KR20130079148A - Laser soldering system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 레이저 발진기로부터 발진된 레이저광을 가공 대상물(work)에 조사해서 납땜을 행하는 레이저 납땜 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a laser soldering system which performs soldering by irradiating a laser beam oscillated from a laser oscillator to a work.
종래, 인쇄 배선판에 전자부품을 실장하는 방법으로서, 플로 방식이나 리플로방식의 납땜이 광범위하게 이용되고 있다. 그런데, 이 종류의 방식으로 납땜하는 것이 곤란한 전자부품(예를 들어, 내열성이 낮은 전자부품, 단자 열용량이 비교적 큰 전자부품 등)을 인쇄 배선판에 실장할 경우나, 실장 완료된 기판을 조립할 경우 등에는, 후공정에서 부분적으로 납땜 작업을 행할 필요가 있다.Background Art Conventionally, soldering in a flow method or a reflow method has been widely used as a method of mounting an electronic component on a printed wiring board. By the way, when mounting an electronic component (for example, an electronic component having low heat resistance, an electronic component having a relatively high terminal heat capacity, etc.) that is difficult to solder in this type of method on a printed wiring board, or assembling a mounted board, etc. In the post-process, it is necessary to perform soldering partly.
이러한 후공정에서의 부분적인 납땜 작업은, 사람의 수작업에 의해서 땜인두를 이용해서 행해지는 일이 많고, 접합 품질의 불균일의 발생, 접합 불량률의 증가, 생산 시간의 장기화, 생산 비용의 앙등화 등이 문제가 되는 일이 있다. 그 때문에, 최근, 자동으로 고속으로 납땜을 행하는 것이 가능한 장치의 개발이 진행되고 있다.Partial soldering work in such a post process is often performed by soldering iron by human hand, and the occurrence of non-uniformity in joining quality, increase in defect rate of joining, long production time, increase in production cost, etc. It may be a problem. Therefore, in recent years, the development of the apparatus which can automatically solder at high speed is advanced.
자동 납땜 장치로서는, 땜인두를 이용한 로봇에 의한 로봇 납땜 장치와, 레이저광을 이용한 레이저 납땜 장치가 공지되어 있다.As the automatic soldering apparatus, a robot soldering apparatus by a robot using a soldering iron and a laser soldering apparatus using a laser beam are known.
상기 로봇 납땜 장치는, 접합하는 각 가공 대상물을 땜인두로 꽉 누르면서 가열하고, 그 가열된 부위에 실 땜납을 공급함으로써 1쌍의 가공 대상물을 접합하는 것이다. 이 경우, 땜인두를 사용하기 위해서, 치수가 작은 전자부품 등의 실장을 행하는 것이 용이하지 않다. 또, 용융된 땜납의 일부가 땜인두에 부착되는 일이 있어, 피납땜부에 필요한 땜납량이 공급되지 않는 일이 있다. 또한, 환경에의 배려로부터 무연(lead free) 땜납을 사용할 경우에는, 해당 무연 땜납의 융점이 납을 함유하고 있는 종래의 땜납의 융점보다도 높기 때문에, 땜인두가 산화되기 쉽고, 해당 땜인두의 수명이 짧아져 버린다.The robot soldering apparatus joins a pair of workpieces by heating each workpiece to be joined with a soldering iron while supplying the actual solder to the heated portion. In this case, in order to use the soldering iron, it is not easy to mount small electronic parts or the like. In addition, a part of the molten solder may adhere to the soldering iron, and the amount of solder required for the soldered portion may not be supplied. In addition, when lead-free solder is used due to environmental considerations, since the melting point of the lead-free solder is higher than that of the conventional solder containing lead, the soldering iron is easily oxidized, and the life of the soldering iron is short. I lose it.
한편, 레이저 납땜 장치는, 레이저광의 집광 정도를 용이하게 조정할 수 있으므로, 치수가 작은 전자부품 등의 실장에도 대응하는 것이 가능하다.On the other hand, since the laser soldering apparatus can easily adjust the light condensing degree of a laser beam, it can respond to the mounting of electronic components etc. with a small dimension.
이러한 레이저 납땜 장치에서는, 예를 들어, 레이저광을 접합하는 1쌍의 가공 대상물의 한쪽에만 조사하면, 각 가공 대상물에 큰 온도차가 생겨서 용융된 땜납이 온도가 높은 가공 대상물로 흐르므로, 접합 불량이 되기 쉬워진다. 또, 각 가공 대상물에서 열용량이 다른 경우에는, 양호한 접합 품질을 얻는 것은 한층 어렵게 된다.In such a laser soldering apparatus, for example, if only one of a pair of workpieces to which a laser beam is bonded is irradiated, a large temperature difference will occur in each workpiece, and the molten solder will flow to the workpiece having a high temperature. It becomes easy to be. Moreover, when heat capacity differs in each process object, obtaining a favorable joining quality will become more difficult.
이러한 문제에 대응한 레이저 납땜 장치로서는, 레이저광을 빔 스플리터에 의해 반사광과 투과광으로 분할하고, 해당 빔 스플리터에서 반사된 레이저광을 피납땜 부분에 조사하는 동시에, 해당 빔 스플리터를 투과한 레이저광을 열용량이 높은 가공 대상물에 조사하는 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 그렇지만, 이 경우, 빔 스플리터에 의해 분할되는 각 레이저광(각 분할 레이저광)의 강도비를 용이하게 변경할 수 없기 때문에 용도가 한정되어 버린다.As a laser soldering apparatus corresponding to such a problem, a laser beam is split into reflected light and transmitted light by a beam splitter, the laser beam reflected by the beam splitter is irradiated to the soldered portion, and the laser beam transmitted through the beam splitter is applied. It is known to irradiate the process object with high heat capacity (for example, refer patent document 1). However, in this case, since the intensity ratio of each laser beam (each divided laser beam) divided by the beam splitter cannot be easily changed, the use is limited.
분할 레이저광의 강도비를 변경하는 것이 가능한 레이저 납땜 장치로서는, 접합된 2개의 프리즘을 이용해서 분할 레이저광의 강도비를 변경하는 것(예를 들어, 특허문헌 2 참조)이나, 레이저광의 입사 위치에 의해서 반사율(투과율)이 다르도록 구성된 분할부재를 이용해서 분할 레이저광의 강도비를 변경하는 것(예를 들어, 특허문헌 3 참조)이 제안되어 있다.As a laser soldering apparatus which can change the intensity ratio of split laser beam, it is possible to change the intensity ratio of split laser beam using two bonded prisms (for example, refer patent document 2), or to the incident position of a laser beam. It is proposed to change the intensity ratio of the split laser light by using the splitting member configured to have different reflectance (transmittance) (see
그러나, 전술한 종래 기술에서는, 레이저광을 분할하는 분할 수단으로서, 접합된 2개의 프리즘이나 레이저광의 입사 위치에 의해서 반사율(투과율)이 다르도록 구성된 분할부재를 이용하고 있으므로, 상기 분할 수단의 구성이 복잡하게 되는 동시에 전용품으로 된다. 그 때문에, 레이저 납땜 장치의 제조 비용이 상승할 염려가 있다.However, in the above-described prior art, as the dividing means for dividing the laser light, a dividing member configured to have different reflectances (transmittances) is used depending on the two prisms and the incident positions of the laser light, so that the structure of the dividing means At the same time, it becomes a commodity. Therefore, there exists a possibility that the manufacturing cost of a laser soldering apparatus may rise.
또, 상기 종래 기술은, 분할 레이저광의 강도비가 미리 설정된 강도비로 되도록 분할부재(프리즘)를 이동시키는 것이기 때문에, 실제의 분할 레이저광의 강도비를 관리할 수는 없다.Moreover, since the said prior art is moving a splitting member (prism) so that the intensity ratio of split laser beam may become a preset intensity ratio, it cannot manage the intensity ratio of an actual split laser beam.
본 발명은, 이러한 과제를 고려해서 이루어진 것으로, 웨지(wedge) 기판을 이용해서 레이저광을 분할함으로써 레이저 납땜 시스템의 제조 비용의 상승을 억제하는 것이 가능하고, 또한 분할 레이저광의 강도비를 관리함으로써 접합 품질의 향상을 도모하는 것이 가능한 레이저 납땜 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to suppress an increase in the manufacturing cost of a laser soldering system by dividing a laser beam using a wedge substrate, and also by managing the intensity ratio of the split laser beam. It is an object of the present invention to provide a laser soldering system capable of improving quality.
[1] 본 발명에 관한 레이저 납땜 시스템은, 레이저 발진기로부터 발진된 레이저광을 가공 대상물에 조사해서 납땜을 행하는 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 레이저광을 복수의 분할 레이저광으로 분할하는 웨지 기판과, 상기 웨지 기판을 상기 레이저광에 대해서 진퇴 구동시켜 해당 웨지 기판에 있어서의 해당 레이저광의 입사량을 제어하는 웨지기판 구동 제어부와, 상기 각 분할 레이저광의 강도를 취득하는 강도 취득수단을 포함하되, 상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 강도 취득수단에서 취득된 상기 각 분할 레이저광의 강도에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시키는 것을 특징으로 한다.[1] A laser soldering system according to the present invention is a laser soldering system which irradiates a laser beam oscillated from a laser oscillator to a processing object and performs soldering, comprising: a wedge substrate for dividing the laser beam into a plurality of divided laser beams; And a wedge plate driving control unit for driving the wedge substrate forward and backward with respect to the laser beam to control the incident amount of the laser beam on the wedge substrate, and an intensity acquiring means for acquiring the intensity of each of the divided laser beams. The substrate drive control section drives the wedge substrate to advance and retreat on the basis of the intensity of each of the divided laser beams obtained by the intensity acquisition means.
본 발명에 관한 레이저 납땜 시스템에 따르면, 웨지 기판에 있어서의 레이저광의 입사량을 제어하고 있으므로, 해당 웨지 기판에서 분할된 복수의 분할 레이저광의 강도비를 용이하게 변경할 수 있다. 이것에 의해, 종래 기술과 같이 복잡화된 전용품의 분할 수단을 이용할 필요가 없기 때문에, 레이저 납땜 시스템의 제조 비용의 앙등화를 억제할 수 있다. 또한, 웨지기판 구동 제어부가, 강도 취득수단에서 취득된 각 분할 레이저광의 강도에 의거해서 웨지 기판을 진퇴 구동시켜 해당 웨지 기판에 있어서의 레이저광의 입사량을 제어하므로, 실제의 분할 레이저광의 강도비를 확실하게 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 분할 레이저광을 가공 대상물에 조사해서 납땜을 행할 수 있음으로, 접합 품질의 향상을 도모할 수 있다.According to the laser soldering system which concerns on this invention, since the incident amount of the laser beam in a wedge substrate is controlled, the intensity ratio of the some split laser beam divided | segmented in the said wedge substrate can be changed easily. Thereby, since it is not necessary to use the complicated division | segmentation means of the complicated commodity like the prior art, the rise of the manufacturing cost of a laser soldering system can be suppressed. Further, the wedge plate drive control unit drives the wedge substrate forward and backward based on the intensity of each split laser light acquired by the intensity acquiring means to control the incident amount of the laser light on the wedge substrate, thereby reducing the intensity ratio of the actual split laser light. It can be managed reliably. As a result, the managed split laser light can be irradiated to the object to be processed and soldered, whereby the bonding quality can be improved.
