KR20170129370A - Leakage detecting apparatus - Google Patents

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KR20170129370A
KR20170129370A KR1020160059968A KR20160059968A KR20170129370A KR 20170129370 A KR20170129370 A KR 20170129370A KR 1020160059968 A KR1020160059968 A KR 1020160059968A KR 20160059968 A KR20160059968 A KR 20160059968A KR 20170129370 A KR20170129370 A KR 20170129370A
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조중훈
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for detecting leakage of water and gas. The apparatus for detecting leakage of water and gas comprises: a case which includes a wrapping unit made of a flexible material to have an elastically changed shape and having a cylindrical shape and elastically wrapped to cover a leakage detected portion while the leakage detected portion is inserted into the wrapping unit through an opening, and support units formed on both sides of the wrapping unit so that a pipe of the leakage detected portion is supported thereon; a pair of cover guides fixed and coupled to each other while positioned at an outer side of a mount flange formed in the opening which is a portion facing the case when the case is wrapped, and closing the opening with the mount flange; and a housing which includes water and gas leakage preventing members inserted into an insertion groove formed on an inner surface of the mount flange, adhering to each other when the mount flange is coupled, and preventing liquid or gas leaked from the leakage detected portion from being leaked to the outside through the facing portion of the mount flange.

Description

누수 및 누설감지장치{Leakage detecting apparatus}[0001] Leakage detecting apparatus [

본 발명은 누수 및 누설감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조장비 등의 파이프 연결부위인 누수 및 누설감지부위가 원통형상으로 탄력적으로 변형되는 연질의 하우징에 의해 커버되도록 하여 하우징의 구성 부품을 최소화하여 제조비용을 절약하고 간편한 설치를 가능하게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 누수 및 누설감지장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a leakage and leakage detection device, and more particularly, to a leakage detection device and a leakage detection device, To a leakage and leakage detection device capable of reducing the manufacturing cost and facilitating the installation so as to improve the operation efficiency.

일반적으로, 반도체, LCD 등을 제조하는 과정에 있어서, 기판을 세정하는 세정공정이나 필요물질을 식각하는 식각공정은 반드시 필요하며, 상기 세정공정 및 식각공정은 주로 세정용 화학용액 및 식각용 화학용액의 사용에 의해 이루어진다. In general, in the process of manufacturing a semiconductor, an LCD, etc., a cleaning process for cleaning a substrate or an etching process for etching a necessary material is indispensable. The cleaning process and the etching process are mainly used for a chemical solution for cleaning and a chemical solution for etching Lt; / RTI >

또한, 반도체, LCD 등을 제조하는 과정에 있어서, 불순물 주입 및 확산 공정, 산화 공정, 박막 증착 공정, 세정공정 등에서 반드시 필요하며, 상기 공정은 주로 확산 및 산화, 박막 증착용 화학 가스 및 세정용 화학 가스의 사용에 의해 이루어진다. In addition, it is indispensable in the process of manufacturing semiconductors, LCDs, and the like in impurity implantation and diffusion processes, oxidation processes, thin film deposition processes, and cleaning processes, and these processes are mainly required for diffusion and oxidation, Gas.

즉, 반도체 제조방비의 특성상 장비들이 파이프 등과 같은 연결부재에 의해 연결되는데, 이때, 도 9에 도시된 바와 같이, 연결부재의 연결부위에서 누수 및 누설이 발생하는 사고가 빈번하게 발생하고 있으며, 이런 문제점으로 인하여 수시로 작업자가 환경 안전 순찰을 하고 있으나 미세한 누수 및 누설의 경우 육안으로 작업자가 즉시 발견하기가 어려워 작업자에게 화학약품이나 화학가스가 직접 접촉되는 사고가 발생된다. 게다가 누수 및 누설 사고시 조기 진압을 하지 못하는 경우 누수 및 누설이 발생된 연결부위의 배관, 전기케이블, 기타 부대설비 등의 안전사고가 발생하는 등의 제2, 제3의 사고 발생으로 결국 반도체 제조라인이 정지되는 현상이 발생하게 된다.That is, due to the characteristics of semiconductor manufacturing safety, the equipment is connected by a connecting member such as a pipe. At this time, as shown in FIG. 9, frequent accidents occur in which leakage and leakage occur on the connecting portion of the connecting member. However, in the case of minute leaks and leaks, it is difficult for the worker to immediately see the worker in the case of naked eyes, resulting in an accident that a chemical or chemical gas is directly contacted to the worker. In addition, in the event of leakage and leakage, if it can not be suppressed early, the second and third accidents, such as the occurrence of safety accidents such as piping, electric cables, and other auxiliary facilities, A phenomenon of stoppage occurs.

이에, 종래에는, 등록특허 제10-1555682호 등에 개시된 바와 같이, 누수감지부위의 외부에 누수감지부위를 커버하면서 장착 구성되는 케이스 타입의 장착용 하우징과, 하우징의 내부에 가이드몰드를 통해 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단과, 하우징의 내부에 가이드몰드를 통해 구성되고 누수감지부위로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단 중 적어도 어느 하나를 포함하는 누수감지장치가 개시된 바 있다. Conventionally, as disclosed in, for example, Japanese Patent No. 10-1555682, a case-type mounting housing configured to cover a leakage detection portion on the outside of a leak detection portion and a housing for housing a leak- A first leak detecting means for detecting a leakage of the reagent from the leak detecting portion and for changing the color to a specific color upon contact with the leaked liquid from the leak detecting portion, And a second leak detection means for detecting the leakage of the water.

여기서, 종래의 누수감지장치에 있어서 장착용 하우징은, 반원통형상을 가지며 누수감지부위를 절반씩 커버하면서 상호간 대면되는 상/하부케이스와, 상/하부케이스의 대면 부위에 연장 형성되고 결합부재에 의해 대면 결합되도록 하여 상기 누수감지부위의 외부를 커버하면서 상/하부케이스가 파이프에 지지된 상태로 상호간 고정 및 장착되도록 하는 장착용플랜지와, 장착용플랜지의 형상에 대응된 형상을 가지고 장착용플랜지의 대면 고정시 상호간 대면되는 누수방지부재를 포함하고 있다.Here, in the conventional leak detection device, the housing for mounting has an upper / lower case having a semicylindrical shape and covering the leakage sensing portions in half and facing each other, And the upper and lower cases are fixed to and mounted on the pipe while being supported by the pipe. The mounting flange has a shape corresponding to the shape of the mounting flange, And a waterproofing member facing each other when facing each other.

그러나 종래의 누수감지장치는 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.However, the conventional leak detector has the following problems.

먼저, 상기 상/하부케이스가 각각 경질의 재질을 가지고 형상의 탄력적 변형이 발생되지 않는 반원통형상을 가지고 있어, 누수감지부위의 대향부위 절반 정도를 각각 커버한 상태에서 한 쌍의 케이스가 원통형상을 가지도록 대면 설치된 후 그 대면부위가 고정되어야 한다. 이에, 대면부위의 길이가 길어지게 되고 이에 따른 고정 작업에 많은 시간이 소요되며, 또한, 이에 따른 장착용 플랜지와 누수방지부재 등의 기타 구성부들의 개수도 각각 구성되어야 하기 때문에, 구성부들의 제조비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.The upper and lower cases each have a semicylindrical shape in which each of the upper and lower cases is made of a hard material and does not generate elastic deformation of the shape, The face to face side must be fixed. Therefore, the length of the facing portion becomes longer, so that a lot of time is required for the fixing operation. Further, since the number of other constituent parts such as the mounting flange and the leakage preventing member must also be respectively configured, There is a problem that it is costly.

