KR20130043489A - 전원면의 잡음을 억제하기 위한 다층 나선형 공진기 - Google Patents

전원면의 잡음을 억제하기 위한 다층 나선형 공진기 Download PDF

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KR20130043489A
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Abstract

본 발명은 전원면의 잡음을 억제하기 위한 다층 나선형 공진기에 관한 것으로서, 복수의 나선형 공진기, 상기 복수의 나선형 공진기의 일면을 전기적으로 연결시키는 비아, 및 상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선을 포함할 수 있다.

Description

전원면의 잡음을 억제하기 위한 다층 나선형 공진기{MULTI LAYER SPIRAL RESONATOR FOR SUPPRESSING NOISE OF POWER PLANE}
본 발명은 고속 PCB(Printed Circuit Board) 상에서 SSN (Simultaneous Switching Noise)와 EMI (Electromagnetic Interference) 관련 전원단 노이즈로 인해 PCB 의 성능 저하 및 오동작을 유발하는 경우가 발생하는 상황에서 전원단 노이즈 저감을 통한 PCB 성능 향상을 위하여 주파수 축에서 광대역 파워 스펙트럼을 억압 특성을 갖는 다층 나선형 공진기에 관한 것이다.
고속 디지털 회로에서 발생하는 고속 디지털 클럭은 다른 신호선 및 전원면(power plane)에 잡음 유기 문제를 발생시켜, 디지털 회로 상에서 cavity resonance와 같이 일어나게 될 경우, 매우 강한 잡음 유기가 발생하게 되어 신호 및 전원의 무결성(signal integrity/power integrity, SI/PI)에 큰 열화를 초래할 수 있다.
전원면에서 고속 디지털 회로에서 발생하는 잡음을 억압하기 위하여 decoupling capacitor를 사용하는 것이 일반적이다.
그러나 decupling capacitor를 사용하여 파워 분포 네트워크(PDN: Power Distribution Network)의 임피던스(impedance)를 낮추는 방법은 실제 decupling capacitor의 인덕턴스 성분과 장착 시 발생하는 인덕턴스로 인해 임피던스를 낮출 수 있는 효과는 수백 MHz 대역으로 제한적이다.
따라서 GHz 대역 이상에서 발생하는 SSN에 대한 방법론이 필요하였고 이를 위해 보다 광대역의 노이즈 저감을 위하여 전원 면(power plane)을 단위 셀(unit cell)이라는 주기적인 패턴으로 분리하고, 그 사이를 금속 분기(metal branch)를 통하여 연결시키는 주기적인 전자파 저지대 (EBG: Electromagnetic Bandgap) 구조에 관한 연구가 진행되었다.
또한 전자파 저지대 주파수 대역을 보다 낮은 대역까지 확장하기 위하여 분기 지점의 길이를 늘여준 EBG 구조 적용 연구와 주기적으로 분리되어 있는 패턴으로 인해 신호선의 귀환 경로(return path)를 확보하는 것이 용이하지 않아서 깨진 신호선의 신호 무결성(signal integrity)을 확보하기 위한 개선 연구가 진행되었고 최근에는 나선형 공진기를 PCB 에 구현하여 보다 노이즈 차단 주파수 대역을 수백 MHz까지 차단하는 기술 까지 연구되었다.
실제로 PCB 및 패키지 구조에서는 전원면 노이즈를 발생시키는 고속 디지털 스위칭 소자나 이러한 노이즈에 민감하게 반응하는 주요 아날로그/RF 소자들은 특정 영역에만 존재한다. 따라서 단일면 전자파 저지대 구조를 전원 및 접지면의 전체 영역이 아니라 노이즈 원이나 노이즈에 민감한 소자들이 존재하는 영역에만 부분적으로 배치하는 방법이 유용하다.
