and having a 1-1 polarizing plate for radiating light polarized through the first light window toward the substrate; A second light source provided in the main body, the second light source including a 1-2 polarizing plate radiating light polarized through the second light window toward the substrate; And a test camera having a second polarizing plate after the light irradiated to the substrate side by the first light source or the second light source is reflected from the substrate side, and including a second polarizing plate. to provide.

일 실시예에 있어서, 상기 액정 적하 상태 검사 장치는, 상기 제 1 광원에서 방출된 광을 상기 기판 측으로 반사하며 상기 기판 측에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 투과시키는 제 1 광소자를 추가로 포함한다. In one embodiment, the liquid crystal drop state inspection apparatus further includes a first optical element for reflecting light emitted from the first light source toward the substrate side and transmitting the light reflected from the substrate side toward the inspection camera. do.

또한, 상기 액정 적하 상태 검사 장치는, 상기 제 2 광원에서 방출된 광을 상기 기판 측으로 투과시키며 상기 기판 측에서 반사된 광을 횡방향으로 반사하는 제 2 광소자와, 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 전달하는 반사경을 추가로 포함한다. In addition, the liquid crystal drop state inspection apparatus, the second optical element that transmits the light emitted from the second light source toward the substrate side and reflects the light reflected from the substrate side in the transverse direction, and reflected from the second optical element It further comprises a reflector for transmitting the light to the inspection camera.

더욱이, 상기 반사경은 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 반사하는 제 1 반사경과, 상기 제 1 반사경에서 반사된 빛을 재차 반사하는 제 2 반사경을 포함하며, 상기 제 2 반사경에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 반사하는 제 3 광소자가 포함될 수 있다. Furthermore, the reflector includes a first reflector reflecting the light reflected by the second optical element, and a second reflector reflecting the light reflected by the first reflector again, and reflecting the light reflected by the second reflector. The third optical device may be included to reflect the inspection camera.

여기서, 상기 제 3 광소자는 상기 제 2 광소자 상측에 구비되며, 상기 제 3 광소자는 제 2 광소자를 투과하여 전달된 광은 상기 검사 카메라 방향으로 투과시키도록 구성될 수 있다. Here, the third optical device may be provided above the second optical device, and the third optical device may be configured to transmit light transmitted through the second optical device toward the inspection camera.

한편, 본 발명에 따은 액정 적하 상태 검사 장치는, 상기 제 1 광원과 상기 제 2 광원 사이에는 격벽이 구비되며, 상기 검사 카메라의 영상 센서의 영상 획득 영역은 상기 격벽에 의해 구분되도록 구성될 수 있다. On the other hand, the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the present invention, the partition is provided between the first light source and the second light source, the image acquisition area of the image sensor of the inspection camera may be configured to be separated by the partition wall. .

일 실시예에 있어서, 상기 제 1 광원의 하방에는 상기 제 1 광원에서 방출된 광은 상기 제 1 광 윈도우로 투과시키고 상기 기판 측에서 반사된 광은 횡방향으로 반사하는 제 1 광소자가 구비되고, 상기 제 1 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 전달하는 제 3 반사경이 구비될 수 있다. In one embodiment, below the first light source is provided with a first optical device for transmitting the light emitted from the first light source to the first light window and the light reflected from the substrate side in the transverse direction, A third reflector may be provided to transmit the light reflected from the first optical device toward the inspection camera.

또한, 상기 제 2 광원의 하방에는 상기 제 2 광원에서 방출된 광은 상기 제 2 광 윈도우로 투과시키고 상기 기판 측에서 반사된 광은 횡방향으로 반사하는 제 2 광소자가 구비되고, 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 전달하는 제 4 반사경이 구비될 수 있다.
Further, below the second light source, a second optical element is provided which transmits the light emitted from the second light source to the second light window and reflects the light reflected from the substrate side in a lateral direction. A fourth reflector may be provided to transmit the light reflected from the device toward the inspection camera.

또한, 본 발명은 상술한 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서를 제공한다. 이에 따라 본 발명에 따른 액정 디스펜서는 액정 디스펜싱 헤드유닛으로부터 액정이 도포된 후 그 도포된 상태를 검사할 수 있다.Moreover, this invention provides the liquid crystal dispenser provided with the liquid crystal dropping state test apparatus mentioned above. Accordingly, the liquid crystal dispenser according to the present invention can inspect the applied state after the liquid crystal is applied from the liquid crystal dispensing head unit.

일 실시예에 있어서 상기 액정 디스펜싱 헤드 유닛은 잉크젯 헤드일 수 있다. In one embodiment, the liquid crystal dispensing head unit may be an inkjet head.

본 발명은 액정이 적하된 기판 영역에 대한 영상을 취득함에 있어서 취득된 영상에서 기판 영역과 액정 영역이 명확하게 구분되도록 함으로써 복잡하거나 추가적인 영상 처리 과정을 생략하고도 액정 적하 상태에 대한 영상을 획득할 수 있도록 한다.According to the present invention, in acquiring an image of a substrate region in which a liquid crystal is loaded, the substrate region and the liquid crystal region are clearly distinguished from the acquired image so that an image of a liquid crystal drop state can be obtained without a complicated or additional image processing process. To help.

본 발명에 의하면, 액정 디스펜서에 있어서 액정 토출을 진행하고 있는 노즐의 후면에 액정 적하 상태 검사 장치를 구비하도록 하여 액정 토출 상태를 즉각적으로 확인할 수 있게 된다. According to the present invention, it is possible to immediately check the liquid crystal discharge state by providing a liquid crystal drop state inspection apparatus on the rear surface of the nozzle in which the liquid crystal discharge is being performed in the liquid crystal dispenser.

도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치의 구성에 대한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서, 편광판의 배치 상태를 예시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서를 도시한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 1 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다.
도 7은 도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 2 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서액정 디스펜서의 개략도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 1 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 2 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서 검사 카메라로 입력되는 영상의 예를 도시한 도면이다.
1 is a perspective view of a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram of a configuration of a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating an arrangement state of a polarizing plate in the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the first preferred embodiment of the present invention.
4 is a schematic view showing a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a second preferred embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a third preferred embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic diagram showing an operation when a liquid crystal is dispensed in a first moving direction in a liquid crystal dispenser provided with a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a third preferred embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic diagram showing an operation in the case where liquid crystal is dispensed in the second moving direction in the liquid crystal dispenser provided with the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the third preferred embodiment of the present invention.
8 is a schematic view of a liquid crystal dispenser liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a fourth preferred embodiment of the present invention.
9 is a schematic diagram showing an operation in the case where liquid crystal is dispensed in the first moving direction in the liquid crystal dispenser provided with the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the fourth preferred embodiment of the present invention.
10 is a schematic diagram showing an operation in the case where liquid crystal is dispensed in the second moving direction in the liquid crystal dispenser provided with the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the fourth preferred embodiment of the present invention.
11 is a view showing an example of an image input to the inspection camera in the liquid crystal drop state inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. In addition, the preferred embodiments of the present invention will be described below, but it is needless to say that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be variously modified by those skilled in the art.

