KR20150004319A - 유기 전계 발광 장치 및 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기 - Google Patents

유기 전계 발광 장치 및 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기 Download PDF

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KR20150004319A
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토시아키 이마이
카즈나리 타카기
타다히코 요시나가
타츠야 마츠미
마코토 안도
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소니 주식회사
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Abstract

본 발명은 색 순도의 저하를 억제하는 것이 가능한 유기 전계 발광 장치, 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기를 제공한다.
본 개시된 유기 전계 발광 장치는, 서로 색이 다른 복수의 발광층(14R, 14G, 14B)과, 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극(11) 및 제2 전극(16)과 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과, 제1 전극(11)과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한다.

Description

유기 전계 발광 장치 및 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기{ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE UNIT, METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE UNIT, AND ELECTRONIC APPARATUS}
본 개시는, 유기 전계 발광(EL ; Electro Luminescence) 현상을 이용하여 발광하는 유기 전계 발광 장치 및 그 제조 방법 및 이것을 구비한 전자 기기에 관한 것이다.
정보 통신 산업의 발달이 가속됨에 따라, 고도의 성능을 갖는 표시 소자가 요구되고 있다. 그 중에서, 차세대 표시 소자로서 주목받고 있는 유기 EL 소자는, 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 시간이 빠르다는 장점이 있다.
유기 EL 소자는, 발광층을 포함하는 복수의 층이 적층된 구성을 갖는다. 이들의 층은, 예를 들면 진공증착법 등의 건식법에 의해 형성된다. 구체적으로는, 개구를 갖는 마스크를 증착원과 기판과의 사이에 끼움에 의해 소망하는 형상의 층을 패터닝하는 방법이 일반적이다. 이와 같은 유기 EL 소자를 이용한 표시 장치에서, 대형화 또는 고정밀화가 진행되면, 마스크가 휨과 함께 반송이 번잡하게 되는 것 등으로 얼라인먼트가 어려워지고 개구율이 저하된다. 이 때문에, 소자 특성이 저하된다는 문제가 있다.
이에 대해, 예를 들면 특허 문헌 1에서는, 요철을 갖는 도너 필름상에 전사층(유기막)을 형성하고, 레이저를 이용하여 볼록부상의 유기막을 전사하는 레이저 전사법이 개시되어 있다. 그러나, 이 수법에서는, 요철상에 유기막을 형성하기 때문에, 유기막의 막두께의 균일성을 유지하기가 어렵다는 문제가 있다.
그래서, 특허 문헌 2에서는, 블랭킷을 이용한 철판(letterpress) 반전 오프셋 인쇄법(이하, 단지 반전인쇄법이라고 한다)이 제안되어 있다. 반전인쇄법에서는, 블랭킷상에 발광 재료를 포함하는 잉크를 도포한 후, 잉크층 중의 불필요 영역(비인쇄 패턴)을, 요판(engraved plate)을 이용하여 선택적으로 제거한다. 이와 같이 하여 인쇄 패턴이 형성된 블랭킷을 피인쇄 기판에 전사함에 의해, 발광층이 형성된다. 이 반전인쇄법에서는, 유기막은 평탄한 블랭킷상에 형성되기 때문에, 균일한 막두께를 갖는 유기막을 형성하기 쉽다.
특허 문헌 1 : 일본 특개2006-216563호 공보 특허 문헌 2 : 일본 특개2004-186111호 공보
그러나, 반전인쇄법에서는, 블랭킷상에 도포된 잉크는 흡수되기 때문에, 요판을 접촉시켜서 제거한 피인쇄 패턴 영역에 색소가 잔존할 우려가 있다. 복수의 색 화소를 갖는 표시 장치에서는, 이 잔존 색소가 다른 색의 화소 영역에 부착함으로써 발광광이 혼색하여 색 순도가 저하된다는 문제가 있다.
본 기술은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 색 순도의 저하를 억제하는 것이 가능한 유기 전계 발광 장치, 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 및 전자 기기를 제공하는 것에 있다.
본 기술의 유기 전계 발광 장치는, 서로 색이 다른 복수의 발광층과, 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과, 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 것이다.
본 기술의 유기 전계 발광 장치에서는, 서로 색이 다른 발광층 중, 일방의 발광층과, 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 마련함에 의해, 발광광의 혼색이 억제된다.
본 기술의 유기 전계 발광 장치의 제조 방법은, 제1 전극을 형성하는 공정과, 제1 전극상에, 서로 색이 다른 복수의 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정과, 복수의 발광층상에 제2 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것이다. 발광층 형성 공정에서는, 복수의 발광층 중의 하나의 발광층을 형성한 후에, 다른 발광층과 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 형성한다.
본 기술의 유기 전계 발광 장치의 제조 방법에서는, 발광층 형성 공정에서, 복수의 발광층 중의 하나의 발광층을 형성한 후에, 다른 발광층과 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 형성한다. 이에 의해, 다른 발광층을 갖는 소자 내에서의 발광광의 혼색이 억제된다.
본 기술의 전자 기기는 서로 색이 다른 복수의 발광층과,
상기 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과,
상기 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 유기 전계 발광 장치를 구비하는 것이다.
상기 일반적인 설명과 다음의 상세한 설명은 예시이며, 청구범위와 같이 기술의 설명을 더 제공하기 위한 것임을 알 수 있다.
본 기술의 유기 전계 발광 장치 및 그 제조 방법에 의하면, 서로 색이 다른 발광층 중, 하나의 발광층을 형성한 후에, 다른 발광층과 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 형성한다. 이에 의해, 다른 발광층을 갖는 소자에서의 하나의 발광광의 혼색이 억제되고, 색 순도의 저하를 억제하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 개시된 제1의 실시의 형태에 관한 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도.
도 2는 도 1에 도시한 표시 장치의 구동 기판의 회로 구성예를 도시하는 모식도.
도 3은 도 1에 도시한 표시 장치의 화소 회로의 한 예를 도시하는 등가 회로도.
도 4는 도 1에 도시한 구동 기판의 구성예를 도시하는 단면도.
도 5는 도 1에 도시한 유기 EL 소자의 상세 구성을 도시하는 단면 모식도.
도 6a, b는 도 1에 도시한 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 7은 도 6a, b에 계속된 공정을 도시하는 단면도.
도 8은 도 7에 계속된 공정(R, G 발광층 형성 공정)을 도시하는 단면도.
도 9a, b, c는 도 7에 도시한 공정의 구체적인 순서를 설명하기 위한 모식도.
도 10a, b, c는, 도 9a, b, c에 계속된 공정을 도시하는 모식도.
도 11a, b, c는, 도 10a,b,c에 계속된 공정을 도시하는 모식도.
도 12a, b, c는, 도 11a, b, c에 계속된 공정을 도시하는 모식도.
도 13a, b, c는, 도 12a, b, c에 계속된 공정을 도시하는 모식도.
도 14a는 R 발광층 형성 후의 소자 기판, b는 G 발광층 형성 후의 소자 기판의 각 상세 구성을 도시하는 단면 모식도.
도 15a, b는 비교예(a) 및 본 실시의 형태(b)에서의 발광 원리를 설명하는 모식도.
도 16a, b는 비교예(a) 및 본 실시의 형태(b)에서의 G 소자의 발광 스펙트럼을 도시한 모식도.
도 17a, b는 도 8에 계속된 공정(B 발광층 형성 공정)을 도시하는 단면도.
도 18은 도 17a, b에 계속된 공정을 도시하는 단면도.
도 19는 본 개시된 제2의 실시의 형태에 관한 표시 장치에서의 유기 EL 소자의 상세 구성을 도시하는 단면도.
도 20은 본 개시된 제3의 실시의 형태에 관한 표시 장치에서의 유기 EL 소자의 상세 구성을 도시하는 단면도.
도 21a 내지 e는 도 20에 도시한 유기 EL 소자의 전하 수송층 및 녹색 발광층을 형성하는 공정을 도시하는 공정도.
도 22는 변형예 1에 관한 유기 EL 소자의 상세 구성을 도시하는 단면도.
도 23a, b는 표시 장치를 이용한 스마트 폰의 구성을 도시하는 사시도.
도 24는 표시 장치를 이용한 텔레비전 장치의 구성을 도시하는 사시도.
도 25a, b는 표시 장치를 이용한 디지털 스틸 카메라의 구성을 도시하는 사시도.
도 26은 표시 장치를 이용한 퍼스널 컴퓨터의 외관을 도시하는 사시도.
도 27은 표시 장치를 이용한 비디오 카메라의 외관을 도시하는 사시도.
도 28은 표시 장치를 이용한 휴대 전화기의 구성을 도시하는 평면도.
이하, 본 개시된 실시의 형태에 관해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 또한, 설명은 이하의 순서로 행한다.