[2] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 강도 취득수단에서 취득된 상기 복수의 분할 레이저광의 강도비가 소정의 강도비로 되도록 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시켜도 된다[2] In the laser soldering system, the wedge substrate driving control unit may drive the wedge substrate forward and backward so that the intensity ratio of the plurality of divided laser beams acquired by the intensity obtaining means becomes a predetermined intensity ratio.
이러한 시스템에 따르면, 분할 레이저광의 강도비를 소정의 강도비로 할 수 있으므로, 접합 품질의 더 한층의 향상을 도모할 수 있다.According to such a system, since the intensity ratio of split laser light can be made into a predetermined intensity ratio, further improvement of the bonding quality can be aimed at.
[3] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 가공 대상물은 납땜이 행해지는 제1가공 대상물과 제2가공 대상물을 포함하고, 상기 각 레이저광을 상기 제1가공 대상물과 상기 제2가공 대상물의 각각에 조사하는 조사 광학계를 더 포함하고 있어도 된다.[3] The laser soldering system, wherein the processing object includes a first processing object and a second processing object to be soldered, and the laser beam is applied to each of the first processing object and the second processing object. You may further include the irradiation optical system to irradiate.
이러한 시스템에 따르면, 조사 광학계에 의해 제1가공 대상물과 제2가공 대상물의 각각에 관리된 분할 레이저광을 조사할 수 있으므로, 예를 들어, 제1가공 대상물의 열용량이 제2가공 대상물의 열용량보다도 클 경우더라도, 해당 제1가공 대상물과 해당 제2가공 대상물의 온도차를 극히 작게 할 수 있다. 바꿔 말하면, 해당 제1가공 대상물의 온도와 해당 제2가공 대상물의 온도를 거의 동일하게 할 수 있다. 이것에 의해, 제1가공 대상물 또는 제2가공 대상물의 접합 부분 이외의 영역에 불필요한 땜납이 흘러가는 것을 적절하게 방지할 수 있으므로, 제1가공 대상물과 제2가공 대상물을 확실하게 접합시킬 수 있다.According to such a system, since the divided laser beam managed to irradiate each of a 1st process object and a 2nd process object by an irradiation optical system, for example, the heat capacity of a 1st process object is more than the heat capacity of a 2nd process object. Even if large, the temperature difference of the said 1st process object and the said 2nd process object can be made extremely small. In other words, the temperature of the said 1st process object and the temperature of the said 2nd process object can be made substantially the same. As a result, it is possible to appropriately prevent unnecessary solder from flowing into regions other than the joining portions of the first and second processing objects, so that the first and second processing objects can be reliably joined.
[4] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 분할 레이저광이 조사된 상기 제1가공 대상물의 온도를 취득하는 제1온도 취득수단과, 상기 분할 레이저광이 조사된 상기 제2가공 대상물의 온도를 취득하는 제2온도 취득수단을 더 포함하되, 상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 제1온도 취득수단에서 취득된 온도와 상기 제2온도 취득수단에서 취득된 온도에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시켜도 된다.[4] In the laser soldering system, first temperature acquiring means for acquiring a temperature of the first object to which the split laser light is irradiated, and a temperature of the second object to which the split laser light is irradiated. And a second temperature acquiring means, wherein the wedge substrate driving control part may drive the wedge substrate forward and backward based on the temperature acquired by the first temperature acquiring means and the temperature acquired by the second temperature acquiring means. .
이러한 시스템에 따르면, 분할 레이저광이 조사된 제1가공 대상물과 제2가공 대상물의 온도를 취득하고, 그들 온도에 의거해서 웨지 기판을 진퇴 구동시키므로, 제1가공 대상물과 제2가공 대상물의 온도관리를 행할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to such a system, since the temperature of the first object and the second object to which the split laser light is irradiated is acquired and the wedge substrate is driven forward and backward based on those temperatures, the temperature management of the first object and the second object is controlled. Can be done. Thereby, joining with favorable managed reproducibility becomes possible.
[5] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 납땜 중인 땜납의 상태를 촬영하는 촬영 수단을 더 포함하되, 상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 촬영 수단에서 촬영된 정보에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시켜도 된다.[5] The laser soldering system may further include photographing means for photographing a state of solder being soldered, wherein the wedge plate driving control unit may drive the wedge substrate forward and backward based on the information photographed by the photographing means. .
이러한 시스템에 따르면, 납땜 중인 땜납의 상태를 촬영 수단에서 촬영하고, 촬영된 정보에 의거해서 웨지 기판을 진퇴 구동시키므로, 납땜 중인 땜납의 상태를 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to this system, the state of the solder being soldered is photographed by the photographing means, and the wedge substrate is driven forward and backward based on the photographed information, so that the state of the solder being soldered can be managed. Thereby, joining with favorable managed reproducibility is attained.
[6] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 제1가공 대상물은 상기 제2가공 대상물의 주위에 배치되어 있고, 상기 웨지 기판은 복수개 설치되며, 상기 조사 광학계는, 상기 제2가공 대상물에 조사되는 분할 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 복수의 상기 분할 레이저광을 상기 제1가공 대상물에 조사해도 된다.[6] The laser soldering system, wherein the first processing object is disposed around the second processing object, a plurality of wedge substrates are provided, and the irradiation optical system is divided into the second processing object. The plurality of divided laser beams may be irradiated to the first object to be spaced at equal intervals along the optical axis circumference of the laser beam.
이러한 시스템에 따르면, 제2가공 대상물의 주위에 제1가공 대상물을 배치하고, 상기 제2가공 대상물에 조사되는 분할 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 복수의 분할 레이저광을 상기 제1가공 대상물에 조사하므로, 제1가공 대상물을 거의 균등하게 승온시킬 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어, 제2가공 대상물의 전체 둘레에 걸쳐서 납땜을 행할 경우더라도, 땜납을 해당 제2가공 대상물의 전체 둘레에 균일하게 공급할 수 있다. 따라서, 제1가공 대상물과 제2가공 대상물을 확실하게 접합시킬 수 있다.According to such a system, a plurality of divided laser beams are disposed at equal intervals along the optical axis circumference of a split laser beam irradiated to the second processed object, and the first processed object is disposed around the second processed object. Since the object is irradiated, the first processed object can be heated up almost evenly. Thereby, for example, even when soldering over the entire circumference of the second object, solder can be uniformly supplied to the entire circumference of the second object. Therefore, the 1st processing object and the 2nd processing object can be reliably joined.
[7] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 복수의 웨지 기판은, 상기 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되어 배치되어 있어도 된다.[7] In the laser soldering system, the plurality of wedge substrates may be spaced apart at equal intervals along the optical axis of the laser beam.
이러한 시스템에 따르면, 복수의 웨지 기판을 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간시켜 배치므로, 제2가공 대상물에 조사되는 분할 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 복수의 분할 레이저광을 제1가공 대상물에 용이하게 조사할 수 있다.According to such a system, since the plurality of wedge substrates are arranged at equal intervals along the optical axis of the laser beam, the plurality of split laser beams are arranged so as to be spaced at equal intervals along the optical axis circumference of the divided laser beam irradiated to the second processing object. 1 The object to be processed can be easily irradiated.
[8] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 가공 대상물은 복수의 피접합부를 지니고 있으며, 상기 레이저 납땜 시스템은 상기 각 분할 레이저광을 상기 복수의 피접합부의 각각에 조사하는 조사 광학계를 더 포함하고 있어도 된다.[8] In the laser soldering system, the object to be processed has a plurality of parts to be joined, and the laser soldering system further includes an irradiation optical system for irradiating the respective split laser beams to each of the plurality of parts to be joined. do.
이러한 시스템에 따르면, 각 분할 레이저광을 복수의 피접합부의 각각에 조사하므로, 복수의 피접합부를 동시에 승온시킬 수 있다. 이것에 의해, 복수의 피접합부에 대해서 효율적으로 납땜을 행하는 것이 가능하게 되므로, 납땜 공정의 공정수를 대폭 저감시킬 수 있다.According to such a system, since each split laser beam is irradiated to each of a some to-be-joined part, a some to-be-joined part can be heated up simultaneously. Thereby, since it becomes possible to solder efficiently to several to-be-joined part, the number of processes of a soldering process can be reduced significantly.
[9] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 레이저광의 스팟 형상을 거의 타원형상 또는 사각형 형상으로 하는 스팟형상 변형수단을 더 포함하고 있어도 된다.[9] The laser soldering system may further include spot shape deforming means for making the spot shape of the laser light into an almost elliptical shape or a quadrangular shape.
이러한 시스템에 따르면, 레이저광의 스팟 형상을 거의 타원형상 또는 사각형 형상으로 하고 있으므로, 웨지 기판에 의해 분할된 분할 레이저광의 가공 대상물에 대한 스팟 형상에 대해서도 거의 타원형상 또는 사각형 형상으로 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어, 가공 대상물의 피납땜부가 평면에서 보아서 직사각형상으로 형성되어 있을 경우더라도, 해당 피납땜부를 적절하게 승온시킬 수 있다.According to such a system, since the spot shape of a laser beam is made into substantially elliptical shape or square shape, the spot shape with respect to the process target of the division laser beam divided | segmented by the wedge board | substrate can also be made into substantially elliptical shape or square shape. Thereby, even if the to-be-welded part of a process target is formed in rectangular shape by planar view, the said to-be-welded part can be raised appropriately, for example.
[10] 상기 레이저 납땜 시스템에 있어서, 상기 스팟형상 변형수단은, 단면(斷面)이 사각형 형상인 코어를 지니는 사각형 코어 섬유(core fiber)여도 된다.[10] In the laser soldering system, the spot-shaped deformation means may be a square core fiber having a core having a rectangular cross section.
그런데, 일반적으로, 가우스 분포 형상의 강도분포를 지니는 레이저광을 이용해서 인쇄 배선판에 전자부품을 납땜할 경우, 해당 레이저광의 중심부분(광축부분)의 피크 강도가 높기 때문에, 레이저 스팟의 중심부분의 입열량(入熱量)이 과도하게 되는 일이 있다. 그렇게 하면, 상기 인쇄 배선판에 손상을 주어서 해당 인쇄 배선판으로부터 해당 전자부품이 벗겨질 우려가 있다.By the way, in general, when soldering an electronic component to a printed wiring board using a laser beam having a Gaussian distribution of intensity, the peak intensity of the center portion (optical axis portion) of the laser beam is high. The amount of heat input may become excessive. Doing so may damage the printed wiring board and cause the electronic component to come off from the printed wiring board.