또한, 한 쌍의 케이스가 상호간 대면되는 구조를 가지면서 누수감지부위를 커버 및 결합되기 때문에, 구성부의 개수와 조립 공수가 증가하게 되어 작업시간이 증가하게 되고 누수감지부위가 작업하기 곤란한 곳에 위치되는 경우 작업자의 작업효율이 크게 저하되는 문제점이 있다.In addition, since the pair of cases face each other and cover and join the leakage sensing part, the number of components and the number of assembly are increased, so that the operation time is increased and the leakage sensing part is located in a difficult place The work efficiency of the operator is greatly reduced.

또한, 상기 케이스가 형상의 탄력적 변형이 발생되지 않는 경질의 재질을 가지기 때문에, 작업자가 점검을 위한 이동 중 케이스를 밟거나 하는 등의 외부 충격이 전달되는 경우 완충 기능을 가지지 않아 쉽게 파손되는 문제점이 있고 이에, 누수감지부위로부터 누수 발생시 액체가 케이스 외부로 누수되는 문제점이 있다.In addition, since the case has a hard material that does not cause elastic deformation of the shape, when an external impact such as stepping on the case is transmitted during inspection for movement, the case does not have a buffering function and is easily damaged Therefore, there is a problem that the liquid leaks out of the case when leakage occurs from the leakage detection area.

또한, 상기 케이스가 반원통형상을 가지는 상태에서 상호간 대면되어 플랜지 부위가 누수감지부위로부터 누수 발생시 액체가 케이스 외부로 누수될 수 있는 누수 부위(leak point)로 기능하기 때문에, 이 부위에 대한 실링에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있다. In addition, since the case functions as a leak point where the flange portion leans to the outside of the case when the leakage occurs from the leakage detection portion when the case has a semi-cylindrical shape, There is a problem that it is expensive.

따라서 본 발명의 목적은 누수 및 누설감지부위가 원통형상으로 탄력적으로 변형되는 연질의 하우징에 의해 커버되도록 하여 하우징의 구성 부품을 최소화하여 제조비용을 절약하고 간편한 설치를 가능하게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 누수 및 누설감지장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for detecting leaks and leaks by minimizing component parts of a housing by covering a leaky and leaking area with a flexible housing deformed in a cylindrical shape to reduce manufacturing cost, And to provide a leakage and leakage detection device capable of preventing leakage.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Meanwhile, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 의하면, 연질의 재질을 통하여 형상의 탄력적 변형이 발생되며 개방부를 통해 내부에 누수 및 누설감지부위가 삽입된 상태에서 누수 및 누설감지부위가 커버되도록 래핑부가 원통형상을 가지면서 탄력적으로 래핑(warping)되고 래핑부의 양측면에 누수 및 누설감지부위의 파이프가 지지되는 지지부가 형성되는 속이 빈 통형상을 가지는 케이스; 케이스의 래핑시 상호간 대면되는 대면 부위인 개방부에 형성되는 장착용플랜지 외측에 위치된 상태에서 상호간 고정 결합되어 장착용플랜지를 가지는 개방부가 폐쇄되도록 하는 한 쌍의 커버가이드; 및 장착용플랜지의 내측면에 형성되는 요홈에 삽입되고 장착용플랜지의 대면 결합시 상호간 밀착되어 누수 및 누설감지부위로부터 누수된 액체나 누설된 가스가 장착용플랜지의 대면 부위를 통해 외부로 누수 및 누설되는 것을 방지하는 누수 및 누설방지부재로 구성되는 하우징을 포함하는 누수 및 누설감지장치가 제공된다.According to the present invention, the elastic portion of the shape is elastically deformed through the soft material, and the leakage portion and the leakage detection portion are covered with the leakage portion and the leakage detection portion through the opening portion. a case having a hollow cylindrical shape in which warps and warps are formed on both sides of the wrapping portion and a supporting portion for supporting the pipes of the leakage and leakage detecting portions is formed; A pair of cover guides which are fixedly coupled with each other while being positioned outside the mounting flange formed in the opening portion which faces each other when the case is wrapped so that the opening portion having the mounting flange is closed; And a flange that is inserted into a groove formed on an inner surface of the mounting flange and is closely contacted with each other when the mounting flange is in face-to-face engagement, so that the liquid leaked from the leak- There is provided a leakage and leakage detection device including a housing composed of a leakage preventing member and a leakage preventing member to prevent leakage.

따라서 본 발명에 의하면, 연질의 재질을 가지고 형상의 탄력적 변형이 발생되는 원통형상의 케이스 개방부에 누수 및 누설감지부위가 삽입된 상태에서 누수 및 누설감지부위가 커버되도록 케이스가 래핑된 후 개방부가 폐쇄 결합됨으로써, 하우징의 구성 부품을 최소화하여 제조비용을 절약하고 간편한 설치를 가능하게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있다. Therefore, according to the present invention, after the case is wrapped so as to cover the leakage and leakage sensing portions in a state where leakage and leakage detection portions are inserted into a cylindrical case opening portion having a flexible material and a flexible elastic deformation, Thereby minimizing the component parts of the housing, saving the manufacturing cost and facilitating the installation, thereby improving the working efficiency.

또한, 케이스가 연질의 재질을 가짐에 따라 외부로부터 소정의 충격이 전달되더라도 소정의 완충 기능을 가질 수 있어 내구성이 향상될 수 있다.In addition, since the case has a soft material, even if a predetermined impact is transmitted from the outside, it can have a predetermined buffering function and durability can be improved.

또한, 케이스의 누수 및 누설 부위가 개방부의 길이 또는 개방부의 대면 부위 개수로 한정됨에 따라, 종래의 반원통형상의 케이스 한 쌍이 상호간 원통형상으로 결합시 존재하는 누수 및 누설 부위에 비해, 실링 범위가 축소 또는 감소되어 실링에 따른 해당 비용이 절감될 수 있다.Further, since leakage and leaking portions of the case are limited to the length of the opening portion or the number of facing portions of the opening portion, compared with leakage and leaking portions existing when a pair of cases of a conventional semi-cylindrical case are engaged with each other in a cylindrical shape, Or the corresponding cost due to the sealing can be reduced.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1과 도 2는 각각 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수 및 누설감지장치를 나타낸 사시도;
도 3과 도 4는 각각 도 1과 도 2의 누수 및 누설감지장치를 나타낸 분해사시도;
도 5와 도 6은 각각 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수 및 누설감지장치를 나타낸 사시도;
도 7과 도 8은 각각 도 5와 도 6의 누수 및 누설감지장치를 나타낸 분해사시도; 및
도 9는 누수 및 누설감지부위로부터 액체 또는 가스가 누수 및 누설되는 모습을 일예로 나타낸 도면이다.1 and 2 are perspective views illustrating a leakage and leakage detection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention;
FIGS. 3 and 4 are exploded perspective views showing the leakage and leakage detecting device of FIGS. 1 and 2, respectively;
5 and 6 are perspective views illustrating a leakage and leakage detection apparatus according to a second preferred embodiment of the present invention;
FIGS. 7 and 8 are exploded perspective views showing the leakage and leakage detecting device of FIGS. 5 and 6, respectively; FIGS. And
FIG. 9 is a view showing an example in which a liquid or a gas leaks and leaks from a leakage and leakage detection site.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 도 2는 각각 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수 및 누설감지장치를 나타낸 사시도이고, 도 3과 도 4는 각각 도 1과 도 2의 누수 및 누설감지장치를 나타낸 분해사시도이다. 또한, 도 5와 도 6은 각각 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수 및 누설감지장치를 나타낸 사시도이고, 도 7과 도 8은 각각 도 5와 도 6의 누수 및 누설감지장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 9는 누수 및 누설감지부위로부터 액체 또는 가스가 누수 및 누설되는 모습을 일예로 나타낸 도면이다.1 and 2 are perspective views showing a leakage and leakage detection apparatus according to a first preferred embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are exploded perspective views respectively showing the leakage and leakage detection apparatus of FIGS. 1 and 2 . 5 and 6 are perspective views showing a leakage and leakage detection apparatus according to a second preferred embodiment of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are respectively a perspective view and a perspective view of the leakage and leakage detection apparatus of FIGS. 5 and 6, And FIG. 9 is a view showing an example in which a liquid or a gas leaks and leaks from a leakage and leakage detection site.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수 및 누설감지장치(100)는, 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 누수 및 누설감지부위(J)의 외부에 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하면서 장착 구성되고 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 및 누설 발생시 액체 또는 가스가 외부로 누수 및 누설되지 못하도록 방지하는 케이스 타입의 장착용 하우징(110)을 포함한다.1 to 4, the leakage and leakage detecting apparatus 100 according to the first preferred embodiment of the present invention has a predetermined shape and space for covering the leakage and leakage detecting portion J (J) so as to prevent leakage or leakage of the liquid or gas to the outside when leakage or leakage occurs from the leakage and leakage detection area (J). (Not shown).

하우징(110)은, 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 누수 및 누설감지부위(J)의 외부에 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하면서 장착 구성되고 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 및 누설 발생시 액체 또는 가스가 외부로 누수 및 누설되지 못하도록 방지하는 케이스 수단으로, 투명 또는 반투명한 색상을 가지고 연질의 재질을 통하여 형상의 탄력적 변형이 발생되며 개방부(111)를 통해 내부에 누수 및 누설감지부위(J)가 삽입된 상태에서 누수 및 누설 감지부위(J)가 커버되도록 래핑부(112)가 원통형상을 가지면서 탄력적으로 래핑(warping)되고 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성되는 속이 빈 통형상을 가지는 케이스(114), 케이스(114)의 래핑시 상호간 대면되는 대면 부위인 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115) 외측에 위치된 상태에서 볼트/너트 또는 클램프 구조 또는 암수 구조 등을 통해 상호간 고정 결합되어 장착용플랜지(115)를 가지는 개방부(111)가 폐쇄되도록 하는 한 쌍의 커버가이드(116) 및 장착용플랜지(115)의 내측면에 형성되는 요홈에 삽입되고 장착용플랜지(115)의 대면 결합시 상호간 밀착되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 및 누설된 액체 또는 가스가 장착용플랜지(115)의 대면 부위를 통해 외부로 누수 및 누설되는 것을 방지하는 오링 또는 가스켓 등과 같은 누수 및 누설방지부재(미도시) 등을 포함한다. The housing 110 has a predetermined shape and a space for covering the leakage and leakage detection portion J and covers the leakage and leakage detection portion J on the outside of the leakage and leakage detection portion J, And leakage means for preventing leakage or leaking of the liquid or gas to the outside when leaking or leaking from the leaking water and leakage detecting portion J. Elastic deformation of the shape occurs through a soft material having transparent or semitransparent hue The lapping portion 112 is warped while having a cylindrical shape so that the leakage and the leakage detecting portion J are covered with the leakage and leakage detecting portion J inserted through the opening portion 111. [ A case 114 having a hollow cylindrical shape in which supporting portions 113 for supporting the pipes of the leakage and leakage detecting portions J are formed on both sides of the lapping portion 112, Facing (111) having a mounting flange (115) fixedly coupled to each other via a bolt / nut or a clamp structure or a male or female structure in a state of being located outside the mounting flange (115) A pair of cover guides 116 for closing the leakage flange 115 and a pair of cover guides 116 that are inserted into recesses formed in the inner surface of the mounting flange 115 and are in close contact with each other at the time of facing engagement of the mounting flange 115, (Not shown) such as an o-ring or a gasket for preventing leakage and leakage of the liquid or gas leaked from the mounting flange 115 to the outside through the facing portion of the mounting flange 115, and the like.

여기서, 케이스(114)는, 연질의 PVC 또는 내산 실리콘 재질의 속이 빈 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성되는 원통형상을 가지는 상태에서, 몸체(114a)의 길이방향으로 일측의 지지부(113)로부터 래핑부(112) 일측을 경유하여 타측의 지지부(113)까지 일측면이 절개되는 것을 통해 전반적으로, 절개부위가 소정간격 벌어져 개방부(111)로 기능하는 원통형상을 가지고, 이때, 개방부(111)에는 커버가이드(116)와 누수방지부재(미도시)의 설치 구성을 위한 장착용플랜지(115)가 연장 형성되는 구성을 가진다.Here, the case 114 has a cylindrical shape in which support portions 113 for supporting the pipes of the leakage and leakage detecting portions J are formed on both sides of the hollow wrapping portion 112 of soft PVC or an acid- The incision portion is widened at a predetermined distance from the support portion 113 on one side in the longitudinal direction of the body 114a through one side of the support portion 113 to the other side via the one side of the lapping portion 112, The opening portion 111 has a cylindrical shape functioning as an opening portion 111. The opening portion 111 is formed with a cover flange 115 for mounting the cover guide 116 and a leakage preventing member .

즉, 케이스(114)는, 플렉시블한 연질의 시트 중심부위에 수용공간에 해당되는 래핑부(112)가 소정의 요홈 구조로 형성된 상태에서, 시트의 가장자리 부위가 대면되도록 시트가 원통 형상을 가지면서 래핑 동작시 누수 및 누설감지부위(J)가 래핑부(112)의 내부에 수용되며, 이때, 시트의 가장자리 부위가 개방부(111)와 장착플랜지(115)로 기능하게 되고, 또한, 개방부(111)의 양측단에 해당되는 장착플랜지(115)의 가장자리 부위가 지지부(113)로 기능되어, 속이 빈 원통 또는 다면체 형상을 가지게 된다. That is, in the case 114, the sheet has a cylindrical shape such that the edge portion of the sheet is faced with the lapping portion 112 corresponding to the accommodation space formed in a predetermined concave structure on the center portion of the flexible soft sheet, The leaking and leakage sensing portion J is received in the interior of the lapping portion 112 and the edge portion of the sheet functions as the opening portion 111 and the mounting flange 115, The supporting portions 113 function as edge portions of the mounting flange 115 corresponding to both side ends of the supporting flanges 111 and 111, respectively, and have a hollow cylindrical or polyhedral shape.