1. 제1의 실시의 형태(제1 발광층을 형성한 후, 제2 유기 EL 소자상에 전하 수송층 및 제2 발광층을 차례로 형성하는 예
1-1. 전체 구성
1-2. 제조 방법
2. 제2의 실시의 형태(제1 발광층을 형성한 후, 소자 사이에서의 공통층으로서 전하 수송층을 형성하는 예)
3. 제3의 실시의 형태(제1 발광층을 형성한 후, 제2 유기 EL 소자상에 전하 수송층 및 제2 발광층을 동시에 형성하는 예)
4. 변형예(황색 발광층 및 청색 발광층으로 이루어지는 표시 장치의 예)
5. 적용예(전자 기기의 예)
(제1의 실시의 형태)
[1-1. 전체 구성]
도 1은 본 개시된 제1의 실시의 형태에 관한 유기 전계 발광 장치(표시 장치(1))의 단면 구성을 도시한 것이다. 표시 장치(1)는, 예를 들면, 유기 전계 발광 컬러 디스플레이 등으로서 이용되고, 예를 들면, 구동 기판(10)상에, 적색의 광을 발생하는 유기 EL 소자(2R)(제1 유기 EL 소자, 적화소), 녹색의 광을 발생하는 유기 EL 소자(2G)(제2 유기 EL 소자, 녹화소), 및 청색의 광을 발생하는 유기 EL 소자(2B)(청화소)가, 규칙적으로 복수 배치된 것이다. 이들의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)는, 보호층(18)에 의해 피복되어 있고, 접착층(19)을 통하여 밀봉 기판(20)에 의해 밀봉되어 있다. 이 표시 장치(1)는, 서로 인접하는 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 조(組)가 하나의 화소(pixel)를 구성한 것이고, 밀봉 기판(20)의 윗면부터 3색의 광(LR, LG, LB)을 사출하는 윗면 발광형의 표시 장치이다. 이하, 각 부분의 구성에 관해 설명한다.
(구동 기판(10))
도 2는, 표시 장치(1)의 구동 기판(10)에 형성되는 회로 구성을, 상기 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)와 함께 도시한 것이다. 구동 기판(10)에서는, 기판(110)상에, 예를 들면 복수의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)가 매트릭스형상으로 배치되는 표시 영역(110A)이 형성되고, 이 표시 영역(110A)을 둘러싸도록, 영상 표시용의 드라이버인 신호선 구동 회로(120) 및 주사선 구동 회로(130)가 배설되어 있다. 신호선 구동 회로(120)에는, 열 방향에 따라 연재되는 복수의 신호선(120A)이 접속되어 있고, 주사선 구동 회로(130)에는, 행 방향에 따라 연재되는 복수의 주사선(130A)이 접속되어 있다. 각 신호선(120A)과 각 주사선(130A)과의 교차부가, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 어느 하나에 대응하여 있다. 표시 영역(110A)의 주변 영역에는, 이 밖에도, 도시하지 않은 전원선 구동 회로가 마련되어 있다.
도 3은, 표시 영역(110A) 내에 마련된 화소 회로(140)의 한 예를 도시한 것이다. 화소 회로(140)는, 예를 들면, 구동 트랜지스터(Tr1) 및 기록 트랜지스터(Tr2)(후술하는 TFT(111)에 상당)와, 이들 트랜지스터(Tr1, Tr2)의 사이의 커패시터(유지용량)(Cs)와, 제1의 전원 라인(Vcc) 및 제2의 전원 라인(GND)의 사이에서 구동 트랜지스터(Tr1)에 직렬로 접속된 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)를 갖는다. 구동 트랜지스터(Tr1) 및 기록 트랜지스터(Tr2)는, 일반적인 박막 트랜지스터(TFT ; Thin Film Transistor)에 의해 구성되고, 그 구성은, 예를 들면 역스태거 구조(이른바 보텀 게이트형)라도 좋고 스태거 구조(톱 게이트형)라도 좋다. 이와 같은 구성에 의해, 신호선(120A)을 통하여, 신호선 구동 회로(120)로부터 기록 트랜지스터(Tr2)의 소스(또는 드레인)에 화상 신호가 공급된다. 주사선(130A)을 통하여, 주사선 구동 회로(130)로부터 기록 트랜지스터(Tr2)의 게이트에 주사 신호가 공급된다.
도 4는, 이 구동 기판(10)의 상세한 단면 구성(TFT(111)의 구성)을, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 개략 구성과 함께 도시한 것이다. 구동 기판(10)에는, 상기 구동 트랜지스터(Tr1) 및 기록 트랜지스터(Tr2)에 대응하는 TFT(111)가 형성되어 있다. TFT(111)에서는, 예를 들면, 기판(110)상의 선택적인 영역에 게이트 전극(1101)이 마련되어 있고, 이 게이트 전극(1101)상에, 게이트 절연막(1102, 1103)을 통하여, 반도체층(1104)이 형성되어 있다. 반도체층(1104)의 채널이 되는 영역(게이트 전극(1101)에 대향하는 영역)상에는, 채널 보호막(1105)이 마련되어 있다. 반도체층(1104)에는, 한 쌍의 소스·드레인 전극(1106)이 각각 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같은 TFT(111)를 덮도록, 기판(110)의 전면에 걸쳐서 평탄화층(112)이 형성되어 있다.
기판(110)은, 예를 들면 유리 기판 또는 플라스틱 기판으로 이루어진다. 또는, 기판(110)은, 석영, 실리콘, 금속 등의 표면이 절연 처리된 것이라도 좋다. 또한, 플렉시블성을 갖는 것이라도 좋고, 리지드성을 갖는 것이라도 좋다.
게이트 전극(1101)은, TFT(111)에 인가된 게이트 전압에 의해 반도체층(1104) 중의 캐리어 밀도를 제어하는 역할을 다하는 것이다. 이 게이트 전극(1101)은, 예를 들면 Mo, Al 및 알루미늄 합금 등 중의 1종으로 이루어지는 단층막, 또는 2종 이상으로 이루어지는 적층막에 의해 구성되어 있다. 알루미늄 합금으로서는, 예를 들면 알루미늄-네오디뮴 합금을 들 수 있다.
게이트 절연막(1102, 1103)은, 예를 들면 실리콘산화막(SiOX), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘질화산화물(SiON) 및 산화알루미늄(Al2O2) 등 중의 1종으로 이루어지는 단층막, 또는 이 중의 2종 이상으로 이루어지는 적층막이다. 여기서는, 게이트 절연막(1102)가 예를 들면 SiO2, 게이트 절연막(1103)이 예를 들면 Si3N4에 의하여 각각 구성되어 있다. 게이트 절연막(1102, 1103)의 총 막두께는, 예를 들면 200㎚ 내지 300㎚이다.
반도체층(1104)은, 예를 들면 인듐(In), 갈륨(Ga), 아연(Zn), 주석(Sn), Al, Ti중의 적어도 1종의 산화물을 주성분으로서 포함하는 산화물 반도체로 이루어진다. 이 반도체층(1104)은, 게이트 전압의 인가에 의해 한 쌍의 소스·드레인 전극(1106) 사이에 채널을 형성하는 것이다. 이 반도체층(1104)의 막두께는 후술하는 부(負)의 전하의 영향이 채널에 미치도록, 박막 트랜지스터의 온 전류의 악화를 일으키지 않을 정도인 것이 바람직하고, 구체적으로는 5㎚ 내지 100㎚인 것이 바람직하다.
채널 보호막(1105)은, 반도체층(1104)상에 형성되고, 소스·드레인 전극(1106) 형성시에 있어서의 채널의 손상을 방지하는 것이다. 이 채널 보호막(1105)은, 예를 들면 실리콘(Si)과 산소(O2)와 불소(F)를 함유하는 절연막에 의해 구성되고, 두께는 예를 들면 10 내지 300㎚이다.
소스·드레인 전극(1106)은, 소스 또는 드레인으로서 기능하는 것이고, 예를 들면 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티탄, ITO 및 산화티탄(TiO) 등 중 1종으로 이루어지는 단층막 또는 이 중의 2종 이상으로 이루어지는 적층막이다. 예를 들면, Mo, Al, Mo의 순서로, 50㎚, 500㎚, 50㎚의 막두께로 적층한 3층막이나, ITO 및 산화티탄 등의 산소를 포함하는 금속 화합물과 같은 산소와의 결합이 약한 금속 또는 금속 화합물을 이용하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 산화물 반도체의 전기 특성을 안정하게 유지할 수 있다.
