KR20130074767A - Article storage facility and article storage method - Google Patents

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KR20130074767A
KR20130074767A KR1020120153258A KR20120153258A KR20130074767A KR 20130074767 A KR20130074767 A KR 20130074767A KR 1020120153258 A KR1020120153258 A KR 1020120153258A KR 20120153258 A KR20120153258 A KR 20120153258A KR 20130074767 A KR20130074767 A KR 20130074767A
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마사히로 다카하라
도시히토 우에다
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

PURPOSE: An article storage facility and an article storage method are provided to properly supply an inert gas to a transfer container by selecting a permitted receiving unit when the transfer container is received in a receiving unit. CONSTITUTION: A plurality of receiving units (10S) receive a transfer container (50) to receive a substrate. A storage shelf (10) is installed by arranging the receiving unit in up, down, right, and left directions. A transfer device (20) transfers the transfer container to the plurality of receiving units. An inert gas supply path supplies an inert gas to each receiving unit. A discharge unit discharges the inert gas from the receiving unit to the transfer container.

Description

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법{ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE STORAGE METHOD}Article storage facility and article storage method {ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE STORAGE METHOD}

본 발명은, 기판을 수용하는 반송(搬送) 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와, 상기 복수의 수납부 각각에 불활성(不活性) 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로와, 상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부와, 상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비, 및 이와 같은 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법에 관한 것이다.This invention is inactive to each of the some accommodating part which accommodates the conveyance container which accommodates a board | substrate, the conveying apparatus which conveys the said conveyance container with respect to the said some accommodating part, and each said some accommodating part. An inert gas supply passage for supplying gas, a discharge portion for discharging the inert gas supplied to the accommodation portion by the inert gas supply passage into the transport container housed in the accommodation portion; It relates to an article storage facility having a control device for controlling the operation of the conveying device, and a article storage method using such an article storage facility.

일본공개특허 제2010-182747호 공보(특허 문헌 1)에는, 상기와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에 구비되는 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 선반은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 등의 반송 용기를 수납하는 수납부를 복수 구비하고, 그 수납부의 각각에, 불활성 기체 공급로에 의해, 예를 들면, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체를 공급하고, 그 불활성 기체를 토출부에 의해 반송 용기의 내부로 토출하도록 구성되어 있다.Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-182747 (Patent Document 1) discloses an example of the article storage facility as described above. The article storage shelf which has the purge function with which the article storage facility of patent document 1 is equipped is provided with a some accommodating part which accommodates conveyance containers, such as FOUP which accommodates a semiconductor wafer, and each in the accommodating part has an inert gas. The supply path is configured to supply, for example, an inert gas such as nitrogen gas or argon gas, and discharge the inert gas into the inside of the transport container by the discharge unit.

상기 특허 문헌 1에서는, 반송 용기를 수납부에 수납했을 때, 토출부로부터 반송 용기의 내부로 불활성 기체를 토출하고, 기판에 부적합한 산소 가스나 수증기 등을 반송 용기 내로부터 배출시켜, 수납부에 수납되는 반송 용기를 내부가 불활성 기체로 충만된 상태로 한다. 이로써, 반송 용기에 수용된 기판의 산화 등의 문제점이 생기는 것을 억제한다.In the said patent document 1, when a conveyance container is accommodated in a accommodating part, inert gas is discharged from a discharge part into the inside of a conveyance container, oxygen gas, water vapor, etc. which are unsuitable for a board | substrate are discharged | emitted from a conveyance container, and is accommodated in a accommodating part The conveyance container used is made into the state filled inside with inert gas. This suppresses the occurrence of problems such as oxidation of the substrate accommodated in the transport container.

그러나, 상기한 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에서는, 불활성 기체 공급로의 파손이나 불활성 기체 공급로의 도중에 설치된 압력 조정 밸브 등의 기기의 고장에 의해, 수납부에 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 상기 수납부로 반송 용기를 수납한 상태가 계속된다. 그러므로, 수납부에 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우에, 외기가 반송 용기 내로 유입되는 것 등에 의해 반송 용기 내의 환경이 악화되어, 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생길 우려가 있다.However, in the article storage facility of the said patent document 1, inert gas was not able to be supplied appropriately to a storage part by damage to an inert gas supply path or failure of equipment, such as a pressure regulating valve provided in the middle of an inert gas supply path. Even if it is, the state which accommodated the conveyance container by the said storage part continues. Therefore, when the inert gas cannot be appropriately supplied to the storage portion, the environment in the conveying container may be deteriorated due to the inflow of outside air into the conveying container, which may cause a problem in the substrate in the conveying container.

일본공개특허 제2010-182747호 공보Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2010-182747

상기 문제점을 해결하기 위해, 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 그 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지하는 것이 가능한 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.In order to solve the said problem, even if it becomes impossible to supply an inert gas suitably to an accommodating part, the implementation of the goods storage facility which can prevent the problem which arises in advance in the board | substrate in the conveyance container accommodated in the accommodating part is requested | required. do.

본 발명에 관한 물품 보관 설비는, The article storage facility which concerns on this invention,

기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;A plurality of accommodating parts accommodating a transport container accommodating a substrate;

상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;A conveying apparatus for conveying the conveying container with respect to the plurality of storage portions;

상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로;An inert gas supply path for supplying an inert gas to each of the plurality of storage portions;

상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부;A discharge portion for discharging the inert gas supplied to the accommodation portion by the inert gas supply passage into the transport container accommodated in the accommodation portion;

상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;A control device for controlling the operation of the conveying device;

상기 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치;A supply state detection device for detecting a supply state of an inert gas to the plurality of storage portions;

여기서, 상기 제어 장치가, 상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 동시에, 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용(退避用) 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있다.Here, the prohibition number which the said control apparatus performed supply state determination which is determination of whether or not inert gas is supplied appropriately based on the detection information of the said supply state detection apparatus, and judged that inert gas was not supplied properly The plurality of storage sections are managed separately from the payment section and the other permission storage section, and are accommodated in the storage section switched from the permission storage section to the prohibited storage section according to a change in the supply state of the inert gas. It is comprised so that the conveyance process for retracting which conveys a conveyance container to the said accommodating part managed as the said permission accommodating part is performed.

상기한 구성에 의하면, 반송 용기를 수납부에 수납할 때 허가 수납부를 선택함으로써, 수납한 반송 용기 내에 불활성 기체를 적절히 공급할 수 있다.According to the said structure, inert gas can be suitably supplied in the conveyance container accommodated by selecting a permission accommodating part at the time of accommodating a conveyance container in a accommodating part.

또한, 불활성 기체 공급로의 파손이나 불활성 기체 공급로의 도중에 설치된 압력 조정 밸브 등의 기기의 고장에 의해, 수납부에 공급되는 불활성 기체가 적정 공급량보다 감소되는 현상, 또는 수납부에 전혀 불활성 기체가 공급되지 않는 현상이 발생한 경우에는, 상기 수납부가 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 이와 같이, 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도, 상기 수납부에 수납되어 있는 반송 용기를 허가 수납부로 반송하여 상기 허가 수납부에 의해 불활성 기체를 적절히 공급할 수 있으므로, 상기 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.In addition, a phenomenon in which the inert gas supplied to the storage portion is reduced from the proper supply amount due to the breakage of the inert gas supply passage or the failure of a device such as a pressure regulating valve provided in the middle of the inert gas supply passage, or the inert gas at all in the storage portion When the phenomenon of not being supplied occurs, the housing section is switched from the permission housing section to the prohibition housing section. And the conveyance container accommodated in the accommodating part switched to the prohibited accommodating part is conveyed to the other accommodating part managed as a permission accommodating part by execution of the repelling conveyance process. Thus, even when it becomes impossible to supply an inert gas suitably to a storage part, since the conveyance container accommodated in the said storage part can be conveyed to a permission storage part, an inert gas can be supplied appropriately by the said permission storage part, Problems can be prevented from occurring in the substrate in the container.

본 발명에 관한 물품 보관 설비의 기술적 특징은, 물품 보관 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 물품 보관 방법에 대해서도, 전술한 물품 보관 설비에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.The technical feature of the article storage facility which concerns on this invention is applicable also to a article storage method, and this invention can also make such a method the object of a right. Also with this article storage method, the effect of the above-mentioned article storage facility can be obtained.

즉, 본 발명에 관한 물품 보관 방법은,That is, the article storage method according to the present invention,

기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,A plurality of storage portions for storing a transport container for accommodating a substrate,

상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,A conveying apparatus for conveying the conveying container with respect to the plurality of storage portions;

상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로와,An inert gas supply path for supplying an inert gas to each of the plurality of storage portions;

상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부와,A discharge part for discharging the inert gas supplied to the accommodation part by the inert gas supply path into the transport container housed in the accommodation part;

상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,A control device for controlling the operation of the conveying device;

상기 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치를 구비한 물품 보관 설비를 이용한 방법이며,It is a method using the article storage facility provided with the supply state detection apparatus which detects the supply state of the inert gas to the said some accommodating part,

상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, As a process performed by the control device,

상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 수납부 관리 공정;Based on the detection information of the said supply state detection apparatus, supply state determination which is determination of whether or not an inert gas is supplied appropriately is performed, and the prohibition accommodating part which judged that the inert gas was not supplied appropriately, and permission other than that A storage unit management step of managing the plurality of storage units separately from the storage units;

불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용 반송 처리 공정을 포함한다.Resistant conveyance which conveys the said conveyance container accommodated in the said accommodating part switched from the said permission accommodating part to the said prohibited accommodating part to the said accommodating part managed as the said permission accommodating part according to the change of the supply state of an inert gas. Treatment process.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, the said some accommodating part is divided into a some compartment, As a supply state detection apparatus, A compartment supply which detects the supply state of the inert gas to each of these some compartments. The accommodating part which belongs to the said compartment which installed the state detection apparatus, the said control apparatus judges the said supply state based on the detection information of the said supply state detection apparatus for compartments, and judged that inert gas was not supplied appropriately. It is preferable that it is comprised so that all of may be managed as said prohibition accommodating part.

예를 들면, 공급 상태 검출 장치에 의해, 복수의 수납부의 모두를 일괄하여 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 것을 생각할 수 있다. 이 경우, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것이 검출되었을 때, 복수의 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리되어 버린다. 이에 대하여, 상기한 구성에 의하면, 구획용 공급 상태 검출 장치에 의해, 구획의 단위로 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하기 위해, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 구획에 속하는 수납부만을, 금지 수납부로서 관리할 수 있다.For example, it can be considered that the supply state detecting device collectively detects the supply state of the inert gas by collectively all of the plurality of storage portions. In this case, when it is detected that the inert gas is not properly supplied, all of the plurality of storage portions are managed as prohibited storage portions. On the other hand, according to the said structure, in order to detect the supply state of the inert gas to a some accommodating part by the unit of a compartment by the supply state detection apparatus for partitions, the number which belongs to the division to which the inert gas is not supplied suitably. Only payment can be managed as a prohibited storage part.

그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않게 된 경우라도, 그것이 일부의 구획에만 영향을 주는 것이면, 그 영향이 있었던 구획에 속하는 수납부만을 금지 수납부로서 관리하고, 영향이 없는 구획에 속하는 수납부는 허가 수납부로서 관리할 수 있다. 따라서, 복수의 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, even if the inert gas is not properly supplied, if it affects only a part of the compartments, only the storage unit belonging to the affected compartment is managed as a prohibited storage unit, and the storage unit belonging to the unaffected compartment is permitted. It can be managed as payment. Therefore, it is possible to prevent all of the plurality of storage portions from being managed as the prohibited storage portions.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기(分岐) 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소(箇所)의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is provided to the said partition by the supply part for compartments which branch-suppresses inert gas to each of these some divisions, and the said supply part for compartments. A storage portion supply portion for branching the supplied inert gas to each of the plurality of storage portions in the compartment, and at each of the connection points between the compartment supply portion and the plurality of storage portion supply portions. A pressure regulating device is provided to adjust the pressure of the inert gas in the supply portion for the storage portion, and as the supply state detection device for the compartment, the pressure of the inert gas in each of the plurality of storage portion supply portions is detected. A pressure detection device is provided, and the control device is based on the detection information of the pressure detection device. The accommodating portion belonging to the section corresponding to the section supplying section for which the abnormality is detected is determined by the supply state judgment as to whether or not abnormal pressure is detected by the pressure detecting device with respect to the pressure adjusted by the apparatus. It is preferable that it is comprised so that all of may be managed as said prohibition accommodating part.