본 발명은 방울 형태로 액정을 토출하는 일반적인 액정 디스펜싱 헤드를 사용한 액정 디스펜서에 적용될 수 있는 것은 물론이나, 이하에서는 액정을 토출하기 위하여 잉크젯 헤드를 사용한 액정 디스펜서를 대상으로 하여 본 발명을 설명한다. 또한, 본 설명에 있어서 액정 디스펜싱 헤드 및 잉크젯 헤드는 액정 디스펜싱 헤드유닛의 하나로 이해될 수 있다. Although the present invention can be applied to a liquid crystal dispenser using a general liquid crystal dispensing head for discharging liquid crystal in the form of droplets, the following describes the present invention for a liquid crystal dispenser using an ink jet head for discharging liquid crystal. In addition, in the present description, the liquid crystal dispensing head and the inkjet head may be understood as one of the liquid crystal dispensing head units.

도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서의 사시도이다. 1 is a perspective view of a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention.

액정 디스펜서(1)는, 프레임(10)과, 프레임(10)의 상면에 설치되고 기판(12)을 지지하는 스테이지(14)와, 프레임(10)에 이동 가능하게 설치되는 지지 프레임(16)과, 지지 프레임(16)에 결합되고 액정을 토출하는 잉크젯 헤드(18), 및 액정 토출 상태에 대한 영상을 취득하는 액정 적하 상태 검사 장치(20)를 포함한다. The liquid crystal dispenser 1 includes a frame 10, a stage 14 provided on an upper surface of the frame 10 to support the substrate 12, and a support frame 16 provided to be movable on the frame 10. And an inkjet head 18 coupled to the support frame 16 for discharging liquid crystal, and a liquid crystal drop state inspection apparatus 20 for acquiring an image of the liquid crystal discharge state.

지지 프레임(16)은 지지 프레임 구동기구(17)에 의해 직선 구동될 수 있으며, 지지 프레임 구동기구(17)는 리니어 모터(linear motor)일 수 있다. The support frame 16 may be linearly driven by the support frame drive mechanism 17, and the support frame drive mechanism 17 may be a linear motor.

잉크젯 헤드(18)는 기포 또는 압전 소자를 이용하여 소량의 액정을 미세한 입자로 토출하는 장치이다. 잉크젯 헤드(18)를 이용하면, 액정을 미세한 입자로 하여 기판에 디스펜싱할 수 있다는 이점이 있다. 다만, 본 발명의 실시에 있어서는 액정을 토출하는 수단이 잉크젯 헤드(18)에 한정되는 것은 아님은 물론이다. 잉크젯 헤드(18)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수로 구비될 수 있으며, 잉크젯 헤드(18)는 잉크젯 헤드(18)를 적어도 일방향으로 구동하는 헤드 구동장치(미도시)를 추가로 구비할 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드(18)는 도 1에서와 같이 1열로 구비될 뿐만 아니라 2열로 구비될 수도 있다. 잉크젯 헤드(18)가 2열로 구비될 수 있다는 것은 지지 프레임(16)에 2열의 잉크젯 헤드(18)가 부착되는 것을 의미한다. The inkjet head 18 is a device which discharges a small amount of liquid crystal into fine particles using a bubble or a piezoelectric element. The use of the inkjet head 18 has the advantage that the liquid crystal can be dispensed onto the substrate with fine particles. However, in the practice of the present invention, of course, the means for discharging the liquid crystal is not limited to the inkjet head 18. The inkjet head 18 may be provided in plural as shown in FIG. 1, and the inkjet head 18 may further include a head driver (not shown) for driving the inkjet head 18 in at least one direction. have. In addition, the inkjet heads 18 may be provided not only in one row as in FIG. 1 but also in two rows. The fact that the inkjet heads 18 may be provided in two rows means that the two rows of inkjet heads 18 are attached to the support frame 16.

액정 적하 상태 검사 장치(20)는 잉크젯 헤드(18)에 의해 기판(2)에 토출된 액정에 대한 영상을 취득한다. 액정 적하 상태 검사 장치(20)는 지지 프레임(16)에 장착된다. 일 실시예에 있어서, 액정 적하 상태 검사 장치(20)는 지지 프레임(16)에 잉크젯 헤드(18)와 대응되는 위치에 장착될 수 있다. The liquid crystal drop state inspection apparatus 20 acquires an image of the liquid crystal discharged to the substrate 2 by the inkjet head 18. The liquid crystal drop state inspection apparatus 20 is attached to the support frame 16. In one embodiment, the liquid crystal drop state inspection apparatus 20 may be mounted on the support frame 16 at a position corresponding to the inkjet head 18.

도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치의 구성에 대한 개략도이다. 2 is a schematic diagram of a configuration of a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention.

액정 적하 상태 검사 장치(20)는, 메인 바디(22), 상기 메인 바디(22)에 구비되는 광원(24), 광원(24)의 광 출력단에 구비된 제 1 편광판(26), 제 1 편광판(26)을 통과한 광을 기판(12) 방향으로 반사시키며 기판(12) 측에서 반사된 광을 투과시키는 광소자(30), 광소자(30)를 투과한 광을 인식하는 검사 카메라(32), 및 상기 검사 카메라(32)의 전단에 구비된 제 2 편광판(32)을 포함한다. The liquid crystal drop state inspection apparatus 20 includes a main body 22, a light source 24 included in the main body 22, a first polarizing plate 26 provided at an optical output end of the light source 24, and a first polarizing plate. Optical device 30 that reflects the light passing through 26 toward the substrate 12 and transmits the light reflected from the substrate 12 side, and an inspection camera 32 that recognizes the light transmitted through the optical device 30. And a second polarizing plate 32 provided at the front end of the inspection camera 32.

일 실시예에 있어서 메인 바디(22)는 내부가 비어 있는 상자 형태일 수 있다. 메인 바디(22)는 지지 프레임(16)에 장착된다. 더불어 메인 바디(22)는 적어도 일 방향으로 구동될 수 있다. 예컨대 잉크젯 헤드(18)가 지지 프레임(16)의 길이 방향으로 구동된다면 그에 대응하여 메인 바디(22)도 지지 프레임(16)의 길이 방향으로 구동되도록 함이 바람직하다. 메인 바디(22)의 저부에는 광 윈도우(28)가 구비되어 광원(24)에서 발생된 광이 기판(12)으로 조사될 수 있도록 함이 바람직하다. In one embodiment, the main body 22 may be in the form of an empty box. The main body 22 is mounted to the support frame 16. In addition, the main body 22 may be driven in at least one direction. For example, if the inkjet head 18 is driven in the longitudinal direction of the support frame 16, the main body 22 is also preferably driven in the longitudinal direction of the support frame 16 correspondingly. The bottom of the main body 22 is preferably provided with a light window 28 so that light generated from the light source 24 can be irradiated to the substrate 12.

광원(20)은 청색광, 적색광, 또는 가시광과 같은 광을 방출한다. 구조의 단순화를 위하여 광원(20)에서 발생된 광은 메인 바디(22) 내부에서 수평 방향으로 진행되고, 수평 방향으로 진행된 광은 광소자(30)에 의해 기판 방향으로(즉, 수직 방향으로) 반사되도록 한다. 광원(20)의 광출력단에는 제 1 편광판(26)이 구비되어 광원(20)에서 출력된 광을 편광시킨다. The light source 20 emits light such as blue light, red light, or visible light. In order to simplify the structure, the light generated from the light source 20 proceeds in the horizontal direction inside the main body 22, and the light traveled in the horizontal direction is directed to the substrate direction (ie, in the vertical direction) by the optical device 30. Make it reflected. The first polarizing plate 26 is provided at the light output terminal of the light source 20 to polarize the light output from the light source 20.

