KR20130053192A - Apparatus, system and method of printing local patterns - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 국소 패턴의 인쇄 장치, 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printing apparatus, a system and a method of a local pattern.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 기판 상의 특정 위치에 국소 패턴을 인쇄하거나 또는 기판 상에 형성된 기존 패턴 중 불량 패턴을 수리(repair)하기 위해 해당 불량 패턴에 대응되는 국소 패턴을 인쇄함으로써, 다양한 형상의 국소 패턴의 인쇄가 가능하고, 인쇄 장치의 사이즈 및 제조 비용이 현저하게 감소되며, 특히 불량 패턴을 용이하게 수리할 수 있으므로 유지 보수가 간편하고 용이하며, 최종 제품의 전체 제조 시간 및 비용이 현저하게 감소되는 국소 패턴의 인쇄 장치, 시스템 및 방법에 관한 것이다. More specifically, the present invention prints a local pattern at a specific position on a substrate or prints a local pattern corresponding to the defective pattern in order to repair a defective pattern among existing patterns formed on the substrate. It is possible to print local patterns, significantly reduce the size and manufacturing cost of the printing apparatus, and in particular, easily repair the defective pattern, which makes maintenance easy and easy, and the overall manufacturing time and cost of the final product is remarkable. A printing apparatus, system, and method for reducing local patterns.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB)(이하, 통칭하여 "기판"이라 합니다) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 패턴, 컬러 필터(color filter), 및 블랙 매트릭스(black matrix) 등)을 형성하여야 한다. 이러한 패턴들은 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)(이하, 통칭하여 "잉크"라 합니다)에 의해 형성된다. 또한, 기판 상에 상술한 패턴들을 형성하기 위해서는 인쇄롤 및 클리체(cliche)를 이용한 패턴 인쇄 장치가 사용된다. Generally, in order to manufacture a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display panel (LCD) or an organic light emitting diode (OLED), a single large glass substrate or printed circuit is used. Several identical or different patterns (e.g., electrode patterns, color filters, etc.) such as electrodes or dots on a printed circuit board (PCB) (hereinafter collectively referred to as " substrate ") color filters, and black matrices). These patterns are for example by a photoresist (PR) liquid or a metal paste (hereinafter referred to as " ink ") such as copper (Cu), silver (Ag), aluminum (Al), or the like. Is formed. In addition, a pattern printing apparatus using a printing roll and a cliche is used to form the above-mentioned patterns on a substrate.
도 1a 내지 도 1c는 종래기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.1A to 1C are cross-sectional views showing a process of forming a pattern on a substrate using a pattern printing apparatus according to the prior art.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 종래기술에 따른 패턴 인쇄 장치(1)는 노즐(40)을 이용하여 잉크(20)를 그 표면에 블랭킷(32)이 부착된 인쇄롤(30)에 도포한다(도 1a 참조). 그 후, 소정 형상의 볼록 패턴(55)이 형성된 클리체(50) 상에서 인쇄롤(30)을 회전시켜, 클리체(50)의 돌출부(55)에 일부 잉크(20b)를 전사하고 잔존 잉크(20a)에 의해 인쇄롤(30)에 소정 형상의 패턴을 형성한다(도 1b 참조). 인쇄롤(30) 표면에 부착된 블랭킷(32)은 탄성 수지재질로 구현되어, 인쇄롤(30)에 도포된 잉크(20)를 클리체(50)에 전사할 때, 인쇄롤(30)과 클리체(50) 사이의 마찰을 줄여준다. 그 후, 인쇄롤(30)을 기판(10) 상으로 이송하여 기판(10) 상에 잔존 잉크(20a)를 전사시켜 원하는 패턴을 기판(10) 상에 형성한다(도 1c 참조).1A to 1C, the
상술한 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(1)의 구체적인 내용은 김철호 등에 의해 2006년 6월 21일자에 “패턴형성방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치 제조 방법”라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허 출원 제 10-2006-0055861호로 출원되어, 2007년 12월 27일자로 공개된 대한민국 공개특허 제 10-2007-0121165호에 상세히 개시되어 있다.The details of the
상술한 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(1)를 사용하여 기판(10) 상에 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들을 형성할 수 있다는 장점이 달성되지만, 예를 들어 기판(10) 상의 특정 위치에 얼라인 마크와 같은 특정한 패턴(이하 "국소 패턴"이라 합니다)을 형성하는데 사용되기에는 인쇄 장치(1)의 사이즈 및 제조 비용 측면에서 부적합하다.The advantage of being able to form several identical or different patterns on the
또한, 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(1)를 사용하여 기판(10) 상에 형성된 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴 중 일부 불량 패턴이 발생할 수 있다.In addition, some defective patterns may occur among several identical or different patterns formed on the
좀 더 구체적으로, 도 1d는 종래 기술에 따른 기판 상에 형성된 복수의 패턴 중 일부 불량 패턴을 개략적으로 도시한 도면이다.More specifically, FIG. 1D schematically illustrates some defective patterns of a plurality of patterns formed on a substrate according to the prior art.
