KR20030031592A - 진공 발생/파기 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이젝터 펌프를 블록체에 수용되도록 하고, 이 블록체를 이용하여 압축공기의 유로 및 밸브 장치를 형성, 설치함으로써 특히 소형의 이젝터를 보다 효과적으로 활용할 수 있도록 한 장치이다. 이 장치는 직육면체 플레이트로 형성되는 이젝터 펌프(10)와, 직육면체 블록으로 형성되어 표면에서 펌프(10)를 수용하는 본체(30)와, 본체(30)의 상면에 삽입되는 한 쌍의 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)와, 본체(30)의 상면에 고정되며 상기 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)의 동작을 제어하는 한 쌍의 솔레노이드 밸브(72a,72b)를 포함하는 밸브 고정체(70)로 이루어 진다.

Description

진공 발생/파기 장치{Vacuum generating/breaking device}
본 발명은 압축공기에 의하여 진공을 발생하여 이송장치의 흡착패드에 부압을 제공하고, 그 발생된 진공을 파기하여 부압을 해제하는 역할을 하는 진공 발생/파기 장치에 관한 것이다. 특히 이젝터를 블록체에 수용되도록 하고, 이 블록체를 이용하여 압축공기의 유로 및 밸브 장치를 형성, 설치함으로써 소형의 이젝터를 보다 효과적으로 활용할 수 있도록 한 장치이다.
종래로부터, 에어 콤프레셔에서 공급되는 압축공기에 의하여 진공을 발생하여 진공 이송장치의 흡착 패드에 부압을 제공하는 수단으로써 진공 이젝터 펌프가 잘 알려져 있다. 대체로 종래의 진공 이젝터 펌프는 직육면체로 형성되며 (1)진공 발생을 위한 구성으로서, 제1유입포트와 연결된 압력챔버와, 흡입포트와 연결된 진공챔버 및, 배출포트와 연결된 배출챔버 등의 세 개의 기능성 챔버와 각 챔버를 연통시키는 직렬 다단 노즐을 갖으며, (2)진공 파기를하기 위한 구성으로서, 제2유입포트와 그로부터 상기 진공챔버로 직접 연결되는 유로를 갖는다. 잘 알려진 바와 같이, 상기 제1유입포트와 제2유입포트에는 솔레노이드 밸브가 제공되고, 압축공기의 공급 방향은 진공발생 또는 진공파기의 목적에 따라 전기적으로 제어된다.
상기와 같은 진공 이젝터 펌프는 용량 및 크기 면에서 매우 큰 것에서 부터 작은 것에 이르기 까지 매우 다양하게 제공되고 있으며, 비교적 크기가 작은 것들을 병렬로 적층한 이젝터 펌프 스택(stack)이 유익하게 제공되기도 한다. 또한 펌프의 공간적, 경제적 요청에 따라 이젝터 펌프의 크기는 점점 소형화되는 추세에 있다. 그러나 극히 소형화된 이젝터 펌프의 경우(예컨데 30mm×60mm×7mm 이하)에는 진공 파기를 하기 위한 구성 및 펌프의 제어를 위한 구성(예컨데 각종 밸브등)들을 포함하기 매우 어려운 문제가 있기 때문에 진공 발생의 목적으로만 사용하도록 제작되고 있는 실정이다.
이에, 본 발명은 극히 소형화된 이젝터 펌프를 블록체에 수용되도록 하고, 이 블록을 이용하여 이젝터 펌프의 진공 발생 및 파기가 수행되도록 함으로써, 극소형의 이젝터 펌프를 보다 효과적으로 활용할 수 있는 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시예의 분해 사시도.
도 2는 도1에서 이젝터 펌프를 발췌하여 도시한 도면으로서, (a)는 사시도, (b)는 단면도.
도 3은 도 1에서 에어 컨트롤 밸브를 발췌하여 도시한 분해 사시도.
도 4는 도 1의 결합 외형도.