다시 말해서, 케이스(114)는, 마치 플렉시블한 연질의 시트가 속이 빈 원통 또는 다면체 형상을 가지는 상태에서 몸체(114a)의 중심축을 기준으로 지지부(113)와 래핑부(112)의 일측이 완전히 절개된 개방부(111)를 중심으로 몸체(114a)가 소정 탄력을 가지면서 벌어지는 형상을 가지는 것처럼 성형 또는 제조된다.In other words, the case 114 is formed so that one side of the supporting portion 113 and the lapping portion 112 are completely incised with respect to the central axis of the body 114a in a state in which the flexible soft sheet has a hollow cylindrical or polyhedral shape, The body 114a is formed or manufactured as if the body 114a has a shape spreading with a predetermined elasticity about the opened portion 111. [

이에, 본 발명의 제1실시예에 따른 케이스(114)는, 플랜지 파이프, 유니온 파이프, 플랜지 밸브 파이프 및 유니온 밸브 파이프 등과 같은 파이프와 상기 파이프의 연결부위에 해당되는 누수 및 누설감지부위(J)가 일측이 절개 형성되어 반원통형상을 가지는 케이스(114)의 개방부(111)를 통해 내부에 삽입되도록 한 후, 연질의 재질에 따른 형상의 탄력적 변형을 통해 누수 및 누설감지부위(J)가 커버되도록 래핑부(112)가 폐쇄되도록 래핑되고 이때, 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프의 외주면이 개방부(111) 양측단에 해당되는 지지부(113)에 래핑되면서 원통형상을 가진다. Accordingly, the case 114 according to the first embodiment of the present invention can be used as a case where the leakage and leakage detection portion J corresponding to the connection portion between the pipe such as the flange pipe, the union pipe, the flange valve pipe, And the leaky and leak-sensing part J is inserted through the open part 111 of the case 114 having a semicylindrical shape by elastic deformation of the shape depending on the soft material, The outer circumferential surface of the pipe of the leakage and leakage sensing portion J is wrapped in the support portion 113 corresponding to both ends of the opening portion 111 and has a cylindrical shape.

여기서, 케이스(114)는, 개방부(111)의 폐쇄시 몸체(114a) 내부 공간이 누수 및 누설감지부위(J)가 삽입 수용되는 면적을 가지고 지지부(113)의 내주면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프 외주면이 지지되는 직경을 가지며, 원통 형상 이외에 누수 및 누설감지부위(J)의 외형에 대응되는 다면체 형상을 가질 수도 있다.Here, the case 114 has a structure in which the inner space of the body 114a at the time of closing the opening 111 has an area where the leakage and the leakage detecting portion J are inserted and received, And may have a polyhedral shape corresponding to the outer shape of the leakage and leakage detection sites J in addition to the cylindrical shape.

한편, 본 발명의 제1실시예에 따른 누수 및 누설감지장치(100)는, 장착용 하우징(110)에 있어서, 케이스(114)가 플렉시블한 연질의 시트가 속이 빈 원통 또는 다면체 형상을 가지는 상태에서 몸체(114a)의 중심축을 기준으로 지지부(113)와 래핑부(112)의 일측이 완전히 절개된 개방부(111)를 중심으로 몸체(114a)가 소정 탄력을 가지면서 벌어지는 형상을 가지는 것처럼 성형 또는 제조되도록 하고 있으나, 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수 및 누설감지장치(100)는, 케이스(114)가 플렉시블한 연질의 시트가 속이 빈 원통 또는 다면체 형상을 가지는 상태에서 몸체(114a)의 일측면을 제외한 나머지 전체 부위가 완전히 절개된 개방부(111)를 중심으로 몸체(114a)가 소정 탄력을 가지면서 한 쌍의 반원통 또는 반다면체 형상을 가지는 것처럼 성형 또는 제조되도록 하여 제조 효율이 보다 향상되도록 하는 것이 바람직하다. The leakage and leakage detection apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention is characterized in that in the housing 110 for mounting, the case 114 has a cylindrical or polyhedral shape in which a soft flexible sheet is hollow The supporting portion 113 and the lapping portion 112 are formed such that the body 114a has a shape that flares around the opening portion 111 in which the one side of the lapping portion 112 is completely cut off with respect to the central axis of the body 114a, 5 to 8, the leakage and leakage detecting device 100 according to the second preferred embodiment of the present invention is configured such that the soft sheet in which the case 114 is flexible is hollow, The body 114a has a predetermined elasticity about the opening portion 111 in which the entirety of the body 114a except for one side in the state of having a cylindrical or polyhedral shape is completely cut and a pair of half cylinders or half- Shape To ensure that the production efficiency is improved to ensure that the molding or manufacture it is preferred, as is.

즉, 본 발명의 제2실시예에 따른 케이스(114)는, 연질의 PVC 또는 내산 실리콘 재질을 가지고 각각 속이 빈 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성된 한 쌍의 반원통 또는 반다면체 형상의 몸체(114a)의 일측 가장자리가 상호간 회동 가능하게 접합된 상태에서, 상호간 접합되지 않은 몸체(114a)의 나머지 부분이 개방부(111)로 기능하게 되고, 이때, 개방부(111)에는 커버가이드(116)와 누수 및 누설방지부재(미도시)의 설치 구성을 위한 장착용플랜지(115)가 연장 형성되는 구성을 가진다. That is, the case 114 according to the second embodiment of the present invention has a flexible PVC or an acid-resistant silicone material, and pipes on both sides of the hollow wrapping part 112 are supported on the leakage and leakage detecting part J The remaining part of the body 114a that is not bonded to each other is connected to the opening 111 in a state in which one side edge of a pair of semi-cylindrical or semi-polyhedral body 114a on which the supporting part 113 is formed, The opening portion 111 has a configuration in which a cover guide 116 and a mounting flange 115 for installing a leakage and leakage preventing member (not shown) are extended.

이에, 본 발명의 제2실시예에 따른 케이스(114)는, 플랜지 파이프, 유니온 파이프, 플랜지 밸브 파이프 및 유니온 밸브 파이프 등과 같은 파이프와 상기 파이프의 연결부위에 해당되는 누수 및 누설감지부위(J)가 몸체(114a)의 일측 가장자리가 상호간 접합된 반원통형상을 가지는 한 쌍의 케이스(114)의 개방부(111)를 통해 래핑부(112) 내부에 삽입되도록 한 후, 연질의 재질에 따른 형상의 탄력적 변형을 통해 한 쌍의 몸체(114a)가 일측 가장자리를 중심으로 상호간 회동되어 래핑부(112)의 공간에 누수 및 누설감지부위(J)가 커버되도록 장착용플랜지(115)가 대면되고 이때, 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프의 외주면이 개방부(111) 양측단에 해당되는 지지부(113)에 래핑되면서 원통형상을 가진다. Accordingly, the case 114 according to the second embodiment of the present invention can be used as a case where the leakage and leakage detection portion J corresponding to the connection portion between the pipe such as the flange pipe, the union pipe, the flange valve pipe, Is inserted into the lapping portion 112 through the openings 111 of the pair of cases 114 having semi-cylindrical shapes with one side edge of the body 114a being bonded to each other, The pair of bodies 114a are mutually pivoted about one side edge thereof and the mounting flange 115 faces the space of the lapping part 112 so as to cover the leak and the leakage detecting part J, And the outer peripheral surface of the pipe of the leakage and leakage detecting portion J is wrapped in the support portion 113 corresponding to both ends of the opening portion 111 and has a cylindrical shape.

커버가이드(116)는, 케이스(114)의 래핑시 상호간 대면되는 장착용플랜지(115)가 고정 결합되어 개방부(111)가 폐쇄되도록 하는 폐쇄수단으로, 케이스(114)의 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115)의 형상에 대응되는 형상을 가지고 금속 또는 합성수지 재질을 가지며, 바람직하게는, 상호간 볼트/너트 또는 클램프 또는 암수구조 중 적어도 어느 하나를 통해 상호간 고정 결합되어 개방부(111)가 폐쇄되고 지지부(113)가 파이프의 외주면에 밀착되는 것을 통해 케이스(114)가 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하면서 해당 부위에 장착되도록 할 수 있다.The cover guide 116 is a closing means for closing the opening portion 111 by fixing the mounting flange 115 facing each other when the case 114 is wrapped and the opening portion 111 of the case 114, And has a shape corresponding to the shape of the mounting flange 115 formed on the outer peripheral surface of the mounting flange 115 and has a metal or synthetic resin material and preferably fixed to each other through at least one of a bolt / The case 114 can be mounted on the corresponding portion while covering the leakage and leakage detecting portion J through the support portion 113 being close to the outer peripheral surface of the pipe.