광소자(30)는 광원(20)에서 출력된 광을 기판(12) 방향으로 반사시키는 한편, 기판(12) 측에서 반사된 광은 검사 카메라(32)로 투과시키는 기능을 수행한다. 이러한 광소자(30)는 하프 미러(half mirror) 또는 다이크로익 미러(dichroic mirror)일 수 있으며, 위와는 다른 방식의 빔 스플리터(beam splitter)일 수 있다. 도 2에서는 하나의 광소자(30)로 반사와 투과 기능을 수행하는 것을 도시하였으나, 복수의 반사경과 하프 미러 등을 이용하여 상기 광소자(30)를 대체하도록 구성하는 것도 가능함은 물론이다. 또한, 상기 광원(24)의 배치에 있어서도, 도 2에 있어서는 광원(24)에서 출력되는 광이 수평 방향으로 진행되도록 구성하였으나, 광원(24)을 메인 바디(22)의 내측 상부에 구비하고 수직 방향으로 출력되는 광을 반사경을 이용하여 상기 광소자(30)로 전달하도록 구성하는 것도 가능함은 물론이다. The optical device 30 reflects the light output from the light source 20 toward the substrate 12, while the light reflected from the substrate 12 is transmitted to the inspection camera 32. The optical device 30 may be a half mirror or a dichroic mirror and may be a beam splitter different from the above. In FIG. 2, the reflective and transmissive functions are performed by one optical device 30. However, the optical device 30 may be configured to replace the optical device 30 using a plurality of reflectors and a half mirror. In addition, in the arrangement of the light source 24, the light output from the light source 24 proceeds in the horizontal direction in FIG. 2, but the light source 24 is provided on the inner upper portion of the main body 22 and is vertical. Of course, it is also possible to configure to transmit the light output in the direction to the optical device 30 using a reflector.

검사 카메라(32)의 전단에는 제 2 편광판(34)이 구비되어, 광소자(30)를 투과한 광 중에서 제 2 편광판(34)을 통과한 광만이 검사 카메라(32)로 전달된다. 도 2에 있어서 검사 카메라(32)의 일단은 메인 바디(22)에 접하는 방식으로 구비되는 것을 도시하였으나, 검사 카메라(32)는 메인 바디(22)와 이격되어 구비되는 것도 가능하다. 즉, 검사 카메라(32)는 광소자(30)를 투과한 광을 전달받을 수 있도록 배치될 수 있으면 충분하다.The second polarizing plate 34 is provided at the front end of the inspection camera 32, and only the light passing through the second polarizing plate 34 of the light transmitted through the optical device 30 is transmitted to the inspection camera 32. In FIG. 2, one end of the inspection camera 32 is provided to be in contact with the main body 22, but the inspection camera 32 may be provided to be spaced apart from the main body 22. That is, the inspection camera 32 is sufficient if it can be arranged to receive the light transmitted through the optical element 30.

본 발명에 따른 액정 적하 상태 검사 장치(20)의 검사 카메라(32)로부터 획득된 영상은 제어부(36)로 전달될 수 있다. 제어부(36)는 검사 카메라(32)에서 획득된 영상을 바탕으로 액정을 토출하는 노즐의 막힘 여부를 검사하는 기능, 기판(12)에 적하된 액정의 개수를 카운팅하는 기능, 설정된 액정 디스펜싱 패턴과 실제 디스펜싱된 액정의 패턴을 비교하는 기능, 적하된 액정의 개수를 카운팅하여 기판에 적하된 액정의 총량을 산출하는 기능(단위 액정의 중량×적하된 액정의 개수), 또는 적하된 액정의 크기를 정상적인 상태에서 적하된 액정의 크기와 비교하여 적하된 액정의 적정 여부를 판단하는 기능 중 적어도 하나의 기능을 수행할 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 제어부(36)는 검사 카메라(32)에서 획득된 영상을 별도의 시각 디스플레이 장치로 출력하여 작업자가 액정 디스펜싱 상황을 확인할 수 있도록 하는 것도 가능하다. An image obtained from the inspection camera 32 of the liquid crystal drop state inspection apparatus 20 according to the present invention may be transmitted to the controller 36. The control unit 36 checks whether the nozzle for discharging the liquid crystal is clogged based on the image acquired by the inspection camera 32, counts the number of liquid crystals dropped on the substrate 12, and sets the liquid crystal dispensing pattern. And a function of comparing the actual dispensed pattern of the liquid crystal, counting the number of liquid crystals dropped to calculate the total amount of liquid crystals dropped on the substrate (weight of the unit liquid crystal × number of liquid crystals dropped), or At least one of the functions of determining whether the dropped liquid crystal is appropriate is performed by comparing the size with the size of the liquid crystal dropped in the normal state. In addition, although not shown, the controller 36 may output an image obtained from the inspection camera 32 to a separate visual display device so that an operator may check a liquid crystal dispensing situation.

본 발명에 있어서 제 1 편광판(26)과 제 2 편광판(34)을 구비하는 이유를 설명하면 다음과 같다. In the present invention, the reason for providing the first polarizing plate 26 and the second polarizing plate 34 is as follows.

도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서, 편광판의 배치 상태를 예시한 도면이다. 3 is a view illustrating an arrangement state of a polarizing plate in the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the first preferred embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 제 1 편광판(26)과 제 2 편광판(34)은 도 3의 (a)와 같이 편광 방향이 같은 방향으로 배치되도록 설치될 수 있다. 또는 제 1 편광판(26)과 제 2 편광판(34)은 도 3의 (b)와 같이 편광 방향이 서로 직각을 이루며 배치되도록 설치될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시에 있어서 제 1 편광판(26)의 편광 방향과 제 2 편광판(34) 편광 방향이 이루는 각은 도 3의 (a) 또는 (b)와 같이 한정되는 것은 아니며, 기판(12)에 도포된 액정의 영상의 품질이 개선될 수 있다면 0° 내지 90°사이에서 조정될 수 있다. Referring to FIG. 3, the first polarizing plate 26 and the second polarizing plate 34 may be installed such that polarization directions are arranged in the same direction as shown in FIG. Alternatively, the first polarizing plate 26 and the second polarizing plate 34 may be installed such that polarization directions are formed at right angles to each other as shown in FIG. However, in the practice of the present invention, the angle formed between the polarization direction of the first polarizing plate 26 and the polarization direction of the second polarizing plate 34 is not limited as shown in FIG. If the quality of the image of the liquid crystal applied to the) can be improved can be adjusted between 0 ° to 90 °.

액정은 액체와 결정의 중간 상태에 있는 물질로서, 준결정 또는 이방성 액체라고 한다. 액정은 액체이면서 광학적으로는 결정의 성질을 갖으며 전계(電界)를 가하면 분자 배열의 방향성이 변화한다. 액정 표시 장치는 전압을 가하면 액정 분자의 배열 방향이 같은 방향으로 나열되는 특성을 이용하여 빛의 투과 또는 불투과를 전기적으로 제어함으로써 이미지를 표시한다. A liquid crystal is a substance in a state between a liquid and a crystal and is called a quasi-crystalline or anisotropic liquid. Liquid crystals are liquid and optically have crystal properties, and the application of an electric field changes the orientation of the molecular arrangement. The liquid crystal display displays an image by electrically controlling the transmission or impermeability of light by using a characteristic in which the arrangement directions of the liquid crystal molecules are arranged in the same direction when a voltage is applied.