도 1d를 참조하면, 기판(10) 상에 복수의 제 1 전극(A)과 복수의 제 2 전극(B)이 형성되어 있다. 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(1)를 사용하여 예를 연결선(connection line)과 같은 복수의 패턴(P)을 인쇄하여 복수의 제 1 전극(A)과 복수의 제 2 전극(B)을 연결한다. 그러나, 정해진 길이보다 짧게 형성된 불량 패턴(Pf)이 발생한 경우, 불량 패턴(Pf)만을 제거한 후 정상 패턴(P)을 국소적으로 재인쇄하는 수리 공정이 요구된다. 이 경우, 불량 패턴(Pf)의 수리 공정은 통상 수작업으로 이루어져 수리된 패턴은 정상 패턴(P)에 비해 그 정밀도가 떨어지고, 그에 따라 최종 제품의 고장 원인이 되거나 수명이 줄어드는 문제가 발생한다. 또한, 불량 패턴(Pf)이 극미세 패턴이어서 수리 자체가 불가능한 경우에는 고가의 기판(10) 자체를 폐기하여야 한다.Referring to FIG. 1D, a plurality of first electrodes A and a plurality of second electrodes B are formed on the
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.Therefore, a new method for solving the above-mentioned problems is required.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판 상의 특정 위치에 국소 패턴을 인쇄하거나 또는 기판 상에 형성된 기존 패턴 중 불량 패턴을 수리(repair)하기 위해 해당 불량 패턴에 대응되는 국소 패턴을 인쇄함으로써, 다양한 형상의 국소 패턴의 인쇄가 가능하고, 인쇄 장치의 사이즈 및 제조 비용이 현저하게 감소되며, 특히 불량 패턴을 용이하게 수리할 수 있으므로 유지 보수가 간편하고 용이하며, 최종 제품의 전체 제조 시간 및 비용이 현저하게 절감되는 국소 패턴의 인쇄 장치, 시스템 및 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, a local pattern corresponding to the defective pattern to print a local pattern at a specific position on the substrate or to repair the defective pattern among existing patterns formed on the substrate. By printing, printing of local patterns of various shapes is possible, the size and manufacturing cost of the printing apparatus are remarkably reduced, and in particular, the defective pattern can be easily repaired, so maintenance is easy and easy, and the whole of the final product It is an object of the present invention to provide a printing apparatus, a system and a method of a local pattern in which manufacturing time and cost are significantly reduced.
본 발명의 제 1 특징에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치는 테이블에 위치된 기판 상에 국소 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤; 상기 인쇄롤의 표면 상에 잉크를 공급하는 잉크 공급 장치; 상기 국소 패턴에 대응되는 오목 패턴을 구비하는 클리체; 상기 테이블과 상기 기판 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라; 상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치 및 상기 오목 패턴의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라; 및 상기 인쇄롤이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라 및 상기 제 2 얼라인 카메라가 고정 장착되는 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.A printing apparatus of a local pattern according to a first aspect of the present invention includes a printing roll for printing a local pattern on a substrate located on a table; An ink supply device for supplying ink onto a surface of the printing roll; A cliché having a concave pattern corresponding to the local pattern; A pair of first alignment cameras for checking alignment between the table and the substrate; A second alignment camera for checking a printing position of the local pattern on the substrate and a position of the concave pattern; And a support member to which the printing roll is rotatably mounted and to which the pair of first alignment cameras and the second alignment cameras are fixedly mounted.
본 발명의 제 2 특징에 따른 국소 패턴의 인쇄 시스템은 테이블 상에 위치된 기판; 상기 테이블의 하부에 제공되며, 상기 기판과 상기 테이블을 얼라인하기 위한 얼라인 장치; 상기 기판 상에 국소 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤; 상기 인쇄롤의 표면 상에 잉크를 공급하는 잉크 공급 장치; 상기 국소 패턴에 대응되는 오목 패턴을 구비하는 클리체; 상기 테이블의 일측면에 위치되며, 상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 장착되는 제 2 테이블; 상기 테이블과 상기 기판 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라; 상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치 및 상기 오목 패턴의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라; 상기 인쇄롤이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라 및 상기 제 2 얼라인 카메라가 고정 장착되는 지지 부재; 상기 지지 부재가 장착되며, 상기 잉크 공급 장치, 상기 클리체, 및 상기 기판 상으로 상기 지지 부재를 이송하는 이송 장치; 및 상기 이송 장치와 유선 또는 무선으로 연결되며, 상기 이송 장치 및 상기 지지 부재의 이송 동작을 제어하는 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.A printing system of a local pattern according to a second aspect of the invention comprises a substrate located on a table; An alignment device provided under the table, for aligning the substrate with the table; A printing roll for printing a local pattern on the substrate; An ink supply device for supplying ink onto a surface of the printing roll; A cliché having a concave pattern corresponding to the local pattern; A second table positioned on one side of the table, on which the ink supply device and the cliché are mounted; A pair of first alignment cameras for checking alignment between the table and the substrate; A second alignment camera for checking a printing position of the local pattern on the substrate and a position of the concave pattern; A support member to which the printing roll is rotatably mounted and to which the pair of first alignment cameras and the second alignment camera are fixedly mounted; A conveying apparatus on which the supporting member is mounted and conveying the supporting member onto the ink supply apparatus, the cliché and the substrate; And a controller connected to the transfer apparatus by wire or wirelessly and controlling a transfer operation of the transfer apparatus and the support member.
본 발명의 제 3 특징에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법은 a) 지지 부재를 잉크 공급 장치 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치로부터 상기 지지 부재에 장착된 인쇄롤의 표면 상으로 잉크를 전사하는 단계; b) 상기 지지 부재에 장착된 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 클리체에 구비된 오목 패턴의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 제 2 얼라인 카메라 간의 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키는 단계; c) 상기 인쇄롤의 표면 상에 상기 오목 패턴에 대응되는 국소 패턴을 형성하는 단계; d) 상기 지지 부재를 테이블 상에 위치된 기판 상으로 이송하고, 상기 지지 부재에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계; e) 상기 제 2 얼라인 카메라를 상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치로 이송하여 상기 인쇄 위치를 확인하는 단계; 및 f) 상기 지지 부재를 상기 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키고 상기 인쇄롤의 표면 상에 형성된 상기 국소 패턴을 상기 인쇄 위치에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.A method of printing a local pattern according to a third aspect of the present invention includes the steps of: a) transferring a support member onto an ink supply apparatus and transferring ink from the ink supply apparatus onto a surface of a printing roll mounted to the support member; b) confirm the position of the concave pattern provided in the cliché using a second alignment camera mounted on the support member, and move the support member by a predetermined separation distance between the printing roll and the second alignment camera. Making a step; c) forming a local pattern corresponding to the concave pattern on the surface of the printing roll; d) transferring the support member onto a substrate positioned on a table and confirming an alignment state between the substrate and the table using a pair of first alignment cameras mounted on the support member; e) transferring the second alignment camera to a printing position of the local pattern on the substrate to confirm the printing position; And f) moving the support member by the predetermined separation distance and transferring the local pattern formed on the surface of the printing roll to the printing position.
