KR20130097847A - 진공 발생기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 파기를 위해 별도의 경로를 확보하여 정확한 진공 파기가 강하고 빠르게 이루어지도록 하며, 동시에 흡착력이 뛰어난 진공 발생기에 관한 것으로, 압축 공기가 주입되는 주입구와 진공 파기를 위해 압축 공기 주입되는 파기공이 각각 형성된 공급 블록; 진공 발생 밸브는 상기 주입구와 진공 파기 밸브는 상기 파기공과 연결되어 공기의 흐름을 제어하는 한 쌍의 솔레노이드밸브; 상기 공급 블록이 연결된 각 솔레노이드밸브의 대향 면에 맞대어져 조립되며, 유입공은 진공 발생 밸브와 파기 구멍은 진공 파기 밸브와 연통하도록 하고, 상기 유입공과 직교로 압축 공기를 배출하는 배기구와 저기압이 형성되는 진공 흡입구가 구비되도록 하되, 상기 파기 구멍은 이 진공 흡입구와 연결되어 여기에 압축 공기가 공급되어 진공이 파기되도록 하는 배관 블록; 상기 배관 블록의 저면에 조립되며, 내부에 마련된 공급 챔버는 상기 유입공과 연통하고 진공 챔버는 진공 흡입구와 배출 챔버는 배기구와 연통하는 이젝터;로 구성된 기술적인 특징이 있다.

Description

진공 발생기{Vacuum generator}
본 발명은 진공 발생기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 파기를 위해 별도의 경로를 확보하여 정확한 진공 파기가 강하고 빠르게 이루어지도록 하며, 동시에 흡착력이 뛰어난 진공 발생기에 관한 것이다.
일반적으로 진공 발생기는 컴프레서와 같은 압축공기 공급수단과 연결되어 이 공급수단에서 공급된 압축 공기을 강제 이송시켜, 이 경로와 수직으로 연통된 흡입구에서 진공이 발생하도록 하는 구성으로, 이 흡입구에 연결된 흡착 패드를 이용하여 각종 기계 기구 및 원자재 등의 이송을 가능하게 한다.
그런데, 종래의 진공 발생기는 이송물을 흡착 - 이송 - 파기하는 과정에서 진공을 파기하는 시간이 오래 걸리는 문제가 있다. 이에 최근에는 진공 발생기의 구조를 변경하거나 새로운 구성 요소를 추가하여 파기 속도를 향상시키고자 하는 노력이 이루어지고 있다.
예를 들어 국내 실용신안 등록 제184956호의 진공 발생기는 일반적인 진공 발생기의 구조를 개선하여 파기가 용이하도록 한 것으로, 수평으로 연통된 입출관에 압축공기를 분사하여 상기 입출관과 수직 연통된 흡기관에 진공이 형성되도록 하되, 압축공기가 토출되는 진공 발생기의 출구단에 토출된 공기가 방출되도록 다수의 배기구가 형성된 지지블록을 설치하면서, 상기 지지블록 내에 유선형 노즐을 진공발생기의 정상 공기 흐름과 역방향으로 장착하고 그 타단을 에어 호스와 연결시켜 진공 발생기 내 공기 흐름을 흡기관으로 유도하여 파기가 이루어지도록 한 것이다.
그러나 이러한 진공 발생기는 출단구에서 역으로 공급되는 압축 공기가 흡기관까지 도달하는 시간이 필요하고, 이 역방향 압축 공기가 진공 발생을 위해 설치된 입구와 레귤레이터 등에 악영향을 주는 문제가 있으며, 또한 진공 발생을 위해 공급되는 압축 공기가 출구단에 설치된 노즐에 영향을 받아 흡착력이 떨어지는 문제가 있다.
상기와는 다른 구성의 실시 예로 국내 공개특허 특2003-0031592호의 진공 발생기가 있다.
이 진공 발생기는 이젝터 펌프가 내장된 본체에 압축 공기가 흐르는 경로 확보하고, 이 경로에 복수의 피스톤과 컨트롤 밸브 그리고 솔레노이드 밸브를 설치하여 이들을 교대로 동작시켜 진공/파기가 이루어지도록 하는 구성이다.
그러나 이러한 진공 발생기 또한 진공을 위해 혹은, 진공 파기를 위해 유입되는 압축 공기가 하나의 통로를 통해 유입됨으로써, 압축 공기 분산될 수밖에 없는 문제가 있다.