액정 표시 장치에 가장 많이 사용되는 액정은 네마틱(nematic) 액정이다. 네마틱 액정은 막대형 액정 분자가 거의 일정한 방향으로 향하고 있으며 층상 구조를 갖지 않는다. 대부분의 액정 분자들은 단단한 막대 형상이고 막대 형상의 길이는 반지름의 네배 내지 여덟배 정도이다. 액정은 분자축에 평행인 방향과 수직인 방향에서 굴절율이 다른 광학 이방성 특성을 갖는다. 이러한 특성에 의해 편광된 광이 액정을 통과하는 경우 편광 방향이 바뀌게 된다. 액정 표시 장치에 있어서는 액정에 전기장을 가하여 원하는 형태로 배열시킴으로써 광의 투과 및 불투과를 제어한다. The liquid crystal most used in the liquid crystal display is a nematic liquid crystal. Nematic liquid crystal has a rod-shaped liquid crystal molecule directed in a substantially constant direction and does not have a layered structure. Most liquid crystal molecules are rigid rod-shaped and the rod-shaped length is four to eight times the radius. Liquid crystals have optical anisotropy characteristics that differ in refractive index in a direction perpendicular to the direction parallel to the molecular axis. When the polarized light passes through the liquid crystal due to this property, the polarization direction is changed. In a liquid crystal display device, light transmission and impermeability are controlled by applying an electric field to a liquid crystal and arranging it in a desired form.

기판(12)에 적하된 액정(13)의 경우, 전기장을 가해 주지 않은 상태에서도 어느 정도의 방향성을 갖은 상태로 배열되어 있게 된다. 예를 들어, 러빙(rubbing) 처리된 기판(12)에 액정이 적하된 경우에는 액정의 배열은 러빙 방향을 따를 가능성이 높을 것이다. In the case of the liquid crystal 13 dropped on the substrate 12, the liquid crystal 13 is arranged in a state having a certain degree of directionality even when no electric field is applied. For example, when a liquid crystal is dropped on the rubbing substrate 12, the arrangement of the liquid crystals will likely follow the rubbing direction.

광원(24)에서 방출된 광이 제 1 편광판(26)에 의해 편광된 후 기판(12)에 조사된 경우를 고려하자. 만약 기판(12)에 액정이 아니라 물방울이 떨어진 경우라면, 제 1 편광판(26)에 의해 편광된 광은 물방울 내부에서 굴절되고 반사되지만 편광 방향이 바뀌지는 않을 것이다. 그러나 액정이 기판(12)에 떨어진 경우라면, 제 1 편광판(26)에 의해 편광된 광은 액정에 의해 편광 방향이 바뀌고, 편광 방향이 바뀐 광이 검사 카메라(32)로 입사될 것이다. 다만, 액정에 바뀌는 편광 방향은 다양한 방향일 수 있다. Consider the case where the light emitted from the light source 24 is irradiated onto the substrate 12 after being polarized by the first polarizing plate 26. If the water droplets, not the liquid crystal, fall on the substrate 12, the light polarized by the first polarizer 26 is refracted and reflected inside the water droplets but the polarization direction will not be changed. However, if the liquid crystal falls on the substrate 12, the light polarized by the first polarizing plate 26 will be changed in the polarization direction by the liquid crystal, and the light in which the polarization direction is changed will be incident to the inspection camera 32. However, the polarization direction changed to the liquid crystal may be various directions.

제 1 편광판(26)과 제 2 편광판(34)의 편광 방향이 도 3의 (a)와 같은 경우, 기판(12)에 의해 반사된 광은 편광 방향이 바뀌지 않은 상태에서 검사 카메라(32)로 입사될 것이므로 검사 카메라(32)에서는 기판(12) 영역에 대한 영상은 밝게 나타날 것이다. 그러나 액정에 의해 굴절 및 반사되는 광은 편광 방향이 변경되어 검사 카메라(32)로 입사될 것이므로 제 2 편광판(34)을 통과하지 못하는 광이 발생되어 기판(12) 영역에 비해 어둡게 나타날 것이다. 이에 대해, 제 1 편광판(26)과 제 2 편광판(34)의 편광 방향이 도 3의 (b)와 같은 경우, 기판(12)에 의해 반사된 광은 편광 방향이 바뀌지 않은 상태에서 검사 카메라(32)로 입사될 것이므로 제 2 편광판(34)에 의해 차단되어 검사 카메라(32)에서는 기판(12) 영역에 대한 영상은 어둡게 나타날 것이다. 그러나 액정에 의해 굴절 및 반사되는 광은 편광 방향이 변경되어 검사 카메라(32)로 입사될 것이므로 제 2 편광판(34)을 통과하는 광이 존재하여 기판(12) 영역에 비해 밝게 나타날 것이다. 이와 같은 원리에 의해 검사 카메라(32)에서는 기판(12)에 적하된 액정(13)을 보다 선명하게 인식할 수 있게 된다. When the polarization directions of the first polarizing plate 26 and the second polarizing plate 34 are the same as those in FIG. 3A, the light reflected by the substrate 12 is directed to the inspection camera 32 without the polarization direction being changed. In the inspection camera 32, the image of the area of the substrate 12 will be bright because it will be incident. However, the light refracted and reflected by the liquid crystal will be incident to the inspection camera 32 because the polarization direction is changed, so that light that does not pass through the second polarizing plate 34 will be generated and appear darker than the area of the substrate 12. On the other hand, when the polarization directions of the first polarizing plate 26 and the second polarizing plate 34 are the same as those of FIG. 3B, the light reflected by the substrate 12 is inspected in a state where the polarization direction is not changed. 32 will be incident by the second polarizer 34 so that the image of the area of the substrate 12 in the inspection camera 32 will appear dark. However, since the light refracted and reflected by the liquid crystal will change the polarization direction and be incident to the inspection camera 32, light passing through the second polarizing plate 34 will be present and appear brighter than the area of the substrate 12. By such a principle, the inspection camera 32 can more clearly recognize the liquid crystal 13 dropped on the substrate 12.

한편, 상기 검사 카메라(32)에서 취득하는 영상은 적어도 상기 잉크젯 헤드(18)에 의해 액정이 토출되는 범위를 포함하는 것이 바람직하다. 다시 말하면, 잉크젯 헤드(18)의 진행방향에 수직인 가로 방향에 대해 잉크젯 헤드(18)의 노즐이 m개 배치되어 있다면 그 m개의 노즐로부터 토출되는 액정의 적하 상태에 대한 영상을 상기 검사 카메라(32)가 취득할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. On the other hand, it is preferable that the image acquired by the said inspection camera 32 contains the range from which the liquid crystal is discharged by the said inkjet head 18 at least. In other words, if m nozzles of the ink jet head 18 are disposed in a horizontal direction perpendicular to the advancing direction of the ink jet head 18, the inspection camera (image) shows an image of the drop state of the liquid crystal discharged from the m nozzles. It is desirable to make it available for acquisition.

검사 카메라(32)로부터 취득한 영상을 통해 작업자 또는 제어부(36)는 잉크젯 헤드(18)의 일부 노즐로부터 액정이 토출되지 않은 경우 또는 토출된 액정 상태가 불량한 경우를 판별할 수 있다. 예컨데, 정상적인 경우에는 m열로 배치된 잉크젯 헤드(18)의 노즐로부터 m열의 액정이 토출되어야 한다. 그러나 일부 노즐이 막힌 경우에는 검사 카메라(32)에 의해 취득된 영상에서 해당 열에는 액정이 토출되지 않았음을 확인할 수 있게 된다. Based on the image acquired from the inspection camera 32, the operator or the control unit 36 can determine when the liquid crystal is not discharged from some nozzles of the inkjet head 18 or when the discharged liquid crystal state is poor. For example, in a normal case, m rows of liquid crystals must be discharged from the nozzles of the inkjet heads 18 arranged in m rows. However, when some nozzles are clogged, it is possible to confirm that the liquid crystal is not discharged in the corresponding column in the image acquired by the inspection camera 32.

도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서를 도시한 개략도이다. 4 is a schematic view showing a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a second preferred embodiment of the present invention.

도 4에 따른 액정 디스펜서(1)에는 제 1 액정 적하 상태 검사 장치(20A)와 제 2 액정 적하 상태 검사 장치(20B)가 잉크젯 헤드(18)의 전후 양측에 구비되는 것을 특징으로 한다. The liquid crystal dispenser 1 according to FIG. 4 is characterized in that the first liquid crystal drop state inspecting apparatus 20A and the second liquid crystal drop state inspecting apparatus 20B are provided on both front and rear sides of the inkjet head 18.

잉크젯 헤드(18)가 장착되는 지지 프레임(16)은 지지 프레임 구동기구(17)에 의해 전후 구동된다. 이에 따라 잉크젯 헤드(18)는 전진 이동과 후진 이동을 하면서 액정을 토출하게 된다. 본 발명에 따른 적하 상태 검사 장치(20, 20A, 20B)는 잉크젯 헤드(18)가 액정을 토출한 이후 액정 적하 상태를 검사하기 위하여 영상을 취득한다. 따라서 제 1 실시예에 있어서, 적하 상태 검사 장치(20)는 잉크젯 헤드(18)의 이동 방향 후면에 구비되었다. 그러나, 도 2에 있어서, 도시된 "이동 방향"과 반대 방향으로 잉크젯 헤드(18)가 이동하면서 액정을 토출하는 경우에는 그 토출 상태에 대한 영상을 취득하기 곤란하다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 4에 따른 액정 디스펜서(1)에는 잉크젯 헤드(18)의 전진 이동과 후진 이동 각각에 대응하여 액정 적하 상태를 확인하기 위하여 제 1 액정 적하 상태 검사 장치(20A)와 제 2 액정 적하 상태 검사 장치(20B)가 구비되는 것이다. 여기서 제 1 액정 적하 상태 검사 장치(20A)와 제 2 액정 적하 상태 검사 장치(20B) 각각의 구성은 도 2를 참조하여 설명한 액정 적하 상태 검사 장치(20)의 구성과 동일하다. The support frame 16 on which the inkjet head 18 is mounted is driven back and forth by the support frame drive mechanism 17. As a result, the inkjet head 18 discharges the liquid crystal while moving forward and backward. The dripping state inspection apparatus 20, 20A, 20B according to the present invention acquires an image for examining the liquid crystal dripping state after the inkjet head 18 discharges the liquid crystal. Therefore, in the first embodiment, the dripping state inspection device 20 is provided on the rear surface in the moving direction of the inkjet head 18. However, in Fig. 2, when the ink jet head 18 is discharged while the ink jet head 18 moves in the direction opposite to the shown "movement direction", it is difficult to acquire an image of the discharge state. In order to solve this problem, the liquid crystal dispenser 1 according to FIG. 4 includes a first liquid crystal drop state inspection apparatus 20A and a first liquid crystal drop state for checking the liquid crystal drop state corresponding to each of the forward movement and the reverse movement of the inkjet head 18. 2 liquid crystal dropping state inspection apparatus 20B is provided. The configuration of each of the first liquid crystal drop state inspecting apparatus 20A and the second liquid crystal drop state inspecting apparatus 20B is the same as that of the liquid crystal drop state inspecting apparatus 20 described with reference to FIG. 2.

도 4에 있어서, 잉크젯 헤드(18)가 도 4의 좌측으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우에는 제 1 액정 적하 상태 검사 장치(20A)에 의해 적하 상태에 대한 영상이 취득되고, 잉크젯 헤드(18)가 도 4의 우측으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우에는 제 2 액정 적하 상태 검사 장치(20B)에 의해 적하 상태에 대한 영상이 취득된다.In FIG. 4, when the inkjet head 18 discharges liquid crystal while moving to the left side of FIG. 4, an image of the drop state is acquired by the first liquid crystal drop state inspecting apparatus 20A, and the inkjet head 18 is obtained. When the liquid crystal is discharged while moving to the right side of FIG. 4, the image of the drop state is acquired by the second liquid crystal drop state inspection apparatus 20B.

도 5는 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서의 개략도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 1 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이며, 도 7은 도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 2 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다.  5 is a schematic view of a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a third preferred embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a third preferred embodiment of the present invention. 7 is a schematic diagram showing an operation in the case where the liquid crystal is dispensed in the first moving direction, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the liquid crystal dispenser having the liquid crystal drop state inspection apparatus according to the third preferred embodiment of the present invention. It is a schematic diagram which shows the operation | movement in the case where a liquid crystal is dispensed in 2 moving directions.

본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치(20)는, 메인 바디(22)와, 상기 메인 바디(22)에 구비되는 제 1 광원(40) 및 제 2 광원(50)과, 검사 카메라(32)를 포함한다. 메인 바디(22)는 잉크젯 헤드(18)의 상측을 가로질러 구비된다. 일 실시예에 있어서 상기 메인 바디(22)가 상기 잉크젯 헤드(18)의 상측을 가로질러 구비될 수 있도록 지지 프레임(16)에 관통홀이 구비될 수 있다. 도 5에 따른 실시예에 있어서, 제 1 광원(40)은 기판(12)과 평행한 방향으로 광을 출력하고, 제 2 광원(50)은 기판(12)에 수직한 방향으로 광을 출력하도록 배치된다. 잉크젯 헤드(18)를 기준으로 설명한다면, 상기 제 1 광원은 상기 잉크젯 헤드(18)의 한쪽에 위치되고 상기 제 2 광원은 상기 잉크젯 헤드(18)의 다른 쪽에 구비된다.The liquid crystal drop state inspection apparatus 20 according to the third preferred embodiment of the present invention includes a main body 22, a first light source 40 and a second light source 50 provided in the main body 22. And an inspection camera 32. The main body 22 is provided across the upper side of the inkjet head 18. In an exemplary embodiment, a through hole may be provided in the support frame 16 so that the main body 22 may be disposed across the upper side of the inkjet head 18. In the embodiment according to FIG. 5, the first light source 40 outputs light in a direction parallel to the substrate 12, and the second light source 50 outputs light in a direction perpendicular to the substrate 12. Is placed. When described with reference to the inkjet head 18, the first light source is located on one side of the inkjet head 18 and the second light source is provided on the other side of the inkjet head 18.

상기 제 1 광원(40)의 광출력단에는 제 1-1 편광판(42)이 구비되고, 상기 제 2 광원(50)의 광출력단에는 제 1-2 편광판(52)이 구비되며, 상기 검사 카메라(32)의 전단에는 제 2 편광판(34)이 구비된다. The light output terminal of the first light source 40 is provided with a 1-1 polarizing plate 42, the light output terminal of the second light source 50 is provided with a 1-2 polarizing plate 52, the inspection camera ( The second polarizing plate 34 is provided at the front end of the 32.

상기 제 1 광원(40)의 광 경로상에는 제 1 광소자(44)가 구비되어 제 1 광원(40)으로부터 출력된 광을 상기 메인 바디(22)의 제 1 광 윈도우(28a)로 반사시키며, 기판(12) 측으로부터 반사된 광을 상기 검사 카메라(32) 방향으로 투과시킨다. A first optical device 44 is provided on the optical path of the first light source 40 to reflect the light output from the first light source 40 to the first light window 28a of the main body 22. The light reflected from the substrate 12 side is transmitted toward the inspection camera 32.

한편, 상기 제 2 광원(50)의 광 경로상에는 제 2 광소자(54)가 구비되어 상기 제 2 광원(50)으로부터 출력된 광을 상기 메인 바디(22)의 제 2 광 윈도우(28b) 방향으로 투과시키며, 기판(12) 측으로부터 반사된 광은 횡방향으로 반사시킨다. 제 2 광소자(54)에 의해 반사된 광은 제 1 반사경(56) 및 제 2 반사경(58)에 의해 순차적으로 반사되고, 제 2 반사경(58)에 의해 반사된 광은 제 3 광소자(34)에 의해 상기 검사 카메라(32)로 전달된다. 제 3 광소자는 제 1 광소자(44)의 상부에 구비된다. 여기서 제 1 내지 제 3 광소자(44, 54, 60)는 앞서 설명한 광소자(30)와 같은 방식으로 구성될 수 있다.On the other hand, a second optical element 54 is provided on the optical path of the second light source 50 to direct the light output from the second light source 50 to the second optical window 28b of the main body 22. The light reflected from the substrate 12 side is reflected laterally. The light reflected by the second optical element 54 is sequentially reflected by the first reflector 56 and the second reflector 58, and the light reflected by the second reflector 58 is the third optical element ( 34) to the inspection camera 32. The third optical device is provided on the first optical device 44. Here, the first to third optical devices 44, 54, and 60 may be configured in the same manner as the optical device 30 described above.

도 6을 참조하면, 잉크젯 헤드(18)가 제 1 이동방향(도 6의 좌측 방향)으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우에는 제 1 광원(40)을 온(On)시키고 제 2 광원(50)을 오프(Off)시켜 제 1 광원(40)에서 방출된 광에 의해 기판(12)에 대한 영상을 취득할 수 있도록 한다. Referring to FIG. 6, when the inkjet head 18 discharges liquid crystal while moving in the first moving direction (left direction of FIG. 6), the first light source 40 is turned on and the second light source 50 is turned on. By turning off, the image of the substrate 12 can be acquired by the light emitted from the first light source 40.

도 7을 참조하면, 잉크젯 헤드(18)가 제 2 이동방향(도 7의 우측 방향)으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우에는 제 1 광원(40)을 오프(Off)시키고 제 2 광원(50)을 온(On)시켜 제 2 광원(50)에서 방출된 광에 의해 기판(12)에 대한 영상을 취득할 수 있도록 한다. 이 경우 제 2 광원(50)에서 방출된 광은 제 2 광소자(54)를 투과하여 제 2 광 윈도우(28b)를 통해 기판(12)에 조사된다. 기판(12) 측에서 반사된 광은 제 2 광소자(54)에서 제 1 반사경(56)으로 반사되어 제 2 반사경(58)으로 전달된다. 제 2 반사경(58)에서 반사된 광은 제 3 광소자(60)에 의해 검사 카메라(32) 방향으로 전달된다. Referring to FIG. 7, when the inkjet head 18 discharges liquid crystal while moving in the second moving direction (right direction in FIG. 7), the first light source 40 is turned off and the second light source 50 is turned off. By turning on, the image of the substrate 12 can be acquired by the light emitted from the second light source 50. In this case, the light emitted from the second light source 50 passes through the second optical element 54 and is irradiated onto the substrate 12 through the second light window 28b. The light reflected from the substrate 12 side is reflected from the second optical element 54 to the first reflector 56 and transmitted to the second reflector 58. The light reflected by the second reflector 58 is transmitted by the third optical element 60 toward the inspection camera 32.

도 8은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서액정 디스펜서의 개략도이고, 도 9는 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 1 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이며, 도 10은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치를 구비한 액정 디스펜서에 있어서 제 2 이동 방향으로 액정이 디스펜싱되는 경우의 동작을 도시한 개략도이다. 8 is a schematic view of a liquid crystal dispenser liquid crystal dispenser having a liquid crystal drop state inspection apparatus having a liquid crystal drop state inspection apparatus according to a fourth preferred embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a fourth embodiment of the present invention. 10 is a schematic diagram showing an operation in the case where liquid crystal is dispensed in the first moving direction in the liquid crystal dispenser having the liquid crystal drop state inspection apparatus, and FIG. 10 is a liquid crystal drop state inspection apparatus according to the fourth preferred embodiment of the present invention. It is a schematic diagram which shows the operation | movement in the case where a liquid crystal is dispensed in a 2nd movement direction in the equipped liquid crystal dispenser.

본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치(20)는, 제 1 광 윈도우(28a)와 제 2 광 윈도우(28b)를 구비하는 메인 바디(22)와, 메인 바디(22)의 대략 중앙부에 위치하는 격벽(70)과, 상기 제 1 광 윈도우(28a)와 상기 제 2 광 윈도우(28b) 각각으로 광을 출력하는 제 1 광원(40) 및 제 2 광원(50)과, 기판(12) 측으로부터 반사된 광을 반사하는 제 1 광소자(44) 및 제 2 광소자(54)와, 제 1 광소자(44) 및 제 2 광소자(54) 각각으로부터 전달된 광을 반사하는 제 3 반사경(62) 및 제 4 반사경(64)과, 상기 제 3 반사경(62)과 상기 제 4 반사경(64)으로부터 반사된 광을 입력받는 검사 카메라(32)를 포함한다. 제 1 광원(40)의 광출력단에는 제 1-1 편광판(42)이 구비되고, 제 2 광원(50)의 광출력단에는 제 1-2 편광판(52)이 구비된다. 또한, 검사 카메라(32)의 전단에는 제 2 편광판(34)이 구비된다. 제 1 광원(40) 및 제 2 광원(50)은 격벽에 의해 분리된다. The liquid crystal drop state inspection apparatus 20 according to the fourth preferred embodiment of the present invention includes a main body 22 having a first optical window 28a and a second optical window 28b, and a main body 22. A partition wall 70 positioned at an approximately central portion of the first light source, a first light source 40 and a second light source 50 for outputting light to each of the first light window 28a and the second light window 28b; Light transmitted from the first optical element 44 and the second optical element 54 and the first optical element 44 and the second optical element 54 respectively reflecting the light reflected from the substrate 12 side. And a third reflecting mirror 62 and a fourth reflecting mirror 64, and an inspection camera 32 that receives light reflected from the third reflecting mirror 62 and the fourth reflecting mirror 64. The light output terminal of the first light source 40 is provided with a 1-1 polarizing plate 42, and the light output terminal of the second light source 50 is provided with a 1-2 polarizing plate 52. In addition, a second polarizing plate 34 is provided at the front end of the inspection camera 32. The first light source 40 and the second light source 50 are separated by the partition wall.

제 4 실시예에 있어서, 하나의 검사 카메라(32)가 사용되며, 검사 카메라(32)에는 제 1 광원(40)에 의해 얻어진 영상과 제 2 광원(50)이 모두 전달된다. 다만, 검사 카메라(32)의 영상 센서는 분할되어 사용된다.In the fourth embodiment, one inspection camera 32 is used, and both the image obtained by the first light source 40 and the second light source 50 are transmitted to the inspection camera 32. However, the image sensor of the inspection camera 32 is divided and used.

도 9를 참조하면, 잉크젯 헤드(18)가 제 1 이동방향(도 9의 좌측 방향)으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우, 제 1 광원(40)으로부터 출력된 광은 제 1 광소자(44)를 투과하여 제 1 광 윈도우(28a)를 통해 기판(12) 측으로 조사된다. 기판(12) 측으로부터 반사된 광은 제 1 광소자(44)에 의해 제 3 반사경(62)으로 반사된다. 제 3 반사경(62)에서 반사된 광은 검사 카메라(32) 방향으로 전달된다. Referring to FIG. 9, when the inkjet head 18 discharges the liquid crystal while moving in the first moving direction (left direction in FIG. 9), the light output from the first light source 40 is transferred to the first optical element 44. Is transmitted through the first light window 28a to be irradiated to the substrate 12 side. Light reflected from the substrate 12 side is reflected by the first optical element 44 to the third reflector 62. The light reflected by the third reflector 62 is transmitted toward the inspection camera 32.

도 10을 참조하면, 잉크젯 헤드(18)가 제 2 이동방향(도 10의 우측 방향)으로 이동하면서 액정을 토출하는 경우, 제 2 광원(50)으로부터 출력된 광은 제 2 광소자(54)를 투과하여 제 2 광 윈도우(28b)를 통해 기판(12) 측으로 조사된다. 기판(12) 측으로부터 반사된 광은 제 2 광소자(54)에 의해 제 4 반사경(64)으로 반사된다. 제 4 반사경(64)에서 반사된 광은 검사 카메라(32) 방향으로 전달된다. Referring to FIG. 10, when the inkjet head 18 discharges the liquid crystal while moving in the second moving direction (right direction in FIG. 10), the light output from the second light source 50 is transferred to the second optical element 54. Is transmitted through and irradiated to the substrate 12 side through the second light window 28b. The light reflected from the substrate 12 side is reflected by the second optical element 54 to the fourth reflecting mirror 64. The light reflected by the fourth reflector 64 is transmitted toward the inspection camera 32.

도 11은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서 검사 카메라로 입력되는 영상의 예를 도시한 도면이다.11 is a view showing an example of an image input to the inspection camera in the liquid crystal drop state inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

도 11에 있어서는, 제 1-1 편광판(42)과 제 1-2 편광판(52)의 편광방향은 동일하고, 제 2 편광판(34)의 편광 방향은 제 1-1 편광판(42) 및 제 1-2 편광판(52)의 편광 방향과 직각인 상태인 것으로 하였다. In FIG. 11, the polarization directions of the first polarizing plate 42 and the second polarizing plate 52 are the same, and the polarization directions of the second polarizing plate 34 are the first polarizing plate 42 and the first polarizing plate 42. It was set as the state orthogonal to the polarization direction of the -2 polarizing plate 52.

도 11의 (a)를 참조하면, 제 2 광원(50)을 오프(Off)한 상태에서 제 1 광원(40)을 이용하여 취득된 영상은 검사 카메라(32)에서 획득 가능한 영상 픽셀수의 1/2을 차지한다. 도 11의 (b)를 참조하면, 제 1 광원(40)을 오프(Off)한 상태에서 제 2 광원(50)을 이용하여 취득한 영상은 검사 카메라(32)에서 획득 가능한 영상 픽셀수의 1/2을 차지한다. 도 11에 있어서, 영상에서 광원이 오프(Off)된 영역은 광 입력이 없으므로 어둡게 나타난다. 또한 영상에서 기판(12)에 대응되는 영역은 광원측의 편광판과 검사 카메라 측의 편광판이 서로 직각이므로 어둡게 나타나며, 액정(13)에 대응되는 영역은 액정의 편광 방향 변경으로 인해 상대적으로 밝게 나타난다. Referring to FIG. 11A, an image acquired by using the first light source 40 in a state in which the second light source 50 is turned off is 1 of the number of image pixels that can be acquired by the inspection camera 32. Occupies / 2 Referring to FIG. 11B, an image acquired by using the second light source 50 in a state where the first light source 40 is off is 1/1 of the number of image pixels that can be acquired by the inspection camera 32. Occupies 2. In FIG. 11, an area where the light source is turned off in the image is dark because there is no light input. In addition, the region corresponding to the substrate 12 in the image appears dark because the polarizer on the light source side and the polarizer on the inspection camera are perpendicular to each other, and the region corresponding to the liquid crystal 13 appears relatively bright due to the change in the polarization direction of the liquid crystal.

상술한 본 발명의 제 2 실시예 내지 제 4 실시예에 따른 액정 적하 상태 검사 장치에 따르면, 최초 구비된 위치에서 검사 카메라를 이동하거나 복수의 검사 카메라를 구비하지 않더라도 한 개의 검사 카메라만으로 액정 적하 진행 방향과 상관없이 액정 토출 상태를 노즐로부터 액정 방울이 기판으로 적하된 직후 즉각적으로 확인할 수 있게 된다. According to the liquid crystal dropping state inspection apparatus according to the second to fourth embodiments of the present invention described above, the liquid crystal dropping progresses with only one inspection camera even if the inspection camera is moved from the first provided position or the plurality of inspection cameras are not provided. Irrespective of the direction, the liquid crystal discharge state can be immediately confirmed immediately after the liquid crystal drop is dropped from the nozzle onto the substrate.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by the embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1 : 액정 디스펜서 10 : 프레임
12 : 기판 14 : 스테이지
16 : 지지 프레임 18 : 잉크젯 헤드
20 : 액정 적하 상태 검사 장치
22 : 메인 바디 24 : 광원
26 : 제 1 편광판 28 : 광 윈도우
30 : 광소자 32 : 검사 카메라
34 : 제 2 편광판
1: liquid crystal dispenser 10: frame
12 substrate 14 stage
16: support frame 18: inkjet head
20 liquid crystal drop state inspection device
22: main body 24: light source
26: first polarizing plate 28: light window
30: optical element 32: inspection camera
34: second polarizing plate

Claims (14)