누수 및 누설방지부재(미도시)는, 장착용플랜지(113)의 내측면에 형성되는 요홈에 삽입되어 장착용플랜지(115)의 대면시 상호간 밀착되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스가 장착용플랜지(115)의 대면 부위를 통해 외부로 누수 및 누설되는 것을 방지하는 부재로, 케이스(114)의 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115)의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 바람직하게는, 합성수지 또는 실리콘 재질의 내산(acid-proof) 성질을 가지는 오링 또는 가스켓인 것이 좋다. The leakage and leakage preventing members (not shown) are inserted into the recesses formed in the inner surface of the mounting flange 113 to be in close contact with each other at the time of facing the mounting flange 115, The shape of the mounting flange 115 formed in the opening portion 111 of the case 114 prevents the liquid or leaked gas from leaking and leaking to the outside through the facing portion of the mounting flange 115, And preferably an o-ring or gasket having an acid-proof property of synthetic resin or silicon.

여기서, 커버가이드(116)와 누수 및 누설방지부재(미도시)는, 본 발명의 제2실시예에서와 같이, 케이스(114)가 각각 속이 빈 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성된 한 쌍의 반원통 또는 반다면체 형상의 몸체(114a)의 일측 가장자리가 상호간 회동 가능하게 접합되는 경우, 상기 접합 부위에도 장착용플랜지(115)가 연장 형성되도록 한 후, 장착용플랜지(115)에 구성되는 것이 바람직하다.As in the second embodiment of the present invention, the cover guide 116 and the leakage and leakage preventing member (not shown) are provided on both sides of the hollow wrapping portion 112, In the case where one side edge of a pair of semicylindrical or semi-polyhedral body 114a on which a support portion 113 supporting a pipe of the portion J is formed is rotatably joined to each other, Is formed to be extended, it is preferable that the mounting flange 115 is formed.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 누수 및 누설감지장치(100)의 하우징(110)이 누수 및 누설감지부위(J)에 설치되는 과정에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a process of installing the housing 110 of the leakage and leakage detection apparatus 100 according to the preferred embodiment of the present invention in the leakage and leakage detection region J will be described.

먼저, 절개된 원통형상 또는 상호간 일측이 결합된 한 쌍의 반원통 형상을 가지는 케이스(114)의 개방부(111)가 누수 및 누설감지부위(J)의 하측 또는 일측에 위치된 후, 래핑부(112)의 내부 공간에 누수 및 누설감지부위(J)가 위치되도록 누수 및 누설감지부위(J)의 양측 주변을 감싸면서 케이스(114)의 형상이 원통형상으로 변형되는 것을 통해, 개방부(111)에 형성된 장착용플랜지(115)가 상호간 대면되고 장착용플랜지(115)의 양측단에 해당되는 지지부(113)의 내주면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프 외주면이 밀착된다.First, after the openings 111 of the case 114 having a pair of semicylindrical cylindrical shapes or a pair of semicylindrical shapes connected to each other are positioned on the lower side or one side of the leakage and leakage detection part J, The shape of the case 114 is deformed into a cylindrical shape while the periphery of both sides of the leakage and leakage sensing portion J is surrounded such that the leak and the leakage detecting portion J are located in the inner space of the case 112, And the outer circumferential surface of the pipe of the leakage and leakage detecting portion J is closely attached to the inner circumferential surface of the support portion 113 corresponding to both side ends of the mounting flange 115. [

이후, 상호간 대면되는 장착용플랜지(115)의 외측면에 이에 대응되는 형상을 가지는 커버가이드(116)가 위치된 상태에서, 상호간 볼트/너트 또는 클램프를 통해 상호간 고정 결합되어 개방부(111)가 폐쇄되고 지지부(113)가 파이프의 외주면에 지지되어 케이스(114)가 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하면서 해당 부위에 장착된다.Thereafter, in a state where the cover guide 116 having a shape corresponding to the cover guide 116 is positioned on the outer surface of the mounting flange 115 facing each other, the opening portion 111 is fixedly coupled to each other through bolts / nuts or clamps And the supporting portion 113 is supported on the outer circumferential surface of the pipe so that the case 114 is mounted on the corresponding portion while covering the leakage and leakage detecting portion J. [

여기서, 장착용플랜지(115)의 내측에는 누수 및 누설방지부재(미도시)가 위치되어 장착용플랜지(115)의 대면시 상호간 밀착되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스가 장착용플랜지(115)의 대면 부위를 통해 외부로 누수 및 누설되는 것이 방지된다.Here, leakage and leakage preventing members (not shown) are positioned inside the mounting flange 115 to be in close contact with each other at the time of facing the mounting flange 115, so that the liquid leaked from the leakage and leakage detecting portion J, The gas is prevented from leaking out and leaking to the outside through the facing portion of the mounting flange 115.

따라서 본 발명의 하우징(110)에 의하면, 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프에 누수 및 누설감지부위(J)를 감싸면서 간단하게 장착 구성됨으로써, 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스가 외부로 누수 및 누설되는 것을 방지할 수 있고, 더불어, 후술된 제1누수 및 누설감지수단(120)이 누수액 또는 누출가스와의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되는 것을 외부의 작업자로 하여금 쉽게 육안으로 확인하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 하고 안전사고를 방지할 수 있다. Therefore, according to the housing 110 of the present invention, the leakage and leakage detection portion J can be easily mounted while the leakage and leakage detection portion J is wrapped around the leakage and leakage detection portion J, It is possible to prevent leakage or leakage of the liquid or leaked gas to the outside and further prevent the first leakage and leakage detecting means 120 described below from proceeding to change color to a specific color upon contact with the leaked liquid or leaked gas It is possible to allow external workers to easily confirm with the naked eye, thereby enabling prompt action and preventing safety accidents.

또한, 연질의 재질을 가지고 형상의 탄력적 변형이 발생되는 케이스(114)의 개방부(111)에 누수 및 누설감지부위(J)가 삽입된 상태에서 누수 및 누설감지부위(J)가 커버되도록 케이스(114)가 래핑(warping)된 후 개방부(111)가 커버가이드(116)에 의해 폐쇄 결합됨으로써, 하우징(110)의 구성 부품을 최소화하여 제조비용을 절약하고 간편한 설치를 가능하게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있다. When the leakage and leakage detecting portion J is covered with the leakage and leakage detecting portion J in the opening portion 111 of the case 114 in which a flexible elasticity of the shape is generated, The open portion 111 is closed by the cover guide 116 after the housing 114 is warped so that the components of the housing 110 are minimized to save manufacturing cost and simplify installation, Can be improved.

또한, 케이스(114)가 연질의 재질을 가짐에 따라 외부로부터 소정의 충격이 전달되더라도 소정의 완충 기능을 가질 수 있어 내구성이 향상될 수 있다.In addition, since the case 114 has a soft material, even if a predetermined impact is transmitted from the outside, the case 114 can have a predetermined damping function and durability can be improved.

또한, 케이스(114)의 누수 및 누설 부위가 개방부(111)의 길이 또는 개방부(111)의 대면 부위 갯수로 한정됨에 따라, 종래의 반원통형상의 케이스 한 쌍이 상호간 원통형상으로 결합시 존재하는 누수 및 누설 부위에 비해, 실링 범위가 축소 또는 감소되어 실링에 따른 해당 비용이 절감될 수 있다.Further, since the leakage and leaking portions of the case 114 are limited to the length of the opening 111 or the number of facing portions of the opening 111, a pair of conventional semi-cylindrical cases are present at the time of coupling to each other in a cylindrical shape Compared to leakage and leakage areas, the sealing range can be reduced or reduced and the corresponding costs for sealing can be reduced.

한편, 본 발명의 제1실시예와 제2실시예에 따른 누수 및 누설감지장치(100)는, 하우징(110)의 내부에 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수 및 누설감지수단(120), 하우징(110)의 내부에 구성되고 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수 및 누설감지수단(130) 및 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130) 중 적어도 어느 하나를 커버하면서 하우징(110) 내부에 구성되는 커버체(140) 등을 더 포함한다.The leakage and leakage detection apparatus 100 according to the first and second embodiments of the present invention is constructed in the housing 110 so that the reagent is impregnated and dried to remove leakage and leakage from the leakage area J A first leakage and leakage detecting means 120 which is colored in a specific color upon contact with the leaked liquid or the leaked gas, a liquid or leakage leaked from the leakage and leakage detecting portion J constituted inside the housing 110, The second leakage and leakage sensing means 130 and the second leakage and leakage sensing means 120 and 130 and the second leakage and leakage sensing means 130 electrically sensing the contact of the gas, And a cover body 140 formed inside the housing 110.

제1누수 및 누설감지수단(120)은, 하우징(110)의 내부에 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스와의 접촉시 특정색으로 변색되는 화학적 누수 및 누설감지수단으로, 흡수력이 뛰어난 섬유재질 또는 종이재질의 패드에 인체에 무해하면서도 천연 재료로 특수 처리된 시약이 흡수 및 건조 처리되는 것을 통해 제조된다.The first leakage and leakage detecting means 120 is formed inside the housing 110 and is immersed in the reagent and dried so that the liquid leaked from the leakage and leakage detecting portion J or the leakage gas It is produced by the chemical leakage and leakage detection means which is discolored and is absorbed and dried by a fiber material or pad made of paper having high absorption ability and harmless to the human body but specially treated with natural material.

여기서, 제1누수 및 누설감지수단(120)은, 상기 패드에 처리되는 시약의 경우 무색을 가지는 상태에서 액체 또는 가스의 수소 용해 정도에 관계없이 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 및 누설 발생에 따라 액체 또는 가스와 접촉시 더욱 선명하게 변색되어 작업자로 하여금 육안으로 용이하게 확인되도록 할 수 있다. 즉, 고유의 색상을 가지는 상태에서 액체 또는 가스와의 접촉시 특정색으로 변색되는 것이 아니고, 무색을 가짐에 따라 패드의 고유 색상에 영향을 주지 않으므로, 작업자로 하여금 패드의 변색 유무를 보다 쉽게 확인하도록 할 수 있다. Here, the first leakage and leakage detecting means 120 may prevent leaks and leaks from the leakage and leakage detecting portions J regardless of the degree of hydrogen dissolution of liquid or gas in the state of colorless reagent to be processed on the pad The liquid can be more clearly discolored upon contact with the liquid or the gas and can be easily confirmed by the operator. That is, since the color is not discolored to a specific color when it comes into contact with liquid or gas in the state of having its own color, and since it has no color, it does not affect the inherent color of the pad. Therefore, .

따라서 제1누수 및 누설감지수단(120)에 의하면, 반도체 제조장비들을 연결하는 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 또는 누설이 발생되는 경우 누수액 또는 누설가스와의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되어 작업자로 하여금 이를 육안으로 확인하도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.Therefore, according to the first leakage and leakage detecting means 120, when leakage or leakage occurs from the leakage and leakage detecting portion J connecting the semiconductor manufacturing equipments, a color change to a specific color upon contact with the leakage liquid or leakage gas So that the operator can visually confirm the result thereof, thereby making it possible to promptly cope with the accident, thereby preventing a safety accident.

제2누수 및 누설감지수단(130)은, 하우징(110)의 내부에 구성되고 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 전기적 누수 및 누설감지수단으로, 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 또는 누설 발생시 누수되는 액체나 가스의 접촉을 진동, 압력, 온도, 단락 및 정전용량을 통하여 감지하고 이에 대한 해당 전기적 신호를 발생시켜 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 전달하여 근접한 위치에 위치된 작업자들의 신속한 대처와 외부에 위치된 관리자에게 신속한 알림을 가능하게 할 수 있다. The second leakage and leakage detecting means 130 is provided inside the housing 110 and detects an electrical leak and a leakage detection that electrically detect the leaked liquid or leaked gas from the leakage and leakage detecting portion J Pressure, temperature, short-circuit, and electrostatic capacity, and generates a corresponding alarm signal to generate a known alarm sound by detecting the leakage or leakage of the liquid or gas leaking from the leakage and leakage detection site (J) Device and the like, thereby enabling rapid response of workers located in close proximity to positions and prompt notification to an administrator located outside.

여기서, 제2누수 및 누설감지수단(130)은, 누수액 또는 누설가스의 접촉을 정전용량을 통하여 감지하는 정전용량감지수단으로, 보다 바람직하게는, 정전용량터치기판, 상기 정전용량터치기판에 형성되는 전극패턴, 상기 전극패턴과의 전기적 연결을 위한 회로 배선을 구성하는 회로기판, 상기 회로기판과 전극패턴에 각각 접촉되는 부분을 포함하여 회로기판의 회로 배선과 전극패턴을 서로 전기적으로 연결하는 상태로 접착하는 도전성접촉부재를 포함하는 정전용량패드와, 정전용량패드에 관통 형성되는 다수의 누수액 또는 누설가스관통공을 포함한다. Here, the second leakage and leakage sensing means 130 is a capacitance sensing means for sensing the contact of the leakage liquid or the leakage gas through the capacitance, more preferably a capacitive touch substrate, A circuit board constituting a circuit wiring for electrical connection with the electrode pattern, and a portion electrically connected to the circuit wiring of the circuit board and the electrode pattern, And a plurality of leakage liquids or leakage gas pipe holes formed through the capacitance pads.

즉, 상기 정전용량패드는 누수액 또는 누설가스가 정전용량터치기판에 접촉시 이를 정전용량의 변화를 통하여 감지할 수 있다.That is, the capacitance pad can sense the leaked liquid or the leaked gas when the capacitive touch substrate contacts the capacitive touch pad through a change in capacitance.

또한, 상기 누수액 또는 누설가스관통공은, 제1누수 및 누설감지수단(120)이 누수액 또는 누설가스와 접촉하지 못하는 것을 방지하기 위해 형성된다. 보다 상세하게는, 하우징(110)의 내부에 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130)이 같이 구성되는 경우 누수 또는 누설을 육안으로 식별되도록 하는 변색 작용하는 제1누수 및 누설감지수단(120)이 하우징(110)의 내부 표면에 위치되어야 하고 누수 및 누설감지부위(J)와 제1누수 및 누설감지수단(120) 사이에 제2누수및 누설감지수단(130)이 위치되어야 한다. 이에, 상기와 같은 상태에서, 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 또는 누설이 발생되는 경우 제2누수 및 누설감지수단(130)에 의해 제1누수 및 누설감지수단(120)이 누수액 또는 누설가스와 접촉하지 못하게 되므로, 누수액 또는 누설가스관통공을 통해 누수액 또는 누설가스가 제1누수 및 누설감지수단(120)에 접촉되도록 하는 것이 바람직하다. The leaked liquid or leaked gas pipe passage hole is formed to prevent the first leakage and leakage detecting means 120 from contacting the leaked liquid or the leaked gas. More specifically, when the first leakage and leakage detection means 120 and the second leakage and leakage detection means 130 are configured in the housing 110, the leakage or leakage is discerned by the naked eye The first leakage and leakage sensing means 120 should be located on the inner surface of the housing 110 and the second leakage and leakage sensing means 120 between the leakage and leakage sensing portion J and the first leakage and leakage sensing means 120, (130). If leakage or leakage occurs from the leakage and leakage detection region J in the above state, the first leakage and leakage detection means 130 detects the leakage of the leakage water or leakage from the leakage detection region J by the second leakage and leakage detection means 130, It is preferable that the leaked liquid or the leaked gas is brought into contact with the first leakage and leakage detecting means 120 through the leaked liquid or through the leaked gas pipe passage.

또한, 정전용량패드는, 케이스(114)에 구성되는 컨넥터에 전기적으로 접속된 상태를 가지는 것이 바람직하며, 이때, 상기 컨넥터는 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 유선 또는 무선으로 연결되도록 하는 통신수단 등에 전기적으로 연결된 상태를 가지는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the electrostatic capacity pad is electrically connected to a connector formed in the case 114. In this case, the connector may be connected to a monitoring system including a known alarm sound generating device or the like by wire or wirelessly. It is preferable to have a state of being electrically connected to the communication means.

여기서, 상기 통신수단은 정전용량패드에 전기적으로 접속된 상태에서 감지신호 발생시 외부의 모니터링 시스템이나 관리자에게 유/무선 통신을 통해 안내하고, 상기 경고음발생수단은 통신수단에 감지신호 전달시 해당 경고음을 발생시켜 관리자나 작업자에게 안내하는 것으로, 상기 통신수단, 경고음발생수단 및 이를 이용한 모니터링시스템은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.Here, the communication means is electrically connected to the electrostatic capacity pad, and when a sensing signal is generated, it is guided to an external monitoring system or an administrator through wire / wireless communication, and the alarm sound generating means generates a corresponding alarm sound To the manager or the operator. The communication means, the alarm sound generating means, and the monitoring system using the communication means are well known in the art and will not be described in detail.

따라서 제2누수 및 누설감지수단(130)에 의하면, 상기 반도체 제조장비들을 연결하는 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수 또는 누설이 발생되는 경우 누수액 또는 누설가스와의 접촉시 특정 정전용량을 통하여 이를 감지하고 외부에 경고가 발생되도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.Therefore, according to the second leakage and leakage detecting means 130, when leakage or leakage occurs from the leakage and leakage detecting portion J connecting the semiconductor manufacturing equipments, So that a warning can be generated on the outside, thereby enabling quick response and preventing safety accidents.

커버체(140)는, 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130) 중 적어도 어느 하나가 커버되도록 구성되어 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130)이 하우징(110) 내부의 형상에 대응된 형상을 유지하도록 함과 동시에 해당 위치에 안정적으로 구성되도록 하는 안착수단으로, 플랫한 판넬 형상을 가지는 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130)이 누수 및 누설감지부위(J)로부터 소정 거리 이격된 상태로 하우징(110)의 하부에 위치되도록 하는 상부 및 하부 케이스(141,142)를 포함한다. The cover 140 is configured to cover at least one of the first leakage and leakage detection means 120 and the second leakage and leakage detection means 130 so that the first leakage and leakage detection means 120 and the second leakage and leakage detection means 130, The leakage and leakage detection means 130 is configured to hold the shape corresponding to the shape of the inside of the housing 110 and to be stably formed at the corresponding position. The first leakage and leakage detection And upper and lower cases 141 and 142 for allowing the means 120 and the second leakage and leakage sensing means 130 to be positioned at a lower portion of the housing 110 in a state of being spaced apart from the leakage and leakage sensing portion J by a predetermined distance do.

여기서, 상부 및 하부 케이스(141,142)는 투명한 색상을 가지도록 하여 외부에서 누수 및 누설 감지 여부가 육안으로 확인되도록 하는 것이 바람직하고, 상부 케이스(141)의 경우 다수의 노출공을 통하여 누수액 또는 누설가스가 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130)에 접촉되도록 하는 것이 바람직하다.It is preferable that the upper and lower cases 141 and 142 have a transparent color so that leakage or leakage detection from outside can be visually confirmed. In case of the upper case 141, leakage water or leakage It is preferable that the gas is brought into contact with the first leakage and leakage detecting means 120 and the second leakage and leakage detecting means 130.

따라서 커버체(140)에 의하면, 하우징(110)의 내부에 제1누수 및 누설감지수단(120)과 제2누수 및 누설감지수단(130)이 보다 안정적으로 위치되도록 할 수 있다.Therefore, according to the cover body 140, the first leakage and leakage detection means 120 and the second leakage and leakage detection means 130 can be positioned more stably in the housing 110.

따라서 본 발명에 따른 누수 및 누설감지장치(100)에 의하면, 누수액 또는 누설가스와의 접촉시 변색 반응하는 제1누수 및 누설감지수단(120)과 누수액 또는 누설가스와의 접촉시 전기적으로 반응하는 제2누수 및 누설감지수단(130)이 하우징(110)의 내부에 수용 위치된 상태에서 누수 및 누설감지부위(J)를 커버하면서 누수 및 누설감지부위(J)에 장착됨으로써, 누수 및 누설감지부위(J)로부터 발생된 누수액 또는 누설가스와의 접촉시 변색과 전기적 신호로 이에 대한 감지를 출력하여 작업자로 하여금 육안 등의 시각과 알람 경고음 등의 청각을 통해 이를 인지하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 할 수 있다.Therefore, according to the leak and leakage detection apparatus 100 of the present invention, when the leaked liquid or the leaked gas or the first leak and leak detection means 120 that reacts with color change upon contact with the leaked gas comes into contact with the leaked liquid or the leaked gas, The second leakage and the leakage sensing means 130 are mounted on the leakage and leakage sensing portion J while covering the leakage and leakage sensing portion J in a state where the second leakage and leakage sensing means 130 are accommodated in the housing 110, When a leakage liquid or leakage gas generated from the leakage detection site J is brought into contact with the gas, discoloration and an electrical signal are output to the operator so that the operator can recognize it through visual and audible alarms . ≪ / RTI >

상술한 본 발명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시될 수 있다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 청구 범위와 청구 범위의 균등한 것에 의해 정해져야 한다. Although the present invention has been described with reference to the specific embodiments, various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the scope of the invention is not to be determined by the embodiments described, but should be determined by equivalents of the claims and the claims.

Claims (7)

연질의 재질을 통하여 형상의 탄력적 변형이 발생되며 개방부(111)를 통해 내부에 누수 및 누설감지부위(J)가 삽입된 상태에서 누수 및 누설감지부위(J)가 커버되도록 래핑부(112)가 원통형상을 가지면서 탄력적으로 래핑(warping)되고 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성되는 속이 빈 통형상을 가지는 케이스(114);
케이스(114)의 래핑시 상호간 대면되는 대면 부위인 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115) 외측에 위치된 상태에서 상호간 고정 결합되어 장착용플랜지(115)를 가지는 개방부(111)가 폐쇄되도록 하는 한 쌍의 커버가이드(116); 및
장착용플랜지(115)의 내측면에 형성되는 요홈에 삽입되고 장착용플랜지(115)의 대면 결합시 상호간 밀착되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스가 장착용플랜지(115)의 대면 부위를 통해 외부로 누수 또는 누설되는 것을 방지하는 누수 및 누설방지부재(미도시)로 구성되는 하우징(110)을 포함하는 누수 및 누설감지장치.The elastic portion of the shape is elastically deformed through the soft material and the leakage portion and the leakage detecting portion J are covered with the wrapping portion 112 in a state where the leakage and the leakage detecting portion J are inserted through the opening portion 111, And a supporting portion 113 is formed on both sides of the lapping portion 112 to support the pipe of the leakage and leakage detecting portion J. The case 114 has a cylindrical shape and has a cylindrical shape and is elastically wrapped, );
An opening 111 having a mounting flange 115 and being fixedly coupled to each other while being positioned outside the mounting flange 115 formed in the opening 111 as a facing portion facing each other when the case 114 is wrapped, A pair of cover guides 116 for closing the cover guide 116; And
The flanges 115 are inserted into the recesses formed on the inner surface of the mounting flange 115 and brought into close contact with each other at the time of face-to-face engagement of the mounting flange 115 so that liquid or leaked gas leaked from the leak- And a leakage preventing and preventing member (not shown) for preventing leakage or leakage to the outside via a facing portion of the housing (110). 제1항에 있어서, 케이스(114)는,
연질의 PVC 또는 내산 실리콘 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.2. The apparatus according to claim 1, wherein the case (114)
Characterized by having a soft PVC or an acid-resistant silicone material. 제2항에 있어서, 커버가이드(116)는,
케이스(114)의 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115)의 형상에 대응되는 형상을 가지고 금속 또는 합성수지 재질을 가지며,
상호간 볼트/너트, 클램프 및 암수구조 중 적어도 어느 하나를 통해 고정 결합되는 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.The cover guide (116) according to claim 2, wherein the cover guide (116)
Has a shape corresponding to the shape of the mounting flange 115 formed in the opening 111 of the case 114 and has a metal or synthetic resin material,
And wherein the first and second elastic members are fixedly coupled to each other through at least one of a bolt / nut, a clamp, and a male and female structure. 제2항에 있어서, 누수 및 누설방지부재(미도시)는,
케이스(114)의 개방부(111)에 형성되는 장착용플랜지(115)의 형상에 대응되는 형상을 가지며,
합성수지 또는 실리콘 재질의 내산(acid-proof) 성질을 가지는 오링 또는 가스켓인 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.The leak detector according to claim 2, wherein the leakage and leakage preventing member (not shown)
Has a shape corresponding to the shape of the mounting flange 115 formed in the opening 111 of the case 114,
Characterized in that it is an o-ring or gasket having an acid-proof property of synthetic resin or silicone. 제1항에 있어서,
하우징(110)의 내부에 커버체(140)를 통해 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수 및 누설감지수단(120)과;
하우징(110)의 내부에 커버체(140)를 통해 구성되고 누수 및 누설감지부위(J)로부터 누수된 액체 또는 누설된 가스의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수 및 누설감지수단(130) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.The method according to claim 1,
A first leaked portion formed through the cover body 140 in the housing 110 and impregnated with a reagent and dried to cause a liquid leaked from the leaked and leaked portion J or a color leaked to a specific color upon contact with the leaked gas, And leakage detection means (120);
A second leakage and leakage sensing means 130 electrically connected to the housing 110 through the cover 140 and electrically sensing leakage of liquid or leaked gas from the leakage and leakage sensing portion J, Wherein the leakage detection unit detects at least one of leakage and leakage. 제1항에 있어서, 케이스(114)는,
속이 빈 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성되는 원통형상을 가지는 상태에서,
몸체(114a)의 길이방향으로 일측의 지지부(113)로부터 래핑부(112) 일측을 경유하여 타측의 지지부(113)까지 일측면이 절개되는 것을 통해,
절개부위가 소정간격 벌어져 개방부(111)로 기능하는 원통형상을 가지고,
개방부(111)에는 커버가이드(116)와 누수방지부재(미도시)의 설치 구성을 위한 장착용플랜지(115)가 연장 형성되는 구성을 가지는 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.2. The apparatus according to claim 1, wherein the case (114)
In a state in which both sides of the hollow lapping portion 112 have a cylindrical shape in which a support portion 113 for supporting the pipe of the leakage and leakage detecting portion J is formed,
Through one side from the support 113 on one side in the longitudinal direction of the body 114a to one side of the support 113 on the other side via the one side of the lapping part 112,
A cut-away portion having a cylindrical shape which is widened at a predetermined interval to function as an opening portion 111,
The leakage and leakage detecting device according to any one of claims 1 to 11, wherein the opening portion (111) has a configuration in which a cover guide (116) and a mounting flange (115) for a mounting structure of a leakage preventing member (not shown) are extended. 제1항에 있어서, 케이스(114)는,
각각 속이 빈 래핑부(112)의 양측면에 누수 및 누설감지부위(J)의 파이프가 지지되는 지지부(113)가 형성된 한 쌍의 반원통 또는 반다면체 형상의 몸체(114a)의 일측 가장자리가 상호간 회동 가능하게 접합된 상태에서,
상호간 접합되지 않은 몸체(114a)의 나머지 부분이 개방부(111)로 기능하게 되고,
개방부(111)에는 커버가이드(116)와 누수 및 누설방지부재(미도시)의 설치 구성을 위한 장착용플랜지(115)가 연장 형성되는 구성을 가지는 것을 특징으로 하는 누수 및 누설감지장치.2. The apparatus according to claim 1, wherein the case (114)
One side edge of a pair of semicylindrical or semi-polyhedrons shaped body 114a on both sides of the hollow lapping portion 112 with a support portion 113 for supporting the pipe of the leakage and leakage detecting portion J is formed, In the possibly bonded state,
The remaining portion of the body 114a that is not bonded to each other functions as the opening portion 111,
Wherein the opening portion (111) has a configuration in which a cover guide (116) and a mounting flange (115) for installing a leakage and leakage preventing member (not shown) are extended.
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CN110887615A (en) * 2019-12-27 2020-03-17 盐城志驰机械有限公司 Valve housing airtightness inspection device
KR20200036550A (en) * 2018-09-28 2020-04-07 주식회사 포스코 Equipment for casting and method for casting
KR20200041175A (en) * 2018-10-11 2020-04-21 김경호 Leak sensing system using air pressure
CN111638008A (en) * 2020-06-01 2020-09-08 广东电网有限责任公司 SF6 equipment sealing flange gas leakage detection device and application method thereof
KR20210032850A (en) * 2019-09-17 2021-03-25 주식회사 그로우텍 Apparatus for sensing leak using vibration sensor
KR20230028909A (en) * 2021-08-23 2023-03-03 주식회사 아이디케이랩 Apparatus for detecting leak

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200036550A (en) * 2018-09-28 2020-04-07 주식회사 포스코 Equipment for casting and method for casting
KR20200041175A (en) * 2018-10-11 2020-04-21 김경호 Leak sensing system using air pressure
KR20210032850A (en) * 2019-09-17 2021-03-25 주식회사 그로우텍 Apparatus for sensing leak using vibration sensor
CN110887615A (en) * 2019-12-27 2020-03-17 盐城志驰机械有限公司 Valve housing airtightness inspection device
CN111638008A (en) * 2020-06-01 2020-09-08 广东电网有限责任公司 SF6 equipment sealing flange gas leakage detection device and application method thereof
KR20230028909A (en) * 2021-08-23 2023-03-03 주식회사 아이디케이랩 Apparatus for detecting leak

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