도 5는 도 4의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 장치의 진공 발생 작용을 설명하기 위한 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 장치의 진공 파기 작용을 설명하기 위한 단면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
10. 이젝터 펌프12. 압력챔버
13. 진공챔버14. 배출챔버
15. 밸브챔버30. 본체
31. 수용부32. 유입챔버
33. 진공챔버34. 출력챔버
35. 오리피스36. 체크밸브
37. 유입구 38. 흡입통로
39. 배출통로41. 소음필터
42. 경사면43. 필터 캡
44. 흡입구45. 배출구
46. 덮개48a,b. 수용홈
49. 조절 스크류
50. 압축공기 유로51. 메인유로
52a,b. 분기로53a,b. 연결로
60a,b. 에어 컨트롤 밸브61. 외통
62. 관통공63. 피스톤
64. 헤드65. 로드
66. 링
70. 고정체72a,b. 솔레노이드 밸브
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시예를 도시하는 도 1에 따르면, 본 장치는 직육면체 플레이트로 형성되는 이젝터 펌프(10)와, 직육면체 블록으로 형성되어 표면에서 펌프(10)를 수용하는 본체(30)와, 본체(30)의 상면에 삽입되는 한 쌍의 컨트롤 밸브(60a,60b)와, 본체(30)의 상면에 고정되는 밸브 고정체(70)로 이루어 진다.
상기 이젝터 펌프(10)는 본체(30)의 수용부(31)에 안착되고 볼트(11)로 고정된다. 도 2를 참조하면, 상기 이젝터 펌프(10)에는 일측 개방된 압력챔버(12)와 진공챔버(13) 및 배출챔버(14) 등 세 개의 기능성 챔버와, 상기 진공챔버(13)와 배출챔버(14) 사이에는 오리피스(16)를 통하여 상기 진공챔버(13)와 소통하는 밸브챔버(15)가 형성된다. 또한 상기 오리피스(16)에는 상기 진공챔버(13)로부터 밸브챔버(15)로 공기를 흐르게 하는 체크밸브(17)가 제공된다. 또한 플레이트의 양측부에는 상기 압력챔버(12)로부터 진공챔버(13)를 거쳐 배출챔버(14)로 압축공기를 분사하기 위한 두 세트의 직렬 다단 이젝터 노즐공이 플레이트에 일체로 형성된다. 가스켓(24)은 각 챔버(12,13,14,15) 간에 원하지 않는 공기 흐름이 발생하지 않도록 하는 형태로 플레이트 표면에 제공된다. 상기 이젝터 노즐공은압력챔버(12)로부터 상기 진공챔버(13)로 연장되는 제1노즐공(18)과 상기 진공챔버(13)로부터 밸브챔버(15)로 연장된 제2노즐공(19) 및 밸브챔버(16)로부터 배출챔버(14)로 연장된 제3노즐공(20)을 포함한다. 이와 같은 에어 분사 노즐에 관련된 기술은 해당 기술분야에서 흔히 사용된다.
본 실시예에서는, 상기 제1노즐공(18)에 제1관체(21)를 진공챔버(13)측으로 돌출되도록 삽입하고, 상기 제2노즐공(19)에는 단부에 흡입구(23)이 형성된 제2관체(22)를 진공챔버(13)측으로 돌출되도록 삽입하여, 진공챔버(13) 내에서 제1관체(21)와 제2관체(22)가 결합되도록 함으로써 노즐공(18,19,20)만이 존재하는 것에 비하여 보다 빠른 속도로 진공에 도달하는 결과를 얻을 수 있었다.
