KR20130103053A - 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치 - Google Patents

디지털 마이크로 미러의 위치조절장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치에 관한 것으로서, 하부에 결합되는 디지털 마이크로 미러를 회전작동시켜 방향을 조절하는 회전조절수단과; 상기 회전조절수단의 상부에 결합되고 상기 디지털 마이크로 미러와 회전조절수단을 전·후 또는 좌·우 방향으로 조절하는 수평조절수단과; 다수개의 프레임을 결합하여 형성되어 지면이나 장비에 장착되고 상부 수평부에는 상기 수평조절수단이 고정되는 지지 틀; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 노광장치에 장착되는 디지털 마이크로 미러의 위치를 회전조절수단과 수평조절수단을 통해 간단하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 정확한 노광을 수행할 수 있고 그에 따른 작업시간과 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

디지털 마이크로 미러의 위치조절장치{Position control device of Digital Micro-mirror Device}
본 발명은 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 노광장치에 장착되는 디지털 마이크로 미러의 위치를 조절하여 원하는 장소에 디지털 마이크로 미러를 통해 변조되는 빔을 공급할 수 있도록 한 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치에 관한 것이다.
최근의 PCB(Printed Circuit Board) 산업은 다양한 디지털기기의 향상되는 성능을 충족시키기 위해 기존의 경성 PCB에서 연성 PCB를 포함한 여러 분야로 확대되는 전환기로 진입하면서 PCB의 대폭적인 성능개선이 요구되고 있다.
이렇게 PCB의 대폭적인 성능개선의 요구에 적극적으로 대처하기 위해서는 PCB 상에 초미세회로 선 폭을 구현할 수 있는 새로운 방식의 노광 엔진을 필요로 한다.
또한, 이는 노광 엔진의 저 분해능에서 고분해능으로의 이행에 따른 기술혁신은 물론이고 다품종 소량생산 및 대량생산 체제에도 유연하게 대응할 수 있을 뿐만 아니라 노광 공정의 비약적인 단축과 생산성(productivity) 향상을 요구하는 신기술 적용의 필연성을 유발한다.
이에 다양한 노광 방법들이 개발되었는데, LDI(Laser Direct Imaging)를 이용한 마스크 리스(maskless) 방식이 그 중 하나이다.
기존의 마스크 방식의 노광 엔진의 문제점은 고해상도의 미세회로패턴 노광시 마스크 제작비용 및 관리비용의 증가로 인한 고분해능의 노광에 어려움이 있다.
이러한 기존의 마스크 방식의 문제점을 해결하기 위해, 근래에는 초미세회로 선 폭을 구현하고 공정 수를 대폭 줄일 수 있는 고분해능의 노광 엔진인 마스크 리스 방식의 공정기술이 부각되고 있는 추세이다.
이에 부응하기 위해, DMD(Digital Micromirror Device)를 구비한 노광 엔진이 개발되었는데, 이는 다수의 마이크로 미러가 일정한 각도를 가지고 입사되는 광(beam)을 원하는 각도로 보내고 그 외의 빔은 다른 각도로 보냄으로써 필요한 광만을 이용하여 하나의 화면을 만드는 원리를 이용하는 엔진이다.
즉, 광원(beam source)에서 생성된 광을 스테이지 상의 기판에 전달하는 종래의 노광 엔진은 도 1에 도시한 바와 같이 회절광학소자(diffractive optical element)와 푸리에 전달렌즈(fourier transform lens)(101), 미러(mirror)(102), DMD(Digital Micromirror Device)(103), 제1프로젝션 광학계(1'projection lenssystem)(104), 빔 이동 디바이스(beam shift device)(105) 그리고 제2프로젝션 광학계(2'projection lens system)(106) 등을 갖는다.
상기한 바와 같은 구성을 가지는 종래의 노광 엔진은 광원의 광이 진행하는 경로를 설계할 때 렌즈의 크기 및 길이 등의 제한조건이 발생하기 때문에 DMD의 사용공간이 협소하여 세팅시 어려움이 있다.
또한, 광원의 광이 진행하는 경로를 확장하기 위해서는 렌즈의 크기를 크게 해야 하나, 이 경우 전체 노광 엔진의 크기가 너무 커지기 때문에 적합하지 못하였다.
