KR20130048685A - Method for scribing reinforced glass substrate and apparatus for scribing the same - Google Patents

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KR20130048685A
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: Scribing method and apparatus for a reinforced glass plate are provided to form a collision trace on a plate as a trigger groove by using a lining member. CONSTITUTION: A scribing method for a reinforced glass plate comprises a step of forming a collision trace(T1) on one inner side of a plate(M) to release a compression stress layer on the surface of the plate, and form the collision trace as a trigger groove which will be a starting point for scribing; a step of forming a scribing line(S) by rolling a cutter wheel(12) to the trigger groove. The collision trace is formed by using a lining member. The lining member has a point or a line-shaped tip. The lining member downwardly collides with the plate. The lining member is a diamond pointer(11) or a fixed blade. The depth of the collision trace is smaller than the thickness of the compression stress layer.

Description

강화 유리 기판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{METHOD FOR SCRIBING REINFORCED GLASS SUBSTRATE AND APPARATUS FOR SCRIBING THE SAME}Scribing method and scribing apparatus of a tempered glass substrate {METHOD FOR SCRIBING REINFORCED GLASS SUBSTRATE AND APPARATUS FOR SCRIBING THE SAME}

본 발명은, 강화 유리제의 유리 기판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing method and a scribing apparatus for a glass substrate made of tempered glass.

여기에서, 「강화 유리」란, 제조 공정 중에 있어서의 이온 교환에 의한 화학적 처리에 의해, 유리 기판의 기판 표면층(기판 표면으로부터 깊이가 5㎛~50㎛ 정도)에 압축 응력이 잔류하는 압축 응력층이 형성되어, 기판 내부에 인장 응력이 잔류하도록 제조된 유리를 말한다.Here, the term "tempered glass" refers to a compressive stress layer in which a compressive stress remains in a substrate surface layer (about 5 µm to 50 µm in depth from the substrate surface) of the glass substrate by a chemical treatment by ion exchange in the manufacturing process. Is formed, and refers to glass manufactured so that tensile stress remains inside the substrate.

강화 유리의 특징은, 압축 응력층의 영향으로 외력에 대하여 깨지기 어려운 성질을 갖는 반면, 일단, 기판 표면에 균열이 생겨 잔류 인장 응력이 존재하는 기판 내부까지 진행되면, 이번에는 반대로 균열이 깊게 침투하기 쉬워지는 성질을 갖고 있다.The tempered glass has the property of being hard to be broken against external force under the influence of the compressive stress layer, whereas once the crack is formed on the surface of the substrate and proceeds to the inside of the substrate where the residual tensile stress is present, this time the crack penetrates deeply. It has the property of being easy.

일반적으로 유리 기판을 분단(dividing)하는 가공에서는, 우선 기판 표면에 유한 깊이의 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하고, 그 후, 기판의 이면측으로부터 스크라이브 라인을 따라서 브레이크 바나 브레이크 롤러로 압압(pushing)함으로써 브레이크하는 방법이 채용되고 있다.In general, in a process of dividing a glass substrate, first, a scribing line having a finite depth is formed on the surface of the substrate, and then pushing with a brake bar or a brake roller along the scribe line from the back surface side of the substrate. And a method of braking is adopted.

전자의 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 기판 표면에 대하여 원반 형상의 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 압접 전동(rolling)시킴으로써 스크라이브하는 방법이 알려져 있으며, 예를 들면 특허문헌 1 등에서 개시되어 있다.In the process of forming the former scribe line, a method of scribing by rolling a disk-shaped cutter wheel (also called a scribing wheel) with respect to the substrate surface is known, for example, a patent document 1 and the like.

도 10은, 유리제의 기판(M)(마더 기판;mother substrate)을, 각각이 제품이 되는 단위 기판으로 분단할 때에 행해지는 크로스 스크라이브 가공을 나타내고 있다. 우선 기판(M)의 표면에 대하여 커터 휠로 X방향의 스크라이브 라인(S1)을 형성하고, 이어서, X방향과 교차하는 Y방향의 스크라이브 라인(S2)을 형성한다. 이와 같이 X-Y방향으로 교차한 복수의 스크라이브 라인을 형성한 후, 기판(M)은 브레이크 장치로 보내지고, 각 스크라이브 라인을 따라서 이면측으로부터 휘게 함으로써, 단위 기판으로 분단된다.FIG. 10 shows cross scribing performed when the glass substrate M (mother substrate) is divided into unit substrates each of which is a product. First, a scribe line S 1 in the X direction is formed on the surface of the substrate M with a cutter wheel, and then a scribe line S 2 in the Y direction that crosses the X direction is formed. After forming a plurality of scribe lines intersecting in the X-Y direction in this manner, the substrate M is sent to the brake device and divided into unit substrates by bending them from the back surface side along each scribe line.

그런데, 유리 기판을 커터 휠로 스크라이브하는 방법에는, 「외절(外切)」과「내절(內切)」이 있다. 기판의 종류나 용도에 따라, 외절과 내절을 선택적으로 구분하여 사용할 수 있도록 한 스크라이브 장치가 개시되어 있다(특허문헌 2 참조).By the way, the method of scribing a glass substrate with a cutter wheel includes "outer" and "inner". According to the kind and use of a board | substrate, the scribing apparatus which made it possible to selectively distinguish external cut and internal cut is disclosed (refer patent document 2).

전자의 외절은, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠의 최하단을 기판(M)의 표면(상면)보다 약간 하방까지 강하한 상태로, 기판(M)의 편측 단부(端部)의 외측 위치(스크라이브 개시 위치(P1))에 세트한다. 그리고 세트한 위치로부터 수평 이동시켜, 기판(M) 단부에 충돌시켜 올려 앉히고, 추가로 소정의 스크라이브압으로 압압하면서, 커터 휠을 수평 이동시키도록 하여 스크라이브를 행한다. As shown in Fig. 11 (a), the former externally cuts the lowermost end of the cutter wheel to a slightly lower side than the surface (upper surface) of the substrate M. It is set in an outer position (scribe start position P1). The scribe is performed by moving the cutter wheel horizontally while moving horizontally from the set position, colliding with the end of the substrate M to be seated, and pressing with a predetermined scribe pressure.