상기 본체(30)는 표면으로부터 적어도 이젝터 두께만큼의 깊이로 함몰 형성되는 이젝터 펌프 수용부(31)를 갖는다. 수용부(31)의 저면에는 상기 이젝터 펌프(10)의 압력챔버(12), 진공챔버(13) 및 배출챔버(14)에 각각 대응하는 유입챔버(32), 진공챔버(33) 및 출력챔버(34)가 각각 형성된다. 또한 상기 진공챔버(33)에는 오리피스(35)가 형성되며, 흡입통로(38)는 이 오리피스(35)를 통하여 진공챔버(33)에 연통한다. 이 오리피스(35)에는 체크밸브(36)가 제공되며, 체크밸브(36)는 흡입통로(38)로부터 진공챔버(33)으로 공기를 흐르게 하지만 공기가 그 반대로 흐르는 것을 방지한다.
또한 본체는 측면으로부터 천공 형성되는 압축공기 유입구(37)와 흡입통로(38) 및 배출통로(39)를 갖는다. 유입구(37)는 압축공기 유로(50)에 직접 연통하고, 흡입통로(38)는 전술한 바와 같이 오리피스(35)를 통하여 진공챔버(33)에 연통하고, 배출통로(39)는 출력챔버(34)에 직접 연통한다.
또한 본체(30)는 상면에는 일정한 간격으로 요입 형성된 한 쌍의 수용홈(48a,48b)을 갖는다.
상기 본체(30)의 수용홈(48a,48b)에는 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)가 각각 장착된다. 도 3을 참조하면, 각 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)는 양측 관통공(62)이 형성된 외통(61)과, 외통(61)의 내부에서 상승/하강하여 외통(61)의 하부를 밀폐/개방하는 피스톤(63)으로 이루어 진다. 구체적으로 상기 피스톤(63)은 외통(61)의 상단을 밀폐하는 헤드(64)와 외통(61)의 내경보다 작은 단면 지름을 갖는 로드(65)가 일체로 형성되고, 상기 로드(65)의 단부에 결합되어 외통의 하부를 개폐하는 링(66)으로 이루어 진다. 상기 관통공(62)은 유입구(37)에서 시작되는 압축공기 유로(50) 중 메인유로(51)의 연장선상에 있다.
상기 밸브 고정판(70)은 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)가 각 수용홈(48a,48b)에장착된 상태에서 본체(30)의 상면에 볼트(71)로 고정된다. 다시 밸브 고정판(70)의 상면에는 상기 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)의 동작을 제어하는 한 쌍의 통상적인 솔레노이드 밸브(72a,72b)가 고정된다.
도 4를 참조하여, 압축공기 유로(50)를 설명한다. 상기 유로(50)는 유입구(37)으로부터 직선적으로 연장되고 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)의 관통공(62)을 관통하는 메인유로(51)와, 메인유로(51)로부터 분기되어 고정판(70)을 관통하고 솔레노이드 밸브(72a,72b)를 경유하여 다시 고정판(70)을 관통하여 상기 컨트롤 밸브(60a,60b)의 피스톤(63)의 상단부(64)까지 연장되는 두 개의 분기로(52a,52b)를갖는다. 또한 상기 공기유로(50)는 수용부(31)의 내저부로부터 유입챔버(32) 및 흡입통로(38)와 각각 소통하도록 형성된 두 개의 연결로(53a,53b)를 포함한다. 한편, 본체(30)의 측면으로부터 삽입되는 조절 스크류(49)는 상기 제2연결로(53b)의 개방 면적을 조절할 수 있도록 제공된다.
