KR20130036599A - Printed circuit board and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
문헌 1에서 개시하고 있는 바와 같이, 파인 피치(Fine pitch)에서 솔더 범프의 피치 한계와 신뢰성을 극복할 수 있는 차세대 범핑 기술인 메탈 포스트 범핑 기술 개발이 제안되고 있다.As disclosed in Document 1, development of a metal post bumping technology, which is a next-generation bumping technology capable of overcoming the pitch limit and the reliability of solder bumps in fine pitch, has been proposed.
[문헌 1] KR 2010-0060968 A 2010.06.07 [Document 1] KR 2010-0060968 A 2010.06.07
그러나, 상술한 메탈 포스트는 미세 피치에 대응할 수 있도록 포스트의 높이를 높게 형성할 수 있다는 장점이 있는 반면, 솔더 레지스트 상에 형성된 시드층과의 밀착력 저하 문제점이 발생한다.However, the above-described metal post has an advantage in that the height of the post can be formed high so as to cope with the fine pitch, but the problem of deterioration of adhesion with the seed layer formed on the solder resist occurs.
상술한 문제점을 개선하기 위해, 솔더 레지스트 상에 표면 조도를 형성하는 기술이 제안되고 있는데, 이는, 솔더 레지스트에 손상이 발생한다는 문제점이 있다.In order to improve the above-mentioned problem, a technique of forming surface roughness on the solder resist has been proposed, which has a problem that damage occurs in the solder resist.
상술한 솔더 레지스트와 관련된 문제점으로 인해, 솔더 레지스트 형성 공정 이후의 진행에 어려움이 발생한다는 문제점이 있다.Due to the problems associated with the above-described solder resist, there is a problem that a difficulty occurs after the solder resist forming process.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 측면은 메탈 포스트 형성 시 솔더 레지스트와 시드층의 밀착력 저하로 발생하는 시드층의 들뜸, 솔더 레지스트의 손상 등과 같은 문제점을 개선하기 위한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
The present invention is to solve the above-described problems of the prior art, an aspect of the present invention is to improve the problems such as lifting of the seed layer, damage to the solder resist, etc. caused by the decrease in adhesion between the solder resist and the seed layer when forming a metal post To provide a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
본 발명의 실시예에 의한 인쇄회로기판의 제조방법은 접속 패드 및 회로 패턴을 포함하는 회로층이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계;A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes preparing a base substrate on which a circuit layer including a connection pad and a circuit pattern is formed;
상기 회로층을 포함한 상기 베이스 기판 상에 상기 접속 패드가 노출되는 제1 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층을 형성하는 단계;Forming a solder resist layer having a first open portion on which the connection pad is exposed, on the base substrate including the circuit layer;
상기 솔더 레지스트층 상에 상기 제1 오픈부에 대응되는 영역에 제2 오픈부를 갖는 도금 레지스트층을 형성하는 단계;Forming a plating resist layer having a second open portion in a region corresponding to the first open portion on the solder resist layer;
상기 제1 및 제2 오픈부를 포함하여 상기 도금 레지스트층 상에 시드층을 형성하는 단계; 및Forming a seed layer on the plating resist layer including the first and second open portions; And
상기 제1 및 제2 오픈부에 메탈 포스트를 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.
Forming a metal post in the first and second open portion; may include.
여기에서, 상기 메탈 포스트를 형성하는 단계는,Here, the step of forming the metal post,
상기 제1 및 제2 오픈부를 포함하여 상기 도금 레지스트층 상에 금속층을 형성하는 단계; 및Forming a metal layer on the plating resist layer including the first and second open portions; And
상기 도금 레지스트층 상에 형성된 상기 시드층 및 금속층을 제거하는 단계;를 포함할 수 있다.And removing the seed layer and the metal layer formed on the plating resist layer.
또한, 상기 금속층을 제거하는 단계 이후에,Further, after removing the metal layer,
상기 도금 레지스트층을 제거하는 단계;를 더 포함할 수 있다.The method may further include removing the plating resist layer.
