KR20130043822A - Device for gas leak detection - Google Patents

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KR20130043822A
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Abstract

PURPOSE: A gas leakage detecting device is provided to prevent a gas leakage from a joint of pipes where gas flows and to protect the coupling connecting the pipes. CONSTITUTION: A gas leakage detecting device comprises a pair of couplings(20), a plurality of clamps(30), and a body(40). The pair of the coupling connects the pipes for supplying gas. The clamps are joined to surround the outer periphery and both lateral surfaces of one of the couplings and the couplings are fixed by pressurizing the couplings from both sides. The body is joined to the clamps in order to surround the outer periphery and both lateral surfaces of the couplings and includes a detection paper that changes color when reacted to a gas.

Description

가스 누출 검출장치{DEVICE FOR GAS LEAK DETECTION} Gas leak detection device {DEVICE FOR GAS LEAK DETECTION}

본 발명은 가스 누출 검출장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면 반도체 제조장비에 사용되는 가스배관에서 가스가 누출되는 것을 검출하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas leak detection apparatus. More specifically, the present invention relates to an apparatus for detecting a leak of gas in a gas pipe used in semiconductor manufacturing equipment.

일반적으로 반도체 제조공정은 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer) 상에 여러 가지 화학반응을 유발하여 전기적 물성치가 다른 박막들을 형성하고 회로를 구성하는 일련의 과정들로 이루어진다.In general, a semiconductor manufacturing process consists of a series of processes that form a circuit and form a thin film having different electrical properties by causing various chemical reactions on a silicon wafer.

이러한 반도체 제조공정에는 화학적 친화력이 높은 극히 민감한 반응가스들을 취급하게 된다.Such semiconductor manufacturing processes deal with extremely sensitive reaction gases with high chemical affinity.

상기의 반응가스 종류는 공정별로 다양하며 수소, 질소, 아르곤, SiH4, PH3, AsH3, B2H6등이 대표적이다.The reaction gas types vary from process to process, and hydrogen, nitrogen, argon, SiH 4, PH 3, AsH 3, and B 2 H 6 are typical.

특히, SiH4, PH3, AsH3, B2H6등은 독성, 가연성 뿐만이 아니라 자연발화성 및 폭발성까지 지니고 있다. 따라서 누출가스의 원천적인 방지를 위한 안전장치가 절실히 필요했다.In particular, SiH4, PH3, AsH3, B2H6, etc. are not only toxic and flammable, but also spontaneously flammable and explosive. Therefore, safety devices are urgently needed to prevent leakage gas.

그러므로 반도체 제조공정이 이루어지는 공정챔버(Process Chamber)내로 반응가스를 공급하는 가스공급시스템은 정확한 가스공급기능과 아울러 가스공급부에서부터 공정챔버에 이르는 가스공급라인에 이르기까지 가스누출을 막는 밀폐의 기능이 매우 중요하다.Therefore, the gas supply system that supplies the reaction gas into the process chamber in which the semiconductor manufacturing process is performed has a very accurate function of gas supply and a sealed function to prevent gas leakage from the gas supply unit to the gas supply line from the process chamber. It is important.

또한, 대부분의 반도체 제조용 반응가스는 가스누출시 인체에 치명적인 영향을 줌은 물론이고 높은 가연성(可燃性)을 가지므로, 반도체 가스공급시스템에는 가스누출로 인한 인명피해나 화재가 발생하여 막대한 손실을 초래하는 위험을 항상 내포하고 있다.In addition, since most reaction gases for semiconductor manufacturing not only have a fatal effect on the human body during gas leakage, but also have high flammability, the semiconductor gas supply system has a huge loss due to human injury or fire caused by gas leakage. It always carries with it the danger it poses.

이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로 대한민국 등록특허 제0166206호는 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배출관의 연결부품을 교체할 필요가 없고 공정가스의 배출시 가스의 누출을 미연에 방지할 수 있도록 한 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 내용이 개시되어 있다.In order to solve such a problem, Korean Patent No. 0166206 relates to a gas discharge pipe connecting device of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, it is not necessary to replace a connection part of a discharge pipe and does not leak a gas during discharge of process gas. Disclosed is a gas discharge pipe connecting device of a semiconductor manufacturing facility which can be prevented.

