KR20160034542A - Centering vacuum pipe - Google Patents

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KR20160034542A KR1020140125350A KR20140125350A KR20160034542A KR 20160034542 A KR20160034542 A KR 20160034542A KR 1020140125350 A KR1020140125350 A KR 1020140125350A KR 20140125350 A KR20140125350 A KR 20140125350A KR 20160034542 A KR20160034542 A KR 20160034542A
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Abstract

The present invention relates to centering for a vacuum pipe. The present invention relates to centering for vacuum pipes, which is used to seal a connection portion of two vacuum pipes, adhering to and connected to each other, between a flange of the vacuum pipe and a flange of the vacuum pipe when the flanges are coupled through a clamp prepared between the flanges formed in the vacuum pipes when the vacuum pipes are coupled. According to the present invention, the centering for vacuum pipes, prepared between the flanges of the vacuum pipes having the flanges coupled to each other through the coupling of the flanges, seals a space between the mutually coupled flanges. The centering for vacuum pipes comprises: a fastening ring inserted into and coupled to the flange formed in the vacuum pipe; an adhering part prepared outside the fastening ring; an adhering surface prepared between the fastening ring and the adhering part; and a distance protrusion prepared on the adhering unit.

Description

진공배관용 센터링{Centering vacuum pipe}Centering vacuum pipe "

본 발명은 진공배관용 센터링에 관한 것으로서, 진공배관의 연결할때 진공배관에 형성된 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 클램프를 통해 진공배관과 진공배관의 플랜지가 결합될때 플랜지와 플랜지 사이에 밀착되어 연결된 두개의 진공배관의 연결부위를 밀폐할때 사용되는 진공배관용 센터링에 관한 것이다.Provided between a flange and a flange formed on a vacuum pipe when a vacuum pipe is connected, a centering ring for a vacuum pipe, and a flange connected to the flange when the vacuum pipe and the flange of the vacuum pipe are coupled through a clamp. The present invention relates to a centering for vacuum piping used for sealing a connection portion of a vacuum piping of a vacuum piping.

일반적으로 반도체 제작용 챔버와 같이 유독성 가스를 사용하여 반도체를 제작하는 장치에는 반도체 챔버에는 반도체 제작 과정후 배출되는 각종 유해 가스를 외부 유출 없이 배출하기 위해 진공밸브와 진공배관이 사용된다.Generally, in a device for manufacturing a semiconductor using a toxic gas such as a semiconductor manufacturing chamber, a vacuum valve and a vacuum piping are used in a semiconductor chamber for discharging various harmful gases discharged after semiconductor fabrication without external leakage.

이러한 진공밸브와 진공배관은 일측에 경사면이 형성된 플랜지가 구비되고 상기 플랜지와 플랜지가 서로 결합되어 진공밸브와 진공배관이 결합되며 진공배관과 진공배관이 결합 된다.The vacuum valve and the vacuum pipe are provided with a flange having a sloped surface at one side thereof. The flange and the flange are coupled to each other to couple the vacuum valve and the vacuum pipe, and the vacuum pipe and the vacuum pipe are combined.

상기 플랜지와 플랜지를 결합하기 위해선 플랜지를 서로 결합하는 결합시키는 클램프가 사용되며 상기 플랜지와 플랜지의 사이에는 외측에 고무링이 형성된 센터링이 결합 된다.In order to engage the flange with the flange, a clamp is used to engage the flanges, and a center ring having a rubber ring formed on the outer side is coupled between the flange and the flange.

따라서, 클램프에 의해 플랜지와 플랜지가 조여지게 되면 플랜지와 플랜지 사이에 삽입된 센터링이 플랜지와 플랜지에 밀착되며 센터링에 구비된 고무링이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 동시에 압착되어 플랜지와 플랜지의 이음매를 밀폐시키게 된다.Therefore, when the flange and the flange are tightened by the clamp, the center ring inserted between the flange and the flange is brought into close contact with the flange and the flange, and the rubber ring provided in the center ring is pressed between the flange and the flange, It is sealed.

그런데, 상기와 같이 센터링은 외측에 고무 및 실리콘 재질로 형성된 링을 사용하여 플랜지와 플랜지 이음매를 밀폐한 상태로 장시간 시간이 지나게 되면 링이 부식이 발생되여 플랜지와 플랜지의 사이로 유독 물질 및 유독가스가 유출되는 문제점이 있다.However, as described above, when the center ring is made of a rubber and a silicone material on the outer side and the flange and the flange joint are sealed, when the time passes for a long time, the ring is corroded and toxic substances and toxic gas There is a problem of leakage.

