KR20130074767A - 물품 보관 설비 및 물품 보관 방법 - Google Patents

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 물품 보관 설비는, 복수의 수납부에 대하여 반송(搬送) 용기를 반송하는 반송 장치와, 제어 장치와, 복수의 수납부에 대한 불활성(不活性) 기체(氣體)의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치를 구비한다. 제어 장치가, 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 복수의 수납부를 관리한다. 제어 장치는, 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기를, 허가 수납부로 반송하는 퇴피용(退避用) 반송 처리를 실행한다.

Description

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법{ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE STORAGE METHOD}
본 발명은, 기판을 수용하는 반송(搬送) 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와, 상기 복수의 수납부 각각에 불활성(不活性) 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로와, 상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부와, 상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비, 및 이와 같은 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법에 관한 것이다.
일본공개특허 제2010-182747호 공보(특허 문헌 1)에는, 상기와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에 구비되는 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 선반은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 등의 반송 용기를 수납하는 수납부를 복수 구비하고, 그 수납부의 각각에, 불활성 기체 공급로에 의해, 예를 들면, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체를 공급하고, 그 불활성 기체를 토출부에 의해 반송 용기의 내부로 토출하도록 구성되어 있다.
상기 특허 문헌 1에서는, 반송 용기를 수납부에 수납했을 때, 토출부로부터 반송 용기의 내부로 불활성 기체를 토출하고, 기판에 부적합한 산소 가스나 수증기 등을 반송 용기 내로부터 배출시켜, 수납부에 수납되는 반송 용기를 내부가 불활성 기체로 충만된 상태로 한다. 이로써, 반송 용기에 수용된 기판의 산화 등의 문제점이 생기는 것을 억제한다.
그러나, 상기한 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에서는, 불활성 기체 공급로의 파손이나 불활성 기체 공급로의 도중에 설치된 압력 조정 밸브 등의 기기의 고장에 의해, 수납부에 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 상기 수납부로 반송 용기를 수납한 상태가 계속된다. 그러므로, 수납부에 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우에, 외기가 반송 용기 내로 유입되는 것 등에 의해 반송 용기 내의 환경이 악화되어, 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생길 우려가 있다.
일본공개특허 제2010-182747호 공보
상기 문제점을 해결하기 위해, 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 그 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지하는 것이 가능한 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비는,
기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로;
상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부;
상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;
상기 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치;
여기서, 상기 제어 장치가, 상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 동시에, 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용(退避用) 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있다.
상기한 구성에 의하면, 반송 용기를 수납부에 수납할 때 허가 수납부를 선택함으로써, 수납한 반송 용기 내에 불활성 기체를 적절히 공급할 수 있다.
또한, 불활성 기체 공급로의 파손이나 불활성 기체 공급로의 도중에 설치된 압력 조정 밸브 등의 기기의 고장에 의해, 수납부에 공급되는 불활성 기체가 적정 공급량보다 감소되는 현상, 또는 수납부에 전혀 불활성 기체가 공급되지 않는 현상이 발생한 경우에는, 상기 수납부가 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 이와 같이, 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 상기 수납부에 수납되어 있는 반송 용기를 허가 수납부로 반송하여 상기 허가 수납부에 의해 불활성 기체를 적절히 공급할 수 있으므로, 상기 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비의 기술적 특징은, 물품 보관 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 물품 보관 방법에 대해서도, 전술한 물품 보관 설비에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.
즉, 본 발명에 관한 물품 보관 방법은,
기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로와,
상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부와,
상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,
상기 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치를 구비한 물품 보관 설비를 이용한 방법이며,
상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서,
상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 수납부 관리 공정;
불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용 반송 처리 공정을 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
예를 들면, 공급 상태 검출 장치에 의해, 복수의 수납부의 모두를 일괄하여 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 것을 생각할 수 있다. 이 경우, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것이 검출되었을 때, 복수의 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리되어 버린다. 이에 대하여, 상기한 구성에 의하면, 구획용 공급 상태 검출 장치에 의해, 구획의 단위로 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하기 위해, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 구획에 속하는 수납부만을, 금지 수납부로서 관리할 수 있다.
그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않게 된 경우라도, 그것이 일부의 구획에만 영향을 주는 것이면, 그 영향이 있었던 구획에 속하는 수납부만을 금지 수납부로서 관리하고, 영향이 없는 구획에 속하는 수납부는 허가 수납부로서 관리할 수 있다. 따라서, 복수의 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기(分岐) 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소(箇所)의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 압력 조정 장치에 고장이 생기고, 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출된 경우에, 그 압력 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 비정상적인 압력이 검출된 구획용 공급 부분에 대응하는 구획에 속하는 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와, 상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상(異常)을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하고, 또한 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 중계 장치에 이상이 생기고 있는 것이 중계 이상 검출 장치에 의해 검출된 경우에, 그 중계 장치의 통신 대상의 유량 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 이상이 검출된 중계 장치에 대응하는 구획에 속하는 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 수납부용 공급 상태 검출 장치에 의해, 수납부의 단위로 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하기 위해, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부만을 금지 수납부로서 관리할 수 있다.