그러나 대한민국 등록특허 제0166206호는 가스가 누출되는 경우에는 검출이 불가능하다는 문제점이 있었다.However, Republic of Korea Patent No. 0166206 has a problem that it is impossible to detect when the gas leaks.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 다음과 같은 과제의 해결을 목적으로 한다.The gas leak detection apparatus according to the present invention aims to solve the following problems.

첫째, 가스가 이동하는 파이프의 연결부위에서 가스가 누출되는 것을 방지하고자 한다.First, to prevent the leakage of gas at the connection portion of the pipe through which the gas moves.

둘째, 가스가 이동하는 파이프의 연결부위에서 가스가 누출되는 경우 육안으로 가스의 누출을 검출하고자 한다.Second, when the gas leaks from the connection portion of the pipe through which the gas moves to visually detect the leakage of the gas.

셋째, 파이프를 연결하는 커플링을 보호하고, 커플링을 고정하는 클램프의 움직임을 방지하고자 한다.Third, to protect the coupling connecting the pipes, and to prevent the movement of the clamp to secure the coupling.

넷째, 외부의 오염 등으로부터 가스가 누출되는 것을 검출하는 검출지의 훼손을 방지하고자 한다.Fourth, it is intended to prevent damage to the detection site for detecting the leakage of gas from external contamination or the like.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 가스의 공급을 위한 파이프들을 연결하는 한 쌍의 커플링을 포함하는 것이 바람직하다.The gas leak detection device according to the invention preferably comprises a pair of couplings connecting the pipes for the supply of gas.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 한 쌍의 커플링의 일측의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 한 쌍의 커플링을 양 측면에서 가압하여 고정하는 복수의 클램프를 포함하는 것이 바람직하다.The gas leak detection apparatus according to the present invention preferably includes a plurality of clamps coupled to the outer circumferential surface of one side of the pair of couplings to surround both sides, and pressing and fixing the pair of couplings from both sides.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 복수의 클램프 사이에서 한 쌍의 커플링의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 가스와 반응하여 변색되는 검출지가 구비된 본체를 포함하는 것이 바람직하다.Gas leak detection device according to the invention is coupled to surround the outer circumferential surface and both sides of the pair of couplings between the plurality of clamps, it is preferable to include a main body having a detection paper that is discolored in response to the gas on the inner surface .