외절에서는, 기판(M) 단부에서 커터 휠이 슬립(slip)하는 문제는 발생하지 않고, 형성되는 스크라이브 라인은 기판(M)의 단부까지 도달하고 있기 때문에, 다음 공정에서의 브레이크가 용이하고 그리고 정확하게 행해진다. 그 한편으로, 날끝이 기판(M) 단부에 충돌하기 때문에, 기판(M) 단부에 이빠짐(chipping)이 생겨, 기판(M) 내부의 인장 응력의 영향으로 단부로부터 풀 컷(full cut)되어 버릴 우려가 있고, 또한, 커터 휠도 에지 부분과의 충돌로 소모되기 쉽다.In the external section, the problem that the cutter wheel slips at the end of the substrate M does not occur, and since the scribe line formed reaches the end of the substrate M, the brake in the next process is easy and accurate. Is done. On the other hand, since the blade tip collides with the end of the substrate M, chipping occurs at the end of the substrate M, and a full cut is made from the end under the influence of the tensile stress inside the substrate M. There is a risk of discarding, and the cutter wheel is also likely to be consumed due to collision with the edge portion.

후자의 내절은, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 기판(M)의 단연(端緣)으로부터 2㎜~10㎜ 정도 내측(스크라이브 개시 위치(Q1))에서 커터 휠을 상방으로부터 하강시켜 기판(M)에 소정의 스크라이브압으로 맞닿게 하여, 압압하면서 커터 휠을 수평 이동시키도록 하여 스크라이브를 행한다.As shown in Fig. 11 (b), the latter is lowered from the top of the substrate M by about 2 mm to 10 mm inwardly (the scribe start position Q1) to lower the cutter wheel from above. The scribe is performed by making the cutter wheel horizontally move while contacting (M) with a predetermined scribe pressure.

내절에서는, 커터 휠이 기판(M) 단부의 에지 부분과 충돌하는 바와 같은 일이 없기 때문에, 기판(M) 단부에 이빠짐이 생길 우려는 없고, 날끝의 소모에 대해서도 외절에 비해 억제할 수 있다. 그러나, 기판(M) 단부에서 스크라이브 개시 위치(Q1)까지는, 스크라이브 라인이 형성되어 있지 않기 때문에 외절에 비하면 브레이크가 어려워지는 경향이 있다. 또한, 커터 휠이 기판(M)에 맞닿은 상태에서 수평 방향으로 이동시킬 때에 날끝의 파고듦이 나빠 슬립되어 버려, 스크라이브할 수 없는 경우가 있다.In internal cutting, since a cutter wheel does not collide with the edge part of the board | substrate M end, there is no possibility that a cutter may fall out at the board | substrate M end, and the consumption of a blade edge | tip can also be suppressed compared with outer one. . However, since the scribe line is not formed from the end of the substrate M to the scribe start position Q1, the brake tends to be difficult as compared with the external break. In addition, when the cutter wheel is moved in the horizontal direction in a state of being in contact with the substrate M, the edge of the blade tip is badly slipped and slips, which may not be possible to scribe.

이와 같이, 외절과 내절은, 각각 장점 단점을 갖고 있기 때문에, 기판의 종류나 용도에 따라, 외절과 내절을 구분하여 사용하고 있다.As described above, the outer and inner sections have advantages and disadvantages, and therefore, the outer and inner sections are used separately according to the type and use of the substrate.

일본특허 제3074143호 공보Japanese Patent No. 3074143 일본공개특허공보 2009-208237호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2009-208237

최근, 휴대 전화 등의 커버 유리 등에 사용되는 유리 제품 중에는, 소위 강화 유리(화학 강화 유리라고도 함)라고 불리는 유리의 사용이 요망되고 있다. 전술한 바와 같이, 강화 유리는, 기판 표면층에 압축 응력이 잔류하도록 하여 제조되고 있으며, 이에 따라 유리의 판두께가 얇음에도 불구하고, 깨지기 어려운 유리가 얻어진다.In recent years, the use of what is called tempered glass (also called chemically tempered glass) is desired among the glass products used for cover glass, such as a mobile telephone. As described above, the tempered glass is manufactured such that the compressive stress remains in the substrate surface layer, whereby the glass which is hard to be broken is obtained despite the thin plate thickness of the glass.

따라서 강화 유리를 이용하면, 얇고 가볍고, 게다가 튼튼한 커버 유리를 제조할 수 있는 점에서 우수하다. 그 한편으로, 커버 유리로 하려면, 대면적의 마더 기판으로부터 소망하는 크기, 소망하는 형상의 단위 제품으로 잘라내는 가공이 필요해진다.Therefore, when tempered glass is used, it is excellent in the point that a thin, light, and durable cover glass can be manufactured. On the other hand, in order to make a cover glass, the process which cuts out from the large area mother board | substrate to the unit product of a desired size and a desired shape is required.

그러나, 강화 유리에 대하여, 외절로 스크라이브 라인을 형성한 경우, 기판 단부에서 날끝이 충돌할 때에 표면 압축 응력층보다 깊게 스크라이브되면, 기판 내부의 잔류 인장 응력의 영향을 받아, 한번에 완전 분단되어 버리는 문제점이 발생해 버릴 우려가 있다.However, when a scribe line is formed in the outer part with respect to the tempered glass, if the blade edge is scribed deeper than the surface compressive stress layer when the blade tip collides at the substrate end, it is completely broken at once under the influence of the residual tensile stress inside the substrate. This may occur.

그 때문에, 강화 유리로는, 외절보다도 내절로 스크라이브하는 쪽이 바람직하다고 생각된다.Therefore, as tempered glass, it is thought that it is preferable to scribe internally rather than external failure.