한국공개특허 10-2009-0124179호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 노광장치에 장착되는 디지털 마이크로 미러의 위치를 회전조절수단과 수평조절수단을 통해 간단하게 조절할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 디지털 마이크로 미러와 회전조절수단의 사이에 냉각수단을 장착하여 상기 디지털 마이크로 미러를 냉각하면서 열에 의한 회전조절수단과 수평조절수단의 오차를 제거할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 하부에 결합되는 디지털 마이크로 미러를 회전작동시켜 방향을 조절하는 회전조절수단과; 상기 회전조절수단의 상부에 결합되고 상기 디지털 마이크로 미러와 회전조절수단을 전·후 또는 좌·우 방향으로 조절하는 수평조절수단과; 다수개의 프레임을 결합하여 형성되어 지면이나 장비에 장착되고 상부 수평부에는 상기 수평조절수단이 고정되는 지지 틀; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 노광장치에 장착되는 디지털 마이크로 미러의 위치를 회전조절수단과 수평조절수단을 통해 간단하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 정확한 위치에서 노광을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 간단하게 조작되는 회전조절수단과 수평조절수단을 통해 디지털 마이크로 미러의 위치를 미세하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 작업시간과 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 디지털 마이크로 미러와 회전조절수단의 사이에 냉각수단을 장착하여 상기 디지털 마이크로 미러를 냉각하면서 회전조절수단과 수평조절수단의 오차를 제거할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 노광 엔진의 구조를 나타낸 개략 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 다른 실시 예를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 요부를 나타낸 분해 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 요부를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 작동상태를 나타낸 사시도.
이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 2는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 다른 실시 예를 나타낸 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 요부를 나타낸 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 요부를 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 작동상태를 나타낸 사시도이다.
본 발명인 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치(10)는 디지털 마이크로 미러(20)의 회전방향을 조절하는 회전조절수단(30)과, 상기 회전조절수단(30)과 결합되면서 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 전·후 또는 좌·우 방향으로 조절하는 수평조절수단(40)과, 지면이나 장비에 고정결합되면서 상기 수평조절수단(40)과 고정결합되는 지지 틀(50)과, 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)의 사이에 장착되는 냉각수단(60) 등으로 구성된다.
여기서 상기 디지털 마이크로 미러(20)는 공지된 디지털 마이크로 미러를 택일하여 구성되고 별도의 설명은 생략하기로 한다.
상기 디지털 마이크로 미러(20)의 회전방향을 조절하는 회전조절수단(30)은 디지털 마이크로 미러(20)와 결합되는 냉각수단(60)과 결합되어 상기 디지털 마이크로 미러(20)의 회전 각도를 조절하게 된다.
그리고 상기 회전조절수단(30)은 상기 냉각수단(60)의 상부와 고정결합되고 내부에는 회전작동하는 회전축(32)이 장착되는 중공 형상의 회전 몸체(31)와, 상기 회전 몸체(31)의 상부에 장착되는 중공 형상의 회전 케이스(33)와, 상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되어 상기 회전축(32)을 회전작동시키는 회전 조절구(34)와, 상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되어 상기 회전 조절구(34)의 작동을 제한하는 회전 스토퍼(35)로 구성된다.
즉 상기 회전조절수단(30)은 내부에 회전축(32)이 장착되는 회전 몸체(31)의 상부에 회전 케이스(33)를 장착하고, 상기 회전 케이스(33)의 일 측에는 회전축(32)을 회전작동시키는 회전 조절구(34)를 장착하면서 또 다른 일 측에는 상기 회전 조절구(34)의 작동을 제한하는 회전 스토퍼(35)를 장착한 것이다.
상기 회전조절수단(30)의 상부에 장착되는 수평조절수단(40)은 지지 틀(50)과 회전조절수단(30)에 상·하부가 각각 결합되어, 상기 회전조절수단(30)과 냉각수단(60) 및 디지털 마이크로 미러(20)를 전·후 또는 좌·우 방향으로 조절하게 된다.
그리고 상기 수평조절수단(40)은 회전조절수단(30)의 상부와 고정결합되는 하부 스테이지(41)와, 상기 하부 스테이지(41)의 상부에 슬라이딩 가능하게 장착되는 중간 스테이지(42)와, 상기 중간 스테이지(42)의 상부에 슬라이딩 가능하게 장착되는 상부 스테이지(43)와, 상기 중간 스테이지(42)를 조절하는 전후 조절구(44)와, 상기 상부 스테이지(43)를 조절하는 좌우 조절구(45)로 구성된다.