또한, 상기 도금 레지스트층을 형성하는 단계에서,Further, in the forming of the plating resist layer,
상기 도금 레지스트층은 드라이 필름일 수 있다. The plating resist layer may be a dry film.
또한, 시드층을 형성하는 단계에서,Further, in the forming of the seed layer,
상기 제1 및 제2 오픈부를 통해 노출된 접속 패드 상부, 상기 제1 및 제2 오픈부의 내벽 및 상기 도금 레지스트층 상부에 시드층을 형성할 수 있다.A seed layer may be formed on an upper portion of the connection pad exposed through the first and second openings, an inner wall of the first and second openings, and an upper portion of the plating resist layer.
또한, 상기 메탈 포스트를 형성하는 단계에서,Further, in the forming of the metal post,
상기 메탈 포스트는 구리로 이루어질 수 있다.
The metal post may be made of copper.
다른 본 발명의 실시예에 의한 인쇄회로기판은, The printed circuit board according to another embodiment of the present invention,
접속 패드 및 회로 패턴이 포함된 회로층이 형성된 베이스 기판;A base substrate on which a circuit layer including a connection pad and a circuit pattern is formed;
상기 회로층을 포함한 상기 베이스 기판 상에 형성되며, 상기 접속 패드가 노출되도록 형성된 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층;A solder resist layer formed on the base substrate including the circuit layer and having an open portion formed to expose the connection pads;
상기 오픈부에 형성된 메탈 포스트; 및A metal post formed on the open portion; And
상기 오픈부를 포함하여 상기 메탈 포스트 측면에 형성된 시드층;을 포함할 수 있다. And a seed layer formed on a side of the metal post including the open part.
여기에서, 상기 시드층은,Here, the seed layer,
상기 오픈부를 포함하여 상기 메탈 포스트 측면에 형성되되, 상기 메탈 포스트 측면의 일부에 형성될 수 있다. Including the open portion is formed on the side of the metal post, it may be formed on a portion of the metal post side.
또한, 상기 메탈 포스트는 구리로 이루어질 수 있다.
In addition, the metal post may be made of copper.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.
본 발명의 실시예에 의한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 메탈 포스트 형성 단계 직전인 솔더 레지스트층 및 도금 레지스트 형성 이후에 시드층을 형성하기 때문에, 솔더 레지스트층과 시드층 간의 밀착력 저하로 인해 발생하는 시드층 들뜸 현상을 예방할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다. The printed circuit board and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention form a seed layer after the formation of the solder resist layer and the plating resist immediately before the metal post forming step, and thus, the adhesion between the solder resist layer and the seed layer is reduced. The effect of preventing seed layer lifting can be expected.
또한, 본 발명의 실시예는 솔더 레지스트와 시드층 간의 접촉 면적을 최소화하기 때문에, 솔더 레지스트와 시드층 간의 밀착력 향상을 위해 솔더 레지스트의 표면에 조도를 형성하는 절차를 생략할 수 있으며, 이로 인해 솔더 레지스트의 손상을 개선할 수 있다는 장점이 있다.
In addition, since the embodiment of the present invention minimizes the contact area between the solder resist and the seed layer, a procedure of forming roughness on the surface of the solder resist may be omitted in order to improve adhesion between the solder resist and the seed layer. There is an advantage that the damage of the resist can be improved.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 인쇄회로기판의 구성을 나타내는 단면도,
도 2 내지 도 8은 도 1의 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 인쇄회로기판의 구성을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention;
2 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the printed circuit board of FIG. 1;
9 is a cross-sectional view showing the configuration of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. In this specification, terms such as first and second are used to distinguish one component from another component, and a component is not limited by the terms.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
인쇄회로기판Printed circuit board
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 인쇄회로기판의 구성을 나타내는 단면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 의한 인쇄회로기판의 구성을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, Figure 9 is a cross-sectional view showing the configuration of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 인쇄회로기판(100)은 접속 패드(121) 및 회로 패턴(123)이 포함된 회로층(120)이 형성된 베이스 기판(110), 회로층(120)을 포함한 베이스 기판(110) 상에 형성되며, 접속 패드(121)가 노출되도록 형성된 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층(130), 오픈부에 형성된 메탈 포스트(170) 및 오픈부를 포함하여 메탈 포스트 측면에 형성된 시드층(150)을 포함할 수 있다.
As shown in FIG. 1, the
한편, 도 9에서 도시하는 바와 같이, 시드층(150)은 오픈부를 포함하여 메탈 포스트(170) 측면에 형성되되, 메탈 포스트(170) 측면의 일부에 형성될 수 있다.
On the other hand, as shown in Figure 9, the
또한, 메탈 포스트(170)는 구리로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
In addition, the
또한, 베이스 기판(110)은 절연층에 접속 패드를 포함하는 1층 이상의 회로가 형성된 회로기판으로서 바람직하게는 인쇄회로기판일 수 있다. 본 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구체적인 내층 회로 구성은 생략하여 도시하였으나, 당업자라면 상기 베이스 기판(110)으로서 절연층에 1층 이상의 회로가 형성된 통상의 회로기판이 적용될 수 있음을 충분히 인식할 수 있을 것이다.In addition, the
상기 절연층으로는 수지 절연층이 사용될 수 있다. 상기 수지 절연층으로는 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 유리 섬유 또는 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들어, 프리프레그가 사용될 수 있고, 또한 광경화성 수지 등이 사용될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
As the insulating layer, a resin insulating layer may be used. As the resin insulating layer, a thermosetting resin such as an epoxy resin, a thermoplastic resin such as polyimide, or a resin impregnated with a reinforcing material such as glass fiber or an inorganic filler, for example, a prepreg may be used, and also a photocurable material. Resin and the like may be used, but is not particularly limited thereto.
또한, 상기 접속 패드(121) 및 회로 패턴(123)를 포함하는 회로층은 회로기판 분야에서 회로용 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하며, 인쇄회로기판에서는 구리를 사용하는 것이 전형적이다.
In addition, the circuit layer including the
또한, 상기 솔더 레지스트층(130)은 최외층 회로를 보호하는 보호층 기능을 하며, 전기적 절연을 위해 형성되는 것으로서, 최외층의 접속 패드(121)를 노출시키기 위해 오픈부가 형성된다. 상기 솔더 레지스트층(130)은 당업계에 공지된 바에 따라, 예를 들어, 솔더레지스트 잉크, 솔더레지스트 필름 또는 캡슐화제 등으로 구성될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the
상기 노출된 접속 패드(121)에는 필요에 따라 표면처리층(미도시됨)이 더 형성될 수 있다.A surface treatment layer (not shown) may be further formed on the exposed
상기 표면처리층은 당업계에 공지된 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 전해 금도금(Electro Gold Plating), 무전해 금도금(Immersion Gold Plating), OSP(Organic Solderability Preservative) 또는 무전해 주석도금(Immersion Tin Plating), 무전해 은도금(Immersion Silver Plating), ENIG(Electroless Nickel and Immersion Gold; 무전해 니켈도금/치환금도금), DIG 도금(Direct Immersion Gold Plating), HASL(Hot Air Solder Leveling) 등에 의해 형성될 수 있다.
The surface treatment layer is not particularly limited as long as it is known in the art, for example, Electro Gold Plating, Immersion Gold Plating, Organic Solderability Preservative, or Electroless Tin Plating Formed by Immersion Tin Plating, Immersion Silver Plating, ENIG (Electroless Nickel and Immersion Gold), Electroless Nickel Plating / Replacement Plating, DIG Plating, Direct Immersion Gold Plating, Hot Air Solder Leveling Can be.