본 발명의 일실시예에 따른 다층 나선형 공진기는 복수의 나선형 공진기, 상기 복수의 나선형 공진기의 일면을 전기적으로 연결시키는 비아, 및 상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선을 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 전원 판은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하는 유전막과, 상기 제1 면에 배치되는 도전막을 포함하는 전원 판 및 상기 도전막 상에 구비된 입력 전원 면과 전기적으로 연결되는 다층 나선형 공진기를 포함하며, 상기 다층 나선형 공진기는 상하로 적층되어 비아를 통해 전기적으로 연결되며, 폭이 일정한 나선형의 전도체 면을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 무선 통신 기기의 기판에서 노이즈가 민감한 수신 단 부분에 다층 나선형 구조를 삽입하여 고주파 노이즈가 수신 단으로 들어오는 것을 막아 통화 수신 감도 개선을 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 인쇄 회로 기판에서 고속 DDR3/4 신호 전송 등으로 노이즈가 많이 발생하는 부분에 다층 나선형 구조를 삽입하여 고주파 노이즈가 다른 부분으로 전달 되는 것을 막는 필터의 역할을 수행할 수 있다.
본 발명에 따르면, 전류의 방향을 달리하는 여러 개의 나선형 구조를 갖는 다층 공진기를 이용하여, 고속 신호 동작 등으로 야기된 전원 단의 고주파 노이즈가 발생하는 구간에 설치함으로 고주파 노이즈의 전달을 막아 노이즈가 예민한 전원 단을 보호할 수 있다.
본 발명에 따르면, RF 단과 디지털 단 등이 함께 있는 보드 상에서 노이즈가 예민한 전원 단 입구에서 통화 수신감도가 떨어지는 것을 막을 수 있다.
본 발명에 따르면, 구조에 있어서 기존 단층 나선형 구조 대비 공진기가 차지하는 면적을 줄임으로써 인쇄 회로 기판에서 선을 그리거나 부품을 배치할 수 있는 면적을 넓힐 수 있다.
본 발명에 따르면, 부품을 배치하는 면적을 넓힘으로써, 전원 면의 회로 디자인의 제약성을 개선할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기존의 단층 나선형 구조에 대비하여, 높은 인덕턴스 값을 갖거나 필터링을 통해, 높은 노이즈 억압 특성의 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 종래 인쇄 회로 기판 위에 구현한 단층 2바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선에 대한 도면이다.
도 2는 종래 인쇄 회로 기판 위에 구현한 단층 4바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선에 대한 도면이다.
도 3은 인쇄 회로 기판 위에 구현한 다른 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선 예시도를 설명하는 도면이다.
도 4는 인쇄 회로 기판 위에 구현한 같은 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선 예시도를 설명하는 도면이다.
도 5는 2바퀴 나선형 공진기와 4바퀴 나선형 공진기의 지름 비교를 설명하는 도면이다.
도 6은 다른 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기의 전류 방향과 그에 따른 자기장 방향을 설명하는 도면이다.
도 7은 같은 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기의 전류 방향과 그에 따른 자기장 방향을 설명하는 도면이다.
도 8 및 9는 동시 스위칭 노이즈 저감 정도를 확인 하기 위한 시뮬레이션 블록도를 설명하는 도면이다.
도 10은 나선형 공진기 삽입에 따른 주파수 별 노이즈 파워 그래프를 설명하는 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고, 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
종래의 구조와 본 발명에 따른 공진기의 구조를 면밀히 비교하기 위해서, 종래의 구조에 해당하는 도 1 및 도 2를 case 1 및 case 2로 정의한다.
도 1은 종래 인쇄 회로 기판 위에 구현한 단층 2바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선에 대한 도면으로서, 도 1의 나선형 공진기의 구조는 'case 1'로 정의할 수 있다.
또한, 도 2는 종래 인쇄 회로 기판 위에 구현한 단층 4바퀴 나선형 공진기와 연결 비아 및 연결선에 대한 도면으로서, 도 2의 나선형 공진기의 구조는 'case 2'로 정의할 수 있다.
또한, 도 3은 인쇄 회로 기판 위에 구현한 다른 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기와 연결하는 비아 및 연결선을 설명하는 것으로서, 도 3의 나선형 공진기의 구조는 'case 3'으로 정의할 수 있다.
또한, 도 4는 인쇄 회로 기판 위에 구현한 같은 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기와 연결하는 비아 및 연결선을 설명하는 것으로서, 도 4의 나선형 공진기의 구조는 'case 4'로 정의할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 case 3 또는 case 4와 같은 형태의 다층 나선형 공진기를 이용하면, 무선 통신 기기의 기판에서 노이즈가 민감한 수신 단 부분에 다층 나선형 구조를 삽입하여 고주파 노이즈가 수신 단으로 들어오는 것을 막아 통화 수신 감도 개선을 할 수 있다.