본 장치의 동작시 먼지 기타 이물질을 여과하고 또한 소음을 제거하기 위하여, 흡입통로(38) 및 배출통로(39)에는 각각 집진필터(40)와 소음필터(41)가 제공될 수 있으며, 이 때 필터들(40,41)이 이탈되지 않도록 하기 위한 캡(43)이 볼트로 고정된다. 상기 캡(43)에는 흡입통로(38)에 연통하는 공기 흡입구(44)가 형성된다.공기 배출구(45)는 캡(43)에 형성될 수도 있으나(도 1에서 점선으로 도시함) 본 실시예에서는 배출통로(39)의 표면을 절취하여 형성한 개방창으로 하였다. 부호 (46)은 본 장치가 다수 결합되어 스택(stack)을 이루는 경우에 상기 개방창이 막히지 않도록 하기 위하여 구비되는 덮개이다. 덮개(46)는, 예를들어 개방창의 길이보다 짧은 것과 같이, 개방창을 완전히 밀폐하지 않는 형태이며, 표면에는 본체(30)의 측면으로 향하는 요홈(47)이 형성된다. 따라서 공기는 이 요홈(47)을 따라 배출될 수 있게 된다. 상기 소음필터(41)는 바람직하게 관형이며, 배출챔버(34)로 진입한 단부는 배출챔버(34)의 측벽에 의해 막히지 않도록 구비됨으로써 공기의 원활한 배출이 이루어 진다. 그 방안으로서 단부를 측벽과 일정 거리 이격시키거나 또는 단부에 경사면(42)을 형성할 수도 있을 것이다.
도 5는 본 장치의 외형도이며, 이 장치에서 진공의 발생 또는 파기는 유입구(37)로부터의 압축공기 유입과 솔레노이드 밸브(72a,72b)의 제어에 따라 선택적으로 수행된다.
도 6을 참조하여, 본 장치의 진공을 발생시키기 위한 동작을 설명한다. 솔레노이드 밸브(72a)가 동작하면, 유입구(37)을 통하여 메인유로(51)로 공급된 압축공기는 먼저, 각 컨트롤 밸브(60a,60b)의 관통공(62)을 통과하여 흐른다. 다음, 압축공기는 분기로(52a)를 따라 흘러 컨트롤 밸브(60a)의 피스톤(63) 상단부(64)를 가압한다. 그러면, 피스톤(63)이 약간 하강함에 따라서 외통 하부에 틈(C1)이 발생한다. 이후에, 계속하여 메인유로(51)로 공급되는 공기는 이 틈(C1)을 통하여 연결로(53a)를 통과하고, 본체(30)의 유입챔버(32)으로 흐르게 된다. 이에 따라서 이젝터 펌프(10)의 압력챔버(12)에 압축공기가 공급되는 것이다. 압력챔버(12)로 공급된 공기는 제1관체(21)를 통하여 진공챔버(13,33)로 흐르고, 계속하여 진공챔버(13,33)로부터 제2관체(22)의 홀(23)를 통하여 밸브챔버(15)로 흐르고, 다시 밸브챔버(15)로부터 제3노즐공(20)을 통하여 출력챔버(14)로 흘러, 배출통로(39)와 배출구(45)를 통하여 외부로 배출된다.
이 때, 흡입통로(38) 내의 공기는 오리피스(35)를 통과하여 진공챔버(13,33)로 유입되고, 유입된 이 공기는 진공챔버(13)내에 위치하는 제2관체(22)의 흡입구(23)으로 빠르게 흡입된다. 진공챔버(13,33) 내의 공기는 체크밸브(17)를 통하여 밸브챔버(15)로도 흡입되기 시작하여, 밸브챔버(15)에서의 진공이 진공챔버(13,33)에서의 진공과 동일 수준에 이르면, 체크밸브(17)는 폐쇄된다. 한편, 진공챔버(13,33)에서의 진공은 계속적으로 증가하여 장치의 최대 진공에 도달하게 되면 체크밸브(36)는 폐쇄되고 흡입통로(38)에 부압이 형성 유지된다.
도 7을 참조하여, 다시 진공을 파기하기 위한 동작을 설명한다. 솔레노이드 밸브(72b)가 동작하면, 유입구(37)로 공급된 압축공기는 먼저, 각 컨트롤 밸브(60a,60b)의 관통공(62)을 통과하여 흐른다. 다음, 압축공기는 분기로(52b)를 따라 흘러 컨트롤 밸브(60b)의 피스톤(63) 상단부(64)를 가압한다. 그러면, 피스톤(63)이 약간 하강함에 따라서 외통(61) 하부에 틈(C2)이 발생한다. 이후에, 계속하여 메인유로(51)로 공급되는 공기는 이 틈(C2)을 통하여 연결로(53b)를 통과하고, 본체(30)의 흡입통로(38)로 흐르게 된다. 이에 따라서 흡입통로(38)에 유지된 부압이 해제되고 진공챔버(13,33)에 형성되었던 진공은 파기되는 것이다. 이 때, 본체(30) 측면으로부터 삽입된 조절 스크류(39)를 조작하여 연결로(53b)의 단면적을 작게 함으로써 진공 파기의 속도를 조절할 수 있다.