평탄화층(112)은, 예를 들면 폴리이미드, 노볼락 등의 유기 재료에 의해 구성되어 있다. 이 평탄화층(112)의 두께는, 예를 들면 10㎚ 내지 100㎚이고, 바람직하게는 50㎚ 이하이다. 평탄화층(112)상에는, 유기 EL 소자(2)의 애노드 전극(12)이 형성되어 있다.
또한, 평탄화막(112)에는 콘택트 홀(H)이 마련되어 있고, 이 콘택트 홀(H)을 통하여 소스·드레인 전극(1106)과, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 각 제1 전극(11)이 전기적으로 접속되어 있다. 제1 전극(11)은, 절연막(12)에 의해 화소마다 전기적으로 분리되어 있고, 제1 전극(11)상에는, 후술하는 각 색 발광층을 포함하는 유기층(14) 및 제2 전극(16)이 적층되어 있다. 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 상세한 구성에 관해서는 후술한다.
보호층(18)은, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)에의 수분의 침입을 방지하기 위한 것이고, 투과성 및 투수성이 낮은 재료에 의해 구성되고, 두께는 예를 들면 2 내지 3㎛이다. 보호층(18)은, 절연성 재료 및 도전성 재료의 어느것에 의해 구성되어 있어도 좋다. 절연성 재료로서는, 무기 어모퍼스성의 절연성 재료, 예를 들면 어모퍼스실리콘(α-Si), 어모퍼스탄화실리콘(α-SiC), 어모퍼스질화실리콘(α-Si1-xNx), 어모퍼스카본(α-C) 등을 들 수 있다. 이와 같은 무기 어모퍼스성의 절연성 재료는, 구레인을 구성하지 않기 때문에 투수성이 낮고, 양호한 보호막이 된다.
밀봉 기판(20)은, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)를, 접착층(19)과 함께 밀봉하는 것이다. 밀봉 기판(20)은, 유기 EL 소자(2)에서 발생한 광에 대해 투명한 유리 등의 재료에 의해 구성되어 있다. 이 밀봉 기판(20)에는, 예를 들면, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스(모두 도시 생략)가 마련되어 있어도 좋고, 이 경우, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)에서 발생한 각 색광을 취출함과 함께, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B) 내에서 반사된 외광을 흡수하여, 콘트라스트를 개선할 수 있다.
(유기 EL 소자(2R, 2G, 2B))
유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)는 각각, 예를 들면 윗면 발광형(톱 이미션형)의 소자 구조를 갖고 있다. 단, 이와 같은 구성으로 한정되는 일은 없고, 예를 들면 기판(110)측에서 광을 취출하는 투과형, 즉 하면 발광형(보텀 이미션형)이라도 좋다.
유기 EL 소자(2R)는, 절연막(12)의 개구에 형성되고, 예를 들면, 제1 전극(11)상에, 정공 주입층(HIL)(13B), 정공 수송층(HTL)(13A), 적색 발광층(14R), 청색 발광층(14B), 전자 수송층(ETL)(15A), 전자 주입층(EIL)(15B) 및 제2 전극(16)이 이 순서로 적층된 것이다. 유기 EL 소자(2G)에 대해서도 마찬가지로, 예를 들면 유기 EL 소자(2R)의 적층 구조 중의 적색 발광층(14R)을 녹색 발광층(14G)과 치환한 적층 구조를 갖고 있다. 유기 EL 소자(2B)는, 예를 들면, 제1 전극(11)상에, 정공 주입층(13B), 정공 수송층(13A), 청색 발광층(14B), 전자 수송층(15A), 전자 주입층(15B) 및 제2 전극(16)이 이 순서로 적층된 것이다. 이와 같이, 본 실시의 형태에서는, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)이 화소마다 분리하여 형성되어 있고, 청색 발광층(14B)은, 각 화소에 공통되게 표시 영역(110A)의 전면에 걸쳐서 형성되어 있다. 그 밖에, 정공 주입층(13B), 정공 수송층(13A), 전자 수송층(15A) 및 전자 주입층(15B)에 관해서는 각 화소에 공통되게 마련되어 있다. 상세는 후술하지만, 본 실시의 형태에서는, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)은 반전인쇄법에 의해 형성되고, 청색 발광층(14B)은 진공증착법에 의해 형성되어 있다. 또한, 여기서는 도시하지 않지만 녹색의 유기 EL 소자(2G)는, 또한 발광층 인쇄시에 형성된 전하 수송층(17)을 포함하고 있다.
제1 전극(11)은, 예를 들면 애노드로서 기능하고, 표시 장치(1)가 윗면 발광형인 경우에는, 예를 들면 알루미늄, 티탄, 크롬(Cr) 등의 고반사 재료로 구성되어 있다. 또한, 하면 발광형인 경우에는, 예를 들면 ITO, IZO, IGZO 등의 투명 도전막이 사용된다.
절연막(12)은, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 각 소자 사이를 전기적으로 절연함과 함께, 각 화소의 발광 영역을 구획하는 것이다. 절연막(12)에는, 복수의 개구부가 마련되어 있고, 각 개구부에 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 어느 하나가 형성된다. 이 절연막(12)은, 예를 들면 폴리이미드, 노볼락 수지 또는 아크릴 수지 등의 유기 재료에 의해 구성되어 있다. 또는, 이 절연막(12)은, 유기 재료와 무기 재료가 적층되어 구성되어 있어도 좋다. 무기 재료로서는, 예를 들면 SiO2, SiO, SiC, SiN을 들 수 있다.
정공 주입층(13B)은, 각 색 발광층에의 정공 주입 효율을 높임과 함께, 리크를 방지하기 위한 버퍼층이다. 정공 주입층(13B)의 두께는 예를 들면 5㎚ 내지 200㎚인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 8㎚ 내지 150㎚이다. 정공 주입층(13B)의 구성 재료로서는, 전극 등이 인접하는 층의 재료와의 관계로 적절히 선택되면 좋지만, 예를 들면 폴리아닐린, 폴리티오펜, 폴리피롤, 폴리페닐렌비닐렌, 포리티에닐렌비니렌, 폴리퀴놀린, 포리퀴녹살린 및 그들의 유도체, 방향족 아민 구조를 주쇄 또는 측쇄에 포함하는 중합체 등의 도전성 고분자, 금속프탈로시아닌(구리프탈로시아닌 등), 카본 등을 들 수 있다. 도전성 고분자의 구체예로서는, 올리고아닐린, 올리고아닐린 및 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(PEDOT) 등의 폴리디옥시티오펜을 들 수 있다. 이 밖에, 에이치·씨·스탈쿠제의 상품명 Nafion(상표) 및 상품명 Liquion(상표), 닛산화학제의 상품명 엘 소스(상표) 및 소켄화학제의 도전성 포리마베라졸을 사용하여도 좋다.
정공 수송층(13A)은, 각 색 발광층에의 정공 수송 효율을 높이기 위한 것이다. 정공 수송층(13A)의 두께는, 소자의 전체 구성에도 의하지만, 예를 들면 5㎚ 내지 200㎚인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 8㎚ 내지 150㎚이다. 정공 수송층(13A)을 구성하는 재료로서는, 유기 용매에 가용의 고분자 재료, 예를 들면, 폴리비닐카르바졸, 폴리플루오렌, 폴리아닐린, 폴리실란 또는 그들의 유도체, 측쇄 또는 주쇄에 방향족 아민을 갖는 폴리실록산 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리피롤, 또는 4,4'-비스(N-1-나프틸-N-페닐아미노)비페닐(α-NPD)에 의해 구성되어 있다.
적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G), 청색 발광층(14B)은 각각, 전계가 걸림에 의해 전자와 정공과의 재결합이 생겨 발광하는 것이다. 이들의 각 색 발광층의 두께는, 소자의 전체 구성에도 의하지만, 예를 들면 10㎚ 내지 200㎚인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 20㎚ 내지 150㎚이다.
적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G), 청색 발광층(14B)을 구성하는 재료로서는, 각각의 발광색에 응한 것이면 좋고, 고분자 재료(분자량이 예를 들면 5000 이상)라도 좋고, 저분자 재료(분자량이 예를 들면 5000 이하)라도 좋다. 저분자 재료의 경우에는, 예를 들면 호스트 재료와 도펀트 재료의 2종류 이상의 혼합 재료가 사용된다. 고분자 재료의 경우에는, 예를 들면 유기 용매에 녹인 잉크의 상태로 사용된다. 또한, 이들의 저분자 재료 및 고분자 재료의 혼합 재료가 사용되어도 좋다.
본 실시의 형태에서는, 상술한 바와 같이, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)은 이른바 습식법인 반전인쇄법에 의해 형성되고, 청색 발광층(14B)은 건식법인 진공증착법에 의해 형성되어 있다. 이 때문에, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)을 구성하는 재료로서는, 주로 고분자 재료가 사용되고, 청색 발광층(14B)에서는, 주로 저분자 재료가 사용되고 있다.