그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않게 된 경우라도, 그것이 일부의 수납부에만 영향을 주는 것이면, 그 영향이 있었던 수납부만을 금지 수납부로서 관리하고, 영향이 없는 수납부는 허가 수납부로서 관리할 수 있다. 따라서, 수납부가 필요 이상으로 금지 수납부로서 관리되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 퇴피용 반송 처리로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 구획에 속하는 수납부의 모두를, 금지 수납부로서 관리하는 경우에는, 상기 구획에 속하는 모든 수납부에 수납되어 있는 반송 용기가, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 이 때, 상기한 구성에 의하면, 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부에 대해서는, 다른 수납부보다 우선적으로, 반송 용기를 허가 수납부로 반송한다. 그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않을 가능성이 높은 수납부에 수납되어 있는 반송 용기를 조기에 허가 수납부로 반송할 수 있고, 그 결과, 기판에 문제점이 생기는 것을 억제할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류(通流) 조정 장치가 설치되고, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 통류 조정 장치에 이상이 생기고, 그 이상이 통류 이상 검출 장치에 의해 검출된 경우에, 그 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 이상이 검출된 통류 조정 장치에 대응하는 수납부가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와, 상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하는 유량 조정 공정을 더 포함하고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하고, 상기 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류 조정 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.
도 1은 물품 보관 설비의 종단 측면도이다.
도 2는 동(同) 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이다.
도 3은 수납부의 사시도이다.
도 4는 용기가 탑재된 상태의 수납부의 정면도이다.
도 5는 용기가 탑재되어 있지 않은 상태의 수납부의 정면도이다.
도 6은 구획으로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 7은 수납부로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 8은 제어 블록도이다.
도 9는 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 일례를 나타낸 도면이다.
도 10은 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 다른 일례를 나타낸 도면이다.
도 11은 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 또 다른 일례를 나타낸 도면이다.
도 12는 하이패스용 전환 밸브가 폐쇄 상태인 경우의 불활성 기체의 공급 상태를 나타낸 도면이다.
도 13은 하이패스용 전환 밸브가 개방 상태인 경우의 불활성 기체의 공급 상태를 나타낸 도면이다.
도 14는 플로우차트이다.
본 발명을 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 설비에 적용한 경우의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
[전체 구성]
물품 보관 설비는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 W를 밀폐 상태로 수용하는 반송 용기(50)[이하, 용기(50)라고 함]를 수납하는 수납부(10S)를 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열하여 설치한 보관 선반(10)과, 복수의 수납부(10S) 및 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)를 반송하는 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(20)을 구비한 자동 창고에 의해 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 기판 W가 반도체 웨이퍼이며, 그 반도체 웨이퍼를 수용하는 F O U P(Front 0pening Unified Pod)가, 보관 대상의 용기(50)이다.
[용기(50)의 구성]
도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)는, 기판 W를 출입시키기 위한 개구를 구비한 케이싱(51)과, 케이싱(51)의 개구를 닫는 착탈(着脫) 가능한 커버체(도시하지 않음)를 구비하고 있다.
도 1, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 케이싱(51)의 상면에는, 호이스트식(hoist type)의 반송차(搬送車) D에 의해 파지(把持)되는 탑 플랜지(52)가 형성되고, 케이싱(51)의 바닥부에는, 후술하는 바와 같이, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해 급기구(50i) 및 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는, 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.
즉, 용기(50)는, 기판 W를 수용한 형태로 커버체에 의해 개구를 폐쇄되는 동시에, 급기구(50i) 및 배기구(50o)의 각각의 개폐 밸브가 폐쇄 상태로 되므로, 기판 W를 밀폐 상태로 수용한다.
주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 토출 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.
또한, 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.
[스태커 크레인(20)의 구성]
도 1에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일을 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워 설치된 마스트(22)와, 마스트(22)의 상단에 설치되어 도시하지 않은 상부 가이드 레일과 걸어맞추어지는 상부 프레임(23)과, 상기 마스트(22)에 안내되는 형태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다.
승강대(24)에는, 수납부(10S)나 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)를 이송탑재(transfer)하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다.
그리고, 스태커 크레인(20)은, 주행 대차(21)의 주행 이동, 승강대(24)의 승강 이동 및 이송탑재 장치(25)의 이송탑재 작동에 의해, 입출고 컨베이어 CV 상의 용기(50)를 수납부(10S)로 반송하는 입고 작업, 수납부(10S)의 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV 상으로 반송하는 출고 작업, 및 수납부(10S)의 용기(50)를 다른 수납부(10S)로 반송하는 퇴피 작업을 실행하도록 구성되어 있다.
[수납부(10S)의 구성]
도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에는, 상하 방향으로 수납부(10S)가 복수 단(段)(본 예에서는 8단) 배열되어 설치되고, 좌우 방향으로 수납부(10S)가 복수 열(본 예에서는 9열, 도 2에는 4열만 도시하고 있음) 배열되어 형성되어 있고, 보관 선반(10)의 전체에서, 수납부(10S)가 72개소에 설치되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 방향으로 배열되어 설치된 4단의 수납부(10S)와, 좌우 방향으로 배열되어 설치된 3열의 수납부(10S)로 이루어지는 합계 12개소의 수납부(10S)를 1개의 구획 CH로 하여, 72개소의 수납부(10S)가 6개의 구획 CH 중 어느 하나에 속하도록 구분되어 있다. 이와 같이, 보관 선반(10)에 설치된 복수의 수납부(10S)가, 복수의 구획 CH로 구분되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각에는, 용기(50)를 탑재 지지하는 탑재 지지부(10a)가 구비되어 있고, 수납부(10S)는, 탑재 지지부(10a)에 용기(50)를 탑재 지지한 상태로, 상기 용기(50)를 수납한다.
또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)의 하면부에 형성된 피(被)걸어맞춤부(도시하지 않음)에 걸어맞추어져 상기 용기(50)를 규정 위치로 위치결정하기 위한 3개의 위치 결정 돌기(10b)와, 용기(50)가 탑재 지지부(10a) 상에 탑재되어 있는지의 여부[즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되었는지의 여부]를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되어 있다.
또한, 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지부(10a)에는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)의 내부에 불활성 기체로서의 질소 가스를 공급하는 토출부로서의 토출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출된 기체를 통류하는 배출용 통기체(10o)가 설치되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 토출 노즐(10i)은, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태로, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 급기구(50i)에 결합되는 개소에 설치되어 있다. 또한, 배출용 통기체(10o)는, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태로, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 배기구(50o)에 끼워맞추어지는 개소에 설치되어 있다.
즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 탑재 지지부(10a)에 탑재되면, 위치 결정 돌기(10b)에 의해 상기 용기(50)가 규정 위치에 위치결정되어, 토출 노즐(10i)가 급기구(50i)에 끼워맞춤 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 배기구(50o)에 최상 결합 상태로 접속된다.
그리고, 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 토출 노즐(10i)로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 토출시킴으로써, 용기(50)의 급기구(50i)로부터 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입하고, 용기(50)의 배기구(50o)로부터 용기 내의 기체를 외부로 배출시키도록 구성되어 있다.
[질소 가스의 공급 구성]
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 복수의 수납부(10S)에 질소 가스를 공급하는 불활성 기체 공급로로서의 질소 가스 공급로(60)가 설치되어 있다. 다음에, 이 질소 가스 공급로(60)에 대하여 설명한다. 그리고, 도 6은 구획 CH의 각각에 대하여 질소 가스를 공급하는 구성을 나타낸 도면이며, 도 7은 수납부(10S)의 각각에 대하여 질소 가스를 공급하는 구성을 나타낸 도면이다. 그리고, 도 7에는, 상하 방향으로 배열된 2개의 구획 CH만을 나타내고 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급로(60)는, 메인 공급 부분(61)과, 메인 공급 부분(61)에 의해 공급된 질소 가스를 복수의 구획 CH의 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분(62)과, 구획용 공급 부분(62)에 의해 구획 CH에 공급된 질소 가스를 상기 구획 CH에서의 복수의 수납부(10S)의 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분(63)을 구비하고 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 구획용 공급 부분(62)은, 메인 공급 부분(61)에 접속된 상류 구획용 공급부(62a)와, 상류 구획용 공급부(62a)로부터 분기되는 복수의 하류 구획용 공급부(62b)를 구비하고 있다. 상류 구획용 공급부(62a)에는, 구획 CH의 수와 같은 6경로의 하류 구획용 공급부(62b)가 접속되어 있다.
그리고, 상류 구획용 공급부(62a)는, 메인 공급 부분(61)과 같은 배관 사이즈로 되어 있고, 하류 구획용 공급부(62b)는, 상류 구획용 공급부(62a)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.
수납부용 공급 부분(63)은, 구획 CH의 수와 같은 6경로 설치되어 있고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)의 각각이, 구획용 공급 부분(62)에 접속된 상류 수납부용 공급부(63a)와, 상류 수납부용 공급부(63a)로부터 분기되는 중류 수납부용 공급부(63b)와, 중류 수납부용 공급부(63b)로부터 분기되는 하류 수납부용 공급부(63c)를 구비하고 있다. 상류 수납부용 공급부(63a)에는, 구획 CH에서의 수납부(10S)의 단수(段數; number of stage)와 같은 4경로의 중류 수납부용 공급부(63b)가 접속되어 있고, 중류 수납부용 공급부(63b)에는, 구획 CH에서의 수납부(10S)의 열수와 같은 3경로의 하류 수납부용 공급부(63c)가 접속되어 있다.
그리고, 상류 수납부용 공급부(63a) 및 중류 수납부용 공급부(63b)는, 하류 구획용 공급부(62b)와 같은 배관 사이즈로 되어 있고, 하류 수납부용 공급부(63c)는, 상류 수납부용 공급부(63a) 및 중류 수납부용 공급부(63b)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 메인 공급 부분(61)과 구획용 공급 부분(62)과의 접속 개소에는, 메인 공급 부분(61)으로부터 구획용 공급 부분(62)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 메인 밸브(65)가 설치되어 있다. 이 메인 밸브(65)를 조작함으로써, 보관 선반(10)의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 구획용 공급 부분(62)과 복수의 수납부용 공급 부분(63)과의 접속 개소의 각각에는, 구획용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 구획용 밸브(66)와, 구획용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 통류하는 질소 가스의 통류량을 조정함으로써 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 조정하는 압력 조정 장치로서의 압력 조정용 밸브(67)와, 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 검출하는 압력 검출 장치로서의 압력 검출 센서(68)가 설치되어 있다. 구획용 밸브(66)를 조작함으로써, 구획 CH의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)과 토출 노즐(10i)과의 접속 개소에는, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 수납부용 밸브(69)와, 매스플로우(mass flow) 컨트롤러(40)가 설치되어 있다. 수납부용 밸브(69)를 조작함으로써, 수납부(10S)의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
매스플로우 컨트롤러(40)에는, 도 7에 있어서 부호만으로 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 공급되는 질소 가스의 통류량을 조정하는 유량 조정용 밸브(70)와, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 통류하는 질소 가스의 유량을 검출하는 유량 검출 센서(71)가 구비되어 있다. 즉, 매스플로우 컨트롤러(40)[유량 조정용 밸브(70)]가, 토출 노즐(10i)에 공급되는 질소 가스의 유량을 조정하는 통류 조정 장치에 상당한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 수납부용 공급 부분(63) 중 2개를 조(組)로 하여, 조가 되는 2개의 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록, 바이패스(bypass) 부분(72)이 설치되어 있다. 그리고, 도 6에서는, 바이패스 부분(72)을 생략하고 있다.
이 바이패스 부분(72)은, 본 실시형태에서는, 상하 방향으로 인접하는 2개의 구획 CH에 속하는 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록 형성되어 있고, 6개의 구획 CH에 대하여 합계하여 3경로 설치되어 있다.
또한, 바이패스 부분(72)에는, 바이패스 부분(72)에서의 질소 가스의 통류가 가능한 개방 상태와 바이패스 부분(72)에서의 질소 가스의 통류가 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 하이패스용 전환 밸브(73)가 설치되어 있다. 하이패스용 전환 밸브(73)는, 기본적으로 폐쇄 상태로 전환된다. 그러므로, 이하에서는, 특별히 한정하지 않는 한, 하이패스용 전환 밸브(73) 상태는 폐쇄 상태인 것으로 한다.
그리고, 바이패스 부분(72)은, 상류 수납부용 공급부(63a) 등과 같은 배관 사이즈로 되어 있다
[제어 구성]
도 8에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하고, 또한 도시하지 않은 상위 컨트롤러로부터의 입고 지령 및 출고 지령에 기초하여 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
설명을 추가하면, 제어 장치 H는, 상위 컨트롤러로부터 입고 지령이 지령되면, 재고 상태에 기초하여, 용기(50)가 수납되어 있지 않은 빈 수납부(10S) 중 하나를 수납 대상의 수납부(10S)로서 선택하고, 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV로부터 수납 대상의 수납부(10S)로 반송할 수 있도록 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 입고 반송 처리를 실행한다. 또한, 제어 장치 H는, 상위 컨트롤러로부터 출고 지령이 지령되면, 재고 상태에 기초하여, 출고 대상의 용기(50)를 그것이 수납되어 있는 수납부(10S)로부터 입출고 컨베이어 CV 상으로 반송할 수 있도록 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 출고 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있다.
제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(programmable logic controller) P에 질소 가스의 공급량이나 질소 가스를 공급하는 수납부(10S)를 나타내는 공급 정보를 송신하여, 구획용 밸브(66), 수납부용 밸브(69) 및 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 다음에, 이 구획용 밸브(66), 수납부용 밸브(69) 및 유량 조정용 밸브(70)의 작동을 제어하는 제어 구성에 대하여 설명한다.
압력 조정용 밸브(67) 및 하이패스용 전환 밸브(73)는, 본 실시형태에서는, 수동에 의해 조작되도록 구성되어 있다.
제어 장치 H에는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P와 IO 확장 모듈 A가 통신 가능하게 통신선에 의해 접속되어 있다.
프로그래머블 로직 컨트롤러 P에는, 6구획분의 매스플로우 컨트롤러(40)가 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 12대의 매스플로우 컨트롤러(40)가 1개의 구획 CH에 속하기 때문에, 합계하여 72대의 매스플로우 컨트롤러(40)가, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 접속되어 있다.
IO 확장 모듈 A는, 복수의 구획 CH의 각각에 대응하여 형성되어 있고, 구획 CH의 수와 같이 6대 설치되어 있다. IO 확장 모듈 A에는, 대응하는 구획 CH에 속하는 재고 센서(10z), 압력 검출 센서(68), 및 매니폴드(74)가 접속되어 있다.
재고 센서(10z)는, 전술한 바와 같은 각각의 수납부(10S)에 대하여 2개 형성되어 있고, 1개의 구획 CH에 대하여 24개 설치되어 있다. 이 24개의 재고 센서(10z)가 IO 확장 모듈 A에 접속되어 있다.
또한, 압력 검출 센서(68) 및 매니폴드(74)는, 복수의 구획 CH의 각각에 대응하여 형성되어 있고, 1개의 압력 검출 센서(68)와 1개의 매니폴드(74)가 IO 확장 모듈 A에 접속되어 있다. 또한, 매니폴드(74)는, 대응하는 구획 CH에 속하는 1개의 구획용 밸브(66)와 12개의 수납부용 밸브(69)를 전환 가능하게 구성되어 있다.
그리고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 제어 장치 H로부터의 공급 정보에 기초하여, IO 확장 모듈 A를 통하여 매니폴드(74)에 지령 정보를 송신하도록 구성되어 있다. 매니폴드(74)는 지령 정보에 기초하여 작동하고, 질소 가스의 공급 대상의 수납부(10S)에 대하여, 질소 가스를 공급하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, IO 확장 모듈 A를 통하여 매니폴드(74)의 작동을 및 수납부용 밸브(69)의 전환을 제어하는, 유량 조정 공정을 실행한다.
또한, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 제어 장치 H로부터의 공급 정보에 기초하여, 매스플로우 컨트롤러(40)에 지령 정보를 송신하도록 구성되어 있다. 매스플로우 컨트롤러(40)는, 지령 정보에 따른 유량으로 할 수 있도록 유량 조정용 밸브(70)를 작동시켜, 토출 노즐(10i)로부터 토출하는 질소 가스의 유량을 조정하도록 구성되어 있다.
매스플로우 컨트롤러(40)는, 유량 조정용 밸브(70)에 이상이 생기는 등에 의해 유량 검출 센서(71)에 의해 검출하는 유량이 지령 정보에 따른 유량에 이르지 않는 상태가 설정 시간 동안 계속된 경우에는, 통류 이상 신호를 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 출력하도록 구성되어 있다. 그 통류 이상 신호는 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 제어 장치 H로 송신된다.
그리고, 매스플로우 컨트롤러(40)가, 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치에 상당하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에도 상당한다.
IO 확장 모듈 A는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터의 지령 정보에 대하여 응답 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, IO 확장 모듈 A로부터 지령 정보에 대한 응답 신호가 없는 경우, IO 이상 신호를 제어 장치 H로 송신하도록 구성되어 있다.
그리고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P가, IO 확장 모듈 A의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치에 상당하고, 복수의 구획 CH의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치 S1, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에도 상당한다.
매니폴드(74)는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터의 지령 정보에 대하여 응답 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 매니폴드(74)로부터 지령 정보에 대한 응답 신호가 없는 경우, 유량 이상 신호를 제어 장치 H로 송신하도록 구성되어 있다.
그리고, 매니폴드(74)와 수납부용 밸브(69)로 유량 조정 장치가 구성되어 있고, IO 확장 모듈 A가, 제어 장치 H와 구획 CH에 속하는 복수의 유량 조정 장치와의 통신을 중계하는 중계 장치에 상당한다.
압력 검출 센서(68)는, 검출 정보를 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 압력 검출 센서(68)에 의해 검출된 압력이, 지령 정보에 따른 압력에 대하여 설정 압력 이상의 괴리(乖離)가 있었을 경우, 즉 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는 경우에는, 압력 이상 신호를 제어 장치 H에 대하여 송신하도록 구성되어 있다.
그리고, 압력 검출 센서(68)가, 복수의 구획 CH의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치 S1, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에 상당한다.
제어 장치 H는, 공급 상태 검출 장치 S의 검출 정보에 기초하여, 수납부 관리 공정을 실행한다. 수납부 관리 공정에서는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부(10S)인 금지 수납부와, 그 이외의 수납부(10S)인 허가 수납부로 구별하여, 복수의 수납부를 관리한다. 즉, 제어 장치 H는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 허가 수납부와 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 금지 수납부로 구별하여 복수의 수납부(10S)를 관리한다. 그리고, 제어 장치 H는, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 용기(50)가 수납되어 있는 경우에, 퇴피용 반송 처리 공정을 실행한다. 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송하는 퇴피용 반송 처리를 실행한다.
제어 장치 H에 의한 복수의 수납부(10S)의 관리에 대하여 설명을 추가한다. 그리고, 도 9는 구획 CH에 속하는 모든 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 구획 CH를 나타내고, 도 10은 구획 CH에 속하는 모든 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH를 나타내고, 도 11은 구획 CH에 속하는 일부의 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH를 예시하고 있다. 도 10 및 도 11에 있어서, 고장이 생긴 기기[도 10에서는 압력 조정용 밸브(67)] 및 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에, 해칭을 행하고 있다.
제어 장치 H는, 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 그 비정상적인 압력이 검출된 구획용 공급 부분(62)에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다(도 10 참조). 즉, 제어 장치 H는, 압력 검출 센서(68)의 검출 정보에 기초하여, 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 압력 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 압력 검출 센서(68)에 대응하는 구획 CH를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획 CH(이하, 「대상 구획」이라고 함)에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.
제어 장치 H는, IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 IO 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 IO 확장 모듈 A에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P의 검출 정보에 기초하여, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 의해 IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 IO 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 IO 확장 모듈 A에 대응하는 구획 CH를 대상 구획인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.
제어 장치 H는, 매니폴드(74)의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 유량 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 매니폴드(74)에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P의 검출 정보에 기초하여, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 의해 매니폴드(74)의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 유량 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 매니폴드(74)의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 매니폴드(74)에 대응하는 구획 CH를 대상 구획인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.
제어 장치 H는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 통류 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 매스플로우 컨트롤러(40)를 통하여 질소 가스가 공급되는 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다(도 11 참조). 즉, 제어 장치 H는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 검출 정보에 기초하여, 매스플로우 컨트롤러(40)에 의해 유량 조정용 밸브(70)의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 통류 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 매스플로우 컨트롤러(40)를 통하여 질소 가스가 공급되는 수납부(10S)를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.
이와 같이, 제어 장치 H는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보에 기초하여, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 구획 CH(대상 구획)에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하는 동시에, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2의 검출 정보에 기초하여, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 그리고, 제어 장치 H는, 금지 수납부로서 관리되고 있지 않은 수납부(10S)를, 허가 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다.
다음에, 제어 장치 H에 의해 실행되는 퇴피용 반송 처리에 대하여 설명한다.
도 14에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 공급 상태 검출 장치 S에 의해 복수의 수납부(10S) 중 어느 하나에 대한 불활성 기체의 공급 상태가 변화된 것이 검출되면(스텝 #01: Yes), 그 변화에 따라 수납부(10S)의 관리 상태를 전환할 수 있도록 구성되어 있다(스텝 #02). 즉, 제어 장치 H는, 허가 수납부로서 관리하고 있는 수납부(10S)에 대하여, 압력 이상 신호, 통류 이상 신호, 유량 이상 신호 및 I0 이상 신호 중 어느 하나의 이상 신호가 송신되면, 상기 수납부(10S)의 관리 상태를 금지 수납부로 전환하고, 금지 수납부로서 관리하고 있는 수납부(10S)에 대하여, 어느 이상 신호도 송신되지 않게 되면, 상기 수납부(10S)의 관리 상태를 허가 수납부로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 제어 장치 H는, 재고 상태에 기초하여, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 관리 상태가 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 용기(50)가 수납되어 있는 경우, 퇴피용 반송 처리를 실행하여, 상기 용기(50)를, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송한다(스텝 #03).
또한, 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에 대해서는, 입고 반송 처리를 실행할 때 반입(搬入) 대상의 수납부(10S)로서 선택하지 않고, 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에는 용기(50)를 수납하지 않도록 구성되어 있다.
구체적으로는, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 허가 수납부로서 관리되고 있는 경우에 있어서, 압력 조정용 밸브(67)가 고장나므로 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고, 제어 장치 H에 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 금지 수납부로서 관리되는 상태로 된다. 이와 같은 경우에는, 상기 구획 CH에 속하는 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 모두가, 다른 구획 CH에 있어서 허용 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송된다.
이와 같이 퇴피용 반송 처리를 실행하여, 용기(50)를 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송함으로써, 그 수납부(10S)에는 불활성 기체가 적절히 공급되고 있으므로, 용기(50) 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다. 그러므로, 수납부(10S)에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도 그 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50) 내의 기판 W에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.
그리고, 본 실시형태에서는, 퇴피용 반송 처리에 의해, 구획 CH에 속하는 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 모두를 다른 구획 CH로 반송할 때, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2에 의해 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것이 검출되고 있는 수납부(10S)와, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2에 의해 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 것이 검출되고 있는 수납부(10S)가 있는 경우, 전자의 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 우선적으로, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송하도록 구성되어 있다. 여기서, 전자의 수납부(10S)는, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2의 검출 정보에 따른 공급 상태의 판정에 따라, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정된 수납부(10S)이며, 후자의 수납부(10S)이며, 그 이외의 수납부(10S)이다.
제어 장치 H는, 모니터(75)의 작동을 제어하여, 복수의 수납부(10S)의 관리 상태나 이상이 생긴 기기를 나타내는 정보를 모니터(75)에 표시하도록 구성되어 있다.
상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 조가 되는 2개의 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록, 바이패스 부분(72)이 형성되어 있고, 모니터(75)에는, 퇴피용 반송 처리가 종료한 후, 하이패스용 전환 밸브(73)의 조작 수순 등의 안내 표시가 표시된다.
작업자는, 모니터(75)의 표시 내용과 질소 가스 공급로(60)의 상태 및 그 도중에 설치된 기기 상태로부터 판단하여, 하이패스용 전환 밸브(73)를 수동 조작할 수 있도록 되어 있다.
도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 하이패스용 전환 밸브(73)의 전환 상태를 검출하는 전환 상태 검출 장치로서의 전환 상태 검출 센서(90)가 설치되어 있다. 그리고, 제어 장치 H는, 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 대상 구획의 수납부용 공급 부분(63)과 연통되는 바이패스 부분(72)에 설치된 하이패스용 전환 밸브(73)가, 폐쇄 상태인 것을 조건으로, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)를 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 여기서, 대상 구획이란, 전술한 바와 같이, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보에 따른 공급 상태의 판정에 따라, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정된 구획 CH이다. 즉, 제어 장치 H는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보와 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 특정한 구획 CH에 속하는 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 여기서, 특정한 구획 CH란, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH로서, 상기 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)과 연통되는 바이패스 부분(72)이, 질소 가스를 통류 불가능한 상태인 구획 CH이다.
즉, 예를 들면, 도 12에 나타낸 바와 같이, 위쪽의 구획 CH에 대응하는 압력 조정용 밸브(67)가 고장나서 제어 장치 H에 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 그 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 이와 같은 상태에서, 위쪽의 구획 CH에 접속되어 있는 바이패스 부분(72)에 설치된 하이패스용 전환 밸브(73)를 개방 상태로 전환 조작하면, 도 13에 나타낸 바와 같이, 바이패스 부분(72)에 의해 접속되어 있는 아래쪽의 구획 CH로부터, 위쪽의 구획 CH에 대하여 질소 가스를 공급할 수 있다.
하이패스용 전환 밸브(73)가 개방 조작됨으로써, 위쪽의 구획 CH는 상기한 특정한 구획 CH는 아니게 되므로, 위쪽의 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 관리 상태가, 금지 수납부로부터 허가 수납부로 전환된다. 따라서, 용기 반입 처리에 의해 수납 대상의 수납부(10S)로서 선택하여 용기(50)를 수납 가능해지는 동시에, 다른 수납부(10S)의 관리 상태가 금지 수납부로 전환되었을 경우에, 그 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 받아들이는 것도 가능하게 된다.
그리고, 제어 장치 H가, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보와 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 하이패스용 전환 밸브(73)가 개방 조작된 경우에는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH(대상 구획)에 속하는 구획용 밸브(66)를 폐쇄 상태로 전환하기 위해, 구획용 밸브(66)의 작동을 제어하는 구성으로 해도 된다.
이와 같이, 하이패스용 전환 밸브(73)를 폐쇄 상태로 전환한 상태에서는, 구획 CH의 단위로, 수납부(10S)에 공급되는 질소 가스의 유량을 별개로 조정할 수 있다. 이와 같은 구성으로 하면서, 질소 가스 공급로(60)의 파손이나 기기 등의 고장에 의해, 수납부(10S)에 공급되는 불활성 기체가 적정 공급량보다 감소하는 현상, 또는 수납부(10S)에 전혀 불활성 기체가 공급되지 않는 현상이 발생한 경우에는, 하이패스용 전환 밸브(73)를 개방 상태로 전환함으로써, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)으로부터, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)에, 불활성 기체를 유동시킬 수 있다.
[다른 실시형태〕
(1) 상기 실시형태에서는, 공급 상태 검출 장치 S로서, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1과 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2를 설치하였으나, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1과 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2 중 어느 한쪽만을 설치해도 된다. 그리고, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2만을 설치하는 경우, 복수의 수납부(10S)를 복수의 구획 CH로 구분하지 않아도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1으로서, 압력 검출 장치와 중계 이상 검출 장치를 설치하였으나, 압력 검출 장치와 중계 이상 검출 장치 중 어느 한쪽만을 설치해도 되고, 또한 구획용 공급 상태 검출 장치 S1으로서, 수납부용 공급 부분(63)으로 통류하는 불활성 기체의 유량을 검출하는 검출 장치 등, 다른 검출 장치를 설치해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2로서, 통류 이상 검출 장치를 설치하였으나, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2로서, 토출부에 공급되는 불활성 기체의 압력을 검출하는 검출 장치 등의, 다른 검출 장치를 설치해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 불활성 기체 공급로가, 메인 공급 부분(61)과 구획용 공급 부분(62)과 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 불활성 기체 공급로가, 메인 공급 부분(61)과 그 메인 공급 부분(61)에 접속된 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 불활성 기체 공급로가, 구획용 공급 부분(62)과 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성으로 하여, 구획용 공급 부분(62)의 각각에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급원을 설치해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 자동 창고에 1개의 보관 선반(10)을 설치하고, 그1개의 보관 선반(10)에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 하였으나, 서로 대향하도록 한쌍의 보관 선반(10)을 설치하고, 그 한쌍의 보관 선반(10)에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 되고, 또한 복수의 자동 창고를 설치하고, 복수의 자동 창고에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.
또한, 자동 창고의 보관 선반(10)에 설치된 복수의 수납부(10S) 중 일부의 수납부(10S)만을, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.
또한, 천정 반송차(호이스트식의 반송차 D)의 주행 경로의 측방 또는 하방에, 천정 반송차의 주행 경로를 따라 수납부(10S)를 복수 설치하고, 이 천정 반송차의 주행 경로를 따라 설치한 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 기판 W를 반도체 웨이퍼로 하고, 반송 용기(50)를 FOUP로 하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 기판 W를 레티클(reticle)로 하고, 반송 용기(50)를 레티클 용기로 해도 된다. 또한, 불활성 기체를 질소 가스로 하였지만, 불활성 기체로서는, 질소 가스 이외에 도 아르곤 가스 등, 수용되는 기판 W에 대하여 반응성이 낮은 각종 기체를 사용할 수 있다.
10S: 수납부
10i: 토출 노즐(토출부)
20: 스태커 크레인(반송 장치)
40: 매스플로우 컨트롤러(통류 조정 장치, 통류 이상 검출 장치)
50: 반송 용기
60: 질소 가스 공급로(불활성 기체 공급로)
62: 구획용 공급 부분
63: 수납부용 공급 부분
67: 압력 조정용 밸브(압력 조정 장치)
68: 압력 검출 센서(압력 검출 장치)
69: 수납부용 밸브(유량 조정 장치)
70: 유량 조정용 밸브(통류 조정 장치)
72: 바이패스 부분
73: 하이패스용 전환 밸브
90: 전환 상태 검출 센서(전환 상태 검출 장치)
A: I0 확장 모듈(중계 장치)
CH: 구획
H: 제어 장치
P: 프로그래머블 로직 컨트롤러(중계 이상 검출 장치)
S: 공급 상태 검출 장치
S1: 구획용 공급 상태 검출 장치
S2: 수납부용 공급 상태 검출 장치
W: 기판

Claims (14)

  1. 기판을 수용하는 반송(搬送) 용기를 수납하는 복수의 수납부;
    상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
    상기 복수의 수납부 각각에 불활성(不活性) 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로;
    상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부;
    상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;
    를 포함하는, 물품 보관 설비로서,
    상기 복수의 수납부에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는,
    상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하고, 또한,
    상기 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용(退避用) 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기(分岐) 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가 설치되고,
    상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와,
    상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가 설치되고,
    상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상(異常)을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하고, 또한,
    상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있고, 또한,
    상기 퇴피용 반송 처리로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류(通流) 조정 장치가 설치되고,
    상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 상기 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  8. 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법으로서,
    상기 물품 보관 설비는,
    기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;
    상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
    상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로;
    상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 상기 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부;
    상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;
    상기 복수의 수납부에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치;
    를 포함하고,
    상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서,
    상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 수납부 관리 공정;
    상기 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용 반송 처리 공정;
    을 포함하는, 물품 보관 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 상기 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
    상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 상기 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와,
    상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
    상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고,
    상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하는 유량 조정 공정을 더 포함하고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
  12. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
    상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하고,
    상기 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하는, 물품 보관 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
    상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류 조정 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
    상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고,
    상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
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