본 발명의 제 4 특징에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법은 a) 테이블 상에 위치된 기판 상에 형성된 복수의 패턴 중 불량 패턴을 제거하는 단계; b) 지지 부재를 잉크 공급 장치 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치로부터 상기 지지 부재에 장착된 인쇄롤의 표면 상으로 잉크를 전사하는 단계; c) 상기 지지 부재에 장착된 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 클리체에 구비된 오목 패턴의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 제 2 얼라인 카메라 간의 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키는 단계; d) 상기 인쇄롤의 표면 상에 상기 오목 패턴에 대응되는 정상 국소 패턴을 형성하는 단계; e) 상기 지지 부재를 상기 기판 상으로 이송하고, 상기 지지 부재에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계; f) 상기 제 2 얼라인 카메라를 상기 기판 상의 정상 국소 패턴의 인쇄 위치로 이송하여 상기 인쇄 위치를 확인하는 단계; 및 g) 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키고 상기 인쇄롤의 표면 상에 형성된 상기 정상 국소 패턴을 상기 인쇄 위치에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다. A method of printing a local pattern according to a fourth aspect of the present invention includes the steps of: a) removing a bad pattern of a plurality of patterns formed on a substrate positioned on a table; b) transferring the support member onto the ink supply apparatus, and transferring ink from the ink supply apparatus onto the surface of a printing roll mounted to the support member; c) confirm the position of the concave pattern provided in the cliché using a second alignment camera mounted on the support member, and move the support member by a predetermined separation distance between the printing roll and the second alignment camera. Making a step; d) forming a normal local pattern corresponding to the concave pattern on the surface of the printing roll; e) transferring the support member onto the substrate and confirming an alignment state between the substrate and the table using a pair of first alignment cameras mounted on the support member; f) transferring the second alignment camera to a printing position of a normal local pattern on the substrate to confirm the printing position; And g) moving the support member with the printing roll by the predetermined separation distance and transferring the normal local pattern formed on the surface of the printing roll to the printing position.
본 발명의 국소 패턴의 인쇄 장치, 시스템, 및 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.Using the local pattern printing apparatus, system, and method of the present invention, the following advantages are achieved.
1. 기판 상의 특정 위치에 다양한 형상의 국소 패턴의 인쇄가 가능하다.1. Printing of local patterns of various shapes is possible at specific locations on the substrate.
2. 기판 상에 형성된 기존 패턴 중 불량 패턴의 수리(repair)가 가능하다.2. Repair of defective pattern among existing patterns formed on the substrate is possible.
3. 본 발명의 국소 패턴의 인쇄 장치는 일반적인 패턴 인쇄 장치에 비해 소형 사이즈로 제조될 수 있으므로 제조 비용이 현저하게 감소된다.3. The printing apparatus of the local pattern of the present invention can be manufactured in a small size compared with the general pattern printing apparatus, and the manufacturing cost is significantly reduced.
4. 불량 패턴이 용이하게 수리될 수 있으므로, 유지 보수가 간편하고 용이하다.4. Since the bad pattern can be easily repaired, maintenance is simple and easy.
5. 고가의 최종 제품을 폐기할 필요가 없으므로 전체 제조 시간 및 비용이 현저하게 감소된다.5. There is no need to dispose of expensive end products, which significantly reduces overall manufacturing time and costs.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1a 내지 도 1c는 종래기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.
도 1d는 종래 기술에 따른 기판 상에 형성된 복수의 패턴 중 일부 불량 패턴을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2c는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 잉크 공급 장치 및 클리체의 위치 관계를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2d 내지 도 2i는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.1A to 1C are cross-sectional views showing a process of forming a pattern on a substrate using a pattern printing apparatus according to the prior art.
1D is a view schematically showing some defective patterns of a plurality of patterns formed on a substrate according to the prior art.
2A is a plan view schematically showing a printing apparatus of a local pattern according to an embodiment of the present invention.
2B is a side view schematically showing a printing apparatus of a local pattern according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2C is a plan view schematically showing the positional relationship between the ink supply apparatus and the cliché according to an alternative embodiment of the present invention.
2D to 2I are schematic views for explaining a method of printing a local pattern according to an embodiment of the present invention.
3A is a flowchart showing a method of printing a local pattern according to the first embodiment of the present invention.
3B is a flowchart showing a method of printing a local pattern according to the second embodiment of the present invention.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치 및 시스템을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치 및 시스템을 개략적으로 도시한 측면도이다.2A is a plan view schematically showing a printing apparatus and system of a local pattern according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a side view schematically showing a printing apparatus and a system of a local pattern according to an embodiment of the present invention.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치(201)는 테이블(212)에 위치된 기판(210) 상에 국소 패턴(P)을 인쇄하기 위한 인쇄롤(230); 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 잉크(220)를 공급하는 잉크 공급 장치(240); 상기 국소 패턴(P)에 대응되는 오목 패턴(255a)을 구비하는 클리체(250); 상기 테이블(212)과 상기 기판(210) 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232); 상기 기판(210) 상의 상기 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1) 및 상기 오목 패턴(255a)의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라(234); 및 상기 인쇄롤(230)이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232) 및 상기 제 2 얼라인 카메라(234)가 고정 장착되는 지지 부재(260)를 포함한다.2A and 2B, a
또한, 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 시스템(202)은 테이블(212) 상에 위치된 기판(210); 상기 테이블(212)의 하부에 제공되며, 상기 기판과 상기 테이블(212)을 얼라인하기 위한 얼라인 장치(214); 상기 기판(210) 상에 국소 패턴(P)을 인쇄하기 위한 인쇄롤(230); 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 잉크(220)를 공급하는 잉크 공급 장치(240); 상기 국소 패턴(P)에 대응되는 오목 패턴(255a)을 구비하는 클리체(250); 상기 테이블(212)의 일측면에 위치되며, 상기 잉크 공급 장치(240) 및 상기 클리체(250)가 장착되는 제 2 테이블(242); 상기 테이블(212)과 상기 기판(210) 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232); 상기 기판(210) 상의 상기 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1) 및 상기 오목 패턴(255a)의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라(234); 상기 인쇄롤(230)이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232) 및 상기 제 2 얼라인 카메라(234)가 고정 장착되는 지지 부재(260); 상기 지지 부재(260)가 장착되며, 상기 잉크 공급 장치(240), 상기 클리체(250), 및 상기 기판(210) 상으로 상기 지지 부재(260)를 이송하는 이송 장치(262); 및 상기 이송 장치(262)와 유선 또는 무선으로 연결되며, 상기 이송 장치(262) 및 상기 지지 부재(260)의 이송 동작을 제어하는 콘트롤러(270)를 포함한다. 여기서, 참조부호 B는 얼라인 장치(214) 및 제 2 테이블(242)이 고정 장착되는 베이스 부재이다.In addition, a local pattern printing system 202 according to an embodiment of the present invention includes a substrate 210 located on the table 212; An alignment device 214 provided below the table 212 for aligning the substrate with the table 212; A printing roll 230 for printing a local pattern P on the substrate 210; An ink supply device 240 for supplying ink 220 on the surface of the printing roll 230; A cliché 250 having a concave pattern 255a corresponding to the local pattern P; A second table 242 positioned on one side of the table 212 and mounted with the ink supply device 240 and the cliché 250; A pair of first alignment cameras 232 for checking the alignment between the table 212 and the substrate 210; A second alignment camera 234 for checking a printing position P1 of the local pattern P and a position of the concave pattern 255a on the substrate 210; A support member 260 to which the printing roll 230 is rotatably mounted and to which the pair of first alignment cameras 232 and the second alignment cameras 234 are fixedly mounted; A transfer device 262 on which the support member 260 is mounted and which transfers the support member 260 onto the ink supply device 240, the cliché 250, and the substrate 210; And a controller 270 that is connected to the transfer device 262 by wire or wirelessly and controls a transfer operation of the transfer device 262 and the support member 260. Here, reference numeral B denotes a base member to which the
상술한 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치(201) 및 인쇄 시스템(202)에 시용되는 잉크 공급 장치(240)는 플레이트 형상의 잉크 공급 장치로 구현되는 예시적으로 기술되어 있지만, 당업자라면 잉크 공급 장치(240)가 도 1a에 도시된 노즐 형상의 잉크 공급 장치로 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.Although the
또한, 콘트롤러(270)는 예를 들어 마이크로프로세서 또는 퍼스널 컴퓨터 등으로 구현될 수 있다.In addition, the
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치(201) 및 인쇄 시스템(202)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, specific configurations and operations of the local
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 장치(201) 및 인쇄 시스템(202)에서는, 인쇄롤(230), 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232), 및 제 2 얼라인 카메라(234)가 지지 부재(260)에 고정 장착된다. 지지 부재(260)는 이송 장치(262)에 장착되어 이송된다. 도 2a에 도시된 이송 장치(262)가 예를 들어 갠트리(gantry)로 구현될 수 있다. 그러나, 당업자라면 이송 장치(262)가 예를 들어 로봇 암(robot arm: 미도시)으로 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 이송 장치(262)가 갠트리(gantry)인 경우, 지지 부재(260)는 갠트리의 길이 방향을 따라 이동이 가능하다.Referring again to FIGS. 2A and 2B, in the
또한, 지지 부재(260)의 진행 방향(A 방향)을 기준으로 후방에는 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)가 고정 장착되고, 전방에는 제 2 얼라인 카메라(234)가 고정 장착되어 있다. 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)는 기판(210)이 테이블(212) 상에 위치된 후 테이블(212)과 기판(210) 간의 얼라인을 확인하기 위한 것이다. 또한, 제 2 얼라인 카메라(232)는 기판(210) 상의 국소 패턴(P)의 형성 인쇄 위치 및 클리체(250) 상의 오목 패턴(255a)의 위치를 확인하기 위한 것이다. 도 2a 및 도 2b의 실시예에서는 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)는 지지 부재(260)의 후방에 장착되고, 제 2 얼라인 카메라(234)는 지지 부재(260)의 후방에 장착되는 것으로 예시적으로 기술하고 있지만, 당업자라면 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232) 및 제 2 얼라인 카메라(234)가 모두 지지 부재(260)의 전방 또는 후방에 장착될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, a pair of
한편, 도 2a에 도시된 바와 같이, 테이블(212)의 일측면에 위치되는 제 2 테이블(242) 상에는 잉크 공급 장치(240) 및 클리체(250)가 장착되어 있다.2A, the
도 2a에 도시된 잉크 공급 장치(240) 및 클리체(250)는 지지 부재(260)의 진행 방향(A 방향)과 수직한 방향으로 위치되어 있다. 그 결과, 지지 부재(260)는 이송 부재(262)에 의해 제 2 테이블(242) 상으로 이송된다. 그 후, 이송 부재(262)가 정지된 상태에서, 지지 부재(260)가 이송 부재(262)의 길이 방향(Ld 방향)을 따라 잉크 공급 장치(240) 상으로 이송된다. 그 후, 잉크 공급 장치(240)의 잉크(220)가 인쇄롤(230) 상으로 전사된다. 그 후, 지지 부재(260)는 이송 부재(262)가 정지된 상태에서 다시 이송 부재(262)의 길이 방향(Lu 방향)을 따라 클리체(250) 상으로 이송된다. 그 후, 인쇄롤(230)이 클리체(250)와 접촉하여 클리체(250) 상의 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)이 인쇄롤(230)의 표면 상에 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)이 형성된다.The
상술한 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에서는 잉크 공급 장치(240) 및 클리체(250)가 지지 부재(260)의 진행 방향(A 방향)과 수직한 방향으로 위치되는 것으로 예시적으로 기술되어 있지만 이에 제한되는 것은 아니다.In the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 2A described above, the
좀 더 구체적으로, 도 2c는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 잉크 공급 장치 및 클리체의 위치 관계를 개략적으로 도시한 평면도이다.More specifically, Fig. 2C is a plan view schematically showing the positional relationship of the ink supply apparatus and the cliché according to an alternative embodiment of the present invention.