고분자 재료로서는, 예를 들면 폴리플루오렌계 고분자 유도체, (폴리)파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리페닐렌 유도체, 폴리비닐카르바졸 유도체, 폴리티오펜 유도체, 페릴렌계 색소, 쿠마린계 색소, 로다민계 색소, 또는 이들의 재료에 도펀트 재료를 혼합한 것을 들 수 있다. 도펀트 재료로서는, 예를 들면 루브렌, 페릴렌, 9,10-디페닐안트라센, 테트라페닐부타디엔, 나일레드, 쿠마린6 등을 들 수 있다. 저분자 재료로서는, 예를 들면 벤진, 스티릴아민, 트리페닐아민, 포르피린, 트리페닐렌, 아자트리페닐렌, 테트라시아노퀴노디메탄, 트리아졸, 이미다졸, 옥사디아졸, 폴리아릴알칸, 페닐렌디아민, 아릴아민, 옥사졸, 안트라센, 플루오레논, 히드라존, 스틸벤 또는 이들의 유도체, 또는, 폴리실란계 화합물, 비닐카르바졸계 화합물, 티오펜계 화합물 또는 아닐린계 화합물 등의 복소환식 공역계의 모노머 또는 올리고머를 들 수 있다. 또한, 각 색 발광층은, 이와 같은 재료 외에도, 게스트 재료로서, 발광 효율이 높은 재료, 예를 들면, 저분자 형광 재료, 인광 색소 또는 금속 착체 등을 포함하고 있어도 좋다.
전자 수송층(15A)은, 각 색 발광층에의 전자 수송 효율을 높이기 위한 것이다. 전자 수송층(15A)의 구성 재료로서는, 예를 들면, 퀴놀린, 페릴렌, 페난트롤린, 비스스티릴, 피라진, 트리아졸, 옥사졸, 플라렌, 옥사디아졸, 플루오레논 또는 이들의 유도체나 금속 착체를 들 수 있다. 구체적으로는, 트리스(8-히드록시퀴놀린)알루미늄(약칭 Alq3), 안트라센, 나프탈렌, 페난트렌, 피렌, 안트라센, 페릴렌, 부타디엔, 쿠마린, C60, 아쿠리진, 스틸벤, 1,10-페난트롤린 또는 이들의 유도체나 금속 착체를 들 수 있다. 이 밖에, 우수한 전자 수송 성능을 갖는 유기 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면 아릴피리딘 유도체 및 벤조이미다졸 유도체 등을 들 수 있다. 전자 수송층(15A) 및 전자 주입층(15B)의 총 막두께는 소자의 전체 구성에도 의하지만, 예를 들면 5㎚ 내지 200㎚인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10㎚ 내지 180㎚이다.
전자 주입층(15B)은, 각 색 발광층에의 전자 주입 효율을 높이기 위한 것이다. 전자 주입층(15B)의 구성 재료로서는, 예를 들면 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 희토류 금속 및 그 산화물, 복합산화물, 불화물, 탄산염 등을 들 수 있다.
제2 전극(16)은, 예를 들면, 두께가 10㎚ 정도이고, 윗면 발광형의 경우에는, 광투과성을 갖는 도전막 재료, 예를 들면 ITO, IZO, ZnO, InSnZnO, MgAg, Ag 등의 단층막 또는 이 중의 2종 이상을 포함하는 적층막으로 이루어진다. 하면 발광형의 경우에는, 예를 들면 알루미늄, AlSiC, 티탄, 크롬 등의 고반사율 재료가 사용된다.
(유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 상세 구성)
본 실시의 형태에서는, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B), 특히 유기 EL 소자(2G)가, 미시적으로는, 상술한 각종 기능층 외에, 이하에 설명하는 바와 같은 전하 수송층(17)을 갖고 있다.
도 5는, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 적층 구조를 모식적으로 도시한 것이다. 상술한 바와 같이, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)중, 유기 EL 소자(2R, 2G)에서는, 적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G)이 화소마다 분리하여 형성되어 있다. 한편, 유기 EL 소자(2R)에서는, 청색 발광층(14B)이 유기 EL 소자(2R, 2G)의 형성 영역까지 연재되고 형성되어 있다. 환언하면, 3색의 발광층 중, 2색의 발광층(적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G))이, 구동 기판(11)상에 소정의 패턴(예를 들면 라인형상, 매트릭스형상의 패턴)으로 형성되어 있다.
본 실시의 형태에서는, 적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G), 청색 발광층(14B)중, 녹색 발광층(14G) 및 청색 발광층(14B)의 제1 전극(11)측(구체적으로는, 녹색 발광층(14G) 및 청색 발광층(14B)과 정공 수송층(13A)과의 사이)에, 전하 수송층(17)이 마련되어 있다.
전하 수송층(17)은, 여기서는 정공 수송성 재료를 포함하여 구성되어 있고, 두께는, 예를 들면 5㎚ 내지 20㎚이다. 이 정공 수송성 박막층(17a1)의 구성 재료로서는, 상기 정공 수송층(13A)에서의 들었던 재료를 사용할 수 있지만 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 정공 수송층(13A)의 재료 외에, 예를 들면 폴리TPD 등의 디아미노디페닐 유도체, 비(非)발광의 정공 수송 재료로서 사용하는 PPV 또는 PEDOT-PSS를 사용하여도 좋다. 또한, 전하 수송층(17)과, 정공 수송층(13A)이, 서로 동일한 재료에 의해 구성되어 있어도 좋고, 다른 재료로 구성되어 있어도 좋다. 이 전하 수송층(17)은, 적색 발광층(14R)을 형성한 후, 녹색 발광층(14G)과 동일한 패턴으로 형성되어 있다.
[1-2. 제조 방법]
상기한 바와 같은 표시 장치(1)는, 예를 들면 다음과 같이 하여 제조할 수 있다.
우선, 도 6a에 도시한 바와 같이, 구동 기판(10)상에 제1 전극(11)을 형성한다. 이 때, 예를 들면 진공증착법 또는 스퍼터링법에 의해, 상술한 전극 재료를 기판 전면에 걸쳐서 성막한 후, 예를 들면 포토 리소그래피법을 이용한 에칭에 의해 패터닝한다. 또한, 제1 전극(11)은, 구동 기판(10)에 형성된 평탄화층(112)의 콘택트 홀(H)를 통하여, TFT(111)(상세하게는 소스·드레인 전극(1106))에 접속시킨다.
계속해서, 도 6b에 도시한 바와 같이, 절연막(12)을 형성한다. 구체적으로는, 구동 기판(10)의 전면에 대해, 상술한 수지 재료를, 예를 들면 스핀 코트법 등에 의해 도포한 후, 예를 들면 포토 리소그래피법을 이용하여, 제1 전극(11)에 대응하는 부분에 개구부를 형성한다. 개구부 형성 후, 필요에 응하여 절연막(12)을 리플로 하여도 좋다.
뒤이어, 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 전극(11) 및 절연막(12)을 덮도록, 예를 들면 진공증착법에 의해, 정공 주입층(13B) 및 정공 수송층(13A)을 차례로 성막한다. 단, 이들의 정공 주입층(13B) 및 정공 수송층(13A)의 성막 수법으로서는, 진공증착법 외에도, 스핀 코트법, 슬릿 코트법, 잉크젯법 등의 직접 도포법을 이용하여도 좋고, 또는 그라비어 오프셋법, 철판 인쇄법, 요판 반전인쇄법 등을 이용하여도 좋다.
(G, R 발광층의 형성 공정)
다음에, 도 8에 도시한 바와 같이, 적화소 영역(2R1)에 적색 발광층(14R), 녹화소 영역(2G1)에 녹색 발광층(14G)을 각각 형성한다. 이 때, 이하에 설명하는 바와 같이, 블랭킷을 이용한 반전인쇄법에 의해, 녹색 발광층(14G) 및 적색 발광층(14R)을 이 순서로 각각 패턴 형성한다. 개요는 이하와 같다.
1. 제1 발광층(14R)의 형성
(1) 제1 발광 재료를 포함하는 용액을 블랭킷상에 도포
(2) 요판을 이용하여 블랭킷상에 인쇄 패턴을 형성
(3) 블랭킷상의 인쇄 패턴을 구동 기판(10)상에 전사
2. 전하 수송층(17)의 형성
(1) 정공 수송성 재료를 포함하는 용액을 블랭킷에 도포
(2) 요판을 이용하여 블랭킷상에 인쇄 패턴을 형성
(3) 블랭킷상의 인쇄 패턴을 구동 기판(10)상에 전사
3. 제2 발광층(14G)의 형성
(1) 제2 발광 재료를 포함하는 용액을 블랭킷상에 도포
(2) 요판을 이용하여 블랭킷상에 인쇄 패턴을 형성
(3) 블랭킷상의 인쇄 패턴을 구동 기판(10)상에 전사
1. 제1 발광층의 형성
(1) 제1 발광층 도포 공정
우선, 제1 발광층(여기서는, 적색 발광층(14R))을 전사할 때에 사용하는 블랭킷(60)을 준비하고, 이 블랭킷(60)상에 적색 발광 재료를 포함하는 용액(D1r)을 도포 형성한다. 구체적으로는, 도 9a, b에 도시한 바와 같이, 용액(D1r)을, 블랭킷(60)상에 적하하고, 예를 들면 스핀 코트법 또는 슬릿 코트법 등의 직접 도포법에 의해, 블랭킷(60)상의 전면에 걸쳐서 도포한다. 이에 의해, 도 9c에 도시한 바와 같이, 블랭킷(60)에서는, 적색 발광 재료를 포함하는 용액(D1r)의 층이 형성된다.
(2) 인쇄 패턴 형성 공정
뒤이어, 블랭킷(60)상에 적색 발광층(14R)의 인쇄 패턴층(인쇄 패턴층(14g1))을 형성한다. 구체적으로는, 우선, 도 10a에 도시한 바와 같이, 적화소 영역(2G1)에 대응하여 오목부를 갖는 요판(61)과, 블랭킷(60)의 용액(D1r)의 층을 마주 대하게 하고, 도 10b에 도시한 바와 같이, 요판(61)에 블랭킷(60)상의 용액(D1r)의 층을 꽉 누른다. 이 후, 도 10c에 도시한 바와 같이, 블랭킷(60)을 요판(61)으로부터 박리함에 의해, 용액(D1r)의 층 중의 불필요 부분(D1r')은, 요판(61)의 볼록부측에 전사되고, 블랭킷(60)상에서 제거된다. 이에 의해, 블랭킷(60)상에는, 적색 화소 영역에 대응하는 적색 발광층(14R)의 인쇄 패턴(14r1)이 형성되다. 또한, 도면 중에서는 라인형상 패턴으로 나타냈지만, TFT 화소 배열과 모순이 없다면 패턴의 형상은 라인형상으로 한정되는 일은 없다.
(3) 전사 공정
계속해서, 블랭킷(60)상의 적색 발광층(14R)의 인쇄 패턴층(14R1)을 구동 기판(10)측에 전사한다. 구체적으로는, 우선, 도 11a에 도시한 바와 같이, 정공 주입층(13B) 및 정공 수송층(13A)을 형성이 끝난 구동 기판(10)(이하, 편의상, 구동 기판(10a)이라고 한다)과, 블랭킷(60)을 마주 대하게 하여 배치한다. 이 후, 구동 기판(10a)과 인쇄 패턴(14r1)을 얼라인먼트하고, 도 11b에 도시한 바와 같이, 구동 기판(10a)상에, 블랭킷(60)의 인쇄 패턴층(14r1)의 형성면을 꽉 누른다. 뒤이어, 블랭킷(60)을 구동 기판(10a)으로부터 박리함에 의해, 구동 기판(10a)상에 적색 발광층(14R)이 패턴 형성된다(도 11c).
2. 전하 수송층의 형성
(1) 전하 수송층 도포 공정
다음에, 블랭킷(62)상에 전하 수송 재료, 여기서는 정공 수송성 재료를 포함하는 용액(D1a)을 도포 형성한다. 구체적으로는, 도 12a, b에 도시한 바와 같이, 정공 수송성 재료를 포함하는 용액(D1a)을, 예를 들면 스핀 코트법에 의해, 블랭킷(62)상의 전면에 걸쳐서 형성한다. 이에 의해, 도 12c에 도시한 바와 같이, 블랭킷(62)에서는, 정공 수송 성광 재료를 포함하는 용액(D1a)의 층이 형성된다.
(2) 인쇄 패턴의 형성 공정 및 (3) 전사 공정
뒤이어, 특히 도시는 하지 않지만, 상기 적색 발광층(14R)의 경우와 마찬가지로 하여, 소정의 요판을 이용하여, 블랭킷(62)상에 전하 수송층(17)의 인쇄 패턴층을 형성한 후, 구동 기판(10)측에 전사한다. 이에 의해, 구동 기판(10a)상에 전하 수송층(17)이 형성된다.
3. 제2 발광층의 형성
계속해서, 제2 발광층(여기서는, 녹색 발광층(14G))을 전사할 때에 사용하는 블랭킷(63)을 준비하고, 이 블랭킷(63)상에 녹색 발광 재료를 포함하는 용액(D1g)을 도포 형성한다. 구체적으로는, 도 13a, b에 도시한 바와 같이, 용액(D1g)을, 블랭킷(63)상에 적하하고, 예를 들면 스핀 코트법 또는 슬릿 코트법 등의 직접 도포법에 의해, 블랭킷(63)상의 전면에 걸쳐서 형성한다. 이에 의해, 도 13c에 도시한 바와 같이, 블랭킷(63)에서는, 녹색 발광 재료를 포함하는 용액(D1g)의 층이 형성된다.
(2) 인쇄 패턴의 형성 공정 및 (3) 전사 공정
뒤이어, 특히 도시는 하지 않지만, 상기 녹색 발광층(14R)의 경우와 마찬가지로 하여, 소정의 요판을 이용하여, 블랭킷(62)상에 녹색 발광층의 인쇄 패턴층을 형성한 후, 구동 기판(10)측에 전사한다. 이에 의해, 구동 기판(10a)상에 녹색 발광층(14G)이 형성된다.
상기한 바와 같이, 본 실시의 형태에서는, 3색의 발광층 중, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)을, 블랭킷을 이용한 반전 인쇄에 의해, 화소마다 분리하여 패턴을 형성한다. 이 때, 예를 들면 적색 발광층(14R)을 형성하는 공정에서, 요판(61)에 의해 용액(D1r)이 박리된 영역에서의 블랭킷(60)상에는, 용액(D1r)을 도포한 때에 흡수된 적색 발광 재료가 잔존한다. 이 때문에, 적색 발광층(14R)의 전사 공정에서, 도 14a에 도시한 바와 같이, 적화소 영역(2R1) 이외의 영역, 구체적으로는 녹화소(2G1) 및 청화소(2B1)의 영역에 적색 발광 재료(적색 잔사(14r))가 부착한다. 이 때문에, 녹화소(2G1)에서는, 도 15a에 도시한 바와 같이, 전압 인가에 의해 하부 전극(11) 및 상부 전극(16)으로부터 각각 정공 및 전자가 수송되고, 녹색 발광층(14G) 및 녹색 발광층(14G)에 인접하여 존재하는 적색 발광 재료가 여기되어 발광한다. 따라서, 유기 EL 소자(2G)의 발광광은, 도 16a에 도시한 바와 같이 녹색광을 나타내는 피크외(파장 550㎚ 부근)에 적색광을 나타내는 피크(파장 600㎚ 부근)를 포함하는 상태가 된다. 즉, 녹색광과 적색광이 혼색한 상태가 되어, 색 순도가 저하된다.
이에 대해, 본 실시의 형태에서는, 상기한 바와 같이 적색 발광층(14R)을 반전 인쇄에 의해 형성한 후, 녹화소 영역(2G1)상에 녹색 발광층(14G)을 형성하기 전에 전하 수송층(17)을 형성한다. 즉, 도 14b에 도시한 바와 같이 녹화소 영역(2G1)상의 적색 잔사(14r)와 녹색 발광층(14G)과의 사이에 전하 수송층(17)이 삽입되고, 적색 잔사(14r)는 도 15a에 도시한 바와 같이 여기자(勵起子) 확산 영역의 밖에 배치된 것이 된다. 이에 의해, 적색 발광 재료의 발광은 일어나지 않게 된다. 따라서, 유기 EL 소자(2G)의 발광광은, 도 16b에 도시한 바와 같이 녹색광을 나타내는 피크(파장 550㎚ 부근)만으로 되고 색 순도가 향상한다.
다음에, 도 17a에 도시한 바와 같이, 청색 발광층(14B)을, 예를 들면 진공증착법에 의해, 기판 전면에 걸쳐서 형성한다. 또한, 청색 발광층(14B)을 형성하기 전에, 청화소 영역(2B1)상에 재차 전하 수송층(17)을, 예를 들면 1㎚ 이상 형성함에 의해 청색 유기 EL 소자(2B)의 색 순도 등의 소자 특성의 향상을 기대할 수 있다. 또한, 청색 발광층(14B)은 여기서는 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)에서의 공통층으로서 마련하였지만, 이것에 한하지 않고, 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)과 마찬가지로 반전 인쇄에 의해 형성하여도 상관없다.
계속해서, 도 17a에 도시한 바와 같이, 전자 수송층(15A) 및 전자 주입층(15B)을, 예를 들면 진공증착법에 의해, 청색 발광층(14B)상에 형성한다. 이 후, 도 18에 도시한 바와 같이, 제2 전극(16)을, 예를 들면 진공증착법, CVD법 또는 스퍼터링법에 의해, 전자 주입층(15B)상에 형성한다. 이에 의해, 구동 기판(10)상에 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)가 형성된다.
최후에, 구동 기판(10)상의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)를 덮도록 보호층(18)을 형성한 후, 접착층(19)을 통하여 밀봉 기판(20)을 접합함에 의해, 도 1에 도시한 표시 장치(1)를 완성한다.
[작용, 효과]
본 실시의 형태의 표시 장치(1)에서는, 각 화소에 대해 주사선 구동 회로(130)로부터 기록 트랜지스터(Tr2)의 게이트 전극을 통하여 주사 신호가 공급됨과 함께, 신호선 구동 회로(120)로부터 화상 신호가 기록 트랜지스터(Tr2)를 통하여 유지 용량(Cs)에 유지된다. 이에 의해, 유기 EL 소자(2)에 구동 전류(Id)가 주입되고, 정공과 전자가 재결합하여 발광이 일어난다. 이 광은, 예를 들면 윗면 발광형의 경우에는 제2 전극(16) 및 밀봉 기판(20)을 투과하고, 표시 장치(1)의 상방에 취출된다.
이와 같은 표시 장치(1)에서는, 제조 프로세스에서, 상기한 바와 같이, R, G, B의 3색의 발광층 중, 2색의 발광층(적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G))을, 블랭킷을 이용한 반전인쇄법에 의해, 화소마다 분리 형성한다. 이 중, 1색째의 발광층(제1 발광층, 여기서는 적색 발광층(14R))을 형성한 후, 그 밖의 색의 유기 EL 소자상(여기서는 녹색 유기 EL 소자(2G) 및 청색 유기 EL 소자(2B)의 정공 수송층(13A)상)에 전하 수송층(17)을 형성한다. 이후, 2색째의 발광층(제2 발광층, 여기서는 녹색 발광층(14G))을 형성한다.
(비교예)
본 실시의 형태의 비교예에 관한 표시 장치에서는, 1색째의 발광층(예를 들면, 적색 발광층)을 블랭킷을 이용하여 반전인쇄법에 의해 형성한 후, 연속해서 2색째의 발광층(예를 들면, 녹색 발광층)을 1색째의 발광층과 마찬가지로 블랭킷을 이용하여 반전 인쇄에 의해 형성한다. 적색 발광층(14R) 및 녹색 발광층(14G)을 연속해서 형성한 경우에는, 상기한 바와 같이, 유기 EL 소자(2G)의 정공 수송층(13A)상에는 적색 발광 재료를 포함하는 적색 잔사(14r)가 형성된다. 이 적색 잔사(14r)는 다음에 형성하는 녹색 발광층(14G)과 직접 적층된 구조로 된다. 이 때문에, 적색 잔사(14r)는, 정공 공급층(정공 주입층 및 정공 수송층)과, 전자 공급층(전자 주입층 및 전자 수송층)으로부터 공급된 정공 및 전자에 의해 녹색 발광층(14G)과 함께 여기되고, 적색광을 발한다. 따라서, 유기 EL 소자(2G)에서는 녹색광과 적색광이 혼색하여 색 순도가 저하된다는 문제가 있다.
이에 대해, 본 실시의 형태에서는, 적색 발광층(14R)을 형성한 후, 녹화소상에 전하 수송층(17)을 마련함에 의해, 유기 EL 소자(2G)에서는, 전하 수송층(17)에 의해 정공 수송층(13A)상에 존재하는 적색 잔사(14r)에의 전자의 주입이 저해된다. 따라서, 유기 EL 소자(2G)에서의 발광광은, 녹색 발광층(14G)에 의한 발광광만으로 되고, 발광 스펙트럼의 혼색이 억제되고, 색 순도가 향상한다.
이상과 같이, 본 실시의 형태의 표시 장치(1)에서는, 제1 발광층(적색 발광층(14R)) 및 제2 발광층(녹색 발광층(14G))의 반전인쇄법을 이용하는 형성 공정의 사이에, 전하 수송층(17)의 형성 공정을 삽입하고, 전하 수송층(17)상에 녹색 발광층(14G)이 직접 적층되도록 하였다. 이와 같이, 녹색 발광층(14G)과, 적색 발광층(14R)의 형성시에 녹화소 영역상에 형성된 적색 잔사(14r)와의 사이에 전하 수송층(17)을 마련하도록 하였기 때문에, 적색 잔사(14r)는 여기자 확산 영역 외에 배치되게 된다. 따라서, 제2 유기 EL 소자(유기 EL 소자(2G))의 발광 스펙트럼의 혼색이 억제되고, 색 순도가 향상한다. 즉, 유기 EL 소자(2G)의 소자 특성이 향상하고, 표시 품위가 우수한 표시 장치를 제공한 것이 가능해진다.
다음에, 제2의 실시의 형태 및 제3의 실시의 형태에 관해 설명한다. 이하에서는, 상기 제1의 실시의 형태와 동일한 구성 요소에 관해서는 동일한 부호를 붙이고, 적절히 그 설명을 생략한다.
(제2의 실시의 형태)
도 19는, 본 개시된 제2의 실시의 형태에 관한 표시 장치(2)의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 적층 구조를 모식적으로 도시한 것이다. 본 실시의 형태의 표시 장치(2)는, 전하 수송층(17)이 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)에 대한 공통층으로서 형성되어 있는 점이 상기 제1의 실시의 형태와는 다르다. 또한, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)는, 상기 제1의 실시의 형태와 마찬가지로 구동 기판(10)상에 형성됨과 함께, 보호층(18), 접착층(19) 및 밀봉 기판(20)에 의해 밀봉됨에 의해, 표시 장치를 구성하는 것이다.
본 실시의 형태에서도, 유기 EL 소자(2R, 2G)는, 예를 들면, 제1 전극(11)상에, 정공 주입층(13B), 정공 수송층(13A), 적색 발광층(14R) 또는 녹색 발광층(14G), 청색 발광층(14B), 전자 수송층(15A), 전자 주입층(15B) 및 제2 전극(16)이 이 순서로 적층된 것이다. 유기 EL 소자(2B)는, 예를 들면, 제1 전극(11)상에, 정공 주입층(13B), 정공 수송층(13A), 청색 발광층(14B), 전자 수송층(15A), 전자 주입층(15B) 및 제2 전극(16)이 이 순서로 적층된 것이다. 또한, 적색 발광층(14R), 녹색 발광층(14G)에 관해서는, 블랭킷을 이용한 반전 인쇄에 의해 형성되고, 청색 발광층(14B)은 예를 들면 진공증착법 등에 의해 형성되어 있다.
본 실시의 형태에서는, 상술한 바와 같이, 전하 수송층(17)이 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)에 대해 공통층으로서 형성되어 있다. 구체적으로는, 전하 수송층(17)은, 유기 EL 소자(2R)의 적색 발광층(14R)상 및 유기 EL 소자(2G, 2B)의 정공 수송층(13A)상에 연속해서 마련되어 있다. 이 전하 수송층(17)은, 예를 들면, 반전 인쇄를 이용하여 적색 발광층(14R)을 형성한 후, 블랭킷상에 에어리어 도포를 행하고, 패터닝하지 않고 반전 인쇄에 의해 형성한 것이다.
이와 같이, 본 실시의 형태에서는, 제1 발광층(여기서는 적색 발광층(14R))을 반전인쇄법을 이용하여 형성한 후, 전하 수송층(17)을 공통층으로서 적색 발광층(14R) 및 유기 EL 소자(2G, 2B)의 정공 수송층(13A)상에 마련하도록 하였기 때문에, 상기 실시의 형태에서의 효과에 더하여, 판(plate)의 사용 회수가 삭감되기 때문에, 제조 공정의 간략화에 의한 비용의 저감, 부재 비용의 저감 및 제조 수율의 향상이라는 효과를 이룬다.
(제3의 실시의 형태)
도 20은, 본 개시된 제3의 실시의 형태에 관한 표시 장치(3)의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 적층 구조를 모식적으로 도시한 것이다. 도 21a 내지 e는, 본 실시의 형태에서의 전하 수송층(17) 및 녹색 발광층(14G)의 2층을 일괄하여 도포하는 공정을 도시한 것이다. 본 실시의 형태의 표시 장치(2)는, 녹화소 영역(2G1)상에 전하 수송층(17) 및 녹색 발광층(14G)을 일괄하여 도포한 점이 상기 제1의 실시의 형태와 다르다.
본 실시의 형태에서는, 상술한 바와 같이, 녹화소 영역의 정공 수송층(13A)상에 전하 수송층(17) 및 녹색 발광층(14G)을 이 순서로 2층 일괄 도포한다. 우선, 적색 발광층(2R)을 도포 형성한 후, 블랭킷(60)상에 녹색 발광 재료를 포함하는 용액(D1g)을 도포 형성한다. 구체적으로는, 도 21a, b에 도시한 바와 같이, 녹색 발광 재료를 포함하는 용액(D1g)을, 예를 들면 슬릿 코트법에 의해, 블랭킷(60)상의 전면에 걸쳐서 도포하고, 용액(D1g)의 층을 형성한다. 다음에, 도 21c, 도 21d에 도시한 바와 같이, 용액(1g)의 층상에 전하 수송성 재료(여기서는, 정공 수송성 재료)를 포함하는 용액(D1a)을, 예를 들면 슬릿 코트법에 의해, 블랭킷(60)상의 전면에 걸쳐서 형성한다. 이에 의해, 도 21e에 도시한 바와 같이, 블랭킷(60)에, 녹색 발광 재료를 포함하는 용액(Dg1)의 층과 정공 수송 성광 재료를 포함하는 용액(D1a)의 층으로 이루어지는 2층막이 형성된다. 이 2층막을, 예를 들면 녹색 화소 영역(2G)에 대응하는 판을 이용하여 패터닝한 후, 곧바로 구동 기판(10a)상에 전사함에 의해 녹화소 영역(2G)상에 전하 수송층(17) 및 녹색 발광층(14G)이 형성된다.
이와 같이, 본 실시의 형태에서는, 제1 발광층(여기서는 적색 발광층(14R))을 반전인쇄법을 이용하여 형성한 후, 전하 수송층(17) 및 제2 발광층(여기서는, 녹색 발광층(14G))을 일괄하여 형성하도록 하였다. 이에 의해, 상기 제1의 실시의 형태보다도 공정수가 삭감되고, 제조 공정을 간략화하는 것이 가능해진다. 또한, 전하 수송층(17)과 제2 발광층과의 계면에의 블랭킷 유래의 실록산의 혼입이 억제되기 때문에, 특성의 열화를 방지할 수 있다.
(변형예)
도 22는, 변형예 1에 관한 표시 장치(4)의 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 적층 구조를 모식적으로 도시한 것이다. 상기 제1의 실시의 형태 등에서는, 블랭킷을 이용한 반전 인쇄에 의해 패턴 형성하는 발광층으로서, 적색 발광층 및 녹색 발광층을 예로 들었지만, 타색의 발광층을 이용하여도 좋다. 예를 들면, 본 변형예와 같이, 유기 EL 소자(2R, 2G)의 2화소에 걸쳐서, 황색 발광층(14Y)을 형성하고, 이 황색 발광층(14Y)을 덮고서 청색 발광층(14B)이 형성된 구성이라도 좋다. 이 경우, 유기 EL 소자(2R, 2G)에서는, 황색과 청색과의 혼색에 의해 백색광이 생성되기 때문에, 밀봉 기판(20)측에는 컬러 필터층(21)이 마련되고, 이 컬러 필터층(21)을 이용하여 적색광 및 녹색광을 각각 취출하게 되어 있다. 컬러 필터층(21)은, 유기 EL 소자(2R, 2G, 2B)의 각각에 대향하여, 적색 필터(21R), 녹색 필터(21G), 청색 필터(21B)를 갖고 있다. 적색 필터(21R)는 적색광, 녹색 필터(21G)는 녹색광, 청색 필터(21B)는 청색광을 각각 선택적으로 투과시킨다. 이와 같은 구성에서, 본 변형예에서는, 청화소에서의 청색 발광층(14B)과 정공 수송층(13A)과의 사이에, 전하 수송층(17)이 형성되어 있다.
본 변형예에서는, 정공 수송층(13A)상의 적화소 및 녹화소의 2화소에 대응하는 영역에, 황색 발광층(14Y)을, 블랭킷을 이용한 반전 인쇄에 의해 형성한 후, 청화소에 대응하는 영역에 전하 수송층(17)을 형성한다. 이후, 전하 수송층(17)상에 청색 발광층(14B)을 형성한다. 따라서, 정공 수송층(13A)상에 존재한 황색 잔사(14y)에의 전자의 주입이 저해되고, 청화소에서의 발광 스펙트럼의 혼색이 억제된다.
(적용예)
상기 제1 내지 제3의 실시의 형태 및 변형예 1에서 설명한 유기 EL 소자(2r, 2G, 2B)를 포함하는 표시 장치(1 내지 4)는, 예를 들면 다음에 나타내는 바와 같은, 화상(또는 영상) 표시를 행하는, 모든 분야의 전자 기기에 탑재할 수 있다.
도 23a, b는, 스마트 폰의 외관을 도시하고 있다. 이 스마트 폰은, 예를 들면, 표시부(110)(표시 장치(1)) 및 비표시부(몸체)(120)와, 조작부(130)를 구비하고 있다. 조작부(130)는, 도 23a에 도시한 바와 같이 비표시부(120)의 앞면에 마련되어 있어도 좋고, 도 23b에 도시한 바와 같이 윗면에 마련되어 있어도 좋다.
도 24는 텔레비전 장치의 외관 구성을 도시하고 있다. 이 텔레비전 장치는, 예를 들면, 프런트 패널(210) 및 필터 유리(220)를 포함하는 영상 표시 화면부(200)(표시 장치(1))를 구비하고 있다.
도 25a, b는, 디지털 스틸 카메라의 외관 구성을 도시하고 있고, 도 25a 및 도 25b는, 각각 옆면 및 후면을 도시하고 있다. 이 디지털 스틸 카메라는, 예를 들면, 플래시용의 발광부(310)와, 표시부(320)(표시 장치(1))와, 메뉴 스위치(330)와, 셔터 버튼(340)을 구비하고 있다.
도 26은, 노트형의 퍼스널 컴퓨터의 외관 구성을 도시하고 있다. 이 퍼스널 컴퓨터는, 예를 들면, 본체(410)와, 문자 등의 입력 조작용의 키보드(420)와, 화상을 표시하는 표시부(430)(표시 장치(1))를 구비하고 있다.
도 27은, 비디오 카메라의 외관 구성을 도시하고 있다. 이 비디오 카메라는, 예를 들면, 본체부(510)와, 그 본체부(510)의 전방 측면에 마련된 피사체 촬영용의 렌즈(520)와, 촬영시의 스타트/스톱 스위치(530)와, 표시부(540)(표시 장치(1))를 구비하고 있다.
도 28은, 휴대 전화기의 외관 구성을 도시하고 있다. (A) 및 (B)는, 각각 휴대 전화기를 연 상태의 앞면 및 측면을 도시하고 있다. (C) 내지 (G)는, 각각 휴대 전화기를 닫은 상태의 정면, 좌측면, 우측면, 윗면 및 하면을 도시하고 있다. 이 휴대 전화기는, 예를 들면, 상측 몸체(610)와 하측 몸체(620)가 연결부(힌지부)(630)에 의해 연결된 것이고, 디스플레이(640)(표시 장치(1))와, 서브 디스플레이(650)와, 픽처 라이트(660)와, 카메라(670)를 구비하고 있다.
이상, 제1 내지 제3의 실시의 형태 및 변형예를 들여 본 개시를 설명하였지만, 본 개시는 상기 실시의 형태 등으로 한정되는 것이 아니고, 여러가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시의 형태 등에서는, 최초에 반전인쇄법에 의해 형성한 제1 발광층으로서 적색 발광층을, 다음에 반전인쇄법에 의해 형성한 제2 발광층으로서 녹색 발광층을 형성하였지만, 각 색의 발광층의 형성 공정은 반대라도 좋다.
또한, 본 개시된 전하 수송성 재료로서는, 발광층의 형성 순서나, 각 화소에서의 소자 특성에 응하여, 적절한 정공 수송성 재료 또는 전자 수송성 재료를 선택하면 좋다.
또한, 상기 실시의 형태 등에서 설명한 각 층의 재료 및 두께, 또는 성막 방법 및 성막 조건 등은 한정되는 것이 아니고, 다른 재료 및 두께로 하여도 좋고, 또는 다른 성막 방법 및 성막 조건으로 하여도 좋다. 또한, 상기 실시의 형태 등에서 설명한 각 층은 반드시 전부 마련할 필요는 없고, 적절히 생략하여도 좋다. 또한, 상기 실시의 형태 등에서 설명한 층 이외의 층을 추가하여도 상관없다. 예를 들면, 청색 EL 소자(2B)의 전하 수송층(17)과 청색 발광층(14B)과의 사이에, 일반 특개2011-233855호 공보에 기재된 공통 정공 수송층과 같이 정공 수송능을 갖는 재료를 사용한 층을 1층 또는 복수층 추가하여도 좋다. 이와 같은 층을 추가함에 의해, 청색 유기 EL 소자(2B)의 발광 효율 및 수명 특성이 향상한다.
또한, 본 기술은 이하와 같은 구성도 취할 수 있다.
(1) 서로 색이 다른 복수의 발광층과, 상기 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과, 상기 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 유기 전계 발광 장치.
(2) 상기 복수의 발광층은, 소자마다 제1 및 제2의 발광층을 포함하고, 상기 제1 및 제2의 발광층 중의 상기 제2의 발광층의 상기 제1 전극측에, 상기 전하 수송층이 형성되어 있는, (1)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(3) 상기 전하 수송층은, 상기 제1의 발광층의 상기 제2 전극측 및 상기 제2의 발광층의 상기 제1 전극측에 연속해서 마련되어 있는, 상기 (2)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(4) 적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고, 상기 적화소에서는, 상기 제1의 발광층으로서 적색 발광층이, 상기 녹화소에서는, 상기 제2의 발광층으로서 녹색 발광층이 각각 형성되어 있는, 상기 (2) 또는 (3)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(5) 적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고, 상기 녹화소에서는, 상기 제1의 발광층으로서 녹색 발광층이, 상기 적화소에서는, 상기 제2의 발광층으로서 적색 발광층이 각각 형성되어 있는, 상기 (2) 내지 (4)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(6) 상기 청화소는 청색 발광층을 가지며, 상기 전하 수송층은, 상기 청화소에서의 상기 청색 발광층의 상기 제1 전극측에도 마련되어 있는, 상기 (4) 또는 (5)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(7) 적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고, 상기 적화소 및 상기 녹화소에서는 황색 발광층이 마련되고, 상기 청화소에서는, 청색 발광층이 마련되어 있는, 상기 (2) 내지 (6)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(8) 상기 청화소에서는, 상기 청색 발광층의 상기 제1 전극측에 상기 전하 수송층이 형성되어 있는, 상기 (7)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(9) 상기 청화소는, 상기 적색 발광층상 및 상기 녹색 발광층상의 영역까지 연재 형성되어 있는, 상기 (7) 또는 (8)에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(10) 상기 전하 수송층은 정공 수송성 재료에 의해 구성되어 있는, 상기 (1) 내지 (9)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(11) 상기 제1의 발광층은 실록산을 포함하는, 상기 (2) 내지 (10)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치.
(12) 제1 전극을 형성하는 공정과, 상기 제1 전극상에 서로 색이 다른 복수의 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정과, 상기 복수의 발광층상에 제2 전극을 형성하는 공정을 포함하고, 상기 발광층 형성 공정에서는, 상기 복수의 발광층 중의 하나의 발광층을 형성한 후에, 다른 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 형성하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(13) 상기 발광층 형성 공정에서는, 제1 및 제2의 발광층을, 이 순서로, 1 또는 2종류의 판을 이용한 인쇄에 의해 형성하고, 상기 제1의 발광층을 형성한 후, 상기 제2의 발광층을 형성하는 판을 이용하여 상기 전하 수송층을 형성하는, 상기 (12)에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(14) 상기 제1의 발광층을 형성한 후, 상기 제2의 발광층 및 상기 전하 수송층을 적층한 상태로 형성하는, 상기 (13)에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(15) 적화소 영역에 상기 제1의 발광층으로서의 적색 발광층과, 녹화소 영역에 상기 제2의 발광층으로서의 녹색 발광층을 각각 형성하는, 상기 (13) 또는 (14)에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(16) 상기 적색 발광층 및 녹색 발광층을 형성한 후, 상기 적색 발광층상 및 녹색 발광층상의 영역부터 청화소 영역에 걸쳐서 청색 발광층을 형성하는, 상기 (15)에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(17) 적화소 영역 및 녹화소 영역에 상기 제1의 발광층으로서 황색 발광층을, 청화소 영역에 상기 제2의 발광층으로서 청색 발광층을 각각 형성하는, 상기 (12) 내지 (16)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(18) 상기 복수의 발광층 및 전하 수송층은 요판 인쇄법에 의해 형성되어 있는, 상기 (12) 내지 (17)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(19) 상기 복수의 발광층 및 전하 수송층은 반전 오프셋 인쇄법에 의해 형성되어 있는, 상기 (12) 내지 (18)의 어느 하나에 기재된 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
(20) 서로 다른 복수의 발광층과, 상기 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과, 상기 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 유기 전계 발광 장치를 갖는 전자 기기.
본 발명은 2012년 4월 23일자로 일본특허청에 특허출원된 일본 특허원 제2012-0097626호를 우선권으로 주장하며, 전체 내용은 본 명세서에 참고로 인용된다.
본 발명의 양호한 실시예를 설명하였지만, 예시적인 것이며, 하기의 특허청구범위의 취지와 범위를 벗어나지 않으면서, 여러 가지 변경 및 수정이 가해질 수 있을 것이다.

Claims (20)

  1. 서로 색이 다른 복수의 발광층과,
    상기 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과,
    상기 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 발광층은, 소자마다 제1 및 제2의 발광층을 포함하고,
    상기 제1 및 제2의 발광층 중의 상기 제2의 발광층의 상기 제1 전극측에, 상기 전하 수송층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 전하 수송층은, 상기 제1의 발광층의 상기 제2 전극측 및 상기 제2의 발광층의 상기 제1 전극측에 연속해서 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고,
    상기 적화소에서는, 상기 제1의 발광층으로서 적색 발광층이, 상기 녹화소에서는, 상기 제2의 발광층으로서 녹색 발광층이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고,
    상기 녹화소에서는, 상기 제1의 발광층으로서 녹색 발광층이, 상기 적화소에서는, 상기 제2의 발광층으로서 적색 발광층이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 청화소는 청색 발광층을 가지며,
    상기 전하 수송층은, 상기 청화소에서의 상기 청색 발광층의 상기 제1 전극측에도 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  7. 제 2항에 있어서,
    적화소, 녹화소 및 청화소를 포함하고,
    상기 적화소 및 상기 녹화소에서는 황색 발광층이 마련되고,
    상기 청화소에서는, 청색 발광층이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 청화소에서는, 상기 청색 발광층의 상기 제1 전극측에 상기 전하 수송층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 청화소는, 상기 적색 발광층상 및 상기 녹색 발광층상의 영역까지 연재 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 전하 수송층은 정공 수송성 재료에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  11. 제 2항에 있어서,
    상기 제1의 발광층은 실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치.
  12. 제1 전극을 형성하는 공정과,
    상기 제1 전극상에 서로 색이 다른 복수의 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정과,
    상기 복수의 발광층상에 제2 전극을 형성하는 공정을 포함하고,
    상기 발광층 형성 공정에서는,
    상기 복수의 발광층 중의 하나의 발광층을 형성한 후에, 다른 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 전하 수송층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 발광층 형성 공정에서는,
    제1 및 제2의 발광층을, 이 순서로, 1 또는 2종류의 판(版)을 이용한 인쇄에 의해 형성하고,
    상기 제1의 발광층을 형성한 후,
    상기 제2의 발광층을 형성하는 판을 이용하여 상기 전하 수송층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1의 발광층을 형성한 후, 상기 제2의 발광층 및 상기 전하 수송층을 적층한 상태로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    적화소 영역에 상기 제1의 발광층으로서의 적색 발광층과, 녹화소 영역에 상기 제2의 발광층으로서의 녹색 발광층을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 적색 발광층 및 녹색 발광층을 형성한 후,
    상기 적색 발광층상 및 녹색 발광층상의 영역부터 청화소 영역에 걸쳐서 청색 발광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  17. 제 12항에 있어서,
    적화소 영역 및 녹화소 영역에 상기 제1의 발광층으로서 황색 발광층을, 청화소 영역에 상기 제2의 발광층으로서 청색 발광층을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  18. 제 12항에 있어서,
    상기 복수의 발광층 및 전하 수송층은 유판 인쇄법에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  19. 제 12항에 있어서,
    상기 복수의 발광층 및 전하 수송층은 반전 오프셋 인쇄법에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 장치의 제조 방법.
  20. 서로 다른 복수의 발광층과,
    상기 복수의 발광층에 각각 전압을 인가하는 제1 전극 및 제2 전극과,
    상기 복수의 발광층 중의 1 또는 2 이상의 발광층과 상기 제1 전극과의 사이에 마련된 전하 수송층을 구비한 유기 전계 발광 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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