이를 좀더 구체적으로 살펴보면, 상기 하부 스테이지(41)는 회전조절수단(30)의 상부에 하부가 고정결합되고 상부에는 전후 가이드 홈(41a)이 적어도 두 개 이상 형성된다.
그리고 상기 하부 스테이지(41)의 상부에 장착되는 중간 스테이지(42)는 하부에 상기 전후 가이드 홈(41a)을 따라 전방이나 후방으로 이동할 수 있도록 전후 가이드 레일(42a)이 형성되고 상부에는 상기 전후 가이드 홈(41a)과 직교하는 방향으로 좌우 가이드 홈(42b)이 적어도 두 개 이상 형성된다.
즉 상기 중간 스테이지(42)는 하부 스테이지(41)의 전후 가이드 홈(41a)을 따라 이동하면서 좌우 방향으로 상부 스테이지(43)를 안내하게 되는 것이다.
또한 상기 중간 스테이지(42)의 상부에 장착되는 상부 스테이지(43)는 하부에 상기 좌우 가이드 홈(42b)을 따라 좌측이나 우측으로 이동할 수 있도록 좌우 가이드 레일(43a)이 형성된다.
또한 상기 중간 스테이지(42)의 일 측에 장착되는 전후 조절구(44)는 회전작동을 통해서 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 전·후 방향으로 이동시키게 되고, 상기 상부 스테이지(43)의 일 측에 장착되는 좌우 조절구(45)는 회전작동을 통해서 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 조절하는 좌우 조절구(45)를 좌우방향으로 이동시키게 되는 것이다.
다음으로 상기와 같은 역할을 수행하는 수평조절수단(40)에는 상기 중간 스테이지(42)와 하부 스테이지(41)의 이동거리를 제한할 수 있도록 이동제한수단(70)이 더 장착된다.
그리고 상기와 같은 역할을 수행하는 상기 이동제한수단(70)은 중간 스테이지(42)와 상부 스테이지(43)에 일 측이 각각 고정결합되고 내부에는 이동공간(72)이 형성되는 고정판(71)과 상기 고정판(71)의 이동공간(72)에 일 측이 삽입되면서 중간 스테이지(42)와 하부 스테이지(41)에 고정결합되는 고정핀(73)으로 구성된다.
즉 상기 이동제한수단(70)은 상기 중간 스테이지(42)와 상부 스테이지(43)에 장착되는 이동공간(72)과 고정핀(73)을 이용하여 디지털 마이크로 미러(20)의 이동 거리를 제한할 수 있도록 한 것이다.
상기 수평조절수단(40)과 고정결합되는 지지 틀(50)은 다수개의 프레임을 결합하여 형성되어 지면이나 노광장치 등의 장비에 장착된다.
이때 상기 지지 틀(50)을 구성하는 다수개의 프레임은 일체로 형성될 수 있음을 밝힌다.
그리고 본원발명에서 상기 지지 틀(50)은 소정의 길이를 가지고 형성되는 하부 수평부(51)와, 상기 하부 수평부(51)의 끝단에 수직으로 장착되는 수직부(52)와, 상기 수직부(52)의 끝단에 수평으로 장착되면서 상기 수평조절수단(40)과 결합되는 상부 수평부(53)로 구성되는 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 디지털 마이크로 미러(20)의 상부에 결합되는 냉각수단(60)은 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)의 사이에 장착되어 상기 디지털 마이크로 미러(20)를 통해 전달되는 열을 냉각하게 된다.
그리고 상기 냉각수단(60)은 상기 회전조절수단(30)이나 수평조절수단(40)의 작동시 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 연동작동하게 된다.
여기서 상기 디지털 마이크로 미러(20)의 열을 냉각하는 냉각수단(60)의 예를 도시된 도 2 및 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 도시된 도 2의 냉각수단(60)은 열 전도율이 좋은 구리, 알루미늄 등을 택일하여 구성되고 그 형상은 내부가 빈 사각형 형상으로 형성된다.
즉 상기 냉각수단(60)은 내부가 빈 사각형 형상으로 형성되면서 하부가 상기 디지털 마이크로 미러(20)에 결합되고 상부는 회전조절수단(30)과 결합하게 되는 것이다.
다음으로 도시된 도 3의 냉각수단(60)은 열 전도율이 좋은 구리, 알루미늄 등을 택일하여 형성되면서 히팅블록(61)과 히팅파이프(62) 및 히팅 날개(63)를 조합하여 구성된다.