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치에 있어서, 본체는 투명한 재질의 소재를 사용하여 검출지를 육안으로 확인할 수 있는 것 바람직하다.In the gas leak detection apparatus according to the present invention, it is preferable that the main body can be visually identified using a transparent material.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치에 있어서, 본체는 클램프의 움직임을 방지하도록 복수의 클램프 사이에서 각각 결합되는 것이 바람직하다.In the gas leak detection apparatus according to the present invention, the main body is preferably coupled between the plurality of clamps so as to prevent the movement of the clamp.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치에 있어서, 한 쌍의 커플링은 양 측면을 따라 환형의 결합홈이 형성되며, 본체의 양 측면 내측으로 결합홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되고, 본체는 한 쌍의 커플링에 억지끼움 결합되는 것 바람직하다.In the gas leak detection apparatus according to the present invention, a pair of coupling is formed in the annular coupling grooves along both sides, the coupling protrusions are fitted into the coupling grooves on both sides of the main body, the main body is a pair It is preferable to be coupled to the coupling of.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 가스의 공급에 사용되며 일단에 플랜지가 일체로 형성된 파이프로서, 파이프와 파이프는 플랜지가 마주보며 접하고, 마주보며 접한 한 쌍의 플랜지에 연통 형성된 체결공에 체결되는 볼트와 너트로 연결되는 파이프를 포함하는 것이 바람직하다.Gas leak detection apparatus according to the present invention is used for supply of gas and the pipe is formed integrally with a flange at one end, the pipe and the pipe is connected to the fastening hole formed in communication with the pair of flanges facing each other, facing each other It is preferable to include a pipe connected by bolts and nuts.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 한 쌍의 플랜지의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 가스와 반응하여 변색되는 검출지가 구비된 하나 이상의 원호 형상의 본체를 포함하는 것이 바람직하다.The gas leak detection apparatus according to the present invention preferably includes at least one arc-shaped body having a detection sheet which is coupled to surround the outer circumferential surface and the both sides of the pair of flanges, and which is discolored in response to the gas on the inner surface.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치에 있어서, 본체는 한 쌍의 플랜지의 외측면을 전부 감싸는 것이 바람직하다.In the gas leak detection apparatus according to the present invention, it is preferable that the main body completely covers the outer side surfaces of the pair of flanges.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치에 있어서, 한 쌍의 플랜지의 양 측면을 따라 환형의 결합홈이 형성되며, 본체의 양 측면 내측으로 결합홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되고, 본체는 한 쌍의 플랜지에 억지끼움 결합되는 것이 바람직하다.In the gas leak detection apparatus according to the present invention, an annular coupling groove is formed along both sides of the pair of flanges, coupling protrusions are fitted into the coupling grooves on both sides of the main body, and the main body has a pair of It is desirable to be interference fit to the flange.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 가스가 이동하는 파이프의 연결부위에서 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있으며, 가스가 이동하는 파이프의 연결부위에서 가스가 누출되는 경우 육안으로 가스의 누출을 검출할 수 있다. 그리고 파이프를 연결하는 커플링을 보호하고, 커플링을 고정하는 클램프의 움직임을 방지할 수 있다. 또한, 외부의 오염 등으로부터 가스가 누출되는 것을 검출하는 검출지의 훼손을 방지할 수 있다.As described above, the gas leak detection apparatus according to the present invention can prevent the gas leaks from the connection portion of the pipe to which the gas moves, and when the gas leaks from the connection portion of the pipe to which the gas moves, the leakage of the gas with the naked eye Can be detected. In addition, it is possible to protect the coupling connecting the pipe and to prevent the movement of the clamp fixing the coupling. In addition, it is possible to prevent damage to the detection site for detecting the leakage of gas from external contamination or the like.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 분해사시도 및 부분확대도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 본체를 나타낸 확대사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치의 분해사시도 및 부분확대도이다.1 is a perspective view of a gas leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view of the gas leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view and a partial enlarged view of a gas leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an enlarged perspective view showing a main body of the gas leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a gas leak detection apparatus according to another embodiment of the present invention.
6 is a side view of a gas leak detection apparatus according to another embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view and a partial enlarged view of a gas leak detection apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a gas leak detection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 4를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 검출장치가 도시되어 있다.1 to 4, there is shown a gas leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 가스의 공급을 위한 파이프(10)들을 연결하는 한 쌍의 커플링(20); 상기 한 쌍의 커플링(20)의 일측의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 상기 한 쌍의 커플링(20)을 양 측면에서 가압하여 고정하는 복수의 클램프(30); 및 상기 복수의 클램프(30) 사이에서 상기 한 쌍의 커플링(20)의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 상기 가스와 반응하여 변색되는 검출지(46)가 구비된 본체(40);를 포함한다.
Gas leak detection apparatus according to the present invention comprises a pair of couplings 20 for connecting the pipes 10 for the supply of gas; A plurality of clamps (30) coupled to the outer circumferential surface of one side of the pair of couplings (20) to surround both sides, and pressing and fixing the pair of couplings (20) from both sides; And a main body having a detection paper 46 coupled to the outer circumferential surface of the pair of couplings 20 and both sides between the plurality of clamps 30 so as to surround each other, and reacting with the gas on an inner surface thereof. 40);

구체적으로 반도체 제조설비에 사용하는 가스의 공급을 위한 파이프(10)들을 연결하는 한 쌍의 커플링(20)이 구비된다. 상기 커플링(20)은 파이프(10)와 파이프(10)를 연결하기 위한 것으로서 일반적으로 사용되는 다양한 방식의 커플링(20)이 사용될 수 있다.Specifically, a pair of couplings 20 are provided to connect the pipes 10 for supplying gas used in the semiconductor manufacturing equipment. The coupling 20 may be used to connect the pipe 10 and the pipe 10. Various coupling methods 20 may be used.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(30)는 좌우가 분리된 대략 ‘┏ ┓’형상으로서, 상기 한 쌍의 커플링(20)의 일측의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합되며, 상기 한 쌍의 커플링(20)을 양 측면에서 가압함으로써 고정하므로 상기 파이프(10)들을 연결할 수 있게 되는 것이다. As shown in FIG. 2, the clamp 30 has a substantially '┏ ┓' shape in which left and right are separated, and are coupled to surround both sides of the outer circumferential surface of one side of the pair of couplings 20, It is possible to connect the pipes 10 by fixing the pair of couplings 20 on both sides.

상기 클램프(30)가 상기 한 쌍의 커플링(20)을 양 측면에서 가압하는 방법은 일반적으로 사용되는 나사결합 등 다양한 방식을 적용할 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 클램프(30)에 연통된 통공(32)이 형성되고, 상기 통공(32)에 볼트(36)를 나사결합하여 상기 한 쌍의 커플링(20)을 양 측면에서 가압한다. 또한, 상기 클램프(30)는 상기 통공(32)에 일반적으로 사용하는 볼트(36)와 너트(38), 핀결합, 리벳결합 등의 다양한 결합방법이 사용될 수 있다. The clamp 30 may press the pair of couplings 20 from both sides may be applied in various ways, such as commonly used screw coupling, as shown in Figure 3, one of the present invention In an embodiment, a through hole 32 is formed in communication with the clamp 30, and the bolt 36 is screwed into the through hole 32 to press the pair of couplings 20 from both sides. In addition, the clamp 30 may be used in various coupling methods, such as the bolt 36 and the nut 38, pin coupling, rivet coupling generally used in the through-hole 32.

상기 한 쌍의 커플링(20)은 양 측면을 따라 환형의 결합홈(22)이 형성될 수 있다. 상기 결합홈(22)에는 상기 클램프(30)의 하부에 내측으로 형성된 결합턱(34)이 끼워질 수 있으므로, 상기 클램프(30)가 상기 한 쌍의 커플링(20)을 양 측면에서 가압한 후 상기 커플링(20)에서 상기 클램프(30)가 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The pair of couplings 20 may have annular coupling grooves 22 formed on both sides thereof. Since the coupling groove 34 may be fitted into the coupling groove 22 at the lower portion of the clamp 30, the clamp 30 presses the pair of couplings 20 from both sides. Afterwards, the clamp 30 may be prevented from being separated from the coupling 20.

상기 클램프(30)는 복수가 구비되어, 일정한 간격으로 상기 한 쌍의 커플링(20)의 일부의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하는 것이 바람직하다.
The clamp 30 is provided with a plurality, it is preferable to combine so as to surround the outer peripheral surface and both sides of a portion of the pair of couplings 20 at regular intervals.

상기 본체(40)는 좌우가 일체로 형성된 대략 ‘┏┓’형상으로서, 상기 복수의 클램프(30) 사이에서 상기 한 쌍의 커플링(20)의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 상기 본체(40)의 내측면에는 상기 한 쌍의 커플링(20) 사이로 누출되는 가스와 반응하여 변색되는 검출지(46)가 구비된다.The main body 40 has a substantially '┏┓' shape formed integrally with the left and right, and is coupled between the plurality of clamps 30 so as to surround the outer circumferential surface of the pair of couplings 20 and both sides, and the main body The inner surface of the 40 is provided with a detection paper 46 that changes color in response to the gas leaking between the pair of coupling 20.

즉, 상기 한 쌍의 커플링(20) 사이로 누출되는 가스와 반응하여 변색되는 검출지(46)를 확인하면 가스의 누출 여부를 알 수 있는 것이다.That is, if the detection paper 46 that is discolored by reacting with the gas leaking between the pair of couplings 20 can be known whether the gas leaks.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 커플링(20)에 결합 후에도 분리하지 않고 상기 검출지(46)의 변색을 확인할 수 있도록, 상기 본체(40)는 플라스틱 등의 투명한 재질의 소재를 사용하여 제작하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 검출지(46)를 확인할 수 있도록 상기 본체(40)에 확인창(미도시)을 설치할 수도 있다.As shown in FIG. 4, the main body 40 is made of plastic or the like so that the main body 40 can check the discoloration of the detection paper 46 without being separated even after being coupled to the pair of couplings 20. It is preferable to manufacture using the material of the transparent material. In addition, a confirmation window (not shown) may be installed in the main body 40 so that the detection spot 46 can be confirmed.

또한, 상기 검출지(46)는 사용 후 교체가 가능하게 접착식으로 상기 본체(40)의 내측면에 결합하는 것이 바람직하며, 상기 본체(40) 내측면의 내측으로 장착홈(44)을 형성하여 상기 검출지(46)를 장착할 수도 있다.In addition, the detection paper 46 is preferably bonded to the inner surface of the main body 40 to be replaceable after use, by forming a mounting groove 44 to the inner side of the inner surface of the main body 40 The detection paper 46 may be mounted.

또한, 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 커플링(20)에 복수로 결합되는 상기 클램프(30) 사이에 모두 끼워져서 상기 클램프(30)가 상기 한 쌍의 커플링(20)에 결합된 상태에서 움직이는 것을 방지할 수 있다.In addition, the main body 40 is all sandwiched between the clamp 30 is coupled to the plurality of coupling 20, the clamp 30 is coupled to the pair of coupling 20 It can prevent moving in the state.

또한, 상기 본체(40)의 양 측면 내측에는 상기 결합홈(22)에 끼워지는 결합돌기(42)를 형성하여, 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 커플링(20)에 억지로 끼워 결합함으로써 결합 후 이탈을 방지할 수 있다. 상기 결합돌기(42)는 상기 결합홈(22)에 대응되게 상기 본체(40)의 양 측면 내측의 전체 또는 일부에 형성될 수 있다.In addition, by forming coupling protrusions 42 fitted into the coupling grooves 22 on both side inner sides of the main body 40, the main body 40 is forcibly fitted into the pair of couplings 20. It is possible to prevent leaving after bonding. The coupling protrusion 42 may be formed on all or part of the inner side of both sides of the main body 40 to correspond to the coupling groove 22.

이와 같이 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 커플링(20) 사이로 누출되는 가스를 육안으로 확인할 수 있고, 상기 본체(40)가 상기 한 쌍의 커플링(20)을 감쌈으로 인해서 외부의 충격 등으로부터 상기 한 쌍의 커플링(20)을 보호할 수 있으며, 상기 본체(40)는 상기 복수의 클램프(30) 사이에 모두 설치함으로써 상기 클램프(30)의 움직임을 방지할 수 있게 된다. As described above, the main body 40 can visually check the gas leaking between the pair of couplings 20, and the external impact due to the main body 40 wrapping the pair of couplings 20. The pair of couplings 20 can be protected from the back, and the main body 40 can be installed between the plurality of clamps 30 to prevent movement of the clamps 30.

또한, 가스의 누출의 검출하는 검출지(46)는 상기 본체(40)의 내측면에 장착되므로, 외부의 오염 등으로부터 상기 검출지(46)의 훼손을 방지할 수 있게 된다.
In addition, since the detection paper 46 for detecting the leakage of gas is mounted on the inner surface of the main body 40, it is possible to prevent the detection paper 46 from being damaged from external contamination or the like.

이하 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 상기 본 발명의 일 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, a gas leak detection apparatus according to another embodiment of the present invention will be described based on differences from the embodiment of the present invention.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치는, 가스의 공급에 사용되며 일단에 플랜지(12)가 일체로 형성된 파이프(10)로서, 상기 파이프(10)와 파이프(10)는 상기 플랜지(12)가 마주보며 접하고, 상기 마주보며 접한 한 쌍의 플랜지(12)에 연통 형성된 체결공(14)에 체결되는 볼트(36)와 너트(38)로 연결되는 파이프(10); 및 상기 한 쌍의 플랜지(12)의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 상기 가스와 반응하여 변색되는 검출지(46)가 구비된 하나 이상의 원호 형상의 본체(40);를 포함한다. 상기 체결공(14)에는 상기 볼트(36)와 너트(38) 이외에도 일반적으로 사용하는 핀결합, 나사결합, 리벳결합 등의 다양한 결합방법이 사용될 수 있다. 5 to 7, the gas leak detection apparatus according to another embodiment of the present invention is a pipe 10 which is used to supply gas and has a flange 12 integrally formed at one end thereof. 10) and the pipe 10 are bolts 36 and nuts 38 fastened to the fastening holes 14 formed in communication with the pair of flanges 12 facing each other with the flanges 12 facing each other. A pipe 10 to be connected; And at least one arc-shaped body 40 coupled to the outer circumferential surface of the pair of flanges 12 and surrounding both sides thereof, and having a detection paper 46 on the inner surface thereof to react with the gas. do. In addition to the bolt 36 and the nut 38, the coupling hole 14 may be used with various coupling methods such as pin coupling, screw coupling, rivet coupling, and the like.

상기 파이프(10)는 일반적으로 사용되는 파이프(10)의 일단에 외측으로 돌출 형성된 플랜지(12)를 구비한다. 상기 플랜지(12)에는 체결공(14)이 관통 형성되고, 상기 파이프(10)의 플랜지(12)는 다른 파이프(10)의 플랜지(12)와 마주보며 접하게 된다. 그리고 한 쌍의 플랜지(12)에 연통 형성된 체결공(14)에는 볼트(36)와 너트(38)가 체결됨으로써 상기 파이프(10)들이 연결된다.The pipe 10 has a flange 12 protruding outward at one end of a pipe 10 which is generally used. A fastening hole 14 is formed through the flange 12, and the flange 12 of the pipe 10 is in contact with the flange 12 of the other pipe 10. In addition, the pipes 10 are connected to the fastening hole 14 formed in communication with the pair of flanges 12 by fastening the bolt 36 and the nut 38.

상기 본체(40)는 원호 형상으로서 상기 한 쌍의 플랜지(12)에 하나 이상 결합하게 된다. 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 플랜지(12)의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에는 상기 한 쌍의 플랜지(12) 사이로 누출되는 가스와 반응하여 변색되는 검출지(46)가 구비된다. 그리고 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 플랜지(12)의 외측면을 전부 감싸도록 하여 상기 검출지(10)에 반응하지 않고 누출되는 가스가 없도록 하는 것이 바람직하다.The main body 40 is an arc shape is coupled to one or more of the pair of flanges (12). The main body 40 is coupled to surround the outer circumferential surface of the pair of flanges 12 and both sides, and the detection surface 46 is discolored in response to the gas leaking between the pair of flanges 12 on the inner surface Is provided. In addition, the main body 40 preferably surrounds all the outer surfaces of the pair of flanges 12 so that there is no gas leaking without reacting to the detection paper 10.

또한, 상기 한 쌍의 플랜지(12)의 양 측면을 따라 환형의 결합홈(16)이 형성될 수 있다. 앞서 설명한 것과 동일하게 상기 본체(40)의 양 측면 내측에는 상기 결합홈(16)에 끼워지는 결합돌기(42)를 형성하여, 상기 본체(40)는 상기 한 쌍의 플랜지(12)에 억지로 끼워 결합함으로써 결합 후 이탈을 방지할 수 있다. 상기 결합돌기(42)는 상기 결합홈(16)에 대응되게 상기 본체(40)의 양 측면 내측의 전체 또는 일부에 형성될 수 있다.
In addition, an annular coupling groove 16 may be formed along both sides of the pair of flanges 12. In the same manner as described above, on both inner sides of the main body 40, coupling protrusions 42 fitted into the coupling grooves 16 are formed, and the main body 40 is forcibly fitted to the pair of flanges 12. By combining, the separation after the bonding can be prevented. The coupling protrusion 42 may be formed on all or part of both side inner sides of the main body 40 to correspond to the coupling groove 16.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치를 실시하기 위한 일부 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only some embodiments for implementing the gas leak detection apparatus according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, the subject matter of the present invention as claimed in the following claims Without departing, those skilled in the art to which the present invention pertains to the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

파이프 : 10 플랜지 : 12
체결공 : 14 결합홈 : 16
커플링 : 20 결합홈 : 22
클램프 : 30 통공 : 32
결합턱 : 34 볼트 : 36
너트 : 38 본체 : 40
결합돌기 : 42 장착홈 : 44
검출지 : 46 Pipe: 10 Flange: 12
Fasteners: 14 Grooves: 16
Coupling: 20 Coupling Groove: 22
Clamp: 30 Through Hole: 32
Coupling Jaw: 34 Bolt: 36
Nut: 38 Body: 40
Assembling projection: 42 Mounting groove: 44
Detection point: 46