그러나, 내절로 스크라이브하려고 해도, 날끝을 맞닿게 했을 때에, 강화 유리이기 때문에, 기판 표면층의 잔류 압축 응력의 영향으로, 날끝이 기판 표면에 파고들기 어렵고, 기판으로의 날끝의 걸림이 매우 나쁘기 때문에, 슬립이 생겨 버려, 스크라이브할 수 없었다. 그 때문에, 오히려 스크라이브 가공이 곤란해진다는 문제가 생기게 되었다.However, even if it is going to scribe by itself, since it is tempered glass when it comes into contact with the edge of a blade, it is hard to penetrate into the surface of a board | substrate under the influence of the residual compressive stress of a board | substrate surface layer, and the latch of the blade edge to a board | substrate is very bad, Slip occurred and was not able to scribe. Therefore, the problem that scribing becomes difficult rather arises.

이와 같이, 강화 유리에 대해서는, 종래부터 사용되고 있는 소다 유리 기판에 대한 스크라이브 가공과는 달리, 외절에 의해서도, 또한 내절에 의해서도, 제대로 스크라이브 라인을 형성하는 것이 곤란했다. 이 경향은, 기판 표면의 압축 응력층이 두꺼워 잔류 응력이 큰 기판일수록 현저해진다.Thus, unlike the scribing process with respect to the soda glass substrate conventionally used with respect to the tempered glass, it was difficult to form a scribe line properly also by external break and internal break. This tendency becomes more remarkable for a substrate having a larger compressive stress layer on the surface of the substrate and having a higher residual stress.

그래서, 본 발명은, 가공 곤란한 강화 유리제의 유리 기판이라도, 내절로 확실하게 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, an object of this invention is to provide the scribing method and scribing apparatus which can form a scribe line reliably internally, even if it is a glass substrate made of tempered glass which is difficult to process.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다.In order to achieve the above object, the present invention has taken the following technical means.

즉, 본 발명의 스크라이브 방법에서는, 기판 표면에 압축 응력층이 형성된 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 강화 유리 기판의 스크라이브 방법으로서,That is, in the scribing method of this invention, as a scribing method of the tempered glass substrate which forms a scribe line with respect to the tempered glass substrate in which the compressive stress layer was formed in the substrate surface,

(a) 기판의 일단연(一端緣)보다 내측으로 들어간 위치에서, 점 형상의 첨단(尖端) 또는 선 형상의 첨단을 갖는 선긋기 부재를, 기판에 대하여 상방으로부터 하강하도록 하여 충돌시켜 충돌흔적을 형성함으로써 기판 표면의 압축 응력층을 박리하고, 당해 충돌흔적을 스크라이브의 기점이 되는 트리거 홈으로서 형성하는 박리 공정과,(a) Collision traces are formed by colliding a line drawing member having a pointed tip or a linear tip at a position entered into an inner side of one end of the substrate so as to descend from the upper side with respect to the substrate. The peeling process of peeling the compressive stress layer on the surface of the substrate to form the impact trace as a trigger groove serving as a starting point of the scribe,

(b) 커터 휠을 트리거 홈에 맞닿게 하여 압접 전동시킴으로써 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정으로 이루어지도록 하고 있다.(b) The cutter wheel is brought into contact with the trigger groove so as to be squeezed and rolled to form a scribe line.

본 발명의 스크라이브 방법에 의하면, 기판의 일단연보다 내측으로 들어간 위치에서 「내절」을 행할 때에, 우선, 기판에 대하여 상방으로부터 선긋기 부재를 하강하도록 하여 충돌시켜 충돌흔적을 형성한다. 사용하는 선긋기 부재의 맞닿음 부분이 점 형상의 첨단이면, 점 형상의 미소한 충돌흔적이 형성되고, 선 형상의 첨단이면, 선 형상의 미소한 충돌흔적이 형성된다. 충돌시에 표면에 가하는 압력은, 미리 동일한 재질의 더미 기판으로 최적화함으로써, 충돌시의 압력이 지나치게 강하여 갑자기 브레이크되어 버리지 않도록, 또한, 지나치게 약하여 충돌흔적을 형성할 수 없게 되지 않도록 함으로써, 충돌흔적을 확실하게 형성할 수 있다. 충돌흔적의 형성에 의해, 기판 표면의 압축 응력층을 박리할 수 있기 때문에, 충돌흔적의 부분을 스크라이브의 기점인 트리거(trigger) 홈으로 한다. 그리고, 형성된 트리거 홈에 커터 휠을 맞닿게 하여 소정의 스크라이브압을 가하면서 전동시킴으로서, 슬립하는 일없이 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.According to the scribing method of the present invention, when performing the "resistant" at the position which entered into the inside of one end of a board | substrate, a collision trace is formed by first colliding so that a line drawing member may descend from upper direction with respect to a board | substrate. If the contact part of the scribing member to be used is a point-shaped tip, the minute collision traces of a point shape are formed, and if it is a line-shaped tip, a fine collision trace of a linear shape is formed. The pressure applied to the surface at the time of collision is optimized by using a dummy substrate of the same material in advance, so that the pressure at the time of collision is too strong and does not break suddenly, and is too weak to prevent the formation of a collision trace. It can be formed reliably. Since the impact trace layer on the surface of the substrate can be peeled off by the formation of the impact trace, the portion of the impact trace is used as a trigger groove which is the starting point of the scribe. The scribe line can be formed without slipping by making the cutter wheel abut against the formed trigger groove and applying a predetermined scribe pressure.

본 발명에 의하면, 이제까지 커터 휠로는 내절로의 스크라이브 라인의 형성이 곤란했던 강화 유리를, 첨단이 슬립하는 일도 없고, 기판이 브레이크되어 버리는 일도 없으며, 커터 휠을 이용하여 유한 깊이의 스크라이브 라인을 형성할 수 있게 된다.According to the present invention, the cutter wheel has never been slipped, the substrate does not break, and the scribe line having a finite depth is formed by using the cutter wheel. You can do it.