즉 상기 냉각수단(60)은 상기 디지털 마이크로 미러(20)의 상부에 히팅파이프(62)를 수직으로 장착한 후, 상기 히팅파이프(62)의 하부에는 히팅블록(61)을 장착하고 상부에는 간격을 두고 히팅 날개(63)를 장착한 것이다.
상기와 같이 구성되는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 실시 예를 참조로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 소정의 길이를 가지고 형성되는 하부 수평부(51)와, 상기 하부 수평부(51)의 끝단에 수직으로 장착되는 수직부(52)와, 상기 수직부(52)의 끝단에 수평으로 장착되면서 상기 수평조절수단(40)과 결합되는 상부 수평부(53)로 구성되는 지지 틀(50)을 형성한 후 노광장치에 하부 수평부(51)를 고정결합한다.
그리고 용도와 목적에 따라 선택된 디지털 마이크로 미러(20)의 상부에 소정의 높이를 가지고 형성되는 히팅파이프(62)와, 상기 히팅파이프(62)의 하부에 장착되는 히팅블록(61)과, 상기 히팅파이프(62)의 상부에 간격을 두고 히팅 날개(63)로 구성되는 냉각수단(60)을 장착한다.
다음으로 상기 냉각수단(60)의 상부로 내부에 회전작동하는 회전축(32)이 장착되는 회전 몸체(31)와, 상기 회전 몸체(31)의 상부에 장착되는 회전 케이스(33)와, 상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되고 상기 회전축(32)을 회전작동시키는 회전 조절구(34)와, 상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되고 상기 회전 조절구(34)의 작동을 제한하는 회전 스토퍼(35)로 구성되는 회전조절수단(30)을 장착한다.
그리고 상기 회전조절수단(30)의 상부에 상기 회전조절수단(30)의 상부와 고정결합되고 상부에는 전후 가이드 홈(41a)이 형성되는 하부 스테이지(41)와, 상기 하부 스테이지(41)의 상부에 장착되고, 하부에는 상기 전후 가이드 홈(41a)을 따라 이동할 수 있도록 전후 가이드 레일(42a)이 형성되며, 상부에는 상기 전후 가이드 홈(41a)과 직교하는 방향으로 좌우 가이드 홈(42b)이 형성되는 중간 스테이지(42)와, 상기 중간 스테이지(42)의 상부에 장착되고 하부에는 상기 좌우 가이드 홈(42b)을 따라 이동할 수 있도록 좌우 가이드 레일(43a)이 형성되는 상부 스테이지(43)와, 상기 중간 스테이지(42)의 일 측에 장착되고 전후방향으로 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 조절하는 전후 조절구(44)와, 상기 상부 스테이지(43)의 일 측에 장착되고 좌우방향으로 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 조절하는 좌우 조절구(45)로 구성되는 수평조절수단(40)을 장착한다.
다음으로 상기 수평조절수단(40)을 지지 틀(50)의 상부 수평부(53)에 고정결합하면 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치(10)의 조립은 완료되는 것이다.
여기서 상기 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 조립 순서는 상기와 다르게 구성될 수 있음을 밝힌다.
다음으로 상기와 같이 구성되는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치의 사용상태를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 노광장치에 장착되는 디지털 마이크로 미러(20)의 위치를 검사한다.
그리고 상기 디지털 마이크로 미러(20)의 현재 위치를 고려하여 회전방향이나 전·후 또는 좌·우 방향을 조절한다.
먼저, 상기 디지털 마이크로 미러(20)의 회전방향으로 변경하고자 회전 케이스(33)에 장착되는 회전 조절구(34)를 회전작동시키면, 상기 회전 조절구(34)와 연동작동하는 회전축(32)은 상기 회전 조절구(34)의 회전방향에 따라 좌측이나 우측으로 회전작동되고, 상기 디지털 마이크로 미러(20)가 지정된 위치에 이동하게 되면 상기 회전 조절구(34)의 회전작동을 멈추고 상기 회전 스토퍼(35)를 이용하여 고정하면 되는 것이다.
다음으로 상기 디지털 마이크로 미러(20)를 전후방향으로 조절하고자 상기 중간 스테이지(42)에 장착되는 전후 조절구(44)를 회전작동시키면, 상기 디지털 마이크로 미러(20)는 냉각수단(60)과 회전조절수단(30) 및 하부 스테이지(41)와 함께 전방이나 후방으로 이동하게 되는 것이다.