액정 디스펜서에 구비되는 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서,
광 윈도우를 구비한 메인 바디;
상기 메인 바디에 구비되며 광출력단에 제 1 편광판을 구비한 광원; 및
상기 제 1 편광판에 의해 편광된 광이 기판 측에 조사된 후 상기 기판 측으로부터 반사된 광이 입사되는 제 2 편광판을 구비한 검사 카메라
를 포함하는 액정 적하 상태 검사 장치.
In the liquid crystal dropping state inspection apparatus provided in the liquid crystal dispenser,
A main body having a light window;
A light source provided in the main body and having a first polarizing plate in an optical output terminal; And
An inspection camera having a second polarizing plate on which light reflected from the substrate side is incident after light polarized by the first polarizing plate is irradiated to the substrate side.
Liquid crystal drop state inspection apparatus comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 광원으로부터 출력된 광을 상기 광 윈도우를 통해 기판 측으로 반사하며, 상기 기판 측에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 투과시키는 광소자를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 1,
And an optical element for reflecting the light output from the light source to the substrate side through the light window, and for transmitting the light reflected from the substrate side to the inspection camera.
제 1 항에 있어서,
상기 메인 바디의 상기 광 윈도우는 액정을 토출하는 액정 디스펜싱 유닛과 이격하여 구비되는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 1,
And the optical window of the main body is spaced apart from the liquid crystal dispensing unit for discharging the liquid crystal.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 편광판과 상기 제 2 편광판의 편광 방향은 상이한 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The polarization direction of the said 1st polarizing plate and said 2nd polarizing plate is different, The liquid crystal dropping state inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
액정 디스펜서에 구비되는 액정 적하 상태 검사 장치에 있어서,
상호 이격되며 기판 측으로 개방된 제 1 광 윈도우와 제 2 광 윈도우를 구비한 메인 바디;
상기 메인 바디에 구비되며 상기 제 1 광 윈도우를 통해 편광된 광을 상기 기판측으로 조사하는 제 1-1 편광판을 구비한 제 1 광원;
상기 메인 바디에 구비되며 상기 제 2 광 윈도우를 통해 편광된 광을 상기 기판측으로 조사하는 제 1-2 편광판을 구비한 제 2 광원; 및
상기 제 1 광원 또는 상기 제 2 광원에 의해 상기 기판 측으로 조사된 광이 상기 기판 측에서 반사된 후 반사된 광이 입사되며, 제 2 편광판을 구비한 검사 카메라
를 포함하는 액정 적하 상태 검사 장치.
In the liquid crystal dropping state inspection apparatus provided in the liquid crystal dispenser,
A main body having a first light window and a second light window spaced apart from each other and open to the substrate side;
A first light source provided in the main body and having a 1-1 polarizing plate for radiating light polarized through the first light window toward the substrate;
A second light source provided in the main body, the second light source including a 1-2 polarizing plate radiating light polarized through the second light window toward the substrate; And
After the light irradiated to the substrate side by the first light source or the second light source is reflected from the substrate side, the reflected light is incident, the inspection camera having a second polarizing plate
Liquid crystal drop state inspection apparatus comprising a.
제 5 항에 있어서,
상기 제 1 광원에서 방출된 광을 상기 기판 측으로 반사하며 상기 기판 측에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 투과시키는 제 1 광소자를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 5, wherein
And a first optical element for reflecting the light emitted from the first light source toward the substrate side and transmitting the light reflected from the substrate side toward the inspection camera.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 광원에서 방출된 광을 상기 기판 측으로 투과시키며 상기 기판 측에서 반사된 광을 횡방향으로 반사하는 제 2 광소자와, 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 전달하는 반사경을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method according to claim 6,
A second optical element that transmits the light emitted from the second light source to the substrate side and reflects the light reflected from the substrate side in a transverse direction, and a reflector which transmits the light reflected from the second optical element to the inspection camera Liquid crystal drop state inspection apparatus further comprising a.
제 7 항에 있어서,
상기 반사경은 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 반사하는 제 1 반사경과, 상기 제 1 반사경에서 반사된 빛을 재차 반사하는 제 2 반사경을 포함하며, 상기 제 2 반사경에서 반사된 광을 상기 검사 카메라로 반사하는 제 3 광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 7, wherein
The reflector includes a first reflector reflecting light reflected from the second optical element, and a second reflector reflecting light reflected from the first reflector again, and the light reflected from the second reflector is inspected. And a third optical element that reflects back to the camera.
제 8 항에 있어서,
상기 제 3 광소자는 상기 제 2 광소자 상측에 구비되며, 상기 제 3 광소자는 제 2 광소자를 투과하여 전달된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 투과시키는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 8,
And the third optical device is provided above the second optical device, and the third optical device transmits light transmitted through the second optical device toward the inspection camera.
제 5 항에 있어서,
상기 제 1 광원과 상기 제 2 광원 사이에는 격벽이 구비되며, 상기 검사 카메라의 영상 센서의 영상 획득 영역은 상기 격벽에 의해 구분되는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 5, wherein
A partition wall is provided between the first light source and the second light source, and the image acquisition region of the image sensor of the inspection camera is divided by the partition wall.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 광원의 하방에는 상기 제 1 광원에서 방출된 광은 상기 제 1 광 윈도우로 투과시키고 상기 기판 측에서 반사된 광은 횡방향으로 반사하는 제 1 광소자가 구비되고, 상기 제 1 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 전달하는 제 3 반사경이 구비되는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
11. The method of claim 10,
Below the first light source is provided with a first optical device for transmitting the light emitted from the first light source to the first light window and the light reflected from the substrate side in the transverse direction, the first optical device And a third reflector for transmitting the reflected light toward the inspection camera.
제 11 항에 있어서,
상기 제 2 광원의 하방에는 상기 제 2 광원에서 방출된 광은 상기 제 2 광 윈도우로 투과시키고 상기 기판 측에서 반사된 광은 횡방향으로 반사하는 제 2 광소자가 구비되고, 상기 제 2 광소자에서 반사된 광을 상기 검사 카메라 방향으로 전달하는 제 4 반사경이 구비되는 것을 특징으로 하는 액정 적하 상태 검사 장치.
The method of claim 11,
Below the second light source is provided with a second optical device for transmitting the light emitted from the second light source to the second light window and the light reflected from the substrate side in the transverse direction, in the second optical device And a fourth reflector for transmitting the reflected light toward the inspection camera.
기판에 액정을 디스펜싱하는 액정 디스펜서에 있어서,
프레임;
상기 프레임의 상부에 구비되어 상기 기판을 지지하는 스테이지;
상기 프레임의 상부에 구비되는 지지 프레임;
상기 지지 프레임에 구비되며 액정을 디스펜싱하는 액정 디스펜싱 헤드유닛; 및
제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 다른 적하 상태 검사 장치
를 포함하는 액정 디스펜서.
In the liquid crystal dispenser for dispensing a liquid crystal on a substrate,
frame;
A stage provided at an upper portion of the frame to support the substrate;
A support frame provided on an upper portion of the frame;
A liquid crystal dispensing head unit provided in the support frame to dispense liquid crystal; And
A loading state inspection device according to any one of claims 1 to 3 and 5 to 12.
Liquid crystal dispenser comprising a.
제 13 항에 있어서,
상기 액정 디스펜싱 헤드유닛은 잉크젯 헤드인 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서.
The method of claim 13,
And the liquid crystal dispensing head unit is an inkjet head.
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