도 2c를 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에서는 잉크 공급 장치(240) 및 클리체(250)가 제 2 테이블(242) 상에 지지 부재(260)의 진행 방향(A 방향)(도 2a 참조)과 동일한 방향으로 위치되어 있다. 그 결과, 지지 부재(260)는 이송 부재(262)에 의해 진행 방향(A 방향)을 따라 제 2 테이블(242)의 잉크 공급 장치(240) 상으로 이송된다. 그 후, 잉크 공급 장치(240)의 잉크(220)가 인쇄롤(230) 상으로 전사된다. 그 후, 지지 부재(260)는 다시 이송 부재(262)에 의해 진행 방향(A 방향)을 따라 클리체(250) 상으로 이송된다. 그 후, 인쇄롤(230)이 클리체(250)와 접촉하여 클리체(250) 상의 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)이 인쇄롤(230)의 표면 상에 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)이 형성된다. 따라서, 도 2c에 도시된 본 발명의 대안적인 실시예에서는 지지 부재(260)가 이송 부재(262)의 길이 방향(Ld 및 Lu 방향)을 따라 이송될 필요가 없다.Referring to FIG. 2C, in an alternative embodiment of the present invention, the
도 2d 내지 도 2i는 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.2D to 2I are schematic views for explaining a method of printing a local pattern according to an embodiment of the present invention.
도 2d 내지 도 2i를 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법에서는, 이송 장치(262)가 지지 부재(260)를 잉크 공급 장치(240) 상으로 이송한다. 그 후, 지지 부재(260)가 하강하여 인쇄롤(230)이 잉크 공급 장치(240)와 접촉한다. 그 후, 인쇄롤(230)이 잉크 공급 장치(240) 상에서 회전하여 잉크 공급 장치(240) 상의 잉크(220)가 인쇄롤(230)의 표면 상으로 전사된다(도 2d 참조).Referring to FIGS. 2D-2I together with FIGS. 2A-2C, in a method of printing a local pattern according to an embodiment of the present invention, the
그 후, 이송 장치(262)는 지지 부재(260)를 클리체(250) 상으로 이송된다. 이 경우, 지지 부재(260)에 장착된 제 2 얼라인 카메라(234)가 클리체(250)에 구비된 오목 패턴(255a)의 위치를 확인한다. 이 경우, 오폭 패턴(255a)의 좌표값(예를 들어, (x1.y1))은 콘트롤러(270)에 의해 미리 정해져 있다. 즉, 콘트롤러(270)는 지지 부재(260)의 전방에 장착된 제 2 얼라인 카메라(234)를 미리 정해진 오폭 패턴(255a)의 좌표값으로 이동하도록 이송 장치(262) 및 지지 부재(260)를 이송시킨다. 오목 패턴(255a)의 위치가 확인되면, 이송 장치(262)는 지지 부재(260)를 인쇄롤(230)과 제 2 얼라인 카메라(234) 간의 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시킨다. 그 후, 인쇄롤(230)이 클리체(250)와 접촉 및 회전하여 클리체(250) 상의 볼록 패턴(255) 상에 잉크(220)가 전사되어 인쇄롤(230)의 표면 상에는 클리체(250) 상의 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)만이 잔류된다(도 2e 참조).Thereafter, the
그 후, 이송 장치(262)는 지지 부재(260)를 테이블(212) 상에 위치된 기판(210) 상으로 이송한다. 이 경우, 지지 부재(260)의 후방에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)가 기판(210)과 테이블(212) 간의 얼라인 상태를 확인한다. 기판(210)과 테이블(212)이 미스얼라인 상태인 경우, 테이블(212)의 하부에 제공되는 얼라인 유닛(214)에 의해 기판(210)과 테이블(212)이 얼라인된다(도 2f 참조).The
그 후, 이송 장치(262)는 지지 부재(260)를 기판(210) 상의 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1)(이하 인쇄 위치(P1)이라 합니다)로 이송한다. 이 경우, 인쇄 위치(P1)의 좌표값(예를 들어, (x2,y2))은 콘트롤러(270)에 의해 미리 정해져 있다. 즉, 콘트롤러(270)는 지지 부재(260)의 전방에 장착된 제 2 얼라인 카메라(234)를 미리 정해진 인쇄 위치(P1)의 좌표값으로 이동하도록 이송 장치(262) 및 지지 부재(260)를 이송시킨다. 그 후, 제 2 얼라인 카메라(234)가 인쇄 위치(P1)의 좌표값으로부터 인쇄 위치(P1)를 확인한다(도 2g 참조).Thereafter, the
그 후, 이송 장치(262)는 인쇄롤(230)과 제 2 얼라인 카메라(234) 간의 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시킨 후, 인쇄롤(230)이 기판(210)과 접촉하도록 지지 부재(260)를 기판(210) 상으로 하강시킨다. 그 후, 인쇄롤(230)을 기판(210) 상에서 회전시켜 국소 패턴(P)을 기판(210)의 인쇄 위치로 전사한다(도 2h 참조).Thereafter, the
그 후, 이송 장치(262)는 지지 부재(260)를 기판(210) 상으로 상승시켜 제 2 얼라인 카메라(234)가 다시 인쇄 위치의 좌표값으로 이동하도록 이송 장치(262)를 이송시킨다. 그 후, 제 2 얼라인 카메라(234)를 이용하여 기판(210) 상에 형성된 국소 패턴(P)의 불량 여부를 검사한다(도 2i 참조).Thereafter, the
상술한 바와 같이 도 1a 내지 도 2i에 도시된 본 발명의 실시예에서는, 기판(210) 상에 국소 패턴(P)을 직접 인쇄하는 프로세스가 상세히 기술되어 있다. As described above, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1A-2I, the process of printing the local pattern P directly on the
그러나, 만일 도 1d에 도시된 바와 같이 기판(110) 상에 불량 국소 패턴(Pf)의 발생한 경우에는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 인쇄 장치(201) 및 인쇄 시스템(202)을 사용하여 도 2d 내지 도 2i에 도시된 국소 패턴(P)의 인쇄 방법을 수행하기 전에 기판(110) 상에 발생한 불량 국소 패턴(Pf)을 제거하는 단계가 선행되어야 한다는 것은 자명하다. 이 경우, 국소 패턴(P)은 정상 국소 패턴(P)이고, 불량 국소 패턴(Pf)이 발생된 위치가 정상 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1)가 된다는 점은 자명하다.However, if a defective local pattern Pf occurs on the substrate 110 as shown in FIG. 1D, the
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.3A is a flowchart showing a method of printing a local pattern according to the first embodiment of the present invention.
도 3a를 도 2a 내지 도 2i와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(300)은 a) 지지 부재(260)를 잉크 공급 장치(240) 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치(240)로부터 상기 지지 부재(260)에 장착된 인쇄롤(230)의 표면 상으로 잉크(220)를 전사하는 단계(310); b) 상기 지지 부재(260)에 장착된 제 2 얼라인 카메라(234)를 이용하여 클리체(250)에 구비된 오목 패턴(255a)의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재(260)를 상기 인쇄롤(230)과 상기 제 2 얼라인 카메라(234) 간의 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시키는 단계(320); c) 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 상기 오목 패턴(255a)에 대응되는 국소 패턴(P)을 형성하는 단계(330); d) 상기 지지 부재(260)를 테이블(212) 상에 위치된 기판(210) 상으로 이송하고, 상기 지지 부재(260)에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)를 이용하여 상기 기판(210)과 상기 테이블(212) 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계(340); e) 상기 제 2 얼라인 카메라(234)를 상기 기판(210) 상의 상기 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1)로 이송하여 상기 인쇄 위치(P1)를 확인하는 단계(350); 및 f) 상기 지지 부재(260)를 상기 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시키고 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 형성된 상기 국소 패턴(P)을 상기 인쇄 위치(P1)에 전사하는 단계(360)를 포함한다.Referring to FIG. 3A in conjunction with FIGS. 2A to 2I, a
상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(300)은 g) 상기 제 2 얼라인 카메라(234)를 이용하여 상기 기판(210) 상에 형성된 상기 국소 패턴(P)의 불량 여부를 검사하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.The
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(300)은 d1) 상기 단계 d)에서 상기 기판(210)과 상기 테이블(212)이 미스얼라인된 것으로 확인되면, 상기 테이블(212)의 하부에 제공되는 얼라인 장치(214)를 이용하여 상기 기판(210)과 상기 테이블(212)을 얼라인시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In addition, in the
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.3B is a flowchart showing a method of printing a local pattern according to the second embodiment of the present invention.
도 3b를 도 1d 및 도 2a 내지 도 2i와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(301)은 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(300)은 a) 테이블(212) 상에 위치된 기판(210) 상에 형성된 복수의 패턴(P) 중 불량 패턴(Pf)을 제거하는 단계(310); b) 지지 부재(260)를 잉크 공급 장치(240) 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치(240)로부터 상기 지지 부재(260)에 장착된 인쇄롤(230)의 표면 상으로 잉크(220)를 전사하는 단계(320); c) 상기 지지 부재(260)에 장착된 제 2 얼라인 카메라(234)를 이용하여 클리체(250)에 구비된 오목 패턴(255a)의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재(260)를 상기 인쇄롤(230)과 상기 제 2 얼라인 카메라(234) 간의 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시키는 단계(330); d) 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 상기 오목 패턴(255a)에 대응되는 정상 국소 패턴(P)을 형성하는 단계(340); e) 상기 지지 부재(260)를 상기 기판(210) 상으로 이송하고, 상기 지지 부재(260)에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라(232)를 이용하여 상기 기판(210)과 상기 테이블(212) 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계(350); f) 상기 제 2 얼라인 카메라(234)를 상기 기판(210) 상의 정상 국소 패턴(P)의 인쇄 위치(P1)로 이송하여 상기 인쇄 위치(P1)를 확인하는 단계(360); 및 g) 상기 지지 부재(260)를 상기 미리 정해진 이격 거리(d)만큼 이동시키고 상기 인쇄롤(230)의 표면 상에 형성된 상기 정상 국소 패턴(P)을 상기 인쇄 위치(P1)에 전사하는 단계(370)를 포함한다.Referring to FIG. 3B together with FIGS. 1D and 2A to 2I, a
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(301)은 h) 상기 제 2 얼라인 카메라(234)를 이용하여 상기 기판(210) 상에 형성된 상기 정상 국소 패턴(P)의 불량 여부를 검사하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.The method of printing a
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 국소 패턴의 인쇄 방법(300)은 e1) 상기 단계 e)에서 상기 기판(210)과 상기 테이블(212)이 미스얼라인된 것으로 확인되면, 상기 테이블(212)의 하부에 제공되는 얼라인 장치(214)를 이용하여 상기 기판(210)과 상기 테이블(212)을 얼라인시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다. Also, in the
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
1: 패턴 인쇄 장치 10,210: 기판 20,20a,20b,220: 잉크
30,230: 인쇄롤 32: 블랭킷 40: 노즐 50,250; 클리체
55:255,255a: 패턴 201: 국소 패턴의 인쇄 장치
202: 국소 패턴의 인쇄 시스템 212,242: 테이블
214: 얼라인 장치 232,234: 얼라인 카메라 260: 지지 부재
262: 이송 장치 270: 콘트롤러1: pattern printing apparatus 10,210:
30,230: printing roll 32: blanket 40: nozzle 50,250; Cliché
55: 255,255a: pattern 201: printing device of local pattern
202: printing system of local pattern 212,242: table
214: alignment device 232,234: alignment camera 260: support member
262: transfer device 270: controller
Claims (16)
테이블에 위치된 기판 상에 국소 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤;
상기 인쇄롤의 표면 상에 잉크를 공급하는 잉크 공급 장치;
상기 국소 패턴에 대응되는 오목 패턴을 구비하는 클리체;
상기 테이블과 상기 기판 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라;
상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치 및 상기 오목 패턴의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라; 및
상기 인쇄롤이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라 및 상기 제 2 얼라인 카메라가 고정 장착되는 지지 부재
를 포함하는 국소 패턴의 인쇄 장치.In the printing apparatus of a local pattern,
A printing roll for printing a local pattern on a substrate positioned on a table;
An ink supply device for supplying ink onto a surface of the printing roll;
A cliché having a concave pattern corresponding to the local pattern;
A pair of first alignment cameras for checking alignment between the table and the substrate;
A second alignment camera for checking a printing position of the local pattern on the substrate and a position of the concave pattern; And
A supporting member to which the printing roll is rotatably mounted and to which the pair of first and second alignment cameras are fixedly mounted
Local apparatus for printing a pattern comprising a.
상기 이송 장치는 갠트리 또는 로봇 암으로 구현되는 국소 패턴의 인쇄 장치.The method of claim 1,
The transfer device is a printing device of a local pattern implemented by a gantry or robot arm.
상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 상기 지지 부재의 진행 방향과 수직한 방향으로 위치되어 있는 국소 패턴의 인쇄 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
And the ink supply device and the cliché are located in a direction perpendicular to the advancing direction of the support member.
상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 상기 지지 부재의 진행 방향과 동일한 방향으로 위치되어 있는 국소 패턴의 인쇄 장치. 3. The method according to claim 1 or 2,
And the ink supply device and the cliché are located in the same direction as the advancing direction of the support member.
테이블 상에 위치된 기판;
상기 테이블의 하부에 제공되며, 상기 기판과 상기 테이블을 얼라인하기 위한 얼라인 장치;
상기 기판 상에 국소 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤;
상기 인쇄롤의 표면 상에 잉크를 공급하는 잉크 공급 장치;
상기 국소 패턴에 대응되는 오목 패턴을 구비하는 클리체;
상기 테이블의 일측면에 위치되며, 상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 장착되는 제 2 테이블;
상기 테이블과 상기 기판 간의 얼라인을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라;
상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치 및 상기 오목 패턴의 위치를 확인하기 위한 제 2 얼라인 카메라;
상기 인쇄롤이 회전 가능하게 장착되며, 상기 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라 및 상기 제 2 얼라인 카메라가 고정 장착되는 지지 부재;
상기 지지 부재가 장착되며, 상기 잉크 공급 장치, 상기 클리체, 및 상기 기판 상으로 상기 지지 부재를 이송하는 이송 장치; 및
상기 이송 장치와 유선 또는 무선으로 연결되며, 상기 이송 장치 및 상기 지지 부재의 이송 동작을 제어하는 콘트롤러
를 포함하는 국소 패턴의 인쇄 시스템.In the printing system of the local pattern,
A substrate located on the table;
An alignment device provided under the table, for aligning the substrate with the table;
A printing roll for printing a local pattern on the substrate;
An ink supply device for supplying ink onto a surface of the printing roll;
A cliché having a concave pattern corresponding to the local pattern;
A second table positioned on one side of the table, on which the ink supply device and the cliché are mounted;
A pair of first alignment cameras for checking alignment between the table and the substrate;
A second alignment camera for checking a printing position of the local pattern on the substrate and a position of the concave pattern;
A support member to which the printing roll is rotatably mounted and to which the pair of first alignment cameras and the second alignment camera are fixedly mounted;
A conveying apparatus, on which the supporting member is mounted, conveying the supporting member onto the ink supply device, the cliché, and the substrate; And
A controller that is connected to the transfer device in a wired or wireless manner and controls a transfer operation of the transfer device and the support member.
Local pattern printing system comprising a.
상기 이송 장치는 갠트리 또는 로봇 암으로 구현되는 국소 패턴의 인쇄 시스템.6. The method of claim 5,
The transfer device is a local pattern printing system implemented by a gantry or robotic arm.
상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 상기 지지 부재의 진행 방향과 수직한 방향으로 위치되어 있는 국소 패턴의 인쇄 시스템.6. The method of claim 5,
And the ink supply device and the cliché are located in a direction perpendicular to the advancing direction of the support member.
상기 잉크 공급 장치 및 상기 클리체가 상기 지지 부재의 진행 방향과 동일한 방향으로 위치되어 있는 국소 패턴의 인쇄 시스템.6. The method of claim 5,
And the ink supply device and the cliché are located in the same direction as the advancing direction of the support member.
상기 국소 패턴의 인쇄 위치 및 상기 오목 패턴의 위치는 상기 콘트롤러 내에 미리 정해져 있는 국소 패턴의 인쇄 시스템.9. The method according to any one of claims 5 to 8,
A printing system of the local pattern, wherein the printing position of the local pattern and the position of the concave pattern are predetermined in the controller.