또한 이러한 장치는 압축 공기가 배출되는 과정에서 소음이 심하고, 조립 및 제작이 어렵고 고장 시 부품 교체가 어려워 전체를 교체하는 문제가 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 압축 공기 주입구와 진공 파기를 위한 별도의 경로를 각각 구비하여 진공 발생은 물론 진공 파기 시에는 힘 분산되지 않고 빠른 속도로 이루어질 수 있도록 하는 진공 발생기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 진공이 발생하는 복수의 진공 흡입구를 구비하여 이송되는 원자재에 따라 선택적으로 사용될 수 있도록 하는 진공 발생기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 조립성이 뛰어나고 제작이 용이하며, 분해 조립이 용이하여 부품 교체가 가능한 진공 발생기를 제공하는 데 있다.
본 발명은 압축 공기를 동력으로 진공을 발생시키는 진공 발생기로써, 압축 공기가 주입되는 주입구와 진공 파기를 위해 압축 공기 주입되는 파기공이 각각 형성된 공급 블록; 진공 발생 밸브는 상기 주입구와 진공 파기 밸브는 상기 파기공과 연결되어 공기의 흐름을 제어하는 한 쌍의 솔레노이드밸브; 상기 공급 블록이 연결된 각 솔레노이드밸브의 대향 면에 맞대어져 조립되며, 유입공은 진공 발생 밸브와 파기 구멍은 진공 파기 밸브와 연통하도록 하고, 상기 유입공과 직교로 압축 공기를 배출하는 배기구와 저기압이 형성되는 진공 흡입구가 구비되도록 하되, 상기 파기 구멍은 이 진공 흡입구와 연결되어 여기에 압축 공기가 공급되어 진공이 파기되도록 하는 배관 블록; 상기 배관 블록의 저면에 조립되며, 내부에 마련된 공급 챔버는 상기 유입공과 연통하고 진공 챔버는 진공 흡입구와 배출 챔버는 배기구와 연통하는 이젝터;로 구성된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.
또한 본 발명의 상기 공급 블록은 수평으로 압축 공기 주입구와 파기공이 각각 천공되도록 하되, 이들 각각에 니플이 구비되어 압축공기공급수단과 연결되도록 하며, 상기 공기 주입구의 상부에 공급 블록의 상면까지 관통되어 솔레노이드밸브와 연결되는 공기 배출공이 형성된다.
또, 상기 공급 블록은 수직면과 수평면으로 이루어진 "┌" 형상으로 이 수평면의 저면에 이젝터가 조립되며, 상기 수직면에 압축 공기 유입구와 파기 구멍을 형성하되, 상기 유입구는 수평면까지 연장된 상태에서 단부에 수직으로 천공되어 이젝터의 공급 챔버와 연통하는 구멍이 형성된 특징이 있다.
본 발명은 첫째, 진공을 위한 압축 공기 주입 경로와 진공 파기를 위한 파기 경로가 별도로 구성되어 있어 진공/파기 속도가 빠르고 정확한 동작으로 가공물을 이송시킬 수 있는 발명이다.
둘째, 본 발명은 조립 및 가공성이 뛰어난 효과가 있다. 본 발명의 진공 발생기는 압축 공기 주입구를 갖는 공급 블록으로부터 후방 컨트롤박스까지 일렬로 배치되어 조립이 용이하고, 고장 시 분해가 용이하여 교체가 가능하며, 또한 각 블록의 제작이 용이한 효과가 있다.
셋째, 본 발명의 진공 발생기는 취급이 쉽고, 흡착과 파기가 신속하게 진행되어 일반 원자재의 이송은 물론 정밀도를 요구하는 반도체 등의 장비에도 적용될 수 있는 즉 범용성이 뛰어난 발명이다.