또한, 인쇄 회로 기판에서 고속 DDR3/4 신호 전송 등으로 노이즈가 많이 발생하는 부분에 다층 나선형 구조를 삽입하여 고주파 노이즈가 다른 부분으로 전달 되는 것을 막는 필터의 역할을 수행할 수 있다.
또한, 전류의 방향을 달리하는 여러 개의 나선형 구조를 갖는 다층 공진기를 이용하여, 고속 신호 동작 등으로 야기된 전원 단의 고주파 노이즈가 발생하는 구간에 설치함으로써 고주파 노이즈의 전달을 막아 노이즈가 예민한 전원 단을 보호할 수 있다.
뿐만 아니라, RF 단과 디지털 단 등이 함께 있는 보드 상에서 노이즈가 예민한 전원 단 입구에서 통화 수신감도가 떨어지는 것을 막을 수 있다.
또한, 구조에 있어서 기존 단층 나선형 구조 대비 공진기가 차지하는 면적을 줄임으로써 인쇄 회로 기판에서 선을 그리거나 부품을 배치할 수 있는 면적이 넓힐 수 있고, 부품을 배치하는 면적을 넓힘으로써, 전원 면의 회로 디자인의 제약성을 개선할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 기존의 단층 나선형 구조에 대비하여, 높은 인덕턴스 값을 갖거나 필터링을 통해, 높은 노이즈 억압 특성의 효과를 기대할 수 있다.
이를 위해, 본 발명의 일실시예에 따른 다층 나선형 공진기는 복수의 나선형 공진기, 상기 복수의 나선형 공진기의 일면, 예를 들어 상기 복수의 나선형 공진기의 중심면을 전기적으로 연결시키는 비아(via), 및 상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선을 포함할 수 있다.
예를 들어, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 복수의 나선형 공진기는 폭이 일정한 전도체 면을 포함할 수 있다.
본 발명의 모든 인쇄 회로 기판의 유전체는 상대 유전율이 4.4이고, 손실 탄젠트가 0.02인 FR-4를 사용하였다. 이하에서는 다층 나선형 공진기의 구조 및 이에 따른 효과가 중점적으로 설명될 것이다.
먼저, 도 3에 도시된 'case 3'의 형태로 형성되는 다층 나선형 공진기를 설명하면, 복수의 나선형 공진기(310, 320), 상기 복수의 나선형 공진기의 일면을 전기적으로 연결시키는 비아(330), 및 상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선(340, 350) 등을 포함할 수 있다.
복수의 나선형 공진기(310, 320)는 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 다른 방향으로 전류가 흐르도록 형성될 수 있다.
즉, 연결선(350)으로부터 전류가 유입되는 경우, 제2 나선형 공진기(320)의 시계 방향으로 상기 유입되는 전류가 흐르고, 상기 유입되는 전류는 비아(330)를 통해서, 제1 나선형 공진기(310)로 전달될 수 있다.
이에, 제1 나선형 공진기(310)의 중심으로부터 바깥쪽의 방향으로 상기 유입되는 전류가 흘러나가기 때문에 시계 반대 방향으로 전류가 흐를 수 있다.
즉, 제1 나선형 공진기(310)와 제2 나선형 공진기(320)에는 상호 반대 방향의 전류가 흐를 수 있다.
이와 같이 다층 나선형 공진기의 구조에서, 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 다른 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 구조를 'case 3'으로 구분한다.
본 발명에 다층으로 형성되는 나선형 공진기는 전기적으로 긴 전류선로를 갖는 나선형 공진기의 구조적 특성에 의하여, 유사한 크기의 다른 공진기들에 비하여 인덕티브한 특성을 갖는다. 또한, 인덕티브한 특성에 따라 첫 번째 공진 주파수는 비교적 낮은 주파수 대역에 나타날 수 있다.
이러한 나선형 공진기의 특징을 이용하는 본 발명은 수백 MHz 대역에서 발생하는 SSN 및 GBN을 억압하기 위해 사용되는 decoupling capacitor의 필요성을 없앨 수 있다. 또한 큰 인덕턴스를 갖는 공진기의 특성을 이용하여, 전원면이 RF-chock 혹은 저역필터 (low-pass filter)와 같은 특성을 만들 수 있다.