본 발명에 따른 장치를 이용하면, 진공 발생의 목적으로만 사용하도록 제작된 극소형의 이젝터에 대하여도 진공의 발생 및 파기가 수행될 수 있으며, 그 수행이 효과적으로 제어될 수 있는 효과가 있다.
이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해 기술하고 도시하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어남이 없이, 다양하게 변형 및 변경될 수 있다.

Claims (5)

  1. 일측이 개방된 압력챔버(12), 진공챔버(13), 밸브챔버(15), 배출챔버(14) 그리고 각 챔버들(12,13,14,15)을 연통시키는 직렬 다단 노즐공(18,19,20)으로 이루어 지는 통상의 이젝터 펌프(10)와;
    표면으로부터 요입되어 상기 이젝터 펌프(10)를 수용하며 이젝터 펌프(10)의 압력챔버(12), 진공챔버(13) 및 배출챔버(14)와 각각 소통하는 유입챔버(32), 진공챔버(33) 및 출력챔버(34)가 다시 요입된 이젝터 펌프 수용부(31), 상면으로부터 일정 간격으로 요입된 한 쌍의 수용홈(48a,48b)과, 측면으로부터 차례로 천공되는 것으로 압축공기 유로(50)에 연통하는 유입구(37)와 상기 진공챔버(33)에 형성된 오리피스(35)를 통하여 상기 진공챔버(33)에 연통하는 흡입통로(38) 및 상기 배출챔버(34)에 연통하는 배출통로(39)가 각각 형성된 본체(30)와;
    상기 수용홈(48a,48b)에 삽입되는 것으로, 관통공(62)이 대칭적으로 형성된 외통(61)과, 상기 외통(61)의 내부에서 하강 또는 상승하여 외통(61)의 하부를 개폐하는 피스톤(63)으로 이루어지는 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)와;
    상기 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)가 수용된 상태에서 본체(30)의 상부에 결합되며, 다시 그 상부에는 결합되는 한 쌍의 솔레노이드 밸브(72a,72b)를 포함하는 한 쌍의 밸브 고정체(70)로 이루어 지며;
    상기 압축공기 유로(50)는 유입구(37)로부터 시작하여 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)의 관통공(62)을 관통하는 메인유로(51)와, 상기 메인유로(51)로부터고정체(70)와 솔레노이드 밸브(72a,72b)를 거치고 다시 고정체(70)을 거쳐 에어 컨트롤 밸브(60a,60b)의 피스톤(63) 상단부(64)까지 연결되는 두 개의 분기로(52a,52b)와, 상기 수용홈(48a,48b)의 내저부를 통하여 유입챔버(32) 또는 흡입통로(38)로 연결되는 두 개의 연결로(53a,53b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 발생/파기 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 연결로(53b)는 본체(30)의 측면에서 삽입되는 조절 스크류(49)에 의하여 개방 면적이 조절될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 진공 발생/파기 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입통로(38)와 배출통로(39)의 내측 공간으로 각각 집진필터(40)와 소음필터(41)를 본체(30)의 측면으로부터 내장하고 필터 캡(43)으로 커버되었을 때, 상기 필터 캡(43)에는 상기 흡입통로(38)에 연통하는 흡입구(44)가 형성되며 선택적으로는 배출통로에 연통하는 배출구(45)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 발생/파기 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기는 배출통로(39)는 그 표면을 절취하여 개방창으로서형성된 배출구(45)를 가지며, 개방창에는 개방창을 완전히 밀폐하지 않으며 표면에본체(30)의 측면으로 향하는 요홈(47)이 형성된 덮개(46)가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 발생/파기 장치.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 소음필터(41)는 관형이며, 배출챔버(34)로 진입시킨 필터(41)의 단부가 배출챔버(34)의 측벽에 의해 막히지 않도록 것을 특징으로 하는 진공 발생/파기 장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005066493A1 (en) * 2004-01-09 2005-07-21 Korea Pneumatic System Co., Ltd Vacuum ejector device
KR101304140B1 (ko) * 2012-03-06 2013-09-05 이우승 진공 이젝터 펌프의 에어저감용 온오프밸브
KR101306061B1 (ko) * 2012-02-27 2013-09-17 (주)쏠백 진공 발생기

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004031924B4 (de) * 2004-06-23 2006-05-04 J. Schmalz Gmbh Vorrichtung zum Erzeugen eines Unterdrucks
KR100578540B1 (ko) * 2004-07-28 2006-05-15 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR100730323B1 (ko) * 2007-03-15 2007-06-19 한국뉴매틱(주) 필터 카트리지를 이용한 진공 시스템
CN103016424B (zh) * 2012-11-22 2015-09-30 温州阿尔贝斯气动有限公司 一种集成式真空发生器
EP3152417B1 (en) * 2014-06-06 2019-09-18 Dayco IP Holdings, LLC Noise attenuation in a venturi device and/or check valves
JP1525031S (ko) * 2014-08-07 2015-06-01
CN107725495A (zh) * 2017-11-16 2018-02-23 苏州亚米拉机械有限公司 真空自动发生控制装置
KR102225162B1 (ko) * 2020-06-19 2021-03-09 (주)브이텍 진공 시스템용 에어-밸브 유닛

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE455220B (sv) * 1983-06-03 1988-06-27 Svenska Rotor Maskiner Ab Ejektorpump med ett ringformat vesentligen radiellt utat riktat munstycke
JPS614899A (ja) * 1984-06-18 1986-01-10 Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd エゼクタ装置
JPS619599U (ja) 1984-06-20 1986-01-21 株式会社 妙徳 エゼクタポンプ
IL74282A0 (en) * 1985-02-08 1985-05-31 Dan Greenberg Multishaft jet suction device
JPH0545904Y2 (ko) 1987-05-30 1993-11-29
SE466561B (sv) * 1988-06-08 1992-03-02 Peter Tell Multiejektoranordning
US4880358A (en) 1988-06-20 1989-11-14 Air-Vac Engineering Company, Inc. Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps
US5683227A (en) 1993-03-31 1997-11-04 Smc Corporation Multistage ejector assembly
SE510780C2 (sv) * 1996-07-22 1999-06-21 Mecman Ab Rexroth Anordning för alstring av undertryck samt ramparrangemang med en dylik anordning
DE19732056A1 (de) 1997-07-25 1999-01-28 Schuler Pressen Gmbh & Co Vakuumsystem für ein Transfersystem
JPH11114862A (ja) 1997-10-20 1999-04-27 Smc Corp 真空発生用ユニット
DE19817249C1 (de) 1998-04-18 1999-08-26 Schmalz J Gmbh Ejektor
IL125791A (en) 1998-08-13 2004-05-12 Dan Greenberg Vacuum pump
JP3678950B2 (ja) 1999-09-03 2005-08-03 Ｓｍｃ株式会社 真空発生用ユニット

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005066493A1 (en) * 2004-01-09 2005-07-21 Korea Pneumatic System Co., Ltd Vacuum ejector device
KR101306061B1 (ko) * 2012-02-27 2013-09-17 (주)쏠백 진공 발생기
KR101304140B1 (ko) * 2012-03-06 2013-09-05 이우승 진공 이젝터 펌프의 에어저감용 온오프밸브

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