도 1은 본 발명 진공 발생기의 사시도,
도 2는 본 발명 진공 발생기의 분해 사시도,
도 3은 본 발명 진공 발생기의 일부를 분해한 사시도,
도 4는 본 발명 진공 발생기의 일부를 절개한 단면도,
도 5는 본 발명에 적용되는 배관 블록의 사시도,
도 6은 본 발명에 적용되는 배관 블록의 평면도,
도 7은 본 발명에 적용되는 상기 배관 블록의 A-A선 단면도,
도 8은 본 발명에 적용되는 상기 배관 블록의 B-B선 단면도,
도 9는 본 발명에 적용되는 상기 배관 블록의 C-C선 단면도,
도 10은 본 발명에 적용되는 이젝터의 일 예를 나타낸 단면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 첨부된 도 1은 본 발명 진공 발생기의 사시도 이고, 도 2는 본 발명 진공 발생기의 분해 사시도 이며, 도 3은 본 발명 진공 발생기의 일부를 분해한 사시도를 도시한 것이다.
첨부된 도 4는 본 발명 진공 발생기의 일부를 절개한 단면도이고, 도 5, 6은 본 발명에 적용되는 배관 블록의 사시도 및 평면도이며, 도 7 내지 도 9는 상기 배관 블록의 단면도이고, 도 10은 본 발명에 적용되는 이젝터의 일 예를 나타낸 단면도를 도시한 것이다.
설명에 앞서 본 발명의 진공 발생기(100)는 각종 기계 기구 장치의 가공물은 물론 원자재를 흡착 이송시키는 장비 혹은 정밀 가공 및 반도체 장비 등에 적용되어 활용될 수도 있다.
도면에서 본 발명의 진공 발생기(100)는 압축공기 발생수단(미도시)과 연결되어 압축공기가 공급될 수 있도록 하는 공급 블록(200)과, 진공/파기에 따른 압축 공기의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브(300)와, 상기 솔레노이드 밸브(300)를 통과한 압축 공기가 흘러 진공을 발생시키는 이젝터(400)와, 진공 흡입구와 압축 공기 배기구가 갖추어진 배관 블록(400)으로 구성되며, 여기에 상기 배기구에 장착되는 소음기(600)와, 진공 흡입구에 조립되는 개폐 부재(700) 그리고, 컨트롤러(800)가 갖추어진 구성이다.
공급 블록(200) 및 솔레노이드 밸브(300)
상기 공급 블록(200)은 육면체로 구성되며, 전방에 컴프레서와 같은 압축공기 발생수단(미도시)과 연결될 수 있도록 니플(202) 등이 결합 되는 압축 공기 주입구(220)와 진공을 파기를 위한 파기공(240)이 각각 천공된 구성으로, 이들의 선단 일부에는 나사 결합 방식으로 니플 등이 조립될 수 있도록 암나사부가 갖추어진 구성이다.
상기 공급 블록(200)의 가장 자리에는 나사가 끼워져 솔레노이드밸브(300)와 후술하는 배관 블록(500)에 조립 고정될 수 있도록 하는 조립공(260)이 형성되며, 또한, 상기 압축 공기 주입구(220)의 상부에는 수직으로 공급 블록(200)의 상면까지 천공된 공기 배출공(280)이 형성되어 솔레노이드 밸브(300)에 공기압을 제공한다.
즉, 상기 주입구(220)에 공급된 압축 공기의 일부가 공기 배출공(280)을 따라 이와 연결된 솔레노이드 밸브에 공급되어 제어가 용이하도록 하는 구성이다. 한편, 상기 공급 블록(200)은 합성 수지를 이용한 성형 혹은 절삭 및 드릴 작업을 통해 금속 가공하여 제작하는 방법이 있으며, 본 발명에서는 이러한 경우는 물론 다른 방식으로도 제작될 수 있다.
본 발명에 적용되는 상기 솔레노이드 밸브(300)는 이미 공지된 것이므로 본 발명에서는 그 구조 및 동작에 대한 상세한 설명은 하지 않는다. 다만 본 발명에 적용되는 솔레노이드밸브(300)는 한 쌍으로 진공 발생 밸브와 진공 파기 밸브로 구성되며, 이 2개의 밸브는 동일한 종류 혹은 다른 종류의 밸브가 선택적으로 사용될 수 있으며, 직동식, 파이롯트식 혹은 2-way, 3-way 등 상황에 따라 선택될 수 있다.
이젝터 (400)
상기 이젝터(400)는 첨부된 도면과 같이, 상부체(402)와 하부체(404)로 구성되며, 각각은 다수의 챔버가 구획되어 압축 공기의 강제 이송 시 주변에 저기압 즉 진공 상태를 만드는 것이다.
여기서 상기 이젝터(400)는 반드시 상, 하부체로 구성될 필요는 없다. 진공 발생기의 용량에 따라 혹은 적용되는 장치에 따라 3단 혹은 그 이상으로도 적층되어 사용될 수 있으며 1단 즉 하부체(404)만 사용하여도 무방하다.
한편 상, 하부체(402),(404) 각각에 형성된 챔버는 압축 공기가 유입되어 공급이 이루어지도록 하는 공급 챔버(420)와, 저기압이 형성되어 진공이 발생되도록 하는 진공 챔버(440)와, 공급 챔버(420)에서 공급된 압축 공기를 외부로 배출하는 배기 챔버(460) 및 상기 진공 챔버와 배기 챔버 사이에 설치되며 체크 밸브를 갖는 밸브 챔버(480)로 구성되며, 이들 챔버는 오리피스, 노즐 등에 의해 연결되어 진공을 발생시키는 것이다.
배관 블록(500)
본 발명의 특징이라 할 수 있는 배관 블록(500)은 압축 공기의 경로를 제공하는 것으로, 공급 블록(200)과 같이 합성 수지 혹은 금속으로 성형 방식 혹은 절삭 가공에 의한 방식으로 제작되며, 도면과 같이 수직면(502)과 수평면(504)으로 이루어진 "┌" 형상으로, 수평면(504)의 저면에 상기 이젝터(400)가 조립되어 진공을 발생시킨다.
상기 배관 블록(500)의 수평면(504)에는 수직으로 진공 흡입구(540)와 상기 이젝터(400)를 통과한 압축 공기를 배출시키는 배기구(560)가 형성되고, 수직면(502)에는 상기 솔레노이드 밸브(300)와 연결하는 유입공(520)이 형성되며, 이 유입공(520)의 안쪽 끝에 하방으로 상기 이젝터(400)의 공급 챔버(420)와 연통하는 구멍(522)이 형성된 구성이다.
즉, 솔레노이드 밸브(300)를 통과한 압축 공기는 유입공(520)을 통해 구멍(522)으로 공급되고, 구멍(522)을 통과한 압축 공기는 챔버를 연결하는 각 노즐을 통과하여 상기 배기구(560)로 빠져나가며 진공 챔버(440)에서 진공이 발생하도록 하는 것이다.
또한 배관 블록(500)에는 상기 유입구(520)와 인접하여 상기 진공 흡입구(540)와 연결되는 진공 파기 구멍(580)(582)이 천공된다.
상기 파기 구멍은 도면과 같이 솔레노이드밸브의 P, R포트가 연결될 수 있도록 상, 하부로 구성되며, 이중 상부 파기 구멍(580)이 상기 진공 흡입구(540)와 관통되는 구성이다.
물론, 이러한 상태는 하나의 실시 예이고, 다른 방식으로도 연결 조립될 수 있으며 상, 하부 파기 구멍(580)(582)을 연통시키는 방식도 가능하다.
상기 하부 파기 구멍(582)의 저면에는 수직으로 수직공(584)이 형성되는데, 이 수직공(584)은 조절공(586)과 연통한다. 상기 조절공(586)은 수직면(502)의 하부에 파기 구멍들과 직교 방향으로 천공된 상태에서 수직공(584)가 연결되며, 일단은 밀폐되고 타단에는 조절 밸브(506)가 구비되어 이 조절 밸브의 개방 정도에 따라 공기압을 조절하여 파기 속도를 조절할 수 있다.
본 발명에서 상기 배기구(560)의 상부에는 동작 과정 중 배기 소음을 감소시키는 소음기(600)가 조립되는데, 이 소음기(600)는 배기구(560)에 형성된 나사산에 나사 결합되는 방식으로 조립된다.
상기 진공 흡입구(540)에는 이 진공 흡입구를 개방 혹은 밀폐시키는 개폐 부재(700)가 구비되어 진공 파기 구멍을 통한 진공 흡착이 가능하도록 할 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.
상기 컨트롤러(800)는 센서와 스위치 그리고 디스플레이로 구성될 수 있으며, 감지 센서는 진공 흡착에 따른 진공 혹은 공기압을 감지하고, 이를 산출하여 디스플레이부를 통해 사용자에게 보이도록 하며, 스위치는 ON/OFF 스위치로 구성될 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 컨트롤러는 마이컴을 내장하여 다른 다양한 기능이 추가될 수 있는 것은 당연한 것이다.
미설명 부호 508은 조립을 위한 암나사부로써, 공급 블록의 조립공에 끼워진 나사가 솔레노이드밸브를 관통하여 그 단부가 이 암나사부에 결합되어 조립되도록 하는 구성이다.
다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 조립 및 동작 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명은 성형 혹은 절삭 가공된 배관 블록(500)에 센서와 스위치 등으로 구성된 컨트롤러(800)를 설치하고, 수평면(504)의 저면에 이젝터(400)를 조립한다.
이때 이젝터(400)는 상, 하부체(402)(404)로 구성되거나 혹은 그 이상으로 구성될 수 있으며, 이젝터(400)에 마련된 챔버 예컨대 진공 챔버(440)는 수평면(502)에 형성된 진공 흡입구(540)와 배기 챔버(460)는 배기구(560)와 연결되도록 하며, 전방의 공급 챔버(520)는 흡입공(520)과 연결된 구멍(522)가 연결되는 구성이다.
이러한 상태에서 배관블록(500)의 수직면(502)에는 진공 발생 밸브와 진공 파기 밸브 즉 한 쌍의 솔레노이드밸브(300)가 조립되는데, 이들은 공기 흡입공(520)과 파기 구멍들(580)(582)과 각각 맞대어진 상태로 조립된다.
다음, 상기 솔레노이드밸브(300) 전방에는 컴프레서 즉, 압축공기 발생수단과 연결될 수 있도록 공급 밸브(200)가 구비된다. 물론 상기 공급 밸브(200)에 천공된 주입구(220)는 진공 발생 밸브와, 파기공(240)은 진공 파기 밸브와 연결되는 구성이다.
조립 과정에서 본 발명은 공급 블록(200)의 조립공(260)에 나사가 끼워지고, 이 나사가 솔레노이드밸브를 관통하여 암나사부에 결합되어 조립이 완료된다.
이러한 상태에서 본 발명의 진공 발생기(100)는 각종 기계 기구 및 반도체 장비, 원자재 이송 등에 활용되는데, 작업자가 컨트롤러(800)에 구비된 스위치를 ON시키면, 이 신호에 따라 압축공기 발생수단으로부터 압축 공기가 유입된다.
압축 공기는 공급 블록(200)에 구비된 니플(202)을 통해 주입구(220)로 유입되고, 이 주입구(220)와 연통하는 솔레노이드밸브(300)를 통과하여 배관 블록(500)의 유입구(520)로 유입되고, 구멍(222)을 따라 이젝터(400)로 공급된다.
이젝터(400)에 공급된 압축 공기는 공급 챔버로부터 각 노즐, 오리피스를 따라 흘러 배기 챔버(560)에서 이와 연통된 배기구(560)를 통해 흘러나간다.
물론, 배기구(560)에 설치된 소음기(600)는 배기 소음을 감소시켜 주변에 소음 피해를 주는 일이 없도록 한다.
이러한 압축 공기의 흐름 중 진공 챔버(440)와 진공 흡입구(540)에는 저기압이 형성되고, 이 진공 흡입구에 연결된 흡착 패드(미도시)는 이송물을 흡착하여 진공 상태로 이송물의 이송을 가능하게 한다. 이때의 진공 파기 밸브는 닫혀 있는 상태로, 파기 구멍에도 진공이 발생한다.
이송물이 일정한 위치에 도달하면 컨트롤러(800)는 진공 파기 밸브를 개방한다. 진공 파기 밸브가 개방함에 따라 공기가 파기공(240)을 통해 솔레노이드밸브 그리고 상기 진공 흡입구(540)와 직접 연결된 상부 파기 구멍(580)을 통해 공기가 공급되어 빠르고 그리고 강한 압력으로 진공 파기되어 정확한 위치에서 이송물을 이탈시킬 수 있다.
다른 실시 예로, 본 발명은 상기 진공 파기 구멍을 이용하여 이송물을 이송시킬 수도 있다.
즉, 개폐 부재(700)를 이용하여 진공 흡입구(540)를 밀폐하고, 진공 파기 밸브측을 개방한 상태에서, 공기를 주입하며, 상기한 바와 같이 압축공기가 흘러 진공 흡입구(540)에 진공이 발생하는데, 이때 진공 흡입구는 밀폐된 상태로 진공 파기 구멍에 흡착력이 발생하는 것이다. 진공 파기 시에는 개폐 부재를 개방하는 것으로 파기될 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 진공 발생 경로와, 진공 파괴 경로를 구분하여 흡착력은 물론, 진공 파기 시에도 빠르고 강하게 파기가 이루어지도록 하며, 진공 파기 경로를 이용한 진공 흡착도 가능한 것이다.
100 : 진공 발생기 200 : 공급 블록
300 : 솔레노이드밸브 400 : 이젝터
500 : 배관 블록 600 : 소음기
800 : 컨트롤러

Claims (14)

  1. 압축 공기를 동력으로 진공을 발생시키는 진공 발생기로써,
    압축 공기가 주입되는 주입구와 진공 파기를 위해 압축 공기 주입되는 파기공이 각각 형성된 공급 블록;
    진공 발생 밸브는 상기 주입구와 진공 파기 밸브는 상기 파기공과 연결되어 공기의 흐름을 제어하는 한 쌍의 솔레노이드밸브;
    상기 공급 블록이 연결된 각 솔레노이드밸브의 대향 면에 맞대어져 조립되며, 유입공은 진공 발생 밸브와 파기 구멍은 진공 파기 밸브와 연통하도록 하고, 상기 유입공과 직교로 압축 공기를 배출하는 배기구와 저기압이 형성되는 진공 흡입구가 구비되도록 하되, 상기 파기 구멍은 이 진공 흡입구와 연결되어 여기에 압축 공기가 공급되어 진공이 파기되도록 하는 배관 블록;
    상기 배관 블록의 저면에 조립되며, 내부에 마련된 공급 챔버는 상기 유입공과 연통하고 진공 챔버는 진공 흡입구와 배출 챔버는 배기구와 연통하는 이젝터;로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 공급 블록은 수평으로 압축 공기 주입구와 파기공이 각각 천공되도록 하되, 이들 각각에 니플이 구비되어 압축공기공급수단과 연결되도록 하며, 상기 공기 주입구의 상부에 공급 블록의 상면까지 관통되어 솔레노이드밸브와 연결되는 공기 배출공이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 공급 블록의 가장 자리에 조립공을 구비하여 이 조립공에 나사가 끼워져 솔레노이드밸브를 관통하여 배관 블록에 조립될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 공급 블록은 수직면과 수평면으로 이루어진 "┌" 형상으로 이 수평면의 저면에 이젝터가 조립되는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 배관 블록은 수직면에 압축 공기 유입구와 파기 구멍을 형성하되, 상기 유입구는 수평면까지 연장된 상태에서 단부에 수직으로 천공되어 이젝터의 공급 챔버와 연통하는 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 배관 블록에 형성된 파기 구멍은 상, 하부로 구성되며, 이 상, 하부 파기 구멍은 솔레노이드밸브의 P, R포트와 연결되는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 하부 파기 구멍은 배관 블록의 수직면 하부에 천공된 조절공과 연결되도록 하되, 이 조절공의 단부에 구비된 조절 밸브의 개방 정도에 따라 압축 공기의 압력이 조절되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  8. 제 1항 또는 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 배관 블록에 수직면에 암나사부를 형성하여 공급 블록의 조립공에 끼워져 솔레노이드밸브를 관통한 나사가 체결되어 이들이 조립될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 이젝터는 상부체와, 하부체로 분할되고, 각각은 압축공기가 유입되는 공급 챔버와 진공 챔버, 배기 챔버 및 상기 진공 챔버와 배기 챔버 사이에 체크 밸브를 갖는 밸브 챔버가 구비된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 이젝터는 상부체가 2개 이상 구비되거나 혹은 하부체만이 배관 블록에 조립되어 사용되는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 배관 블록의 배기구에 배기 소음을 감소시키는 소음기가 장착된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 배관 블록의 진공 흡입구를 막거나 개방하는 개폐 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 배관 블록의 후방측에 공기압, 유입량 혹은 진공 흡찰력을 감지하는 센서를 구비하고, ON/OFF 스위치로 이루어진 컨트롤러가 설치된 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 컨트롤러는 마이컴에 의해 제어되며, 디스플레이부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 발생기.
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