다음으로, 도 4에 도시된 'case 4'의 형태로 형성되는 다층 나선형 공진기를 설명하면, 다층 나선형 공진기는 복수의 나선형 공진기(410, 420), 상기 복수의 나선형 공진기의 일면을 전기적으로 연결시키는 비아(430), 및 상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선(440, 450)을 포함할 수 있다.
도 3의 case 3의 구조와는 달리, 복수의 나선형 공진기(410, 420)는 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 같은 방향으로 전류가 흐르도록 형성될 수 있다.
연결선(450)으로부터 전류가 유입되는 경우, 제2 나선형 공진기(420)의 반시계 방향으로 상기 유입되는 전류가 흐르고, 상기 유입되는 전류는 비아(430)를 통해서, 제1 나선형 공진기(410)로 전달될 수 있다.
이에, 제1 나선형 공진기(410)의 중심으로부터 바깥쪽의 방향으로 상기 유입되는 전류가 흘러나가기 때문에 제2 나선형 공진기(420)에서의 방향과 동일하게 반시계 방향으로 전류가 흐를 수 있다.
즉, 제1 나선형 공진기(410)와 제2 나선형 공진기(420)에는 상호 동일한 방향의 전류가 흐를 수 있다.
이와 같이 다층 나선형 공진기의 구조에서, 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 같은 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 구조를 'case 4'로 구분한다.
도 5는 2바퀴 나선형 공진기(510)와 4바퀴 나선형 공진기(520)의 지름 비교를 설명하는 도면이다.
2바퀴 나선형 공진기(510)는 지름이 대략 1.4mm이고, 4바퀴 나선형 공진기(520)는 지름이 대략 2.2mm이다.
도 2와 같이 Case 2에 적용될 수 있는 4바퀴 나선형 공진기(520)에 대비하여 Case 3과 Case 4에 적용될 수 있는 2층 형태의 2바퀴 나선형 공진기(510)로 구현함으로써, 공진기 면적이 약 45% 정도 감소하여 인쇄 회로 기판에서 설계 자유도를 증가 시킬 수 있다.
먼저, DDR3 (800 MHz) 고속 신호 전송 시 발생되는 주파수 영역별 파워 레벨을 표 1과 같이 확인할 수 있다.
[표 1]
Figure pat00001

[표 1]을 살펴보면, 3체배 주파수 영역인 2.4 GHz까지 99%의 에너지가 포함되어 있는 것을 확인하여 나선형 공진기에서도 이 영역까지의 노이즈를 차단할 수 있다.
또한 나선형 공진기의 노이즈 저감 성능의 지표가 되는 인덕턴스 값과 노이즈 저감 대역의 기준이 되는 공진 주파수 값을 시뮬레이션 수행하여 [표 2]과 같은 결과를 도출할 수 있다.
[표 2]
Figure pat00002

[표 2]의 Case 3 과 Case 4의 인덕턴스 값이 10.3nH 및 11.1nH로 같은 방향의 전류가 흐르게 하는 다층 나선형 공진기가 보다 높은 인덕턴스를 갖는 것을 확인할 수 있다. 그러나 공진 주파수는 다른 방향의 전류가 흐르는 경우가 3.8GHz로 0.2GHz 높은 것을 확인 할 수 있다.
같은 전류 방향을 갖는 Case 4가 0.8nH 높은 인덕턴스 값을 갖는 이유는 도 7과 같이 아래위로 같은 방향의 전류 방향을 갖는 2-turn 나선형 공진기의 경우 전류 방향이 동일함으로 인해 상호 인덕턴스 값이 보강 간섭을 일으켜 조금 더 높은 인덕턴스를 갖게 되는 특성을 얻을 수 있었고, 도 6에서 보는 것과 같이 다른 전류 방향을 갖는 다층 나선형 공진기 Case 3의 경우 전류가 다른 방향으로 이동하는 특성으로 인해, 두 자기장이 서로의 흐름을 방해하여　고주파 전류의 흐름을 방해하여 고주파 필터링 효과를 높여 줄 수 있는 특성을 갖는다.
도 6은 다른 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기(600)의 전류 방향과 그에 따른 자기장 방향을 설명하는 도면이다.
다층 2바퀴 나선형 공진기(600)는 제1 나선형 공진기(610)와 제2 나선형 공진기(640)의 2층 구조로 형성되고, 도면부호 620의 방향으로 유입되는 전류에 의해 제1 나선형 공진기(610)에 도면부호 630과 같이 자기장이 형성될 수 있다.
또한, 비아(670)를 통해 전달된 전류에 의해서 제2 나선형 공진기(640)에는 도면부호 650의 방향으로 전류가 흐르게 되고, 전류의 흐름에 따라 도면부호 660과 같은 방향으로 자기장이 형성될 수 있다.
즉, 도 6의 다층 2바퀴 나선형 공진기(600)는 case 3으로서 각 층의 나선형 공진기에 형성되는 자기장이 서로의 흐름을 방해하여 고주파 전류의 흐름을 방해함으로써, 결과적으로 고주파 필터링의 효과를 높일 수 있다.
도 7은 같은 방향으로 전류가 흐르는 다층 2바퀴 나선형 공진기의 전류 방향과 그에 따른 자기장 방향을 설명하는 도면이다.
다층 2바퀴 나선형 공진기(700)는 제1 나선형 공진기(710)와 제2 나선형 공진기(740)의 2층 구조로 형성되고, 720 방향으로 유입되는 전류에 의해 제1 나선형 공진기(710)에 도면부호 730과 같이 자기장이 형성될 수 있다.
또한, 비아(770)를 통해 전달된 전류에 의해서 제2 나선형 공진기(740)에는 도면부호 750의 방향으로 전류가 흐르게 되고, 전류의 흐름에 따라 도면부호 760과 같은 방향으로 자기장이 형성될 수 있다.
즉, 도 7의 다층 2바퀴 나선형 공진기(700)는 case 4로서 각 층의 나선형 공진기에서 흐르는 전류 방향이 동일함으로써 나선형 공진기 간에 상호 인덕턴스 값이 보강 간섭을 일으켜 조금 더 높은 인덕턴스를 갖게 되는 특성을 얻을 수 있다.
도 8 및 9는 동시 스위칭 노이즈 저감 정도를 확인 하기 위한 시뮬레이션 블록도를 설명하는 도면이다.
발명의 효과를 보기 위하여 시뮬레이션을 통해 인쇄 회로 기판상에 임의의 동시 스위칭 노이즈를 발생하고 각각의 나선형 공진기를 삽입한 경우 얼마나 노이즈가 줄어드는지를 시뮬레이션 할 수 있다. 실험 조건은 도 8과 같이 기판에 다층 나선형 구조의 공진기 삽입을 통해 4개의 DDR3 스위칭을 동시에 동작함으로 인해 발생한 노이즈가 얼마나 감소하는지를 확인할 수 있다.
다른 파워단으로의 노이즈 전달 감소를 확인하기 위해 도 9와 같이 과도 응답 특성을 볼 수 있는 회로 시뮬레이션 환경을 구현하여 해석할 수 있다.
그 결과 도 10과 같이 본 발명에 따른 다층 나선형 공진기를 삽입하지 않은 것에 대비하여 노이즈 파워가 얼마나 작아 지는지 확인 할 수 있다.
도 10은 나선형 공진기 삽입에 따른 주파수 별 노이즈 파워 그래프를 설명하는 도면으로서, 이때의 체배 주파수에 노이즈 파워는 [표 3]과 같이 확인될 수 있다.
[표 3]
Figure pat00003
다시 말해, 다른 방향 전류 흐름을 갖는 다층 나선형 공진기 Case 3와 같이 층간 상호간의 전류 흐름의 방향을 다르게 구현한 다층 나선형 구조를 통해 자기장의 흐름을 서로 방해하여 고주파 신호에서 더욱 높은 노이즈 필터링 효과를 기대할 수 있다.
뿐만 아니라, 부수적으로 다층 구조의 나선형 구조로서 단층 나선형 공진기 대비 보다 작은 면에 나선형 공진기를 구현 할 수 있다.
부가적으로 같은 방향 전류 흐름을 갖는 다층 나선형 구조는 상대적으로 높은 인덕턴스 값과 낮은 공진 주파수 특성으로 인해 저주파 노이즈 차단에 더 용이 한 반면, 본 연구에서 제시하는 다른 방향의 전류 흐름을 갖는 다층 나선형 구조의 경우는 보다 높은 고주파 대역까지의 노이즈 차단 특성을 갖는다.
본 발명의 일실시예에 따른 다층 나선형 공진기는 회로기판에 적용될 수 있다.
따라서, 본 발명을 이용하면 RF단과 디지털 단 등이 함께 있는 보드 상에서 노이즈가 예민한 전원 단 입구에 다층 공진기를 삽입하여 통화 수신감도가 떨어지는 것을 막을 수 있는 목적으로도 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 구조에 있어서 기존 단층 나선형 구조 대비 공진기가 차지하는 면적이 줄어듦으로 인해 인쇄 회로 기판에서 선을 그리거나 부품을 배치할 수 있는 면적이 늘어나 전원 면의 회로 디자인의 제약성을 개선할 수 있다.
이를 위해, 상기 회로기판은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하는 유전막과, 상기 제1 면에 배치되는 도전막을 포함하는 회로기판과, 상기 도전막 상에 구비된 입력 전원 면과 전기적으로 연결되는 다층 나선형 공진기를 포함할 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 이때 상기 다층 나선형 공진기는 상하로 적층되어 비아를 통해 전기적으로 연결되며, 폭이 일정한 나선형의 전도체 면을 포함할 수 있다.
또한, 상기 다층 나선형 공진기는 상하로 적층되는 복수의 나선형 공진기를 포함하고, 상기 복수의 나선형 공진기는 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 다른 방향으로 전류가 흐르도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 다층 나선형 공진기는 상하로 적층되는 복수의 나선형 공진기를 포함하고, 상기 복수의 나선형 공진기는 동일한 방향으로 전류가 흐르도록 형성될 수 있다.
본 발명의 범위 또는 기술적 사상을 벗어나지 않고 본 발명의 구조가 다양하게 수정되거나 변경될 수 있음은 이 분야에 숙련된 자들에게 자명하다. 상술한 내용을 고려하여 볼 때, 만약 본 발명의 수정 및 변경이 아래의 청구항들 및 동등물의 범주 내에 속한다면, 본 발명이 이 발명의 변경 및 수정을 포함하는 것으로 여겨진다.
310: 제1 나선형 공진기 320: 제2 나선형 공진기
330: 비아 340: 연결선
350: 연결선

Claims (8)

  1. 복수의 나선형 공진기;
    상기 복수의 나선형 공진기의 일면을 전기적으로 연결시키는 비아; 및
    상기 복수의 나선형 공진기 중에서 적어도 하나에 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 연결선
    을 포함하는 다층 나선형 공진기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 나선형 공진기는 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 다른 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 다층 나선형 공진기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 나선형 공진기는 동일한 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 다층 나선형 공진기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비아는 상기 복수의 나선형 공진기의 중심면을 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 다층 나선형 공진기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 나선형 공진기는,
    폭이 일정한 전도체 면을 포함하는 다층 나선형 공진기.
  6. 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하는 유전막과, 상기 제1 면에 배치되는 도전막을 포함하는 기판; 및
    상기 도전막 상에 구비된 입력 전원 면과 전기적으로 연결되는 다층 나선형 공진기를 포함하며,
    상기 다층 나선형 공진기는
    상하로 적층되어 비아를 통해 전기적으로 연결되며, 폭이 일정한 나선형의 전도체 면을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로기판.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 다층 나선형 공진기는,
    상하로 적층되는 복수의 나선형 공진기를 포함하고,
    상기 복수의 나선형 공진기는 서로 인접한 나선형 공진기들이 서로 다른 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 회로기판.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 다층 나선형 공진기는,
    상하로 적층되는 복수의 나선형 공진기를 포함하고,
    상기 복수의 나선형 공진기는 동일한 방향으로 전류가 흐르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 회로기판.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102274450B1 (ko) * 2020-01-07 2021-07-08 삼원액트 주식회사 인덕티브 센서 제조 방법 및 이에 의해 제조된 인덕티브 센서

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