여기에서, 선긋기 부재는 선단(先端)이 뾰족한 포인터(예를 들면 다이아몬드 포인터, 초경합금제 포인터 등), 또는, 선단에 곧은 날이 형성된 고정날(예를 들면 초경합금제의 곧은 날 커터 등)을 이용해도 좋고, 커터 휠과 같은 회전날이라도 좋다. 포인터에서는 점 형상의 충돌흔적을 형성할 수 있고, 고정날이면 날끝 길이에 대응한 선 형상의 충돌흔적을 형성할 수 있다. 또한, 커터 휠에서는, 휠의 능선을 따른 선 형상의 충돌흔적을 형성할 수 있다. 또한 커터 휠의 경우는, 다음 공정의 스크라이브에 이용하는 커터 휠과 겸용할 수도 있다.Here, the line drawing member may be a pointer having a sharp tip (for example, a diamond pointer, a cemented carbide pointer, etc.), or a fixed blade (for example, a straight alloy cutter made of cemented carbide) having a straight blade formed at the tip. It may also be a rotary blade such as a cutter wheel. In the pointer, a point-like collision trail can be formed, and in the case of a fixed edge, a line-shaped collision trail corresponding to the trailing edge length can be formed. Further, in the cutter wheel, a linear collision trace along the ridge line of the wheel can be formed. Moreover, in the case of a cutter wheel, it can also be combined with the cutter wheel used for the scribe of a next process.

박리 공정에 있어서, 선긋기 부재를 충돌흔적으로부터 수평으로 이동시킴으로써 1㎜~3㎜의 길이의 트리거 홈으로 확장, 확대하도록 해도 좋다. 선긋기 부재를 충돌흔적으로부터 수평으로 이동시킴으로써 트리거 홈을 확장할 수 있어, 이에 따라 위치 맞춤이 용이해지기 때문에, 다음 공정에서의 스크라이브시의 트리거 홈으로서의 사용이 용이해진다.In a peeling process, you may expand and expand to a trigger groove of 1 mm-3 mm in length by moving a scribe member horizontally from a collision trace. By moving the scribing member horizontally from the collision trace, the trigger groove can be expanded, thereby making it easy to align, thereby facilitating use as a trigger groove during scribing in the next step.

충돌흔적의 깊이가 압축 응력층의 두께보다 작아지도록, 선긋기 부재를 충돌시키는 것이 바람직하다. 압축 응력층의 두께(통상 5㎛에서 50㎛ 정도)의 정보는, 미리 기판 메이커로부터 입수할 수 있기 때문에, 예비 실험으로 충돌압과 충돌흔적의 깊이와의 관계를 구하고, 압축 응력층의 두께 정보를 참조하여, 적절한 충돌압으로 조정함으로써, 압축 응력층의 두께보다도 충돌흔적이 얕아지도록 선긋기 부재를 충돌시킨다. 이에 따라, 압축층만을 박리시킬 수 있어, 실수로 브레이크해 버리는 문제점의 발생을 확실하게 방지할 수 있다.It is preferable to collide the scribing member so that the depth of the collision trace becomes smaller than the thickness of the compressive stress layer. Since the information on the thickness of the compressive stress layer (usually about 5 to 50 m) can be obtained from the substrate maker in advance, the relationship between the impact pressure and the depth of the impact trace is obtained by preliminary experiments, and the thickness information of the compressive stress layer is obtained. By referring to the above, by adjusting to an appropriate collision pressure, the scribing member is collided so that the collision trace is shallower than the thickness of the compressive stress layer. Thereby, only a compression layer can be peeled off and the occurrence of the problem which breaks by mistake can be reliably prevented.

또한, 다른 관점으로 이루어진 본 발명의 스크라이브 장치는, 기판 표면에 압축 응력층이 형성되어 있는 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서, 기판에 충돌흔적을 형성하기 위한 점 형상의 첨단 또는 선 형상의 첨단을 갖는 선긋기 부재와, 상기 충돌흔적으로부터 스크라이브 예정 라인을 따라서 전동하기 위한 커터 휠과, 상기 선긋기 부재 및 상기 커터 휠을 승강시키는 승강 기구와, 승강 기구의 제어를 행하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 선긋기 부재로 충돌흔적을 형성할 때는 당해 선긋기 부재를 강하시켜 기판에 충돌시킴과 함께 충돌 후에 기판으로부터 떨어지도록 상승시키고, 커터 휠을 전동할 때는 당해 커터 휠을 강하하여 맞닿은 채로 압접 전동을 행하도록 제어하고 있다.Moreover, the scribing apparatus of this invention which consists of another viewpoint is a scribing apparatus which forms a scribe line with respect to the tempered glass substrate in which the compressive stress layer is formed in the surface of a board | substrate, and has a point-shaped tip for forming a collision trace in a board | substrate. Or a linear drawing member having a linear tip, a cutter wheel for rolling along the scribing scheduled line from the collision trace, an elevating mechanism for elevating the linear drawing member and the cutter wheel, and a control unit for controlling the elevating mechanism. When the collision trace is formed by the scribing member, the controller lowers the scribing member to collide with the substrate and raises it away from the substrate after the collision. When the cutter wheel is driven, the controller lowers and abuts the cutter wheel. It is controlled so as to perform pressure welding transmission.

여기에서, 상기 선긋기 부재는, 선단이 뾰족한 포인터, 또는, 선단에 곧은 날이 형성된 고정날이라도 좋다.Here, the scribing member may be a pointer having a sharp tip, or a fixed blade having a straight blade at the tip.

또한, 상기 선긋기 부재로서 상기 커터 휠이 겸용되도록 해도 좋다.In addition, the cutter wheel may be used as the scribing member.

도 1은 본 발명의 스크라이브 방법에 이용하는 스크라이브 장치의 일 실시예를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 다이아몬드 포인터의 일 예를 나타내는 확대도이다.
도 3은 도 1의 커터 휠을 나타내는 정면도 및 좌측면도이다.
도 4는 도 1의 스크라이브 장치에 의한 스크라이브 방법의 순서를 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 스크라이브 방법에 이용하는 스크라이브 장치의 다른 일 예를 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 5에 있어서의 고정날을 나타내는 도면이다.
도 7은 도 5의 스크라이브 장치에 의한 스크라이브 방법의 순서를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 스크라이브 방법에 이용하는 스크라이브 장치의 또 다른 일 예를 나타내는 정면도이다.
도 9는 도 8의 스크라이브 장치에 의한 스크라이브 방법의 순서를 나타내는 평면도이다.
도 10은 마더 기판의 크로스 스크라이브 가공을 나타내는 도면이다.
도 11은 커터 휠에 의한 종래의 스크라이브 방법을 나타내는 도면이다.
1 is a front view showing an embodiment of a scribing apparatus used in the scribing method of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view illustrating an example of the diamond pointer of FIG. 1.
3 is a front view and a left side view of the cutter wheel of FIG. 1.
4 is a plan view illustrating a procedure of a scribing method by the scribing apparatus of FIG. 1.
5 is a front view showing another example of the scribing apparatus used in the scribing method of the present invention.
It is a figure which shows the fixed blade in FIG.
7 is a plan view illustrating a procedure of a scribing method by the scribing apparatus of FIG. 5.
Fig. 8 is a front view showing still another example of the scribing apparatus used in the scribing method of the present invention.
9 is a plan view illustrating a procedure of a scribing method by the scribing apparatus of FIG. 8.
It is a figure which shows the cross scribe process of a mother substrate.
11 is a view showing a conventional scribing method using a cutter wheel.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

(실시 형태 1)(Embodiment 1)

이하에 있어서 본 발명에 따른 스크라이브 방법의 상세를, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the detail of the scribing method which concerns on this invention is demonstrated in detail based on drawing.

도 1은, 본 발명 방법을 실시할 때에 이용하는 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 정면도이다. 스크라이브 장치(SC1)에서는, 선긋기 부재로서 다이아몬드 포인터를 이용한다.1 is a front view showing an example of a scribing apparatus used when implementing the method of the present invention. In scribe apparatus SC1, a diamond pointer is used as a scribe member.

스크라이브 장치(SC1)는, 강화 유리 기판(M)을 상면에 지지(holding)함과 함께, 수평 방향의 회전 기구를 갖는 테이블(4)과, 이 테이블(4)을 일 방향(지면에 수직 방향)으로 이동 가능하게 지지하는 레일(5)과, 테이블(4)의 상방에서 레일(5)과 직교하는 방향(도 1의 좌우 방향)으로 걸쳐진 안내 바(6)를 구비하고 있다. The scribe device SC1 holds the tempered glass substrate M on the upper surface, and has a table 4 having a horizontal rotating mechanism, and the table 4 in one direction (the direction perpendicular to the ground). The rail 5 which is movable so that it is supported by (), and the guide bar 6 extended in the direction (left-right direction of FIG. 1) orthogonal to the rail 5 from above the table 4 are provided.

이 안내 바(6)에는, 수평 방향으로 이동 가능하게 설치된 2기의 스크라이브 헤드(7a, 7b)와, 스크라이브 헤드(7a, 7b)의 하단에 승강 기구(10a, 10b)에 의해 승강 가능하게 장착된 홀더(8a, 8b)를 구비하고 있다. 이 중, 한쪽의 홀더(8a)에는 충돌흔적을 형성하기 위한 선긋기 부재인 다이아몬드 포인터(11)가 부착되고, 다른 한쪽의 홀더(8b)에는 커터 휠(12)이 부착되어 있다. The guide bar 6 is mounted on the guide bar 6 so as to be lifted and lowered by lifting mechanisms 10a and 10b at the lower ends of the two scribe heads 7a and 7b and the scribe heads 7a and 7b. Holders 8a and 8b. Among these, the diamond pointer 11 which is a scribe member for forming a collision trace is attached to one holder 8a, and the cutter wheel 12 is attached to the other holder 8b.

도 2는 다이아몬드 포인터(11)의 일 예를 나타내는 확대도이다. 다이아몬드 포인터(11)는 편단(片端)이 원뿔 형상으로 성형된 원기둥 로드(11a)의 선단에, 선단을 뾰족하게 한 다이아몬드 편(11b)이 고정되어 있고, 이 다이아몬드 편(11b)을 강화 유리 기판(M)에 충돌시킴으로써 점 형상의 충돌흔적이 형성되도록 되어 있다.2 is an enlarged view illustrating an example of the diamond pointer 11. As for the diamond pointer 11, the diamond piece 11b which made the tip pointed is fixed to the front-end | tip of the cylindrical rod 11a by which the one end was formed in the cone shape, and this diamond piece 11b is reinforced glass substrate. By colliding with (M), a point-shaped collision trace is formed.

도 3은 커터 휠(12)의 일 예를 나타내는 도면이다. 직경 2㎜~6㎜ 정도의 초경합금제의 원반 디스크(12a)에 날끝이 되는 능선(12b)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 홈이 없는 휠(노멀 휠이라고도 함)을 사용하고 있지만, 능선에 홈이 형성된 홈부착 휠(예를 들면 미츠보시 다이아몬드 공업 주식회사제의 아피오(APIO(등록 상표)) 커터 휠)을 이용해도 좋다.3 is a diagram illustrating an example of the cutter wheel 12. Ridges 12b serving as blade edges are formed on the disc 12a made of cemented carbide having a diameter of about 2 mm to 6 mm. In this embodiment, a grooveless wheel (also referred to as a normal wheel) in which no groove is formed in the ridge line is used, but a grooved wheel in which the groove is formed in the ridge line (for example, manufactured by Mitsubishi Diamond Industry Co., Ltd.) PIO (APIO) cutter wheel may be used.

그리고 스크라이브 장치(SC1)의 동작은, 소위 컴퓨터로 구성되는 제어부(20)에 의해 제어된다. 전술한 승강 기구(10a, 10b)의 승강의 제어에서는, 홀더(8a)가 다이아몬드 포인터(11)를 강하시켜 충돌흔적을 형성할 때는 빠른 동작으로 강하시킴과 함께 충돌 후에 바로 상승시키는 제어를 행한다.And the operation | movement of scribe device SC1 is controlled by the control part 20 comprised from what is called a computer. In the above-described control of lifting of the lifting mechanisms 10a and 10b, when the holder 8a lowers the diamond pointer 11 to form a collision trace, the holder 8a descends in a rapid motion and performs control for raising immediately after the collision.

한편, 홀더(8b)가 커터 휠(12)을 강하시켜 기판 상을 압접하면서 전동시킬 때는, 충돌흔적이 남지 않도록 천천히 강하시켜 맞닿게 하면 그대로 맞닿은 상태로 하는 제어를 행한다.On the other hand, when the holder 8b is driven while lowering the cutter wheel 12 to press-contact the substrate, control is performed so as to be brought into contact as it is if the holder 8b is slowly lowered and brought into contact so as not to leave a collision trace.

다음으로, 이 스크라이브 장치(SC1)를 이용한 스크라이브 방법을 설명한다.Next, the scribing method using this scribe device SC1 is demonstrated.

우선 도 4(a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(M)에 상정한 스크라이브 예정 라인 상에서, 기판(M)의 일단연보다 내측(예를 들면 3㎜ 내측)으로 들어간 개소에 다이아몬드 포인터(11)를, 미리 예비 실험으로 구한 충돌압으로, 위로부터 유리 기판(M)의 표면을 가볍게 부딪히도록 강하시키고, 그 후, 상승시킴으로써, 점 형상의 충돌흔적(T1)을 형성한다. 이 충돌흔적은 다음 공정에서 스크라이브의 기점으로서 이용하기 때문에, 「트리거 홈(T1)」이라고도 부른다. 충돌흔적(T1)을 크게 할 때는, 계속해서 도 4(d)에 나타내는 바와 같이, 다이아몬드 포인터(11)를 충돌흔적(T1)에 재차 맞닿게 하여 스크라이브 예정 라인의 방향으로 수평 이동시켜 확장하여, 길이가 1㎜~3㎜ 정도의 트리거 홈(T1')으로 한다. 확장된 트리거 홈(T1')을 형성함으로써, 커터 휠(12)의 날끝이 맞추기 쉬워진다.First, as shown to Fig.4 (a)-(c), on a scribe plan line assumed to the board | substrate M, a diamond pointer is located in the place which entered into the inside (for example, 3 mm inside) from one end of the board | substrate M. to 11, and drops to Hi pre-collision pressure determined by preliminary experiments, tap the surface of the glass substrate (M) hit from above, and then, by lifting, to form a collision trace (T 1) of the point-like. Crash trail because of the use as a starting point for scribing in the following process, also referred to as "trigger groove (T 1)." When increasing the collision trace T 1 , as shown in FIG. 4 (d), the diamond pointer 11 is brought into contact with the collision trace T 1 again to move horizontally in the direction of the scribe scheduled line and expanded. and, the length and the degree of the trigger 1㎜ ~ 3㎜ groove (T 1 '). By forming the extended trigger groove T 1 ′, the blade tip of the cutter wheel 12 is easily fitted.

이어서, 도 4(e)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(12)을, 트리거 홈(T1')을 형성한 위치로 강하시켜 맞닿게 하고, 도 4(f)에서 나타내는 바와 같이, 스크라이브 예정 라인을 따라서 압접하면서 전동시킴으로써, 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 즉, 전술한 내절의 수법에 따라 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 커터 휠(12)은, 미리 형성되어 있는 트리거 홈(T1')에 파고들 수 있기 때문에, 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 4E, the cutter wheel 12 is lowered to a position where the trigger groove T 1 ′ is formed and brought into contact, and as shown in FIG. 4F, a scribe scheduled line The scribe lines S are formed by rolling while pressing along the lines. That is, the scribe line S is formed in accordance with the above-described internal technique. Since the cutter wheel 12 can penetrate into the trigger groove T 1 ′ formed in advance, the scribe line S can be formed without slipping.

(실시 형태 2)(Embodiment 2)

도 5는, 본 발명 방법을 실시할 때에 이용하는 스크라이브 장치의 다른 일 예를 나타내는 개략적인 정면도이다. 또한, 도 1과 동일한 부분에 대해서는 동(同) 부호를 붙임으로써, 설명을 생략한다. 이 스크라이브 장치(SC2)에서는, 선긋기 부재로서 곧은 날의 고정날(13)을 이용한다.Fig. 5 is a schematic front view showing another example of a scribe device used when carrying out the method of the present invention. In addition, description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol about the part same as FIG. In this scribe device SC2, the fixed blade 13 of a straight blade is used as a scribe member.

도 6(a)는, 고정날(13)의 정면도, 도 6(b)는 측면도이다. 고정날(13)은 초경합금의 로드(13a)의 편측단에, 곧은 날(13b)이 형성되어 있다. 곧은 날(13b)의 날끝 길이(a)는 1㎜~3㎜로 하고 있고, 날끝을 기판(M)에 충돌시키면, 날끝 길이(a)의 직선 형상의 충돌흔적(T2)이 형성된다(도 7 참조). 또한, 곧은 날(13b)의 날끝 길이(a)를 짧게 하고, 전술한 실시 형태 1과 동일하게, 충돌 후에 곧은 날(13b)의 날끝을 맞닿게 한 상태로 수평 이동함으로써 충돌흔적을 확장하도록 하여 1㎜~3㎜로 해도 좋다. 이와 같이 하여 형성된 충돌흔적(T2)은, 트리거 홈(T2)을 형성하게 된다.6 (a) is a front view of the fixed blade 13, and FIG. 6 (b) is a side view. The fixed blade 13 has a straight blade 13b formed at one end of the rod 13a of the cemented carbide. Blade tip length (a) of the straight edge (13b) and has a 1㎜ ~ 3㎜, when the collision blade tip to the substrate (M), a collision trace (T 2) of the linear shape of the blade tip length (a) is formed ( 7). Further, the blade tip length a of the straight blade 13b is shortened, and in the same manner as in the first embodiment described above, the collision trace is expanded by horizontally moving in a state where the blade edge of the straight blade 13b is brought into abutment after the collision. It is good also as 1 mm-3 mm. The collision trace T 2 formed in this way forms the trigger groove T 2 .

다음으로, 이 스크라이브 장치(SC2)를 이용한 스크라이브 방법을 설명한다.Next, the scribing method using this scribe device SC2 is demonstrated.

우선 도 7(a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(M)에 상정한 스크라이브 예정 라인 상에서, 기판(M)의 일단연보다 내측으로 들어간 개소에 고정날(13)을, 위로부터 유리 기판(M)의 표면을 가볍게 부딪히도록 강하시키고, 그 후 상승시킴으로써, 직선 형상의 충돌흔적(T2)(트리거 홈(T2))을 형성한다. 여기에서는 길이가 2㎜ 정도의 트리거 홈(T2)이 형성된 것으로 한다.First, as shown to Fig.7 (a)-(c), on the scribe plan line assumed to the board | substrate M, the fixed blade 13 is glass from the top into the location which entered into the inside of one end of the board | substrate M from above. drop to bump lightly the surface of the substrate (M) and, by then rising, to form a collision trace of linear shape (T 2) (trigger groove (T 2)). It is assumed here that a trigger groove T 2 having a length of about 2 mm is formed.

이어서, 도 7(d)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(12)을, 트리거 홈(T2)을 형성한 위치에 커터 휠(12)을 강하시켜 맞닿게 하고, 도 7(e)에서 나타내는 바와 같이, 스크라이브 예정 라인을 따라서 압접하면서 전동시킴으로써, 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 즉, 전술한 내절의 수법에 따라 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 커터 휠(12)은, 미리 형성되어 있는 트리거 홈(T2)에 파고들 수 있기 때문에, 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 7 (d), the cutter wheel 12 is brought into contact with the cutter wheel 12 by dropping at the position where the trigger groove T 2 is formed, and as shown in FIG. 7 (e). Similarly, the scribe line S is formed by rolling while squeezing along the scheduled scribe line. That is, the scribe line S is formed in accordance with the above-described internal technique. Since the cutter wheel 12 can penetrate into the trigger groove T 2 formed in advance, the scribe line S can be formed without slipping.

(실시 형태 3)(Embodiment 3)

도 8은, 본 발명의 방법을 실시할 때에 이용하는 스크라이브 장치의 또 다른 일 예를 나타내는 개략적인 정면도이다. 또한, 도 1과 동일한 부분에 대해서는 동부호를 붙임으로써, 설명을 생략한다. 이 스크라이브 장치(SC3)에서는, 선긋기 부재로서, 도 3에서 나타낸 커터 휠(12)을 이용한다. 즉, 충돌흔적을 형성하는 선긋기 부재로서, 커터 휠(12)을 겸용한다.8 is a schematic front view showing still another example of a scribe device used when carrying out the method of the present invention. In addition, description is abbreviate | omitted by attaching the eastern part about the same part as FIG. In this scribe apparatus SC3, the cutter wheel 12 shown in FIG. 3 is used as a scribe member. That is, the cutter wheel 12 also serves as a scribing member for forming a collision trace.

그 때문에, 안내 바(6)에는, 도 1에 있어서의 스크라이브 헤드(7b)만이 이용되고, 도 1에 있어서의 스크라이브 헤드(7a) 및, 이것에 장착되는 승강 기구(10a), 홀더(8a), 선긋기 부재(11, 13)(도 1, 5 참조)는 부착되어 있지 않다.Therefore, only the scribe head 7b in FIG. 1 is used for the guide bar 6, the scribe head 7a in FIG. 1, the lifting mechanism 10a attached to this, and the holder 8a. Note that the scribing members 11 and 13 (see FIGS. 1 and 5) are not attached.

다음으로, 이 스크라이브 장치(SC3)를 이용한 스크라이브 방법을 설명한다.Next, the scribe method using this scribe device SC3 is demonstrated.

우선 도 9(a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(M)에 상정한 스크라이브 예정 라인 상에서, 기판(M)의 일단연보다 내측으로 들어간 개소에 커터 휠(12)을, 위로부터 유리 기판(M)의 표면을 가볍게 부딪히도록 강하시키고, 그 후 상승시킴으로써, 능선에 대응한 선 형상의 충돌흔적(T3)(트리거 홈(T3))을 형성한다. 여기에서는 길이가 2㎜ 정도의 트리거 홈(T3)이 형성된 것으로 한다.First, as shown to Fig.9 (a)-(c), on the scribe plan line assumed to the board | substrate M, the cutter wheel 12 is glass from the top into the location which entered inside the edge of the board | substrate M inside. drop to bump lightly the surface of the substrate (M) and, by then rising, to form a line of a shape corresponding to a ridge collision trace (T 3) (trigger groove (T 3)). It is assumed here that a trigger groove T 3 having a length of about 2 mm is formed.

이어서, 도 9(d)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(12)을, 트리거 홈(T3)을 형성한 위치에 재차 강하시켜 맞닿게 하고, 도 9(e)에서 나타내는 바와 같이, 스크라이브 예정 라인을 따라서 압접하면서 전동시킴으로써, 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 즉, 전술한 내절의 수법에 따라 스크라이브 라인(S)을 형성한다. 커터 휠(12)은, 미리 형성되어 있는 트리거 홈(T3)에 파고들 수 있기 때문에, 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 9 (d), the cutter wheel 12 is lowered again and brought into contact with the position where the trigger groove T 3 is formed, and as shown in FIG. 9 (e), the scribe scheduled line The scribe lines S are formed by rolling while pressing along the lines. That is, the scribe line S is formed in accordance with the above-described internal technique. Since the cutter wheel 12 can penetrate into the trigger groove T 3 formed in advance, the scribe line S can be formed without slipping.

이상의 실시 형태에서는, 스크라이브 라인을 1개 형성하는 예로 설명했지만, 평행하게 복수개 형성하거나, XY방향으로 교차하는 스크라이브 라인을 형성하거나 하는 경우에도 적용할 수 있다.Although the above-mentioned embodiment demonstrated the example which forms one scribe line, it is applicable also when forming two or more scribe lines in parallel or forming scribe lines which cross | intersect in an XY direction.

또한, 상기 실시 형태에서는, 커터 휠(12)에 홈이 없는 휠을 이용했지만, 홈부착 휠로 해도 좋다. 홈부착 휠을 이용함으로써 더욱 달라붙음이 좋아진다.In addition, in the said embodiment, although the grooveless wheel was used for the cutter wheel 12, it is good also as a wheel with a groove. By using the grooved wheel, the sticking becomes better.

