KR20130016836A - 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20130016836A
KR20130016836A KR1020110078986A KR20110078986A KR20130016836A KR 20130016836 A KR20130016836 A KR 20130016836A KR 1020110078986 A KR1020110078986 A KR 1020110078986A KR 20110078986 A KR20110078986 A KR 20110078986A KR 20130016836 A KR20130016836 A KR 20130016836A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
organic light
layer
electrode
transport layer
Prior art date
Application number
KR1020110078986A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101839331B1 (ko
Inventor
허준영
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020110078986A priority Critical patent/KR101839331B1/ko
Publication of KR20130016836A publication Critical patent/KR20130016836A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101839331B1 publication Critical patent/KR101839331B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14—Carrier transporting layers
    • H10K50/16—Electron transporting layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/15—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating characterised by the solvent used

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 전자 수송층을 용액 공정으로 형성하여 제조 비용을 절감할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 정공 수송층을 형성하는 단계; 상기 정공 수송층 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 발광층 상에 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하는 단계; 및 상기 전자 수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

유기 발광 표시 장치의 제조 방법{METHOD FOR FABRICATING THE ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 전자 수송층을 용액 공정으로 형성하여 제조 비용을 절감할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
다양한 정보를 화면으로 구현하는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로, 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 특히, 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층 양단에 형성된 제 1, 제 2 전극에 전계를 가하여 유기 발광층 내에 전자와 정공을 주입 및 전달시켜 서로 결합할 때의 결합 에너지에 의해 발광되는 전계 발광 현상을 이용하는 표시 장치로, 전자와 정공이 유기 발광층에서 쌍을 이룬 후 여기상태에서 기저상태로 떨어지면서 발광한다.
이러한 유기 발광 표시 장치는 박막화가 가능하며, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)이나 무기 EL(Electro Luminance) 디스플레이에 비해 낮은 전압에서(약 10V 이하) 구동이 가능하여 전력 소모가 비교적 적다. 또한, 경량성 및 색감에 있어 우수한 특성을 가져 많은 사람들의 관심의 대상이 되고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층에서 방출되는 광의 투과 방향에 따라 상부 발광 방식(Top Emission Type)과 하부 발광 방식(Bottom Emission Type)으로 나뉘게 되는데, 하부 발광 방식은 안정성 및 공정이 자유도가 높은 반면 개구율의 제한이 있어 고해상도 제품에 적용하기 어려운 문제점이 있다. 따라서, 최근에는 고개구율 및 고해상도를 갖는 상부 발광 방식에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.
일반적인 유기 발광 표시 장치는 기판, 기판 상에 형성된 유기 발광 표시 소자 및 유기 발광 표시 소자를 외부환경으로부터 격리시키기 위해 유기 발광 표시 소자를 캐핑(Capping)하여 덮는 캐핑층을 포함한다.
이 때, 유기 발광 표시 소자는 제 1 전극, 유기 발광층 및 제 2 전극을 포함한다. 상기와 같은 유기 발광 표시 소자는 제 1 전극과 제 2 전극에 전압을 인가하면 제 1 전극에서 정공이, 제 2 전극에서 전자가 유기 발광층으로 주입되고, 전자와 정공은 유기 발광층에서 재결합하여 엑시톤(Exciton)을 형성하고, 엑시톤이 기저상태로 떨어지면서 발광한다.
특히, 유기 발광 표시 소자는 전자와 정공이 유기 발광층에 잘 주입되도록 제 1 전극(210)과 유기 발광층 사이에 형성된 정공 주입층(Hole Transport Layer; HTL), 정공 수송층(Hole Injection Layer; HIL)과 유기 발광층과 제 2 전극 사이에 형성된 전자 수송층(Electron Injection Layer; EIL), 전자 주입층(Electron Transport Layer; ETL)을 더 포함하여 이루어진다.
그런데, 일반적으로 정공 수송층과 유기 발광층은 용액 공정(Soluble Process) 방법으로 형성하나, 전자 수송층과 제 2 전극은 진공 증착 방법으로 형성한다. 이는, 용액 공정 방법으로 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성하면, 전자 수송 물질이 분산된 용매가 유기 발광 물질을 녹여 유기 발광층에 손상을 주기 때문이다.
구체적으로, 도 1a는 전자 수송층을 형성하기 전, 청색 유기 발광층의 사진이며, 도 1b는 용액 공정 방법으로 청색 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성한 사진이다.
도 1a와 같은 청색 유기 발광층 상에, 전자 수송층을 형성하기 위해 용매에 전자 수송 물질이 분산된 혼합액을 도포하면, 용매가 청색 유기 발광층 재료를 녹이거나 손상을 유발한다. 따라서, 도 1b와 같이 청색 유기 발광층이 손상되어 발광 효율 및 수명이 저하된다.
따라서, 상기와 같이 용매에 의해 유기 발광층이 손상되는 것을 방지하기 위해 일반적으로 전자 수송층을 진공 증착 방법으로 형성하는데, 진공 증착 방법은 용액 공정 방법에 비해 공정이 복잡하고 공정 비용이 많이 들어 유기 발광 표시 장치의 공정 시간 및 제조 비용이 증가한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 유기 발광층에 손상을 주지 않는 플루오린(Fluorine) 용매를 이용하여 전자 수송층을 용액 공정으로 형성하여, 제조 비용을 절감할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 정공 수송층을 형성하는 단계; 상기 정공 수송층 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 발광층 상에 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하는 단계; 및 상기 전자 수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하는 단계는, 전자 수송 물질을 플루오린 용매에 분산시켜 혼합물을 형성하는 단계; 상기 혼합물을 유기 발광층 상에 도포하는 단계; 및 상기 플루오린 용매를 휘발시키는 단계를 포함한다.
상기 플루오린 용매는 히드로플루오르에테르이다.
상기 히드로플루오르에테르의 플루오린 개수는 1개 내지 20개이다.
상기 정공 수송층과 유기 발광층은 용액 공정 방법으로 형성한다.
상기와 같은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 유기 발광층에 손상을 주지 않는 플루오린(Fluorine) 용매에 전자 수송 물질을 분산시켜, 용액 공정(Soluble Process) 방법으로 전자 수송층을 형성하여 유기 발광 표시 장치의 수명 및 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치의 제조 공정을 단순화하고 공정 비용을 절감할 수 있다.
도 1a는 전자 수송층을 형성하기 전, 청색 유기 발광층의 사진.
도 1b는 용액 공정 방법으로 청색 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성한 사진.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.
도 3은 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 청색 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성한 사진.
도 4는 전자 수송층 형성 전, 후의 청색 유기 발광층의 흡수율을 나타낸 그래프.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터(TFT), 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극과 접속된 제 1 전극, 제 1 전극을 노출시키는 뱅크 절연막, 제 1 전극 상에 형성된 적색, 녹색, 청색 발광층, 및 적색, 녹색, 청색 발광층 상에 형성된 제 2 전극을 포함하며, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다. 그리고, 도 3은 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 청색 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성한 사진이며, 도 4는 전자 수송층 형성 전, 후의 청색 유기 발광층의 흡수율을 나타낸 그래프이다.
도 2a와 같이, 기판(100) 상에 박막 트랜지스터(미도시)를 형성하고, 박막 트랜지스터(미도시)와 접속하는 제 1 전극(110)을 형성한다. 기판(100)의 종류는 특별히 한정되지 않고 다양하게 가능하며, 유리 기판, 플라스틱 기판 또는 실리콘 기판 등이 가능하다.
도시하지는 않았으나, 기판(100) 상에는 수직 교차하는 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 복수개의 화소 영역이 정의되며, 각 화소 영역에 액티브층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터가 형성되어 화소 영역에 신호를 인가한다. 박막 트랜지스터는 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터를 포함하며, 박막 트랜지스터의 신호에 따라 제 1 전극(110)에 전압을 인가하면, 각 화소 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 발광층이 발광하여 화상을 형성한다.
스위칭 박막 트랜지스터는 게이트 라인에 인가되는 스캔 신호에 의해 구동되며, 데이터 라인에 인가되는 데이터 신호를 구동 박막 트랜지스터로 전달하는 역할을 한다. 그리고, 구동 박막 트랜지스터는 스위칭 박막 트랜지스터로부터 전달된 데이터 신호와 전원공급 라인으로부터 전달된 신호에 의해 제 1 전극(110)에 인가되는 전압을 결정한다.
박막 트랜지스터를 포함한 기판(100) 상에 벤조사이클로부텐 (Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(Resin)와 같은 저유전율의 물질로 보호막(미도시)을 형성한다. 보호막은 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 화소 콘택홀을 포함한다. 따라서, 보호막 상에 형성된 제 1 전극(110)은 화소 콘택홀을 통해 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 전기적으로 접속되며, 구체적으로 제 1 전극(110)은 스위칭 트랜지스터의 드레인 전극과 접속된다.
제 1 전극(110)은 양극으로, 틴 옥사이드(Tin Oxide; TO), 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO), 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO), 인듐 틴 징크 옥사이드(Indium Tin Zinc Oxide; ITZO) 등과 같은 투명 도전성 물질로 형성된다. 따라서, 적색, 녹색, 청색 발광층에서 발생된 광은 투명한 제 1 전극(110)을 통과하여 기판(100)을 통해 하부로 방출된다.
그리고, 제 1 전극(110) 상에 뱅크 절연막(120)을 형성한다. 뱅크 절연막(120)은 후술할 적색, 녹색, 청색의 유기 발광층을 구분하기 위한 것으로 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질로 형성되어 제 1 전극(110)의 일부를 노출시키는 뱅크홀을 포함한다.
이어, 도 2b와 같이, 제 1 전극(110) 상에 정공 수송층(Hole Injection Layer; HIL)(130)을 형성한다. 정공 수송층(130)은 제 1 전극(110)으로부터 주입된 정공을 적색, 녹색, 청색 유기 발광층에 전달하기 위한 것으로, 도시하지는 않았지만 제 1 전극(110)과 정공 수송층(130) 사이에 정공 주입층(Hole Transport Layer; HTL)이 더 형성될 수 있다. 특히, 정공 수송층(130)과 정공 주입층은 정공은 잘 통과시키고 전자는 블록킹(Blocking)할 수 있는 물질로 형성되는 것이 바람직하다.
정공 수송층(130)은 용액 공정(Soluble Process) 방법으로 형성된다. 구체적으로, 정공 수송층(130)은 TPD, PPV, PVK, NPD, CBP, DNA-CTMA, mCP, PEDOT: PSS 등과 같은 정공 수송 물질을 H2O 또는 헥세인(Hexane), 클로로포름(Chloroform) 및 톨루엔(Toluene)과 같은 용매에 분산시킨 혼합물을 제 1 전극(110) 상에 도포한 후 용매를 휘발시켜 형성된다.
용액 공정 방법은 정공 수송 물질이 용매에 분산된 혼합물을 연속하여 뿌리는 노즐 코팅(nozzle coating) 또는 슬릿(slit)을 구비하여 슬릿에 대응되는 부분에 혼합물을 코팅하는 슬릿 코팅(slit-coating), 혼합물을 도팅 단위로 잉크젯팅(ink-jetting)하는 잉크젯(Inkjet) 방식, 스핀 코팅(Spin Coating) 방식, 스프레이 코팅(Spray Coating) 방식 등을 포함한다. 특히, 용액 공정 방법은 진공 증착 방법에 비해 공정이 단순하고 공정 비용이 저렴해 유기 발광 표시 장치의 공정 시간 및 제조 비용을 절감할 수 있다.
이어, 도 2c와 같이, 정공 수송층(110) 상에 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)을 형성한다. 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)은 뱅크홀 내에 형성된다. 그리고, 정공 수송층(130)과 같이 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)은 용매에 유기 발광 물질을 첨가한 혼합액을 정공 수송층(130) 상에 도포하여 형성하는 용액 공정 방법으로 형성된다.
예를 들어, 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)을 잉크 젯 방법으로 형성하는 것은 유기 발광 물질이 연속적으로 잉크젯 프린터의 노즐을 통해서 기판(100)과 일정 간격 이격된 상태에서 적색, 녹색, 청색 유기 발광 물질을 기판(100) 상에 도포한다.
그리고, 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c) 상에 전자 수송층을 형성한다. 그런데, 상술한 바와 같이, 일반적인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 전자 수송층을 진공 증착 방법으로 형성한다. 이는, 용액 공정 방법으로 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성하면, 전자 수송 물질이 분산된 용매가 유기 발광 물질을 녹여 유기 발광층에 손상을 주기 때문이다. 예를 들어, 자이렌, 톨루엔 등과 같은 용매에 전자 수송 물질을 분산시켜 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하면, 용매로 인해 유기 발광 물질이 녹아버리므로 유기 발광층이 손상된다.
따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 용매에 의해 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)이 손상되는 것을 방지하기 위해 플루오린(Fluorine) 용매에 전자 수송 물질을 분산시킨다. 플루오린 물질은 전형적으로 낮은 독성을 가지며 화학적으로 비반응성 물질로, 플루오린 용매에 전자 수송 물질을 분산시킨 혼합물을 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c) 상에 도포하여도, 유기 발광층에 손상을 주지 않는다.
특히, 플루오린 용매는 C4F90CH3, C4F90C2H5 등과 같은 히드로플루오르에테르(Hydrofluoroether; HFE)인 것이 바람직하다. C4F90CH3의 화학식은 하기 화학식 1과 같으며, C4F90C2H5의 화학식은 하기 화학식 2와 같다.
Figure pat00001
Figure pat00002
예를 들어, C4F90CH3의 끓는점(Boiling point)은 61℃이며, 유동점(Pour point)은 -135℃이다. 그리고, 밀도는 1480㎏/m3이다. 그리고, C4F90C2H5의 끓는점은 76℃이며, 유동점은 -138℃이다. 그리고, 밀도는 1430㎏/m3이다. 특히, 화학식 1, 2에서는 플루오린의 개수가 9개인 것을 도시하였으나, 본 발명의 플루오린 용매는 플루오린의 개수가 1개 내지 20개인 히드로플루오르에테르인 것이 바람직하다.
도 2d와 같이, 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c) 상에 용액 공정 방법으로 전자 수송층(150)을 형성한다. 구체적으로, 히드로플루오르에테르에 전자 수송 물질을 분산시켜 전자 수송 물질과 용매가 혼합된 혼합물을 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)상에 도포한 후, 히드로플루오르에테르를 휘발시켜 형성된다. 이 때, 전자 수송 물질은 히드로플루오르에테르에 분산될 수 있는 물질이며, 히드로플루오르에테르에 분산될 수 있도록 일반적인 TAZ, BCP, TPBI, Alq3 등과 같은 전자 수송 물질을 변형한 물질일 수 있다.
전자 수송층(Electron Injection Layer; EIL)(150)은 제 2 전극(160)으로부터 주입된 전자를 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)에 전달하기 위한 것으로 전자 수송층(150)과 제 2 전극(160) 사이에 전자 주입층(Electron Transport Layer; ETL)이 더 형성될 수 있다.
상기와 같이 형성된 전자 수송층(150)은 히드로플루오르에테르가 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c) 재료를 녹이거나 손상을 유발하지 않으므로, 유기 발광 표시 장치의 발광 효율 및 수명이 저하되지 않는다. 따라서, 도 3과 같이, 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 청색 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성하면, 청색 유기 발광층이 손상되지 않는다. 그리고, 도 4와 같이, 전자 수송층 형성 전, 후의 청색 유기 발광층의 흡수율을 나타낸 그래프를 살펴보면, 전자 수송층 형성 전, 후의 청색 유기 발광층의 흡수율이 거의 변하지 않은 것을 확인할 수 있으며, 이로 인해, 소자의 발광 효율 및 수명이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 진공 증착 방법은 용액 공정 방법에 비해 공정이 복잡하고 공정 비용이 많이 들어 유기 발광 표시 장치의 공정 시간 및 제조 비용이 증가한다. 그러나, 본 발명은 용액 공정 방법으로 전자 수송층(150)을 형성하므로 유기 발광 표시 장치의 제조 공정을 단순화하고 공정 비용을 절감할 수 있다.
이어, 도 2e와 같이, 전자 수송층(150) 상에 제 2 전극(160)을 형성한다. 제 2 전극(160)은 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)에 전자를 공급하는 음극으로 스퍼터링 방법 등의 증착 방법으로 일함수가 낮은 마그네슘(Mg), 은(Ag), 알루미늄(Al), 칼슘(Ca) 등과 같은 불투명 도전성 물질 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질로 형성된다.
특히, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)에서 방출된 광이 기판(100) 방향으로 방출되는 하부 발광 방식(Bottom Emission Type)이므로, 제 2 전극(160)은 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)에서 방출된 광이 반사되어 기판(100) 방향으로 방출되도록 반사율이 높은 금속 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도시하지는 않았지만, 유기 발광 표시 소자는 외부의 수분, 산소 등에 의해 쉽게 열화가 일어날 수 있으므로, 이를 방지하기 위해 유기 발광 표시 소자를 캐핑(Capping)하여 덮는 캐핑층을 형성한다.
상기와 같은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 용액 공정 방법으로 전자 수송층(150)을 형성하여, 유기 발광 표시 장치의 제조 공정을 단순화하고 공정 비용을 절감할 수 있다. 더욱이, 적색, 녹색, 청색 유기 발광층(140a, 140b, 140c)에 손상을 주지 않는 플루오린 용매에 전자 수송 물질을 분산시켜 전자 수송층(150)을 형성함으로써, 유기 발광 표시 장치의 수명 및 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 110: 제 1 전극
120: 뱅크 절연막 130: 정공 수송층
140a: 적색 유기 발광층 140b: 녹색 유기 발광층
140c: 청색 유기 발광층 150: 전자 수송층
160: 제 2 전극

Claims (5)

  1. 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계;
    상기 제 1 전극 상에 정공 수송층을 형성하는 단계;
    상기 정공 수송층 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
    상기 유기 발광층 상에 플루오린 용매를 이용하는 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하는 단계; 및
    상기 전자 수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 용액 공정 방법으로 전자 수송층을 형성하는 단계는, 전자 수송 물질을 플루오린 용매에 분산시켜 혼합물을 형성하는 단계;
    상기 혼합물을 유기 발광층 상에 도포하는 단계; 및
    상기 플루오린 용매를 휘발시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 플루오린 용매는 히드로플루오르에테르인 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 히드로플루오르에테르의 플루오린 개수는 1개 내지 20개인 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 정공 수송층과 유기 발광층은 용액 공정 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
KR1020110078986A 2011-08-09 2011-08-09 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 KR101839331B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110078986A KR101839331B1 (ko) 2011-08-09 2011-08-09 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110078986A KR101839331B1 (ko) 2011-08-09 2011-08-09 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130016836A true KR20130016836A (ko) 2013-02-19
KR101839331B1 KR101839331B1 (ko) 2018-03-16

Family

ID=47896104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110078986A KR101839331B1 (ko) 2011-08-09 2011-08-09 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101839331B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150064539A (ko) * 2013-12-03 2015-06-11 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3923038B2 (ja) * 2003-09-18 2007-05-30 株式会社東芝 有機ｅｌ発光表示装置及びその製造方法
JP2010192369A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Konica Minolta Holdings Inc 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び該製造方法により製造された有機エレクトロルミネセンス素子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150064539A (ko) * 2013-12-03 2015-06-11 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR101839331B1 (ko) 2018-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102048952B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
US9224981B2 (en) Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same
KR101097330B1 (ko) 유기 발광 디스플레이 장치 및 이를 제조 하는 방법
KR101137391B1 (ko) 박막 트랜지스터를 갖는 기판, 이를 제조하는 방법, 및 상기 박막 트랜지스터를 갖는 기판을 구비하는 유기 발광 표시 장치
KR20130005877A (ko) 유기 발광 디스플레이 장치
KR101193184B1 (ko) 유기 발광 디스플레이 장치 및 이를 제조 하는 방법
KR20110049578A (ko) 유기 전계 발광 표시장치
KR100615222B1 (ko) 전계 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
CN102456704B (zh) 有机发光显示装置
US10032830B2 (en) Organic light emitting display device
KR20160024046A (ko) 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20150004319A (ko) 유기 전계 발광 장치 및 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기
US8569761B2 (en) Organic light emitting display device
KR101084190B1 (ko) 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
CN103700624B (zh) 有机发光显示装置的制造方法
KR102596337B1 (ko) 유기발광 표시장치
KR101156444B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101839331B1 (ko) 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9590200B2 (en) Organic light emitting device, method of manufacturing the same, and organic light emitting display apparatus using the same
KR102049241B1 (ko) 유기전계 발광소자 및 그 제조방법
KR102263990B1 (ko) 유기 발광 소자와 그 제조 방법 및 그를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치
JPWO2013183093A1 (ja) 有機ｅｌ素子とその製造方法、有機ｅｌパネル、有機ｅｌ発光装置、および有機ｅｌ表示装置
JP2022070358A (ja) 発電機能を備えた自発光素子、自発光表示パネル、及び自発光表示装置
KR100813852B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 이를 제조하는 방법
KR20140145701A (ko) 유기 발광 구조물의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant