JP2006064885A - Optical module and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a coupling characteristic of an optical element inside an optical module by means of an assembling device as simple as possible. <P>SOLUTION: In the optical module, a plurality of optical elements mounted on a carrier are optically coupled and incorporated into one package. The module is provided with lenses 3a, 3b that optically couple each optical element fixed on the optical axis and a lens holder 9 that is fixedly welded to the carrier 6 while holding the lenses 3a, 3b. The lens holder 9 is connected with a bar 10 drawn in the optical axis direction, for the purpose of finely adjusting the angle of the optical axis of the lenses 3a, 3b relative to the optical axis on a plane formed by the optical axis (X axis) and an axis (Z axis) that is orthogonal to the optical axis and vertical to the carrier. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光モジュールおよびその製造方法に関し、より詳細には、光通信分野、計測分野に用いられる高速信号処理用のレーザダイオード（ＬＤ）、フォトダイオード（ＰＤ）、光変調器、光増幅器などの複数の光素子を、１つのパッケージ内に組込んで光素子間の光学結合を最適化する光モジュールおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical module and a method of manufacturing the same, and more specifically, a laser diode (LD), a photodiode (PD), an optical modulator, an optical amplifier, etc. for high-speed signal processing used in the fields of optical communication and measurement. The present invention relates to an optical module that incorporates a plurality of optical elements in a single package and optimizes optical coupling between the optical elements, and a method for manufacturing the same.

従来、複数の光素子を光学的に結合して、１つのパッケージ内に組込んだハイブリッド光モジュールが製作されている。ハイブリッド光モジュールは、複数の光素子を搭載することにより、様々な機能を統合した光モジュールである。図１に、従来のハイブリッド光モジュールの構成を示す。ハイブリッド光モジュールは、パッケージ８内部に、光素子を搭載するキャリヤ６を有し、ファイバ結合用セルフォックレンズ７により光ファイバと接続される。キャリヤ６には、ＬＤ素子１、コリメートレンズ３ａ、光アイソレータ４、補正用レンズ５、コリメートレンズ３ｂおよびＬＮ（リチウムナイオベート）光変調器素子２が、光軸上に配置されている（例えば、非特許文献１参照）。   Conventionally, a hybrid optical module in which a plurality of optical elements are optically coupled into one package has been manufactured. The hybrid optical module is an optical module in which various functions are integrated by mounting a plurality of optical elements. FIG. 1 shows a configuration of a conventional hybrid optical module. The hybrid optical module has a carrier 6 on which an optical element is mounted inside a package 8 and is connected to an optical fiber by a fiber coupling selfoc lens 7. In the carrier 6, an LD element 1, a collimating lens 3a, an optical isolator 4, a correction lens 5, a collimating lens 3b, and an LN (lithium niobate) optical modulator element 2 are arranged on the optical axis (for example, Non-patent document 1).

図２に、ハイブリッド光モジュールの光学系の詳細を示し、ハイブリッド光モジュールの組み立て方法を説明する。最初に、ＬＤ素子１とＬＮ変調器素子２とを、金スズ等のハンダまたは導電性ペーストにより、それぞれキャリヤ６に固定する。次に、コリメートレンズ３ａ，３ｂを対向させ、レンズ間に光アイソレータ４を挿入し、ＸＹＺの３軸調心により光軸を合わせ、ＹＡＧレーザで溶接固定する。その後、キャリヤ６をパッケージ８内に固定した上で、ファイバ結合用セルフォックレンズ７および光ファイバをパッケージ８に固定して完成させる。この光ファイバを固定する工程は、通常の光モジュールと同様である。   FIG. 2 shows details of the optical system of the hybrid optical module, and a method for assembling the hybrid optical module will be described. First, the LD element 1 and the LN modulator element 2 are fixed to the carrier 6 by solder such as gold tin or conductive paste, respectively. Next, the collimating lenses 3a and 3b are opposed to each other, the optical isolator 4 is inserted between the lenses, the optical axes are aligned by XYZ triaxial alignment, and are fixed by welding with a YAG laser. Thereafter, the carrier 6 is fixed in the package 8, and then the fiber coupling selfoc lens 7 and the optical fiber are fixed to the package 8 to complete. The process of fixing this optical fiber is the same as that of a normal optical module.

ここで、コリメートレンズ３ａ，３ｂをキャリヤ６に固定する際に、位置変動が発生するため、光軸がずれて結合効率の低下が起こる場合がある。例えば、ＰＤのようにトレランスの緩い光素子の場合は、光軸のずれによる結合効率の劣化は少ない。しかし、ＬＤ、光変調器、半導体光増幅器などのトレランスが小さい光素子の場合は、光軸のずれを補正する補正手段が必要となる。   Here, when the collimating lenses 3 a and 3 b are fixed to the carrier 6, position fluctuations occur, so that the optical axis may shift and the coupling efficiency may decrease. For example, in the case of an optical element with a low tolerance such as a PD, there is little deterioration in the coupling efficiency due to an optical axis shift. However, in the case of an optical element with a small tolerance such as an LD, an optical modulator, or a semiconductor optical amplifier, a correction means for correcting the optical axis shift is necessary.

そこで、コリメートレンズ３ａ，３ｂ間に挿入する光アイソレータ４に補正用レンズ５を付加する。補正用レンズ５は、光軸トレランスの緩和、位置ずれの補償を行う。従来の製造手順では、コリメートレンズ３ａ，３ｂを固定する際に、補正用レンズ５で集束されることを考慮して、コリメートレンズ３ａ，３ｂを発散気味に合わせて固定する。その後、一体化された光アイソレータ４と補正用レンズ５とを固定する際に、位置や角度を微調して、コリメートレンズ３ａ，３ｂの光軸ずれを補償する。   Therefore, a correction lens 5 is added to the optical isolator 4 inserted between the collimating lenses 3a and 3b. The correction lens 5 relaxes the optical axis tolerance and compensates for positional deviation. In the conventional manufacturing procedure, when the collimating lenses 3a and 3b are fixed, the collimating lenses 3a and 3b are fixed in accordance with the divergence in consideration of being focused by the correction lens 5. Thereafter, when the integrated optical isolator 4 and the correction lens 5 are fixed, the position and angle are finely adjusted to compensate for the optical axis shift of the collimating lenses 3a and 3b.

K.Anderson, ″Design and manufacturability issues of a co-packaged DFB/MZ module″, 1999 Electronic Components and Technology Conference, pp.197-200K. Anderson, ″ Design and manufacturability issues of a co-packaged DFB / MZ module ″, 1999 Electronic Components and Technology Conference, pp.197-200

しかしながら、従来の製造手順では、コリメートレンズ３ａ，３ｂの位置合せが、角度調整を含む特殊な工程となるため、専用の製造設備が必要になる。調心装置は、レンズについてＸＹＺ−３軸の調整を２カ所で行い、アイソレータについてＸＹＺαθの最大５軸の調整を行うので、計１１軸の制御が必要となる。このような調心装置は、装置が高価になる上、調整に時間がかかる。また、レンズの部材費が増加するという問題もあった。   However, in the conventional manufacturing procedure, the alignment of the collimating lenses 3a and 3b is a special process including angle adjustment, so that dedicated manufacturing equipment is required. The aligning device adjusts the XYZ-3 axes at two positions for the lens and adjusts up to five axes of XYZαθ for the isolator, so a total of 11 axes need to be controlled. Such a aligning device is expensive and takes time to adjust. In addition, there is a problem that the cost of lens components increases.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光モジュー内部の光素子の結合特性を極力簡単な組立装置で改善する光モジュールおよびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an optical module that improves the coupling characteristics of the optical elements inside the optical module with a simple assembling apparatus as much as possible, and a method for manufacturing the same. There is.

本発明は、このような目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、キャリヤに搭載された複数の光素子を光学的に結合して、１つのパッケージ内に組込んだ光モジュールであって、光軸上に固定された各々の前記光素子を光学的に結合するレンズと、該レンズを保持して前記キャリヤに溶接固定されるレンズホルダとを備え、該レンズホルダは、前記光軸（Ｘ軸）および前記光軸と直行し前記キャリヤの鉛直方向の軸（Ｚ軸）がなす平面における前記光軸に対する前記レンズの光軸の角度を微調するために、前記光軸方向に延伸されたバーが接合されていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention according to claim 1 is an optical module in which a plurality of optical elements mounted on a carrier are optically coupled into a single package. A lens that optically couples each of the optical elements fixed on an optical axis, and a lens holder that holds the lens and is fixed to the carrier by welding. In order to finely adjust the angle of the optical axis of the lens with respect to the optical axis in a plane formed by an optical axis (X axis) and a vertical axis (Z axis) of the carrier perpendicular to the optical axis, It is characterized in that stretched bars are joined.

この構成によれば、レンズホルダに接合されたバーにより、Ｘ−Ｚ面におけるＸ軸に対するレンズの光軸の角度を微調することができるので、光素子の結合特性を極力簡単な組立装置で改善することができる。   According to this configuration, the angle of the optical axis of the lens with respect to the X axis in the XZ plane can be finely adjusted by the bar bonded to the lens holder, so that the coupling characteristics of the optical elements are improved with a simple assembling apparatus as much as possible. can do.

請求項２に記載の発明は、キャリヤに搭載された複数の光素子を光学的に結合して、１つのパッケージ内に組込んだ光モジュールの製造方法において、光軸上に固定された各々の前記光素子を光学的に結合するレンズを保持するレンズホルダを、３軸調心により前記光軸に合わせて、前記キャリヤに溶接固定する第１工程と、前記光軸方向に延伸され前記レンズホルダに接合されたバーを微動することにより、前記光軸（Ｘ軸）および前記光軸と直行し前記キャリヤの鉛直方向の軸（Ｚ軸）がなす平面における前記光軸に対する前記レンズの光軸の角度を微調する第２工程とを備えたことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical module in which a plurality of optical elements mounted on a carrier are optically coupled and incorporated in a single package. A lens holder holding a lens for optically coupling the optical element, a first step of welding and fixing to the carrier in alignment with the optical axis by triaxial alignment, and the lens holder extended in the optical axis direction The optical axis of the lens with respect to the optical axis in the plane formed by the optical axis (X axis) and the vertical axis (Z axis) of the carrier perpendicular to the optical axis (Z axis) is finely moved. And a second step of finely adjusting the angle.

この方法によれば、ＸＹＺ−３軸調心により光軸を合わせた後、レンズホルダに接合されたバーにより、Ｘ−Ｚ面におけるＸ軸に対するレンズの光軸の角度を微調することができるので、光素子の結合特性を極力簡単な組立装置で改善することができる。   According to this method, after the optical axes are aligned by XYZ-3 axis alignment, the angle of the optical axis of the lens with respect to the X axis on the XZ plane can be finely adjusted by the bar joined to the lens holder. The coupling characteristics of the optical elements can be improved with a simple assembling apparatus as much as possible.

以上説明したように、本発明によれば、ハイブリッド型光モジュールの結合効率を改善することが可能である。特に、試作品や特注品など少量多品種で高性能を要求される光モジュールの生産には有効である。   As described above, according to the present invention, the coupling efficiency of the hybrid optical module can be improved. In particular, it is effective for the production of optical modules that require high performance in a small variety of products such as prototypes and custom products.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
図３に、本発明の一実施形態にかかるハイブリッド光モジュールのレンズ保持部を示す。コリメートレンズ３は、レンズ成型時にはめ込んだレンズ金枠９とレンズ固定具１２とからなるレンズホルダを介して、キャリヤ６に固定される。レンズ金枠９は、凸字形の金属枠で形成されており、頂部にはあらかじめ調整用バー１０がＹＡＧレーザで溶接固定されている。また、レンズ金枠９の凸字形の金属枠の上半分は、調心装置のクランプ１１により挟持される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 3 shows a lens holding portion of a hybrid optical module according to an embodiment of the present invention. The collimating lens 3 is fixed to the carrier 6 via a lens holder made up of a lens metal frame 9 and a lens fixing tool 12 that are fitted during lens molding. The lens metal frame 9 is formed of a convex metal frame, and an adjustment bar 10 is welded and fixed in advance with a YAG laser at the top. Further, the upper half of the convex metal frame of the lens metal frame 9 is clamped by the clamp 11 of the aligning device.

本発明の一実施形態にかかるハイブリッド光モジュールの組み立て方法を説明する。図４に、本発明の一実施形態にかかるハイブリッド光モジュールの光学系の詳細を示す。ここで、ＬＤ素子１とＬＮ変調器素子２の光軸に一致する方向をＸ軸とし、Ｘ軸と直行しキャリヤ６の鉛直方向をＺ軸とし、Ｘ軸とＺ軸に直行する方向をＹ軸とする。   A method for assembling a hybrid optical module according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 shows details of the optical system of the hybrid optical module according to one embodiment of the present invention. Here, the direction that coincides with the optical axis of the LD element 1 and the LN modulator element 2 is defined as the X axis, the vertical direction of the carrier 6 is defined as the Z axis, and the direction perpendicular to the X axis and the Z axis is defined as Y. Axis.

最初に、ＬＤ素子１とＬＮ変調器素子２とを、金スズ等のハンダまたは導電性ペーストにより、それぞれキャリヤ６に固定する。次に、上述したレンズ保持部によりコリメートレンズ３ａ，３ｂを固定する。なお、ＬＤ素子１側のコリメートレンズ３ａのレンズ金枠９ａには、あらかじめ光アイソレータ４を溶接固定しておく。ＬＤ素子１、ＬＮ変調器素子２およびコリメートレンズ３ａ，３ｂは、それぞれ光軸が一致するように固定する。   First, the LD element 1 and the LN modulator element 2 are fixed to the carrier 6 by solder such as gold tin or conductive paste, respectively. Next, the collimating lenses 3a and 3b are fixed by the lens holding portion described above. The optical isolator 4 is fixed in advance to the lens metal frame 9a of the collimating lens 3a on the LD element 1 side. The LD element 1, the LN modulator element 2, and the collimating lenses 3a and 3b are fixed so that their optical axes coincide with each other.

次にコリメートレンズ３ａ，３ｂを対向させ、調心装置のクランプ１１により、レンズ金枠９ａ，９ｂの凸字形の突出部を挟持し、ＸＹＺ−３軸調心により光軸を合わせ、ＹＡＧレーザで溶接固定する。図３，４に黒丸で示したように、溶接は、レンズ固定具１２とキャリヤ６との間の数点と、レンズ固定具１２とレンズ金枠９との間の一点で行う。レンズ固定具１２とレンズ金枠９との間の溶接を一点とするのは、次に説明する角度調整のための仮止めとするためである。   Next, the collimating lenses 3a and 3b are made to face each other, the convex protrusions of the lens metal frames 9a and 9b are held by the clamp 11 of the aligning device, the optical axes are aligned by XYZ-3 axis alignment, and the YAG laser is used. Fix by welding. As shown by black circles in FIGS. 3 and 4, welding is performed at several points between the lens fixture 12 and the carrier 6 and at one point between the lens fixture 12 and the lens frame 9. The reason why the welding between the lens fixture 12 and the lens metal frame 9 is set as one point is to provide temporary fixing for angle adjustment described below.

図５を参照して、レンズ保持部の調整用バーを用いて行う角度調整を説明する。角度調整は、Ｘ−Ｚ面におけるＸ軸に対するコリメートレンズ３ａ，３ｂの光軸の角度を調整することである。調心装置のクランプ１１を、調整用バー１０の端部に移動して、これを挟持する。ＬＤ素子１とＬＮ変調器素子２との間の結合効率を測りながら、調整用バー１０を上下に動かす。結合効率最大となる位置を探し、レンズ固定具１２とレンズ金枠９との間を追加溶接して、レンズ位置を固定する。この時点で、後の工程に邪魔になるのであれば、調整用バー１０を除去または切断しても良い。   The angle adjustment performed using the adjustment bar of the lens holding portion will be described with reference to FIG. The angle adjustment is to adjust the angle of the optical axis of the collimating lenses 3a and 3b with respect to the X axis in the XZ plane. The clamp 11 of the aligning device is moved to the end of the adjustment bar 10 and clamped. The adjustment bar 10 is moved up and down while measuring the coupling efficiency between the LD element 1 and the LN modulator element 2. A position where the coupling efficiency is maximized is searched, and the lens fixture 12 and the lens metal frame 9 are additionally welded to fix the lens position. At this point, the adjustment bar 10 may be removed or cut if it interferes with the subsequent process.

その後、キャリヤ６をパッケージ８内に固定した上で、ファイバ結合用セルフォックレンズ７および光ファイバをパッケージ８に固定して完成させる。この光ファイバを固定する工程は、通常の光モジュールと同様である。   Thereafter, the carrier 6 is fixed in the package 8, and then the fiber coupling selfoc lens 7 and the optical fiber are fixed to the package 8 to complete. The process of fixing this optical fiber is the same as that of a normal optical module.

この構成によれば、レンズ保持部の動きは、ＸＹＺ−３軸であり、コリメートレンズ３と調整用バー１０とを同時に動かすことはないので、計６軸の制御を行う。ここで、調整用バー１０により補正できる角度は微小であり、計算により角度の影響を明らかにしておく。なお、結合効率の測定は、ＬＤ素子１からの光信号をＬＮ変調器素子２で受光して、受光した光信号の光強度により測定する。   According to this configuration, the movement of the lens holding portion is the XYZ-3 axis, and the collimating lens 3 and the adjustment bar 10 are not moved simultaneously, so a total of 6 axes are controlled. Here, the angle that can be corrected by the adjustment bar 10 is very small, and the influence of the angle is clarified by calculation. The coupling efficiency is measured by receiving the optical signal from the LD element 1 by the LN modulator element 2 and measuring the light intensity of the received optical signal.

コリメートビームは、光軸垂直方向へのトレランスは非常に緩いが、角度ずれに対しては極めて敏感である。例えば、焦点距離０．７５ｍｍのコリメートレンズを使い、波長１．５５μｍ、スポットサイズ１μｍのＬＤ素子の出力光をコリメート化すると、ビーム径は約０．３５ｍｍになる。このコリメートレンズを溶接した際に、レンズが０．５μｍ下方へずれたとすると、ビームの角度ずれは０．０４０となる。ガウシアンビーム同士の結合として計算すると、結合損失は約１ｄＢになる。双方のレンズが同じ方向にずれたとすると、角度ずれは二倍の０．０８０となり、損失は約４ｄＢになる。 The collimated beam has a very gentle tolerance in the direction perpendicular to the optical axis, but is extremely sensitive to angular deviation. For example, when a collimating lens having a focal length of 0.75 mm is used and the output light of an LD element having a wavelength of 1.55 μm and a spot size of 1 μm is collimated, the beam diameter is about 0.35 mm. When welding the collimating lens, the lens is assumed to shift to 0.5μm downward, angular deviation of the beam becomes 0.04 0. When calculated as the coupling between Gaussian beams, the coupling loss is about 1 dB. When both lens is shifted in the same direction, the angular deviation is twice the 0.08 0, loss is approximately 4dB.

一方、角度ずれがなければ、コリメートビーム同士が垂直方向に１００μｍずれたとしても、損失はわずか０．４ｄＢである。従って、レンズの角度を微調してコリメートビームの出射角を変化させることにより、結合損を大幅に減少させることが可能である。   On the other hand, if there is no angular shift, even if the collimated beams are shifted by 100 μm in the vertical direction, the loss is only 0.4 dB. Therefore, the coupling loss can be greatly reduced by finely adjusting the angle of the lens to change the emission angle of the collimated beam.

調整バーの長さを５ｍｍとし、先端を上下５０μｍ動かせば、角度変化量としては±０．５７０になる。本実施形態の場合、レンズ固定具１２とレンズ金枠９との間を仮止めしてから調整を行うので、これよりは小さい動きになると考えられるが、むしろ微調がしやすいので、十分有効である。 The length of the adjustment bar and 5 mm, if moving the tip up and down 50 [mu] m, becomes ± 0.57 0 as the angle variation. In the case of this embodiment, the adjustment is performed after temporarily fixing between the lens fixture 12 and the lens metal frame 9, so that it is considered that the movement is smaller than this. is there.

ここでは、キャリヤ６に対して垂直方向の角度ずれの補正を主眼に置いている。左右対象にＹＡＧ溶接を行うために、水平方向の角度ずれは小さいので問題にならないからである。ただし、必要であればレンズホルダとキャリヤ６の溶接時に、同様の方法で、調整用バー１０を動かすことにより水平角の微調にも応用することができる。   Here, correction of the angular deviation in the vertical direction with respect to the carrier 6 is focused on. This is because, since YAG welding is performed on the left and right objects, there is no problem because the horizontal angle deviation is small. However, if necessary, it can be applied to fine adjustment of the horizontal angle by moving the adjustment bar 10 in the same manner when the lens holder and the carrier 6 are welded.

従来のハイブリッド光モジュールの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the conventional hybrid optical module. 従来のハイブリッド光モジュールの光学系の詳細を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the detail of the optical system of the conventional hybrid optical module. 本発明の一実施形態にかかるハイブリッド光モジュールのレンズ保持部を示す正面図である。It is a front view which shows the lens holding part of the hybrid optical module concerning one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態にかかるハイブリッド光モジュールの光学系の詳細を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the detail of the optical system of the hybrid optical module concerning one Embodiment of this invention. レンズ保持部の調整用バーを用いて行う角度調整を説明するための図である。It is a figure for demonstrating angle adjustment performed using the adjustment bar of a lens holding | maintenance part.

符号の説明Explanation of symbols

１ ＬＤ素子
２ 光変調器素子
３ａ，３ｂ コリメートレンズ
４ 光アイソレータ
５ 補正用レンズ
６ キャリヤ
７ ファイバ結合用セルフォックレンズ
８ パッケージ
９ レンズ金枠
１０ 調整用バー
１１ 調心装置のクランプ
１２ レンズ固定具

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 LD element 2 Optical modulator element 3a, 3b Collimate lens 4 Optical isolator 5 Correction lens 6 Carrier 7 Fiber coupling selfoc lens 8 Package 9 Lens metal frame 10 Adjustment bar 11 Centering device clamp 12 Lens fixture

Claims (2)

キャリヤに搭載された複数の光素子を光学的に結合して、１つのパッケージ内に組込んだ光モジュールであって、
光軸上に固定された各々の前記光素子を光学的に結合するレンズと、
該レンズを保持して前記キャリヤに溶接固定されるレンズホルダとを備え、
該レンズホルダは、前記光軸および前記光軸と直行し前記キャリヤの鉛直方向の軸がなす平面における前記光軸に対する前記レンズの光軸の角度を微調するために、前記光軸方向に延伸されたバーが接合されていることを特徴とする光モジュール。 An optical module in which a plurality of optical elements mounted on a carrier are optically coupled and incorporated in one package,
A lens that optically couples each of the optical elements fixed on an optical axis;
A lens holder that holds the lens and is fixed to the carrier by welding,
The lens holder is extended in the optical axis direction in order to finely adjust the angle of the optical axis of the lens with respect to the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis and the vertical axis of the carrier. An optical module characterized in that a bar is joined. キャリヤに搭載された複数の光素子を光学的に結合して、１つのパッケージ内に組込んだ光モジュールの製造方法において、
光軸上に固定された各々の前記光素子を光学的に結合するレンズを保持するレンズホルダを、３軸調心により前記光軸に合わせて、前記キャリヤに溶接固定する第１工程と、
前記光軸方向に延伸され前記レンズホルダに接合されたバーを微動することにより、前記光軸および前記光軸と直行し前記キャリヤの鉛直方向の軸がなす平面における前記光軸に対する前記レンズの光軸の角度を微調する第２工程と
を備えたことを特徴とする光モジュールの製造方法。
In a method of manufacturing an optical module in which a plurality of optical elements mounted on a carrier are optically coupled into one package,
A first step of welding and fixing a lens holder holding a lens for optically coupling each of the optical elements fixed on the optical axis to the carrier in alignment with the optical axis by triaxial alignment;
By finely moving a bar that is stretched in the optical axis direction and joined to the lens holder, the light of the lens with respect to the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis and the optical axis and formed by the vertical axis of the carrier. And a second step of finely adjusting the angle of the shaft.
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