인쇄회로기판의 제조방법Manufacturing method of printed circuit board
도 2 내지 도 8은 도 1의 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
2 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the printed circuit board of FIG. 1.
먼저, 도 2에서 도시하는 바와 같이, 접속 패드(121) 및 회로 패턴(123)을 포함하는 회로층(120)이 형성된 베이스 기판(110)을 준비할 수 있다.
First, as shown in FIG. 2, the
여기에서, 베이스 기판(110)은 절연층에 접속 패드를 포함하는 1층 이상의 회로가 형성된 회로기판으로서 바람직하게는 인쇄회로기판일 수 있다. 본 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구체적인 내층 회로 구성은 생략하여 도시하였으나, 당업자라면 상기 베이스 기판(110)으로서 절연층에 1층 이상의 회로가 형성된 통상의 회로기판이 적용될 수 있음을 충분히 인식할 수 있을 것이다.Here, the
상기 절연층으로는 수지 절연층이 사용될 수 있다. 상기 수지 절연층으로는 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 유리 섬유 또는 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들어, 프리프레그가 사용될 수 있고, 또한 광경화성 수지 등이 사용될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
As the insulating layer, a resin insulating layer may be used. As the resin insulating layer, a thermosetting resin such as an epoxy resin, a thermoplastic resin such as polyimide, or a resin impregnated with a reinforcing material such as glass fiber or an inorganic filler, for example, a prepreg may be used, and also a photocurable material. Resin and the like may be used, but is not particularly limited thereto.
다음, 도 2에서 도시하는 바와 같이, 회로층(120)을 포함한 베이스 기판(110) 상에 접속 패드(121)가 노출되는 제1 오픈부(131)를 갖는 솔더 레지스트층(130)을 형성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 2, the solder resist
상기 솔더 레지스트층(130)은 당업계에 공지된 바에 따라, 예를 들어, 솔더레지스트 잉크, 솔더레지스트 필름 또는 캡슐화제 등으로 구성될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
The solder resist
다음, 도 3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 솔더 레지스트층(130) 상에 제1 오픈부(131)에 대응되는 영역에 제2 오픈부(141)를 갖는 도금 레지스트층(140)을 형성할 수 있다.Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the plating resist
이때, 도금 레지스트층(140)은 드라이 필름(dry film) 또는 액상의 포지티브 포토 레지스트(P-LPR; positive liquid photo resist)와 같은 감광성 레지스트가 사용될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
In this case, the plating resist
다음, 도 5에서 도시하는 바와 같이, 제1 및 제2 오픈부(131, 141)를 포함하여 도금 레지스트층(140) 상에 시드층(150)을 형성할 수 있다.
Next, as shown in FIG. 5, the
이때, 시드층(150)은 제1 및 제2 오픈부(131, 141)를 통해 노출된 접속 패드(121) 상부, 제1 및 제2 오픈부(131, 141)의 내벽 및 도금 레지스트층(140) 상부에 형성할 수 있다. In this case, the
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 실시예는 시드층(150)이 시드층(150)과의 밀착력이 약한 솔더 레지스트층(130)과의 접촉 면적보다 도금 레지스트층(140)과의 접촉 면적이 크기 때문에, 솔더 레지스트층과 시드층 간의 밀착력 저하로 발생하는 시드층의 들뜸 현상을 방지할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다. As described above, in the exemplary embodiment of the present invention, the contact area of the
또한, 시드층(150)과 도금 레지스트층(140)의 밀착력 향상으로 인해, 시드층과의 접착력을 위해 솔더 레지스트층(130) 상에 표면 조도를 형성하는 공정을 생략할 수 있으며, 이로 인해 공정 단순화 및 솔더 레지스트층의 손상 예방 효과를 기대할 수 있다.
In addition, due to the improved adhesion between the
또한, 시드층(150)은, 예를 들어 탈지(cleaner) 과정, 소프트 부식(soft etching) 과정, 예비 촉매처리(pre-catalyst)과정, 촉매 처리 과정, 활성화(accelerator) 과정, 무전해 도금 과정, 및 산화방지 처리과정을 포함하는 일반적인 촉매 석출 방식을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
In addition, the
다음, 도 6 및 도 7에서 도시하는 바와 같이, 제1 및 제2 오픈부(131, 141)에 메탈 포스트(170)를 형성할 수 있다.
Next, as illustrated in FIGS. 6 and 7,
보다 상세히 설명하면, 메탈 포스트(170)를 형성하는 단계는, 제1 및 제2 오픈부(131, 141)를 포함하여 도금 레지스트층(140) 상에 금속층(160)을 형성하는 단계 및 도금 레지스트층(140) 상에 형성된 시드층(150) 및 금속층(160)을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. In more detail, the forming of the
이때, 도금 레지스트층(140) 상에 금속층(160)을 형성하는 단계는 실질적으로 도금 레지스트층(140) 상에 형성된 시드층(150) 상에 금속층(160)을 형성하는 단계이다.In this case, the forming of the
또한, 시드층(150)은 퀵 에칭(quick etching) 또는 플래시 에칭 등에 의해 제거될 수 있다.In addition, the
도 7에서 도시하는 바와 같이, 시드층(150) 및 금속층(160)을 제거할 때, 제1 및 제2 오픈부(131, 141) 내벽에 형성된 시드층 및 제1 및 제2 오픈부(131, 141)에 형성된 메탈 포스트(170)는 남겨둔 채, 도금 레지스트층(130) 상에 형성된 시드층(150) 및 금속층(160)을 제거하는 것이다.
As shown in FIG. 7, when the
또한, 금속층을 제거하는 단계(160) 이후에, 도금 레지스트층(140)을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. In addition, after removing the
이때, 도금 레지스트층(140)은 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨(KOH) 등의 박리액을 사용하여 제거될 수 있다.
In this case, the plating resist
또한, 메탈 포스트(170)는 구리로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.In addition, the
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
Although the present invention has been described in detail through specific embodiments, it is for explaining the present invention in detail, and a printed circuit board and a method of manufacturing the same according to the present invention are not limited thereto. It is apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
100 : 인쇄회로기판
110 : 베이스 기판
120 : 회로층
121 : 접속 패드
123 : 회로 패턴
130 : 솔더 레지스트층
131 : 제1 오픈부
140 : 도금 레지스트층
141 : 제2 오픈부
150 : 시드층
160 : 금속층
170 : 메탈 포스트100: printed circuit board
110: Base substrate
120: circuit layer
121: connection pad
123: circuit pattern
130: solder resist layer
131: first opening
140: plating resist layer
141: second opening
150: seed layer
160: metal layer
170: metal post
Claims (9)
상기 회로층을 포함한 상기 베이스 기판 상에 상기 접속 패드가 노출되는 제1 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층을 형성하는 단계;
상기 솔더 레지스트층 상에 상기 제1 오픈부에 대응되는 영역에 제2 오픈부를 갖는 도금 레지스트층을 형성하는 단계;
상기 제1 및 제2 오픈부를 포함하여 상기 도금 레지스트층 상에 시드층을 형성하는 단계; 및
상기 제1 및 제2 오픈부에 메탈 포스트를 형성하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.Preparing a base substrate on which a circuit layer including a connection pad and a circuit pattern is formed;
Forming a solder resist layer having a first open portion on which the connection pad is exposed, on the base substrate including the circuit layer;
Forming a plating resist layer having a second open portion in a region corresponding to the first open portion on the solder resist layer;
Forming a seed layer on the plating resist layer including the first and second open portions; And
Forming metal posts on the first and second open portions;
And a step of forming the printed circuit board.