상기 실시 형태에서는, 충돌흔적인 트리거 홈을 형성했지만, 충돌흔적을 형성한 위치는 기판의 단연 근방이기 때문에, 이 부분을 단재(端材) 영역으로 해두고, 최종적으로는 단재로서 폐기하도록 하면, 제품에는 충돌흔적이 남아있지 않기 때문에 충돌흔적에 의한 문제는 발생하지 않는다.In the above embodiment, the trigger trace of the impact trace is formed, but since the position where the impact trace is formed is near the edge of the substrate, if this portion is placed in the single region, and finally discarded as the single substrate, Since there are no collision traces left on the product, the problem of collision traces does not occur.

그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.In addition, in the present invention, the object can be achieved and modified and changed as appropriate without departing from the scope of the claims.

본 발명의 스크라이브 방법은, 강화 유리 기판을 스크라이브하는 경우에 이용할 수 있다.The scribing method of this invention can be used when scribing a tempered glass substrate.

M : 기판
S : 스크라이브 라인
T1, T2, T3 : 충돌흔적(트리거 홈)
10a, 10b : 승강 기구
11 : 다이아몬드 포인터
12 : 커터 휠
13 : 고정날
20 : 제어부
M: Substrate
S: scribe line
T 1 , T 2 , T 3 : Collision Trace (Trigger Home)
10a, 10b: lifting mechanism
11: diamond pointer
12: cutter wheel
13: fixed blade
20:

Claims (8)

기판 표면에 압축 응력층이 형성되어 있는 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 강화 유리 기판의 스크라이브 방법으로서,
(a) 상기 기판의 일단연(一端緣)보다 내측으로 들어간 위치에서, 점 형상의 첨단(尖端) 또는 선 형상의 첨단을 갖는 선긋기 부재를, 상기 기판에 대하여 상방으로부터 하강하도록 하여 충돌시켜 충돌흔적을 형성함으로써 기판 표면의 압축 응력층을 박리하고, 당해 충돌흔적을 스크라이브의 기점이 되는 트리거 홈으로서 형성하는 박리 공정과,
(b) 커터 휠을 상기 트리거 홈에 맞닿게 하여 압접 전동(rolling)시킴으로써 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정으로 이루어지는 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.
As a scribing method of a reinforced glass substrate which forms a scribe line with respect to the reinforced glass substrate in which the compressive stress layer is formed in the surface of a board | substrate,
(a) Collision traces are made by colliding a line-like member having a pointed tip or a linear tip at a position entered inward from one edge of the substrate so as to descend from the upper side with respect to the substrate. A peeling step of peeling the compressive stress layer on the surface of the substrate to form the impact trace as a trigger groove serving as a starting point of the scribe;
(b) A scribing method of a tempered glass substrate, comprising a scribing step of forming a scribe line by bringing a cutter wheel into contact with the trigger groove and rolling it by pressure welding.
제1항에 있어서,
상기 선긋기 부재는, 선단(先端)이 뾰족한 포인터, 또는, 선단에 곧은 날이 형성된 고정날인 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.
The method of claim 1,
The said scribe member is a pointer with a sharp tip, or the scribe method of the tempered glass board | substrate which is a fixed blade with a straight blade formed in the front-end | tip.
제1항에 있어서,
상기 선긋기 부재가 커터 휠인 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.
The method of claim 1,
The scribe method of the tempered glass substrate whose said scribe member is a cutter wheel.
제1항에 있어서,
상기 박리 공정에 있어서, 상기 선긋기 부재를 상기 충돌흔적으로부터 수평으로 이동시킴으로써 1㎜~3㎜의 길이의 트리거 홈으로 확대하는 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.
The method of claim 1,
The said scribe method WHEREIN: The scribe method of the tempered glass board | substrate which expands to the trigger groove of 1 mm-3 mm in length by moving the scribe member horizontally from the said impact trace.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
충돌흔적의 깊이가 압축 응력층의 두께보다 작아지도록 선긋기 부재를 충돌시키는 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A method of scribing a tempered glass substrate, wherein the line drawing member is collided so that the depth of the impact trace becomes smaller than the thickness of the compressive stress layer.
기판 표면에 압축 응력층이 형성되어 있는 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
기판에 충돌흔적을 형성하기 위한 점 형상의 첨단 또는 선 형상의 첨단을 갖는 선긋기 부재와,
상기 충돌흔적으로부터 스크라이브 예정 라인을 따라서 전동하기 위한 커터 휠과,
상기 선긋기 부재 및 상기 커터 휠을 승강시키는 승강 기구와,
승강 기구의 제어를 행하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 선긋기 부재로 충돌흔적을 형성할 때는 당해 선긋기 부재를 강하시켜 기판에 충돌시킴과 함께 충돌 후에 기판으로부터 떨어지도록 상승시키고, 커터 휠을 전동할 때는 당해 커터 휠을 강하하여 맞닿은 채로 압접 전동을 행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
A scribing apparatus for forming a scribe line with respect to a tempered glass substrate having a compressive stress layer formed on the substrate surface,
A line drawing member having a pointed tip or a linear tip for forming a collision trace on the substrate;
A cutter wheel for driving along the scheduled scribe line from the impact trace,
An elevating mechanism for elevating the scribe member and the cutter wheel;
And a control unit for controlling the lifting mechanism,
When the collision trace is formed by the scribing member, the controller lowers the scribing member to collide with the substrate and raises it away from the substrate after the collision. When the cutter wheel is driven, the control unit descends and presses the cutter wheel while contacting it. A scribing apparatus, characterized by controlling to perform electric rolling.
제6항에 있어서,
상기 선긋기 부재는, 선단이 뾰족한 포인터, 또는, 선단에 곧은 날이 형성된 고정날인 스크라이브 장치.
The method according to claim 6,
The scribing device is a scribe device which is a pointer having a sharp tip, or a fixed blade having a straight blade at the tip.
제6항에 있어서,
상기 선긋기 부재로서 상기 커터 휠이 겸용되는 스크라이브 장치.
The method according to claim 6,
A scribe device in which the cutter wheel also serves as the scribing member.
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