상기 국소 패턴은 정상 국소 패턴이고, 상기 기판 상에 발생된 불량 국소 패턴의 위치가 상기 정상 국소 패턴의 인쇄 위치인 국소 패턴의 인쇄 시스템.9. The method according to any one of claims 5 to 8,
And wherein the local pattern is a normal local pattern, and the position of the defective local pattern generated on the substrate is a printing position of the normal local pattern.
a) 지지 부재를 잉크 공급 장치 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치로부터 상기 지지 부재에 장착된 인쇄롤의 표면 상으로 잉크를 전사하는 단계;
b) 상기 지지 부재에 장착된 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 클리체에 구비된 오목 패턴의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 제 2 얼라인 카메라 간의 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키는 단계;
c) 상기 인쇄롤의 표면 상에 상기 오목 패턴에 대응되는 국소 패턴을 형성하는 단계;
d) 상기 지지 부재를 테이블 상에 위치된 기판 상으로 이송하고, 상기 지지 부재에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계;
e) 상기 제 2 얼라인 카메라를 상기 기판 상의 상기 국소 패턴의 인쇄 위치로 이송하여 상기 인쇄 위치를 확인하는 단계; 및
f) 상기 지지 부재를 상기 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키고 상기 인쇄롤의 표면 상에 형성된 상기 국소 패턴을 상기 인쇄 위치에 전사하는 단계
를 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. In the printing method of a local pattern,
a) transferring the support member onto the ink supply apparatus and transferring ink from the ink supply apparatus onto the surface of a printing roll mounted to the support member;
b) confirm the position of the concave pattern provided in the cliché using a second alignment camera mounted on the support member, and move the support member by a predetermined separation distance between the printing roll and the second alignment camera. Making a step;
c) forming a local pattern corresponding to the concave pattern on the surface of the printing roll;
d) transferring the support member onto a substrate positioned on a table and confirming an alignment state between the substrate and the table using a pair of first alignment cameras mounted on the support member;
e) transferring the second alignment camera to a printing position of the local pattern on the substrate to confirm the printing position; And
f) moving said support member by said predetermined separation distance and transferring said local pattern formed on the surface of said printing roll to said printing position;
Method of printing a local pattern comprising a.
상기 국소 패턴의 인쇄 방법은 g) 상기 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 형성된 상기 국소 패턴의 불량 여부를 검사하는 단계를 추가로 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. 12. The method of claim 11,
The method of printing a local pattern may further include g) inspecting whether the local pattern formed on the substrate is defective by using the second alignment camera.
상기 국소 패턴의 인쇄 방법은 d1) 상기 단계 d)에서 상기 기판과 상기 테이블이 미스얼라인된 것으로 확인되면, 상기 테이블의 하부에 제공되는 얼라인 장치를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블을 얼라인시키는 단계를 추가로 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. 13. The method according to claim 11 or 12,
In the method of printing the local pattern, if the substrate and the table are misaligned in step d), the substrate and the table may be aligned using an alignment device provided below the table. The method of printing a local pattern further comprising the step.
a) 테이블 상에 위치된 기판 상에 형성된 복수의 패턴 중 불량 패턴을 제거하는 단계;
b) 지지 부재를 잉크 공급 장치 상으로 이송하고, 상기 잉크 공급 장치로부터 상기 지지 부재에 장착된 인쇄롤의 표면 상으로 잉크를 전사하는 단계;
c) 상기 지지 부재에 장착된 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 클리체에 구비된 오목 패턴의 위치를 확인하고, 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 제 2 얼라인 카메라 간의 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키는 단계;
d) 상기 인쇄롤의 표면 상에 상기 오목 패턴에 대응되는 정상 국소 패턴을 형성하는 단계;
e) 상기 지지 부재를 상기 기판 상으로 이송하고, 상기 지지 부재에 장착된 한 쌍의 제 1 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블 간의 얼라인 상태를 확인하는 단계;
f) 상기 제 2 얼라인 카메라를 상기 기판 상의 정상 국소 패턴의 인쇄 위치로 이송하여 상기 인쇄 위치를 확인하는 단계; 및
g) 상기 지지 부재를 상기 인쇄롤과 상기 미리 정해진 이격 거리만큼 이동시키고 상기 인쇄롤의 표면 상에 형성된 상기 정상 국소 패턴을 상기 인쇄 위치에 전사하는 단계
를 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. In the printing method of a local pattern,
a) removing a defective pattern of the plurality of patterns formed on the substrate positioned on the table;
b) transferring the support member onto the ink supply apparatus, and transferring ink from the ink supply apparatus onto the surface of a printing roll mounted to the support member;
c) confirm the position of the concave pattern provided in the cliché using a second alignment camera mounted on the support member, and move the support member by a predetermined separation distance between the printing roll and the second alignment camera. Making a step;
d) forming a normal local pattern corresponding to the concave pattern on the surface of the printing roll;
e) transferring the support member onto the substrate and confirming an alignment state between the substrate and the table using a pair of first alignment cameras mounted on the support member;
f) transferring the second alignment camera to a printing position of a normal local pattern on the substrate to confirm the printing position; And
g) moving said support member to said printing roll by said predetermined separation distance and transferring said normal local pattern formed on the surface of said printing roll to said printing position;
Method of printing a local pattern comprising a.
상기 국소 패턴의 인쇄 방법은 h) 상기 제 2 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 형성된 상기 정상 국소 패턴의 불량 여부를 검사하는 단계를 추가로 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. The method of claim 14,
The method of printing a local pattern further includes h) inspecting whether the normal local pattern formed on the substrate is defective by using the second alignment camera.
상기 국소 패턴의 인쇄 방법은 e1) 상기 단계 e)에서 상기 기판과 상기 테이블이 미스얼라인된 것으로 확인되면, 상기 테이블의 하부에 제공되는 얼라인 장치를 이용하여 상기 기판과 상기 테이블을 얼라인시키는 단계를 추가로 포함하는 국소 패턴의 인쇄 방법. 16. The method according to claim 14 or 15,
The method of printing a local pattern may include: e1) aligning the substrate and the table using an alignment device provided below the table when it is determined that the substrate and the table are misaligned in the step e). The method of printing a local pattern further comprising the step.
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