상기한 구성에 의하면, 압력 조정 장치에 고장이 생기고, 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출된 경우에, 그 압력 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 비정상적인 압력이 검출된 구획용 공급 부분에 대응하는 구획에 속하는 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.According to the above configuration, when a failure occurs in the pressure regulating device and abnormal pressure is detected by the pressure detecting device with respect to the pressure adjusted by the pressure adjusting device, the inert gas is supplied through the pressure adjusting device. It is judged that inert gas is not supplied appropriately with respect to payment part, and all the accommodating parts which belong to the compartment corresponding to the compartment supply part where the abnormal pressure was detected are managed as a prohibited accommodating part. And the conveyance container accommodated in the accommodating part switched to the prohibited accommodating part is conveyed to the other accommodating part managed as a permission accommodating part by execution of the repelling conveyance process. Therefore, it can prevent in advance that a problem arises in the board | substrate in the conveyance container accommodated in a accommodating part.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와, 상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상(異常)을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하고, 또한 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is provided with the accommodating part supply part which branch-feeds inert gas to each of the said some accommodating part, The said accommodating part supply part and the said discharge part, A flow rate adjusting device which is provided at each of the connection points of and adjusts the flow rate of the inert gas supplied to the discharge portion, and a relay device which relays communication between the control device and the plurality of flow rate adjusting devices belonging to the section; And a relay abnormality detection device for detecting abnormality of the relay device as the compartment supply state detection device, wherein the control device controls the operation of the flow rate adjusting device through the relay device, The abnormality is detected by the relay abnormality detecting device based on the detection information of the relay abnormality detecting device. Is a determination of whether or not that all of the storage belonging to the blocks corresponding to the access point is performed as the supply state is determined, the abnormality is detected is configured to manage a receiving part the inhibition is preferred.

상기한 구성에 의하면, 중계 장치에 이상이 생기고 있는 것이 중계 이상 검출 장치에 의해 검출된 경우에, 그 중계 장치의 통신 대상의 유량 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 이상이 검출된 중계 장치에 대응하는 구획에 속하는 수납부의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.According to the above-described configuration, when it is detected by the relay abnormality detecting device that an abnormality is occurring in the relay device, the inert gas is suitably supplied to the accommodating part to which the inert gas is supplied through the flow rate adjusting device for communication of the relay device. Is determined to be not supplied, and all of the storage units belonging to the section corresponding to the relay apparatus in which the abnormality is detected are managed as the prohibited storage unit. And the conveyance container accommodated in the accommodating part switched to the prohibited accommodating part is conveyed to the other accommodating part managed as a permission accommodating part by execution of the repelling conveyance process. Therefore, it can prevent in advance that a problem arises in the board | substrate in the conveyance container accommodated in a accommodating part.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, as a supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for accommodating parts which detects the supply state of the inert gas to each of the said some accommodating part is provided, and the said control apparatus, It is preferable that the said supply state determination is performed based on the detection information of the said supply state detection apparatus for accommodating parts, and it is comprised so that the accommodating part which determined that inert gas was not supplied appropriately is managed as the said prohibited accommodating part.

상기한 구성에 의하면, 수납부용 공급 상태 검출 장치에 의해, 수납부의 단위로 복수의 수납부에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하기 위해, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부만을 금지 수납부로서 관리할 수 있다.According to the said structure, in order to detect the supply state of the inert gas to a some accommodating part by the unit of a accommodating part by the supply state detection apparatus for accommodating parts, only the accommodating part in which inert gas is not supplied suitably is prohibited. Can be managed as

그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않게 된 경우라도, 그것이 일부의 수납부에만 영향을 주는 것이면, 그 영향이 있었던 수납부만을 금지 수납부로서 관리하고, 영향이 없는 수납부는 허가 수납부로서 관리할 수 있다. 따라서, 수납부가 필요 이상으로 금지 수납부로서 관리되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, even if the inert gas is not properly supplied, if it affects only a part of the storage unit, only the storage unit having the influence can be managed as the prohibited storage unit, and the storage unit without the influence can be managed as the permission storage unit. have. Therefore, it is possible to prevent the storing portion from being managed as the prohibited storing portion more than necessary.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 퇴피용 반송 처리로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, the said some accommodating part is divided into a some division, and in addition to the said supply state detection apparatus for accommodating parts as said supply state detection apparatus, it is inactive to each of the said some divisions. A compartment supply state detection device for detecting a supply state of gas is provided, and the control device performs the supply state determination based on detection information of the compartment supply state detection device, and an inert gas is not properly supplied. It is comprised so that all the said accommodating parts which belonged to the said compartment determined as the said prohibition accommodating part are supplied, and an inert gas is appropriately supplied based on the detection information of the said supply state detection apparatus for accommodating parts as the said conveyance process for repelling. For the conveyance housed in the housing section determined as not being A, it is first preferable to be configured to transfer the license to the housing.

구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 구획에 속하는 수납부의 모두를, 금지 수납부로서 관리하는 경우에는, 상기 구획에 속하는 모든 수납부에 수납되어 있는 반송 용기가, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 이 때, 상기한 구성에 의하면, 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부에 대해서는, 다른 수납부보다 우선적으로, 반송 용기를 허가 수납부로 반송한다. 그러므로, 불활성 기체가 적절히 공급되지 않을 가능성이 높은 수납부에 수납되어 있는 반송 용기를 조기에 허가 수납부로 반송할 수 있고, 그 결과, 기판에 문제점이 생기는 것을 억제할 수 있다.Based on the detection information of the compartment supply state detection device, when all of the storage units belonging to the section determined as not being properly supplied with the inert gas are managed as the prohibited storage unit, the storage units are stored in all the storage units belonging to the compartment. The conveyance container currently conveyed is conveyed to the other accommodating part managed as a permission accommodating part by execution of the conveyance process for saving. At this time, according to the said structure, about the accommodating part which judged that the inert gas was not supplied appropriately based on the detection information of the supply state detection apparatus for accommodating parts, a conveyance container is given preferentially to the other accommodating part. Return to Therefore, the conveyance container accommodated in the accommodating part with a high possibility of not supplying inert gas suitably can be conveyed to a permission accommodating part early, As a result, a problem arises in a board | substrate can be suppressed.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류(通流) 조정 장치가 설치되고, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the article storage facility embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is provided with the accommodating part supply part which supplies an inert gas to each of the said some accommodating part, and the said accommodating part supply part and the discharge part A flow control device is provided at each of the connection points and is capable of adjusting the flow rate of the inert gas supplied to the discharge section. The flow-through device for detecting an abnormality in the flow control device is provided as the supply state detection device for the housing section. An abnormality detection device is provided, and the control device performs, as the supply state judgment, a determination as to whether or not an abnormality is detected by the current abnormality detection device based on the detection information of the current abnormality detection device. The storing portion to which inert gas is supplied through the detected flow adjusting device is managed as the prohibited storing portion. It is preferable that it is comprised so that.

상기한 구성에 의하면, 통류 조정 장치에 이상이 생기고, 그 이상이 통류 이상 검출 장치에 의해 검출된 경우에, 그 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되고 있는 수납부에 대하여 적절히 불활성 기체가 공급되고 있지 않는 것으로 판정하여, 그 이상이 검출된 통류 조정 장치에 대응하는 수납부가 금지 수납부로서 관리된다. 그리고, 금지 수납부로 전환된 수납부에 수납되어 있는 반송 용기는, 퇴피용 반송 처리의 실행에 의해, 허가 수납부로서 관리되고 있는 다른 수납부로 반송된다. 그러므로, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내의 기판에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.According to the above configuration, when an abnormality occurs in the flow regulating device, and the abnormality is detected by the flowing abnormality detecting device, an inert gas is appropriately supplied to the housing portion to which the inert gas is supplied through the flow adjusting device. It is judged that there is no, and the storing part corresponding to the flow control apparatus with which the abnormality was detected is managed as a prohibited storing part. And the conveyance container accommodated in the accommodating part switched to the prohibited accommodating part is conveyed to the other accommodating part managed as a permission accommodating part by execution of the repelling conveyance process. Therefore, it can prevent in advance that a problem arises in the board | substrate in the conveyance container accommodated in a accommodating part.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, the said some accommodating part is divided into a some compartment, and the said supply state detection apparatus is a compartment supply which detects the supply state of the inert gas to each of the said some compartment. The state detection device is provided, and in the storage unit management step, the supply state determination is performed based on the detection information of the supply state detection device for partitions, and the belonging to the section that determines that inert gas is not properly supplied. It is preferable to manage all of the storage portions as the prohibition storage portions.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is a partition supply part which branch-feeds an inert gas to each of the said some partitions, and the inertness supplied to the said partition by the said partition supply part. A storage portion supply portion for branching and supplying gas to each of the plurality of storage portions in the compartment, and provided at each of the connection points between the compartment supply portion and the plurality of storage portion supply portions to supply the storage portion. A pressure adjusting device for adjusting the pressure of the inert gas in the portion is provided in the article storage facility, and as the supply state detection device for the compartment, detecting the pressure of the inert gas in each of the plurality of storage part supply portions. A pressure detection device is provided, and the storage unit management step is based on the detection information of the pressure detection device. Determining whether or not abnormal pressure is detected by the pressure detecting device with respect to the pressure adjusted by the pressure adjusting device, as the supply state judgment, and It is preferable to manage all the said accommodating parts which belong to a division as said prohibition accommodating part.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와, 상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하는 유량 조정 공정을 더 포함하고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is provided with the supply part for accommodating parts which branch-feeds inert gas to each said some accommodating part, The said accommodating part supply part and the said discharge part, A flow rate adjusting device which is provided at each connection point of the control unit and adjusts the flow rate of the inert gas supplied to the discharge portion, and a relay device which relays communication between the control device and the plurality of flow rate adjusting devices belonging to the section; A relay abnormality detection device, which is installed in an article storage facility and is supplied with the division supply state detection device, which detects an abnormality of the relay device, is executed by the control device, wherein the flow rate adjustment is performed through the relay device. Further comprising a flow rate adjusting step of controlling the operation of the device, in the storage unit management step, On the basis of the detection information of the system abnormality detection device, a determination as to whether or not an abnormality is detected by the relay abnormality detection device is performed as the supply state judgment, and the belonging to the section corresponding to the relay device in which the abnormality is detected. It is preferable to manage all of the storage portions as the prohibition storage portions.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, as a supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for accommodating parts which detects the supply state of the inert gas to each of the said some accommodating part is provided, and the said accommodating part management process In the above, it is preferable to perform the supply state determination based on the detection information of the supply state detection device for a storage unit, and to manage the storage unit as the prohibited storage unit, which determines that the inert gas is not properly supplied.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구획으로 구분되고, 상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하고, 상기 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, the said some accommodating part is divided into a some division, and in addition to the said supply state detection apparatus for accommodating parts as said supply state detection apparatus, it is inactive to each of the said several compartments. A compartment supply state detection device for detecting a gas supply state is provided, and in the storage part management step, the supply state determination is performed based on the detection information of the compartment supply state detection device, and an inert gas is appropriately supplied. All of the storage portions belonging to the section determined to be absent are managed as the prohibited storage portion, and in the evacuation conveyance processing step, an inert gas is appropriately supplied based on the detection information of the supply state detection apparatus for storage portion. The conveyance container housed in the storage section determined not to be present, It is preferable to convey to the said permission accommodating part first.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급로가, 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고, 상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류 조정 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고, 상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는 것이 바람직하다.In the article storage method embodiment which concerns on this invention, the said inert gas supply path is provided with the accommodating part supply part which supplies an inert gas to each of the said some accommodating part, and the said accommodating part supply part and the said discharge part A flow regulating device provided at each of the connection points and capable of adjusting the flow rate of the inert gas supplied to the discharge part is provided in the article storage facility, and detects an abnormality of the flow regulating device as the supply state detection device for the storage part. A flow-through abnormality detection device is provided, and in the storage part management step, a determination as to whether the abnormality is detected by the flow-through abnormality detection device based on the detection information of the flow-through abnormality detection device as the supply state judgment. The accommodating portion to which an inert gas is supplied through the flow control device in which an abnormality is detected. It is preferable to manage as the said prohibited storing part.

도 1은 물품 보관 설비의 종단 측면도이다.
도 2는 동(同) 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이다.
도 3은 수납부의 사시도이다.
도 4는 용기가 탑재된 상태의 수납부의 정면도이다.
도 5는 용기가 탑재되어 있지 않은 상태의 수납부의 정면도이다.
도 6은 구획으로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 7은 수납부로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 8은 제어 블록도이다.
도 9는 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 일례를 나타낸 도면이다.
도 10은 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 다른 일례를 나타낸 도면이다.
도 11은 제어 장치에 의한 수납부의 관리 상태의 또 다른 일례를 나타낸 도면이다.
도 12는 하이패스용 전환 밸브가 폐쇄 상태인 경우의 불활성 기체의 공급 상태를 나타낸 도면이다.
도 13은 하이패스용 전환 밸브가 개방 상태인 경우의 불활성 기체의 공급 상태를 나타낸 도면이다.
도 14는 플로우차트이다.1 is a longitudinal side view of an article storage facility.
2 is a vertical front view showing a part of the equipment.
3 is a perspective view of the housing.
4 is a front view of the housing portion in which the container is mounted.
5 is a front view of the housing portion in which the container is not mounted.
6 is a view showing a mode of supplying an inert gas to a compartment.
7 is a view showing a supply mode of an inert gas to the storage unit.
8 is a control block diagram.
9 is a diagram illustrating an example of a management state of the storage unit by the control device.
It is a figure which shows another example of the management state of the accommodating part by a control apparatus.
It is a figure which shows still another example of the management state of the accommodating part by a control apparatus.
It is a figure which shows the supply state of the inert gas, when a highpass switching valve is closed.
It is a figure which shows the supply state of the inert gas, when a highpass switching valve is open state.
14 is a flowchart.