상기 레이저 납땜 시스템에 따르면, 사각형 코어 섬유를 이용함으로써 레이저광의 스팟 형상을 용이하게 사각형 형상으로 할 수 있다. 또, 레이저광의 강도분포를 톱 해트(top hat) 형상의 강도분포로 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어, 해당 레이저광을 이용해서 수지제의 인쇄 배선판에 전자부품을 납땜할 경우더라도, 해당 인쇄 배선판에 손상을 주는 일이 없으므로, 해당 전자부품이 해당 인쇄 배선판으로부터 벗겨지는 것을 적절하게 방지할 수 있다.According to the said laser soldering system, the spot shape of a laser beam can be easily made square shape by using square core fiber. In addition, the intensity distribution of the laser beam can be made into the top hat shape intensity distribution. As a result, even when the electronic component is soldered to the resin printed wiring board using the laser beam, the printed wiring board is not damaged, so that the electronic component is peeled off from the printed wiring board. It can prevent appropriately.
이상 설명한 바와 같이, 웨지 기판에 의해 레이저광을 복수의 분할 레이저광으로 분할하고 있으므로, 레이저 납땜 시스템의 제조 비용의 앙등화를 억제할 수 있다. 또한, 웨지기판 구동 제어부가, 각 분할 레이저광의 강도에 의거해서 웨지 기판을 진퇴 구동시켜 해당 웨지 기판에 있어서의 레이저광의 입사량을 제어하므로, 관리된 분할 레이저광을 가공 대상물에 조사해서 납땜을 행할 수 있고, 그 결과, 접합 품질의 향상을 도모할 수 있다.As described above, since the laser beam is divided into a plurality of divided laser beams by the wedge substrate, it is possible to suppress an increase in the manufacturing cost of the laser soldering system. Further, the wedge plate driving control unit drives the wedge substrate forward and backward based on the intensity of each split laser light to control the incident amount of the laser light on the wedge substrate. As a result, the joining quality can be improved.
도 1은 본 발명의 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템을 도시한 모식도;
도 2는 상기 레이저 납땜 시스템을 구성하는 출사 유닛의 구성과 제어부 본체의 구성을 도시한 모식도;
도 3은 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순을 설명하기 위한 순서도;
도 4A는 레이저광(LB)의 일부를 웨지 기판에 입사시킨 상태를 설명하기 위한 설명도이고, 도 4B는 도 4A의 상태로부터 상기 레이저광(LB)의 웨지 기판에 대한 입사량을 증가시킨 상태를 설명하기 위한 설명도;
도 5는 분할 레이저광(LB1)을 케이블 단자에 조사하는 동시에 분할 레이저광(LB2)을 도전부재에 조사한 상태를 설명하기 위한 설명도;
도 6은 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순의 제1변형예를 설명하기 위한 순서도;
도 7은 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순의 제2변형예를 설명하기 위한 순서도;
도 8은 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순의 제3변형예를 설명하기 위한 순서도;
도 9는 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순의 제4변형예를 설명하기 위한 순서도;
도 10은 상기 레이저 납땜 시스템을 이용한 납땜 수순의 제5변형예를 설명하기 위한 순서도;
도 11은 본 발명의 제2실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템을 도시한 모식도;
도 12는 도 11에 도시한 가공 대상물을 설명하기 위한 설명도;
도 13은 본 발명의 제3실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템을 도시한 모식도;
도 14는 도 13에 도시한 레이저 납땜 시스템을 구성하는 3개의 웨지 기판의 배치 관계를 설명하기 위한 설명도;
도 15는 도 13에 도시한 가공 대상물을 설명하기 위한 설명도;
도 16은 본 발명의 제4실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템을 도시한 모식도;
도 17A는 도 16에 도시한 가공 대상물을 설명하기 위한 설명도이고, 도 17B는 도 17A에 도시한 가공 대상물에 분할 레이저광이 조사된 상태를 나타낸 도면.1 is a schematic diagram showing a laser soldering system according to a first embodiment of the present invention;
2 is a schematic diagram showing a configuration of an emission unit constituting the laser soldering system and a configuration of a control unit body;
3 is a flowchart for explaining a soldering procedure using the laser soldering system;
4A is an explanatory diagram for explaining a state in which part of the laser light LB is incident on the wedge substrate, and FIG. 4B is a state in which the incident amount of the laser light LB is increased from the state of FIG. 4A to the wedge substrate. Explanatory drawing for explaining;
5 is an explanatory diagram for explaining a state in which the split laser light LB1 is irradiated to the cable terminal and the split laser light LB2 is irradiated to the conductive member;
6 is a flowchart for explaining a first modification of the soldering procedure using the laser soldering system.
7 is a flowchart for illustrating a second modification of the soldering procedure using the laser soldering system.
8 is a flowchart for explaining a third modification of the soldering procedure using the laser soldering system;
9 is a flowchart for explaining a fourth modification of the soldering procedure using the laser soldering system.
10 is a flowchart for explaining a fifth modification of the soldering procedure using the laser soldering system;
11 is a schematic diagram showing a laser soldering system according to a second embodiment of the present invention;
12 is an explanatory diagram for explaining a processing object shown in FIG. 11;
13 is a schematic diagram showing a laser soldering system according to a third embodiment of the present invention;
14 is an explanatory diagram for explaining an arrangement relationship of three wedge substrates constituting the laser soldering system shown in FIG. 13;
15 is an explanatory diagram for explaining the object to be processed shown in FIG. 13;
16 is a schematic diagram showing a laser soldering system according to a fourth embodiment of the present invention;
17A is an explanatory diagram for explaining the object to be processed shown in FIG. 16, and FIG. 17B is a view showing a state in which the split laser light is irradiated to the object to be shown in FIG. 17A.
이하, 본 발명에 관한 레이저 납땜 시스템에 대해서 적절한 실시형태를 예시하고, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the laser soldering system which concerns on this invention is demonstrated, referring an appropriate embodiment, and referring an accompanying drawing.
(제1실시형태)(First Embodiment)
제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)은, 레이저광(LB)을 이용해서 가공 대상물(W)을 승온시켜서 납땜을 행하기 위한 것으로, LD 전원(12)과, LD 전원(12)으로부터 공급되는 구동 전류에 의거해서 레이저광(LB)을 발진시키는 레이저 발진기(14)와, 레이저 발진기(14)로부터 발진된 레이저광(LB)을 전송하는 전송 유닛(16)과, 전송 유닛(16)에서 전송된 레이저광(LB)을 가공 대상물(W)에 조사하기 위한 출사 유닛(18)과, 가공 대상물(W)을 탑재하기 위한 스테이지(20)와, 땜납(실 땜납)(S)을 공급하는 땜납 공급부(22)와, 제어부(24)를 포함한다.The
가공 대상물(W)은, 전기배선(302)의 도전 접속부(제1가공 대상물)(300)와, 해당 전기배선(302)에 도전 접속되는 배선 기판(304) 상에 평판 형상 또는 박막 형상으로 형성된 단자(제2가공 대상물)(305)를 지닌다(도 5 참조). 본 실시형태에서는, 전기배선(302)의 도전 접속부(300)와 배선 기판(304)의 단자(305)가 납땜에 의해 접합된다.The object to be processed W is formed in a flat plate shape or a thin film shape on the conductive connection portion (first processing object) 300 of the
레이저 발진기(14)는, 예를 들어, FC-LD(파이버 커플링-레이저 다이오드)로 이루어지고, LD 유닛(26)과 취출용 광섬유(28)를 일체적으로 결합해서 구성된다. LD 유닛(26)은, 1개 또는 복수의 LD어레이를 지니고, LD 전원(12)보다 소요의 LD구동 전류를 공급(주입)되어서, 예를 들어, 1W 내지 200W의 고출력LD광을 레이저광(LB)으로서 발진 출력한다. 취득용 광섬유(28)는, 예를 들어, SI형 광섬유이며, 전송 유닛(16)까지 연장되어, 그 출사 단면(端面)으로부터 레이저광(LB)을 출사시킨다.The
전송 유닛(16)은, 입사부(30)와 전송용 광섬유(32)를 구비한다. 입사부(30)는, 취출용 광섬유(28)보다 소정의 확대 각도로 출사된 레이저광(LB)을 평행 광으로 콜리메이트하는 콜리메이트 렌즈(34)와, 콜리메이트 렌즈(34)로부터의 평행 광의 레이저광(LB)을 조여서 전송용 광섬유(32)의 입사 단면에 입사되는 집광 렌즈(36)를 포함한다.The
전송용 광섬유(32)는, 임의의 길이를 지녀도 되고, SUS 나선관으로 이루어진 보호관 속에 SI형 광섬유로 이루어진 섬유 심선을 통과시킨 것이다. 섬유 심선은, 예를 들어, 순수 석영 유리로 이루어진 코어와, 이 코어를 동축으로 덮는 예를 들어 불소 도핑 석영 유리로 이루어진 클래드와, 이 클래드를 동축으로 덮는 예를 들어 폴리아마이드로 이루어진 피복으로 구성되어 있다. 전송용 광섬유(32)는 출사 유닛(18) 내에서 종단되어 있다.The
도 2에 나타낸 바와 같이, 출사 유닛(18)은, 전송용 광섬유(32)의 출사측 단부를 고정하는 고정부(38)와, 전송용 광섬유(32)로부터 소정의 확대 각도로 출사된 레이저광(LB)을 평행 광으로 콜리메이트하는 콜리메이트 렌즈(40)와, 콜리메이트 렌즈(40)에 의해 평행화된 레이저광(LB)을 2개의 분할 레이저광(LB1), (LB2)으로 분할하는 웨지 기판(42)과, 웨지 기판(42)을 구동하는 작동기(구동부)(44)와, 해당 분할 레이저광(LB1), (LB2)을 가공 대상물(W)로 유도하는 조사 광학계(46)와, 해당 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 광로 상에 설치된 셔터(48)와, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도를 측정하는 레이저 강도 측정부(강도 취득수단)(50)과, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 촬영하기 위한 카메라 유닛(촬영 수단)(52)을 구비한다.As shown in FIG. 2, the