상기 메탈 포스트를 형성하는 단계는,
상기 제1 및 제2 오픈부를 포함하여 상기 도금 레지스트층 상에 금속층을 형성하는 단계; 및
상기 도금 레지스트층 상에 형성된 상기 시드층 및 금속층을 제거하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.The method according to claim 1,
Forming the metal post,
Forming a metal layer on the plating resist layer including the first and second open portions; And
Removing the seed layer and the metal layer formed on the plating resist layer;
And a step of forming the printed circuit board.
상기 금속층을 제거하는 단계 이후에,
상기 도금 레지스트층을 제거하는 단계;
를 더 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.The method according to claim 2,
After removing the metal layer,
Removing the plating resist layer;
Further comprising the steps of:
상기 도금 레지스트층을 형성하는 단계에서,
상기 도금 레지스트층은 드라이 필름인 인쇄회로기판의 제조방법.The method according to claim 1,
In the step of forming the plating resist layer,
The plating resist layer is a dry film manufacturing method of a printed circuit board.
상기 시드층을 형성하는 단계에서,
상기 제1 및 제2 오픈부를 통해 노출된 접속 패드 상부, 상기 제1 및 제2 오픈부의 내벽 및 상기 도금 레지스트층 상부에 시드층을 형성하는 인쇄회로기판의 제조방법.The method according to claim 1,
In the forming of the seed layer,
And forming a seed layer on the connection pads exposed through the first and second openings, the inner walls of the first and second openings, and the plating resist layer.
상기 메탈 포스트를 형성하는 단계에서,
상기 메탈 포스트는 구리로 이루어진 인쇄회로기판의 제조방법.The method according to claim 1,
In the forming of the metal post,
The metal post is a method of manufacturing a printed circuit board made of copper.
상기 회로층을 포함한 상기 베이스 기판 상에 형성되며, 상기 접속 패드가 노출되도록 형성된 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층;
상기 오픈부에 형성된 메탈 포스트; 및
상기 오픈부를 포함하여 상기 메탈 포스트 측면에 형성된 시드층;
을 포함하는 인쇄회로기판.A base substrate on which a circuit layer including a connection pad and a circuit pattern is formed;
A solder resist layer formed on the base substrate including the circuit layer and having an open portion formed to expose the connection pads;
A metal post formed on the open portion; And
A seed layer formed on a side of the metal post including the open part;
And a printed circuit board.
상기 시드층은,
상기 오픈부를 포함하여 상기 메탈 포스트 측면에 형성되되, 상기 메탈 포스트 측면의 일부에 형성된 인쇄회로기판.The method of claim 7,
The seed layer,
The printed circuit board is formed on the side of the metal post including the open portion, a portion of the metal post side.
상기 메탈 포스트는 구리로 이루어진 인쇄회로기판. The method of claim 7,
The metal post is a printed circuit board made of copper.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110100776A KR20130036599A (en) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | Printed circuit board and method of manufacturing the same |
TW100148416A TW201316864A (en) | 2011-10-04 | 2011-12-23 | Printed circuit board and method of manufacturing the same |
JP2011283849A JP2013080889A (en) | 2011-10-04 | 2011-12-26 | Printed circuit board and manufacturing method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110100776A KR20130036599A (en) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | Printed circuit board and method of manufacturing the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130036599A true KR20130036599A (en) | 2013-04-12 |
Family
ID=48437860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110100776A KR20130036599A (en) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | Printed circuit board and method of manufacturing the same |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013080889A (en) |
KR (1) | KR20130036599A (en) |
TW (1) | TW201316864A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10506712B1 (en) * | 2018-07-31 | 2019-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Printed circuit board |
-
2011
- 2011-10-04 KR KR1020110100776A patent/KR20130036599A/en not_active Application Discontinuation
- 2011-12-23 TW TW100148416A patent/TW201316864A/en unknown
- 2011-12-26 JP JP2011283849A patent/JP2013080889A/en active Pending
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201316864A (en) | 2013-04-16 |
JP2013080889A (en) | 2013-05-02 |
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