본 발명을 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 설비에 적용한 경우의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment when the present invention is applied to the goods storage facility which has a purge function is demonstrated with reference to drawings.

[전체 구성][Overall configuration]

물품 보관 설비는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 W를 밀폐 상태로 수용하는 반송 용기(50)[이하, 용기(50)라고 함]를 수납하는 수납부(10S)를 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열하여 설치한 보관 선반(10)과, 복수의 수납부(10S) 및 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)를 반송하는 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(20)을 구비한 자동 창고에 의해 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 기판 W가 반도체 웨이퍼이며, 그 반도체 웨이퍼를 수용하는 F O U P(Front 0pening Unified Pod)가, 보관 대상의 용기(50)이다.As shown in FIGS. 1 and 2, the article storage facility has a storage portion 10S that accommodates the transport container 50 (hereinafter referred to as the container 50) for accommodating the substrate W in a sealed state in the up and down direction. Automatic with stacker crane 20 as a conveying apparatus which conveys the container 50 with respect to the storage shelf 10 arrange | positioned and installed in the left-right direction, the some storage part 10S, and the incoming and outgoing conveyor CV. It is constructed by a warehouse. And in this embodiment, the board | substrate W is a semiconductor wafer, and F0 UP (Front 0pening Unified Pod) which accommodates this semiconductor wafer is the container 50 for storage.

[용기(50)의 구성][Configuration of Container 50]

도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)는, 기판 W를 출입시키기 위한 개구를 구비한 케이싱(51)과, 케이싱(51)의 개구를 닫는 착탈(着脫) 가능한 커버체(도시하지 않음)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 4, the container 50 includes a casing 51 having an opening for entering and exiting the substrate W, and a removable cover body that closes the opening of the casing 51 (not shown). Equipped with.

도 1, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 케이싱(51)의 상면에는, 호이스트식(hoist type)의 반송차(搬送車) D에 의해 파지(把持)되는 탑 플랜지(52)가 형성되고, 케이싱(51)의 바닥부에는, 후술하는 바와 같이, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해 급기구(50i) 및 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는, 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, FIG. 2, and FIG. 4, the top flange 52 gripped by the hoist type conveyance vehicle D is formed in the upper surface of the casing 51, and At the bottom of the casing 51, as described later, an air supply port 50i and an exhaust port 50o are provided for injecting nitrogen gas as an inert gas. Although not shown in the drawing, the injection side open / close valve is provided in the air supply port 50i, and the discharge side open / close valve is provided in the exhaust port 50o.

즉, 용기(50)는, 기판 W를 수용한 형태로 커버체에 의해 개구를 폐쇄되는 동시에, 급기구(50i) 및 배기구(50o)의 각각의 개폐 밸브가 폐쇄 상태로 되므로, 기판 W를 밀폐 상태로 수용한다.That is, the container 50 closes the opening by the cover body in the form which accommodated the board | substrate W, and the opening / closing valve of each of the air supply port 50i and the exhaust port 50o is closed, and the board | substrate W is sealed. Accept in state.

주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 토출 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.When the injection side opening / closing valve is pressurized in the closing direction by a pressurizing member such as a spring and the discharge pressure of the nitrogen gas supplied to the air supply port 50i is equal to or higher than the set valve opening pressure higher than the atmospheric pressure, It is configured to be opened by pressure.

또한, 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.In addition, when the discharge-side opening / closing valve is pressurized in the closing direction by a pressurizing member such as a spring, and the pressure inside the container 50 is equal to or higher than the set valve opening pressure of which the set value is higher than the atmospheric pressure, the pressure is opened by the pressure. It is configured to be operated.

[스태커 크레인(20)의 구성][Configuration of Stacker Crane 20]

도 1에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일을 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워 설치된 마스트(22)와, 마스트(22)의 상단에 설치되어 도시하지 않은 상부 가이드 레일과 걸어맞추어지는 상부 프레임(23)과, 상기 마스트(22)에 안내되는 형태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, the stacker crane 20 includes a traveling cart 21 capable of traveling along a traveling rail provided at the bottom of the front side of the storage shelf 10, and the traveling cart 21. The mast 22 installed on the top, the upper frame 23 installed at the upper end of the mast 22 and engaged with an upper guide rail (not shown), and a lifting platform movable in a form guided by the mast 22 ( 24).

승강대(24)에는, 수납부(10S)나 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)를 이송탑재(transfer)하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다.The lifting platform 24 is equipped with a transfer mounting apparatus 25 that transfers the container 50 to the storage 10S and the entry and exit conveyor CV.

그리고, 스태커 크레인(20)은, 주행 대차(21)의 주행 이동, 승강대(24)의 승강 이동 및 이송탑재 장치(25)의 이송탑재 작동에 의해, 입출고 컨베이어 CV 상의 용기(50)를 수납부(10S)로 반송하는 입고 작업, 수납부(10S)의 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV 상으로 반송하는 출고 작업, 및 수납부(10S)의 용기(50)를 다른 수납부(10S)로 반송하는 퇴피 작업을 실행하도록 구성되어 있다.And the stacker crane 20 accommodates the container 50 on the incoming and outgoing conveyor CV by the traveling movement of the traveling trolley 21, the lifting movement of the platform 24, and the transfer loading operation of the transfer mounting apparatus 25. Receiving work conveyed to 10S, leaving-out work which takes in and unloads container 50 of 10S, and conveys onto container CV, and conveys container 50 of 10S of storage to other storage 10S. Configured to execute the evacuation operation.

[수납부(10S)의 구성][Configuration of Storage Unit 10S]

도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에는, 상하 방향으로 수납부(10S)가 복수 단(段)(본 예에서는 8단) 배열되어 설치되고, 좌우 방향으로 수납부(10S)가 복수 열(본 예에서는 9열, 도 2에는 4열만 도시하고 있음) 배열되어 형성되어 있고, 보관 선반(10)의 전체에서, 수납부(10S)가 72개소에 설치되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 방향으로 배열되어 설치된 4단의 수납부(10S)와, 좌우 방향으로 배열되어 설치된 3열의 수납부(10S)로 이루어지는 합계 12개소의 수납부(10S)를 1개의 구획 CH로 하여, 72개소의 수납부(10S)가 6개의 구획 CH 중 어느 하나에 속하도록 구분되어 있다. 이와 같이, 보관 선반(10)에 설치된 복수의 수납부(10S)가, 복수의 구획 CH로 구분되어 있다.As shown in FIG. 2, the storage shelf 10 is provided with a plurality of storage units 10S arranged in a plurality of stages (eight stages in this example) in the vertical direction, and a plurality of storage portions 10S are arranged in the left and right directions. Rows (9 rows in this example, only four rows are shown in FIG. 2) are arranged and formed, and in the entirety of the storage shelf 10, the storage portions 10S are provided at 72 locations. As shown in FIG. 6, a total of 12 storage units 10S including four storage units 10S arranged in the vertical direction and three storage units 10S arranged in the left and right directions are provided. As one compartment CH, 72 storage parts 10S are divided so that it may belong to any one of six compartments CH. In this way, the plurality of storage portions 10S provided on the storage shelf 10 are divided into a plurality of compartments CH.

도 3에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각에는, 용기(50)를 탑재 지지하는 탑재 지지부(10a)가 구비되어 있고, 수납부(10S)는, 탑재 지지부(10a)에 용기(50)를 탑재 지지한 상태로, 상기 용기(50)를 수납한다.As shown in FIG. 3, each of the plurality of storage portions 10S includes a mounting support portion 10a for mounting and supporting the container 50, and the storage portion 10S includes a container in the mounting support portion 10a. The container 50 is stored in a state where the 50 is mounted and supported.

또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)의 하면부에 형성된 피(被)걸어맞춤부(도시하지 않음)에 걸어맞추어져 상기 용기(50)를 규정 위치로 위치결정하기 위한 3개의 위치 결정 돌기(10b)와, 용기(50)가 탑재 지지부(10a) 상에 탑재되어 있는지의 여부[즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되었는지의 여부]를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되어 있다.In addition, the mounting support 10a has three positions for engaging the engagement portion (not shown) formed in the lower surface portion of the vessel 50 to position the vessel 50 to a prescribed position. Two stock sensors that detect whether the crystal protrusion 10b and the container 50 are mounted on the mounting support 10a (that is, whether the container 50 is stored in the storage portion 10S). 10z is provided.

또한, 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지부(10a)에는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)의 내부에 불활성 기체로서의 질소 가스를 공급하는 토출부로서의 토출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출된 기체를 통류하는 배출용 통기체(10o)가 설치되어 있다.3 and 5, the discharge nozzle 10i serving as the discharge portion for supplying nitrogen gas as an inert gas to the mounting support portion 10a inside the container 50 housed in the housing portion 10S. And a venting body 10o for flowing the gas discharged from the inside of the container 50 is provided.

도 4에 나타낸 바와 같이, 토출 노즐(10i)은, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태로, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 급기구(50i)에 결합되는 개소에 설치되어 있다. 또한, 배출용 통기체(10o)는, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태로, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 배기구(50o)에 끼워맞추어지는 개소에 설치되어 있다.As shown in FIG. 4, the discharge nozzle 10i is provided in the air supply 50i provided in the lower surface part of the container 50, with the container 50 mounted in the predetermined position on the mounting support part 10a. It is installed in the place where it is joined. In addition, the exhaust vent body 10o is fitted to the exhaust port 50o provided in the lower surface portion of the container 50 in a state where the container 50 is mounted at a prescribed position on the mounting support part 10a. Installed in

즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 탑재 지지부(10a)에 탑재되면, 위치 결정 돌기(10b)에 의해 상기 용기(50)가 규정 위치에 위치결정되어, 토출 노즐(10i)가 급기구(50i)에 끼워맞춤 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 배기구(50o)에 최상 결합 상태로 접속된다.That is, when the container 50 is accommodated in the accommodating part 10S and mounted in the mounting support part 10a, the said container 50 is positioned in a predetermined position by the positioning protrusion 10b, and the discharge nozzle 10i is carried out. It is connected to the supply mechanism 50i in the fitted state, and the exhaust vent 10o is connected to the exhaust port 50o in the best coupling state.

그리고, 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 토출 노즐(10i)로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 토출시킴으로써, 용기(50)의 급기구(50i)로부터 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입하고, 용기(50)의 배기구(50o)로부터 용기 내의 기체를 외부로 배출시키도록 구성되어 있다.Then, in a state where the container 50 is mounted and supported on the mounting support part 10a, the air supply port 50i of the container 50 is discharged by discharging nitrogen gas having a pressure higher than a set value higher than atmospheric pressure from the discharge nozzle 10i. Nitrogen gas is injected into the inside of the container 50, and the gas in a container is discharged | emitted from the exhaust port 50o of the container 50 to the outside.

[질소 가스의 공급 구성][Supply structure of nitrogen gas]

도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 복수의 수납부(10S)에 질소 가스를 공급하는 불활성 기체 공급로로서의 질소 가스 공급로(60)가 설치되어 있다. 다음에, 이 질소 가스 공급로(60)에 대하여 설명한다. 그리고, 도 6은 구획 CH의 각각에 대하여 질소 가스를 공급하는 구성을 나타낸 도면이며, 도 7은 수납부(10S)의 각각에 대하여 질소 가스를 공급하는 구성을 나타낸 도면이다. 그리고, 도 7에는, 상하 방향으로 배열된 2개의 구획 CH만을 나타내고 있다.6 and 7, the article storage facility is provided with a nitrogen gas supply passage 60 as an inert gas supply passage for supplying nitrogen gas to the plurality of storage portions 10S. Next, this nitrogen gas supply path 60 is demonstrated. 6 is a diagram illustrating a configuration of supplying nitrogen gas to each of the compartments CH, and FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of supplying nitrogen gas to each of the storage portions 10S. 7 shows only two compartments CH arranged in the vertical direction.

도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급로(60)는, 메인 공급 부분(61)과, 메인 공급 부분(61)에 의해 공급된 질소 가스를 복수의 구획 CH의 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분(62)과, 구획용 공급 부분(62)에 의해 구획 CH에 공급된 질소 가스를 상기 구획 CH에서의 복수의 수납부(10S)의 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분(63)을 구비하고 있다.As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the nitrogen gas supply passage 60 branches and supplies the main supply portion 61 and the nitrogen gas supplied by the main supply portion 61 to each of the plurality of sections CH. The compartment supply part 62 and the compartment supply part 63 which branch-supply the nitrogen gas supplied to the compartment CH by the compartment supply part 62 to each of the some storage part 10S in the said compartment CH. ).

도 6에 나타낸 바와 같이, 구획용 공급 부분(62)은, 메인 공급 부분(61)에 접속된 상류 구획용 공급부(62a)와, 상류 구획용 공급부(62a)로부터 분기되는 복수의 하류 구획용 공급부(62b)를 구비하고 있다. 상류 구획용 공급부(62a)에는, 구획 CH의 수와 같은 6경로의 하류 구획용 공급부(62b)가 접속되어 있다.As shown in FIG. 6, the partition supply part 62 includes an upstream compartment supply part 62a connected to the main supply part 61 and a plurality of downstream compartment supply parts branched from the upstream compartment supply part 62a. 62b is provided. The upstream division supply part 62a is connected to the downstream division supply part 62b of six path | paragraphs equal to the number of division CHs.

그리고, 상류 구획용 공급부(62a)는, 메인 공급 부분(61)과 같은 배관 사이즈로 되어 있고, 하류 구획용 공급부(62b)는, 상류 구획용 공급부(62a)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.And the upstream division supply part 62a becomes the piping size same as the main supply part 61, and the downstream division supply part 62b becomes the piping size thinner than the upstream division supply part 62a.

수납부용 공급 부분(63)은, 구획 CH의 수와 같은 6경로 설치되어 있고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)의 각각이, 구획용 공급 부분(62)에 접속된 상류 수납부용 공급부(63a)와, 상류 수납부용 공급부(63a)로부터 분기되는 중류 수납부용 공급부(63b)와, 중류 수납부용 공급부(63b)로부터 분기되는 하류 수납부용 공급부(63c)를 구비하고 있다. 상류 수납부용 공급부(63a)에는, 구획 CH에서의 수납부(10S)의 단수(段數; number of stage)와 같은 4경로의 중류 수납부용 공급부(63b)가 접속되어 있고, 중류 수납부용 공급부(63b)에는, 구획 CH에서의 수납부(10S)의 열수와 같은 3경로의 하류 수납부용 공급부(63c)가 접속되어 있다.The supply part 63 for a storage part is provided with six path | routes similar to the number of division CH, and as shown in FIG. 7, the upstream of each supply part 63 for a storage part connected to the supply part 62 for compartments is shown. The supply part 63a for accommodating parts, the supply part 63b for upstream accommodating parts branched from the supply part 63a for upstream accommodating parts, and the supply part 63c for downstream accommodating parts branched from the supply part 63b for midstream accommodating parts are provided. The upstream storage section supply section 63a is connected to a four-path upstream section section supply section 63b that is the same as the number of stages of the storage section 10S in the partition CH. 63b), the supply part 63c for downstream storage parts of three path | paths like the number of rows of 10S of storage parts in the partition CH is connected.

그리고, 상류 수납부용 공급부(63a) 및 중류 수납부용 공급부(63b)는, 하류 구획용 공급부(62b)와 같은 배관 사이즈로 되어 있고, 하류 수납부용 공급부(63c)는, 상류 수납부용 공급부(63a) 및 중류 수납부용 공급부(63b)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.And the upstream storage part supply part 63a and the intermediate | middle storage part supply part 63b are the same piping size as the downstream compartment supply part 62b, and the downstream storage part supply part 63c is the upstream storage part supply part 63a. And a pipe size thinner than the supply portion 63b for the midstream storage portion.

도 6에 나타낸 바와 같이, 메인 공급 부분(61)과 구획용 공급 부분(62)과의 접속 개소에는, 메인 공급 부분(61)으로부터 구획용 공급 부분(62)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 메인 밸브(65)가 설치되어 있다. 이 메인 밸브(65)를 조작함으로써, 보관 선반(10)의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 6, in the connection point of the main supply part 61 and the compartment supply part 62, the open state which nitrogen gas can flow from the main supply part 61 to the compartment supply part 62, and The main valve 65 which can be switched to the non-flowable closed state is provided. By operating this main valve 65, it is comprised so that switching to the state which supplies nitrogen gas and the state which does not supply by the unit of the storage shelf 10 is possible.

도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 구획용 공급 부분(62)과 복수의 수납부용 공급 부분(63)과의 접속 개소의 각각에는, 구획용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 구획용 밸브(66)와, 구획용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 통류하는 질소 가스의 통류량을 조정함으로써 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 조정하는 압력 조정 장치로서의 압력 조정용 밸브(67)와, 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 검출하는 압력 검출 장치로서의 압력 검출 센서(68)가 설치되어 있다. 구획용 밸브(66)를 조작함으로써, 구획 CH의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 6 and FIG. 7, at each of the connection points between the partition supply portion 62 and the plurality of storage portion supply portions 63, the compartment supply portion 62 is provided from the compartment supply portion 62. By adjusting the flow volume of the nitrogen gas which flows into the opening part 63 and the compartment valve 66 which can be switched to the open state which can let nitrogen gas flow through, and the closed state which cannot flow through, and the storage part supply part 63 from the compartment supply part 62, Pressure detection valve 67 as a pressure regulating device for adjusting the pressure of nitrogen gas in the supply part 63 for accommodating part, and pressure detection as a pressure detection apparatus for detecting the pressure of nitrogen gas in the supply part 63 for accommodating part. The sensor 68 is provided. By operating the valve 66 for partitions, it is comprised so that switching to the state which supplies nitrogen gas and the state which does not supply is carried out in the unit of division CH.

도 7에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)과 토출 노즐(10i)과의 접속 개소에는, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 수납부용 밸브(69)와, 매스플로우(mass flow) 컨트롤러(40)가 설치되어 있다. 수납부용 밸브(69)를 조작함으로써, 수납부(10S)의 단위로, 질소 가스를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 7, in the connection point between the accommodating part supply part 63 and the discharge nozzle 10i, an open state in which nitrogen gas can flow from the accommodating part supply part 63 to the ejection nozzle 10i is impossible. The valve 69 for a storage part which can be switched to a closed state, and the mass flow controller 40 are provided. By operating the valve 69 for a storage part, it is comprised so that switching to the state which supplies nitrogen gas and the state which does not supply is carried out in the unit of the storage part 10S.

매스플로우 컨트롤러(40)에는, 도 7에 있어서 부호만으로 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 공급되는 질소 가스의 통류량을 조정하는 유량 조정용 밸브(70)와, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 통류하는 질소 가스의 유량을 검출하는 유량 검출 센서(71)가 구비되어 있다. 즉, 매스플로우 컨트롤러(40)[유량 조정용 밸브(70)]가, 토출 노즐(10i)에 공급되는 질소 가스의 유량을 조정하는 통류 조정 장치에 상당한다.The mass flow controller 40 includes a flow rate adjustment valve 70 for adjusting the flow rate of nitrogen gas supplied from the supply portion 63 for the storage portion to the discharge nozzle 10i, as indicated by the reference numeral in FIG. 7, The flow rate detection sensor 71 which detects the flow volume of nitrogen gas which flows through the supply part 63 for accommodating parts to the discharge nozzle 10i is provided. That is, the mass flow controller 40 (flow rate adjustment valve 70) is corresponded to the flow control apparatus which adjusts the flow volume of nitrogen gas supplied to the discharge nozzle 10i.

도 7에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 수납부용 공급 부분(63) 중 2개를 조(組)로 하여, 조가 되는 2개의 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록, 바이패스(bypass) 부분(72)이 설치되어 있다. 그리고, 도 6에서는, 바이패스 부분(72)을 생략하고 있다.As shown in FIG. 7, in this embodiment, two of the some supply part 63 for accommodating parts is made into a tank, and the two supply parts 63 for accommodating parts which become a tank communicate with each other. A bypass portion 72 is provided. In FIG. 6, the bypass portion 72 is omitted.

이 바이패스 부분(72)은, 본 실시형태에서는, 상하 방향으로 인접하는 2개의 구획 CH에 속하는 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록 형성되어 있고, 6개의 구획 CH에 대하여 합계하여 3경로 설치되어 있다.In the present embodiment, the bypass portion 72 is formed so as to communicate the supply portions 63 for the storage portions belonging to the two compartments CH adjacent to each other in the vertical direction. Path is installed.

또한, 바이패스 부분(72)에는, 바이패스 부분(72)에서의 질소 가스의 통류가 가능한 개방 상태와 바이패스 부분(72)에서의 질소 가스의 통류가 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 하이패스용 전환 밸브(73)가 설치되어 있다. 하이패스용 전환 밸브(73)는, 기본적으로 폐쇄 상태로 전환된다. 그러므로, 이하에서는, 특별히 한정하지 않는 한, 하이패스용 전환 밸브(73) 상태는 폐쇄 상태인 것으로 한다.In addition, the bypass portion 72 is a high-pass switching that can be switched to an open state in which the nitrogen gas can flow in the bypass portion 72 and a closed state in which the nitrogen gas can not flow in the bypass portion 72. The valve 73 is provided. The high-pass switching valve 73 is basically switched to the closed state. Therefore, in the following, unless otherwise indicated, it is assumed that the high-pass switching valve 73 is in a closed state.

그리고, 바이패스 부분(72)은, 상류 수납부용 공급부(63a) 등과 같은 배관 사이즈로 되어 있다The bypass portion 72 has a piping size such as an upstream storage portion supply portion 63a.

[제어 구성][Control Configuration]

도 8에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하고, 또한 도시하지 않은 상위 컨트롤러로부터의 입고 지령 및 출고 지령에 기초하여 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 8, the control apparatus H manages the stock state of the container 50 in the storage shelf 10, etc., and is based on the stacker crane based on the receipt instruction | command and the release instruction | command from the upper controller which are not shown in figure. 20) to control the operation.

설명을 추가하면, 제어 장치 H는, 상위 컨트롤러로부터 입고 지령이 지령되면, 재고 상태에 기초하여, 용기(50)가 수납되어 있지 않은 빈 수납부(10S) 중 하나를 수납 대상의 수납부(10S)로서 선택하고, 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV로부터 수납 대상의 수납부(10S)로 반송할 수 있도록 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 입고 반송 처리를 실행한다. 또한, 제어 장치 H는, 상위 컨트롤러로부터 출고 지령이 지령되면, 재고 상태에 기초하여, 출고 대상의 용기(50)를 그것이 수납되어 있는 수납부(10S)로부터 입출고 컨베이어 CV 상으로 반송할 수 있도록 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 출고 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있다.When the explanation is added, the controller H receives one of the empty storage portions 10S in which the container 50 is not stored, based on the stock state, when the stocking instruction is commanded from the host controller. ), And the receipt and conveyance process which controls the operation of the stacker crane 20 so that the container 50 can be taken in and conveyed from the conveyor CV to the storage part 10S of a storage object is performed. In addition, when the release command is ordered from the host controller, the control device H, on the basis of the stock state, stacks the container 50 to be shipped from the storage 10S in which it is stored and transfers it onto the conveyor CV. It is comprised so that the shipment conveyance process which controls the operation of the crane 20 may be performed.

제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(programmable logic controller) P에 질소 가스의 공급량이나 질소 가스를 공급하는 수납부(10S)를 나타내는 공급 정보를 송신하여, 구획용 밸브(66), 수납부용 밸브(69) 및 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 다음에, 이 구획용 밸브(66), 수납부용 밸브(69) 및 유량 조정용 밸브(70)의 작동을 제어하는 제어 구성에 대하여 설명한다.The control device H transmits supply information indicating the supply amount of the nitrogen gas or the storage portion 10S for supplying the nitrogen gas to the programmable logic controller P, thereby providing the partition valve 66 and the storage valve 69. And the flow rate adjusting valve 70 (mass flow controller 40). Next, the control structure which controls the operation | movement of this division valve 66, the accommodating valve 69, and the flow regulating valve 70 is demonstrated.

압력 조정용 밸브(67) 및 하이패스용 전환 밸브(73)는, 본 실시형태에서는, 수동에 의해 조작되도록 구성되어 있다.The pressure adjusting valve 67 and the high pass switching valve 73 are configured to be operated manually by the present embodiment.

제어 장치 H에는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P와 IO 확장 모듈 A가 통신 가능하게 통신선에 의해 접속되어 있다.The programmable logic controller P and the IO expansion module A are connected to the control device H via a communication line so as to be able to communicate.

프로그래머블 로직 컨트롤러 P에는, 6구획분의 매스플로우 컨트롤러(40)가 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 12대의 매스플로우 컨트롤러(40)가 1개의 구획 CH에 속하기 때문에, 합계하여 72대의 매스플로우 컨트롤러(40)가, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 접속되어 있다.The mass flow controller 40 for 6 compartments is connected to the programmable logic controller P. FIG. In this embodiment, since 12 massflow controllers 40 belong to one division CH, 72 massflow controllers 40 are connected to the programmable logic controller P in total.

IO 확장 모듈 A는, 복수의 구획 CH의 각각에 대응하여 형성되어 있고, 구획 CH의 수와 같이 6대 설치되어 있다. IO 확장 모듈 A에는, 대응하는 구획 CH에 속하는 재고 센서(10z), 압력 검출 센서(68), 및 매니폴드(74)가 접속되어 있다.The IO expansion module A is formed corresponding to each of the plurality of partition CHs, and six units are provided as the number of partition CHs. The stock sensor 10z, the pressure detection sensor 68, and the manifold 74 which belong to the corresponding division CH are connected to IO expansion module A. FIG.

재고 센서(10z)는, 전술한 바와 같은 각각의 수납부(10S)에 대하여 2개 형성되어 있고, 1개의 구획 CH에 대하여 24개 설치되어 있다. 이 24개의 재고 센서(10z)가 IO 확장 모듈 A에 접속되어 있다.Two inventory sensors 10z are provided with respect to each storage part 10S as mentioned above, and 24 are provided with respect to one division CH. These 24 stock sensors 10z are connected to the IO expansion module A.

또한, 압력 검출 센서(68) 및 매니폴드(74)는, 복수의 구획 CH의 각각에 대응하여 형성되어 있고, 1개의 압력 검출 센서(68)와 1개의 매니폴드(74)가 IO 확장 모듈 A에 접속되어 있다. 또한, 매니폴드(74)는, 대응하는 구획 CH에 속하는 1개의 구획용 밸브(66)와 12개의 수납부용 밸브(69)를 전환 가능하게 구성되어 있다.In addition, the pressure detection sensor 68 and the manifold 74 are formed corresponding to each of several division CH, and one pressure detection sensor 68 and one manifold 74 are IO expansion module A. Moreover, as shown in FIG. Is connected to. In addition, the manifold 74 is comprised so that switchable one compartment valve 66 and twelve storage valves 69 which belong to the corresponding division CH is switchable.

그리고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 제어 장치 H로부터의 공급 정보에 기초하여, IO 확장 모듈 A를 통하여 매니폴드(74)에 지령 정보를 송신하도록 구성되어 있다. 매니폴드(74)는 지령 정보에 기초하여 작동하고, 질소 가스의 공급 대상의 수납부(10S)에 대하여, 질소 가스를 공급하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, IO 확장 모듈 A를 통하여 매니폴드(74)의 작동을 및 수납부용 밸브(69)의 전환을 제어하는, 유량 조정 공정을 실행한다.The programmable logic controller P is configured to transmit command information to the manifold 74 via the IO expansion module A based on the supply information from the control device H. The manifold 74 operates based on command information, and is configured to supply nitrogen gas to the storage portion 10S to which nitrogen gas is to be supplied. That is, the control device H executes the flow rate adjusting step of controlling the operation of the manifold 74 and the switching of the storage section valve 69 through the IO expansion module A.

또한, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 제어 장치 H로부터의 공급 정보에 기초하여, 매스플로우 컨트롤러(40)에 지령 정보를 송신하도록 구성되어 있다. 매스플로우 컨트롤러(40)는, 지령 정보에 따른 유량으로 할 수 있도록 유량 조정용 밸브(70)를 작동시켜, 토출 노즐(10i)로부터 토출하는 질소 가스의 유량을 조정하도록 구성되어 있다.The programmable logic controller P is configured to transmit command information to the massflow controller 40 based on the supply information from the control device H. The mass flow controller 40 is configured to operate the flow rate adjusting valve 70 to adjust the flow rate of the nitrogen gas discharged from the discharge nozzle 10i so as to achieve the flow rate according to the command information.

매스플로우 컨트롤러(40)는, 유량 조정용 밸브(70)에 이상이 생기는 등에 의해 유량 검출 센서(71)에 의해 검출하는 유량이 지령 정보에 따른 유량에 이르지 않는 상태가 설정 시간 동안 계속된 경우에는, 통류 이상 신호를 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 출력하도록 구성되어 있다. 그 통류 이상 신호는 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 제어 장치 H로 송신된다.When the mass flow controller 40 continues for a predetermined time when a state in which the flow rate detected by the flow rate detection sensor 71 does not reach the flow rate according to the command information due to an abnormality in the flow rate adjustment valve 70, It is configured to output the flow fault signal to the programmable logic controller P. The flow fault signal is transmitted from the programmable logic controller P to the control device H.

그리고, 매스플로우 컨트롤러(40)가, 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치에 상당하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에도 상당한다.And the mass flow controller 40 is equivalent to the flow-through abnormality detection apparatus which detects the abnormality of the flow control valve 70 (mass flow controller 40), and it is nitrogen gas with respect to each of several storage part 10S. It also corresponds to the supply state detection apparatus S2 for accommodating part which detects the supply state of the supply state, and the supply state detection apparatus S which detects the supply state of nitrogen gas to the some accommodating part 10S.

IO 확장 모듈 A는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터의 지령 정보에 대하여 응답 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, IO 확장 모듈 A로부터 지령 정보에 대한 응답 신호가 없는 경우, IO 이상 신호를 제어 장치 H로 송신하도록 구성되어 있다.The IO expansion module A is configured to output a response signal with respect to the command information from the programmable logic controller P. The programmable logic controller P is configured to transmit an IO abnormal signal to the control device H when there is no response signal to the command information from the IO expansion module A.

그리고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P가, IO 확장 모듈 A의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치에 상당하고, 복수의 구획 CH의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치 S1, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에도 상당한다.And the programmable logic controller P is equivalent to the relay abnormality detection apparatus which detects the abnormality of IO expansion module A, Compartment supply state detection apparatus S1 which detects the supply state of nitrogen gas to each of several division CH, and It is also corresponded to the supply state detection apparatus S which detects the supply state of nitrogen gas to the some accommodating part 10S.

매니폴드(74)는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터의 지령 정보에 대하여 응답 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 매니폴드(74)로부터 지령 정보에 대한 응답 신호가 없는 경우, 유량 이상 신호를 제어 장치 H로 송신하도록 구성되어 있다.The manifold 74 is configured to output a response signal to the command information from the programmable logic controller P. The programmable logic controller P is configured to transmit a flow rate abnormality signal to the control device H when there is no response signal to the command information from the manifold 74.

그리고, 매니폴드(74)와 수납부용 밸브(69)로 유량 조정 장치가 구성되어 있고, IO 확장 모듈 A가, 제어 장치 H와 구획 CH에 속하는 복수의 유량 조정 장치와의 통신을 중계하는 중계 장치에 상당한다.And a relay apparatus which is comprised from the manifold 74 and the valve | bulb 69 for accommodation parts, and IO expansion module A relays the communication with the control apparatus H and the some flow regulation apparatus which belongs to the division CH. Corresponds to

압력 검출 센서(68)는, 검출 정보를 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 출력하도록 구성되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러 P는, 압력 검출 센서(68)에 의해 검출된 압력이, 지령 정보에 따른 압력에 대하여 설정 압력 이상의 괴리(乖離)가 있었을 경우, 즉 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는 경우에는, 압력 이상 신호를 제어 장치 H에 대하여 송신하도록 구성되어 있다.The pressure detection sensor 68 is comprised so that detection information may be output to programmable logic controller P. FIG. The programmable logic controller P, when the pressure detected by the pressure detection sensor 68 has a deviation more than the set pressure with respect to the pressure according to the command information, that is, to the pressure adjusted by the pressure adjusting valve 67 On the other hand, when abnormal pressure is detected by the pressure detection sensor 68, it is comprised so that a pressure abnormal signal may be transmitted to the control apparatus H. FIG.

그리고, 압력 검출 센서(68)가, 복수의 구획 CH의 각각에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치 S1, 및 복수의 수납부(10S)에 대한 질소 가스의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치 S에 상당한다.And the pressure detection sensor 68 detects the supply state detection apparatus S1 for compartments which detects the supply state of nitrogen gas to each of several division CH, and the supply state of nitrogen gas to the some accommodating part 10S. It corresponds to supply state detection apparatus S to detect.

제어 장치 H는, 공급 상태 검출 장치 S의 검출 정보에 기초하여, 수납부 관리 공정을 실행한다. 수납부 관리 공정에서는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부(10S)인 금지 수납부와, 그 이외의 수납부(10S)인 허가 수납부로 구별하여, 복수의 수납부를 관리한다. 즉, 제어 장치 H는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 허가 수납부와 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 금지 수납부로 구별하여 복수의 수납부(10S)를 관리한다. 그리고, 제어 장치 H는, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 용기(50)가 수납되어 있는 경우에, 퇴피용 반송 처리 공정을 실행한다. 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송하는 퇴피용 반송 처리를 실행한다.The control apparatus H performs a storage part management process based on the detection information of the supply state detection apparatus S. FIG. In a storage part management process, supply state determination which is determination of whether nitrogen gas is supplied appropriately is performed, the prohibited storage part which is 10S of storage parts which judged that nitrogen gas was not supplied properly, and the number other than that A plurality of storage portions are managed by distinguishing them into a permission storage portion that is the payment portion 10S. That is, the control apparatus H manages the some storage part 10S by distinguishing it into the permission accommodating part which nitrogen gas is suitably supplied, and the prohibited accommodating part which nitrogen gas is not supplied suitably. And when the container 50 is accommodated in the accommodating part 10S switched from the permission accommodating part to the prohibited accommodating part according to the change of the supply state of nitrogen gas, the control apparatus H performs a retreat conveyance processing process. do. In the conveyance processing step for the evacuation, the storage part managed as the permission storage part is a container 50 housed in the storage part 10S switched from the permission storage part to the prohibited storage part in accordance with the change in the supply state of the nitrogen gas. The evacuation conveyance process of returning to 10S is performed.

제어 장치 H에 의한 복수의 수납부(10S)의 관리에 대하여 설명을 추가한다. 그리고, 도 9는 구획 CH에 속하는 모든 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 구획 CH를 나타내고, 도 10은 구획 CH에 속하는 모든 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH를 나타내고, 도 11은 구획 CH에 속하는 일부의 수납부(10S)에 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH를 예시하고 있다. 도 10 및 도 11에 있어서, 고장이 생긴 기기[도 10에서는 압력 조정용 밸브(67)] 및 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에, 해칭을 행하고 있다.Description is added about management of the some storage part 10S by the control apparatus H. FIG. 9 shows the section CH in which nitrogen gas is suitably supplied to all the storage sections 10S belonging to the section CH, and FIG. 10 shows that the nitrogen gas is not properly supplied to all the storage sections 10S belonging to the section CH. The section CH is shown, and FIG. 11 exemplifies the section CH in which nitrogen gas is not adequately supplied to a part of storage 10S belonging to section CH. In FIG. 10 and FIG. 11, hatching is carried out to the malfunctioning apparatus (the valve 67 for pressure adjustment in FIG. 10) and the accommodating part 10S managed as a prohibited accommodating part.

제어 장치 H는, 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 그 비정상적인 압력이 검출된 구획용 공급 부분(62)에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다(도 10 참조). 즉, 제어 장치 H는, 압력 검출 센서(68)의 검출 정보에 기초하여, 압력 조정용 밸브(67)에 의해 조정된 압력에 대하여 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 압력 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 압력 검출 센서(68)에 대응하는 구획 CH를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획 CH(이하, 「대상 구획」이라고 함)에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.When abnormal pressure is detected by the pressure detection sensor 68 with respect to the pressure adjusted by the pressure regulating valve 67, and the control apparatus H transmits a pressure abnormal signal from the programmable logic controller P, the abnormal pressure is It is comprised so that all the accommodating parts 10S which belong to the compartment CH corresponding to the detected compartment supply part 62 are managed as a prohibited accommodating part (refer FIG. 10). That is, the control apparatus H determines whether abnormal pressure is detected by the pressure detection sensor 68 with respect to the pressure adjusted by the pressure adjustment valve 67 based on the detection information of the pressure detection sensor 68. The determination is made as a supply state determination. The controller H determines that abnormal pressure is detected by the pressure detection sensor 68 on the condition that a pressure abnormal signal is transmitted from the programmable logic controller P, and the section CH corresponding to the pressure detection sensor 68 is determined. Is determined to be the section CH where nitrogen gas is not properly supplied. The control apparatus H is a storage part in which nitrogen gas is not supplied appropriately in all of the storage parts 10S which belong to the said partition CH (henceforth "target division") which judged that nitrogen gas was not supplied appropriately. It judges that it is (10S), and manages as a prohibited storing part.

제어 장치 H는, IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 IO 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 IO 확장 모듈 A에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P의 검출 정보에 기초하여, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 의해 IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 IO 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, IO 확장 모듈 A의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 IO 확장 모듈 A에 대응하는 구획 CH를 대상 구획인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.When the abnormality of IO expansion module A is detected and IO abnormal signal is transmitted from programmable logic controller P, the control apparatus H removes all of the storage parts 10S which belong to the division CH corresponding to the said IO expansion module A, It is comprised so that it may be managed as a prohibition storing part. That is, the control apparatus H makes a judgment as to supply state determination, whether the abnormality of IO expansion module A is detected by the programmable logic controller P based on the detection information of the programmable logic controller P. FIG. The controller H determines that an abnormality of the IO expansion module A is detected on the condition that an IO abnormal signal is transmitted from the programmable logic controller P, and determines that the section CH corresponding to the IO expansion module A is the target section. do. The control apparatus H determines that all of the storage parts 10S belonging to the said target division are the storage parts 10S to which nitrogen gas is not supplied suitably, and manages it as a prohibited storage part.

제어 장치 H는, 매니폴드(74)의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 유량 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 매니폴드(74)에 대응하는 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P의 검출 정보에 기초하여, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P에 의해 매니폴드(74)의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 유량 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 매니폴드(74)의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정하고, 상기 매니폴드(74)에 대응하는 구획 CH를 대상 구획인 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.When the abnormality of the manifold 74 is detected and the flow rate abnormality signal is transmitted from the programmable logic controller P, the control device H includes all of the storage units 10S belonging to the section CH corresponding to the manifold 74. Is managed as a prohibition storage part. That is, the control apparatus H makes a judgment as to supply state determination, whether the abnormality of the manifold 74 is detected by the programmable logic controller P based on the detection information of the programmable logic controller P. FIG. The controller H determines that an abnormality of the manifold 74 is detected on the condition that the flow rate abnormal signal is transmitted from the programmable logic controller P, and the partition CH corresponding to the manifold 74 is the target partition. Determined to be. The control apparatus H determines that all of the storage parts 10S belonging to the said target division are the storage parts 10S to which nitrogen gas is not supplied suitably, and manages it as a prohibited storage part.

제어 장치 H는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 이상이 검출되고, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 통류 이상 신호가 송신된 경우에는, 상기 매스플로우 컨트롤러(40)를 통하여 질소 가스가 공급되는 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다(도 11 참조). 즉, 제어 장치 H는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 검출 정보에 기초하여, 매스플로우 컨트롤러(40)에 의해 유량 조정용 밸브(70)의 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 공급 상태 판정으로서 행한다. 제어 장치 H는, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P로부터 통류 이상 신호가 송신된 것을 조건으로, 유량 조정용 밸브(70)[매스플로우 컨트롤러(40)]의 이상이 검출되고 있는 것으로 판정한다. 제어 장치 H는, 상기 매스플로우 컨트롤러(40)를 통하여 질소 가스가 공급되는 수납부(10S)를, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 수납부(10S)인 것으로 판정하여, 금지 수납부로서 관리한다.When the abnormality of the massflow controller 40 is detected and the flow-through abnormal signal is transmitted from the programmable logic controller P, the controller H receives the storage unit 10S supplied with nitrogen gas through the massflow controller 40. Is managed as a prohibition storage part (refer FIG. 11). That is, the control apparatus H makes a judgment as to supply state determination based on the detection information of the massflow controller 40 whether the abnormality of the flow control valve 70 is detected by the massflow controller 40. . The control apparatus H determines that the abnormality of the flow control valve 70 (mass flow controller 40) is detected on the condition that the flow-through abnormal signal is transmitted from the programmable logic controller P. FIG. The control apparatus H determines that the storage part 10S to which nitrogen gas is supplied through the said massflow controller 40 is a storage part 10S to which nitrogen gas is not supplied suitably, and manages it as a prohibited storage part. .

이와 같이, 제어 장치 H는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보에 기초하여, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 구획 CH(대상 구획)에 속하는 수납부(10S)의 모두를, 금지 수납부로서 관리하는 동시에, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2의 검출 정보에 기초하여, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 그리고, 제어 장치 H는, 금지 수납부로서 관리되고 있지 않은 수납부(10S)를, 허가 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다.In this way, the control device H, based on the detection information of the supply state detection device S1 for compartments, removes all of the storage units 10S belonging to the compartment CH (target compartments) that are determined to not be properly supplied with nitrogen gas. It is comprised so that it may manage as a prohibition accommodating part, and manage the accommodating part 10S which determined that nitrogen gas was not supplied appropriately based on the detection information of supply state detection apparatus S2 for accommodating parts as a prohibition accommodating part. And the control apparatus H is comprised so that the storage part 10S which is not managed as a prohibition storage part may be managed as a permission storage part.

다음에, 제어 장치 H에 의해 실행되는 퇴피용 반송 처리에 대하여 설명한다.Next, the evacuation conveyance process performed by the control apparatus H is demonstrated.

도 14에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 공급 상태 검출 장치 S에 의해 복수의 수납부(10S) 중 어느 하나에 대한 불활성 기체의 공급 상태가 변화된 것이 검출되면(스텝 #01: Yes), 그 변화에 따라 수납부(10S)의 관리 상태를 전환할 수 있도록 구성되어 있다(스텝 #02). 즉, 제어 장치 H는, 허가 수납부로서 관리하고 있는 수납부(10S)에 대하여, 압력 이상 신호, 통류 이상 신호, 유량 이상 신호 및 I0 이상 신호 중 어느 하나의 이상 신호가 송신되면, 상기 수납부(10S)의 관리 상태를 금지 수납부로 전환하고, 금지 수납부로서 관리하고 있는 수납부(10S)에 대하여, 어느 이상 신호도 송신되지 않게 되면, 상기 수납부(10S)의 관리 상태를 허가 수납부로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 14, when the supply state detection apparatus S detects that the supply state of the inert gas to one of the plurality of storage portions 10S has changed (step # 01: Yes), the control apparatus H It is comprised so that the management state of 10 A of accommodating parts may be switched according to a change (step # 02). That is, when the abnormality signal of any one of a pressure abnormality signal, a flow abnormality signal, a flow volume abnormality signal, and an I0 abnormal signal is transmitted with respect to the accommodating part 10S which is managed as a permission accommodating part, the control apparatus H will receive the said accommodating part. When the management state of 10S is switched to the prohibition storing unit and no signal is transmitted to the storing unit 10S managed as the prohibiting storing unit, the management state of the storing unit 10S is permitted. It is configured to convert to payment.

그리고, 제어 장치 H는, 재고 상태에 기초하여, 질소 가스의 공급 상태의 변화에 따라 관리 상태가 허가 수납부로부터 금지 수납부로 전환된 수납부(10S)에 용기(50)가 수납되어 있는 경우, 퇴피용 반송 처리를 실행하여, 상기 용기(50)를, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송한다(스텝 #03).And the control apparatus H is based on the stock state, when the container 50 is accommodated in the accommodating part 10S whose management state was changed from the permission accommodating part to the prohibited accommodating part according to the change of the supply state of nitrogen gas. Then, the evacuation conveyance process is executed, and the container 50 is conveyed to the storage portion 10S managed as the permission storage portion (step # 03).

또한, 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에 대해서는, 입고 반송 처리를 실행할 때 반입(搬入) 대상의 수납부(10S)로서 선택하지 않고, 금지 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)에는 용기(50)를 수납하지 않도록 구성되어 있다.In addition, about the storage part 10S managed as the prohibited storage part, the storage part 10S managed as a prohibited storage part is not selected as the storage part 10S to be carried in at the time of carrying out a stock conveyance process. ) Is configured not to store the container 50.

구체적으로는, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 허가 수납부로서 관리되고 있는 경우에 있어서, 압력 조정용 밸브(67)가 고장나므로 압력 검출 센서(68)에 의해 비정상적인 압력이 검출되고, 제어 장치 H에 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 금지 수납부로서 관리되는 상태로 된다. 이와 같은 경우에는, 상기 구획 CH에 속하는 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 모두가, 다른 구획 CH에 있어서 허용 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송된다.Specifically, for example, as shown in FIG. 9, when all of the storage units 10S belonging to the division CH are managed as permit storage units, the pressure adjusting valve 67 is broken, so that the pressure detection sensor When an abnormal pressure is detected by 68 and a pressure abnormal signal is transmitted to the control device H, as shown in Fig. 10, all of the storage portions 10S belonging to the section CH are managed as prohibited storage portions. It is in a state. In such a case, all of the containers 50 housed in the storage section 10S belonging to the section CH are conveyed to the storage section 10S managed as an allowable storage section in another section CH.

이와 같이 퇴피용 반송 처리를 실행하여, 용기(50)를 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송함으로써, 그 수납부(10S)에는 불활성 기체가 적절히 공급되고 있으므로, 용기(50) 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다. 그러므로, 수납부(10S)에 대하여 적절히 불활성 기체를 공급할 수 없게 된 경우라도 그 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50) 내의 기판 W에 문제점이 생기는 것을 미리 방지할 수 있다.Thus, by carrying out the retreat conveyance process and conveying the container 50 to the storage part 10S managed as a permission storage part, since the inert gas is suitably supplied to the storage part 10S, the container 50 is carried out. An inert gas can be supplied in the inside. Therefore, even when the inert gas cannot be properly supplied to the housing portion 10S, it is possible to prevent a problem in advance from occurring in the substrate W in the container 50 housed in the housing portion 10S.

그리고, 본 실시형태에서는, 퇴피용 반송 처리에 의해, 구획 CH에 속하는 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 모두를 다른 구획 CH로 반송할 때, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2에 의해 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것이 검출되고 있는 수납부(10S)와, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2에 의해 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 것이 검출되고 있는 수납부(10S)가 있는 경우, 전자의 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 우선적으로, 허가 수납부로서 관리되고 있는 수납부(10S)로 반송하도록 구성되어 있다. 여기서, 전자의 수납부(10S)는, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2의 검출 정보에 따른 공급 상태의 판정에 따라, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정된 수납부(10S)이며, 후자의 수납부(10S)이며, 그 이외의 수납부(10S)이다.And in this embodiment, when conveying all of the container 50 accommodated in the storage part 10S which belongs to the division CH to another division CH by the retraction conveyance process, it supplies to the supply state detection apparatus S2 for storage parts. In the case where there is a storage portion 10S that detects that nitrogen gas is not properly supplied by the storage portion and 10S that detects that nitrogen gas is properly supplied by the supply state detection device S2 for the storage portion, The container 50 housed in the storage portion 10S of the structure is configured to be conveyed first to the storage portion 10S managed as the permission storage portion. Here, the former storage part 10S is the storage part 10S determined that nitrogen gas was not supplied appropriately according to the determination of the supply state according to the detection information of the supply state detection apparatus S2 for storage parts, and the latter It is 10S of storage parts, and it is 10S of other storage parts.

제어 장치 H는, 모니터(75)의 작동을 제어하여, 복수의 수납부(10S)의 관리 상태나 이상이 생긴 기기를 나타내는 정보를 모니터(75)에 표시하도록 구성되어 있다.The control device H is configured to control the operation of the monitor 75 so as to display on the monitor 75 information indicating a management state of the plurality of storage portions 10S and a device having an abnormality.

상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 조가 되는 2개의 수납부용 공급 부분(63)끼리를 연통시키도록, 바이패스 부분(72)이 형성되어 있고, 모니터(75)에는, 퇴피용 반송 처리가 종료한 후, 하이패스용 전환 밸브(73)의 조작 수순 등의 안내 표시가 표시된다.As mentioned above, in this embodiment, the bypass part 72 is formed so that the two supply parts 63 for accommodating parts may become mutually connected, and the conveyance process for repelling is complete | finished in the monitor 75. After that, a guide display such as an operation procedure of the high-pass switching valve 73 is displayed.

작업자는, 모니터(75)의 표시 내용과 질소 가스 공급로(60)의 상태 및 그 도중에 설치된 기기 상태로부터 판단하여, 하이패스용 전환 밸브(73)를 수동 조작할 수 있도록 되어 있다.The operator can judge the display content of the monitor 75, the state of the nitrogen gas supply path 60, and the state of the apparatus installed in the middle, and can operate the high-pass switching valve 73 manually.

도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 하이패스용 전환 밸브(73)의 전환 상태를 검출하는 전환 상태 검출 장치로서의 전환 상태 검출 센서(90)가 설치되어 있다. 그리고, 제어 장치 H는, 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 대상 구획의 수납부용 공급 부분(63)과 연통되는 바이패스 부분(72)에 설치된 하이패스용 전환 밸브(73)가, 폐쇄 상태인 것을 조건으로, 상기 대상 구획에 속하는 수납부(10S)를 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 여기서, 대상 구획이란, 전술한 바와 같이, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보에 따른 공급 상태의 판정에 따라, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정된 구획 CH이다. 즉, 제어 장치 H는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보와 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 특정한 구획 CH에 속하는 수납부(10S)를, 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있다. 여기서, 특정한 구획 CH란, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH로서, 상기 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)과 연통되는 바이패스 부분(72)이, 질소 가스를 통류 불가능한 상태인 구획 CH이다.As shown in FIG.12 and FIG.13, the switching state detection sensor 90 as a switching state detection apparatus which detects the switching state of the high-pass switching valve 73 is provided. And the control apparatus H is the high-pass switching valve 73 provided in the bypass part 72 which communicates with the supply part 63 for accommodating parts of a target compartment based on the detection information of the switching state detection sensor 90. FIG. It is comprised so that the storing part 10S which belongs to the said target division may be managed as a prohibited storing part on condition that it is in the closed state. Here, the target section is the section CH determined as not having been properly supplied with nitrogen gas in accordance with the determination of the supply state according to the detection information of the section supply state detection device S1 as described above. That is, the control apparatus H manages the accommodating part 10S belonging to a specific compartment CH as a prohibited accommodating part based on the detection information of the compartment supply state detection apparatus S1, and the detection information of the switching state detection sensor 90. Consists of. Here, the specific section CH is a section CH in which nitrogen gas is not properly supplied, and the section CH in which the bypass section 72 communicated with the supply section 63 for the storage section of the section CH is incapable of flowing nitrogen gas. to be.

즉, 예를 들면, 도 12에 나타낸 바와 같이, 위쪽의 구획 CH에 대응하는 압력 조정용 밸브(67)가 고장나서 제어 장치 H에 압력 이상 신호가 송신된 경우에는, 그 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 모두가 금지 수납부로서 관리된다. 이와 같은 상태에서, 위쪽의 구획 CH에 접속되어 있는 바이패스 부분(72)에 설치된 하이패스용 전환 밸브(73)를 개방 상태로 전환 조작하면, 도 13에 나타낸 바와 같이, 바이패스 부분(72)에 의해 접속되어 있는 아래쪽의 구획 CH로부터, 위쪽의 구획 CH에 대하여 질소 가스를 공급할 수 있다.That is, for example, as shown in FIG. 12, when the pressure adjusting valve 67 corresponding to the upper section CH is broken and a pressure abnormal signal is transmitted to the control device H, the storage unit belonging to the section CH ( All of 10S) is managed as a prohibition storing part. In such a state, when the high-pass switching valve 73 provided in the bypass portion 72 connected to the upper section CH is switched to the open state, as shown in FIG. 13, the bypass portion 72 is operated. Nitrogen gas can be supplied to the upper section CH from the lower section CH connected by the lower section.

하이패스용 전환 밸브(73)가 개방 조작됨으로써, 위쪽의 구획 CH는 상기한 특정한 구획 CH는 아니게 되므로, 위쪽의 구획 CH에 속하는 수납부(10S)의 관리 상태가, 금지 수납부로부터 허가 수납부로 전환된다. 따라서, 용기 반입 처리에 의해 수납 대상의 수납부(10S)로서 선택하여 용기(50)를 수납 가능해지는 동시에, 다른 수납부(10S)의 관리 상태가 금지 수납부로 전환되었을 경우에, 그 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 받아들이는 것도 가능하게 된다.When the high-pass switching valve 73 is opened, the upper section CH is not the above-described specific section CH, so that the management state of the storage section 10S belonging to the upper section CH is allowed from the prohibited storage section. Is switched to. Therefore, when the container 50 can be accommodated by selecting the container 10S as the object to be stored by the container carrying-in process, and the management state of the other storage unit 10S is switched to the prohibited storage unit, the housing unit It is also possible to receive the container 50 stored in 10S.

그리고, 제어 장치 H가, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1의 검출 정보와 전환 상태 검출 센서(90)의 검출 정보에 기초하여, 하이패스용 전환 밸브(73)가 개방 조작된 경우에는, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH(대상 구획)에 속하는 구획용 밸브(66)를 폐쇄 상태로 전환하기 위해, 구획용 밸브(66)의 작동을 제어하는 구성으로 해도 된다.Then, when the control device H is operated to open the high-pass switching valve 73 on the basis of the detection information of the supply state detection device S1 for divisions and the detection information of the switching state detection sensor 90, the nitrogen gas is It is good also as a structure which controls the operation | movement of the compartment valve 66 in order to switch the compartment valve 66 which belongs to the compartment CH (target compartment) which is not supplied appropriately to a closed state.

이와 같이, 하이패스용 전환 밸브(73)를 폐쇄 상태로 전환한 상태에서는, 구획 CH의 단위로, 수납부(10S)에 공급되는 질소 가스의 유량을 별개로 조정할 수 있다. 이와 같은 구성으로 하면서, 질소 가스 공급로(60)의 파손이나 기기 등의 고장에 의해, 수납부(10S)에 공급되는 불활성 기체가 적정 공급량보다 감소하는 현상, 또는 수납부(10S)에 전혀 불활성 기체가 공급되지 않는 현상이 발생한 경우에는, 하이패스용 전환 밸브(73)를 개방 상태로 전환함으로써, 질소 가스가 적절히 공급되고 있는 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)으로부터, 질소 가스가 적절히 공급되고 있지 않는 구획 CH의 수납부용 공급 부분(63)에, 불활성 기체를 유동시킬 수 있다.In this manner, in the state where the high-pass switching valve 73 is switched to the closed state, the flow rate of the nitrogen gas supplied to the storage portion 10S can be separately adjusted in units of the section CH. In such a configuration, a phenomenon in which the inert gas supplied to the storage portion 10S decreases from an appropriate supply amount due to breakage of the nitrogen gas supply passage 60, a failure in the apparatus, or the like is completely inert to the storage portion 10S. When a phenomenon in which gas is not supplied occurs, the nitrogen gas is appropriately supplied from the supply portion 63 for the storage portion of the compartment CH in which the nitrogen gas is properly supplied by switching the high-pass switching valve 73 to the open state. An inert gas can be made to flow into the supply part 63 for accommodating parts of the compartment CH which is not being made.

[다른 실시형태〕[Other Embodiments]

(1) 상기 실시형태에서는, 공급 상태 검출 장치 S로서, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1과 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2를 설치하였으나, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1과 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2 중 어느 한쪽만을 설치해도 된다. 그리고, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2만을 설치하는 경우, 복수의 수납부(10S)를 복수의 구획 CH로 구분하지 않아도 된다.(1) In the said embodiment, although supply state detection apparatus S1 for compartments and supply state detection apparatus S2 for accommodating parts were provided as supply state detection apparatus S, among the supply state detection apparatus S1 for compartments and supply state detection apparatus S2 for accommodating parts, You may install only one. And when installing only the supply state detection apparatus S2 for accommodating parts, it is not necessary to divide several accommodating parts 10S into several division CH.

(2) 상기 실시형태에서는, 구획용 공급 상태 검출 장치 S1으로서, 압력 검출 장치와 중계 이상 검출 장치를 설치하였으나, 압력 검출 장치와 중계 이상 검출 장치 중 어느 한쪽만을 설치해도 되고, 또한 구획용 공급 상태 검출 장치 S1으로서, 수납부용 공급 부분(63)으로 통류하는 불활성 기체의 유량을 검출하는 검출 장치 등, 다른 검출 장치를 설치해도 된다.(2) In the above embodiment, the pressure supply device and the relay abnormality detection device are provided as the supply state detection device S1 for partitions, but only one of the pressure detection device and the relay abnormality detection device may be provided and the supply state for the partitions. As detection apparatus S1, you may provide another detection apparatus, such as a detection apparatus which detects the flow volume of the inert gas which flows through the supply part 63 for accommodating parts.

(3) 상기 실시형태에서는, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2로서, 통류 이상 검출 장치를 설치하였으나, 수납부용 공급 상태 검출 장치 S2로서, 토출부에 공급되는 불활성 기체의 압력을 검출하는 검출 장치 등의, 다른 검출 장치를 설치해도 된다.(3) In the above embodiment, a flow-through abnormality detection device is provided as the supply state detection device S2 for the storage portion. However, as the supply state detection device S2 for the storage portion, such as a detection device for detecting the pressure of an inert gas supplied to the discharge portion. You may provide another detection apparatus.

(4) 상기 실시형태에서는, 불활성 기체 공급로가, 메인 공급 부분(61)과 구획용 공급 부분(62)과 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 불활성 기체 공급로가, 메인 공급 부분(61)과 그 메인 공급 부분(61)에 접속된 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 불활성 기체 공급로가, 구획용 공급 부분(62)과 수납부용 공급 부분(63)을 구비하는 구성으로 하여, 구획용 공급 부분(62)의 각각에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급원을 설치해도 된다.(4) In the above embodiment, the configuration in which the inert gas supply passage includes the main supply portion 61, the partition supply portion 62, and the storage portion supply portion 63 has been described as an example. It is good also as a structure provided with the main supply part 61 and the accommodating part supply part 63 connected to the main supply part 61. Moreover, even if the inert gas supply path is provided with the structure supply part 62 for compartments, and the supply part 63 for accommodating parts, the supply source which supplies an inert gas to each of the compartment supply parts 62 may be provided. do.

(5) 상기 실시형태에서는, 자동 창고에 1개의 보관 선반(10)을 설치하고, 그1개의 보관 선반(10)에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 하였으나, 서로 대향하도록 한쌍의 보관 선반(10)을 설치하고, 그 한쌍의 보관 선반(10)에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 되고, 또한 복수의 자동 창고를 설치하고, 복수의 자동 창고에 설치된 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.(5) In the said embodiment, one storage shelf 10 is installed in an automatic warehouse, and the storage part 10S provided in the one storage shelf 10 is divided | segmented into a permission storage part and a prohibited storage part, and is managed. Although it was set as the storage part 10S, a pair of storage shelf 10 is provided so that they may oppose each other, and the storage part 10S provided in the pair of storage shelf 10 is distinguished as a permission storage part and a prohibited storage part. The storage unit 10S may be a storage unit 10S to be managed, and a plurality of automatic warehouses are provided, and the storage unit 10S which manages the storage unit 10S provided in the plurality of automatic warehouses is divided into a permit storage unit and a prohibited storage unit. You may make it.

또한, 자동 창고의 보관 선반(10)에 설치된 복수의 수납부(10S) 중 일부의 수납부(10S)만을, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.In addition, it is good also as a storage part 10S which manages only the some storage part 10S among the some storage part 10S provided in the storage shelf 10 of an automated warehouse into a permission storage part and a prohibited storage part.

또한, 천정 반송차(호이스트식의 반송차 D)의 주행 경로의 측방 또는 하방에, 천정 반송차의 주행 경로를 따라 수납부(10S)를 복수 설치하고, 이 천정 반송차의 주행 경로를 따라 설치한 수납부(10S)를, 허가 수납부와 금지 수납부로 구별하여 관리하는 수납부(10S)로 해도 된다.Further, a plurality of storage portions 10S are provided along the travel route of the ceiling transport vehicle, and are provided along the travel route of the ceiling transport vehicle on the side or below the travel route of the ceiling transport vehicle (hoist transport vehicle D). It is good also as a housing | casing part 10S which distinguishes and manages one housing | casing part 10S as a permission storage part and a prohibited storage part.

(6) 상기 실시형태에서는, 기판 W를 반도체 웨이퍼로 하고, 반송 용기(50)를 FOUP로 하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 기판 W를 레티클(reticle)로 하고, 반송 용기(50)를 레티클 용기로 해도 된다. 또한, 불활성 기체를 질소 가스로 하였지만, 불활성 기체로서는, 질소 가스 이외에 도 아르곤 가스 등, 수용되는 기판 W에 대하여 반응성이 낮은 각종 기체를 사용할 수 있다.(6) Although the above embodiment exemplifies a configuration in which the substrate W is a semiconductor wafer and the transfer container 50 is a FOUP, the configuration is not limited to such a configuration. For example, the substrate W is a reticle. The transfer container 50 may be a reticle container. In addition, although an inert gas was made into nitrogen gas, various gases with low reactivity with respect to the board | substrate W accommodated, such as argon gas, can be used as an inert gas as well as nitrogen gas.

10S: 수납부
10i: 토출 노즐(토출부)
20: 스태커 크레인(반송 장치)
40: 매스플로우 컨트롤러(통류 조정 장치, 통류 이상 검출 장치)
50: 반송 용기
60: 질소 가스 공급로(불활성 기체 공급로)
62: 구획용 공급 부분
63: 수납부용 공급 부분
67: 압력 조정용 밸브(압력 조정 장치)
68: 압력 검출 센서(압력 검출 장치)
69: 수납부용 밸브(유량 조정 장치)
70: 유량 조정용 밸브(통류 조정 장치)
72: 바이패스 부분
73: 하이패스용 전환 밸브
90: 전환 상태 검출 센서(전환 상태 검출 장치)
A: I0 확장 모듈(중계 장치)
CH: 구획
H: 제어 장치
P: 프로그래머블 로직 컨트롤러(중계 이상 검출 장치)
S: 공급 상태 검출 장치
S1: 구획용 공급 상태 검출 장치
S2: 수납부용 공급 상태 검출 장치
W: 기판10S: storage
10i: discharge nozzle (discharge part)
20: stacker crane (conveyer)
40: mass flow controller (flow control device, flow failure detection device)
50: return container
60: nitrogen gas supply passage (inert gas supply passage)
62: compartment supply part
63: supply part for the storage unit
67: valve for pressure adjustment (pressure regulator)
68: pressure detection sensor (pressure detection device)
69: valve for flow section (flow rate adjusting device)
70: valve for adjusting the flow rate (flow control device)
72: bypass part
73: switching valve for high pass
90: switching state detection sensor (switching state detection device)
A: I0 Expansion Module (Relay Unit)
CH: block
H: control unit
P: programmable logic controller (relay fault detection device)
S: supply state detection device
S1: Supply state detection device for compartments
S2: Supply state detection device for storage
W: substrate

Claims (14)

기판을 수용하는 반송(搬送) 용기를 수납하는 복수의 수납부;
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
상기 복수의 수납부 각각에 불활성(不活性) 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로;
상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부;
상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;
를 포함하는, 물품 보관 설비로서,
상기 복수의 수납부에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는,
상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하고, 또한,
상기 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용(退避用) 반송 처리를 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.A plurality of storage portions for storing a transport container for accommodating a substrate;
A conveying apparatus for conveying the conveying container with respect to the plurality of storage portions;
An inert gas supply path for supplying an inert gas to each of the plurality of storage portions;
A discharge portion for discharging the inert gas supplied to the accommodation portion by the inert gas supply passage into the transport container accommodated in the storage portion;
A control device for controlling the operation of the conveying device;
As, the goods storage facilities,
A supply state detection device for detecting a supply state of the inert gas to the plurality of storage portions is provided,
The control device includes:
Based on the detection information of the said supply state detection apparatus, supply state determination which is determination of whether or not an inert gas is supplied appropriately is performed, and the prohibition accommodating part which judged that the said inert gas was not supplied appropriately, and the other Manage the plurality of storage sections separately from the permission storage section,
For evacuation of conveying the conveyance container housed in the accommodating portion switched from the permission accommodating portion to the prohibition accommodating portion in accordance with the change of the supply state of the inert gas to the accommodating portion managed as the accommodating accommodating portion. (退避 用) A goods storage facility, configured to perform a conveyance process. 제1항에 있어서,
상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.The method of claim 1,
The plurality of storage units are divided into a plurality of compartments,
As said supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for compartments which detects the supply state of the inert gas to each of the said some compartment is provided,
The said control apparatus performs the said supply state determination based on the detection information of the said supply state detection apparatus for compartments, and said prohibition number of all the said accommodating parts which belong to the said section which judged that the said inert gas was not supplied suitably. A goods storage facility, configured to manage as payment. 제2항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기(分岐) 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치가 설치되고,
상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.The method of claim 2,
The inert gas supply passage includes a section supply portion for branching the inert gas to each of the plurality of sections and an inert gas supplied to the section by the section supply section. It is provided with a supply part for a storage part for supplying branch to each of the storage parts of,
A pressure regulating device is provided at each of the connection points between the compartment supply portion and the plurality of storage portion supply portions to adjust the pressure of the inert gas in the storage portion supply portion,
As the supply state detection device for partitions, a pressure detection device for detecting the pressure of an inert gas in each of the plurality of storage part supply parts is provided.
Based on the detection information of the pressure detecting device, the control device determines whether the abnormal pressure is detected by the pressure detecting device with respect to the pressure adjusted by the pressure adjusting device as the supply state judgment. And all of the storage portions belonging to the compartments corresponding to the compartment supply portion where abnormal pressure is detected, as the prohibited storage portion. 제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와,
상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치가 설치되고,
상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상(異常)을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하고, 또한,
상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.The method according to claim 2 or 3,
The inert gas supply passage includes a supply portion for a storage portion for branching the inert gas to each of the plurality of storage portions,
A flow rate adjusting device which is provided at each of the connection portions between the storage portion supply portion and the discharge portion and adjusts the flow rate of the inert gas supplied to the discharge portion;
A relay device for relaying communication between the control device and the plurality of flow rate adjusting devices belonging to the section;
As the division supply state detection device, a relay abnormality detection device for detecting abnormality of the relay device is provided.
The control device controls the operation of the flow rate adjusting device through the relay device,
Based on the detection information of the relay abnormality detecting device, a determination is made as to the supply state judgment of whether or not an abnormality is detected by the relay abnormality detecting device, and belongs to the section corresponding to the relay device where the abnormality is detected. An article storage facility configured to manage all of the storage sections as the prohibition storage section. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
As said supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for accommodating parts which detects the supply state of the inert gas to each of the said some accommodating part is provided,
The control device is configured to perform the supply state determination based on the detection information of the supply state detection device for a storage unit, and to manage the storage unit as the prohibited storage unit, which is determined that the inert gas is not properly supplied. Goods storage facility. 제5항에 있어서,
상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있고, 또한,
상기 퇴피용 반송 처리로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.The method of claim 5,
The plurality of storage units are divided into a plurality of compartments,
As said supply state detection apparatus, in addition to the said supply state detection apparatus for accommodating parts, the supply state detection apparatus for compartments which detects the supply state of the said inert gas with respect to each of the said plurality of compartments is provided,
The said control apparatus performs the said supply state determination based on the detection information of the said supply state detection apparatus for compartments, and said prohibition number of all the said accommodating parts which belong to the said section which judged that the said inert gas was not supplied suitably. It is configured to manage as payment,
The allowance number is preferentially given to the said transfer container accommodated in the said accommodating part which judged that the said inert gas was not supplied suitably based on the detection information of the said supply state detection apparatus for accommodating parts as the said conveyance process for repelling. A goods storage facility, configured to return by payment. 제5항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류(通流) 조정 장치가 설치되고,
상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 상기 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.The method of claim 5,
The inert gas supply passage includes a supply portion for a storage portion for supplying the inert gas to each of the plurality of storage portions,
A flow control device is provided at each of the connection portions between the storage portion supply portion and the discharge portion, and is capable of adjusting the flow rate of the inert gas supplied to the discharge portion.
As the supply state detection device for the housing portion, a flow-through abnormality detection device for detecting an abnormality in the flow-through adjustment device is provided,
The control device performs, as the supply state judgment, a determination as to whether or not an abnormality is detected by the current abnormality detecting device based on the detection information of the current abnormality detecting device. The article storage facility which is comprised so that the said accommodating part to which the inert gas is supplied may be managed as the said prohibited accommodating part. 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법으로서,
상기 물품 보관 설비는,
기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
상기 복수의 수납부 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로;
상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 상기 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부로 토출하는 토출부;
상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;
상기 복수의 수납부에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 공급 상태 검출 장치;
를 포함하고,
상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서,
상기 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있는지의 여부의 판정인 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 금지 수납부와, 그 이외의 허가 수납부와 구별하여 상기 복수의 수납부를 관리하는 수납부 관리 공정;
상기 불활성 기체의 공급 상태의 변화에 따라 상기 허가 수납부로부터 상기 금지 수납부로 전환된 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 상기 허가 수납부로서 관리되고 있는 상기 수납부로 반송하는 퇴피용 반송 처리 공정;
을 포함하는, 물품 보관 방법.As a goods storage method using a goods storage facility,
The article storage facility,
A plurality of accommodating parts accommodating a transport container accommodating a substrate;
A conveying apparatus for conveying the conveying container with respect to the plurality of storage portions;
An inert gas supply path for supplying an inert gas to each of the plurality of storage portions;
A discharge part for discharging the inert gas supplied to the accommodation part by the inert gas supply path into the transport container accommodated in the accommodation part;
A control device for controlling the operation of the conveying device;
A supply state detection device that detects a supply state of the inert gas to the plurality of storage portions;
Lt; / RTI >
As a process performed by the control device,
Based on the detection information of the said supply state detection apparatus, the supply state judgment which is determination of whether the said inert gas is supplied suitably is performed, and the prohibited storing part which judged that the said inert gas was not supplied appropriately, and others A storage unit management step of managing the plurality of storage units separately from the permission storage units
For evacuation of conveying the conveyance container housed in the accommodating portion switched from the permission accommodating portion to the prohibition accommodating portion in accordance with the change of the supply state of the inert gas to the accommodating portion managed as the accommodating accommodating portion. Conveyance processing process;
Comprising, the article storage method. 제8항에 있어서,
상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.9. The method of claim 8,
The plurality of storage units are divided into a plurality of compartments,
As said supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for compartments which detects the supply state of the said inert gas with respect to each of the said some division is provided,
In the storage unit management step, the supply state determination is performed based on the detection information of the supply state detection device for partitions, and all of the storage units belonging to the compartments determined that the inert gas is not properly supplied are The article storage method managed as a prohibited storing part. 제9항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 구획 각각에 분기 공급하는 구획용 공급 부분과, 상기 구획용 공급 부분에 의해 상기 구획에 공급된 상기 불활성 기체를 상기 구획에서의 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 구획용 공급 부분과 복수의 상기 수납부용 공급 부분과의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 수납부용 공급 부분에서의 불활성 기체의 압력을 조정하는 압력 조정 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에서의 상기 불활성 기체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치가 설치되고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 압력 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 압력 조정 장치에 의해 조정된 압력에 대하여 상기 압력 검출 장치에 의해 비정상적인 압력이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 비정상적인 압력이 검출된 상기 구획용 공급 부분에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.10. The method of claim 9,
The inert gas supply passage includes a section supply portion for branching the inert gas to each of the plurality of sections, and the plurality of numbers of the inert gas supplied to the section by the section supply section. It is provided with the supply part for accommodating parts which branch-feeds to each payment part,
A pressure regulating device, which is provided at each of the connection points between the compartment supply portion and the plurality of storage portion supply portions, and adjusts the pressure of an inert gas in the storage portion supply portion, is provided in the article storage facility.
As the supply state detection device for compartments, a pressure detection device for detecting the pressure of the inert gas in each of the plurality of storage part supply parts is provided,
In the storage unit management step, the supply state determination determines whether or not abnormal pressure is detected by the pressure detecting device with respect to the pressure adjusted by the pressure adjusting device based on the detection information of the pressure detecting device. And storing all of the storage portions belonging to the compartments corresponding to the compartment supply portion where abnormal pressure is detected, as the prohibited storage portion. 제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 분기 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와,
상기 제어 장치 및 상기 구획에 속하는 복수의 상기 유량 조정 장치 간의 통신을 중계하는 중계 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
상기 구획용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 중계 장치의 이상을 검출하는 중계 이상 검출 장치가 설치되고,
상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 중계 장치를 통하여 상기 유량 조정 장치의 작동을 제어하는 유량 조정 공정을 더 포함하고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 중계 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 중계 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 중계 장치에 대응하는 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.11. The method according to claim 9 or 10,
The inert gas supply passage includes a supply portion for a storage portion for branching the inert gas to each of the plurality of storage portions,
A flow rate adjusting device which is provided at each of the connection portions between the storage portion supply portion and the discharge portion and adjusts the flow rate of the inert gas supplied to the discharge portion;
A relay device for relaying communication between the control device and the plurality of flow rate adjusting devices belonging to the section is provided in the article storage facility,
As the supply state detection device for partitions, a relay abnormality detection device for detecting an abnormality of the relay device is provided,
A process executed by the control device, further comprising a flow rate adjusting step of controlling the operation of the flow rate adjusting device through the relay device,
In the storage unit management step, the relay device that determines whether an abnormality is detected by the relay abnormality detecting device as the supply state judgment based on the detection information of the relay abnormality detecting device, and the abnormality is detected. The article storage method of managing all the said accommodating parts which belong to the said partition as said prohibition accommodating part. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 복수의 수납부 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 수납부용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.11. The method according to any one of claims 8 to 10,
As said supply state detection apparatus, the supply state detection apparatus for accommodating parts which detects the supply state of the said inert gas to each of the said some accommodating part is provided,
In the storage unit management step, the supply state determination is performed based on the detection information of the supply state detection apparatus for the storage unit, and the storage unit that determines that the inert gas is not properly supplied is managed as the prohibited storage unit, How to store your goods. 제12항에 있어서,
상기 복수의 수납부는, 복수의 구획으로 구분되고,
상기 공급 상태 검출 장치로서, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치에 더하여, 상기 복수의 구획 각각에 대한 상기 불활성 기체의 공급 상태를 검출하는 구획용 공급 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 구획용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 상기 공급 상태 판정을 행하고, 상기 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 구획에 속하는 상기 수납부의 모두를 상기 금지 수납부로서 관리하고,
상기 퇴피용 반송 처리 공정에서는, 상기 수납부용 공급 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 불활성 기체가 적절히 공급되고 있지 않는 것으로 판정한 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 반송 용기를, 우선적으로 상기 허가 수납부로 반송하는, 물품 보관 방법.The method of claim 12,
The plurality of storage units are divided into a plurality of compartments,
As said supply state detection apparatus, in addition to the said supply state detection apparatus for accommodating parts, the supply state detection apparatus for compartments which detects the supply state of the said inert gas with respect to each of the said plurality of compartments is provided,
In the storage unit management step, the supply state determination is performed based on the detection information of the supply state detection device for partitions, and all of the storage units belonging to the compartments determined that the inert gas is not properly supplied are I manage it as a prohibition storing department,
In the conveyance processing step for evacuation, the permission storage part is preferentially provided to the transport container housed in the storage part that has been determined that inert gas is not properly supplied based on detection information of the supply state detection device for storage part. The article storage method to return to. 제12항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급로는, 상기 불활성 기체를 상기 복수의 수납부 각각에 공급하는 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 수납부용 공급 부분과 상기 토출부와의 접속 개소의 각각에 설치되어 상기 토출부에 공급되는 상기 불활성 기체의 유량을 조정 가능한 통류 조정 장치는, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
상기 수납부용 공급 상태 검출 장치로서, 상기 통류 조정 장치의 이상을 검출하는 통류 이상 검출 장치가 설치되고,
상기 수납부 관리 공정에서는, 상기 통류 이상 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 통류 이상 검출 장치에 의해 이상이 검출되고 있는지의 여부의 판정을 상기 공급 상태 판정으로서 행하고, 이상이 검출된 상기 통류 조정 장치를 통하여 불활성 기체가 공급되는 상기 수납부를 상기 금지 수납부로서 관리하는, 물품 보관 방법.
The method of claim 12,
The inert gas supply passage includes a supply portion for a storage portion for supplying the inert gas to each of the plurality of storage portions,
A flow regulating device which is provided in each of the connection part of the said accommodating part supply part and the said discharge part, and which can adjust the flow volume of the said inert gas supplied to the said discharge part is provided in the said goods storage facility,
As the supply state detection device for the housing portion, a flow-through abnormality detection device for detecting an abnormality in the flow-through adjustment device is provided,
In the storage unit management step, the supply state determination is performed to determine whether or not an abnormality is detected by the flowing abnormality detecting device, based on the detection information of the flowing abnormality detecting device, and the abnormality is detected. The article storage method which manages the said accommodating part to which the inert gas is supplied through the apparatus as the said prohibited accommodating part.
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