Claims (8)

가스의 공급을 위한 파이프들을 연결하는 한 쌍의 커플링;
상기 한 쌍의 커플링의 일측의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 상기 한 쌍의 커플링을 양 측면에서 가압하여 고정하는 복수의 클램프; 및
상기 복수의 클램프 사이에서 상기 한 쌍의 커플링의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 상기 가스와 반응하여 변색되는 검출지가 구비된 본체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
A pair of couplings connecting the pipes for the supply of gas;
A plurality of clamps coupled to surround the outer circumferential surface of one side of the pair of couplings and both sides, and pressing and fixing the pair of couplings from both sides; And
A main body coupled to surround the outer circumferential surface and both sides of the pair of couplings between the plurality of clamps, and having a detection paper that is discolored in response to the gas on an inner surface thereof; .
제1항에 있어서,
상기 본체는 투명한 재질의 소재를 사용하여 상기 검출지를 육안으로 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
The method of claim 1,
The main body is a gas leak detection apparatus, characterized in that the detection can be visually confirmed using a material of a transparent material.
제1항에 있어서,
상기 본체는 상기 클램프의 움직임을 방지하도록 상기 복수의 클램프 사이에서 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
The method of claim 1,
And the main body is coupled between each of the plurality of clamps to prevent movement of the clamp.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 커플링은 양 측면을 따라 환형의 결합홈이 형성되며, 상기 본체의 양 측면 내측으로 상기 결합홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되고, 상기 본체는 상기 한 쌍의 커플링에 억지끼움 결합되는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
The method of claim 1,
The pair of couplings have annular coupling grooves formed along both sides thereof, and coupling protrusions are fitted into the coupling grooves on both sides of the main body, and the main body is fitted into the pair of couplings. Gas leak detection device, characterized in that coupled.
가스의 공급에 사용되며 일단에 플랜지가 일체로 형성된 파이프로서, 상기 파이프와 파이프는 상기 플랜지가 마주보며 접하고, 상기 마주보며 접한 한 쌍의 플랜지에 연통 형성된 체결공에 체결되는 볼트와 너트로 연결되는 파이프; 및
상기 한 쌍의 플랜지의 외주면과 양 측면을 감싸도록 결합하고, 내측면에 상기 가스와 반응하여 변색되는 검출지가 구비된 복수의 원호 형상의 본체;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
A pipe which is used to supply gas and has a flange integrally formed at one end thereof, wherein the pipe and the pipe are connected by bolts and nuts which are fastened to fastening holes formed in a pair of flanges facing each other and facing each other. pipe; And
A plurality of arc-shaped bodies coupled to surround the outer circumferential surface of the pair of flanges and both side surfaces, and having a detection paper that is discolored in response to the gas on an inner surface thereof;
Gas leak detection apparatus comprising a.
제5항에 있어서,
상기 본체는 투명한 재질의 소재를 사용하여 상기 검출지를 육안으로 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
The method of claim 5,
The main body is a gas leak detection apparatus, characterized in that the detection can be visually confirmed using a material of a transparent material.
제5항에 있어서,
상기 본체는 상기 한 쌍의 플랜지의 외측면을 전부 감싸는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.
The method of claim 5,
The main body is a gas leak detection device, characterized in that all surrounding the outer surface of the pair of flanges.
제5항에 있어서,
상기 한 쌍의 플랜지의 양 측면을 따라 환형의 결합홈이 형성되며, 상기 본체의 양 측면 내측으로 상기 결합홈에 끼워지는 결합돌기가 형성되고, 상기 본체는 상기 한 쌍의 플랜지에 억지끼움 결합되는 것을 특징으로 하는 가스 누출 검출장치.The method of claim 5,
Annular coupling grooves are formed along both sides of the pair of flanges, and coupling protrusions are formed to be fitted into the coupling grooves inside both sides of the main body, and the main body is forcibly fitted to the pair of flanges. Gas leak detection device, characterized in that.
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