또한 상기와 같은 문제점으로 인해 주기적으로 플랜지 사이에 결합된 센터링을 교체하는 작업을 해야되기 때문에 반도체 생산 공정이 원활하게 이루어 지지 않게 됨과 더불어 생산성이 저하되는 문제점이 있다.In addition, since the above-mentioned problems must be solved by periodically replacing the centering between the flanges, the semiconductor manufacturing process is not smoothly performed and the productivity is lowered.

한국등록특허 10-1127396호, 한국특허출원 10-1996-51380호Korean Patent No. 10-1127396, Korean Patent Application No. 10-1996-51380

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로서, 진공배관의 플랜지의 결합부위로 유해가스가 유출되지 않게 됨과 더불어 부식이 되지 않아 반영구적으로 사용가능한 진공배관용 센터링을 제공함에 기술적 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is a technical object of the present invention to provide a centering ring for a vacuum pipe which can be used semi-permanently because no harmful gas is leaked to a joint portion of a flange of a vacuum pipe and corrosion is not caused.

본 발명의 제1 관점에 따른 진공배관용 센터링은 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서, 진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링, 상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부, 상기 체결링과 밀착부의 사이에 구비되는 밀착면, 상기 밀착부에 구비된 이격돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.A centering for a vacuum pipe according to a first aspect of the present invention includes a centering ring for sealing between a flange and a flange which are provided between a flange of a vacuum pipe and a flange, A tightening ring fitted to the flange formed on the vacuum pipe, a tight fitting portion provided on the outer side of the tightening ring, a tight fitting face provided between the tightening ring and the tight fitting portion, and a spacing projection provided on the tight fitting portion .

또한, 상기 센터링의 표면에는 코팅층이 구비된 것을 특징으로 한다.Further, a coating layer is provided on the surface of the centering ring.

또한, 상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부와 체결링의 사이에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.When the flange and the flange are tightly coupled with each other, the contact surface formed between the flange and the flange and the contact surface formed between the flange and the flange are pressed against each other, The centering ring for vacuum piping.

본 발명의 제2 관점에 따른 진공배관용 센터링은 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서, 진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링, 상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부,A centering ring for a vacuum pipe according to a second aspect of the present invention includes a centering ring for sealing between a flange and a flange which are provided between flanges and flanges of a vacuum pipe formed by flanges and coupled to each other by engagement of flanges A tightening ring fitted to the flange formed on the vacuum pipe, a tight fitting portion provided on the outer side of the tightening ring,

상기 체결링과 밀착부의 사이에 형성된 밀착면, 상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.A tight contact surface formed between the tightening ring and the tight fitting portion, and a plurality of tight fitting protrusions provided on both sides of the tight fitting portion.

또한, 상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.When the flange and the flange are tightly coupled with each other, the centering ring coupled between the flange and the flange is in close contact with the flange and the flange, .

본 발명의 제3 관점에 따른 진공배관용 센터링은 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서, 진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링, 상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부,A centering ring for a vacuum pipe according to a third aspect of the present invention includes a centering ring for sealing between a flange and a flange which are provided between flanges of a vacuum pipe and a flange, A tightening ring fitted to the flange formed on the vacuum pipe, a tight fitting portion provided on the outer side of the tightening ring,

상기 밀착부의 외측에 형성된 결합돌기, 상기 밀착부에 형성된 결합돌기와 밀착부의 사이와 밀착부와 체결링의 사이에 형성된 밀착면, 상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.And a plurality of contact protrusions provided on both sides of the tight contact portion, the contact protrusion formed on the outer side of the tight contact portion, the contact protrusion formed on the close contact portion, the close contact portion formed between the close contact portion and the tightening ring, do.

또한, 상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착부의 상측과 하측에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.When the flange and the flange are tightly coupled with each other, the centering ring coupled between the flange and the flange is in close contact with the flange and the flange, and the close contact formed between the flange and the flange are closely adhered to each other. Thereby sealing between the flange and the flange.

본 발명의 제4 관점에 따른 진공배관용 센터링은 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서, 상기 센터링의 상측에 형성된 밀착부, 상기 밀착부의 외측에 형성된 결합돌기, 상기 밀착부에 형성된 결합돌기와 밀착부의 사이에 형성된 밀착면, 상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.A centering ring for a vacuum pipe according to a fourth aspect of the present invention is a centering ring for sealing between a flange and a flange which are provided between flanges and flanges of a vacuum pipe formed by flanges, And a plurality of contact protrusions provided on both sides of the tight contact portion, the contact protrusions being formed on the upper side of the center ring, the engagement protrusions formed on the outer side of the tight contact portion, .

또한, 상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착부의 상측에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.When the flange and the flange are tightly coupled with each other, the centering ring coupled between the flange and the flange is in close contact with the flange and the flange, and the contact surface formed on the upper side of the close- And the flange is sealed.

상기한 본 발명에 의하면 센터링 외측에 밀착부가 형성되고 상기 밀착부와 체결링 사이에 밀착면이 형성되어 진공배관의 결합시 플랜지와 플랜지의 사이에 상기 밀착부와 체결링의 사이에 형성된 밀착면에 플랜지의 모서리가 밀착되어 진공배관의 결합부의를 밀폐시키게 됨으로 인해 진공배관의 플랜지의 결합부위로 유해가스가 유출되지 않게 됨과 더불어 부식이 되지 않아 반영구적으로 사용가능한 진공배관용 센터링을 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, a tight contact portion is formed on the outer side of the centering ring, and a close contact surface is formed between the close contact ring and the tightening ring, so that a tight contact surface is formed between the flange and the flange, It is possible to provide a centering for a vacuum pipe which can be used semi-permanently because no harmful gas is leaked to the joint portion of the flange of the vacuum pipe and corrosion does not occur .

도 1은 본 발명의 1실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도.
도 2는 센터링의 단면도.
도 3은 센터링의 사용상태도.
도 4는 본 발명의 2실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도.
도 5는 센터링의 단면도.
도 6은 센터링의 사용상태도.
도 7은 본 발명의 3실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도.
도 8은 센터링의 단면도.
도 9는 센터링의 사용상태도.
도 10은 본 발명의 4실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도.
도 11은 센터링의 단면도.
도 12는 센터링의 사용상태도.1 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to an embodiment of the present invention;
2 is a sectional view of the centering.
3 is a view showing the state of use of centering.
4 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to the second embodiment of the present invention;
5 is a sectional view of the centering.
6 is a view showing the state of use of the centering.
7 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to the third embodiment of the present invention.
8 is a sectional view of the centering.
9 is a view showing the state of use of the centering.
10 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to a fourth embodiment of the present invention;
11 is a sectional view of the centering.
Fig. 12 is a view showing how the centering is used. Fig.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명한다. 단, 이하에 설명하는 실시예는 본 발명의 하나의 바람직한 구현예를 예시적으로 나타낸 것으로서, 이러한 실시예의 예시는 본 발명의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 발명은 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiments described below are illustrative of one preferred embodiment of the present invention, and examples of such embodiments are not intended to limit the scope of the present invention. The present invention can be carried out in various ways within the scope not departing from the technical idea.

도 1은 본 발명의 1실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도. 도 2는 센터링의 단면도이다.1 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to an embodiment of the present invention; 2 is a sectional view of the centering.

본 발명에 따른 센터링(10)은 체결링(11)과 체결링(11)의 상측에 형성된 밀착부(12)와 밀착부(12)와 체결링(11)의 사이에 형성된 밀착면(14)을 구비하여 구성된다.The centering ring 10 according to the present invention includes the tightening ring 11 and the tightening portion 12 formed on the upper side of the tightening ring 11 and the tightening face 14 formed between the tightening portion 12 and the tightening ring 11, .

상기 체결링(11)은 도면에 도시되진 않았지만 센터링(10)이 삽입되는 플랜지에 형성된 홀에 센터링(10)이 삽입된 상태에서 플랜지로부터 센터링(10)이 이탈되는 것을 방지하기 위해 형성된 것이다.The fastening ring 11 is formed to prevent the centering ring 10 from being detached from the flange in a state where the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange into which the centering ring 10 is inserted.

상기 체결링(11)의 외측에는 밀착부(12)가 형성된다. 상기 밀착부(12)는 체결링(11)의 면적보다 작게 형성된다.A tight fitting portion 12 is formed on the outer side of the tightening ring 11. The tight contact portion 12 is formed smaller than the area of the fastening ring 11.

상기 체결링(11)과 밀착부(12)의 사이에는 경사지게 형성된 밀착면(14)이 형성된다. 상기 밀착면(14)에는 플랜지가 밀착되어 진공배관을 밀폐하게 된다.The tightening surface 14 formed to be inclined is formed between the tightening ring 11 and the fastening portion 12. The flange is closely attached to the close contact surface 14 to seal the vacuum pipe.

상기 밀착부(12)의 양측에는 플랜지와 밀착부(12)를 일정간격 이격시키기 위한 이격돌기(15)이 형성된다.On both sides of the tight contact portion 12, spacing protrusions 15 are formed to separate the flange and the tight contact portion 12 from each other by a predetermined distance.

상기 센터링(10)의 재질은 구리 또는 테프론 재질로 형성된다. 상기와 같이 센터링(10)의 재질을 구리 또는 테프론 재질로 형성한 이유는 진공배관의 재질이 서스재질로 형성됨으로 인해 진공배관보다 연성의 재질을 사용하여 진공배관의 결합시 센터링(10)이 압축될 수 있도록 연성이 있는 재질로 형성한 것이다.The material of the centering ring 10 is made of copper or Teflon. The reason why the centering ring 10 is made of copper or Teflon as described above is that the material of the vacuum pipe is formed of a stainless material so that the centering ring 10 is compressed So that it is made of a soft material.

상기 센터링(10)의 외측에는 코팅층(t)이 구비된다. 상기 코팅층(t)은 센터링(10)이 부식되는 것을 방지하기 위해 구비됨과 더불어 플랜지에 밀착될 때 코팅층(t)에 의해 플랜지와 센터링(10)을 완벽히 밀착시키기 위한 것이다. 상기 코팅층(t)의 재질은 테프론 재질 또는 은이 사용된다.A coating layer (t) is provided on the outer side of the centering ring (10). The coating layer t is provided to prevent the centering ring 10 from being corroded and to completely close the flange and the centering ring 10 by the coating layer t when the flange is in close contact with the flange. The coating layer (t) is made of Teflon or silver.

도 3은 센터링의 사용상태도이다.3 is a use state diagram of the centering.

본 발명의 센터링(10)은 일측에 경사면이 형성된 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 결합 된다.The centering ring 10 of the present invention is coupled between the flange 20 and the flange 20 having the inclined surface formed on one side.

이때 센터링(10)에 형성된 체결링(11)이 플랜지(20)에 형성된 홀에 삽입된다. 상기 상태에서 클램프(30)를 플랜지(20)에 위치시킨 후 조이게 되면 클램프(30)가 플랜지(20)의 경사면의 하측으로 이동하게 되고 이에 따라 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되며 조여지게 된다.At this time, the fastening ring 11 formed on the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange 20. When the clamp 30 is placed on the flange 20 and then tightened in this state, the clamp 30 moves to the lower side of the inclined surface of the flange 20 so that the flange 20 and the flange 20 are in close contact with each other .

상기와 같이 클램프(30)에 의해 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되면 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 구비된 센터링(10)의 밀착부(12)와 체결링(11)의 사이에 형성된 밀착면(15)이 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 밀착된다.When the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the clamp 30 as described above, the tight contact portion 12 of the centering ring 10 provided between the flange 20 and the flange 20, The flange 20 and the flange 20 are in close contact with each other.

상기와 같이 밀착면(15)가 플랜지(20)에 밀착되면 플랜지(20)에 비해 연성이 있는 재질로 형성된 센터링(10)의 재질로 인해서 밀착면(15)이 압축되어 플랜지(20)에 밀착되게 된다.When the close contact surface 15 is brought into close contact with the flange 20 as described above, the contact surface 15 is compressed by the material of the centering ring 10 made of a material having flexibility relative to the flange 20, .

따라서, 클램프(30)에 의해 결합된 플랜지(20)와 플랜지(20)의 사이가 센터링(10)에 의해 밀폐되게 된다. 이때 밀착부(12)에 형성된 이격돌기에 의해 플랜지(30)과 센터링(10)의 사이가 일정간격을 유지하도록 형성되게 된다.Thus, the flange 20 joined by the clamp 30 and the flange 20 are sealed by the centering ring 10. The spacing between the flange 30 and the center ring 10 is maintained at a predetermined distance by the spacing protrusions formed on the close contact portion 12.

상기 본 발명의 진공배관용 센터링을 사용하여 진공배관을 서로 결합하게 되면 진공배관의 연결부위로 유해가스가 유출되지 않게 되며, 유해가스에 의해 부식되지 않는 재질로 센터링이 형성됨으로 인해 반영구적으로 센터링을 사용할 수 있게 된다.When the vacuum pipes are coupled to each other by using the centering ring for vacuum piping according to the present invention, harmful gas is prevented from flowing out to the connecting portion of the vacuum pipe and the centering is formed by the material which is not corroded by the harmful gas. .

도 4는 본 발명의 2실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도이고, 도 5는 센터링의 단면도이다.FIG. 4 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view of the centering ring.

본 발명에 따른 센터링(10)은 체결링(11)과 체결링(11)의 상측에 형성됨 밀착부(12)와 밀착부(12)의 측면에 구비된 밀착돌기(13) 및 밀착부(12)와 체결링(11) 사이에 형성된 밀착면(14)을 구비하여 구성된다.The centering ring 10 according to the present invention is formed on the upper side of the fastening ring 11 and the fastening ring 11. The fastening ring 11 has a tight fitting portion 12 and tight fitting protrusions 13 and tight fitting portions 12 And a tightening surface 14 formed between the fastening ring 11 and the fastening ring 11.

상기 체결링(11)은 도면에 도시되진 않았지만 센터링(10)이 삽입되는 플랜지에 형성된 홀에 센터링(10)이 삽입된 상태에서 플랜지로부터 센터링(10)이 이탈되는 것을 방지하기 위해 형성된 것이다.The fastening ring 11 is formed to prevent the centering ring 10 from being detached from the flange in a state where the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange into which the centering ring 10 is inserted.

상기 체결링(11)의 외측에는 밀착부(12)가 형성된다. 상기 밀착부(12)는 체결링(11)의 면적보다 작게 형성된다. 상기 밀착부(12)의 양측에는 다수의 밀착돌기(13)가 형성된다.A tight fitting portion 12 is formed on the outer side of the tightening ring 11. The tight contact portion 12 is formed smaller than the area of the fastening ring 11. A plurality of contact protrusions (13) are formed on both sides of the tight contact portion (12).

상기 체결링(11)과 밀착부(12)의 사이에는 경사지게 형성된 밀착면(14)이 형성된다. 상기 밀착면(14)에는 플랜지가 밀착되어 진공배관을 밀폐하게 된다.The tightening surface 14 formed to be inclined is formed between the tightening ring 11 and the fastening portion 12. The flange is closely attached to the close contact surface 14 to seal the vacuum pipe.

상기 2실시예에 설명된 센터링(10)은 1실시예에서 설명된 센터링과 동일한 구성이므로 기타 상세한 설명 및 부호는 생략하도록 한다.The centering 10 described in the second embodiment has the same configuration as the centering described in the first embodiment, so other detailed description and reference numerals will be omitted.

도 6은 센터링의 사용상태도이다.6 is a use state diagram of the centering.

본 발명의 센터링(10)은 일측에 경사면이 형성된 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 결합 된다.The centering ring 10 of the present invention is coupled between the flange 20 and the flange 20 having the inclined surface formed on one side.

이때 센터링(10)에 형성된 체결링(11)이 플랜지(20)에 형성된 홀에 삽입된다. 상기 상태에서 클램프(30)를 플랜지(20)에 위치시킨 후 조이게 되면 클램프(30)가 플랜지(20)의 경사면의 하측으로 이동하게 되고 이에 따라 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되며 조여지게 된다.At this time, the fastening ring 11 formed on the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange 20. When the clamp 30 is placed on the flange 20 and then tightened in this state, the clamp 30 moves to the lower side of the inclined surface of the flange 20 so that the flange 20 and the flange 20 are in close contact with each other .

상기와 같이 클램프(30)에 의해 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되면 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 구비된 센터링(10)의 밀착부(12)에 구비된 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 밀착된다.When the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the clamp 30 as described above, when the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other, The flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other.

상기와 같이 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 플랜지(20)에 밀착되면 플랜지(20)에 비해 연성이 있는 재질로 형성된 센터링(10)의 재질로 인해서 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 압축되어 플랜지(20)에 밀착되게 된다.When the contact protrusion 13 and the contact surface 14 are brought into close contact with the flange 20 as described above, the material of the center ring 10 made of a material having flexibility relative to the flange 20 causes the contact protrusions 13, (14) is compressed and brought into close contact with the flange (20).

도 7은 본 발명의 3실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도이고, 도 8은 센터링의 단면도이다.FIG. 7 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a sectional view of the centering ring.

본 발명에 따른 센터링(10)은 체결링(11)과 체결링(11)의 상측에 형성됨 밀착부(12)와 밀착부(12)의 측면에 구비된 밀착돌기(13) 및 밀착부(12)에 형성된 밀착면(14)을 구비하여 구성된다.The centering ring 10 according to the present invention is formed on the upper side of the fastening ring 11 and the fastening ring 11. The fastening ring 11 has a tight fitting portion 12 and tight fitting protrusions 13 and tight fitting portions 12 (Not shown).

상기 체결링(11)은 도면에 도시되진 않았지만 센터링(10)이 삽입되는 플랜지에 형성된 홀에 센터링(10)이 삽입된 상태에서 플랜지로부터 센터링(10)이 이탈되는 것을 방지하기 위해 형성된 것이다.The fastening ring 11 is formed to prevent the centering ring 10 from being detached from the flange in a state where the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange into which the centering ring 10 is inserted.

상기 체결링(11)의 외측에는 밀착부(12)가 형성된다. 상기 밀착부(12)는 체결링(11)의 면적보다 작게 형성된다. 상기 밀착부(12)의 양측에는 다수의 밀착돌기(13)가 형성된다.A tight fitting portion 12 is formed on the outer side of the tightening ring 11. The tight contact portion 12 is formed smaller than the area of the fastening ring 11. A plurality of contact protrusions (13) are formed on both sides of the tight contact portion (12).

상기 밀착부(12)의 상측에는 플랜지의 외측에 결합되는 결합돌기(16)이 형성된다. 상기 밀착부(12)와 결합돌기(16)의 사이에는 밀착면(14)가 형성된다.On the upper side of the tight fitting portion 12, an engaging projection 16 is formed which is coupled to the outside of the flange. A contact surface (14) is formed between the tight contact portion (12) and the engaging projection (16).

상기 밀착부(12)에 형성된 결합돌기(16)은 플랜지의 외측에 밀착된다.The engaging projection 16 formed on the tight contact portion 12 is in close contact with the outer side of the flange.

상기 체결링(11)과 밀착부(12)의 사이에는 경사지게 형성된 밀착면(14)이 형성된다. 상기 밀착면(14)에는 플랜지가 밀착되어 진공배관을 밀폐하게 된다.The tightening surface 14 formed to be inclined is formed between the tightening ring 11 and the fastening portion 12. The flange is closely attached to the close contact surface 14 to seal the vacuum pipe.

상기에 있어서, 밀착부(12)의 상측과 하측에 밀착부(14)가 형성되고 상기 밀착면(14)에 플랜지가 삽입되어 밀착되게 된다.In the above, a tight fitting portion 14 is formed on the upper side and the lower side of the tight fitting portion 12, and a flange is inserted into the tight fitting face 14 to be closely contacted.

상기 3실시예에 설명된 센터링(10)은 1실시예에서 설명된 센터링과 동일한 구성이므로 기타 상세한 설명 및 부호는 생략하도록 한다.Since the centering 10 described in the third embodiment is the same as the centering described in the first embodiment, other detailed description and reference numerals will be omitted.

도 9는 센터링의 사용상태도이다.Fig. 9 is a use state diagram of the centering.

본 발명의 센터링(10)은 일측에 경사면이 형성된 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 결합 된다.The centering ring 10 of the present invention is coupled between the flange 20 and the flange 20 having the inclined surface formed on one side.

이때 센터링(10)에 형성된 체결링(11)이 플랜지(20)에 형성된 홀에 삽입된다. 상기 상태에서 클램프(30)를 플랜지(20)에 위치시킨 후 조이게 되면 클램프(30)가 플랜지(20)의 경사면의 하측으로 이동하게 되고 이에 따라 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되며 조여지게 된다.At this time, the fastening ring 11 formed on the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange 20. When the clamp 30 is placed on the flange 20 and then tightened in this state, the clamp 30 moves to the lower side of the inclined surface of the flange 20 so that the flange 20 and the flange 20 are in close contact with each other .

상기와 같이 클램프(30)에 의해 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되면 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 구비된 센터링(10)의 밀착부(12)에 구비된 밀착돌기(13)와 밀착부(12)의 상측과 하측에 형성된 밀착면(14)이 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 밀착된다.When the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the clamp 30 as described above, when the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other, The flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the close contact surface 14 formed on the upper side and the lower side of the flange 13 and the tight contact portion 12.

상기와 같이 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 플랜지(20)에 밀착되면 플랜지(20)에 비해 연성이 있는 재질로 형성된 센터링(10)의 재질로 인해서 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 압축되어 플랜지(20)에 밀착되게 된다.When the contact protrusion 13 and the contact surface 14 are brought into close contact with the flange 20 as described above, the material of the center ring 10 made of a material having flexibility relative to the flange 20 causes the contact protrusions 13, (14) is compressed and brought into close contact with the flange (20).

도 10은 본 발명의 4실시예에 따른 진공배관용 센터링의 사시도이고, 도 11은 센터링의 단면도이다.FIG. 10 is a perspective view of a centering ring for a vacuum pipe according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a sectional view of the centering ring.

본 발명에 따른 센터링(10)은 밀착부(12)와 밀착부(12)의 측면에 구비된 밀착돌기(13) 및 밀착부(12)에 형성된 밀착면(14)을 구비하여 구성된다.The centering ring 10 according to the present invention is constituted by a tight contact portion 12 and a close contact projection 14 formed on the side face of the close contact portion 12 and a close contact face 14 formed on the close contact portion 12.

상기 밀착부(12)의 양측에는 다수의 밀착돌기(13)가 형성된다. 상기 밀착부(12)의 상측에는 플랜지의 외측에 결합되는 결합돌기(16)가 형성된다. A plurality of contact protrusions (13) are formed on both sides of the tight contact portion (12). On the upper side of the tight fitting portion 12, an engaging projection 16 is formed which is coupled to the outside of the flange.

상기 밀착부(12)와 결합돌기(16)의 사이에는 밀착면(14)가 형성된다. 상기 밀착부(12)에 형성된 결합돌기(16)은 플랜지의 외측에 밀착된다. 상기 밀착면(14)에는 플랜지가 밀착되어 진공배관을 밀폐하게 된다.A contact surface (14) is formed between the tight contact portion (12) and the engaging projection (16). The engaging projection 16 formed on the tight contact portion 12 is in close contact with the outer side of the flange. The flange is closely attached to the close contact surface 14 to seal the vacuum pipe.

상기 4실시예에 설명된 센터링(10)은 1실시예에서 설명된 센터링과 동일한 구성이므로 기타 상세한 설명 및 부호는 생략하도록 한다.The centering 10 described in the fourth embodiment has the same configuration as the centering described in the first embodiment, and therefore other detailed description and reference numerals will be omitted.

도 9는 센터링의 사용상태도이다.Fig. 9 is a use state diagram of the centering.

본 발명의 센터링(10)은 일측에 경사면이 형성된 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 결합 된다.The centering ring 10 of the present invention is coupled between the flange 20 and the flange 20 having the inclined surface formed on one side.

이때 센터링(10)에 형성된 체결링(11)이 플랜지(20)에 형성된 홀에 삽입된다. 상기 상태에서 클램프(30)를 플랜지(20)에 위치시킨 후 조이게 되면 클램프(30)가 플랜지(20)의 경사면의 하측으로 이동하게 되고 이에 따라 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되며 조여지게 된다.At this time, the fastening ring 11 formed on the centering ring 10 is inserted into the hole formed in the flange 20. When the clamp 30 is placed on the flange 20 and then tightened in this state, the clamp 30 moves to the lower side of the inclined surface of the flange 20 so that the flange 20 and the flange 20 are in close contact with each other .

상기와 같이 클램프(30)에 의해 플랜지(20)와 플랜지(20)가 서로 밀착되면 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 구비된 센터링(10)의 밀착부(12)에 구비된 밀착돌기(13)와 밀착부(12)의 상측과 하측에 형성된 밀착면(14)이 플랜지(20)와 플랜지(20) 사이에 밀착된다.When the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the clamp 30 as described above, when the flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other, The flange 20 and the flange 20 are brought into close contact with each other by the close contact surface 14 formed at the upper side and the lower side of the flange 13 and the close contact portion 12.

상기와 같이 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 플랜지(20)에 밀착되면 플랜지(20)에 비해 연성이 있는 재질로 형성된 센터링(10)의 재질로 인해서 밀착돌기(13)와 밀착면(14)이 압축되어 플랜지(20)에 밀착되게 된다.When the contact protrusion 13 and the contact surface 14 are brought into close contact with the flange 20 as described above, the material of the center ring 10 made of a material having flexibility relative to the flange 20 causes the contact protrusions 13, (14) is compressed and brought into close contact with the flange (20).

이상으로 본 발명에 따른 실시예를 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.The embodiments according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

10 : 센터링, 11 : 체결링, 12 : 밀착부, 13 : 체결돌기, 14 : 밀착면10: centering, 11: tightening ring, 12: tight fitting portion, 13: fastening protrusion, 14:

Claims (12)

플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서,
진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링,
상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부,
상기 체결링과 밀착부의 사이에 구비되는 밀착면,
상기 밀착부에 구비된 이격돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.CLAIMS 1. A centering for sealing between a flange and a flange which are provided between a flange of a vacuum pipe and a flange formed by flanges and which are coupled to each other by the engagement of flanges,
A fastening ring fitted into the flange formed in the vacuum pipe,
A fastening ring provided on the outside of the fastening ring,
A tight contact surface provided between the tightening ring and the tightly fitting portion,
And a spacing protrusion provided on the close contact portion. 제 1항에 있어서,
상기 센터링의 표면에는 코팅층이 구비된 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.The method according to claim 1,
And a coating layer on the surface of the centering ring. 제 1항에 있어서,
상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부와 체결링의 사이에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.The method according to claim 1,
The centering ring coupled between the flange and the flange is in contact with the flange and the flange so that the contact surface formed between the flange and the flange is tightly contacted with the flange and the flange, And a centering mechanism for vacuum piping. 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서,
진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링,
상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부,
상기 체결링과 밀착부의 사이에 형성된 밀착면,
상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로하는 진공배관용 센터링.CLAIMS 1. A centering for sealing between a flange and a flange which are provided between a flange of a vacuum pipe and a flange formed by flanges and which are coupled to each other by the engagement of flanges,
A fastening ring fitted into the flange formed in the vacuum pipe,
A fastening ring provided on the outside of the fastening ring,
A contact surface formed between the tightening ring and the tightly fitting portion,
And a plurality of contact protrusions provided on both sides of the tight contact portion. 제 4항에 있어서,
상기 센터링의 표면에는 코팅층이 구비된 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.5. The method of claim 4,
And a coating layer on the surface of the centering ring. 제 4항에 있어서,
상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.5. The method of claim 4,
The centering ring coupled between the flange and the flange is configured such that when the flange and the flange are tightly coupled to each other, the contact protrusion and the contact surface provided in the close contact portion of the center ring closely contact the flange and the flange and are compressed to seal the flange and the flange Features centering for vacuum piping. 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서,
진공배관에 형성된 플랜지에 끼움 결합되는 체결링,
상기 체결링의 외측에 구비된 밀착부,
상기 밀착부의 외측에 형성된 결합돌기,
상기 밀착부에 형성된 결합돌기와 밀착부의 사이와 밀착부와 체결링의 사이에 형성된 밀착면,
상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로하는 진공배관용 센터링.CLAIMS 1. A centering for sealing between a flange and a flange which are provided between a flange of a vacuum pipe and a flange formed by flanges and which are coupled to each other by the engagement of flanges,
A fastening ring fitted into the flange formed in the vacuum pipe,
A fastening ring provided on the outside of the fastening ring,
An engaging projection formed on the outer side of the tight contact portion,
A contact surface formed between the fastening ring and the fastening ring,
And a plurality of contact protrusions provided on both sides of the tight contact portion. 제 7항에 있어서,
상기 센터링의 표면에는 코팅층이 구비된 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.8. The method of claim 7,
And a coating layer on the surface of the centering ring. 제 7항에 있어서,
상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착부의 상측과 하측에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.8. The method of claim 7,
When the flange and the flange are tightly coupled with each other, the centering ring coupled between the flange and the flange is in close contact with the flange and the flange, and the close contact between the flange and the flange and the close contact between the flange and the flange, And the flange is closed. 플랜지가 형성되어 플랜지의 결합에 의해 서로 결합 되는 진공배관의 플랜지와 플랜지의 사이에 구비되어 서로 결합된 플랜지와 플랜지의 사이를 밀폐시키기 위한 센터링에 있어서,
상기 센터링의 상측에 형성된 밀착부,
상기 밀착부의 외측에 형성된 결합돌기,
상기 밀착부에 형성된 결합돌기와 밀착부의 사이에 형성된 밀착면,
상기 밀착부의 양측에 구비된 다수의 밀착돌기를 구비하여 구성된 것을 특징으로하는 진공배관용 센터링.CLAIMS 1. A centering for sealing between a flange and a flange which are provided between a flange of a vacuum pipe and a flange formed by flanges and which are coupled to each other by the engagement of flanges,
A tight contact portion formed on the upper side of the center ring,
An engaging projection formed on the outer side of the tight contact portion,
A contact surface formed between the engaging projection formed on the close contact portion and the close contact portion,
And a plurality of contact protrusions provided on both sides of the tight contact portion. 제 10항에 있어서,
상기 센터링의 표면에는 코팅층이 구비된 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.11. The method of claim 10,
And a coating layer on the surface of the centering ring. 제 10항에 있어서,
상기 플랜지와 플랜지의 사이에 결합되는 센터링은 플랜지와 플랜지가 서로 밀착되어 체결될때 센터링의 밀착부에 구비된 밀착돌기와 밀착부의 상측에 형성된 밀착면이 플랜지와 플랜지 사이에 밀착됨과 더불어 압축되어 플랜지와 플랜지 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 진공배관용 센터링.11. The method of claim 10,
The centering ring coupled between the flange and the flange is configured such that when the flange and the flange are tightly coupled to each other, the contact projection provided on the close contact portion of the center ring and the close contact face formed on the upper side of the close contact portion are tightly contacted with each other between the flange and the flange, And the centering for the vacuum piping.
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