그리고 상기 디지털 마이크로 미러(20)를 좌우방향으로 조절하고자 상기 상부 스테이지(43)에 장착되는 좌우 조절구(45)를 회전작동시키면, 상기 디지털 마이크로 미러(20)는 냉각수단(30), 회전조절수단(30), 하부 스테이지(41) 및 중간 스테이지(42)와 함께 좌측이나 우측으로 이동하게 되는 것이다.
이때 상기 중간 스테이지(42)와 하부 스테이지(41)는 이동제한수단(70)을 구성하는 제한판(71)과 고정핀(73)에 의하여 지정된 공간에서만 이동할 수 있게 되는 것이다.
이와 같이 상기 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치(10)를 구성하는 회전조절수단(30)과 수평조절수단(40)의 작동을 통하여 원하는 장소에 디지털 마이크로 미러(20)의 변조된 빔을 전달하게 되는 것이다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치를 설명함에 있어 특정형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치,
20 : 디지털 마이크로 미러, 30 : 회전조절수단,
31 : 회전 몸체, 32 : 회전축,
33 : 회전 케이스, 34 : 회전 조절구,
35 : 회전 스토퍼, 40 : 수평조절수단,
41 : 하부 스테이지, 42 : 중간 스테이지,
43 : 상부 스테이지, 44 : 전후 조절구,
45 : 좌우 조절구, 50 : 지지 틀,
60 : 냉각수단, 70 : 이동제한수단.

Claims (5)

  1. 하부에 결합되는 디지털 마이크로 미러(20)를 회전작동시켜 방향을 조절하는 회전조절수단(30)과;
    상기 회전조절수단(30)의 상부에 결합되고 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 전·후 또는 좌·우 방향으로 조절하는 수평조절수단(40)과;
    다수개의 프레임을 결합하여 형성되어 지면이나 장비에 장착되고 상부 수평부에는 상기 수평조절수단(40)이 고정되는 지지 틀(50); 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전조절수단(30)과 디지털 마이크로 미러(20)의 사이에는 상기 디지털 마이크로 미러(20)에서 발생하는 열을 냉각시킬 수 있도록 냉각수단(60)이 더 장착되는 것을 특징으로 하는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 회전조절수단(30)은,
    상기 냉각수단(60)의 상부와 고정결합되고 내부에는 회전작동하는 회전축(32)이 장착되는 회전 몸체(31)와;
    상기 회전 몸체(31)의 상부에 장착되는 회전 케이스(33)와;
    상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되고 상기 회전축(32)을 회전작동시키는 회전 조절구(34)와;
    상기 회전 케이스(33)의 일 측에 장착되고 상기 회전 조절구(34)의 작동을 제한하는 회전 스토퍼(35); 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 수평조절수단(40)은,
    상기 회전조절수단(30)의 상부와 고정결합되고 상부에는 전후 가이드 홈(41a)이 형성되는 하부 스테이지(41)와;
    상기 하부 스테이지(41)의 상부에 장착되고, 하부에는 상기 전후 가이드 홈(41a)을 따라 이동할 수 있도록 전후 가이드 레일(42a)이 형성되며, 상부에는 상기 전후 가이드 홈(41a)과 직교하는 방향으로 좌우 가이드 홈(42b)이 형성되는 중간 스테이지(42)와;
    상기 중간 스테이지(42)의 상부에 장착되고 하부에는 상기 좌우 가이드 홈(42b)을 따라 이동할 수 있도록 좌우 가이드 레일(43a)이 형성되는 상부 스테이지(43)와;
    상기 중간 스테이지(42)의 일 측에 장착되고 전후방향으로 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 조절하는 전후 조절구(44)와;
    상기 상부 스테이지(43)의 일 측에 장착되고 좌우방향으로 상기 디지털 마이크로 미러(20)와 회전조절수단(30)을 조절하는 좌우 조절구(45); 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 수평조절수단(40)에는 중간 스테이지(42)와 하부 스테이지(41)의 이동거리를 제한할 수 있도록 이동제한수단(70)이 더 장착되되,
    상기 이동제한수단(70)은 중간 스테이지(42)와 상부 스테이지(43)에 일 측이 각각 고정결합되고 내부에는 이동공간(72)이 형성되는 고정판(71)과 상기 고정판(71)의 이동공간(72)에 일 측이 삽입되면서 중간 스테이지(42)와 하부 스테이지(41)에 고정결합되는 고정핀(73)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 디지털 마이크로 미러의 위치조절장치.
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