웨지 기판(42)은 그 투과광의 광로를 변화시키는 것이 가능하다. 즉, 레이저광(LB)의 일부를 웨지 기판(42)에 투과시킴으로써, 해당 레이저광(LB)을, 해당 웨지 기판(42)을 투과한 투과광(분할 레이저광(LB1))과, 해당 웨지 기판(42)을 투과하지 않는 광(분할 레이저광(LB2))으로 분할시킬 수 있다.The
또한, 웨지 기판(42)은, 소정의 웨지 각을 지니고 있어, 해당 웨지 각이 커질수록, 가공 대상물(W)에 조사되는 분할 레이저광(LB1)의 광축과 분할 레이저광(LB2)의 광축 사이의 거리(광축간 거리(L))가 커지게 된다(도 5 참조). 본 실시형태에서는, 도전 접속부(300) 및 단자(305)의 치수나 형상 등으로부터 소정의 광축간 거리(L)를 정하고, 그 정해진 광축간 거리(L)로 되도록 웨지 각을 지니는 웨지 기판(42)이 선정되어 이용되고 있다.In addition, the
작동기(44)는 레이저광(LB)에 대해서 웨지 기판(42)을 진퇴시킨다. 즉, 작동기(44)는 웨지 기판(42)을 레이저광(LB)의 광축과 직교하는 방향을 따라서 진퇴시킨다. 이것에 의해, 레이저광(LB)의 웨지 기판(42)으로의 입사량을 증감시킬 수 있다.The actuator 44 advances the
조사 광학계(46)는, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)을 가공 대상물(W)을 향해서 반사시키는 동시에 해당 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 일부를 투과시키는 미러(mirror)(54)와, 미러(54)에 의해서 반사된 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)을 가공 대상물(W)에 집광시키는 집광 렌즈(56)를 포함한다. 이것에 의해, 분할 레이저광(LB1)을 도전 접속부(300)에 조사하는 동시에 분할 레이저광(LB2)을 단자(305)의 단면에 조사할 수 있다.The irradiation
본 실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)은, 분할 레이저광(LB1)의 조사에 의해 승온시킨 도전 접속부(300)(도전 접속부(300)의 제1피납땜부, 도전 접속부(300)에 있어서의 분할 레이저광(LB1)의 조사 부위)의 온도를 측정하는 제1온도 측정부(58)와, 분할 레이저광(LB2)의 조사에 의해 승온시킨 단자(305)(단자(305)의 제2피납땜부, 단자(305)에 있어서의 분할 레이저광(LB2)의 조사 부위)의 온도를 측정하는 제2온도 측정부(60)를 더 포함한다. 제1온도 측정부(58)와 제2온도 측정부(60)는, 예를 들어, 방사 온도계 등의 비접촉 온도계로서 구성되어 있다.In the
셔터(48)는, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 통과를 허가하는 개방 상태와, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 통과를 차단하는 폐쇄 상태를 전환가능하게 구성되어 있다.The
레이저 강도 측정부(50)는, 상기 미러(54)의 투과광을 집광하는 집광 렌즈(62)와, 해당 집광 렌즈(62)에 의해서 집광된 투과광의 강도를 측정하는 빔 프로파일러(64)를 포함한다. 빔 프로파일러(64)의 검출 신호는 제어부(24)에 출력된다.The laser
카메라 유닛(52)은, 도전 접속부(300)의 제1피납땜부와 단자(305)의 제2피납땜부를 포함하는 영역을 촬영가능하게 구성되어 있다. 카메라 유닛(52)에서 촬영된 정보(화상정보, 동화정보)는 제어부(24)에 출력된다.The
땜납 공급부(22)는 땜납(S)을 소정의 보냄 속도에 의해 도전 접속부(300)(단자(305))에 공급가능하게 구성되어 있다.The
제어부(24)는, LD 전원(12)을 구동 제어하는 전원 제어부(66)와, 제어부 본체(68)를 구비한다(도 1 참조). 도 2에 나타낸 바와 같이, 제어부 본체(68)는, 기억부(70), 강도비 산출부(72), 강도비 판정부(74), 온도비 산출부(76), 온도 판정부(78), 화상 판정부(80), 웨지기판 구동 제어부(82), 셔터 제어부(84), 땜납 공급 제어부(88) 및 카메라유닛 제어부(86)를 포함한다.The
기억부(70)는, 설정 강도비, 설정 온도비, 설정 온도범위, 기준 화상 등이 기억되어 있다. 설정 강도비는, 도전 접속부(300)에 조사되는 분할 레이저광(LB1)의 강도와 단자(305)에 조사되는 분할 레이저광(LB2)의 강도의 비로서, 예를 들어, 도전 접속부(300) 및 단자(305)의 재질, 치수, 형상 등으로부터 설정된다.The
설정 온도비는, 도전 접속부(300)의 제1피납땜부의 온도와 단자(305)의 제2피납땜부의 온도의 비로서, 예를 들어, 도전 접속부(300)와 단자(305)의 납땜에 적합한 온도비로 설정되어 있다. 구체적으로는, 상기 설정 온도비는, 예를 들어, 도전 접속부(300)의 제1피납땜부의 온도와 단자(305)의 제2피납땜부의 온도가 동일한 온도로 되는 바와 같은 비로 설정된다.The set temperature ratio is a ratio of the temperature of the first soldered portion of the conductive connecting
설정 온도 범위는, 예를 들어, 땜납(S)이 용융가능한 정도의 적당한 온도범위로 설정된다. 기준 화상은, 예를 들어, 최적 납땜 조건에서 납땜이 행해진 때의 납땜 중에 있어서의 땜납(S)의 상태(땜납의 형상)를 나타내는 화상이 이용된다.The set temperature range is set to an appropriate temperature range, for example, to the extent that the solder S is meltable. As the reference image, for example, an image showing the state (the shape of the solder) of the solder S during soldering when the soldering is performed under optimum soldering conditions is used.
강도비 산출부(72)는 빔 프로파일러(64)의 검출 신호에 의거해서 가공 대상물(W)에 조사되는 2개의 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도비를 산출한다. 강도비 판정부(74)는 산출 강도비와 설정 강도비가 일치하고 있는지의 여부를 판정한다.The intensity
온도비 산출부(76)는, 제1온도 측정부(58)에서 측정된 도전 접속부(300)의 제1피납땜부의 온도와 제2온도 측정부(60)에서 측정된 단자(305)의 제2피납땜부의 온도의 비를 산출한다. 온도 판정부(78)는 산출 온도비와 설정 온도비가 일치하고 있는지의 여부를 판정한다. 또한, 온도 판정부(78)는 도전 접속부(300)와 단자(305)의 온도가 설정 온도범위 내에 있는지의 여부를 판정한다.The
화상 판정부(80)는 카메라 유닛(52)에서 촬영된 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내에 있는지의 여부를 판정한다.The
웨지기판 구동 제어부(82)는 작동기(44)에 제어 신호를 보내 웨지 기판(42)을 구동 제어한다. 셔터 제어부(84)는 셔터(48)를 개폐한다. 카메라유닛 제어부(86)는 카메라 유닛(52)을 구동 제어한다. 땜납 공급 제어부(88)는 땜납 공급부(22)를 구동 제어해서 소정의 위치에 땜납(S)을 공급한다.The wedge plate
이상과 같이 구성된 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용해서 도전 접속부(300)와 단자(305)를 납땜하는 수순에 대해서 도 3 내지 도 5를 참조하면서 설명한다.The procedure for soldering the
우선, 스테이지(20)에 전기배선(302)의 도전 접속부(300)와 배선 기판(304)의 단자(305)를 위치 결정하고, 셔터 제어부(84)는 셔터(48)를 폐쇄 상태로 해둔다.First, the
다음에, 전원 제어부(66)는, LD 전원(12)을 구동해서 LD 유닛(26)에 구동 전류를 공급함으로써, 레이저광(LB)을 발진시킨다(도 3의 스텝 S1). LD 유닛(26)으로부터 발진된 레이저광(LB)은, 취득용 광섬유(28)로부터 출사되어서 콜리메이트 렌즈(34)에 의해 평행화된 후, 집광 렌즈(36)에 의해 전송용 광섬유(32) 내로 입사되어서 출사 유닛(18)에까지 전송된다. 전송용 광섬유(32)로부터 출사된 레이저광(LB)은, 콜리메이트 렌즈(40)에 의해 평행화된 후, 미러(54)에 의해 반사되어서 셔터(48)에 조사되는 것으로 된다.Next, the power
계속해서, 웨지기판 구동 제어부(82)는, 작동기(44)에 제어 신호를 보내 웨지 기판(42)을 레이저광(LB)에 대해서 소정량만큼 진행한다(스텝 S2). 그렇게 하면, 웨지 기판(42)에는, 레이저광(LB)의 일부가 입사하는 것으로 된다(도 4A 참조). 이것에 의해, 레이저광(LB)은 웨지 기판(42)의 투과광(분할 레이저광(LB1))과 웨지 기판(42)을 투과하지 않는 광(분할 레이저광(LB2))으로 분할되게 된다.Subsequently, the wedge plate
그 후, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 산출한다(스텝 S3). 구체적으로는, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)을 미러(54)에 조사했을 때의 미러(54)의 각 투과광을 빔 프로파일러(64)로 측정하고, 그 측정된 각 투과광의 강도에 의거해서 강도비 산출부(72)가 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 산출한다.Thereafter, the intensity ratio of the split laser light LB1 and the split laser light LB2 is calculated (step S3). Specifically, each transmitted light of the
그리고, 강도비 판정부(74)는 산출 강도비와 설정 강도비가 일치하고 있는지의 여부를 판정한다(스텝 S4). 설정 강도비는 기억부(70)를 참조해서 취득된다.Then, the intensity
산출 강도비와 설정 강도비가 일치하고 있지 않을 경우(스텝 S4: 아니오)에는, 웨지기판 구동 제어부(82)는, 작동기(44)에 제어 신호를 보내 웨지 기판(42)을 레이저광(LB)에 대해서 진퇴 구동시킨다(스텝 S5). 이것에 의해, 예를 들어, 웨지 기판(42)을 더욱 진행시켰을 경우에는 해당 웨지 기판(42)에 대한 레이저광(LB)의 입사량을 증가시킬 수 있고(도 4B 참조), 웨지 기판(42)을 퇴행시켰을 경우에는 해당 웨지 기판(42)에 대한 레이저광(LB)의 입사량을 감소시킬 수 있다. 그 후, 스텝 S3 이후의 처리를 행한다.When the calculated intensity ratio and the set intensity ratio do not coincide (step S4: NO), the wedge plate
산출 강도비와 설정 강도비가 일치한 경우(스텝 S4: 예)에는, 셔터 제어부(84)는 셔터(48)를 개방시킨다(스텝 S6). 셔터(48)가 개방되면, 분할 레이저광(LB1)이 집광 렌즈(56)에 의해 집광된 상태에서 도전 접속부(300)의 제1피납땜부에 조사되는 동시에, 분할 레이저광(LB2)이 집광 렌즈(56)에 의해 집광된 상태에서 단자(305)의 제2피납땜부에 조사되게 된다(스텝 S7).When the calculated intensity ratio coincides with the set intensity ratio (step S4: YES), the
계속해서, 온도비 산출부(76)는, 제1온도 측정부(58)에서 측정된 제1피납땜부의 온도와 제2온도 측정부(60)에서 측정된 제2피납땜부의 온도에 의거해서, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비를 산출한다(스텝 S8).Subsequently, the
그리고, 온도 판정부(78)는 산출 온도비와 설정 온도비가 일치했는지의 여부를 판정한다(스텝 S9). 설정 온도비는 기억부(70)를 참조해서 취득된다.Then, the
산출 온도비와 설정 온도비가 일치하고 있지 않을 경우(스텝 S9: 아니오)에는, 웨지기판 구동 제어부(82)는, 작동기(44)에 제어 신호를 보내 웨지 기판(42)을 레이저광(LB)에 대해서 진퇴 구동시킨다(스텝 S10). 이것에 의해, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비를 변경하는(설정 온도비에 가깝게 하는) 것이 가능해진다. 그 후, 스텝 S8 이후의 처리를 행한다.When the calculated temperature ratio does not coincide with the set temperature ratio (step S9: NO), the wedge plate
산출 온도비와 설정 온도비가 일치한 경우(스텝 S9: 예)에는, 온도 판정부(78)는 제1피납땜부의 온도와 제2피납땜부의 온도가 설정 범위 내에 있는지의 여부를 판정한다(스텝 S11). 설정 온도 범위는 기억부(70)를 참조해서 취득된다.When the calculated temperature ratio and the set temperature ratio coincide (step S9: YES), the
제1피납땜부의 온도와 제2피납땜부의 온도가 설정 온도 범위 내가 아닐 경우(스텝 S11: 아니오)에는, 스텝 S8 이후의 처리를 행한다. 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도가 땜납(S)을 용융시킬 수 있는 정도의 온도에 도달하고 있지 않기 때문이다.If the temperature of the first soldered portion and the temperature of the second soldered portion are not within the set temperature range (step S11: NO), the processing after step S8 is performed. This is because the temperature of the first soldered portion and the second soldered portion does not reach a temperature at which the solder S can be melted.
제1피납땜부의 온도와 제2피납땜부의 온도가 설정 온도 범위 내로 되었을 경우(스텝 S11: 예)에는, 땜납 공급 제어부(88)는 땜납 공급부(22)를 제어해서 제1피납땜부 및 제2피납땜부에 땜납(S)을 공급한다(스텝 S12).When the temperature of the first soldered part and the temperature of the second soldered part are within a set temperature range (step S11: YES), the solder
그리고, 카메라유닛 제어부(86)는, 카메라 유닛(52)을 제어해서, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 촬영한다(스텝 S13). 다음에, 화상 판정부(80)는, 촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내인지의 여부를 판정한다(스텝 S14). 한편, 기준 화상은 기억부(70)를 참조해서 취득된다.And the camera
촬영 화상과 기준 화상과의 일치 정도가 소정 범위 내에 없을 경우(스텝 S14: 아니오)에는, 웨지기판 구동 제어부(82)는, 작동기(44)에 제어 신호를 보내고, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시킨다(스텝 S15). 이것에 의해, 납땜 중에 있어서, 도전 접속부(300)의 제1피납땜부의 온도와 단자(305)의 제2피납땜부의 온도를 조정하는 것이 가능하게 되므로, 땜납(S)의 상태를 변경할 수 있다. 따라서, 납땜이 완료했을 때의 땜납(S)의 상태에 대응한 촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도를 소정 범위 내로 하는 것이 가능해진다. 그 후, 스텝 S13 이후의 처리를 행한다.When the degree of agreement between the photographed image and the reference image is not within the predetermined range (step S14: NO), the wedge plate
촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내일 경우(스텝 S14: 예)에는, 땜납 공급 제어부(88)가 땜납 공급부(22)를 제어해서 땜납(S)의 공급을 정지시키고, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)의 구동을 정지시킴으로써 LD 유닛(26)으로부터의 레이저광(LB)의 발진을 정지시킨다(스텝 S16). 그 후, 납땜이 종료된다(스텝 S17). 이 단계에서, 본 실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순이 종료된다.When the degree of coincidence between the picked-up image and the reference image is within a predetermined range (step S14: YES), the solder
본 실시형태에 따르면, 웨지 기판(42)에 있어서의 레이저광(LB)의 입사량을 제어하고 있으므로, 해당 웨지 기판(42)에서 분할된 2개의 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도비를 용이하게 변경할 수 있다. 이것에 의해, 종래 기술과 같이 복잡화된 전용품의 분할 수단을 이용할 필요가 없기 때문에, 레이저 납땜 시스템(10A)의 제조 비용의 앙등화를 억제할 수 있다.According to this embodiment, since the incident amount of the laser beam LB on the
또한, 본 실시형태에서는, 산출 강도비와 설정 강도비가 일치하도록, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시켜 피드백 제어를 하고 있으므로, 실제의 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 확실하게 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)에 의해 도전 접속부(300) 및 단자(305)를 승온(예열)시킬 수 있으므로, 접합 품질의 향상을 도모할 수 있다.In this embodiment, since the
본 실시형태에 있어서, 분할 레이저광(LB1)은 조사 광학계(46)에 의해 도전 접속부(300)에 조사되고, 분할 레이저광(LB2)은 조사 광학계(46)에 의해 단자(305)에 조사된다. 그 때문에, 예를 들어, 단자(305)의 열용량이 도전 접속부(300)의 열용량보다도 클 경우더라도, 해당 단자(305)와 해당 도전 접속부(300)의 온도차를 가능한 한 작게 할 수 있다.In the present embodiment, the split laser light LB1 is irradiated to the conductive connecting
바꿔 말하면, 도전 접속부(300)의 제1피납땜부의 온도와 단자(305)의 제2피납땜부의 온도를 거의 동일하게 할 수 있다. 이것에 의해, 용융된 땜납(S)이 도전 접속부(300)에 많이 흘러드는 것을 적절하게 방지할 수 있으므로, 해당 도전 접속부(300)와 단자(305)를 확실하게 접합시킬 수 있다.In other words, the temperature of the first soldered portion of the conductive connecting
본 실시형태에 따르면, 제1온도 측정부(58)에서 측정된 제1피납땜부의 온도와 제2온도 측정부(60)에서 측정된 제2피납땜부의 온도에 의거해서, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비를 산출하고, 해당 산출 온도비가 설정 온도비로 되도록 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시켜 피드백 제어하고 있으므로, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도관리를 확실하게 행할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to the present embodiment, the first soldered part is based on the temperature of the first soldered part measured by the first
또, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 카메라 유닛(52)에서 촬영하고, 해당 촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내로 되도록, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시켜 피드백 제어하고 있으므로, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.In addition, since the state of the solder S being soldered is photographed by the
(제1변형예)(First Modification)
다음에, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순의 제1변형예에 대해서 도 6을 참조하면서 설명한다. 본 변형예에서는, 도 3에 나타낸 순서도의 처리 내용과 마찬가지 처리 내용을 지니는 스텝에 대해서는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 후술하는 제2 내지 제5변형예에 있어서도 마찬가지이다.Next, a first modification of the soldering procedure using the
본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순에서는, 스텝 S21 내지 스텝 S26까지의 처리가 도 3의 스텝 S1 내지 스텝 S6까지의 처리와 동일하다. 즉, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)을 구동시켜 LD 유닛(26)으로부터 레이저광(LB)을 발진시키고(스텝 S21), 웨지기판 구동 제어부(82)가 작동기(44)에 제어 신호를 보내 웨지 기판(42)을 진행시킨다(스텝 S22). 그렇게 하면, 레이저광(LB)이 웨지 기판(42)에 의해서, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)으로 분할되고, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)이 셔터(48)에 조사된다.In the laser soldering procedure according to this modification, the processes from step S21 to step S26 are the same as the processes from step S1 to step S6 in FIG. 3. That is, the power
그리고, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도비를 산출하고(스텝 S23), 산출 강도비와 설정 강도비가 일치했는지의 여부를 판정하여(스텝 S24), 일치하고 있지 않을 경우에는, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동(스텝 S25) 해서 스텝 S23 이후의 처리를 행한다.Then, the intensity ratios of the divided laser beams LB1 and LB2 are calculated (step S23), and it is determined whether or not the calculated intensity ratio and the set intensity ratio match (step S24). The
한편, 산출 강도비와 설정 강도비가 일치한 경우에는, 셔터 제어부(84)는 셔터(48)를 개방시키고(스텝 S26), 땜납 공급 제어부(88)이 땜납 공급부(22)를 제어해서 땜납(S)의 공급을 행한다(스텝 S27). 셔터(48)가 개방되면, 분할 레이저광(LB1)이 제1피납땜부에 조사되는 동시에 분할 레이저광(LB2)이 제2피납땜부에 조사되게 된다(스텝 S28). 그리고, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)에 의해서 승온된 제1피납땜부와 제2피납땜부에 땜납(S)이 공급됨으로써, 납땜이 행해지는 것에 이른다.On the other hand, when the calculated intensity ratio and the set intensity ratio coincide, the
계속해서, 땜납 공급 제어부(88)가 땜납 공급부(22)를 제어해서 땜납(S)의 공급을 정지시키고, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)의 구동을 정지시킴으로써 LD 유닛(26)으로부터의 레이저광(LB)의 발진을 정지시킨다(스텝 S29). 그 후, 납땜이 종료된다(스텝 S30). 이 단계에서, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순이 종료된다.Subsequently, the solder
본 변형예에 따르면, 도 3의 수순과 비교해서, 전체의 스텝수가 삭감되는 만큼, 레이저 납땜의 제어를 간소화시킬 수 있다. 또한, 이와 같이 간소화된 경우더라도, 산출 강도비와 설정 강도비가 일치하도록, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시켜 피드백 제어하고 있으므로, 실제의 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 확실하게 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)에 의해 도전 접속부(300) 및 단자(305)를 승온시킬 수 있으므로, 접합 품질의 향상을 도모할 수 있다.According to this modification, the control of laser soldering can be simplified as much as the whole number of steps is reduced compared with the procedure of FIG. Moreover, even in this case, since the
(제2변형예)(Second modification)
다음에, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순의 제2변형예에 대해서 도 7을 참조하면서 설명한다. 또, 본 변형예에서는, 초기 상태에 있어서, 웨지 기판(42)은 레이저광(LB)의 일부가 입사가능한 위치에 배치되어 있다.Next, a second modification of the soldering procedure using the
도 7에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순에서는, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)을 구동시켜 LD 유닛(26)으로부터 레이저광(LB)을 발진시킨다(스텝 S41). 그렇다면, 레이저광(LB)이 웨지 기판(42)에 의해, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)으로 분할되고, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)이 셔터(48)에 조사된다.As shown in FIG. 7, in the laser soldering procedure which concerns on this modification, the power
계속해서, 셔터 제어부(84)가 셔터(48)를 개방시키고(스텝 S42), 땜납 공급 제어부(88)가 땜납 공급부(22)를 제어해서 땜납(S)의 공급을 행한다(스텝 S43). 셔터(48)가 개방되면, 분할 레이저광(LB1)이 제1피납땜부에 조사되는 동시에 분할 레이저광(LB2)이 제2피납땜부에 조사되게 된다(스텝 S44). 그렇게 하면, 제1피납땜부가 분할 레이저광(LB1)에 의해 승온되는 동시에 제2피납땜부가 분할 레이저광(LB2)에 의해 승온되어 땜납(S)이 용융된다.Subsequently, the
그리고, 온도비 산출부(76)는, 제1온도 측정부(58)에서 측정된 제1피납땜부의 온도와 제2온도 측정부(60)에서 측정된 제2피납땜부의 온도에 의거해서, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비를 산출한다(스텝 S45).And the temperature
그 후, 온도 판정부(78)는, 산출 온도비와 설정 온도비가 일치했는지의 여부를 판정하여(스텝 S46), 일치하고 있지 않을 경우에는, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동(스텝 S47)시켜 스텝 S45 이후의 처리를 행한다.Thereafter, the
한편, 산출 온도비와 설정 온도비가 일치한 경우에는, 땜납 공급 제어부(88)는 땜납(S)의 공급을 정지한다(스텝 S48).On the other hand, when the calculated temperature ratio and the set temperature ratio coincide, the solder
다음에, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)의 구동을 정지시킴으로써 LD 유닛(26)으로부터의 레이저광(LB)의 발진을 정지시킨다(스텝 S49). 그 후, 납땜이 종료된다(스텝 S50). 이 단계에서, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순이 종료된다.Next, the power
본 변형예에 따르면, 도 3의 수순과 비교해서, 전체의 스텝수가 삭감되는 만큼, 레이저 납땜의 제어를 간소화시킬 수 있다. 또한, 이와 같이 간소화된 경우더라도, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비를 산출하고, 그 산출 온도비가 설정 온도비로 되도록 웨지 기판(42)을 진퇴 구동시켜 피드백 제어하고 있으므로, 해당 제1피납땜부와 해당 제2피납땜부의 온도관리를 확실하게 행할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to this modification, the control of laser soldering can be simplified as much as the whole number of steps is reduced compared with the procedure of FIG. Further, even in this case, the temperature ratio of the first soldered portion and the second soldered portion is calculated, and the
그런데, 제1온도 측정부(58)와 제2온도 측정부(60)가, 예를 들어, 방사 온도계 등의 비접촉 온도계로 구성되어 있을 경우, 스텝 S45에 있어서, 제1피납땜부의 표면적인 온도와 제2피납땜부의 표면적인 온도에 의거해서 온도비가 산출되게 된다. 그렇게 하면, 제1피납땜부와 제2피납땜부에의 입열량이 실제로는 충분하지 않을 경우도 있을 수 있다.By the way, when the 1st
그 때문에, 본 변형예에 있어서, 스텝 S49에서는, 땜납(S)의 공급이 정지된(산출 온도비와 설정 온도비가 일치한) 직후에 레이저광(LB)의 발진을 정지시키는 것이 아니라, 서서히 또는 단계적으로 레이저광(LB)의 파워(출력)를 저하시키도록 해서 해당 레이저광(LB)을 정지시키는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써, 제1피납땜부와 제2피납땜부에 충분한 입열을 행할 수 있다. 바꿔 말하면, 제1피납땜부와 제2피납땜부에의 입열이 부족하게 되는 일은 없다.Therefore, in this modification, in step S49, the oscillation of the laser beam LB is not stopped immediately after the supply of the solder S is stopped (the output temperature ratio and the set temperature ratio coincide). It is preferable to stop the laser beam LB by lowering the power (output) of the laser beam LB in steps. By doing in this way, sufficient heat input can be performed in a 1st soldered part and a 2nd soldered part. In other words, heat input to the first soldered part and the second soldered part is not insufficient.
또, 스텝 S49에서는, 전술한 설정 온도 범위보다도 약간 높은 온도 역치를 미리 설정해두고, 제1피납땜부 및 제2피납땜부의 온도가 상기 온도 역치와 일치된 경우에, 레이저광(LB)의 발진을 정지시켜도 된다. 이 경우에도, 제1피납땜부와 제2피납땜부에 충분한 입열을 행하는 것이 가능하다.Further, in step S49, the temperature threshold slightly higher than the above-described set temperature range is set in advance, and the oscillation of the laser beam LB when the temperature of the first soldered portion and the second soldered portion coincides with the temperature threshold. May be stopped. Also in this case, sufficient heat input can be performed on the first soldered portion and the second soldered portion.
또한, 상기 온도 역치는, 제1피납땜부 및 제2피납땜부에의 입열량이 과도하게 되지 않는 정도의 값으로 설정하면 된다.The temperature threshold may be set to a value such that the amount of heat input to the first soldered portion and the second soldered portion does not become excessive.
(제3변형예)(Third Modification)
다음에, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순의 제3변형예에 대해서 도 8을 참조하면서 설명한다. 또, 본 변형예에서는, 초기 상태에 있어서, 웨지 기판(42)은, 레이저광(LB)의 일부가 입사가능한 위치에 배치되어 있다.Next, a third modification of the soldering procedure using the
도 8에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순에서는, 스텝 S61 내지 스텝 S64까지의 처리가 제2변형예의 스텝 S41 내지 스텝 S44까지의 처리와 완전히 동일하기 때문에, 그 설명을 생략한다.As shown in FIG. 8, in the laser soldering procedure according to the present modification, the processing from step S61 to step S64 is completely the same as the processing from step S41 to step S44 of the second modification, and thus description thereof is omitted.
그리고, 스텝 S64 후에, 카메라유닛 제어부(86)는 카메라 유닛(52)을 제어하고, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 촬영한다(스텝 S65). 다음에, 화상 판정부(80)는, 촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내인지의 여부를 판정하여(스텝 S66), 상기 일치 정도가 소정 범위 내가 아닐 경우에는, 웨지 기판(42)을 진퇴 구동(스텝 S67)시켜 스텝 S65 이후의 처리를 행한다.And after step S64, the camera
한편, 상기 일치 정도가 소정 범위 내일 경우에는, 땜납 공급 제어부(88)가 땜납 공급부(22)를 제어해서 땜납(S)의 공급을 정지시키고, 전원 제어부(66)가 LD 전원(12)의 구동을 정지시킴으로써 LD 유닛(26)으로부터의 레이저광(LB)의 발진을 정지시킨다(스텝 S68). 그 후, 납땜이 종료된다(스텝 S69). 이 단계에서, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순이 종료된다.On the other hand, when the matching degree is within a predetermined range, the solder
본 변형예에 따르면, 도 3의 형태와 비교해서, 전체의 스텝수가 삭감된 만큼, 레이저 납땜의 제어를 간소화시킬 수 있다. 또한, 이와 같이 간소화된 경우더라도, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 카메라 유닛(52)에서 촬영하고, 해당 촬영 화상과 기준 화상의 일치 정도가 소정 범위 내로 되도록, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 관리할 수 있다. 이것에 의해, 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to this modification, the control of laser soldering can be simplified as much as the whole step number is reduced compared with the aspect of FIG. Further, even in this simplified case, the state of the solder S being soldered is photographed by the
(제4변형예)(Fourth modification)
다음에, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순의 제4변형예에 대해서 도 9를 참조하면서 설명한다.Next, a fourth modification of the soldering procedure using the
도 9에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 따른 레이저 납땜 수순은, 도 6에 도시한 제1변형예의 순서와 도 7에 도시한 제2변형예의 순서를 조합시킨 순서로 되어 있다.As shown in FIG. 9, the laser soldering procedure which concerns on this modification is an order which combined the procedure of the 1st modification shown in FIG. 6, and the procedure of the 2nd modification shown in FIG.
구체적으로는, 도 6의 스텝 S21 내지 스텝 S28의 처리를 행한 후에, 도 7의 스텝 S45 내지 스텝 S50의 처리를 행한다. 각 스텝의 구체적인 내용은, 제1 및 제2변형예에서 설명했으므로, 그 설명을 생략한다.Specifically, after performing the process of step S21-step S28 of FIG. 6, the process of step S45-step S50 of FIG. 7 is performed. Since the specific content of each step was demonstrated by the 1st and 2nd modification, the description is abbreviate | omitted.
본 변형예에 따르면, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 확실하게 관리하는 동시에, 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도관리를 확실하게 행할 수 있으므로, 접합 품질의 향상을 도모하면서 관리된 재현성 양호한 접합이 가능해진다.According to this modification, the intensity ratio between the split laser light LB1 and the split laser light LB2 can be reliably managed, and the temperature management of the first and second solder parts can be reliably performed. It is possible to achieve satisfactory managed reproducibility while improving quality.
(제5변형예)(The fifth modification)
다음에, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)을 이용한 납땜 수순의 제5변형예에 대해서 도 10을 참조하면서 설명한다.Next, a fifth modification of the soldering procedure using the
도 10에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 관한 레이저 납땜 수순은, 도 6에 도시한 제1변형예의 순서와 도 8에 도시한 제3변형예의 순서를 조합시킨 형태로 되어 있다.As shown in FIG. 10, the laser soldering procedure which concerns on this modification is a form which combined the procedure of the 1st modification shown in FIG. 6, and the procedure of the 3rd modification shown in FIG.
구체적으로는, 도 6의 스텝 S21 내지 스텝 S28의 처리를 행한 후에, 도 8의 스텝 S65 내지 스텝 S69의 처리를 행한다. 각 스텝의 구체적인 내용은, 제1 및 제3변형예에서 설명했으므로, 그 설명을 생략한다.Specifically, after performing the processing of step S21 to step S28 of FIG. 6, the processing of step S65 to step S69 of FIG. 8 is performed. Since the specific content of each step was demonstrated by the 1st and 3rd modification, the description is abbreviate | omitted.
본 변형예에 따르면, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비를 확실하게 관리하는 동시에, 납땜 중인 땜납(S)의 상태를 관리할 수 있으므로, 접합 품질의 향상을 도모하면서 관리된 재현성이 양호한 접합이 가능해진다.According to this modification, it is possible to reliably manage the intensity ratio of the split laser light LB1 and the split laser light LB2 and to manage the state of the solder S being soldered, thereby improving the joining quality. It is possible to join with good managed reproducibility.
제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)은, 상기 구성 내지 수순으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 온도비의 산출에 의한 제어(도 9의 스텝 S45 내지 스텝 S47)와 화상제어(도 10의 스텝 S65 내지 스텝 S67)를 동시 병행해서 행하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 온도비 또는 화상 중 어느 한쪽이 일치한 것에 의해 상태의 관리를 행할 수 있다.The
또, 전원 제어부(66)는, 분할 레이저광(LB1)의 강도와 분할 레이저광(LB2)의 강도, 또는 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도비에 의거해서, LD 전원(12)의 구동 전류값을 증감시킴으로써, LD 유닛(26)으로부터 발진되는 레이저광(LB)(각 분할 레이저광(LB1), (LB2))의 출력을 변경해도 된다.In addition, the power
이렇게 함에 따라서, 분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 강도비뿐만 아니라, 레이저광(LB)의 에너지량(분할 레이저광(LB1)과 분할 레이저광(LB2)의 총 에너지량)을 용이하게 변경하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도를 설정 강도값으로 용이하게 조정하는 것이 가능해진다. 따라서, 접합 품질의 더 한층의 향상을 도모할 수 있다.By doing so, not only the intensity ratio of the split laser light LB1 and the split laser light LB2, but also the amount of energy of the laser light LB (total amount of energy of the split laser light LB1 and the split laser light LB2). It can be easily changed. This makes it possible to easily adjust the intensities of the divided laser lights LB1 and LB2 to the set intensity values. Therefore, further improvement of joining quality can be aimed at.
이 경우, 전원 제어부(66)는, 예를 들어, 제1피납땜부의 온도(제1온도 측정부(58)에 의해 측정된 온도)와 제2피납땜부의 온도(제2온도 측정부(60)에 의해 측정된 온도), 또는 제1피납땜부와 제2피납땜부의 온도비에 의거해서 상기 레이저광(LB)의 출력을 변경해도 되고, 카메라 유닛(52)의 촬영 화상에 의거해서 상기 레이저광(LB)의 출력을 변경해도 된다.In this case, the power
(제2실시형태)(Second Embodiment)
다음에, 본 발명의 제2실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10B)에 대해서 도 11 및 도 12를 참조하면서 설명한다. 또, 제2실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10B)에 있어서, 제1실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10A)과 동일 또는 마찬가지 기능 및 효과를 발휘하는 요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다. 한편, 후술하는 제3 및 제4실시형태에 있어서도 마찬가지이다.Next, a
도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 가공 대상물(W)은, 인쇄 배선판(306) 상에 인쇄된 구리 패턴(제1가공 대상물)(308)과, 해당 구리 패턴(308)에 실장되는 전자부품(제2가공 대상물)(310)을 구비한다. 전자부품(310)은, 예를 들어, 직방체 형상의 칩 컨덴서로서 구성되어 있고, 그 중앙부분을 구성하는 컨덴서 본체(312)와, 각 단부를 구성하는 단자 전극(314)을 포함한다. 본 실시형태에서는, 구리 패턴(308)과 단자 전극(314)이 납땜에 의해 접합된다.As shown to FIG. 11 and FIG. 12, the process object W of this embodiment is carried out to the copper pattern (1st process object) 308 printed on the printed
본 실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10B)에서는, 콜리메이트 렌즈(40)와 웨지 기판(42) 사이의 레이저광(LB)의 광로 상에, 해당 레이저광(LB)의 스팟 형상을 거의 타원형상으로 하기 위한 렌즈(스팟형상 변형수단)(90)와, 해당 렌즈(90)를 투과한 레이저광(LB)을 평행화하는 콜리메이트 렌즈(92)가 설치되어 있다.In the
이와 같이 구성된 레이저 납땜 시스템(10B)에 따르면, 레이저광(LB)의 스팟 형상을 렌즈(90)에 의해서 대략 타원형상으로 하고 있으므로, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 스팟 형상에 대해서도 거의 타원 형상으로 할 수 있다(도 12 참조). 이것에 의해, 칩 컨덴서와 같이, 평면에서 보아서 대략 직사각형상의 단자 전극(314)을 구리 패턴(308)에 납땜하는 것과 같을 경우더라도, 해당 단자 전극(314)과 구리 패턴(308)을 적절하게 승온시킬 수 있다.According to the
(제3실시형태)(Third Embodiment)
다음에, 본 발명의 제3실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10C)에 대해서 도 13 내지 도 15를 참조하면서 설명한다.Next, a laser soldering system 10C according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 to 15.
도 13 및 도 15에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 가공 대상물(W)은, 인쇄 배선판(306) 상에 인쇄된 구리 패턴(제1가공 대상물)(308)과, 해당 구리 패턴(308)에 실장(관통 구멍 실장)되는 전자부품(제2가공 대상물)(316)을 구비한다. 인쇄 배선판(306)에는, 관통 구멍(318)이 형성되어 있고, 해당 관통 구멍(318)의 주변에 원환 형상의 구리 패턴(308)이 배치되어 있다.As shown to FIG. 13 and FIG. 15, the process target object W of this embodiment is carried out to the copper pattern (1st process target object) 308 printed on the printed
전자부품(316)은, 예를 들어, 전해 컨덴서로서 구성되어 있고, 원주 형상의 컨덴서 본체(320)와, 해당 컨덴서 본체(320)의 단부로부터 돌출해서 인쇄 배선판(306)의 관통 구멍(318)에 삽입 통과되는 단자(322)를 포함한다.The
도 13 및 도 14에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 레이저 납땜 시스템(10C)에서는, 제1실시형태의 웨지 기판(42) 대신에 복수개(3개)의 웨지 기판(100a) 내지 (100c)이 설치되어 있다. 이들 웨지 기판(100a) 내지 (100c)은, 레이저광(LB)의 광축에 따른 방향의 위치를 일치시킨 상태에서, 해당 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 배치되어 있다. 즉, 이들 웨지 기판(100a) 내지 (100c)은, 레이저광(LB)의 광축의 주변에 서로 120°씩 위상이 어긋나 있다. 한편, 상기 웨지 기판(100a) 내지 (100c)은, 레이저광(LB)의 광축을 따라서 서로 오프셋(offset)되어 있어도 무방하다.As shown in FIG. 13 and FIG. 14, in the laser soldering system 10C of the present embodiment, a plurality of (three)
각 웨지 기판(100a) 내지 (100c)에는, 해당 웨지 기판(100a) 내지 (100c)을 레이저광(LB)에 대해서 진퇴시키는 작동기(102a) 내지 (102c)가 설치된다. 그리고, 웨지기판 구동 제어부(82)는, 각 작동기(102a) 내지 (102c)에 제어 신호를 보내고, 이들 웨지 기판(100a) 내지 (100c)을 레이저광(LB)에 대해서 진퇴 구동시킨다.The
이와 같이 해서 구성되는 레이저 납땜 시스템(10C)에서는, 레이저광(LB)은, 각 웨지 기판(100a) 내지 (100c)의 투과광(분할 레이저광(LB1) 내지 (LB3))과, 이들 웨지 기판(100a) 내지 (100c)을 투과하지 않는 광(분할 레이저광(LB4))으로 분할된다. 즉, 레이저광(LB)은 4개의 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB4)으로 분할되게 된다.In the laser soldering system 10C configured as described above, the laser beam LB is transmitted light (split laser beams LB1 to LB3) of each of the
그리고, 분할 레이저광(LB4)은 단자(322)의 단면에 조사되고, 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB3)은 분할 레이저광(LB4)의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간된 상태로 구리 패턴(308)에 조사되게 된다.The split laser light LB4 is irradiated onto the end face of the terminal 322, and the split laser lights LB1 to LB3 are spaced apart at regular intervals along the optical axis of the split laser light LB4. 308 is irradiated.
이것에 의해, 원환 형상의 구리 패턴(308)을 거의 균등한 온도로 승온시킬 수 있다. 따라서, 단자(322)의 전체 둘레에 걸쳐서 납땜을 행할 경우더라도, 땜납(S)을 해당 단자(322)의 전체 둘레에 균일하게 공급할 수 있다. 따라서, 단자(322)와 구리 패턴(308)를 확실하게 접합시킬 수 있다.Thereby, the
본 실시형태에 따르면, 웨지 기판(100a) 내지 (100c)을 레이저광(LB)의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 배치하고 있으므로, 단자(322)에 조사되는 분할 레이저광(LB4)의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 복수의 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB3)을 구리 패턴(308)에 용이하게 조사할 수 있다.According to the present embodiment, since the
(제4실시형태)(Fourth Embodiment)
다음에, 본 발명의 제4실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10D)에 대해서 도 16 및 도 17을 참조하면서 설명한다.Next, a
도 16 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 가공 대상물(W)은, 인쇄 배선판(306) 상에 인쇄된 복수개(예를 들어, 3개)의 구리 패턴(308a) 내지 (308c)과, 해당 구리 패턴(308a) 내지 (308c)에 실장(관통 구멍 실장)되는 전자부품(324)를 지닌다. 인쇄 배선판(306)에는, 3개의 관통 구멍(318a) 내지 (318c)이 형성되어 있고, 각 관통 구멍(318a) 내지 (318c)의 주변에 원환 형상의 상기 구리 패턴(308a) 내지 (308c)이 배치되어 있다.As shown in FIG. 16 and FIG. 17, the object to be processed W of the present embodiment includes a plurality of (for example, three)
전자부품(324)은, 예를 들어, 트랜지스터로서 구성되어 있고, 직방체 형상의 트랜지스터 본체(326)와, 트랜지스터 본체(326)로부터 돌출해서 인쇄 배선판(306)의 각 관통 구멍(318a) 내지 (318c)에 삽입 통과되는 3개의 단자(328a) 내지 (328c)를 포함한다.The
즉, 본 실시형태에 따른 가공 대상물(W)은, 단자(328a)와 구리 패턴(308a)으로 구성되는 피접합부(330a)와, 단자(328b)와 구리 패턴(308b)으로 구성되는 피접합부(330b)와, 단자(328c)와 구리 패턴(308c)으로 구성되는 피접합부(330c)를 지닌다.That is, the object to be processed W according to the present embodiment includes a to-
본 실시형태에 따른 레이저 납땜 시스템(10D)은, 웨지 기판(110)과, 해당 웨지 기판(110)을 구동시키는 작동기(112)와, 2개의 땜납 공급부(114), (116)를 더 포함한다.The
웨지 기판(110)은, 콜리메이트 렌즈(40)와 웨지 기판(42) 사이에 있어서, 레이저광(LB)의 광축 둘레를 따라서 웨지 기판(42)에 대해서 180°위상을 어긋나게 해서 배치되어 있다. 한편, 웨지 기판(110)은, 레이저광(LB)의 광축에 따른 방향의 위치를 웨지 기판(42)에 일치시켜도 무방하다.The
웨지기판 구동 제어부(82)는, 작동기(112)에 제어 신호를 보내고, 웨지 기판(110)을 레이저광(LB)에 대해서 진퇴 구동시킨다.The wedge plate
이와 같이 해서 구성되는 레이저 납땜 시스템(10D)에서는, 레이저광(LB)은, 각 웨지 기판(42), (110)의 투과광(분할 레이저광(LB1), (LB2))과, 이들 웨지 기판(42), (110)을 투과하지 않는 광(분할 레이저광(LB3))으로 분할된다. 즉, 레이저광(LB)은 3개의 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB3)으로 분할되게 된다.In the
그리고, 각 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB3)은, 각 피접합부(330a) 내지 (330c)에 조사된다. 그 때문에, 3개의 피접합부(330a) 내지(330c)를 효율적으로(동시에) 승온시켜 납땜을 행할 수 있다. 따라서, 납땜 공정의 공정수를 대폭 저감시키는 것이 가능해진다.The divided laser beams LB1 to LB3 are irradiated to the portions to be joined 330a to 330c. Therefore, the three to-
본 발명은 전술한 실시형태로 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하는 일 없이, 각종 구성을 채용할 수 있는 것은 당연히 가능하다. 예를 들어, 가공 대상물(W)은, 전술한 구성으로 한정되는 것은 아니고 임의로 변경이 가능하다.This invention is not limited to embodiment mentioned above, It is naturally possible that various structures can be employ | adopted without deviating from the summary of this invention. For example, the processing object W is not limited to the above-mentioned structure, and can be changed arbitrarily.
또한, 전송용 광섬유(32)의 코어의 단면형상은 사각형 형상(직사각형상 또는 정사각형상)으로 형성되어 있어도 된다. 즉, 전송용 광섬유(32)는 사각형 코어 섬유(스팟형상 변형수단)로서 구성되어 있어도 된다.In addition, the cross-sectional shape of the core of the
이렇게 함으로써, 피크 강도가 낮고 또한 평면인 강도분포(탑 햇(top hat) 형상의 강도분포)를 지니는 레이저광(LB)을 얻는 것이 가능하다. 즉, 각 분할 레이저광(LB1) 내지 (LB4)의 강도분포를 탑 햇 형상의 강도분포로 할 수 있다.By doing so, it is possible to obtain a laser beam LB having a low peak intensity and a planar intensity distribution (top hat shape intensity distribution). That is, the intensity distribution of each of the divided laser lights LB1 to LB4 can be a top hat-shaped intensity distribution.
그런데, 일반적으로, 가우스 분포 형태의 강도 분포를 지니는 레이저광을 이용해서 수지제의 인쇄 배선판에 전자부품(단자)을 납땜할 경우, 해당 레이저광의 중심부분(광축부분)의 피크 강도가 높기 때문에, 레이저 스팟의 중심부분의 입열량이 과도하게 되는 일이 있다. 그렇게 되면, 상기 인쇄 배선판에 손상을 주어서 해당 인쇄 배선판으로부터 해당 전자부품이 벗겨지는 일이 있다.By the way, in general, when soldering an electronic component (terminal) to a resin printed wiring board using a laser beam having a intensity distribution in the form of a Gaussian distribution, since the peak intensity of the central portion (optical axis portion) of the laser beam is high, The amount of heat input at the center portion of the laser spot may be excessive. In this case, the printed wiring board may be damaged, and the electronic component may be peeled off from the printed wiring board.
그러나, 상기와 같은 사각형 코어 섬유를 전송용 광섬유로서 이용하면, 각 분할 레이저광(LB1), (LB2)의 강도분포가 탑 햇 형상의 강도분포로 되므로, 상기 인쇄 배선판에 손상을 주는 일이 없어지기 때문에, 해당 인쇄 배선판으로부터 전자부품이 벗겨지는 것을 적절하게 방지할 수 있다.However, when the rectangular core fiber as described above is used as a transmission optical fiber, the intensity distribution of each of the divided laser lights LB1 and LB2 becomes a top hat shape, so that the printed wiring board is not damaged. Since it loses, the peeling of an electronic component from the said printed wiring board can be prevented suitably.
또한, 사각형 코어 섬유를 구성하는 코어를 직사각형상 단면으로 형성하면, 레이저 스팟 형상에 대해서도 단면을 직사각형상으로 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어, 도 12에 나타낸 바와 같이, 구리 패턴(308)과 전자부품(칩 컨덴서)(310)의 단자 전극(314)을 납땜할 경우더라도, 분할 레이저광(LB1)의 스팟 형상을 해당 구리 패턴(308)의 형상에 일치시키는 동시에, 분할 레이저광(LB2)의 스팟 형상을 해당 단자 전극(314)의 형상에 일치시킬 수 있으므로, 해당 구리 패턴(308)과 해당 단자 전극(314)를 적절하게 승온시킬 수 있다.In addition, when the core constituting the square core fibers is formed in a rectangular cross section, the cross section can also be rectangular in the laser spot shape. As a result, for example, as shown in FIG. 12, even when the
이 경우, 레이저 스팟의 장변과 단변의 비율은, 장변:단변=2:1 정도가 한계로 된다. 해당 레이저 스팟의 장변의 비율을 더 크게 하고자 할 경우(세장(細長) 형상의 레이저 스팟 형상을 얻고자 할 경우)에는, 예를 들어, 타원광학계(렌즈(90))를 지니는 출사 유닛(18)과 상기 사각형 코어 섬유를 조합시킴으로써 용이하게 실현할 수 있다.In this case, the ratio of the long side to the short side of the laser spot is limited to the long side: short side = 2: 1. When the ratio of the long side of the laser spot is to be made larger (to obtain a laser spot shape having an elongated shape), for example, an
본 발명에 따른 레이저 납땜 시스템(10A) 내지 (10D)에 있어서, LD 유닛(26)이 복수개 설치되는 동시에, 각 LD 유닛(26)으로부터 뻗는 취득용 광섬유(28)를 번들 섬유로서 구성해도 된다.In the
이와 같이 함으로써, 각 LD 유닛(26)으로부터 발진된 레이저광(LB)을 상기 번들 섬유로 합칠 수 있다. 이것에 의해, 한층 고출력의 레이저광(LB)을 가공(납땜)에 이용할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 최대출력이 25W인 LD 유닛(26)을 7개 설치함으로써, 175W의 고출력의 레이저광(LB)을 얻을 수 있다.By doing in this way, the laser beam LB oscillated from each
또한, 본 발명에 따른 레이저 납땜 시스템(10A) 내지 (10D)에 있어서, 취득용 광섬유(28)는 출사 유닛(18)에 직접 접속되어 있어도 무방하다. 이와 같이 함으로써, 입사부(30)와 전송용 광섬유(32)의 구성을 생략할 수 있으므로, 레이저 납땜 시스템(10A) 내지 (10D)의 구성을 간소화할 수 있다.In addition, in the
10A 내지 10D: 레이저 납땜 시스템 14: 레이저 발진기
42, 100a 내지 100c, 110: 웨지 기판
46: 조사 광학계
50: 레이저 강도 측정부(강도 취득수단)
52: 카메라 유닛(촬영 수단) 58: 제1온도 측정부
60: 제2온도 측정부 82: 웨지기판 구동 제어부
90: 렌즈(스팟형상 변형수단) LB: 레이저광
LB1 내지 LB4: 분할 레이저광 W: 가공 대상물10A to 10D: Laser Soldering System 14: Laser Oscillator
42, 100a to 100c, 110: wedge substrate
46: irradiation optical system
50: laser intensity measuring unit (intensity acquisition means)
52: camera unit (shooting means) 58: first temperature measuring unit
60: second temperature measuring unit 82: wedge plate driving control unit
90: lens (spot shape deforming means) LB: laser light
LB1 to LB4: Split laser light W: Processed object
Claims (10)
상기 레이저광을 복수의 분할 레이저광으로 분할하는 웨지(wedge) 기판;
상기 웨지 기판을 상기 레이저광에 대해서 진퇴 구동시켜 해당 웨지 기판에 있어서의 해당 레이저광의 입사량을 제어하는 웨지기판 구동 제어부; 및
상기 각 분할 레이저광의 강도를 취득하는 강도 취득수단을 포함하되,
상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 강도 취득수단에서 취득된 상기 각 분할 레이저광의 강도에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.In the laser soldering system which irradiates the laser beam oscillated from the laser oscillator to a process object, and performs soldering,
A wedge substrate for dividing the laser light into a plurality of divided laser lights;
A wedge substrate driving control unit for driving the wedge substrate forward and backward with respect to the laser beam to control an incident amount of the laser beam on the wedge substrate; And
And intensity acquisition means for acquiring the intensity of each of the divided laser beams,
And the wedge plate driving control unit drives the wedge substrate to advance and retreat based on the intensity of each of the divided laser beams obtained by the intensity acquisition means.
상기 각 레이저광을 상기 제1가공 대상물과 상기 제2가공 대상물의 각각에 조사하는 조사 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.The said object to be processed includes a 1st object to be processed and a 2nd object to be processed, The process object of Claim 1 or 2,
And an irradiation optical system for irradiating each of the laser beams onto the first and second processing objects.
상기 분할 레이저광이 조사된 상기 제1가공 대상물의 온도를 취득하는 제1온도 취득수단과,
상기 분할 레이저광이 조사된 상기 제2가공 대상물의 온도를 취득하는 제2온도 취득수단을 더 포함하되,
상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 제1온도 취득수단에서 취득된 온도와 상기 제2온도 취득수단에서 취득된 온도에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.The method of claim 3,
First temperature acquiring means for acquiring a temperature of the first object to be irradiated with the split laser light;
A second temperature acquiring means for acquiring a temperature of the second object to which the split laser light is irradiated;
And the wedge plate driving control unit drives the wedge substrate to advance and retreat on the basis of the temperature acquired by the first temperature acquisition means and the temperature acquired by the second temperature acquisition means.
상기 웨지기판 구동 제어부는, 상기 촬영 수단에서 촬영된 정보에 의거해서 상기 웨지 기판을 진퇴 구동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.The method according to claim 3 or 4, further comprising photographing means for photographing the state of the solder being soldered,
And the wedge plate driving control unit drives the wedge substrate to advance and retreat on the basis of the information photographed by the photographing means.
상기 웨지 기판은 복수개 설치되며,
상기 조사 광학계는, 상기 제2가공 대상물에 조사되는 분할 레이저광의 광축 둘레를 따라서 등간격으로 이간되도록 복수의 상기 분할 레이저광을 상기 제1가공 대상물에 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.The said 1st process object is arrange | positioned around the said 2nd process object, The said 1st process object,
The wedge substrate is provided in plurality,
And said irradiating optical system irradiates said first processing object with a plurality of said split laser beams so as to be spaced at equal intervals along the optical axis circumference of the split laser light irradiated to said second processing object.
상기 각 분할 레이저광을 상기 복수의 피접합부의 각각에 조사하는 조사 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 납땜 시스템.The method of claim 1, wherein the object to be processed has a plurality of parts to be joined,
And an irradiation optical system for irradiating the divided laser beams onto each of the plurality of joined portions.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3610976A1 (en) * | 2018-08-16 | 2020-02-19 | Delta Electronics, Inc. | System and method of multi-beam soldering |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6285154B2 (en) * | 2013-11-14 | 2018-02-28 | 株式会社アマダミヤチ | Laser welding method and laser welding system |
DE102013114453A1 (en) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Pac Tech-Packaging Technologies Gmbh | Device for isolated application of solder material depots |
CN104191091B (en) * | 2014-08-27 | 2015-11-11 | 武汉凌云光电科技有限责任公司 | Flexible PCB stacking-type laser soldering device and method |
JP6420994B2 (en) * | 2014-08-28 | 2018-11-07 | プライムアースEvエナジー株式会社 | Laser welding method |
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CN105458434B (en) * | 2015-12-04 | 2018-08-03 | 王伟 | A kind of lead welding procedure for semiconductor power device encapsulation |
CN105499829B (en) * | 2015-12-04 | 2018-06-01 | 王伟 | A kind of lead welding filler metal encapsulated for semiconductor power device and its preparation method and application |
CN105458435B (en) * | 2015-12-04 | 2018-06-01 | 王伟 | A kind of lead bonding device and technique for semiconductor power device encapsulation |
JP6902778B2 (en) * | 2017-04-18 | 2021-07-14 | 株式会社ジャパンユニックス | Laser soldering method and laser soldering equipment |
JP7255837B2 (en) * | 2018-09-10 | 2023-04-11 | オー・エム・シー株式会社 | Laser soldering method and equipment |
JP7296629B2 (en) * | 2019-09-13 | 2023-06-23 | 株式会社ジャパンユニックス | soldering head |
JP7473216B2 (en) | 2021-03-12 | 2024-04-23 | マイクロエッヂプロセス株式会社 | Laser Soldering Equipment |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3610976A1 (en) * | 2018-08-16 | 2020-02-19 | Delta Electronics, Inc. | System and method of multi-beam soldering |
Also Published As
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |